JP6137944B2 - Semiconductor device, test circuit and test method - Google Patents
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Description
本発明は、半導体装置、試験回路及び試験方法に関する。 The present invention relates to a semiconductor device, a test circuit, and a test method.
半導体装置の不良判定を行う試験の際、アドレスの動きを、たとえば、ワーストケースにして、不良動作(不具合)を再現することが行われる。
チップ内のCPU(Central Processing Unit)からメモリへの書き込み動作を例にあげる。書き込み動作時には、書き込みアドレスが指定される前に、メモリから書き込み命令を読み出すための読み出しアドレスが指定される。この読み出しアドレスと書き込みアドレスの特定のアドレスビットにおいて、値の変化(“0”から“1”または“1”から“0”への変化)が遅れると、指定された書き込みアドレスではないアドレスにデータが誤書き込みされる可能性がある。
In a test for determining a defect of a semiconductor device, a defective operation (problem) is reproduced by setting the address movement to, for example, the worst case.
An example is a write operation from a CPU (Central Processing Unit) in a chip to a memory. During a write operation, a read address for reading a write command from the memory is specified before the write address is specified. If a change in value (change from “0” to “1” or “1” to “0”) is delayed in a specific address bit of the read address and the write address, data is transferred to an address that is not the specified write address. May be erroneously written.
このような不具合を再現する際、読み出しアドレスと書き込みアドレスの上記アドレスビットが同じ値の場合(つまり値が変化しない場合)には、このアドレスビットに生じる異常による誤書き込みを再現できない。そのため、そのアドレスビットの値を、読み出しアドレスと書き込みアドレスとで異ならせることが考えられる。つまり、不具合が発生する可能性があるアドレスビットの動きにすることが考えられる。 When reproducing such a defect, if the address bits of the read address and the write address have the same value (that is, the value does not change), erroneous writing due to an abnormality occurring in the address bit cannot be reproduced. For this reason, it is conceivable that the value of the address bit differs between the read address and the write address. That is, it is conceivable to make the movement of address bits that may cause a problem.
しかし、読み出しアドレスは、命令コードのメモリ上での配置位置によって決まるものであるため任意には変えられず、アドレスの動きを上記のようなワーストケースにすることは難しい。半導体装置の外部の試験回路が、専用のアドレス信号を半導体装置に供給して試験を行うことも考えられるが、システムボードに半導体装置を搭載するような状態で不具合動作確認を実施する際には適さない。 However, since the read address is determined by the arrangement position of the instruction code on the memory, it cannot be arbitrarily changed, and it is difficult to make the address movement as the worst case as described above. It is conceivable that a test circuit outside the semiconductor device supplies a dedicated address signal to the semiconductor device for testing, but when performing a malfunction check with the semiconductor device mounted on the system board Not suitable.
なお、チップの内部バスにバスインターフェースを介して、CPUと試験回路を接続し、試験対象とする周辺回路やメモリなどのアクセス制御を、CPUがプログラムの実行によって行うのではなく、試験回路が行う技術がある。この技術では、内部テーブルに設定した周辺回路の状態や内部バスの状態などのトリガー条件、動作、アドレス、データにしたがって、試験回路により周辺回路などに対する動作が行われる。 Note that the CPU and the test circuit are connected to the internal bus of the chip via the bus interface, and the test circuit does not perform the access control of the peripheral circuit or memory to be tested by executing the program. There is technology. In this technique, an operation for a peripheral circuit or the like is performed by a test circuit in accordance with trigger conditions such as a peripheral circuit state and an internal bus state set in an internal table, an operation, an address, and data.
しかし、上記の技術は、アドレスの動きを任意に設定するものではなく、特定のアドレスの動きに起因して生じるような不具合の再現は、依然として困難であった。 However, the above technique does not arbitrarily set the movement of the address, and it is still difficult to reproduce a problem caused by the movement of a specific address.
発明の一観点によれば、バスに接続され、試験プログラムを実行するプロセッサと、前記バスに接続される試験対象回路と、前記バスに接続される試験回路と、を有し、前記試験回路は、前記試験プログラムで指定される第1のアドレス及び第2のアドレスを保持する記憶部と、前記プロセッサに前記バスの使用要求を行い、前記プロセッサによる前記バスの制御を待機させた状態で、前記記憶部に保持された前記第1のアドレス及び前記第2のアドレスを、前記バスを介して前記試験対象回路に順に供給して試験を行う試験制御部と、を有する半導体装置が提供される。 According to one aspect of the invention, a processor that is connected to a bus and executes a test program, a test target circuit that is connected to the bus, and a test circuit that is connected to the bus, the test circuit includes: A storage unit that holds a first address and a second address specified by the test program, and a request to use the bus to the processor, and the control of the bus by the processor is in a standby state. There is provided a semiconductor device including a test control unit that performs a test by sequentially supplying the first address and the second address held in a storage unit to the circuit under test via the bus.
また、発明の一観点によれば、プロセッサにより実行される試験プログラムで指定される第1のアドレス及び第2のアドレスを保持する記憶部と、前記プロセッサにバスの使用要求を行い、前記プロセッサによる前記バスの制御を待機させた状態で、前記記憶部に保持された前記第1のアドレス及び前記第2のアドレスを、前記バスを介して試験対象回路に順に供給して試験を行う試験制御部と、を有する試験回路が提供される。 According to another aspect of the invention, a storage unit that holds a first address and a second address specified by a test program executed by a processor, a bus use request to the processor, and the processor A test control unit for performing a test by sequentially supplying the first address and the second address held in the storage unit to a test target circuit via the bus in a state where control of the bus is in a standby state. A test circuit is provided.
また、発明の一観点によれば、プロセッサにより実行される試験プログラムで指定される第1のアドレス及び第2のアドレスを記憶部に保持し、前記プロセッサにバスの使用要求を行い、前記プロセッサによる前記バスの制御を待機させた状態で、前記記憶部に保持された前記第1のアドレス及び前記第2のアドレスを、前記バスを介して試験対象回路に順に供給して試験を行う、試験方法が提供される。 According to another aspect of the invention, the first address and the second address specified by the test program executed by the processor are held in the storage unit, the bus is requested to the processor, and the processor A test method for performing a test by sequentially supplying the first address and the second address held in the storage unit to a test target circuit via the bus in a state where control of the bus is in a standby state. Is provided.
開示の半導体装置、試験回路及び試験方法によれば、半導体装置の不具合の再現が容易になる。 According to the disclosed semiconductor device, test circuit, and test method, it becomes easy to reproduce a defect of the semiconductor device.
以下、発明を実施するための形態を、図面を参照しつつ説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施の形態の半導体装置及び試験回路の一例を示す図である。
Hereinafter, embodiments for carrying out the invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a semiconductor device and a test circuit according to the first embodiment.
半導体装置1は、プロセッサ2、試験プログラム入力部3、RAM(Random Access Memory)4、ROM(Read Only Memory)5、試験対象回路6、試験回路7を有し、これらはバス8に接続されている。
The
プロセッサ2は、ROM5に格納されたプログラムや、試験プログラム入力部3から入力された試験プログラムに基づき、半導体装置1の各部を制御する。
試験プログラム入力部3は、試験対象回路6に対する試験プログラムを入力する。試験プログラム入力部3は、たとえば、通信マクロである。なお、試験プログラムはROM5に格納されていてもよい。
The
The test
RAM4は、プロセッサ2に実行させるプログラムの少なくとも一部を一時的に格納する。たとえば、試験プログラムはRAM4上に展開されて実行される。
ROM5は、プロセッサ2が実行するプログラムや、各種データを格納する。
The RAM 4 temporarily stores at least part of a program to be executed by the
The ROM 5 stores programs executed by the
試験対象回路6は、設定値などを格納するレジスタを有している各種周辺回路などである。たとえば、タイマや通信インターフェースなどが試験対象回路6となる。なお、バス8に接続されている試験プログラム入力部3、RAM4、ROM5が試験対象回路6であってもよい。
The
試験回路7は、記憶部10、試験制御部11、バス出力制御回路12、バス入力制御回路13を有する。
記憶部10は、ダミーアドレス格納レジスタ10a、調査アドレス格納レジスタ10b、データ格納レジスタ10cを有している。
The test circuit 7 includes a
The
ダミーアドレス格納レジスタ10aと調査アドレス格納レジスタ10bは、試験プログラムで指定される2つのアドレスを保持する。以下、上記の2つのアドレスを、ダミーアドレスと調査アドレスと呼ぶことにする。調査アドレスは、調査するデータが格納される試験対象回路6のアドレスであり、ダミーアドレスは、試験時に特定のアドレスの動きをさせるために、調査アドレスの前に指定されるアドレスである。これらの2つのアドレスは、試験プログラムに記述されている。
The dummy address storage register 10a and the survey address storage register 10b hold two addresses specified by the test program. Hereinafter, the above two addresses will be referred to as a dummy address and a survey address. The investigation address is an address of the
データ格納レジスタ10cは、試験対象回路6から読み出されるデータ、または試験対象回路6に書き込むデータを保持する。試験対象回路6に書き込むデータは、たとえば、試験プログラムに記述されている。
The data storage register 10 c holds data read from the
試験制御部11は、プロセッサ2にバス8の使用要求を行う。試験制御部11にバス8の使用要求を発生させる命令は、試験プログラムに記述されている。試験制御部11は、プロセッサ2からバス8の使用許可を受けると、プロセッサ2によるバス8の制御を待機させた状態で、ダミーアドレスと調査アドレスをバス8に順に供給し、試験対象回路6に対する試験を行う。
The
バス出力制御回路12は、試験制御部11の制御のもと、ダミーアドレス、調査アドレス、または書き込み試験時には書き込みデータをバス8に出力する。
バス入力制御回路13は、試験制御部11の制御のもと、試験対象回路6から読み出されたデータを、バス8を介して読み出し、データ格納レジスタ10cに供給する。
The bus
The bus
以下、第1の実施の形態の半導体装置の動作の一例を説明する。
プロセッサ2の制御のもと、試験プログラム入力部3が試験プログラムを入力する。試験プログラムは、RAM4に展開される。RAM4に展開された試験プログラムにより、ダミーアドレス格納レジスタ10aと調査アドレス格納レジスタ10bに、ダミーアドレスと調査アドレスが保持される。書き込み試験が行われる場合には、データ格納レジスタ10cに試験プログラムに記述された書き込み用のデータが格納される。
Hereinafter, an example of the operation of the semiconductor device according to the first embodiment will be described.
Under the control of the
また、試験プログラムにより、試験制御部11が、プロセッサ2にバス8の使用要求を行う。プロセッサ2は試験制御部11からバス8の使用要求を受けると、バス8の使用許可を発行する。これにより、プロセッサ2は待機状態となり、バス8の制御が試験回路7で行われるようになる。
In addition, the
試験制御部11は、プロセッサ2からのバス8の使用許可を受けると、プロセッサ2を待機させた状態で、ダミーアドレスと調査アドレスをバス出力制御回路12にバス8に出力させる。
When the
図1の例では、試験回路7からの出力アドレスと、バス8(アドレスバス)を伝達するその出力アドレスのアドレスビット群のうち、あるアドレスビット(bit x)の一例の様子が示されている。 In the example of FIG. 1, the state of an example of an address bit (bit x) is shown among the output address from the test circuit 7 and the address bit group of the output address that transmits the bus 8 (address bus). .
タイミングt1では、試験回路7の出力アドレスとしてダミーアドレスが出力される。また、タイミングt2では、試験回路7の出力アドレスとして調査アドレスが出力される。ここで、ダミーアドレスと調査アドレスの共通のbit xは、正常時の場合、“1”(H(High)レベル)から“0”(L(Low)レベル)に変化している。しかしながら、たとえば、bit xを伝達するアドレス線において、遅延性の不具合が発生した場合、“1”から“0”への変化が遅延して、たとえば図1に示すような異常時の波形となる。このような場合、試験対象回路6では、bit xが、“0”ではなく“1”であると判定して、たとえば、意図したアドレスとは違うアドレスからの誤読み出しが発生する。
At timing t1, a dummy address is output as the output address of the test circuit 7. At the timing t2, a survey address is output as the output address of the test circuit 7. Here, the common bit x of the dummy address and the check address changes from “1” (H (High) level) to “0” (L (Low) level) in the normal state. However, for example, when a delay problem occurs in an address line that transmits bit x, the change from “1” to “0” is delayed, resulting in an abnormal waveform as shown in FIG. . In such a case, the
試験制御部11は、調査アドレスを出力した後に、その調査アドレスに基づき試験対象回路6から読み出されたデータを、バス入力制御回路13を介してデータ格納レジスタ10cに格納する。
After outputting the survey address, the
その後、試験制御部11は、バス8の使用要求を取り下げる。これにより、プロセッサ2によるバス8の制御が行われ、たとえば、データ格納レジスタ10cからのデータの読み出しが行われる。これにより、意図したデータが読み出されているかが判定される。図1のように、bit xが異常時の波形で示したように変化すると、正しいアドレスが指定されないため、読み出されたデータは意図したものとは異なるため、不具合が発生していることを把握することができる。なお、データ格納レジスタ10cに格納されたデータは、プロセッサ2による制御のもと、図示しない通信マクロを介して外部に出力され、外部の装置により不具合の発生の有無が判定されるようにしてもよい。
Thereafter, the
なお、試験対象回路6に対するデータ書き込み時のアドレスの異常による、誤読み出しを検出する際には、試験制御部11の制御のもと、調査アドレスで指定された試験対象回路6のレジスタへ、データ格納レジスタ10cに格納されているデータが書き込まれる。ただし、図1に示すようなアドレスの異常が発生した場合には、意図しないアドレスへ誤書き込みされる。試験制御部11によるバス8の使用要求の取り下げ後、プロセッサ2により、調査アドレスにおけるデータがデータ格納レジスタ10cから読み出され、意図した値が書き込まれたかが判定される。
When erroneous reading due to an abnormal address at the time of writing data to the
このように、本実施の形態では、試験プログラムで指定されるダミーアドレスと調査アドレスが記憶部10に保持され、プロセッサ2によるバス8の制御を待機させた状態で、試験回路7がこれらのアドレスを順にバス8に出力して試験を実行する。試験プログラムに記述されたダミーアドレスと調査アドレスの値は任意に変更できる。そのため、試験対象回路6に対する試験の際に、アドレスの動きを任意に設定でき、不具合の再現が容易になる。
As described above, in the present embodiment, the dummy address and the survey address specified by the test program are held in the
また、アドレスの動きをワーストケースにするために命令コードのアドレス配置を考えなくてもよくなるため、プロセッサ2が試験を行う場合のように、ワーストケースを再現するための複雑な試験プログラムを作成せずともよくなる。
In addition, since it is not necessary to consider the address arrangement of the instruction code in order to make the address movement the worst case, it is necessary to create a complicated test program for reproducing the worst case as in the case where the
また、試験プログラムにより、アドレスを任意に設定できるため、アドレス/データ入出力専用端子や、外部のアドレス発生器などが不要となる。
また、試験プログラムが実行されることにより、試験回路7の試験制御部11が、バス8の使用要求を発行して、プロセッサ2を待機させ、試験回路7によるバス8の制御が行われるようになる。これにより、予め周辺回路などに試験開始トリガーのための回路を設けたり、トリガー条件などを記述したテーブルなどを設けずともよくなる。
In addition, since the address can be arbitrarily set by a test program, an address / data input / output dedicated terminal, an external address generator, and the like are not required.
In addition, by executing the test program, the
(第2の実施の形態)
図2は、第2の実施の形態の半導体装置の一例を示す図である。
半導体装置20は、プロセッサ21、デコーダ22、ROM23,26、通信マクロ24、周辺回路25、RAM27、DMAC(Direct Memory Access Controller)28、試験回路29を有しており、これらは内部バス30に接続されている。また、半導体装置20は、OR回路31を有している。
(Second Embodiment)
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a semiconductor device according to the second embodiment.
The
プロセッサ21は、ROM23,26に格納されたプログラムや、たとえば、通信マクロ24から入力された試験プログラムに基づき、半導体装置20の各部を制御する。プロセッサ21は、マルチプロセッサであってもよい。プロセッサ21は、たとえばCPU、MPU(Micro Processing Unit)、DSP(Digital Signal Processor)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、またはPLD(Programmable Logic Device)である。またプロセッサ21は、CPU、MPU、DSP、ASIC、PLDのうちの2以上の要素の組み合わせであってもよい。
The
デコーダ22は、外部より入力される動作モード選択信号に応じて、ROM23を選択するか、ROM26を選択するか切り替える。
ROM23は、たとえば、試験時にプロセッサ21によって実行されるプログラムや、各種データを格納する。
The
The
通信マクロ24は、プロセッサ21またはDMAC28の制御のもと、外部からの試験プログラムの入力や、試験結果の出力を行う。
周辺回路25は、タイマや入出力インターフェースなどである。
The
The
ROM26は、ユーザによって使用されるプログラムや、各種データを格納する。
RAM27は、プロセッサ21に実行させるプログラムの少なくとも一部を一時的に格納する。
The
The
DMAC28は、通信マクロ24や周辺回路25などと、RAM27との間のデータの送受信を制御する。また、DMAC28は、OR回路31を介してプロセッサ21に、内部バス30の使用要求を発行するとともに、プロセッサ21から内部バス30の使用許可を受ける。
The
試験回路29は、試験プログラムで指定されるアドレスを試験対象回路に供給して、試験を行う。また、試験回路29は、OR回路31を介してプロセッサ21に、内部バス30の使用要求を発行するとともに、プロセッサ21から内部バス30の使用許可を受ける。
The
OR回路31は、DMAC28または試験回路29の少なくとも1つから内部バス30の使用要求が発行されたとき、それをプロセッサ21に通知する。
なお、内部バス30は、データバスとアドレスバスを含む。
The OR
The
図3は、第2の実施の形態の試験回路の一例を示す図である。
試験回路29は、ダミーアドレス格納レジスタ40、調査アドレス格納レジスタ41、データ格納レジスタ42、内部バス使用要求信号生成部43、シーケンス回路44、バス出力制御回路45、バス入力制御回路46を有する。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a test circuit according to the second embodiment.
The
ダミーアドレス格納レジスタ40は、試験時に特定のアドレスの動きをさせるために、調査アドレスの前に指定されるアドレスであるダミーアドレスを保持する。
調査アドレス格納レジスタ41は、試験対象回路6に調査のために指定されるアドレスを保持する。これらのアドレスは、試験プログラムに基づいて設定されるアドレスである。
The dummy
The investigation
データ格納レジスタ42は、試験時に試験対象となる回路から読み出されるデータ、または試験対象となる回路に書き込むデータを保持する。
内部バス使用要求信号生成部43は、プロセッサ21に内部バス30の使用要求を行う内部バス使用要求信号を生成する。以下、内部バス使用要求信号が“1”のときに、試験回路29が内部バス30の使用を要求するものとする。
The data storage register 42 holds data read from a circuit to be tested at the time of testing or data to be written to a circuit to be tested.
The internal bus use request
シーケンス回路44は、プロセッサ21に接続されており、プロセッサ21から内部バス30の使用を許可する旨の信号を受けると、バス出力制御回路45を制御してダミーアドレスと調査アドレスを内部バス30に順に供給する。そして、シーケンス回路44は、読み出し試験のときは、バス入力制御回路46を制御して、調査アドレスによって、試験対象となる回路から読み出されるデータを、内部バス30を介してデータ格納レジスタ42に保持させる。また、書き込み試験のときは、シーケンス回路44は、バス出力制御回路45を制御して、データ格納レジスタ42に保持されているデータを、内部バス30を介して、試験対象となる回路に書き込ませる。シーケンス回路44は、データ格納レジスタ42へのデータの書き込み、またはデータ格納レジスタ42からのデータの読み出しが終わると、内部バス使用要求信号生成部43を制御して、内部バス使用要求信号を“0”にさせる。
The
バス出力制御回路45は、シーケンス回路44の制御のもと、ダミーアドレス、調査アドレス、または書き込みデータを内部バス30に出力する。
バス入力制御回路46は、シーケンス回路44の制御のもと、試験対象の回路から読み出されたデータを、内部バス30を介してデータ格納レジスタ42に供給する。
The bus
The bus
以下、読み出し試験を例にして、本実施の形態の半導体装置20の試験方法の一例を説明する。
(半導体装置20の試験方法の一例)
図4及び図5は、本実施の形態の半導体装置の試験方法の一例の流れを示すフローチャートである。
Hereinafter, an example of a test method for the
(Example of test method for semiconductor device 20)
FIG. 4 and FIG. 5 are flowcharts showing a flow of an example of a test method of the semiconductor device of the present embodiment.
まず、デコーダ22は、ROM23に格納された試験時に実行されるプログラムを選択する旨の動作モード選択信号を受信して、試験プログラムのRAM27への転送のための動作モードを選択する(ステップS1)。これにより、プロセッサ21は、ROM23上のプログラムを起動し、通信マクロ24によるRAM27へ転送動作を開始する(ステップS2)。
First, the
通信マクロ24は、外部からの試験プログラムの読み込みを開始し(ステップS3)、読み込まれた試験プログラムが、RAM27上へ展開される(ステップS4)。そして、プロセッサ21は、実行中のプログラムの処理から、上記の試験プログラムへ処理を移す。
The
その後、プロセッサ21の制御のもと、試験プログラムに基づく初期設定(ステップS5)、試験回路29に対する設定が行われる(ステップS6)。これによって、試験回路29が起動する。ステップS5の処理では、たとえば、通信マクロ24におけるボーレートの設定やビット長などの設定が行われる。また、ステップS6の処理では、ダミーアドレス格納レジスタ40と、調査アドレス格納レジスタ41へのダミーアドレスと調査アドレスの書き込みなどが行われる。
Thereafter, under the control of the
その後、試験回路29の内部バス使用要求信号生成部43は、内部バス使用要求信号を“1”として、内部バス使用要求を発行する(ステップS7)。
プロセッサ21は、内部バス使用要求を受けて、内部バス使用許可を発行するとともに内部バス30を開放して、待機状態となる(ステップS8)。
Thereafter, the internal bus use request
In response to the internal bus use request, the
試験回路29においてシーケンス回路44は、内部バス使用許可を受け取ると(ステップS9)、バス出力制御回路45を制御して、ダミーアドレス格納レジスタ40に保持されているダミーアドレスを内部バス30に出力する(ステップS10)。
In the
その後、シーケンス回路44は、バス出力制御回路45を制御して、調査アドレス格納レジスタ41に保持されている調査アドレスを内部バス30に出力する(ステップS11)。
Thereafter, the
その後、シーケンス回路44は、バス入力制御回路46を制御して、調査アドレスによって読み出された試験対象の回路からの読み出しデータを、データ格納レジスタ42に格納させる(ステップS12)。
Thereafter, the
ステップS12の処理後、シーケンス回路44は、内部バス使用要求信号生成部43を制御して、内部バス使用要求信号を“0”にさせ、内部バス使用要求の取り下げを行う(ステップS13)。これによって、プロセッサ21による内部バス30を用いる動作が再開する(ステップS14)。
After the processing in step S12, the
プロセッサ21は、データ格納レジスタ42に格納されたデータを読み出し、理想値との比較を行い、その比較結果を通信マクロ24から出力する出力処理を行う(ステップS15)。
The
通信マクロ24から出力されたデータに基づき、外部の装置では良否判定処理が行われる(ステップS16)。なお、プロセッサ21が良否判定処理を行うようにしてもよいし、試験回路29が、理想値を保持しており、その理想値とデータ格納レジスタ42に格納されたデータとを比較して、その比較結果または比較結果に基づく良否判定結果を出力するようにしてもよい。
On the basis of the data output from the
次に、試験プログラムの一例を説明する。
(試験プログラムの一例)
図6は、試験プログラムの一例を示す図である。
Next, an example of a test program will be described.
(Example of test program)
FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a test program.
試験プログラムでは、まずレジスタ群が定義されている。“TEST_DA”は、ダミーアドレス格納レジスタ40、“TEST_RA”は、調査アドレス格納レジスタ41、“TEST_RD”は、データ格納レジスタ42を示している。“TSET_ST”は、内部バス使用要求信号生成部43内の図示しない内部バス要求ビット格納レジスタを示している。また、“CANREG”と“CANSTAT”は、通信マクロ24内の、図示しない通信マクロ送信データレジスタと通信マクロ状態レジスタを示している。
In the test program, register groups are defined first. “TEST_DA” indicates a dummy
その次に、試験時の各処理が記述されている。まずは通信マクロ24の初期化を行うコードとして、通信マクロ24のボーレート、ビット長、送信許可の設定などが記述されている。これらのコードにより、前述した図4のステップS5の処理が行われる。
Next, each process during the test is described. First, as a code for initializing the
さらに、試験回路29の設定を行うコードの一例が記述されている。“MOV TEST_DA,#7FFFEh”は、ダミーアドレス格納レジスタ40に、ダミーアドレス“7FFFEh”を転送するコードである。“MOV TEST_RA,#C0000h”は、調査アドレス格納レジスタ41に、調査アドレス“C0000h”を転送するコードである。“MOV TEST_ST,#FFh”は、内部バス使用要求ビット格納レジスタに、内部バス使用要求ビット“FFh”を転送するコードである。
Furthermore, an example of a code for setting the
これらのコードにより、前述した図4のステップS6,S7の処理が行われる。
その次に、プロセッサ21による制御から、試験回路29のシーケンス回路44による制御に切り替わるまで、プロセッサ21を待機させる、切り替わり待ちのためのダミーコード“NOP”が記述されている。図6の例では、2サイクル待機させたタイミングで、シーケンス回路44による制御に移行する。コード“NOP”は、さらにもう一つ記述されており、さらに1サイクル分、プロセッサ21を待機させる。
With these codes, the processing in steps S6 and S7 in FIG. 4 described above is performed.
Next, a dummy code “NOP” for waiting for switching is described which causes the
次に記載されている“WAITLOOP”内の、“MOV A,TEST_ST”は、内部バス要求ビット格納レジスタの値を、プロセッサ21の図示しないアキュムレータ(レジスタ)に転送するコードである。また、“CMP A,00h”は、アキュムレータの値が、“00h”であるか否かを判定するコードである。これにより、試験回路29による内部バス30の制御が終了したか否かが確認される。内部バス要求ビット格納レジスタの値は、シーケンス回路44の制御のもと、試験対象の回路から読み出されたデータがデータ格納レジスタ42に格納された後に、“00h”となる。これにより内部バス使用要求信号が“0”となり、試験回路29による内部バス30の制御が終了することになる。
“MOV A, TEST_ST” in “WAITLOOP” described below is a code for transferring the value of the internal bus request bit storage register to an accumulator (register) (not shown) of the
“BNE WAITLOOP”は、アキュムレータの値が、“00h”でない場合には、“WAITLOOP”内の処理を繰り返させるコードである。つまり、試験回路29による内部バス30の制御が終了していないなら、プロセッサ21の処理は、“WAITLOOP”の行からの処理に戻る。
“BNE WAITLOOP” is a code for repeating the processing in “WAITLOOP” when the value of the accumulator is not “00h”. That is, if the control of the
以下のコードは、試験回路29による内部バス30の制御が終了したときに実行される。
“MOV A,TEST_RD”は、調査アドレス格納レジスタ41に書き込まれた、試験対象の回路からの読み出しデータのプロセッサ21のアキュムレータへの取り込みを行うコードである。
The following code is executed when the control of the
“MOV A, TEST_RD” is a code for fetching the read data from the circuit under test written in the investigation
“MOV CANREG,A”は、アキュムレータに取り込まれた読み出しデータを、通信マクロ送信レジスタに書き込むコードである。
次に記載されている“WAITLOOP1”内の、“BBS,CANSTAT:0,WAITLOOP1”は、通信マクロ24内の、通信マクロ状態レジスタの値が“0”(送信終了を示す値)になるまで、プロセッサ21の動作を待機させるコードである。
“MOV CANREG, A” is a code for writing the read data taken into the accumulator into the communication macro transmission register.
“BBS, CANSTAT: 0, WAITLOOP1” in “WAITLOOP1” described next is until the value of the communication macro status register in the
“//PROG END”は、試験プログラムの終わりを示している。なお、図6の試験プログラムの例では、試験対象の回路から読み出したデータを、そのまま通信マクロ24を用いて出力するものとしているが、前述したように、理想値と読み出しデータとの比較結果を通信マクロ送信レジスタに書き込んだ後、外部に出力するようにしてもよい。
“// PROG END” indicates the end of the test program. In the example of the test program of FIG. 6, data read from the circuit to be tested is output as it is using the
次に、読み出し試験を例にして、本実施の形態の半導体装置20の試験動作時の各部の信号の一例の様子を説明する。
(半導体装置20の試験動作時の各部の信号の一例)
図7は、通信マクロからRAMへの試験プログラムの転送動作時の各部の信号の一例を示すタイミングチャートである。
Next, taking a reading test as an example, an example of a signal of each part during a test operation of the
(An example of the signal of each part at the time of test operation of the semiconductor device 20)
FIG. 7 is a timing chart illustrating an example of signals of the respective units during the transfer operation of the test program from the communication macro to the RAM.
図7では、上から内部バス30(アドレスバス)、通信マクロ24の入力波形、内部バス30(データバス)、RAM27のデータ入力波形の一例が示されている。
タイミングt10〜t11の間で、通信マクロ24による試験プログラムの読み込みと、内部バス30(データバス)への伝達が行われ、プロセッサ21に入力される。タイミングt12〜t13の間で、試験プログラムがプロセッサ21から、RAM27の指定されたアドレスに書き込まれる。
FIG. 7 shows an example of the internal bus 30 (address bus), the input waveform of the
Between timings t <b> 10 to t <b> 11, the test program is read by the
タイミングt14から、RAM27に書き込まれた試験プログラムが実行されることになる。
図8は、試験プログラム実行時の各部の信号の一例を示すタイミングチャートである。
From timing t14, the test program written in the
FIG. 8 is a timing chart showing an example of signals of the respective units when the test program is executed.
図8では、上から内部バス30(アドレスバス)、RAM27のデータ出力波形、内部バス30(データバス)、ダミーアドレス格納レジスタ40の入力波形、調査アドレス格納レジスタ41の入力波形、内部バス使用要求ビット格納レジスタの入力波形の一例が示されている。
In FIG. 8, the internal bus 30 (address bus), the data output waveform of the
試験プログラムが実行されると、タイミングt15から、試験回路29の各レジスタへの書き込み動作が行われる。
タイミングt16では、ダミーアドレス格納レジスタ40に、前述のように試験プログラムに記述されたダミーアドレスが書き込まれる。
When the test program is executed, a write operation to each register of the
At timing t16, the dummy address described in the test program is written in the dummy
タイミングt17では、調査アドレス格納レジスタ41に、試験プログラムに記述された調査アドレスが書き込まれる。
タイミングt18では、内部バス使用要求ビット格納レジスタに、試験プログラムに記述された内部バス使用要求ビットの値(図6に示した試験プログラムの例の場合“FFh”)が書き込まれる。
At timing t17, the survey address described in the test program is written in the survey
At timing t18, the value of the internal bus use request bit described in the test program (“FFh” in the case of the test program example shown in FIG. 6) is written in the internal bus use request bit storage register.
なお、上記では、ダミーアドレス、調査アドレスの順で書き込まれる例について示したが、この順番に限定されるものではない。調査プログラムのコードに応じて、書き込む順番は変更してもよい。 In the above example, the dummy address and the check address are written in this order, but the order is not limited to this. The order of writing may be changed according to the code of the investigation program.
図9は、試験回路動作時の各部の信号の一例を示すタイミングチャートである。
図9では、上から内部バス30(アドレスバス)の様子と、アドレスのbit 14の正常時の波形と異常時の波形、内部バス使用要求ビット格納レジスタの入力波形、内部バス使用要求信号及び内部バス使用許可信号の一例が示されている。さらに、正常時と異常時の内部バス30(データバス)の波形、ダミーアドレス格納レジスタ40と調査アドレス格納レジスタ41の出力波形、データ格納レジスタ42の入力波形の一例が示されている。
FIG. 9 is a timing chart showing an example of signals of the respective units during the test circuit operation.
In FIG. 9, the state of the internal bus 30 (address bus) from the top, the waveform of the address bit 14 when normal and abnormal, the input waveform of the internal bus use request bit storage register, the internal bus use request signal, and the internal An example of a bus use permission signal is shown. Further, an example of the waveform of the internal bus 30 (data bus) at normal time and abnormal time, the output waveform of the dummy
前述したように、タイミングt18で、内部バス使用要求ビット格納レジスタに、内部バス使用要求ビットの値が書き込まれると、タイミングt19において、内部バス使用要求信号生成部43は、内部バス使用要求信号を“0”から“1”にする。
As described above, when the value of the internal bus use request bit is written to the internal bus use request bit storage register at timing t18, the internal bus use request
内部バス使用要求信号の変化を受けて、プロセッサ21は、内部バス使用許可信号を“0”から“1”にする。これによって、内部バス30が、試験回路29によって制御されることになる。
In response to the change in the internal bus use request signal, the
タイミングt21〜t22の間では、試験回路29のシーケンス回路44が、バス出力制御回路45を制御して、ダミーアドレスと調査アドレスを順に内部バス30に出力させている。さらにシーケンス回路44は、バス入力制御回路46を制御して、試験対象の回路から読み出されたデータを、データ格納レジスタ42に格納させている。
Between timings t21 to t22, the
図9の例では、ダミーアドレスと調査アドレスとが、図6に示した試験プログラムに記述されている値、“7FFFEh”と“C0000h”とである場合について示されている。“7FFFEh”から“C0000h”へアドレスを動かすとき、アドレスビットbit 14は、正常時の場合、“1”から“0”へ変化する。しかしながら、異常時には、たとえば、図9に示されているように“0”への変化が遅れる。このような異常が発生する理由の一例を以下に示す。 In the example of FIG. 9, a case where the dummy address and the survey address are the values described in the test program shown in FIG. 6, “7FFFEh” and “C0000h” is shown. When the address is moved from “7FFFEh” to “C0000h”, the address bit 14 changes from “1” to “0” in the normal state. However, at the time of abnormality, for example, the change to “0” is delayed as shown in FIG. An example of the reason why such an abnormality occurs is shown below.
図10は、アドレスバスでの異常発生の一例を示す図である。
周辺回路25が試験対象回路である場合について示されている。たとえば、周辺回路25は、レジスタ50,51、AND回路52,53、インバータ回路54を有している。
FIG. 10 is a diagram illustrating an example of occurrence of an abnormality in the address bus.
The case where the
図10の例では、内部バス30(アドレスバス)のアドレス線30a,30b,30cは、AND回路52の入力端子に接続されており、AND回路52の出力端子はレジスタ50に接続されている。また、アドレス線30a,30bは、AND回路53の入力端子に接続されており、アドレス線30cは、インバータ回路54を介してAND回路53の入力端子に接続されている。AND回路53の出力端子は、レジスタ51に接続されている。
In the example of FIG. 10, the address lines 30 a, 30 b, and 30 c of the internal bus 30 (address bus) are connected to the input terminal of the AND
内部バス30(アドレスバス)により周辺回路25に供給されるアドレスによって、レジスタ50またはレジスタ51が選択される。たとえば、アドレス線30a,30b,30cを伝達する各アドレスビットが“1”であれば、AND回路52の出力信号は“1”となり、AND回路53の出力信号は“0”となる。このとき、レジスタ50が選択されて読み出しまたは書き込みが行われる。ここで、アドレス線30cを伝達するアドレスビットが“0”となると、AND回路52の出力信号は“0”となり、AND回路53の出力信号は“1”となり、レジスタ51が選択されることになる。
The
しかしながら、たとえば、図10のように、アドレス線30cに異物60が付着して、アドレス線30cを伝達するアドレスビットの変化が、図9にbit 14の異常時波形として示したように遅れる場合を考える。この場合、AND回路52,53の出力信号の変化も遅れ、読み出し時や書き込み時にレジスタ51を選択すべきところをレジスタ50が選択される可能性がある。これにより誤読み出しや誤書き込みが生じる。
However, for example, as shown in FIG. 10, when the
図9のタイミングt21〜t22に示すように、ダミーアドレス“7FFFEh”と調査アドレス“C0000h”がアドレスバスに供給されることで、データバスには試験対象の回路のデータが読み出される。しかし、アドレスビットbit 14の波形が図9のように正常時の場合と異常時の場合では、データバスに読み出されるデータが変わる。そのため、データ格納レジスタ42に格納されるデータも変わる。 As shown at timings t21 to t22 in FIG. 9, the dummy address “7FFFEh” and the investigation address “C0000h” are supplied to the address bus, whereby the data of the circuit under test is read out to the data bus. However, the data read to the data bus varies depending on whether the waveform of the address bit 14 is normal or abnormal as shown in FIG. Therefore, the data stored in the data storage register 42 also changes.
タイミングt22でシーケンス回路44が、内部バス使用要求信号を“0”とすると、タイミングt23にて、プロセッサ21は、内部バス使用許可信号を“0”とする。これによって、内部バス30がプロセッサ21によって制御されるようになる。
When the
図11は、試験回路動作終了後の結果出力処理時の各部の信号の一例を示す図である。
図11では、上から内部バス30(アドレスバス)の様子と、内部バス使用要求信号及び内部バス使用許可信号の一例が示されている。さらに、内部バス30(データバス)の波形、調査アドレス格納レジスタ41の出力波形、データ格納レジスタ42の入出力波形、通信マクロ24の出力波形の一例が示されている。
FIG. 11 is a diagram illustrating an example of a signal of each unit during a result output process after the test circuit operation is completed.
In FIG. 11, the state of the internal bus 30 (address bus) and an example of the internal bus use request signal and the internal bus use permission signal are shown from the top. Further, an example of the waveform of the internal bus 30 (data bus), the output waveform of the survey
図11の例では、タイミングt24からプロセッサ21の処理が再開している。プロセッサ21は、タイミングt25〜t26の間で、データ格納レジスタ42に格納されたデータを読み出し、良否判定を行い、通信マクロ24を用いて判定結果の送信準備を行う。ここでは、前述したように、通信マクロ24のレジスタへの判定結果の書き込みなどが行われる。これにより、タイミングt26から、通信マクロ24は、判定結果を送信する。
In the example of FIG. 11, the processing of the
第2の実施の形態の半導体装置20及び試験回路29でも第1の実施の形態の半導体装置1及び試験回路7と同様の効果を有する。すなわち、試験対象となる回路に対する試験の際に、アドレスの動きを任意に設定でき、不具合の再現が容易になる。たとえば、図9のアドレスビットbit 14の異常時波形のように、誤読み出しや誤書き込みを行う状態をピンポイントで設定できるようになる。
The
また、アドレスの動きをワーストケースにするために命令コードのアドレス配置を考えなくてもよくなるため、プロセッサ21が試験を行う場合のように、ワーストケースを再現するための複雑な試験プログラムを作成せずともよくなる。
In addition, since it is not necessary to consider the address arrangement of the instruction code in order to make the address movement the worst case, it is necessary to create a complicated test program for reproducing the worst case as in the case where the
また、試験プログラムにより、アドレスを任意に設定できるため、アドレス/データ入出力専用端子や、外部のアドレス発生器などが不要となる。
また、試験プログラムが実行されることにより、試験回路29の内部バス使用要求信号生成部43が、内部バス30の使用要求を発行して、プロセッサ21を待機させ、試験回路29による内部バス30の制御が行われるようになる。これにより、予め周辺回路などに試験開始トリガーのための回路を設けたり、トリガー条件などを記述したテーブルなどを設けずともよくなる。また、OR回路31が、DMAC28または試験回路29から出力される内部バス30の使用要求をプロセッサ21に伝えるようにしたため、簡単な構成で内部バス30の制御主体を、プロセッサ21、DMAC28、試験回路29の間で切り替えられる。
In addition, since the address can be arbitrarily set by a test program, an address / data input / output dedicated terminal, an external address generator, and the like are not required.
Further, when the test program is executed, the internal bus use request
以上、実施の形態に基づき、本発明の半導体装置、試験回路及び試験方法の一観点について説明してきたが、これらは一例にすぎず、上記の記載に限定されるものではない。
たとえば、試験プログラムは、通信マクロを介して外部から取り込んでRAMに展開するのではなく、予め半導体装置内のROM内に格納しておき、半導体装置の起動時に自己診断を行わせるようにしてもよい。
As described above, one aspect of the semiconductor device, the test circuit, and the test method of the present invention has been described based on the embodiments. However, these are merely examples, and the present invention is not limited to the above description.
For example, the test program is not acquired from the outside via a communication macro and expanded in the RAM, but is stored in advance in the ROM of the semiconductor device so that self-diagnosis is performed when the semiconductor device is started. Good.
1 半導体装置
2 プロセッサ
3 試験プログラム入力部
4 RAM
5 ROM
6 試験対象回路
7 試験回路
8 バス
10 記憶部
10a ダミーアドレス格納レジスタ
10b 調査アドレス格納レジスタ
10c データ格納レジスタ
11 試験制御部
12 バス出力制御回路
13 バス入力制御回路
DESCRIPTION OF
5 ROM
6 Test target circuit 7
Claims (6)
前記バスに接続される試験対象回路と、
前記バスに接続される試験回路と、を有し、
前記試験回路は、
前記試験プログラムで指定される第1のアドレス及び第2のアドレスを保持する記憶部と、
前記プロセッサに前記バスの使用要求を行い、前記プロセッサによる前記バスの制御を待機させた状態で、前記記憶部に保持された前記第1のアドレス及び前記第2のアドレスを、前記バスを介して前記試験対象回路に順に供給して試験を行う試験制御部と、
を有し、
前記第1のアドレスの第xビットの信号の反転信号が前記第2のアドレスの第xビットの信号として設定されていることを特徴とする半導体装置。 A processor connected to the bus and executing a test program;
A circuit under test connected to the bus;
A test circuit connected to the bus,
The test circuit includes:
A storage unit for holding a first address and a second address specified by the test program;
A request to use the bus is made to the processor, and the first address and the second address held in the storage unit are sent via the bus in a state where the bus is controlled by the processor. A test control unit for sequentially supplying the test target circuit and performing a test;
I have a,
Wherein a Rukoto inverted signal of the signal of the x bits of the first address is not set as the signal of the x bits of the second address.
前記他の記憶部への前記データの保持後、前記試験制御部は前記バスの使用要求を取り下げ、前記プロセッサは前記他の記憶部に保持された前記データを読み出し前記データの良否を判定する、ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 The test circuit includes another storage unit that holds data read from the test target circuit when the second address is designated,
After holding the data in the other storage unit, the test control unit cancels the bus use request, and the processor reads the data held in the other storage unit to determine whether the data is good or bad. The semiconductor device according to claim 1.
前記DMAコントローラ及び前記試験回路と、前記プロセッサの間に接続され、前記DMAコントローラまたは前記試験回路から発行される前記バスの使用要求を前記プロセッサに通知する論理回路と、をさらに有することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の半導体装置。 A DMA controller connected to the bus;
And a logic circuit connected between the DMA controller and the test circuit and notifying the processor of a bus use request issued from the DMA controller or the test circuit. The semiconductor device according to any one of claims 1 to 3.
前記プロセッサにバスの使用要求を行い、前記プロセッサによる前記バスの制御を待機させた状態で、前記記憶部に保持された前記第1のアドレス及び前記第2のアドレスを、前記バスを介して試験対象回路に順に供給して試験を行う試験制御部と、
を有し、
前記第1のアドレスの第xビットの信号の反転信号が前記第2のアドレスの第xビットの信号として設定されていることを特徴とする試験回路。 A storage unit for holding a first address and a second address specified by a test program executed by the processor;
A request to use the bus is made to the processor, and the first address and the second address held in the storage unit are tested via the bus in a state in which the bus is controlled by the processor. A test control unit that sequentially supplies the target circuit for testing, and
I have a,
Test circuit according to claim Rukoto inverted signal of the signal of the x bits of the first address is not set as the signal of the x bits of the second address.
試験回路が、前記プロセッサにバスの使用要求を行い、前記プロセッサによる前記バスの制御を待機させた状態で、前記記憶部に保持された前記第1のアドレス及び前記第2のアドレスを、前記バスを介して試験対象回路に順に供給して試験を行い、
前記第1のアドレスの第xビットの信号の反転信号が前記第2のアドレスの第xビットの信号として設定されていることを特徴とする試験方法。 The storage unit holds the first address and the second address specified by the test program executed by the processor,
The test circuit requests the processor to use the bus and waits for the control of the bus by the processor, and the first address and the second address held in the storage unit are used as the bus. There line test is supplied in sequence to the test target circuit via,
An inversion signal of the x-th bit signal of the first address is set as the x-th bit signal of the second address .
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