JP5945950B2 - Hard film coated cutting tool - Google Patents
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Description
本発明は、Ti(チタン)の窒化物および炭窒化物からなる硬質皮膜を被覆した切削工具に関する。 The present invention relates to a cutting tool coated with a hard film made of Ti (titanium) nitride and carbonitride.
一般的にドリルやエンドミルに代表される切削工具には、耐摩耗性や靱性を高めるためにDLC(ダイヤモンドライクカーボン)やチタン化合物など種々の硬質皮膜が被覆されている。これらの硬質皮膜の選定に関しては、切削工具の材種(高速度工具鋼や超硬合金等)との密着性や多層膜の場合には安定した積層ができるか否か等の種々の観点から決定される。 In general, cutting tools represented by drills and end mills are coated with various hard coatings such as DLC (diamond-like carbon) and titanium compounds in order to improve wear resistance and toughness. Regarding the selection of these hard coatings, from various viewpoints such as adhesion to cutting tool grades (high-speed tool steel, cemented carbide, etc.) and whether or not stable lamination is possible in the case of multilayer films It is determined.
中でも、Tiの窒化物や炭窒化物からなる硬質皮膜は広範な材種に被覆することができて、かつ比較的容易に多層膜を被覆できる点から種々の切削工具に多用されている。例えば、特許文献1では、超硬合金製の基体上にTiを含む窒化物、炭窒化物の内の1種以上で構成される硬質皮膜を少なくとも1層以上被覆した切削工具であって、この硬質皮膜中には0.01質量%〜1質量%の不活性ガスが含有されており、X線回折法で検出されたピークのうち、硬質皮膜の(111)結晶面のピーク強度Aと(200)結晶面のピーク強度Bとの比である(A/B)が、1.1<(A/B)<10.0の関係を満たす切削工具が開示されている。この切削工具は、硬質皮膜の付着力を低下させることなく、高硬度を得ることができて、耐摩耗性を向上できるという特徴を有している。
Among these, hard coatings made of Ti nitride or carbonitride are widely used in various cutting tools because they can be coated on a wide variety of materials and can be coated with a multilayer film relatively easily. For example,
また、特許文献2では、超硬合金(母材)の表面から近い順にTiN(窒化チタン)層、TiCN(炭窒化チタン)層、TiN層を被覆した切削工具であって、X線回折法でTiN層の最大のピーク強度である結晶面を(hkl)結晶面とし、TiCN層の(hkl)結晶面のピーク強度I(hkl)と、(422)結晶面のピーク強度I(422)との比であるI(422)/I(hkl)をRとするとき、切削工具のTiCN層における最表面側のRが(TiCN層における)TiN層側のRよりも大きくする切削工具が開示されている。この切削工具は断続切削においては硬質皮膜の剥離が発生せず、長寿命で耐欠損性および耐チッピング性を兼ね備えているという特徴を有している。
Moreover, in
しかしながら、特許文献1に開示された切削工具は、仮に1.1<A/B<10.0の関係を満足する条件でドリルを作製した場合、結晶歪みが大きく軟質化した皮膜ではドリルの連続切削に対して皮膜の靱性が切削加工に耐えうることが出来ず、寿命低下に陥るという問題があった。
However, in the cutting tool disclosed in
また、特許文献2に示す切削工具には、TiCN層におけるピーク強度の比(I(422)/I(hkl))について、実施例に開示されている事例はI(hkl)がI(111)の場合で、I(111)のピークが最大であり、かつI(111)と他の結晶面に現れるピーク強度の比は、包括的には10より小さい事が望ましいと述べている。しかし、この点については前述の特許文献1の場合と同様に連続切削加工に対する被覆として、また加工毎に著しい衝撃が加わる工具に対する被覆としては結晶配向比率が適していない。その結果、この被覆の持つ靱性は加工現象に対する耐性に乏しく、早期摩耗や折損を引き起こしやすいという問題があった。
In the cutting tool shown in
そこで、本発明においては、連続切削加工において長寿命の硬質皮膜被覆切削工具を提供することを課題とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a hard film coated cutting tool having a long life in continuous cutting.
前述した課題を解決するために、本発明者はTiの窒化物および炭窒化物からなる硬質皮膜を被覆した切削工具に着目し、特に最下層(第1の硬質皮膜)、中間層(第2の硬質皮膜)および最表層(第3の硬質皮膜)の3層からなる硬質皮膜の場合、中間層(第2の硬質皮膜)がTiの炭窒化物である硬質膜について鋭意研究した。その結果、Tiの炭窒化物の硬質膜のX線回折時の複数の結晶面のピーク強度比が特定の関係である場合に切刃の耐摩耗性が向上することを見出した。 In order to solve the above-described problems, the present inventor pays attention to a cutting tool coated with a hard coating made of Ti nitride and carbonitride, and in particular, the lowermost layer (first hard coating) and the intermediate layer (second In the case of a hard film composed of three layers, the outermost layer (third hard film) and the outermost layer (third hard film), the present inventors have intensively studied a hard film whose intermediate layer (second hard film) is Ti carbonitride. As a result, it was found that the wear resistance of the cutting edge is improved when the peak intensity ratio of the plurality of crystal planes during X-ray diffraction of the Ti carbonitride hard film has a specific relationship.
そこで、本発明においては、Tiの窒化物からなる第1および第3の硬質皮膜と、Tiの炭窒化物からなる第2の硬質皮膜と、を被覆している硬質皮膜被覆切削工具であって、硬質皮膜は工具の母材側から第1の硬質皮膜、第2の硬質皮膜、第3の硬質皮膜の順に被覆しており、第2の硬質皮膜はX線回折時の(111)結晶面のピーク強度をh(111)、(200)結晶面のピーク強度をh(200)と表して、各ピーク強度の比であるh(111)/h(200)をHとした時、20≦H≦50の関係式を満たす硬質皮膜である硬質皮膜被覆切削工具とした。本発明に係る硬質皮膜被覆切削工具とすることにより、硬質皮膜の耐摩耗性が向上する。 Accordingly, in the present invention, there is provided a hard film-coated cutting tool that coats the first and third hard films made of Ti nitride and the second hard film made of Ti carbonitride. The hard film is coated from the base material side of the tool in the order of the first hard film, the second hard film, and the third hard film. The second hard film is the (111) crystal plane at the time of X-ray diffraction. When the peak intensity of h (111) / h (200), which is the ratio of each peak intensity, is represented by h (111), the peak intensity of the (200) crystal plane is represented by h (200) A hard film-coated cutting tool which is a hard film satisfying the relational expression of H ≦ 50 was obtained. By using the hard coating-coated cutting tool according to the present invention, the wear resistance of the hard coating is improved.
また、請求項2に係る発明は第1の硬質皮膜をTiN、第3の硬質皮膜をTi2Nとする硬質皮膜被覆切削工具とした。本発明に係る硬質皮膜被覆切削工具とすることにより、靱性に富んだ最下層(第1の硬質皮膜)上に、高硬度で耐摩耗性に優れた最表層(第3の硬質皮膜)が形成される。
The invention according to
以上述べたように、本発明に係る硬質皮膜被覆切削工具とすることにより硬質皮膜の耐摩耗性が向上するので、連続切削加工においても長寿命であるという効果を奏する。また、第1の硬質皮膜をTiN、第3の硬質皮膜をTi2Nとする硬質皮膜被覆切削工具とすることにより、靱性に富んだ最下層(第1の硬質皮膜)上に、高硬度で耐摩耗性に優れた最表層(第3の硬質皮膜)が形成されるので、切削加工時に切刃の摩耗の進行を抑制しつつ、刃先欠損等の突発的な寿命低下を防止できるという効果を奏する。 As described above, since the wear resistance of the hard coating is improved by using the hard coating-coated cutting tool according to the present invention, there is an effect that it has a long life even in continuous cutting. In addition, by using a hard coating coated cutting tool in which the first hard coating is TiN and the third hard coating is Ti 2 N, on the bottom layer (first hard coating) rich in toughness, the hardness is high. Since the outermost layer (third hard film) with excellent wear resistance is formed, the effect of preventing sudden life reduction such as chipping of the cutting edge while suppressing the progress of wear of the cutting edge during the cutting process. Play.
本発明の実施の形態の一例について図面を参照して説明する。図1は本発明に係る硬質皮膜を被覆した切削工具表面の模式断面図である。本発明に係る硬質皮膜被覆切削工具1は、図1に示すように超硬合金製または高速度工具鋼製の母材(基材)2側から近い順に、最下層としてのTiの窒化物(第1の硬質皮膜3)、中間層としてのTiの炭窒化物(第2の硬質皮膜4)、最表層としてのTiの窒化物(第3の硬質皮膜5)からなる硬質皮膜10が被覆されている。以下、第1ないし第3の硬質皮膜について詳細に説明する。
An example of an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a cutting tool surface coated with a hard coating according to the present invention. As shown in FIG. 1, the hard coating coated
最下層としてのTiの窒化物(第1の硬質皮膜)は、切削工具の母材表面に直接被覆する硬質皮膜であり、アルゴンガスによりイオンボンバード処理がなされた母材表面に対して、Ti製ターゲットが設置された真空チャンバー内へ窒素ガスを導入することで被覆する。第1の硬質皮膜の膜厚は、第2および第3の皮膜を積層する点から0.3μm〜0.8μmの範囲とすることが好ましい。また、第1の硬質皮膜としては切削工具表面に直接被覆する点から窒化チタン(TiN)であることが好ましい。 Ti nitride (first hard film) as the lowermost layer is a hard film that directly covers the surface of the base material of the cutting tool, and is made of Ti on the surface of the base material that has been subjected to ion bombardment treatment with argon gas. Coating is performed by introducing nitrogen gas into the vacuum chamber in which the target is installed. The film thickness of the first hard film is preferably in the range of 0.3 μm to 0.8 μm from the point where the second and third films are laminated. The first hard coating is preferably titanium nitride (TiN) from the viewpoint of directly covering the cutting tool surface.
中間層としてのTiの炭窒化物(第2の硬質皮膜)は、第1の硬質皮膜上に直接被覆される硬質皮膜であり、Ti製ターゲットが設置された真空チャンバー内に窒素ガスとアセチレンなどの炭化水素系ガスを導入して形成される。第2の硬質皮膜の膜厚は、上下方向に第1および第3の硬質皮膜により挟まれた状態で積層する点から、2.0μm〜2.5μmの範囲とすることが好ましい。また、第2の硬質皮膜としては切削工具表面や被削材とは接することはなく、第1および第3の硬質皮膜をTiNとする場合には、TiNとの密着性向上の観点から炭窒化チタン(TiCN)とすることが好ましい。さらに、第2の硬質皮膜は成膜工程中に成膜室(チャンバー)内の減圧雰囲気やチタン製ターゲットへのバイアス電圧等の成膜条件を変更することで、炭窒化チタン(TiCN)を構成する炭素(C)と窒素(N)の構成比率が異なる多層膜にすることがより好ましい。 Ti carbonitride (second hard film) as an intermediate layer is a hard film directly coated on the first hard film, such as nitrogen gas and acetylene in a vacuum chamber in which a Ti target is installed. It is formed by introducing a hydrocarbon-based gas. The film thickness of the second hard film is preferably in the range of 2.0 μm to 2.5 μm from the point of lamination in a state sandwiched between the first and third hard films in the vertical direction. In addition, the second hard coating does not come into contact with the cutting tool surface or the work material, and when the first and third hard coatings are made of TiN, carbonitriding from the viewpoint of improving the adhesion with TiN. Titanium (TiCN) is preferable. In addition, the second hard coating constitutes titanium carbonitride (TiCN) by changing the deposition conditions such as the reduced pressure atmosphere in the deposition chamber (chamber) and the bias voltage to the titanium target during the deposition process. It is more preferable to use a multilayer film having different constituent ratios of carbon (C) and nitrogen (N).
また、第2の硬質皮膜については、銅製ターゲットを用いたX線回折時の(111)結晶面のピーク強度をh(111)、(200)結晶面のピーク強度をh(200)とした時の各ピーク強度の比であるh(111)/h(200)が、20≦h(111)/h(200)≦50の関係式を満たすことで、切削工具の逃げ面における耐摩耗性が向上する。また、長寿命と耐摩耗性向上とを両立する観点から、上記の関係式が30≦h(111)/h(200)≦50の関係を満たすことが好ましい。 For the second hard film, when the peak intensity of the (111) crystal plane at the time of X-ray diffraction using a copper target is h (111) and the peak intensity of the (200) crystal plane is h (200) When h (111) / h (200), which is the ratio of the respective peak intensities, satisfies the relational expression of 20 ≦ h (111) / h (200) ≦ 50, the wear resistance on the flank of the cutting tool is improved. improves. Further, from the viewpoint of achieving both long life and improved wear resistance, the above relational expression preferably satisfies the relationship of 30 ≦ h (111) / h (200) ≦ 50.
最表層としてのTiの窒化物(第3の硬質皮膜)は、第2の硬質皮膜上に直接被覆する硬質皮膜であり、第1の硬質皮膜の場合と同様にTi製ターゲットが設置された真空チャンバー内に窒素ガスを導入して形成される。第3の硬質皮膜の膜厚は、第2の硬質皮膜上に積層する点から0.1μm〜0.5μmの範囲とすることが好ましい。また、第3の硬質皮膜としては切削工具の最表層である点から窒化二チタン(Ti2N)であることが好ましい。 The Ti nitride (third hard film) as the outermost layer is a hard film directly coated on the second hard film, and a vacuum in which a Ti target is installed as in the case of the first hard film. It is formed by introducing nitrogen gas into the chamber. The film thickness of the third hard film is preferably in the range of 0.1 μm to 0.5 μm from the point of lamination on the second hard film. The third hard coating is preferably dititanium nitride (Ti 2 N) from the point of being the outermost layer of the cutting tool.
ドリルの母材表面から近い順に第1の硬質皮膜としてTiN(膜厚:0.5μm)、第2の硬質皮膜としてTiCN(膜厚:2.0μm)、第3の硬質皮膜としてTi2N(膜厚:0.3μm)の各硬質皮膜(総膜厚:2.8μm)を、種々の異なる成膜条件(真空チャンバー内圧力:0.5〜0.6Pa、バイアス電圧:50〜150V)で被覆したドリルNo.1〜12(計12本)を用いて、穴加工試験(以下、本試験という)を行った。その結果について表1を用いて説明する。表1は、異なる成膜条件(全12水準)にて硬質皮膜を被覆したドリルを用いて本試験を行った場合の使用ドリルの硬質皮膜(第2の硬質皮膜)のピーク強度比H、硬質皮膜の硬度(単位:ビッカース硬さHv)およびドリルの二番面摩耗幅(単位:μm)をそれぞれ示す。また、本試験は以下の試験条件により行った。
・使用工具:高速度工具鋼製ドリル(ドリル径6.0mm)
・被削材:炭素鋼S50C(ブリネル硬さ:180HB)
・切削速度:40m/min
・送り量:0.18mm/rev
・回転数:2100min−1
・加工穴数:100穴
TiN (film thickness: 0.5 μm) as the first hard film, TiCN (film thickness: 2.0 μm) as the second hard film, and Ti 2 N (film thickness: 2.0 μm) as the second hard film in order from the base material surface of the drill. Each hard film (total film thickness: 2.8 μm) having a film thickness: 0.3 μm) under various different film formation conditions (pressure in the vacuum chamber: 0.5 to 0.6 Pa, bias voltage: 50 to 150 V) Coated drill no. A drilling test (hereinafter referred to as the main test) was performed using 1 to 12 (12 in total). The results will be described with reference to Table 1. Table 1 shows the peak strength ratio H and hardness of the hard coating (second hard coating) of the drill used when this test was conducted using a drill coated with a hard coating under different film forming conditions (12 levels in total). The hardness of the film (unit: Vickers hardness Hv) and the wear width of the second surface of the drill (unit: μm) are shown. Further, this test was performed under the following test conditions.
・ Tool used: Drill made of high-speed tool steel (drill diameter 6.0 mm)
-Work material: Carbon steel S50C (Brinell hardness: 180HB)
・ Cutting speed: 40 m / min
・ Feed amount: 0.18mm / rev
・ Rotation speed: 2100 min -1
・ Number of processed holes: 100 holes
表1に示すように、硬質皮膜(第2の硬質皮膜)のピーク強度比Hの値が2.2〜14.6の範囲にあるドリルNo.1〜6およびピーク強度比Hが55.6であるドリルNo.12を用いた各ドリルの二番面の摩耗幅は、25.3μm〜43.9μmの範囲であった。これに対して、本発明である硬質皮膜(第2の硬質皮膜)のピーク強度比Hの値が22.3〜48.7の範囲にあるドリルNo.7〜11の各ドリルの二番面の摩耗幅は、11.7μm〜21.8μmの範囲であった。以上の結果より、本発明である硬質皮膜(第2の硬質皮膜)のピーク強度比Hが20以上50以下であるドリルを用いることで、ドリルの二番面の摩耗幅を低減することができた。 As shown in Table 1, the drill No. in which the value of the peak intensity ratio H of the hard coating (second hard coating) is in the range of 2.2 to 14.6. 1 to 6 and a drill No. having a peak intensity ratio H of 55.6. The wear width of the second face of each drill using No. 12 was in the range of 25.3 μm to 43.9 μm. On the other hand, the drill No. in which the value of the peak intensity ratio H of the hard coating (second hard coating) of the present invention is in the range of 22.3 to 48.7. The wear width of the second surface of each of the drills 7 to 11 was in the range of 11.7 μm to 21.8 μm. From the above results, the wear width of the second surface of the drill can be reduced by using a drill having a peak strength ratio H of the hard coating (second hard coating) of the present invention of 20 or more and 50 or less. It was.
次に、実施例1と同様にエンドミルの母材表面から近い順に第1の硬質皮膜としてTiN(膜厚:0.5μm)、第2の硬質皮膜としてTiCN(膜厚:2.1μm)、第3の硬質皮膜としてTi2N(膜厚:0.3μm)の各硬質皮膜(総膜厚:2.9μm)を、種々の異なる成膜条件(真空チャンバー内圧力:0.5〜0.6Pa、バイアス電圧:50〜150V)で被覆したエンドミルNo.1〜12(計12本)を用いて、切削加工試験(以下、本試験という)を行った。その結果について表2を用いて説明する。表2は、異なる成膜条件(全12水準)にて硬質皮膜を被覆したエンドミルを用いて本試験を行った場合のエンドミルの硬質皮膜(第2の硬質皮膜)のピーク強度比H、硬質皮膜の硬度(単位:ビッカース硬さHv)およびエンドミルの逃げ面摩耗幅(単位:μm)をそれぞれ示す。また、本試験は以下の試験条件により行った。
・使用工具:高速度工具鋼製2枚刃エンドミル(エンドミル径10.0mm)
・被削材:炭素鋼S50C(ブリネル硬さ:180HB)
・切削速度:41m/min
・送り量:0.065mm/rev
・切り込み量(aa×ae):15mm×2.5mm
・総切削長:5m
Next, TiN (film thickness: 0.5 μm) as the first hard film, TiCN (film thickness: 2.1 μm) as the second hard film, and the first hard film in the order from the base material surface of the end mill, as in Example 1. 3 hard coatings (total film thickness: 2.9 μm) of Ti 2 N (film thickness: 0.3 μm) as various hard film forming conditions (pressure in the vacuum chamber: 0.5 to 0.6 Pa). , Bias voltage: 50 to 150 V). A cutting test (hereinafter referred to as the main test) was performed using 1 to 12 (12 in total). The result will be described with reference to Table 2. Table 2 shows the peak intensity ratio H of the hard film of the end mill (second hard film), the hard film when this test was performed using an end mill coated with a hard film under different film forming conditions (12 levels in total). (Unit: Vickers hardness Hv) and end mill flank wear width (unit: μm) are shown respectively. Further, this test was performed under the following test conditions.
・ Tool used: High speed tool steel, 2-flute end mill (end mill diameter 10.0 mm)
-Work material: Carbon steel S50C (Brinell hardness: 180HB)
・ Cutting speed: 41 m / min
・ Feed amount: 0.065mm / rev
・ Cut amount (aa × ae): 15 mm × 2.5 mm
・ Total cutting length: 5m
表2に示すように、硬質皮膜(第2の硬質皮膜)のピーク強度比Hの値が3.9〜16.6の範囲にあるエンドミルNo.1〜6およびピーク強度比Hが57.9であるエンドミルNo.12を用いた各エンドミルの逃げ面の摩耗幅は、150μm〜189μmの範囲であった。これに対して、本発明である硬質皮膜(第2の硬質皮膜)のピーク強度比Hの値が23.8〜46.9の範囲にあるエンドミルNo.7〜11の各エンドミルの逃げ面の摩耗幅は、130μm〜139μmの範囲であった。以上の結果より、本発明である硬質皮膜(第2の硬質皮膜)のピーク強度比Hの値が20以上50以下であるエンドミルを用いることで、エンドミルの逃げ面の摩耗幅を低減することができた。 As shown in Table 2, the end mill No. in which the value of the peak intensity ratio H of the hard film (second hard film) is in the range of 3.9 to 16.6 is shown. 1 to 6 and an end mill No. having a peak intensity ratio H of 57.9. The wear width of the flank face of each end mill using 12 was in the range of 150 μm to 189 μm. On the other hand, the end mill No. in which the value of the peak intensity ratio H of the hard coating (second hard coating) according to the present invention is in the range of 23.8 to 46.9. The wear width of the flank face of each of the end mills 7 to 11 was in the range of 130 μm to 139 μm. From the above results, it is possible to reduce the wear width of the flank face of the end mill by using an end mill having a peak strength ratio H of 20 to 50 in the hard coating (second hard coating) according to the present invention. did it.
1 硬質皮膜被覆切削工具
2 (硬質皮膜被覆切削工具の)母材
3 第1の硬質皮膜
4 第2の硬質皮膜
5 第3の硬質皮膜
10 硬質皮膜
1 Hard Film Coated Cutting
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