JP5986321B2 - 鋼板のスケール厚さ測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、鋼板のスケール厚さ測定装置に係り、より詳しくは、鋼板のスケール厚さをオンラインで正確に測定することができる鋼板のスケール厚さ測定装置に関する。

高温で形成される鋼板表面のスケールは、鋼板内部に酸化が進行しないようにする役割をするが、スケールの厚さが厚くなり過ぎると、溶接作業時にスケールが混入して溶接不良を生じさせるという問題がある。また、密着力が落ち、スケールが剥離して錆が発生するなど、製品の品質に影響する問題を引き起こす。

従って、鋼板や厚板の製造工場においては、スケールの厚さを減らす最適な工程を導出して製品を生産することが重要であり、所定の厚さ以上のスケールが生成した場合は、これをショットブラストなどで除去しなければならないため、製造工程中にスケールの厚さを正確に測定するのが重要な問題である。

スケールの厚さを測定するためには試料を採取して断面を研磨した後に顕微鏡で観測する方法があるが、この方法は多くの時間が必要となり、また破壊的な方法であるので、製造工程中に組み込んで測定するのは不可能である。一方、磁気誘導方式の測定センサを用いた携帯用測定機を利用する方法も、常温で試料を採取できる場合は測定が可能であるが、製造工程ラインに組み込んで測定するのは不可能である。

更に、非接触式で測定する方法としてはレーザー超音波方式や、マイクロ波又はＸ線回折方式があるが、測定精度が製造工程に活用するにはいずれも不足していて、適用が不可能であるという問題がある。

本発明の課題は、鋼板のスケール厚さをオンライン上で正確に測定できる装置を提供することである。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置は、所定の幅を有する鋼板を移動させる移送装置と、移送装置の上方に配置されたフレームと、フレームに連結され、移送装置が停止する時間に下降して鋼板のスケール厚さを測定する複数の検出装置と、検出装置から受信した複数の厚さ測定値によって鋼板のスケール厚さを算出する制御部と、を含む。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、制御部は、鋼板に関する情報を予め受信し、鋼板の幅に応じて複数の検出装置間の離隔距離を調節しても良い。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、検出装置は、フレームに連結されたボディー部と、鋼板と接触する測定ヘッドと、ボディー部に固定されて測定ヘッドを上昇／下降させる駆動部と、を含む。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、測定ヘッドは、駆動部に対して前後左右に回動可能に結合される。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、測定ヘッドと駆動部との間に結合され、測定ヘッドによって鋼板に加えられる加圧力を一定に維持するダンピング構造体を含む。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、ダンピング構造体は、ガイド部及びガイド部にスライドするスライド部を含み、スライド部は、測定ヘッドが下降して鋼板に接触した後から、駆動部の下降距離だけ、ガイド部にスライドしても良い。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、スライド部の最大スライド距離は、測定ヘッドの最大下降距離より大きく形成されても良い。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、測定ヘッドは、移送装置の作動を検知する移動検知センサを含み、制御部は、移動検知センサによって移送装置の作動が検知されれば、測定ヘッドを上昇させるように駆動部に制御信号を出力しても良い。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、測定ヘッドは、ヘッドハウジングと、ヘッドハウジングに挿入され、末端がヘッドハウジングの外側に露出して鋼板と接触する複数の測定センサと、を含む。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、ヘッドハウジングの内部に配置される温度センサを含み、制御部は、温度センサから受信した内部温度に応じて、スケール測定値を補正しても良い。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、制御部は、温度センサによって測定された内部温度が、予め設定された臨界値を超過する場合、測定ヘッドを上昇させるように駆動部に制御信号を出力しても良い。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、ヘッドハウジングの外壁には、チャネルが形成され、チャネルには、冷却ガスが循環しても良い。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、ボディー部とフレームとの間に配置される非常シリンダーを含み、制御部は、非常時に、ボディー部を上昇させるように非常シリンダーに出力信号を印加しても良い。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置において、非常シリンダーによるボディー部の上昇高さは、駆動部による測定ヘッダの最大下降高さより高く形成されても良い。

本発明によれば、鋼板や厚板のスケール厚さを製造工程において迅速に測定することが可能となり、生産される全製品のスケール厚さを迅速に測定することができる。

従って、スケール厚さに及ぼすプロセス因子の導出に利用できるだけでなく、スケール厚さの厚い製品だけを選別してショットブラストなどの後工程を経るようにすることにより、プロセス負荷を減少させ、スケールの厚さが均一で厚くない製品だけを選別して出荷できるという長所がある。

本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置の概念図である。 本発明の一実施形態による検出装置の斜視図である。 図２における検出装置の変形例である。 図２における検出装置の他の変形例である。 本発明の一実施形態による検出装置の測定ヘッダの一部断面図である。 本発明によるスケール厚さ測定装置の検出装置が非平坦面の鋼板に載置された状態を示す図である。 本発明の一実施形態による検出装置の動作を示す概念図である。 本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置のブロック図である。

本発明は、種々の変更を加えることができ、色々な実施形態を有することができるところ、特定の実施形態を図面に例示し、詳細な説明の欄に詳細に説明する。
但し、これは、本発明を特定の実施形態のみに限定しようとするものではなく、本発明は、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物乃至代替物を含むものとして理解しなければならない。

本発明において、「含む」又は「有する」などの用語は、明細書に記載された特徴、数字、ステップ、動作、構成要素、部品又はこれらを組み合わせたものが存在するのを指定しようとするものであって、１つ又はそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、動作、構成要素、部品又はこれらを組み合わせたものの存在又は付加可能性を予め排除するものではないことを理解しなければならない。

又、本発明において添付された図面は、説明の便宜のために拡大又は縮小して示されたものとして理解しければならない。

本発明について、図面を参考して詳細に説明し、図面符号に関係なく同一又は対応する構成要素には同一の参照番号を付与し、これに関する重複説明を省略する。

図１は、本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置の概念図である。
本発明によるスケール厚さ測定装置は、所定の幅を有する鋼板を移動させる移送装置１００、前記移送装置１００の上方に配置されたフレーム２００、前記フレーム２００に連結され、前記移送装置１００が停止する時間に下降して前記鋼板のスケール厚さを測定する複数の検出装置３００、及び前記検出装置３００から受信した複数の厚さ値によって前記鋼板のスケール厚さを算出する制御部を含む。

移送装置１００は、所定の幅と長さを持って一方向に鋼板を移送させる。このような移送装置１００は、無限軌道を有するコンベヤーベルトであっても良いし、この他の様々な構成によって鋼板を一方向に移送することができる構成であれば、何れも適用できる。移送装置１００は、一般的に、鋼板に識別標識などを形成するために所定周期ごとに停止される。

フレーム２００は検出装置３００を移送装置１００の上方に配置するための構造物であり、バー（Ｂａｒ）形状で形成され、移送装置１００の上方に配置される。これにより、移送装置１００によって移動される鋼板Ａは、フレーム２００を通過することになる。

検出装置３００は、フレーム２００に付着され、待機モードでは移送装置１００の上方に配置され、測定モードに転換した時に下降して鋼板のスケールの厚さを検出する。検出装置３００は複数で構成されても良く、鋼板の幅に対応して適切な間隔で配置される。

検出装置３００は、フレーム２００に連結されるボディー部３１０、鋼板Ａと接触する測定ヘッド３３０、及びボディー部３１０に固定されて測定ヘッド３３０を上昇／下降させる駆動部３２０を含む。

ボディー部３１０は、フレーム２００に連結され、鋼板の幅方向（図１のｙ方向）に移動可能に構成される。ボディー部３１０は、幅方向に移動するための移動部材（図示せず）を含むことができ、このような移動部材はラックギア（ｒａｃｋ ｇｅａｒ）及びモータで構成されることができる。これにより、鋼板の幅に応じて各検出装置３００が適正な位置に移動することができるため、鋼板の幅が変更された場合でも鋼板Ａの縁部と中央部とのスケール厚さを有効に検出することができる。従って、鋼板の種類及び幅が変化しても、スケール厚さを正確に測定できるという長所がある。

駆動部３２０は、ボディー部３１０に固定され、測定ヘッド３３０を上昇／下降させるための種々の構成を全て選択することができる。例えば、油圧シリンダーを用いたり、モータとラックギアなどを用いたりして測定ヘッド３３０を上昇／下降させることができる。

測定ヘッド３３０は、待機モードでは鋼板Ａと所定間隔をもって離隔配置され、測定モードでは駆動部３２０によって下降されて鋼板Ａと接触することによって鋼板のスケール厚さを測定する。その後、測定が完了すれば、移送装置１００が再び作動する前に上昇して、測定ヘッド３３０によって鋼板に傷が生じるのを防止する。

このような構成により、従来の、観測者が携帯用スケール測定装置を直接鋼板に当ててスケール厚さを測定する方法に比べ、鋼板のスケール厚さをオンラインで遥かに効率的で正確に測定することができる。

図２は、本発明の一実施形態による検出装置の斜視図であり、図３及び図４は、図２に示した検出装置の変形例である。
図２に示すように、本発明による検出装置は、測定ヘッド３３０と駆動部３２０との間にダンピング構造体３４０が配置される。このようなダンピング構造体３４０は、測定ヘッド３３０によって鋼板に加えられる加圧力を調節する役割を果たす。具体的には、ダンピング構造体３４０は、ガイド部３４２、及びガイド部３４２にスライドするスライド部３４１を含む。

図２の（ａ）に示すように、スライド部３４１は、測定ヘッド３３０の荷重によってガイド部３４２と最大隔離距離を維持しているところ、図２の（ｂ）に示すように測定ヘッド３３０が下降して鋼板と接触した後に駆動部３２０が更に下降した場合、駆動部３２０の下降距離だけガイド部３４２がスライドすることによって、鋼板に加えられる加圧力を調節することができる。これにより、鋼板が測定ヘッド３３０によって過度に加圧されることによって鋼板に圧痕が生成して品質が低下するのを防止することができる。

具体的には、ガイド部３４２が測定ヘッド３３０と結合されて上昇／下降方向に長孔３４２ａを形成することができ、スライド部３４１が駆動部３２０の末端に連結され、突出ピン３４１ａが長孔３４２ａに挿入され、長孔３４２ａに沿って測定ヘッド３３０が上昇／下降方向に移動する。

この時、突出ピン３４１ａが長孔３４２ａに挿入された状態で回転することができるので、測定ヘッド３３０は、駆動部３２０の移動方向に対して前後方に移動することができる。これにより、測定ヘッド３３０が下降した状態で鋼板が移動しても、鋼板にスクラッチが生じるのが防止されると共に、下降時に鋼板が平坦面でなくても鋼板と有効に密着することができる。

この時、駆動部３２０が過度に測定ヘッド３３０を下降させた場合でも、測定ヘッド３３０が鋼板に衝突して衝撃が加えられるのを防ぐために、スライド部３４１がガイド部３４２にスライドする最大スライド距離（長孔の長さ）は、駆動部３２０の最大下降距離より大きく設計されることが好ましい。これは、長孔３４２ａの長さを駆動部３２０の最大下降距離より長く形成することによって実現することができる。

上記のような構成によれば、駆動部３２０が故障などの理由で最大に測定ヘッド３３０を下降させても、鋼板に加えられる加圧力は測定ヘッド３３０の荷重のみに維持されるので、鋼板の不良発生が防止される。

この時、スライド部３４１が駆動部３２０の一側に結合され、ガイド部３４２が測定ヘッド３３０の一側に結合されるものとして説明したが、その逆にスライド部３４１が測定ヘッド３３０の一側に結合され、ガイド部３４２が駆動部３２０の一側に結合されても良い。また、ダンピング構造体は、前述した構成を実現できるのであれば、多様に変形することができる。

例えば、図３に示すように、ダンピング構造体３５０は、ガイド部３５２に孔３５２ａが形成され、スライド部３５１に孔３５２ａに嵌められたボール（ｂａｌｌ）３５１ａが形成されることにより、測定ヘッド３３０が、駆動部３２０に対して前後左右に自由に回動することができる。従って、別途の回転部材を備えなくてもダンピング構造体３５０によって加圧力が調節されると同時に、測定ヘッド３３０を回転させるように構成することができるので、部品数が減るという長所がある。

また、図４に示すように、ダンピング構造体３６０は、駆動部３２０に結合されたガイド板３６１と、測定ヘッド３３０に連結されたスライド板３６２と、から形成され、スライド板３６２の上部に形成された突出ピン３６２ａが、ガイド板３６１の孔に固定挿入されることによってスライドするように構成することもできる。この時、突出ピン３６２ａにはスプリングのような弾性部材３６２ｂを結合させて測定ヘッド３３０を鋼板に密着させるように構成することもできる。

図５に示すように、測定ヘッド３３０は、ヘッドハウジング３３１、及びヘッドハウジング３３１に挿入され、末端が前記ヘッドハウジング３３１の外側に露出して鋼板と接触する複数の測定センサ３３２を含む。

ヘッドハウジング３３１は、内部に空間が備えられ、鋼板に対して起立する形状に形成される。内部空間には均一な間隔で複数の測定センサ３３２が配置され、ヘッドハウジング３３１の底面には基板３３３が結合されて内部空間を密閉する。測定センサ３３２は基板３３３に固定され、末端は外部に露出する。基板３３３はヘッドハウジング３３１と同一な材質からなっても良く、特に熱遮断性能に優れた材質から成ることが好ましい。

測定センサ３３２としては、鋼板のスケール厚さを測定できる種々のセンサを全て選択することができるが、比較的高温においても迅速で正確な測定が可能な磁気誘導センサが選択できる。以下では、測定センサ３３２として磁気誘導センサを用いる例を説明するが、必ずしもこれに限定されるものではない。

磁気誘導センサ３３２は、軟磁性コアを中心に中央部に磁気誘導用コイルが巻回され、その上部と下部には各々検知コイルが巻回されて複数のセンサが配置される。この時、各検出装置に配置されるセンサの個数が少なすぎると、スケール厚さ値の平均値を正確に表すことができず、測定位置によって偏差が大きくなるため、各測定ヘッド３３０には５〜１０個のセンサが配置されることが好ましい。磁気誘導センサには、数ｋＨｚ帯の周波数を印加し、軟磁性コアを中心とする２つの検知コイルから誘導される電圧を差動振幅した値をスケール厚さに換算する。

測定センサ３３２の露出部分と基板３３３との間には、スプリングのような弾性部材３３７が結合され、センサの末端面と鋼板との密着時に十分な密着力を提供することができる。また、基板３３３とヘッドハウジング３３１を結合させる結合部材３３６が弾性材質で形成され、基板の露出面には弾性パッド３３４が配置されてヘッドハウジング３３１が鋼板に接触する時にセンサ３３２に加えられる過度な圧力を分散させることができる。

ヘッドハウジング３３１の内部には温度センサ３３５が取り付けられる。ヘッドハウジング３３１の内部には発振と受信及び増幅のための回路基板が取り付けられており、回路基板には複数の半導体素子が配置される。これにより、ヘッドハウジング３３１内部の温度に応じて電圧が変動して測定値に影響を及ぼすことになる。従って、温度センサ３３５は、ヘッドハウジング３３１の内部の定められた時間に温度を測定して制御部に送信するか、制御部から検出信号を受ければ温度を測定して制御部に送信する。

鋼板は相対的に高温であるため、接触時にヘッドハウジングの内部温度が急激に上昇して正確な測定ができないという問題がある。従って、ヘッドハウジング３３１の外壁は二重壁で形成され、冷媒を循環するチャネル３３１ａが形成され、冷媒によってヘッドハウジング内部の急激な温度上昇が防止される。

チャネル３３１ａは、冷却ガスが循環するように構成されてもよいが、図５のように冷却ガスが基板３３３を循環して各測定センサ３３２の間へ排出されるようにすることが更に良い。この場合、冷却ガスによって測定センサ３３２に過度な熱が加わることを防止することができると共に、測定センサ３３２が密着する鋼板の温度を下げることができるので正確な検出が可能であるという長所がある。

従って、基板３３３は、ヘッドハウジングのチャネル３３１ａと連通して横方向に形成されたサブチャネル３３３ａと、基板のサブチャネル３３３ａと連結されてセンサ３３２の取付け位置の間に形成される貫通ノズル３３３ｂと、を含むことができる。

また、測定ヘッド３３０は、鋼板と密着する面に移動検知センサ（図示せず）を含むことができる。このような移動検知センサは近接センサなどで構成され、測定ヘッドと鋼板とが密着した状態で、鋼板が移動する場合にこれを検知して制御部に送信する。

図６は、本発明によるスケール厚さ測定装置の検出装置が非平坦面の鋼板に載置された状態を示す図である。
図６に示すように、フレーム２００に３個の検出装置３００が配置されている場合、左側の側面に配置された第２検出装置３００ａは、中央に配置された第１検出装置３００ｂに比べスケールＳの厚さが相対的に厚くても、前述したダンピング構造体がスライド（ｄ）することにより第１検出装置３００ｂと同一な加圧力を維持することができる。

また、第１検出装置３００ｂを基準に右側に配置された第３検出装置３００ｃのように、鋼板Ａが非平坦面である場合でも測定ヘッド３３０が駆動部３２０に対して所定角度θだけ回転して鋼板Ａに密着できることが分かる。

すなわち、本発明の実施形態によれば、幅方向に鋼板厚さが異なったり、非平坦面であったりしても、測定ヘッド３３０が一定の加圧力で密着配置されるため、正確にスケール厚さを算出することができる。また、幅方向に複数の検出装置３００が厚さ値を測定するため、より正確なスケール厚さを測定することができる。そして、鋼板の種類が変わって幅、厚さなどが変わっても容易に測定することができる。

図７は、本発明の一実施形態による検出装置３００の動作を示す概念図である。
図７（ａ）に示すように、測定ヘッド３３０が下降して鋼板のスケールを測定し、測定が完了すれば、図７の（ｂ）に示すように、駆動部３２０が測定ヘッド３３０を上昇させる。しかし、駆動部３２０が異常状態であるために測定ヘッド３３０を上昇させることができない非常時（例えば電源オフ時）には、測定ヘッド３３０が接触したままの状態で鋼板Ａが移動することになって、鋼板の表面に不良が発生するという問題がある。

従って、本発明においては、駆動部３２０が作動しない非常時には、ボディー部３１０に設けられた非常シリンダー３１１を駆動させてボディー部３１０をフレーム２００から上昇させることにより、測定ヘッド３３０が鋼板Ａから上昇するように構成することができる。

この時、ボディー部３１０がフレーム２００から上昇する距離は、駆動部３２０によって測定ヘッド３３０が下降する最大距離より大きいことが好ましい。これによって、駆動部３２０の異常な運転により測定ヘッド３３０が最大下降距離まで移動した場合であっても、測定ヘッド３３０がボディー部３１０の上昇によって鋼板Ａから離れることができるので、鋼板に不良が発生するのを防止することができる。

図８は、本発明の一実施形態によるスケール厚さ測定装置のブロック図である。
図８を参照してスケール厚さ測定制御システムについて説明すれば、先ず、制御部４００は、システムサーバ（例えば、前段階工程の制御部又はメインサーバ）から鋼板の情報（長さ、幅、鋼種の情報など）を受信した後、鋼板の幅に合わせて離隔するように検出装置３００のボディー部３１０に出力信号を印加する。

次いで、移送装置１００が停止すれば、駆動部３２０に出力信号を印加して測定ヘッド３３０を下降させて鋼板のスケールを測定し、測定が完了すれば、再び駆動部３２０に出力信号を印加して測定ヘッド３３０を上昇させる。この時、駆動部３２０が異常状態と判断されれば、ボディー部３１０をフレーム２００から上昇させるようにボディー部３１０に出力信号を印加することができる。また、温度センサ３３５によって測定された温度が臨界値を超過した場合は、測定を中止し、測定ヘッドを上昇させることができる。また、制御部４００は、移動検知センサによって鋼板が移動すると判断した場合は、測定が完了していない状態であっても測定ヘッドを上昇させるように駆動部３２０に出力信号を印加することができる。

次に、制御部４００は、複数の測定センサ３３２から送信された測定データを集めて平均値を計算して鋼板のスケール厚さを算出する。この時、測定誤差を減らすために、送信されたデータのうち最も大きい値と最も小さい値を除いた残りのデータをもって平均値を算出することができる。

この時、温度センサから受信した温度情報に応じてスケール厚さ値を補正することができる。具体的には、制御部４００は温度と測定値との相関関係データが格納されたメモリ部４１０を含み、これを用いて、受信した温度に応じてスケール厚さ値を補正することができる。また、受信した鋼種の情報に応じて好適な検量線を選択して測定値を補正することもできる。

制御部４００は、測定されたスケール厚さをディスプレイ部５００に出力し、実際にユーザがオフラインで測定した値と差が発生した場合は、これをメモリ部４１０に格納することができる。

以上では、本発明の実施形態を参照して説明したが、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、下記の特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で、本発明を多様に修正及び変更できることを容易に理解することができる。

Claims (12)

1. 所定の幅を有する鋼板を移動させる移送装置と、
   前記移送装置の上方に配置されたフレームと、
   前記フレームに連結され、前記移送装置が停止する時間に下降して前記鋼板のスケール厚さを測定する複数の検出装置と、
   前記検出装置から受信した複数のスケール厚さ測定値によって前記鋼板のスケール厚さを算出する制御部と、
   を含み、
   前記検出装置は、前記フレームに連結されたボディー部と、前記鋼板と接触する測定ヘッドと、前記ボディー部に固定されて前記測定ヘッドを上昇／下降させる駆動部と、を含み、
   前記測定ヘッドは、前記移送装置の作動を検知する移動検知センサを含み、
   前記制御部は、前記移動検知センサによって前記移送装置の作動が検知されれば、前記測定ヘッドを上昇させるように前記駆動部に制御信号を出力することを特徴とするスケール厚さ測定装置。
2. 前記制御部は、前記鋼板に関する情報を予め受信し、前記鋼板の幅に応じて複数の前記検出装置間の離隔距離を調節することを特徴とする請求項１に記載のスケール厚さ測定装置。
3. 前記測定ヘッドは、前記駆動部に対して前後左右に回動可能に結合されたことを特徴とする請求項１に記載のスケール厚さ測定装置。
4. 前記測定ヘッドと前記駆動部との間に結合され、前記測定ヘッドによって前記鋼板に加えられる加圧力を一定に維持するダンピング構造体を含むことを特徴とする請求項１に記載のスケール厚さ測定装置。
5. 前記ダンピング構造体は、ガイド部及び前記ガイド部にスライドするスライド部を含み、
   前記スライド部は、前記測定ヘッドが下降して前記鋼板に接触した後から、前記駆動部の下降距離だけ、前記ガイド部にスライドすることを特徴とする請求項４に記載のスケール厚さ測定装置。
6. 前記スライド部の最大スライド距離は、前記測定ヘッドの最大下降距離より大きいことを特徴とする請求項５に記載のスケール厚さ測定装置。
7. 前記測定ヘッドは、ヘッドハウジングと、前記ヘッドハウジングに挿入され、末端が前記ヘッドハウジングの外側に露出して前記鋼板と接触する複数の測定センサと、を含むことを特徴とする請求項１に記載のスケール厚さ測定装置。
8. 前記ヘッドハウジングの内部に配置される温度センサを含み、
   前記制御部は、前記温度センサから受信した内部温度に応じて、前記スケール厚さ測定値を補正することを特徴とする請求項７に記載のスケール厚さ測定装置。
9. 前記制御部は、前記温度センサによって測定された内部温度が、予め設定された臨界値を超過する場合、前記測定ヘッドを上昇させるように前記駆動部に制御信号を出力することを特徴とする請求項８に記載のスケール厚さ測定装置。
10. 前記ヘッドハウジングの外壁には、チャネルが形成され、前記チャネルには、冷却ガスが循環することを特徴とする請求項７に記載のスケール厚さ測定装置。
11. 前記ボディー部とフレームとの間に配置される非常シリンダーを含み、
    前記制御部は、非常時に、前記ボディー部を上昇させるように前記非常シリンダーに出力信号を印加することを特徴とする請求項１に記載のスケール厚さ測定装置。
12. 前記非常シリンダーによる前記ボディー部の上昇高さは、前記駆動部による前記測定ヘッドの最大下降高さより高いことを特徴とする請求項１１に記載のスケール厚さ測定装置
    

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