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JP6066638B2 - Liquid discharge head - Google Patents
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Description

本発明は、インクの吐出によって記録動作を行うインクジェット記録装置に備えられた液体吐出ヘッドに関する。   The present invention relates to a liquid discharge head provided in an ink jet recording apparatus that performs a recording operation by discharging ink.

記録媒体へ画像を形成するためにインクを吐出する、複数のノズル列を備えた液体吐出ヘッドが、特許文献1に開示されている。この液体吐出ヘッドは、熱エネルギーを発生させるヒータ(エネルギー発生素子)と、インクを吐出する複数の吐出口とインク流路を有する流路形成部材と、インク流路にインクを供給するインク供給口を備えた基板を有している。インクは、熱エネルギーを発生させるヒータによって加熱され、膜沸騰した際に発生する気泡の圧力を利用して吐出口から吐出される。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-228688 discloses a liquid discharge head including a plurality of nozzle rows that discharge ink to form an image on a recording medium. The liquid discharge head includes a heater (energy generating element) that generates thermal energy, a plurality of discharge ports that discharge ink, a flow path forming member that includes an ink flow path, and an ink supply port that supplies ink to the ink flow path. It has the board | substrate provided with. The ink is heated by a heater that generates thermal energy, and is ejected from the ejection port using the pressure of bubbles generated when the film boils.

複数のノズル供給口は、シアン(Cyan)、マゼンタ(Magenta)、イエロー(Yellow)の三原色に、濃度の異なるグレー(Gray)、フォトブラック(Photo Black)を加えた8列で構成されている。このように、シアン、マゼンタ、イエローの三原色にグレーやブラック等の色を追加することで、記録媒体へ高画質な記録を行うことができる。インク供給口の配色は、ブラック、グレー、シアン、マゼンタ、イエロー、マゼンタ、シアン、グレーの順番になっている。イエローとブラックのインクを吐出する複数の吐出口は、大きいインク滴を吐出するための大きい吐出口のみを備え、シアン、マゼンタ、グレーは大きい吐出口に加えて、小さいインク滴を吐出するための小さい吐出口を備えている。イエローは明度が高く、画像上の粒状感が目立ち難いため小さいインク滴は不要で、ブラックの小さいインク滴はグレーで代用することができるため、小さい吐出口は不要である。   The plurality of nozzle supply ports are configured by eight rows in which gray (Gray) and photo black (Photo Black) having different densities are added to the three primary colors of cyan (Cyan), magenta (Magenta), and yellow (Yellow). As described above, by adding colors such as gray and black to the three primary colors of cyan, magenta, and yellow, high-quality recording can be performed on the recording medium. The color arrangement of the ink supply ports is in the order of black, gray, cyan, magenta, yellow, magenta, cyan, and gray. Multiple discharge ports that discharge yellow and black ink have only large discharge ports for discharging large ink droplets, and cyan, magenta, and gray are used for discharging small ink droplets in addition to large discharge ports. It has a small discharge port. Since yellow has high brightness and the granularity on the image is not noticeable, small ink droplets are unnecessary, and small black ink droplets can be substituted with gray, so that a small discharge port is unnecessary.

フォトリソグラフィー技術を利用して形成された、記録媒体へ画像を形成するためにインクを吐出するための複数の吐出口の列からなるノズル列を備えた液体吐出ヘッドが、特許文献2に開示されている。このノズル列は、基板の表面に接合された流路形成部材(フォトレジスト)を露光及び現像することによって形成されている。基板にインク供給口が設けられ、流路形成部材に複数の吐出口(インク吐出口)と、インク供給口から吐出口へインクを流すインク流路が形成されている。インク供給口に複数の梁(隔壁)が設けられ、基板に一つのノズル列しか形成しないことで、基板が高い剛性を有している。   Patent Document 2 discloses a liquid discharge head including a nozzle row formed of a plurality of discharge ports for discharging ink to form an image on a recording medium, which is formed by using a photolithography technique. ing. This nozzle array is formed by exposing and developing a flow path forming member (photoresist) bonded to the surface of the substrate. An ink supply port is provided in the substrate, and a plurality of discharge ports (ink discharge ports) are formed in the flow channel forming member, and an ink flow channel for flowing ink from the ink supply port to the discharge port is formed. A plurality of beams (partition walls) are provided at the ink supply port, and only one nozzle row is formed on the substrate, so that the substrate has high rigidity.

特開2010−76394号公報JP 2010-76394 A 特開平10−138478号公報JP-A-10-138478

しかしながら、特許文献1に開示された発明では、インクを吐出する際にヒータが発生させる熱エネルギーによって、図1に示すように、基板110が熱収縮して、基板110の両端部が中心部に向かって歪んでしまうという課題があった。基板110が歪んでしまうと、基板110に加わる圧力に分布が生じ、両端に応力が集中して、基板110の両端のインク供給口60が歪んでしまう。基板110の両端のインク供給口60が基板中心部に向かって歪んでしまうと、インク供給口60と吐出口を形成している、基板110と接合した流路形成部材が大きく変形してしまう。流路形成部材が歪むと吐出口も変形してしまうため、吐出口から吐出されるインク滴の記録媒体への着弾精度が悪化してしまう。または、基板110が歪んでも剛性の高い流路形成部材は歪まず、このため基板110と流路形成部材との間に応力が発生して、基板110と流路形成部材が剥がれてしまうおそれがあった。これに対して、基板の両端のインク供給口の外側の面積を広く設定し、歪みにくい形状にするという対策があるが、基板全体が大きくなってしまい、液体吐出ヘッドのコストアップや大型化につながってしまう。   However, in the invention disclosed in Patent Document 1, the thermal energy generated by the heater when ink is ejected causes the substrate 110 to thermally contract as shown in FIG. 1, so that both ends of the substrate 110 are centered. There was a problem of distortion. When the substrate 110 is distorted, the pressure applied to the substrate 110 is distributed, the stress is concentrated at both ends, and the ink supply ports 60 at both ends of the substrate 110 are distorted. If the ink supply ports 60 at both ends of the substrate 110 are distorted toward the center of the substrate, the flow path forming member joined to the substrate 110 that forms the ink supply ports 60 and the discharge ports is greatly deformed. When the flow path forming member is distorted, the ejection port is also deformed, and the landing accuracy of the ink droplets ejected from the ejection port on the recording medium is deteriorated. Alternatively, even if the substrate 110 is distorted, the highly rigid flow path forming member is not distorted. For this reason, stress is generated between the substrate 110 and the flow path forming member, and the substrate 110 and the flow path forming member may be peeled off. there were. On the other hand, there is a measure to increase the area outside the ink supply ports at both ends of the substrate to make it difficult to distort, but the entire substrate becomes larger, which increases the cost and size of the liquid discharge head. It will be connected.

特許文献2に開示された発明では、基板に対してノズル列が一列しか配置されていないため、高画質な記録を行うためには複数の基板を液体吐出ヘッドに設ける必要があり、液体吐出ヘッドのコストアップや大型化につながるという課題があった。また、インク供給口に梁が設けられているため、梁が設けられていない場合と比較して平面的にみてインク供給口の面積が減少することによって、インク供給口からインク流路に供給されるインクの量が減ってしまうという課題があった。   In the invention disclosed in Patent Document 2, since only one nozzle row is arranged with respect to the substrate, it is necessary to provide a plurality of substrates in the liquid ejection head in order to perform high-quality recording. There was a problem that would lead to an increase in cost and size. Further, since the beam is provided at the ink supply port, the area of the ink supply port is reduced in plan view as compared with the case where no beam is provided, so that the ink supply port is supplied to the ink flow path. There was a problem that the amount of ink to be reduced.

そこで本発明の目的は、前記した問題を解決して、熱エネルギーによる基板の熱収縮を抑制することで、インクの着弾精度の悪化を抑える液体吐出ヘッドを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a liquid discharge head that solves the above-described problems and suppresses the deterioration of ink landing accuracy by suppressing thermal contraction of the substrate due to thermal energy.

前記した目的を達成するために、本発明は、基板と、基板に積層された流路形成部材と、流路形成部材に形成された液体を吐出するための複数の吐出口と、流路形成部材に形成されており、各吐出口にそれぞれ連通する複数の液体流路と、基板に配置されて各液体流路内にそれぞれ位置している熱エネルギーを発生させる複数のエネルギー発生装置と、長手部と短手部を有し、基板に形成された、各々が複数の液体流路のうちの一部に液体を供給する複数の液体吐出口と、を有し、基板には、少なくとも基板の両端に設けられた液体供給口の内部に位置し供給口の短手部方向に沿う複数の梁が形成されており、流路形成部材には、複数の液体供給口の直上にそれぞれ位置する補強リブが設けられていることを特徴とする。また、本発明のもう1つの特徴は、基板と、基板に積層された流路形成部材と、流路形成部材に形成された液体を吐出するための複数の吐出口と、流路形成部材に形成されており、各吐出口にそれぞれ連通する複数の液体流路と、基板に配置されて各液体流路内にそれぞれ位置している熱エネルギーを発生させる複数のエネルギー発生装置と、長手部と短手部を有し、基板に形成された、各々が複数の液体流路のうちの一部に液体を供給する複数の液体吐出口と、を有し、基板には、少なくとも基板の両端に設けられた液体供給口の内部に位置し供給口の短手部方向に沿う複数の梁が形成されており、基板の両端に設けられた個々の液体供給口の内部に位置する梁の数が、両端以外の個々の液体供給口の内部に位置する梁の数に比べて多いところにある。
In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate, a flow path forming member laminated on the substrate, a plurality of discharge ports for discharging a liquid formed on the flow path forming member, and a flow path formation. A plurality of liquid flow paths that are formed in the member and communicate with the respective discharge ports; a plurality of energy generation devices that are disposed on the substrate and generate thermal energy that is positioned in each liquid flow path; A plurality of liquid discharge ports that each supply a liquid to a part of the plurality of liquid flow paths, and each of the substrates includes at least a substrate. A plurality of beams are formed inside the liquid supply ports provided at both ends and along the direction of the short part of the supply port, and the flow path forming member has reinforcements positioned directly above the plurality of liquid supply ports, respectively. A rib is provided. Another feature of the present invention is that the substrate, the flow path forming member laminated on the substrate, the plurality of discharge ports for discharging the liquid formed on the flow path forming member, and the flow path forming member A plurality of liquid flow paths that are formed and communicate with the respective discharge ports, a plurality of energy generators that are disposed on the substrate and generate thermal energy respectively located in each liquid flow path, and a longitudinal portion. A plurality of liquid discharge ports that each have a short portion and are formed on the substrate and supply liquid to a part of the plurality of liquid flow paths, and the substrate includes at least both ends of the substrate. A plurality of beams are formed along the short-side direction of the supply port located inside the provided liquid supply port, and the number of beams positioned inside the individual liquid supply ports provided at both ends of the substrate is , Compared to the number of beams located inside the individual liquid supply ports other than both ends In the filtrate.

本発明によれば、複数のインク供給口を基板に形成し、少なくとも基板両端に位置するインク供給口に梁を設けることで基板端部の強度が向上し、熱収縮による基板の変形を抑制することができる。   According to the present invention, a plurality of ink supply ports are formed on the substrate, and beams are provided at least at the ink supply ports located at both ends of the substrate, whereby the strength of the substrate end is improved and the deformation of the substrate due to thermal contraction is suppressed. be able to.

従来技術の基板が変形する状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which the board | substrate of a prior art deform | transforms. 本発明のインクジェット記録装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet recording device of this invention. 本発明の液体吐出ヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the liquid discharge head of this invention. (a)と(b)は、本発明の第1の実施形態である液体吐出ヘッドが有する基板と流路形成部材の表面を示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the surface of the board | substrate and flow-path formation member which the liquid discharge head which is the 1st Embodiment of this invention has. (a)は図4(a)に示す基板のA1−A1’断面図、(b)は図5(a)のW1−W1’断面図、(c)は図5(b)のX1−X1’断面図である。4A is a sectional view taken along the line A1-A1 ′ of FIG. 4A, FIG. 5B is a sectional view taken along the line W1-W1 ′ of FIG. 5A, and FIG. 5C is a sectional view taken along line X1-X1 of FIG. 'Cross section. (a)は図4(a)に示す基板のB1−B1’断面図、(b)は図6(a)のY1−Y1’断面図、(c)は図6(b)のZ1−Z1’断面図である。4A is a B1-B1 ′ sectional view of the substrate shown in FIG. 4A, FIG. 4B is a sectional view taken along the line Y1-Y1 ′ in FIG. 6A, and FIG. 6C is Z1-Z1 in FIG. 'Cross section. (a)と(b)は、本発明の第2の実施形態である液体吐出ヘッドが有する基板と流路形成部材の表面を示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the surface of the board | substrate and flow-path formation member which the liquid discharge head which is the 2nd Embodiment of this invention has. (a)は図7(a)に示す基板のA2−A2’断面図、(b)は図8(a)のW2−W2’断面図、(c)は図8(b)のX2−X2’断面図である。7A is a cross-sectional view taken along the line A2-A2 ′ of the substrate shown in FIG. 7A, FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line W2-W2 ′ of FIG. 8A, and FIG. 'Cross section. (a)は図7(a)に示す基板のB2−B2’断面図、(b)は図9(a)のY2−Y2’断面図、(c)は図9(b)のZ2−Z2’断面図である。7A is a sectional view taken along the line B2-B2 ′ of the substrate shown in FIG. 7A, FIG. 7B is a sectional view taken along the line Y2-Y2 ′ in FIG. 9A, and FIG. 9C is a sectional view taken along line Z2-Z2 in FIG. 'Cross section. (a)と(b)は、本発明の第3の実施形態である液体吐出ヘッドが有する基板と流路形成部材の表面を示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the surface of the board | substrate and flow-path formation member which the liquid discharge head which is the 3rd Embodiment of this invention has. (a)は図10(a)に示す基板のA3部の拡大図、(b)は図11(a)のW3−W3’断面図、(c)は図11(b)のX3−X3’断面図である。(A) is an enlarged view of the A3 portion of the substrate shown in FIG. 10 (a), (b) is a cross-sectional view taken along W3-W3 ′ in FIG. 11 (a), and (c) is X3-X3 ′ in FIG. 11 (b). It is sectional drawing. (a)は図10(a)に示す基板のB3−B3’断面図、(b)は図12(a)のY3−Y3’断面図、(c)は図12(b)のZ3−Z3’断面図である。10A is a cross-sectional view taken along B3-B3 ′ of the substrate shown in FIG. 10A, FIG. 10B is a cross-sectional view taken along Y3-Y3 ′ in FIG. 12A, and FIG. 10C is Z3-Z3 in FIG. 'Cross section. (a)と(b)は、本発明の第4の実施形態である液体吐出ヘッドが有する基板と流路形成部材の表面を示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the surface of the board | substrate and flow-path formation member which the liquid discharge head which is the 4th Embodiment of this invention has. (a)は図13(a)に示す基板のA4−A4’断面図、(b)は図14(a)のW4−W4’断面図、(c)は図14(b)のX4−X4’断面図である。FIG. 13A is a cross-sectional view taken along the line A4-A4 ′ of FIG. 13A, FIG. 14B is a cross-sectional view taken along the line W4-W4 ′ of FIG. 14A, and FIG. 'Cross section. (a)は図13(a)に示す基板のB4−B4’断面図、(b)は図15(a)のY4−Y4’断面図、(c)は図15(b)のZ4−Z4’断面図である。(A) is a B4-B4 ′ cross-sectional view of the substrate shown in FIG. 13 (a), (b) is a Y4-Y4 ′ cross-sectional view of FIG. 15 (a), and (c) is Z4-Z4 of FIG. 15 (b). 'Cross section. (a)と(b)は、本発明の第5の実施形態である液体吐出ヘッドが有する基板と流路形成部材の表面を示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the surface of the board | substrate and flow-path formation member which the liquid discharge head which is the 5th Embodiment of this invention has. (a)と(b)は図16(a)に示す基板のA5−A5’断面図と平面図、(c)と(d)は図16(a)に示す基板のB5−B5’断面図と平面図、(e)と(f)は図16(a)に示す基板のC5−C5’断面図と平面図である。(A) and (b) are A5-A5 'cross-sectional views and plan views of the substrate shown in FIG. 16 (a), and (c) and (d) are B5-B5' cross-sectional views of the substrate shown in FIG. 16 (a). (E) and (f) are C5-C5 ′ cross-sectional views and plan views of the substrate shown in FIG. 16 (a). (a)と(b)は、本発明の第6の実施形態である液体吐出ヘッドが有する基板と流路形成部材の表面を示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the surface of the board | substrate and flow-path formation member which the liquid discharge head which is the 6th Embodiment of this invention has. (a)は図18(a)に示す基板のA6部の拡大図、(b)は図19(a)のW6−W6’断面図、(c)は図19(a)のX6−X6’断面図である。(A) is an enlarged view of the A6 portion of the substrate shown in FIG. 18 (a), (b) is a cross-sectional view taken along the line W6-W6 ′ of FIG. 19 (a), and (c) is X6-X6 ′ of FIG. 19 (a). It is sectional drawing.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図2は、本発明の第1の実施形態である液体吐出ヘッドを有するインクジェット記録装置の斜視図である。
(First embodiment)
FIG. 2 is a perspective view of the ink jet recording apparatus having the liquid discharge head according to the first embodiment of the present invention.

インクジェット記録装置5000は、液体吐出ヘッド5012と、インクタンク5014と、一体型インクジェットカートリッジ5024と、キャリッジ5025とを有している。液体吐出ヘッド5012は、記録媒体5001にインクを吐出して画像を形成するものであり、記録媒体5001の記録面と相対する位置に設けられている。インクタンク5014は、液体吐出ヘッド5012が吐出するインクを貯留しており、液体吐出ヘッド5012と隣接して設けられ、液体吐出ヘッド5012と共に一体型インクジェットカートリッジ5024に内蔵されている。キャリッジ5025は、一体型インクジェットカートリッジ5024を内蔵しており、記録媒体5001の記録面上を往復運動するためにガイドレール5003に矢印a、bの方向に移動できるように備えられている。   The ink jet recording apparatus 5000 includes a liquid discharge head 5012, an ink tank 5014, an integrated ink jet cartridge 5024, and a carriage 5025. The liquid ejection head 5012 forms an image by ejecting ink onto the recording medium 5001 and is provided at a position facing the recording surface of the recording medium 5001. The ink tank 5014 stores ink ejected by the liquid ejection head 5012, is provided adjacent to the liquid ejection head 5012, and is built in the integrated inkjet cartridge 5024 together with the liquid ejection head 5012. The carriage 5025 incorporates an integrated inkjet cartridge 5024 and is provided on the guide rail 5003 so as to move in the directions of arrows a and b so as to reciprocate on the recording surface of the recording medium 5001.

図3は、液体吐出ヘッド5012の構成を示す斜視図である。   FIG. 3 is a perspective view showing the configuration of the liquid discharge head 5012.

液体吐出ヘッド5012は、記録媒体5001へ記録される文字や画像等の高密度化及び高精細化を達成するために、熱エネルギーによってインクの状態変化を生起させることによってインクを吐出するように構成されている。熱エネルギーは電気熱変換素子によって発生させられ、発生した熱エネルギーによってインクが膜沸騰したときに生じる気泡による圧力を利用してインクが吐出される。この液体吐出ヘッド5012は、基板110と、基板110に設けられた電気熱変換素子である複数のヒータ40と、基板110の表面に積層された流路形成部材111と、流路形成部材111に設けられた複数の吐出口10とを有している。   The liquid discharge head 5012 is configured to discharge ink by causing a change in the state of ink by thermal energy in order to achieve high density and high definition of characters and images recorded on the recording medium 5001. Has been. The thermal energy is generated by the electrothermal conversion element, and the ink is ejected using the pressure caused by the bubbles generated when the ink is boiled by the generated thermal energy. The liquid discharge head 5012 includes a substrate 110, a plurality of heaters 40 that are electrothermal conversion elements provided on the substrate 110, a flow path forming member 111 stacked on the surface of the substrate 110, and a flow path forming member 111. It has a plurality of discharge ports 10 provided.

基板110は、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等によって形成されており、一般にSi(シリコン)によって形成される。また、基板110は、共通液室112からインクを供給する、長手部と短手部を有する細長形状をしたインク供給口60を基板110の表面に有している。複数のヒータ40は、一つのインク供給口60に対してそのインク供給口60を挟むように二列を成して基板110の表面に設けられている。基板110の表面と複数のヒータ40とには、蓄熱の発散性を向上させる不図示の絶縁膜が被覆されている。さらに、基板110の表面には、気泡が消泡した際に生じるキャビテーションから保護するための不図示の保護膜が、絶縁膜を被覆するように形成されている。   The substrate 110 is formed of glass, ceramics, resin, metal, or the like, and is generally formed of Si (silicon). In addition, the substrate 110 has an elongated ink supply port 60 having a long portion and a short portion for supplying ink from the common liquid chamber 112 on the surface of the substrate 110. The plurality of heaters 40 are provided on the surface of the substrate 110 in two rows so as to sandwich the ink supply port 60 with respect to one ink supply port 60. The surface of the substrate 110 and the plurality of heaters 40 are covered with an insulating film (not shown) that improves heat dissipation. Further, on the surface of the substrate 110, a protective film (not shown) for protecting from cavitation generated when bubbles are eliminated is formed so as to cover the insulating film.

流路形成部材111は、表面に複数の吐出口10が形成されており、表面の反対側の基板110との接合面には複数のインク流路30が設けられている。複数の吐出口10は、記録媒体に画像を形成するためにインクを吐出し、流路形成部材111の積層方向にみて基板110に設けられた複数のヒータ40の直上に一つのインク供給口60に対して二列に配列されている。それぞれの吐出口10の間隔は、600dpiまたは1200dpiに設定されている。複数のインク流路30は、基板110と流路形成部材111との接合面に形成され、それぞれの吐出口10にインクを供給するために、基板110に設けられたインク供給口60と連通している。また、一つのインク流路30に対して、基板110に設けられたヒータ40と流路形成部材に設けられた吐出口10とが一つずつ備えられるように構成されている。尚、流路形成部材111は、感光性樹脂等によって形成されている。   The flow path forming member 111 has a plurality of ejection ports 10 formed on the surface thereof, and a plurality of ink flow paths 30 are provided on the joint surface with the substrate 110 on the opposite side of the surface. The plurality of ejection ports 10 eject ink to form an image on a recording medium, and one ink supply port 60 is directly above the plurality of heaters 40 provided on the substrate 110 in the stacking direction of the flow path forming members 111. Are arranged in two rows. The interval between the discharge ports 10 is set to 600 dpi or 1200 dpi. The plurality of ink flow paths 30 are formed on the joint surface between the substrate 110 and the flow path forming member 111 and communicate with ink supply ports 60 provided on the substrate 110 in order to supply ink to the respective discharge ports 10. ing. Further, the heater 40 provided on the substrate 110 and the ejection port 10 provided on the flow path forming member are provided for each ink flow path 30 one by one. The flow path forming member 111 is formed of a photosensitive resin or the like.

図4(a)及び(b)は、本発明の第1の実施形態における液体吐出ヘッドを構成する基板の表面と流路形成部材の表面の構成を示す平面図である。   4A and 4B are plan views showing the configurations of the surface of the substrate and the surface of the flow path forming member constituting the liquid ejection head in the first embodiment of the present invention.

図4(a)に示すように、基板110の表面には液体供給口である複数のインク供給口60が配列され、平面的にみてそれぞれのインク供給口60の両側に熱エネルギー発生装置である複数のヒータ40が配列されている。本実施形態ではそれぞれ独立したインク供給口60が4つ形成されている。基板110の一方の端部から他方の端部に向けて、ブラックインクを供給するインク供給口Bk、シアンインクを供給するインク供給口C、マゼンタインクを供給するインク供給口M、イエローインクを供給するインク供給口Yの順番に配列されている。図4(b)に示すように、流路形成部材111の表面には複数の吐出口10が形成されている。それぞれの吐出口10は、基板110の表面においてインク供給口60の両側に配列された複数の吐出口10が一対のノズル列50を構成している。ノズル列50は複数対形成されている。   As shown in FIG. 4A, a plurality of ink supply ports 60 as liquid supply ports are arranged on the surface of the substrate 110, and a thermal energy generator is provided on both sides of each ink supply port 60 in a plan view. A plurality of heaters 40 are arranged. In the present embodiment, four independent ink supply ports 60 are formed. From one end of the substrate 110 toward the other end, an ink supply port Bk that supplies black ink, an ink supply port C that supplies cyan ink, an ink supply port M that supplies magenta ink, and yellow ink are supplied. The ink supply ports Y are arranged in the order. As shown in FIG. 4B, a plurality of discharge ports 10 are formed on the surface of the flow path forming member 111. In each ejection port 10, a plurality of ejection ports 10 arranged on both sides of the ink supply port 60 on the surface of the substrate 110 constitute a pair of nozzle rows 50. A plurality of nozzle rows 50 are formed.

吐出口10は円形状であり、その直径はφ16μmである。吐出口10からの液体吐出量は、4〜6plである。ヒータ40は、24μm×24μmの正方形である。インク供給口60の短手部方向の幅は、約60μmである。また、ヒータ40及び吐出口10のピッチは42.3μmの600dpiで、インク供給口60の両側の配列位置は半ピッチずれており、二列で合計1200dpiが形成されている。吐出口10の数は、一つのノズル列あたり1024ノズルで、ノズル列の長さは0.85インチ(2.159cm)で構成されている。   The discharge port 10 has a circular shape, and its diameter is φ16 μm. The amount of liquid discharged from the discharge port 10 is 4 to 6 pl. The heater 40 is a square of 24 μm × 24 μm. The width of the ink supply port 60 in the short-side direction is about 60 μm. The pitch of the heater 40 and the ejection port 10 is 600 dpi, 42.3 μm, and the arrangement positions on both sides of the ink supply port 60 are shifted by a half pitch, and a total of 1200 dpi is formed in two rows. The number of discharge ports 10 is 1024 nozzles per nozzle row, and the length of the nozzle row is 0.85 inches (2.159 cm).

図5(a)に示すように、流路形成部材111には、ヒータ40に連通している液体流路であるインク流路30とインク供給口60との間に位置するノズルフィルタ31が設けられている。また、基板110には、両端部にあるインク供給口60(本実施形態ではBkとY)の内部に位置する梁61が設けられている。一方で、図6(a)〜(c)に示すように、本実施形態において基板110の両端に設けられたインク供給口60以外のインク供給口60(本実施形態ではCとM)には、梁61は設けられていない。両端部のBkとYのインク供給口60に設けられている梁61の幅は約25μmで、ピッチは84.6μmである。図5(b)と(c)に示すように、梁61の厚さは、インクの供給量を減らさないために基板110の厚さよりも薄い方が好ましい。本実施形態では、個々のインク供給口60に対して、梁61が127本設けられているが、梁61の数は約30本でもよい。また、この梁61は、基板110と同じ材料で設けられても、別の追加した部材で設けられてもよい。梁61が基板110と同じ材料で、インク供給口60と一体で設けられる場合は、基板110の裏面から犠牲層等でマスキングしてからドライエッチング等によって掘り込むことで、複数の梁61が形成される。さらに、梁61の厚さを薄くするためには、基板110の裏面からウェットエッチング等によって、ある一定量の掘り込みをした後に犠牲層等でマスキングし、ドライエッチング等によって掘り込むことで形成される。   As shown in FIG. 5A, the flow path forming member 111 is provided with a nozzle filter 31 positioned between the ink flow path 30 that is a liquid flow path communicating with the heater 40 and the ink supply port 60. It has been. Further, the substrate 110 is provided with beams 61 positioned inside the ink supply ports 60 (Bk and Y in this embodiment) at both ends. On the other hand, as shown in FIGS. 6A to 6C, in the ink supply ports 60 (C and M in this embodiment) other than the ink supply ports 60 provided at both ends of the substrate 110 in the present embodiment. The beam 61 is not provided. The width of the beam 61 provided in the Bk and Y ink supply ports 60 at both ends is about 25 μm, and the pitch is 84.6 μm. As shown in FIGS. 5B and 5C, the thickness of the beam 61 is preferably thinner than the thickness of the substrate 110 so as not to reduce the amount of ink supplied. In this embodiment, 127 beams 61 are provided for each ink supply port 60, but the number of beams 61 may be about 30. Further, the beam 61 may be provided with the same material as the substrate 110 or may be provided with another added member. When the beam 61 is made of the same material as the substrate 110 and is provided integrally with the ink supply port 60, a plurality of beams 61 are formed by masking with a sacrificial layer from the back surface of the substrate 110 and then digging by dry etching or the like. Is done. Further, in order to reduce the thickness of the beam 61, it is formed by performing a certain amount of digging from the back surface of the substrate 110 by wet etching or the like, then masking with a sacrificial layer or the like, and digging by dry etching or the like. The

以上に説明した構成の液体吐出ヘッドが記録媒体に向けてインクを吐出する方法を説明する。   A method for discharging ink toward the recording medium by the liquid discharge head having the above-described configuration will be described.

不図示のホストコンピュータよりインクジェット記録装置5000へ画像データが送られると、画像形成に必要な色のインクがインクタンク5014から共通液室112へ供給される。共通液室112へ供給されたインクは、色ごとに指定されたインク供給口60からインク流路30へと流れ込み、ノズルフィルタ31を通過してインク流路30の内面にあるヒータ40と流路形成部材111に囲まれた圧力室41へ供給される。インクが圧力室41へ供給されると、ヒータ40に電気エネルギーが付与され、ヒータ40が熱エネルギーを発生させると圧力室41内のインクが膜沸騰して気泡が発生する。発生した気泡が圧力室41内のインクを吐出口10へと押し上げ、インクが吐出口10へ押し上げられた勢いでインクが吐出口10から吐出される。   When image data is sent from a host computer (not shown) to the ink jet recording apparatus 5000, ink of a color necessary for image formation is supplied from the ink tank 5014 to the common liquid chamber 112. The ink supplied to the common liquid chamber 112 flows from the ink supply port 60 designated for each color into the ink flow path 30, passes through the nozzle filter 31, and the heater 40 and the flow path on the inner surface of the ink flow path 30. The pressure is supplied to the pressure chamber 41 surrounded by the forming member 111. When ink is supplied to the pressure chamber 41, electric energy is applied to the heater 40. When the heater 40 generates thermal energy, the ink in the pressure chamber 41 boils and bubbles are generated. The generated bubbles push up the ink in the pressure chamber 41 to the ejection port 10, and the ink is ejected from the ejection port 10 at a moment when the ink is pushed up to the ejection port 10.

以上のように、液体吐出ヘッド5012は熱エネルギーを利用してインクを吐出しているが、ヒータ40が熱エネルギーを発生しつづけると、図1に示すように、基板110が両端部から中心部に向かって、インク供給口60の短手部方向に沿って変形してしまう。このとき、両端以外の中心に近い領域に設けられているインク供給口60はほとんど変形しないが、基板110の両端のインク供給口60は大きく変形する。これに対し、本実施形態では、基板110の両端のインク供給口60には複数の梁61が設けられていることで、熱収縮による基板110の両端部の変形を防いでいる。これにより、基板110は歪まないため、流路形成部材111が基板110と共に歪むことで吐出口10が変形したり、基板110と流路形成部材111との間に応力が発生して剥がれてしまうおそれがない。従って、液体吐出ヘッド5012がインクを正確に吐出することができる。   As described above, the liquid ejection head 5012 ejects ink using thermal energy. However, if the heater 40 continues to generate thermal energy, as shown in FIG. The ink supply port 60 is deformed along the short side direction. At this time, the ink supply ports 60 provided in the region near the center other than both ends are hardly deformed, but the ink supply ports 60 at both ends of the substrate 110 are greatly deformed. On the other hand, in this embodiment, the plurality of beams 61 are provided in the ink supply ports 60 at both ends of the substrate 110, thereby preventing deformation of both ends of the substrate 110 due to thermal contraction. Thereby, since the substrate 110 is not distorted, the discharge port 10 is deformed when the flow path forming member 111 is distorted together with the substrate 110, or stress is generated between the substrate 110 and the flow path forming member 111 and peeled off. There is no fear. Accordingly, the liquid discharge head 5012 can accurately discharge ink.

一方で、基板110の中心に近い領域は圧力による変形がほとんどないため、梁61を設けなくてもインク供給口60は変形しない。従って、基板110の両端のインク供給口60以外のインク供給口60には梁61を設けず、インク供給口60からインク流路30へ多くのインクが流れ込むようにインク供給口60の開口面積が広く設定されている。これにより高画質な画像形成に必要なインク量を吐出口10から吐出することができる。   On the other hand, since the region near the center of the substrate 110 is hardly deformed by pressure, the ink supply port 60 is not deformed even if the beam 61 is not provided. Therefore, the ink supply ports 60 other than the ink supply ports 60 at both ends of the substrate 110 are not provided with the beam 61, and the opening area of the ink supply port 60 is large so that a large amount of ink flows from the ink supply port 60 to the ink flow path 30. Widely set. As a result, the amount of ink required for high-quality image formation can be discharged from the discharge port 10.

(第2の実施形態)
図7(a)及び(b)は、本発明の第2の実施形態における液体吐出ヘッドを構成する基板の表面と流路形成部材の表面の構成を示す平面図である。
(Second Embodiment)
FIGS. 7A and 7B are plan views showing the configurations of the surface of the substrate and the surface of the flow path forming member constituting the liquid ejection head in the second embodiment of the present invention.

本発明の第2の実施形態では、図8(a)及び図9(a)に示すように、基板110に形成された全てのインク供給口60の、流路形成部材111の積層方向にみて直上に補強リブ32が設けられている。補強リブ32は、流路形成部材111に、インク供給口60の周囲の基板110と接合するように設けられている。この補強リブ32は、インク供給口60の長手部方向に平行な主幹部32aと、主幹部32aから垂直な方向に延出している複数の枝部32bとを有している。補強リブ32が設けられていない場合には、流路形成部材111は、インクの種類によっては流路形成部材111自体がインクを吸収することで膨潤して変形してしまうおそれがある。これに対して本発明では補強リブ32が設けられているため、流路形成部材111の剛性が高まり、インクを吸収しても流路形成部材111自体が膨潤することを抑制することができる。この補強リブ32は、流路形成部材111と同じ材料で設けられても、別の追加した部材で設けられてもよい。尚、その他の構成や寸法、液体吐出ヘッドのインクを吐出する方法等は第1の実施形態と同様であるため省略する。   In the second embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 8A and 9A, all the ink supply ports 60 formed in the substrate 110 are viewed in the stacking direction of the flow path forming members 111. A reinforcing rib 32 is provided immediately above. The reinforcing rib 32 is provided on the flow path forming member 111 so as to be joined to the substrate 110 around the ink supply port 60. The reinforcing rib 32 has a main trunk portion 32a parallel to the longitudinal direction of the ink supply port 60, and a plurality of branch portions 32b extending in a direction perpendicular to the main trunk portion 32a. When the reinforcing rib 32 is not provided, the flow path forming member 111 may swell and deform due to the ink being absorbed by the flow path forming member 111 itself depending on the type of ink. On the other hand, since the reinforcing rib 32 is provided in the present invention, the rigidity of the flow path forming member 111 is increased, and the flow path forming member 111 itself can be prevented from swelling even when ink is absorbed. The reinforcing rib 32 may be provided with the same material as the flow path forming member 111 or may be provided with another added member. Other configurations and dimensions, a method of ejecting ink from the liquid ejection head, and the like are the same as those in the first embodiment, and are omitted.

このようにインク供給口60に近接して補強リブ32を設けることによって、流路形成部材111自体が膨潤により変形してしまうことがなくなり、液体吐出ヘッド5012がインクを正確に吐出することができる。さらには、基板110と流路形成部材111との間の接合部が剥がれてしまうおそれはない。   By providing the reinforcing rib 32 in the vicinity of the ink supply port 60 in this way, the flow path forming member 111 itself is not deformed by swelling, and the liquid discharge head 5012 can accurately discharge ink. . Furthermore, there is no possibility that the joint between the substrate 110 and the flow path forming member 111 will be peeled off.

(第3の実施形態)
図10(a)及び(b)は、本発明の第3の実施形態における液体吐出ヘッドを構成する基板の表面と流路形成部材の表面の構成を示す平面図である。
(Third embodiment)
FIGS. 10A and 10B are plan views showing the configuration of the surface of the substrate and the surface of the flow path forming member constituting the liquid ejection head in the third embodiment of the present invention.

本発明の第3の実施形態では、図11(a)に示す基板110の両端にあるインク供給口60の短手部方向の幅D1が、図12(a)に示す基板110の中心に近い領域にあるインク供給口60の短手部方向の幅D2より広くなるように構成されている。また、補強リブ32は、インク供給口60を跨いでインク供給口60の周囲の基板110に接合されるように配置された複数の枝部32bと一つの主幹部32aとから構成されている。基板110の両端のインク供給口60(BkとY)の短手部方向の幅D1は100μm、基板110の中心に近い領域のインク供給口60(CとM)の短手部方向の幅D2は60μm以上であるように設定されている。尚、その他の構成や寸法、液体吐出ヘッドのインクを吐出する方法等は第2の実施形態と同様であるため省略する。   In the third embodiment of the present invention, the width D1 in the short direction of the ink supply ports 60 at both ends of the substrate 110 shown in FIG. 11A is close to the center of the substrate 110 shown in FIG. The ink supply port 60 in the region is configured to be wider than the width D2 in the short-side direction. The reinforcing rib 32 includes a plurality of branch portions 32b and one main trunk portion 32a arranged so as to be bonded to the substrate 110 around the ink supply port 60 across the ink supply port 60. The width D1 in the short direction of the ink supply ports 60 (Bk and Y) at both ends of the substrate 110 is 100 μm, and the width D2 in the short direction of the ink supply ports 60 (C and M) in the region near the center of the substrate 110. Is set to be 60 μm or more. Other configurations and dimensions, a method for ejecting ink from the liquid ejection head, and the like are the same as those in the second embodiment, and are omitted.

梁61をインク供給口60に設け、さらに補強リブ32をインク供給口60の直上に設けると、インク供給口60の開口面積が小さくなるため、共通液室112からインク流路30へ流れ込むインク量(平均液体供給量)が少なくなってしまうおそれがある。そのため、本実施形態ではインク供給口60の幅を広くすることでインク供給口60の開口面積を広く設定して、共通液室112からインク流路30へ流れ込むインク量が少なくならないようにしている。また、補強リブ32の形状をインク供給口60の開口を塞ぐ面積が小さくなるように主幹部32aを一つだけ有する構成にすることで、インク供給口60の開口を広く設定できる。これにより、共通液室112からインク流路30へ流れ込むインク量が少なくならないようにすることができる。   If the beam 61 is provided in the ink supply port 60 and the reinforcing rib 32 is provided immediately above the ink supply port 60, the opening area of the ink supply port 60 is reduced, and therefore the amount of ink flowing from the common liquid chamber 112 into the ink flow path 30. There is a possibility that (average liquid supply amount) may be reduced. Therefore, in this embodiment, the ink supply port 60 is widened to increase the opening area of the ink supply port 60 so that the amount of ink flowing from the common liquid chamber 112 into the ink flow path 30 does not decrease. . Further, the opening of the ink supply port 60 can be set wide by using a configuration in which the reinforcing rib 32 has only one main trunk portion 32a so that the area for closing the opening of the ink supply port 60 is small. Thereby, it is possible to prevent the amount of ink flowing from the common liquid chamber 112 into the ink flow path 30 from decreasing.

このようにインク供給口60に近接して設ける補強リブ32がインク供給口60を覆う面積を小さくすることで、供給するインク量を減らすことなく液体吐出ヘッド5012がインクを正確に吐出することができる。さらには、インク供給口60に近接して補強リブ32を設けることによって、流路形成部材111自体が膨潤により変形してしまうことがなくなり、基板110と流路形成部材111との間の接合部が剥がれてしまうおそれはない。   Thus, by reducing the area in which the reinforcing rib 32 provided close to the ink supply port 60 covers the ink supply port 60, the liquid discharge head 5012 can accurately discharge ink without reducing the amount of ink to be supplied. it can. Furthermore, by providing the reinforcing rib 32 in the vicinity of the ink supply port 60, the flow path forming member 111 itself is not deformed due to swelling, and the joint portion between the substrate 110 and the flow path forming member 111. There is no risk of peeling off.

(第4の実施形態)
図13(a)及び(b)は、本発明の第4の実施形態における液体吐出ヘッドを構成する基板の表面と流路形成部材の表面の構成を示す平面図である。
(Fourth embodiment)
FIGS. 13A and 13B are plan views showing the configuration of the surface of the substrate and the surface of the flow path forming member constituting the liquid ejection head in the fourth embodiment of the present invention.

本発明の第4の実施形態では、図13(a)に示すように、基板110の表面には複数のインク供給口60が配列され、それぞれのインク供給口60の両側に複数のヒータ40が配列されている。本実施形態ではインク供給口60が8つ形成されている。フォトブラックインクを供給するインク供給口PhotoBk、グレーインクを供給するインク供給口Gray、シアンインクを供給するインク供給口C、マゼンタインクを供給するインク供給口M、イエローインクを供給するインク供給口Yである。配列の順番は、基板110の端部からPhotoBk、Gray1、C1、M1、Y、M2、C2、Gray2という並びある。   In the fourth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 13A, a plurality of ink supply ports 60 are arranged on the surface of the substrate 110, and a plurality of heaters 40 are provided on both sides of each ink supply port 60. It is arranged. In this embodiment, eight ink supply ports 60 are formed. Ink supply port PhotoBk for supplying photo black ink, Ink supply port Gray for supplying gray ink, Ink supply port C for supplying cyan ink, Ink supply port M for supplying magenta ink, Ink supply port Y for supplying yellow ink It is. The arrangement order is PhotoBk, Gray1, C1, M1, Y, M2, C2, and Gray2 from the end of the substrate 110.

シアンとマゼンタとイエロー以外の、PhotoBkとGray1及びGray2とは、写真画像の印刷にのみ用いるインク供給口60であるため、普通紙印刷やコピー印刷のような高速印字には用いられない。そのため、PhotoBkとGray1及びGray2とは、供給されるインク量が少なくとも問題ではなく、その他のインク供給口60より開口面積を小さくしてもよい。従って、第1の実施形態で用いた構成のように、PhotoBkとGray1及びGray2とのインク供給口60に梁61を設けても、インク供給口60の短手部方向の幅は基板110の中心に近い領域のインク供給口60の短手部方向の幅と同じでよい。その他の構成や寸法、液体吐出ヘッドのインクを吐出する方法等は第2の実施形態と同様であるため省略する。   PhotoBk, Gray1, and Gray2 other than cyan, magenta, and yellow are ink supply ports 60 used only for printing photographic images, and are not used for high-speed printing such as plain paper printing and copy printing. Therefore, PhotoBk and Gray1 and Gray2 are not at least a problem in the amount of ink supplied, and the opening area may be smaller than that of the other ink supply ports 60. Therefore, as in the configuration used in the first embodiment, even if the beam 61 is provided in the ink supply port 60 of PhotoBk, Gray1, and Gray2, the width in the short-side direction of the ink supply port 60 is the center of the substrate 110. May be the same as the width of the ink supply port 60 in the short-side direction in the region close to. Other configurations and dimensions, a method of ejecting ink from the liquid ejection head, and the like are the same as those in the second embodiment, and are omitted.

このように基板110に多くのインク供給口60を設けることで、高画質な印刷に必要な多色のインクを一つの液体吐出ヘッド5012から吐出することができるため、複数の単色液体吐出ヘッドを使用しなくてよいのでコストアップを抑えることができる。さらには、図14に示すように、基板110の両端のインク供給口60には複数の梁61が設けられていることで、熱収縮による基板110の両端部の変形を防いでいる。加えて、図15に示すように、インク供給口60に近接して補強リブ32を設けることによって、流路形成部材111自体が膨潤により変形してしまうことがなくなり、液体吐出ヘッド5012がインクを正確に吐出することができる。   By providing a large number of ink supply ports 60 in the substrate 110 in this way, it is possible to discharge multi-color inks necessary for high-quality printing from one liquid discharge head 5012. Therefore, a plurality of single-color liquid discharge heads are provided. Since it is not necessary to use it, cost increase can be suppressed. Furthermore, as shown in FIG. 14, the ink supply ports 60 at both ends of the substrate 110 are provided with a plurality of beams 61, thereby preventing deformation of both ends of the substrate 110 due to thermal contraction. In addition, as shown in FIG. 15, by providing the reinforcing rib 32 in the vicinity of the ink supply port 60, the flow path forming member 111 itself is not deformed due to swelling, and the liquid discharge head 5012 supplies ink. It can be discharged accurately.

(第5の実施形態)
図16(a)及び(b)は、本発明の第5の実施形態における液体吐出ヘッドを構成する基板の表面と流路形成部材の表面の構成を示す平面図である。
(Fifth embodiment)
FIGS. 16A and 16B are plan views showing the configuration of the surface of the substrate and the surface of the flow path forming member constituting the liquid ejection head in the fifth embodiment of the present invention.

本発明の第5の実施形態では、図17(a)〜(c)に示すように、基板110の両端のインク供給口60(PhotoBk、Gray2)と両端から中心に向かって二列目のインク供給口60(Gray1、C2)とに複数の梁61が設けられている。両端のインク供給口60に設けられた複数の梁61の数は、両端から中心に向かって二列目のインク供給口60に設けられた複数の梁61の数より多い。PhotoBk、Gray1、Gray1、C2それぞれのインク供給口60に設けられている梁61の幅は約25μmである。PhotoBkとGray2のインク供給口60に設けられた梁61は84.6μmのピッチで127本設けられ、Gray1とC2のインク供給口60に設けられている梁61は169.2μmのピッチで63本設けられている。尚、その他のインク供給口60には、梁61は設けられていない。その他の構成や寸法、液体吐出ヘッドのインクを吐出する方法等は第1の実施形態と同様であるため省略する。   In the fifth embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 17A to 17C, the ink supply ports 60 (PhotoBk, Gray2) at both ends of the substrate 110 and the second row of ink from both ends toward the center. A plurality of beams 61 are provided at the supply port 60 (Gray1, C2). The number of the plurality of beams 61 provided in the ink supply ports 60 at both ends is larger than the number of the plurality of beams 61 provided in the ink supply ports 60 in the second row from both ends toward the center. The width of the beam 61 provided in each of the ink supply ports 60 of PhotoBk, Gray1, Gray1, and C2 is about 25 μm. 127 beams 61 provided at the ink supply ports 60 of PhotoBk and Gray2 are provided at a pitch of 84.6 μm, and 63 beams 61 provided at the ink supply ports 60 of Gray1 and C2 are provided at a pitch of 169.2 μm. Is provided. The other ink supply port 60 is not provided with a beam 61. Other configurations and dimensions, a method of ejecting ink from the liquid ejection head, and the like are the same as those in the first embodiment, and thus are omitted.

このように両端のインク供給口60だけではなく、両端から中心に向かって二列目のインク供給口60にも梁61を設けることで、両端のインク供給口60にのみ梁がある場合より基板110の剛性が高まり、熱収縮による基板110の変形を抑制している。これにより、基板110は歪まないため、流路形成部材111が基板110と共に歪むことで吐出口10が変形したり、基板110と流路形成部材111との間に応力が発生して剥がれてしまうおそれがない。従って、液体吐出ヘッド5012がインクを正確に吐出することができる。一方で、基板110の中心に近い領域は圧力による変形がほとんどないため、梁61を設けなくてもインク供給口60は変形しない。従って、基板110の両端のインク供給口60以外のインク供給口60には梁61を設けず、インク供給口60からインク流路30へ多くのインクが流れ込むようにインク供給口60の開口面積が広く設定されている。これにより高画質な画像形成に必要なインク量を吐出口10から吐出することができる。   In this way, by providing the beams 61 not only at the ink supply ports 60 at both ends but also at the ink supply ports 60 in the second row from both ends toward the center, the substrate is more than the case where there are beams only at the ink supply ports 60 at both ends. The rigidity of 110 is increased, and the deformation of the substrate 110 due to heat shrinkage is suppressed. Thereby, since the substrate 110 is not distorted, the discharge port 10 is deformed when the flow path forming member 111 is distorted together with the substrate 110, or stress is generated between the substrate 110 and the flow path forming member 111 and peeled off. There is no fear. Accordingly, the liquid discharge head 5012 can accurately discharge ink. On the other hand, since the region near the center of the substrate 110 is hardly deformed by pressure, the ink supply port 60 is not deformed even if the beam 61 is not provided. Therefore, the ink supply ports 60 other than the ink supply ports 60 at both ends of the substrate 110 are not provided with the beam 61, and the opening area of the ink supply port 60 is large so that a large amount of ink flows from the ink supply port 60 to the ink flow path 30. Widely set. As a result, the amount of ink required for high-quality image formation can be discharged from the discharge port 10.

(第6の実施形態)
図18(a)及び(b)は、本発明の第6の実施形態における液体吐出ヘッドを構成する基板の表面と流路形成部材の表面の構成を示す平面図である。
(Sixth embodiment)
FIGS. 18A and 18B are plan views showing the configurations of the surface of the substrate and the surface of the flow path forming member constituting the liquid ejection head in the sixth embodiment of the present invention.

本発明の第6の実施形態では、一つの基板110に対して一つのインク供給口60(Bk)が設けられている。図19(a)〜(c)に示すように、インク供給口60には複数の梁61が設けられている。さらには補強リブ32がインク供給口60を跨いでインク供給口60の周囲の基板110に接合されるように配置された複数の枝部32bと一つの主幹部32aとから構成されている。流路形成部材111の表面には複数の吐出口10が形成されており、一対のノズル列50を構成している。吐出口10の数は1536ノズルで、ノズル列の長さは1.28インチで構成されている。その他の構成や寸法、液体吐出ヘッドのインクを吐出する方法等は第1の実施形態と同様であるため省略する。   In the sixth embodiment of the present invention, one ink supply port 60 (Bk) is provided for one substrate 110. As shown in FIGS. 19A to 19C, the ink supply port 60 is provided with a plurality of beams 61. Further, the reinforcing rib 32 is composed of a plurality of branch portions 32b and one main trunk portion 32a arranged so as to be bonded to the substrate 110 around the ink supply port 60 across the ink supply port 60. A plurality of discharge ports 10 are formed on the surface of the flow path forming member 111 to constitute a pair of nozzle rows 50. The number of discharge ports 10 is 1536 nozzles, and the length of the nozzle row is 1.28 inches. Other configurations and dimensions, a method of ejecting ink from the liquid ejection head, and the like are the same as those in the first embodiment, and thus are omitted.

インクを吐出するためにヒータ40が熱エネルギーを発生しつづけると、長尺の基板110が変形してしまうおそれがある。しかしながら、本実施形態では、基板110のインク供給口60に複数の梁61が設けられていることで、熱エネルギーによる基板110の両端部の変形を防いでいる。さらには、インク供給口60に近接して補強リブ32を設けることによって、流路形成部材111自体が膨潤により変形してしまうことがなくなり、基板110と流路形成部材111との間の接合部が剥がれてしまうおそれはない。よって、液体吐出ヘッド5012がインクを正確に吐出することができる。   If the heater 40 continues to generate heat energy to eject ink, the long substrate 110 may be deformed. However, in this embodiment, the plurality of beams 61 are provided in the ink supply port 60 of the substrate 110, thereby preventing deformation of both end portions of the substrate 110 due to thermal energy. Furthermore, by providing the reinforcing rib 32 in the vicinity of the ink supply port 60, the flow path forming member 111 itself is not deformed due to swelling, and the joint portion between the substrate 110 and the flow path forming member 111. There is no risk of peeling off. Therefore, the liquid discharge head 5012 can accurately discharge ink.

10 吐出口
30 インク流路
31 ノズルフィルタ
40 ヒータ
50 ノズル列
60 インク供給口
61 梁
110 基板
111 流路形成部材
112 共通液室
5012 液体吐出ヘッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Discharge port 30 Ink flow path 31 Nozzle filter 40 Heater 50 Nozzle row 60 Ink supply port 61 Beam 110 Substrate 111 Flow path forming member 112 Common liquid chamber 5012 Liquid discharge head

Claims (7)

基板と、前記基板に積層された流路形成部材と、前記流路形成部材に形成された液体を吐出するための複数の吐出口と、前記流路形成部材に形成されており、前記各吐出口にそれぞれ連通する複数の液体流路と、前記基板に配置されて前記各液体流路の内面にそれぞれ位置している熱エネルギーを発生させる複数のエネルギー発生装置と、長手部と短手部を有し、前記基板に形成された、各々が前記複数の液体流路に液体を供給する複数の液体供給口と、を有し、
前記基板には、少なくとも前記基板の両端に設けられた前記液体供給口の内部に位置し前記液体供給口の短手部方向に沿う複数の梁が形成されており、
前記流路形成部材には、前記複数の液体供給口の直上にそれぞれ位置する補強リブが設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
A substrate, a flow path forming member laminated on the substrate, a plurality of discharge ports for discharging the liquid formed on the flow path forming member, and the flow path forming member. A plurality of liquid flow paths communicating with the respective outlets, a plurality of energy generating devices arranged on the substrate and generating thermal energy located on the inner surfaces of the liquid flow paths, and a long portion and a short portion. A plurality of liquid supply ports formed on the substrate, each supplying liquid to the plurality of liquid flow paths,
The substrate is formed with a plurality of beams that are located at least inside the liquid supply port provided at both ends of the substrate and extend along the short direction of the liquid supply port ,
The liquid discharge head according to claim 1, wherein the flow path forming member is provided with reinforcing ribs respectively positioned immediately above the plurality of liquid supply ports .
基板と、前記基板に積層された流路形成部材と、前記流路形成部材に形成された液体を吐出するための複数の吐出口と、前記流路形成部材に形成されており、前記各吐出口にそれぞれ連通する複数の液体流路と、前記基板に配置されて前記各液体流路の内面にそれぞれ位置している熱エネルギーを発生させる複数のエネルギー発生装置と、長手部と短手部を有し、前記基板に形成された、各々が前記複数の液体流路に液体を供給する複数の液体供給口と、を有し、
前記基板には、少なくとも前記基板の両端に設けられた前記液体供給口の内部に位置し前記液体供給口の短手部方向に沿う複数の梁が形成されており、
前記基板の両端に設けられた個々の前記液体供給口の内部に位置する前記梁の数が、両端以外の個々の前記液体供給口の内部に位置する前記梁の数に比べて多いことを特徴とする液体吐出ヘッド。
A substrate, a flow path forming member laminated on the substrate, a plurality of discharge ports for discharging the liquid formed on the flow path forming member, and the flow path forming member. A plurality of liquid flow paths communicating with the respective outlets, a plurality of energy generating devices arranged on the substrate and generating thermal energy located on the inner surfaces of the liquid flow paths, and a long portion and a short portion. A plurality of liquid supply ports formed on the substrate, each supplying liquid to the plurality of liquid flow paths,
The substrate is formed with a plurality of beams that are located at least inside the liquid supply port provided at both ends of the substrate and extend along the short direction of the liquid supply port,
The number of the beams positioned inside each of the liquid supply ports provided at both ends of the substrate is larger than the number of the beams positioned inside each of the liquid supply ports other than both ends. liquid discharge head shall be the.
平面的にみて前記複数の吐出口は複数対の列を形成しており、前記液体供給口は前記吐出口が形成する各対の列の間にそれぞれ一つずつ形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。 The plurality of discharge ports form a plurality of pairs in a plan view, and one liquid supply port is formed between each pair of rows formed by the discharge ports. The liquid discharge head according to claim 1 or 2 . 前記複数の液体供給口は互いに異なる液体を供給する液体供給口を含み、前記基板の両端に設けられた前記液体供給口の平均液体供給量は、両端以外の前記液体供給口の平均液体供給量に比べて少ないことを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 The plurality of liquid supply ports include liquid supply ports that supply different liquids, and an average liquid supply amount of the liquid supply ports provided at both ends of the substrate is an average liquid supply amount of the liquid supply ports other than both ends. liquid discharge head according to any one of claims 1 to 3, characterized in that less than the. 前記基板の両端に設けられた前記液体供給口は、シアンとマゼンタとイエロー以外の色を供給することを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid supply port provided at both ends of the substrate, the liquid discharge head according to any one of claims 1 4, characterized by supplying a color other than cyan, magenta, and yellow. 前記基板の両端に設けられた前記液体供給口の短手部方向の幅は、両端以外の前記液体供給口の短手部方向の幅に比べて太いことを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 The short portion width of the liquid supply port provided at both ends of the substrate, from claim 1, wherein the thicker than the transverse section width of the liquid supply port other than both ends of the 5 The liquid discharge head according to claim 1. 前記複数の吐出口は前記液体供給口の長手部方向に沿ってノズル列を成し、前記ノズル列の長さは2.159cmより長いことを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 Wherein the plurality of outlets forms a nozzle array along the longitudinal portion direction of the liquid supply port, any one of the length of the nozzle array from claim 1, wherein the longer than 2.159Cm 6 The liquid discharge head described in 1.
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