JP5884009B2 - Screen printing machine and mask tension measuring method for screen printing machine - Google Patents
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Description
本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法に関するものである。 The present invention relates to a screen printing machine for printing a paste on a substrate through a mask and a mask tension measuring method for the screen printing machine.
基板に半田等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷機は、基板の電極の配置に応じた配置で設けられた開口部を有するマスクを電極と開口部とが合致するようにして基板をマスクに接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより、マスクの開口部にペーストを押し込んで電極にペーストを転写させるようになっている。 A screen printer that prints paste such as solder on the board contacts the mask with the mask so that the electrode and the opening are aligned with the mask having an opening provided in accordance with the arrangement of the electrode on the board. Then, by sliding the squeegee on the mask supplied with the paste and scraping the paste, the paste is pushed into the opening of the mask and transferred to the electrode.
このようなスクリーン印刷機では、マスクは通常、矩形のマスク枠に周囲が固定された樹脂(例えばポリエステル)製のシート状部材の中央に基板の電極の配置に応じた開口部が設けられた薄厚の金属板が取り付けられて成り、マスク全体はマスク枠にシート状部材の四辺が支持されることによって生じるテンションによってほぼフラットな状態となっているが、マスクの使用回数が増えてくると、金属板の部分の自重や、基板との版離れのときに下方への引っ張り荷重を受けること等によってマスク全体のテンション(或いは金属板の部分の局部的なテンション)が低下し、版離れ時における基板のマスクの離間のタイミングが遅れて印刷不良が生じる場合がでてくる。このためスクリーン印刷作業を開始する前にはマスク全体のテンション(更には金属板の部分の局部的なテンション)を計測し、これらマスクのテンションの低下の度合いが所定の基準を超えた場合にはマスクの交換を行うようにしている。従来、このようなマスクのテンションの低下の度合いを調べる方法としては、例えば、基板に接触させる前のマスクに分銅を取り付けてマスクに一定の下方荷重を与え、その下方荷重の値とマスクの下方変位量との関係に基づいてマスクのテンションを求める方法が知られている(例えば、特許文献1)。 In such a screen printing machine, the mask is usually a thin thickness in which an opening corresponding to the arrangement of the electrodes on the substrate is provided in the center of a sheet-like member made of resin (for example, polyester) whose periphery is fixed to a rectangular mask frame. The entire mask is almost flat due to the tension generated when the four sides of the sheet-like member are supported by the mask frame. However, as the number of times the mask is used increases, The tension of the entire mask (or the local tension of the metal plate portion) decreases due to the weight of the plate part and the downward tensile load when the plate is separated from the substrate. In some cases, the mask separation timing is delayed and printing failure occurs. For this reason, before starting the screen printing operation, the tension of the entire mask (and the local tension of the metal plate part) is measured, and if the degree of decrease in the tension of the mask exceeds a predetermined standard, The mask is exchanged. Conventionally, as a method for examining the degree of decrease in the tension of the mask, for example, a weight is attached to the mask before contacting the substrate and a constant downward load is applied to the mask. A method for obtaining the tension of the mask based on the relationship with the amount of displacement is known (for example, Patent Document 1).
しかしながら、上記のようにマスクに分銅を取り付けてマスクのテンションを求める場合には、マスクをスクリーン印刷機内とは異なる別の場所に移動させて専用のマスク保持治具によりマスクを保持して行う必要があり、作業性の面でも設備的な面でもコスト高となるおそれがあるという問題点があった。 However, when a weight is attached to the mask as described above to determine the tension of the mask, it is necessary to move the mask to a different location from the inside of the screen printer and hold the mask with a dedicated mask holding jig. There is a problem that the cost may increase in terms of workability and equipment.
そこで本発明は、マスクのテンションを簡便かつ迅速に求めることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing machine and a mask tension measuring method for a screen printing machine which can easily and quickly obtain the tension of the mask.
請求項1に記載のスクリーン印刷機は基板の両側部を挟んで保持する一対のクランプ部材と、基板を保持した一対のクランプ部材が相対的に下方から押し当てられることにより、一対のクランプ部材及び基板それぞれの上面と接触するマスクと、マスクに対して水平方向に移動されるベース部材と、ベース部材から下方に延び、ベース部材に対して上下動自在に設けられたスキージ軸と、スキージ軸の下端に取り付けられたスキージと、スキージ軸の下動によってマスクの上面にスキージを当接させた状態でベース部材をマスクに対して水平方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板に転写させる転写動作制御手段と、スキージ軸を下動させたときのスキージ軸の下降量を検出する下降量検出手段と、スキージ軸の軸方向荷重を測定する荷重測定手段と、一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第1の下降量として取得し、その後、一対のクランプ部材の上面をマスクの下面から離間させ、或いは一対のクランプ部材をマスクから離間させることなく、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が前記所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第2の下降量として取得する下降量取得手段と、下降量取得手段が取得した第1の下降量と第2の下降量との差分からマスクのテンションを算出するテンション算出手段とを備えた。
The screen printing machine according to
請求項2に記載のスクリーン印刷機は、請求項1に記載のスクリーン印刷機であって、前記荷重測定手段は、スキージ軸とスキージとの間に介装された弾性体に取り付けられたロードセルから成る。
The screen printing machine according to
請求項3に記載のスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法は、基板の両側部を挟んで保持する一対のクランプ部材と、基板を保持した一対のクランプ部材が相対的に下方から押し当てられることにより、一対のクランプ部材及び基板それぞれの上面と接触するマスクと、マスクに対して水平方向に移動されるベース部材と、ベース部材から下方に延び、ベース部材に対して上下動自在に設けられたスキージ軸と、スキージ軸の下端に取り付けられたスキージと、スキージ軸の下動によってマスクの上面にスキージを当接させた状態でベース部材をマスクに対して水平方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板に転写させる転写動作制御手段と、スキージ軸を下動させたときのスキージ軸の下降量を検出する下降量検出手段と、スキージ軸の軸方向荷重を測定する荷重測定手段とを備えたスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法であって、一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させ、そのとき下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第1の下降量として取得する工程と、前記第1の下降量を取得した後、一対のクランプ部材の上面をマスクの下面から離間させ、一対のクランプ部材をマスクから離間させることなく、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が前記所定の値になるまでスキージ軸を下動させ、そのとき下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第2の下降量として取得する工程と、取得した第1の下降量と第2の下降量との差分からマスクのテンションを算出する工程とを含むことを特徴とする。 The mask tension measuring method for a screen printing machine according to claim 3, wherein the pair of clamp members that hold both sides of the substrate and the pair of clamp members that hold the substrate are relatively pressed from below. The mask is in contact with the upper surfaces of the pair of clamp members and the substrate, the base member is moved in the horizontal direction with respect to the mask, and extends downward from the base member so as to be movable up and down with respect to the base member. The squeegee shaft, the squeegee attached to the lower end of the squeegee shaft, and the base member is moved horizontally with respect to the mask while the squeegee is in contact with the upper surface of the mask by the downward movement of the squeegee shaft. The transfer operation control means for scraping the paste supplied to the substrate with the squeegee and transferring it to the substrate, and the squeegee when the squeegee shaft is moved downward A method for measuring the tension of a mask of a screen printing machine comprising a descent amount detecting means for detecting a descent amount of the squeegee and a load measuring means for measuring an axial load of the squeegee shaft, wherein a pair of clamp members are brought into contact with the mask. After the squeegee is brought into contact with the mask on one of the clamp members, the squeegee shaft is moved downward until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches a predetermined value. A step of acquiring the amount of lowering of the squeegee shaft detected by the means as a first amount of lowering, and after acquiring the first amount of lowering, the upper surfaces of the pair of clamp members are separated from the lower surface of the mask, without separating the member from the mask, after contacting the squeegee portion not in contact with the pair of clamping members of the mask is measured by the load measuring means The step of lowering the squeegee shaft until the axial load of the squeegee shaft reaches the predetermined value, and acquiring the lowering amount of the squeegee shaft detected by the lowering amount detection means as the second lowering amount, and And a step of calculating a mask tension from a difference between the first lowering amount and the second lowering amount.
本発明では、一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、スキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに検出されるスキージ軸の下降量(第1の下降量)と、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、スキージ軸の軸方向荷重が同じ所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに検出されるスキージ軸の下降量(第2の下降量)を求めてこれら両下降量の差分からマスクのテンション(マスク全体のテンション若しくは金属板の部分の局部的なテンション)を算出するようになっており、マスクのテンションの計測の間、マスクをスクリーン印刷機から取り外す必要がないので、マスクのテンションを簡便かつ迅速に求めることができる。 In the present invention, the squeegee shaft is moved downward until the axial load of the squeegee shaft reaches a predetermined value after the squeegee is brought into contact with the mask on one of the clamp members while the pair of clamp members are in contact with the mask. The squeegee shaft lowering amount (first lowering amount) detected when the squeegee is brought into contact with a portion of the mask that is not in contact with the pair of clamp members, and then the axial load of the squeegee shaft is the same. The amount of lowering of the squeegee shaft (second amount of lowering) detected when the squeegee shaft is moved downward until the value is obtained, and the mask tension (the tension of the entire mask or the metal plate) (The local tension of the part) is calculated, and it is not necessary to remove the mask from the screen printer during the mask tension measurement. And it can be quickly determined.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1において、スクリーン印刷機1は、基板2上に設けられた多数の電極3のそれぞれに半田等のペーストPtをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行するものであり、基台10(図2参照)上に設けられた基板保持ユニット11、基板保持ユニット11の上方を水平かつ平行に延びるように基台10に対して固定して設けられた一対のマスクホルダ12、一対のマスクホルダ12によって水平姿勢に保持されたマスク13、マスク13の上方に設けられたスキージヘッド14、基板保持ユニット11とマスク13の間の領域に設けられたカメラユニット15、ディスプレイ装置16及びこれら各部の作動制御を行う制御装置17を備えている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, a
図1及び図2において、基板保持ユニット11は、XYZロボットから成るユニット移動機構11Mによって水平面内(XY面内)の方向への移動(回転も含む)及び上下方向(Z軸方向)の移動が自在なユニットベース21、ユニットベース21に取り付けられて水平面内の一の方向(X軸方向)に基板2を搬送する一対のコンベア22、ユニットベース21に設けられた下受け部昇降シリンダ23によって昇降され、コンベア22によって所定の作業位置(図1に示す位置)に搬送及び位置決めされた基板2の両端がコンベア22から上方に離間するように基板2を下方から持ち上げ支持(図2参照)する下受け部24及び基板2の搬送方向(X軸方向)と直交する水平面内方向(Y軸方向)に開閉自在に設けられ、下受け部24により持ち上げ支持された基板2の両側部をY軸方向から挟んで(クランプして)保持する一対のクランプ部材25を備えている。
1 and 2, the
図3において、マスク13は、矩形枠状のマスク枠13Wによって四辺が支持された樹脂(例えばポリエステル)製のシート状部材13aとこのシート状部材13aの中央に設けられた薄板の金属板13bから成り、金属板13bには基板2上の各電極3に対応した多数の開口部13h(図1も参照)と、基板2のひとつの対角線上に設けられた2つの基板側マーク2m(図1)に対応した2つのマスク側マーク13mが設けられている。マスク13は、X軸方向に対向して配置された一対のマスクホルダ12によってX軸方向に対向する2辺が下方から支持される(図1も参照)。
In FIG. 3, a
図4及び図5において、スキージヘッド14は、図示しないアクチュエータ等から成るベース部材移動機構14M(図1)によってマスクホルダ12に保持されたマスク13に対して水平方向(Y軸方向)に移動されるプレート状のベース部材31、ベース部材31から下方に延び、ベース部材31に設けられたスキージ軸上下動機構32によってベース部材31に対して上下動が自在に設けられた一対の(2つの)スキージ軸33及び各スキージ軸33の下端に取り付けられたスキージユニット34を備えている。
4 and 5, the
各スキージユニット34はスキージ軸33に取り付けられたスキージホルダ41及びスキージホルダ41に取り付けられてX軸方向に延びる薄板部材から成るスキージ42から成る。すなわち各スキージ42は、スキージホルダ41を介してスキージ軸33の下端に取り付けられており、一対のスキージ42はそれぞれのペースト掻き寄せ面42a(図2)をY軸方向に対向させている。
Each
スクリーン印刷機1の操作を行うオペレータ(図示せず)は通常、2つのスキージ42が対向する方向(Y軸方向)の一方側に位置しており、以下の説明では、オペレータが位置する側をスクリーン印刷機1の前方、その反対側をスクリーン印刷機1の後方とする。
An operator (not shown) for operating the
図4及び図5において、スキージホルダ41の上面のスキージ軸33を挟む位置には、一対のガイドロッド51が上下方向に延びて設けられている。これら一対のガイドロッド51はそれぞれベース部材31及びベース部材31の上面に設けられた筒状のロッド案内部31aを上下方向に貫通して延びている。
4 and 5, a pair of
図4及び図5において、各スキージ軸33はボール螺子から成り、ベース部材31及びベース部材31の上面に設けられた筒状のスキージ軸案内部31bを上下方向に貫通して延び、スキージ軸案内部31b内に設けられたベアリング31c(図5中に示す拡大図参照)によって上下軸回りに回転自在に保持されている。
4 and 5, each
図4及び図5において、スキージ軸上下動機構32は、スキージ軸案内部31bの上方に設けられてスキージ軸33が上下方向に貫通して螺合して延びる筒状のナット部材61と、ナット部材61の上部に固定されてスキージ軸33が貫通して(遊嵌して)延びたリング状の従動プーリ62と、ベース部材31の上面に2つのスキージ軸案内部31bをX軸方向に挟む位置に設けられ、駆動軸63aを上方に向けて設けられた2つのスキージ軸駆動モータ63と、各スキージ軸駆動モータ63の駆動軸63aに取り付けられた2つの駆動プーリ64と、2つの駆動プーリ64のうちの一方と2つの従動プーリ62のうちの一方との間及び2つの駆動プーリ64のうちの他方と2つの従動プーリ62のうちの他方との間に掛け渡された2つの伝動ベルト65から成る。
4 and 5, the squeegee shaft
スキージ軸駆動モータ63の駆動軸63aの回転駆動により駆動プーリ64が回転すると、伝動ベルト65を介して従動プーリ62がその上下軸(この軸はスキージ軸33の上下軸と一致する)回りに回転してナット部材61が従動プーリ62と一体となって回転するので、スキージ軸33がナット部材61に対して(すなわちベース部材31に対して)昇降する。これによりスキージ軸33の下端に取り付けられたスキージホルダ41は、一対のガイドロッド51にガイドされてX軸方向に延びた姿勢のまま昇降し、これに伴ってスキージホルダ41に取り付けられたスキージ42が、X軸方向に延びた姿勢を保持したまま、ベース部材31に対して昇降する。なお、マスク13とベース部材31の上下方向の相対位置は変化しないので、各スキージ軸33をベース部材31に対して下降させることで、スキージ42をマスク13に上方から当接させることができる。
When the
上述のように、スキージ軸33の下端はスキージホルダ41の上面に取り付けられているが、図4及び図5に示すように、スキージ軸33とスキージホルダ41との間には起歪体としての弾性体66が介装されており、この弾性体66には歪みゲージ式のロードセルから成る荷重測定器67(荷重測定手段)が取り付けられている。この荷重測定器67は、スキージ42を介してスキージ軸33に上下方向の軸方向荷重(圧縮荷重又は引っ張り荷重)が作用すると、その荷重を受けて弾性変形する弾性体66の歪みから、スキージ軸33の軸方向荷重を測定(検出)する。
As described above, the lower end of the
図4及び図5に示すように、各スキージ軸駆動モータ63には、そのスキージ軸駆動モータ63の駆動軸63aの回転数(回転位置)から、スキージ軸33を下動させたときのスキージ軸33のベース部材31に対する下降量を検出するエンコーダから成る下降量検出器68(下降量検出手段)が設けられている(図1も参照)。
As shown in FIGS. 4 and 5, each squeegee
図1及び図2において、カメラユニット15は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ15aと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ15bを備えて成る。カメラユニット15は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構15Mによって基板保持ユニット11とマスク13との間の領域を水平面内方向に移動される。
1 and 2, the
基板保持ユニット11のコンベア22による基板2の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板2に対する下受け部24による下受け動作及び一対のクランプ部材25によるクランプ動作は、制御装置17が前述の下受け部昇降シリンダ23を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構71(図1)の作動制御を行うことによってなされ、基板2を保持した基板保持ユニット11の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置17が前述のユニット移動機構11Mの作動制御を行うことによってなされる。
The
図1において、スキージヘッド14(ベース部材31)のY軸方向への往復移動動作は制御装置17が前述のベース部材移動機構14Mの作動制御を行うことによってなされ、各スキージ軸33の(したがってスキージユニット34の)ベース部材31に対する昇降動作は、制御装置17が2つのスキージ軸駆動モータ63の作動制御を行うことによってなされる。
In FIG. 1, the reciprocating movement of the squeegee head 14 (base member 31) in the Y-axis direction is performed by the
図1において、カメラユニット15の水平面内での移動動作は、制御装置17が前述のカメラユニット移動機構15Mの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ15aによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ15bによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置17によってなされ、下方撮像カメラ15aの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ15bの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置17に送信されて制御装置17の画像認識部17aにおいて画像認識処理される。
In FIG. 1, the movement operation of the
図1において、各荷重測定器67によって測定される2つのスキージ軸33の軸方向荷重の値も制御装置17に入力され、各下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33のベース部材31に対する下降量の値も制御装置17に入力される。
In FIG. 1, the values of the axial loads of the two
次に、図6、図7のフローチャート及び図8〜図13の説明図を加えてスクリーン印刷機1の動作手順(基板2に対するスクリーン印刷作業及びスクリーン印刷作業の前に行われるマスク13のテンションの計測作業)について説明する。ここで、図6はスクリーン印刷機1の動作のメインルーチンのフローチャートであってスクリーン印刷作業の手順を示し、図7はそのメインルーチンにおけるサブルーチンのフローチャートであって、マスク13のテンションの計測作業(マスク13のテンションの計測方法)の手順を示す。
Next, in addition to the flowcharts of FIGS. 6 and 7 and the explanatory diagrams of FIGS. 8 to 13, the operation procedure of the screen printing machine 1 (screen printing work on the
スクリーン印刷機1の制御装置17は、基板2に対するスクリーン印刷作業を実行する前に、マスク13のテンションの計測作業を行う(図6に示すステップST1→図7に示すサブルーチン)。マスク13のテンションの計測では、制御装置17の下降量取得動作制御部17b(図1)は先ず、一対のクランプ部材25によって基板2を保持していない状態の基板保持ユニット11をユニット移動機構11Mによって上昇させて、一対のクランプ部材25の上面をマスク13の下面に下方から接触させる(図7に示すステップST21)。
The
制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、一対のクランプ部材25の上面をマスク13の下面に接触させたら、ベース部材移動機構14Mの作動制御を行って一方のスキージ42が一方のクランプ部材25の直上に位置するようにしたうえで(図8(a))、そのスキージ42が取り付けられているスキージ軸33に対応するスキージ軸駆動モータ63の作動制御を行ってスキージ軸33を下動させ(図8(a)中に示す矢印A1)、スキージ42の下縁をその直下に位置する一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させる(図8(b)。図7に示すステップST22)。
When the upper surface of the pair of
制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、スキージ42の下縁を一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させたら、そのスキージ42が取り付けられたスキージ軸33の軸方向荷重を測定する荷重測定器67からの出力(スキージ軸33の軸方向荷重)が予め定めた所定の値P(図10)になるまでスキージ軸駆動モータ63を作動させてスキージ軸33を下動させ(図8(c)中に示す矢印A2)、そのとき(荷重測定器67からの出力が所定の値Pになったとき)のスキージ軸33の下降量を下降量検出器68の出力から読み取ってこれを第1の下降量S1(図10)として記憶部17c(図1)に記憶させる。すなわち、制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、スキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させて、そのときのスキージ軸33の下降量を第1の下降量S1として取得する(図7に示すステップST23)。
When the lower edge acquisition
このように本実施の形態において、ステップST23は、一対のクランプ部材25をマスク13に接触させた状態でスキージ42を一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させ、そのとき下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第1の下降量S1として取得する工程となっている。
As described above, in the present embodiment, step ST23 is performed by the
制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、第1の下降量S1を取得したら、下動させていたスキージ軸33を上動させる(図7に示すステップST24)。そして、ユニット移動機構11Mを作動させて、一対のクランプ部材25の上面をマスク13の下面から離間させる(図7に示すステップST25)。
When the descending amount acquisition
制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、一対のクランプ部材25をマスク13から離間させたら、今度は一対のクランプ部材25をマスク13に接触させていない状態で、先ほど第1の下降量S1を取得したときのスキージ42がマスク13のほぼ中央の直上に位置するようにスキージヘッド14を移動させたうえで(図9(a))、そのスキージ42が取り付けられているスキージ軸33に対応するスキージ軸駆動モータ63の作動制御を行ってスキージ軸33を下動させ(図9(a)中に示す矢印B1)、スキージ42の下縁をマスク13の中央部に接触させる(図9(b)。図7に示すステップST26)。
When the pair of
制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、スキージ42の下縁をマスク13の中央部に接触させたら、そのスキージ42が取り付けられたスキージ軸33の軸方向荷重を測定する荷重測定器67からの出力(スキージ軸33の軸方向荷重)がステップST23の場合と同じ所定の値Pになるまでスキージ軸駆動モータ63を作動させてスキージ軸33を下動させ(図9(c)。図中に示す矢印B2)、そのとき(荷重測定器67からの出力が所定の値Pになったとき)のスキージ軸33の下降量を下降量検出器68の出力から読み取ってこれを第2の下降量S2(図10)として記憶部17cに記憶させる。すなわち、スキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させて、そのときのスキージ軸33の下降量を第2の下降量S2として取得する(図7に示すステップST27)。
When the lower edge acquisition
このように本実施の形態において、ステップST27は、マスク13の一対のクランプ部材25と接触していない部分にスキージ42を接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させ、そのとき下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第2の下降量S2として取得する工程となっている。
Thus, in the present embodiment, step ST27 is the axial direction of the
なお、第1の下降量S1を取得するときにスキージ軸33に作用する軸方向荷重と第2の下降量S2を取得するときにスキージ軸33に作用する軸方向荷重は同じであるが、第2の下降量S2を取得する際、マスク13はスキージ42に押されて下方に撓むことから、第2の下降量S2は第1の下降量S1よりも大きくなる。制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、第2の下降量S2を取得したら、下動させていたスキージ軸33を上動させる(図7に示すステップST28)。
The axial load acting on the
制御装置17の下降量取得動作制御部17bが、第2の下降量S2を取得した後、下動させていたスキージ軸33を上動させたら、制御装置17のテンション算出部17d(図1)は、下降量取得動作制御部17bがステップST23で取得して記憶部17cに記憶させた第1の下降量S1と、下降量取得動作制御部17bがステップST27で取得して記憶部17cに記憶させた第2の下降量S2との差分から、マスク13のテンションを算出する(図7に示すステップST29)。これにより、マスク13のテンションの値TがT=S2−S1という下方撓みの量で求められる(図10)。
When the descending amount acquisition
このように本実施の形態において、ステップST28は、取得した第1の下降量S1と第2の下降量S2との差分からマスク13のテンションを算出する工程となっている。
As described above, in the present embodiment, step ST28 is a step of calculating the tension of the
制御装置17の記憶部17cには、マスク13のテンションの正常範囲の上限値(T0とする)が記憶されており、制御装置17は、ステップST29で算出したマスク13のテンションの値Tをマスク13のテンションの正常範囲の上限値T0と比較し、算出したマスク13のテンションが正常であるかどうかの判断を行う(図7に示すステップST30)。この判断では、算出したマスク13のテンションが正常範囲の上限値T0以下であれば正常と判断し、算出したマスク13のテンションの値Tが上限値T0を超えていれば非正常と判断する。
The
制御装置17は、マスク13のテンションが正常であると判断した場合には、前述のディスプレイ装置16にマスク13のテンションが正常である旨の報知を行ったうえで(図7に示すステップST31)、メインルーチンに戻る。
When determining that the tension of the
一方、制御装置17は、マスク13のテンションが非正常であると判断した場合には、ディスプレイ装置16にマスク13のテンションが非正常である旨の報知を行ったうえで(図7に示すステップST32)、待機状態に入る(図7に示すステップST33)。そして、制御装置17は、ディスプレイ装置16においてマスク13のテンションが非正常である旨の報知を受けたオペレータがマスク13の交換を行ったうえで操作する動作再開ボタン69(図1)の操作信号の出力に基づいて、オペレータが動作再開ボタン69の操作を行ったかどうかの判断を一定時間おきに繰り返し実行する(図7に示すステップST34)。その結果、制御装置17は、オペレータが動作再開ボタン69の操作を行ったと判断した場合には、ステップST21に戻ってマスク13のテンションの計測を再実行する。
On the other hand, when the
これにより、マスク13のテンションが非正常な状態のまま(下方撓みの量が大きいまま)、スクリーン印刷作業が実行されて不良基板が生産されることが防止される。
Accordingly, it is possible to prevent the defective substrate from being produced by performing the screen printing operation while the tension of the
このように、本実施の形態において、制御装置17の下降量取得動作制御部17bは、一対のクランプ部材25をマスク13に接触させた状態でスキージ42を一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第1の下降量S1として取得し、マスク13の一対のクランプ部材25と接触していない部分にスキージ42を接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が同じ所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第2の下降量S2として取得する下降量取得手段となっている。
As described above, in this embodiment, the descending amount acquisition
また、制御装置17のテンション算出部17dは、下降量取得手段としての下降量取得動作制御部17bが取得した第1の下降量S1と第2の下降量S2との差分からマスク13のテンションを算出するテンション算出手段となっている。
Further, the
上記のようにして、制御装置17の下降量取得動作制御部17bとテンション算出部17dによるマスク13のテンションの計測(ステップST1)が終了したら、制御装置17の転写動作制御部17e(図1)は、スクリーン印刷機1の上流側に設置された他の装置等(図示せず)から基板2が送られてきたことを検知したところで基板保持ユニット11のコンベア22を作動させて、スクリーン印刷機1内に基板2を搬入する(図6に示すステップST2)。
When the measurement of the tension of the mask 13 (step ST1) by the descending amount acquisition
制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2の搬入を行ったら、基板保持機構71の作動制御を行って基板2を保持する(図6に示すステップST3)。基板2の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ23で下受け部24を押し上げて基板2をコンベア22から浮いた状態に持ち上げる一方(図11(a)中に示す矢印C1)、一対のクランプ部材25を閉じる方向に駆動して基板2の両端を挟み込む(図11(a)中に示す矢印D1)ことによって行う(図11(a))。
After carrying in the
制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2を保持したら、カメラユニット移動機構15Mの作動制御を行い、下方撮像カメラ15aを基板2に設けられた基板側マーク2mの直上に位置させて下方撮像カメラ15aに基板側マーク2mの撮像を行わせる一方、上方撮像カメラ15bをマスク13に設けられたマスク側マーク13mの直下に位置させて上方撮像カメラ15bにマスク側マーク13mの撮像を行わせる。そして制御装置17の転写動作制御部17eは、得られた基板側マーク2mの画像データから基板2の位置を把握するとともに、得られたマスク側マーク13mの画像データからマスク13の位置を把握し、基板保持ユニット11を水平面内方向に移動させ、基板側マーク2mとマスク側マーク13mとが上下に対向するようにして、マスク13に対する基板2の水平面内方向の位置合わせを行う(図6に示すステップST4)。
When the transfer operation control unit 17e of the
制御装置17の転写動作制御部17eは、マスク13に対する基板2の位置合わせが終わったら、ユニット移動機構11Mの作動制御を行って基板保持ユニット11を基台10に対して上昇させ(図11(b)中に示す矢印E1)、基板2を保持した一対のクランプ部材25がマスク13の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材25及び基板2それぞれの上面をマスク13の下面に接触させる(図11(b)。図6に示すステップST5)。これにより基板2上の電極3とマスク13の開口部13hとが合致した状態となる。
When the positioning of the
なお、このように一対のクランプ部材25及び基板2それぞれの上面がマスク13の下面に接触した状態では、マスク13上には、コンベア22による基板2の搬送方向(X軸方向)と直交する水平面内方向(Y軸方向)において、基板2と接触した領域(基板2上のマスク領域R1)と、各クランプ部材25と接触した2つの領域(クランプ部材25上のマスク領域R2)とが形成される。
When the upper surfaces of the pair of
制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2をマスク13に接触させたら、ディスプレイ装置16に、オペレータにペーストPtの供給を促すメッセージを表示する(図6に示すステップST6)。これに対してオペレータは、現在、マスク13上に残っているペーストPtを目視し、そのペーストPtの量に基づいてペーストPtの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストPtの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ80(図12(a))により、マスク13上にペーストPtの供給を行う。そして、ペーストPtの供給が終わったら、前述の動作再開ボタン69の操作を行う。オペレータは、ペーストPtの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタン69の操作を行う。
When the transfer operation control unit 17e of the
制御装置17の転写動作制御部17eは、ステップST6において、ディスプレイ装置16にペーストPtの供給を促すメッセージを表示した後、動作再開ボタン69の操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い(図6に示すステップST7)、動作再開ボタン69からの信号出力に基づいて、オペレータによって動作再開ボタン69の操作がなされたことを検知したときには、スキージヘッド14を一対のクランプ部材25の一方の上方に位置させたうえで、2つのスキージ42のうちの一方を下降させて、そのスキージ42の下縁をクランプ部材25と接触しているマスク13の上面(クランプ部材25上のマスク領域R2)に当接させる(図6に示すステップST8)。
In step ST6, the transfer operation control unit 17e of the
なお、このとき下降させる(マスク13に当接させる)スキージ42は、スキージヘッド14を前側のクランプ部材25の上方に位置させたときには前側のスキージ42であり、スキージヘッド14を後側のクランプ部材25の上方に位置させたときには後側のスキージ42である。
The
制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ軸33の下動によってクランプ部材25上のマスク領域R2の上面にスキージ42を当接させたら、ベース部材移動機構14Mを作動させて、スキージ42をマスク13の上面に当接させた状態でベース部材31を(すなわちスキージ42を)マスク13に対して水平方向(Y軸方向)に移動させることにより(図12(b)中に示す矢印F)、マスク13上に供給したペーストPtをスキージ42によって掻き寄せてマスク13の開口部13h内に押し込み、電極3にペーストPtを転写させる(図6に示すステップST9)。
When the
このように制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ軸33の下動によってマスク13の上面にスキージ42を当接させた状態でベース部材31をマスク13に対して水平方向に移動させることにより、マスク13上に供給されたペーストPtをスキージ42で掻き寄せて基板2に転写させる転写動作制御手段となっている。
As described above, the transfer operation control unit 17 e of the
このステップST9では、制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ42を、一方のクランプ部材25上のマスク領域R2から基板2上のマスク領域R1を通って他方のクランプ部材25上のマスク領域R2まで移動させる。具体的には、前側のスキージ42については、前側のクランプ部材25上のマスク領域R2から後側のクランプ部材25上のマスク領域R2まで移動させ、後側のスキージ42については、後側のクランプ部材25上のマスク領域R2から前側のクランプ部材25上のマスク領域R2まで移動させる。
In step ST9, the transfer operation control unit 17e of the
制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ42が一方のクランプ部材25上のマスク領域R1から他方のクランプ部材25上のマスク領域R2に達してペーストPtの転写が終了したことを検知したら、ベース部材31の移動を停止させたうえで、マスク13に当接させていたスキージ42のスキージ軸33をベース部材31に対して上動させてスキージ42をマスク13から離間させる(図6に示すステップST10)。
When the transfer operation control unit 17e of the
制御装置17の転写動作制御部17eは、スキージ42をマスク13から離間させたら、ユニット移動機構11Mを作動させて基板保持ユニット11を下降させ(図13(a)中に示す矢印E2)、マスク13から基板2及び一対のクランプ部材25を離間させて版離れを行う(図13(a)。図6に示すステップST11)。
When the
制御装置17の転写動作制御部17eは、版離れが終了したら、基板保持機構71を作動させて一対のクランプ部材25を開かせたうえで(図13(b)中に示す矢印D2)、下受け部24を下降させて(図13(b)中に示す矢印C2)、基板2の両端を一対のコンベア22上に降ろす(図13(b))。これにより基板保持ユニット11による基板2の保持が解除される(図6に示すステップST12)。
When the plate separation is completed, the transfer operation control unit 17e of the
制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2の保持を解除したら、ユニット移動機構11Mを作動させて基板保持ユニット11を水平面内で移動させ、コンベア22の向きを整えたうえで、コンベア22を作動させて基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図6に示すステップST13)。
When the transfer operation control unit 17e of the
制御装置17の転写動作制御部17eは、基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図6に示すステップST14)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST2に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。
When the transfer operation control unit 17e of the
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1(スクリーン印刷機1のマスク13のテンション計測方法)によれば、マスク13全体のテンションを計測することができるが、一対のクランプ部材25をマスク13に接触させた状態で、スキージ42を一対のクランプ部材25と接触していない部分のマスク13(基板2上のマスク領域R1)に接触させた後、荷重測定器67によって測定されるスキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに下降量検出器68によって検出されるスキージ軸33の下降量を第2の下降量S2として取得するようにすることによって、金属板13bの部分の局部的なテンションを計測することができる。これは、具体的には、マスク13のテンション計測作業のサブルーチン(図7)のステップST25で、一対のクランプ部材25をマスク13から離間させることなく(ステップST25を実行することなく)ステップST26以下の工程を実行すれば実現できる。
Thus, according to the screen printing machine 1 (the tension measuring method for the
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、一対のクランプ部材25をマスク13に接触させた状態でスキージ42を一方のクランプ部材25上のマスク13に接触させた後、スキージ軸33の軸方向荷重が所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに検出されるスキージ軸33の下降量(第1の下降量S1)と、マスク13の一対のクランプ部材25と接触していない部分にスキージ42を接触させた後、スキージ軸33の軸方向荷重が同じ所定の値Pになるまでスキージ軸33を下動させたときに検出されるスキージ軸33の下降量(第2の下降量S2)を求めてこれら両下降量S1,S2の差分からマスク13のテンション(マスク13全体のテンション若しくは金属板13bの部分の局部的なテンション)を算出するようになっており、マスク13のテンションの計測の間、マスク13をスクリーン印刷機1から取り外す必要がないので、マスク13のテンションを簡便かつ迅速に求めることができる。
As described above, in the
マスクのテンションを簡便かつ迅速に求めることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法を提供する。 Provided are a screen printing machine and a mask tension measuring method for a screen printing machine, in which a mask tension can be obtained easily and quickly.
1 スクリーン印刷機
2 基板
13 マスク
17b 下降量取得動作制御部(下降量取得手段)
17d テンション算出部(テンション算出手段)
17e 転写動作制御部(転写動作制御手段)
25 クランプ部材
31 ベース部材
33 スキージ軸
42 スキージ
66 弾性体
67 荷重測定器(荷重測定手段)
68 下降量検出器(下降量検出手段)
Pt ペースト
DESCRIPTION OF
17d Tension calculation unit (tension calculation means)
17e Transfer operation control unit (transfer operation control means)
25
68 Descent amount detector (Descent amount detection means)
Pt paste
Claims (3)
基板を保持した一対のクランプ部材が相対的に下方から押し当てられることにより、一対のクランプ部材及び基板それぞれの上面と接触するマスクと、
マスクに対して水平方向に移動されるベース部材と、
ベース部材から下方に延び、ベース部材に対して上下動自在に設けられたスキージ軸と、
スキージ軸の下端に取り付けられたスキージと、
スキージ軸の下動によってマスクの上面にスキージを当接させた状態でベース部材をマスクに対して水平方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せて基板に転写させる転写動作制御手段と、
スキージ軸を下動させたときのスキージ軸の下降量を検出する下降量検出手段と、
スキージ軸の軸方向荷重を測定する荷重測定手段と、
一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第1の下降量として取得し、その後、一対のクランプ部材の上面をマスクの下面から離間させ、或いは一対のクランプ部材をマスクから離間させることなく、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が前記所定の値になるまでスキージ軸を下動させたときに下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第2の下降量として取得する下降量取得手段と、
下降量取得手段が取得した第1の下降量と第2の下降量との差分からマスクのテンションを算出するテンション算出手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。 A pair of clamp members for holding both sides of the substrate;
A pair of clamp members holding the substrate are relatively pressed from below so that the mask contacts the upper surfaces of the pair of clamp members and the substrate, and
A base member that is moved horizontally relative to the mask;
A squeegee shaft that extends downward from the base member and is vertically movable with respect to the base member;
A squeegee attached to the lower end of the squeegee shaft;
By moving the base member horizontally with respect to the mask while the squeegee is in contact with the upper surface of the mask by the downward movement of the squeegee shaft, the paste supplied on the mask is scraped by the squeegee and transferred to the substrate. A transfer operation control means;
A descent amount detecting means for detecting a descent amount of the squeegee shaft when the squeegee shaft is moved down;
Load measuring means for measuring the axial load of the squeegee shaft;
After the squeegee is brought into contact with the mask on one clamp member while the pair of clamp members are in contact with the mask, the squeegee shaft is moved until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches a predetermined value. The lowering amount of the squeegee shaft detected by the lowering amount detecting means when it is moved downward is acquired as the first lowering amount, and then the upper surfaces of the pair of clamp members are separated from the lower surface of the mask, or the pair of clamp members After the squeegee is brought into contact with a portion of the mask that is not in contact with the pair of clamp members without being separated from the mask, the squeegee is loaded until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches the predetermined value. Descent amount acquisition means for acquiring the descent amount of the squeegee shaft detected by the descent amount detection means when the shaft is moved down as a second descent amount;
A screen printing machine comprising: a tension calculating unit that calculates a mask tension from a difference between the first descending amount and the second descending amount acquired by the descending amount acquiring unit.
一対のクランプ部材をマスクに接触させた状態でスキージを一方のクランプ部材上のマスクに接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が所定の値になるまでスキージ軸を下動させ、そのとき下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第1の下降量として取得する工程と、
前記第1の下降量を取得した後、一対のクランプ部材の上面をマスクの下面から離間させ、一対のクランプ部材をマスクから離間させることなく、マスクの一対のクランプ部材と接触していない部分にスキージを接触させた後、荷重測定手段によって測定されるスキージ軸の軸方向荷重が前記所定の値になるまでスキージ軸を下動させ、そのとき下降量検出手段によって検出されるスキージ軸の下降量を第2の下降量として取得する工程と、
取得した第1の下降量と第2の下降量との差分からマスクのテンションを算出する工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法。 A pair of clamp members that hold both sides of the substrate and a pair of clamp members that hold the substrate relatively pressed from below so that the pair of clamp members and the mask that contacts the upper surfaces of the substrate, A base member that is moved in a horizontal direction with respect to the mask, a squeegee shaft that extends downward from the base member and is movable up and down relative to the base member, a squeegee attached to a lower end of the squeegee shaft, and a squeegee shaft Transfer operation to scrape the paste supplied on the mask with the squeegee and transfer it to the substrate by moving the base member horizontally with respect to the mask with the squeegee in contact with the upper surface of the mask Control means, descent amount detecting means for detecting the descent amount of the squeegee axis when the squeegee axis is moved down, and measuring the axial load of the squeegee axis. A tension measuring method for a mask of a screen printing machine comprising a load measuring means for,
After the squeegee is brought into contact with the mask on one clamp member while the pair of clamp members are in contact with the mask, the squeegee shaft is moved until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches a predetermined value. Obtaining a first descending amount, a descending amount of the squeegee shaft detected by the descending amount detecting means at that time;
After obtaining the first descending amount, the upper surfaces of the pair of clamp members are separated from the lower surface of the mask, and the pair of clamp members are not separated from the mask and are not in contact with the pair of clamp members of the mask. After the squeegee is brought into contact, the squeegee shaft is moved downward until the axial load of the squeegee shaft measured by the load measuring means reaches the predetermined value. Obtaining the second descending amount;
A mask tension measuring method for a screen printing machine, comprising: calculating a mask tension from a difference between the acquired first descending amount and the second descending amount.
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