JP6107355B2 - Adhesive bonding method and bonding apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、接着剤による接着方法及び接着装置に関するものである。 The present invention relates to a bonding method and a bonding apparatus using an adhesive.
光ディスクの記録再生を行うための光学ドライブにおける光ピックアップ、光通信モジュール等の光学装置を作製する際には、微細な光学部品等を接着剤により接着することにより作製する場合がある。このような、光学部品等を接続する接着剤としては、熱により硬化する熱硬化樹脂を用いたもの、紫外線や可視光を照射することにより硬化する紫外硬化樹脂を用いたもの等がある。 When manufacturing an optical device such as an optical pickup or an optical communication module in an optical drive for recording / reproducing an optical disk, it may be manufactured by adhering fine optical components with an adhesive. Examples of such an adhesive for connecting optical components include those using a thermosetting resin that is cured by heat, and those using an ultraviolet curable resin that is cured by irradiating ultraviolet rays or visible light.
ところで、光学装置等においては、小型化や高精細化が求められており、光学部品等を接着する際には、過不足なく接着剤を供給し接着することが求められている。例えば、図1に示すように、第1の光学部品911と、第2の光学部品912とを接着剤920を用いて接着する場合について考える。 By the way, miniaturization and high definition are demanded in optical devices and the like, and when adhering optical components and the like, it is required to supply and adhere an adhesive without excess or deficiency. For example, consider a case where a first optical component 911 and a second optical component 912 are bonded using an adhesive 920 as shown in FIG.
この場合、図1(a)に示されるように、接着剤920の供給量が多すぎると、図1(b)に示されるように、第2の光学部品912の周囲に接着剤920が広がってしまうため、この接着剤の広がり分920aを考慮して設計や製造等をする必要がある。即ち、接着される第2の光学部品912に比べて、接着剤の広がり分920aの幅L1が極めて広くなるため、接着剤の広がり分920aを考慮して設計や製造等する必要がある。よって、小型化や高精細化の要求を十分満たすことができない。また、接着剤920が過剰に供給された場合、接着の際に生じる硬化収縮の影響により、第1の光学部品911と第2の光学部品912との接合位置が、所望の位置よりずれてしまい、所望の機能や特性等を得ることができない場合がある。一方、接着剤920の供給量が少なすぎると、第1の光学部品911と第2の光学部品912との接着が不完全となってしまい、信頼性の低下等を招いてしまう。尚、図1(a)及び図1(b)においては、上の図が上面図、下の図が側面図である。 In this case, as shown in FIG. 1A, when the supply amount of the adhesive 920 is too large, the adhesive 920 spreads around the second optical component 912 as shown in FIG. Therefore, it is necessary to design, manufacture, etc. in consideration of the spread 920a of the adhesive. That is, compared to the second optical component 912 to be bonded, the width L 1 of the spread component 920a of the adhesive is very wide, it is necessary to like design and manufacture in consideration of the spread component 920a of the adhesive. Therefore, the demand for miniaturization and high definition cannot be satisfied sufficiently. In addition, when the adhesive 920 is excessively supplied, the bonding position between the first optical component 911 and the second optical component 912 is deviated from a desired position due to the effect of curing shrinkage that occurs during bonding. In some cases, desired functions and characteristics cannot be obtained. On the other hand, if the supply amount of the adhesive 920 is too small, the bonding between the first optical component 911 and the second optical component 912 becomes incomplete, leading to a decrease in reliability. In FIGS. 1A and 1B, the upper diagram is a top view and the lower diagram is a side view.
このため、図2(a)に示されるように、接着剤920の供給量が適正な量となるように供給することができれば、図2(b)に示されるように、接着剤の広がり分920bの幅L2を第2の光学部品912の幅よりも若干広い程度に抑えることができる。このように、接着剤920の供給量を適正に供給することができれば、小型化や高精細化の要求を満たすことができる。尚、図2(a)及び図2(b)においては、上の図が上面図、下の図が側面図である。 For this reason, as shown in FIG. 2 (a), if the supply amount of the adhesive 920 can be supplied to an appropriate amount, the spread of the adhesive as shown in FIG. 2 (b). it is possible to suppress the width L 2 of 920b to the extent slightly wider than the width of the second optical component 912. As described above, if the supply amount of the adhesive 920 can be appropriately supplied, the demand for downsizing and high definition can be satisfied. In FIGS. 2A and 2B, the upper diagram is a top view and the lower diagram is a side view.
ところで、微小な供給量の接着剤を安定的に供給するためには、低価格なエアー式ディスペンサ等の供給装置では、所望の供給量の接着剤を安定的に供給することができないため、極めて高価な供給装置、例えば、ガラス製マイクロシリンジ等があるが、シリンジ内に残存した接着剤が、硬化によって不具合が生じて易く、消耗品的な扱いとなっていることが問題である。 By the way, in order to stably supply a minute supply amount of adhesive, a low-priced supply device such as an air dispenser cannot stably supply a desired supply amount of adhesive. There is an expensive supply device, for example, a glass microsyringe, but the problem is that the adhesive remaining in the syringe is prone to problems due to curing and is treated as a consumable.
よって、低価格なエアー式ディスペンサ等の供給装置を用いた場合においても、微小量の接着剤を安定的に供給することができ、接着剤により接着した際に、接着剤の広がりの少ない、接着方法が求められている。 Therefore, even when using a low-priced supply device such as an air-type dispenser, a small amount of adhesive can be stably supplied, and when bonded with an adhesive, the adhesive spreads little. There is a need for a method.
本実施の形態の一観点によれば、接着剤により第1の部品と第2の部品とを接着する接着方法において、テーブルの上面に接着剤を供給する接着剤供給工程と、前記テーブルの上面における前記接着剤に、前記第2の部品を接触させる接触工程と、前記接触工程の後、前記第2の部品を前記テーブルより離し、前記第2の部品に接着剤を付着させる付着工程と、前記テーブルの上面における接着剤を撮像部により撮像する撮像工程と、前記撮像部により撮像された前記テーブルの上面における接着剤の画像より、前記接着剤の量を算出する算出工程と、前記算出工程を行った後、前記第2の部品に付着している接着剤により、前記第1の部品と前記第2の部品とを接着する接着工程と、を有し、前記撮像工程及び前記算出工程は、前記接着剤供給工程と前記接触工程との間に行われるものであって、前記算出工程において、接着剤の量W 1 が算出され、前記接触工程において、前記テーブルと前記第2の部品との隙間の間隔より、接着剤の量W 2 を算出する工程を含み、W 1 −W 2 の値が所定の範囲内である場合には、前記接着工程を行うことを特徴とする。
また、本実施の形態の他の一観点によれば、接着剤により第1の部品と第2の部品とを接着する接着方法において、テーブルの上面に接着剤を供給する接着剤供給工程と、前記テーブルの上面における前記接着剤に、前記第2の部品を接触させる接触工程と、前記接触工程の後、前記第2の部品を前記テーブルより離し、前記第2の部品に接着剤を付着させる付着工程と、前記テーブルの上面における接着剤を撮像部により撮像する撮像工程と、前記撮像部により撮像された前記テーブルの上面における接着剤の画像より、前記接着剤の量を算出する算出工程と、前記算出工程を行った後、前記第2の部品に付着している接着剤により、前記第1の部品と前記第2の部品とを接着する接着工程と、を有し、前記撮像工程及び前記算出工程は、前記付着工程と前記接着工程との間に行われるものであって、前記算出工程において、接着剤の量W 2 が算出され、前記接着剤供給工程において、前記テーブルの上面に供給される前記接着剤の量W 1 は、予め測定または算出されており、W 1 −W 2 の値が所定の範囲内である場合には、前記接着工程を行うことを特徴とする。
また、本実施の形態の他の一観点によれば、接着剤により第1の部品と第2の部品とを接着する接着方法において、テーブルの上面に接着剤を供給する接着剤供給工程と、前記テーブルの上面における前記接着剤に、前記第2の部品を接触させる接触工程と、前記接触工程の後、前記第2の部品を前記テーブルより離し、前記第2の部品に接着剤を付着させる付着工程と、前記テーブルの上面における接着剤を撮像部により撮像する撮像工程と、前記撮像部により撮像された前記テーブルの上面における接着剤の画像より、前記接着剤の量を算出する算出工程と、前記算出工程を行った後、前記第2の部品に付着している接着剤により、前記第1の部品と前記第2の部品とを接着する接着工程と、を有し、前記撮像工程は第1の撮像工程であり、更に第2の撮像工程を含むものであり、前記算出工程は第1の算出工程であり、更に第2の算出工程を含むものであって、前記第1の撮像工程及び前記第1の算出工程は、前記接着剤供給工程と前記接触工程との間に行われるものであって、前記第1の算出工程は、前記第1の撮像工程の後に行われ、前記第1の算出工程において、接着剤の量W 1 が算出され、前記第2の撮像工程及び前記第2の算出工程は、前記付着工程と前記接着工程との間に行われるものであって、前記第2の算出工程は、前記第2の撮像工程の後に行われ、前記第2の算出工程において、接着剤の量W 2 が算出され、W 1 −W 2 の値が所定の範囲内である場合に、前記接着工程を行うことを特徴とする。
According to one aspect of the present embodiment, in the bonding method of bonding the first component and the second component with an adhesive, an adhesive supply step of supplying an adhesive to the upper surface of the table, and the upper surface of the table A contact step of bringing the second component into contact with the adhesive in step, and an attachment step of separating the second component from the table after the contact step and attaching the adhesive to the second component; An imaging step of imaging the adhesive on the upper surface of the table by an imaging unit, a calculation step of calculating the amount of the adhesive from an image of the adhesive imaged on the upper surface of the table taken by the imaging unit, and the calculation step after, the adhesive adhering to the second part, have a, a bonding step of bonding the said first component second component, said imaging process and the calculating process The adhesive Be those performed between the contacting step and the feeding step, in the calculation step, the amount of adhesive W 1 is calculated, in the contacting step, the interval of the gap between the said table second component more includes the step of calculating the amount W 2 of the adhesive, when the value of W 1 -W 2 is within a predetermined range, and performs the bonding process.
Further, according to another aspect of the present embodiment, in the bonding method of bonding the first component and the second component with an adhesive, an adhesive supply step of supplying an adhesive to the upper surface of the table; A contact step of bringing the second component into contact with the adhesive on the upper surface of the table, and after the contact step, the second component is separated from the table and the adhesive is attached to the second component. An attaching step, an imaging step of imaging an adhesive on the upper surface of the table by an imaging unit, and a calculating step of calculating an amount of the adhesive from an image of the adhesive on the upper surface of the table imaged by the imaging unit; A bonding step of bonding the first component and the second component with an adhesive adhered to the second component after performing the calculation step, and the imaging step and The calculation step includes Be those performed during the serial deposition step and said bonding step, in the calculation step, the calculated amount W 2 of the adhesive in the adhesive supplying step, the adhesive supplied to the upper surface of the table The amount W 1 of the agent is measured or calculated in advance, and the bonding step is performed when the value of W 1 -W 2 is within a predetermined range.
Further, according to another aspect of the present embodiment, in the bonding method of bonding the first component and the second component with an adhesive, an adhesive supply step of supplying an adhesive to the upper surface of the table; A contact step of bringing the second component into contact with the adhesive on the upper surface of the table, and after the contact step, the second component is separated from the table and the adhesive is attached to the second component. An attaching step, an imaging step of imaging an adhesive on the upper surface of the table by an imaging unit, and a calculating step of calculating an amount of the adhesive from an image of the adhesive on the upper surface of the table imaged by the imaging unit; A bonding step of bonding the first component and the second component with an adhesive attached to the second component after performing the calculation step, and the imaging step In the first imaging process Furthermore, a second imaging step is included, the calculation step is a first calculation step, and further includes a second calculation step, the first imaging step and the first calculation step. The step is performed between the adhesive supply step and the contact step, and the first calculation step is performed after the first imaging step, and in the first calculation step, the amount of the adhesive W 1 is calculated, the second imaging step and the second calculation step, there is carried out between the deposition step and the bonding step, the second calculation step The bonding step is performed after the second imaging step, and when the amount of adhesive W 2 is calculated in the second calculation step and the value of W 1 -W 2 is within a predetermined range. It is characterized by performing.
また、本実施の形態の他の一観点によれば、接着剤により第1の部品と第2の部品とを接着する接着方法において、テーブルの上面に接着剤を供給する接着剤供給工程と、前記テーブルの上面における前記接着剤に、前記第2の部品を接触させ、前記テーブルと前記第2の部品との隙間が所定の間隔となるまで、前記第2の部品を降下させることにより接近させる接触工程と、前記テーブルと前記第2の部品との隙間が所定の間隔となった後は、前記第2の部品を上昇させ、前記第2の部品を前記テーブルより離すことにより、前記第2の部品に接着剤を付着させる付着工程と、前記第2の部品に付着している接着剤により、前記第1の部品と前記第2の部品とを接着する接着工程と、を有する。 Further, according to another aspect of the present embodiment, in the bonding method of bonding the first component and the second component with an adhesive, an adhesive supply step of supplying an adhesive to the upper surface of the table; The second component is brought into contact with the adhesive on the upper surface of the table, and the second component is lowered by lowering until the gap between the table and the second component reaches a predetermined distance. After the contact step and the gap between the table and the second part has reached a predetermined distance, the second part is raised and the second part is separated from the table, thereby the second part. An adhering step for adhering an adhesive to the component, and an adhering step for adhering the first component and the second component with the adhesive adhering to the second component.
また、本実施の形態の他の一観点によれば、接着剤により第1の部品と第2の部品とを接着する接着装置において、前記接着剤が供給される上面を有するテーブルと、前記テーブルの上面に前記接着剤を供給する接着剤供給部と、前記テーブルの上面に供給された接着剤を撮像する撮像部と、前記撮像部において撮像された画像に基づき接着剤の量を算出する演算部と、前記第2の部品を搬送するものであって、前記テーブルの上面に供給された接着剤に前記第2の部品を接触させることにより前記第2の部品に接着剤を付着させ、前記第1の部品の上に前記第2の部品を載置する移動機構部と、前記接着剤を硬化させる光を照射する光源と、を有し、前記接着剤の量の算出は、前記テーブルの上面における接着剤に前記第2の部品を接触させる前と、前記接触させた後に前記テーブルと前記第2の部品とを離した後に行うものであって、前記第2の部品を接触させる前における接着剤の量と、前記接触させた後に前記テーブルと前記第2の部品とを離した後における接着剤の量との差が、所定の範囲内である場合には、前記第1の部品と前記第2の部品との接着を行う制御する制御部を有することを特徴とする。
According to another aspect of the present embodiment, in a bonding apparatus that bonds the first component and the second component with an adhesive, a table having an upper surface to which the adhesive is supplied, and the table An adhesive supply unit that supplies the adhesive to the upper surface of the table, an imaging unit that images the adhesive supplied to the upper surface of the table, and an operation that calculates the amount of adhesive based on the image captured by the imaging unit And the second component, and the adhesive is attached to the second component by bringing the second component into contact with the adhesive supplied to the upper surface of the table, a moving mechanism for placing the second component on the first component, have a, a light source for irradiating light to cure the adhesive, the calculation of the amount of the adhesive, the table Contact the second part to the adhesive on the top surface And after separating the table and the second part, the amount of adhesive before contacting the second part, and after contacting When the difference between the amount of adhesive after separating the table and the second part is within a predetermined range, control is performed to bond the first part and the second part. characterized in that it have a control unit.
開示の接着剤による接着方法においては、低コストで、微小量の接着剤を安定的に供給することができ、接着剤の広がりの少ない接着を行うことができる。 In the bonding method using the disclosed adhesive, a small amount of adhesive can be stably supplied at low cost, and bonding with a small spread of the adhesive can be performed.
実施するための形態について、以下に説明する。尚、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。 The form for implementing is demonstrated below. In addition, about the same member etc., the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.
(接着装置)
最初に、本実施の形態における接着剤による接着方法に用いられる接着装置について説明する。本実施の形態における接着装置は、図3に示すように、第1の光学部品10と第2の光学部品20とを接着剤により接着するための装置である。本実施の形態において用いられる接着剤は、紫外線等の光を照射することにより硬化させて接着させることのできる紫外線硬化型接着剤である。
(Adhesive device)
First, the bonding apparatus used in the bonding method using the adhesive in the present embodiment will be described. As shown in FIG. 3, the bonding apparatus in the present embodiment is an apparatus for bonding the first optical component 10 and the second optical component 20 with an adhesive. The adhesive used in this embodiment is an ultraviolet curable adhesive that can be cured and adhered by irradiation with light such as ultraviolet rays.
本実施の形態における接着装置は、ステージ110、テーブル120、接着剤供給部130、第1の撮像部140、第2の撮像部150、移動機構部160、光源部170、制御部180等を有している。第1の光学部品10及びテーブル120はステージ110の上に設置されている。テーブル120は、金属または相当品等の材料により一例として略台形状に形成されており、上部には略平坦な平坦部120aが形成されている。不図示の接着剤は、最初に、テーブル120の平坦部120aの上に供給される。 The bonding apparatus in the present embodiment includes a stage 110, a table 120, an adhesive supply unit 130, a first imaging unit 140, a second imaging unit 150, a moving mechanism unit 160, a light source unit 170, a control unit 180, and the like. doing. The first optical component 10 and the table 120 are installed on the stage 110. The table 120 is formed in a substantially trapezoidal shape as an example by a material such as metal or an equivalent product, and a substantially flat flat portion 120a is formed on the upper portion. The adhesive (not shown) is first supplied onto the flat portion 120a of the table 120.
接着剤供給部130は、例えば、空圧により接着剤を供給するエアー式ディスペンサ等の低価格な供給装置により形成されている。第1の撮像部140は、テーブル120及び第2の光学部品20等を上部より観察するためのものであり、不図示の移動機構により移動可能な状態で設置されている。第1の撮像部140は、LED(Light Emitting Diode)照明141と、CCD(Charge Coupled Device)等の撮像素子142を有している。第1の撮像部140では、LED照明141により光を照射し、照射された光の反射光を撮像素子142により撮像することができる。第2の撮像部150は、テーブル120と第2の光学部品20との隙間を撮像し観察するためのものであり、不図示のLED照明やCCD等の撮像素子を含んでいてもよく、テーブル120の横方向の位置に設置されている。 The adhesive supply unit 130 is formed by a low-priced supply device such as an air-type dispenser that supplies an adhesive by air pressure, for example. The first imaging unit 140 is for observing the table 120, the second optical component 20, and the like from above, and is installed in a movable state by a moving mechanism (not shown). The first imaging unit 140 includes an LED (Light Emitting Diode) illumination 141 and an imaging element 142 such as a CCD (Charge Coupled Device). In the first imaging unit 140, light can be emitted from the LED illumination 141, and reflected light of the emitted light can be imaged by the imaging element 142. The second imaging unit 150 is for imaging and observing the gap between the table 120 and the second optical component 20, and may include an imaging element such as LED illumination or CCD (not shown). It is installed at 120 lateral positions.
移動機構部160は、第2の光学部品20を上下方向及び横方向に移動させるものである。光源部170は、接着剤を硬化させるために光を照射するものであり、例えば、紫外線等を照射する光源である。制御部180は、接着装置全体の制御等を行うものであり、演算部181等を有している。演算部181は、様々な演算を行うものであり、不図示の記憶部等を有していてもよい。 The moving mechanism unit 160 moves the second optical component 20 in the vertical direction and the horizontal direction. The light source unit 170 emits light to cure the adhesive, and is, for example, a light source that emits ultraviolet rays or the like. The control unit 180 controls the entire bonding apparatus and includes a calculation unit 181 and the like. The calculation unit 181 performs various calculations and may include a storage unit (not shown).
(接着剤による接着方法)
本実施の形態における接着剤による接着方法について、図4に示すフローチャートと、図5から図12に示す接着方法の工程図と、図13から図15に示す説明図及び写真に基づき説明する。尚、本実施の形態における接着方法の制御は、制御部180等において行われる。
(Adhesion method with adhesive)
The bonding method using the adhesive in the present embodiment will be described based on the flowchart shown in FIG. 4, the process diagrams of the bonding method shown in FIGS. 5 to 12, and the explanatory diagrams and photographs shown in FIGS. 13 to 15. Note that the control of the bonding method in the present embodiment is performed by the control unit 180 or the like.
最初に、ステップ102(S102)において、テーブル120の上面120aを第1の撮像部140により撮像する。具体的には、図5に示すように、第1の撮像部140をテーブル120の上面120aの上方まで移動させた後、第1の撮像部140によりテーブル120の上面120aを撮像する。尚、第1の撮像部140の移動は、不図示の移動機構によりなされる。この撮像は、第1の撮像部140におけるLED照明141によりテーブル120の上面120aに照射された光の反射光による画像を撮像素子142により撮像することにより行われる。 First, in step 102 (S102), the upper surface 120a of the table 120 is imaged by the first imaging unit 140. Specifically, as shown in FIG. 5, the first imaging unit 140 is moved to above the upper surface 120 a of the table 120, and then the upper surface 120 a of the table 120 is imaged by the first imaging unit 140. The first imaging unit 140 is moved by a moving mechanism (not shown). This imaging is performed by the imaging device 142 capturing an image of the reflected light of the light irradiated on the upper surface 120a of the table 120 by the LED illumination 141 in the first imaging unit 140.
次に、ステップ104(S104)において、ステップ102において、第1の撮像部140により撮像されたテーブル120の上面120aの画像に基づき、テーブル120の上面120aに接着剤があるか否かが判断される。テーブル120の上面120aに接着剤がある場合には、ステップ106に移行する。テーブル120の上面120aに接着剤がない場合には、ステップ108に移行する。尚、テーブル120の上面120aに接着剤がない場合とは、図13(a)に示されるように、テーブル120の上面120aの上に接着剤30が存在していない状態である。図13(b)は、この状態におけるテーブル120の上面120aを第1の撮像部140により撮像した写真である。 Next, in step 104 (S104), based on the image of the upper surface 120a of the table 120 captured by the first imaging unit 140 in step 102, it is determined whether or not there is an adhesive on the upper surface 120a of the table 120. The If there is an adhesive on the upper surface 120 a of the table 120, the process proceeds to step 106. If there is no adhesive on the upper surface 120 a of the table 120, the process proceeds to step 108. The case where there is no adhesive on the upper surface 120a of the table 120 is a state where the adhesive 30 does not exist on the upper surface 120a of the table 120, as shown in FIG. FIG. 13B is a photograph in which the upper surface 120a of the table 120 in this state is captured by the first imaging unit 140.
次に、ステップ106(S106)において、テーブル120の上面120aに付着している不図示の接着剤を除去する。この後、ステップ102に移行する。 Next, in step 106 (S106), the adhesive (not shown) adhering to the upper surface 120a of the table 120 is removed. Thereafter, the process proceeds to step 102.
次に、ステップ108(S108)において、接着剤供給部130によりテーブル120の上面120aに接着剤30を供給する。具体的には、図6に示すように、第1の撮像部140をテーブル120の上方から移動させ、エアー式ディスペンサ等の接着剤供給部130をテーブル120の上面120aの上方まで移動させる。尚、第1の撮像部140及び接着剤供給部130の移動は、不図示の移動機構によりなされる。この後、接着剤供給部130により、テーブル120の上面120aに接着剤30を供給する。これにより、図7に示すように、接着剤供給部130より供給された接着剤30は、所定量の接着剤30が、テーブル120の上面120aに残り、余分な接着剤30は、テーブル120の上面120aより流れ落ち、テーブル120の下部に溜まる。このようにして、テーブル120の上面120aにおける接着剤の量を略一定量にすることができる。尚、本実施の形態においては、用いた接着剤30の粘度は1500cp以下である。また、この工程における接着剤30の量は、予め測定しておくことも可能であり、接着剤30の粘度、表面張力、重力の値から算出することも可能である。また、ステージ110またはテーブル120には、テーブル120の上面120aより流れ落ちた余分な接着剤30が溜まる不図示の接着剤溜り部が設けられていてもよい。 Next, in step 108 (S108), the adhesive 30 is supplied to the upper surface 120a of the table 120 by the adhesive supply unit 130. Specifically, as shown in FIG. 6, the first imaging unit 140 is moved from above the table 120, and the adhesive supply unit 130 such as an air dispenser is moved above the upper surface 120 a of the table 120. The first imaging unit 140 and the adhesive supply unit 130 are moved by a moving mechanism (not shown). Thereafter, the adhesive 30 is supplied to the upper surface 120 a of the table 120 by the adhesive supply unit 130. As a result, as shown in FIG. 7, the adhesive 30 supplied from the adhesive supply unit 130 has a predetermined amount of the adhesive 30 remaining on the upper surface 120 a of the table 120, and the excess adhesive 30 is removed from the table 120. It flows down from the upper surface 120a and collects in the lower part of the table 120. In this way, the amount of adhesive on the upper surface 120a of the table 120 can be made substantially constant. In the present embodiment, the viscosity of the adhesive 30 used is 1500 cp or less. In addition, the amount of the adhesive 30 in this step can be measured in advance, and can be calculated from the viscosity, surface tension, and gravity values of the adhesive 30. Further, the stage 110 or the table 120 may be provided with an adhesive reservoir (not shown) in which excess adhesive 30 that has flowed down from the upper surface 120a of the table 120 is accumulated.
次に、ステップ110(S110)において、テーブル120の上面120aを第1の撮像部140により撮像する。具体的には、図8に示すように、接着剤供給部130をテーブル120の上方より移動させ、第1の撮像部140をテーブル120の上面120aの上方まで移動させた後、第1の撮像部140によりテーブル120の上面120aを撮像する。尚、第1の撮像部140及び接着剤供給部130の移動は、不図示の移動機構によりなされる。これにより、第1の撮像部140によりテーブル120の上面120aにおける接着剤30に照射され画像を撮像する。この際、テーブル120の上面120aにおける接着剤30において、ほぼ中央部に他の領域よりも明るいハイライト部が観察される。このハイライト部は、第1の撮像部140におけるLED照明141により照射された光のうち、接着剤30の表面において正反射された光が、撮像素子142に入射することにより撮像されるものであり、他の接着剤領域よりも光量が強いため明るく観察される。この工程においては、図14(a)に示されるように、テーブル120の上面120aの上に接着剤30が供給されており、図14(b)は、この工程におけるテーブル120の上面120aの状態を第1の撮像部140により撮像した写真である。この工程においては、図14(b)に示されるようなハイライト部H1を確認することができる。本実施の形態においては、ステップ110における工程を第1の撮像工程と記載する場合がある。 Next, in step 110 (S110), the upper surface 120a of the table 120 is imaged by the first imaging unit 140. Specifically, as shown in FIG. 8, after the adhesive supply unit 130 is moved from above the table 120 and the first imaging unit 140 is moved to above the upper surface 120 a of the table 120, the first imaging is performed. The upper surface 120a of the table 120 is imaged by the unit 140. The first imaging unit 140 and the adhesive supply unit 130 are moved by a moving mechanism (not shown). Accordingly, the first imaging unit 140 irradiates the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120 to capture an image. At this time, in the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120, a highlight portion that is brighter than the other regions is observed at substantially the center. This highlight part is imaged when light regularly reflected on the surface of the adhesive 30 out of the light irradiated by the LED illumination 141 in the first imaging part 140 enters the imaging element 142. Yes, the amount of light is stronger than that of other adhesive regions, so it is observed brightly. In this step, as shown in FIG. 14A, the adhesive 30 is supplied on the upper surface 120a of the table 120, and FIG. 14B shows the state of the upper surface 120a of the table 120 in this step. Is a photograph taken by the first imaging unit 140. In this process, it is possible to confirm the highlighted portion H 1 as shown in FIG. 14 (b). In the present embodiment, the process in step 110 may be described as a first imaging process.
次に、ステップ112(S112)において、テーブル120の上面120aにおける接着剤30の量W1を算出する。具体的には、ステップ110において撮像部140により撮像されたハイライト部H1の面積より、接着剤30の量W1を算出する。この工程は、制御部180における演算部181等において行われる。尚、予めテーブル120の上面120aにおける接着剤30のハイライト部の面積と、接着剤30の量との関係を測定しておき、この関係を演算部181の内部等における不図示の記憶部に記憶させておいてもよい。この場合、演算部181の内部等に記憶されている接着剤30のハイライト部の面積と、接着剤30の量との関係より、第1の撮像部140により確認された接着剤30のハイライト部H1の面積に基づき、対応する接着剤30の量W1を算出等することができる。本実施の形態においては、ステップ112における工程を第1の算出工程と記載する場合がある。 Next, In step 112 (S112), calculates the amount W 1 of the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120. Specifically, the amount W 1 of the adhesive 30 is calculated from the area of the highlight portion H 1 imaged by the imaging unit 140 in step 110. This step is performed in the calculation unit 181 and the like in the control unit 180. Note that the relationship between the area of the highlight portion of the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120 and the amount of the adhesive 30 is measured in advance, and this relationship is stored in a storage unit (not shown) in the arithmetic unit 181 or the like. It may be memorized. In this case, the height of the adhesive 30 confirmed by the first imaging unit 140 based on the relationship between the area of the highlight portion of the adhesive 30 stored in the calculation unit 181 and the like and the amount of the adhesive 30. Based on the area of the light portion H 1 , the amount W 1 of the corresponding adhesive 30 can be calculated. In the present embodiment, the process in step 112 may be referred to as a first calculation process.
次に、ステップ114(S114)において、ステップ112で算出された接着剤30の量W1が所定の範囲内にあるか否かが判断される。ステップ112で算出された接着剤30の量W1が所定の範囲内にある場合には、ステップ116に移行する。ステップ112で算出された接着剤30の量W1が所定の範囲内にはない場合には、ステップ106に移行し、接着剤を除去した後、再度接着剤の塗布がなされる。 Then, At step 114 (S114), the amount W 1 of the adhesive 30 which is calculated in step 112 whether within a predetermined range is determined. When the amount W 1 of the adhesive 30 calculated in step 112 is within a predetermined range, the process proceeds to step 116. The amount W 1 of the adhesive 30 which is calculated in step 112 is when not within the predetermined range, the process proceeds to step 106, after removing the adhesive, application of an adhesive is made again.
次に、ステップ116(S116)において、図9に示すように、第2の光学部品20をテーブル120の上面120aの上方まで移動させた後、降下させる。具体的には、移動機構部160により、第2の光学部品20をテーブル120の上面120aの上方まで移動させた後、第2の光学部品20を降下させる。これにより、テーブル120の上面120aにおける接着剤30と第2の光学部品20とが接触し、第2の光学部品20の表面に接着剤30が濡れ広がる。本実施の形態においては、第2の光学部品20は、第1の光学部品10よりも接着面における面積が狭いものとする。 Next, in step 116 (S116), as shown in FIG. 9, the second optical component 20 is moved to above the upper surface 120a of the table 120 and then lowered. Specifically, after the second optical component 20 is moved above the upper surface 120a of the table 120 by the moving mechanism unit 160, the second optical component 20 is lowered. As a result, the adhesive 30 and the second optical component 20 on the upper surface 120 a of the table 120 come into contact with each other, and the adhesive 30 wets and spreads on the surface of the second optical component 20. In the present embodiment, it is assumed that the second optical component 20 has a smaller area on the bonding surface than the first optical component 10.
次に、ステップ118(S118)において、テーブル120と第2の光学部品20との隙間gが所定の間隔になったか否かが判断される。具体的には、隙間gの間隔と第2の光学部品20における接着剤30が濡れ広がる濡れ面積Sとの関係は、図16に示されるように、隙間gが狭くなると、第2の光学部品20における接着剤30が濡れ広がる濡れ面積Sは広くなる関係にある。即ち、隙間gが大きいと物体間に働く力(メニスカス)が小さく濡れ面積Sが狭いが、隙間gが徐々に狭くなっていくと、物体間に働く力(メニスカス)も次第に大きくなり、濡れ面積Sも徐々に広くなる。また、接着剤30が濡れ広がる濡れ面積Sに依存して、第2の光学部品20に付着する接着剤30の量も変化する。よって、隙間gが所定の間隔となるような制御を行うことにより、第2の光学部品20に付着する接着剤30の量を所定量にすることができる。従って、図9に示されるように、第2の撮像部150により、テーブル120と第2の光学部品20との間を撮像することにより、第2の撮像部150により撮像された画像に基づきテーブル120と第2の光学部品20との隙間gを測定する。テーブル120と第2の光学部品20との隙間gが所定の間隔となった場合には、ステップ120に移行する。テーブル120と第2の光学部品20との隙間gが所定の間隔となっていない場合には、ステップ116に移行し、更に、第2の光学部品20を降下させる。 Next, in step 118 (S118), it is determined whether or not the gap g between the table 120 and the second optical component 20 has reached a predetermined interval. Specifically, the relationship between the gap g and the wetting area S where the adhesive 30 in the second optical component 20 spreads out is as shown in FIG. The wetting area S where the adhesive 30 in 20 spreads out has a relationship of becoming wide. That is, when the gap g is large, the force acting between the objects (meniscus) is small and the wetting area S is narrow, but when the gap g is gradually narrowed, the force acting between the objects (meniscus) gradually increases and the wetting area is increased. S also gradually increases. Further, the amount of the adhesive 30 attached to the second optical component 20 also changes depending on the wet area S where the adhesive 30 spreads. Therefore, the amount of the adhesive 30 attached to the second optical component 20 can be set to a predetermined amount by performing control such that the gap g becomes a predetermined interval. Therefore, as shown in FIG. 9, the second imaging unit 150 captures an image between the table 120 and the second optical component 20, and thereby the table based on the image captured by the second imaging unit 150. The gap g between 120 and the second optical component 20 is measured. When the gap g between the table 120 and the second optical component 20 becomes a predetermined interval, the process proceeds to step 120. If the gap g between the table 120 and the second optical component 20 is not a predetermined interval, the process proceeds to step 116, and the second optical component 20 is further lowered.
次に、ステップ120(S120)において、第2の光学部品20を上昇させる。具体的には、移動機構部160により第2の光学部品20を上昇させる。これにより、第2の光学部品20に、テーブル120の上面120aにおける接着剤30から所定量の接着剤30を付着させることができる。 Next, in step 120 (S120), the second optical component 20 is raised. Specifically, the second optical component 20 is raised by the moving mechanism unit 160. Accordingly, a predetermined amount of the adhesive 30 can be attached to the second optical component 20 from the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120.
次に、ステップ122(S122)において、テーブル120の上面120aを第1の撮像部140により撮像する。具体的には、図10に示すように、移動機構部160により第2の光学部品20をテーブル120の上方より横方向に移動させた後、第1の撮像部140によりテーブル120の上面120aを撮像する。これにより、第1の撮像部140によりテーブル120の上面120aにおける接着剤30に照射され画像を撮像する。この際、テーブル120の上面120aにおける接着剤30において、転写によって接着剤が減量化して扁平化されるが、ハイライト部は問題なく観察される。この工程においては、図15(a)に示されるように、テーブル120の上面120aの上に接着剤30が存在しており、図15(b)は、この工程におけるテーブル120の上面120aの状態を第1の撮像部140により撮像した写真である。この工程においては、図15(b)に示されるように接着剤の扁平化されているが、ハイライト部H2を確認することができる。本実施の形態においては、ステップ122における工程を第2の撮像工程と記載する場合がある。 Next, in step 122 (S122), the upper surface 120a of the table 120 is imaged by the first imaging unit 140. Specifically, as shown in FIG. 10, after the second optical component 20 is moved laterally from above the table 120 by the moving mechanism unit 160, the upper surface 120 a of the table 120 is moved by the first imaging unit 140. Take an image. Accordingly, the first imaging unit 140 irradiates the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120 to capture an image. At this time, in the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120, the adhesive is reduced and flattened by the transfer, but the highlight portion is observed without any problem. In this step, as shown in FIG. 15A, the adhesive 30 is present on the upper surface 120a of the table 120. FIG. 15B shows the state of the upper surface 120a of the table 120 in this step. Is a photograph taken by the first imaging unit 140. In this step, it has been flattened adhesive as shown in FIG. 15 (b), it is possible to confirm the highlighted portion H 2. In the present embodiment, the process in step 122 may be described as a second imaging process.
次に、ステップ124(S124)において、テーブル120の上面120aにおける接着剤30の量W2が算出される。具体的には、ステップ122において撮像部140により撮像されたハイライト部H2の面積より、接着剤30の量W2を算出する。この工程は、制御部180における演算部181等において行われる。尚、前述したように、予めテーブル120の上面120aにおける接着剤30のハイライト部の面積と、接着剤30の量との関係を測定しておき、この関係を演算部181の内部等における不図示の記憶部に記憶させておいてもよい。この場合、演算部181の内部等に記憶されている接着剤30のハイライト部の面積と、接着剤30の量との関係より、第1の撮像部140により確認された接着剤30のハイライト部H2の面積に基づき、対応する接着剤30の量W2を算出等することができる。本実施の形態においては、ステップ124における工程を第2の算出工程と記載する場合がある。 Next, in step 124 (S124), the amount W 2 of the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120 is calculated. Specifically, the amount W 2 of the adhesive 30 is calculated from the area of the highlight portion H 2 imaged by the imaging unit 140 in step 122. This step is performed in the calculation unit 181 and the like in the control unit 180. As described above, the relationship between the area of the highlight portion of the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120 and the amount of the adhesive 30 is measured in advance, and this relationship is measured in the interior of the calculation unit 181. You may memorize | store in the memory | storage part of illustration. In this case, the height of the adhesive 30 confirmed by the first imaging unit 140 based on the relationship between the area of the highlight portion of the adhesive 30 stored in the calculation unit 181 and the like and the amount of the adhesive 30. based on the area of the light section H 2, the amount W 2 of the corresponding adhesive 30 can be calculated and the like. In the present embodiment, the process in step 124 may be referred to as a second calculation process.
次に、ステップ126(S126)において、W1−W2の値が所定の範囲内であるか否かが判断される。即ち、W1−W2の値は、第2の光学部品20に付着している接着剤30であるため、W1−W2の値により、第2の光学部品20に付着している接着剤30が適正量であるか否かを判断することができる。W1−W2の値が所定の範囲内である場合には、第2の光学部品20に付着している接着剤30は適正量であるため、ステップ130に移行する。W1−W2の値が所定の範囲内ではない場合には、第2の光学部品20に付着している接着剤30は適正量ではないため、ステップ128に移行する。 Next, in step 126 (S126), it is determined whether or not the value of W 1 −W 2 is within a predetermined range. That is, since the value of W 1 -W 2 is the adhesive 30 attached to the second optical component 20, the adhesion attached to the second optical component 20 is determined by the value of W 1 -W 2 . It can be determined whether or not the agent 30 is in an appropriate amount. If the value of W 1 -W 2 is within the predetermined range, the amount of the adhesive 30 adhering to the second optical component 20 is an appropriate amount, and the routine proceeds to step 130. If the value of W 1 -W 2 is not within the predetermined range, the amount of the adhesive 30 adhering to the second optical component 20 is not an appropriate amount, and the routine proceeds to step 128.
次に、ステップ128(S128)において、適正量ではない接着剤30が第2の光学部品20に付着しているため、第2の光学部品20は破棄等される。 Next, in step 128 (S128), since the adhesive 30 that is not an appropriate amount is adhered to the second optical component 20, the second optical component 20 is discarded.
次に、ステップ130(S130)において、第1の光学部品10と第2の光学部品20とを第2の光学部品20に付着している接着剤30により接着する。具体的には、図11に示すように、適正量の接着剤30の付着している第2の光学部品20を移動機構部160により第1の光学部品10の上方まで移動させる。この後、移動機構部160により第2の光学部品20を降下させる。これにより、第2の光学部品20は、接着剤30を介し第1の光学部品10の上に載置される。この後、図12に示すように、光源部170より接着剤30に向けて紫外線を照射することにより、接着剤30を硬化させる。この時には、硬化収縮などの影響を抑止するために、移動機構部160に付帯している把持用のハンド(図示せず)で照射終了まで固定支持している。これにより、第1の光学部品10と第2の光学部品20とを接着させることができる。 Next, in step 130 (S130), the first optical component 10 and the second optical component 20 are bonded to each other with the adhesive 30 attached to the second optical component 20. Specifically, as shown in FIG. 11, the second optical component 20 to which an appropriate amount of the adhesive 30 is attached is moved above the first optical component 10 by the moving mechanism 160. Thereafter, the second optical component 20 is lowered by the moving mechanism unit 160. As a result, the second optical component 20 is placed on the first optical component 10 via the adhesive 30. Thereafter, as shown in FIG. 12, the adhesive 30 is cured by irradiating the adhesive 30 with ultraviolet rays from the light source unit 170. At this time, in order to suppress the influence of curing shrinkage and the like, the holding mechanism (not shown) attached to the moving mechanism unit 160 is fixedly supported until the end of irradiation. Thereby, the 1st optical component 10 and the 2nd optical component 20 can be adhere | attached.
以上により、本実施の形態における接着剤による接着方法を行うことができる。本実施の形態においては、所定量の接着剤30により第1の光学部品10と第2の光学部品20とを接着することができるため、安定した塗布量が確保でき、接着剤の広がりの少ない接着を行うことができる。本実施の形態においては、第1の光学部品10と第2の光学部品20とを所望の位置において正確に接着することができる。よって、本実施の形態における接着方法では、安定した塗布量が確保でき、小型化、高精細化された光学装置等を高い歩留りで製造することができる。 As described above, the bonding method using the adhesive according to the present embodiment can be performed. In the present embodiment, since the first optical component 10 and the second optical component 20 can be bonded with a predetermined amount of adhesive 30, a stable coating amount can be secured and the spread of the adhesive is small. Gluing can be performed. In the present embodiment, the first optical component 10 and the second optical component 20 can be accurately bonded at a desired position. Therefore, in the bonding method in this embodiment, a stable coating amount can be secured, and a miniaturized and high-definition optical device or the like can be manufactured with a high yield.
尚、本実施の形態においては、第1の撮像部140により、テーブル120の上面120aを撮像する回数が、1回であってもよい。具体的には、図4に示されるフローチャートにおいて、ステップ110からステップ114における工程を行うことなく、接着剤30による接着を行ってもよい。この場合、ステップ108において、テーブル120の上面120aに供給される接着剤30の量が略一定となるため、ステップ110からステップ114における工程を行わなくとも、本実施の形態における効果と同様の効果を得ることができる。この場合、予め測定等されているテーブル120の上面120aにおける接着剤30の量を接着剤30の量W1とみなして、ステップ126を行う。 In the present embodiment, the number of times that the first imaging unit 140 images the upper surface 120a of the table 120 may be one. Specifically, in the flowchart shown in FIG. 4, the bonding with the adhesive 30 may be performed without performing the steps from Step 110 to Step 114. In this case, since the amount of the adhesive 30 supplied to the upper surface 120a of the table 120 is substantially constant in step 108, the same effects as those in the present embodiment can be obtained without performing the processes in steps 110 to 114. Can be obtained. In this case, by regarding the amount of the adhesive 30 on the upper surface 120a of the table 120 which is previously measured, such as the amount W 1 of the adhesive 30, it performs step 126.
また、図4に示されるフローチャートにおいて、ステップ122からステップ128における工程を行うことなく、接着剤による接着を行ってもよい。この場合、ステップ118において、隙間gの間隔が所定の間隔となるように制御することにより、第2の光学部品20に付着する接着剤30の量を略一定にすることができる。よって、ステップ122からステップ128における工程を行わなくとも、本実施の形態における効果と同様の効果を得ることができる。この場合、隙間gの間隔を所定の間隔にすることにより、テーブル120の上面120aに残存する接着剤30の量を略一定にすることができるため、隙間gの間隔より算出等される接着剤30の量を接着剤30の量W2とみなして、ステップ126を行う。 Further, in the flowchart shown in FIG. 4, bonding with an adhesive may be performed without performing the steps from step 122 to step 128. In this case, in step 118, the amount of the adhesive 30 attached to the second optical component 20 can be made substantially constant by controlling the gap g to be a predetermined gap. Therefore, the same effects as those in the present embodiment can be obtained without performing the processes from step 122 to step 128. In this case, since the amount of the adhesive 30 remaining on the upper surface 120a of the table 120 can be made substantially constant by setting the interval of the gap g to a predetermined interval, the adhesive calculated from the interval of the gap g is used. Considering the amount of 30 as the amount W 2 of the adhesive 30, step 126 is performed.
尚、本実施の形態において、より正確に第2の光学部品に付着している接着剤の量を知るためには、図4に示されるように、第1の撮像工程と、第2の撮像工程の双方を行うことが、より好ましい。 In this embodiment, in order to know the amount of the adhesive adhering to the second optical component more accurately, the first imaging step and the second imaging are performed as shown in FIG. It is more preferable to perform both of the steps.
以上、実施の形態について詳述したが、特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。 Although the embodiment has been described in detail above, it is not limited to the specific embodiment, and various modifications and changes can be made within the scope described in the claims.
上記の説明に関し、更に以下の付記を開示する。
(付記1)
接着剤により第1の部品と第2の部品とを接着する接着方法において、
テーブルの上面に接着剤を供給する接着剤供給工程と、
前記テーブルの上面における前記接着剤に、前記第2の部品を接触させる接触工程と、
前記接触工程の後、前記第2の部品を前記テーブルより離し、前記第2の部品に接着剤を付着させる付着工程と、
前記テーブルの上面における接着剤を撮像部により撮像する撮像工程と、
前記撮像部により撮像された前記テーブルの上面における接着剤の画像より、前記接着剤の量を算出する算出工程と、
前記算出工程を行った後、前記第2の部品に付着している接着剤により、前記第1の部品と前記第2の部品とを接着する接着工程と、
を有することを特徴とする接着剤による接着方法。
(付記2)
前記撮像工程及び前記算出工程は、前記接着剤供給工程と前記接触工程との間に行われるものであって、前記算出工程において、接着剤の量W1が算出され、
前記接触工程において、前記テーブルと前記第2の部品との隙間の間隔より、接着剤の量W2を算出する工程を含み、
W1−W2の値が所定の範囲内である場合には、前記接着工程を行うことを特徴とする付記1に記載の接着剤による接着方法。
(付記3)
前記撮像工程及び前記算出工程は、前記付着工程と前記接着工程との間に行われるものであって、前記算出工程において、接着剤の量W2が算出され、
前記接着剤供給工程において、前記テーブルの上面に供給される前記接着剤の量W1は、予め測定または算出されており、
W1−W2の値が所定の範囲内である場合には、前記接着工程を行うことを特徴とする付記1に記載の接着剤による接着方法。
(付記4)
前記撮像工程は第1の撮像工程であり、更に第2の撮像工程を含むものであり、
前記算出工程は第1の算出工程であり、更に第2の算出工程を含むものであって、
前記第1の撮像工程及び前記第1の算出工程は、前記接着剤供給工程と前記接触工程との間に行われるものであって、前記第1の算出工程は、前記第1の撮像工程の後に行われ、前記第1の算出工程において、接着剤の量W1が算出され、
前記第2の撮像工程及び前記第2の算出工程は、前記付着工程と前記接着工程との間に行われるものであって、前記第2の算出工程は、前記第2の撮像工程の後に行われ、前記第2の算出工程において、接着剤の量W2が算出され、
W1−W2の値が所定の範囲内である場合に、前記接着工程を行うことを特徴とする付記1に記載の接着剤による接着方法。
(付記5)
前記撮像工程は、前記接着剤を前記テーブルの上面より、前記接着剤に光を照射し撮像するものであることを特徴とする付記1から4のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
(付記6)
前記算出工程は、前記撮像工程において撮像された画像において、反射光量の強いハイライト部の面積に基づき接着剤の量を算出するものであることを特徴とする付記5に記載の接着剤による接着方法。
(付記7)
前記接触工程においては、前記テーブルと前記第2の部品との隙間が所定の間隔となるまで、前記第2の部品を降下させることにより接近させ、
前記テーブルと前記第2の部品との隙間が所定の間隔となった後は、前記第2の部品を上昇させ、前記第2の部品を前記テーブルより離すことにより、前記付着工程を行うものであることを特徴とする付記1から6のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
(付記8)
接着剤により第1の部品と第2の部品とを接着する接着方法において、
テーブルの上面に接着剤を供給する接着剤供給工程と、
前記テーブルの上面における前記接着剤に、前記第2の部品を接触させ、前記テーブルと前記第2の部品との隙間が所定の間隔となるまで、前記第2の部品を降下させることにより接近させる接触工程と、
前記テーブルと前記第2の部品との隙間が所定の間隔となった後は、前記第2の部品を上昇させ、前記第2の部品を前記テーブルより離すことにより、前記第2の部品に接着剤を付着させる付着工程と、
前記第2の部品に付着している接着剤により、前記第1の部品と前記第2の部品とを接着する接着工程と、
を有することを特徴とする接着剤による接着方法。
(付記9)
前記接着剤は紫外線を照射することにより硬化するものであって、
前記接着工程は、前記接着剤に前記紫外線を照射する工程を含むものであることを特徴とする付記1から8のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
(付記10)
前記接着剤は、粘度が1500cp以下であることを特徴とする付記1から9のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
(付記11)
前記第1の部品は第1の光学部品であり、
前記第2の部品は第2の光学部品であることを特徴とする付記1から10のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
(付記12)
接着剤により第1の部品と第2の部品とを接着する接着装置において、
前記接着剤が供給される上面を有するテーブルと、
前記テーブルの上面に前記接着剤を供給する接着剤供給部と、
前記テーブルの上面に供給された接着剤を撮像する撮像部と、
前記撮像部において撮像された画像に基づき接着剤の量を算出する演算部と、
前記第2の部品を搬送するものであって、前記テーブルの上面に供給された接着剤に前記第2の部品を接触させることにより前記第2の部品に接着剤を付着させ、前記第1の部品の上に前記第2の部品を載置する移動機構部と、
前記接着剤を硬化させる光を照射する光源と、
を有することを特徴とする接着装置。
(付記13)
前記撮像部は、前記接着剤に照射された光の反射光による画像を撮像するものであって、
前記演算部においては、前記画像のうち光量の強いハイライト部の面積に基づき、前記接着剤の量を算出することを特徴とする付記12に記載の接着装置。
(付記14)
前記撮像部は、第1の撮像部であって、
前記接着剤が供給されている前記テーブルと前記第2の部品との隙間を観察する第2の撮像部を有することを特徴とする付記12または13に記載の接着装置。
(付記15)
前記接着剤の量の算出は、前記テーブルの上面における接着剤に前記第2の部品を接触させる前と、前記接触させた後に前記テーブルと前記第2の部品とを離した後に行うものであって、
前記第2の部品を接触させる前における接着剤の量と、前記接触させた後に前記テーブルと前記第2の部品とを離した後における接着剤の量との差が、所定の範囲内である場合には、前記第1の部品と前記第2の部品との接着を行う制御する制御部を有することを特徴とする付記12から14のいずれかに記載の接着装置。
(付記16)
前記接着剤は、紫外線を照射することにより硬化するものであって、
前記光源は、前記接着剤に紫外線を照射するものであることを特徴とする付記12から15のいずれかに記載の接着装置。
(付記17)
前記接着剤は、粘度が1500cp以下であることを特徴とする付記12から16のいずれかに記載の接着装置。
(付記18)
前記第1の部品は第1の光学部品であり、
前記第2の部品は第2の光学部品であることを特徴とする付記12から17のいずれかに記載の接着装置。
In addition to the above description, the following additional notes are disclosed.
(Appendix 1)
In the bonding method of bonding the first component and the second component with an adhesive,
An adhesive supply process for supplying an adhesive to the upper surface of the table;
A contact step of bringing the second component into contact with the adhesive on the upper surface of the table;
After the contacting step, the attaching step of separating the second component from the table and attaching an adhesive to the second component;
An imaging step of imaging the adhesive on the upper surface of the table by an imaging unit;
From the image of the adhesive on the upper surface of the table imaged by the imaging unit, a calculation step of calculating the amount of the adhesive,
After performing the calculation step, an adhesive step of bonding the first component and the second component with an adhesive attached to the second component;
A bonding method using an adhesive, comprising:
(Appendix 2)
It said imaging step and the calculating step, there is performed between the contacting step and the adhesive supplying step, in the calculation step, the amount of adhesive W 1 is calculated,
In the contacting step, than the distance of the gap between the second component and the table includes the step of calculating the amount W 2 of the adhesive,
The adhesive bonding method according to appendix 1, wherein the bonding step is performed when the value of W 1 -W 2 is within a predetermined range.
(Appendix 3)
The imaging step and the calculation step are performed between the adhesion step and the adhesion step, and in the calculation step, the amount of adhesive W 2 is calculated,
In the adhesive supplying step, the amount W 1 of the adhesive supplied to the upper surface of the table is measured or calculated in advance,
The adhesive bonding method according to appendix 1, wherein the bonding step is performed when the value of W 1 -W 2 is within a predetermined range.
(Appendix 4)
The imaging step is a first imaging step, and further includes a second imaging step,
The calculation step is a first calculation step, and further includes a second calculation step,
The first imaging step and the first calculation step are performed between the adhesive supply step and the contact step, and the first calculation step is the same as the first imaging step. Performed later, in the first calculation step, the amount of adhesive W 1 is calculated,
The second imaging step and the second calculating step are performed between the attaching step and the adhering step, and the second calculating step is performed after the second imaging step. In the second calculation step, the amount of adhesive W 2 is calculated,
The adhesive bonding method according to appendix 1, wherein the bonding step is performed when a value of W 1 -W 2 is within a predetermined range.
(Appendix 5)
5. The method for bonding with an adhesive according to any one of appendices 1 to 4, wherein the imaging step is to image the adhesive by irradiating the adhesive with light from the upper surface of the table.
(Appendix 6)
6. The adhesive bonding according to appendix 5, wherein the calculating step calculates the amount of the adhesive based on the area of the highlight portion where the amount of reflected light is strong in the image captured in the imaging step. Method.
(Appendix 7)
In the contact step, the second part is moved downward to approach until the gap between the table and the second part reaches a predetermined interval,
After the gap between the table and the second part reaches a predetermined distance, the second part is raised and the second part is separated from the table to perform the attaching step. An adhesion method using an adhesive according to any one of appendices 1 to 6, wherein
(Appendix 8)
In the bonding method of bonding the first component and the second component with an adhesive,
An adhesive supply process for supplying an adhesive to the upper surface of the table;
The second component is brought into contact with the adhesive on the upper surface of the table, and the second component is lowered by lowering until the gap between the table and the second component reaches a predetermined distance. A contact process;
After the gap between the table and the second part reaches a predetermined distance, the second part is lifted, and the second part is separated from the table to adhere to the second part. An adhesion process for adhering the agent;
A bonding step of bonding the first component and the second component with an adhesive adhering to the second component;
A bonding method using an adhesive, comprising:
(Appendix 9)
The adhesive is cured by irradiating with ultraviolet rays,
The bonding method using an adhesive according to any one of appendices 1 to 8, wherein the bonding step includes a step of irradiating the adhesive with the ultraviolet rays.
(Appendix 10)
The adhesive method according to any one of appendices 1 to 9, wherein the adhesive has a viscosity of 1500 cp or less.
(Appendix 11)
The first component is a first optical component;
11. The bonding method using an adhesive according to any one of appendices 1 to 10, wherein the second component is a second optical component.
(Appendix 12)
In a bonding apparatus that bonds the first component and the second component with an adhesive,
A table having an upper surface to which the adhesive is supplied;
An adhesive supply section for supplying the adhesive to the upper surface of the table;
An imaging unit that images the adhesive supplied to the upper surface of the table;
An arithmetic unit that calculates the amount of adhesive based on the image captured by the imaging unit;
The second component is transported, and the adhesive is attached to the second component by bringing the second component into contact with the adhesive supplied to the upper surface of the table. A moving mechanism for placing the second component on the component;
A light source that emits light for curing the adhesive;
A bonding apparatus comprising:
(Appendix 13)
The imaging unit captures an image of reflected light of light irradiated on the adhesive,
The adhesive device according to appendix 12, wherein the arithmetic unit calculates the amount of the adhesive based on an area of a highlight portion having a strong light amount in the image.
(Appendix 14)
The imaging unit is a first imaging unit,
The bonding apparatus according to appendix 12 or 13, further comprising a second imaging unit that observes a gap between the table to which the adhesive is supplied and the second component.
(Appendix 15)
The amount of the adhesive is calculated before the second component is brought into contact with the adhesive on the upper surface of the table and after the table is separated from the second component after the contact. And
The difference between the amount of the adhesive before contacting the second part and the amount of the adhesive after separating the table and the second part after the contact is within a predetermined range. In this case, the bonding apparatus according to any one of appendices 12 to 14, further comprising a control unit that controls the bonding between the first component and the second component.
(Appendix 16)
The adhesive is cured by irradiating with ultraviolet rays,
The bonding apparatus according to any one of appendices 12 to 15, wherein the light source irradiates the adhesive with ultraviolet rays.
(Appendix 17)
The adhesive device according to any one of appendices 12 to 16, wherein the adhesive has a viscosity of 1500 cp or less.
(Appendix 18)
The first component is a first optical component;
The bonding apparatus according to any one of appendices 12 to 17, wherein the second component is a second optical component.
10 第1の光学部品
20 第2の光学部品
110 ステージ
120 テーブル
120a 上面
130 接着剤供給部
140 第1の撮像部
150 第2の撮像部
160 移動機構部
170 光源部
180 制御部
181 演算部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 1st optical component 20 2nd optical component 110 Stage 120 Table 120a Upper surface 130 Adhesive supply part 140 1st imaging part 150 2nd imaging part 160 Movement mechanism part 170 Light source part 180 Control part 181 Calculation part
Claims (7)
テーブルの上面に接着剤を供給する接着剤供給工程と、
前記テーブルの上面における前記接着剤に、前記第2の部品を接触させる接触工程と、
前記接触工程の後、前記第2の部品を前記テーブルより離し、前記第2の部品に接着剤を付着させる付着工程と、
前記テーブルの上面における接着剤を撮像部により撮像する撮像工程と、
前記撮像部により撮像された前記テーブルの上面における接着剤の画像より、前記接着剤の量を算出する算出工程と、
前記算出工程を行った後、前記第2の部品に付着している接着剤により、前記第1の部品と前記第2の部品とを接着する接着工程と、
を有し、
前記撮像工程及び前記算出工程は、前記接着剤供給工程と前記接触工程との間に行われるものであって、前記算出工程において、接着剤の量W 1 が算出され、
前記接触工程において、前記テーブルと前記第2の部品との隙間の間隔より、接着剤の量W 2 を算出する工程を含み、
W 1 −W 2 の値が所定の範囲内である場合には、前記接着工程を行うことを特徴とする接着剤による接着方法。 In the bonding method of bonding the first component and the second component with an adhesive,
An adhesive supply process for supplying an adhesive to the upper surface of the table;
A contact step of bringing the second component into contact with the adhesive on the upper surface of the table;
After the contacting step, the attaching step of separating the second component from the table and attaching an adhesive to the second component;
An imaging step of imaging the adhesive on the upper surface of the table by an imaging unit;
From the image of the adhesive on the upper surface of the table imaged by the imaging unit, a calculation step of calculating the amount of the adhesive,
After performing the calculation step, an adhesive step of bonding the first component and the second component with an adhesive attached to the second component;
I have a,
It said imaging step and the calculating step, there is performed between the contacting step and the adhesive supplying step, in the calculation step, the amount of adhesive W 1 is calculated,
In the contacting step, than the distance of the gap between the second component and the table includes the step of calculating the amount W 2 of the adhesive,
When the value of W 1 -W 2 is within a predetermined range, the bonding step is performed, wherein the bonding step is performed .
テーブルの上面に接着剤を供給する接着剤供給工程と、An adhesive supply process for supplying an adhesive to the upper surface of the table;
前記テーブルの上面における前記接着剤に、前記第2の部品を接触させる接触工程と、A contact step of bringing the second component into contact with the adhesive on the upper surface of the table;
前記接触工程の後、前記第2の部品を前記テーブルより離し、前記第2の部品に接着剤を付着させる付着工程と、After the contacting step, the attaching step of separating the second component from the table and attaching an adhesive to the second component;
前記テーブルの上面における接着剤を撮像部により撮像する撮像工程と、An imaging step of imaging the adhesive on the upper surface of the table by an imaging unit;
前記撮像部により撮像された前記テーブルの上面における接着剤の画像より、前記接着剤の量を算出する算出工程と、From the image of the adhesive on the upper surface of the table imaged by the imaging unit, a calculation step of calculating the amount of the adhesive,
前記算出工程を行った後、前記第2の部品に付着している接着剤により、前記第1の部品と前記第2の部品とを接着する接着工程と、After performing the calculation step, an adhesive step of bonding the first component and the second component with an adhesive attached to the second component;
を有し、Have
前記撮像工程及び前記算出工程は、前記付着工程と前記接着工程との間に行われるものであって、前記算出工程において、接着剤の量WThe imaging step and the calculating step are performed between the attaching step and the adhering step. In the calculating step, the amount of adhesive W 22 が算出され、Is calculated,
前記接着剤供給工程において、前記テーブルの上面に供給される前記接着剤の量WIn the adhesive supplying step, the amount W of the adhesive supplied to the upper surface of the table 11 は、予め測定または算出されており、Is measured or calculated in advance,
WW 11 −W-W 22 の値が所定の範囲内である場合には、前記接着工程を行うことを特徴とする接着剤による接着方法。When the value of is within a predetermined range, the bonding step is performed, wherein the bonding step is performed.
テーブルの上面に接着剤を供給する接着剤供給工程と、
前記テーブルの上面における前記接着剤に、前記第2の部品を接触させる接触工程と、
前記接触工程の後、前記第2の部品を前記テーブルより離し、前記第2の部品に接着剤を付着させる付着工程と、
前記テーブルの上面における接着剤を撮像部により撮像する撮像工程と、
前記撮像部により撮像された前記テーブルの上面における接着剤の画像より、前記接着剤の量を算出する算出工程と、
前記算出工程を行った後、前記第2の部品に付着している接着剤により、前記第1の部品と前記第2の部品とを接着する接着工程と、
を有し、
前記撮像工程は第1の撮像工程であり、更に第2の撮像工程を含むものであり、
前記算出工程は第1の算出工程であり、更に第2の算出工程を含むものであって、
前記第1の撮像工程及び前記第1の算出工程は、前記接着剤供給工程と前記接触工程との間に行われるものであって、前記第1の算出工程は、前記第1の撮像工程の後に行われ、前記第1の算出工程において、接着剤の量W1が算出され、
前記第2の撮像工程及び前記第2の算出工程は、前記付着工程と前記接着工程との間に行われるものであって、前記第2の算出工程は、前記第2の撮像工程の後に行われ、前記第2の算出工程において、接着剤の量W2が算出され、
W1−W2の値が所定の範囲内である場合に、前記接着工程を行うことを特徴とする接着剤による接着方法。 In the bonding method of bonding the first component and the second component with an adhesive,
An adhesive supply process for supplying an adhesive to the upper surface of the table;
A contact step of bringing the second component into contact with the adhesive on the upper surface of the table;
After the contacting step, the attaching step of separating the second component from the table and attaching an adhesive to the second component;
An imaging step of imaging the adhesive on the upper surface of the table by an imaging unit;
From the image of the adhesive on the upper surface of the table imaged by the imaging unit, a calculation step of calculating the amount of the adhesive,
After performing the calculation step, an adhesive step of bonding the first component and the second component with an adhesive attached to the second component;
Have
The imaging step is a first imaging step, and further includes a second imaging step,
The calculation step is a first calculation step, and further includes a second calculation step,
The first imaging step and the first calculation step are performed between the adhesive supply step and the contact step, and the first calculation step is the same as the first imaging step. Performed later, in the first calculation step, the amount of adhesive W 1 is calculated,
The second imaging step and the second calculating step are performed between the attaching step and the adhering step, and the second calculating step is performed after the second imaging step. In the second calculation step, the amount of adhesive W 2 is calculated,
When the value of W 1 -W 2 is within a predetermined range, the adhesion method according adhesives you and performing the bonding process.
前記テーブルと前記第2の部品との隙間が所定の間隔となった後は、前記第2の部品を上昇させ、前記第2の部品を前記テーブルより離すことにより、前記付着工程を行うものであることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の接着剤による接着方法。 In the contact step, the second part is moved downward to approach until the gap between the table and the second part reaches a predetermined interval,
After the gap between the table and the second part reaches a predetermined distance, the second part is raised and the second part is separated from the table to perform the attaching step. The bonding method using an adhesive according to any one of claims 1 to 4 , wherein the bonding method is performed.
前記接着剤が供給される上面を有するテーブルと、
前記テーブルの上面に前記接着剤を供給する接着剤供給部と、
前記テーブルの上面に供給された接着剤を撮像する撮像部と、
前記撮像部において撮像された画像に基づき接着剤の量を算出する演算部と、
前記第2の部品を搬送するものであって、前記テーブルの上面に供給された接着剤に前記第2の部品を接触させることにより前記第2の部品に接着剤を付着させ、前記第1の部品の上に前記第2の部品を載置する移動機構部と、
前記接着剤を硬化させる光を照射する光源と、
を有し、
前記接着剤の量の算出は、前記テーブルの上面における接着剤に前記第2の部品を接触させる前と、前記接触させた後に前記テーブルと前記第2の部品とを離した後に行うものであって、
前記第2の部品を接触させる前における接着剤の量と、前記接触させた後に前記テーブルと前記第2の部品とを離した後における接着剤の量との差が、所定の範囲内である場合には、前記第1の部品と前記第2の部品との接着を行う制御する制御部を有することを特徴とする接着装置。 In a bonding apparatus that bonds the first component and the second component with an adhesive,
A table having an upper surface to which the adhesive is supplied;
An adhesive supply section for supplying the adhesive to the upper surface of the table;
An imaging unit that images the adhesive supplied to the upper surface of the table;
An arithmetic unit that calculates the amount of adhesive based on the image captured by the imaging unit;
The second component is transported, and the adhesive is attached to the second component by bringing the second component into contact with the adhesive supplied to the upper surface of the table. A moving mechanism for placing the second component on the component;
A light source that emits light for curing the adhesive;
I have a,
The amount of the adhesive is calculated before the second component is brought into contact with the adhesive on the upper surface of the table and after the table is separated from the second component after the contact. And
The difference between the amount of the adhesive before contacting the second part and the amount of the adhesive after separating the table and the second part after the contact is within a predetermined range. case, bonding apparatus characterized by have a control unit which controls performing the adhesion between the second component and the first component.
前記演算部においては、前記画像のうち光量の強いハイライト部の面積に基づき、前記接着剤の量を算出することを特徴とする請求項6に記載の接着装置。 The imaging unit captures an image of reflected light of light irradiated on the adhesive,
The bonding apparatus according to claim 6, wherein the calculation unit calculates the amount of the adhesive based on an area of a highlight portion having a strong light amount in the image.
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