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JP5907754B2 - Piezoelectric device - Google Patents
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Description

本発明は、電子機器等に用いられる圧電デバイスに関するものである。   The present invention relates to a piezoelectric device used in electronic equipment and the like.

携帯電話機等の電子機器には、基準信号源またはクロック信号源などの信号源が搭載されており、かかる信号源として、圧電振動素子およびIC素子を有する圧電デバイスが知られている。   Electronic devices such as cellular phones are equipped with a signal source such as a reference signal source or a clock signal source. As such a signal source, a piezoelectric device having a piezoelectric vibration element and an IC element is known.

圧電デバイスは、電子機器において求められている用途に応じた信号を出力する必要がある。出力信号の違いとしては、周波数の違いまたは波形の違い等がある。周波数が異なる出力信号とは、例えば源振周波数信号および分周信号であり、波形が異なる出力信号とは、例えば正弦波および矩形波である。   The piezoelectric device needs to output a signal corresponding to an application required in an electronic device. The difference in output signal includes a difference in frequency or a difference in waveform. The output signals having different frequencies are, for example, a source frequency signal and a frequency-divided signal, and the output signals having different waveforms are, for example, a sine wave and a rectangular wave.

特開2008−289139号公報JP 2008-289139 A

従来、異なる信号を出力する圧電デバイスを実現するためには、その出力信号に応じて専用のIC素子を準備する必要があり、生産コストの低減が困難であった。   Conventionally, in order to realize a piezoelectric device that outputs different signals, it is necessary to prepare a dedicated IC element according to the output signal, and it has been difficult to reduce production costs.

本発明の一つの態様による圧電デバイスは、出力外部端子を有する素子搭載部材とバンプによって素子搭載部材に搭載されたIC素子と、素子搭載部材に搭載された圧電振動素子とを含んでいる。IC素子は、第1の信号が出力される第1の出力電極および第1の信号とは異なる第2の信号が出力される第2の出力電極を有している。圧電振動素子は、IC素子に電気的に接続されている。第1の出力電極および第2の出力電極のいずれかにバンプが選択的に設けられていることによって、第1の出力電極および第2の出力電極のいずれかが、出力外部端子に電気的に接続されており、素子搭載部材が、出力外部端子に電気的に接続されたIC素子搭載用の共通出力パッドを有しており、バンプによって第1の出力電極および前記第2の出力電極のいずれかが共通出力パッドに電気的に接続されている。 A piezoelectric device according to one aspect of the present invention includes an element mounting member having an output external terminal, an IC element mounted on the element mounting member by a bump, and a piezoelectric vibration element mounted on the element mounting member. The IC element has a first output electrode from which a first signal is output and a second output electrode from which a second signal different from the first signal is output. The piezoelectric vibration element is electrically connected to the IC element. By selectively providing a bump on either the first output electrode or the second output electrode, either the first output electrode or the second output electrode is electrically connected to the output external terminal. The element mounting member has a common output pad for mounting an IC element electrically connected to the output external terminal, and any one of the first output electrode and the second output electrode is formed by the bump. Are electrically connected to the common output pad .

本発明の一つの態様による圧電デバイスにおいて、第1の出力電極および第2の出力電極のいずれかにバンプが選択的に設けられており、第1の出力電極および第2の出力電極のいずれかが出力外部端子に電気的に接続されていることによって、圧電デバイスは、IC素子の複数の出力電極と出力外部端子との電気的な接続関係の選択によって異なる信号を出力することができるようになり、専用のIC素子を準備する必要がなくなり、生産コストに関して改善されている。   In the piezoelectric device according to one aspect of the present invention, the bump is selectively provided on either the first output electrode or the second output electrode, and either the first output electrode or the second output electrode is provided. Is electrically connected to the output external terminal so that the piezoelectric device can output different signals depending on the selection of the electrical connection relationship between the plurality of output electrodes of the IC element and the output external terminal. Thus, there is no need to prepare a dedicated IC element, and the production cost is improved.

本発明の第1の実施形態における圧電デバイスを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the piezoelectric device in the 1st Embodiment of this invention. 図1に示された圧電デバイスにおいてIC素子を取り外した状態を示す下面図である。It is a bottom view which shows the state which removed the IC element in the piezoelectric device shown by FIG. 図1に示された圧電デバイスにおけるIC素子を示す下面図である。It is a bottom view which shows the IC element in the piezoelectric device shown by FIG. 図2に示された圧電デバイスにおけるIC素子の電気的な接続の一つの例を示す下面図である。It is a bottom view which shows one example of the electrical connection of the IC element in the piezoelectric device shown by FIG. 図2に示された圧電デバイスにおけるIC素子の電気的な接続の他の例を示す下面図である。It is a bottom view which shows the other example of the electrical connection of the IC element in the piezoelectric device shown by FIG. 本発明の第2の実施形態における圧電デバイスにおいてIC素子を取り外した状態を示す下面図である。It is a bottom view which shows the state which removed the IC element in the piezoelectric device in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態におけるIC素子の電気的な接続の一つの例を示す下面図である。It is a bottom view which shows one example of the electrical connection of the IC element in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態におけるIC素子の電気的な接続の他の例を示す下面図である。It is a bottom view which shows the other example of the electrical connection of the IC element in the 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明のいくつかの例示的な実施形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, some exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図1に示されているように、本発明の第1の実施形態における圧電デバイス100は、素子搭載部材110と、素子搭載部材110に搭載されたIC素子120と、素子搭載部材110に搭載されておりIC素子120に電気的に接続された圧電振動素子130とを含んでいる。なお、図1は、図4に示されている圧電デバイス100のA―Aにおける縦断面図を示している。
(First embodiment)
As shown in FIG. 1, the piezoelectric device 100 according to the first embodiment of the present invention is mounted on the element mounting member 110, the IC element 120 mounted on the element mounting member 110, and the element mounting member 110. And a piezoelectric vibration element 130 electrically connected to the IC element 120. FIG. 1 is a longitudinal sectional view taken along line AA of the piezoelectric device 100 shown in FIG.

素子搭載部材110は、基板部110aと基板部110aの下面に設けられた第1の枠部110bと基板部110aの上面に設けられた第2の枠部110cとからなる絶縁基体と、基板部110aの下面に設けられた複数のIC素子搭載パッド113と、第1の枠部110bの下面に設けられた複数の外部端子116とを含んでいる。ここで、素子搭載部材110の下面の凹部空間を第1の凹部空間K1、上面の凹部空間を第2の凹部空間K2とする。   The element mounting member 110 includes an insulating base including a substrate portion 110a, a first frame portion 110b provided on the lower surface of the substrate portion 110a, and a second frame portion 110c provided on the upper surface of the substrate portion 110a, and a substrate portion. A plurality of IC element mounting pads 113 provided on the lower surface of 110a and a plurality of external terminals 116 provided on the lower surface of the first frame portion 110b are included. Here, the recessed space on the lower surface of the element mounting member 110 is defined as a first recessed space K1, and the recessed space on the upper surface is defined as a second recessed space K2.

図2において、複数のIC素子搭載パッド113は、符号113の後にアルファベットのa〜fを付して113a〜113fとして示されている。また、複数の外部端子116は、符号116の後にアルファベットのa〜dを付して116a〜116dとして示されている。複数の外部端子116a〜116dは、例えば、出力外部端子116a、接地外部端子116b、制御外部端子116cおよび電源外部端子116dである。   In FIG. 2, the plurality of IC element mounting pads 113 are indicated as 113 a to 113 f by adding alphabet letters a to f after the reference numeral 113. The plurality of external terminals 116 are indicated as 116a to 116d by adding alphabetic letters a to d after the reference numeral 116. The plurality of external terminals 116a to 116d are, for example, an output external terminal 116a, a ground external terminal 116b, a control external terminal 116c, and a power supply external terminal 116d.

基板部110aと第1の枠部110bと第2の枠部110cとは、例えば、アルミナセラミックスまたはガラス−セラミックス等のセラミック材料からなる。なお、基板部110aは、例えば、図1および図2に示されているように、矩形の平板状である。第1の枠部110bは、基板部110aの下面の縁部に沿って設けられている。また、第2の枠部110cは、基板部110aの上面の縁部に沿って設けられている。   The substrate part 110a, the first frame part 110b, and the second frame part 110c are made of a ceramic material such as alumina ceramics or glass-ceramics. In addition, the board | substrate part 110a is a rectangular flat plate shape as FIG. 1 and FIG. 2 show, for example. The first frame portion 110b is provided along the edge portion of the lower surface of the substrate portion 110a. The second frame part 110c is provided along the edge part of the upper surface of the substrate part 110a.

複数のIC素子搭載パッド113は、第1の凹部空間K1の底面に設けられており、共通出力パッド113aを含んでいる。ここで、共通出力パッドとは、後述するIC素子120の複数の電極に対応して共通的に配置されている出力用のパッドのことをいう。共通出力パッド113aは、IC素子120から出力された信号が印加されるパッドであり、出力外部端子116aに電気的に接続されている。   The plurality of IC element mounting pads 113 are provided on the bottom surface of the first recess space K1 and include a common output pad 113a. Here, the common output pad refers to an output pad that is commonly arranged corresponding to a plurality of electrodes of the IC element 120 described later. The common output pad 113a is a pad to which a signal output from the IC element 120 is applied, and is electrically connected to the output external terminal 116a.

また、複数のIC素子搭載パッド113は、パッド113b〜113fも含んでいる。ここで、複数のIC素子搭載パッド113b〜113fの例について説明する。複数のIC素子搭載パッド113b〜113fは、例えば、接地パッド113b、第1の入力パッド113cおよび第2の入力パッド113d、制御パッド113e、および電源パッド113fである。接地パッド113bは、接地外部端子116bに電気的に接続されており、接地電圧が印加される。第1および第2の入力パッド113bおよび113dは、圧電振動素子130に電気的に接続されている。制御パッド113eは、制御外部端子116cに電気的に接続されており、IC素子120の出力状態を制御するための信号(すなわち、制御信号)が印加される。ここで、制御信号とは、IC素子120から互いに異なる種類の複数の信号が出力され得る場合に、IC素子120から出力される信号を選択的に決定するための信号である。電源パッド113fは、電源外部端子116dに電気的に接続されており、電源電圧が印加される。   The plurality of IC element mounting pads 113 also include pads 113b to 113f. Here, an example of the plurality of IC element mounting pads 113b to 113f will be described. The plurality of IC element mounting pads 113b to 113f are, for example, a ground pad 113b, a first input pad 113c and a second input pad 113d, a control pad 113e, and a power supply pad 113f. The ground pad 113b is electrically connected to the ground external terminal 116b, and a ground voltage is applied. The first and second input pads 113 b and 113 d are electrically connected to the piezoelectric vibration element 130. The control pad 113e is electrically connected to the control external terminal 116c, and a signal (that is, a control signal) for controlling the output state of the IC element 120 is applied. Here, the control signal is a signal for selectively determining a signal output from the IC element 120 when a plurality of different types of signals can be output from the IC element 120. The power supply pad 113f is electrically connected to the power supply external terminal 116d and is applied with a power supply voltage.

IC素子120は、第1の凹部空間K1内に設けられており、半田等のバンプ122によって素子搭載部材110の複数のIC素子搭載パッド113に電気的に接続されている。図3に示されているように、IC素子120は、複数の電極121を有している。図3において、複数の電極121は、IC素子120の一部を透過した状態で破線によって示されている。図3において、複数の電極121は、符号121の後にアルファベットのa〜fを付して121a〜121fとして示されている。なお、電極121aは、アルファベットaの後ろにさらに符号を付して、電極121aおよび121aとして示されている。 The IC element 120 is provided in the first recess space K1 and is electrically connected to the plurality of IC element mounting pads 113 of the element mounting member 110 by bumps 122 such as solder. As shown in FIG. 3, the IC element 120 has a plurality of electrodes 121. In FIG. 3, the plurality of electrodes 121 are indicated by broken lines in a state where a part of the IC element 120 is transmitted. In FIG. 3, the plurality of electrodes 121 are indicated as 121 a to 121 f by adding alphabets a to f after the reference numeral 121. The electrode 121a further by reference numeral behind the alphabet a, shown as electrodes 121a 1 and 121a 2.

ここで、複数の電極121a〜121fの例について説明する。複数の電極121は、例えば、第1の出力電極121a、第2の出力電極121a、接地電極121b、第1の入力電極121c、第2の入力電極121d、制御電極121eおよび電源電極121fである。 Here, an example of the plurality of electrodes 121a to 121f will be described. The plurality of electrodes 121 are, for example, a first output electrode 121a 1 , a second output electrode 121a 2 , a ground electrode 121b, a first input electrode 121c, a second input electrode 121d, a control electrode 121e, and a power supply electrode 121f. is there.

第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aからは、異なる種類の信号が出力され得る。第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aからの信号の出力状態は、制御電極121eに入力される制御信号によって決定される。異なる種類の信号とは、例えば周波数が異なる信号または波形が異なる信号等である。周波数が異なる出力信号とは、例えば源振周波数信号および分周信号であり、波形が異なる出力信号とは、例えば正弦波および矩形波である。 From the first output electrode 121a 1 and the second output electrodes 121a 2, different types of signals can be output. The output state of signals from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 is determined by a control signal input to the control electrode 121e. The different types of signals are, for example, signals having different frequencies or signals having different waveforms. The output signals having different frequencies are, for example, a source frequency signal and a frequency-divided signal, and the output signals having different waveforms are, for example, a sine wave and a rectangular wave.

第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのどちら一方が、バンプ122によって選択的に共通出力パッド113aに電気的に接続される。すなわち、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのどちら一方にバンプ122が設けられて、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのどちら一方が、共通出力パッド113aに接合される。 One of the first output electrode 121 a 1 and the second output electrode 121 a 2 is selectively electrically connected to the common output pad 113 a by the bump 122. That is, the bump 122 is provided on either one of the first output electrode 121a 1 and the second output electrodes 121a 2, one either of the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 is common output Bonded to the pad 113a.

接地電極121bは、接地パッド113bに電気的に接続されており、接地電圧が印加される。第1の入力電極121cおよび第2の入力電極121dは、第1の入力パッド113cおよび第2の入力パッド113dを介して圧電振動素子130に電気的に接続されている。制御電極121eは、制御パッド113eに電気的に接続されており、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aからの信号の出力状態を制御するための信号が入力される。電源電極121fは、電源パッド113fに電気的に接続されており、電源電圧が印加される。 The ground electrode 121b is electrically connected to the ground pad 113b and is applied with a ground voltage. The first input electrode 121c and the second input electrode 121d are electrically connected to the piezoelectric vibration element 130 via the first input pad 113c and the second input pad 113d. The control electrode 121e is electrically connected to the control pad 113e, the signal for controlling the output state of the first output electrode 121a 1 and a second signal from the output electrode 121a 2 are inputted. The power supply electrode 121f is electrically connected to the power supply pad 113f and applied with a power supply voltage.

圧電振動素子130は、第2の凹部空間K2内に設けられており、第1および第2の入力パッド113cおよび113dを介してIC素子120の第1の入力電極121cおよび第2の入力電極121dに電気的に接続されている。圧電振動素子130は、所定の結晶軸でカットされた圧電素板と、圧電素板に形成された接続用電極および励振用電極とを含んでいる。圧電振動素子130は、接続用電極および励振用電極を介して外部からの変動電圧が圧電素板に印加されると、所定の周波数で厚みすべり振動を起こすようになっている。なお、圧電素板としては、例えばATカットの水晶が用いられる。また、圧電振動素子130が収容されている素子搭載部材110の第2の凹部空間K2は、蓋部材140によって気密封止されている。   The piezoelectric vibration element 130 is provided in the second recess space K2, and the first input electrode 121c and the second input electrode 121d of the IC element 120 are provided via the first and second input pads 113c and 113d. Is electrically connected. The piezoelectric vibration element 130 includes a piezoelectric element plate cut along a predetermined crystal axis, and a connection electrode and an excitation electrode formed on the piezoelectric element plate. The piezoelectric vibration element 130 causes thickness-shear vibration at a predetermined frequency when an external variable voltage is applied to the piezoelectric element plate via the connection electrode and the excitation electrode. As the piezoelectric element plate, for example, AT-cut quartz is used. The second recessed space K2 of the element mounting member 110 in which the piezoelectric vibration element 130 is accommodated is hermetically sealed by the lid member 140.

ここで、本実施形態の圧電デバイス100におけるIC素子120の素子搭載部材110との電気的な接続の例について図4および図5を参照して説明する。   Here, an example of electrical connection between the IC element 120 and the element mounting member 110 in the piezoelectric device 100 of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

まず、図4に示されているように、IC素子120の第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第1の出力電極121aが選択的に素子搭載部材110の共通出力パッド113aに電気的に接続されている例について説明する。第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第1の出力電極121aにバンプ122が設けられており、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第1の出力電極121aが、共通出力パッド113aに接合されている。 First, as shown in FIG. 4, the common first output electrode 121a 1 and the second of the first output electrode 121a 1 is selectively element mounting member 110 of the output electrode 121a 2 of the IC element 120 An example in which the output pad 113a is electrically connected will be described. Among the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 , the first output electrode 121a 1 is provided with a bump 122, and among the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 , The first output electrode 121a 1 is joined to the common output pad 113a.

図4に示された電気的接続例においては、第1の出力電極121aから出力された信号が共通出力パッド113aを介して出力外部端子116aに伝わる。図4に示された電気的接続例においては、第1の出力電極121aから出力された信号が共通出力パッド113aを介して出力外部端子116aに印加される。 In the electrical connection example shown in FIG. 4 is transmitted to the first output signal output from the electrode 121a 1 via a common output pad 113a output external terminal 116a. In the electrical connection example shown in FIG. 4, a signal output from the first output electrode 121a 1 is applied to the output external terminal 116a via a common output pad 113a.

第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aから出力される種類の異なる信号が例えば周波数が異なる信号であれば、第1の出力電極121aからは例えば源振周波数信号または分周信号が出力されて出力外部端子116aに印加される。第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aから出力される種類の異なる信号が例えば波形が異なる信号であれば、第1の出力電極121aからは例えば正弦波または矩形波が出力されて出力外部端子116aに印加される。 If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 are signals having different frequencies, for example, the source output frequency signal or the frequency division is output from the first output electrode 121a 1. A signal is output and applied to the output external terminal 116a. If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 have different waveforms, for example, a sine wave or a rectangular wave is output from the first output electrode 121a 1. And applied to the output external terminal 116a.

なお、図4に示された電気的接続例において、IC素子120の制御電極121eに入力される制御信号は、第1の出力電極121aから信号を出力して第2の出力電極121aからは信号を出力しないようにするものである。 Note that in the electrical connection example shown in FIG. 4, a control signal input to the control electrode 121e of the IC element 120, the second from the output electrode 121a 2 by outputting a signal from the first output electrode 121a 1 Does not output a signal.

次に、図5に示されているように、IC素子120の第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第2の出力電極121aが選択的に素子搭載部材110の共通出力パッド113aに電気的に接続されている例について説明する。第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第2の出力電極121aにバンプ122が設けられており、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第2の出力電極121aが、共通出力パッド113aに接合されている。 Next, as shown in Figure 5, the first output electrode 121a 1 and the second of the second output electrode 121a 2 is selectively element mounting member 110 of the output electrode 121a 2 of the IC element 120 An example of being electrically connected to the common output pad 113a will be described. Among the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 , the second output electrode 121a 2 is provided with a bump 122, and among the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 , The second output electrode 121a 2 is joined to the common output pad 113a.

図5に示された電気的接続例においては、第2の出力電極121aから出力された信号が共通出力パッド113aを介して出力外部端子116aに伝わる。図5に示された電気的接続例においては、第2の出力電極121aから出力された信号が共通出力パッド113aを介して出力外部端子116aに印加される。 In the electrical connection example shown in Figure 5, the signal output from the second output electrode 121a 2 is transmitted to the external output terminal 116a via a common output pad 113a. In electrical connection example shown in FIG. 5, the signal output from the second output electrode 121a 2 is applied to the output external terminal 116a via a common output pad 113a.

第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aから出力される種類の異なる信号が例えば周波数が異なる信号であれば、第2の出力電極121aからは例えば源振周波数信号または分周信号が出力されて出力外部端子116aに印加される。第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aから出力される種類の異なる信号が例えば波形が異なる信号であれば、第2の出力電極121aからは例えば正弦波または矩形波が出力されて出力外部端子116aに印加される。 If the first output electrode 121a 1 and a second different signal is, for example, a frequency different from the signal output from the output electrode 121a 2, from the second output electrode 121a 2 example source oscillation frequency signal or divider A signal is output and applied to the output external terminal 116a. If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 have different waveforms, for example, a sine wave or a rectangular wave is output from the second output electrode 121a 2. And applied to the output external terminal 116a.

なお、図5に示された電気的接続例において、IC素子120の制御電極121eに入力される制御信号は、第2の出力電極121aから信号を出力して第1の出力電極121aからは信号を出力しないようにするものである。 Note that in the electrical connection example shown in FIG. 5, the control signal input to the control electrode 121e of the IC element 120, from the first output electrode 121a 1 outputs a signal from the second output electrode 121a 2 Does not output a signal.

上述のように、本実施形態の圧電デバイス100において、IC素子120が第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのいずれかに選択的にバンプ122が設けられており、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのいずれかが出力外部端子116aに電気的に接続されていることによって、圧電デバイス100は、IC素子120の複数の出力電極121aおよび121aと出力外部端子116aとの電気的な接続関係の選択によって異なる信号を出力することができるようになり、専用のIC素子を準備する必要がなくなり、生産コストに関して改善されている。 As described above, in the piezoelectric device 100 of this embodiment, IC device 120 has selectively bump 122 is provided on either the first output electrode 121a 1 and the second output electrodes 121a 2, first by any of the output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 are electrically connected to the output external terminal 116a, the piezoelectric device 100 includes a plurality of outputs of the IC element 120 electrodes 121a 1 and 121a 2 By selecting the electrical connection relationship between the output external terminal 116a and the output external terminal 116a, different signals can be output, so that it is not necessary to prepare a dedicated IC element, and the production cost is improved.

また、本実施形態の圧電デバイス100において、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのいずれかが電気的に接続されるパッド113が、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aに対応して共通的に配置された共通出力パッド113aであることによって、共通出力パッド113aから出力外部端子116aまでの電気的経路を一つの配線で実現し得るため、本実施形態の圧電デバイス100は、配線設計の自由度に関して向上されており、例えば低背化または小型化等を図ることが可能となる。 Further, in the piezoelectric device 100 of this embodiment, the pads 113 of either the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 are electrically connected to the first output electrode 121a 1 and a second by a common output pad 113a, which is commonly arranged in correspondence to the output electrodes 121a 2 of, for may be realized by electrical paths one wiring from the common output pad 113a to the output external terminal 116a, the embodiment The piezoelectric device 100 according to the embodiment is improved with respect to the degree of freedom in wiring design, and for example, can be reduced in height or size.

また、本実施形態の圧電デバイス100は、上記構成を有していることによって、出力用のパッド113(すなわち、共通出力パッド113a)から基板部110aの内部へ延びるようにビア導体が設けられる場合にも、一つのビア導体によって構成し得るため、素子搭載部材110の強度等においても改善されている。   Further, since the piezoelectric device 100 according to the present embodiment has the above-described configuration, a via conductor is provided so as to extend from the output pad 113 (that is, the common output pad 113a) to the inside of the substrate portion 110a. In addition, since it can be constituted by one via conductor, the strength of the element mounting member 110 is improved.

なお、本実施形態の圧電デバイス100において、例えば半田等から成るバンプ122のリフロー時におけるバンプ122の不要な広がりを低減させるためには、例えばアルミナ膜等のバンプ122との濡れ性の低い膜が共通出力パッド113aの長手方向における中央部に共通出力パッド113aを横断するように設けられているとよい。   In the piezoelectric device 100 of the present embodiment, for example, a film having low wettability with the bump 122 such as an alumina film is used in order to reduce the unnecessary spread of the bump 122 when the bump 122 made of solder or the like is reflowed. The common output pad 113a may be provided so as to cross the common output pad 113a at the center in the longitudinal direction.

(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態における圧電デバイス100について図6〜図8を参照して説明する。第2の実施形態の圧電デバイス100において、図2等に示された第1の実施形態における圧電デバイス100と異なる構成は、IC素子120の第1の出力電極121aまたは第2の出力電極121aが電気的に接続されるIC素子搭載パッド113が、第1の実施形態においては共通出力パッド113aであったのに対して第2の実施形態においては第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aに対応する第1の出力パッド113aおよび第2の出力パッド113aであることである。すなわち、第2の実施形態の圧電デバイス100は、第1の実施形態における共通出力パッド113aに替えて、第1の出力パッド113aおよび第2の出力パッド113aを有している。その他の構成は、第1の実施形態における圧電デバイス100と同様である。なお、以下、第1の出力パッド113aおよび第2の出力パッド113aを、第1の出力パッド113aおよび第2の出力パッド113aともいう。
(Second Embodiment)
A piezoelectric device 100 according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The piezoelectric device 100 of the second embodiment differs from the piezoelectric device 100 of the first embodiment shown in FIG. 2 and the like in the first output electrode 121a 1 or the second output electrode 121a of the IC element 120. 2 IC element mounting pad 113 to be electrically connected, in the second embodiment whereas were common output pad 113a in the first embodiment the first output electrode 121a 1 and a second The first output pad 113a 1 and the second output pad 113a 2 corresponding to the output electrode 121a 2 of the first output pad 121a 2 . That is, the piezoelectric device 100 of the second embodiment, instead of the common output pad 113a in the first embodiment, has a first output pad 113a 1 and a second output pad 113a 2. Other configurations are the same as those of the piezoelectric device 100 according to the first embodiment. Incidentally, it says below, the first output pad 113a 1 and a second output pad 113a 2, also a first output pad 113a 1 and a second output pad 113a 2.

第1の出力パッド113aおよび第2の出力パッド113aは、IC素子120の第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aに対応して設けられているとともに、出力外部端子116aに電気的に接続されている。 The first output pad 113a 1 and the second output pad 113a 2 are provided corresponding to the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 of the IC element 120, and the output external terminal 116a. Is electrically connected.

ここで、本実施形態の圧電デバイスにおけるIC素子120の素子搭載部材110との電気的な接続の例について図7および図8を参照して説明する。   Here, an example of electrical connection between the IC element 120 and the element mounting member 110 in the piezoelectric device of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 7 and 8.

まず、図7に示されているように、IC素子120の第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第1の出力電極121aが選択的に素子搭載部材110の第1の出力パッド113aに電気的に接続されている例について説明する。第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第1の出力電極121aにバンプ122が設けられており、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第1の出力電極121aが、第1の出力パッド113aに接合されている。 First, as shown in FIG. 7, the first output electrode 121 a 1 of the first output electrode 121 a 1 and the second output electrode 121 a 2 of the IC element 120 is selectively connected to the first output electrode 121 a 1 of the element mounting member 110. An example in which one output pad 113a 1 is electrically connected will be described. Among the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 , the first output electrode 121a 1 is provided with a bump 122, and among the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 , The first output electrode 121a 1 is joined to the first output pad 113a 1 .

図7に示された電気的接続例においては、第1の出力電極121aから出力された信号が第1の出力パッド113aを介して出力外部端子116aに伝わる。図7に示された電気的接続例においては、第1の出力電極121aから出力された信号が第1の出力パッド113aを介して出力外部端子116aに印加される。 In the electrical connection example shown in FIG. 7, the signal output from the first output electrode 121a 1 is transmitted to the external output terminal 116a via a first output pad 113a 1. In the electrical connection example shown in FIG. 7, a signal output from the first output electrode 121a 1 is applied to the output external terminal 116a via the first output pad 113a 1 .

第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aから出力される種類の異なる信号が例えば周波数が異なる信号であれば、第1の出力電極121aからは例えば源振周波数信号または分周信号が出力されて出力外部端子116aに印加される。第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aから出力される種類の異なる信号が例えば波形が異なる信号であれば、第1の出力電極121aからは例えば正弦波または矩形波が出力されて出力外部端子116aに印加される。 If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 are signals having different frequencies, for example, the source output frequency signal or the frequency division is output from the first output electrode 121a 1. A signal is output and applied to the output external terminal 116a. If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 have different waveforms, for example, a sine wave or a rectangular wave is output from the first output electrode 121a 1. And applied to the output external terminal 116a.

なお、図7に示された電気的接続例において、IC素子120の制御電極121eに入力される制御信号は、第1の出力電極121aから信号を出力して第2の出力電極121aからは信号を出力しないようにするものである。 Note that in the electrical connection example shown in FIG. 7, a control signal input to the control electrode 121e of the IC element 120, the second from the output electrode 121a 2 by outputting a signal from the first output electrode 121a 1 Does not output a signal.

次に、図8に示されているように、IC素子120の第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第2の出力電極121aが選択的に素子搭載部材110の第2の出力パッド113aに電気的に接続されている例について説明する。第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第2の出力電極121aにバンプ122が設けられており、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのうち第2の出力電極121aが、第2の出力パッド113aに接合されている。 Next, as shown in Figure 8, the first output electrode 121a 1 and the second of the second output electrode 121a 2 is selectively element mounting member 110 of the output electrode 121a 2 of the IC element 120 An example in which the second output pad 113a 2 is electrically connected will be described. Among the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 , the second output electrode 121a 2 is provided with a bump 122, and among the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 , The second output electrode 121a 2 is joined to the second output pad 113a 2 .

図8に示された電気的接続例においては、第2の出力電極121aから出力された信号が第2の出力パッド113aを介して出力外部端子116aに伝わる。図8に示された電気的接続例においては、第2の出力電極121aから出力された信号が第2の出力パッド113aを介して出力外部端子116aに印加される。 In electrical connection example shown in FIG. 8, the signal output from the second output electrode 121a 2 is transmitted to the external output terminal 116a via a second output pad 113a 2. In the example of electrical connection shown in FIG. 8, the signal output from the second output electrode 121a 2 is applied to the output external terminal 116a via the second output pad 113a 2 .

第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aから出力される種類の異なる信号が例えば周波数が異なる信号であれば、第2の出力電極121aからは例えば源振周波数信号または分周信号が出力されて出力外部端子116aに印加される。第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aから出力される種類の異なる信号が例えば波形が異なる信号であれば、第2の出力電極121aからは例えば正弦波または矩形波が出力されて出力外部端子116aに印加される。 If the first output electrode 121a 1 and a second different signal is, for example, a frequency different from the signal output from the output electrode 121a 2, from the second output electrode 121a 2 example source oscillation frequency signal or divider A signal is output and applied to the output external terminal 116a. If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 have different waveforms, for example, a sine wave or a rectangular wave is output from the second output electrode 121a 2. And applied to the output external terminal 116a.

なお、図8に示された電気的接続例において、IC素子120の制御電極121eに入力される制御信号は、第2の出力電極121aから信号を出力して第1の出力電極121aからは信号を出力しないようにするものである。 Note that in the electrical connection example shown in FIG. 8, control signal input to the control electrode 121e of the IC element 120, from the first output electrode 121a 1 outputs a second signal from the output electrode 121a 2 Does not output a signal.

本実施形態の圧電デバイス100において、IC素子120の第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのいずれかに選択的にバンプ122が設けられており、第1の出力電極121aおよび第2の出力電極121aのいずれかが第1の出力パッド113aおよび第2の出力パッド113aのいずれかを介して出力外部端子116aに電気的に接続されていることによって、圧電デバイス100は、IC素子120の複数の出力電極121aおよび121aと出力外部端子116aとの電気的な接続関係の選択によって異なる信号を出力することができるようになり、生産コストに関して改善されている。 In the piezoelectric device 100 of this embodiment, the first output electrode 121a 1 and a second selectively bumps 122 to either the output electrodes 121a 2 of the IC element 120 is provided with a first output electrode 121a 1 One of the first output electrode 121a 2 and the second output electrode 121a 2 is electrically connected to the output external terminal 116a via either the first output pad 113a 1 or the second output pad 113a 2. 100, will be able to output different signals by selective electrical connection of a plurality of output electrodes 121a 1 and 121a 2 and the output external terminal 116a of the IC element 120 is improved with respect to production costs .

また、本実施形態の圧電デバイス100は、第1の実施形態における共通出力パッド113aに替えて個別に設けられた第1の出力パッド113aおよび第2の出力パッド113aを有していることによって、バンプ122が例えば半田から成る場合において、第1の実施形態における共通出力パッド113aにバンプ122が設けられた構造に比べて、第1の出力パッド113aまたは第2の出力パッド113aにおけるバンプ122の広がりが低減されており、IC素子120の実装の信頼性に関して向上されている。さらに詳細には、第1の実施形態の圧電デバイス100においては、バンプ122のリフロー時にバンプ122が共通出力パッド113aの延存方向に濡れ広がる可能性があるが、本実施形態の圧電デバイス100においては、バンプ122のリフロー時にバンプ122が広がる可能性のある範囲は第1の出力パッド113aまたは第2の出力パッド113aの範囲に限られている。 In addition, the piezoelectric device 100 of the present embodiment has a first output pad 113a 1 and a second output pad 113a 2 that are individually provided in place of the common output pad 113a in the first embodiment. Accordingly, when the bump 122 is made of for example solder, common to the output pad 113a, as compared to the structure in which the bump 122 is provided, at the first output pad 113a 1 or the second output pad 113a 2 of the first embodiment The spread of the bumps 122 is reduced, and the mounting reliability of the IC element 120 is improved. More specifically, in the piezoelectric device 100 according to the first embodiment, the bump 122 may spread out in the extending direction of the common output pad 113a when the bump 122 is reflowed. the range that could bump 122 spreads during reflow of the bump 122 is limited to the first output pad 113a 1 or second range of output pads 113a 2.

なお、上述の実施形態において、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。例えば、上述の実施形態において圧電デバイス100の第2の凹部空間K2に搭載される素子としてATカットの圧電振動素子130を示したが、これに限定することなく、例えば音叉型振動素子または弾性表面波素子を用いても構わない。   In the above-described embodiment, various changes and improvements can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the AT-cut piezoelectric vibration element 130 is shown as an element mounted in the second recessed space K2 of the piezoelectric device 100. However, the present invention is not limited to this, and for example, a tuning fork type vibration element or an elastic surface is used. A wave element may be used.

100・・・圧電デバイス
110・・・素子搭載部材
110a・・・基板部
110b・・・第1の枠部
110c・・・第2の枠部
113・・・IC素子搭載パッド
116・・・外部端子
120・・・IC素子
121・・・電極
122・・・バンプ
130・・・圧電振動素子
140・・・蓋部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Piezoelectric device 110 ... Element mounting member 110a ... Substrate part 110b ... 1st frame part 110c ... 2nd frame part 113 ... IC element mounting pad 116 ... External Terminal 120 ... IC element 121 ... Electrode 122 ... Bump 130 ... Piezoelectric vibration element 140 ... Cover member

Claims (1)

出力外部端子を有する素子搭載部材と、
バンプによって前記素子搭載部材に搭載されており、第1の信号を出力し得る第1の出力電極および前記第1の信号とは異なる第2の信号を出力し得る第2の出力電極を有しているIC素子と、
前記素子搭載部材に搭載されており、前記IC素子に電気的に接続された圧電振動素子とを備えており、
前記第1の出力電極および前記第2の出力電極のいずれかに前記バンプが選択的に設けられていることによって、前記第1の出力電極および前記第2の出力電極のいずれかが前記出力外部端子に電気的に接続されており、
前記素子搭載部材が、前記出力外部端子に電気的に接続された前記IC素子搭載用の共通出力パッドを有しており、前記バンプによって前記第1の出力電極および前記第2の出力電極のいずれかが前記共通出力パッドに電気的に接続されていることを特徴とする圧電デバイス。
An element mounting member having an output external terminal;
A first output electrode that is mounted on the element mounting member by a bump and can output a first signal, and a second output electrode that can output a second signal different from the first signal. An IC element,
A piezoelectric vibration element mounted on the element mounting member and electrically connected to the IC element;
Since the bump is selectively provided on either the first output electrode or the second output electrode, either the first output electrode or the second output electrode can be connected to the outside of the output. Is electrically connected to the terminal ,
The element mounting member has a common output pad for mounting the IC element electrically connected to the output external terminal, and any one of the first output electrode and the second output electrode is formed by the bump. Is electrically connected to the common output pad .
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