JP5987751B2 - 基板搬送機構の調整具及び当該調整具を用いた調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板の周端を規制するために、搬送機構の保持部材に設けられるガイド部材の位置を調整する基板搬送機構の調整具及び当該調整具を用いた調整方法に関する。

半導体ウエハ（以下、ウエハという）に対するフォトリソグラフィ工程では、装置内に設けられるモジュール間をウエハが搬送機構により搬送される。そして、各モジュールにてレジスト塗布処理、加熱処理、現像処理などの処理が行われ、ウエハ表面にレジストパターンが形成される。

前記搬送機構は、例えば図２８に示すフォーク２１を備え、当該フォーク２１にはウエハの保持用ブロック３１が設けられる。フォーク２１及び保持用ブロック３１については、本発明の実施の形態で詳しく説明するので、ここでは簡単に説明する。フォーク２１は、ウエハの側周を囲むように基部２２から伸びだした２つの曲状部２３を備え、１つの曲状部２３に例えば２個ずつ、保持用ブロック３１が間隔をおいて、ねじにより取付けられる。保持用ブロック３１にて、前記ねじが螺入される穴は長穴となっており、ねじを弛めた状態で、前記曲状部２３に囲まれるウエハの保持領域２４の内外方向に、保持用ブロック３１の位置をずらすことができる。

保持用ブロック３１は、ウエハの周端の位置を規制する側方規制部３４と、ウエハの裏面を支持する支持爪３５とを備えている。側方規制部３４は、搬送中にウエハの周端が衝突することにより摩耗する。摩耗すると、前記モジュールに対する受け渡し時に、ウエハがこの側方規制部３４に引っかかり、正常に受け渡しが行えなくなるため、この保持用ブロック３１の定期的な交換が行われる。

保持用ブロック３１を新品に交換した後、ねじを弛めた状態で、図２８に示す冶具３０を支持爪３５に支持させる。そして、作業者が４つの各保持用ブロック３１の側方規制部３４を、この冶具３０に向かって押し当てる。そして、保持用ブロック３１がそのように押し当たった位置でねじを締め、当該保持用ブロック３１をフォーク２１に固定する。

しかし、このように作業者が押し当てて位置決めするので、作業者によって各保持用ブロック３１の取付け位置にばらつきが生じる。つまり、前記保持領域２４の中心からの位置が、保持用ブロック３１ごとにずれる。そのため、取付け後には、モジュールに対してウエハを受け渡す際のフォーク２１の位置を搬送機構に教示させる教示作業が行われる。この教示作業には比較的長い時間を要するので、装置において半導体製品の生産を行えないダウンタイムが長くなってしまうおそれがある。特許文献１には、上記のフォーク及び保持用ブロックを備えた搬送機構について記載されているが、上記の問題及びその解決手段については記載されていない。

特開２０１０−２３９０２６号公報

本発明はこのような事情においてなされたものであり、その目的は、基板搬送機構の保持部材に設けられる基板の周端を規制するガイド部材について、前記基板の径方向における位置を調整するにあたり、精度高くその位置合わせを行うことができる技術を提供することである。

本発明の基板搬送機構の調整具は、基板を保持するときに基板の周端を規制するガイド部材が基板の保持部材に設けられた基板搬送機構に対して、前記ガイド部材における基板の径方向の位置を調整する基板搬送機構の調整具であって、
治具本体と、
前記治具本体を前記保持部材に固定するための固定部と、
前記治具本体に設けられ、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当てることにより当該ガイド部材の位置決めを行う位置決め機構と、を備え、
前記位置決め機構は、
前記基板の径方向に伸縮自在に構成され、その先端側が前記ガイド部材に接触して当該ガイド部材を相対的に押圧することにより当該ガイド部材の位置決めを行うための腕部を備えていることを特徴とする。
また、本発明の他の基板搬送機構の調整具は、基板を保持するときに基板の周端を規制するガイド部材が基板の保持部材に設けられた基板搬送機構に対して、前記ガイド部材における基板の径方向の位置を調整する基板搬送機構の調整具であって、
治具本体と、
前記治具本体を前記保持部材に固定するための固定部と、
前記治具本体に設けられ、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当てることにより当該ガイド部材の位置決めを行う位置決め機構と、を備え、
前記位置決め機構は、
前記基板の径方向に伸縮自在に構成され、その先端側が前記ガイド部材に接触して当該ガイド部材を相対的に押圧することにより当該ガイド部材の位置決めを行うための腕部を備え、
前記治具本体には、前記腕部の先端側が接触して当該腕部の長さを基準長さに設定するための基準長さ設定部が設けられ、
前記腕部を基準長さ設定部に接触させる移動機構を備えていることを特徴とする。

本発明の調整具によれば、基板の保持部材に固定される冶具本体が、ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当てられる位置決め機構を備えている。この調整具により、精度高くガイド部材の位置合わせを行うことができ、作業者間で調整のばらつきを抑えることができる。

ウエハの搬送機構の斜視図である。 前記搬送機構に設けられるフォークの斜視図である。 前記フォークに設けられる保持用ブロックの斜視図である。 前記保持用ブロック及びフォークの縦断側面図である。 前記フォークにおける保持用ブロックの位置調整を行う冶具の斜視図である。 前記冶具の平面図である。 前記冶具の側面図である。 前記冶具を構成する冶具本体の斜視図である。 前記冶具本体の縦断正面図である。 前記冶具本体に設けられる基準面形成部及びアーム部先端の斜視図である。 前記冶具本体の平面図である。 冶具本体の動作を示す斜視図である。 冶具本体の動作を示す斜視図である。 前記冶具を構成する本体固定具の側面図である。 前記冶具による調整作業を説明する工程図である。 前記冶具による調整作業を説明する工程図である。 前記冶具による調整作業を説明する工程図である。 前記冶具による調整作業を説明する工程図である。 前記冶具による調整作業を説明する工程図である。 前記冶具による調整作業を説明する工程図である。 前記冶具の動作を説明する側面図である。 他の保持用ブロックを示す斜視図である。 他の本体固定具の斜視図である。 他の構成の冶具を示す概略側面図である。 前記搬送機構を備える塗布、現像装置の平面図である。 前記塗布、現像装置の斜視図である。 前記塗布、現像装置の概略縦断側面図である。 従来の冶具を示す斜視図である。

本実施形態では、塗布、現像装置に設けられるウエハＷの搬送機構１に用いられる調整具について説明する。前記塗布、現像装置は、円形の基板である前記ウエハＷにレジスト塗布処理と、現像処理とを行う装置であり、後に例示する。図１は、前記搬送機構１の斜視図である。搬送機構１は水平方向に長尺な筐体１１を備え、その側面には起立したフレーム１２が設けられ、筐体１１の長さ方向に移動自在に構成される。図中１３は、フレーム１２のガイドである。フレーム１２に囲まれるように昇降自在な昇降台１４が設けられ、昇降台１４上には鉛直軸回りに回転自在な回転台１５が設けられている。回転台１５上には、水平方向に各々移動自在のフォーク２１、２１が設けられている。図中１６、１６は、フォーク２１と回転台１５の側部とを接続する接続部である。

図１中、１７は加熱モジュールである。ウエハＷは搬送機構１によって、前段側のモジュールから加熱モジュール１７に搬送され、そして加熱モジュール１７から後段側のモジュールに搬送される。前段側及び後段側のモジュールは、図１では示していない。

図２は、フォーク２１の斜視図である。このフォーク２１は、水平な板状に形成され、基部２２から前方へ２つの曲状部２３、２３が伸び出し、平面視概ね馬蹄形状に構成されている。曲状部２３、２３に囲まれて、円形の保持領域２４が形成され、ウエハＷはこの保持領域２４に保持されて搬送される。曲状部２３の先端側表面は、その高さが低く形成されて薄層部２５をなす。また、曲状部２３の基端側表面には前記保持領域２４に臨むように窪みが形成され、薄層部２５が形成されている。図中２６は、後述の保持用ブロック３１を取付けるためのねじ穴であり、各薄層部２５の表面に設けられる。

図３は、ガイド部材を構成する保持用ブロック３１の斜視図である。保持用ブロック３１は、前記薄層部２５を覆う水平な扇部３２と、この扇部３２から斜め下方に向けて形成される傾斜部３３と、傾斜部３３の下端から垂直に下降して形成される側方規制部３４と、側方規制部３４の下端から水平に保持領域２４に突出する支持爪３５とを備えている。傾斜部３３によりウエハＷの縁部はガイドされ、当該ウエハＷは前記支持爪３５上に支持されて保持領域２４に収まる。前記側方規制部３４は、そのように保持領域２４に収まったウエハＷの周端面に向かい合い、その周端面の位置を規制する。

扇部３２には、背景技術の項目で説明した長穴３６が形成される。この長穴３６は、保持領域２４の内側から外側へ向かうように形成される。図中３７は、前記ねじ穴２６に螺合するねじであり、前記長穴３６を貫通するようにねじ穴２６に螺入され、扇部３２を薄層部２５上に固定する。図４は保持用ブロック３１の縦断側面図であり、この図に示すようにねじ３７を緩めた状態では、保持用ブロック３１を保持領域２４の内外方向に沿って、つまり長穴３６の長さ方向に沿って、その位置をずらすことができるようになっている。薄層部２５のねじ穴２６は、加工精度の限界により所定の位置からずれて形成される場合があるが、このようにずれが生じても、ねじ穴２６のずれが相殺されるように保持用ブロック３１の位置を上記のようにずらして調整することができる。つまり、ねじ３７が通過する穴を長穴３６とすることにより、保持用ブロック３１をフォーク２１の所定の位置に精度高く取付けることができるようになっている。

続いて、前記保持用ブロック３１のフォーク２１における位置調整を行うための冶具（調整具）４について説明する。この冶具４はフォーク２１に着脱自在に構成されており、図５は、フォーク２１に取付けられた状態の冶具４の斜視図である。また、図６は冶具４の平面図であり、図７は冶具４の側面図である。この冶具４は、冶具本体４１と、本体固定具９１とにより構成される。図８には冶具本体４１の斜視図を示している。

冶具本体４１は、フォーク２１に固定されて支持される支持部４２と、支持部４２上に設けられるアーム部６１とを備えている。支持部４２は水平なリング４３と、リング４３の中心から当該リング４３の内端へ放射状に広がった接続部４４と、を備えている。リング４３は円形であり、その径は、保持領域２４の径よりも小さく構成されている。接続部４４上において、アーム部６１の回転中心をなす回転軸４０が設けられている。

冶具本体４１がフォーク２１に取付けられたときに、フォーク２１の基部２２側に向かう側を後方側とすると、リング４３の後方側の端部は当該後方へ向けて引き出され、さらに上方へ向かうように屈曲されて後方壁４５が形成されている。前記後方壁４５の後方側の側面は、前記曲状部２３の基端側における保持領域２４に向かう側面に沿って形成されている。それによって、後述するように後方壁４５が、後方側に付勢されたときに、冶具本体４１のフォーク２１における左右の位置が調整される。

この後方壁４５の上端は、後方に向かうように引き出されて水平な板状の後方支持部４６を形成しており、この後方支持部４６が、フォーク２１の曲状部２３の基端側上に支持される。後方支持部４６上には、リング４３の周方向に沿って３つの係止部４７が設けられている。これら係止部４７には、各々保持領域２４の内側から外側に向かうように凹部４８が形成されている。これらの係止部４７は、本体固定具９１によって、フォーク２１に対する冶具本体４１の位置を固定するために設けられている。フォーク２１の形状に応じて、３つのうちいずれかの適切な係止部４７が用いられ、この例では中央の係止部４７が使用される。

リング４３の左右の端部は、当該リング４３の外側に向かって引き出され、さらに上方へ向けて屈曲されて側壁を形成する。そして、当該側壁の上端は保持領域２４の外側へ向かって引き出されて、水平な板状の側方支持部４９を構成する。側方支持部４９は、一のフォーク２１の曲状部２３の薄層部２５、２５間上に支持される。

図９は、この側方支持部４９の縦断正面を示している。側方支持部４９の上側に設けられる円形部５１から、側方支持部４９を貫通して下方に向けて伸びるねじ棒５２が設けられており、ねじ棒５２の周囲には、その内周面がこのねじ棒５２に螺合するリング状の留め具５３が設けられている。留め具５３は、回転させることでその高さを変更することができ、この留め具５３と側方支持部４９により曲状部２３が挟まれる。本体固定具９１とこの留め具５３とにより、冶具本体４１をフォーク２１に固定することができる。

リング４３の前方側の端部は、当該前方側へと引き出され、さらに上方に向けて屈曲され、壁部である基準面形成部５４を構成している。図１０には、基準面形成部５４を示しており、当該基準面形成部５４は、基準長さ設定部を構成する。基準面形成部５４における後方側面は、後述の位置決め用ブロック８１の位置を決定するための垂直な基準面５５として構成される。リング４３の中心とこの基準面５５との距離を基準長さとすると、各保持用ブロック３１は、保持領域２４の中心と前記側方規制部３４との距離が、この基準長さになるように、その位置が調整される。また、この基準面形成部５４の左右の中央部からリング４３の中心側へ向けて突出するように壁部５６が形成されている。壁部５６は、後述するように位置決め用ブロック８１を、基準面５５に当接させるために前方へ移動させるときに、当該位置決め用ブロック８１をガイドするために設けられる。

続いてアーム部６１について説明すると、このアーム部６１は、保持用ブロック３１の位置決めを行う位置決め機構を構成する。アーム部６１はリング４３の直径上を水平方向に伸びるように形成されており、リング４３上に設けられる長尺なアーム本体６２を備えている。前記回転軸４０はアーム本体６２を貫通し、アーム本体６２上にはこの回転軸４０をカバーする円形部６３が設けられている。図１１に示すように、アーム本体６２は、リング４３の中心を回転中心として、鉛直軸まわりに回転することができる。

アーム本体６２上においてその一端側上には、移動機構を構成する径方向移動部６４が設けられており、径方向移動部６４は、アーム本体６２の延長方向に伸びている。径方向移動部６４は、アーム部６１の長さ方向に沿って移動できるように構成されている。径方向移動部６４と円形部６３との間には、アーム本体６２上からその外側に突出するように、横方向に伸びる側方突出部６５が設けられている。そして、前記円形部６３の横に並ぶように長さ計測機構であるマイクロメータ６６が設けられており、側方突出部６５の先端部とマイクロメータ６６とは、アーム部６１の長さ方向に沿って配置されている。マイクロメータ６６の円形部６３側の端部は、円形部６３の側面に沿って形成され、アーム本体６２上に固定されている。

アーム本体６２の他端側にはつまみ６７が設けられ、このつまみ６７の先端側は、マイクロメータ６６及び側方突出部６５を貫通するように、アーム本体６１の一端側へと向かう回転棒６８を形成する。前記径方向移動部６４は突起６９を備えており、当該突起６９は横方向に突き出て、回転棒６８の延長線上に位置する。径方向移動部６４と側方突出部６５との間には、弾性部材としてのばね７１が設けられている。ばね７１の復元力により、径方向移動部６４は、アーム本体６２の他端側に向けて付勢され、突起６９に回転棒６８の先端が当接した状態で静止される。前記つまみ６７を回すと、回転棒６８がその軸回りに回転すると共に、マイクロメータ６６から突出する先端側の長さが変化し、それによって径方向移動部６４が、回転棒６８の長さ方向に沿って移動する。つまり、アーム部６１が、その長さ方向に伸縮する。

マイクロメータ６６は表示部７２を備えている。上記のようにマイクロメータ６６から突出する回転棒６８の先端の長さを変位させると、この表示部７２には、その変位した長さの数値が表示される。即ち、アーム部６１の長さに対応した数値が、この表示部７２に表示される。また、マイクロメータ６６は、図示しないスイッチを備え、このスイッチにより、表示部７２の数値を０にリセットできる。

径方向移動部６４の先端側には、ヒンジ７３により傾倒部７４が接続されている。図１０に示すように、傾倒部７４はアーム部６１の長さ方向と直交する水平軸回りに回転自在に構成され、その裏面が上方へ向かうように傾倒させることができる。傾倒部７４の表面には段差が形成され、傾倒部７４の先端側の表面は、前記アーム部６１の中心部側（円形部６３側）の表面よりも低く構成され、移動面７５を構成している。

前記移動面７５には、アーム部６１の先端部を構成する引きつけ部７６が設けられている。引きつけ部７６は、その先端側が移動面７５上から当該移動面７５の外側へと伸び、そのように前記外側に伸びた端部は、平面視扇状に広がるように形成されている。そして、そのように扇状に広がった先端部は下方へ向けて突き出て段部７７を形成し、この段部７７の先端側は、さらに下方に突出して牽引爪７８を構成している。引きつけ部７６は、前記移動面７５をアーム部６１の長さ方向に移動できるように構成される。引きつけ部７６の側壁と、径方向移動部６４の側壁には各々突起７０が設けられており、これらの突起７０、７０間は、弾性部材であるばね７９により接続されている。このばね７９によって、傾倒部７４を水平にしたときに引きつけ部７６は、アーム部６１の中心側に向けて付勢される。

図１２、図１３は、引きつけ部７６の動作を示した斜視図であり、図１３は、図１２の引きつけ部７６を拡大して示している。これらの図に示すように、傾倒部７４を水平にして、段部７７の底面を保持用ブロック３１の扇部３２における上面に接触させると共に、牽引爪７８を前記扇部３２の外周の側面に接触させて、引きつけ部７６を保持用ブロック３１に係止させることができる。この状態では、上記のように引きつけ部７６がアーム部６１の中心側へと付勢される。それによって保持用ブロック３１を、ウエハＷの保持領域２４の径方向に沿って、当該保持領域２４の中心側へと牽引することができる。

径方向移動部６４の下方には位置決め用ブロック８１が設けられ、アーム部６１の先端へ向かうと共に径方向移動部６４の外側を左右に広がるように形成されている。位置決め用ブロック８１の先端は、左右に離れて形成される凸部８２、８２をなす。この凸部８２の先端は、アーム部６１の回転により前記支持部４２の基準面５５及び保持用ブロック３１の側方規制部３４に対向できるように形成されている。また、位置決め用ブロック８１には、凸部８２、８２間において、アーム部６１の中心側へ向かうようにスリット８３が形成されている。位置決め用ブロック８１を、前記基準面５５に向けて移動させるときに、このスリット８３に前記リング４３の壁部５６が進入できるように、当該スリット８３は、壁部５６に沿って形成されている。

本体固定具９１について図１４も参照しながら説明すると、本体固定具９１は、水平な板状の台部９２を備えている。この台部９２は、フォーク２１の基部２２上に取付けられたときに、基部２２の前方側（曲状部２３が突出する側）から後方側へ向かうように構成されている。この台部９２の前記後方側へ向かう端部は、下方に向けて折り曲げられ、さらにその下端は前記前方側向かうように折り曲げられ、鉤状の係止部９３を形成している。この係止部９３は、前記基部２２の後方側の縁部に係止される。

台部９２上には、台部９２の伸長方向と直交する水平軸回りに回動可能なレバー９０が設けられている。図中９４は、当該レバー９０を台部９２に接続すると共に当該レバー９０の回転軸を構成する接続部である。また、台部９２上には、フック９５が設けられている。このフック９５の基端側は、レバー９０に形成されたスリット９６を貫通し、レバー９０の回転軸と並行する水平な軸９７に接続され、フック９５は当該軸９７回りに回転自在に構成されている。図１４に示すように、係止部９３をフォーク２１の基部２２に係止させた状態で、レバー９０及びフック９５の回動動作により、当該フック９５の先端を、冶具本体２１の前記係止部４７の凹部４８に進入させることができる。レバー９０には、ばね９８が設けられており、このばね９８は、そのようにフック９５が前記凹部４８に進入した状態で、レバー９０を水平にすると、前記軸９７を後方側へ付勢できるように設けられている。そのように付勢されることで、フック９５が係止部４７を後方へ牽引し、フック９５と係止部４７とが係止される。

続いて、図１５〜図２０の工程図を参照しながら、この冶具４を用いてフォーク２１における保持用ブロック３１の位置調整を行う手順を説明する。なお、１５〜図２０では保持用ブロック３１は、既述の各図に対して若干、簡略化して示している。また、冶具本体４１において、３つのうち使用しない２つの係止部４７については省略している。例えば予め保持用ブロック３１のねじ３８を弛めておき、保持用ブロック３１を保持領域２４の内外方向（径方向）にずらすことができるようにしておく。また、牽引爪７８が上方を向くように、傾倒部７４の裏面を上側に向けておく。径方向移動部６４をアーム部６１の中心側に寄せ、アーム部６１を短縮させておく。図９で示した留め具５３をねじ棒５２の下方に位置させておく。

そして、冶具本体４１の後方支持部４６及び側方支持部４９を、フォーク２１の表面に載置する（図１５）。続いて、本体固定具９１の係止部９３がフォーク２１の基部２２に係止されるように、台部９２を基部２２上に載置する。そして、図１４で説明したように、フック９５を冶具本体４１の係止部４７に係止させ、冶具本体４１が後方側に付勢される。冶具本体４１の後方壁４５が、曲状部２３の基端側に押し当てられ、冶具本体４１のアーム部６１の回転中心が、ウエハＷの保持領域２４の中心に合わせ込まれる（図１６）。前記留め具５３を回転させて上昇させ、フォーク２１の曲状部２３を当該留め具５３と側方支持部４９とで挟み、冶具本体４１をフォーク２１に固定させる。

そして、つまみ６７を回転させてアーム部６１を伸ばし、位置決め用ブロック８１をリング４３の基準面形成部５４へ向けて移動させて、当該ブロック８１のスリット８３に壁部５６を進入させる。さらにアーム部６１を伸ばして、前記ブロック８１の凸部８２を前記基準面形成部５４の基準面５５に当接させる（図１７）。然る後、マイクロメータ６６の数値をリセットして０にする。

つまみ６７を回してアーム部６１を短縮させ、前記スリット８３から壁部５６が外れ、アーム部６１が回転可能になると、アーム部６１を回転させて、位置決め用ブロック８１を１つの保持用ブロック３１に向け、前記凸部８２と、当該保持用ブロック３１の側方規制部３４とを対向させる。ここでは、曲状部２３の先端側の保持用ブロック３１の側方規制部３４に、前記凸部８２を対向させたものとする。そして、つまみ６７を回転させて、位置決め用ブロック８１をこの保持用ブロック３１に向けて移動させる（図１８）。マイクロメータ６６の数値が０になったら、つまみ６７の回転を停止させ、ブロック８１の移動を停止させる。

然る後、傾倒部７４を水平にし、図１２、図１３で説明したように、引きつけ部７６の牽引爪７８を保持用ブロック３１の扇部３２の外側に係止させる。図２１上段にも示すように、牽引爪７８がばね７９により、扇部３２をアーム部６１の中心側に押圧し、保持用ブロック３１の位置が当該中心側にずれる。そして、保持用ブロック３１の側方規制部３４が、位置決め用ブロック８１の前記凸部８２に押し当てられ、保持用ブロック３１の移動が停止し、保持領域２４の中心から保持用ブロック３１の側方規制部３４までの距離が、予め設定された基準長さになるように、保持用ブロック３１の位置合わせがなされる（図１９、図２１下段）。このように位置合わせを行った後、当該保持用ブロック３１のねじ３７を締め、保持用ブロック３１をフォーク２１に固定する。

曲状部２３の基端側の保持用ブロック３１についても同様に位置合わせを行う。つまり、アーム部６１を回転させて、位置決め用ブロック８１の凸部８２を保持用ブロック３１の側方規制部３４に対向させる。マイクロメータ６６の数値は、０のままであるものとする。そして、牽引爪７８により、保持用ブロック３１をアーム部６１の中心側に引きつけて、位置決め用ブロック８１に押し当て、当該保持用ブロック３１の位置合わせを行う（図２０）。その後ねじ３７を締め、保持用ブロック３１をフォーク２１に固定する。フォーク２１における全ての保持用ブロック３１について、このような位置合わせ及び固定を行う。

この冶具４は、フォーク２１に固定される冶具本体４１と、この冶具本体４１に設けられるアーム部６１と、を備え、アーム部６１は、フォーク２１の保持領域２４を径方向に移動できる位置決め用ブロック８１と、保持用ブロック３１を、保持領域２４の中心に向けてばね７９により引きつけ、前記位置決め用ブロック８１に当接させる引きつけ部７６とを備えている。従って、保持用ブロック３１の保持領域２４の内外方向における位置を調整するにあたり、作業者間でフォーク２１における保持用ブロック３１の取付け位置がばらつくことが抑えられる。また、そのようにばらつきが抑えられることで、背景技術の項目で説明した教示作業を行う必要が無くなるので、装置の半導体製品の生産性の向上を図ることができる。

また、このアーム部６１は、保持領域２４の中心を回転中心として回転自在に構成されている。従って、１つの保持用ブロック３１の位置調整を行った後、他の保持用ブロック３１に向けて、その位置調整を行うことができるため、複数の保持用ブロック３１の位置調整を行うにあたり、作業の効率を高めることができる。また、アーム部６１は伸縮可能に構成される。従って、上記のように壁部５６をガイドとして、基準面５５に位置決め用ブロック８１を当接させて、当該位置決め用ブロック８１がアーム部６１の中心から基準長さ離れる位置を検出した後、当該壁部５６に干渉することなく、保持用ブロック３１に位置決め用ブロック８１を向けることができる。このことからも調整作業の効率を高めることができる。

ところで、引きつけ部７６により各保持用ブロック３１を保持領域２４の中心部へ向けて互いに同様の力で付勢して引きつけることができさえすれば、各保持用ブロック３１を保持領域２４の中心から所定の距離、離れた位置に移動させ、作業者による保持用ブロック３１の取り付け位置のばらつきをなくすことができる。つまり、上記の例では位置決め用ブロック８１に保持用ブロック８１が当接して位置決めされるが、このように当接させて位置決めを行うことには限られない。具体的には、位置調整を行うにあたり、ねじ３７を弛める量を比較的小さくし、保持用ブロック３１が引きつけられるときにねじ３７と保持用ブロック３１との間に比較的強い摩擦力が働くようにする。引きつけ部７６が保持用ブロック３１を保持領域２４の中心近くに引きつけるほど、ばね７９による引きつけ部７６の付勢力が弱くなり、前記摩擦力により保持領域２４の中心から所定の距離離れた位置で保持用ブロック３１が静止する。各保持用ブロック３１の位置を調整するにあたり、保持領域２４の中心部から一定の距離を離れた引きつけ部７６に対するばね７９による付勢力は一定であるため、各保持ブロック３１の前記静止位置が、保持領域２４の中心部から等距離となる。

また、上記の例においてばね７９は、引きつけ部７６とアーム本体６２に設けられる径方向移動部６４とを接続するように設けられているが、引きつけ部７６が保持領域２４の中心部から所定の距離を離れた位置にあるときに一定の力で当該引きつけ部７６を当該中心部へ付勢することができさえすれば、このように設けることに限られない。例えば引きつけ部７６とアーム本体６２とをばね７９により直接、接続してもよいし、引きつけ部７６と位置決め用ブロック８１の基端側とをばね７９により接続してもよい。

上記のマイクロメータ６６を備えることで、この冶具４は保持用ブロック３１の位置調整を行う他にも、保持用ブロック３１の側方規制部３４の摩耗量の検査に用いることができる。その手順を説明する。この摩耗量の検査では、前記位置調整と異なり、保持用ブロック３１のねじ３７を弛めておかない。

先ず、前記位置調整を行う場合と同様に、冶具４をフォーク２１に取付け、位置決め用ブロック８１の凸部８２を基準面形成部５４の基準面５５に当接させて、マイクロメータ６６の数値をリセットして０にする。その後、位置調整を行う場合と同様に、アーム部６１を短縮させ、位置決め用ブロック８１の凸部８２が保持用ブロック３１の側方規制部３４に向くようにアーム部６１を回転させる。そして、前記凸部８２が側方規制部３４に当接するように、位置決め用ブロック８１を当該側方規制部３４に向けて移動させる。側方規制部３４が摩耗していれば、その分だけ位置決め用ブロック８１は、保持領域２４の外側方向に移動できるので、マイクロメータ６６の数値は０とはならず、この摩耗した量に応じた数値が表示される。

この冶具４により位置調整される保持用ブロックとしては、上記のような構成のものに限られない。図２２は、保持用ブロックの他の例を示している。この保持用ブロック１０１は、土台部１０２と、本体部１０３とからなる。土台部１０２は扇状の板であり、長穴３６が形成され、保持用ブロック３１の扇部３２と同様に、ねじ３７によりフォーク２１に取付けられる。本体部１０３は、上記の保持用ブロック３１と略同様に形成されるが、差異点として扇部３２の下面には突起１０４が設けられている。この突起１０４と、土台部１０２に設けられた孔１０５とが嵌合し、土台部１０２に突起１０４が固定される。つまり、冶具４は、土台部１０２のフォーク２１における位置合わせを行うために用いられる。即ち、引きつけ部７６により、土台部１０２の外側面をアーム部６１の中心へ牽引し、土台部１０２の内側面を位置決め用ブロック８１に押し当てて、位置調整を行う。

本体固定具９１の構成はフォーク２１の形状に応じて、適宜変更することができる。図２３には本体固定具９１の他の構成例を示している。この本体固定具９１の台部９２は、フォーク２１の基部２２の横方向に伸び、その両端部が前方へ向かうように屈曲されて形成されている。屈曲された両端部の下面からは、下方に棒１１１が伸び、その下端は拡径されて、円形部１１２を構成する。この例では、前記係止部９３が形成される代わりに、この棒１１１と円形部１１２とにより、係止部１１３が構成され、フォーク２１の基部２２の後端が円形部１１２と台部９２との間に進入するように係止される。

腕部６１が支持部４２上を回転軸４０により構成される回転機構により回転して、各保持用ブロック３１に対向する場合について示したが、このように腕部６１が回転するように構成されることには限られない。例えば支持部４２のリング４３上には４つのアーム部６１が設けられ、リング４３の中心部上から、各アーム部６１の先端側が、フォーク２１の４つの保持ブロック３１に向かって各々伸びるように構成することができる。各アーム部６１の先端側は、既述の例と同様に位置決め用ブロック８１と引きつけ部７６とを備え、例えば各位置決め用ブロック８１は、前記リング４３の中心部から予め設定された距離を離れた位置に形成される。そして、上記の実施例と同様に引きつけ部７６により、保持用ブロック３１を保持領域２４の中心側に引きつけ、位置決め用ブロック８１に押し当てて、その位置決めを行う。

図２４は、冶具本体の他の構成例を示している。この冶具本体１２１には、引きつけ部７６と同様に形成された爪形成ブロック１２２が設けられているが、この爪形成ブロック１２２は、円形部６３から伸びる支持部１２３の先端に設けられ、引きつけ部７６と異なり、径方向移動部６４の移動によりアーム部６１の長さ方向に移動しない。支持部１２３は、アーム部６１と共に回転する。爪形成ブロック１２２において、牽引爪７８に対応する爪を１２４で示している。この爪１２４は、アーム部６１の中心から予め設定された距離を離れた位置に形成されている。

図２４上段に示すように、短縮した状態のアーム部６１を回転させて、爪１２４を保持用ブロック３１の外側に位置させる。そしてアーム部６１を伸ばし、位置決め用ブロック８１を保持用ブロック３１の側方規制部３４に押し当て、保持用ブロック３１の位置を、保持領域２４の中心側から外側へずらす。図２４下段に示すように、保持用ブロック３１の扇部３２の外縁が爪１２４に当接し、動かなくなるまでアーム部６１を伸ばす。つまり、上記の冶具本体４１のように保持用ブロック３１を、保持領域２４の外側から内側へ向かって引きつけてその位置を調整することには限られない。また、マイクロメータ６６が示す数値に基づいて調整を行うことにも限られない。

また、この図２４のアーム部６１において、径方向移動部６４の裏面を位置決め用ブロック８１が当該アーム部６１の長さ方向に移動でき、径方向移動部６４の基端側から先端側に向かって位置決め用ブロック８１が弾性部材であるばねにより付勢されるように構成してもよい。保持用ブロック３１の位置合わせ時に、前記ばねにより位置決め用ブロック８１が保持用ブロック３１を保持領域２４の外側へ付勢してその位置をずらし、保持用ブロック３１が前記爪１２４に当接されて位置決めされる。また、このようにばねを用いて保持用ブロック３１を保持領域２４の外側へ移動させる場合も、上記の保持領域２４の中心側へ移動させる場合と同様に、各保持用ブロック３１を前記ばねにより同様の力で付勢することができるので、爪１２４に当接させてその位置を位置決めすることに限られない。

図２５〜図２７に、上記の搬送機構１を備える塗布、現像装置の一例を示す。図２５、２６、２７は夫々当該塗布、現像装置１３０の平面図、斜視図、概略縦断側面図である。この塗布、現像装置１３０は、キャリアブロックＤ１と、処理ブロックＤ２と、インターフェイスブロックＤ３と、を直線状に接続して構成されている。インターフェイスブロックＤ３にはさらに露光装置Ｄ４が接続されている。以降の説明では、ブロックＤ１〜Ｄ３の配列方向を前後方向とする。キャリアブロックＤ１は、ウエハＷを複数枚含むキャリアＣを塗布、現像装置１３０内に搬入出する役割を有し、キャリアＣの載置台１３１と、開閉部１３２と、開閉部１３２を介してキャリアＣからウエハＷを搬送するための移載機構１３３とを備えている。

処理ブロックＤ２は、ウエハＷに液処理を行う第１〜第６の単位ブロックＥ１〜Ｅ６が下から順に積層されて構成されている。説明の便宜上ウエハＷに下層側の反射防止膜を形成する処理を「ＢＣＴ」、ウエハＷにレジスト膜を形成する処理を「ＣＯＴ」、露光後のウエハＷにレジストパターンを形成するための処理を「ＤＥＶ」と夫々表現する場合がある。この例では、図２４に示すように下からＢＣＴ層、ＣＯＴ層、ＤＥＶ層が２層ずつ積み上げられている。同じ単位ブロックにおいて互いに並行してウエハＷの搬送及び処理が行われ、各単位ブロックに前記搬送機構１が設けられている。

ここでは単位ブロックのうち代表してＣＯＴ層Ｅ３を、図２５を参照しながら説明する。キャリアブロックＤ１からインターフェイスブロックＤ３へ向かう搬送領域１３４の左右の一方側には棚ユニットＵが前後方向に複数配置され、他方側には夫々液処理モジュールであるレジスト膜形成モジュールＣＯＴ、保護膜形成モジュールＩＴＣが前後方向に並べて設けられている。前記レジスト膜形成モジュールＣＯＴは、ウエハＷにレジストを供給してレジスト膜を形成する。保護膜形成モジュールＩＴＣは、レジスト膜上に所定の処理液を供給し、当該レジスト膜を保護する保護膜を形成する。棚ユニットＵは、前記加熱モジュール１７により構成されるモジュール群である。前記搬送領域１３４は、前記搬送機構１のフォーク２１が移動する領域である。便宜上、図では搬送機構１をＦ３として示している。

他の単位ブロックＥ１、Ｅ２、Ｅ５及びＥ６は、ウエハＷに供給する薬液が異なることを除き、単位ブロックＥ３、Ｅ４と同様に構成される。単位ブロックＥ１、Ｅ２は、レジスト膜形成モジュールＣＯＴの代わりに反射防止膜形成モジュールを備え、単位ブロックＥ５、Ｅ６は、現像モジュールを備える。図２７では各単位ブロックＥ１〜Ｅ６の搬送機構１をＦ１〜Ｆ６として示している。

処理ブロックＤ２におけるキャリアブロックＤ１側には、各単位ブロックＥ１〜Ｅ６に跨って上下に伸びるタワーＴ１と、タワーＴ１に対してウエハＷの受け渡しを行うための昇降自在な受け渡し機構である受け渡しアーム１３５とが設けられている。タワーＴ１は、互いに積層された複数のモジュールにより構成されており、単位ブロックＥ１〜Ｅ６の各高さに設けられるモジュールは、当該単位ブロックＥ１〜Ｅ６の各搬送アームＦ１〜Ｆ６との間でウエハＷを受け渡すことができる。これらのモジュールとしては、実際には各単位ブロックの高さ位置に設けられた受け渡しモジュールＴＲＳ、ウエハＷの温度調整を行う温調モジュールＣＰＬ、複数枚のウエハＷを一時的に保管するバッファモジュール、及びウエハＷの表面を疎水化する疎水化処理モジュールなどが含まれている。説明を簡素化するために、前記疎水化処理モジュール、温調モジュール、前記バッファモジュールについての図示は省略している。

インターフェイスブロックＤ３は、単位ブロックＥ１〜Ｅ６に跨って上下に伸びるタワーＴ２、Ｔ３、Ｔ４を備えており、タワーＴ２とタワーＴ３に対してウエハＷの受け渡しを行うための昇降自在な受け渡し機構であるインターフェイスアーム１３６と、タワーＴ２とタワーＴ４に対してウエハＷの受け渡しを行うための昇降自在な受け渡し機構であるインターフェイスアーム１３７と、タワーＴ２と露光装置Ｄ４の間でウエハＷの受け渡しを行うためのインターフェイスアーム１３８が設けられている。

タワーＴ２は、受け渡しモジュールＴＲＳ、露光処理前の複数枚のウエハＷを格納して滞留させるバッファモジュール、露光処理後の複数枚のウエハＷを格納するバッファモジュール、及びウエハＷの温度調整を行う温調モジュールなどが互いに積層されて構成されているが、ここでは、バッファモジュール及び温調モジュールの図示は省略する。この塗布、現像装置１３０においては、ウエハＷが載置される場所をモジュールと記載する。なお、タワーＴ３、Ｔ４にも夫々モジュールが設けられているが、ここでは説明を省略する。

ウエハＷは、キャリアＣから移載機構１３３により、処理ブロックＤ２におけるタワーＴ１の受け渡しモジュールＴＲＳ０に搬送される。この受け渡しモジュールＴＲＳ０からウエハＷは、単位ブロックＥ１、Ｅ２に振り分けられて搬送される。 例えばウエハＷを単位ブロックＥ１に受け渡す場合には、タワーＴ１の受け渡しモジュールＴＲＳのうち、単位ブロックＥ１に対応する受け渡しモジュールＴＲＳ１（搬送アームＦ１によりウエハＷの受け渡しが可能な受け渡しモジュール）に対して、前記ＴＲＳ０からウエハＷが受け渡される。またウエハＷを単位ブロックＥ２に受け渡す場合には、タワーＴ１の受け渡しモジュールＴＲＳのうち、単位ブロックＥ２に対応する受け渡しモジュールＴＲＳ２に対して、前記ＴＲＳ０からウエハＷが受け渡される。これらのウエハＷの受け渡しは、受け渡しアーム１３５により行われる。

このように振り分けられたウエハＷは、ＴＲＳ１（ＴＲＳ２）→反射防止膜形成モジュール→加熱モジュール１７→ＴＲＳ１（ＴＲＳ２）の順に搬送され、続いて受け渡しアーム１３５により単位ブロックＥ３に対応する受け渡しモジュールＴＲＳ３と、単位ブロックＥ４に対応する受け渡しモジュールＴＲＳ４とに振り分けられる。

このようにＴＲＳ３、ＴＲＳ４に振り分けられたウエハＷは、ＴＲＳ３（ＴＲＳ４）→レジスト膜形成モジュールＣＯＴ→加熱モジュール１７→保護膜形成モジュールＩＴＣ→加熱モジュール１７→タワーＴ２の受け渡しモジュールＴＲＳの順で搬送される。前記受け渡しモジュールＴＲＳに搬送されたウエハＷは、インターフェイスアーム１３６、１３８により、タワーＴ３を介して露光装置Ｄ４へ搬入される。露光後のウエハＷは、インターフェイスアーム１３７によりタワーＴ２、Ｔ４間を搬送されて、単位ブロックＥ５、Ｅ６に対応するタワーＴ２の受け渡しモジュールＴＲＳ５、ＴＲＳ６に夫々搬送される。然る後、加熱モジュール１７→現像モジュール→加熱モジュール１７→タワーＴ１の受け渡しモジュールＴＲＳに搬送された後、移載機構１３３を介してキャリアＣに戻される。
本発明の冶具は、このような塗布、現像装置の他にウエハＷの洗浄装置など、各種の装置に設けられる基板搬送機構に用いることができる。

Ｗ ウエハ
１ 搬送機構
４ 冶具
２１ フォーク
２４ 保持領域
３１ 保持用ブロック
３４ 側方規制部
４１ 冶具本体
５５ 基準面
６１ アーム部
６６ マイクロメータ
７８ 牽引爪
８１ 位置決め用ブロック

Claims (11)

1. 基板を保持するときに基板の周端を規制するガイド部材が基板の保持部材に設けられた基板搬送機構に対して、前記ガイド部材における基板の径方向の位置を調整する基板搬送機構の調整具であって、
   治具本体と、
   前記治具本体を前記保持部材に固定するための固定部と、
   前記治具本体に設けられ、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当てることにより当該ガイド部材の位置決めを行う位置決め機構と、を備え、
   前記位置決め機構は、
   前記基板の径方向に伸縮自在に構成され、その先端側が前記ガイド部材に接触して当該ガイド部材を相対的に押圧することにより当該ガイド部材の位置決めを行うための腕部を備えていることを特徴とする基板搬送機構の調整具。
2. 前記位置決め機構は、弾性部材により前記基板の径方向に前記ガイド部材を付勢することを特徴とする請求項１記載の基板搬送機構の調整具。
3. 前記位置決め機構は、前記腕部の先端側に設けられる引きつけ部と、当該引きつけ部に対して前記保持部材における基板の保持領域の中心部側に設けられる腕部本体と、を備え、
   前記弾性部材は、前記引きつけ部を前記腕部本体に向けて付勢するように設けられることを特徴とする請求項２記載の基板搬送機構の調整具。
4. 前記腕部は、基板保持領域の中心部を回転中心として回転自在に構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の基板搬送機構の調整具。
5. 前記治具本体には、前記腕部の先端側が接触して当該腕部の長さを基準長さに設定するための基準長さ設定部が設けられていることを特徴とする請求項４記載の基板搬送機構の調整具。
6. 基板を保持するときに基板の周端を規制するガイド部材が基板の保持部材に設けられた基板搬送機構に対して、前記ガイド部材における基板の径方向の位置を調整する基板搬送機構の調整具であって、
   治具本体と、
   前記治具本体を前記保持部材に固定するための固定部と、
   前記治具本体に設けられ、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当てることにより当該ガイド部材の位置決めを行う位置決め機構と、を備え、
   前記位置決め機構は、
   前記基板の径方向に伸縮自在に構成され、その先端側が前記ガイド部材に接触して当該ガイド部材を相対的に押圧することにより当該ガイド部材の位置決めを行うための腕部を備え、
   前記治具本体には、前記腕部の先端側が接触して当該腕部の長さを基準長さに設定するための基準長さ設定部が設けられ、
   前記腕部を基準長さ設定部に接触させる移動機構を備えていることを特徴とする基板搬送機構の調整具。
7. 前記腕部には、当該腕部の長さに対応した長さ寸法値が表示される長さ計測機構が設けられていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の基板搬送機構の調整具。
8. 基板を保持するときに基板の周端を規制するガイド部材が基板の保持部材に設けられた基板搬送機構に対して、前記ガイド部材における基板の径方向の位置を調整する基板搬送機構の調整具を用いた調整方法であって、
   固定部により治具本体を前記保持部材に固定する工程と、
   前記治具本体に設けられる位置決め機構を、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当て、当該ガイド部材の位置決めを行う工程と、
   前記位置決め機構を構成する腕部を、前記基板の径方向に伸縮させる工程と、
   を備え、
   前記ガイド部材の位置決めを行う工程は、前記腕部の先端側を前記ガイド部材に接触させ、当該ガイド部材を相対的に押圧する工程を備えることを特徴とする調整方法。
9. 前記ガイド部材の位置決めを行う工程は、弾性部材により前記基板の径方向に前記位置決め機構を付勢する工程を含むことを特徴とする請求項８記載の調整方法。
10. 前記腕部を、基板保持領域の中心部を回転中心として回転させる工程を備えることを特徴とする請求項９記載の調整方法。
11. 前記治具本体に設けられる基準長さ設定部に、前記腕部の長さを基準長さに設定するために、当該腕部の先端側を接触させる工程を備えることを特徴とする請求項１０記載の調整方法。

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