JP6008548B2 - ノズル調整治具 - Google Patents

Description

本発明は、切削ブレードへ冷却水を供給する冷却水ノズルの位置調整用のノズル調整治具に関し、特に薄型のホイールカバーに組み付けられた冷却水ノズル用のノズル調整治具に関する。

半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウェーハ等の被加工物の表面に格子状に分割予定ラインが形成され、分割予定ラインにより区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路が形成される。そして、被加工物は、切削装置によりストリートに沿って切削され、個々の半導体チップに分割される。このようにして分割された半導体チップは、パッケージングされて携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用される。

従来、被加工物を分割する切削装置として、冷却水によって切削ブレードを冷却すると同時に切削時に生じた切削屑を洗い流すものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この切削装置は、ダイヤモンド砥粒からなる円板状の切削ブレードを高速回転させ、複数の冷却水ノズルから冷却水を半導体ウェーハの加工部分や切削ブレードに噴射する。そして、ダイシング装置は、切削ブレードを半導体ウェーハに一定量切り込ませた状態で、ストリートに沿って切削送りすることにより半導体ウェーハを切削する。

特開２００６−１８７８４９号公報

また、上記した切削装置においては、切削ブレードの表面及び裏面に向けられた一対の冷却水ノズルが作業者の目視によって調整されるため、作業者によってバラツキが生じるという不具合があった。冷却水ノズル調整の精度が低く、切削ブレードに対して適切な位置に冷却水が供給されないと、加工熱を十分に取り除くことができない。このため、切削ブレードの異常摩耗や焼けが発生して、加工品質が著しく悪化する他、切削ブレードや被加工物が破損する可能性があった。

ところで、切削ブレードとしてハブブレードが用いられる場合、冷却水ノズルの下面がハブブレードの最下点から１ｍｍから３ｍｍ程度高い位置に調整されることが望ましい。また、切削ブレードとしてワッシャブレードが用いられる場合、冷却水ノズルの下面がワッシャブレード（フランジ）の最下点から１ｍｍ程度高い位置に調整されることが望ましい。このように、切削ブレードの種類等に応じて冷却水ノズルの上下位置を微調整する必要があり、作業者にとって煩わしい作業となっていた。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、切削ブレードに対して一対の冷却水ノズルを最適な位置に容易に調整可能なノズル調整治具を提供することを目的とする。

本発明のノズル調整治具は、被加工物を切削する切削ブレードと、固定フランジを介して前記切削ブレードを支持するスピンドルと、前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、前記切削ブレードを挟んで前記切削ブレードの表裏面側に配設された前記切削ブレードに冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、を少なくとも有する切削装置において使用され、前記切削ブレードが取り外された状態で前記冷却水ノズルのノズル位置を調整するノズル調整治具であって、前記スピンドルハウジング下面に磁力により着脱自在に装着される装着部と、前記冷却水ノズルの上下位置を所定位置に位置決めする前記スピンドルハウジング下面からの距離が所定距離に設定された冷却水ノズル位置決め部と、から構成され、前記冷却水ノズル位置決め部を前記冷却水ノズルの下方に位置づけた状態で前記スピンドルハウジング下面に前記装着部を装着し、前記冷却水ノズルの下端を前記冷却水ノズル位置決め部に当接させて前記冷却水ノズルの上下位置を調整することを特徴とする。

この構成によれば、磁力によってスピンドルハウジング下面に装着部が装着され、冷却水ノズルの下端がノズル位置決め部に当接されることで、切削ブレードに対して冷却水ノズルを適切な上下位置に調整できる。このとき、ノズル調整治具が冷却水ノズルをスピンドルハウジング下面から所定距離に位置決めするため、作業者によってノズル調整のバラツキが生じることがない。よって、切削ブレードに対して適切な位置に冷却水が供給され、切削時の加工熱が十分に取り除かれるため、加工品質が悪化や切削ブレードや被加工物の破損を防止できる。また、ノズル調整治具に切削ブレードの種類に応じてノズル位置決め部を設けることで、種類の異なる切削ブレードの上下位置の調整を容易に行うことができる。

本発明によれば、切削ブレードに対して一対の冷却水ノズルを最適な位置に容易に調整して、加工品質が悪化や切削ブレードや被加工物の破損を防止できる。

本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。 本実施の形態に係るブレードユニットの正面図である。 本実施の形態に係るブレードユニットの斜視図である。 本実施の形態に係るノズル調整治具の斜視図である。 本実施の形態に示すノズル調整治具と切削ブレードとの位置関係を示す図である。 本実施の形態に係るノズル調整治具を用いたノズル調整作業の説明図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。なお、以下においては、切削ブレードとして主にハブブレードを備えた切削装置ついて説明するが、この構成に限定されない。本発明は、切削ブレードとして、ワッシャブレード（ハブレスブレード）を備えた切削装置にも適用可能である。

図１に示すように、切削装置１は、切削ブレード３４を有する一対のブレードユニット３と被加工物Ｗを保持したチャックテーブル４とを相対移動させて、被加工物Ｗを切削するように構成されている。被加工物Ｗは、略円板状に形成されており、表面に格子状に配列された分割予定ラインによって複数の領域に区画されている。この区画された領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。また、被加工物Ｗは、貼着テープ９５を介して環状フレーム９６に支持された状態で切削装置１に搬入される。

なお、本実施の形態においては、被加工物Ｗとしてシリコンウェーハ、ガリウムヒソ等の半導体ウェーハを例に挙げて説明するが、この構成に限定されるものではない。半導体ウェーハの裏面に設けられるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミック、ガラス、サファイア（Al₂O₃）系の無機材料基板、各種電気部品やミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料を被加工物としてもよい。

切削装置１は、基台２を有しており、基台２上にはチャックテーブル４をＸ軸方向に加工送りするチャックテーブル移動機構５が設けられている。また、基台２上には、チャックテーブル移動機構５を跨ぐように立設した門型の柱部２１が設けられ、柱部２１には、チャックテーブル４の上方において一対のブレードユニット３をＹ軸方向に割出送りするブレードユニット移動機構６が設けられている。

チャックテーブル移動機構５は、基台２の上面に配置されたＸ軸方向に平行な一対のガイドレール５１と、一対のガイドレール５１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＸ軸テーブル５２とを有している。Ｘ軸テーブル５２の上部には、チャックテーブル４が設けられている。また、Ｘ軸テーブル５２の背面側には、図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ５３が螺合されている。そして、ボールネジ５３の一端部には、駆動モータ５４が連結されている。駆動モータ５４によりボールネジ５３が回転駆動され、チャックテーブル４がガイドレール５１に沿ってＸ軸方向に移動される。

チャックテーブル４は、Ｘ軸テーブル５２の上面に固定されたＺ軸回りに回転可能なθテーブル５５と、θテーブル５５の上部に設けられ、被加工物Ｗを吸着保持する保持部４１とを有している。保持部４１は、所定の厚みを有する円盤状であり、上面中央部分にはポーラスセラミック材により吸着面が形成されている。保持部４１の周囲には、θテーブル５５の四方から径方向外側に延びる一対の支持アームを介して４つのクランプ部４２が設けられている。４つのクランプ部４２は、エアーアクチュエータにより駆動し、被加工物Ｗの周囲の環状フレーム９６を挟持固定する。

ブレードユニット移動機構６は、柱部２１の前面に対してＹ軸方向に平行な一対のガイドレール６１と、一対のガイドレール６１にスライド可能に設置されたモータ駆動の一対のＹ軸テーブル６２を有している。また、ブレードユニット移動機構６は、各Ｙ軸テーブル６２の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６３と、各ガイドレール６３にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル６４とを有している。各Ｚ軸テーブル６４には、ブレードユニット３が設けられている。

また、各Ｙ軸テーブル６２、各Ｚ軸テーブル６４の背面側には、それぞれ図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ６５、６６が螺合されている。そして、Ｙ軸テーブル６２用のボールネジ６５、Ｚ軸テーブル６４用のボールネジ６６の一端部には、それぞれ駆動モータ６７、６８が連結されている。これら駆動モータ６７、６８によりボールネジが回転駆動され、一対のブレードユニット３がガイドレール６１、６３に沿ってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動される。各ブレードユニット３は、切削ブレード３４を高速回転させ、切削ブレード３４や切削位置に冷却水を噴射しつつ被加工物Ｗを切削する。なお、ブレードユニット３の詳細については後述する。

この切削装置１においては、Ｙ軸テーブル６２の移動によって切削ブレード３４が被加工物Ｗの分割予定ラインに位置合わせされる。次に、Ｚ軸テーブル６４の移動によって回転された切削ブレード３４の被加工物Ｗに対する切り込み深さが調整される。そして、切削ブレード３４に対してＸ軸テーブル５２が相対移動されることにより、チャックテーブル４に保持された被加工物Ｗが分割予定ラインに沿って切削される。以上の動作を繰り返すことで被加工物Ｗが格子状の分割予定ラインに沿って分割される。

次に、図２及び図３を参照してブレードユニットについて詳細に説明する。図２は、本実施の形態に係るブレードユニットの正面図である。図３は、本発明の実施の形態に係るブレードユニットの斜視図である。なお、図３Ａは、ブレードユニットの分解斜視図であり、図３Ｂは、切削ブレードを組み付けた後のブレードユニットの斜視図である。

図２及び図３に示すように、ブレードユニット３は、切削ブレード３４を装着したスピンドル３１と、下面を除いて切削ブレード３４の外周を覆うホイールカバー３２とを有している。スピンドル３１は、例えばエアスピンドルであり、圧縮エアのエア層によってスピンドルハウジング３１１に対してスピンドルシャフト３１２を浮動状態で支持している。スピンドルシャフト３１２の先端部は、スピンドルハウジング３１１から突出しており、切削ブレード３４固定用のマウントフランジ３３が装着されている。なお、スピンドルハウジング３１１は磁性を有するステンレスにより形成されている。

スピンドルハウジング３１１の下面３１３は、平坦に形成されている。スピンドルハウジング３１１は、この平坦に形成された下面３１３とチャックテーブル４の表面とが平行になるように調整されている。また、スピンドルハウジング３１１の下面３１３には、切削ブレード３４が取り外された状態で、後述するノズル調整治具８（図４参照）が磁力によって装着される。そして、スピンドルハウジング３１１の下面３１３を基準として、ノズル調整治具８により一対の冷却水ノズル７１の上下位置が調整される。このように、スピンドルハウジング３１１の下面３１３は、冷却水ノズル７１の位置調整時には基準面として機能する。

マウントフランジ３３は、磁性を有するステンレスにより形成されており、円筒状のボス部３３１と、ボス部３３１の外周面から外方に延出する固定フランジ３３２とを有している。ボス部３３１には、スピンドルシャフト３１２の先端部が嵌め込まれる不図示の嵌合孔が設けられている。スピンドルシャフト３１２の先端部は、嵌合孔に嵌め込まれた状態でボス部３３１から突出しており、この突出部分に不図示のネジ部が形成されている。マウントフランジ３３は、ボス部３３１から突出したネジ部に装着ナット３７が締め付けられることで、スピンドルシャフト３１２に装着される。

切削ブレード３４は、ハブブレードであり、被加工物Ｗを切削する砥石部３４１と、砥石部３４１を保持するハブ基台３４２とを有している。砥石部３４１は、例えば、ダイヤモンド等の砥粒をボンド材で結合してリング状に形成されている。ハブ基台３４２の中央には、ボス部３３１が差し込まれる貫通孔３４３が形成されている。ハブ基台３４２がボス部３３１に差し込まれると、ハブ基台３４２の前面側からボス部３３１の略半部が突出される。このボス部３３１の略半部には外周面にネジ部３３４が形成されている。切削ブレード３４は、ハブ基台３４２から突出したネジ部３３４にリング状の固定ナット３５が締め付けられることで、マウントフランジ３３に固定される。

ホイールカバー３２は、複数個所から冷却水を噴射するように構成されており、切削ブレード３４の下部を挟み込むように対向配置された一対の冷却水ノズル７１と、切削ブレード３４の切削方向前方に位置したシャワーノズル７５とを有している。一対の冷却水ノズル７１は、切削ブレード３４の切削方向後方に配置された冷却水ノズルブロック７２に固定されている。冷却水ノズルブロック７２では、継手７３を介して一対の冷却水ノズル７１と冷却水の供給ホース７４とが連結される。

一対の冷却水ノズル７１は、冷却水ノズルブロック７２から下方に延びた後、切削ブレード３４の下部を挟み込むように切削方向前方に向かって延びている。一対の冷却水ノズル７１の先端側には、切削ブレードを挟んで対向する対向面に、冷却水を噴射する複数のスリット７１１が形成されている。一対の冷却水ノズル７１は、供給ホース７４から供給された冷却水を複数のスリット７１１から被加工物Ｗの切削位置に向けて噴射（供給）し、切削位置の冷却及び洗浄を行う。

シャワーノズル７５は、切削ブレード３４の切削方向前方に配置されたシャワーノズルブロック７６に形成されている。シャワーノズルブロック７６には、継手７７を介して冷却水の供給ホース７８が連結されている。シャワーノズル７５には、シャワーノズルブロック７６の内部流路を介して、供給ホース７８から冷却水が供給される。シャワーノズル７５は、切削ブレード３４に向けて冷却水を噴射し、切削ブレード３４に冷却水を巻き込ませて切削部分の冷却および洗浄を行う。

また、冷却水ノズルブロック７２には、冷却水を後方に導く一対の飛沫カバー３６が設けられている。一対の飛沫カバー３６は、切削ブレード３４の切削によって飛散した冷却水及び切削屑を後方に案内し、ホイールカバー３２の外側に排出している。

冷却水ノズルブロック７２及びシャワーノズルブロック７６は、それぞれホイールカバー３２の不図示の固定ブロックにネジ留めされている。冷却水ノズルブロック７２の側面７２１には、上下方向に延在する長孔７２２が形成されている。長孔７２２には一対の調整ネジ７２３が挿通されており、調整ネジ７２３を緩めて冷却水ノズルブロック７２を長孔７２２に沿って動かすことで、切削ブレード３４に対する冷却水ノズル７１の上下位置が調整される（図６参照）。

冷却水ノズルブロック７２の側面７２４には、前後方向に延在する一対の長孔（不図示）が形成されている。各長孔には調整ネジ（不図示）が挿通されており、調整ネジを緩めて冷却水ノズルブロック７２を長孔に沿って動かすことで、切削ブレード３４に対する冷却水ノズル７１の前後位置が調整される。また、シャワーノズルブロック７６の側面７６１には、前後方向に延在する一対の長孔７６２が形成されている。各長孔７６２には調整ネジ７６３が挿通されており、調整ネジ７６３を緩めてシャワーノズルブロック７６を長孔７６２に沿って動かすことで、切削ブレード３４に対するシャワーノズル７５の前後位置が調整される。

ホイールカバー３２の上部には、ブレード破損検出器７９が設けられている。ブレード破損検出器７９は、切削ブレード３４の上部を挟み込むように対向配置された発光素子及び受光素子を有している。発光素子から出射された光束は、切削ブレード３４の先端によって部分的に遮光されて受光素子に受光される。よって、ブレード破損検出器７９は、受光素子における受光量（透過率）の増加に応じて、切削ブレード３４の全損や欠け等の破損状態を検出する。ブレード破損検出器７９は、調整ネジ７９１によって切削ブレード３４に対する上下位置が調整され、固定ネジ７９２によって調整された位置で固定される。

図４及び図５を参照して、切削ブレードに対する冷却水ノズルの上下位置を調整するためのノズル調整治具について説明する。図４は、本実施の形態に係るノズル調整治具の斜視図である。図５は、本実施の形態に示すノズル調整治具と切削ブレードとの位置関係を示す図である。なお、図５Ａは、ノズル調整治具とハブブレードとの位置関係を示し、図５Ｂは、ノズル調整治具とワッシャブレードとの位置関係を示す。また、図５においては、説明の便宜上、切削ブレードを仮想線で示している。

図４に示すように、ノズル調整治具８は、上面視長方形の板状であり、一端部に平板状の磁石８２が埋設されている。ノズル調整治具８は、一端部に設けた磁石８２の磁力によってスピンドルハウジング３１１の下面３１３に装着され、スピンドルハウジング３１１に片持ちで支持される。このように、ノズル調整治具８の一端部は、スピンドルハウジング３１１の下面３１３に磁力によって着脱可能に装着される装着部８３となっている。ノズル調整治具８の他端部には、一対の冷却水ノズル７１を位置決めするための冷却水ノズル位置決め部８４が設けられている。

冷却水ノズル位置決め部８４は、高さが異なる段状（本実施の形態では３段）の当接面８４１ａ−８４１ｃを有しており、一対の冷却水ノズル７１を数段階の高さ位置に調整可能に形成されている。この当接面８４１ａ−８４１ｃは、それぞれ切削ブレード３４の種類等に応じて一対の冷却水ノズル７１を適切に調整できるように形成されている。例えば、最も他端側の当接面８４１ａは、ハブブレードに対応した高さ位置、中央の当接面８４１ｂはワッシャブレードに対応した高さ位置、最も一端側の当接面８４１ｃは他のワッシャブレードに対応した高さ位置に一対の冷却水ノズル７１を調整する。

図５Ａに示すように、切削ブレード３４がハブブレードの場合には、刃先（最下点）から一対の冷却水ノズル７１の下面までの距離が重要である。このため、ノズル調整治具８は、スピンドルハウジング３１１の下面３１３に装着された状態で、切削ブレード３４の刃先から距離Ｌ１（例えば、１．０から３．０ｍｍ）だけ高い位置に当接面８４１ａが位置付けられるように設計されている。一対の冷却水ノズル７１をノズル調整治具８の当接面８４１ａに当接させることで、一対の冷却水ノズル７１の上下位置が適切に調整される。

図５Ｂに示すように、ワッシャブレード９はリング状の砥石部からなり、一対のフランジ９１、９２に挟み込まれて使用される。ワッシャブレード９の場合には、フランジ９２の外径（最下点）から一対の冷却水ノズル７１までの距離が重要である。このため、ノズル調整治具８は、スピンドルハウジング３１１の下面３１３に装着された状態で、フランジ９２の外径から距離Ｌ２（例えば、１．０ｍｍ程度）だけ高い位置に当接面８４１ｂが位置付けられるように設計されている。一対の冷却水ノズル７１をノズル調整治具８の当接面８４１ｂに当接させることで、一対の冷却水ノズル７１の上下位置が適切に調整される。

他のワッシャブレードが使用される場合も同様に、フランジの外径に合わせて当接面８４１ｃが設計されている。このように、当接面８４１ａ−８４１ｃは、切削ブレードの種類に応じて、スピンドルハウジング３１１の下面３１３からの距離がそれぞれ所定距離になるように設定されている。また、当接面８４１ａ−８４１ｃと一対の冷却水ノズル７１との水平方向の位置合わせは、スピンドルハウジング３１１の端部にノズル調整治具８の印３１４ａ−３１４ｃに合わせることで行われる。この場合、印３１４ａはハブブレード用の当接面８４１ａ、印３１４ｂはワッシャブレード用の当接面８４１ｂ、印３１４ｃは他のワッシャブレード用の当接面８４１ｃにそれぞれ対応している。

上記したように、ノズル調整治具８が装着されるスピンドルハウジング３１１の下面３１３は、チャックテーブル４に対して平行に形成されている。一対の冷却水ノズル７１は、チャックテーブル４に平行なスピンドルハウジング３１１の下面３１３を基準として上下位置が調整されるため、チャックテーブル４に対する平行状態が保たれる。したがって、一対の冷却水ノズル７１が、水平面に対して傾くことがなく、上下方向に精度よく位置調整される。また、ノズル調整治具８は、磁石８２の磁力によってスピンドルハウジング３１１に装着されるので、既存の構成に変更を加えることなく安価にノズル調整できる。

図６を参照して、ノズル調整治具を用いたノズル調整について詳細に説明する。図６は、本実施の形態に係るノズル調整治具を用いたノズル調整作業の説明図である。なお、図６においては、ハブブレードに対する一対の冷却水ノズルの高さ調整について説明するが、ワッシャブレードに対する一対の冷却水ノズルの高さ調整も同様である。また、図６Ｃにおいてブレードユニットは、説明の便宜上、一部分を省略して記載している。

図６Ａに示すように、ホイールカバー３２から切削ブレード３４が取り外された状態で、ノズル調整治具８がスピンドルハウジング３１１の下面３１３に装着される。ノズル調整治具８は、一端部に設けた磁石８２の磁力によって、磁性体で形成されたスピンドルハウジング３１１に吸着固定されている。このとき、一対の冷却水ノズル７１が、冷却水ノズル位置決め部８４の当接面８４１ａから僅かな隙間を空けて離間されている。

次に、図６Ｂに示すように、長孔７２２に挿通された一対の調整ネジ７２３を緩めて、一対の冷却水ノズル７１がノズル調整治具８の当接面８４１ａに当接するまで、冷却水ノズルブロック７２をスライドさせる。この場合、長孔７２２と一対の調整ネジ７２３とによって、冷却水ノズルブロック７２のスライド方向が上下方向に規制される。よって、ノズル調整時の冷却水ノズルブロック７２の回転方向及び前後方向の位置ズレが防止される。

このとき、図６Ｃに示すように、ノズル調整治具８の当接面８４１ａは、チャックテーブル４に対して平行出しされたスピンドルハウジング３１１の下面３１３に平行となっている。このため、一対の冷却水ノズル７１は、チャックテーブル４に平行な水平状態を保ちつつ、上下方向に位置調整される。なお、本実施の形態では、一対の冷却水ノズル７１の両方に当接面８４１ａを当接させて位置調整する構成としたが、一対の冷却水ノズル７１のいずれか片方に当接面８４１ａを当接させて位置調整してもよい。

ノズル調整治具８によって一対の冷却水ノズル７１が位置合わせされると、調整ネジ７２３の締め付けによって冷却水ノズル７１が所定位置で固定される。次に、図６Ｄに示すように、スピンドルハウジング３１１の下面３１３からノズル調整治具８が取り外され、固定フランジ３３２に切削ブレード３４が取り付けられる。ノズル調整治具８の当接面８４１ａが一対の冷却水ノズルと切削ブレード３４の刃先との間に所定距離Ｌ１を確保するように設計されているので、ノズル調整治具８から着け替えられた切削ブレード３４に対して一対の冷却水ノズル７１が適切な上下位置に位置決めされる。

以上のように、本実施の形態に係るノズル調整治具８によれば、磁力によってスピンドルハウジング３１１の下面３１３に装着され、冷却水ノズル７１が当接されることで、切削ブレード３４に対して冷却水ノズル７１が適切な上下位置に調整される。このとき、ノズル調整治具８が冷却水ノズル７１をスピンドルハウジング３１１の下面３１３から所定距離に位置決めするため、作業者によってノズル調整のバラツキが生じることがない。よって、切削ブレード３４に対して適切な位置に冷却水が供給され、切削時の加工熱が十分に取り除かれるため、加工品質が悪化や切削ブレード３４や被加工物Ｗの破損を防止できる。

また、ノズル調整治具８のノズル位置決め部８４に、切削ブレードの種類に応じた当接面８４１を設けることで、種類の異なる切削ブレードの上下位置の調整を容易に行うことができる。さらに、ノズル調整治具８が磁石８２によってスピンドルハウジング３１１に装着されるため、既存の構成を変更することなく利用でき、安価にノズル調整できる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、本実施の形態において、スピンドルハウジング３１１の下端に、平坦な下面３１３が形成される構成としたが、この構成に限定されない。スピンドルハウジング３１１の外周は、全周に亘って円形や楕円形に形成されてもよい。この場合、ノズル調整治具８の装着部８３は、スピンドルハウジング３１１の下面に沿った円弧状に形成され、スピンドルハウジング３１１の下端に装着部８３の中心が位置付けられるように印等によって周方向が位置合わせされる。

また、本実施の形態において、冷却ノズル位置決め部８４が、３種類の切削ブレードに対応するように段状に形成されたが、この構成に限定されない。冷却ノズル位置決め部８４は、１種類の切削ブレードにのみ対応するように段状に形成されなくてもよい。また、冷却ノズル位置決め部８４は、さらに多くの種類の切削ブレードに対応できるように多くの段数が形成されてもよい。また、切削ブレードの種類に応じたノズル調整治具８を複数用意することも可能である。

また、本実施の形態において、ノズル調整治具８は、板状の磁石８２が埋設される構成としたが、この構成に限定されない。ノズル調整治具８は、磁力によってスピンドルハウジング３１１の下端に装着可能であればよく、磁石８２の形状は特に限定されない。

以上説明したように、本発明は、切削ブレードに対して一対の冷却水ノズルを最適な位置に容易に調整できるという効果を有し、特に、薄型のホイールカバーに組み付けられた冷却水ノズル用のノズル調整治具に有用である。

１ 切削装置
３ ブレードユニット
３１ スピンドル
３１１ スピンドルハウジング
３１２ スピンドルシャフト
３１３ 下面
３１４ａ−３１４ｃ 印
３２ ホイールカバー
３３ マウントフランジ
３３２ 固定フランジ
３４ 切削ブレード
７１ 冷却水ノズル
７２ 冷却水ノズルブロック
７５ シャワーノズル
７６ シャワーノズルブロック
８ ノズル調整治具
８２ 磁石
８３ 装着部
８４ 冷却水ノズル位置決め部
８４１ａ−８４１ｃ 当接面
Ｗ 被加工物

Claims (1)

1. 被加工物を切削する切削ブレードと、固定フランジを介して前記切削ブレードを支持するスピンドルと、前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、前記切削ブレードを挟んで前記切削ブレードの表裏面側に配設された前記切削ブレードに冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、を少なくとも有する切削装置において使用され、前記切削ブレードが取り外された状態で前記冷却水ノズルのノズル位置を調整するノズル調整治具であって、
   前記スピンドルハウジング下面に磁力により着脱自在に装着される装着部と、前記冷却水ノズルの上下位置を所定位置に位置決めする前記スピンドルハウジング下面からの距離が所定距離に設定された冷却水ノズル位置決め部と、から構成され、
   前記冷却水ノズル位置決め部を前記冷却水ノズルの下方に位置づけた状態で前記スピンドルハウジング下面に前記装着部を装着し、前記冷却水ノズルの下端を前記冷却水ノズル位置決め部に当接させて前記冷却水ノズルの上下位置を調整することを特徴とするノズル調整治具。

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