JP6111685B2 - 乾式クリーニング筐体及び乾式クリーニング装置 - Google Patents
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Description
このようなマスク治具(ディップパレット、あるいはキャリアパレットと呼ばれる)は、繰り返し使用されるうちに、表面にフラックスが堆積して固着しマスクの精度を下げるために、定期的に洗浄する必要があった。
一般的には、このような洗浄は溶剤に浸漬して行うため、大量の溶剤を消費しており、コストアップを避けられず、作業者や環境への負荷も極めて大きい。
浸漬せずに装置内で溶剤を洗浄対象物に噴射する方式も知られているが、溶剤を大量に使用するという点に変わりはない。
これらの装置では、内部空間を有する筐体に吸引口を介して吸引手段を接続して筐体内を負圧化し、筐体の外周面の一部に設けられた通気路(インレット)から外部空気を高速で流入させることにより筐体内で旋回気流を生じさせている。
この旋回気流で薄片状の洗浄媒体を筐体内で循環飛翔させるようになっている。
吸引手段を稼動させた状態で、筐体の外周面の一部に形成された、上記通気路よりも大きな断面積を有する開口部を洗浄対象物に当てて塞ぐことにより上記旋回気流が生じる。
開口部で洗浄媒体が洗浄対象物の表面に高速で衝突し、これが繰り返されることにより洗浄対象物の汚れが除去されるものである。
このような場合には、洗浄動作中にインレットから洗浄媒体を投入することになる。
さらに、整流作用を持たせるために、全体として断面が横長の矩形形状の流路を複数に仕切った(区画した)構成となっている(特許文献2の図2参照)。
このため、飛散し易い薄片状の洗浄媒体などは投入が困難で、インレットの外側にこぼれ落ちるなど非常に面倒であった。
また、洗浄媒体の種類(大きさ)によっては投入時にインレット内で詰まってしまうという問題もあった。
筐体の広幅化による大面積クリーニングを行うときには、インレットの断面積を一定にして取り込み気流の流速を一定に保つ必要性から、インレット形状が細いスリット状になってしまうため、上記問題が顕著に現れる。
前者の場合、洗浄媒体を一箇所に集中的に当て、後者の場合、洗浄媒体を拡散的に当てることで効率的に汚れを除去できることがわかっている。
しかしながら、従来の乾式クリーニング装置では洗浄対象物の汚れの違いに対し、洗浄媒体の種類を変更することでしか対応できず、非効率なクリーニングを行っていた。
インレットの内側は、インレットからの気流と旋回気流とをスムーズに合流させるために、筐体の内部空間を形成する壁面を先鋭化させた仕切り片として形成されている。
この仕切り片の先端は薄肉であるため、インレットを高速移動する洗浄媒体が接触して擦ると、歯が欠けたような状態となる。
インレットは微小な傷(形状変化)でも取り込み気流の流速に変化を与えるため、ひいては旋回気流の乱れにつながり、洗浄領域に洗浄ムラを発生させる原因となっていた。
また、本発明は、通気路の損傷を低減でき、通気路から洗浄媒体を投入する場合の洗浄ムラを抑制できる乾式クリーニング筐体の提供を、その目的とする。
また、本発明は、洗浄媒体の種類を変えることなく洗浄対象物の汚れの違いに適した洗浄機能を得ることができる乾式クリーニング装置の提供を、その目的とする。
まず、図14乃至図16に基づいて、洗浄動作原理上、本発明の基礎となるハンディタイプの乾式クリーニング装置の基本構成及び機能について説明する。
図14に基づいて、該ハンディタイプの乾式クリーニング装置2の構成の概要を説明する。図14(a)はA−A線での横断面図、(b)はB−B線での縦断面図である。
乾式クリーニング装置2は、内部に洗浄媒体5の飛翔空間を有する乾式クリーニング筐体(以下、単に「筐体」ともいう)4と、筐体4内を負圧化する吸引手段6とを備えている。
筐体4は、筐体本体部としての円筒形状の上部筐体4Aと、逆円錐形状の下部筐体4Bとから一体として構成されている。ここでの上部、下部は図面上の便宜的呼称であって、実機上の上下とは必ずしも関係はない。
吸引手段6は、吸引口8に一端を接続されたフレキシブルな吸引ホース10と、該吸引ホース10の他端に接続された吸引装置12とを有している。
吸引装置12としては、家庭用掃除機、真空モータや真空ポンプ、あるいは流体の圧送により間接的に低圧化ないし負圧化を生じさせる装置などを適宜用いることができる。なお、部材の上面、底面等の上下の位置関係は図面上の基準にすぎない。
上部筐体4Aの底面部における下部筐体4Bとの境界部分には、多孔手段としての多孔性の分離板14が設けられている。分離板14は、パンチングメタルのような穴が空いた板状の部材である。
分離板14は、吸引されたときの洗浄媒体5の下部筐体4B側への移動を阻止するものである。図14(a)では分離板14の表示を一部省略している。なお、洗浄媒体5は分かり易くするためにその大きさを誇張表示している。
材質も滑らかな面を備えていれば、樹脂や金属などを自由に選択して良い。
多孔手段は旋回気流の旋回軸と直交する面として配置されている。
これにより、多孔手段に沿う方向に気流が流れることにより、洗浄媒体5の滞留を防ぐ効果がある。
旋回空気流の減衰を抑えるために、筐体内面は段差、凹凸がなく平滑であることが望ましい。
筐体4の材質は特に限定されないが、異物の付着や洗浄媒体との摩擦による消耗を防ぐために、例えばアルミ二ウムやステンレスなどの金属製が好適であるが、樹脂製のものを用いることもできる。
流路制限部材16は旋回気流の流路断面積を絞って流速を向上させる目的で設けられている。流路制限部材16により上部筐体4A内には滑らかな壁面を有するリング状の旋回気流移動空間(洗浄媒体の飛翔空間)が形成されている。
リング状の旋回気流移動空間(内部空間)を、以下「旋回流路」ともいう。流路制限部材16は旋回気流の旋回軸を規定する部材でもある。
上部筐体4Aの形状によっては、流路制限部材16の中心軸と上部筐体4Aの中心軸を必ずしも共通にする必要はなく、リング状の空間が確保できていれば偏芯していても良い。
上部筐体4Aは直径に対して高さが極めて小さい円筒形状であり、その高さを形成する側面の一部に開口部18を設けている。
これにより、筐体4全体としては、図14(b)に示すように、開口部18以外の外周部分が洗浄対象物20から大きく逃げる(離れる)レイアウトとなり、洗浄対象物20に対する局所的当接、換言すればピンポイントクリーニングの自由度が高められている。
開口部18は、上部筐体4Aの側面を円筒軸に平行な平断面により切断した形状であり、円筒軸と直交する方向から見て矩形形状をなしている。
インレット24は分離板14に略平行に設定されており、その通気方向は、上部筐体4Aの半径方向に対して傾き、その通気路中心の延長線が開口部18に達するように位置している。
インレット24は、上部筐体4Aの高さ方向に延びる幅を有している。インレット24は上部筐体4Aの高さよりも径又は幅が小さいものを1つ配置してもよく、単体のインレットを高さ方向に複数配置する構成としてもよい。
閉空間が形成された時に生じる旋回空気流は、分離板14上に吸着した洗浄媒体を吹き払い、再飛翔させる効果を有する。
このような構成を備えることにより、開口部18を洗浄対象物に当てていない間は、空気流入口22が大気圧に近づくことによって、外部との差圧が低下し、その結果流入する気流が劇的に低減する。
一方、開口部18から流入する気流は多くなるため、洗浄媒体5が筐体4内から漏れ出ることを防ぐことができる。
また、開口部18が開放されている状態では、閉塞されている場合に比べて流入する気流の総量が2〜3倍になるため、とくに薄片状の洗浄媒体では多孔手段上に吸着されるため、再飛翔せず筐体の外に漏れることがない。
これを開口部開放時における「洗浄媒体吸着効果」という。
薄片状の洗浄媒体とは面積が1mm2以上200mm2以下の薄片である。
また、洗浄媒体の材質はポリカーボネイト、ポリエチレンテレフタラート、アクリル、セルロース樹脂などの耐久性のある素材からなるフィルムであり、厚みは0.02mm以上1.0mm以下である。
但し、洗浄対象物によっては洗浄媒体の厚みやサイズや材質を変えることが効果的な場合もあり、これらの洗浄媒体を使用する場合も本発明の範囲に含まれるため、前記洗浄媒体条件にはとらわれないものとする。
洗浄媒体の材質に関しては、樹脂だけにとどまらず、紙、布などの薄片や、あるいは、雲母などの鉱物、セラミックやガラス、金属箔であっても、薄く軽量で飛翔しやすい形状にすることで使用することができる。
流路制限部材16の内部空間34は、旋回空気流が作用しない空間である。
なお、図15では、部材の厚み等を省略し、分かり易くするために静空間としての内部空間34をハッチングで表示している。
図15(b)は、開口部18を洗浄対象物20から離して開口部18を開放し吸気を行っている状態を、図15(a)は、開口部18を洗浄対象物20に当てて閉塞した状態を示している。
クリーニング動作に先立って、洗浄媒体5を筐体4内に供給する。筐体4内に供給された洗浄媒体5は、図15(b)下図に示すように、分離板14に吸い付けられて筐体4内に保持される。
筐体4内は吸気により負圧状態となっているので、筐体外部の空気がインレット24を通して筐体4内に流入するが、このときのインレット24内の流れは流速・流量ともに小さいので、筐体4内に発生する旋回気流30は洗浄媒体5を飛翔させる強さには至らない。
開口部18が塞がれると、開口部18からの吸気が止まるので、筐体4内の負圧は一気に増大し、インレット24を通じて吸い込まれる外部の空気量・流速ともに増大する。
吸い込まれる外部空気はインレット24内で整流され、インレット出口(空気流入口22)から筐体4内に高速空気流となって吹き出す。
吹き出した空気流は、分離板14上に保持されている洗浄媒体5を開口部18に対向する洗浄対象物20の表面に向けて飛翔させる。
このように筐体4内を円環状に流れた旋回気流30がインレット24の出口部に戻ると、インレット24から入り込む空気流が旋回気流30に合流しつつ加速する。このようにして筐体4内に安定した旋回気流30が形成される。
分離した汚れは、分離板14の穴を通って吸引手段6により筐体4の外部へ排出される。
筐体4内に形成される旋回気流30は、その旋回軸が、分離板14の表面に直交しており、旋回気流30は分離板14の表面に平行方向の気流となる。
このため、旋回気流30は分離板表面に吸い着けられた洗浄媒体5に、横方向から吹き付けて洗浄媒体5と分離板14の間に入り込み、分離板14に吸い付けられている洗浄媒体5を分離板14から引き剥がして再度飛翔させる効果が生じる。
旋回気流30は、一定の方向に気流が加速されるため高速の気流が生成しやすく、洗浄媒体5の高速飛翔運動も容易となる。
高速で旋回移動する洗浄媒体5は、分離板14に吸い付けられにくく、洗浄媒体5に付着した汚れが、遠心力により洗浄媒体5から分離され易い。
洗浄対象物は前述したフローはんだ槽工程で用いられるディップパレットであり、符号100で示す。
ディップパレット100には、マスク開口部101、102、103が開口しており、これらマスク開口部の穴周辺にフラックスFLが堆積・固化している。この堆積・固化したフラックスFLが除去すべき汚れである。
図16に示すように、下部筐体4Bの根元部(吸引口8部位)を手HDで握り、吸気状態で、筐体4の開口部18を被クリーニング部位に押し当てる。
開口部18が被クリーニング部位に押し当てられる以前は、筐体4内は吸気され、洗浄媒体5は分離板14に吸い付けられているので、開口部18は下方を向いているものの、筐体4内から洗浄媒体5が外部へ漏れることは無い。
勿論、開口部18が被クリーニング部位に押し当てられた以後は、筐体内が気密状態となり、洗浄媒体の漏れ出しはない。
旋回気流30は、分離板14に吸い付けられた洗浄媒体5を飛翔させ、ディップパレット100の被クリーニング部位に付着固化したフラックスFLに衝突させてフラックスFLを除去する。
クリーニング作業者は、上述の如く下部筐体4Bの根元を手HDに持ち、ディップパレット100に対して移動させて、被クリーニング部位を順次移動させ、付着・固化したフラックスFLを全て除去することができる。
被クリーニング部位に対して開口部を移動させる時に被クリーニング部位から開口部18が離されても、前述の洗浄媒体吸着効果により、洗浄媒体5が筐体内から漏れ出さない。
このため、洗浄媒体数が維持され、洗浄媒体量の減少によるクリーニング性能の低下は生じない。
このため、乾式クリーニング装置を長時間使用していると、筐体内に保持された洗浄媒体の量が減少する。
このような場合は、新しい洗浄媒体群を筐体4内に補給する。
なお、上記基礎技術と同一部分は適宜同一符号で示す。また、洗浄動作及び洗浄媒体の飛翔原理は上記基礎技術と同様であり、乾式クリーニング装置としての用い方も同様であるので、乾式クリーニング装置としての構成は省略する。
図2に示すように、本実施形態に係る乾式クリーニング筐体50は、旋回軸心方向に貫通穴を有する筐体本体52と、筐体本体52の穴の中心部に配置される円筒状の流路制限部材16とを有している。
また、乾式クリーニング筐体50は、筐体本体52の旋回軸心方向両側に固定される分離板14A、44Bと、各分離板14の外側を覆う外装カバー54A、54Bと、流路制限部材16の内側に二重筒構成で配置される円筒状の集塵ダクト56等を有している。
筐体本体52、分離板14A、14B、外装カバー54A、54Bには、旋回軸心方向に延びる図示しない長ボルトを挿通する穴があいており、これらは該長ボルトで一体に組み付けられるようになっている。
集塵ダクト56の他端部56bは吸引口としてなる。吸引口56bは外装カバー54Bの中心穴54B−1を貫通し、上述した吸引手段6に筐体の内部空間を吸引可能に接続される。
集塵ダクト56の外周面には、吸気穴56cが複数形成されている。
筐体本体52は、第1本体部52Aと、第2本体部52Bとの分割構成となっており、インレット24と開口部18は第2本体部52Bに一体に形成されている。
かかる構成により、図示しないネジにより筐体本体52の上部が一体に締結される。
第2本体部52Bの下面52cにはネジ孔52dが形成されており、下面52cが第1本体部52Aの下に潜り込んで重なる。
かかる構成により、図示しないネジにより筐体本体52の下部が一体に締結される。
吸引手段6の稼働中は、インレット24より流入した気流が旋回流路(内部空間)から分離板14を介して内部空間の外に流れ、流路制限部材の内側と集塵ダクト内の空間を通じて、吸引口56bから吸引手段へ排出されるように気流が生じている。
筐体内に洗浄媒体が存在する状態で、洗浄対象物から開口部18を離すと、洗浄媒体は分離板14に吸着し、筐体内に保持される。
仕切り片52eは先端側に向かって尖る楔状に形成されており、インレット24と内部空間との合流部位mに位置する先端部52e−1は薄肉となっている。
旋回気流30は内周側よりも外周側が周速が大きく、且つ、遠心力が作用するため、洗浄媒体は旋回気流30の外周側に集まった状態で飛翔する。
旋回気流30の外周側を飛翔する洗浄媒体は、仕切り片52eによって洗浄対象物20に向かって飛翔するように滑らかに案内される。
なお、図1等では、集塵ダクト56は省略している。
通気路形状変更手段60は、インレット24を構成する筐体の側面の一部としてのインレット外壁部62と、該インレット外壁部62の下端部を回動自在に支持するヒンジ部64とから構成されている。
ここでのインレット外壁部62は、インレット外壁の一部を意味している。
インレット外壁部62は、例えばヒンジ部64に設けられた図示しないバネ部材により常時閉じるように付勢されている。
開いた状態を維持し、閉めたときに例えば凹凸の嵌合構造によりロックされる開閉構造としてもよい。
洗浄動作中に洗浄媒体を筐体内にインレット24から投入するときは、図1(b)に示すように、インレット外壁部62を外側に開く。
このようすると、インレット24の上部の流路幅を大きく広げることができるとともに、合流部位m近傍の流路幅も広げることができる。
上部の流路幅が大きく広がることにより、洗浄媒体投入容器66により洗浄媒体5を投入するときに、洗浄媒体が外へこぼれ落ちにくくなり、投入作業が容易かつ確実となる。
また、洗浄媒体がインレット24をスムーズに通過することができ、詰まり等の問題が解消される。
通気路形状変更手段60を設けてインレット24の形状を変更することにより、このような問題を解消することができる。
この結果、インレット24内で洗浄媒体が十分加速されないため、洗浄媒体の本来の汚れ除去能力、換言すれば研削能力は発現せず、仕切り片52eの先端部がダメージを負うことはない。
すなわち、図8(b)に示すように、所定の旋回気流30を生じさせる高速気流がインレット24を流れている状態でインレット24から洗浄媒体を投入すると、仕切り片52eの先端部が洗浄媒体の汚れ除去能力で削り取られ、歯欠けのような状態となる。
図8(a)は仕切り片52eの先端部が損傷していない状態を示している。
このようになると、合流部位m近傍で気流が乱れ、ひいては旋回気流の乱れにつながり、洗浄領域に洗浄ムラを発生させる原因となる。
本実施形態では、上記のように合流部位m近傍でのインレット24の流速が低下するので、仕切り片52eの先端部の損傷は生じない。
これにより、図1(a)に示すように、インレット24の流路幅は所定の大きさとなり、従来と同等の洗浄能力を維持することができる。
すなわち、通気路形状変更手段60は、洗浄媒体を内部空間に導入し易くするスペースを確保するための構成と、洗浄時の所定の旋回気流を生じさせる構成とに任意に設定可能である。
インレット外壁部62を開いた状態での流路幅は、洗浄媒体の最も大きい寸法以上に設定してあればよく、使用する洗浄媒体の種類によって適宜決定される。
一度に多量の洗浄媒体を投入する場合には、洗浄媒体の重なりによる詰まりが考えられるため、上記洗浄媒体寸法の数倍にすることが好ましい。
例えば、最も狭まる通気路付近のみ可変するように構成されていてもよい。その場合、インレット開口部が2箇所となるが、外部からの気流はいずれも内部へ向かう流れであるため洗浄媒体の漏れは生じず、同様の効果を得ることができる。
この場合には、インレット外壁部62が通気路形状変更手段としてなる。
図5に示すように、インレット外壁部62の内壁部分62aのみを着脱するようにしてもよい。
この場合には、内壁部分62aが通気路形状変更手段としてなる。
この場合には、インレット外壁部62が通気路形状変更手段としてなる。
図4〜図6に示す例において、通気路形状変更手段をアタッチメント化してもよい。
図1、4〜6で示した通気路形状変更手段の可動方法は、手動でもアクチュエータによる機械式でもかまわない。
吸引手段6を稼働させて洗浄対象物で開口部を塞いでインレットからの取り込み気流により旋回気流を発生させる点は従来と同様である。
その後、図1(b)に示すように、通気路形状変更手段60を開き、洗浄媒体を必要量筐体内に取り込む。
この時点では、筐体内の洗浄媒体は低速で旋回しているために洗浄対象物へのクリーニング効果は少ない。
次に洗浄媒体の取り込み(投入)が終了したら、図1(a)に示すように、通気路形状変更手段60を閉じる。この時点で初めて、筐体内の洗浄媒体は高速で旋回し洗浄対象物へのクリーニングを行う。
このような構成により、インレットから洗浄媒体を詰まらせずに容易にかつ確実に投入でき、長時間連続して洗浄動作が可能となる。
また、インレット部が洗浄媒体により擦傷してダメージを負うことがないので、良好な洗浄品質を維持できる。
洗浄媒体の飛翔・吸着効果により、洗浄媒体は漏れたり落下したりせずに筐体内の分離板上に保持される。
なお、上記実施形態と同一部分は同一符号で示し、特に必要がない限り既にした構成上及び機能上の説明は省略して要部のみ説明する
本実施形態では、通気路と、内部空間と通気路とが合流する部位を含む筐体の一部とが一体に構成され、筐体本体に対して着脱自在であることを特徴とする。
すなわち、通気路ユニット70は筐体本体としての第2本体部52Bの下部に対して着脱自在なアタッチメントとなっている。
通気路ユニット70は、図示しないストッパにより筐体に差し込むだけで所定位置に固定することができるようになっている。
また、流路軸線24aと、仕切り片52eの先端の延長線72とがなす角度を合流角度βとする。
インレット角度αと合流角度βとを変えたアタッチメントを複数用意することにより、洗浄媒体の種類や洗浄対象物の種類に応じて、洗浄能力の最適化を図ることができる。
また、上述したようにインレット部が洗浄媒体により擦傷してダメージを負ってもインレット部の交換のみで補修することができる。
このため、水平に近い角度で衝突するほど洗浄対象物との衝突エネルギーが分散し、垂直に近い角度で衝突するほど洗浄対象物との衝突エネルギーが集中する。
合流角度βは、旋回気流で循環している洗浄媒体の運動方向と、インレット部からの取り込み気流の方向の衝突角度である。
このため、水平に近い角度ほどインレット角度に沿うように洗浄媒体が集中して飛翔し洗浄対象物と衝突するが、垂直に近い角度ほどインレット角度に対して反射していくために洗浄媒体が分散して飛翔し洗浄対象物と衝突する。
そのため、この2つの角度の組合せにより、洗浄対象物の汚れ性状に最適なインレット部を選択する。
乾式クリーニング筐体内に洗浄媒体を充填し、開口部を洗浄対象物としての焼付塗装板金で塞ぎ、一定時間集塵機(吸引手段)を稼動した状態で、洗浄痕を比較した。
集塵機による吸引流量:1000l/min
洗浄対象物:焼付塗装板金(地金:SPCC 厚み1mm、塗装:メラミン黒 50μm)
洗浄媒体:メラミン樹脂の薄片
洗浄時間:7秒
黒い塗装板は洗浄媒体の衝突により塗装膜が剥離され、剥離された部分は明るく観察できる。
この結果から、インレット角度αが大きいほど衝突強さが大きく、合流角度βが大きいほど広く衝突していることがわかる。
これは、α=70°の場合には衝突強さが大きいため、合流角度βが同じでも明瞭に剥離される範囲が広がるからである。
(α=50°、β=40°)の場合には、(α=50°、β=20°)の場合よりも明瞭な剥離面積は狭いが、合流角度βが大きいため、明瞭性が低い部分を加えると全体的な剥離範囲は広い。
(α=70°、β=40°)の組み合わせでは、衝突強さが大きくなったことにより上記の明瞭性が低い部分が完全に剥離されて明るくなっている。
結果を図13に示す。
この結果より、インレット角度70°では深く削れ、インレット角度50°では浅く削れていることがわかる。
また、合流角度20°では狭い範囲で深く削れ、合流角度40°では深くはないが広い範囲で削れていることがわかる。
粘着力の弱い汚れ等の場合にはインレット角度αが小さく、合流角度βが大きい組み合わせの通気路ユニット70を選択すればよい。
これにより、洗浄対象物の汚れの種類に拘わらず、効率的な洗浄作業を実施することができる。
18 開口部
20 洗浄対象物
24 通気路としてのインレット
30 旋回気流
50 乾式クリーニング筐体
60 通気路形状変更手段
Claims (5)
- 洗浄媒体を気流により飛翔させ、前記洗浄媒体を洗浄対象物に当てて洗浄対象物の洗浄を行う乾式クリーニング装置に用いられる乾式クリーニング筐体であって、
吸引手段に接続され、前記洗浄媒体を飛翔させる内部空間と、
前記洗浄対象物に当接して前記洗浄媒体を前記洗浄対象物に衝突させる開口部と、
外部からの空気を前記内部空間へ通す通気路と、
を有し、
前記内部空間を吸引することにより、前記通気路から前記内部空間へ導入される気流で前記内部空間に洗浄媒体を飛翔させる旋回気流を生じさせる乾式クリーニング筐体において、
前記通気路の形状を変更可能な通気路形状変更手段を備え、
前記通気路形状変更手段が、前記通気路から洗浄媒体を前記内部空間に導入し易くするスペースを確保するための構成と、洗浄時の所定の旋回気流を生じさせる構成とに任意に設定可能であることを特徴とする乾式クリーニング筐体。 - 請求項1に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記通気路を構成する筐体の側面の一部が外側に回動自在に設けられ、前記通気路から洗浄媒体を前記内部空間に導入するときに、前記通気路の流路幅を大きくすることができることを特徴とする乾式クリーニング筐体。 - 請求項1に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記通気路から洗浄媒体を前記内部空間に導入するときに、前記通気路と前記内部空間とが合流する部位における前記通気路の流路幅が広がることを特徴とする乾式クリーニング筐体。 - 請求項1に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記通気路と、前記内部空間と前記通気路とが合流する部位を含む筐体の一部とが一体に構成され、筐体本体に対して着脱自在であることを特徴とする乾式クリーニング筐体。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の乾式クリーニング筐体と、前記吸引手段と、前記洗浄媒体とから構成されることを特徴とする乾式クリーニング装置。
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