Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP6135063B2 - Curable resin composition - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP6135063B2 - Curable resin composition - Google Patents

Curable resin composition Download PDF

Info

Publication number
JP6135063B2
JP6135063B2 JP2012174710A JP2012174710A JP6135063B2 JP 6135063 B2 JP6135063 B2 JP 6135063B2 JP 2012174710 A JP2012174710 A JP 2012174710A JP 2012174710 A JP2012174710 A JP 2012174710A JP 6135063 B2 JP6135063 B2 JP 6135063B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
meth
structural unit
copolymer
acrylate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012174710A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013064989A (en
Inventor
公之 城内
公之 城内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Chemical Co Ltd filed Critical Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority to JP2012174710A priority Critical patent/JP6135063B2/en
Publication of JP2013064989A publication Critical patent/JP2013064989A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6135063B2 publication Critical patent/JP6135063B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/10Esters
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F222/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a carboxyl radical and containing at least one other carboxyl radical in the molecule; Salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof
    • C08F222/04Anhydrides, e.g. cyclic anhydrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L33/00Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides or nitriles thereof; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L33/04Homopolymers or copolymers of esters
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/0045Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2002Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
    • G03F7/2014Contact or film exposure of light sensitive plates such as lithographic plates or circuit boards, e.g. in a vacuum frame
    • G03F7/2016Contact mask being integral part of the photosensitive element and subject to destructive removal during post-exposure processing
    • G03F7/202Masking pattern being obtained by thermal means, e.g. laser ablation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Description

本発明は、硬化性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a curable resin composition.

液晶表示装置にはフォトスペーサやカラーフィルタの保護膜が備えられており、これらは、硬化性樹脂組成物から形成される。このような硬化性樹脂組成物としては、樹脂として、メタクリル酸と3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレートとの共重合体を含む組成物が知られている(特許文献1)。 The liquid crystal display device is provided with a protective film for a photo spacer or a color filter, and these are formed from a curable resin composition. As such a curable resin composition, a composition containing a copolymer of methacrylic acid and 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate is known as a resin. (Patent Document 1).

特開2008−181087号公報JP 2008-181087 A

従来から知られる上記の硬化性樹脂組成物は、該硬化性樹脂組成物により得られるパターンの直線性が、必ずしも十分に満足できるものではなかった。   Conventionally known curable resin compositions have not always been sufficiently satisfactory in the linearity of the pattern obtained by the curable resin composition.

本発明は、以下の発明を含む。
[1] 樹脂及び重合性化合物を含み、
樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位と、炭素数2〜4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体に由来する構造単位と、式(x)

Figure 0006135063
[式(x)中、Ra1は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。
a2は、炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を表す。]
で表される単量体に由来する構造単位とを有する共重合体を含む樹脂であり、
式(x)で表される単量体に由来する構造単位の含有量が、該共重合体を構成する構造単位全量に対して、0.1モル%以上10モル%以下である硬化性樹脂組成物。
[2] さらに、重合開始剤を含む[1]記載の硬化性樹脂組成物。
[3] [1]又は[2]記載の硬化性樹脂組成物により形成される塗膜。
[4] [1]又は[2]記載の硬化性樹脂組成物により形成されるパターン。
[5] [3]記載の塗膜及び[4]記載のパターンからなる群から選ばれる少なくとも1種を含む表示装置。 The present invention includes the following inventions.
[1] including a resin and a polymerizable compound,
A monomer having a structural unit derived from at least one selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid anhydride, a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms, and an ethylenically unsaturated bond A structural unit derived from the formula (x)
Figure 0006135063
[In formula (x), R a1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
R a2 represents an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. ]
A resin containing a copolymer having a structural unit derived from a monomer represented by:
Curable resin whose content of the structural unit derived from the monomer represented by the formula (x) is 0.1 mol% or more and 10 mol% or less with respect to the total amount of the structural unit constituting the copolymer. Composition.
[2] The curable resin composition according to [1], further comprising a polymerization initiator.
[3] A coating film formed from the curable resin composition according to [1] or [2].
[4] A pattern formed from the curable resin composition according to [1] or [2].
[5] A display device comprising at least one selected from the group consisting of the coating film according to [3] and the pattern according to [4].

本発明によれば、直線性に優れるパターンを形成することができる硬化性樹脂組成物を提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the curable resin composition which can form the pattern which is excellent in linearity.

本発明の硬化性樹脂組成物は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)を含み、
樹脂(B)は、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位と、炭素数2〜4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体に由来する構造単位と、式(x)

Figure 0006135063
[式(x)中、Ra1は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。
a2は、炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を表す。]
で表される単量体に由来する構造単位とを有する共重合体を含む樹脂であり、
式(x)で表される単量体に由来する構造単位の含有量は、該共重合体を構成する構造単位全量に対して、0.1モル%以上10モル%以下である。
本発明の硬化性樹脂組成物は、さらに重合開始剤(D)を含むことが好ましく、さらに溶剤(E)を含むことがより好ましい。
また、本発明の硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、重合開始助剤(D1)、チオール化合物(T)、界面活性剤(F)及び酸化防止剤(G)からなる群から選ばれる少なくとも1種を含んでもよい。
尚、本発明の硬化性樹脂組成物は、実質的に着色剤を含まない。 The curable resin composition of the present invention includes a resin (B) and a polymerizable compound (C),
The resin (B) has a structural unit derived from at least one selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid anhydride, a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms, and an ethylenically unsaturated bond. A structural unit derived from a monomer and the formula (x)
Figure 0006135063
[In formula (x), R a1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
R a2 represents an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. ]
A resin containing a copolymer having a structural unit derived from a monomer represented by:
The content of the structural unit derived from the monomer represented by the formula (x) is 0.1 mol% or more and 10 mol% or less with respect to the total amount of the structural unit constituting the copolymer.
The curable resin composition of the present invention preferably further contains a polymerization initiator (D), and more preferably contains a solvent (E).
Moreover, the curable resin composition of this invention is chosen from the group which consists of a polymerization start adjuvant (D1), a thiol compound (T), surfactant (F), and antioxidant (G) as needed. At least one kind may be included.
In addition, the curable resin composition of this invention does not contain a coloring agent substantially.

<樹脂(B)>
樹脂(B)は、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種(以下「(a)」という場合がある)に由来する構造単位と、炭素数2〜4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体(以下「(b)」という場合がある)に由来する構造単位と、式(x)

Figure 0006135063
[式(x)中、Ra1は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。
a2は、炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を表す。]
で表される単量体(以下「(x)」という場合がある)に由来する構造単位とを有する共重合体(以下「共重合体(A)」という場合がある)を含み、(x)に由来する構造単位の含有量は、該共重合体(A)を構成する構造単位全量に対して、0.1モル%以上10モル%以下である。 <Resin (B)>
The resin (B) is a structural unit derived from at least one selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid anhydride (hereinafter sometimes referred to as “(a)”), and has 2 to 4 carbon atoms. A structural unit derived from a monomer having a cyclic ether structure and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter sometimes referred to as “(b)”), and the formula (x)
Figure 0006135063
[In formula (x), R a1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
R a2 represents an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. ]
And a copolymer having a structural unit derived from a monomer represented by (hereinafter sometimes referred to as “(x)”) (hereinafter sometimes referred to as “copolymer (A)”), and (x The content of the structural unit derived from) is 0.1 mol% or more and 10 mol% or less with respect to the total amount of the structural unit constituting the copolymer (A).

a1を表す炭素数1〜4のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基及びブチル基等が挙げられる。
a1は、水素原子又はメチル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。
Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms representing R a1 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, and a butyl group.
R a1 is preferably a hydrogen atom or a methyl group, and more preferably a hydrogen atom.

a2を表す炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基、テトラデシル基、ヘキサデシル基、オクタデシル基、オクタデセニル基、イコシル基等の直鎖状脂肪族炭化水素基;イソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、2−エチルヘキシル基等の分岐鎖状脂肪族炭化水素基;が挙げられる。
a2は、水素原子又は炭素数5〜20の脂肪族炭化水素基が好ましく、炭素数6〜18の脂肪族炭化水素基であることがより好ましく、炭素数7〜18の脂肪族炭化水素基であることがさらに好ましく、炭素数7〜9の脂肪族炭化水素基であることがさらにより好ましく、炭素数8の脂肪族炭化水素基であることが特に好ましい。
Examples of the aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms representing R a2 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a nonyl group, a decyl group, and a dodecyl group. Straight chain aliphatic hydrocarbon groups such as tetradecyl group, hexadecyl group, octadecyl group, octadecenyl group, icosyl group; branched chain aliphatic carbonization such as isopropyl group, isobutyl group, isopentyl group, neopentyl group, 2-ethylhexyl group A hydrogen group;
R a2 is preferably a hydrogen atom or an aliphatic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms, more preferably an aliphatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, and an aliphatic hydrocarbon group having 7 to 18 carbon atoms. It is more preferable that it is an aliphatic hydrocarbon group having 7 to 9 carbon atoms, and an aliphatic hydrocarbon group having 8 carbon atoms is particularly preferable.

(x)としては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、2,4,6−トリメチルヘプチル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、プロパルギル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
尚、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸よりなる群から選ばれる少なくとも1種を表す。「(メタ)アクリロイル」及び「(メタ)アクリレート」等の表記も、同様の意味を有する。
Examples of (x) include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth). Acrylate, isodecyl (meth) acrylate, 2,4,6-trimethylheptyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, propargyl (meth) acrylate Etc.
In the present specification, “(meth) acrylic acid” represents at least one selected from the group consisting of acrylic acid and methacrylic acid. Notations such as “(meth) acryloyl” and “(meth) acrylate” have the same meaning.

(a)としては、具体的には、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、3−ビニルフタル酸、4−ビニルフタル酸、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸及び1、4−シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類;
メチル−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、5−カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類;
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3−ビニルフタル酸無水物、4−ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物及び5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)等の不飽和ジカルボン酸類無水物;
Specific examples of (a) include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, o-, m-, and p-vinylbenzoic acid;
Maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, 3-vinylphthalic acid, 4-vinylphthalic acid, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic acid, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic acid, dimethyl Unsaturated dicarboxylic acids such as tetrahydrophthalic acid and 1,4-cyclohexene dicarboxylic acid;
Methyl-5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid, 5-carboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-methylbicyclo Bicyclounsaturated compounds containing a carboxy group such as [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene;
Maleic anhydride, citraconic anhydride, itaconic anhydride, 3-vinylphthalic anhydride, 4-vinylphthalic anhydride, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride, 1,2,3,6- Unsaturated dicarboxylic acid anhydrides such as tetrahydrophthalic anhydride, dimethyltetrahydrophthalic anhydride, and 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride (hymic acid anhydride);

こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕及びフタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕エステル類;
α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性の点やアルカリ水溶液への溶解性の点から、アクリル酸、メタクリル酸及び無水マレイン酸が好ましい。
Unsaturated mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of divalent or higher polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] Kind;
Examples thereof include unsaturated acrylates containing a hydroxy group and a carboxy group in the same molecule, such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid.
Of these, acrylic acid, methacrylic acid and maleic anhydride are preferred from the viewpoint of copolymerization reactivity and solubility in an aqueous alkali solution.

(b)は、例えば、炭素数2〜4の環状エーテル構造(例えば、オキシラン環、オキセタン環及びテトラヒドロフラン環からなる群から選ばれる少なくとも1種)とエチレン性不飽和結合とを有する重合性化合物をいう。(b)は、炭素数2〜4の環状エーテルと(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましい。   (B) is, for example, a polymerizable compound having a C2-C4 cyclic ether structure (for example, at least one selected from the group consisting of an oxirane ring, an oxetane ring and a tetrahydrofuran ring) and an ethylenically unsaturated bond. Say. (B) is preferably a monomer having a C2-C4 cyclic ether and a (meth) acryloyloxy group.

(b)としては、例えば、オキシラニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(a1)(以下「(b1)」という場合がある)、オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b2)(以下「(b2)」という場合がある)、テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b3)(以下「(b3)」という場合がある)等が挙げられる。   Examples of (b) include a monomer (a1) having an oxiranyl group and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter sometimes referred to as “(b1)”), and a single monomer having an oxetanyl group and an ethylenically unsaturated bond. Monomer (b2) (hereinafter sometimes referred to as “(b2)”), monomer (b3) having a tetrahydrofuryl group and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter sometimes referred to as “(b3)”), etc. Can be mentioned.

(b1)は、例えば、直鎖状又は分枝鎖状の不飽和脂肪族炭化水素をエポキシ化した構造を有する単量体(b1−1)(以下「(b1−1)」という場合がある)、不飽和脂環式炭化水素をエポキシ化した構造を有する単量体(b1−2)(以下「(b1−2)」という場合がある)が挙げられる。   (B1) may be, for example, a monomer (b1-1) having a structure obtained by epoxidizing a linear or branched unsaturated aliphatic hydrocarbon (hereinafter referred to as “(b1-1)”) ), A monomer (b1-2) having a structure obtained by epoxidizing an unsaturated alicyclic hydrocarbon (hereinafter sometimes referred to as “(b1-2)”).

(b1−1)としては、グリシジル(メタ)アクリレート、β−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、β−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルビニルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、2,3−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,4−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,5−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,6−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,4−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,5−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,6−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、3,4,5−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン及び2,4,6−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン等が挙げられる。   As (b1-1), glycidyl (meth) acrylate, β-methylglycidyl (meth) acrylate, β-ethylglycidyl (meth) acrylate, glycidyl vinyl ether, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p -Vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-o-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-m-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-p-vinylbenzyl glycidyl ether, 2,3-bis (glycidyloxymethyl) styrene 2,4-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,5-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,6-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,3,4-tris (glycidyloxymethyl) styrene 2,3,5-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 2,3,6-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 3,4,5-tris (glycidyloxymethyl) styrene and 2,4,6- Examples include tris (glycidyloxymethyl) styrene.

(b1−2)としては、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン(例えば、セロキサイド2000;ダイセル化学工業(株)製)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート(例えば、サイクロマーA400;ダイセル化学工業(株)製)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート(例えば、サイクロマーM100;ダイセル化学工業(株)製)、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物等が挙げられる。   Examples of (b1-2) include vinylcyclohexene monooxide, 1,2-epoxy-4-vinylcyclohexane (for example, Celoxide 2000; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate ( For example, Cyclomer A400 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate (for example, Cyclomer M100; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), represented by formula (I) Examples thereof include compounds and compounds represented by formula (II).

Figure 0006135063
Figure 0006135063

[式(I)及び式(II)中、Rb1及びRb2は、水素原子、又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基で置換されていてもよい。
b1及びXb2は、単結合、−Rb3−、*−Rb3−O−、*−Rb3−S−又は*−Rb3−NH−を表す。
b3は、炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。
*は、Oとの結合手を表す。]
[In Formula (I) and Formula (II), R b1 and R b2 represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the alkyl group is substituted with a hydroxy group. May be.
X b1 and X b2 represents a single bond, -R b3 -, * - R b3 -O -, * - R b3 -S- or * -R b3 represents a -NH-.
R b3 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
* Represents a bond with O. ]

炭素数1〜4のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基等が挙げられる。
水素原子がヒドロキシで置換されたアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基、1−ヒドロキシプロピル基、2−ヒドロキシプロピル基、3−ヒドロキシプロピル基、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル基、2−ヒドロキシ−1−メチルエチル基、1−ヒドロキシブチル基、2−ヒドロキシブチル基、3−ヒドロキシブチル基及び4−ヒドロキシブチル基等が挙げられる。
b1及びRb2としては、水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基及び2−ヒドロキシエチル基が好ましく、水素原子及びメチル基がより好ましい。
Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, and a tert-butyl group.
Examples of the alkyl group in which a hydrogen atom is substituted with hydroxy include hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group, 1-hydroxypropyl group, 2-hydroxypropyl group, 3-hydroxypropyl group, 1-hydroxy Examples include a -1-methylethyl group, a 2-hydroxy-1-methylethyl group, a 1-hydroxybutyl group, a 2-hydroxybutyl group, a 3-hydroxybutyl group, and a 4-hydroxybutyl group.
R b1 and R b2 are preferably a hydrogen atom, a methyl group, a hydroxymethyl group, a 1-hydroxyethyl group and a 2-hydroxyethyl group, and more preferably a hydrogen atom and a methyl group.

アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−1,2−ジイル基、プロパン−1,3−ジイル基、ブタン−1,4−ジイル基、ペンタン−1,5−ジイル基、ヘキサン−1,6−ジイル基等が挙げられる。
b1及びXb2としては、単結合、メチレン基、エチレン基、*−CH−O−及び*−CHCH−O−が好ましく、単結合及び*−CHCH−O−がより好ましい。*はOとの結合手を表す。
Examples of alkanediyl groups include methylene group, ethylene group, propane-1,2-diyl group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane- Examples include 1,6-diyl group.
As X b1 and X b2 , a single bond, a methylene group, an ethylene group, * —CH 2 —O— and * —CH 2 CH 2 —O— are preferable, and a single bond and * —CH 2 CH 2 —O— are preferable. More preferred. * Represents a bond with O.

式(I)で表される化合物としては、式(I−1)〜式(I−15)のいずれかで表される化合物等が挙げられる。中でも、式(I−1)、式(I−3)、式(I−5)、式(I−7)、式(I−9)及び式(I−11)〜式(I−15)のいずれかで表される化合物が好ましく、式(I−1)、式(I−7)、式(I−9)及び式(I−15)のいずれかで表される化合物がより好ましい。   Examples of the compound represented by the formula (I) include compounds represented by any one of the formulas (I-1) to (I-15). Among them, Formula (I-1), Formula (I-3), Formula (I-5), Formula (I-7), Formula (I-9), and Formula (I-11) to Formula (I-15) A compound represented by any one of formula (I-1), formula (I-7), formula (I-9) and formula (I-15) is more preferred.

Figure 0006135063
Figure 0006135063

Figure 0006135063
Figure 0006135063

式(II)で表される化合物としては、式(II−1)〜式(II−15)のいずれかで表される化合物等が挙げられる。中でも、式(II−1)、式(II−3)、式(II−5)、式(II−7)、式(II−9)及び式(II−11)〜式(II−15)のいずれかで表される化合物が好ましく、式(II−1)、式(II−7)、式(II−9)及び式(II−15)のいずれかで表される化合物がより好ましい。   Examples of the compound represented by the formula (II) include compounds represented by any one of the formulas (II-1) to (II-15). Among them, formula (II-1), formula (II-3), formula (II-5), formula (II-7), formula (II-9) and formula (II-11) to formula (II-15) A compound represented by any one of formulas (II-1), (II-7), (II-9) and (II-15) is more preferred.

Figure 0006135063
Figure 0006135063

Figure 0006135063
Figure 0006135063

式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物は、それぞれ単独で用いても、任意の比率で混合して用いてもよい。混合して用いる場合、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物の含有比率はモル基準で、好ましくは5:95〜95:5、より好ましくは10:90〜90:10、さらに好ましくは20:80〜80:20である。   The compound represented by the formula (I) and the compound represented by the formula (II) may be used singly or as a mixture in any ratio. When used as a mixture, the content ratio of the compound represented by the formula (I) and the compound represented by the formula (II) is preferably 5:95 to 95: 5, more preferably 10:90 to 5 on a molar basis. 90:10, more preferably 20:80 to 80:20.

オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b2)としては、オキセタニル基と(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましい。(b2)としては、3−メチル−3−メタクリルロイルオキシメチルオキセタン、3−メチル−3−アクリロイルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロイルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−アクリロイルオキシメチルオキセタン、3−メチル−3−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、3−メチル−3−アクリロイルオキシエチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロイルオキシエチルオキセタン及び3−エチル−3−アクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。   As the monomer (b2) having an oxetanyl group and an ethylenically unsaturated bond, a monomer having an oxetanyl group and a (meth) acryloyloxy group is preferable. (B2) includes 3-methyl-3-methacryloyloxymethyloxetane, 3-methyl-3-acryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-methacryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-acryloyloxymethyloxetane 3-methyl-3-methacryloyloxyethyl oxetane, 3-methyl-3-acryloyloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3-methacryloyloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3-acryloyloxyethyl oxetane, and the like.

テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b3)としては、テトラヒドロフリル基と(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましい。(b3)としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート(例えば、ビスコートV#150、大阪有機化学工業(株)製)及びテトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。   As the monomer (b3) having a tetrahydrofuryl group and an ethylenically unsaturated bond, a monomer having a tetrahydrofuryl group and a (meth) acryloyloxy group is preferable. Specific examples of (b3) include tetrahydrofurfuryl acrylate (for example, Biscoat V # 150, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) and tetrahydrofurfuryl methacrylate.

(b)としては、得られる塗膜及びパターンの耐熱性、耐薬品性等の信頼性をより高くすることができる点で、(b1)であることが好ましい。さらに、硬化性樹脂組成物の保存安定性が優れるという点で、(b1−2)がより好ましい。   (B) is preferably (b1) from the viewpoint that the reliability of the obtained coating film and pattern, such as heat resistance and chemical resistance, can be further increased. Furthermore, (b1-2) is more preferable in that the storage stability of the curable resin composition is excellent.

さらに、共重合体(A)は、(a)、(b)及び(x)とは異なり、かつこれらと共重合可能な単量体(以下「(c)」という場合がある)に由来する構造単位を有していてもよい。
(c)としては、例えば、シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として「ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート」といわれている。また、「トリシクロデシル(メタ)アクリレート」という場合がある。)、トリシクロ[5.2.1.02,6]デセン−8−イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として「ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート」といわれている。)、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキシ基含有(メタ)アクリル酸エステル類;
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル;
Further, the copolymer (A) is different from (a), (b) and (x) and is derived from a monomer copolymerizable with these (hereinafter sometimes referred to as “(c)”). You may have a structural unit.
Examples of (c) include cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, and tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth). Acrylate (in this technical field, it is referred to as “dicyclopentanyl (meth) acrylate” as a common name. It may also be referred to as “tricyclodecyl (meth) acrylate”), tricyclo [5.2.1 .0 2,6] (in the art, it is said that "dicyclopentenyl (meth) acrylate" as trivial name.) decene-8-yl (meth) acrylate, dicyclopentenyl oxyethyl (meth) acrylate , Isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, phenyl (meth) a (Meth) acrylic acid esters such as acrylate, naphthyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate;
Hydroxy group-containing (meth) acrylic acid esters such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate;
Dicarboxylic acid diesters such as diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate;

ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(ヒドロキシメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチル−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−tert−ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ビス(tert−ブトキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ビス(シクロヘキシルオキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等のビシクロ不飽和化合物類;   Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- Hydroxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] Hept-2-ene, 5-methoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dihydroxybicyclo [2.2 .1] Hept-2-ene, 5,6-di (hydroxymethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2. 1] hept-2-ene, 5,6-dimethoxybicyclo [2. .1] hept-2-ene, 5,6-diethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethyl-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-tert-butoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-cyclohexyloxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-phenoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-bis (tert-butoxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-bis (cyclohexyloxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene Bicyclo unsaturated compounds;

N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート及びN−(9−アクリジニル)マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類;   N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3 -Dicarbonylimide derivatives such as maleimide propionate and N- (9-acridinyl) maleimide;

スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、1,3−ブタジエン、イソプレン及び2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性及び耐熱性の点から、スチレン、ビニルトルエン、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド及びビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンが好ましく、スチレン、ビニルトルエン及びN−シクロヘキシルマレイミドがより好ましい。
Styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyl toluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, 1,3-butadiene , Isoprene, and 2,3-dimethyl-1,3-butadiene.
Of these, styrene, vinyltoluene, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide and bicyclo [2.2.1] hept-2-ene are preferred from the viewpoints of copolymerization reactivity and heat resistance. Styrene, vinyltoluene and N-cyclohexylmaleimide are more preferred.

共重合体(A)が、(x)に由来する構造単位、(a)に由来する構造単位及び(b)に由来する構造単位からなる共重合体である場合、それぞれに由来する構造単位の含有比率は、該共重合体を構成する構造単位全量に対して、
(x)に由来する構造単位;0.1〜10モル%
(a)に由来する構造単位;2〜50モル%
(b)に由来する構造単位;40〜97.9モル%
が好ましく、
(x)に由来する構造単位;0.3〜8モル%
(a)に由来する構造単位;5〜45モル%
(b)に由来する構造単位;47〜94.7モル%
がより好ましい。構造単位の含有モル比率は、共重合体の製造に用いる単量体の質量比から計算することができる。
各構造単位の比率が、上記の範囲内にあると、得られるパターンは直線性に優れる傾向がある。
When the copolymer (A) is a copolymer comprising a structural unit derived from (x), a structural unit derived from (a), and a structural unit derived from (b), The content ratio is based on the total amount of structural units constituting the copolymer.
Structural unit derived from (x); 0.1 to 10 mol%
Structural unit derived from (a); 2 to 50 mol%
Structural unit derived from (b); 40-97.9 mol%
Is preferred,
Structural unit derived from (x); 0.3 to 8 mol%
Structural unit derived from (a); 5-45 mol%
Structural unit derived from (b); 47-94.7 mol%
Is more preferable. The content molar ratio of the structural unit can be calculated from the mass ratio of the monomers used for the production of the copolymer.
When the ratio of each structural unit is within the above range, the resulting pattern tends to be excellent in linearity.

共重合体(A)が、(x)に由来する構造単位、(a)に由来する構造単位、(b)に由来する構造単位及び(c)に由来する構造単位からなる共重合体である場合、それぞれに由来する構造単位の含有比率は、該共重合体を構成する構造単位全量に対して、
(x)に由来する構造単位;0.1〜10モル%
(a)に由来する構造単位;2〜50モル%
(b)に由来する構造単位;10〜92.9モル%
(c)に由来する構造単位;5〜87.9モル%
が好ましく、
(x)に由来する構造単位;0.3〜8モル%
(a)に由来する構造単位;5〜45モル%
(b)に由来する構造単位;20〜70モル%
(c)に由来する構造単位;10〜70モル%
がより好ましい。
各構造単位の比率が、上記の範囲内にあると、得られるパターンは直線性に優れる傾向がある。さらに、硬化性樹脂組成物の乾燥物は有機溶媒への溶解性に優れる傾向がある。そのため、塗布装置の吐出部で該乾燥物が発生しても、吐出部に供給された硬化性樹脂組成物や洗浄液によって速やかに溶解して、基板上に発生する異物が少なくなる。
The copolymer (A) is a copolymer comprising a structural unit derived from (x), a structural unit derived from (a), a structural unit derived from (b), and a structural unit derived from (c). In this case, the content ratio of the structural units derived from each is based on the total amount of structural units constituting the copolymer,
Structural unit derived from (x); 0.1 to 10 mol%
Structural unit derived from (a); 2 to 50 mol%
Structural unit derived from (b); 10-92.9 mol%
Structural unit derived from (c); 5-87.9 mol%
Is preferred,
Structural unit derived from (x); 0.3 to 8 mol%
Structural unit derived from (a); 5-45 mol%
Structural unit derived from (b); 20-70 mol%
Structural unit derived from (c); 10-70 mol%
Is more preferable.
When the ratio of each structural unit is within the above range, the resulting pattern tends to be excellent in linearity. Furthermore, the dried product of the curable resin composition tends to be excellent in solubility in an organic solvent. Therefore, even if the dry matter is generated at the discharge unit of the coating apparatus, the curable resin composition or the cleaning liquid supplied to the discharge unit dissolves quickly, and foreign matter generated on the substrate is reduced.

共重合体(A)は、例えば、文献「高分子合成の実験法」(大津隆行著 発行所(株)化学同人 第1版第1刷 1972年3月1日発行)に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。   The copolymer (A) is prepared by, for example, the method described in the document “Experimental Method for Polymer Synthesis” (Takayuki Otsu, Publishing Co., Ltd., Chemical Dojin Co., Ltd., First Edition, First Edition, issued March 1, 1972) and It can manufacture with reference to the cited reference described in the said literature.

具体的には、(x)、(a)、(b)及び必要に応じて(c)の所定量、重合開始剤及び溶剤等を反応容器中に入れて、例えば、窒素により酸素を置換することにより、脱酸素雰囲気にし、攪拌しながら、加熱及び保温する方法が挙げられる。なお、ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているものを使用することができる。例えば、重合開始剤としては、アゾ化合物(2,2′−アゾビスイソブチロニトリル、2,2′−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)等)や有機過酸化物(ベンゾイルペルオキシド等)が挙げられ、溶剤としては、各モノマーを溶解するものであればよく、硬化性樹脂組成物の溶剤として後述する溶剤(E)等が挙げられる。   Specifically, a predetermined amount of (x), (a), (b) and, if necessary, (c), a polymerization initiator, a solvent, and the like are placed in a reaction vessel, and, for example, nitrogen is substituted with oxygen. Thus, there is a method of heating and keeping warm while stirring in a deoxygenated atmosphere. In addition, the polymerization initiator, the solvent, and the like used here are not particularly limited, and those usually used in the field can be used. For example, as polymerization initiators, azo compounds (2,2'-azobisisobutyronitrile, 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), etc.) and organic peroxides (benzoyl peroxide, etc.) As the solvent, any solvent that dissolves each monomer may be used, and examples of the solvent for the curable resin composition include a solvent (E) described later.

なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。特に、この重合の際に溶剤として、後述する溶剤(E)を使用することにより、反応後の溶液をそのまま使用することができ、製造工程を簡略化することができる。   In addition, the obtained copolymer may use the solution after reaction as it is, a concentrated or diluted solution may be used, and it took out as solid (powder) by methods, such as reprecipitation. Things may be used. In particular, by using a solvent (E) described later as a solvent in the polymerization, the solution after the reaction can be used as it is, and the manufacturing process can be simplified.

共重合体(A)のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜100,000であり、より好ましくは5,000〜50,000であり、さらに好ましくは5,000〜30,000である。分子量が前記の範囲にあると、パターン及び塗膜の硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向がある。
共重合体(A)の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1〜6であり、より好ましくは1.2〜4である。
The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the copolymer (A) is preferably 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000, and further preferably 5,000 to 30,000. It is. When the molecular weight is in the above range, the hardness of the pattern and the coating film is improved, the residual film ratio is high, the solubility in the developer in the unexposed area is good, and the resolution tends to be improved.
The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the copolymer (A) is preferably 1.1 to 6, and more preferably 1.2 to 4.

共重合体(A)の酸価は、好ましくは50〜170mg−KOH/gであり、より好ましくは60〜150、さらに好ましくは70〜135mg−KOH/gである。ここで酸価は樹脂1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、例えば水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。   The acid value of the copolymer (A) is preferably 50 to 170 mg-KOH / g, more preferably 60 to 150, still more preferably 70 to 135 mg-KOH / g. Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of the resin, and can be determined by titration using, for example, an aqueous potassium hydroxide solution.

樹脂(B)は、共重合体(A)とは異なる樹脂(以下「樹脂(B’)」という場合がある)を含んでもよい。樹脂(B’)は特に限定されないが、アルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。樹脂(B’)としては、以下の樹脂[K1]〜[K6]等が挙げられる。
樹脂[K1]:(a)と、(b)との共重合体;
樹脂[K2]:(a)と(b)と(c)との共重合体;
樹脂[K3]:(a)と、(a)と共重合可能であって(a)及び(b)とは異なる単量体(以下「(c’)」という場合がある)との共重合体;
樹脂[K4]:(a)と(c’)との共重合体に(b)を反応させた樹脂;
樹脂[K5]:(b)と(c’)との共重合体に(a)を反応させた樹脂;
樹脂[K6]:(b)と(c’)との共重合体に(a)を反応させ、さらにカルボン酸無水物を反応させた樹脂。
ここで、(c’)としては、上述の(x)及び(c)で例示した単量体が挙げられる。
The resin (B) may contain a resin different from the copolymer (A) (hereinafter sometimes referred to as “resin (B ′)”). The resin (B ′) is not particularly limited, but is preferably an alkali-soluble resin. Examples of the resin (B ′) include the following resins [K1] to [K6].
Resin [K1]: Copolymer of (a) and (b);
Resin [K2]: Copolymer of (a), (b) and (c);
Resin [K3]: Copolymerization of (a) with a monomer copolymerizable with (a) and different from (a) and (b) (hereinafter sometimes referred to as “(c ′)”) Coalescence;
Resin [K4]: a resin obtained by reacting (b) with a copolymer of (a) and (c ′);
Resin [K5]: a resin obtained by reacting (a) with a copolymer of (b) and (c ′);
Resin [K6]: A resin obtained by reacting (a) with a copolymer of (b) and (c ′) and further reacting with a carboxylic acid anhydride.
Here, examples of (c ′) include the monomers exemplified in the above (x) and (c).

樹脂[K1]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K1]を構成する全構造単位に対して、
(a)に由来する構造単位;2〜60モル%
(b)に由来する構造単位;40〜98モル%
が好ましく、
(a)に由来する構造単位;10〜50モル%
(b)に由来する構造単位;50〜90モル%
がより好ましい。
樹脂[K1]の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、硬化性樹脂組成物の保存安定性、パターンを形成する際の現像性、並びに得られるパターン及び塗膜の耐溶剤性に優れる傾向がある。
樹脂[K1]は、例えば、共重合体(A)の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
In the resin [K1], the ratio of the structural units derived from each is relative to all the structural units constituting the resin [K1].
Structural unit derived from (a); 2 to 60 mol%
Structural unit derived from (b); 40-98 mol%
Is preferred,
Structural unit derived from (a); 10-50 mol%
Structural unit derived from (b); 50-90 mol%
Is more preferable.
When the ratio of the structural unit of the resin [K1] is in the above range, the storage stability of the curable resin composition, the developability when forming the pattern, and the solvent resistance of the resulting pattern and coating film are excellent. Tend.
Resin [K1] can be produced, for example, in the same manner as described in the method for producing copolymer (A).

樹脂[K2]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K2]を構成する全構造単位中、
(a)に由来する構造単位;2〜45モル%
(b)に由来する構造単位;2〜95モル%
(c)に由来する構造単位;1〜65モル%
であることが好ましく、
(a)に由来する構造単位;5〜40モル%
(b)に由来する構造単位;5〜80モル%
(c)に由来する構造単位;5〜60モル%
であることがより好ましい。
樹脂[K2]の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、硬化性樹脂組成物の保存安定性、パターンを形成する際の現像性、並びに、得られるパターン及び塗膜の耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
樹脂[K2]は、例えば、共重合体(A)の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
In the resin [K2], the ratio of the structural units derived from each of the structural units in the resin [K2]
Structural unit derived from (a); 2-45 mol%
Structural unit derived from (b); 2 to 95 mol%
Structural unit derived from (c); 1 to 65 mol%
It is preferable that
Structural unit derived from (a); 5 to 40 mol%
Structural unit derived from (b); 5 to 80 mol%
Structural unit derived from (c); 5 to 60 mol%
It is more preferable that
When the ratio of the structural unit of the resin [K2] is in the above range, the storage stability of the curable resin composition, the developability when forming a pattern, and the solvent resistance of the resulting pattern and coating film, There is a tendency to be excellent in heat resistance and mechanical strength.
Resin [K2] can be produced, for example, in the same manner as described in the method for producing copolymer (A).

樹脂[K3]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K3]を構成する全構造単位中、
(a)に由来する構造単位;2〜60モル%
(c’)に由来する構造単位;40〜98モル%
であることが好ましく、
(a)に由来する構造単位;10〜50モル%
(c’)に由来する構造単位;50〜90モル%
であることがより好ましい。
樹脂[K3]は、例えば、共重合体(A)の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
In the resin [K3], the proportion of structural units derived from each of the structural units constituting the resin [K3]
Structural unit derived from (a); 2 to 60 mol%
Structural unit derived from (c ′); 40 to 98 mol%
It is preferable that
Structural unit derived from (a); 10-50 mol%
Structural unit derived from (c ′); 50-90 mol%
It is more preferable that
Resin [K3] can be produced, for example, in the same manner as described in the method for producing copolymer (A).

樹脂[K4]は、(a)と(c’)との共重合体を得て、(b)が有する炭素数2〜4の環状エーテルを(a)が有するカルボン酸及び/又はカルボン酸無水物に付加させることにより製造することができる。
まず(a)と(c’)との共重合体を、共重合体(A)の製造方法として記載した方法と同様に製造する。この場合、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K3]で挙げたもの同じ比率であることが好ましい。
Resin [K4] obtains a copolymer of (a) and (c ′), and (b) has a carboxylic acid and / or carboxylic acid anhydride having (a) a cyclic ether having 2 to 4 carbon atoms. It can be manufactured by adding to a product.
First, a copolymer of (a) and (c ′) is produced in the same manner as the method described as the production method of the copolymer (A). In this case, it is preferable that the ratio of the structural units derived from each is the same as that described for the resin [K3].

次に、前記共重合体中の(a)に由来するカルボン酸及び/又はカルボン酸無水物の一部に、(b)が有する炭素数2〜4の環状エーテルを反応させる。
(a)と(c’)との共重合体の製造に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、(b)、カルボン酸又はカルボン酸無水物と環状エーテルとの反応触媒(例えばトリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等)及び重合禁止剤(例えばハイドロキノン等)等をフラスコ内に入れて、例えば、60〜130℃で、1〜10時間反応することにより、樹脂[K4]を製造することができる。
(b)の使用量は、(a)100モルに対して、5〜80モルが好ましく、より好ましくは10〜75モルである。この範囲にすることにより、硬化性樹脂組成物の保存安定性、パターンを形成する際の現像性、並びに、得られるパターン及び塗膜の耐溶剤性、耐熱性、機械強度及び感度のバランスが良好になる傾向がある。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存しにくいことから、樹脂[K4]に用いる(b)としては(b1)が好ましく、さらに(b1−1)が好ましい。
前記反応触媒の使用量は、(a)、(b)及び(c’)の合計量100質量部に対して0.001〜5質量部が好ましい。前記重合禁止剤の使用量は、(a)、(b)及び(c’)の合計量100質量部に対して0.001〜5質量部が好ましい。
仕込方法、反応温度及び時間等の反応条件は、製造設備や重合による発熱量等を考慮して適宜調整することができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。
Next, the C2-C4 cyclic ether which (b) has is reacted with a part of the carboxylic acid and / or carboxylic anhydride derived from (a) in the copolymer.
Subsequent to the production of the copolymer of (a) and (c ′), the atmosphere in the flask is replaced with nitrogen to air, and (b) a reaction catalyst (for example, tris) of carboxylic acid or carboxylic anhydride and cyclic ether is used. (Dimethylaminomethyl) phenol, etc.) and a polymerization inhibitor (eg, hydroquinone, etc.) are placed in a flask and reacted, for example, at 60-130 ° C. for 1-10 hours to produce resin [K4]. Can do.
The amount of (b) used is preferably 5 to 80 mol, more preferably 10 to 75 mol, per 100 mol of (a). By using this range, the storage stability of the curable resin composition, the developability when forming a pattern, and the solvent and heat resistance, mechanical strength, and sensitivity of the resulting pattern and coating film are well balanced. Tend to be. Since the reactivity of the cyclic ether is high and unreacted (b) hardly remains, (b1) is preferable as (b) used for the resin [K4], and (b1-1) is more preferable.
The amount of the reaction catalyst used is preferably 0.001 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of (a), (b) and (c ′). The amount of the polymerization inhibitor used is preferably 0.001 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of (a), (b) and (c ′).
The reaction conditions such as the charging method, reaction temperature, and time can be appropriately adjusted in consideration of the production equipment and the amount of heat generated by polymerization. In addition, like the polymerization conditions, the charging method and the reaction temperature can be appropriately adjusted in consideration of the production equipment, the amount of heat generated by the polymerization, and the like.

樹脂[K5]は、第一段階として、共重合体(A)の製造方法として記載した方法と同様に、(b)と(c’)との共重合体を得る。上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
(b)及び(c’)に由来する構造単位の比率は、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
(b)に由来する構造単位;5〜95モル%
(c’)に由来する構造単位;5〜95モル%
であることが好ましく、
(b)に由来する構造単位;10〜90モル%
(c’)に由来する構造単位;10〜90モル%
であることがより好ましい。
Resin [K5] obtains a copolymer of (b) and (c ′) as the first step, as in the method described as the method for producing copolymer (A). Similarly to the above, the obtained copolymer may be used as it is after the reaction, or may be a concentrated or diluted solution, or may be solid (powder) by a method such as reprecipitation. You may use what was taken out as.
The ratio of the structural units derived from (b) and (c ′) is preferably in the following range with respect to the total number of moles of all structural units constituting the copolymer.
Structural unit derived from (b); 5-95 mol%
Structural unit derived from (c ′); 5-95 mol%
It is preferable that
Structural unit derived from (b); 10-90 mol%
Structural unit derived from (c ′); 10 to 90 mol%
It is more preferable that

さらに、樹脂[K4]の製造方法と同様の条件で、(b)と(c’)との共重合体が有する(b)に由来する環状エーテルに、(a)が有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより、樹脂[K5]を得ることができる。
前記の共重合体に反応させる(a)の使用量は、(b)100モルに対して、5〜80モルが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存しにくいことから、樹脂[K5]に用いる(b)としては(b1)が好ましく、さらに(b1−1)が好ましい。
Furthermore, the carboxylic acid or carboxylic acid possessed by (a) is added to the cyclic ether derived from (b) possessed by the copolymer of (b) and (c ′) under the same conditions as in the resin [K4] production method. Resin [K5] can be obtained by reacting an anhydride.
As for the usage-amount of (a) made to react with the said copolymer, 5-80 mol is preferable with respect to 100 mol of (b). Since the reactivity of the cyclic ether is high and unreacted (b) hardly remains, (b1) is preferable as (b) used for the resin [K5], and (b1-1) is more preferable.

樹脂[K6]は、樹脂[K5]に、さらにカルボン酸無水物を反応させた樹脂である。環状エーテルとカルボン酸又はカルボン酸無水物との反応により発生するヒドロキシ基に、カルボン酸無水物を反応させる。
カルボン酸無水物としては、無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3−ビニルフタル酸無水物、4−ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)等が挙げられる。カルボン酸無水物の使用量は、(a)の使用量1モルに対して、0.5〜1モルが好ましい。
Resin [K6] is a resin obtained by further reacting carboxylic anhydride with resin [K5]. Carboxylic anhydride is reacted with a hydroxy group generated by reaction of cyclic ether with carboxylic acid or carboxylic anhydride.
Carboxylic anhydrides include maleic anhydride, citraconic anhydride, itaconic anhydride, 3-vinylphthalic anhydride, 4-vinylphthalic anhydride, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride, 1 2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride (highmic acid anhydride) and the like. It is done. As for the usage-amount of carboxylic acid anhydride, 0.5-1 mol is preferable with respect to 1 mol of usage-amount of (a).

樹脂(B’)としては、具体的には、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体等の樹脂[K1];グリシジル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、グリシジル(メタ)アクリレート/スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド共重合体、3−メチル−3−(メタ)アクリルロイルオキシメチルオキセタン/(メタ)アクリル酸/スチレン共重合体等の樹脂[K2];ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体等の樹脂[K3];ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂等の樹脂[K4];トリシクロデシル(メタ)アクリレート/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/スチレン/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂等の樹脂[K5];トリシクロデシル(メタ)アクリレート/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂にさらにテトラヒドロフタル酸無水物を反応させた樹脂等の樹脂[K6]等が挙げられる。
これらの樹脂は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
Specifically, as the resin (B ′), 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2 .6 ] Resin such as decyl acrylate / (meth) acrylic acid copolymer [K1]; glycidyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, glycidyl (meth) acrylate / styrene / (Meth) acrylic acid copolymer, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate / (meth) acrylic acid / N-cyclohexylmaleimide copolymer, 3-methyl-3 -Resin such as (meth) acryloyloxymethyloxetane / (meth) acrylic acid / styrene copolymer [K2]; benzyl (meth) acrylate / (Meth) acrylic acid copolymer, styrene / (meth) acrylic acid copolymer resin [K3]; glycidyl (meth) acrylate added to benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer Resin, resin obtained by adding glycidyl (meth) acrylate to tricyclodecyl (meth) acrylate / styrene / (meth) acrylic acid copolymer, tricyclodecyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / (meth) Resin [K4] such as resin obtained by adding glycidyl (meth) acrylate to acrylic acid copolymer; (meth) acrylic acid was reacted with tricyclodecyl (meth) acrylate / glycidyl (meth) acrylate copolymer Resin, of tricyclodecyl (meth) acrylate / styrene / glycidyl (meth) acrylate Resin [K5] such as a resin obtained by reacting a copolymer with (meth) acrylic acid; a resin obtained by reacting a copolymer of tricyclodecyl (meth) acrylate / glycidyl (meth) acrylate with (meth) acrylic acid Furthermore, resin [K6] such as a resin obtained by reacting tetrahydrophthalic anhydride may be used.
These resins may be used alone or in combination of two or more.

中でも、樹脂(B’)としては、樹脂[K1]、樹脂[K2]及び樹脂[K3]が好ましい。   Among these, as the resin (B ′), the resin [K1], the resin [K2], and the resin [K3] are preferable.

樹脂(B’)のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜100,000であり、より好ましくは5,000〜50,000であり、さらに好ましくは5,000〜30,000である。分子量が前記の範囲にあると、パターン及び塗膜の硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向がある。
樹脂(B’)の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1〜6であり、より好ましくは1.2〜4である。
The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the resin (B ′) is preferably 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000, and further preferably 5,000 to 30,000. is there. When the molecular weight is in the above range, the hardness of the pattern and the coating film is improved, the residual film ratio is high, the solubility in the developer in the unexposed area is good, and the resolution tends to be improved.
The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the resin (B ′) is preferably 1.1 to 6, and more preferably 1.2 to 4.

樹脂(B’)の酸価は、好ましくは50〜170mg−KOH/gであり、より好ましくは60〜150、さらに好ましくは70〜135mg−KOH/gである。   The acid value of the resin (B ′) is preferably 50 to 170 mg-KOH / g, more preferably 60 to 150, and still more preferably 70 to 135 mg-KOH / g.

樹脂(B’)は含まなくてもよいが、樹脂(B’)の含有量は、樹脂(B)の総量に対して、好ましくは70質量%以下であり、より好ましくは50質量%以下である。   The resin (B ′) may not be contained, but the content of the resin (B ′) is preferably 70% by mass or less, more preferably 50% by mass or less with respect to the total amount of the resin (B). is there.

樹脂(B)の含有量は、固形分の総量に対して、好ましくは25〜70質量%であり、より好ましくは35〜60質量%である。樹脂(B)の含有量が前記の範囲内にあると、パターンの解像度及び残膜率が向上する傾向がある。
ここで、本明細書における「固形分の総量」とは、硬化性樹脂組成物の総量から溶剤の含有量を除いた量のことをいう。固形分の総量及びこれに対する各成分の含有量は、例えば、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定することができる。
The content of the resin (B) is preferably 25 to 70% by mass and more preferably 35 to 60% by mass with respect to the total amount of the solid content. When the content of the resin (B) is within the above range, the resolution of the pattern and the remaining film rate tend to be improved.
Here, the “total amount of solids” in this specification refers to an amount obtained by removing the content of the solvent from the total amount of the curable resin composition. The total amount of solids and the content of each component relative thereto can be measured by known analytical means such as liquid chromatography or gas chromatography, for example.

<重合性化合物(C)>
重合性化合物(C)は、熱、あるいは、重合開始剤(D)から発生する活性ラジカル及び/又は酸によって重合しうる化合物であり、例えば、重合性のエチレン性不飽和結合を有する化合物等が挙げられ、好ましくは(メタ)アクリル酸エステル化合物である。
<Polymerizable compound (C)>
The polymerizable compound (C) is a compound that can be polymerized by heat or an active radical and / or acid generated from the polymerization initiator (D). For example, a compound having a polymerizable ethylenically unsaturated bond is used. Preferably, it is a (meth) acrylic acid ester compound.

重合性化合物(C)としては、エチレン性不飽和結合を3つ以上有する重合性化合物が好ましい。このような重合性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールデカ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールノナ(メタ)アクリレート、トリス(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、エチレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エチレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、プロピレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、プロピレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの重合性化合物は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。
中でも、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートが好ましい。
As the polymerizable compound (C), a polymerizable compound having three or more ethylenically unsaturated bonds is preferable. Examples of such polymerizable compounds include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa ( (Meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tetrapentaerythritol deca (meth) acrylate, tetrapentaerythritol nona (meth) acrylate, tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) ) Isocyanurate, ethylene glycol modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, ethylene glycol modified dipentaerythritol Hexa (meth) acrylate, propylene glycol modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, propylene glycol modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc. Is mentioned. These polymerizable compounds may be used alone or in combination of two or more.
Of these, dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate are preferable.

重合性化合物(C)の重量平均分子量は、好ましくは150以上2,900以下、より好ましくは250〜1,500以下である。   The weight average molecular weight of the polymerizable compound (C) is preferably from 150 to 2,900, more preferably from 250 to 1,500.

重合性化合物(C)の含有量は、固形分の総量に対して、好ましくは25〜70質量%であり、より好ましくは35〜60質量%である。重合性化合物(C)の含有量が、前記の範囲にあると、パターンの残膜率及び耐薬品性が向上する傾向がある。   The content of the polymerizable compound (C) is preferably 25 to 70% by mass and more preferably 35 to 60% by mass with respect to the total amount of the solid content. When the content of the polymerizable compound (C) is in the above range, the pattern remaining film ratio and chemical resistance tend to be improved.

<重合開始剤(D)>
重合開始剤(D)は、光や熱の作用により活性ラジカル、酸等を発生し、重合を開始しうる化合物であれば特に限定されることなく、公知の重合開始剤を用いることができる。
重合開始剤(D)としては、O−アシルオキシム化合物、アルキルフェノン化合物、トリアジン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、及びビイミダゾール化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む重合開始剤が好ましく、O−アシルオキシム化合物を含む重合開始剤がより好ましい。これらの重合開始剤であると、高感度であり、かつ可視光領域における透過率が高くなる傾向がある。
<Polymerization initiator (D)>
The polymerization initiator (D) is not particularly limited as long as it is a compound capable of generating an active radical, an acid or the like by the action of light or heat and initiating polymerization, and a known polymerization initiator can be used.
The polymerization initiator (D) is preferably a polymerization initiator containing at least one selected from the group consisting of an O-acyl oxime compound, an alkylphenone compound, a triazine compound, an acyl phosphine oxide compound, and a biimidazole compound. A polymerization initiator containing an acyloxime compound is more preferable. These polymerization initiators tend to be highly sensitive and have high transmittance in the visible light region.

O−アシルオキシム化合物は、式(d1)で表される部分構造を有する化合物である。以下、*は結合手を表す。

Figure 0006135063
O−アシルオキシム化合物としては、例えば、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)ブタン−1−オン−2−イミン、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)オクタン−1−オン−2−イミン、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)−3−シクロペンチルプロパン−1−オン−2−イミン、N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミン、N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−{2−メチル−4−(3,3−ジメチル−2,4−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ)ベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミン、N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−3−シクロペンチルプロパン−1−イミン、N−ベンゾイルオキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−3−シクロペンチルプロパン−1−オン−2−イミン等が挙げられる。イルガキュア(登録商標)OXE01、OXE02(以上、BASF社製)、N−1919(ADEKA社製)等の市販品を用いてもよい。 The O-acyl oxime compound is a compound having a partial structure represented by the formula (d1). Hereinafter, * represents a bond.
Figure 0006135063
Examples of the O-acyloxime compound include N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) butan-1-one-2-imine, N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) octane- 1-one-2-imine, N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) -3-cyclopentylpropan-1-one-2-imine, N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- ( 2-Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine, N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (3,3-dimethyl-2,4) -Dioxacyclopentanylmethyloxy) benzoyl} -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine, N-acetoxy-1- [9 Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -3-cyclopentylpropane-1-imine, N-benzoyloxy-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl)- 9H-carbazol-3-yl] -3-cyclopentylpropan-1-one-2-imine and the like. Commercial products such as Irgacure (registered trademark) OXE01, OXE02 (above, manufactured by BASF), N-1919 (manufactured by ADEKA) may be used.

アルキルフェノン化合物は、式(d2)で表される部分構造又は式(d3)で表される部分構造を有する化合物である。これらの部分構造中、ベンゼン環は置換基を有していてもよい。

Figure 0006135063
The alkylphenone compound is a compound having a partial structure represented by the formula (d2) or a partial structure represented by the formula (d3). In these partial structures, the benzene ring may have a substituent.
Figure 0006135063

式(d2)で表される部分構造を有する化合物としては、例えば、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルスルファニルフェニル)プロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−2−ベンジルブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]ブタン−1−オン等が挙げられる。イルガキュア(登録商標)369、907及び379(以上、BASF社製)等の市販品を用いてもよい。また、特表2002−544205号公報に記載されている、連鎖移動を起こしうる基を有する重合開始剤を用いてもよい。
式(d3)で表される部分構造を有する化合物としては、例えば、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−イソプロペニルフェニル)プロパン−1−オンのオリゴマー、α,α−ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。
感度の点で、アルキルフェノン化合物としては、式(d2)で表される部分構造を有する化合物が好ましい。
Examples of the compound having a partial structure represented by the formula (d2) include 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylsulfanylphenyl) propan-1-one, 2-dimethylamino-1- (4 -Morpholinophenyl) -2-benzylbutan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] butan-1-one Etc. Commercial products such as Irgacure (registered trademark) 369, 907 and 379 (manufactured by BASF) may be used. Moreover, you may use the polymerization initiator which has the group which can raise | generate chain transfer described in the Japanese translations of PCT publication No. 2002-544205 gazette.
Examples of the compound having a partial structure represented by the formula (d3) include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2 -Hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, oligomer of 2-hydroxy-2-methyl-1- (4-isopropenylphenyl) propan-1-one, α, α-diethoxy Examples include acetophenone and benzyl dimethyl ketal.
In terms of sensitivity, the alkylphenone compound is preferably a compound having a partial structure represented by the formula (d2).

トリアジン化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン等が挙げられる。   Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxy Naphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) ) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4- Bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2) -Methylphenyl) Thenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

アシルホスフィンオキサイド化合物としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。イルガキュア819(チバ・ジャパン社製)等の市販品を用いてもよい。   Examples of the acylphosphine oxide compound include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide. Commercial products such as Irgacure 819 (manufactured by Ciba Japan) may be used.

ビイミダゾール化合物としては、例えば、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、特開平6−75372号公報、特開平6−75373号公報等参照。)、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(ジアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、特公昭48−38403号公報、特開昭62−174204号公報等参照。)、4,4’5,5’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物(例えば、特開平7−10913号公報等参照)等が挙げられる。   Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4. , 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (see, for example, JP-A-6-75372 and JP-A-6-75373), 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4, 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis ( 2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (trialkoxy) Phenyl) biimidazole (for example, see JP-B-48-38403, JP-A-62-174204, etc.), and the phenyl group at the 4,4′5,5′-position is substituted with a carboalkoxy group. Examples thereof include imidazole compounds (for example, see JP-A-7-10913).

重合開始剤(D)としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン化合物;ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物;9,10−フェナンスレンキノン、2−エチルアントラキノン、カンファーキノン等のキノン化合物;10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等が挙げられる。これらは、後述の重合開始助剤(D1)(特にアミン類)と組み合わせて用いることが好ましい。   Examples of the polymerization initiator (D) include benzoin compounds such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether; benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4 Benzophenone compounds such as '-methyldiphenyl sulfide, 3,3', 4,4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone; 9,10-phenanthrenequinone, 2 -Quinone compounds such as ethyl anthraquinone and camphor quinone; 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, methyl phenylglyoxylate, titanocene compounds and the like. These are preferably used in combination with a polymerization initiation assistant (D1) (particularly amines) described later.

さらに重合開始剤(D)としては、酸発生剤を用いることができる。
酸発生剤としては、例えば、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類等が挙げられる。
Furthermore, an acid generator can be used as the polymerization initiator (D).
Examples of the acid generator include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl methyl. Onium salts such as benzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, nitrobenzyl tosylate, Examples thereof include benzoin tosylate.

重合開始剤(D)の含有量は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、好ましくは0.1〜30質量部であり、より好ましくは0.5〜15質量部であり、さらに好ましくは1〜8質量%である。重合開始剤(D)の含有量が、前記の範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮される傾向があるため生産性が向上し、さらに得られるパターンの可視光透過率が高い傾向がある。   The content of the polymerization initiator (D) is preferably 0.1 to 30 parts by mass, more preferably 0.5 to 100 parts by mass of the total amount of the resin (B) and the polymerizable compound (C). It is -15 mass parts, More preferably, it is 1-8 mass%. If the content of the polymerization initiator (D) is in the above range, the sensitivity is increased and the exposure time tends to be shortened, so that the productivity is improved and the visible light transmittance of the resulting pattern tends to be high. There is.

重合開始剤(D)とともに、さらに重合開始助剤(D1)を含んでいてもよい。重合開始助剤(D1)は、重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物、もしくは増感剤である。   In addition to the polymerization initiator (D), a polymerization initiation assistant (D1) may further be included. The polymerization initiation assistant (D1) is a compound or a sensitizer used for accelerating the polymerization of the photopolymerizable compound that has been polymerized by the polymerization initiator.

重合開始助剤(D1)としては、チアゾリン化合物、アミン化合物、アルコキシアントラセン化合物、チオキサントン化合物及びカルボン酸化合物等が挙げられる。   Examples of the polymerization initiation aid (D1) include thiazoline compounds, amine compounds, alkoxyanthracene compounds, thioxanthone compounds, and carboxylic acid compounds.

チアゾリン化合物としては、式(III−1)〜式(III−3)で表される化合物、特開2008−65319号公報記載の化合物等が挙げられる。   Examples of the thiazoline compound include compounds represented by formulas (III-1) to (III-3), and compounds described in JP-A-2008-65319.

Figure 0006135063
Figure 0006135063

アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。EAB−F(保土谷化学工業(株)製)等の市販品を用いてもよい。   Examples of amine compounds include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, 4- 2-ethylhexyl dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4′-bis ( Ethylmethylamino) benzophenone and the like, and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferred. Commercial products such as EAB-F (Hodogaya Chemical Co., Ltd.) may be used.

アルコキシアントラセン化合物としては、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジブトキシアントラセン等が挙げられる。   Examples of the alkoxyanthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, and 9,10-dibutoxy. Anthracene, 2-ethyl-9,10-dibutoxyanthracene, etc. are mentioned.

チオキサントン化合物としては、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone and the like.

カルボン酸化合物としては、フェニルスルファニル酢酸、メチルフェニルスルファニル酢酸、エチルフェニルスルファニル酢酸、メチルエチルフェニルスルファニル酢酸、ジメチルフェニルスルファニル酢酸、メトキシフェニルスルファニル酢酸、ジメトキシフェニルスルファニル酢酸、クロロフェニルスルファニル酢酸、ジクロロフェニルスルファニル酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等が挙げられる。
重合開始助剤(D1)は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Carboxylic acid compounds include phenylsulfanylacetic acid, methylphenylsulfanylacetic acid, ethylphenylsulfanylacetic acid, methylethylphenylsulfanylacetic acid, dimethylphenylsulfanylacetic acid, methoxyphenylsulfanylacetic acid, dimethoxyphenylsulfanylacetic acid, chlorophenylsulfanylacetic acid, dichlorophenylsulfanylacetic acid, N -Phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, naphthoxyacetic acid and the like.
The polymerization initiation assistant (D1) may be used alone or in combination of two or more.

これらの重合開始助剤(D1)を用いる場合、その使用量は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、好ましくは0.1〜30質量部、より好ましくは1〜20質量部である。重合開始助剤(D1)の量がこの範囲にあると、パターンを形成する際、さらに高感度になる傾向にある。   When these polymerization initiation assistants (D1) are used, the amount used is preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the resin (B) and the polymerizable compound (C). Preferably it is 1-20 mass parts. When the amount of the polymerization initiation assistant (D1) is within this range, the sensitivity tends to be higher when forming a pattern.

<チオール化合物(T)>
チオール化合物(T)は、分子内にスルファニル基(−SH)を有する化合物である。中でも、スルファニル基を2つ以上有する化合物が好ましく、脂肪族炭化水素構造の炭素原子と結合するスルファニル基を2つ以上有する化合物がより好ましい。
<Thiol compound (T)>
The thiol compound (T) is a compound having a sulfanyl group (—SH) in the molecule. Among them, a compound having two or more sulfanyl groups is preferable, and a compound having two or more sulfanyl groups bonded to a carbon atom of an aliphatic hydrocarbon structure is more preferable.

チオール化合物(T)としては、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ビス(メチルスルファニル)ベンゼン、ブタンジオールビス(3−スルファニルプロピオネート)、ブタンジオールビス(3−スルファニルアセテート)、エチレングリコールビス(3−スルファニルアセテート)、トリメチロールプロパントリス(3−スルファニルアセテート)、ブタンジオールビス(3−スルファニルプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−スルファニルプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−スルファニルアセテート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−スルファニルプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−スルファニルアセテート)、トリスヒドロキシエチルトリス(3−スルファニルプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−スルファニルブチレート)、1,4−ビス(3−スルファニルブチルオキシ)ブタン等が挙げられる。   Examples of the thiol compound (T) include hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-bis (methylsulfanyl) benzene, butanediol bis (3-sulfanylpropionate), butanediol bis (3-sulfanyl acetate), ethylene Glycol bis (3-sulfanyl acetate), trimethylolpropane tris (3-sulfanyl acetate), butanediol bis (3-sulfanylpropionate), trimethylolpropane tris (3-sulfanylpropionate), trimethylolpropane tris ( 3-sulfanyl acetate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanylpropionate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanyl acetate), trishydroxyethyl Squirrel (3-sulfanyl propionate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanyl butyrate), 1,4-bis (3-sulfanyl-butyloxy) include butane and the like.

チオール化合物(T)の含有量は、重合開始剤(D)100質量部に対して、好ましくは10〜90質量部、より好ましくは15〜70質量部である。チオール化合物(T)の含有量がこの範囲にあると、感度が高くなり、また現像性が良好になる傾向がある。   The content of the thiol compound (T) is preferably 10 to 90 parts by mass, more preferably 15 to 70 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymerization initiator (D). When the content of the thiol compound (T) is within this range, the sensitivity tends to be high and the developability tends to be good.

<溶剤(E)>
溶剤(E)は、特に限定されず、当該分野で通常使用される溶剤を用いることができる。溶剤(E)としては、例えば、エステル溶剤(分子内に−COO−を含み、−O−を含まない溶剤)、エーテル溶剤(分子内に−O−を含み、−COO−を含まない溶剤)、エーテルエステル溶剤(分子内に−COO−と−O−とを含む溶剤)、ケトン溶剤(分子内に−CO−を含み、−COO−を含まない溶剤)、アルコール溶剤、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤及びジメチルスルホキシド等が挙げられる。
<Solvent (E)>
A solvent (E) is not specifically limited, The solvent normally used in the said field | area can be used. Examples of the solvent (E) include ester solvents (solvents containing —COO— in the molecule and not containing —O—), ether solvents (solvents containing —O— in the molecule and not containing —COO—). , Ether ester solvents (solvents containing —COO— and —O— in the molecule), ketone solvents (solvents containing —CO— in the molecule and not containing —COO—), alcohol solvents, aromatic hydrocarbon solvents Amide solvent and dimethyl sulfoxide.

エステル溶剤としては、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、2−ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート及びγ−ブチロラクトン等が挙げられる。   As ester solvents, methyl lactate, ethyl lactate, butyl lactate, methyl 2-hydroxyisobutanoate, ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, pentyl formate, isopentyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate Methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, cyclohexanol acetate, and γ-butyrolactone.

エーテル溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、3−メトキシ−1−ブタノール、3−メトキシ−3−メチルブタノール、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、アニソール、フェネトール及びメチルアニソール等が挙げられる。   Ether solvents include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether , Propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, 3-methoxy-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutanol, tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethyl Glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, anisole, include phenetol and methyl anisole and the like.

エーテルエステル溶剤としては、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート及びジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられる。   Examples of ether ester solvents include methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxy Ethyl propionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, Ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether Acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate and diethylene glycol monobutyl ether acetate, and the like.

ケトン溶剤としては、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン及びイソホロン等が挙げられる。   Examples of ketone solvents include 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, cyclopentanone, cyclohexanone and isophorone. Etc.

アルコール溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール及びグリセリン等が挙げられる。   Examples of the alcohol solvent include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, and glycerin.

芳香族炭化水素溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン及びメシチレン等が挙げられる。   Examples of the aromatic hydrocarbon solvent include benzene, toluene, xylene and mesitylene.

アミド溶剤としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド及びN−メチルピロリドン等が挙げられる。   Examples of the amide solvent include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone.

これらの溶剤は、単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
上記の溶剤のうち、塗布性及び乾燥性の点から、1atmにおける沸点が120℃以上180℃以下である有機溶剤が好ましい。中でも、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール及びこれらを含む混合溶剤が好ましい。
These solvents may be used alone or in combination of two or more.
Among the above solvents, an organic solvent having a boiling point at 1 atm of 120 ° C. or higher and 180 ° C. or lower is preferable from the viewpoints of coating properties and drying properties. Among these, ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol methyl ethyl ether, 3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-1-butanol and a mixed solvent containing these are preferable.

溶剤(E)の含有量は、硬化性樹脂組成物の総量に対して、好ましくは60〜95質量%であり、より好ましくは70〜95質量%である。言い換えると、硬化性樹脂組成物の固形分は、好ましくは5〜40質量%であり、より好ましくは5〜30質量%である。ここで、固形分とは、硬化性樹脂組成物から溶剤(E)を除いた量のことをいう。溶剤(E)の含有量が前記の範囲にあると、硬化性樹脂組成物を塗布した膜の平坦性が高い傾向がある。   Content of a solvent (E) becomes like this. Preferably it is 60-95 mass% with respect to the total amount of curable resin composition, More preferably, it is 70-95 mass%. In other words, the solid content of the curable resin composition is preferably 5 to 40% by mass, and more preferably 5 to 30% by mass. Here, solid content means the quantity remove | excluding the solvent (E) from curable resin composition. If the content of the solvent (E) is in the above range, the flatness of the film coated with the curable resin composition tends to be high.

<界面活性剤(F)>
界面活性剤(F)としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。これらは、側鎖に重合性基を有していてもよい。
シリコーン系界面活性剤としては、分子内にシロキサン結合を有する界面活性剤等が挙げられる。具体的には、トーレシリコーンDC3PA、同SH7PA、同DC11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH8400(商品名:東レ・ダウコーニング(株)製)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化学工業(株)製)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF−4446、TSF4452及びTSF4460(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製)等が挙げられる。
<Surfactant (F)>
Examples of the surfactant (F) include silicone surfactants, fluorine surfactants, and silicone surfactants having a fluorine atom. These may have a polymerizable group in the side chain.
Examples of the silicone surfactant include a surfactant having a siloxane bond in the molecule. Specifically, Torre Silicone DC3PA, SH7PA, DC11PA, SH21PA, SH28PA, SH29PA, SH30PA, SH8400 (trade names: manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.), KP321, KP322, KP323, KP324 , KP326, KP340, KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), TSF400, TSF401, TSF410, TSF4300, TSF4440, TSF4445, TSF-4446, TSF4452 and TSF4460 (made by Momentive Performance Materials Japan GK) Can be mentioned.

前記のフッ素系界面活性剤としては、分子内にフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤等が挙げられる。具体的には、フロラード(登録商標)FC430、同FC431(住友スリーエム(株)製)、メガファック(登録商標)F142D、同F171、同F172、同F173、同F177、同F183、同F554、同R30、同RS−718−K(DIC(株)製)、エフトップ(登録商標)EF301、同EF303、同EF351、同EF352(三菱マテリアル電子化成(株)製)、サーフロン(登録商標)S381、同S382、同SC101、同SC105(旭硝子(株)製)及びE5844((株)ダイキンファインケミカル研究所製)等が挙げられる。   Examples of the fluorosurfactant include surfactants having a fluorocarbon chain in the molecule. Specifically, Florard (registered trademark) FC430, FC431 (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), MegaFac (registered trademark) F142D, F171, F172, F173, F177, F183, F183, F554, R30, RS-718-K (manufactured by DIC Corporation), Ftop (registered trademark) EF301, EF303, EF351, EF352 (manufactured by Mitsubishi Materials Electronic Chemicals), Surflon (registered trademark) S381, S382, SC101, SC105 (Asahi Glass Co., Ltd.) and E5844 (Daikin Fine Chemical Laboratory Co., Ltd.).

前記のフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、分子内にシロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤等が挙げられる。具体的には、メガファック(登録商標)R08、同BL20、同F475、同F477及び同F443(DIC(株)製)等が挙げられる。   Examples of the silicone-based surfactant having a fluorine atom include surfactants having a siloxane bond and a fluorocarbon chain in the molecule. Specifically, Megafac (registered trademark) R08, BL20, F475, F477, F443 (manufactured by DIC Corporation), and the like can be given.

これらの界面活性剤は、単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
界面活性剤(F)の含有量は、硬化性樹脂組成物の総量に対して、好ましくは0.001質量%以上0.2質量%以下であり、好ましくは0.002質量%以上0.1質量%以下、より好ましくは0.01質量%以上0.05質量%以下である。界面活性剤をこの範囲で含有することにより、塗膜の平坦性を良好にすることができる。
These surfactants may be used alone or in combination of two or more.
The content of the surfactant (F) is preferably 0.001% by mass to 0.2% by mass, and preferably 0.002% by mass to 0.1%, based on the total amount of the curable resin composition. It is not more than mass%, more preferably not less than 0.01 mass% and not more than 0.05 mass%. By containing the surfactant in this range, the flatness of the coating film can be improved.

<酸化防止剤(G)>
本発明の硬化性樹脂組成物は酸化防止剤(G)を含んでいてもよい。
酸化防止剤(G)としては、例えば、2−tert−ブチル−6−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルベンジル)−4−メチルフェニルアクリレート、2−[1−(2−ヒドロキシ−3,5−ジ−tert−ペンチルフェニル)エチル]−4,6−ジ−tert−ペンチルフェニルアクリレート、6−[3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロポキシ]−2,4,8,10−テトラ−tert−ブチルジベンズ[d、f][1,3,2]ジオキサホスフェピン、3,9−ビス[2−{3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロピオニルオキシ}−1,1−ジメチルエチル]−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5.5]ウンデカン、2,2’−メチレンビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、4,4’−ブチリデンビス(6−tert−ブチル−3−メチルフェノール)、4,4’−チオビス(2−tert−ブチル−5−メチルフェノール)、2,2’−チオビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、ジラウリル3,3’−チオジプロピオネート、ジミリスチル3,3’−チオジプロピオネート、ジステアリル3,3’−チオジプロピオネート、ペンタエリスリチルテトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート)、1,3,5−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、3,3’,3”,5,5’,5”−ヘキサ−tert−ブチル−a,a’,a”−(メシチレン−2,4,6−トリイル)トリ−p−クレゾール、ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール等が挙げられる。IRGANOX3114(チバ・ジャパン社製)等の市販品を用いてもよい。
<Antioxidant (G)>
The curable resin composition of the present invention may contain an antioxidant (G).
Examples of the antioxidant (G) include 2-tert-butyl-6- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylbenzyl) -4-methylphenyl acrylate, 2- [1- (2- Hydroxy-3,5-di-tert-pentylphenyl) ethyl] -4,6-di-tert-pentylphenyl acrylate, 6- [3- (3-tert-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) propoxy ] -2,4,8,10-tetra-tert-butyldibenz [d, f] [1,3,2] dioxaphosphine, 3,9-bis [2- {3- (3-tert-butyl) -4-hydroxy-5-methylphenyl) propionyloxy} -1,1-dimethylethyl] -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] undecane, 2,2′-methyl Renbis (6-tert-butyl-4-methylphenol), 4,4′-butylidenebis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 4,4′-thiobis (2-tert-butyl-5-methylphenol) ), 2,2′-thiobis (6-tert-butyl-4-methylphenol), dilauryl 3,3′-thiodipropionate, dimyristyl 3,3′-thiodipropionate, distearyl 3,3′- Thiodipropionate, pentaerythrityltetrakis (3-laurylthiopropionate), 1,3,5-tris (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzyl) -1,3,5-triazine -2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, 3,3 ', 3 ", 5,5', 5" -hexa-tert-butyl-a, a ', a "-(mesitichi -2,4,6-triyl) tri-p-cresol, pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], 2,6-di-tert-butyl -4-methylphenol, etc. Commercial products such as IRGANOX 3114 (manufactured by Ciba Japan) may be used.

酸化防止剤(G)の含有量は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、0.1質量部以上5質量部以下が好ましく、0.5質量部以上3質量部以下がより好ましい。酸化防止剤(G)の含有量が上記の範囲内であると、得られる塗膜は耐熱性及び鉛筆硬度に優れる傾向がある。   The content of the antioxidant (G) is preferably 0.1 parts by mass or more and 5 parts by mass or less, and 0.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the resin (B) and the polymerizable compound (C). More preferred is 3 parts by mass or less. When the content of the antioxidant (G) is within the above range, the resulting coating film tends to be excellent in heat resistance and pencil hardness.

<その他の成分>
本発明の硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、密着促進剤、光安定剤、連鎖移動剤等、当該技術分野で公知の添加剤を含んでもよい。
<Other ingredients>
The curable resin composition of the present invention may contain additives known in the art, such as fillers, other polymer compounds, adhesion promoters, light stabilizers, and chain transfer agents, as necessary.

本発明の硬化性樹脂組成物は、顔料及び染料等の着色剤を実質的に含有しない。すなわち、本発明の硬化性樹脂組成物において、組成物全体に対する着色剤の含量は、通常、1質量%未満、好ましくは、0.5質量%未満である。   The curable resin composition of the present invention does not substantially contain colorants such as pigments and dyes. That is, in the curable resin composition of the present invention, the content of the colorant relative to the whole composition is usually less than 1% by mass, preferably less than 0.5% by mass.

また、本発明の硬化性樹脂組成物は、光路長が1cmの石英セルに充填し、分光光度計を使用して、測定波長400〜700nmの条件下で透過率を測定した場合、平均透過率は70%以上が好ましく、80%以上がより好ましい。   Moreover, the curable resin composition of the present invention is filled in a quartz cell having an optical path length of 1 cm, and the transmittance is measured when the transmittance is measured using a spectrophotometer at a measurement wavelength of 400 to 700 nm. Is preferably 70% or more, more preferably 80% or more.

本発明の硬化性樹脂組成物は、塗膜とした際に、塗膜の平均透過率が好ましくは90%以上であり、より好ましくは95%以上である。この平均透過率は、加熱硬化(例えば、100〜250℃、5分〜3時間)後の厚みが3μmの塗膜に対して、分光光度計を使用して、測定波長400〜700nmの条件下で測定した場合の平均値である。これにより、可視光領域での透明性に優れた塗膜を提供することができる。   When the curable resin composition of the present invention is used as a coating film, the average transmittance of the coating film is preferably 90% or more, more preferably 95% or more. This average transmittance is measured under the conditions of a measurement wavelength of 400 to 700 nm using a spectrophotometer for a coating film having a thickness of 3 μm after heat curing (for example, 100 to 250 ° C., 5 minutes to 3 hours). It is an average value when measured by. Thereby, the coating film excellent in transparency in the visible light region can be provided.

<硬化性樹脂組成物の製造方法>
本発明の硬化性樹脂組成物は、例えば、樹脂(B)、重合性化合物(C)並びに必要に応じて用いられる重合開始剤(D)、重合開始助剤(D1)、界面活性剤(F)、酸化防止剤(G)及びその他成分を、溶剤(E)と混合することにより調製できる。混合後の硬化性樹脂組成物は、孔径0.01〜10μm程度のフィルタでろ過することが好ましい。
<Method for producing curable resin composition>
The curable resin composition of the present invention includes, for example, a resin (B), a polymerizable compound (C), a polymerization initiator (D) used as necessary, a polymerization initiation assistant (D1), a surfactant (F ), Antioxidant (G) and other components can be prepared by mixing with solvent (E). The mixed curable resin composition is preferably filtered with a filter having a pore size of about 0.01 to 10 μm.

<塗膜及びパターンの製造方法>
本発明の硬化性樹脂組成物からパターンを製造する方法としては、フォトリソグラフ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。中でも、フォトリソグラフ法が好ましい。フォトリソグラフ法は、前記硬化性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥させて組成物層を形成し、フォトマスクを介して該組成物層を露光して、現像する方法である。フォトリソグラフ法において、露光の際にフォトマスクを用いないこと、及び/又は現像しないことにより、上記組成物層の硬化物である塗膜を形成することができる。
作製する塗膜及びパターンの膜厚は、特に限定されず、目的や用途等に応じて適宜調整することができ、例えば、0.1〜30μm、好ましくは0.1〜20μm、より好ましくは0.5〜6μmである。
<Method for producing coating film and pattern>
Examples of the method for producing a pattern from the curable resin composition of the present invention include a photolithographic method, an ink jet method, and a printing method. Of these, the photolithographic method is preferable. The photolithographic method is a method in which the curable resin composition is applied to a substrate and dried to form a composition layer, and the composition layer is exposed through a photomask and developed. In the photolithographic method, a coating film that is a cured product of the composition layer can be formed by not using a photomask and / or not developing during exposure.
The film thickness of the coating film and pattern to be produced is not particularly limited, and can be appropriately adjusted according to the purpose and application, for example, 0.1 to 30 μm, preferably 0.1 to 20 μm, more preferably 0. .5-6 μm.

基板としては、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミナケイ酸塩ガラス、表面をシリカコートしたソーダライムガラス等のガラス板や、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂板、シリコン、前記基板上にアルミニウム、銀、銀/銅/パラジウム合金薄膜等を形成したものが用いられる。これらの基板上には、カラーフィルタ層、樹脂層、トランジスタ及び回路等が形成されていてもよい。   As a substrate, quartz glass, borosilicate glass, alumina silicate glass, glass plate such as soda lime glass coated with silica on the surface, resin plate such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, silicon, on the substrate In addition, an aluminum, silver, silver / copper / palladium alloy thin film or the like is used. On these substrates, a color filter layer, a resin layer, a transistor, a circuit, and the like may be formed.

フォトリソグラフ法によるパターンの形成は、公知又は慣用の装置や条件で行うことができる。例えば、下記のようにして作製することができる。
まず、硬化性樹脂組成物を基板上に塗布し、加熱乾燥(プリベーク)及び/又は減圧乾燥することにより溶剤等の揮発成分を除去して乾燥させ、平滑な組成物層を得る。
塗布方法としては、スピンコート法、スリットコート法、スリット アンド スピンコート法等が挙げられる。
加熱乾燥を行う場合の温度は、30〜120℃が好ましく、50〜110℃がより好ましい。また加熱時間としては、10秒間〜60分間であることが好ましく、30秒間〜30分間であることがより好ましい。
減圧乾燥を行う場合は、50〜150Paの圧力下、20〜25℃の温度範囲で行うことが好ましい。
組成物層の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができる。得られるパターンや塗膜の膜厚が、例えば、0.1〜20μm、好ましくは0.5〜6μmとなるように組成物層を形成する。
Formation of the pattern by the photolithographic method can be performed by a known or conventional apparatus or conditions. For example, it can be produced as follows.
First, a curable resin composition is applied on a substrate, dried by heating (pre-baking) and / or drying under reduced pressure to remove volatile components such as a solvent, and a smooth composition layer is obtained.
Examples of the coating method include spin coating, slit coating, and slit and spin coating.
30-120 degreeC is preferable and the temperature in the case of performing heat drying has more preferable 50-110 degreeC. In addition, the heating time is preferably 10 seconds to 60 minutes, and more preferably 30 seconds to 30 minutes.
When performing vacuum drying, it is preferable to carry out in the temperature range of 20-25 degreeC under the pressure of 50-150 Pa.
The film thickness of the composition layer is not particularly limited, and can be appropriately adjusted depending on the material used, application, and the like. The composition layer is formed so that the film thickness of the resulting pattern or coating film is, for example, 0.1 to 20 μm, preferably 0.5 to 6 μm.

次に、組成物層は、フォトマスクを介して露光される。該フォトマスク上のパターンは特に限定されず、目的とする用途に応じたパターンが用いられる。
露光に用いられる光源としては、250〜450nmの波長の光を発生する光源が好ましい。例えば、350nm未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、436nm付近、408nm付近、365nm付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出したりしてもよい。光源としては、具体的には、水銀灯、発光ダイオード、メタルハライドランプ及びハロゲンランプ等が挙げられる。
露光面全体に均一に平行光線を照射したり、フォトマスクと基板との正確な位置合わせを行うことができるため、マスクアライナ及びステッパ等の露光装置を使用することが好ましい。
Next, the composition layer is exposed through a photomask. The pattern on the photomask is not particularly limited, and a pattern according to the intended use is used.
The light source used for exposure is preferably a light source that generates light having a wavelength of 250 to 450 nm. For example, light less than 350 nm can be cut using a filter that cuts this wavelength range, or light near 436 nm, 408 nm, and 365 nm can be selectively extracted using a bandpass filter that extracts these wavelength ranges. Or you may. Specific examples of the light source include a mercury lamp, a light emitting diode, a metal halide lamp, and a halogen lamp.
It is preferable to use an exposure apparatus such as a mask aligner or a stepper because the entire exposure surface can be irradiated with parallel light rays uniformly and the photomask and substrate can be accurately aligned.

露光後の組成物層を現像液に接触させて現像することにより、基板上に構造物、すなわちパターン(光硬化パターン)が形成される。現像により、組成物層の未露光部が現像液に溶解して除去される。現像液としては、例えば、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等のアルカリ性化合物の水溶液が好ましい。これらのアルカリ性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。さらに、現像液は、界面活性剤を含んでいてもよい。
現像方法は、パドル法、ディッピング法及びスプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。
現像後は、水洗することが好ましい。
By developing the exposed composition layer in contact with a developer, a structure, that is, a pattern (photocuring pattern) is formed on the substrate. By the development, the unexposed portion of the composition layer is dissolved and removed in the developer. As the developer, for example, an aqueous solution of an alkaline compound such as potassium hydroxide, sodium hydrogen carbonate, sodium carbonate, tetramethylammonium hydroxide is preferable. The concentration of these alkaline compounds in the aqueous solution is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass. Further, the developer may contain a surfactant.
The developing method may be any of paddle method, dipping method, spray method and the like. Further, the substrate may be tilted at an arbitrary angle during development.
After development, it is preferable to wash with water.

さらに、得られたパターン(光硬化パターン)に、ポストベークを行うことが好ましい。ポストベークによりパターン(光硬化パターン)の硬化が進み、硬度や耐久性が向上されたパターン(熱硬化パターン)となる。ポストベーク温度は、150〜250℃が好ましく、160〜235℃がより好ましい。ポストベーク時間は、0.5〜120分間が好ましく、1〜60分間がより好ましい。   Furthermore, it is preferable to post-bake the obtained pattern (photocuring pattern). Curing of the pattern (photocuring pattern) proceeds by post-baking, and a pattern (thermosetting pattern) with improved hardness and durability is obtained. The post-bake temperature is preferably 150 to 250 ° C, more preferably 160 to 235 ° C. The post-bake time is preferably 0.5 to 120 minutes, more preferably 1 to 60 minutes.

かくして得られたパターン及び塗膜は、カラーフィルタ基板及び/又はアレイ基板の一部を構成する透明膜、パターン、フォトスペーサ、オーバーコート、絶縁膜、液晶配向制御用突起、マイクロレンズ、コート層等として有用である。また、これらの塗膜又はパターンをその構成部品の一部として備えるカラーフィルタ基板、アレイ基板等、さらに、これらカラーフィルタ基板及び/又はアレイ基板等を具備する表示装置、例えば、液晶表示装置、有機EL装置、電子ペーパー等に利用することができる。   The patterns and coating films thus obtained are transparent films, patterns, photo spacers, overcoats, insulating films, projections for controlling liquid crystal alignment, micro lenses, coat layers, etc. constituting part of the color filter substrate and / or array substrate. Useful as. In addition, a color filter substrate, an array substrate, and the like provided with these coating films or patterns as a part of their constituent parts, and a display device including these color filter substrate and / or array substrate, for example, a liquid crystal display device, an organic It can be used for EL devices, electronic paper, and the like.

次に実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す%及び部は、特記ない限り、質量基準である。   Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. In the examples, “%” and “part” representing the content or amount used are based on mass unless otherwise specified.

〔合成例1〕
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えたフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート165部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、アクリル酸39部、2−エチルヘキシルアクリレート5.2部、p−ビニルトルエン57部及び3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物及び式(II−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合)159部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート140部に溶解して溶液を調製し、この溶解液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、70℃に保温したフラスコ内に滴下した。

Figure 0006135063
一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)30部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート105部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、重量平均分子量Mwが1.01×10、分子量分布が2.0、固形分が37%、固形分酸価が110mg−KOH/gの共重合体A1溶液を得た。共重合体A1は、以下の構造単位を有する。
Figure 0006135063
[Synthesis Example 1]
Into a flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was allowed to flow at 0.02 L / min to form a nitrogen atmosphere, and 165 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and heated to 70 ° C. with stirring. Subsequently, 39 parts of acrylic acid, 5.2 parts of 2-ethylhexyl acrylate, 57 parts of p-vinyltoluene and 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (formula (I-1 ) And the compound represented by formula (II-1) are mixed at a molar ratio of 50:50) 159 parts are dissolved in 140 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate to prepare a solution, This solution was dropped into a flask kept at 70 ° C. for 4 hours using a dropping funnel.
Figure 0006135063
On the other hand, a solution obtained by dissolving 30 parts of a polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 105 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was placed in a flask over 4 hours using another dropping funnel. It was dripped. After dropping of the solution of the polymerization initiator is completed, the temperature is kept at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature. The weight average molecular weight Mw is 1.01 × 10 4 , the molecular weight distribution is 2.0, and the solid content is A copolymer A1 solution having 37% and a solid content acid value of 110 mg-KOH / g was obtained. Copolymer A1 has the following structural units.
Figure 0006135063

〔合成例2〕
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えたフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート160部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、アクリル酸52部、2−エチルヘキシルアクリレート5.2部、p−ビニルトルエン57部及び3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物及び式(II−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合)146部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート140部に溶解して溶液を調製し、この溶解液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、70℃に保温したフラスコ内に滴下した。
一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)30部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート105部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、重量平均分子量Mwが1.01×10、分子量分布が2.0、固形分が38%、固形分酸価が143mg−KOH/gの共重合体A2溶液を得た。共重合体A2は、以下の構造単位を有する。

Figure 0006135063
[Synthesis Example 2]
Into a flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was allowed to flow at 0.02 L / min to form a nitrogen atmosphere, and 160 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and heated to 70 ° C. with stirring. Next, 52 parts of acrylic acid, 5.2 parts of 2-ethylhexyl acrylate, 57 parts of p-vinyltoluene and 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (formula (I-1 ) And the compound represented by formula (II-1) in a molar ratio of 50:50) 146 parts are dissolved in propylene glycol monomethyl ether acetate 140 parts to prepare a solution, This solution was dropped into a flask kept at 70 ° C. for 4 hours using a dropping funnel.
On the other hand, a solution obtained by dissolving 30 parts of a polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 105 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was placed in a flask over 4 hours using another dropping funnel. It was dripped. After dropping of the solution of the polymerization initiator is completed, the temperature is kept at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature. The weight average molecular weight Mw is 1.01 × 10 4 , the molecular weight distribution is 2.0, and the solid content is A copolymer A2 solution having 38% and a solid content acid value of 143 mg-KOH / g was obtained. Copolymer A2 has the following structural units.
Figure 0006135063

〔合成例3〕
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えたフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート255部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、アクリル酸46部、2−エチルヘキシルアクリレート4.1部及び3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物及び式(II−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合)225部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート160部に溶解して溶液を調製し、この溶解液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、70℃に保温したフラスコ内に滴下した。
一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)30部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート295部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、重量平均分子量Mwが9.74×10、分子量分布が2.1、固形分が26%、固形分酸価が127mg−KOH/gの共重合体A3溶液を得た。共重合体A3は、以下の構造単位を有する。

Figure 0006135063
[Synthesis Example 3]
Into a flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was allowed to flow at 0.02 L / min to form a nitrogen atmosphere, and 255 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and heated to 70 ° C. with stirring. Subsequently, 46 parts of acrylic acid, 4.1 parts of 2-ethylhexyl acrylate and 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (a compound represented by the formula (I-1) and 225 parts of the compound represented by the formula (II-1) are mixed at a molar ratio of 50:50) and dissolved in 160 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate to prepare a solution. Was added dropwise to the flask kept at 70 ° C. over 4 hours.
On the other hand, a solution obtained by dissolving 30 parts of a polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 295 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was placed in a flask for 4 hours using another dropping funnel. It was dripped. After completion of the dropwise addition of the polymerization initiator solution, the temperature is maintained at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature. The weight average molecular weight Mw is 9.74 × 10 3 , the molecular weight distribution is 2.1, the solid content is A copolymer A3 solution having 26% solid acid value of 127 mg-KOH / g was obtained. Copolymer A3 has the following structural units.
Figure 0006135063

〔合成例4〕
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えたフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート160部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、アクリル酸47部、ラウリルアクリレート3.9部、p−ビニルトルエン57部及び3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物及び式(II−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合)152部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート140部に溶解して溶液を調製し、この溶解液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、70℃に保温したフラスコ内に滴下した。
一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)30部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート105部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、重量平均分子量Mwが1.05×10、分子量分布が2.0、固形分が38%、固形分酸価が130mg−KOH/gの共重合体A4溶液を得た。共重合体A4は、以下の構造単位を有する。

Figure 0006135063
[Synthesis Example 4]
Into a flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was allowed to flow at 0.02 L / min to form a nitrogen atmosphere, and 160 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and heated to 70 ° C. with stirring. Then 47 parts acrylic acid, 3.9 parts lauryl acrylate, 57 parts p-vinyltoluene and 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (in formula (I-1) The compound represented by formula (II-1) and the compound represented by formula (II-1) are mixed at a molar ratio of 50:50) 152 parts are dissolved in 140 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate to prepare a solution. The liquid was dropped into a flask kept at 70 ° C. for 4 hours using a dropping funnel.
On the other hand, a solution obtained by dissolving 30 parts of a polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 105 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was placed in a flask over 4 hours using another dropping funnel. It was dripped. After dropping of the solution of the polymerization initiator is completed, the temperature is kept at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature. The weight average molecular weight Mw is 1.05 × 10 4 , the molecular weight distribution is 2.0, and the solid content is A copolymer A4 solution having a solid acid value of 38 mg-KOH / g was obtained in an amount of 38%. Copolymer A4 has the following structural units.
Figure 0006135063

〔合成例5〕
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えたフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート160部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、アクリル酸47部、ステアリルアクリレート3.9部、p−ビニルトルエン57部及び3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物及び式(II−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合)152部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート140部に溶解して溶液を調製し、この溶解液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、70℃に保温したフラスコ内に滴下した。
一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)30部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート105部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、重量平均分子量Mwが9.94×10、分子量分布が2.0、固形分が37%、固形分酸価が137mg−KOH/gの共重合体A5溶液を得た。共重合体A5は、以下の構造単位を有する。

Figure 0006135063
[Synthesis Example 5]
Into a flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was allowed to flow at 0.02 L / min to form a nitrogen atmosphere, and 160 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and heated to 70 ° C. with stirring. Next, 47 parts of acrylic acid, 3.9 parts of stearyl acrylate, 57 parts of p-vinyltoluene and 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (in formula (I-1) The compound represented by formula (II-1) and the compound represented by formula (II-1) are mixed at a molar ratio of 50:50) 152 parts are dissolved in 140 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate to prepare a solution. The liquid was dropped into a flask kept at 70 ° C. for 4 hours using a dropping funnel.
On the other hand, a solution obtained by dissolving 30 parts of a polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 105 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was placed in a flask over 4 hours using another dropping funnel. It was dripped. After completion of the dropwise addition of the polymerization initiator solution, the temperature is maintained at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature. The weight average molecular weight Mw is 9.94 × 10 3 , the molecular weight distribution is 2.0, and the solid content is A copolymer A5 solution having a solid acid value of 37% and a solid content acid value of 137 mg-KOH / g was obtained. Copolymer A5 has the following structural units.
Figure 0006135063

〔合成例6〕
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えたフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート160部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、アクリル酸47部、2,4,6−トリメチルヘプチルメタクリレート3.9部、p−ビニルトルエン57部及び3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物及び式(II−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合)152部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート140部に溶解して溶液を調製し、この溶解液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、70℃に保温したフラスコ内に滴下した。
一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)30部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート105部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、重量平均分子量Mwが9.90×10、分子量分布が2.0、固形分が38%、固形分酸価が133mg−KOH/gの共重合体A6溶液を得た。共重合体A6は、以下の構造単位を有する。

Figure 0006135063
[Synthesis Example 6]
Into a flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was allowed to flow at 0.02 L / min to form a nitrogen atmosphere, and 160 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and heated to 70 ° C. with stirring. Next, 47 parts of acrylic acid, 3.9 parts of 2,4,6-trimethylheptyl methacrylate, 57 parts of p-vinyltoluene and 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate ( The compound represented by the formula (I-1) and the compound represented by the formula (II-1) are mixed at a molar ratio of 50:50) and 152 parts are dissolved in 140 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate. A solution was prepared, and this solution was dropped into a flask kept at 70 ° C. for 4 hours using a dropping funnel.
On the other hand, a solution obtained by dissolving 30 parts of a polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 105 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was placed in a flask over 4 hours using another dropping funnel. It was dripped. After dropping of the solution of the polymerization initiator is completed, the temperature is maintained at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature. The weight average molecular weight Mw is 9.90 × 10 3 , the molecular weight distribution is 2.0, and the solid content is A copolymer A6 solution having a solid acid value of 38% and a solid content acid value of 133 mg-KOH / g was obtained. Copolymer A6 has the following structural units.
Figure 0006135063

〔合成例7〕
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えたフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、3−メトキシ−1−ブタノール200質量部及び3−メトキシブチルアセテート105質量部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、メタクリル酸60質量部、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物及び式(II−1)で表される化合物の、モル比、50:50の混合物。)240質量部を、3−メトキシブチルアセテート140質量部に溶解して溶液を調製し、該溶解液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、70℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)30質量部を3−メトキシブチルアセテート225質量部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、固形分32.6質量%、酸価110mg−KOH/g(固形分換算)の樹脂B’1溶液を得た。得られた樹脂Aaの重量平均分子量Mwは、13,400、分子量分布は2.50であった。
[Synthesis Example 7]
In a flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was allowed to flow at 0.02 L / min to form a nitrogen atmosphere, and 200 parts by mass of 3-methoxy-1-butanol and 105 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate were added. Heat to 70 ° C. with stirring. Subsequently, 60 parts by mass of methacrylic acid, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (a compound represented by the formula (I-1) and a formula (II-1) (Mix ratio of the compound to be prepared is a 50:50 mixture.) A solution is prepared by dissolving 240 parts by mass in 140 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate, and the resulting solution is added over 4 hours using a dropping funnel. And dropped in a flask kept at 70 ° C. On the other hand, a solution in which 30 parts by mass of a polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was dissolved in 225 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate was added to a flask over another 4 hours using another dropping funnel. It was dripped in. After dropping of the solution of the polymerization initiator is completed, the resin is kept at 70 ° C. for 4 hours and then cooled to room temperature, and has a solid content of 32.6% by mass and an acid value of 110 mg-KOH / g (in terms of solid content). A B′1 solution was obtained. The obtained resin Aa had a weight average molecular weight Mw of 13,400 and a molecular weight distribution of 2.50.

合成例で得られた樹脂の重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)の測定は、GPC法を用いて、以下の条件で行った。
装置;K2479((株)島津製作所製)
カラム;SHIMADZU Shim−pack GPC−80M
カラム温度;40℃
溶媒;THF(テトラヒドロフラン)
流速;1.0mL/min
検出器;RI
校正用標準物質 ;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−288、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
上記で得られたポリスチレン換算の重量平均分子量及び数平均分子量の比(Mw/Mn)を分子量分布とした。
The weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) of the resin obtained in the synthesis example were measured using the GPC method under the following conditions.
Apparatus; K2479 (manufactured by Shimadzu Corporation)
Column; SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
Column temperature: 40 ° C
Solvent; THF (tetrahydrofuran)
Flow rate: 1.0 mL / min
Detector; RI
Standard material for calibration: TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-288, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)
The polystyrene-converted weight average molecular weight and number average molecular weight ratio (Mw / Mn) obtained above was defined as molecular weight distribution.

実施例1
〔硬化性樹脂組成物の調製〕
共重合体(A):共重合体A1(固形分換算) 60部
重合性化合物(C):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(KAYARAD(登録商標) DPHA;日本化薬(株)製) 40部
重合開始剤(D):N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)オクタン−1−オン−2−イミン(イルガキュア(登録商標)OXE 01;BASF社製;O−アシルオキシム化合物) 5部
溶剤(E):乳酸エチル 266部
溶剤(E):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 86部
レベリング剤(F):ポリエーテル変性シリコーンオイル
(トーレシリコーンSH8400:東レ・ダウコーニング(株)製) 0.11部
を混合して硬化性樹脂組成物を得た。
Example 1
(Preparation of curable resin composition)
Copolymer (A): Copolymer A1 (solid content conversion) 60 parts Polymerizable compound (C): Dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark) DPHA; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 40 parts Polymerization start Agent (D): N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) octane-1-one-2-imine (Irgacure (registered trademark) OXE 01; manufactured by BASF; O-acyloxime compound) 5 parts Solvent (E): Ethyl lactate 266 parts Solvent (E): Propylene glycol monomethyl ether acetate 86 parts Leveling agent (F): Polyether-modified silicone oil (Toray Silicone SH8400: manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.) 0.11 part By mixing, a curable resin composition was obtained.

〔組成物の平均透過率〕
得られた硬化性樹脂組成物について、それぞれ、紫外可視近赤外分光光度計(V−650;日本分光(株)製)(石英セル、光路長;1cm)を用いて、400〜700nmにおける平均透過率(%)を測定した。結果を表1に示す。
[Average transmittance of composition]
Each of the obtained curable resin compositions was averaged at 400 to 700 nm using an ultraviolet-visible near-infrared spectrophotometer (V-650; manufactured by JASCO Corporation) (quartz cell, optical path length: 1 cm). The transmittance (%) was measured. The results are shown in Table 1.

〔塗膜の形成〕
2インチ角のガラス基板(イーグルXG;コーニング社製)を、中性洗剤、水及びアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、上記で得られた硬化性樹脂組成物を、ポストベーク後の膜厚が3.0μmになるようにスピンコートし、次にクリーンオーブン中、90℃で3分間プリベークした。その後、230℃で20分加熱して塗膜を得た。
[Formation of coating film]
A 2-inch square glass substrate (Eagle XG; manufactured by Corning) was sequentially washed with a neutral detergent, water and alcohol and then dried. The curable resin composition obtained above was spin-coated on this glass substrate so that the film thickness after post-baking was 3.0 μm, and then pre-baked at 90 ° C. for 3 minutes in a clean oven. Then, it heated at 230 degreeC for 20 minutes, and obtained the coating film.

〔塗膜の透過率〕
得られた塗膜について、顕微分光測光装置(OSP−SP200;OLYMPUS社製)を用いて、400〜700nmにおける平均透過率(%)を測定した。塗膜の透過率が高ければ、同じ硬化性樹脂組成物から形成されるパターンも透過率が高い。結果を表1に示す。
[Transparency of coating film]
About the obtained coating film, the average transmittance | permeability (%) in 400-700 nm was measured using the microspectrophotometer (OSP-SP200; OLYMPUS company make). If the transmittance | permeability of a coating film is high, the transmittance | permeability will also be high in the pattern formed from the same curable resin composition. The results are shown in Table 1.

〔パターンの作成〕
2インチ角のガラス基板(イーグル2000;コーニング社製)上に、硬化性樹脂組成物を、ポストベーク後の膜厚が2.0μmになるように、スピンコート法で塗布した後、100℃で3分間プリベークして組成物層を形成した。冷却後、組成物層を形成した基板と石英ガラス製フォトマスクとの間隔を80μmとして、露光機(TME−150RSK;トプコン(株)製)を用いて、大気雰囲気下、40mJ/cmの露光量(365nm基準)で光照射した。尚、フォトマスクとしては、50μmのラインアンドスペースパターンが形成されたものを使用した。光照射後の組成物層を、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%とを含む水溶液に25℃で60秒間浸漬させて現像し、水洗後、オーブン中、230℃で20分間ポストベークを行うことにより、パターンを得た。得られたパターンについて、膜厚測定装置(DEKTAK3;日本真空技術(株)製))を用いて膜厚を測定したところ、2.0μmであることを確認した。
[Create pattern]
On a 2-inch square glass substrate (Eagle 2000; manufactured by Corning), the curable resin composition was applied by spin coating so that the film thickness after post-baking was 2.0 μm, and then at 100 ° C. A composition layer was formed by pre-baking for 3 minutes. After cooling, the distance between the substrate on which the composition layer is formed and the quartz glass photomask is set to 80 μm, and exposure is performed at 40 mJ / cm 2 in an air atmosphere using an exposure machine (TME-150RSK; manufactured by Topcon Corporation). Light was irradiated in an amount (based on 365 nm). A photomask having a 50 μm line and space pattern was used. The composition layer after the light irradiation was developed by being immersed in an aqueous solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 25 ° C. for 60 seconds, washed with water, A pattern was obtained by post-baking at 20 ° C. for 20 minutes. About the obtained pattern, when the film thickness was measured using the film thickness measuring apparatus (DEKTAK3; Nippon Vacuum Technology Co., Ltd.), it was confirmed to be 2.0 μm.

〔パターンの直線性評価〕
得られたパターンについて、走査型電子顕微鏡(S−4000;(株)日立ハイテクノロジーズ製)を用いて、上面から形状を倍率10000倍で観察し、パターンエッジの振れ幅(ライン・エッジ・ラフネス)を測定した。振れ幅が0.4μm以下であれば◎、0.4μmを超えて0.8μm以下であれば○、0.8μmを超えれば×とした。結果を表1に示す。
例えば、パターンをフォトスペーサとして利用する場合、この振れ幅が大きいと、パターンの機械特性のばらつきが大きくなるため、該パターンを含む液晶表示装置には表示ムラが発生する恐れがある。
[Evaluation of pattern linearity]
About the obtained pattern, using a scanning electron microscope (S-4000; manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation), the shape was observed from the top surface at a magnification of 10,000 times, and the fluctuation width of the pattern edge (line edge roughness) Was measured. When the deflection width was 0.4 μm or less, “◎”, when it exceeded 0.4 μm and 0.8 μm or less, “◯”, and when it exceeded 0.8 μm, “×”. The results are shown in Table 1.
For example, when a pattern is used as a photospacer, if the fluctuation width is large, variations in the mechanical characteristics of the pattern become large, and thus display unevenness may occur in a liquid crystal display device including the pattern.

実施例2
共重合体A1 60部(固形分換算)を共重合体A2 60部(固形分換算)に代える以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物を得た。該硬化性樹脂組成物について、実施例1と同様に評価を行った。結果を表1に示す。
Example 2
A curable resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that 60 parts of copolymer A1 (in terms of solid content) was replaced with 60 parts of copolymer A2 (in terms of solid content). The curable resin composition was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

参考例3
共重合体A1 60部(固形分換算)を共重合体A3 60部(固形分換算)に代える以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物を得た。該硬化性樹脂組成物について、実施例1と同様に評価を行った。結果を表1に示す。
Reference example 3
A curable resin composition was obtained in the same manner as in Example 1, except that 60 parts of copolymer A1 (converted to solid content) was replaced with 60 parts of copolymer A3 (converted to solid content). The curable resin composition was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

参考例4
共重合体A1 60部(固形分換算)を共重合体A4 60部(固形分換算)に代える以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物を得る。該硬化性樹脂組成物について、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
Reference example 4
A curable resin composition is obtained in the same manner as in Example 1 except that 60 parts of copolymer A1 (in terms of solid content) is replaced with 60 parts of copolymer A4 (in terms of solid content). About this curable resin composition, operation similar to Example 1 was performed. The results are shown in Table 1.

参考例5
共重合体A1 60部(固形分換算)を共重合体A5 60部(固形分換算)に代える以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物を得る。該硬化性樹脂組成物について、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
Reference Example 5
A curable resin composition is obtained in the same manner as in Example 1 except that 60 parts of copolymer A1 (in terms of solid content) is replaced with 60 parts of copolymer A5 (in terms of solid content). About this curable resin composition, operation similar to Example 1 was performed. The results are shown in Table 1.

参考例6
共重合体A1 60部(固形分換算)を共重合体A6 60部(固形分換算)に代える以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物を得る。該硬化性樹脂組成物について、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
Reference Example 6
A curable resin composition is obtained in the same manner as in Example 1 except that 60 parts of the copolymer A1 (in terms of solid content) is replaced with 60 parts of the copolymer A6 (in terms of solid content). About this curable resin composition, operation similar to Example 1 was performed. The results are shown in Table 1.

比較例1
〔硬化性樹脂組成物の調製〕
樹脂(B):樹脂B’1(固形分換算) 60部
重合性化合物(C):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(KAYARAD(登録商標) DPHA;日本化薬(株)製) 40部
重合開始剤(D):N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミン
(イルガキュア(登録商標)OXE 02;BASF社製) 2部
溶剤(E):3−メトキシ−1−ブタノール 39部
溶剤(E):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 161部
溶剤(E):3−エトキシプロピオン酸エチル 78部
溶剤(E):3−メトキシブチルアセテート 63部
を混合して硬化性樹脂組成物を得た。実施例1と同様の操作を行い、評価を行った。結果を表1に示す。
Comparative Example 1
(Preparation of curable resin composition)
Resin (B): Resin B′1 (solid content conversion) 60 parts Polymerizable compound (C): Dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark) DPHA; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 40 parts Polymerization initiator ( D): N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine (Irgacure (registered trademark) OXE 02; manufactured by BASF) 2 Part Solvent (E): 3-methoxy-1-butanol 39 parts Solvent (E): Propylene glycol monomethyl ether acetate 161 parts Solvent (E): Ethyl 3-ethoxypropionate 78 parts Solvent (E): 3-methoxybutyl acetate 63 parts were mixed to obtain a curable resin composition. The same operation as in Example 1 was performed for evaluation. The results are shown in Table 1.

Figure 0006135063
Figure 0006135063

上記の結果から、本発明の硬化性樹脂組成物により形成されたパターンは、直線性に優れることが確認された。このことから、本発明によれば、表示特性に優れる表示装置を製造可能な硬化性樹脂組成物を提供できたことがわかる。   From the above results, it was confirmed that the pattern formed by the curable resin composition of the present invention was excellent in linearity. From this, it turns out that according to this invention, the curable resin composition which can manufacture the display apparatus excellent in a display characteristic was able to be provided.

本発明によれば、直線性に優れるパターンを形成することができる硬化性樹脂組成物を提供することが可能となる。
本発明の硬化性樹脂組成物から得られたパターン及び塗膜は、カラーフィルタ基板及び/又はアレイ基板の一部を構成する透明膜、パターン、フォトスペーサ、オーバーコート、絶縁膜、液晶配向制御用突起、マイクロレンズ、コート層等として有用であり、これらの塗膜又はパターンをその構成部品の一部として備えるカラーフィルタ基板、アレイ基板等、さらに、これらカラーフィルタ基板及び/又はアレイ基板等を具備する表示装置、例えば、液晶表示装置、有機EL装置、電子ペーパー等に好適に利用することができる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the curable resin composition which can form the pattern which is excellent in linearity.
The pattern and coating film obtained from the curable resin composition of the present invention are a transparent film, pattern, photo spacer, overcoat, insulating film, and liquid crystal alignment control that constitute a part of the color filter substrate and / or array substrate. Useful as protrusions, microlenses, coat layers, etc., and color filter substrates, array substrates, etc., comprising these coating films or patterns as part of their constituent parts, and further comprising these color filter substrates and / or array substrates, etc. It can be suitably used for a display device such as a liquid crystal display device, an organic EL device, and electronic paper.

Claims (4)

樹脂、重合開始剤及び重合性化合物を含み、
樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位と、スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン又はp−メトキシスチレンに由来する構造単位と、炭素数2〜4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体に由来する構造単位と、式(x)
Figure 0006135063
[式(x)中、Ra1は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。
a2は、炭素数の脂肪族炭化水素基を表す。]
で表される単量体に由来する構造単位とを有する共重合体を含む樹脂であり、
式(x)で表される単量体に由来する構造単位の含有量が、該共重合体を構成する構造単位全量に対して、0.3モル%以上8モル%以下であり、
重合開始剤がO−アシルオキシム化合物を含む重合開始剤である硬化性樹脂組成物。
A resin, a polymerization initiator and a polymerizable compound,
A structural unit derived from at least one selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid anhydride, styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyltoluene, or a structural unit derived from p-methoxystyrene, a structural unit derived from a monomer having a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms and an ethylenically unsaturated bond, and the formula (x)
Figure 0006135063
[In formula (x), R a1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
R a2 represents an aliphatic hydrocarbon group having 7 to 9 carbon atoms. ]
A resin containing a copolymer having a structural unit derived from a monomer represented by:
The content of the structural unit derived from the monomer represented by the formula (x) is 0.3 mol% or more and 8 mol% or less with respect to the total amount of the structural unit constituting the copolymer,
A curable resin composition, wherein the polymerization initiator is a polymerization initiator containing an O-acyloxime compound.
請求項1記載の硬化性樹脂組成物を用いて形成され塗膜。 Coating film formed by using the curable resin composition of claim 1 Symbol placement. 請求項1記載の硬化性樹脂組成物を用いて形成されパターン。 Pattern formed by using the curable resin composition of claim 1 Symbol placement. 請求項記載の塗膜及び請求項記載のパターンからなる群から選ばれる少なくとも1種を含む表示装置。 A display device comprising at least one selected from the group consisting of the coating film according to claim 2 and the pattern according to claim 3 .
JP2012174710A 2011-08-30 2012-08-07 Curable resin composition Active JP6135063B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012174710A JP6135063B2 (en) 2011-08-30 2012-08-07 Curable resin composition

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011187007 2011-08-30
JP2011187007 2011-08-30
JP2012174710A JP6135063B2 (en) 2011-08-30 2012-08-07 Curable resin composition

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013064989A JP2013064989A (en) 2013-04-11
JP6135063B2 true JP6135063B2 (en) 2017-05-31

Family

ID=47798230

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012174710A Active JP6135063B2 (en) 2011-08-30 2012-08-07 Curable resin composition

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6135063B2 (en)
KR (1) KR101924648B1 (en)
CN (1) CN102967994B (en)
TW (1) TWI608299B (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014193165A1 (en) * 2013-05-28 2014-12-04 동우화인켐 주식회사 Photosensitive resin composition for forming spacer, and spacer prepared therefrom
KR101391224B1 (en) * 2013-05-28 2014-05-02 동우 화인켐 주식회사 Photosensitive resin composition for spacer and spacer manufactured by the same
JP6666842B2 (en) * 2014-09-05 2020-03-18 住友化学株式会社 Curable composition
TWI778963B (en) * 2016-05-27 2022-10-01 日商住友化學股份有限公司 Resin composition and cured film
CN108241258B (en) * 2016-12-27 2022-10-18 住友化学株式会社 Resin composition for liquid crystal display device, film for liquid crystal display device, and copolymer
JP7659390B2 (en) * 2019-12-26 2025-04-09 住友化学株式会社 Curable resin composition and display device

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09265188A (en) * 1996-03-28 1997-10-07 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP2003105207A (en) * 2001-09-28 2003-04-09 Chisso Corp Resin composition and display element using the same
JP4258279B2 (en) * 2003-06-02 2009-04-30 住友化学株式会社 Color filter
JP4539165B2 (en) * 2004-05-12 2010-09-08 Jsr株式会社 Radiation-sensitive resin composition, spacer, method for forming the same, and liquid crystal display device
JP4631594B2 (en) * 2005-08-16 2011-02-16 Jsr株式会社 Photosensitive resin composition, display panel spacer and display panel
JP2008024915A (en) * 2006-06-23 2008-02-07 Jsr Corp Radiation-sensitive resin composition for spacer, spacer and method for forming the same
KR100958581B1 (en) * 2006-06-28 2010-05-18 타코마테크놀러지 주식회사 Photosensitive Curing Resin Composition
KR101356950B1 (en) * 2006-11-10 2014-01-28 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition
JP5083520B2 (en) * 2007-07-17 2012-11-28 Jsr株式会社 Radiation sensitive resin composition, liquid crystal display spacer and liquid crystal display element
JP2010015111A (en) * 2008-07-07 2010-01-21 Fujifilm Corp Colored curable composition for ultraviolet laser exposure, pattern forming method, method for manufacturing color filter, color filter and display including the same
JP5437027B2 (en) * 2009-03-31 2014-03-12 東京応化工業株式会社 Photosensitive resin composition and liquid crystal panel
JP2011085697A (en) * 2009-10-14 2011-04-28 Sumitomo Chemical Co Ltd Colored photosensitive resin composition
TW201144335A (en) * 2010-06-01 2011-12-16 Everlight Chem Ind Corp Photosensitive resin composition
JP5708313B2 (en) * 2010-08-17 2015-04-30 Jsr株式会社 Radiation sensitive resin composition, cured film, method for forming cured film, color filter, and method for forming color filter
JP5636839B2 (en) * 2010-09-16 2014-12-10 Jsr株式会社 Radiation-sensitive resin composition, interlayer insulating film, method for forming interlayer insulating film, and display element

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130024795A (en) 2013-03-08
CN102967994B (en) 2018-05-01
CN102967994A (en) 2013-03-13
KR101924648B1 (en) 2018-12-03
JP2013064989A (en) 2013-04-11
TWI608299B (en) 2017-12-11
TW201319737A (en) 2013-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6078970B2 (en) Colored photosensitive resin composition
JP6123187B2 (en) Photosensitive resin composition
JP5673243B2 (en) Photosensitive resin composition
JP5919830B2 (en) Colored photosensitive resin composition
JP5892760B2 (en) Colored photosensitive resin composition
JP2013242554A (en) Colored photosensitive resin composition
JP2013088546A (en) Colored curable resin composition
JP6135063B2 (en) Curable resin composition
JP5825961B2 (en) Colored photosensitive composition
JP6019596B2 (en) Colored photosensitive resin composition
CN103309155A (en) Colored curable resin composition
JP2012159566A (en) Colored photosensitive resin composition
JP2012159567A (en) Colored photosensitive resin composition
JP2013160825A (en) Photosensitive resin composition
JP6192898B2 (en) Curable resin composition
JP2013064967A (en) Coloring photosensitive resin composition
JP6060539B2 (en) Photosensitive resin composition
JP5697965B2 (en) Photosensitive resin composition
JP5978583B2 (en) Colored photosensitive resin composition
JP2013148804A (en) Photosensitive resin composition
JP6047885B2 (en) Colored photosensitive resin composition
JP6837863B2 (en) Red coloring composition
JP6414826B2 (en) Colored photosensitive resin composition
JP6187010B2 (en) Curable resin composition
JP2013171278A (en) Photosensitive resin composition

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150721

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160513

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160517

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160630

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161025

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161212

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170328

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170410

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6135063

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350