JP5926317B2 - 導電性基板の面への金属イオンの析出 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title description 28
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title description 20
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 title description 12
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 102
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 92
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 92
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 59
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 42
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 27
- -1 alkali metal salt Chemical class 0.000 claims description 26
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 26
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 26
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 22
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 21
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 20
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 claims description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 18
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical group [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 18
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 18
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 15
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 claims description 13
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 13
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 12
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 claims description 10
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 8
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 8
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 7
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- 239000011133 lead Substances 0.000 claims description 5
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011135 tin Substances 0.000 claims description 5
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 4
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 4
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 4
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011669 selenium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical group [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims 3
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 3
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 29
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 28
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 21
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 21
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 20
- 239000010408 film Substances 0.000 description 16
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 16
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 13
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 12
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 11
- XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N Cyanide Chemical compound N#[C-] XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 9
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- APUPEJJSWDHEBO-UHFFFAOYSA-P ammonium molybdate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-][Mo]([O-])(=O)=O APUPEJJSWDHEBO-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 8
- 239000011609 ammonium molybdate Substances 0.000 description 8
- 229940010552 ammonium molybdate Drugs 0.000 description 8
- 235000018660 ammonium molybdate Nutrition 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 8
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 8
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 8
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 7
- DTPQZKZONQKKSU-UHFFFAOYSA-N silver azanide silver Chemical compound [NH2-].[Ag].[Ag].[Ag+] DTPQZKZONQKKSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- FVEQTUMJJDNSSH-UHFFFAOYSA-N [K].[Si].[N] Chemical compound [K].[Si].[N] FVEQTUMJJDNSSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HDGYCKSEYIBBBW-UHFFFAOYSA-N [Si].[K].[P] Chemical group [Si].[K].[P] HDGYCKSEYIBBBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 6
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 5
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RCJGTSWDGGQRSA-UHFFFAOYSA-N [Mo].[P].[K] Chemical compound [Mo].[P].[K] RCJGTSWDGGQRSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H aluminium sulfate (anhydrous) Chemical compound [Al+3].[Al+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 4
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 4
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 4
- 235000011007 phosphoric acid Nutrition 0.000 description 4
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 3
- 238000007739 conversion coating Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PIYGTINUEBXTJZ-UHFFFAOYSA-N [Cu].[K].[P] Chemical group [Cu].[K].[P] PIYGTINUEBXTJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PGZHZZLFNPXXPH-UHFFFAOYSA-N [K].[P].[Zn] Chemical group [K].[P].[Zn] PGZHZZLFNPXXPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DFRLLNRSIMJIKE-UHFFFAOYSA-N [P].[K].[Ag] Chemical compound [P].[K].[Ag] DFRLLNRSIMJIKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 2
- 239000002816 fuel additive Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000036541 health Effects 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 2
- 229910001410 inorganic ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 2
- 235000010755 mineral Nutrition 0.000 description 2
- 239000002480 mineral oil Substances 0.000 description 2
- 235000010446 mineral oil Nutrition 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012429 reaction media Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000005482 strain hardening Methods 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical group [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000029663 wound healing Effects 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910000318 alkali metal phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052936 alkali metal sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 1
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052789 astatine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052728 basic metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003818 basic metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910001429 cobalt ion Inorganic materials 0.000 description 1
- XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N cobalt(2+) Chemical compound [Co+2] XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010668 complexation reaction Methods 0.000 description 1
- DOBRDRYODQBAMW-UHFFFAOYSA-N copper(i) cyanide Chemical compound [Cu+].N#[C-] DOBRDRYODQBAMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000002659 electrodeposit Substances 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 229940021013 electrolyte solution Drugs 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000003502 gasoline Substances 0.000 description 1
- 208000016354 hearing loss disease Diseases 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003879 lubricant additive Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000002052 molecular layer Substances 0.000 description 1
- 239000003345 natural gas Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 239000003209 petroleum derivative Substances 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 230000005180 public health Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N sodium;9,10-dioxoanthracene-2-sulfonic acid Chemical compound [Na+].C1=CC=C2C(=O)C3=CC(S(=O)(=O)O)=CC=C3C(=O)C2=C1 GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 108700024661 strong silver Proteins 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 231100000925 very toxic Toxicity 0.000 description 1
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Description
反応容器の中に、約0.5乃至1.5リットル、好適には、約1.0リットルの水、及び約0.5乃至1.5リットル、好適には約1.0リットル、容量で約75%乃至85%、好適には約80%のオルトリン酸を加える。そして、約0.5乃至1.5リットル、好適には、約1.0リットル、容量で約15乃至35%、好適には約26%の水酸化アンモニウムを加える。そして、約0.5乃至1.5リットル、好適には、約1.0リットル、容量で約20乃至60%、好適には約49%の水酸化カリウムを加える。
反応容器の中に、約1乃至3リットル、好適には、約2リットルの水、及び約0.5乃至1.5リットル、好適には約1リットルの濃硫酸を加える。そして、約0.5乃至1.5リットル、好適には、約1リットル、容量で約15乃至35%、好適には約26%の水酸化アンモニウムを加える。そして、約0.5乃至1.5リットル、好適には、約1リットル、容量で約20乃至60%、好適には約49%の水酸化カリウムを加える。反応は極端な発熱反応であるため注意を要する。
約80乃至120ml、好適には約100mlの親溶液Aについて、リン酸を用いてこの溶液のpHを約7に調整する。約0.1乃至10グラム、好適には1グラムの窒化銀をこの溶液に加える。攪拌して銀塩が溶液に完全に溶解するまで加熱する。1010鋼の試片を窒化銀溶液に1分間浸す。鋼の試片上に薄くて、強固な、光沢のある銀の膜を形成する。走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて面を観察する。銀は、シアン化物溶液及び外部から加えられる起電力を用いない場合は鋼上に接着析出を形成することが知られている。銀の析出のこのようなプロセスを、シアン化物及び外部から加えられる起電力の存在なしに実施して、強固な非浸漬析出を生成し得る。窒化銀溶液を、ガラス容器に入れ、数週間太陽光に晒す。銀が感光性でないことは、抗菌作用及び医療機器の表面の保護といった分野で大いに有用な本発明の安価なプロセスによって銀を安定化し得る。Alcoaの2”×2’のアルミニウムフォイルラップのシートを、窒化銀の溶液に接触させ表面に擦り付ける。アルミニウムフォイルの面を、銀の膜でコーティングする。410ステンレス鋼の試片を、1分間窒化銀溶液に浸漬する。薄くて強固な銀の膜が、ステンレス鋼上に形成する。
約80乃至120ml、好適には約100mlの親溶液Aを用いて、約0.1乃至10グラム、好適には約1グラムのモリブデン酸アンモニウムを溶液に加える。攪拌して、モリブデン酸アンモニウムが完全に溶解するまで加熱する。1010鋼の試片を1分間溶液の中に浸す。薄くて強固なモリブデン膜を鋼試片の上に形成する。2”×2”のアルミニウムフォイルの短冊片を、30秒間溶液に浸した。モリブデンの薄い析出がアルミニウム試片上に形成した。「Electroplating」Frederick A Lowenheim,McGraw Hill Book company,ページ141は、「電極電位の観点から、約5のpHの水溶液でタングステン及びモリブデンといった金属を電気メッキし得る。にもかかわらず(文字通り要求にかかわらず)、これらの金属は、水溶液から純金属の形態で析出できない」と記載している。このように、本発明は、鋼及び他の導電基板上にモリブデン表面を形成するための意外な方法を提供する。
約80乃至120ml、好適には約100mlの親溶液Aを用いて、約0.1乃至10グラム、好適には約1グラムのタングステン酸アンモニウムを溶液に加える。攪拌して、金属塩が完全に溶解するまで加熱する。1010鋼の試片を1分間溶液の中に浸す。薄くて、光沢のある強固なタングステン膜をステンレス試片の上に形成する。モリブデンのケースと同じように、本発明は、鋼上にタングステンを形成するための意外な方法を提供する。
約80乃至120ml、好適には約100mlの親溶液Bを用いて、約0.1乃至10グラム、好適には約1グラムの硫酸銅を溶液に加える。攪拌して、金属塩が溶液に完全に溶解するまで加熱する。1010鋼のパネルを最大2分間溶液に浸す。接着性の目に見える銅の析出物が鋼試片上に形成する。亜鉛及び鋼といった活性金属上の接着性の銅プレートを析出する現実的な唯一の方法は、シアン化物浴を使用することである。シアン化物を含むメッキ浴で分注する多くの試みにかかわらず、環境的な制約のため、銅のシアン化物浴の実用的な代わりとなるものが開発されていなかった。シアン化物を用いない銅が外部起電力により価値のない浸漬析出を形成することが知られている。接着析出に関する標準的なASTM試験により、プラスチックの接着テープをプレート面に配置し、テープを引く。析出が浸漬析出の場合、銅はテープとともに剥がれる。析出が接着性の場合、銅はプラスチックの接着テープとともに剥がれない。プラスチックの接着テープを、このような実施例で銅の表面に適用した場合、銅の膜はくっついたままであった。
約80乃至120ml、好適には約100mlの親溶液Bを用いて、約0.1乃至10グラム、好適には約2グラムの硫酸アルミニウムを溶液に加える。攪拌して、完全に溶解するまで溶液を加熱する。1010鋼の試片を1分間溶液に浸す。薄くて強固な光沢のあるアルミニウムの接着性の膜が鋼の試片上に形成される。
約80乃至120ml、好適には約100mlの親溶液Bを用いて、約0.1乃至10グラム、好適には約2グラムのホウ酸を溶液に加える。攪拌して、完全に溶解するまで加熱する。1010鋼の試片を1分間溶液に浸す。薄くて強固な光沢のあるホウ素の膜が鋼の試片上に形成される。2”×2”のアルミニウムフォイルの試片を、溶液に浸した。ホウ素の薄膜がアルミニウム上に形成した。ステンレス鋼の試片を溶液に浸し、ホウ素の薄い金属膜がステンレス鋼上に形成した。
約80乃至120ml、好適には約100mlの親溶液Bを用いて、2ml、容量で12%のタングステン酸アンモニウムを溶液に加える。攪拌して、完全に溶解するまで加熱する。1010鋼の試片を1分間溶液に浸す。薄くて強固な光沢のあるタングステンの金属膜が鋼の試片上に形成される。
約160mlの親溶液A及び約40mlの親溶液Bを組み合わせる。約10ml、重量で約49%の水酸化カリウムを加えることによって、水酸化カリウム含んだ組み合わせた溶液のpHを約12に上げる。攪拌して、水酸化カリウムが完全に溶解するまで加熱する。この溶液を、内燃機関の天然ガス又は揮発性のガソリンといった炭化水素流の中に噴霧して、燃料燃焼を促進し得る。溶液を内燃機関の吸気口に噴霧して、燃焼のために利用可能な空気の容量を増やし、燃焼効率を高めてもよい。
約160mlの親溶液A及び約40mlのタングステン酸アンモニウム親溶液Bを混合する。約200mlの高度に精製された鉱物油を用いて、親溶液A及びタングステン酸アンモニウム親溶液Bの約20ml(容量で10%)の混合溶液を鉱物油に混ぜる。100℃を上回る温度に上げることによって、この油剤を脱水し水分を除去して塩を析出させる。油剤が澄んで透明になると、オイルが冷えてオイルを移すことが可能となる。そして、移し替えたものをオイル添加剤又は燃料添加剤として使用し得る。タングステンは触媒特性を有することが知られている。燃料及び潤滑剤添加剤を製造するこのような方法によって、触媒特性を有する白金、鉄等の金属を使用し得る。
3つの基板金属:ALCOAによって製造されたアルミニウムフォイル、1010炭素鋼、及び400シリーズのステンレス鋼を選択した。これらの基板金属は、世界で最も広く使用される金属の代表例として選択した。本発明によって生成された金属イオンを様々な金属基板上及びその中に析出してこれまで知られていない新たな金属面を得ることができることを示すために、金属イオン溶液を選択した。親溶液Aに従って金属イオン溶液を調整した。試料は、酸化物、土、錆又はオイルを取り除くよう予処理されていないが、それぞれの周囲条件で30秒間浸して、周囲の空気及び紙タオルを用いて乾燥した。そして、Vista Engineering of Birmingham,Alabama,USのEDS(Electron dispersive spectroscopy)で、試料を観察した。結果は図1乃至9の分析チャートに示す通りである。図1は、ステンレス鋼への銀−リン−カリウムの析出を示す。図2は、アルミニウムへのケイ素−リン−カリウムの析出を示す。図3は、ステンレス鋼へのケイ素−リン−カリウムの析出を示す。図4は、アルミニウムへの亜鉛−リン−カリウムの析出を示す。図5は、1010炭素鋼へのアルミニウム−リン−カリウムの析出を示す。図6は、1010炭素鋼への銅−リン−カリウムの析出を示す。図7は、1010炭素鋼へのモリブデン−リン−カリウムの析出を示す。図8は、ステンレス鋼へのモリブデン−リン−カリウムの析出を示す。図9は、油相から析出した1010炭素鋼へのケイ素−リン−カリウムの析出を示す。
モリブデン酸アンモニウム親溶液A及びホウ酸親溶液Bを、上記のように調整した。各溶液のコーティングをアルミニウム面に適用し、コーティングを乾燥することができた。アルミニウムコーティングの厚さを、NASA Marshall Flight Centerで既知の走査電子顕微鏡技術を用いて測定した。コーティングの厚さを、走査電子顕微鏡像から計算した。ホウ素コーティングの画像を図10に示し、モリブデンコーティングの画像を図11に示す。コーティング10が、バックグラウンド12を背景にアルミニウム金属11の面上に示されている。いくつかの測定が、コーティング10の長さ方向に沿って行われた。コーティングの平均厚さ±標準誤差は、モリブデンについて1.32±0.11ミクロン(n=7)で、ホウ素について1.22±0.25ミクロン(n=4)であった。
現在の技術の下では、窒化物面の高価且つ非常に限定的な形成方法であるCVD(化学的蒸着)によって、窒素のみを金属基板上に蒸着し得る。また、本発明の方法は、析出される金属とともに金属基板に窒素を析出する。SEMの分析能力は、酸素及び周期律表の上述の元素の特定に限定される。酸素の原子量は8で、窒素の原子量は7である。EDAX(electron dispersive analytical x-ray)が、周期律表の6までの元素を特定し得る。ケイ素の水溶液を、上述の親溶液Aにしたがって調整した。様々な金属にコーティングを適用し、テキサス州ヒューストンのCorrmet研究所で試料をEDAXにかけた:結果は以下の通りである。図12は、EDAXチャート1による、1010炭素鋼上の窒素−ケイ素−カリウムの存在を示す。図13は、EDAXチャート2による、アルミニウム上の窒素−ケイ素−カリウムの存在を示す。図14は、EDAXチャート3による、ステンレス鋼上の窒素−ケイ素−カリウムの存在を示す。これらの解析結果は、基板上の窒素/金属面に関する全体的に新しい技術を、本発明の組成及び方法を用いて利用し得ることを示す。
Epsilon Linear Precision Test Machine,Tribology Testing Equipmentで、Engineered Lubricants,Maryland Heights,Moの標準的なオイルベースの潤滑剤と比較した摩耗試験を、本発明の乾燥塗膜コーティングに行った。この機械は、摩耗及び流体及びグリースの極圧特性を予測するよう用いられる。この機械は、試験期間を通して摩耗速度を予測し、トルク、摩擦、摩擦係数、試料の荷重、RPM、試料の温度、流体の温度、試料のサイクル、及び試験期間といった全ての他の指示変数と摩耗とをリアルタイムで比較する性能を有している。最大4000psiの条件下でVバーに対してピンが回転した状態で、ステンレス鋼のピン及びVバーを使用した。試験中にオイルで発生した熱を連続的に取り除く。ステンレス鋼のピン及びVブロックを、標準的な潤滑油で50分間試験した。摩耗を連続的に記録した。1Aステンレス鋼のピン及びVブロックを、本発明に係るケイ素/リン水溶液に1分間浸し、取り出して試験所に送った。摩耗試験を、予コーティングしたピン及びVブロックで50分間行った。試験結果は、オイルベースの潤滑剤及び本発明の乾燥塗膜が、本発明の0.06インチの摩耗具合と一致することを示した。このように、本発明のケイ素/リンの乾燥塗膜は、標準的な潤滑剤を用いた場合に観察されるのと同じ摩耗具合を有している。
Claims (10)
- 面に析出するための非アルカリ金属の水溶液を生成するための工程であって、
1)硫酸を含む水溶液を形成するステップと;
2)ステップ1の溶液に水酸化アンモニウムを加えるステップと;
3)ステップ1及び2によって生成した溶液に水中の水酸化アルカリ金属を加えるステップと;
4)ステップ1、2及び3によって生成した溶液に非アルカリ金属塩又はホウ酸を加えるステップと;
を含むことを特徴とする工程。 - ステップ1が、さらに、水0.5乃至1.5部対濃硫酸0.5乃至1.5部の溶液を形成するステップを含んでおり;
ステップ2が、さらに、ステップ1の溶液に、20容量%乃至30容量%の水酸化アンモニウム0.5乃至1.5部を加えるステップを含んでおり;
ステップ3が、さらに、ステップ1及び2によって生成した溶液に、40容量%乃至60容量%の水中の水酸化アルカリ金属0.5乃至1.5部を加えるステップを含んでおり;
ステップ4が、さらに、ステップ1、2及び3によって生成された80乃至100mlの溶液に、0.1乃至10グラムの非アルカリ金属塩又はホウ酸を加えるステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の工程。 - 前記非アルカリ金属塩が、銅、銀、金、ベリリウム、マグネシウム、亜鉛、カドミウム、アルミニウム、ガリウム、インジウム、ケイ素、すず、鉛、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、アンチモン、ビスマス、バナジウム、ニオブ、タンタル、セレニウム、テルル、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、パラジウム、又はロジウム、又はそれらの組み合わせの塩であることを特徴とする請求項1に記載の工程。
- 前記水酸化アルカリ金属が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、又は水酸化リチウム、又はそれらの組み合わせであることを特徴とする請求項1に記載の工程。
- 面に析出するための非アルカリ金属の水溶液を生成するための工程であって、
1)水0.5乃至1.5部対濃硫酸0.5乃至1.5部の溶液を形成するステップと;
2)ステップ1の溶液に、20容量%乃至30容量%の水酸化アンモニウム0.5乃至1.5部を加えるステップと;
3)ステップ1及び2によって生成した溶液に、40容量%乃至60容量%の水中の水酸化アルカリ金属0.5乃至1.5部を加えるステップと;
4)ステップ1、2及び3によって生成された80乃至100mlの溶液に、0.1乃至10グラムの非アルカリ金属塩又はホウ酸を加えるステップと;
を含むことを特徴とする工程。 - 前記非アルカリ金属塩が、銅、銀、金、ベリリウム、マグネシウム、亜鉛、カドミウム、アルミニウム、ガリウム、インジウム、ケイ素、すず、鉛、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、アンチモン、ビスマス、VB族のバナジウム、ニオブ、タンタル、セレニウム、テルル、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、パラジウム、又はロジウム、又はそれらの組み合わせの塩であることを特徴とする請求項5に記載の工程。
- 前記水酸化アルカリ金属が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、又は水酸化リチウム、又はそれらの組み合わせであることを特徴とする請求項6に記載の工程。
- 受容金属の表面に非アルカリ金属を常時析出させるための工程であって、
a)1)硫酸を含む水溶液を形成するステップと;
2)ステップ1の溶液に水酸化アンモニウムを加えるステップと;
3)ステップ1及び2によって生成した溶液に水中の水酸化アルカリ金属を加えるステップと;
4)ステップ1、2及び3によって生成した溶液に非アルカリ金属塩又はホウ酸を加えるステップと;
を含む工程にしたがって溶液を形成するステップと;
b)前記受容金属の表面に前記溶液を塗布するステップと;
c)前記受容金属の表面に、前記非アルカリ金属塩の金属又はホウ素の耐久性コーティングを形成するステップと;
を含むことを特徴とする工程。 - ステップ1が、さらに、水0.5乃至1.5部対濃硫酸0.5乃至1.5部の溶液を形成するステップを具えており;
ステップ2が、さらに、ステップ1の溶液に、20容量%乃至30容量%の水酸化アンモニウム0.5乃至1.5部を加えるステップを含んでおり;
ステップ3が、さらに、ステップ1及び2によって生成した溶液に、40容量%乃至60容量%の水中の水酸化アルカリ金属0.5乃至1.5部を加えるステップを含んでおり;
ステップ4が、さらに、ステップ1、2及び3によって生成された80乃至100mlの溶液に、0.1乃至10グラムの非アルカリ金属塩又はホウ酸を加えるステップを具えることを特徴とする請求項8に記載の工程。 - 前記非アルカリ金属塩が、銅、銀、金、ベリリウム、マグネシウム、亜鉛、カドミウム、アルミニウム、ガリウム、インジウム、ケイ素、すず、鉛、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、アンチモン、ビスマス、バナジウム、ニオブ、タンタル、セレニウム、テルル、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、パラジウム、又はロジウム、又はそれらの組み合わせの塩であり、
前記水酸化アルカリ金属が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、又は水酸化リチウム、又はそれらの組み合わせであることを特徴とする請求項9に記載の工程。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US93324207P | 2007-06-05 | 2007-06-05 | |
| US60/933,242 | 2007-06-05 | ||
| US12/025,506 US20080302267A1 (en) | 2007-06-05 | 2008-02-04 | Compositions and processes for deposition of metal ions onto surfaces of conductive substrates |
| US12/025,506 | 2008-02-04 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010511270A Division JP5722032B2 (ja) | 2007-06-05 | 2008-06-03 | 導電性基板の面への金属イオンの析出 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014159643A JP2014159643A (ja) | 2014-09-04 |
| JP5926317B2 true JP5926317B2 (ja) | 2016-05-25 |
Family
ID=40094169
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010511270A Active JP5722032B2 (ja) | 2007-06-05 | 2008-06-03 | 導電性基板の面への金属イオンの析出 |
| JP2014095173A Expired - Fee Related JP5926317B2 (ja) | 2007-06-05 | 2014-05-02 | 導電性基板の面への金属イオンの析出 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010511270A Active JP5722032B2 (ja) | 2007-06-05 | 2008-06-03 | 導電性基板の面への金属イオンの析出 |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20080302267A1 (ja) |
| EP (1) | EP2155927A4 (ja) |
| JP (2) | JP5722032B2 (ja) |
| KR (1) | KR101506360B1 (ja) |
| CN (1) | CN101730756A (ja) |
| AU (1) | AU2008259858B2 (ja) |
| BR (1) | BRPI0811366A2 (ja) |
| CA (1) | CA2689437A1 (ja) |
| MX (1) | MX2009013100A (ja) |
| RU (1) | RU2486284C2 (ja) |
| WO (1) | WO2008151173A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6863825B2 (en) | 2003-01-29 | 2005-03-08 | Union Oil Company Of California | Process for removing arsenic from aqueous streams |
| US8066874B2 (en) | 2006-12-28 | 2011-11-29 | Molycorp Minerals, Llc | Apparatus for treating a flow of an aqueous solution containing arsenic |
| US20080302267A1 (en) | 2007-06-05 | 2008-12-11 | Defalco Frank G | Compositions and processes for deposition of metal ions onto surfaces of conductive substrates |
| US8317909B2 (en) * | 2007-06-05 | 2012-11-27 | Dfhs, Llc | Compositions and processes for deposition of metal ions onto surfaces of conductive substrates |
| US8252087B2 (en) | 2007-10-31 | 2012-08-28 | Molycorp Minerals, Llc | Process and apparatus for treating a gas containing a contaminant |
| US8349764B2 (en) | 2007-10-31 | 2013-01-08 | Molycorp Minerals, Llc | Composition for treating a fluid |
| US8563487B1 (en) | 2009-12-09 | 2013-10-22 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Friction modifier using adherent metallic multilayered or mixed element layer conversion coatings |
| US8252734B1 (en) | 2009-12-09 | 2012-08-28 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Friction modifier using adherent metallic multilayered or mixed element layer conversion coatings |
| US9023773B1 (en) | 2011-02-15 | 2015-05-05 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Friction and wear management using solvent partitioning of hydrophilic-surface-interactive chemicals contained in boundary layer-targeted emulsions |
| US8420582B2 (en) | 2011-02-15 | 2013-04-16 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Friction and wear modifiers using solvent partitioning of hydrophilic surface-interactive chemicals contained in boundary layer-targeted emulsions |
| US9233863B2 (en) | 2011-04-13 | 2016-01-12 | Molycorp Minerals, Llc | Rare earth removal of hydrated and hydroxyl species |
| US9975787B2 (en) | 2014-03-07 | 2018-05-22 | Secure Natural Resources Llc | Removal of arsenic from aqueous streams with cerium (IV) oxide compositions |
| KR101678514B1 (ko) | 2015-08-31 | 2016-12-06 | 전북대학교산학협력단 | 실버 나노덴트라이트를 포함하는 셀룰로오스 박막 전극 및 그 제조방법 |
| WO2017125131A1 (de) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | Thyssenkrupp Steel Europe Ag | Verfahren zum herstellen eines stahlprodukts mit einer zn-beschichtung und einer darauf aufgetragenen tribologisch aktiven schicht sowie entsprechend beschaffenes stahlprodukt |
| CN114083230A (zh) * | 2021-11-05 | 2022-02-25 | 徐州万达回转支承有限公司 | 一种用于齿面自润滑的新型回转支承及其制备方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4672007A (en) * | 1984-08-16 | 1987-06-09 | Kollmorgen Technologies Corporation | Electrodeposition composition and process for providing a Zn/Si/P coating on metal substrates |
| US4533606A (en) * | 1984-08-16 | 1985-08-06 | Kollmorgan Technologies Corp. | Electrodeposition composition, process for providing a Zn/Si/P coating on metal substrates and articles so coated |
| JPH01100281A (ja) * | 1987-10-13 | 1989-04-18 | Nippon Parkerizing Co Ltd | 金属表面の皮膜化成処理液 |
| US5084263A (en) * | 1989-07-24 | 1992-01-28 | Mccoy/Defalco Electrochemics, Inc. | Method of preparing inorganic polymeric water complexes and products so produced |
| GEP20002074B (en) * | 1992-05-19 | 2000-05-10 | Westaim Tech Inc Ca | Modified Material and Method for its Production |
| US5540788A (en) * | 1995-02-24 | 1996-07-30 | Mdechem, Inc. | Method of preparing iron-phosphate conversion surfaces |
| US6605751B1 (en) * | 1997-11-14 | 2003-08-12 | Acrymed | Silver-containing compositions, devices and methods for making |
| CA2398771A1 (en) * | 2000-01-31 | 2001-08-02 | Henkel Corporation | Phosphate conversion coating process and composition |
| AUPQ633300A0 (en) * | 2000-03-20 | 2000-04-15 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Process and solution for providing a conversion coating on a metallic surface ii |
| RU2207400C1 (ru) * | 2001-12-17 | 2003-06-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов" | Способ получения защитного покрытия на изделии из магниевого сплава |
| US7087104B2 (en) * | 2003-06-26 | 2006-08-08 | Intel Corporation | Preparation of electroless deposition solutions |
| CN101006142B (zh) * | 2004-06-14 | 2011-03-30 | 皮格门坦涂料用防腐蚀颜料有限公司 | 用于向金属表面上沉积防腐蚀涂层的方法 |
| US20080302267A1 (en) | 2007-06-05 | 2008-12-11 | Defalco Frank G | Compositions and processes for deposition of metal ions onto surfaces of conductive substrates |
| US8317909B2 (en) * | 2007-06-05 | 2012-11-27 | Dfhs, Llc | Compositions and processes for deposition of metal ions onto surfaces of conductive substrates |
-
2008
- 2008-02-04 US US12/025,506 patent/US20080302267A1/en not_active Abandoned
- 2008-06-03 EP EP08770009.2A patent/EP2155927A4/en not_active Withdrawn
- 2008-06-03 CA CA2689437A patent/CA2689437A1/en not_active Abandoned
- 2008-06-03 AU AU2008259858A patent/AU2008259858B2/en not_active Ceased
- 2008-06-03 WO PCT/US2008/065602 patent/WO2008151173A1/en not_active Ceased
- 2008-06-03 JP JP2010511270A patent/JP5722032B2/ja active Active
- 2008-06-03 BR BRPI0811366-1A patent/BRPI0811366A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2008-06-03 CN CN200880023345A patent/CN101730756A/zh active Pending
- 2008-06-03 KR KR1020107000045A patent/KR101506360B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 2008-06-03 MX MX2009013100A patent/MX2009013100A/es active IP Right Grant
- 2008-06-03 RU RU2009145641/02A patent/RU2486284C2/ru active
-
2014
- 2014-05-02 JP JP2014095173A patent/JP5926317B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2155927A4 (en) | 2016-01-13 |
| RU2486284C2 (ru) | 2013-06-27 |
| JP5722032B2 (ja) | 2015-05-20 |
| EP2155927A1 (en) | 2010-02-24 |
| RU2009145641A (ru) | 2011-07-20 |
| CN101730756A (zh) | 2010-06-09 |
| MX2009013100A (es) | 2010-08-18 |
| WO2008151173A1 (en) | 2008-12-11 |
| AU2008259858A1 (en) | 2008-12-11 |
| BRPI0811366A2 (pt) | 2015-06-23 |
| JP2014159643A (ja) | 2014-09-04 |
| KR101506360B1 (ko) | 2015-03-26 |
| JP2010529299A (ja) | 2010-08-26 |
| CA2689437A1 (en) | 2008-12-11 |
| AU2008259858B2 (en) | 2013-01-24 |
| KR20100040832A (ko) | 2010-04-21 |
| US20080302267A1 (en) | 2008-12-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140529 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150721 |
|
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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