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JP6104751B2 - Manufacturing method of ingot by vacuum arc melting method - Google Patents
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Description

本発明は、真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法に関し、特に鋳肌の品質が良好なインゴットの製造方法に関する The present invention relates to a method for producing an ingot by a vacuum arc melting method, and particularly to a method for producing an ingot having a good casting surface quality .

従来、チタンやジルコニウム等は融点が高く、しかも、高温での活性が極めて高いことから、これらの金属の精製には、消耗電極式真空アーク溶解法(Vacuum Arc Remelting:以下、「VAR法」という)が用いられる。VAR法は、真空または不活性ガス雰囲気下で、精製対象となる金属を円柱状の消耗電極とし、一定の間隔をあけて銅製坩堝の上方に配置し、消耗電極と銅製坩堝とに電流を流し、アーク放電を発生させ、その熱により消耗電極を溶融滴下し、不純物を蒸発させ、坩堝の中に金属を凝固させてインゴットを形成する方法である。   Conventionally, titanium, zirconium, and the like have a high melting point and extremely high activity at high temperatures. Therefore, consumable electrode type vacuum arc melting (hereinafter referred to as “VAR method”) is used to purify these metals. ) Is used. In the VAR method, a metal to be purified is used as a cylindrical consumable electrode in a vacuum or an inert gas atmosphere, and is placed above a copper crucible at a certain interval, and a current is passed between the consumable electrode and the copper crucible. In this method, arc discharge is generated, a consumable electrode is melted and dripped by the heat, impurities are evaporated, and a metal is solidified in a crucible to form an ingot.

チタンの場合、スポンジ状チタンを押し固めて作製した消耗電極を溶解する1次溶解と、1次溶解で得られたインゴットを消耗電極として再溶解する2次溶解とが行われ、必要に応じて3次溶解も行われる。   In the case of titanium, primary dissolution for dissolving a consumable electrode made by pressing and compacting sponge-like titanium and secondary melting for re-dissolving the ingot obtained by the primary dissolution as a consumable electrode are performed as necessary. Tertiary dissolution is also performed.

VAR法を用いた金属精製では、精製対象の金属を溶解し、水冷により冷却した銅製坩堝上に滴下させる。坩堝に滴下された金属は、坩堝の底面および側面により冷却され、順次凝固し、形成されたインゴットの上面は凹状となり滴下した金属(溶湯)が存在する。   In metal refining using the VAR method, the metal to be purified is dissolved and dropped onto a copper crucible cooled by water cooling. The metal dropped into the crucible is cooled by the bottom and side surfaces of the crucible and solidifies sequentially, and the top surface of the formed ingot becomes concave, and there is a dropped metal (molten metal).

VAR法で製造されたインゴットの歩留りに最も影響を及ぼす因子はインゴットの表面(以下「鋳肌」という。)の品質である。鋳肌の品質が低いほど、インゴットの歩留りが悪くなる。その理由について説明する。   The factor that most affects the yield of ingots manufactured by the VAR method is the quality of the surface of the ingot (hereinafter referred to as “cast skin”). The lower the casting surface quality, the worse the ingot yield. The reason will be described.

VAR法により消耗電極を溶解する際には、鋳型内に保持された溶湯表面や消耗電極からスプラッシュが発生する。スプラッシュは溶融金属の飛沫であり、坩堝の内面に付着して凝固する。スプラッシュの凝固物は、坩堝内面の溶湯直上部分で特に堆積しやすく、環状に堆積する。そのため、この堆積物は「冠」とも呼ばれる。   When the consumable electrode is melted by the VAR method, splash is generated from the molten metal surface or the consumable electrode held in the mold. Splash is a splash of molten metal that adheres to the inner surface of the crucible and solidifies. The solidified product of the splash is particularly easy to deposit in the portion directly above the molten metal on the inner surface of the crucible, and is deposited in an annular shape. Therefore, this deposit is also called “crown”.

消耗電極が溶解し、インゴットが成長する過程で、冠の大部分は坩堝内で上昇する溶湯によって再溶解される。しかし、冠が完全に再溶解されず、坩堝内面に残存した場合には、インゴットの鋳肌に疵が生じ、鋳肌の品質を低下させる。鋳肌に疵を有するインゴットを鍛造や圧延といった加工工程に供した場合には、加工中にこの疵を起点とした割れが発生する。   As the consumable electrode melts and the ingot grows, most of the crown is redissolved by the molten metal rising in the crucible. However, when the crown is not completely redissolved and remains on the inner surface of the crucible, wrinkles are formed on the casting surface of the ingot, which deteriorates the quality of the casting surface. When an ingot having a flaw on the casting surface is subjected to a processing step such as forging or rolling, a crack starting from this flaw occurs during the processing.

この割れの発生を抑制するため、インゴットは、グラインダーによる切削等により鋳肌の疵を除去した上で加工工程に供するのが一般的である。そのため、鋳肌の品質が低く、疵が多いほど、疵を除去するために必要な工数が多くなるとともに、切削量も多くなり、歩留りが悪くなる。また、歩留りの悪化に伴って、コストも上昇する。   In order to suppress the occurrence of this crack, the ingot is generally subjected to a machining process after removing wrinkles on the casting surface by cutting with a grinder or the like. Therefore, the lower the casting surface quality and the greater the number of wrinkles, the more man-hours are required to remove the wrinkles, the greater the amount of cutting, and the lower the yield. In addition, the cost increases as the yield deteriorates.

そのため、従来から、VAR法で坩堝内面に冠を残存させないことにより鋳肌品質の高いインゴットを製造する方法が提案されている。特許文献1では所定の回転速度でアークを回転させて溶湯を攪拌する方法が提案されており、特許文献2では消耗電極の下端から溶湯までの距離を、チタンインゴットの種類によって変更する方法が提案されている。   Therefore, conventionally, there has been proposed a method of manufacturing an ingot having high casting surface quality by leaving no crown on the inner surface of the crucible by the VAR method. Patent Document 1 proposes a method of stirring the molten metal by rotating the arc at a predetermined rotational speed, and Patent Document 2 proposes a method of changing the distance from the lower end of the consumable electrode to the molten metal depending on the type of titanium ingot. Has been.

しかし、坩堝内面に形成される冠の厚さや量は、製造するインゴットの大きさや、原料である消耗電極中の不純物の含有率のみならず、坩堝内面の状態や冷却状態等の様々な条件によっても変動する。そのため、これらの方法では、冠を再溶解することが必ずしも容易ではなく、安定して鋳肌品質を向上させることが困難である。   However, the thickness and amount of the crown formed on the inner surface of the crucible depend not only on the size of the ingot to be manufactured and the content of impurities in the consumable electrode as a raw material, but also on various conditions such as the state of the inner surface of the crucible and the cooling state. Also fluctuate. Therefore, in these methods, it is not always easy to redissolve the crown, and it is difficult to stably improve the casting surface quality.

また、特許文献3では、坩堝の内部上下方向に所定の強度の磁場を付加して溶湯を回転させる方法が提案されている。しかし、この方法でも、インゴットを製造する毎に冠の状態や凝固界面の状態等が変動するため、常に適正な磁場の条件を設定することは不可能であり、安定して鋳肌品質を向上させることが困難である。   Patent Document 3 proposes a method of rotating a molten metal by applying a magnetic field having a predetermined strength in the vertical direction inside the crucible. However, even with this method, the state of the crown and the solidification interface fluctuates each time an ingot is manufactured, so it is impossible to always set the proper magnetic field conditions, improving the casting surface quality stably. It is difficult to do.

特開2010―37651号公報JP 2010-37651 A 特開2010―116581号公報JP 2010-116581 A 特開昭61―143528号公報JP-A-61-143528

このように、従来の方法では鋳肌品質が良好なインゴットを安定して得ることが困難であった。本発明は、この課題に鑑みてなされたものであり、VAR法によって、鋳肌品質が良好なインゴットを安定して得ることができる方法を提供することを目的とする。 Thus, it has been difficult to stably obtain an ingot having a good casting surface quality by the conventional method. The present invention has been made in view of this problem, the VAR process, an object that you provide a method capable of casting surface quality can be stably good ingot.

上述のように、VAR法によって消耗電極を溶解している際に、坩堝内面に形成された冠の再溶解が不足すると、冠が残存することとなり、インゴットの鋳肌品質が低下する。   As described above, when the consumable electrode is melted by the VAR method, if the remelting of the crown formed on the inner surface of the crucible is insufficient, the crown remains, and the casting surface quality of the ingot is deteriorated.

冠の再溶解の不足は、消耗電極の溶解条件が適正でないことにより生じる。冠の再溶解に影響を及ぼす消耗電極の溶解条件には、磁場による坩堝内の溶湯の攪拌強度、磁場による攪拌の方向の反転周期、アーク溶解を行う際に印加する電流の大きさ、およびアーク溶解を行う際に印加する電圧の大きさが挙げられる。   The lack of remelting of the crown is caused by inadequate melting conditions of the consumable electrode. The melting conditions of the consumable electrode that affect the remelting of the crown include the stirring strength of the molten metal in the crucible by the magnetic field, the reversal period of the direction of stirring by the magnetic field, the magnitude of the current applied during arc melting, and the arc The magnitude of the voltage applied when melting is mentioned.

例えば磁場による坩堝内の溶湯の攪拌強度が適正である場合には、冠に高温の溶湯が適度に被さり、冠の再溶解が促進される。これに対し、攪拌強度が弱すぎる場合には、冠に被さる溶湯が不足するため、冠を再溶解させる能力が不足し、冠が残存することとなる。また、攪拌強度が強すぎる場合には、溶湯の流動が速く、スプラッシュの発生量が増加し、再溶解される量より新たに堆積する量が多くなるため、冠の再溶解が不足し、冠が残存することとなる。そこで、本発明者は以下の仮説を立てた。   For example, when the stirring strength of the molten metal in the crucible by the magnetic field is appropriate, the high-temperature molten metal is appropriately covered on the crown, and the remelting of the crown is promoted. On the other hand, when the stirring strength is too weak, since the molten metal covering the crown is insufficient, the ability to remelt the crown is insufficient, and the crown remains. In addition, when the stirring strength is too strong, the flow of the molten metal is fast, the amount of splash is increased, and the amount of newly deposited is larger than the amount to be redissolved. Will remain. Therefore, the present inventor has made the following hypothesis.

図1は、本発明者の仮説に基づく消耗電極の溶解条件と冠の再溶解の状態との関係を示す概念図である。本発明者は、上述の磁場攪拌強度と冠の再溶解の状態との関係は、同図のように図示できると推定した。すなわち、溶解条件が適正である場合には冠の再溶解が最も促進され、適正条件から大小いずれの方向(同図のピーク位置から左右方向)にずれた場合とも、冠の再溶解が不足すると推定した。また、本発明者は、適正な溶解条件は、インゴットの製造の進行とともに自然に変化すると推定した。しかし、その時点での溶解条件が適正条件であるか、適正条件からずれているのかを知る方法がなく、溶解条件の適正な制御が困難であるという問題があった。   FIG. 1 is a conceptual diagram showing the relationship between the melting condition of the consumable electrode and the remelting state of the crown based on the hypothesis of the present inventor. The present inventor estimated that the relationship between the magnetic field stirring intensity and the remelting state of the crown can be illustrated as shown in FIG. In other words, when the dissolution conditions are appropriate, crown remelting is most promoted, and if the crown is insufficiently remelted when it deviates from the appropriate conditions in any direction (left and right from the peak position in the figure). Estimated. In addition, the present inventor estimated that the appropriate dissolution conditions naturally change with the progress of the production of the ingot. However, there is no method for knowing whether the dissolution conditions at that time are appropriate conditions or deviated from the appropriate conditions, and there is a problem that proper control of the dissolution conditions is difficult.

本発明者は、これらの問題について検討したところ、VAR法で消耗電極を溶解している際に堆積物検知装置によって冠の再溶解の不足を検知したとき、溶解条件が適正条件からずれたことを知ることができ、また、冠の再溶解が今後不足することを予測したとき、溶解条件が適正条件から今後ずれることを知ることができることを知見した。   The present inventor examined these problems and found that when the consumable electrode was dissolved by the VAR method, when the lack of re-dissolution of the crown was detected by the deposit detection device, the dissolution conditions deviated from the appropriate conditions. In addition, when it was predicted that the re-dissolution of the crown would be insufficient in the future, it was found that the dissolution condition could be deviated from the appropriate condition in the future.

また、溶解条件が適正条件からずれたこと、または今後ずれることを知った場合に、溶解条件を一方向に変動させ、その結果、依然として再溶解の不足を検知または予測したときには溶解条件を最初とは逆方向に変動させ、再溶解不足を検知も予測もしなかったときには溶解条件を維持することにより、鋳肌品質が良好なインゴットを安定して得ることができることを知見した。   In addition, when it is found that the dissolution condition has deviated from the appropriate condition or will change in the future, the dissolution condition is changed in one direction, and as a result, when the lack of re-dissolution is still detected or predicted, the dissolution condition is changed to the first. It was found that ingots with good casting surface quality can be obtained stably by maintaining the melting conditions when the re-fluctuation was varied and no remelting was detected or predicted.

本発明は、これらの知見に基づいてなされたものであり、その要旨は下記のVAR法によるインゴットの製造方法にある。 The present invention has been accomplished based on these findings and has as its gist in production how the ingot by following VAR method.

真空アーク溶解炉を用いて消耗電極をアークにより溶解し、坩堝に滴下する金属を凝固させてインゴットを製造する真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法であって、前記真空アーク溶解炉が、前記坩堝の内面に前記アークにより溶解した金属が飛散して形成された堆積物を検知する堆積物検知装置を備え、インゴットの製造中に、前記堆積物検知装置によって前記坩堝の内面における前記堆積物が増大したことを検知したとき、または今後増大することを予測したときには、消耗電極の溶解条件を一方向に変動させ、前記溶解条件を変動させた後、前記堆積物が増大したことを検知した場合、または今後増大することを予測した場合には、前記溶解条件を前記一方向に変動させる前の条件から逆方向に変動させ、前記溶解条件を変動させた後、前記堆積物が増大したことを検知せず、かつ今後増大することを予測しなかった場合には、前記溶解条件を保持する制御を行い、これらの溶解条件の制御を繰り返し、変動させる前記消耗電極の溶解条件が、坩堝に滴下した金属の磁場による攪拌の強度、前記磁場による攪拌の方向の反転周期、アーク溶解を行う際の電流の大きさ、およびアーク溶解を行う際の電圧の大きさのうち、1または2以上であり、前記一方向が、前記攪拌の強度を強くすることおよび弱くすることの一方、前記反転周期を長くすることおよび短くすることの一方、前記電流の大きさを大きくすることおよび小さくすることの一方、ならびに前記電圧の大きさを大きくすることおよび小さくすることの一方であることを特徴とする真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法。 A method for producing an ingot by a vacuum arc melting method in which a consumable electrode is melted by an arc using a vacuum arc melting furnace, and a metal dropped into the crucible is solidified to produce an ingot, wherein the vacuum arc melting furnace is the crucible A deposit detecting device for detecting deposits formed by scattering of metal melted by the arc on the inner surface of the crucible, and the deposits on the inner surface of the crucible are increased by the deposit detecting device during manufacture of the ingot. When it is detected or when it is predicted that it will increase in the future, if the melting condition of the consumable electrode is changed in one direction, and after changing the dissolution condition, it is detected that the deposit has increased, Or, if it is predicted that it will increase in the future, change the dissolution conditions in the opposite direction from the previous conditions to change the dissolution conditions. After not detect that the deposit is increased, and if no predicted to increase future, performs control to maintain the dissolved condition, repeatedly control of these dissolution conditions The melting conditions of the consumable electrode to be varied are the intensity of stirring by the magnetic field of the metal dropped on the crucible, the inversion period of the direction of stirring by the magnetic field, the magnitude of the current when performing arc melting, and when performing arc melting. 1 or 2 or more, and the one direction increases or decreases the agitation strength, while the inversion period is increased or decreased. one be possible and reduced to increase the magnitude of the current, as well as by the vacuum arc melting method which is characterized in that it is one of the possible and reduced to increase the magnitude of the voltage Method of manufacturing the ingots.

本発明の真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法では、前記堆積物検知装置を、0.7〜2.5μmの波長の光を用いて前記真空アーク溶解炉内の光強度分布または熱分布を観測する装置とすることが望ましく、前記堆積物検知装置を用いて観測した光強度分布または熱分布から堆積物の大きさを検知することが望ましい。   In the ingot manufacturing method according to the vacuum arc melting method of the present invention, the deposit detector uses the light having a wavelength of 0.7 to 2.5 μm to observe the light intensity distribution or heat distribution in the vacuum arc melting furnace. It is desirable to use a device that detects the size of the deposit from the light intensity distribution or the heat distribution observed using the deposit detection device.

また、前記堆積物検知装置を用いて観測した光強度分布または熱分布から、前記堆積物の全部または一部を含む領域の平均光強度または平均温度を測定し、測定した平均光強度もしくは平均温度またはそれらの移動平均値があらかじめ定めた値未満となったとき、前記堆積物が増大したことを検知したこととし、前記測定した平均光強度もしくは平均温度またはそれらの移動平均値が今後前記あらかじめ定めた値未満となることを予測したとき、前記堆積物が今後増大することを予測したこととすることが望ましい。前記移動平均値は、0.1〜5秒周期で測定した、10〜1000秒間の範囲の前記平均光強度または平均温度をから算出することが望ましい。   Further, from the light intensity distribution or heat distribution observed using the deposit detector, the average light intensity or average temperature of the region including all or part of the deposit is measured, and the measured average light intensity or average temperature is measured. Alternatively, when the moving average value is less than a predetermined value, it is detected that the deposit has increased, and the measured average light intensity or average temperature or the moving average value is determined in advance in the future. It is desirable to predict that the deposit will increase in the future when it is predicted that it will be less than the specified value. The moving average value is preferably calculated from the average light intensity or the average temperature in the range of 10 to 1000 seconds measured at a period of 0.1 to 5 seconds.

記金属はチタンまたはチタン合金とすることができる。 Before Symbol metal may be titanium or a titanium alloy.

本発明の真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法によれば、鋳肌品質が良好なインゴットを安定して得ることが可能である According to the method for producing an ingot by the vacuum arc melting method of the present invention, it is possible to stably obtain an ingot having good casting surface quality .

本発明者の仮説に基づく消耗電極の溶解条件と冠の再溶解の状態との関係を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the relationship between the melt | dissolution conditions of a consumable electrode based on this inventor's hypothesis, and the state of remelting of a crown. 本発明のインゴットの製造方法を適用可能な真空アーク溶解炉の構成図である。It is a block diagram of the vacuum arc melting furnace which can apply the manufacturing method of the ingot of this invention. 操業中のVAR炉内の平面図である。It is a top view in the VAR furnace in operation. 本発明における消耗電極の溶解条件の制御方法のフローチャートである。It is a flowchart of the control method of the melt | dissolution conditions of the consumable electrode in this invention. 熱分布測定装置で測定したVAR炉内の熱分布を示す図である。It is a figure which shows the heat distribution in the VAR furnace measured with the heat distribution measuring apparatus. 溶解時間と測定領域の平均温度との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between melt | dissolution time and the average temperature of a measurement area | region.

1.真空アーク溶解炉の構成およびインゴットの製造方法
図2は、本発明のインゴットの製造方法を適用可能な真空アーク溶解炉(以下「VAR炉」という。)の構成図である。VAR炉は、銅製の坩堝1と、坩堝1の上部に配置され、内部の気密状態を維持するチャンバー2と、スタブ3および消耗電極4を昇降させる昇降装置5とを備える。チャンバー2の側面には、図示しない排気装置が接続された排気口6を備える。坩堝1の周囲には、図示しないコイルを備え、このコイルにより坩堝1の内部に軸方向(鉛直方向)の磁場が印加される。チャンバー2の上面には、チャンバー2の内部の状態を検知する検知装置7が設けられている。同図には、2個の検知装置7が示されているが、1個でも3個以上でもよい。坩堝1および昇降装置5には、坩堝1と消耗電極4との間に電圧を印加する図示しない電源が接続されている。検知装置7、コイル、電源には、図示しない制御装置が接続されており、それぞれ自動で制御することが可能である。
1. Configuration of Vacuum Arc Melting Furnace and Ingot Manufacturing Method FIG. 2 is a configuration diagram of a vacuum arc melting furnace (hereinafter referred to as “VAR furnace”) to which the ingot manufacturing method of the present invention can be applied. The VAR furnace includes a copper crucible 1, a chamber 2 that is disposed above the crucible 1 and maintains an airtight state therein, and a lifting device 5 that moves the stub 3 and the consumable electrode 4 up and down. An exhaust port 6 connected to an exhaust device (not shown) is provided on the side surface of the chamber 2. A coil (not shown) is provided around the crucible 1, and an axial (vertical) magnetic field is applied to the inside of the crucible 1 by this coil. On the upper surface of the chamber 2, a detection device 7 for detecting the internal state of the chamber 2 is provided. In the figure, two detection devices 7 are shown, but one or three or more may be used. A power source (not shown) that applies a voltage between the crucible 1 and the consumable electrode 4 is connected to the crucible 1 and the lifting device 5. A control device (not shown) is connected to the detection device 7, the coil, and the power source, and can be controlled automatically.

VAR炉を用いてインゴットを製造する際には、図2に示すように、昇降装置5の下端に、消耗電極4の上面に溶接されたスタブ3を溶接する。そして、排気口6からチャンバー2内部の空気を排出して不活性ガス雰囲気または真空雰囲気とし、坩堝1と消耗電極4との間に電圧を印加する。電圧の印加に伴い、消耗電極4と坩堝1との間にアークが発生し、アーク熱によって消耗電極4が下端から溶解滴下する。溶解滴下した溶融金属は、水冷された坩堝1によって冷却されて凝固し、インゴット8が形成される。インゴット8の上部には、滴下した溶融金属(溶湯)9が保持され、溶湯9は、坩堝1の周囲に配置されたコイルにより印加された磁場により攪拌される。   When manufacturing an ingot using a VAR furnace, as shown in FIG. 2, the stub 3 welded to the upper surface of the consumable electrode 4 is welded to the lower end of the elevating device 5. Then, the air inside the chamber 2 is discharged from the exhaust port 6 to create an inert gas atmosphere or a vacuum atmosphere, and a voltage is applied between the crucible 1 and the consumable electrode 4. As the voltage is applied, an arc is generated between the consumable electrode 4 and the crucible 1, and the consumable electrode 4 is melted and dropped from the lower end by the arc heat. The melted and dropped molten metal is cooled and solidified by the water-cooled crucible 1 to form an ingot 8. The dropped molten metal (molten metal) 9 is held on the top of the ingot 8, and the molten metal 9 is stirred by a magnetic field applied by a coil disposed around the crucible 1.

2.本発明のインゴットの製造方法における溶解条件の制御
図3は、操業中のVAR炉内の平面図である。坩堝1の内面には、溶融金属が飛散したスプラッシュが付着し、スプラッシュの堆積物である冠10が形成される。
2. Control of Melting Conditions in the Ingot Manufacturing Method of the Present Invention FIG. 3 is a plan view inside the VAR furnace during operation. On the inner surface of the crucible 1, splash splashed with molten metal adheres to form a crown 10 that is a deposit of splash.

消耗電極4の溶解条件が適正であれば、冠10はインゴット8の成長に伴って上昇した溶湯9が被さって再溶解されるため、鋳肌品質の良好なインゴット8が得られる。しかし、VAR炉内の状態が変化し、溶解条件が適正ではなくなった場合には、冠10の再溶解が不足し、冠10が増大して坩堝1の内面に残存するため、インゴット8の鋳肌品質が低下する。   If the melting conditions of the consumable electrode 4 are appropriate, the crown 10 is covered with the molten metal 9 that has risen as the ingot 8 grows and is remelted, so that an ingot 8 with good casting surface quality is obtained. However, when the state in the VAR furnace changes and the melting conditions are not appropriate, the crown 10 is insufficiently remelted, and the crown 10 increases and remains on the inner surface of the crucible 1. Skin quality is reduced.

本発明のインゴットの製造方法では、冠10の状態およびその変化をチャンバー2の上面に設けられた検知装置7によって検知し、その検知結果に基づいて溶解条件を制御する。   In the ingot manufacturing method of the present invention, the state of the crown 10 and its change are detected by the detection device 7 provided on the upper surface of the chamber 2, and the melting conditions are controlled based on the detection result.

2−1.溶解条件の制御方法
図4は、本発明における消耗電極の溶解条件の制御方法のフローチャートである。同図を用いて溶解条件の制御方法について説明する。VAR炉の操業を開始後、VAR炉の操業中に冠の状態の検知を開始する。検知は例えば0.1〜5秒周期で行う。
2-1. FIG. 4 is a flowchart of a method for controlling the melting condition of the consumable electrode in the present invention. A method for controlling dissolution conditions will be described with reference to FIG. After starting the operation of the VAR furnace, detection of the crown state is started during the operation of the VAR furnace. For example, detection is performed at a period of 0.1 to 5 seconds.

検知を開始してから所定の時間(例えば5〜30秒)が経過するまでの間に冠が増大したことを検知したとき、または今後増大することを予測したとき(ステップ#1のYES)には、溶解条件を一方向に変動させる(ステップ#2)。   When it is detected that the crown has increased from the start of detection until a predetermined time (for example, 5 to 30 seconds) has elapsed, or when it is predicted that the crown will increase in the future (YES in step # 1) Changes the dissolution conditions in one direction (step # 2).

一方、冠が増大したことを検知せず、かつ今後増大することを予測しなかったとき(ステップ#1のNO)には、溶解条件を維持し(ステップ#3)、その時点で溶解条件の制御を終了しない場合(ステップ#6のNO)には冠の状態の検知を継続する(ステップ#1)。すなわち、冠の増大が検知または予測されず、正常な消耗電極の溶解が維持されている場合には、このループが繰り返される。   On the other hand, when it is not detected that the crown has increased and is not predicted to increase in the future (NO in step # 1), the dissolution condition is maintained (step # 3), and the dissolution condition is When the control is not finished (NO in step # 6), the detection of the crown state is continued (step # 1). That is, if no crown increase is detected or predicted and normal consumable electrode dissolution is maintained, this loop is repeated.

ステップ#2で溶解条件を一方向に変動させた後、再びさらに冠の状態を検知する(ステップ#4)。検知を開始してから所定の時間(例えば5〜30秒)が経過するまでの間に冠が増大したことを検知したとき、または今後増大することを予測したとき(ステップ#4のYES)には、溶解条件をステップ#2で変動させる前の条件から逆方向に変動させ(ステップ#5)、溶解条件の制御を終了しない場合(ステップ#6のNO)には冠の状態の検知を継続する(ステップ#1)。   After changing the dissolution conditions in one direction in step # 2, the crown state is further detected again (step # 4). When it is detected that the crown has increased from the start of detection until a predetermined time (for example, 5 to 30 seconds) has elapsed, or when it is predicted that the crown will increase in the future (YES in step # 4) Changes the melting condition in the reverse direction from the condition before changing in step # 2 (step # 5), and continues detection of the crown state if the control of the melting condition is not terminated (NO in step # 6). (Step # 1).

一方、ステップ#4で冠が増大したことを検知せず、かつ今後増大することを予測しなかったときには、溶解条件を維持し(ステップ#3)、溶解条件の制御を終了しない場合(ステップ#6のNO)には冠の状態の検知を継続する(ステップ#1)。   On the other hand, when it is not detected that the crown has increased in step # 4 and it is not predicted that the crown will increase in the future, the dissolution condition is maintained (step # 3), and the control of the dissolution condition is not terminated (step #). 6), the detection of the crown state is continued (step # 1).

この溶解条件の制御を、終了する任意の時点(ステップ#6のYES)まで行う。   The dissolution condition is controlled until an arbitrary time point (YES in step # 6).

このように溶解条件を制御することにより、安定して冠を再溶解させることができ、鋳肌品質の良好なインゴットを得ることができる。一般に、VAR法による消耗電極の溶解は複数回行われることが多い。インゴット表面の切削は最終溶解後に行われるため、本発明の溶解条件の制御は最終の溶解時に行うことにより、高い効果を得られる。   By controlling the dissolution conditions in this manner, the crown can be stably re-dissolved, and an ingot with good casting surface quality can be obtained. In general, dissolution of the consumable electrode by the VAR method is often performed a plurality of times. Since cutting of the ingot surface is performed after the final melting, a high effect can be obtained by controlling the melting conditions of the present invention during the final melting.

また、本発明の溶解条件の制御は、消耗電極の溶解の開始から終了まで行ってもよいし、溶解の開始から終了までの間の任意の時間だけ行ってもよい。任意の時間だけ行った場合でも、その間に凝固した部分では鋳肌品質の良好なインゴットが得られる。本発明のインゴットの製造方法は、チタンまたはチタン合金に好適に適用することができる。   Further, the dissolution conditions of the present invention may be controlled from the start to the end of the consumable electrode, or may be performed for an arbitrary time from the start to the end of the dissolution. Even when it is performed for an arbitrary time, an ingot having a good casting surface quality can be obtained at a portion solidified during that time. The ingot manufacturing method of the present invention can be suitably applied to titanium or a titanium alloy.

本発明の溶解条件の制御時における冠の増大の検知または予測(ステップ#1および#4)、およびこれに基づく溶解条件の変動(ステップ#2および#5)は、真空アーク溶解炉に設けられた制御装置を用いて自動で行うことが好ましい。しかし、オペレータが冠の状態を観測し、冠の増大の検知または予測を行って、溶解条件を手動で変化させてもよい。   The detection or prediction of the increase in crown during the control of the melting conditions of the present invention (steps # 1 and # 4) and the variation of the melting conditions based on this (steps # 2 and # 5) are provided in the vacuum arc melting furnace. It is preferable to perform this automatically using a control device. However, the operator may observe the crown condition, detect or predict the crown increase, and manually change the dissolution conditions.

2−2.溶解条件
本発明で制御の対象として変動させる溶解条件は、磁場による坩堝内の溶湯の攪拌強度(磁場攪拌強度)、磁場による攪拌の方向の反転周期(攪拌反転周期)、アーク溶解を行う際に印加する電流(溶解電流)、およびアーク溶解を行う際に印加する電圧(溶解電圧)のうち、1個または2個以上である。
2-2. Melting conditions The melting conditions to be varied as a control target in the present invention are the stirring intensity of the molten metal in the crucible (magnetic field stirring intensity) by the magnetic field, the inversion period of the stirring direction by the magnetic field (stirring inversion period), One or more of the applied current (melting current) and the voltage (melting voltage) applied when arc melting is performed.

(1)磁場攪拌強度
磁場攪拌強度を変動させる場合、坩堝の周囲に配置したコイルに印加する電流を変動させ、坩堝の内部に印加する磁場の強度を変動させる。上述のように、磁場攪拌強度が適正である場合には、冠に高温の溶湯が適度に被さり、冠の再溶解が促進される。これに対して、磁場攪拌強度が弱すぎる場合には冠に被さる溶湯が不足するため、また、磁場攪拌強度が強すぎる場合にはスプラッシュの発生量が増加するため、いずれの場合も冠の再溶解が不足し、冠が増大することとなる。
(1) Magnetic field stirring intensity When varying the magnetic field stirring intensity, the current applied to the coil disposed around the crucible is varied to vary the intensity of the magnetic field applied to the inside of the crucible. As described above, when the magnetic field stirring intensity is appropriate, the crown is appropriately covered with a high-temperature molten metal, and remelting of the crown is promoted. On the other hand, when the magnetic field stirring intensity is too weak, the amount of molten metal covering the crown is insufficient, and when the magnetic field stirring intensity is too strong, the amount of splash is increased. Dissolution will be insufficient and the crown will increase.

(2)攪拌反転周期
磁場による攪拌の方向を変動させる場合、坩堝の周囲に配置したコイルに印加する電流の向きを変動させる。攪拌反転周期が適正である場合には、反転時に生じる溶湯の変動により、液面が冠に高温の溶湯が適度に被さり、冠の再溶解が促進される。攪拌反転周期が短すぎてまたは長すぎて適正でない場合には、反転時に生じる溶湯の液面の変動が不足または過多となる。溶湯の液面の変動が過多である場合には、溶湯の液面の変動が不足である場合には冠に被さる溶湯が不足するため、また、溶湯の液面の変動が過多である場合にはスプラッシュの発生量が増加するため、いずれの場合も冠の再溶解が不足し、冠が増大することとなる。
(2) Stirring reversal period When changing the direction of stirring by a magnetic field, the direction of the current applied to the coil arranged around the crucible is changed. When the stirring reversal period is appropriate, due to the fluctuation of the molten metal that occurs during reversal, the liquid surface is appropriately covered with the hot molten metal, and the remelting of the crown is promoted. If the stirring reversal period is too short or too long to be appropriate, the fluctuation of the melt level that occurs during reversal is insufficient or excessive. If there is an excessive change in the liquid level of the molten metal, if there is an insufficient change in the liquid level of the molten metal, there is not enough molten metal to cover the crown, and if there is an excessive change in the liquid level of the molten metal. Since the amount of splash generated increases, in any case, the crown is insufficiently remelted and the crown increases.

(3)溶解電流および溶解電圧
溶解電流または溶解電圧が適正な場合には、アーク熱を適度供給することとなるため、冠の再溶解が促進される。これに対して、溶解電流または溶解電圧が小さすぎる場合には、アーク熱が不足し、冠の再溶解が不足するのみならず、消耗電極の溶解も十分に行えないこととなる。また、溶解電流または溶解電圧が大きすぎる場合には、スプラッシュの発生量が増加して冠の再溶解が不足し、冠が増大することとなる。
(3) Melting current and melting voltage When the melting current or melting voltage is appropriate, arc heat is appropriately supplied, so that remelting of the crown is promoted. On the other hand, when the melting current or the melting voltage is too small, the arc heat is insufficient, the crown is not sufficiently remelted, and the consumable electrode cannot be sufficiently melted. On the other hand, when the dissolution current or the dissolution voltage is too large, the amount of splash is increased, the re-dissolution of the crown is insufficient, and the crown increases.

鋳肌品質の向上の効果は、これらの溶解条件のうち溶解電流を変動させた場合が最も高く、次いで溶解電圧、磁場攪拌強度、攪拌反転周期の順に高い。しかし、溶解電流と溶解電圧は、インゴットの成分偏析や空孔の位置・大きさ等の内部品質に及ぼす影響が大きいため、溶解中に鋳肌品質の向上を目的として変動させる条件として好ましくない。これに対して、磁場攪拌強度と磁場攪拌周期は、インゴットの内部品質に及ぼす影響が少ないため、鋳肌品質の向上を目的として変動させる条件として好ましい。   The effect of improving the casting surface quality is highest when the melting current is varied among these melting conditions, followed by the melting voltage, the magnetic field stirring strength, and the stirring inversion cycle in this order. However, since the melting current and the melting voltage have a great influence on the internal quality such as the segregation of ingot components and the positions and sizes of the pores, they are not preferable as conditions for changing for the purpose of improving the casting surface quality during melting. On the other hand, since the magnetic field stirring intensity and the magnetic field stirring cycle have little influence on the internal quality of the ingot, they are preferable as conditions for changing for the purpose of improving the casting surface quality.

2−3.冠の状態の検知方法
冠の状態の検知は、前記図2に示す、チャンバー2の上面に設けられた検知装置7によって行う。溶解電流が数kAと小さく、アーク光が弱い条件で操業する場合には、検知装置7として、可視光でチャンバー2の内部を観察する一般的なビデオカメラを用いることができる。しかし、一般的な操業では、溶解電流は数十kAとされており、この場合には、アーク光が強すぎるため可視光を用いるビデオカメラでは冠の状態を検知することが困難なことがある。本発明者が検討した結果、可視光に代えて、波長が0.7〜2.5μmの光を使用することにより、アーク光が強い場合であっても、アーク光の影響をほとんど受けずに冠の状態、大きさや形状を検知できることがわかった。そのため、検知装置として、0.7〜2.5μmの範囲内の光を検知する装置を用いることが好ましい。さらに、0.7〜2.5μmの範囲外の光の影響を抑制するため、この装置に0.7〜2.5μmの範囲外の光を遮断するフィルターを用いることが好ましい。
2-3. Crown Detection Method The crown detection is performed by the detection device 7 provided on the upper surface of the chamber 2 shown in FIG. When the melting current is as small as several kA and the arc light is weak, a general video camera that observes the inside of the chamber 2 with visible light can be used as the detection device 7. However, in general operation, the melting current is set to several tens of kA. In this case, the arc light is too strong, and it may be difficult to detect the crown state with a video camera using visible light. . As a result of examination by the present inventors, by using light having a wavelength of 0.7 to 2.5 μm instead of visible light, even when the arc light is strong, it is hardly affected by the arc light. It was found that the state, size and shape of the crown can be detected. Therefore, it is preferable to use a device that detects light within a range of 0.7 to 2.5 μm as the detection device. Furthermore, in order to suppress the influence of light outside the range of 0.7 to 2.5 μm, it is preferable to use a filter that blocks light outside the range of 0.7 to 2.5 μm in this apparatus.

アーク光は、紫外線を含む短波長の光を強く発しているため、0.7μm未満の波長域ではアーク光の影響を受けるものと考えられる。また、2.5μmよりも長い波長域では、プランクの放射法則に従って光の強度が弱くなるため、アーク光の影響が大きくなるものと考えられる。   Since the arc light strongly emits short-wavelength light including ultraviolet rays, it is considered that the arc light is affected by the arc light in a wavelength region of less than 0.7 μm. In addition, in the wavelength range longer than 2.5 μm, the intensity of light becomes weak according to Planck's radiation law, so that it is considered that the influence of arc light becomes large.

また、検知装置7としては、光強度分布測定装置や熱分布測定装置が好ましい。これらの装置では、光強度分布や熱分布等を広範囲にわたって定量的に検知できるため、冠の状態も広範囲にわたって定量的に検知することができる。光強度分布測定装置や熱分布測定装置は、波長が0.7〜2.5μmの範囲内の光を用いて光強度分布や熱分布を観測するものとすることにより、アーク光の影響をほとんど受けずに冠の状態を検知できる。   The detection device 7 is preferably a light intensity distribution measurement device or a heat distribution measurement device. Since these devices can quantitatively detect the light intensity distribution, the heat distribution, and the like over a wide range, the state of the crown can also be quantitatively detected over a wide range. Light intensity distribution measuring devices and heat distribution measuring devices observe the light intensity distribution and heat distribution using light in the wavelength range of 0.7 to 2.5 μm, so that the influence of arc light is hardly affected. Can detect the crown without receiving it.

検知装置7によって検知する領域は、冠10の全体または一部を含む領域とする。冠10の一部を含む領域を検知領域とする場合、坩堝1の内面と消耗電極4の外周面とを含む領域であって、坩堝1の横断面の中心角で30°以上の領域とすることが好ましい。前記図3には、中心角を60°とした検知領域11を破線で示す。検知領域は、坩堝1内部の全域を含む領域とすることが最も好ましい。   The region detected by the detection device 7 is a region including the entire crown 10 or a part thereof. When a region including a part of the crown 10 is set as a detection region, the region including the inner surface of the crucible 1 and the outer peripheral surface of the consumable electrode 4 is a region having a central angle of 30 ° or more in the cross section of the crucible 1. It is preferable. In FIG. 3, the detection region 11 having a central angle of 60 ° is indicated by a broken line. Most preferably, the detection region is a region including the entire region inside the crucible 1.

冠10の大きさの基準としては、検知領域11内で測定した冠10の厚さ(坩堝1内面の半径方向の長さ)、または検知領域11に占める冠10の面積の割合を使用することができる。この場合、冠10の厚さや面積の割合の増加を検知したとき、冠10が増大したことを検知したこととする。そして、冠の大きさを連続的に測定したデータを、時間で一階微分して得られた値や二階微分して得られた値を用いることによって、冠の大きさを予測することができる。   As a reference for the size of the crown 10, the thickness of the crown 10 measured in the detection region 11 (the radial length of the inner surface of the crucible 1) or the ratio of the area of the crown 10 to the detection region 11 is used. Can do. In this case, when an increase in the ratio of the thickness or area of the crown 10 is detected, it is assumed that the crown 10 has been increased. The crown size can be predicted by using the data obtained by continuously performing first-order differentiation with respect to the data obtained by continuously measuring the crown size, or the value obtained by second-order differentiation. .

図5は、熱分布測定装置で測定したVAR炉内の熱分布を示す図である。同図には、波長が0.7〜2.5μmの範囲内の光を用いて熱分布を観測する熱分布測定装置を1個用いて測定した熱分布を示す。熱分布測定装置の視野の制限から、測定範囲はVAR炉内の半分の領域となっている。熱分布測定装置を2個使用することにより、VAR炉内のほぼ全域を測定することができる。同図では、温度が低いほど色が濃く、温度が高いほど色が薄く表示されている。   FIG. 5 is a diagram showing the heat distribution in the VAR furnace measured by the heat distribution measuring apparatus. The figure shows the heat distribution measured using one heat distribution measuring device that observes the heat distribution using light having a wavelength in the range of 0.7 to 2.5 μm. Due to the limitation of the field of view of the heat distribution measuring device, the measurement range is half of that in the VAR furnace. By using two heat distribution measuring devices, almost the entire area in the VAR furnace can be measured. In the figure, the lower the temperature, the darker the color, and the higher the temperature, the lighter the color is displayed.

スタブ3および坩堝1は最も温度が低く、溶湯9は最も温度が高い。消耗電極4は、スタブ3よりも高温である。また、溶湯9から発生し、凝固したスプラッシュが堆積して形成された冠10は、溶湯9より温度が低い。このように、VAR炉内の各部で温度が異なることから、図5に示すように、アーク光の影響をほとんど受けず、各部の形状を明確に判別できる。そのため、熱分布を連続して測定することにより、冠10の形状の変化も検知することが可能である。   The stub 3 and the crucible 1 have the lowest temperature, and the molten metal 9 has the highest temperature. The consumable electrode 4 is hotter than the stub 3. Further, the crown 10 formed by depositing solid splash generated from the molten metal 9 is lower in temperature than the molten metal 9. As described above, since the temperature is different in each part in the VAR furnace, as shown in FIG. 5, the shape of each part can be clearly discriminated without being substantially affected by the arc light. Therefore, it is possible to detect a change in the shape of the crown 10 by continuously measuring the heat distribution.

このように、熱分布測定装置で冠の形状から冠の大きさを検知し、これを基準とすることにより、アーク光の影響をほとんど受けずに精度よく溶解条件を制御することができる。同様に、光強度分布測定装置でも、VAR炉内の光強度分布から冠の形状および大きさを検知することができ、これを基準として溶解条件を精度よく制御することができる。   In this way, by detecting the crown size from the crown shape with the heat distribution measuring apparatus and using this as a reference, the melting conditions can be controlled with high accuracy with almost no influence of the arc light. Similarly, the light intensity distribution measuring apparatus can detect the shape and size of the crown from the light intensity distribution in the VAR furnace, and can control the melting conditions with high accuracy based on this.

さらに、本発明者らの検討の結果、炉内光強度分布から測定した冠10の一部または全部を含む領域の平均光強度、または炉内熱分布から測定した冠10の一部または全部を含む領域の平均温度からも、冠の状態を検知できることがわかった。測定領域の平均光強度または平均温度は検知装置によって算出することができる。測定領域の平均光強度または平均温度があらかじめ測定して定めた所定の基準光強度または基準温度より低下すると、冠の再溶解が不足して、冠が増大し、測定領域の平均光強度または平均温度が所定の基準温度より上昇すると、冠の再溶解が促進される。   Furthermore, as a result of the study by the present inventors, the average light intensity of a region including a part or all of the crown 10 measured from the in-furnace light intensity distribution, or a part or all of the crown 10 measured from the in-furnace heat distribution is obtained. It was found that the crown state could be detected from the average temperature of the included region. The average light intensity or average temperature of the measurement region can be calculated by the detection device. If the average light intensity or average temperature of the measurement area falls below a predetermined reference light intensity or reference temperature determined in advance, the crown will not be remelted and the crown will increase, and the average light intensity or average of the measurement area will increase. As the temperature rises above a predetermined reference temperature, crown remelting is facilitated.

そして、この測定領域の平均光強度または平均温度に基づいて、溶解条件を制御することにより、より鋳肌品質の良好なインゴットを得られることがわかった。次に、測定領域の平均温度に基づいた溶解条件の制御について説明する。   And it turned out that an ingot with more favorable casting surface quality can be obtained by controlling melt | dissolution conditions based on the average light intensity or average temperature of this measurement area | region. Next, control of dissolution conditions based on the average temperature of the measurement region will be described.

2−4.炉内の測定領域の平均温度に基づいた溶解条件の制御
溶解条件の制御に用いる測定領域の平均温度としては、採取したままの測定領域の平均温度、および採取した平均温度を移動平均した値のいずれも用いることができる。しかし、溶湯の表面は常に変動しているため、採取したままの平均温度では時間の経過に伴う変動が細かいのに対し、移動平均値ではこの変動がなだらかとなる。そのため、移動平均値の方が、冠の状態に変化が生じた場合の平均温度の変化を検知するのが容易であり、溶解条件の制御を適正なタイミングで行うのが容易である。
2-4. Control of melting conditions based on the average temperature of the measurement area in the furnace The average temperature of the measurement area used to control the dissolution conditions is the average temperature of the measurement area as it is collected, and the value obtained by moving average of the collected average temperature. Either can be used. However, since the surface of the molten metal is constantly fluctuating, the fluctuation with time elapses at the average temperature as it is collected, whereas this fluctuation is gentle at the moving average value. Therefore, it is easier for the moving average value to detect a change in average temperature when a change occurs in the crown state, and it is easier to control the dissolution conditions at an appropriate timing.

測定領域の平均温度に基づく溶解条件の制御には、上述の基準温度を、目標温度として用い、測定領域の平均温度が目標温度未満となったとき、冠が増大したことを検知し、測定領域の平均温度が今後目標温度未満となることをなることを予測したとき、冠が今後増大することを予測したこととする。   For the control of dissolution conditions based on the average temperature of the measurement area, the above-mentioned reference temperature is used as the target temperature, and when the average temperature of the measurement area falls below the target temperature, it is detected that the crown has increased, and the measurement area When it is predicted that the average temperature will be lower than the target temperature in the future, it is predicted that the crown will increase in the future.

移動平均値を用いる場合、0.1〜5秒周期で採取した、10〜1000秒の範囲の測定領域の温度を用いて算出することが好ましい。移動平均に用いる値の範囲が10秒未満では、移動平均値の変動が依然として細かく、1000秒を超えると実際の平均温度の変化を検知するのが遅くなりやすいからである。また、移動平均に用いる値の範囲は30〜300秒の範囲が好ましい。この範囲とした場合、より鋳肌品質の良好なインゴットを得ることができる。以下、VAR炉の操業時における、測定領域の平均温度に基づく溶解条件の制御について、実際に実施した一例を挙げて説明する。   When using a moving average value, it is preferable to calculate using the temperature of the measurement region in the range of 10 to 1000 seconds collected at a period of 0.1 to 5 seconds. This is because if the range of values used for the moving average is less than 10 seconds, the fluctuation of the moving average value is still fine, and if it exceeds 1000 seconds, it is likely to detect the actual average temperature change later. The range of values used for the moving average is preferably in the range of 30 to 300 seconds. In this range, an ingot with better casting surface quality can be obtained. Hereinafter, control of the melting conditions based on the average temperature of the measurement region during the operation of the VAR furnace will be described with reference to an actually implemented example.

図6は、溶解時間と測定領域の平均温度との関係を示す図である。同図には、実線で180秒の範囲で移動平均した測定領域の平均温度を示し、破線で目標温度を示した。溶解時間が経過するに従って目標温度が上昇しているのは、インゴットの成長に従って溶湯の液面および冠が熱分布測定装置に近づき、測定される平均温度が上昇するからである。平均温度の測定領域は、前記図5の破線で示した測定領域11とした。   FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the dissolution time and the average temperature in the measurement region. In the figure, the average temperature in the measurement region obtained by moving average in the range of 180 seconds is indicated by a solid line, and the target temperature is indicated by a broken line. The reason why the target temperature rises as the melting time elapses is that the liquid level and crown of the molten metal approach the heat distribution measuring device as the ingot grows, and the measured average temperature rises. The measurement area of the average temperature was the measurement area 11 indicated by the broken line in FIG.

溶解条件の制御の対象は、磁場による坩堝内の溶湯の攪拌強度とし、初期の段階での攪拌強度を100(相対値)とし、制御時の最初の変動方向は強める方向とした。以下の説明では、前記図4のフローチャートを参照する。   The object of controlling the melting conditions was the stirring strength of the molten metal in the crucible by the magnetic field, the stirring strength at the initial stage was 100 (relative value), and the first fluctuation direction at the time of control was the direction of increasing. In the following description, reference is made to the flowchart of FIG.

図6に示すように、初期の段階では、目標温度以上で次第に温度が上昇したため(ステップ#1のNO)、溶解条件を維持した(ステップ#3)。その後、測定領域の平均温度が低下し始め、時刻t1で、今後目標温度未満となることを予測、すなわち冠が増大することを予測し(ステップ#1のYES)、攪拌強度を110に強めた(ステップ#2)。この予測は、測定領域の平均温度の変化を時間で一階微分した値および二階微分した値を用いることによって行った。   As shown in FIG. 6, at the initial stage, the temperature gradually increased above the target temperature (NO in step # 1), so the dissolution conditions were maintained (step # 3). Thereafter, the average temperature in the measurement region began to decrease, and at time t1, it was predicted that the temperature would be lower than the target temperature in the future, that is, the crown was predicted to increase (YES in step # 1), and the stirring intensity was increased to 110. (Step # 2). This prediction was performed by using a value obtained by first-order differentiation and a value obtained by second-order differentiation of the change in average temperature in the measurement region.

そして、攪拌強度の変更から30秒が経過するまでに、再度、測定領域の平均温度が今後目標温度未満となることを予測したため(ステップ#4のYES)、攪拌強度を、ステップ#2で変動させる前よりも弱い80に弱めた(ステップ#5)。この時点ではVAR炉の操業を終了しないため、溶解条件の制御も終了せず(ステップ#6のNO)、温度の測定を継続した(ステップ#1)。   Then, it is predicted that the average temperature of the measurement region will be lower than the target temperature again in the future after 30 seconds have passed from the change of the stirring intensity (YES in Step # 4), and therefore the stirring intensity varies in Step # 2. It was weakened to 80, which was weaker than before (Step # 5). At this time, since the operation of the VAR furnace was not finished, the control of the melting conditions was not finished (NO in Step # 6), and the temperature measurement was continued (Step # 1).

攪拌強度を弱めた後も測定領域の平均温度は低下し続け、一旦目標温度を下回った。しかし、攪拌強度を弱めてから30秒が経過するまでに、目標温度を上回ることを予測したため(ステップ#1のNO)、溶解条件を維持したところ(ステップ#3)、時刻t2で測定領域の平均温度が上昇に転じ、再び目標温度を上回った。   Even after the stirring intensity was weakened, the average temperature in the measurement region continued to decrease and once fell below the target temperature. However, since it was predicted that the target temperature would be exceeded by 30 seconds after the stirring intensity was weakened (NO in step # 1), the dissolution condition was maintained (step # 3). The average temperature started to rise and again exceeded the target temperature.

その後しばらく目標温度以上で温度が上昇したため(ステップ#1のNO)、溶解条件を維持した(ステップ#3)。時刻t3の手前で測定領域の平均温度が低下し始め、時刻t3で目標温度未満となることを予測し(ステップ#1のYES)、攪拌強度を110に強めた(ステップ#2)。   Thereafter, the temperature rose above the target temperature for a while (NO in step # 1), so the dissolution conditions were maintained (step # 3). Before the time t3, the average temperature in the measurement region began to decrease, and it was predicted that the temperature would be lower than the target temperature at the time t3 (YES in step # 1), and the stirring intensity was increased to 110 (step # 2).

そして、攪拌強度の変更から30秒が経過するまでに、再度、測定領域の平均温度が今後目標温度未満となることを予測したため(ステップ#4のYES)、攪拌強度を80に弱めた(ステップ#5)。この時点ではVAR炉の操業を終了しないため、溶解条件の制御も終了せず(ステップ#6のNO)、温度の測定を継続した(ステップ#1)。測定領域の平均温度は、しばらく低下し続けたものの、攪拌強度の変更から30秒が経過するまでに目標温度未満とならず、また、目標温度未満となることを予測しなかった(ステップ#1のNO)。そのため、溶解条件を維持した(ステップ#3)ところ、目標温度未満となることなく時刻t4で上昇に転じた。   And, since it was predicted that the average temperature of the measurement region will be lower than the target temperature in the future until 30 seconds have passed since the change of the stirring intensity (YES in Step # 4), the stirring intensity was reduced to 80 (Step) # 5). At this time, since the operation of the VAR furnace was not finished, the control of the melting conditions was not finished (NO in Step # 6), and the temperature measurement was continued (Step # 1). Although the average temperature in the measurement region continued to decrease for a while, the temperature did not fall below the target temperature until 30 seconds had passed since the change in the stirring intensity, and it was not predicted that the temperature would fall below the target temperature (Step # 1). NO). Therefore, when the dissolution conditions were maintained (step # 3), the temperature began to increase at time t4 without becoming below the target temperature.

その後、目標温度以上が維持されていたところ、再度測定領域の平均温度が低下し始め、時刻t5で目標温度未満となることを予測した。そのため、冠が増大することを予測し(ステップ#1のYES)、攪拌強度を110に強めた(ステップ#2)。そして、攪拌強度の変更から30秒が経過するまでに目標温度未満とならず、また、目標温度未満となることを予測しなかったため(ステップ#1のNO)、溶解条件を維持した(ステップ#3)ところ、目標温度未満となることなく時刻t6で上昇に転じた。その後、目標温度以上が維持され、また、目標温度未満となることを予測しなかったため(ステップ#1のNO)、溶解条件を維持した後(ステップ#3)、VAR炉の操業を終了するとともに溶解条件の制御を終了した(ステップ#6のYES)。   After that, when the target temperature or higher was maintained, it was predicted that the average temperature in the measurement region began to decrease again and became lower than the target temperature at time t5. Therefore, it was predicted that the crown would increase (YES in Step # 1), and the stirring intensity was increased to 110 (Step # 2). And since 30 seconds passed from the change of the stirring intensity, it was not less than the target temperature, and it was not predicted that the temperature would be lower than the target temperature (NO in Step # 1), so the dissolution conditions were maintained (Step #). 3) However, it started to increase at time t6 without becoming below the target temperature. After that, since it was not predicted that the target temperature was maintained or lower than the target temperature (NO in Step # 1), the melting condition was maintained (Step # 3), and then the operation of the VAR furnace was terminated. Control of dissolution conditions was terminated (YES in step # 6).

以上説明した、測定領域の平均温度に基づいた溶解条件の制御と同様の制御は、測定領域の平均光強度に基づいても行うことができる。この場合、以上の説明において、「基準温度」および「目標温度」をそれぞれ「基準光強度」および「目標光強度」とする。   The control similar to the control of the dissolution condition based on the average temperature of the measurement region described above can also be performed based on the average light intensity of the measurement region. In this case, in the above description, “reference temperature” and “target temperature” are respectively referred to as “reference light intensity” and “target light intensity”.

本発明の真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法の効果を確認するため、以下の試験を行い、その結果を評価した。   In order to confirm the effect of the method for producing an ingot by the vacuum arc melting method of the present invention, the following tests were conducted and the results were evaluated.

1.試験条件
VAR炉は、前記図2に示すものを用いた。また、検知装置として、熱分布測定装置を用いた。製造したインゴットはチタンとし、溶解は1次溶解および2次溶解(最終溶解)の2回行った。消耗電極は、1次溶解ではスポンジチタンを押し固めたものを用い、最終溶解では1次溶解で製造したインゴットを用いた。試験条件は、表1に示す条件とした。
1. Test conditions The VAR furnace shown in FIG. 2 was used. Further, a heat distribution measuring device was used as the detection device. The manufactured ingot was made of titanium, and dissolution was performed twice: primary dissolution and secondary dissolution (final dissolution). As the consumable electrode, a sponge titanium sponge was used for primary dissolution, and an ingot manufactured by primary dissolution was used for final dissolution. The test conditions were as shown in Table 1.

Figure 0006104751
Figure 0006104751

比較例は、本発明の製造方法を適用せず、溶解条件を変動させずにインゴットを製造した。本発明例では、本発明の製造方法を適用し、炉内の測定領域の平均温度に基づいて溶解条件を制御した。測定領域は、前記図3に示す領域11とし、1秒周期で採取した測定領域の平均温度を180秒の範囲で移動平均した値を制御に用いた。   In the comparative example, the production method of the present invention was not applied, and an ingot was produced without changing the dissolution conditions. In the present invention example, the production method of the present invention was applied, and the melting conditions were controlled based on the average temperature of the measurement region in the furnace. The measurement region was the region 11 shown in FIG. 3, and a value obtained by moving and averaging the average temperature of the measurement region collected at a cycle of 1 second over a range of 180 seconds was used for control.

本発明例1〜4では、2回の溶解のうち最終溶解でのみ本発明の製造方法を適用し、本発明例5では1次溶解でのみ本発明の製造方法を適用した。最終溶解後のインゴットは、表面に生じた疵を切削により除去した。実施例6では、1次溶解および最終溶解の2回ともで本発明の製造方法を適用した。   In Invention Examples 1 to 4, the production method of the present invention was applied only in the final dissolution of the two dissolutions, and in Invention Example 5, the production method of the present invention was applied only in the primary dissolution. The ingot after the final dissolution removed wrinkles generated on the surface by cutting. In Example 6, the production method of the present invention was applied both in the primary dissolution and the final dissolution.

変動させた溶解条件は、本発明例1、5および6では磁場攪拌強度、本発明例2では攪拌反転周期、本発明例3では溶解電流、本発明例4では溶解電圧とした。   The fusing conditions varied were magnetic field stirring intensity in inventive examples 1, 5 and 6; stirring inversion period in inventive example 2, dissolving current in inventive example 3, and dissolving voltage in inventive example 4.

2.試験結果
表1には、試験条件と併せて評価を示した。評価は、表面を切削した後のインゴットの重量と、スポンジチタンを押し固めた消耗電極の重量から算出した歩留りおよびその偏差とし、比較例の歩留りおよびその偏差を100とした相対値で記載した。歩留りの偏差は、小さいほどインゴット毎の歩留りのバラツキが小さく、品質管理上望ましい。
2. Test results Table 1 shows the evaluation together with the test conditions. The evaluation was described as a relative value with the yield of the comparative example and the deviation calculated from the weight of the ingot after cutting the surface and the weight of the consumable electrode in which sponge titanium was pressed and its deviation as 100. The smaller the deviation in yield, the smaller the variation in yield for each ingot, which is desirable for quality control.

表1に示すように、実施例1〜6はいずれも比較例よりも鋳肌品質が良好であったため、歩留りが良好であるとともに歩留りの偏差が小さかった。また、1次溶解でのみ本発明の製造方法を適用した本発明例5よりも、最終溶解でのみ適用した本発明例1〜4の方が歩留りが良好であり、歩留りの偏差が小さかった。また、1次溶解および最終溶解で適用した本発明例6が歩留りが最も良好であり、歩留りの偏差が最も小さかった。   As shown in Table 1, each of Examples 1 to 6 had better casting surface quality than the comparative example, so that the yield was good and the deviation in yield was small. In addition, the inventive examples 1 to 4 applied only in the final dissolution had a better yield and the yield deviation was smaller than the inventive example 5 in which the production method of the present invention was applied only in the primary dissolution. In addition, Example 6 of the present invention applied in the primary dissolution and final dissolution had the best yield, and the yield deviation was the smallest.

実施例1〜4から、溶解条件の制御による鋳肌品質の向上効果は、溶解電流が最も高く、次いで溶解電圧、磁場攪拌強度、磁場攪拌周期の順に高かったことがわかる。   From Examples 1 to 4, it can be seen that the effect of improving the casting surface quality by controlling the melting conditions was the highest in the melting current, and then in the order of the melting voltage, the magnetic field stirring intensity, and the magnetic field stirring cycle.

本発明の真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法によれば、鋳肌品質が良好なインゴットを安定して得ることが可能である。したがって、本発明は、真空アーク溶解法を用いたインゴットの生産の分野において有用な技術である。 According to the method for producing an ingot by the vacuum arc melting method of the present invention, it is possible to stably obtain an ingot having good casting surface quality . Therefore the present invention is a useful technique in the field of ingot production using a vacuum arc melting method.

1:坩堝、 2:チャンバー、 3:スタブ、 4:消耗電極、 5:昇降装置、
6:排気口、 7:検知装置、 8:インゴット、 9:溶湯、 10:冠、
11:検知領域
1: crucible, 2: chamber, 3: stub, 4: consumable electrode, 5: lifting device,
6: exhaust port, 7: detection device, 8: ingot, 9: molten metal, 10: crown,
11: Detection area

Claims (6)

真空アーク溶解炉を用いて消耗電極をアークにより溶解し、坩堝に滴下する金属を凝固させてインゴットを製造する真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法であって、
前記真空アーク溶解炉が、前記坩堝の内面に前記アークにより溶解した金属が飛散して形成された堆積物を検知する堆積物検知装置を備え、
インゴットの製造中に、前記堆積物検知装置によって前記坩堝の内面における前記堆積物が増大したことを検知したとき、または今後増大することを予測したときには、消耗電極の溶解条件を一方向に変動させ、
前記溶解条件を変動させた後、前記堆積物が増大したことを検知した場合、または今後増大することを予測した場合には、前記溶解条件を前記一方向に変動させる前の条件から逆方向に変動させ、
前記溶解条件を変動させた後、前記堆積物が増大したことを検知せず、かつ今後増大することを予測しなかった場合には、前記溶解条件を保持する制御を行い、
これらの溶解条件の制御を繰り返し、
変動させる前記消耗電極の溶解条件が、坩堝に滴下した金属の磁場による攪拌の強度、前記磁場による攪拌の方向の反転周期、アーク溶解を行う際の電流の大きさ、およびアーク溶解を行う際の電圧の大きさのうち、1または2以上であり、
前記一方向が、前記攪拌の強度を強くすることおよび弱くすることの一方、前記反転周期を長くすることおよび短くすることの一方、前記電流の大きさを大きくすることおよび小さくすることの一方、ならびに前記電圧の大きさを大きくすることおよび小さくすることの一方であることを特徴とする真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法。
A method for producing an ingot by a vacuum arc melting method in which a consumable electrode is melted by an arc using a vacuum arc melting furnace, and a metal dropped into a crucible is solidified to produce an ingot,
The vacuum arc melting furnace includes a deposit detection device that detects deposits formed by scattering metal melted by the arc on the inner surface of the crucible,
When an increase in the deposit on the inner surface of the crucible is detected or predicted to increase in the future by the deposit detector during manufacturing of an ingot, the melting condition of the consumable electrode is changed in one direction. ,
When it is detected that the deposit has increased after the dissolution condition is changed, or when it is predicted that the deposit will increase in the future, the dissolution condition is changed in the reverse direction from the condition before the change in the one direction. Fluctuate,
After changing the dissolution conditions, if it does not detect that the deposit has increased, and did not expect to increase in the future, control to maintain the dissolution conditions,
Just repeat control of these dissolution conditions,
The conditions for melting the consumable electrode to be varied are the strength of stirring by the magnetic field of the metal dropped on the crucible, the inversion period of the direction of stirring by the magnetic field, the magnitude of the current when performing arc melting, and the time when performing arc melting. 1 or 2 or more of the magnitudes of the voltage,
The one direction is one of increasing and decreasing the intensity of the stirring, one of increasing and decreasing the reversal period, one of increasing and decreasing the magnitude of the current, And a method for producing an ingot by a vacuum arc melting method, wherein the voltage is one of increasing and decreasing the magnitude of the voltage .
前記堆積物検知装置が、0.7〜2.5μmの波長の光を用いて前記真空アーク溶解炉内の光強度分布または熱分布を観測する装置であることを特徴とする請求項1に記載の真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法。   The said deposit detection apparatus is an apparatus which observes the light intensity distribution or heat distribution in the said vacuum arc melting furnace using the light of a wavelength of 0.7-2.5 micrometers. Ingot manufacturing method by vacuum arc melting method. 前記堆積物検知装置を用いて観測した光強度分布または熱分布から前記堆積物の大きさを検知することを特徴とする請求項2に記載の真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法。   The method of manufacturing an ingot by the vacuum arc melting method according to claim 2, wherein the size of the deposit is detected from a light intensity distribution or a heat distribution observed using the deposit detector. 前記堆積物検知装置を用いて観測した光強度分布または熱分布から、前記堆積物の全部または一部を含む領域の平均光強度または平均温度を測定し、
測定した平均光強度または平均温度があらかじめ定めた値未満となったとき、前記堆積物が増大したことを検知したこととし、
前記測定した平均光強度または平均温度が今後前記あらかじめ定めた値未満となることを予測したとき、前記堆積物が今後増大することを予測したこととすることを特徴とする請求項2に記載の真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法。
From the light intensity distribution or heat distribution observed using the deposit detector, the average light intensity or average temperature of the region including all or part of the deposit is measured,
When the measured average light intensity or average temperature is less than a predetermined value, it is detected that the deposit has increased,
3. The deposit according to claim 2, wherein the deposit is predicted to increase in the future when the measured average light intensity or average temperature is predicted to be less than the predetermined value in the future. Ingot manufacturing method by vacuum arc melting method.
前記堆積物検知装置を用いて観測した光強度分布または熱分布から、前記堆積物の全部または一部を含む領域の平均光強度または平均温度を測定し、前記平均光強度または平均温度を0.1〜5秒周期で測定し、10〜1000秒間の前記平均光強度または平均温度について移動平均値を算出し、
前記移動平均値があらかじめ定めた値未満となったとき、前記堆積物が増大したことを検知したこととし、
前記移動平均値が今後前記あらかじめ定めた値未満となることを予測したとき、前記堆積物が今後増大することを予測したこととすることを特徴とする請求項2に記載の真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法。
From the light intensity distribution or heat distribution observed using the deposit detector, the average light intensity or average temperature of the region including all or part of the deposit is measured, and the average light intensity or average temperature is set to 0. 0. Measured at a period of 1 to 5 seconds, and calculated a moving average value for the average light intensity or average temperature for 10 to 1000 seconds,
When the moving average value is less than a predetermined value, it is detected that the deposit has increased,
The vacuum arc melting method according to claim 2, wherein when the moving average value is predicted to be less than the predetermined value in the future, the deposit is predicted to increase in the future. Ingot manufacturing method.
前記金属がチタンまたはチタン合金であることを特徴とする請求項1〜のいずれかに記載の真空アーク溶解法によるインゴットの製造方法。 The method for producing an ingot by a vacuum arc melting method according to any one of claims 1 to 5 , wherein the metal is titanium or a titanium alloy.
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