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JP6073568B2 - Sample holder tip, and sample holder having the sample holder tip - Google Patents
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JP6073568B2 - Sample holder tip, and sample holder having the sample holder tip - Google Patents

Sample holder tip, and sample holder having the sample holder tip Download PDF

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本発明は、試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダーに関し、特に、特有の試料押え手段を有する試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダーに関する。   The present invention relates to a sample holder tip and a sample holder having the sample holder tip, and more particularly to a sample holder tip having a specific sample pressing means and a sample holder having the sample holder tip.

透過型電子顕微鏡等の顕微鏡において、試料を観察する際には、例えば、透過型電子顕微鏡の対物ポールピースのギャップ間の限られた空間に挿入する試料ホルダーの先端部(以下、試料クレードルともいう。)は、対物レンズポールピースの限られた空間に挿入し、試料ホルダー軸上で電子線光軸に傾斜される必要があるので、必然的に、試料クレードル部は、出来るだけ薄く作られている。   When observing a sample in a microscope such as a transmission electron microscope, for example, the tip of a sample holder (hereinafter also referred to as a sample cradle) inserted into a limited space between the gaps of the objective pole piece of the transmission electron microscope. )) Must be inserted into the limited space of the objective lens pole piece and tilted to the electron beam optical axis on the sample holder axis, so that the sample cradle is necessarily made as thin as possible. Yes.

例えば、電子顕微鏡として、透過型電子顕微鏡を例に説明すると、透過型電子顕微鏡にて観察する試料は、試料クレードル部に装着して観察する。試料クレードルにTEM試料メッシュを装着し固定する為には、試料クレードルは、少なくともクレードル台座部と、試料押さえ部材が必要となる。さらに試料押さえは、クレードル本体に試料メッシュを挟み込む何がしかの固定手段が必要であり、そのため、固定用ネジを配する手段が一般的である。   For example, as an electron microscope, a transmission electron microscope will be described as an example. A sample to be observed with a transmission electron microscope is mounted on a sample cradle portion and observed. In order to mount and fix the TEM sample mesh on the sample cradle, the sample cradle needs at least a cradle pedestal and a sample pressing member. Furthermore, the sample presser requires some fixing means for sandwiching the sample mesh in the cradle body, and therefore means for arranging fixing screws is generally used.

なお、対物レンズポールピースの限られた空間を有効利用するには、試料押さえ板の厚みや、試料固定用ネジの小型化も必須条件だが、人間が扱う上では、小型化には限界があり、さらにネジ自体の耐久性の配慮から、小型化に限界がある。現状ではM1〜M2サイズのネジを用いるが一般的である。   In order to effectively use the limited space of the objective lens pole piece, the thickness of the sample pressing plate and the size of the sample fixing screw must be reduced. However, there are limits to downsizing for human use. Furthermore, there is a limit to downsizing due to the durability of the screw itself. Currently, M1-M2 size screws are generally used.

このような状況下で、試料を交換する方法として、たとえば、試料室と、試料交換室と、仕切り弁と、試料交換棒と、からなる試料交換装置が知られている(特許文献1)。   Under such circumstances, as a method for exchanging a sample, for example, a sample exchange device including a sample chamber, a sample exchange chamber, a gate valve, and a sample exchange rod is known (Patent Document 1).

特開平08−273571号公報Japanese Patent Laid-Open No. 08-273571

しかしながら、上記特許文献1のような試料交換装置を含め、既存の試料交換装置においては、クレードル本体に設けたネジ穴に固定の場合、試料メッシュを置き、その上にスペーサーリングを置き、さらにその上に試料押さえ板を置いた状態で、前記三部材を縫い付ける形態を保った状態で、ネジをピンセットで挟んで、クレードル本体に設けたネジ穴の軸位置に正確に合わせ保ち、さらに前述ネジの頭に有するスリ割りの溝に、精密ドライバー(以下、TOOLともいう)を正確に立て締め付けるのは、熟練が必要である。   However, in the existing sample exchange devices including the sample exchange device as in Patent Document 1, in the case of fixing to a screw hole provided in the cradle body, a sample mesh is placed, a spacer ring is placed thereon, and further With the sample holding plate placed on top, keeping the three members sewn together, pinching the screws with tweezers, keeping them precisely aligned with the axial positions of the screw holes in the cradle body, It is necessary to be skilled to accurately place and tighten a precision screwdriver (hereinafter also referred to as TOOL) in the slit groove on the head of the head.

このような場合を含め、試料取り付けの作業は、熟練者であってもピンセットでも挟んだネジが外れ飛んで失くす事例や、ドライバーやピンセットが誤って滑ってしまった結果、試料に接触してしまい試料を破壊させてしまう事例も多い。   In such cases, the sample attachment work is done by contacting the sample as a result of a screwdriver or tweezers accidentally slipping as a result of the screw that is pinched by both skilled and tweezers coming off and losing. In many cases, the sample is destroyed.

なお、試料先端部の試料クレードル部は、一般に2mm程度の厚みしかなく、ネジを締める際、熟練者は、ネジを締めるTOOLを押し付ける最小限の力加減を把握しているが、不慣れな方が行うと、むやみな力を与えTOOL(ドライバー)を不必要に押し付しまい、その結果、試料クレードル部を曲げてしまう事故も多く発生している。したがって、コンパクトな設計で、試料装着手段の簡素化が望まれている。   Note that the sample cradle part at the tip of the sample is generally only about 2 mm thick, and when tightening a screw, an expert knows the minimum amount of force to press the TOOL for tightening the screw. If this is done, the TOOL (driver) will be pushed unnecessarily, and as a result, many accidents will occur in which the sample cradle will be bent. Therefore, it is desired to simplify the sample mounting means with a compact design.

そこで、上記問題点を解決すべく、本発明は、コンパクトな設計が可能であり、試料装着が簡易に可能な試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダーを提供することを目的とする。   Accordingly, in order to solve the above-described problems, the present invention has an object to provide a sample holder tip that can be compactly designed and can be easily loaded with a sample, and a sample holder having the sample holder tip. And

上記目的を達成するために、本発明者は、試料ホルダーの試料交換に関わる事故を分析し、鋭意検討を行った結果、本発明を見出すに至った。   In order to achieve the above object, the present inventor has analyzed the accident related to the sample exchange of the sample holder, and as a result of intensive studies, has found the present invention.

すなわち、本発明の試料ホルダー先端部は、試料設置台座と、試料を載せるための試料メッシュと、前記試料メッシュを押える試料押さえ部と、前記試料押さえ部をクランプするクランプ部と、からなる試料ホルダー先端部であって、前記試料押さえ部は、そろばん玉状のリング形状であることを特徴とする。
That is, the sample holder tip of the present invention comprises a sample holder comprising a sample mounting base, a sample mesh for placing a sample, a sample pressing part for pressing the sample mesh, and a clamp part for clamping the sample pressing part. It is a front-end | tip part, Comprising: The said sample holding | suppressing part is an abacus ball-shaped ring shape, It is characterized by the above-mentioned.

また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記試料押さえ部の側面において、テーパー又は凸部を有することを特徴とする。   In a preferred embodiment of the sample holder tip of the present invention, the side surface of the sample pressing part has a taper or a convex part.

また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記クランプ部が、前記試料押さえ部の側面部のテーパー又は凸部を利用して、クランプすることを特徴とする。   Moreover, in a preferred embodiment of the tip end portion of the sample holder according to the present invention, the clamp portion is clamped by using a taper or a convex portion of a side surface portion of the sample pressing portion.

また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記クランプ部が、弾性部材からなることを特徴とする。   In a preferred embodiment of the sample holder tip of the present invention, the clamp part is made of an elastic member.

また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記クランプ部が、スプリングピンであることを特徴とする。   In a preferred embodiment of the sample holder tip of the present invention, the clamp part is a spring pin.

また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記試料押さえ部が、当該試料押さえ部を試料ホルダー先端部から脱着するための脱着手段を有することを特徴とする。   In a preferred embodiment of the sample holder tip of the present invention, the sample pressing part has a detaching means for detaching the sample pressing part from the sample holder tip.

また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記脱着手段が、リング状部材の内径側に配置した溝であることを特徴とする。   In a preferred embodiment of the sample holder tip of the present invention, the detaching means is a groove arranged on the inner diameter side of the ring-shaped member.

また、本発明の脱着ツールは、本発明の試料ホルダー先端部の脱着手段に対応した、前記試料押さえ部を脱着するための脱着ツールであって、前記リング状部材の内径側に配置した溝に引っ掛かることが可能なリング状のコレットと、前記コレットの円筒内に挿入可能なロッドと、を有することを特徴とする。
Moreover, desorption tool of the present invention, corresponding to the desorption unit of the sample holder tip of the present invention, there is provided a detachable tool for detaching the sample holding portion, the grooves which are arranged on the inner diameter side of the ring-shaped member It has a ring-shaped collet that can be hooked, and a rod that can be inserted into the cylinder of the collet .

本発明のキットは、本発明の試料ホルダー先端部と、本発明の脱着ツールと、からなることを特徴とする。   The kit of the present invention is characterized by comprising the sample holder tip of the present invention and the detaching tool of the present invention.

本発明の試料ホルダーは、本発明の試料ホルダー先端部からなることを特徴とする。   The sample holder of the present invention is characterized by comprising the sample holder tip of the present invention.

本発明によれば、試料交換時の試料のホルダー等の破損を極力低減することが可能であるという有利な効果を奏する。   According to the present invention, there is an advantageous effect that it is possible to reduce damage to a sample holder or the like during sample replacement as much as possible.

図1(a)は、本発明の一実施態様における試料ホルダー先端部を用いた場合の試料を取り付ける様子を示す断面図である。図1(b)は、本発明の一実施態様における試料ホルダー先端部を用いた場合の試料取り付け完了後の断面図を示す。Fig.1 (a) is sectional drawing which shows a mode that the sample at the time of using the sample holder front-end | tip part in one embodiment of this invention is attached. FIG. 1 (b) shows a cross-sectional view after completion of sample attachment when the sample holder tip is used in one embodiment of the present invention. 図2は、本発明の一実施態様における試料ホルダー先端部を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a sample holder tip in one embodiment of the present invention. 図3(a)は、従来の標準的なクレードルを示す図である。図3(b)は、本発明の一実施態様におけるクレードルを示す図である。FIG. 3A shows a conventional standard cradle. FIG. 3B is a diagram showing a cradle in one embodiment of the present invention. 図4は、従来の試料押さえ板と固定ネジを用いるクレードルの模式図を示す。FIG. 4 is a schematic diagram of a cradle using a conventional sample pressing plate and fixing screws.

本発明の試料ホルダー先端部は、試料設置台座と、試料を載せるための試料メッシュと、前記試料メッシュを押える試料押さえ部と、前記試料押さえ部をクランプするクランプ部と、からなる。試料設置台座は、試料を載せる台座である。通常は、試料設置台座の上に試料メッシュを載せ、前記試料メッシュ上に試料を載せる。前記試料メッシュは、顕微鏡に供する場合に、固定されるのが通常である。従来においては、一般に試料メッシュは、試料押さえ板を介して、ネジ等により、試料設置台座へ固定されていた。本発明においては、試料メッシュを押える試料押さえ部と、前記試料押さえ部をクランプするクランプ部とからなる。試料押さえ部の少なくとも一部と、クランプ部の少なくとも一部とは、試料押さえ部とクランプ部とが互いに固定できるような固定手段を有している。   The tip of the sample holder of the present invention comprises a sample setting base, a sample mesh for placing a sample, a sample pressing part for pressing the sample mesh, and a clamp part for clamping the sample pressing part. The sample installation pedestal is a pedestal on which a sample is placed. Usually, a sample mesh is placed on the sample mounting base, and the sample is placed on the sample mesh. The sample mesh is usually fixed when used in a microscope. Conventionally, the sample mesh is generally fixed to the sample mounting base with screws or the like through the sample pressing plate. In this invention, it consists of the sample pressing part which presses a sample mesh, and the clamp part which clamps the said sample pressing part. At least a part of the sample pressing part and at least a part of the clamp part have fixing means that can fix the sample pressing part and the clamp part to each other.

好ましい実施態様において、前記試料押さえ部が、リング形状であることを特徴とする。コストを考えず、理論的な形状であれば、C型のリング、星型のリング、糸巻き型リングなど異形リング等でも適用可能である。また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記試料押さえ部の側面において、テーパー又は凸部を有することを特徴とする。当該テーパー面を利用して、クランプ部側に溝を設けて、試料押さえ部が固定可能なように設計することができる。試料押さえ部の側面がテーパーである一例として、好ましい実施態様において、前記試料押さえ部が、そろばん玉状のリング形状である。このようにテーパー面を有すると、クランプ部との脱着が容易に可能となる利点を有する。   In a preferred embodiment, the sample pressing portion has a ring shape. If it is a theoretical shape without considering the cost, it can be applied to a deformed ring such as a C-shaped ring, a star-shaped ring, and a thread-wound ring. In a preferred embodiment of the sample holder tip of the present invention, the side surface of the sample pressing part has a taper or a convex part. By using the tapered surface, a groove can be provided on the clamp portion side so that the sample pressing portion can be fixed. As an example in which the side surface of the sample pressing portion is tapered, in a preferred embodiment, the sample pressing portion has an abacus-shaped ring shape. Having a tapered surface in this way has an advantage that it can be easily attached to and detached from the clamp portion.

また、凸部を利用して、クランプ部側に凹部を設けて、試料押さえ部が固定可能なように設計することもできる。このような設計によれば、ネジ等の部材がなくても、試料押さえ部を試料ホルダーへ固定することができる。   Moreover, it can also design so that a sample pressing part can be fixed by providing a recessed part in the clamp part side using a convex part. According to such a design, the sample pressing portion can be fixed to the sample holder without a member such as a screw.

また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記クランプ部が、弾性部材からなることを特徴とする。クランプ部を弾性部材とすることで、前記試料押さえ部の取り外し、脱着がより容易となるという利点を有する。どのような機構でクランプ可能とするかは特に限定されないが、例えば、試料押さえ部の少なくとも一部又は全部と、クランプ部の少なくとも一部又は全部とが、かみ合うような構造、引っかかる構造等とすることで、試料押さえ部を固定可能である。かみ合うか、又は引っ掛かるような構造は、試料押さえ部と、クランプ部との接触面で行うことができ、例えば、試料押さえ部が、リング形状であれば、当該リング形状の外周面と、クランプ部との間でかみ合う構造又は引っ掛かる構造等によって固定できればよいことになる。   In a preferred embodiment of the sample holder tip of the present invention, the clamp part is made of an elastic member. By using the clamp portion as an elastic member, there is an advantage that the sample pressing portion can be easily removed and detached. The mechanism by which clamping is possible is not particularly limited. For example, a structure in which at least a part or all of the sample pressing part and at least a part or all of the clamping part are engaged with each other, or a hooking structure is used. Thus, the sample pressing part can be fixed. The structure that engages or catches can be performed on the contact surface between the sample pressing part and the clamp part. For example, if the sample pressing part has a ring shape, the ring-shaped outer peripheral surface and the clamp part What is necessary is just to be able to fix by the structure which meshes between, or the structure caught.

また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記クランプ部が、スプリングピンであることを特徴とする。好ましい態様において、クランプ部がスプリングピンの場合、試料押さえ部が、テーパーを有するリング形状であれば、前記テーパーを部分を利用して、試料押さえ部とクランプ部との脱着がより容易に可能となる。すなわち、クレードルに棒状のスプリングピンを配することで、当該スプリングピンを利用して、リングの外周に設けてある山形の突起が収まり、クランプ可能となる。山形の突起は、そろばん玉状のリング形状を使用した場合には、そろばん玉状突起となるので、当該そろばん玉状突起が、前記スプリングピンへ引っ掛かり固定することができる。   In a preferred embodiment of the sample holder tip of the present invention, the clamp part is a spring pin. In a preferred embodiment, when the clamp part is a spring pin, if the sample pressing part is a ring shape having a taper, the taper can be used to make the sample pressing part and the clamp part easier to attach and detach. Become. That is, by disposing a rod-shaped spring pin on the cradle, using the spring pin, a chevron-shaped protrusion provided on the outer periphery of the ring is accommodated and can be clamped. When the abacus protrusion is an abacus bead protrusion when the abacus bead-shaped ring shape is used, the abacus protrusion can be hooked and fixed to the spring pin.

以下の実施例ではスプリングピン2本で、試料押さえリングの2点を押える構造であるが、1点、2点もしくは3点、又はそれ以上で、試料押さえリングを保持できれば、形状は特に限定されない。つまり、内径側が、試料押さえリングの外形より一旦は広がり、試料押さえリングの通せる内径まで拡張可能であり、かつ、可塑的(バネ的要素)に、自由状態の内径に収縮する異形リング形状であれば、実現可能である。   In the following examples, two spring pins are used to hold two points of the sample pressing ring. However, the shape is not particularly limited as long as the sample pressing ring can be held at one point, two points, three points, or more. . In other words, the inner diameter side expands once from the outer shape of the sample pressing ring, can be expanded to the inner diameter that the sample pressing ring can pass through, and has a deformed ring shape that is plastically (spring-like) and contracts to the inner diameter in the free state. If there is, it is feasible.

また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記試料押さえ部が、当該試料押さえ部を試料ホルダー先端部から脱着するための脱着手段を有することを特徴とする。これは、試料押さえ部の脱着を容易にするためのものである。脱着手段は、顕微鏡での観察に邪魔をしなければ特に限定されるものではない。好ましい態様として、前記脱着手段が、リング状部材の内径側に配置した溝であることを特徴とする。当該溝へ冶具を引っ掛けて、クレードルに対して装着または、取り外し等をより容易にすることが可能である。   In a preferred embodiment of the sample holder tip of the present invention, the sample pressing part has a detaching means for detaching the sample pressing part from the sample holder tip. This is for facilitating the attachment / detachment of the sample pressing portion. The desorption means is not particularly limited as long as it does not interfere with observation with a microscope. As a preferred aspect, the desorption means is a groove disposed on the inner diameter side of the ring-shaped member. A jig can be hooked into the groove to make it easier to attach to or remove from the cradle.

また、本発明の脱着ツールは、本発明の試料ホルダー先端部の脱着手段に対応した、試料押さえ部を脱着するための脱着ツールである。すなわち、例えば、脱着手段が溝である場合、当該溝に引っ掛かるような専用のコレットを有する脱着ツール等を挙げることができる。試料押さえ部が、リング形状である場合、試料押さえ部筒内径側に溝に引っ掛けることが可能なリング状のコレットを有する脱着ツールとすることができる。   The detaching tool of the present invention is a detaching tool for detaching the sample pressing portion corresponding to the detaching means of the sample holder tip portion of the present invention. That is, for example, when the desorption means is a groove, a desorption tool having a dedicated collet that is caught in the groove can be exemplified. When the sample pressing portion has a ring shape, it can be a removal tool having a ring-shaped collet that can be hooked in the groove on the inner side of the sample pressing portion cylinder.

本発明のキットは、本発明の試料ホルダー先端部と、本発明の脱着ツールと、からなることを特徴とする。本発明の試料ホルダー先端部については、上述したものを挙げることができる。また、本発明の脱着ツールとしても、上述したものを挙げることができる。   The kit of the present invention is characterized by comprising the sample holder tip of the present invention and the detaching tool of the present invention. Examples of the sample holder tip of the present invention include those described above. Moreover, what was mentioned above can also be mentioned as a removal tool of this invention.

本発明の試料ホルダーは、本発明の試料ホルダー先端部からなることを特徴とする。試料ホルダー先端部については、上述したものを例示することができる。   The sample holder of the present invention is characterized by comprising the sample holder tip of the present invention. As for the tip of the sample holder, those described above can be exemplified.

ここで、本発明の試料ホルダー先端部の一実施例を説明するが、本発明は、下記の実施例に限定して解釈されるものではない。また、本発明の要旨を逸脱することなく、適宜変更することが可能であることは言うまでもない。   Here, although one Example of the sample holder front-end | tip part of this invention is described, this invention is limited to the following Example and is not interpreted. Moreover, it cannot be overemphasized that it can change suitably, without deviating from the summary of this invention.

図面を参照して、本発明の試料ホルダー先端部の一実施態様を説明すれば以下の通りである。   With reference to the drawings, one embodiment of the tip of the sample holder of the present invention will be described as follows.

図1(a)は、本発明の一実施態様における試料ホルダー先端部を用いた場合の試料を取り付ける様子を示す断面図である。図1(b)は、本発明の一実施態様における試料ホルダー先端部を用いた場合の試料取り付け完了後の断面図を示す。図1中、1は脱着ツールであり、この例では、試料押さえリング取付冶具である。試料押さえリングを保持したコレットの状態を示している。2は試料押さえ部であり、この例では、試料押さえリングである。3は試料メッシュ、4は試料ホルダー軸部、5は試料押さえ部を脱着するための脱着手段(この場合は溝)、6は試料設置台座(クレードル本体)、7はクレードル傾斜を与えるリンク、8はクレードル支持ピボットピン、9は試料ホルダー先端(ピボット支持フレーム部)を、それぞれ示す。10は脱着ツールであり、この例では、試料押さえリング取付冶具を示す。コレットの拡張をしていない平常状態を示している。11は試料押さえリング取り付け冶具のコレット部開き機構のロッドを示す。   Fig.1 (a) is sectional drawing which shows a mode that the sample at the time of using the sample holder front-end | tip part in one embodiment of this invention is attached. FIG. 1 (b) shows a cross-sectional view after completion of sample attachment when the sample holder tip is used in one embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a detaching tool, and in this example, a sample pressing ring mounting jig. The state of the collet holding the sample pressing ring is shown. Reference numeral 2 denotes a sample pressing portion, which is a sample pressing ring in this example. 3 is a sample mesh, 4 is a sample holder shaft portion, 5 is a detaching means (a groove in this case) for detaching the sample pressing portion, 6 is a sample mounting base (cradle body), 7 is a link for giving a cradle inclination, 8 Denotes a cradle support pivot pin, and 9 denotes a sample holder tip (pivot support frame portion). Reference numeral 10 denotes a detaching tool. In this example, a sample pressing ring mounting jig is shown. It shows a normal state without collet expansion. Reference numeral 11 denotes a rod of the collet opening mechanism of the sample pressing ring mounting jig.

従来では、試料メッシュをネジで固定するのが主流であったが、図1の例では、リングで固定している。試料押さえリング2の内側に形成された溝5に、試料押さえリング取付冶具のコレットが拡張して、コレット部が溝に上手く入り込んで、リング2を保持している。図1の例では、コレットの拡張は、ロッド11を取付冶具1へ押し込むことにより広がる機構となっている。ロッド11を引き抜くと、図1(b)のような状態となる。   Conventionally, fixing the sample mesh with screws has been the mainstream, but in the example of FIG. 1, it is fixed with a ring. The collet of the sample pressing ring mounting jig extends into the groove 5 formed inside the sample pressing ring 2, and the collet portion enters the groove well to hold the ring 2. In the example of FIG. 1, the collet is expanded by pushing the rod 11 into the mounting jig 1. When the rod 11 is pulled out, the state shown in FIG.

コレットを拡張して、リング2を保持した状態で、試料メッシュ3を挟んで、試料ホルダー先端部へ試料メッシュを固定することができる。試料設置台座6までリング2を誘導したら、ロッド11を引き抜くことで、コレットが狭まり、リング2と取付冶具との固定を解除する。リング2は、クランプ部によりクランプされて試料ホルダー先端部へ固定される。   With the collet expanded and the ring 2 held, the sample mesh can be fixed to the tip of the sample holder with the sample mesh 3 interposed therebetween. When the ring 2 is guided to the sample mounting base 6, the collet is narrowed by pulling out the rod 11, and the fixation between the ring 2 and the mounting jig is released. The ring 2 is clamped by the clamp portion and fixed to the tip end portion of the sample holder.

図2は、本発明の一実施態様における試料ホルダー先端部を示す図である。図2中、20は脱着ツール(試料押さえリング取付冶具)、21は試料押さえリング取付冶具のコレット部、22は試料押さえ部(試料押さえリング)、23は試料メッシュ、24はクランプ部(試料押さえリングのクランプ棒バネ)、25は試料設置台座、26はピボット支持フレーム部、27はクレードル支持ピボットピン、28は試料押さえリング取り付け冶具のコレット部開き機構のロッド、29はクレードルの傾斜の力点受け部、30はクレードル傾斜を与えるリンク、31は押し返しバネ板、32は試料ホルダー軸部を、それぞれ示す。   FIG. 2 is a diagram showing a sample holder tip in one embodiment of the present invention. In FIG. 2, 20 is a detaching tool (sample pressing ring mounting jig), 21 is a collet part of the sample pressing ring mounting jig, 22 is a sample pressing part (sample pressing ring), 23 is a sample mesh, and 24 is a clamping part (sample pressing ring). (Clamp bar spring of ring), 25 is a sample mounting base, 26 is a pivot support frame portion, 27 is a cradle support pivot pin, 28 is a rod of a collet portion opening mechanism of a sample pressing ring attachment jig, and 29 is a force point for tilting the cradle , 30 is a link for providing a cradle inclination, 31 is a return spring plate, and 32 is a sample holder shaft.

図2のように取付冶具20をリングに挿入し、ロッド28を押し込むと、コレット部21が拡張して、リング22内の溝に首尾よくはまり、リング22と取付冶具20が一瞬一体化する。取付冶具20がリング22を固定した状態で、試料メッシュ23を介して試料ホルダー先端部へ固定する。リング22に設けたテーパーのおかげでクランプ部24にかみ合い、リング22が試料ホルダー先端部へ固定される。図2の態様においては、リング22とクランプ部24とを2か所で固定しているが、1か所、又は複数個所で固定してもよい。   When the mounting jig 20 is inserted into the ring as shown in FIG. 2 and the rod 28 is pushed in, the collet portion 21 expands and fits into the groove in the ring 22, and the ring 22 and the mounting jig 20 are instantly integrated. The mounting jig 20 fixes the ring 22 to the tip of the sample holder via the sample mesh 23 in a state where the ring 22 is fixed. Thanks to the taper provided on the ring 22, it engages with the clamp portion 24, and the ring 22 is fixed to the tip of the sample holder. In the embodiment of FIG. 2, the ring 22 and the clamp portion 24 are fixed at two locations, but may be fixed at one location or a plurality of locations.

本発明の効果の一例を、図3及び図4を用いて説明すれば、以下の通りである。図3(a)は、従来の標準的なクレードルを示す図である。図3(b)は、本発明の一実施態様におけるクレードルを示す図である。図4は、従来の試料押さえ板と固定ネジを用いるクレードルの模式図を示す。図3(a)を拡大したものが、図4である。図3及び4中、40は試料押さえ用固定ネジ、41はβ傾斜可動範囲、42はβ傾斜ピボット位置、43は対物レンズ上極ポールピース、44は試料押さえ板、45は傾斜駆動力点用リンク部、46は試料クレードル、47は対物レンズ下極ポールピースを、それぞれ示す。   An example of the effect of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 3A shows a conventional standard cradle. FIG. 3B is a diagram showing a cradle in one embodiment of the present invention. FIG. 4 is a schematic diagram of a cradle using a conventional sample pressing plate and fixing screws. FIG. 4 is an enlarged view of FIG. 3 and 4, reference numeral 40 denotes a fixing screw for holding the sample, 41 denotes a β tilt movable range, 42 denotes a β tilt pivot position, 43 denotes an upper pole piece of the objective lens, 44 denotes a sample pressing plate, and 45 denotes a link for a tilt driving force point. , 46 denotes a sample cradle, and 47 denotes a lower pole piece of the objective lens.

従来のクレードルにおいては、ネジ40等の存在により、β傾斜可動範囲が限定されてしまっているのが図から分かる。これに対して、本発明の試料ホルダー先端部においては、厚みも幅もよりコンパクトな設計となり、β傾斜可動範囲が大きく拡大されていて、試料からより多くの情報が得られることが予想されるが、実際に、本発明の試料ホルダー先端部を備えた試料ホルダーは、図3(b)のように、β傾斜可動範囲が拡大されて、試料からより多くの情報を得ることが可能となることが判明した。   In the conventional cradle, it can be seen from the figure that the β tilt movable range is limited by the presence of the screw 40 and the like. On the other hand, the tip of the sample holder of the present invention has a more compact design in terms of thickness and width, and the β tilt movable range is greatly expanded, so that it is expected that more information can be obtained from the sample. However, the sample holder having the sample holder tip of the present invention is actually capable of obtaining more information from the sample by expanding the β tilt movable range as shown in FIG. 3B. It has been found.

このような本発明の試料ホルダー先端部は、種々の人為的ミスにも対応可能であり、他の装置との組合せにおいても有利な効果を奏することから、広範な範囲での分野において有益であることが期待できる。   Such a tip of the sample holder of the present invention can cope with various human errors and has an advantageous effect even in combination with other devices, so that it is useful in a wide range of fields. I can expect that.

1 脱着ツール(試料押さえリング取付冶具。(試料押さえリングを保持したコレットの状態))
2 試料押さえ部(試料押さえリング)
3 試料メッシュ
4 試料ホルダー軸部
5 試料押さえ部を脱着するための脱着手段(溝)
6 試料設置台座(クレードル本体)
7 クレードル傾斜を与えるリンク
8 クレードル支持ピボットピン
9 試料ホルダー先端(ピボット支持フレーム部)
10 脱着ツール(試料押さえリング取付冶具。(コレットの拡張としていない平常状態))
11 試料押さえリング取り付け冶具のコレット部開き機構のロッド
20 脱着ツール(試料押さえリング取付冶具)
21 試料押さえリング取付冶具のコレット部
22 試料押さえ部(試料押さえリング)
23 試料メッシュ
24 クランプ部(試料押さえリングのクランプ棒バネ)
25 試料設置台座
26 ピボット支持フレーム部
27 クレードル支持ピボットピン
28 試料押さえリング取り付け冶具のコレット部開き機構のロッド
29 クレードルの傾斜の力点受け部
30 クレードル傾斜を与えるリンク
31 押し返しバネ板
32 試料ホルダー軸部
40 試料押さえ用固定ネジ
41 β傾斜可動範囲
42 β傾斜ピボット位置
43 対物レンズ上極ポールピース
44 試料押さえ板
45 傾斜駆動力点用リンク部
46 試料クレードル
47 対物レンズ下極ポールピース
1 Desorption tool (Sample holding ring mounting jig. (Collet holding the sample holding ring))
2 Sample holder (sample holder ring)
3 Sample mesh 4 Sample holder shaft 5 Desorption means (groove) for detaching the sample holder
6 Sample mounting base (cradle body)
7 Links giving cradle tilt
8 Cradle support pivot pin 9 Sample holder tip (pivot support frame)
10 Detachment tool (Sample holding ring mounting jig. (Normal state without expansion of collet))
11. Rod 20 for collet opening mechanism of sample pressing ring mounting jig Desorption tool (sample pressing ring mounting jig)
21 Collet part of sample pressing ring mounting jig 22 Sample pressing part (sample pressing ring)
23 Sample mesh 24 Clamp part (Clamp bar spring of sample holding ring)
25 Sample installation base 26 Pivot support frame portion 27 Cradle support pivot pin 28 Rod of collet portion opening mechanism 29 of sample pressing ring attaching jig 29 Cradle tilt force point receiving portion 30 Cradle tilt link 31 Push-back spring plate 32 Sample holder shaft portion 40 Fixing screw 41 for sample holding β β movable range 42 β tilt pivot position 43 Objective pole upper pole piece 44 Sample holding plate 45 Tilt driving force point link 46 Sample cradle 47 Objective lens lower pole piece

Claims (10)

試料設置台座と、試料を載せるための試料メッシュと、前記試料メッシュを押える試料押さえ部と、前記試料押さえ部をクランプするクランプ部と、からなる試料ホルダー先端部であって、前記試料押さえ部は、そろばん玉状のリング形状である試料ホルダー先端部。   A sample holder tip comprising a sample mounting base, a sample mesh for placing a sample, a sample pressing part for pressing the sample mesh, and a clamp part for clamping the sample pressing part, wherein the sample pressing part is The tip of the sample holder is an abacus-ring shaped ring. 前記試料押さえ部の側面において、テーパー又は凸部を有する請求項1記載の試料ホルダー先端部。   The sample holder tip portion according to claim 1, wherein a taper or a convex portion is provided on a side surface of the sample pressing portion. 前記クランプ部が、前記試料押さえ部の側面部のテーパー又は凸部を利用して、クランプする請求項1又は2に記載の試料ホルダー先端部。   The sample holder tip part according to claim 1 or 2, wherein the clamp part clamps using a taper or a convex part of a side part of the sample pressing part. 前記クランプ部が、弾性部材からなる請求項1〜3のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部。   The sample holder tip part according to any one of claims 1 to 3, wherein the clamp part is made of an elastic member. 前記クランプ部が、スプリングピンであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部。   The sample holder tip according to any one of claims 1 to 4, wherein the clamp part is a spring pin. 前記試料押さえ部が、当該試料押さえ部を試料ホルダー先端部から脱着するための脱着手段を有する請求項1〜5のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部。   The sample holder tip part according to any one of claims 1 to 5, wherein the sample pressing part has a detaching means for detaching the sample pressing part from the sample holder tip part. 前記脱着手段が、リング状部材の内径側に配置した溝である請求項6記載の試料ホルダー先端部。   The sample holder tip portion according to claim 6, wherein the detaching means is a groove disposed on an inner diameter side of the ring-shaped member. 請求項7記載の試料ホルダー先端部の脱着手段に対応した、前記試料押さえ部を脱着するための脱着ツールであって、前記リング状部材の内径側に配置した溝に引っ掛かることが可能なリング状のコレットと、前記コレットの円筒内に挿入可能なロッドと、を有することを特徴とする脱着ツールA detachable tool for detaching the sample pressing portion corresponding to the detaching means for the sample holder tip portion according to claim 7 , wherein the detachable tool can be hooked in a groove arranged on the inner diameter side of the ring-shaped member. And a rod that can be inserted into the cylinder of the collet . 請求項1〜7のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部と、請求項8記載の脱着ツールと、からなるキット。   The kit which consists of a sample holder front-end | tip part of any one of Claims 1-7, and the removal | desorption tool of Claim 8. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部からなる試料ホルダー。
The sample holder which consists of a sample holder front-end | tip part of any one of Claims 1-7.
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