JP5907754B2 - Piezoelectric device - Google Patents
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Description
本発明は、電子機器等に用いられる圧電デバイスに関するものである。 The present invention relates to a piezoelectric device used in electronic equipment and the like.
携帯電話機等の電子機器には、基準信号源またはクロック信号源などの信号源が搭載されており、かかる信号源として、圧電振動素子およびIC素子を有する圧電デバイスが知られている。 Electronic devices such as cellular phones are equipped with a signal source such as a reference signal source or a clock signal source. As such a signal source, a piezoelectric device having a piezoelectric vibration element and an IC element is known.
圧電デバイスは、電子機器において求められている用途に応じた信号を出力する必要がある。出力信号の違いとしては、周波数の違いまたは波形の違い等がある。周波数が異なる出力信号とは、例えば源振周波数信号および分周信号であり、波形が異なる出力信号とは、例えば正弦波および矩形波である。 The piezoelectric device needs to output a signal corresponding to an application required in an electronic device. The difference in output signal includes a difference in frequency or a difference in waveform. The output signals having different frequencies are, for example, a source frequency signal and a frequency-divided signal, and the output signals having different waveforms are, for example, a sine wave and a rectangular wave.
従来、異なる信号を出力する圧電デバイスを実現するためには、その出力信号に応じて専用のIC素子を準備する必要があり、生産コストの低減が困難であった。 Conventionally, in order to realize a piezoelectric device that outputs different signals, it is necessary to prepare a dedicated IC element according to the output signal, and it has been difficult to reduce production costs.
本発明の一つの態様による圧電デバイスは、出力外部端子を有する素子搭載部材とバンプによって素子搭載部材に搭載されたIC素子と、素子搭載部材に搭載された圧電振動素子とを含んでいる。IC素子は、第1の信号が出力される第1の出力電極および第1の信号とは異なる第2の信号が出力される第2の出力電極を有している。圧電振動素子は、IC素子に電気的に接続されている。第1の出力電極および第2の出力電極のいずれかにバンプが選択的に設けられていることによって、第1の出力電極および第2の出力電極のいずれかが、出力外部端子に電気的に接続されており、素子搭載部材が、出力外部端子に電気的に接続されたIC素子搭載用の共通出力パッドを有しており、バンプによって第1の出力電極および前記第2の出力電極のいずれかが共通出力パッドに電気的に接続されている。 A piezoelectric device according to one aspect of the present invention includes an element mounting member having an output external terminal, an IC element mounted on the element mounting member by a bump, and a piezoelectric vibration element mounted on the element mounting member. The IC element has a first output electrode from which a first signal is output and a second output electrode from which a second signal different from the first signal is output. The piezoelectric vibration element is electrically connected to the IC element. By selectively providing a bump on either the first output electrode or the second output electrode, either the first output electrode or the second output electrode is electrically connected to the output external terminal. The element mounting member has a common output pad for mounting an IC element electrically connected to the output external terminal, and any one of the first output electrode and the second output electrode is formed by the bump. Are electrically connected to the common output pad .
本発明の一つの態様による圧電デバイスにおいて、第1の出力電極および第2の出力電極のいずれかにバンプが選択的に設けられており、第1の出力電極および第2の出力電極のいずれかが出力外部端子に電気的に接続されていることによって、圧電デバイスは、IC素子の複数の出力電極と出力外部端子との電気的な接続関係の選択によって異なる信号を出力することができるようになり、専用のIC素子を準備する必要がなくなり、生産コストに関して改善されている。 In the piezoelectric device according to one aspect of the present invention, the bump is selectively provided on either the first output electrode or the second output electrode, and either the first output electrode or the second output electrode is provided. Is electrically connected to the output external terminal so that the piezoelectric device can output different signals depending on the selection of the electrical connection relationship between the plurality of output electrodes of the IC element and the output external terminal. Thus, there is no need to prepare a dedicated IC element, and the production cost is improved.
以下、本発明のいくつかの例示的な実施形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, some exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(第1の実施形態)
図1に示されているように、本発明の第1の実施形態における圧電デバイス100は、素子搭載部材110と、素子搭載部材110に搭載されたIC素子120と、素子搭載部材110に搭載されておりIC素子120に電気的に接続された圧電振動素子130とを含んでいる。なお、図1は、図4に示されている圧電デバイス100のA―Aにおける縦断面図を示している。
(First embodiment)
As shown in FIG. 1, the
素子搭載部材110は、基板部110aと基板部110aの下面に設けられた第1の枠部110bと基板部110aの上面に設けられた第2の枠部110cとからなる絶縁基体と、基板部110aの下面に設けられた複数のIC素子搭載パッド113と、第1の枠部110bの下面に設けられた複数の外部端子116とを含んでいる。ここで、素子搭載部材110の下面の凹部空間を第1の凹部空間K1、上面の凹部空間を第2の凹部空間K2とする。
The
図2において、複数のIC素子搭載パッド113は、符号113の後にアルファベットのa〜fを付して113a〜113fとして示されている。また、複数の外部端子116は、符号116の後にアルファベットのa〜dを付して116a〜116dとして示されている。複数の外部端子116a〜116dは、例えば、出力外部端子116a、接地外部端子116b、制御外部端子116cおよび電源外部端子116dである。
In FIG. 2, the plurality of IC
基板部110aと第1の枠部110bと第2の枠部110cとは、例えば、アルミナセラミックスまたはガラス−セラミックス等のセラミック材料からなる。なお、基板部110aは、例えば、図1および図2に示されているように、矩形の平板状である。第1の枠部110bは、基板部110aの下面の縁部に沿って設けられている。また、第2の枠部110cは、基板部110aの上面の縁部に沿って設けられている。
The substrate part 110a, the
複数のIC素子搭載パッド113は、第1の凹部空間K1の底面に設けられており、共通出力パッド113aを含んでいる。ここで、共通出力パッドとは、後述するIC素子120の複数の電極に対応して共通的に配置されている出力用のパッドのことをいう。共通出力パッド113aは、IC素子120から出力された信号が印加されるパッドであり、出力外部端子116aに電気的に接続されている。
The plurality of IC
また、複数のIC素子搭載パッド113は、パッド113b〜113fも含んでいる。ここで、複数のIC素子搭載パッド113b〜113fの例について説明する。複数のIC素子搭載パッド113b〜113fは、例えば、接地パッド113b、第1の入力パッド113cおよび第2の入力パッド113d、制御パッド113e、および電源パッド113fである。接地パッド113bは、接地外部端子116bに電気的に接続されており、接地電圧が印加される。第1および第2の入力パッド113bおよび113dは、圧電振動素子130に電気的に接続されている。制御パッド113eは、制御外部端子116cに電気的に接続されており、IC素子120の出力状態を制御するための信号(すなわち、制御信号)が印加される。ここで、制御信号とは、IC素子120から互いに異なる種類の複数の信号が出力され得る場合に、IC素子120から出力される信号を選択的に決定するための信号である。電源パッド113fは、電源外部端子116dに電気的に接続されており、電源電圧が印加される。
The plurality of IC
IC素子120は、第1の凹部空間K1内に設けられており、半田等のバンプ122によって素子搭載部材110の複数のIC素子搭載パッド113に電気的に接続されている。図3に示されているように、IC素子120は、複数の電極121を有している。図3において、複数の電極121は、IC素子120の一部を透過した状態で破線によって示されている。図3において、複数の電極121は、符号121の後にアルファベットのa〜fを付して121a〜121fとして示されている。なお、電極121aは、アルファベットaの後ろにさらに符号を付して、電極121a1および121a2として示されている。
The
ここで、複数の電極121a〜121fの例について説明する。複数の電極121は、例えば、第1の出力電極121a1、第2の出力電極121a2、接地電極121b、第1の入力電極121c、第2の入力電極121d、制御電極121eおよび電源電極121fである。
Here, an example of the plurality of electrodes 121a to 121f will be described. The plurality of
第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2からは、異なる種類の信号が出力され得る。第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2からの信号の出力状態は、制御電極121eに入力される制御信号によって決定される。異なる種類の信号とは、例えば周波数が異なる信号または波形が異なる信号等である。周波数が異なる出力信号とは、例えば源振周波数信号および分周信号であり、波形が異なる出力信号とは、例えば正弦波および矩形波である。 From the first output electrode 121a 1 and the second output electrodes 121a 2, different types of signals can be output. The output state of signals from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 is determined by a control signal input to the control electrode 121e. The different types of signals are, for example, signals having different frequencies or signals having different waveforms. The output signals having different frequencies are, for example, a source frequency signal and a frequency-divided signal, and the output signals having different waveforms are, for example, a sine wave and a rectangular wave.
第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のどちら一方が、バンプ122によって選択的に共通出力パッド113aに電気的に接続される。すなわち、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のどちら一方にバンプ122が設けられて、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のどちら一方が、共通出力パッド113aに接合される。
One of the first output electrode 121 a 1 and the second output electrode 121 a 2 is selectively electrically connected to the common output pad 113 a by the
接地電極121bは、接地パッド113bに電気的に接続されており、接地電圧が印加される。第1の入力電極121cおよび第2の入力電極121dは、第1の入力パッド113cおよび第2の入力パッド113dを介して圧電振動素子130に電気的に接続されている。制御電極121eは、制御パッド113eに電気的に接続されており、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2からの信号の出力状態を制御するための信号が入力される。電源電極121fは、電源パッド113fに電気的に接続されており、電源電圧が印加される。
The
圧電振動素子130は、第2の凹部空間K2内に設けられており、第1および第2の入力パッド113cおよび113dを介してIC素子120の第1の入力電極121cおよび第2の入力電極121dに電気的に接続されている。圧電振動素子130は、所定の結晶軸でカットされた圧電素板と、圧電素板に形成された接続用電極および励振用電極とを含んでいる。圧電振動素子130は、接続用電極および励振用電極を介して外部からの変動電圧が圧電素板に印加されると、所定の周波数で厚みすべり振動を起こすようになっている。なお、圧電素板としては、例えばATカットの水晶が用いられる。また、圧電振動素子130が収容されている素子搭載部材110の第2の凹部空間K2は、蓋部材140によって気密封止されている。
The
ここで、本実施形態の圧電デバイス100におけるIC素子120の素子搭載部材110との電気的な接続の例について図4および図5を参照して説明する。
Here, an example of electrical connection between the
まず、図4に示されているように、IC素子120の第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第1の出力電極121a1が選択的に素子搭載部材110の共通出力パッド113aに電気的に接続されている例について説明する。第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第1の出力電極121a1にバンプ122が設けられており、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第1の出力電極121a1が、共通出力パッド113aに接合されている。
First, as shown in FIG. 4, the common first output electrode 121a 1 and the second of the first output electrode 121a 1 is selectively
図4に示された電気的接続例においては、第1の出力電極121a1から出力された信号が共通出力パッド113aを介して出力外部端子116aに伝わる。図4に示された電気的接続例においては、第1の出力電極121a1から出力された信号が共通出力パッド113aを介して出力外部端子116aに印加される。 In the electrical connection example shown in FIG. 4 is transmitted to the first output signal output from the electrode 121a 1 via a common output pad 113a output external terminal 116a. In the electrical connection example shown in FIG. 4, a signal output from the first output electrode 121a 1 is applied to the output external terminal 116a via a common output pad 113a.
第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2から出力される種類の異なる信号が例えば周波数が異なる信号であれば、第1の出力電極121a1からは例えば源振周波数信号または分周信号が出力されて出力外部端子116aに印加される。第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2から出力される種類の異なる信号が例えば波形が異なる信号であれば、第1の出力電極121a1からは例えば正弦波または矩形波が出力されて出力外部端子116aに印加される。 If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 are signals having different frequencies, for example, the source output frequency signal or the frequency division is output from the first output electrode 121a 1. A signal is output and applied to the output external terminal 116a. If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 have different waveforms, for example, a sine wave or a rectangular wave is output from the first output electrode 121a 1. And applied to the output external terminal 116a.
なお、図4に示された電気的接続例において、IC素子120の制御電極121eに入力される制御信号は、第1の出力電極121a1から信号を出力して第2の出力電極121a2からは信号を出力しないようにするものである。
Note that in the electrical connection example shown in FIG. 4, a control signal input to the control electrode 121e of the
次に、図5に示されているように、IC素子120の第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第2の出力電極121a2が選択的に素子搭載部材110の共通出力パッド113aに電気的に接続されている例について説明する。第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第2の出力電極121a2にバンプ122が設けられており、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第2の出力電極121a2が、共通出力パッド113aに接合されている。
Next, as shown in Figure 5, the first output electrode 121a 1 and the second of the second output electrode 121a 2 is selectively
図5に示された電気的接続例においては、第2の出力電極121a2から出力された信号が共通出力パッド113aを介して出力外部端子116aに伝わる。図5に示された電気的接続例においては、第2の出力電極121a2から出力された信号が共通出力パッド113aを介して出力外部端子116aに印加される。 In the electrical connection example shown in Figure 5, the signal output from the second output electrode 121a 2 is transmitted to the external output terminal 116a via a common output pad 113a. In electrical connection example shown in FIG. 5, the signal output from the second output electrode 121a 2 is applied to the output external terminal 116a via a common output pad 113a.
第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2から出力される種類の異なる信号が例えば周波数が異なる信号であれば、第2の出力電極121a2からは例えば源振周波数信号または分周信号が出力されて出力外部端子116aに印加される。第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2から出力される種類の異なる信号が例えば波形が異なる信号であれば、第2の出力電極121a2からは例えば正弦波または矩形波が出力されて出力外部端子116aに印加される。 If the first output electrode 121a 1 and a second different signal is, for example, a frequency different from the signal output from the output electrode 121a 2, from the second output electrode 121a 2 example source oscillation frequency signal or divider A signal is output and applied to the output external terminal 116a. If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 have different waveforms, for example, a sine wave or a rectangular wave is output from the second output electrode 121a 2. And applied to the output external terminal 116a.
なお、図5に示された電気的接続例において、IC素子120の制御電極121eに入力される制御信号は、第2の出力電極121a2から信号を出力して第1の出力電極121a1からは信号を出力しないようにするものである。
Note that in the electrical connection example shown in FIG. 5, the control signal input to the control electrode 121e of the
上述のように、本実施形態の圧電デバイス100において、IC素子120が第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のいずれかに選択的にバンプ122が設けられており、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のいずれかが出力外部端子116aに電気的に接続されていることによって、圧電デバイス100は、IC素子120の複数の出力電極121a1および121a2と出力外部端子116aとの電気的な接続関係の選択によって異なる信号を出力することができるようになり、専用のIC素子を準備する必要がなくなり、生産コストに関して改善されている。
As described above, in the
また、本実施形態の圧電デバイス100において、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のいずれかが電気的に接続されるパッド113が、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2に対応して共通的に配置された共通出力パッド113aであることによって、共通出力パッド113aから出力外部端子116aまでの電気的経路を一つの配線で実現し得るため、本実施形態の圧電デバイス100は、配線設計の自由度に関して向上されており、例えば低背化または小型化等を図ることが可能となる。
Further, in the
また、本実施形態の圧電デバイス100は、上記構成を有していることによって、出力用のパッド113(すなわち、共通出力パッド113a)から基板部110aの内部へ延びるようにビア導体が設けられる場合にも、一つのビア導体によって構成し得るため、素子搭載部材110の強度等においても改善されている。
Further, since the
なお、本実施形態の圧電デバイス100において、例えば半田等から成るバンプ122のリフロー時におけるバンプ122の不要な広がりを低減させるためには、例えばアルミナ膜等のバンプ122との濡れ性の低い膜が共通出力パッド113aの長手方向における中央部に共通出力パッド113aを横断するように設けられているとよい。
In the
(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態における圧電デバイス100について図6〜図8を参照して説明する。第2の実施形態の圧電デバイス100において、図2等に示された第1の実施形態における圧電デバイス100と異なる構成は、IC素子120の第1の出力電極121a1または第2の出力電極121a2が電気的に接続されるIC素子搭載パッド113が、第1の実施形態においては共通出力パッド113aであったのに対して第2の実施形態においては第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2に対応する第1の出力パッド113a1および第2の出力パッド113a2であることである。すなわち、第2の実施形態の圧電デバイス100は、第1の実施形態における共通出力パッド113aに替えて、第1の出力パッド113a1および第2の出力パッド113a2を有している。その他の構成は、第1の実施形態における圧電デバイス100と同様である。なお、以下、第1の出力パッド113a1および第2の出力パッド113a2を、第1の出力パッド113a1および第2の出力パッド113a2ともいう。
(Second Embodiment)
A
第1の出力パッド113a1および第2の出力パッド113a2は、IC素子120の第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2に対応して設けられているとともに、出力外部端子116aに電気的に接続されている。
The first output pad 113a 1 and the second output pad 113a 2 are provided corresponding to the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 of the
ここで、本実施形態の圧電デバイスにおけるIC素子120の素子搭載部材110との電気的な接続の例について図7および図8を参照して説明する。
Here, an example of electrical connection between the
まず、図7に示されているように、IC素子120の第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第1の出力電極121a1が選択的に素子搭載部材110の第1の出力パッド113a1に電気的に接続されている例について説明する。第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第1の出力電極121a1にバンプ122が設けられており、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第1の出力電極121a1が、第1の出力パッド113a1に接合されている。
First, as shown in FIG. 7, the first output electrode 121 a 1 of the first output electrode 121 a 1 and the second output electrode 121 a 2 of the
図7に示された電気的接続例においては、第1の出力電極121a1から出力された信号が第1の出力パッド113a1を介して出力外部端子116aに伝わる。図7に示された電気的接続例においては、第1の出力電極121a1から出力された信号が第1の出力パッド113a1を介して出力外部端子116aに印加される。 In the electrical connection example shown in FIG. 7, the signal output from the first output electrode 121a 1 is transmitted to the external output terminal 116a via a first output pad 113a 1. In the electrical connection example shown in FIG. 7, a signal output from the first output electrode 121a 1 is applied to the output external terminal 116a via the first output pad 113a 1 .
第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2から出力される種類の異なる信号が例えば周波数が異なる信号であれば、第1の出力電極121a1からは例えば源振周波数信号または分周信号が出力されて出力外部端子116aに印加される。第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2から出力される種類の異なる信号が例えば波形が異なる信号であれば、第1の出力電極121a1からは例えば正弦波または矩形波が出力されて出力外部端子116aに印加される。 If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 are signals having different frequencies, for example, the source output frequency signal or the frequency division is output from the first output electrode 121a 1. A signal is output and applied to the output external terminal 116a. If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 have different waveforms, for example, a sine wave or a rectangular wave is output from the first output electrode 121a 1. And applied to the output external terminal 116a.
なお、図7に示された電気的接続例において、IC素子120の制御電極121eに入力される制御信号は、第1の出力電極121a1から信号を出力して第2の出力電極121a2からは信号を出力しないようにするものである。
Note that in the electrical connection example shown in FIG. 7, a control signal input to the control electrode 121e of the
次に、図8に示されているように、IC素子120の第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第2の出力電極121a2が選択的に素子搭載部材110の第2の出力パッド113a2に電気的に接続されている例について説明する。第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第2の出力電極121a2にバンプ122が設けられており、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のうち第2の出力電極121a2が、第2の出力パッド113a2に接合されている。
Next, as shown in Figure 8, the first output electrode 121a 1 and the second of the second output electrode 121a 2 is selectively
図8に示された電気的接続例においては、第2の出力電極121a2から出力された信号が第2の出力パッド113a2を介して出力外部端子116aに伝わる。図8に示された電気的接続例においては、第2の出力電極121a2から出力された信号が第2の出力パッド113a2を介して出力外部端子116aに印加される。 In electrical connection example shown in FIG. 8, the signal output from the second output electrode 121a 2 is transmitted to the external output terminal 116a via a second output pad 113a 2. In the example of electrical connection shown in FIG. 8, the signal output from the second output electrode 121a 2 is applied to the output external terminal 116a via the second output pad 113a 2 .
第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2から出力される種類の異なる信号が例えば周波数が異なる信号であれば、第2の出力電極121a2からは例えば源振周波数信号または分周信号が出力されて出力外部端子116aに印加される。第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2から出力される種類の異なる信号が例えば波形が異なる信号であれば、第2の出力電極121a2からは例えば正弦波または矩形波が出力されて出力外部端子116aに印加される。 If the first output electrode 121a 1 and a second different signal is, for example, a frequency different from the signal output from the output electrode 121a 2, from the second output electrode 121a 2 example source oscillation frequency signal or divider A signal is output and applied to the output external terminal 116a. If different types of signals output from the first output electrode 121a 1 and the second output electrode 121a 2 have different waveforms, for example, a sine wave or a rectangular wave is output from the second output electrode 121a 2. And applied to the output external terminal 116a.
なお、図8に示された電気的接続例において、IC素子120の制御電極121eに入力される制御信号は、第2の出力電極121a2から信号を出力して第1の出力電極121a1からは信号を出力しないようにするものである。
Note that in the electrical connection example shown in FIG. 8, control signal input to the control electrode 121e of the
本実施形態の圧電デバイス100において、IC素子120の第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のいずれかに選択的にバンプ122が設けられており、第1の出力電極121a1および第2の出力電極121a2のいずれかが第1の出力パッド113a1および第2の出力パッド113a2のいずれかを介して出力外部端子116aに電気的に接続されていることによって、圧電デバイス100は、IC素子120の複数の出力電極121a1および121a2と出力外部端子116aとの電気的な接続関係の選択によって異なる信号を出力することができるようになり、生産コストに関して改善されている。
In the
また、本実施形態の圧電デバイス100は、第1の実施形態における共通出力パッド113aに替えて個別に設けられた第1の出力パッド113a1および第2の出力パッド113a2を有していることによって、バンプ122が例えば半田から成る場合において、第1の実施形態における共通出力パッド113aにバンプ122が設けられた構造に比べて、第1の出力パッド113a1または第2の出力パッド113a2におけるバンプ122の広がりが低減されており、IC素子120の実装の信頼性に関して向上されている。さらに詳細には、第1の実施形態の圧電デバイス100においては、バンプ122のリフロー時にバンプ122が共通出力パッド113aの延存方向に濡れ広がる可能性があるが、本実施形態の圧電デバイス100においては、バンプ122のリフロー時にバンプ122が広がる可能性のある範囲は第1の出力パッド113a1または第2の出力パッド113a2の範囲に限られている。
In addition, the
なお、上述の実施形態において、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。例えば、上述の実施形態において圧電デバイス100の第2の凹部空間K2に搭載される素子としてATカットの圧電振動素子130を示したが、これに限定することなく、例えば音叉型振動素子または弾性表面波素子を用いても構わない。
In the above-described embodiment, various changes and improvements can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the AT-cut
100・・・圧電デバイス
110・・・素子搭載部材
110a・・・基板部
110b・・・第1の枠部
110c・・・第2の枠部
113・・・IC素子搭載パッド
116・・・外部端子
120・・・IC素子
121・・・電極
122・・・バンプ
130・・・圧電振動素子
140・・・蓋部材
DESCRIPTION OF
Claims (1)
バンプによって前記素子搭載部材に搭載されており、第1の信号を出力し得る第1の出力電極および前記第1の信号とは異なる第2の信号を出力し得る第2の出力電極を有しているIC素子と、
前記素子搭載部材に搭載されており、前記IC素子に電気的に接続された圧電振動素子とを備えており、
前記第1の出力電極および前記第2の出力電極のいずれかに前記バンプが選択的に設けられていることによって、前記第1の出力電極および前記第2の出力電極のいずれかが前記出力外部端子に電気的に接続されており、
前記素子搭載部材が、前記出力外部端子に電気的に接続された前記IC素子搭載用の共通出力パッドを有しており、前記バンプによって前記第1の出力電極および前記第2の出力電極のいずれかが前記共通出力パッドに電気的に接続されていることを特徴とする圧電デバイス。 An element mounting member having an output external terminal;
A first output electrode that is mounted on the element mounting member by a bump and can output a first signal, and a second output electrode that can output a second signal different from the first signal. An IC element,
A piezoelectric vibration element mounted on the element mounting member and electrically connected to the IC element;
Since the bump is selectively provided on either the first output electrode or the second output electrode, either the first output electrode or the second output electrode can be connected to the outside of the output. Is electrically connected to the terminal ,
The element mounting member has a common output pad for mounting the IC element electrically connected to the output external terminal, and any one of the first output electrode and the second output electrode is formed by the bump. Is electrically connected to the common output pad .
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