JP5944797B2 - Iron-based alloy material and method for producing the same - Google Patents
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Description
本発明は、表面硬化処理を施してなる鉄基合金材及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an iron-based alloy material that is subjected to a surface hardening treatment and a method for producing the same.
鋼に代表される鉄を主成分として有する鉄基合金材の耐摩耗性や疲れ強さを向上させる方策として、種々の表面処理方法が提案されている。最も広く利用されている処理方法としては、鋼に対して行われる浸炭焼入れ処理が挙げられる。浸炭焼入れ処理は、被処理材を加熱した状態で表面から炭素を浸入・拡散させ、表層近傍の炭素濃度を高めた状態で、オーステナイト状態から急冷処理を施して表層部にマルテンサイトを生成させる処理である。マルテンサイト化した表層部は、耐摩耗性及び疲れ強さの向上に寄与する。 Various surface treatment methods have been proposed as measures for improving the wear resistance and fatigue strength of an iron-based alloy material having iron as a main component typified by steel. The most widely used processing method is carburizing and quenching performed on steel. Carburizing and quenching is a process in which carbon is infiltrated and diffused from the surface while the material to be treated is heated, and the carbon concentration in the vicinity of the surface layer is increased to perform quenching treatment from the austenite state to generate martensite in the surface layer part. It is. The martensitic surface layer contributes to improvement in wear resistance and fatigue strength.
一方、浸炭焼入れ処理は、一酸化炭素を含む雰囲気中での727℃を超えるような高温の熱処理が通常必要であり、これに必要なエネルギーの使用量も比較的多い。そのため、浸炭焼入れ処理は、近年注目される二酸化炭素排出量の抑制が難しい処理方法であると言える。また、浸炭焼入れ処理を施した鉄基合金材は、オーステナイトからマルテンサイトへの相変態(マルテンサイト変態)による歪みだけでなく、上記の高温からの急冷に伴う熱歪みが生じるため、寸法や形状を整える後工程が必要となるのが通常である。 On the other hand, carburizing and quenching generally requires high-temperature heat treatment exceeding 727 ° C. in an atmosphere containing carbon monoxide, and the amount of energy required for this heat treatment is relatively large. Therefore, it can be said that the carburizing and quenching treatment is a treatment method in which it is difficult to suppress the carbon dioxide emission that has been attracting attention in recent years. In addition, carburizing and quenching iron-base alloy materials are not only distorted due to the phase transformation from austenite to martensite (martensitic transformation), but also due to the thermal strain associated with the rapid cooling from the high temperatures described above. Usually, a post-process for adjusting the shape is required.
浸炭焼入れ処理と並んでよく行われている表面硬化処理としては、窒化処理がある。窒化処理は、一般に上記浸炭焼入れ処理よりも低温の条件で鉄基合金材の表面から窒素を浸入・拡散させて窒化物を形成することによって表層部を硬化させる処理である。処理方法としては、ガス窒化、ガス軟窒化、塩浴軟窒化、プラズマ窒化に大別される。いずれの処理も、組織の変化によって硬化させるものではなく、硬さの高い窒化物を作ることによって硬化させるものであり、通常は、窒化処理後に焼入れは行わない。 As a surface hardening process often performed along with the carburizing and quenching process, there is a nitriding process. The nitriding treatment is generally a treatment for hardening the surface layer portion by forming nitrogen by intruding and diffusing nitrogen from the surface of the iron-based alloy material under conditions lower than the carburizing and quenching treatment. Treatment methods are roughly classified into gas nitriding, gas soft nitriding, salt bath soft nitriding, and plasma nitriding. All the treatments are not hardened by the change of the structure, but are hardened by forming a nitride having high hardness. Usually, quenching is not performed after the nitriding treatment.
窒化処理は、上記のごとく通常は比較的低温で行う上に相変態を伴わないため、得られる鉄基合金材に生じるひずみ量を小さくすることができる。そのため、窒化処理は、ひずみを抑制し、工程合理化を図ることができる処理として、上述した浸炭焼入れ処理よりも好まれる場合がある。しかしながら、上記従来の一般的な窒化処理の多くは、窒素の浸入・拡散の処理に長時間を要することが課題としてあげられている。 As described above, the nitriding treatment is usually performed at a relatively low temperature and does not involve a phase transformation. Therefore, the amount of strain generated in the obtained iron-based alloy material can be reduced. Therefore, the nitriding treatment may be preferred to the above-described carburizing and quenching treatment as a treatment capable of suppressing strain and streamlining the process. However, many of the conventional general nitriding processes mentioned above require that a long time is required for the nitrogen intrusion / diffusion process.
比較的新しい表面硬化処理方法として、特許文献1に記載の浸窒焼入れ処理方法がある。この浸窒焼入れ処理方法は、600℃〜800℃という従来の一般的な窒化処理に比べて高温条件でアンモニアを用いて浸窒処理し、被処理材の表面から窒素を浸透拡散させた上で、急冷して焼入れするというものである。 As a relatively new surface hardening treatment method, there is a nitrogen quenching treatment method described in Patent Document 1. This nitriding quenching method is performed by performing nitriding treatment using ammonia at a high temperature condition compared with the conventional general nitriding treatment of 600 ° C. to 800 ° C., and diffusing nitrogen from the surface of the material to be treated. , Quenching and quenching.
この特許文献1の浸窒焼入れ処理方法によれば、従来の窒化処理における窒化物による硬化効果ではなく、窒素が拡散した領域をマルテンサイト変態させることによる硬化効果が得られる。また、この方法は、従来の一般的な窒化処理に比べて浸窒処理の時間を大幅に短縮できる点で優れている。また、前述した浸炭焼入れ処理に比べると焼入れ前の加熱温度を低くできるため、その分ひずみの発生を抑制することもできる。 According to the nitriding quenching method of Patent Document 1, not the hardening effect by nitride in the conventional nitriding treatment but the hardening effect by martensitic transformation in the region where nitrogen diffuses can be obtained. Further, this method is superior in that the time for the nitriding treatment can be greatly shortened as compared with the conventional general nitriding treatment. Moreover, since the heating temperature before quenching can be lowered as compared with the carburizing quenching process described above, generation of strain can be suppressed accordingly.
上記のごとく、特許文献1の浸窒焼入れ処理方法は優れた表面硬化処理方法であると言えるが、アンモニアを処理ガスとして用いなければならない点が課題として挙げられている。アンモニアは、高温で加熱炉などの設備の劣化を早めるだけではなく、排気前に分解処理する必要があるなど不具合点が多い。また、上記浸窒焼入れ処理方法により比較的多量の窒素を浸入させた場合には、被処理品の断面観察の結果、表層近傍に多数のボイドが生じることがある。 As described above, it can be said that the nitrogen quenching treatment method of Patent Document 1 is an excellent surface hardening treatment method, but the problem is that ammonia must be used as a treatment gas. Ammonia does not only accelerate deterioration of equipment such as a heating furnace at a high temperature, but also has a number of problems such as being required to be decomposed before exhaust. In addition, when a relatively large amount of nitrogen is infiltrated by the above nitriding and quenching method, many voids may be generated near the surface layer as a result of cross-sectional observation of the article to be treated.
アンモニアを用いない方法として、従来の一般的な窒化処理を浸窒処理として採用することが考えられる。しかしながら、上述したごとく、従来の一般的な窒化処理の多くは、窒素の浸入・拡散の処理に長時間を要することが問題である。ここで、従来の窒化処理のうち、窒素の浸入・拡散の処理時間が比較的短い処理として、プラズマ窒化がある。 As a method not using ammonia, it is conceivable to adopt a conventional general nitriding treatment as a nitriding treatment. However, as described above, many of the conventional general nitriding processes have a problem that a long time is required for the nitrogen intrusion / diffusion process. Here, among the conventional nitriding treatments, plasma nitriding is a treatment with a relatively short nitrogen infiltration / diffusion treatment time.
プラズマ窒化は、具体的には、処理炉内を真空ポンプで排気した後、炉内に窒素(N2)と水素(H2)の混合ガスを導入し、590℃未満の温度条件において、炉と被処理材との間に直流電圧を印加して両者の間にグロー放電を発生させ、グロー放電に伴って、窒素をイオン化して被処理材の表面から浸入させる処理である。このようなプラズマ窒化を上記浸窒焼入れ処理方法における浸窒処理工程に採用することも考えられるが、単純に従来のプラズマ窒化を採用しただけでは、AlやClなどの合金成分が添加されていない鋼を硬化させることが難しい。 Specifically, in the plasma nitriding, after the inside of the processing furnace is evacuated with a vacuum pump, a mixed gas of nitrogen (N 2 ) and hydrogen (H 2 ) is introduced into the furnace, and in a temperature condition of less than 590 ° C., And a material to be treated, a direct current voltage is applied to generate a glow discharge between them, and nitrogen is ionized and penetrated from the surface of the material to be treated along with the glow discharge. Although it is conceivable to employ such plasma nitriding in the nitriding treatment step in the above nitriding and quenching treatment method, an alloy component such as Al or Cl is not added simply by adopting conventional plasma nitriding. Hard to harden steel.
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、アンモニアを用いることなく鉄基合金材の表面に窒素を浸入させることができ、かつ、焼入れ処理後においてもボイドが抑制された表面硬化処理を施した鉄基合金材及びその製造方法を提供しようとするものである。 The present invention has been made in view of such a background, and it is possible to infiltrate nitrogen into the surface of an iron-based alloy material without using ammonia, and surface hardening treatment in which voids are suppressed even after quenching treatment. It is intended to provide an iron-based alloy material subjected to the above and a method for producing the same.
本発明の一態様は、鉄を主成分とする鉄基合金材からなるワークを590℃以上の温度に加熱した状態で、水素を供給することなく窒素ガスを供給しながら上記ワークにプラズマ浸窒処理を行って、表層近傍に0.1〜1.2質量%の窒素が浸入した窒素拡散層を形成し、
その後、上記ワークを590℃以上の温度から急冷し、上記窒素拡散層中にマルテンサイトを生成させることを特徴とする鉄基合金材の製造方法にある。
One aspect of the present invention is a plasma nitriding process in which a workpiece made of an iron-based alloy material containing iron as a main component is heated to a temperature of 590 ° C. or higher while supplying nitrogen gas without supplying hydrogen. Processing is performed to form a nitrogen diffusion layer in which 0.1 to 1.2% by mass of nitrogen enters the vicinity of the surface layer,
Thereafter, the work is rapidly cooled from a temperature of 590 ° C. or higher to produce martensite in the nitrogen diffusion layer .
本発明の他の態様は、鉄を主成分とする鉄基合金材であって、
その表層近傍に0.1〜1.2質量%の窒素が浸入した窒素拡散層を有し、該窒素拡散層は、マルテンサイトが存在し、かつ、ボイドが存在していないことを特徴とする鉄基合金材にある。
Another aspect of the present invention is an iron-based alloy material mainly composed of iron,
In the vicinity of the surface layer, it has a nitrogen diffusion layer in which 0.1 to 1.2% by mass of nitrogen has entered, and the nitrogen diffusion layer is characterized in that martensite is present and voids are not present. It is in iron-base alloy material .
上記鉄基合金材の製造方法は、上記ごとく、ワークを590℃以上という比較的高温に加熱した状態で、水素ガスを用いることなく窒素ガスを供給しながら上記ワークにプラズマ浸窒処理を施して窒素拡散層を形成する。つまり、上記鉄基合金材の製造方法は、水素ガスの導入を省略し、窒素ガスを用いてワークの表面からの窒素の浸入を進めることができる。そのため、従来のようなアンモニアを窒素源として利用する必要がない。したがって、アンモニアを取り扱う際の不具合を完全に排除することができる。 As described above, the method for producing the iron-based alloy material includes subjecting the workpiece to plasma nitriding while supplying nitrogen gas without using hydrogen gas in a state where the workpiece is heated to a relatively high temperature of 590 ° C. or more. A nitrogen diffusion layer is formed. That is, in the method for producing the iron-based alloy material, introduction of hydrogen gas can be omitted, and nitrogen can be introduced from the surface of the workpiece using nitrogen gas. Therefore, it is not necessary to use conventional ammonia as a nitrogen source. Therefore, the trouble at the time of handling ammonia can be eliminated completely.
また、上記プラズマ浸窒処理を完了したワークには、590℃以上の温度から急冷する焼入れ処理を施す。これにより、得られた鉄基合金材は、窒素を浸入させた窒素拡散層にマルテンサイトが生成して硬化効果が得られると共に、この窒素拡散層にボイドが生じることを確実に抑制することができる。ボイド生成を抑制できる理由は、上記プラズマ浸窒処理時に水素ガスを用いないことにより、ワークの表層から窒素と共にわずかな水素が浸入することを防止できるためだと考えられる。また、窒素拡散層においてマルテンサイト生成による硬化効果が得られる理由は、プラズマ浸窒処理を上記のごとく従来のプラズマ窒化よりも高温で行うことによって、窒素オーステナイト層中に窒素を高速浸入・高速拡散できるという作用効果が得られるためであると考えられる。 Moreover, the workpiece | work which completed the said plasma nitriding process is quenched by quenching from a temperature of 590 ° C. or higher. As a result, the obtained iron-based alloy material can produce martensite in the nitrogen diffusion layer in which nitrogen is infiltrated to obtain a hardening effect, and reliably suppress the generation of voids in the nitrogen diffusion layer. it can. The reason why the generation of voids can be suppressed is considered to be that a small amount of hydrogen can be prevented from entering from the surface layer of the workpiece together with nitrogen by not using hydrogen gas during the plasma nitriding treatment. The reason why the hardening effect by martensite generation is obtained in the nitrogen diffusion layer is that the nitrogen nitriding treatment is performed at a higher temperature than the conventional plasma nitriding as described above, so that nitrogen can be rapidly penetrated and diffused in the nitrogen austenite layer. This is considered to be because the effect of being able to be obtained is obtained.
このようなマルテンサイトが含まれた窒素拡散層を表層近傍に有すると共にこの窒素拡散層にボイドが全く含まれない鉄基合金材は、ボイドがき裂の起点となり、疲れ強さを低下させるという不具合が生じることを確実に抑制することができる。 An iron-base alloy material that has a nitrogen diffusion layer containing martensite in the vicinity of the surface layer and no voids in the nitrogen diffusion layer is a defect that voids become the starting point of cracks and reduce fatigue strength. Can be reliably suppressed.
このように、上記態様によれば、アンモニアを用いることなく鉄基合金材の表面に窒素を浸入させることができ、かつ、焼入れ処理後においてもボイドが生じない表面硬化処理を施した鉄基合金材及びその製造方法を提供することができる。 Thus, according to the above aspect, an iron-based alloy that has been subjected to a surface hardening treatment that allows nitrogen to enter the surface of the iron-based alloy material without using ammonia and that does not cause voids even after the quenching treatment. A material and a method for manufacturing the same can be provided.
上記鉄基合金材としては、炭素鋼、合金鋼などの各種の鋼材料、ステンレス鋼、ばね鋼、軸受鋼、工具鋼、耐熱鋼等が挙げられる。特に、一般的な炭素鋼は、表面改質によってその用途を拡大することが可能であり、上記製造方法の利用が非常に有効である。 Examples of the iron-based alloy material include various steel materials such as carbon steel and alloy steel, stainless steel, spring steel, bearing steel, tool steel, heat resistant steel and the like. In particular, general carbon steel can be expanded in its application by surface modification, and the use of the above production method is very effective.
また、上記プラズマ浸窒処理時に供給する窒素ガスには、実質的には他の成分は混合させないことが好ましいが、水素ガス以外のガスであって、プラズマ浸窒処理に悪影響を及ぼさないガスを何らかの理由で混合させることは許容しうる。供給する窒素ガスは、窒素の浸入・拡散を促進させる観点から、窒素分圧が100Pa程度以上であることが好ましく、より好ましくは、150Pa程度以上であるとよい。また、上記窒素分圧は、異常放電などの観点から、1000Pa程度以下であるとよく、好ましくは、500Pa程度以下であるとよい。 Further, it is preferable that substantially no other components are mixed in the nitrogen gas supplied during the plasma nitriding treatment, but a gas other than hydrogen gas that does not adversely affect the plasma nitriding treatment is used. Mixing for some reason is acceptable. The nitrogen gas to be supplied preferably has a nitrogen partial pressure of about 100 Pa or more, more preferably about 150 Pa or more, from the viewpoint of promoting nitrogen intrusion / diffusion. Further, the nitrogen partial pressure is preferably about 1000 Pa or less, and preferably about 500 Pa or less from the viewpoint of abnormal discharge or the like.
また、上記窒素拡散層は、0.1〜1.2質量%の窒素が浸入した層とする。窒素拡散層の窒素濃度を上記範囲にすることにより、窒素の浸入による焼入れ可能温度の低温化を利用したオーステナイトの生成(後のマルテンサイトの生成)の促進を図ることができる。上記焼入れ可能温度の低温化の効果を十分に得る観点から、上記窒素拡散層は、好ましくは、0.15質量%以上、より好ましくは、0.2質量%以上の窒素が浸入した層とすることができる。一方、製造性、ボイド抑制等の観点から、上記窒素拡散層は、好ましくは、1.15質量%以下、より好ましくは、1.1質量%以下の窒素が浸入した層とすることができる。 The nitrogen diffusion layer is a layer in which 0.1 to 1.2% by mass of nitrogen has entered . By setting the nitrogen concentration of the nitrogen diffusion layer in the above range, it is possible to promote the generation of austenite (the subsequent generation of martensite) using the lowering of the quenchable temperature by the ingress of nitrogen. From the viewpoint of sufficiently obtaining the effect of lowering the quenchable temperature, the nitrogen diffusion layer is preferably a layer in which nitrogen of 0.15% by mass or more, more preferably 0.2% by mass or more has entered. be able to. On the other hand, from the viewpoints of manufacturability, suppression of voids, and the like, the nitrogen diffusion layer can be a layer in which nitrogen of 1.15% by mass or less, more preferably 1.1% by mass or less, has entered.
また、上記プラズマ浸窒処理後の焼入れ処理は、プラズマ浸窒処理時の加熱状態から連続的に直接急冷する処理を採用してもよいが、プラズマ浸窒処理と焼入れ処理とを分離することも可能である。プラズマ浸窒処理と焼入れ処理を分離する場合には、上記プラズマ浸窒処理後に、上記ワークを少なくとも590℃未満まで冷却し、その後、高周波誘導加熱により上記ワークを再加熱した後に上記急冷を行う方法を採用することができる。この場合には、焼入れ処理前の加熱手段として上記高周波誘導加熱処理を採用することにより、特定部位または全体を短時間で精度よく加熱処理を行うことができ、製造の合理化を図ることができる。 In addition, the quenching treatment after the plasma nitriding treatment may employ a process of directly and rapidly quenching from the heating state during the plasma nitriding treatment, but the plasma nitriding treatment and the quenching treatment may be separated. Is possible. In the case of separating the plasma nitriding treatment and the quenching treatment, after the plasma nitriding treatment, the workpiece is cooled to at least less than 590 ° C., and then the workpiece is reheated by high frequency induction heating and then the rapid cooling is performed. Can be adopted . In this case, by adopting the high frequency induction heat treatment as a heating means before the quenching treatment, the specific portion or the whole can be heat treated with high accuracy in a short time, and the production can be rationalized.
上記ワークを冷却する温度は、製造性などの観点から、100℃程度以下が好ましく、より好ましくは、35℃程度以下であるとよい。なお、上記ワークを冷却する温度は、コストなどの観点から、100℃程度以上とすることもできる。 The temperature for cooling the workpiece is preferably about 100 ° C. or less, more preferably about 35 ° C. or less, from the viewpoint of manufacturability and the like. In addition, the temperature which cools the said workpiece | work can also be about 100 degreeC or more from viewpoints, such as cost.
また、上記プラズマ浸窒処理は、上記ワークを装入した炉内を真空度1000Pa以下まで減圧した後、上記炉内に設けた窒素導入部から窒素を導入し、その後、上記ワークを590℃以上に昇温した後、上記炉内に設けた電極又は炉壁を陽極、上記ワークを陰極として両者の間に直流電圧を印加してグロー放電を生じさせることにより行うことができる。 In the plasma nitriding treatment, the inside of the furnace charged with the work is depressurized to a vacuum degree of 1000 Pa or less, then nitrogen is introduced from a nitrogen introducing portion provided in the furnace, and then the work is moved to 590 ° C. or higher. After the temperature has been raised, an electrode or furnace wall provided in the furnace is used as an anode, and the workpiece is used as a cathode, and a direct current voltage is applied between the two to cause glow discharge .
上記のごとく、炉内への窒素の導入の前に、炉内を所定範囲まで減圧することにより、処理前に炉内に存在していた雰囲気ガスを排出して非常にクリーンな状態でプラズマ浸窒処理を進めることができる。上記減圧時の真空度は低いほど好ましいが、設備的な問題や処理時間の関係から少なくとも上記特定の真空度を確保すればよい。 As described above, before introducing nitrogen into the furnace, the inside of the furnace is depressurized to a predetermined range so that the atmospheric gas existing in the furnace before the treatment is discharged and the plasma is immersed in a very clean state. Nitrogen treatment can proceed. The lower the degree of vacuum at the time of depressurization, the better. However, at least the specific degree of vacuum may be ensured from the viewpoint of equipment problems and processing time.
また、上記グロー放電は、上記炉内に設けた電極又は炉壁とワークとの間で生じさせることが好ましい。これにより、窒素のイオン化を効率よく行うことができ、窒素の浸入・拡散を促進することができる。なお、炉内に設けた窒素導入部を上記電極として用いることも可能である。 The glow discharge is preferably generated between an electrode or furnace wall provided in the furnace and a workpiece. Thereby, ionization of nitrogen can be performed efficiently, and infiltration and diffusion of nitrogen can be promoted. It is also possible to use a nitrogen inlet provided in the furnace as the electrode.
また、上記プラズマ浸窒処理時の上記ワークの加熱温度は上記のごとく、590℃以上とするが、その上限は、ワークにおいて結晶粒の粗大化が生じやすくなるという理由により1100℃とすることが好ましい。また、上記プラズマ浸窒処理をより効率よく行うためには、特に、600〜800℃とすることが好ましい。 Further, the heating temperature of the workpiece during the plasma nitriding treatment is 590 ° C. or higher as described above, but the upper limit is set to 1100 ° C. because the crystal grains are likely to be coarsened in the workpiece. preferable. Moreover, in order to perform the said plasma nitriding process more efficiently, it is preferable to set it as 600-800 degreeC especially.
上記鉄基合金材及びその製造方法にかかる実施例及び比較例について説明する。本例では、複数種類の鉄基合金材(試料1〜10)を製造し、各種特性を評価した。まず、試料1〜10の材質としては、表1に示す材質a〜cのいずれかを用いた。 Examples and comparative examples relating to the iron-based alloy material and the manufacturing method thereof will be described. In this example, a plurality of types of iron-based alloy materials (samples 1 to 10) were manufactured, and various characteristics were evaluated. First, any of materials a to c shown in Table 1 was used as a material for samples 1 to 10.
各試料としては、上記材質からなる直径10mm×長さ35mmの棒材を準備した。そして、各試料(ワーク)に対し後述する条件でプラズマ浸窒処理を施し、その後、一部の試料に対して後述する条件で焼入れ処理を施した。 As each sample, a bar made of the above material and having a diameter of 10 mm × length of 35 mm was prepared. Each sample (work) was subjected to a plasma nitriding treatment under the conditions described later, and then a part of the samples was subjected to a quenching treatment under the conditions described later.
図1に示すように、プラズマ浸窒処理を行うためのプラズマ浸窒装置5は、内部を密閉してなる炉心管50と、その外周に配置された加熱装置51とを有する。炉心管50内には、外部の窒素供給源(図示略)から延びる窒素供給管52に接続された窒素導入部53を有している。窒素導入部53から所定距離離れた位置には、ワーク1(試料)設置場所が設けられている。また、炉心管50には、内部を減圧するための真空ポンプ54が接続されている。また、炉心管50には、バルブ59を介して焼入れ槽60が接続されており、大気に触れることなくワーク1を焼入れ槽に投入可能とされている。また、炉心管50内には、温度測定用の熱電対55が挿入配置されている。炉心管50の外部には、窒素導入部53を陽極、ワーク1を陰極として両者の間に直流電圧を印加するための直流電源56が設置されている。直流電源56は、電線57により窒素導入部53に電気的に接続され、電線58によりワーク1に電気的に接続されている。つまり、本例では、窒素導入部を陽極として用いている。 As shown in FIG. 1, a plasma nitriding apparatus 5 for performing a plasma nitriding process includes a furnace core tube 50 that is hermetically sealed and a heating device 51 disposed on the outer periphery thereof. The furnace tube 50 has a nitrogen inlet 53 connected to a nitrogen supply pipe 52 extending from an external nitrogen supply source (not shown). A work 1 (sample) installation place is provided at a position away from the nitrogen introduction unit 53 by a predetermined distance. In addition, a vacuum pump 54 for reducing the pressure inside is connected to the core tube 50. A quenching tank 60 is connected to the core tube 50 through a valve 59 so that the workpiece 1 can be put into the quenching tank without being exposed to the atmosphere. Further, a thermocouple 55 for temperature measurement is inserted and disposed in the core tube 50. A DC power source 56 for applying a DC voltage between the two with the nitrogen introducing portion 53 as an anode and the work 1 as a cathode is installed outside the core tube 50. The DC power source 56 is electrically connected to the nitrogen introducing portion 53 by an electric wire 57 and is electrically connected to the workpiece 1 by an electric wire 58. That is, in this example, the nitrogen introduction part is used as the anode.
プラズマ浸窒処理は、このような構成のプラズマ浸窒装置5を用いて、炉心管50内の真空度、温度、窒素ガスの供給量の制御に加え、直流電源56によって印加する電圧及び電流を制御することによって行う。 In the plasma nitriding treatment, the voltage and current applied by the DC power source 56 are controlled in addition to the control of the degree of vacuum, temperature, and supply amount of nitrogen gas in the core tube 50 using the plasma nitriding apparatus 5 having such a configuration. Do by controlling.
焼入れ処理は、図示しない高周波誘導加熱装置と所定の冷却装置を用いて、一部の試料に対して実施した。
以下、各試料ごとの具体的な処理条件について説明する。
The quenching process was performed on some samples using a high-frequency induction heating device and a predetermined cooling device (not shown).
Hereinafter, specific processing conditions for each sample will be described.
<試料の作製>
−試料1−
試料1は,材質b(表1)を採用したものである。この試料1に対しては図2に示すプロファイルに従って、プラズマ浸窒処理を施した。具体的には、まず、上記プラズマ浸窒装置5の炉心管50内にワーク1(試料1)をセットし、炉内を20Paまで減圧した(図2の(A))。その後、窒素ガスのみを窒素導入部53から導入した(図2の(B))。そして、炉内での窒素分圧が150Paに到達した時点で炉内の昇温を開始した(図2の(C))。その後、ワーク1の温度が750℃にて一定となるよう過熱状態を制御し、窒素分圧は150Paとなるように制御した(図2の(D)、均熱処理)。この雰囲気状態において、窒素導入部53を陽極、ワーク1を陰極として両者の間に直流電圧を印加してグロー放電を生じさせた。直流電圧の条件は、電圧:700V、通電時間2時間という条件とした(図2の(E))。その後、炉心管50の加熱を停止し、炉内と同様に減圧した焼入れ槽60へ大気に触れることなく試料1を投入して急冷した(図2の(F))。試料1は80℃の焼入れ油により焼入れされた。
<Preparation of sample>
-Sample 1-
Sample 1 employs material b (Table 1). This sample 1 was subjected to plasma nitriding treatment according to the profile shown in FIG. Specifically, first, the workpiece 1 (sample 1) was set in the furnace core tube 50 of the plasma nitriding apparatus 5, and the pressure in the furnace was reduced to 20 Pa ((A) in FIG. 2). Thereafter, only nitrogen gas was introduced from the nitrogen introduction part 53 ((B) of FIG. 2). And when the nitrogen partial pressure in the furnace reached 150 Pa, the temperature inside the furnace was started to rise ((C) in FIG. 2). Thereafter, the overheating state was controlled so that the temperature of the workpiece 1 was constant at 750 ° C., and the nitrogen partial pressure was controlled to be 150 Pa ((D) in FIG. 2, soaking). In this atmosphere state, a glow discharge was generated by applying a DC voltage between the nitrogen introducing portion 53 as an anode and the workpiece 1 as a cathode. The conditions of the DC voltage were as follows: voltage: 700 V, energization time: 2 hours ((E) in FIG. 2). Thereafter, the heating of the core tube 50 was stopped, and the sample 1 was put into the quenching tank 60, which was decompressed in the same manner as in the furnace, without being exposed to the atmosphere and rapidly cooled ((F) in FIG. 2). Sample 1 was quenched with quenching oil at 80 ° C.
−試料2、試料3−
試料2及び試料3は、試料1と同様に材質bを採用したものであり、試料1と同様のプラズマ浸窒処理及び焼入れ処理を行ったが、プラズマ浸窒処理時の窒素分圧条件のみ変更したものである。試料2の場合には、窒素分圧を200Paに設定した。試料3の場合には、窒素分圧を250Paに設定した。
-Sample 2, Sample 3-
Sample 2 and Sample 3 are made of material b as in Sample 1, and were subjected to the same plasma nitriding and quenching as Sample 1, but only the nitrogen partial pressure conditions during plasma nitriding were changed. It is a thing. In the case of sample 2, the nitrogen partial pressure was set to 200 Pa. In the case of sample 3, the nitrogen partial pressure was set to 250 Pa.
−試料4−
試料4は、試料2と同様に材質bを採用したものであり、試料2と同様のプラズマ浸窒処理を施した後、焼入れ処理を行わなかったものである。つまり、試料2とは、焼入れ処理を行わなかった点だけ異なる。
-Sample 4-
Sample 4 is the same as sample 2 but is made of material b. The sample 4 is subjected to the plasma nitriding treatment similar to that of sample 2 and is not subjected to the quenching treatment. That is, the sample 2 differs from the sample 2 only in that the quenching process was not performed.
−試料5−
試料5は、試料1と同様に材質bを採用したものであるが、従来のアンモニアを窒素源として用いた窒化処理を行った例である。試料5の窒化条件は、上記のアンモニアによる窒化処理の条件であり、具体的には、導入窒素流量:5[L/min]、導入アンモニア流量:1[L/min]、処理温度:750℃、処理時間:1.5時間という条件により実施した。焼入れは、大気雰囲気中で80℃の焼入れ油に投入することにより行った。その他の条件は、試料1の場合と同様とした。
-Sample 5-
Sample 5 employs material b in the same manner as sample 1, but is an example in which nitriding treatment using conventional ammonia as a nitrogen source was performed. The nitriding conditions for Sample 5 are the conditions for the above nitriding treatment with ammonia. Specifically, the introduced nitrogen flow rate: 5 [L / min], the introduced ammonia flow rate: 1 [L / min], the treatment temperature: 750 ° C. The treatment time was 1.5 hours. Quenching was performed by putting in quenching oil at 80 ° C. in an air atmosphere. Other conditions were the same as those of Sample 1.
−試料6−
試料6は、試料2と材質を変更し、材質a(表1)を採用し、試料2と同じ浸窒処理及び焼入れ処理を施したものである。
-Sample 6
Sample 6 is obtained by changing the material from Sample 2, adopting material a (Table 1), and performing the same nitriding treatment and quenching treatment as Sample 2.
−試料7−
試料7は、試料2と材質を変更し、材質c(表1)を採用し、試料2と同じ浸窒処理及び焼入れ処理を施したものである。
-Sample 7-
Sample 7 is obtained by changing the material from Sample 2, adopting material c (Table 1), and performing the same nitriding treatment and quenching treatment as Sample 2.
−試料8−
試料8は、試料1と同様に材質bを採用したものであり、処理時間を1時間と変更した以外は試料1と同様のプラズマ浸窒処理を施した。その後、炉心管50の加熱を停止し、炉内にワーク1を放置して35℃以下まで放冷した。次いで、このワーク1を高周波誘導加熱によって830℃まで加熱した後、水を噴射し焼入れした。
-Sample 8-
Sample 8 was the same as Sample 1 in that material b was used, and the same plasma nitriding treatment as Sample 1 was performed except that the treatment time was changed to 1 hour. Thereafter, heating of the core tube 50 was stopped, and the workpiece 1 was left in the furnace and allowed to cool to 35 ° C. or lower. Next, the workpiece 1 was heated to 830 ° C. by high frequency induction heating, and then water was injected and quenched.
−試料9、試料10−
試料9及び試料10は、試料8と同様に材質bを採用したものであり、試料8と同様のプラズマ浸窒処理及び焼入れ処理を行ったが、プラズマ浸窒処理時の窒素分圧条件のみ変更したものである。試料9の場合には、窒素分圧を200Paに設定した。試料10の場合には、窒素分圧を250Paに設定した。
-Sample 9, Sample 10-
Sample 9 and Sample 10 are made of material b as in Sample 8, and were subjected to plasma nitriding and quenching similar to Sample 8, but only the nitrogen partial pressure conditions during plasma nitriding were changed. It is a thing. In the case of sample 9, the nitrogen partial pressure was set to 200 Pa. In the case of sample 10, the nitrogen partial pressure was set to 250 Pa.
<評価・考察> <Evaluation / Discussion>
図3に、試料1〜試料3の窒素濃度プロファイルを示す。試料1〜試料3は、試料作製時における窒素分圧が異なっている。なお、窒素濃度の測定には、電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)を用いた。 FIG. 3 shows nitrogen concentration profiles of Sample 1 to Sample 3. Samples 1 to 3 have different nitrogen partial pressures during sample preparation. An electron probe microanalyzer (EPMA) was used for measuring the nitrogen concentration.
図3に示すように、水素ガスの導入を省略し、窒素ガスを用いて鉄基合金材からなるワークの表面から窒素の浸入を進めることができることがわかる。そのため、従来のようにアンモニアを窒素源として利用する必要がなく、アンモニアを取り扱う際の不具合を完全に排除できるといえる。また、プラズマ浸窒処理時における炉内の窒素分圧が高いほどよりワークの表面から窒素が浸入しやすいこともわかる。これは、炉内の窒素分圧が高いほど活性な窒素イオンの量が増えるためであると考えられる。 As shown in FIG. 3, it can be seen that introduction of hydrogen gas can be omitted, and nitrogen can be introduced from the surface of the workpiece made of the iron-based alloy material using nitrogen gas. For this reason, it is not necessary to use ammonia as a nitrogen source as in the prior art, and it can be said that problems in handling ammonia can be completely eliminated. It can also be seen that the higher the nitrogen partial pressure in the furnace during the plasma nitriding treatment, the more nitrogen can enter from the surface of the workpiece. This is considered to be because the amount of active nitrogen ions increases as the nitrogen partial pressure in the furnace increases.
図4に、試料2における横断面の光学顕微鏡写真を示す。また、図5に、試料5における横断面の光学顕微鏡写真を示す。なお、試料2の表面窒素濃度は1.15mass%であり、試料5の表面窒素濃度は1.02mass%であった。 In FIG. 4, the optical micrograph of the cross section in the sample 2 is shown. FIG. 5 shows an optical micrograph of a cross section of Sample 5. The surface nitrogen concentration of sample 2 was 1.15 mass%, and the surface nitrogen concentration of sample 5 was 1.02 mass%.
これらの結果からわかるように、所定のプラズマ浸窒処理及び焼入れ処理を行った試料2は、従来のアンモニアによる浸窒処理および焼入れ処理を行った試料5に比べ、表面窒素濃度が高い。それにもかからず、試料2は、窒素拡散層中にボイドVが形成されていない。したがって、所定のプラズマ浸窒処理及び焼入れ処理を行う手法は、ボイド生成を抑制する効果が高いといえる。 As can be seen from these results, the sample 2 subjected to the predetermined plasma nitriding treatment and quenching treatment has a higher surface nitrogen concentration than the sample 5 subjected to the conventional nitriding treatment and quenching treatment with ammonia. Nevertheless, the sample 2 has no void V formed in the nitrogen diffusion layer. Therefore, it can be said that the method of performing the predetermined plasma nitriding treatment and quenching treatment has a high effect of suppressing void generation.
図6〜図8に、それぞれ、試料2、試料6、試料7のそれぞれの硬さプロファイル及び窒素濃度プロファイルを示す。これらの図は、材質を純鉄(材質a)、S15C(材質b)、S35C(材質c)と変え、同一の条件で所定のプラズマ浸窒処理及び焼入れ処理を施したときの硬さプロファイル及び窒素濃度プロファイルを示すものである。 6 to 8 show the hardness profiles and nitrogen concentration profiles of Sample 2, Sample 6, and Sample 7, respectively. These figures show the hardness profile when the material is changed to pure iron (material a), S15C (material b), S35C (material c), and subjected to predetermined plasma nitriding treatment and quenching treatment under the same conditions. It shows a nitrogen concentration profile.
これらの結果からわかるように、いずれの材質を用いた場合であっても、窒素濃度が増えるほど、窒素拡散層の硬さが増加することがわかる。また、これらの結果と図3の結果とをあわせると、プラズマ浸窒処理時における炉内の窒素分圧を制御し、窒素拡散層の窒素濃度を制御することにより、窒素拡散層の硬度を所望の値に制御することができるといえる。 As can be seen from these results, it can be seen that the hardness of the nitrogen diffusion layer increases as the nitrogen concentration increases, regardless of which material is used. Further, when these results and the results shown in FIG. 3 are combined, the nitrogen partial pressure in the furnace during the plasma nitriding process is controlled, and the nitrogen concentration of the nitrogen diffusion layer is controlled, so that the hardness of the nitrogen diffusion layer is desired. It can be said that the value can be controlled.
図9に、試料2、試料6、試料7の窒素濃度プロファイルを示す。図10に、試料2、試料6、試料7の硬さプロファイルを示す。これらの図は、それぞれ、材質別の窒素濃度プロファイル、材質別の硬さプロファイルを示すものである。 FIG. 9 shows nitrogen concentration profiles of Sample 2, Sample 6, and Sample 7. FIG. 10 shows the hardness profiles of Sample 2, Sample 6, and Sample 7. These figures show a nitrogen concentration profile for each material and a hardness profile for each material.
これらの結果からわかるように、いずれの試料でも表面窒素濃度に大差はないが、炭素濃度が高い試料ほど窒素がより深くまで拡散していることがわかる。この理由としては、窒素は浸入型の原子なので炭素が多い鋼種ほど、鉄格子が歪められ隙間が大きくなり、窒素が拡散するのを助けているのではないかと推察される。 As can be seen from these results, there is no great difference in the surface nitrogen concentration in any sample, but it can be seen that the sample with higher carbon concentration diffuses deeper into nitrogen. The reason for this is presumed that because nitrogen is an intrusion-type atom, the steel type with more carbon may distort the iron lattice, increase the gap, and help nitrogen diffuse.
図11に、試料4、試料9の硬さプロファイルを示す。試料4と試料9は、ともにプラズマ浸窒処理の条件は同じであるが、試料4は、焼入れせずに炉内で空冷したものである。一方、試料9は、空冷後に高周波焼入れを行ったものである。 FIG. 11 shows hardness profiles of Sample 4 and Sample 9. Sample 4 and sample 9 have the same plasma nitriding conditions, but sample 4 is air-cooled in a furnace without quenching. On the other hand, the sample 9 is obtained by induction hardening after air cooling.
この結果からわかるように、ワークは、プラズマ浸窒処理だけでは大幅に硬化しないが、その後に590℃以上の温度から急冷する焼入れ処理を組み合わせることにより大幅に硬化することがわかる。 As can be seen from this result, the work is not significantly hardened only by the plasma nitriding treatment, but it is found that the work is hardened significantly by combining a quenching treatment that is rapidly cooled from a temperature of 590 ° C. or higher.
図12に、試料8、試料9、試料10の硬さプロファイルを示す 図12は各窒素分圧における高周波焼入れ後の硬さプロファイルを示している。
この結果からわかるように、窒素分圧が高いほど鋼がより深くまで硬化していることがわかる。したがって、プラズマ浸窒処理時における炉内の窒素分圧を制御して窒素拡散層の窒素濃度を制御し、さらに、高周波焼入れを併用することによって、窒素拡散層の硬度を所望の値に制御しつつ、ワークの特定部位または全体を短時間で精度良く加熱でき、製造の合理化を図ることができるといえる。
FIG. 12 shows the hardness profiles of Sample 8, Sample 9, and Sample 10. FIG. 12 shows the hardness profiles after induction hardening at each nitrogen partial pressure.
As can be seen from this result, the higher the nitrogen partial pressure, the deeper the steel is hardened. Accordingly, the nitrogen concentration in the furnace is controlled by controlling the nitrogen partial pressure in the furnace during plasma nitriding, and the hardness of the nitrogen diffusion layer is controlled to a desired value by using induction hardening together. On the other hand, it can be said that the specific part or the whole of the workpiece can be accurately heated in a short time, and the production can be rationalized.
上記によれば、アンモニアを用いることなく鉄基合金材の表面に窒素を浸入させることができ、かつ、焼入れ処理後においてもボイドが生じない表面硬化処理を施した鉄基合金材及びその製造方法を提供することができることが確認された。 According to the above, an iron-based alloy material that has been subjected to a surface hardening treatment that allows nitrogen to enter the surface of the iron-based alloy material without using ammonia and that does not cause voids even after the quenching treatment, and a method for producing the same It was confirmed that we can provide.
以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を損なわない範囲内で種々の変更が可能である。 As mentioned above, although the Example of this invention was described in detail, this invention is not limited to the said Example, A various change is possible within the range which does not impair the meaning of this invention.
1 ワーク
5 プラズマ浸窒装置
50 炉心管
51 加熱装置
52 窒素供給管
53 窒素導入部
54 真空ポンプ
60 焼入れ槽
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Work 5 Plasma nitriding apparatus 50 Core tube 51 Heating apparatus 52 Nitrogen supply pipe 53 Nitrogen introduction part 54 Vacuum pump 60 Quenching tank
Claims (4)
その後、上記ワークを590℃以上の温度から急冷し、上記窒素拡散層中にマルテンサイトを生成させることを特徴とする鉄基合金材の製造方法。 In a state where a workpiece made of an iron-based alloy material containing iron as a main component is heated to a temperature of 590 ° C. or higher, plasma nitriding treatment is performed on the workpiece while supplying nitrogen gas without supplying hydrogen, and the vicinity of the surface layer A nitrogen diffusion layer in which 0.1 to 1.2% by mass of nitrogen has entered,
Then, the said workpiece | work is rapidly cooled from the temperature of 590 degreeC or more, The martensite is produced | generated in the said nitrogen diffusion layer, The manufacturing method of the iron-based alloy material characterized by the above-mentioned.
その表層近傍に0.1〜1.2質量%の窒素が浸入した窒素拡散層を有し、該窒素拡散層は、マルテンサイトが存在し、かつ、ボイドが存在していないことを特徴とする鉄基合金材。 In the vicinity of the surface layer, it has a nitrogen diffusion layer in which 0.1 to 1.2% by mass of nitrogen has entered, and the nitrogen diffusion layer is characterized in that martensite is present and voids are not present. Iron-based alloy material.
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