Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP5884009B2 - Screen printing machine and mask tension measuring method for screen printing machine - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP5884009B2 - Screen printing machine and mask tension measuring method for screen printing machine - Google Patents

Screen printing machine and mask tension measuring method for screen printing machine Download PDF

Info

Publication number
JP5884009B2
JP5884009B2 JP2011156418A JP2011156418A JP5884009B2 JP 5884009 B2 JP5884009 B2 JP 5884009B2 JP 2011156418 A JP2011156418 A JP 2011156418A JP 2011156418 A JP2011156418 A JP 2011156418A JP 5884009 B2 JP5884009 B2 JP 5884009B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
squeegee
mask
shaft
pair
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2011156418A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013022743A (en
Inventor
友松 道範
道範 友松
村上 俊行
俊行 村上
村上 稔
稔 村上
前田 亮
亮 前田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd filed Critical Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority to JP2011156418A priority Critical patent/JP5884009B2/en
Priority to CN201220343757.7U priority patent/CN202753567U/en
Publication of JP2013022743A publication Critical patent/JP2013022743A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5884009B2 publication Critical patent/JP5884009B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Screen Printers (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)

Description

本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing machine for printing a paste on a substrate through a mask and a mask tension measuring method for the screen printing machine.

基板に半田等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷機は、基板の電極の配置に応じた配置で設けられた開口部を有するマスクを電極と開口部とが合致するようにして基板をマスクに接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより、マスクの開口部にペーストを押し込んで電極にペーストを転写させるようになっている。   A screen printer that prints paste such as solder on the board contacts the mask with the mask so that the electrode and the opening are aligned with the mask having an opening provided in accordance with the arrangement of the electrode on the board. Then, by sliding the squeegee on the mask supplied with the paste and scraping the paste, the paste is pushed into the opening of the mask and transferred to the electrode.

このようなスクリーン印刷機では、マスクは通常、矩形のマスク枠に周囲が固定された樹脂(例えばポリエステル)製のシート状部材の中央に基板の電極の配置に応じた開口部が設けられた薄厚の金属板が取り付けられて成り、マスク全体はマスク枠にシート状部材の四辺が支持されることによって生じるテンションによってほぼフラットな状態となっているが、マスクの使用回数が増えてくると、金属板の部分の自重や、基板との版離れのときに下方への引っ張り荷重を受けること等によってマスク全体のテンション(或いは金属板の部分の局部的なテンション)が低下し、版離れ時における基板のマスクの離間のタイミングが遅れて印刷不良が生じる場合がでてくる。このためスクリーン印刷作業を開始する前にはマスク全体のテンション(更には金属板の部分の局部的なテンション)を計測し、これらマスクのテンションの低下の度合いが所定の基準を超えた場合にはマスクの交換を行うようにしている。従来、このようなマスクのテンションの低下の度合いを調べる方法としては、例えば、基板に接触させる前のマスクに分銅を取り付けてマスクに一定の下方荷重を与え、その下方荷重の値とマスクの下方変位量との関係に基づいてマスクのテンションを求める方法が知られている(例えば、特許文献1)。   In such a screen printing machine, the mask is usually a thin thickness in which an opening corresponding to the arrangement of the electrodes on the substrate is provided in the center of a sheet-like member made of resin (for example, polyester) whose periphery is fixed to a rectangular mask frame. The entire mask is almost flat due to the tension generated when the four sides of the sheet-like member are supported by the mask frame. However, as the number of times the mask is used increases, The tension of the entire mask (or the local tension of the metal plate portion) decreases due to the weight of the plate part and the downward tensile load when the plate is separated from the substrate. In some cases, the mask separation timing is delayed and printing failure occurs. For this reason, before starting the screen printing operation, the tension of the entire mask (and the local tension of the metal plate part) is measured, and if the degree of decrease in the tension of the mask exceeds a predetermined standard, The mask is exchanged. Conventionally, as a method for examining the degree of decrease in the tension of the mask, for example, a weight is attached to the mask before contacting the substrate and a constant downward load is applied to the mask. A method for obtaining the tension of the mask based on the relationship with the amount of displacement is known (for example, Patent Document 1).

特開2001−62996号公報JP 2001-62996 A

しかしながら、上記のようにマスクに分銅を取り付けてマスクのテンションを求める場合には、マスクをスクリーン印刷機内とは異なる別の場所に移動させて専用のマスク保持治具によりマスクを保持して行う必要があり、作業性の面でも設備的な面でもコスト高となるおそれがあるという問題点があった。   However, when a weight is attached to the mask as described above to determine the tension of the mask, it is necessary to move the mask to a different location from the inside of the screen printer and hold the mask with a dedicated mask holding jig. There is a problem that the cost may increase in terms of workability and equipment.

そこで本発明は、マスクのテンションを簡便かつ迅速に求めることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing machine and a mask tension measuring method for a screen printing machine which can easily and quickly obtain the tension of the mask.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は基板の両側部を挟んで保持する一対のクランプ部材と、基板を保持した一対のクランプ部材が相対的に下方から押し当てられることにより、一対のクランプ部材及び基板それぞれの上面と接触するマスクと、マスクに対して水平方向に移動されるベース部材と、ベース部材から下方に延び、ベース部材に対して上下動自在に設けられたスキージ軸と、スキージ軸の下端に取り付けられたスキージと、スキージ軸の下動によってマスクの上面にスキージを当接させた状態でベース部材をマスクに対して水平方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板に転写させる転写動作制御手段と、スキージ軸を下動させたときのスキージ軸の下降量を検出する下降量検出手段と、スキージ軸の軸方向荷重を測定する荷重測定手段と、一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第1の下降量として取得し、その後、一対のクランプ部材の上面をマスクの下面から離間させ、或いは一対のクランプ部材をマスクから離間させることなく、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が前記所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第2の下降量として取得する下降量取得手段と、下降量取得手段が取得した第1の下降量と第2の下降量との差分からマスクのテンションを算出するテンション算出手段とを備えた。 The screen printing machine according to claim 1, wherein the pair of clamp members that hold both sides of the substrate and the pair of clamp members that hold the substrate are relatively pressed from below, so that the pair of clamp members and A mask in contact with the upper surface of each of the substrates; a base member that is moved in a horizontal direction with respect to the mask; a squeegee shaft that extends downward from the base member and is movable up and down with respect to the base member; The squeegee attached to the lower end of the squeegee and the base member is moved in the horizontal direction with respect to the mask while the squeegee is in contact with the upper surface of the mask by the downward movement of the squeegee shaft. Transfer operation control means for scraping and transferring to the substrate, and descent amount detection for detecting the descent amount of the squeegee axis when the squeegee axis is moved downward A step, a load measuring means for measuring an axial load of the squeegee shaft, and a squeegee in contact with the mask on one of the clamp members in a state where the pair of clamp members are in contact with the mask, and then measured by the load measuring means. The lowering amount of the squeegee shaft detected by the lowering amount detecting means when the squeegee shaft is moved downward until the axial load of the squeegee shaft reaches a predetermined value is acquired as a first lowering amount, and then a pair of Measure by load measuring means after contacting the squeegee to the part of the mask that is not in contact with the pair of clamp members without separating the upper surface of the clamp member from the lower surface of the mask or the pair of clamp members from the mask. The squeegee shaft detected by the descending amount detecting means when the squeegee shaft is moved downward until the axial load of the squeegee shaft is equal to the predetermined value. A descending amount obtaining unit that obtains the descending amount as the second descending amount; and a tension calculating unit that calculates the mask tension from the difference between the first descending amount and the second descending amount obtained by the descending amount obtaining unit. Prepared.

請求項2に記載のスクリーン印刷機は、請求項1に記載のスクリーン印刷機であって、前記荷重測定手段は、スキージ軸とスキージとの間に介装された弾性体に取り付けられたロードセルから成る。   The screen printing machine according to claim 2 is the screen printing machine according to claim 1, wherein the load measuring means includes a load cell attached to an elastic body interposed between the squeegee shaft and the squeegee. Become.

請求項3に記載のスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法は、基板の両側部を挟んで保持する一対のクランプ部材と、基板を保持した一対のクランプ部材が相対的に下方から押し当てられることにより、一対のクランプ部材及び基板それぞれの上面と接触するマスクと、マスクに対して水平方向に移動されるベース部材と、ベース部材から下方に延び、ベース部材に対して上下動自在に設けられたスキージ軸と、スキージ軸の下端に取り付けられたスキージと、スキージ軸の下動によってマスクの上面にスキージを当接させた状態でベース部材をマスクに対して水平方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板に転写させる転写動作制御手段と、スキージ軸を下動させたときのスキージ軸の下降量を検出する下降量検出手段と、スキージ軸の軸方向荷重を測定する荷重測定手段とを備えたスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法であって、一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させ、そのとき下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第1の下降量として取得する工程と、前記第1の下降量を取得した後、一対のクランプ部材の上面をマスクの下面から離間させ、一対のクランプ部材をマスクから離間させることなく、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が前記所定の値になるまでスキージ軸を下動させ、そのとき下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第2の下降量として取得する工程と、取得した第1の下降量と第2の下降量との差分からマスクのテンションを算出する工程とを含むことを特徴とする。 The mask tension measuring method for a screen printing machine according to claim 3, wherein the pair of clamp members that hold both sides of the substrate and the pair of clamp members that hold the substrate are relatively pressed from below. The mask is in contact with the upper surfaces of the pair of clamp members and the substrate, the base member is moved in the horizontal direction with respect to the mask, and extends downward from the base member so as to be movable up and down with respect to the base member. The squeegee shaft, the squeegee attached to the lower end of the squeegee shaft, and the base member is moved horizontally with respect to the mask while the squeegee is in contact with the upper surface of the mask by the downward movement of the squeegee shaft. The transfer operation control means for scraping the paste supplied to the substrate with the squeegee and transferring it to the substrate, and the squeegee when the squeegee shaft is moved downward A method for measuring the tension of a mask of a screen printing machine comprising a descent amount detecting means for detecting a descent amount of the squeegee and a load measuring means for measuring an axial load of the squeegee shaft, wherein a pair of clamp members are brought into contact with the mask. After the squeegee is brought into contact with the mask on one of the clamp members, the squeegee shaft is moved downward until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches a predetermined value. A step of acquiring the amount of lowering of the squeegee shaft detected by the means as a first amount of lowering, and after acquiring the first amount of lowering, the upper surfaces of the pair of clamp members are separated from the lower surface of the mask, without separating the member from the mask, after contacting the squeegee portion not in contact with the pair of clamping members of the mask is measured by the load measuring means The step of lowering the squeegee shaft until the axial load of the squeegee shaft reaches the predetermined value, and acquiring the lowering amount of the squeegee shaft detected by the lowering amount detection means as the second lowering amount, and And a step of calculating a mask tension from a difference between the first lowering amount and the second lowering amount.

本発明では、一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、スキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに検出されるスキージ軸の下降量(第1の下降量)と、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、スキージ軸の軸方向荷重が同じ所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに検出されるスキージ軸の下降量(第2の下降量)を求めてこれら両下降量の差分からマスクのテンション(マスク全体のテンション若しくは金属板の部分の局部的なテンション)を算出するようになっており、マスクのテンションの計測の間、マスクをスクリーン印刷機から取り外す必要がないので、マスクのテンションを簡便かつ迅速に求めることができる。   In the present invention, the squeegee shaft is moved downward until the axial load of the squeegee shaft reaches a predetermined value after the squeegee is brought into contact with the mask on one of the clamp members while the pair of clamp members are in contact with the mask. The squeegee shaft lowering amount (first lowering amount) detected when the squeegee is brought into contact with a portion of the mask that is not in contact with the pair of clamp members, and then the axial load of the squeegee shaft is the same. The amount of lowering of the squeegee shaft (second amount of lowering) detected when the squeegee shaft is moved downward until the value is obtained, and the mask tension (the tension of the entire mask or the metal plate) (The local tension of the part) is calculated, and it is not necessary to remove the mask from the screen printer during the mask tension measurement. And it can be quickly determined.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部斜視図The principal part perspective view of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに保持されたマスクの平面図The top view of the mask hold | maintained at the mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped, and a mask holder 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの近傍部分の斜視図The perspective view of the vicinity part of the squeegee with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの近傍部分の正面図The front view of the vicinity part of the squeegee with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作手順を示すメインルーチンのフローチャートThe flowchart of the main routine which shows the operation | movement procedure of the screen printer in one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作手順を示すサブルーチンのフローチャートThe subroutine flowchart which shows the operation | movement procedure of the screen printer in one embodiment of this invention. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のマスクのテンションの計測作業の手順の説明図(A) (b) (c) Explanatory drawing of the procedure of the mask tension measuring operation of the screen printer in one embodiment of the present invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のマスクのテンションの計測作業の手順の説明図(A) (b) (c) Explanatory drawing of the procedure of the mask tension measuring operation of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のマスクのテンションの算出過程を説明するグラフThe graph explaining the calculation process of the mask tension of the screen printing machine in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の手順の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the procedure of the screen printing work by the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の手順の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the procedure of the screen printing work by the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の手順の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the procedure of the screen printing work by the screen printer in one embodiment of this invention

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1において、スクリーン印刷機1は、基板2上に設けられた多数の電極3のそれぞれに半田等のペーストPtをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行するものであり、基台10(図2参照)上に設けられた基板保持ユニット11、基板保持ユニット11の上方を水平かつ平行に延びるように基台10に対して固定して設けられた一対のマスクホルダ12、一対のマスクホルダ12によって水平姿勢に保持されたマスク13、マスク13の上方に設けられたスキージヘッド14、基板保持ユニット11とマスク13の間の領域に設けられたカメラユニット15、ディスプレイ装置16及びこれら各部の作動制御を行う制御装置17を備えている。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, a screen printing machine 1 executes a screen printing operation for screen printing a paste Pt such as solder on each of a large number of electrodes 3 provided on a substrate 2, and a base 10 (see FIG. 2). ) The substrate holding unit 11 provided above, a pair of mask holders 12 fixed to the base 10 so as to extend horizontally and parallel above the substrate holding unit 11, and the pair of mask holders 12 horizontally. The mask 13 held in the posture, the squeegee head 14 provided above the mask 13, the camera unit 15 provided in the area between the substrate holding unit 11 and the mask 13, the display device 16, and operation control of these parts are performed. A control device 17 is provided.

図1及び図2において、基板保持ユニット11は、XYZロボットから成るユニット移動機構11Mによって水平面内(XY面内)の方向への移動(回転も含む)及び上下方向(Z軸方向)の移動が自在なユニットベース21、ユニットベース21に取り付けられて水平面内の一の方向(X軸方向)に基板2を搬送する一対のコンベア22、ユニットベース21に設けられた下受け部昇降シリンダ23によって昇降され、コンベア22によって所定の作業位置(図1に示す位置)に搬送及び位置決めされた基板2の両端がコンベア22から上方に離間するように基板2を下方から持ち上げ支持(図2参照)する下受け部24及び基板2の搬送方向(X軸方向)と直交する水平面内方向(Y軸方向)に開閉自在に設けられ、下受け部24により持ち上げ支持された基板2の両側部をY軸方向から挟んで(クランプして)保持する一対のクランプ部材25を備えている。   1 and 2, the substrate holding unit 11 is moved (including rotation) in the horizontal plane (in the XY plane) and moved in the vertical direction (Z-axis direction) by a unit moving mechanism 11M composed of an XYZ robot. The unit base 21, the pair of conveyors 22 attached to the unit base 21 and transporting the substrate 2 in one direction (X-axis direction) in the horizontal plane, and the lower receiving part lifting cylinder 23 provided in the unit base 21 The substrate 2 is lifted from below and supported (see FIG. 2) so that both ends of the substrate 2 conveyed and positioned at a predetermined work position (position shown in FIG. 1) by the conveyor 22 are separated from the conveyor 22 upward. The receiving portion 24 and the substrate 2 are provided so as to be openable and closable in a horizontal plane direction (Y-axis direction) perpendicular to the transport direction (X-axis direction). Across Chiage supported on both sides of the substrate 2 from the Y-axis direction and a (clamps with) a pair of clamping members 25 for holding.

図3において、マスク13は、矩形枠状のマスク枠13Wによって四辺が支持された樹脂(例えばポリエステル)製のシート状部材13aとこのシート状部材13aの中央に設けられた薄板の金属板13bから成り、金属板13bには基板2上の各電極3に対応した多数の開口部13h(図1も参照)と、基板2のひとつの対角線上に設けられた2つの基板側マーク2m(図1)に対応した2つのマスク側マーク13mが設けられている。マスク13は、X軸方向に対向して配置された一対のマスクホルダ12によってX軸方向に対向する2辺が下方から支持される(図1も参照)。   In FIG. 3, a mask 13 includes a sheet-like member 13a made of resin (for example, polyester) whose four sides are supported by a mask frame 13W having a rectangular frame shape, and a thin metal plate 13b provided at the center of the sheet-like member 13a. In the metal plate 13b, a large number of openings 13h (see also FIG. 1) corresponding to the respective electrodes 3 on the substrate 2 and two substrate-side marks 2m (FIG. 1) provided on one diagonal line of the substrate 2 are formed. ), Two mask side marks 13m are provided. The mask 13 is supported from below by two pairs facing the X-axis direction by a pair of mask holders 12 arranged facing the X-axis direction (see also FIG. 1).

図4及び図5において、スキージヘッド14は、図示しないアクチュエータ等から成るベース部材移動機構14M(図1)によってマスクホルダ12に保持されたマスク13に対して水平方向(Y軸方向)に移動されるプレート状のベース部材31、ベース部材31から下方に延び、ベース部材31に設けられたスキージ軸上下動機構32によってベース部材31に対して上下動が自在に設けられた一対の(2つの)スキージ軸33及び各スキージ軸33の下端に取り付けられたスキージユニット34を備えている。   4 and 5, the squeegee head 14 is moved in the horizontal direction (Y-axis direction) with respect to the mask 13 held by the mask holder 12 by a base member moving mechanism 14M (FIG. 1) including an actuator (not shown). A pair of (two) base plate members 31 extending downward from the base member 31 and freely movable up and down with respect to the base member 31 by a squeegee shaft vertical movement mechanism 32 provided on the base member 31. A squeegee shaft 33 and a squeegee unit 34 attached to the lower end of each squeegee shaft 33 are provided.

各スキージユニット34はスキージ軸33に取り付けられたスキージホルダ41及びスキージホルダ41に取り付けられてX軸方向に延びる薄板部材から成るスキージ42から成る。すなわち各スキージ42は、スキージホルダ41を介してスキージ軸33の下端に取り付けられており、一対のスキージ42はそれぞれのペースト掻き寄せ面42a(図2)をY軸方向に対向させている。   Each squeegee unit 34 includes a squeegee holder 41 attached to the squeegee shaft 33 and a squeegee 42 made of a thin plate member attached to the squeegee holder 41 and extending in the X-axis direction. That is, each squeegee 42 is attached to the lower end of the squeegee shaft 33 via the squeegee holder 41, and the pair of squeegees 42 oppose the paste scraping surfaces 42a (FIG. 2) in the Y-axis direction.

スクリーン印刷機1の操作を行うオペレータ(図示せず)は通常、2つのスキージ42が対向する方向(Y軸方向)の一方側に位置しており、以下の説明では、オペレータが位置する側をスクリーン印刷機1の前方、その反対側をスクリーン印刷機1の後方とする。   An operator (not shown) for operating the screen printing machine 1 is usually located on one side in the direction in which the two squeegees 42 face each other (Y-axis direction). The front side of the screen printer 1 and the opposite side are the rear side of the screen printer 1.

図4及び図5において、スキージホルダ41の上面のスキージ軸33を挟む位置には、一対のガイドロッド51が上下方向に延びて設けられている。これら一対のガイドロッド51はそれぞれベース部材31及びベース部材31の上面に設けられた筒状のロッド案内部31aを上下方向に貫通して延びている。   4 and 5, a pair of guide rods 51 are provided extending in the vertical direction at a position sandwiching the squeegee shaft 33 on the upper surface of the squeegee holder 41. The pair of guide rods 51 extend through the base member 31 and a cylindrical rod guide portion 31a provided on the upper surface of the base member 31 in the vertical direction.

図4及び図5において、各スキージ軸33はボール螺子から成り、ベース部材31及びベース部材31の上面に設けられた筒状のスキージ軸案内部31bを上下方向に貫通して延び、スキージ軸案内部31b内に設けられたベアリング31c(図5中に示す拡大図参照)によって上下軸回りに回転自在に保持されている。   4 and 5, each squeegee shaft 33 is formed of a ball screw and extends vertically through a base member 31 and a cylindrical squeegee shaft guide portion 31b provided on the upper surface of the base member 31 to guide the squeegee shaft. A bearing 31c (see an enlarged view shown in FIG. 5) provided in the portion 31b is rotatably held around the vertical axis.

図4及び図5において、スキージ軸上下動機構32は、スキージ軸案内部31bの上方に設けられてスキージ軸33が上下方向に貫通して螺合して延びる筒状のナット部材61と、ナット部材61の上部に固定されてスキージ軸33が貫通して(遊嵌して)延びたリング状の従動プーリ62と、ベース部材31の上面に2つのスキージ軸案内部31bをX軸方向に挟む位置に設けられ、駆動軸63aを上方に向けて設けられた2つのスキージ軸駆動モータ63と、各スキージ軸駆動モータ63の駆動軸63aに取り付けられた2つの駆動プーリ64と、2つの駆動プーリ64のうちの一方と2つの従動プーリ62のうちの一方との間及び2つの駆動プーリ64のうちの他方と2つの従動プーリ62のうちの他方との間に掛け渡された2つの伝動ベルト65から成る。   4 and 5, the squeegee shaft vertical movement mechanism 32 includes a cylindrical nut member 61 provided above the squeegee shaft guide portion 31 b and extending by being screwed through the squeegee shaft 33 in the vertical direction. A ring-shaped driven pulley 62 that is fixed to the upper portion of the member 61 and extends through the squeegee shaft 33 (freely fitted), and two squeegee shaft guide portions 31b are sandwiched between the upper surface of the base member 31 in the X-axis direction. Two squeegee shaft drive motors 63 provided at the positions with the drive shaft 63a facing upward, two drive pulleys 64 attached to the drive shaft 63a of each squeegee shaft drive motor 63, and two drive pulleys Two transmissions spanned between one of the two driven pulleys 62 and one of the two driven pulleys 62 and between the other of the two driving pulleys 64 and the other of the two driven pulleys 62. Consisting of a belt 65.

スキージ軸駆動モータ63の駆動軸63aの回転駆動により駆動プーリ64が回転すると、伝動ベルト65を介して従動プーリ62がその上下軸(この軸はスキージ軸33の上下軸と一致する)回りに回転してナット部材61が従動プーリ62と一体となって回転するので、スキージ軸33がナット部材61に対して(すなわちベース部材31に対して)昇降する。これによりスキージ軸33の下端に取り付けられたスキージホルダ41は、一対のガイドロッド51にガイドされてX軸方向に延びた姿勢のまま昇降し、これに伴ってスキージホルダ41に取り付けられたスキージ42が、X軸方向に延びた姿勢を保持したまま、ベース部材31に対して昇降する。なお、マスク13とベース部材31の上下方向の相対位置は変化しないので、各スキージ軸33をベース部材31に対して下降させることで、スキージ42をマスク13に上方から当接させることができる。   When the drive pulley 64 is rotated by the rotational drive of the drive shaft 63a of the squeegee shaft drive motor 63, the driven pulley 62 rotates about its vertical axis (this axis coincides with the vertical axis of the squeegee shaft 33) via the transmission belt 65. As the nut member 61 rotates together with the driven pulley 62, the squeegee shaft 33 moves up and down with respect to the nut member 61 (that is, with respect to the base member 31). As a result, the squeegee holder 41 attached to the lower end of the squeegee shaft 33 is lifted and lowered while being guided by the pair of guide rods 51 and extending in the X-axis direction, and accordingly, the squeegee 42 attached to the squeegee holder 41. However, it moves up and down with respect to the base member 31 while maintaining the posture extending in the X-axis direction. Since the relative position of the mask 13 and the base member 31 in the vertical direction does not change, the squeegee 42 can be brought into contact with the mask 13 from above by lowering each squeegee shaft 33 with respect to the base member 31.

上述のように、スキージ軸33の下端はスキージホルダ41の上面に取り付けられているが、図4及び図5に示すように、スキージ軸33とスキージホルダ41との間には起歪体としての弾性体66が介装されており、この弾性体66には歪みゲージ式のロードセルから成る荷重測定器67(荷重測定手段)が取り付けられている。この荷重測定器67は、スキージ42を介してスキージ軸33に上下方向の軸方向荷重(圧縮荷重又は引っ張り荷重)が作用すると、その荷重を受けて弾性変形する弾性体66の歪みから、スキージ軸33の軸方向荷重を測定(検出)する。   As described above, the lower end of the squeegee shaft 33 is attached to the upper surface of the squeegee holder 41. However, as shown in FIGS. An elastic body 66 is interposed, and a load measuring device 67 (load measuring means) composed of a strain gauge type load cell is attached to the elastic body 66. When a vertical axial load (compression load or tensile load) is applied to the squeegee shaft 33 via the squeegee 42, the load measuring device 67 receives a squeegee shaft from the distortion of the elastic body 66 that is elastically deformed under the load. Measure (detect) 33 axial loads.

図4及び図5に示すように、各スキージ軸駆動モータ63には、そのスキージ軸駆動モータ63の駆動軸63aの回転数(回転位置)から、スキージ軸33を下動させたときのスキージ軸33のベース部材31に対する下降量を検出するエンコーダから成る下降量検出器68(下降量検出手段)が設けられている(図1も参照)。   As shown in FIGS. 4 and 5, each squeegee shaft drive motor 63 has a squeegee shaft when the squeegee shaft 33 is moved downward from the rotational speed (rotational position) of the drive shaft 63 a of the squeegee shaft drive motor 63. A descending amount detector 68 (descending amount detecting means) comprising an encoder for detecting the descending amount of 33 relative to the base member 31 is provided (see also FIG. 1).

図1及び図2において、カメラユニット15は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ15aと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ15bを備えて成る。カメラユニット15は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構15Mによって基板保持ユニット11とマスク13との間の領域を水平面内方向に移動される。   1 and 2, the camera unit 15 includes a lower imaging camera 15a whose imaging field is directed downward and an upper imaging camera 15b whose imaging field is directed upward. The camera unit 15 is moved in a horizontal plane in a region between the substrate holding unit 11 and the mask 13 by a camera unit moving mechanism 15M including an actuator (not shown).

基板保持ユニット11のコンベア22による基板2の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板2に対する下受け部24による下受け動作及び一対のクランプ部材25によるクランプ動作は、制御装置17が前述の下受け部昇降シリンダ23を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構71(図1)の作動制御を行うことによってなされ、基板2を保持した基板保持ユニット11の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置17が前述のユニット移動機構11Mの作動制御を行うことによってなされる。   The substrate holding unit 11 conveys the substrate 2 by the conveyer 22 and positions the substrate 2 at the work position, performs the receiving operation by the lower receiving portion 24 and the clamping operation by the pair of clamp members 25 with respect to the substrate 2 positioned at the working position. Is performed by controlling the operation of a substrate holding mechanism 71 (FIG. 1) including an actuator including the above-described under-lifting cylinder 23, and moving the substrate holding unit 11 holding the substrate 2 in the horizontal plane and in the vertical direction. The operation is performed when the control device 17 controls the operation of the unit moving mechanism 11M.

図1において、スキージヘッド14(ベース部材31)のY軸方向への往復移動動作は制御装置17が前述のベース部材移動機構14Mの作動制御を行うことによってなされ、各スキージ軸33の(したがってスキージユニット34の)ベース部材31に対する昇降動作は、制御装置17が2つのスキージ軸駆動モータ63の作動制御を行うことによってなされる。   In FIG. 1, the reciprocating movement of the squeegee head 14 (base member 31) in the Y-axis direction is performed by the control device 17 controlling the operation of the base member moving mechanism 14M. The raising / lowering operation of the unit 34 with respect to the base member 31 is performed when the control device 17 controls the operation of the two squeegee shaft drive motors 63.

図1において、カメラユニット15の水平面内での移動動作は、制御装置17が前述のカメラユニット移動機構15Mの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ15aによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ15bによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置17によってなされ、下方撮像カメラ15aの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ15bの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置17に送信されて制御装置17の画像認識部17aにおいて画像認識処理される。   In FIG. 1, the movement operation of the camera unit 15 in the horizontal plane is performed by the control device 17 performing the operation control of the camera unit movement mechanism 15M. Control of the imaging operation by the lower imaging camera 15a and control of the imaging operation by the upper imaging camera 15b are respectively performed by the control device 17, and obtained by the image data obtained by the imaging operation of the lower imaging camera 15a and the imaging operation of the upper imaging camera 15b. The obtained image data is transmitted to the control device 17 and subjected to image recognition processing in the image recognition unit 17a of the control device 17.

図1において、各荷重測定器67によって測定される2つのスキージ軸33の軸方向荷重の値も制御装置17に入力され、各下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33のベース部材31に対する下降量の値も制御装置17に入力される。   In FIG. 1, the values of the axial loads of the two squeegee shafts 33 measured by the load measuring devices 67 are also input to the control device 17 and detected by the descending amount detectors 68 with respect to the base member 31 of the squeegee shaft 33. The value of the descending amount is also input to the control device 17.

次に、図6、図7のフローチャート及び図8〜図13の説明図を加えてスクリーン印刷機1の動作手順(基板2に対するスクリーン印刷作業及びスクリーン印刷作業の前に行われるマスク13のテンションの計測作業)について説明する。ここで、図6はスクリーン印刷機1の動作のメインルーチンのフローチャートであってスクリーン印刷作業の手順を示し、図7はそのメインルーチンにおけるサブルーチンのフローチャートであって、マスク13のテンションの計測作業(マスク13のテンションの計測方法)の手順を示す。   Next, in addition to the flowcharts of FIGS. 6 and 7 and the explanatory diagrams of FIGS. 8 to 13, the operation procedure of the screen printing machine 1 (screen printing work on the substrate 2 and tension of the mask 13 performed before the screen printing work) (Measurement work) will be described. Here, FIG. 6 is a flowchart of the main routine of the operation of the screen printing machine 1 and shows the procedure of the screen printing work. FIG. 7 is a flowchart of the subroutine in the main routine, and the work of measuring the tension of the mask 13 ( The procedure of the method of measuring the tension of the mask 13 is shown.

スクリーン印刷機1の制御装置17は、基板2に対するスクリーン印刷作業を実行する前に、マスク13のテンションの計測作業を行う(図6に示すステップST1→図7に示すサブルーチン)。マスク13のテンションの計測では、制御装置17の下降量取得動作制御部17b(図1)は先ず、一対のクランプ部材25によって基板2を保持していない状態の基板保持ユニット11をユニット移動機構11Mによって上昇させて、一対のクランプ部材25の上面をマスク13の下面に下方から接触させる(図7に示すステップST21)。   The control device 17 of the screen printing machine 1 performs the work of measuring the tension of the mask 13 before executing the screen printing work on the substrate 2 (step ST1 shown in FIG. 6 → the subroutine shown in FIG. 7). In the measurement of the tension of the mask 13, the descending amount acquisition operation control unit 17b (FIG. 1) of the control device 17 first moves the substrate holding unit 11 in a state where the substrate 2 is not held by the pair of clamp members 25 to the unit moving mechanism 11M. The upper surface of the pair of clamp members 25 is brought into contact with the lower surface of the mask 13 from below (step ST21 shown in FIG. 7).

制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、一対のクランプ部材25の上面をマスク13の下面に接触させたら、ベース部材移動機構14Mの作動制御を行って一方のスキージ42が一方のクランプ部材25の直上に位置するようにしたうえで(図8(a))、そのスキージ42が取り付けられているスキージ軸33に対応するスキージ軸駆動モータ63の作動制御を行ってスキージ軸33を下動させ(図8(a)中に示す矢印A1)、スキージ42の下縁をその直下に位置する一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させる(図8(b)。図7に示すステップST22)。   When the upper surface of the pair of clamp members 25 is brought into contact with the lower surface of the mask 13, the descending amount acquisition operation control unit 17b of the control device 17 controls the operation of the base member moving mechanism 14M so that one squeegee 42 is one clamp member. The squeegee shaft drive motor 63 corresponding to the squeegee shaft 33 to which the squeegee 42 is attached is controlled so as to move the squeegee shaft 33 downwardly (see FIG. 8A). 8 (arrow A1 shown in FIG. 8A), and the lower edge of the squeegee 42 is brought into contact with the mask 13 on the one clamp member 25 located immediately below the squeegee 42 (FIG. 8B). Step ST22 shown in FIG. ).

制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、スキージ42の下縁を一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させたら、そのスキージ42が取り付けられたスキージ軸33の軸方向荷重を測定する荷重測定器67からの出力(スキージ軸33の軸方向荷重)が予め定めた所定の値P(図10)になるまでスキージ軸駆動モータ63を作動させてスキージ軸33を下動させ(図8(c)中に示す矢印A2)、そのとき(荷重測定器67からの出力が所定の値Pになったとき)のスキージ軸33の下降量を下降量検出器68の出力から読み取ってこれを第1の下降量S1(図10)として記憶部17c(図1)に記憶させる。すなわち、制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、スキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させて、そのときのスキージ軸33の下降量を第1の下降量S1として取得する(図7に示すステップST23)。   When the lower edge acquisition operation control unit 17b of the control device 17 makes the lower edge of the squeegee 42 contact the mask 13 on the one clamp member 25, the load of the squeegee shaft 33 to which the squeegee 42 is attached is measured. The squeegee shaft drive motor 63 is operated to lower the squeegee shaft 33 until the output from the load measuring device 67 (axial load of the squeegee shaft 33) reaches a predetermined value P (FIG. 10) (FIG. 8). (C) arrow A2), the amount of descent of the squeegee shaft 33 at that time (when the output from the load measuring device 67 reaches a predetermined value P) is read from the output of the descent amount detector 68 and read. It memorize | stores in the memory | storage part 17c (FIG. 1) as 1st fall amount S1 (FIG. 10). That is, the descending amount acquisition operation control unit 17b of the control device 17 moves the squeegee shaft 33 downward until the axial load of the squeegee shaft 33 reaches a predetermined value P, and determines the descending amount of the squeegee shaft 33 at that time. 1 as a descending amount S1 (step ST23 shown in FIG. 7).

このように本実施の形態において、ステップST23は、一対のクランプ部材25をマスク13に接触させた状態でスキージ42を一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させ、そのとき下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第1の下降量S1として取得する工程となっている。   As described above, in the present embodiment, step ST23 is performed by the load measuring device 67 after the squeegee 42 is brought into contact with the mask 13 on the one clamp member 25 in a state where the pair of clamp members 25 are in contact with the mask 13. The squeegee shaft 33 is moved downward until the axial load of the squeegee shaft 33 to be measured reaches a predetermined value P. At this time, the descending amount of the squeegee shaft 33 detected by the descending amount detector 68 is set as the first descending amount S1. It is a process to acquire as.

制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、第1の下降量S1を取得したら、下動させていたスキージ軸33を上動させる(図7に示すステップST24)。そして、ユニット移動機構11Mを作動させて、一対のクランプ部材25の上面をマスク13の下面から離間させる(図7に示すステップST25)。   When the descending amount acquisition operation control unit 17b of the control device 17 acquires the first descending amount S1, the descending amount acquiring operation control unit 17b moves the squeegee shaft 33 moved downward (step ST24 shown in FIG. 7). Then, the unit moving mechanism 11M is operated to separate the upper surfaces of the pair of clamp members 25 from the lower surface of the mask 13 (step ST25 shown in FIG. 7).

制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、一対のクランプ部材25をマスク13から離間させたら、今度は一対のクランプ部材25をマスク13に接触させていない状態で、先ほど第1の下降量S1を取得したときのスキージ42がマスク13のほぼ中央の直上に位置するようにスキージヘッド14を移動させたうえで(図9(a))、そのスキージ42が取り付けられているスキージ軸33に対応するスキージ軸駆動モータ63の作動制御を行ってスキージ軸33を下動させ(図9(a)中に示す矢印B1)、スキージ42の下縁をマスク13の中央部に接触させる(図9(b)。図7に示すステップST26)。   When the pair of clamp members 25 are separated from the mask 13, the descending amount acquisition operation control unit 17 b of the control device 17 is in a state where the pair of clamp members 25 are not in contact with the mask 13 and the first descending amount is as described above. After the squeegee head 14 is moved so that the squeegee 42 at the time of acquiring S1 is positioned almost directly above the center of the mask 13 (FIG. 9A), the squeegee shaft 33 to which the squeegee 42 is attached is moved. The operation of the corresponding squeegee shaft drive motor 63 is controlled to move the squeegee shaft 33 downward (arrow B1 shown in FIG. 9A), and the lower edge of the squeegee 42 is brought into contact with the central portion of the mask 13 (FIG. 9). (B) Step ST26 shown in FIG.

制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、スキージ42の下縁をマスク13の中央部に接触させたら、そのスキージ42が取り付けられたスキージ軸33の軸方向荷重を測定する荷重測定器67からの出力(スキージ軸33の軸方向荷重)がステップST23の場合と同じ所定の値Pになるまでスキージ軸駆動モータ63を作動させてスキージ軸33を下動させ(図9(c)。図中に示す矢印B2)、そのとき(荷重測定器67からの出力が所定の値Pになったとき)のスキージ軸33の下降量を下降量検出器68の出力から読み取ってこれを第2の下降量S2(図10)として記憶部17cに記憶させる。すなわち、スキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させて、そのときのスキージ軸33の下降量を第2の下降量S2として取得する(図7に示すステップST27)。   When the lower edge acquisition operation control unit 17b of the control device 17 makes the lower edge of the squeegee 42 contact the center of the mask 13, the load measuring device 67 measures the axial load of the squeegee shaft 33 to which the squeegee 42 is attached. The squeegee shaft drive motor 63 is operated to lower the squeegee shaft 33 until the output (the axial load of the squeegee shaft 33) reaches the same predetermined value P as in step ST23 (FIG. 9C). The arrow B2 shown in the figure), the amount of descent of the squeegee shaft 33 at that time (when the output from the load measuring device 67 reaches a predetermined value P) is read from the output of the descent amount detector 68 and this is read as a second value. It memorize | stores in the memory | storage part 17c as descent | fall amount S2 (FIG. 10). That is, the squeegee shaft 33 is moved downward until the axial load of the squeegee shaft 33 reaches a predetermined value P, and the descending amount of the squeegee shaft 33 at that time is acquired as the second descending amount S2 (shown in FIG. 7). Step ST27).

このように本実施の形態において、ステップST27は、マスク13の一対のクランプ部材25と接触していない部分にスキージ42を接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させ、そのとき下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第2の下降量S2として取得する工程となっている。   Thus, in the present embodiment, step ST27 is the axial direction of the squeegee shaft 33 measured by the load measuring device 67 after the squeegee 42 is brought into contact with the portions of the mask 13 that are not in contact with the pair of clamp members 25. The squeegee shaft 33 is moved downward until the load reaches a predetermined value P, and the descending amount of the squeegee shaft 33 detected by the descending amount detector 68 at that time is acquired as the second descending amount S2.

なお、第1の下降量S1を取得するときにスキージ軸33に作用する軸方向荷重と第2の下降量S2を取得するときにスキージ軸33に作用する軸方向荷重は同じであるが、第2の下降量S2を取得する際、マスク13はスキージ42に押されて下方に撓むことから、第2の下降量S2は第1の下降量S1よりも大きくなる。制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、第2の下降量S2を取得したら、下動させていたスキージ軸33を上動させる(図7に示すステップST28)。   The axial load acting on the squeegee shaft 33 when acquiring the first descending amount S1 is the same as the axial load acting on the squeegee shaft 33 when acquiring the second descending amount S2. When acquiring the descending amount S2 of 2, the mask 13 is pushed by the squeegee 42 and bends downward, so that the second descending amount S2 is larger than the first descending amount S1. When the descending amount acquisition operation control unit 17b of the control device 17 acquires the second descending amount S2, the descending amount acquisition operation control unit 17b moves the squeegee shaft 33 moved downward (step ST28 shown in FIG. 7).

制御装置17の下降量取得動作制御部17bが、第2の下降量S2を取得した後、下動させていたスキージ軸33を上動させたら、制御装置17のテンション算出部17d(図1)は、下降量取得動作制御部17bがステップST23で取得して記憶部17cに記憶させた第1の下降量S1と、下降量取得動作制御部17bがステップST27で取得して記憶部17cに記憶させた第2の下降量S2との差分から、マスク13のテンションを算出する(図7に示すステップST29)。これにより、マスク13のテンションの値TがT=S2−S1という下方撓みの量で求められる(図10)。   When the descending amount acquisition operation control unit 17b of the control device 17 acquires the second descending amount S2 and then moves the squeegee shaft 33 moved downward, the tension calculating unit 17d of the control device 17 (FIG. 1). Are the first descent amount S1 acquired by the descent amount acquisition operation control unit 17b in step ST23 and stored in the storage unit 17c, and the descent amount acquisition operation control unit 17b is acquired in step ST27 and stored in the storage unit 17c. The tension of the mask 13 is calculated from the difference from the second lowered amount S2 that has been made (step ST29 shown in FIG. 7). As a result, the tension value T of the mask 13 is obtained by the downward deflection amount T = S2-S1 (FIG. 10).

このように本実施の形態において、ステップST28は、取得した第1の下降量S1と第2の下降量S2との差分からマスク13のテンションを算出する工程となっている。   As described above, in the present embodiment, step ST28 is a step of calculating the tension of the mask 13 from the difference between the acquired first descending amount S1 and the second descending amount S2.

制御装置17の記憶部17cには、マスク13のテンションの正常範囲の上限値(T0とする)が記憶されており、制御装置17は、ステップST29で算出したマスク13のテンションの値Tをマスク13のテンションの正常範囲の上限値T0と比較し、算出したマスク13のテンションが正常であるかどうかの判断を行う(図7に示すステップST30)。この判断では、算出したマスク13のテンションが正常範囲の上限値T0以下であれば正常と判断し、算出したマスク13のテンションの値Tが上限値T0を超えていれば非正常と判断する。   The storage unit 17c of the control device 17 stores the upper limit value (T0) of the normal range of the tension of the mask 13, and the control device 17 masks the tension value T of the mask 13 calculated in step ST29. 13 is compared with the upper limit value T0 of the normal range of tension 13 to determine whether or not the calculated tension of the mask 13 is normal (step ST30 shown in FIG. 7). In this determination, if the calculated tension of the mask 13 is equal to or less than the upper limit value T0 of the normal range, it is determined to be normal, and if the calculated tension value T of the mask 13 exceeds the upper limit value T0, it is determined to be abnormal.

制御装置17は、マスク13のテンションが正常であると判断した場合には、前述のディスプレイ装置16にマスク13のテンションが正常である旨の報知を行ったうえで(図7に示すステップST31)、メインルーチンに戻る。   When determining that the tension of the mask 13 is normal, the control device 17 notifies the display device 16 that the tension of the mask 13 is normal (step ST31 shown in FIG. 7). Return to the main routine.

一方、制御装置17は、マスク13のテンションが非正常であると判断した場合には、ディスプレイ装置16にマスク13のテンションが非正常である旨の報知を行ったうえで(図7に示すステップST32)、待機状態に入る(図7に示すステップST33)。そして、制御装置17は、ディスプレイ装置16においてマスク13のテンションが非正常である旨の報知を受けたオペレータがマスク13の交換を行ったうえで操作する動作再開ボタン69(図1)の操作信号の出力に基づいて、オペレータが動作再開ボタン69の操作を行ったかどうかの判断を一定時間おきに繰り返し実行する(図7に示すステップST34)。その結果、制御装置17は、オペレータが動作再開ボタン69の操作を行ったと判断した場合には、ステップST21に戻ってマスク13のテンションの計測を再実行する。   On the other hand, when the control device 17 determines that the tension of the mask 13 is abnormal, it notifies the display device 16 that the tension of the mask 13 is abnormal (step shown in FIG. 7). ST32), a standby state is entered (step ST33 shown in FIG. 7). Then, the control device 17 operates the operation signal of the operation resuming button 69 (FIG. 1) operated by the operator who has received notification that the tension of the mask 13 is abnormal in the display device 16 after replacing the mask 13. Based on the output, the determination as to whether or not the operator has operated the operation resuming button 69 is repeatedly executed at regular intervals (step ST34 shown in FIG. 7). As a result, when it is determined that the operator has operated the operation resuming button 69, the control device 17 returns to step ST21 and re-measures the tension of the mask 13.

これにより、マスク13のテンションが非正常な状態のまま(下方撓みの量が大きいまま)、スクリーン印刷作業が実行されて不良基板が生産されることが防止される。   Accordingly, it is possible to prevent the defective substrate from being produced by performing the screen printing operation while the tension of the mask 13 is in an abnormal state (the amount of downward deflection is large).

このように、本実施の形態において、制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、一対のクランプ部材25をマスク13に接触させた状態でスキージ42を一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第1の下降量S1として取得し、マスク13の一対のクランプ部材25と接触していない部分にスキージ42を接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が同じ所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第2の下降量S2として取得する下降量取得手段となっている。   As described above, in this embodiment, the descending amount acquisition operation control unit 17b of the control device 17 moves the squeegee 42 to the mask 13 on one clamp member 25 in a state where the pair of clamp members 25 are in contact with the mask 13. After the contact, the squeegee shaft 33 detected by the descending amount detector 68 when the squeegee shaft 33 is moved downward until the axial load of the squeegee shaft 33 measured by the load measuring device 67 reaches a predetermined value P. Of the squeegee shaft 33 measured by the load measuring device 67 after the squeegee 42 is brought into contact with portions of the mask 13 that are not in contact with the pair of clamp members 25. The lowering amount of the squeegee shaft 33 detected by the lowering amount detector 68 when the squeegee shaft 33 is moved downward until the directional load becomes the same predetermined value P is the second lowering amount. It has a lowered amount acquisition means for acquiring a 2.

また、制御装置17のテンション算出部17dは、下降量取得手段としての下降量取得動作制御部17bが取得した第1の下降量S1と第2の下降量S2との差分からマスク13のテンションを算出するテンション算出手段となっている。   Further, the tension calculating unit 17d of the control device 17 determines the tension of the mask 13 from the difference between the first descending amount S1 and the second descending amount S2 acquired by the descending amount acquiring operation control unit 17b as the descending amount acquiring unit. It is a tension calculating means for calculating.

上記のようにして、制御装置17の下降量取得動作制御部17bとテンション算出部17dによるマスク13のテンションの計測(ステップST1)が終了したら、制御装置17の転写動作制御部17e(図1)は、スクリーン印刷機1の上流側に設置された他の装置等(図示せず)から基板2が送られてきたことを検知したところで基板保持ユニット11のコンベア22を作動させて、スクリーン印刷機1内に基板2を搬入する(図6に示すステップST2)。   When the measurement of the tension of the mask 13 (step ST1) by the descending amount acquisition operation control unit 17b and the tension calculation unit 17d of the control device 17 is completed as described above, the transfer operation control unit 17e (FIG. 1) of the control device 17 is completed. Detects that the substrate 2 has been sent from another device or the like (not shown) installed on the upstream side of the screen printing machine 1, operates the conveyor 22 of the substrate holding unit 11 to activate the screen printing machine. The board | substrate 2 is carried in in 1 (step ST2 shown in FIG. 6).

制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2の搬入を行ったら、基板保持機構71の作動制御を行って基板2を保持する(図6に示すステップST3)。基板2の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ23で下受け部24を押し上げて基板2をコンベア22から浮いた状態に持ち上げる一方(図11(a)中に示す矢印C1)、一対のクランプ部材25を閉じる方向に駆動して基板2の両端を挟み込む(図11(a)中に示す矢印D1)ことによって行う(図11(a))。   After carrying in the substrate 2, the transfer operation control unit 17e of the control device 17 controls the operation of the substrate holding mechanism 71 to hold the substrate 2 (step ST3 shown in FIG. 6). Specifically, the holding of the substrate 2 is performed by pushing up the lower receiving portion 24 by the lower receiving portion lifting cylinder 23 to lift the substrate 2 from the conveyor 22 (arrow C1 shown in FIG. 11A), This is done by driving the pair of clamp members 25 in the closing direction and sandwiching both ends of the substrate 2 (arrow D1 shown in FIG. 11A) (FIG. 11A).

制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2を保持したら、カメラユニット移動機構15Mの作動制御を行い、下方撮像カメラ15aを基板2に設けられた基板側マーク2mの直上に位置させて下方撮像カメラ15aに基板側マーク2mの撮像を行わせる一方、上方撮像カメラ15bをマスク13に設けられたマスク側マーク13mの直下に位置させて上方撮像カメラ15bにマスク側マーク13mの撮像を行わせる。そして制御装置17の転写動作制御部17eは、得られた基板側マーク2mの画像データから基板2の位置を把握するとともに、得られたマスク側マーク13mの画像データからマスク13の位置を把握し、基板保持ユニット11を水平面内方向に移動させ、基板側マーク2mとマスク側マーク13mとが上下に対向するようにして、マスク13に対する基板2の水平面内方向の位置合わせを行う(図6に示すステップST4)。   When the transfer operation control unit 17e of the control device 17 holds the substrate 2, it controls the operation of the camera unit moving mechanism 15M, positions the lower imaging camera 15a directly above the substrate side mark 2m provided on the substrate 2, and moves downward. The imaging camera 15a captures the substrate-side mark 2m, while the upper imaging camera 15b is positioned immediately below the mask-side mark 13m provided on the mask 13 to cause the upper imaging camera 15b to capture the mask-side mark 13m. . Then, the transfer operation control unit 17e of the control device 17 grasps the position of the substrate 2 from the obtained image data of the substrate side mark 2m, and grasps the position of the mask 13 from the obtained image data of the mask side mark 13m. Then, the substrate holding unit 11 is moved in the horizontal plane direction so that the substrate side mark 2m and the mask side mark 13m face each other in the vertical direction so that the alignment of the substrate 2 with respect to the mask 13 in the horizontal plane direction is performed (FIG. 6). Step ST4 shown).

制御装置17の転写動作制御部17eは、マスク13に対する基板2の位置合わせが終わったら、ユニット移動機構11Mの作動制御を行って基板保持ユニット11を基台10に対して上昇させ(図11(b)中に示す矢印E1)、基板2を保持した一対のクランプ部材25がマスク13の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材25及び基板2それぞれの上面をマスク13の下面に接触させる(図11(b)。図6に示すステップST5)。これにより基板2上の電極3とマスク13の開口部13hとが合致した状態となる。   When the positioning of the substrate 2 with respect to the mask 13 is finished, the transfer operation control unit 17e of the control device 17 controls the operation of the unit moving mechanism 11M to raise the substrate holding unit 11 with respect to the base 10 (FIG. 11 ( b) Arrow E1 shown in the figure, the pair of clamp members 25 holding the substrate 2 are pressed against the lower surface of the mask 13 from below, so that the upper surfaces of the pair of clamp members 25 and the substrate 2 respectively. Is brought into contact with the lower surface of the mask 13 (FIG. 11B) (step ST5 shown in FIG. 6). As a result, the electrode 3 on the substrate 2 and the opening 13h of the mask 13 are brought into alignment.

なお、このように一対のクランプ部材25及び基板2それぞれの上面がマスク13の下面に接触した状態では、マスク13上には、コンベア22による基板2の搬送方向(X軸方向)と直交する水平面内方向(Y軸方向)において、基板2と接触した領域(基板2上のマスク領域R1)と、各クランプ部材25と接触した2つの領域(クランプ部材25上のマスク領域R2)とが形成される。   When the upper surfaces of the pair of clamp members 25 and the substrate 2 are in contact with the lower surface of the mask 13 as described above, a horizontal plane perpendicular to the conveyance direction (X-axis direction) of the substrate 2 by the conveyor 22 is placed on the mask 13. In the inward direction (Y-axis direction), a region in contact with the substrate 2 (mask region R1 on the substrate 2) and two regions in contact with each clamp member 25 (mask region R2 on the clamp member 25) are formed. The

制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2をマスク13に接触させたら、ディスプレイ装置16に、オペレータにペーストPtの供給を促すメッセージを表示する(図6に示すステップST6)。これに対してオペレータは、現在、マスク13上に残っているペーストPtを目視し、そのペーストPtの量に基づいてペーストPtの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストPtの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ80(図12(a))により、マスク13上にペーストPtの供給を行う。そして、ペーストPtの供給が終わったら、前述の動作再開ボタン69の操作を行う。オペレータは、ペーストPtの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタン69の操作を行う。   When the transfer operation control unit 17e of the control device 17 brings the substrate 2 into contact with the mask 13, the display device 16 displays a message prompting the operator to supply the paste Pt (step ST6 shown in FIG. 6). On the other hand, the operator visually checks the paste Pt remaining on the mask 13 and determines whether or not to supply (supplement) the paste Pt based on the amount of the paste Pt. When it is determined that the paste Pt should be supplied, the paste Pt is supplied onto the mask 13 by using a separately prepared paste supply syringe 80 (FIG. 12A). When the supply of the paste Pt is finished, the operation restart button 69 described above is operated. The operator operates the operation resuming button 69 even when it is determined that the supply of the paste Pt is unnecessary.

制御装置17の転写動作制御部17eは、ステップST6において、ディスプレイ装置16にペーストPtの供給を促すメッセージを表示した後、動作再開ボタン69の操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い(図6に示すステップST7)、動作再開ボタン69からの信号出力に基づいて、オペレータによって動作再開ボタン69の操作がなされたことを検知したときには、スキージヘッド14を一対のクランプ部材25の一方の上方に位置させたうえで、2つのスキージ42のうちの一方を下降させて、そのスキージ42の下縁をクランプ部材25と接触しているマスク13の上面(クランプ部材25上のマスク領域R2)に当接させる(図6に示すステップST8)。   In step ST6, the transfer operation control unit 17e of the control device 17 displays a message prompting the supply of the paste Pt on the display device 16, and then determines whether or not the operation restart button 69 has been operated at regular intervals. (Step ST7 shown in FIG. 6) Based on the signal output from the operation restart button 69, when it is detected that the operation restart button 69 has been operated by the operator, the squeegee head 14 is moved to one of the pair of clamp members 25. The upper surface of the mask 13 in which one of the two squeegees 42 is lowered and the lower edge of the squeegee 42 is in contact with the clamp member 25 (mask region R2 on the clamp member 25) is positioned above. (Step ST8 shown in FIG. 6).

なお、このとき下降させる(マスク13に当接させる)スキージ42は、スキージヘッド14を前側のクランプ部材25の上方に位置させたときには前側のスキージ42であり、スキージヘッド14を後側のクランプ部材25の上方に位置させたときには後側のスキージ42である。   The squeegee 42 that is lowered (abuts against the mask 13) at this time is the front squeegee 42 when the squeegee head 14 is positioned above the front clamp member 25, and the squeegee head 14 is moved to the rear clamp member. When it is positioned above 25, it is the rear squeegee 42.

制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ軸33の下動によってクランプ部材25上のマスク領域R2の上面にスキージ42を当接させたら、ベース部材移動機構14Mを作動させて、スキージ42をマスク13の上面に当接させた状態でベース部材31を(すなわちスキージ42を)マスク13に対して水平方向(Y軸方向)に移動させることにより(図12(b)中に示す矢印F)、マスク13上に供給したペーストPtをスキージ42によって掻き寄せてマスク13の開口部13h内に押し込み、電極3にペーストPtを転写させる(図6に示すステップST9)。   When the squeegee 42 is brought into contact with the upper surface of the mask region R2 on the clamp member 25 by the downward movement of the squeegee shaft 33, the transfer operation control unit 17e of the control device 17 operates the base member moving mechanism 14M to move the squeegee 42. The base member 31 (that is, the squeegee 42) is moved in the horizontal direction (Y-axis direction) with respect to the mask 13 while being in contact with the upper surface of the mask 13 (arrow F shown in FIG. 12B). Then, the paste Pt supplied onto the mask 13 is scraped by the squeegee 42 and pushed into the opening 13h of the mask 13 to transfer the paste Pt to the electrode 3 (step ST9 shown in FIG. 6).

このように制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ軸33の下動によってマスク13の上面にスキージ42を当接させた状態でベース部材31をマスク13に対して水平方向に移動させることにより、マスク13上に供給されたペーストPtをスキージ42で掻き寄せて基板2に転写させる転写動作制御手段となっている。   As described above, the transfer operation control unit 17 e of the control device 17 moves the base member 31 in the horizontal direction with respect to the mask 13 in a state where the squeegee 42 is in contact with the upper surface of the mask 13 by the downward movement of the squeegee shaft 33. As a result, the paste Pt supplied on the mask 13 is transferred by the squeegee 42 and transferred to the substrate 2.

このステップST9では、制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ42を、一方のクランプ部材25上のマスク領域R2から基板2上のマスク領域R1を通って他方のクランプ部材25上のマスク領域R2まで移動させる。具体的には、前側のスキージ42については、前側のクランプ部材25上のマスク領域R2から後側のクランプ部材25上のマスク領域R2まで移動させ、後側のスキージ42については、後側のクランプ部材25上のマスク領域R2から前側のクランプ部材25上のマスク領域R2まで移動させる。   In step ST9, the transfer operation control unit 17e of the control device 17 moves the squeegee 42 from the mask region R2 on one clamp member 25 through the mask region R1 on the substrate 2 to the mask region on the other clamp member 25. Move to R2. Specifically, the front squeegee 42 is moved from the mask region R2 on the front clamp member 25 to the mask region R2 on the rear clamp member 25, and the rear squeegee 42 is moved to the rear clamp. The mask region R2 on the member 25 is moved to the mask region R2 on the front clamp member 25.

制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ42が一方のクランプ部材25上のマスク領域R1から他方のクランプ部材25上のマスク領域R2に達してペーストPtの転写が終了したことを検知したら、ベース部材31の移動を停止させたうえで、マスク13に当接させていたスキージ42のスキージ軸33をベース部材31に対して上動させてスキージ42をマスク13から離間させる(図6に示すステップST10)。   When the transfer operation control unit 17e of the control device 17 detects that the squeegee 42 has reached the mask region R2 on the other clamp member 25 from the mask region R1 on the one clamp member 25, the transfer of the paste Pt is completed. After the movement of the base member 31 is stopped, the squeegee shaft 33 of the squeegee 42 that is in contact with the mask 13 is moved upward with respect to the base member 31 to separate the squeegee 42 from the mask 13 (shown in FIG. 6). Step ST10).

制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ42をマスク13から離間させたら、ユニット移動機構11Mを作動させて基板保持ユニット11を下降させ(図13(a)中に示す矢印E2)、マスク13から基板2及び一対のクランプ部材25を離間させて版離れを行う(図13(a)。図6に示すステップST11)。   When the squeegee 42 is separated from the mask 13, the transfer operation control unit 17e of the control device 17 operates the unit moving mechanism 11M to lower the substrate holding unit 11 (arrow E2 shown in FIG. 13A), and the mask. The substrate 2 and the pair of clamp members 25 are separated from the plate 13 to release the plate (FIG. 13A) (step ST11 shown in FIG. 6).

制御装置17の転写動作制御部17eは、版離れが終了したら、基板保持機構71を作動させて一対のクランプ部材25を開かせたうえで(図13(b)中に示す矢印D2)、下受け部24を下降させて(図13(b)中に示す矢印C2)、基板2の両端を一対のコンベア22上に降ろす(図13(b))。これにより基板保持ユニット11による基板2の保持が解除される(図6に示すステップST12)。   When the plate separation is completed, the transfer operation control unit 17e of the control device 17 operates the substrate holding mechanism 71 to open the pair of clamp members 25 (arrow D2 shown in FIG. 13B), and The receiving part 24 is lowered (arrow C2 shown in FIG. 13B), and both ends of the substrate 2 are lowered onto the pair of conveyors 22 (FIG. 13B). Thereby, the holding of the substrate 2 by the substrate holding unit 11 is released (step ST12 shown in FIG. 6).

制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2の保持を解除したら、ユニット移動機構11Mを作動させて基板保持ユニット11を水平面内で移動させ、コンベア22の向きを整えたうえで、コンベア22を作動させて基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図6に示すステップST13)。   When the transfer operation control unit 17e of the control device 17 releases the holding of the substrate 2, the unit moving mechanism 11M is operated to move the substrate holding unit 11 in the horizontal plane, and the direction of the conveyor 22 is adjusted. Is operated to carry the substrate 2 out of the screen printer 1 (step ST13 shown in FIG. 6).

制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図6に示すステップST14)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST2に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   When the transfer operation control unit 17e of the control device 17 carries out the substrate 2, it determines whether there is another substrate 2 on which screen printing is to be performed (step ST14 shown in FIG. 6). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST2 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1(スクリーン印刷機1のマスク13のテンション計測方法)によれば、マスク13全体のテンションを計測することができるが、一対のクランプ部材25をマスク13に接触させた状態で、スキージ42を一対のクランプ部材25と接触していない部分のマスク13(基板2上のマスク領域R1)に接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第2の下降量S2として取得するようにすることによって、金属板13bの部分の局部的なテンションを計測することができる。これは、具体的には、マスク13のテンション計測作業のサブルーチン(図7)のステップST25で、一対のクランプ部材25をマスク13から離間させることなく(ステップST25を実行することなく)ステップST26以下の工程を実行すれば実現できる。   Thus, according to the screen printing machine 1 (the tension measuring method for the mask 13 of the screen printing machine 1) in the present embodiment, the tension of the entire mask 13 can be measured, but the pair of clamp members 25 are masked. After the squeegee 42 is brought into contact with the portion of the mask 13 (mask region R1 on the substrate 2) that is not in contact with the pair of clamp members 25, the squeegee shaft is measured by the load measuring device 67. The descending amount of the squeegee shaft 33 detected by the descending amount detector 68 when the squeegee shaft 33 is moved downward until the axial load of 33 reaches a predetermined value P is acquired as the second descending amount S2. By doing so, the local tension of the portion of the metal plate 13b can be measured. Specifically, in step ST25 of the subroutine for measuring the tension of the mask 13 (FIG. 7), the pair of clamp members 25 are not separated from the mask 13 (without executing step ST25) and subsequent steps ST26. This can be realized by executing the process.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、一対のクランプ部材25をマスク13に接触させた状態でスキージ42を一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させた後、スキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに検出されるスキージ軸33の下降量(第1の下降量S1)と、マスク13の一対のクランプ部材25と接触していない部分にスキージ42を接触させた後、スキージ軸33の軸方向荷重が同じ所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに検出されるスキージ軸33の下降量(第2の下降量S2)を求めてこれら両下降量S1,S2の差分からマスク13のテンション(マスク13全体のテンション若しくは金属板13bの部分の局部的なテンション)を算出するようになっており、マスク13のテンションの計測の間、マスク13をスクリーン印刷機1から取り外す必要がないので、マスク13のテンションを簡便かつ迅速に求めることができる。   As described above, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the squeegee 42 is brought into contact with the mask 13 on the one clamp member 25 in a state in which the pair of clamp members 25 are in contact with the mask 13, and then the squeegee. A descending amount (first descending amount S1) of the squeegee shaft 33 detected when the squeegee shaft 33 is moved downward until the axial load of the shaft 33 reaches a predetermined value P, and a pair of clamp members of the mask 13 The squeegee shaft 33 is lowered when the squeegee shaft 33 is moved downward until the axial load of the squeegee shaft 33 reaches the same predetermined value P after the squeegee 42 is brought into contact with a portion not in contact with the squeegee 25. The amount (second descending amount S2) is obtained, and the tension of the mask 13 (the tension of the entire mask 13 or the local portion of the metal plate 13b is determined from the difference between these descending amounts S1 and S2. Pensions) adapted to calculate a, between the tension measurement of the mask 13, it is not necessary to remove the mask 13 from the screen printing machine 1, it is possible to determine the tension of the mask 13 conveniently and quickly.

マスクのテンションを簡便かつ迅速に求めることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法を提供する。   Provided are a screen printing machine and a mask tension measuring method for a screen printing machine, in which a mask tension can be obtained easily and quickly.

1 スクリーン印刷機
2 基板
13 マスク
17b 下降量取得動作制御部(下降量取得手段)
17d テンション算出部(テンション算出手段)
17e 転写動作制御部(転写動作制御手段)
25 クランプ部材
31 ベース部材
33 スキージ軸
42 スキージ
66 弾性体
67 荷重測定器(荷重測定手段)
68 下降量検出器(下降量検出手段)
Pt ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printer 2 Board | substrate 13 Mask 17b Falling amount acquisition operation control part (falling amount acquisition means)
17d Tension calculation unit (tension calculation means)
17e Transfer operation control unit (transfer operation control means)
25 Clamp member 31 Base member 33 Squeegee shaft 42 Squeegee 66 Elastic body 67 Load measuring device (load measuring means)
68 Descent amount detector (Descent amount detection means)
Pt paste

Claims (3)

基板の両側部を挟んで保持する一対のクランプ部材と、
基板を保持した一対のクランプ部材が相対的に下方から押し当てられることにより、一対のクランプ部材及び基板それぞれの上面と接触するマスクと、
マスクに対して水平方向に移動されるベース部材と、
ベース部材から下方に延び、ベース部材に対して上下動自在に設けられたスキージ軸と、
スキージ軸の下端に取り付けられたスキージと、
スキージ軸の下動によってマスクの上面にスキージを当接させた状態でベース部材をマスクに対して水平方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板に転写させる転写動作制御手段と、
スキージ軸を下動させたときのスキージ軸の下降量を検出する下降量検出手段と、
スキージ軸の軸方向荷重を測定する荷重測定手段と、
一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第1の下降量として取得し、その後、一対のクランプ部材の上面をマスクの下面から離間させ、或いは一対のクランプ部材をマスクから離間させることなく、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が前記所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第2の下降量として取得する下降量取得手段と、
下降量取得手段が取得した第1の下降量と第2の下降量との差分からマスクのテンションを算出するテンション算出手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
A pair of clamp members for holding both sides of the substrate;
A pair of clamp members holding the substrate are relatively pressed from below so that the mask contacts the upper surfaces of the pair of clamp members and the substrate, and
A base member that is moved horizontally relative to the mask;
A squeegee shaft that extends downward from the base member and is vertically movable with respect to the base member;
A squeegee attached to the lower end of the squeegee shaft;
By moving the base member horizontally with respect to the mask while the squeegee is in contact with the upper surface of the mask by the downward movement of the squeegee shaft, the paste supplied on the mask is scraped by the squeegee and transferred to the substrate. A transfer operation control means;
A descent amount detecting means for detecting a descent amount of the squeegee shaft when the squeegee shaft is moved down;
Load measuring means for measuring the axial load of the squeegee shaft;
After the squeegee is brought into contact with the mask on one clamp member while the pair of clamp members are in contact with the mask, the squeegee shaft is moved until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches a predetermined value. The lowering amount of the squeegee shaft detected by the lowering amount detecting means when it is moved downward is acquired as the first lowering amount, and then the upper surfaces of the pair of clamp members are separated from the lower surface of the mask, or the pair of clamp members After the squeegee is brought into contact with a portion of the mask that is not in contact with the pair of clamp members without being separated from the mask, the squeegee is loaded until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches the predetermined value. Descent amount acquisition means for acquiring the descent amount of the squeegee shaft detected by the descent amount detection means when the shaft is moved down as a second descent amount;
A screen printing machine comprising: a tension calculating unit that calculates a mask tension from a difference between the first descending amount and the second descending amount acquired by the descending amount acquiring unit.
前記荷重測定手段は、スキージ軸とスキージとの間に介装された弾性体に取り付けられたロードセルから成ることを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機。   2. The screen printing machine according to claim 1, wherein the load measuring means comprises a load cell attached to an elastic body interposed between the squeegee shaft and the squeegee. 基板の両側部を挟んで保持する一対のクランプ部材と、基板を保持した一対のクランプ部材が相対的に下方から押し当てられることにより、一対のクランプ部材及び基板それぞれの上面と接触するマスクと、マスクに対して水平方向に移動されるベース部材と、ベース部材から下方に延び、ベース部材に対して上下動自在に設けられたスキージ軸と、スキージ軸の下端に取り付けられたスキージと、スキージ軸の下動によってマスクの上面にスキージを当接させた状態でベース部材をマスクに対して水平方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板に転写させる転写動作制御手段と、スキージ軸を下動させたときのスキージ軸の下降量を検出する下降量検出手段と、スキージ軸の軸方向荷重を測定する荷重測定手段とを備えたスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法であって、
一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させ、そのとき下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第1の下降量として取得する工程と、
前記第1の下降量を取得した後、一対のクランプ部材の上面をマスクの下面から離間させ、一対のクランプ部材をマスクから離間させることなく、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が前記所定の値になるまでスキージ軸を下動させ、そのとき下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第2の下降量として取得する工程と、
取得した第1の下降量と第2の下降量との差分からマスクのテンションを算出する工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法。
A pair of clamp members that hold both sides of the substrate and a pair of clamp members that hold the substrate relatively pressed from below so that the pair of clamp members and the mask that contacts the upper surfaces of the substrate, A base member that is moved in a horizontal direction with respect to the mask, a squeegee shaft that extends downward from the base member and is movable up and down relative to the base member, a squeegee attached to a lower end of the squeegee shaft, and a squeegee shaft Transfer operation to scrape the paste supplied on the mask with the squeegee and transfer it to the substrate by moving the base member horizontally with respect to the mask with the squeegee in contact with the upper surface of the mask Control means, descent amount detecting means for detecting the descent amount of the squeegee axis when the squeegee axis is moved down, and measuring the axial load of the squeegee axis. A tension measuring method for a mask of a screen printing machine comprising a load measuring means for,
After the squeegee is brought into contact with the mask on one clamp member while the pair of clamp members are in contact with the mask, the squeegee shaft is moved until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches a predetermined value. Obtaining a first descending amount, a descending amount of the squeegee shaft detected by the descending amount detecting means at that time;
After obtaining the first descending amount, the upper surfaces of the pair of clamp members are separated from the lower surface of the mask, and the pair of clamp members are not separated from the mask and are not in contact with the pair of clamp members of the mask. After the squeegee is brought into contact, the squeegee shaft is moved downward until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches the predetermined value. Obtaining the second descending amount;
A mask tension measuring method for a screen printing machine, comprising: calculating a mask tension from a difference between the acquired first descending amount and the second descending amount.
JP2011156418A 2011-07-15 2011-07-15 Screen printing machine and mask tension measuring method for screen printing machine Expired - Fee Related JP5884009B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011156418A JP5884009B2 (en) 2011-07-15 2011-07-15 Screen printing machine and mask tension measuring method for screen printing machine
CN201220343757.7U CN202753567U (en) 2011-07-15 2012-07-16 Screen process press

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011156418A JP5884009B2 (en) 2011-07-15 2011-07-15 Screen printing machine and mask tension measuring method for screen printing machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013022743A JP2013022743A (en) 2013-02-04
JP5884009B2 true JP5884009B2 (en) 2016-03-15

Family

ID=47732761

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011156418A Expired - Fee Related JP5884009B2 (en) 2011-07-15 2011-07-15 Screen printing machine and mask tension measuring method for screen printing machine

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5884009B2 (en)
CN (1) CN202753567U (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6218637B2 (en) * 2014-02-25 2017-10-25 ヤマハ発動機株式会社 Printing device
CN108776139A (en) * 2017-12-07 2018-11-09 南京熊猫电子制造有限公司 A kind of screen process press steel mesh cleanliness factor inspection equipment
EP3725521B1 (en) * 2017-12-15 2022-03-30 Fuji Corporation Screen printer
DE112020003163T5 (en) * 2019-06-27 2022-03-17 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Workpiece holding device and screen printing machine
CN115335235B (en) * 2020-03-31 2023-07-28 株式会社富士 Printing control device and printing control method

Also Published As

Publication number Publication date
CN202753567U (en) 2013-02-27
JP2013022743A (en) 2013-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5884009B2 (en) Screen printing machine and mask tension measuring method for screen printing machine
WO2007125722A1 (en) Print inspection method, print inspection device and printer
KR20150040286A (en) Method for bringing substrate into contact with probe card
CN111448073B (en) Screen printing machine
EP3566872B1 (en) Screen printer
JP5359947B2 (en) Screen printer and mask tension measuring method in screen printer
JP4893727B2 (en) Substrate transport apparatus, electronic component mounting apparatus, and electronic component mounting apparatus working method
JP6673753B2 (en) Substrate clamping device and substrate processing device
CN110879171B (en) Material testing machine
WO2014021024A1 (en) Device for causing substrate to contact probe card, and substrate inspection apparatus provided with same
JP5877327B2 (en) Screen printing device, failure cause analysis device in screen printing, and failure cause analysis method
TWI605999B (en) Detaching method and detaching apparatus
JP4908955B2 (en) Printing inspection method and printing inspection apparatus
JP2011189672A (en) Screen printing machine and method of measuring stuck amount of paste in the screen printing machine
EP3680105B1 (en) Screen printing machine
JP5263229B2 (en) Screen printer and method for detecting foreign matter in screen printer
JP2009016499A (en) Paste coating device
JP2009016499A5 (en)
JP5036380B2 (en) Screen printing machine
JP2011143549A (en) Screen printing machine and method of detecting foreign matter in screen printing machine
JP4913642B2 (en) Inspection method of printed wiring board
JP7796362B1 (en) Work processing device and work processing method
JP2011201023A (en) Screen printing machine and screen printing method
KR20230034510A (en) A machining device that automates rivet hole drilling and quality inspection process on printed circuit boards
JP2018125364A (en) Substrate inspection device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140521

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20140612

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20141007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150217

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150416

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150915

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150928

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5884009

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees