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JP6144065B2 - Work measuring apparatus and work measuring method - Google Patents
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Description

本発明は、チップ形電子部品等のワークを保持して搬送しながら、測定手段によりワークの特性を測定するワーク測定装置およびワーク測定方法に係り、とりわけ測定手段の測定精度を容易に確認することができるワーク測定装置およびワーク測定方法に関する。   The present invention relates to a workpiece measuring apparatus and a workpiece measuring method for measuring workpiece characteristics by a measuring means while holding and transporting a workpiece such as a chip-type electronic component, and in particular, easily confirming the measurement accuracy of the measuring means. The present invention relates to a workpiece measuring device and a workpiece measuring method.

チップ形電子部品(以下ワークと記載)を保持して搬送しながら、搬送経路に沿って配置された測定手段を用いて、ワークの特性を測定するワーク測定装置およびワーク測定方法が知られている。   2. Description of the Related Art A workpiece measuring apparatus and a workpiece measuring method for measuring workpiece characteristics using a measuring unit arranged along a conveyance path while holding and conveying a chip-type electronic component (hereinafter referred to as a workpiece) are known. .

例えば特許文献1には、水平に配置されて間歇回転する円形の搬送テーブルによりワークを搬送しながら測定を行うワーク測定装置が開示されている。このようなワーク測定装置について、以下に説明する。   For example, Patent Document 1 discloses a workpiece measuring device that performs measurement while conveying a workpiece by a circular conveyance table that is horizontally disposed and rotates intermittently. Such a workpiece measuring apparatus will be described below.

図67に従来技術によるワーク測定装置100の平面図を示す。ワーク測定装置100は、水平に配置されたテーブルベース200上に回転自在に配置された搬送テーブル3を有する。搬送テーブル3は、図示されない駆動機構の作用により中心軸3aの周囲に矢印A1の方向に間歇回転する。搬送テーブル3には、その周縁部から中心に向けて複数のワーク収納孔4が形成されている。ワーク収納孔4は搬送テーブル3の外側に向けて開口し、ここに後述のワークW1を個別に収納して搬送する。また搬送テーブル3の外周部に向けて直線形状のリニアフィーダ5が配置されている。リニアフィーダ5は図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークW1を1列状態で矢印B1方向に搬送する機能を有する。   FIG. 67 shows a plan view of a workpiece measuring apparatus 100 according to the prior art. The workpiece measuring apparatus 100 includes a transfer table 3 that is rotatably disposed on a table base 200 that is horizontally disposed. The transport table 3 is intermittently rotated in the direction of the arrow A1 around the central shaft 3a by the action of a drive mechanism (not shown). A plurality of work storage holes 4 are formed in the transfer table 3 from the peripheral edge toward the center. The work storage hole 4 opens toward the outside of the transfer table 3, and stores and transfers a work W1 (described later) individually. Further, a linear feeder 5 having a linear shape is arranged toward the outer periphery of the transfer table 3. The linear feeder 5 vibrates by the action of a drive mechanism (not shown), and has a function of conveying the workpiece W1 in the direction of the arrow B1 in a single row state by this vibration.

リニアフィーダ5の終端部は搬送テーブル3の外周部に近接し、そこにおいてワーク収納孔4の開口部に対向する。リニアフィーダ5の終端部とワーク収納孔4の開口部が対向する位置には、リニアフィーダ5上のワークW1を1個ずつ分離して個別にワーク収納孔4に供給する分離供給部6が配置されている。この分離供給部6から搬送テーブル3の間歇回転方向すなわち矢印A1方向に沿って、ワークW1の各種特性の測定を行う第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c、および測定の結果に基づいて不良と判定されたワークW1をワーク収納孔4から排出する不良ワーク排出部8、測定の結果に基づいて良品と判定されたワークW1をワーク収納孔4から排出する良品ワーク排出部9が、この順に配置されている。そして、測定装置100を構成する各部の制御を行う制御部120が設置されている。なお、搬送テーブル3が間歇回転してワークW1を搬送するので、分離供給部6から良品ワーク排出部9までの搬送テーブル3の外周部には、間歇回転の際にワークW1に作用する遠心力によりワークW1が搬送テーブル3の外側に飛び出すのを防止するための、図示されないガード壁が形成されている。同様に、分離供給部6から良品ワーク排出部9までのワーク収納孔4の上部は、間歇回転時の振動でワークW1が搬送テーブル3の上側に飛び出すのを防止するための、図示されないテーブルカバーが形成されている。   The terminal portion of the linear feeder 5 is close to the outer peripheral portion of the transfer table 3 and faces the opening of the work storage hole 4 there. At a position where the terminal end of the linear feeder 5 and the opening of the workpiece storage hole 4 face each other, a separation supply unit 6 that separates the workpieces W1 on the linear feeder 5 one by one and supplies them individually to the workpiece storage hole 4 is disposed. Has been. A first measurement unit 7a, a second measurement unit 7b, a third measurement unit 7c, and a measurement unit that measure various characteristics of the workpiece W1 along the intermittent rotation direction from the separation supply unit 6 in the intermittent rotation direction, that is, the arrow A1 direction. The defective workpiece discharge unit 8 that discharges the workpiece W1 determined to be defective based on the result of the measurement from the workpiece storage hole 4, and the non-defective workpiece discharge that discharges the workpiece W1 determined to be non-defective based on the measurement result from the workpiece storage hole 4 Units 9 are arranged in this order. And the control part 120 which controls each part which comprises the measuring apparatus 100 is installed. Since the transfer table 3 rotates intermittently to transfer the workpiece W1, the outer peripheral portion of the transfer table 3 from the separation supply unit 6 to the non-defective workpiece discharge unit 9 has a centrifugal force acting on the workpiece W1 during the intermittent rotation. Thus, a guard wall (not shown) for preventing the workpiece W1 from jumping out of the transfer table 3 is formed. Similarly, the upper part of the workpiece storage hole 4 from the separation supply unit 6 to the non-defective workpiece discharge unit 9 is a table cover (not shown) for preventing the workpiece W1 from jumping out above the transfer table 3 due to vibration during intermittent rotation. Is formed.

ここで、ワークW1について説明する。図3にワークW1の斜視図を、またワークW1を図3における矢印C1、D1、E1の方向から見た図をそれぞれ図4(a)、(b)、(c)に示す。さらに、ワークW1の電気回路図を図5に示す。ワークW1は発光ダイオード(LED)である。図3および図4に示すように、ワークW1は絶縁体により6面体形状に形成され、その1面である面W1f1に透明な樹脂で覆われた発光面W1Lが略平面状に形成されるとともに、面W1f1に隣接し、かつ互いに対向する2面である面W1f2および面W1f3に、それぞれ導電体からなる電極W1a、W1bが突出している。そして、電極W1a、W1bとワークW1の電気回路との対応は図5のようになっている。すなわち、電極W1aがアノード、電極W1bがカソードであり、直流電圧源から、あらかじめ規定された直流電圧を電極W1aが電極W1bよりも高い電位となるようにワークW1に対して供給すると、発光ダイオードDxすなわち図3における発光面W1Lが発光する。   Here, the workpiece W1 will be described. 3 is a perspective view of the workpiece W1, and FIGS. 4A, 4B, and 4C are views of the workpiece W1 viewed from the directions of arrows C1, D1, and E1 in FIG. 3, respectively. Furthermore, an electrical circuit diagram of the workpiece W1 is shown in FIG. The work W1 is a light emitting diode (LED). As shown in FIGS. 3 and 4, the workpiece W1 is formed in a hexahedron shape by an insulator, and a light emitting surface W1L covered with a transparent resin is formed in a substantially planar shape on a surface W1f1 which is one surface thereof. Electrodes W1a and W1b made of a conductor project from two surfaces W1f2 and W1f3, which are adjacent to the surface W1f1 and face each other. The correspondence between the electrodes W1a and W1b and the electric circuit of the work W1 is as shown in FIG. That is, when the electrode W1a is an anode and the electrode W1b is a cathode, and a predetermined DC voltage is supplied from a DC voltage source to the workpiece W1 so that the electrode W1a has a higher potential than the electrode W1b, the light emitting diode Dx That is, the light emitting surface W1L in FIG. 3 emits light.

このように、電極W1aと電極W1bには方向性があるので、ワークW1を外部から見た時にその方向を識別する必要がある。この目的のために、面W1f1の電極W1bに近い側の角部に、電極W1bがカソードであることを示すカソードマークW1mが印刷されている。ワークW1を構成する6面体の各辺の長さ(図4におけるa1、b1、c1)は、発光面W1Lが形成される面W1f1の各辺の長さa1、b1が5mm〜7mm程度で、電極W1a、W1bが突出する面W1f2および面W1f3の短辺の長さc1が2mm程度の製品が市販されている。   Thus, since the electrode W1a and the electrode W1b have directionality, it is necessary to identify the direction when the work W1 is viewed from the outside. For this purpose, a cathode mark W1m indicating that the electrode W1b is a cathode is printed at a corner of the surface W1f1 on the side close to the electrode W1b. The length of each side of the hexahedron constituting the workpiece W1 (a1, b1, c1 in FIG. 4) is such that the lengths a1, b1 of the sides of the surface W1f1 on which the light emitting surface W1L is formed are about 5 mm to 7 mm. Products having a short side length c1 of about 2 mm on the surfaces W1f2 and W1f3 from which the electrodes W1a and W1b protrude are commercially available.

次にワーク測定装置100の動作について、以下に述べる。   Next, the operation of the workpiece measuring apparatus 100 will be described below.

図67においてワークW1は図示されないパーツフィーダにまとめて投入される。そして、図示されない方向検知機構の作用によって、図3に示す発光面W1Lが上側に向き、かつ電極W1bがワークの進行方向すなわち図67に示す矢印B1方向を向くように方向を揃えられて、リニアフィーダ5上に1列に並ぶ。リニアフィーダ5は上述のように、図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークW1は上述の方向に揃った1列状態で矢印B1方向に搬送される。そして、停止している搬送テーブル3のワーク収納孔4の開口部に対向する位置に到達したワークW1は、分離供給部6において図示されない分離機構の作用によって1個ずつ分離されて、個別にワーク収納孔4に収納される。このとき、リニアフィーダ5上であらかじめ上述のようにワークW1の方向が揃えられているので、電極W1a、W1bがテーブルベース200側を向き、かつ電極W1b(カソード)が搬送テーブル3の中心軸3aに近い側となる状態で、ワークW1はワーク収納孔4に収納される。   In FIG. 67, the workpiece W1 is put together in a parts feeder (not shown). Then, by the action of a direction detection mechanism (not shown), the light emitting surface W1L shown in FIG. 3 is oriented upward, and the direction of the electrode W1b is oriented so as to face the moving direction of the workpiece, that is, the arrow B1 direction shown in FIG. Line up in a row on the feeder 5. As described above, the linear feeder 5 vibrates by the action of a drive mechanism (not shown), and the workpiece W1 is conveyed in the direction of the arrow B1 in a single row aligned in the above-described direction due to this vibration. And the workpiece | work W1 which reached | attained the position which opposes the opening part of the workpiece | work storage hole 4 of the conveyance table 3 which has stopped is isolate | separated one by one by the effect | action of the separation mechanism which is not shown in figure in the separation supply part 6, and works individually It is stored in the storage hole 4. At this time, since the direction of the workpiece W1 is previously aligned on the linear feeder 5 as described above, the electrodes W1a and W1b face the table base 200 side, and the electrode W1b (cathode) is the central axis 3a of the transfer table 3. The workpiece W1 is accommodated in the workpiece accommodation hole 4 in a state close to the workpiece.

次に搬送テーブル3は矢印A1の方向に間歇回転し、ワークW1は第1測定部7aにおいて停止する。そして、直流電圧源に接続された図示されないプローブがテーブルベース200内からワークW1の電極W1a、W1bに当接して直流電圧を供給し、発光面W1Lを発光させる。そして、この光をワークW1の上側に配置した図示されない波長計によって受光し、その波長を測定する。ここで、直流電圧源ならびに波長計は、市販の測定器である。   Next, the transfer table 3 rotates intermittently in the direction of the arrow A1, and the workpiece W1 stops at the first measurement unit 7a. Then, a probe (not shown) connected to the DC voltage source contacts the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1 from the table base 200 and supplies a DC voltage to cause the light emitting surface W1L to emit light. Then, this light is received by a wavelength meter (not shown) arranged on the upper side of the workpiece W1, and the wavelength is measured. Here, the DC voltage source and the wavelength meter are commercially available measuring instruments.

次に第2測定部7bにおいては、第1測定部7aと同様の直流電圧源に接続された図示されないプローブが電極W1a、W1bに当接して直流電圧を供給することにより発光面W1Lを発光させる。そして、この光をワークW1の上側に配置した図示されない輝度計によって受光し、その輝度を測定する。ここに、直流電圧源および輝度計は、市販の測定器である。   Next, in the second measurement unit 7b, a probe (not shown) connected to a DC voltage source similar to the first measurement unit 7a contacts the electrodes W1a and W1b to supply a DC voltage, thereby causing the light emitting surface W1L to emit light. . Then, this light is received by a luminance meter (not shown) disposed on the upper side of the workpiece W1, and the luminance is measured. Here, the DC voltage source and the luminance meter are commercially available measuring instruments.

また、第3測定部4cにおいては、図示されないプローブを電極W1a、W1bに当接させることにより、図示されないソースメータという直流電圧源から値が変化する直流電圧をワークW1に供給して発光面W1Lを発光させ、この光を図示されないマルチチャンネル分光器で受光し、全光束測定と呼ばれるスペクトル測定を行う。ここに、ソースメータおよびマルチチャンネル分光器は、市販の測定器である。   In the third measurement unit 4c, a probe (not shown) is brought into contact with the electrodes W1a and W1b to supply a DC voltage whose value changes from a DC voltage source (not shown) to the work W1 to emit light W1L. The light is received by a multi-channel spectrometer (not shown), and a spectrum measurement called total luminous flux measurement is performed. Here, the source meter and the multichannel spectrometer are commercially available measuring instruments.

以上の測定が終了すると、測定結果に基づいてワークW1が良品であるか不良であるかの判定が行われる。そして不良と判定されたワークW1は、搬送テーブル3の間歇回転により不良ワーク排出部8に到達すると、図示されない排出機構の作用によりワーク収納孔4から排出されて、図示されない不良ワーク収納箱に収納される。また、良品と判定されたワークW1は、上記不良ワーク排出部8においては排出されず、搬送テーブル3の間歇回転により良品ワーク排出部9に到達すると、図示されない排出機構の作用によりワーク収納孔4から排出されて、図示されない良品ワーク収納箱に収納される。   When the above measurement is completed, it is determined whether the workpiece W1 is a non-defective product or a defective product based on the measurement result. When the workpiece W1 determined to be defective reaches the defective workpiece discharge portion 8 by intermittent rotation of the transfer table 3, it is discharged from the workpiece storage hole 4 by the action of a discharge mechanism (not shown) and stored in a defective workpiece storage box (not shown). Is done. In addition, the work W1 determined to be a non-defective product is not discharged by the defective work discharge unit 8 but when the work W1 reaches the non-defective work discharge unit 9 by intermittent rotation of the transfer table 3, the work receiving hole 4 is acted by a discharge mechanism (not shown). And is stored in a non-defective work storage box (not shown).

良品ワーク排出部9においてすべてのワークW1はワーク収納孔4から排出されるので、良品ワーク排出部9から分離供給部6までの間のワーク収納孔4は空となる。そして、この空のワーク収納孔4は搬送テーブル3の間歇回転により分離供給部6に到達し、そこで再び上述のようにワークW1を収納する。以上の一連の作用は、すべて制御部120の制御に基づいて実行される。   Since all the workpieces W1 are discharged from the workpiece storage hole 4 in the non-defective workpiece discharge unit 9, the workpiece storage hole 4 from the non-defective workpiece discharge unit 9 to the separation supply unit 6 is empty. The empty work storage hole 4 reaches the separation supply unit 6 by intermittent rotation of the transfer table 3 and stores the work W1 again as described above. The series of operations described above are all executed based on the control of the control unit 120.

ところで、上述のように、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cには市販の測定器が配置されており、それらを用いてワークW1の特性測定が行われる。これらの測定器は、測定精度を確保するために定期的に測定精度の確認を行い、その結果によっては校正を実施する必要がある。ここに、測定器の校正とは、測定器が示す値と真の値の関係を求め、当該測定器の目盛あるいは表示の補正等を実施することである。具体的には、当該測定器により測定される真の値があらかじめ判っている試料を用いて測定を行い、当該測定器が示した測定値と真の値の差分を誤差とみなして、当該測定器がその誤差を除いた値を示すようにする。   Incidentally, as described above, commercially available measuring instruments are arranged in the first measuring unit 7a, the second measuring unit 7b, and the third measuring unit 7c, and the characteristics of the workpiece W1 are measured using them. In order to ensure the measurement accuracy, these measurement devices regularly check the measurement accuracy, and depending on the result, it is necessary to perform calibration. Here, the calibration of the measuring instrument is to obtain the relationship between the value indicated by the measuring instrument and the true value and to correct the scale or display of the measuring instrument. Specifically, measurement is performed using a sample whose true value measured by the measuring instrument is known in advance, and the difference between the measured value indicated by the measuring instrument and the true value is regarded as an error. Display the value excluding the error.

なお、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cにおいては、上述のように、いずれも複数の測定器を用いて測定を実施しており、かつ測定器とワークW1の電極W1a、W1bとの間が、図示されないケーブルおよびプローブにより接続されている。このように、複数の測定器ならびに測定器とワークとを接続する部材により構成される測定用システム、すなわち測定系を用いて測定を実施する場合は、測定系全体の測定精度を確認し、その結果に応じて各測定器の校正を行う。そのような測定精度の確認は、当該測定系により測定される真の値、すなわち校正済みの測定器ならびに測定器とワークとを接続する部材により構成される測定系により測定される真の値があらかじめ判っている試料を用いて実施する。   In addition, in the 1st measurement part 7a, the 2nd measurement part 7b, and the 3rd measurement part 7c, as above-mentioned, all are implementing the measurement using several measuring instruments, and the measuring instrument and the workpiece | work W1 are carried out. The electrodes W1a and W1b are connected by a cable and a probe (not shown). As described above, when measuring using a measuring system composed of a plurality of measuring instruments and members connecting the measuring instrument and the workpiece, that is, using the measuring system, check the measurement accuracy of the entire measuring system, Calibrate each measuring device according to the results. Such confirmation of measurement accuracy is based on the fact that the true value measured by the measurement system, that is, the true value measured by the measurement system composed of the calibrated measuring instrument and the member connecting the measuring instrument and the workpiece, Conduct using a known sample.

ここに、図67に示すワーク測定装置100は、通常モードとデータ取得モードという2種類の動作モードを有しており、いずれのモードで動作するかについて、作業者が図示されない操作盤上から設定することができる。通常モードは、上記の測定装置100の作用に関する説明のように、リニアフィーダ5により搬送されてきたワークW1を分離供給部6においてワーク収納孔4に収納し、搬送しながら各種測定を実施し、測定結果に基づいてワークW1が良品か不良品かを判定して、その判定結果に対応する排出部において排出するモードである。   Here, the workpiece measuring apparatus 100 shown in FIG. 67 has two types of operation modes, that is, a normal mode and a data acquisition mode, and an operator sets an operation mode on an operation panel (not shown). can do. In the normal mode, the workpiece W1 conveyed by the linear feeder 5 is stored in the workpiece storage hole 4 in the separation supply unit 6 and various measurements are performed while being transferred, as described with respect to the operation of the measurement apparatus 100 described above. In this mode, it is determined whether the workpiece W1 is a non-defective product or a defective product based on the measurement result, and is discharged at the discharge unit corresponding to the determination result.

一方、データ取得モードは測定系の測定精度の確認を実施する際のデータを取得するモードであり、分離供給部6においてワーク収納孔4に収納されたサンプルワークW1s(図30(a)(b)および図31(a)(b)参照)に対して、搬送しながら各種測定を実施した後、測定結果に基づく判定結果に対応する排出部からの排出を行うことなく、当該サンプルワークW1sが分離供給部6に戻ってきたら測定装置100の動作を停止するものである。ここに、サンプルワークW1sはワークW1と同一であり、かつ第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cにより特性があらかじめ測定してあるワークである。このデータ取得モードの動作もまた、通常モードと同様に制御部120の制御に基づいて行われる。通常モードで動作している測定装置100をデータ取得モードに移行させて、測定系の精度を確認する従来技術による手順は、以下のとおりである。   On the other hand, the data acquisition mode is a mode for acquiring data when the measurement accuracy of the measurement system is confirmed, and the sample work W1s stored in the work storage hole 4 in the separation supply unit 6 (FIGS. 30A and 30B). ) And FIGS. 31 (a) and 31 (b)), after carrying out various measurements while being conveyed, the sample work W1s is not discharged from the discharge unit corresponding to the determination result based on the measurement result. When returning to the separation supply unit 6, the operation of the measuring apparatus 100 is stopped. Here, the sample work W1s is the same as the work W1, and the characteristics are measured in advance by the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c. The operation in the data acquisition mode is also performed based on the control of the control unit 120 as in the normal mode. The procedure according to the prior art for confirming the accuracy of the measurement system by shifting the measurement apparatus 100 operating in the normal mode to the data acquisition mode is as follows.

まず、作業者は図67に示すワーク測定装置100(通常モードで動作中)の電源を切って、その動作を停止させる。そして、ピンセット等を用いて搬送テーブル3のワーク収納孔4内のすべてのワークW1を回収する。次に作業者は、サンプルワークW1sを、分離供給部6の位置にあるワーク収納孔4にピンセットを用いて1個収納する。そして、ワーク測定装置100の電源を入れ、図示されない操作盤からデータ取得モードによる動作を設定する。   First, the operator turns off the work measuring apparatus 100 (operating in the normal mode) shown in FIG. 67 and stops the operation. And all the workpiece | work W1 in the workpiece | work storage hole 4 of the conveyance table 3 is collect | recovered using tweezers. Next, the operator stores one sample work W1s in the work storage hole 4 at the position of the separation supply unit 6 using tweezers. Then, the work measuring apparatus 100 is turned on, and the operation in the data acquisition mode is set from an operation panel (not shown).

この場合、ワーク測定装置100は上述のようにデータ取得モードによる動作を行い、停止する。作業者はピンセットを用いて分離供給部6の位置にあるワーク収納孔4内のサンプルワークW1sを回収する。次に、今回収したサンプルワークW1sとは別の、かつ校正済みの測定器ならびに測定器とワークとを接続する部材により構成された測定系により測定した、特性が異なるサンプルワークW1sを、分離供給部6の位置にあるワーク収納孔4にピンセットを用いて1個収納する。そして、先程と同様にデータ取得モードにより測定装置100を動作させる。このように、特性にばらつきのある複数のサンプルワークW1sの測定を実施することにより、測定系の測定精度確認の信頼性を向上させることができる。データ取得モードにおいて、測定する複数のサンプルワークW1sの特性のばらつき、および測定するサンプルワークW1sの個数は、校正対象となる測定器の特性や、測定項目に要求される測定精度等を考慮して、あらかじめ決めておく。   In this case, the workpiece measuring apparatus 100 performs the operation in the data acquisition mode as described above and stops. The operator collects the sample work W1s in the work storage hole 4 at the position of the separation supply unit 6 using tweezers. Next, separate supply of sample work W1s with different characteristics measured by a measurement system that is different from the currently collected sample work W1s and that is configured by a calibrated measuring instrument and a member that connects the measuring instrument and the work. One piece is stored in the work storage hole 4 at the position of the part 6 using tweezers. And the measuring apparatus 100 is operated by data acquisition mode similarly to the previous time. As described above, the reliability of the measurement accuracy confirmation of the measurement system can be improved by measuring a plurality of sample workpieces W1s having variations in characteristics. In the data acquisition mode, the variation in characteristics of the plurality of sample workpieces W1s to be measured and the number of sample workpieces W1s to be measured take into account the characteristics of the measuring instrument to be calibrated, the measurement accuracy required for the measurement items, and the like. , Decide in advance.

このようにして、あらかじめ決められた個数のサンプルワークW1sの測定が終了すると、作業者は、これらのサンプルワークW1sをワーク測定装置100により測定したデータと、あらかじめ校正済みの測定器ならびに測定器とワークとを接続する部材により構成された測定系により測定したデータとを比較する。両者のデータの差異が、あらかじめ規定した規格値以内であれば、ワーク測定装置100に使用している測定器の校正を実施することなく、再び通常モードによる動作を開始する。   When the measurement of the predetermined number of sample workpieces W1s is completed in this way, the operator can measure the data obtained by measuring these sample workpieces W1s with the workpiece measuring device 100, the calibrated measuring instruments and measuring instruments. Data measured by a measurement system constituted by members connecting the workpiece are compared. If the difference between the two data is within the standard value defined in advance, the operation in the normal mode is started again without performing calibration of the measuring instrument used in the workpiece measuring apparatus 100.

他方、両者のデータの差異が、あらかじめ規定した規格値を超えていた場合には、ワーク測定装置100に使用している測定器の校正を実施し、その後再び通常モードによる動作を開始する。なお、ワーク測定装置100をデータ取得モードで動作させる周期、すなわち通常モードによる動作をどのくらい継続した段階で測定系の測定精度を確認するためのデータ取得に移行するかという通常モード動作継続時間は、上記のサンプルワークW1sの特性のばらつきや個数と同様に、校正対象となる測定器の特性や、測定項目に要求される測定精度等を考慮して、あらかじめ決めておく。そして、制御部120に時間計測を行うタイマー機能を内蔵させ、ワーク測定装置100の通常モードによる稼動時間を計測し、その稼動時間があらかじめ決められた上記動作継続時間に到達した時に、ブザー等により作業者に通知するようにしておく。   On the other hand, if the difference between the two data exceeds the standard value defined in advance, the measuring instrument used in the workpiece measuring apparatus 100 is calibrated, and then the operation in the normal mode is started again. In addition, the period in which the workpiece measuring apparatus 100 is operated in the data acquisition mode, that is, the normal mode operation continuation time, which is how long the operation in the normal mode is continued, and shifts to data acquisition for confirming the measurement accuracy of the measurement system, Similar to the variation and the number of characteristics of the sample work W1s, the characteristics are determined in advance in consideration of the characteristics of the measuring device to be calibrated, the measurement accuracy required for the measurement items, and the like. Then, the control unit 120 incorporates a timer function for measuring time, measures the operation time of the workpiece measuring apparatus 100 in the normal mode, and when the operation time reaches the predetermined operation continuation time, a buzzer or the like is used. Notify workers.

以上のような、従来技術による測定系の測定精度確認には、以下のような問題点がある。まず、通常モードにより動作しているワーク測定装置100の電源を切って、その動作を停止させ、ワーク収納孔4内のすべてのワークW1を回収する作業や、サンプルワークW1sをワーク収納孔4に収納し、ワーク測定装置100をデータ取得モードにより動作させてから、サンプルワークW1sを回収する作業のすべてが、作業者の手作業によって行われるので、非常に時間がかかるという点である。特にサンプルワークW1sは1個ずつ測定を実施しては入れ替えるため、時間のかかる要素を増大させる。このように、データ取得モードの作業時間が増大することにより、ワーク測定装置100の稼働率が低下する。   As described above, the measurement accuracy confirmation of the measurement system according to the conventional technique has the following problems. First, the work measuring apparatus 100 operating in the normal mode is turned off, the operation is stopped, and the work for collecting all the works W1 in the work storage holes 4 or the sample work W1s in the work storage holes 4 is used. Since all the operations for collecting the sample workpiece W1s after the storage and operation of the workpiece measuring apparatus 100 in the data acquisition mode are performed manually by the operator, it takes a very long time. In particular, since the sample work W1s is measured and replaced one by one, time-consuming elements are increased. Thus, the working rate of the data acquisition mode increases, so that the operation rate of the workpiece measuring apparatus 100 decreases.

次の問題点は、ワークW1(サンプルワークW1s)が非常に小さいことにより、作業品質が低下しやすいことである。上述のように、ワークW1を構成する6面体の各辺の長さは、たかだか2mm〜7mmである(図4)。このため、作業者がピンセットを用いてサンプルワークW1sを扱う際に、誤ってピンセットからはずれて落下する、あるいは紛失する等の事故が発生しやすい。また、このようにワークW1の外形寸法が非常に小さいために、図4(a)に示すカソードマークW1mが見づらく、サンプルワークW1sをワーク収納孔4に収納する際に方向を誤りやすい。また、図4(a)に示す発光面W1Lは樹脂製のため、ピンセットを用いてワークW1あるいはサンプルワークW1sを扱う際に、発光面W1Lを傷付けるおそれがある。さらに、外観が同一で特性の異なる複数のサンプルワークW1sの識別を誤り、それが原因となって各サンプルワークのワーク測定装置100における正しい測定データを把握することができなくなるおそれもある。   The next problem is that the work quality is likely to deteriorate due to the very small work W1 (sample work W1s). As described above, the length of each side of the hexahedron constituting the workpiece W1 is at most 2 mm to 7 mm (FIG. 4). For this reason, when an operator handles the sample work W1s using tweezers, accidents such as accidental detachment from the tweezers or loss of the treads are likely to occur. Further, since the outer dimension of the workpiece W1 is very small as described above, the cathode mark W1m shown in FIG. 4A is difficult to see, and the direction of the sample workpiece W1s is likely to be wrong when the workpiece W1s is stored in the workpiece storage hole 4. Further, since the light emitting surface W1L shown in FIG. 4A is made of resin, the light emitting surface W1L may be damaged when the work W1 or the sample work W1s is handled using tweezers. Furthermore, there is a possibility that identification of a plurality of sample workpieces W1s having the same appearance and different characteristics may be wrong, and correct measurement data in the workpiece measurement apparatus 100 of each sample workpiece may not be grasped.

そして、これらの問題点を回避して、作業品質を低下させないようにするために、作業者は細心の注意を払って作業を行うことになる。これは、作業時間の更なる増大を招いて、装置の稼働率を更に低下させるとともに、作業者の肉体的ならびに心理的負担を著しく増大させる結果となる。   Then, in order to avoid these problems and prevent the work quality from deteriorating, the worker works with great care. This leads to a further increase in work time, further reducing the operating rate of the apparatus and significantly increasing the physical and psychological burden on the operator.

特開2012−20822号公報JP 2012-20822 A

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、測定手段の測定精度を容易かつ確実に確認することができるワーク測定装置およびワーク測定方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and an object thereof is to provide a workpiece measuring device and a workpiece measuring method capable of easily and reliably confirming the measurement accuracy of the measuring means.

本発明は、ワークまたはサンプルワークを保持する複数の保持部を有し、回転自在に設けられた搬送体と、搬送体の保持部にワークを個別に分離して供給する分離供給手段と、分離供給手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークまたはサンプルワークの特性を測定する測定手段と、測定手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークを排出する排出手段とを備え、分離供給手段と測定手段との間に、予め基準特性が定められたサンプルワークを搬送体の保持部に供給するとともにサンプルワークが収納される複数の保管部を有するサンプルワーク供給手段を設け、搬送体と、分離供給手段と、測定手段と、排出手段と、サンプルワーク供給手段を制御する制御装置を設け、制御装置は通常測定モードをとるとき、分離供給手段から搬送体の保持部に供給されたワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出し、サンプル測定モードをとるとき、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出することなくサンプルワーク供給手段の保管部に戻すことを特徴とするワーク測定装置である。   The present invention has a plurality of holding units for holding a workpiece or a sample workpiece, and is provided with a transport body that is rotatably provided, a separation supply unit that separately feeds the work to the holding unit of the transport body, and a separation Measuring means for measuring the characteristics of the work or sample work that is arranged on the downstream side of the supply means and held in the holding part of the conveying body, and the work that is arranged on the downstream side of the measuring means and held in the holding part of the conveying body And a plurality of storage units for supplying the sample work having a predetermined reference characteristic to the holding unit of the transport body and storing the sample work between the separation supply unit and the measurement unit. A sample work supply means, a transport body, a separation supply means, a measurement means, a discharge means, and a control device for controlling the sample work supply means are provided, and the control device takes a normal measurement mode. When the workpiece supplied from the separation supply means to the holder of the transport body is measured by the measuring means and then discharged from the discharge means, and when the sample measurement mode is taken, the storage section of the sample work supply means is held by the holder of the transport body. After the sample work supplied to the sample is measured by the measuring means, it is returned to the storage part of the sample work supplying means without being discharged from the discharging means.

本発明は、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークは、測定手段で測定された後、サンプルワーク供給手段の元の保管部に戻されることを特徴とするワーク測定装置である。   The present invention is characterized in that the sample work supplied from the storage part of the sample work supply means to the holding part of the carrier is measured by the measurement means and then returned to the original storage part of the sample work supply means. It is a workpiece measuring device.

本発明は、制御装置は測定手段により測定されたサンプルワークの測定結果と、予め内蔵されたサンプルワークの基準特性とを比較してその差異を求める比較部と、比較部に接続され測定結果とサンプルワークの基準特性の差異が所定値を越えた際に警報を発する警報部とを有することを特徴とするワーク測定装置である。   According to the present invention, the control device compares the measurement result of the sample work measured by the measuring means with the reference characteristic of the sample work built in in advance to obtain the difference, and the measurement result connected to the comparison part. And a warning unit that issues a warning when a difference in reference characteristics of the sample workpiece exceeds a predetermined value.

本発明は、サンプルワーク供給手段はサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部内に供給されたこと、およびサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部へ戻されたことを各々検知する移載検知手段を有することを特徴とするワーク測定装置である。   In the present invention, the sample work supply means detects that the sample work has been supplied from the storage part of the sample work supply means into the holding part of the carrier, and that the sample work has been returned to the storage part of the sample work supply means. It is a workpiece | work measuring apparatus characterized by having the transfer detection means to do.

本発明は、制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを自動的に切換える自動切換手段を有することを特徴とするワーク測定装置である。   The present invention is the workpiece measuring apparatus characterized in that the control device has automatic switching means for automatically switching between the normal measurement mode and the sample measurement mode.

本発明は、制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを手動で切換える手動切換手段を有することを特徴とするワーク測定装置である。   The present invention is the workpiece measuring apparatus characterized in that the control device has manual switching means for manually switching between the normal measurement mode and the sample measurement mode.

本発明は、手動切換手段は押しボタンスイッチを有することを特徴とするワーク測定装置である。   The present invention is the workpiece measuring apparatus, wherein the manual switching means has a push button switch.

本発明は、搬送体は円形の搬送テーブルを有することを特徴とするワーク測定装置である。   The present invention is the workpiece measuring apparatus, wherein the transport body has a circular transport table.

本発明は、搬送体の保持部は搬送テーブルの外周に設けられ、外側に向けて開口する凹部からなることを特徴とするワーク測定装置である。   The present invention is the workpiece measuring apparatus, wherein the holding portion of the transfer body is provided on the outer periphery of the transfer table and is formed of a recess opening outward.

本発明は、搬送体の保持部は、搬送テーブルの外周近傍に設けられ、搬送テーブルを貫通する貫通孔からなることを特徴とするワーク測定装置である。   The present invention is the workpiece measuring apparatus, wherein the holding unit of the transfer body is provided in the vicinity of the outer periphery of the transfer table and includes a through hole penetrating the transfer table.

本発明は、搬送体の保持部は搬送テーブルの一方の面に設けられ、この一方の面に対して進退する搬送ノズルからなることを特徴とするワーク測定装置である。   The present invention is the workpiece measuring apparatus, wherein the holding unit of the transfer body is provided on one surface of the transfer table and includes a transfer nozzle that advances and retreats with respect to the one surface.

本発明は、ワークまたはサンプルワークを保持する複数の保持部を有し、回転自在に設けられた搬送体と、搬送体の保持部にワークを個別に分離して供給する分離供給手段と、分離供給手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークまたはサンプルワークの特性を測定する測定手段と、測定手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークを排出する排出手段とを備え、分離供給手段と測定手段との間に、予め基準特性が定められたサンプルワークを搬送体の保持部に供給するとともにサンプルワークが収納される複数の保管部を有するサンプルワーク供給手段を設け、搬送体と、分離供給手段と、測定手段と、排出手段と、サンプルワーク供給手段を制御する制御装置を設けたワーク測定装置を用いたワーク測定方法において、制御装置が通常測定モードをとって、分離供給手段から搬送体の保持部に供給されたワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出する工程と、制御装置がサンプル測定モードをとって、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出することなくサンプルワーク供給手段の保管部に戻す工程とを備えたことを特徴とするワーク測定方法である。   The present invention has a plurality of holding units for holding a workpiece or a sample workpiece, and is provided with a transport body that is rotatably provided, a separation supply unit that separately feeds the work to the holding unit of the transport body, and a separation Measuring means for measuring the characteristics of the work or sample work that is arranged on the downstream side of the supply means and held in the holding part of the conveying body, and the work that is arranged on the downstream side of the measuring means and held in the holding part of the conveying body And a plurality of storage units for supplying the sample work having a predetermined reference characteristic to the holding unit of the transport body and storing the sample work between the separation supply unit and the measurement unit. A workpiece measurement device using a workpiece measuring device provided with a sample work supply means, a carrier, a separation supply means, a measurement means, a discharge means, and a control device for controlling the sample work supply means. In the method, the control device takes the normal measurement mode, measures the workpiece supplied from the separation supply means to the holding unit of the carrier by the measurement means, and then discharges it from the discharge means; and the control device sets the sample measurement mode. The sample work supplied from the storage part of the sample work supply means to the holding part of the carrier is measured by the measurement means and then returned to the storage part of the sample work supply means without being discharged from the discharge means. This is a method for measuring a workpiece.

本発明は、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークは、測定手段で測定された後、サンプルワーク供給手段の元の保管部に戻されることを特徴とするワーク測定方法である。   The present invention is characterized in that the sample work supplied from the storage part of the sample work supply means to the holding part of the carrier is measured by the measurement means and then returned to the original storage part of the sample work supply means. This is a workpiece measurement method.

本発明は、制御装置は測定手段により測定されたサンプルワークの測定結果と、予め内蔵されたサンプルワークの基準特性とを比較してその差異を求める比較部と、比較部に接続され測定結果とサンプルワークの基準特性の差異が所定値を越えた際に警報を発する警報部とを有することを特徴とするワーク測定方法である。   According to the present invention, the control device compares the measurement result of the sample work measured by the measuring means with the reference characteristic of the sample work built in in advance to obtain the difference, and the measurement result connected to the comparison part. And a warning unit that issues a warning when a difference in reference characteristics of the sample workpiece exceeds a predetermined value.

本発明は、サンプル供給手段はサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部内に供給されたこと、およびサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部へ戻されたことを各々検知する移載検知手段を有することを特徴とするワーク測定方法である。   In the present invention, the sample supply means detects that the sample work has been supplied from the storage part of the sample work supply means into the holding part of the carrier, and that the sample work has been returned to the storage part of the sample work supply means. A workpiece measuring method comprising a transfer detecting means.

本発明は、制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを自動的に切換える自動切換手段を有することを特徴とするワーク測定方法である。   The present invention is the workpiece measuring method, wherein the control device has automatic switching means for automatically switching between the normal measurement mode and the sample measurement mode.

本発明は、制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを手動で切換える手動切換手段を有することを特徴とするワーク測定方法である。   The present invention is the workpiece measuring method, wherein the control device has manual switching means for manually switching between the normal measurement mode and the sample measurement mode.

本発明は、手動切換手段は押しボタンスイッチを有することを特徴とするワーク測定方法である。   The present invention is the workpiece measuring method, wherein the manual switching means has a push button switch.

本発明は、搬送体は円形の搬送テーブルを有することを特徴とするワーク測定方法である。   The present invention is the workpiece measuring method, wherein the transport body has a circular transport table.

本発明は、搬送体の保持部は搬送テーブルの外周に設けられ、外側に向けて開口する凹部からなることを特徴とするワーク測定方法である。   The present invention is the workpiece measuring method, wherein the holding portion of the transport body is provided on the outer periphery of the transport table and includes a concave portion that opens outward.

本発明は、搬送体の保持部は、搬送テーブルの外周近傍に設けられ、搬送テーブルを貫通する貫通孔からなることを特徴とするワーク測定方法である。   The present invention is the workpiece measuring method, wherein the holding unit of the transport body is provided in the vicinity of the outer periphery of the transport table and includes a through-hole penetrating the transport table.

本発明は、搬送体の保持部は搬送テーブルの一方の面に設けられ、この一方の面に対して進退する搬送ノズルからなることを特徴とするワーク測定方法である。   The present invention is the work measuring method, wherein the holding unit of the transport body is provided on one surface of the transport table and includes a transport nozzle that moves forward and backward with respect to the one surface.

以上のように本発明によれば、測定手段の測定精度を容易かつ確実に確認することができる。   As described above, according to the present invention, the measurement accuracy of the measurement means can be easily and reliably confirmed.

図1は本発明の第1の実施形態であるワーク測定装置を示す平面図。FIG. 1 is a plan view showing a workpiece measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention. 図2は図1における領域P1の拡大図。FIG. 2 is an enlarged view of a region P1 in FIG. 図3はワークを示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing a workpiece. 図4(a)(b)(c)は各々、図3における矢印C1、D1、E1方向から見た図。4A, 4B, and 4C are views seen from the directions of arrows C1, D1, and E1, respectively, in FIG. 図5はワークの電気回路図。FIG. 5 is an electric circuit diagram of the workpiece. 図6は分離供給部におけるワーク収納孔を示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view showing a work storage hole in the separation supply unit. 図7は分離供給部においてワークを収納したワーク収納孔を示す斜視図。FIG. 7 is a perspective view showing a work storage hole in which a work is stored in the separation supply unit. 図8(a)(b)(c)はワーク測定装置における位置認識機能の説明図。FIGS. 8A, 8B, and 8C are explanatory views of a position recognition function in the workpiece measuring apparatus. 図9は図2における移載部の拡大斜視図。FIG. 9 is an enlarged perspective view of the transfer portion in FIG. 図10は図9において、ワーク収納孔にサンプルワークが収納されている状態を示す斜視図。FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the sample work is stored in the work storage hole in FIG. 9. 図11(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 11A, 11B, and 11C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図12(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 12A, 12B, and 12C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図13(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 13A, 13B, and 13C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図14(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 14A, 14B, and 14C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図15(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 15A, 15B, and 15C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring device. 図16(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 16A, 16B, and 16C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図17(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 17A, 17B, and 17C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring device. 図18(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。18A, 18B, and 18C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図19(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 19A, 19B, and 19C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring device. 図20(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 20A, 20B, and 20C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図21(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 21A, 21B, and 21C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図22(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 22A, 22B, and 22C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図23(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 23A, 23B, and 23C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図24(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 24A, 24B, and 24C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図25(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 25A, 25B, and 25C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図26(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 26A, 26B, and 26C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring device. 図27(a)(b)(c)はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。FIGS. 27A, 27B, and 27C are views showing a state of movement of a workpiece in each workpiece storage hole in the workpiece measuring apparatus. 図28(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 28A and 28B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図29(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 29A and 29B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図30(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 30A and 30B are explanatory views of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図31(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 31A and 31B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図32(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 32A and 32B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図33(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 33A and 33B are explanatory diagrams of a sample work transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the work measuring apparatus. 図34(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。34 (a) and 34 (b) are explanatory views of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図35(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 35A and 35B are explanatory diagrams of a sample work transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the work measuring apparatus. 図36は本発明の第2の実施形態であるワーク測定装置を示す正面図。FIG. 36 is a front view showing a workpiece measuring apparatus according to a second embodiment of the present invention. 図37は図36における矢印M方向からワーク測定装置を見た図。FIG. 37 is a view of the workpiece measuring device viewed from the direction of arrow M in FIG. 図38は図36における領域P2の拡大図。FIG. 38 is an enlarged view of a region P2 in FIG. 図39はワークを示す斜視図。FIG. 39 is a perspective view showing a workpiece. 図40(a)(b)(c)は、各々図39における矢印C2、D2、E2方向から見た図。40A, 40B, and 40C are views seen from the directions of arrows C2, D2, and E2, respectively, in FIG. 図41はワークの電気回路図。FIG. 41 is an electrical circuit diagram of the workpiece. 図42は分離供給部におけるワーク収納孔を示す斜視図。FIG. 42 is a perspective view showing a work storage hole in the separation supply unit. 図43は分離供給部においてワークを収納したワーク収納孔を示す斜視図。FIG. 43 is a perspective view showing a work storage hole in which a work is stored in the separation supply unit. 図44(a)(b)(c)は測定装置における位置認識機能の説明図。44 (a), (b), and (c) are explanatory diagrams of the position recognition function in the measuring apparatus. 図45は図38における移載部を矢印K2方向から見た透視図。45 is a perspective view of the transfer portion in FIG. 38 as viewed from the direction of the arrow K2. 図46は移載部を示す拡大斜視図。FIG. 46 is an enlarged perspective view showing the transfer portion. 図47は図46において、ワーク収納孔にサンプルワークが収納されている状態を示す斜視図。47 is a perspective view showing a state in which the sample work is stored in the work storage hole in FIG. 46. FIG. 図48(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。48A and 48B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図49(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。49 (a) and 49 (b) are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図50(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 50A and 50B are explanatory views of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図51(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 51A and 51B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図52は本発明の第3の実施形態によるワーク測定装置を示す平面図。FIG. 52 is a plan view showing a workpiece measuring apparatus according to a third embodiment of the present invention. 図53は図52における矢印N方向からワーク測定装置を見た正面図。53 is a front view of the workpiece measuring device viewed from the direction of arrow N in FIG. 図54はワークを示す斜視図。FIG. 54 is a perspective view showing a workpiece. 図55(a)(b)(c)は、各々図54における矢印C3、D3、E3方向から見た図。55A, 55B, and 55C are views seen from the directions of arrows C3, D3, and E3 in FIG. 54, respectively. 図56はワーク測定装置における位置認識機能の説明図。FIG. 56 is an explanatory diagram of a position recognition function in the workpiece measuring apparatus. 図57はワークに搬送ノズルが当接した状態の説明図。FIG. 57 is an explanatory diagram of a state where the transfer nozzle is in contact with the workpiece. 図58はワーク収納孔にサンプルワークが収納されている斜視図。FIG. 58 is a perspective view in which a sample work is stored in the work storage hole. 図59(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 59A and 59B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図60(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 60A and 60B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図61(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 61A and 61B are explanatory views of a sample work transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the work measuring apparatus. 図62(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 62A and 62B are explanatory views of a sample work transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the work measuring apparatus. 図63(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 63A and 63B are explanatory views of a sample work transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the work measuring apparatus. 図64(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 64A and 64B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図65(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。FIGS. 65A and 65B are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図66(a)(b)はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。66 (a) and 66 (b) are explanatory diagrams of a sample workpiece transfer procedure and a transfer completion confirmation method in the workpiece measuring apparatus. 図67は従来技術によるワーク測定装置を示す平面図。FIG. 67 is a plan view showing a conventional workpiece measuring apparatus.

発明の実施の形態DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

第1の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の第1の実施の形態について説明する。
First Embodiment Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず本発明によるワーク測定装置およびワーク測定方法により測定されるワークについて説明する。   First, the workpiece measured by the workpiece measuring apparatus and the workpiece measuring method according to the present invention will be described.

図3にワークW1の斜視図を、またワークW1を図3における矢印C1、D1、E1の方向から見た図をそれぞれ図4(a)、(b)、(c)に示す。さらに、ワークW1の電気回路図を図5に示す。ワークW1は発光ダイオード(LED)である。図3および図4に示すように、ワークW1は絶縁体により6面体形状に形成され、その1面である面W1f1に透明な樹脂で覆われた発光面W1Lが略平面状に形成されるとともに、面W1f1に隣接し、かつ互いに対向する2面である面W1f2および面W1f3に、それぞれ導電体からなる電極W1a、W1bが突出している。そして、電極W1a、W1bとワークW1の電気回路との対応は図5のようになっている。すなわち、電極W1aがアノード、電極W1bがカソードであり、直流電圧源から、あらかじめ規定された直流電圧を電極W1aが電極W1bよりも高い電位となるようにワークW1に対して供給すると、発光ダイオードDxすなわち図3における発光面W1Lが発光する。   3 is a perspective view of the workpiece W1, and FIGS. 4A, 4B, and 4C are views of the workpiece W1 viewed from the directions of arrows C1, D1, and E1 in FIG. 3, respectively. Furthermore, an electrical circuit diagram of the workpiece W1 is shown in FIG. The work W1 is a light emitting diode (LED). As shown in FIGS. 3 and 4, the workpiece W1 is formed in a hexahedron shape by an insulator, and a light emitting surface W1L covered with a transparent resin is formed in a substantially planar shape on a surface W1f1 which is one surface thereof. Electrodes W1a and W1b made of a conductor project from two surfaces W1f2 and W1f3, which are adjacent to the surface W1f1 and face each other. The correspondence between the electrodes W1a and W1b and the electric circuit of the work W1 is as shown in FIG. That is, when the electrode W1a is an anode and the electrode W1b is a cathode, and a predetermined DC voltage is supplied from a DC voltage source to the workpiece W1 so that the electrode W1a has a higher potential than the electrode W1b, the light emitting diode Dx That is, the light emitting surface W1L in FIG. 3 emits light.

このように、電極W1aと電極W1bには方向性があるので、ワークW1を外部から見た時にその方向を識別する必要がある。この目的のために、面W1f1の電極W1bに近い側の角部に、電極W1bがカソードであることを示すカソードマークW1mが印刷されている。ワークW1を構成する6面体の各辺の長さ(図4におけるa1、b1、c1)は、発光面W1Lが形成される面W1f1の各辺の長さa1、b1が5mm〜7mm程度で、電極W1a、W1bが突出する面W1f2および面W1f3の短辺の長さc1が2mm程度の製品が市販されている。   Thus, since the electrode W1a and the electrode W1b have directionality, it is necessary to identify the direction when the work W1 is viewed from the outside. For this purpose, a cathode mark W1m indicating that the electrode W1b is a cathode is printed at a corner of the surface W1f1 on the side close to the electrode W1b. The length of each side of the hexahedron constituting the workpiece W1 (a1, b1, c1 in FIG. 4) is such that the lengths a1, b1 of the sides of the surface W1f1 on which the light emitting surface W1L is formed are about 5 mm to 7 mm. Products having a short side length c1 of about 2 mm on the surfaces W1f2 and W1f3 from which the electrodes W1a and W1b protrude are commercially available.

次にワーク測定装置について、図1乃至図35により述べる。   Next, the workpiece measuring apparatus will be described with reference to FIGS.

ワーク測定装置1は、ワークW1またはサンプルワークW1sを保持する複数のワーク収納孔(保持部)4を有し、水平に配置されたテーブルベース2上に回転自在に設けられた円形の搬送テーブル(搬送体)3と、搬送テーブル3のワーク収納孔4にワークW1を個別に分離して供給する分離供給部(分離供給手段)6と、分離供給部6の下流側に設けられ搬送テーブル3のワーク収納孔4に保持されたワークW1またはサンプルワークW1sの特性を測定する第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cと、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cの下流側に配置され、搬送テーブル3のワーク収納孔4に保持されたワークW1を排出する不良ワーク排出部8および良品ワーク排出部9とを備えている。   The workpiece measuring device 1 has a plurality of workpiece storage holes (holding portions) 4 for holding a workpiece W1 or a sample workpiece W1s, and is a circular transfer table (rotary table) rotatably provided on a table base 2 arranged horizontally. (Conveyance body) 3, separation supply unit (separation supply means) 6 for supplying the workpiece W 1 separately to the workpiece storage holes 4 of the conveyance table 3, and the separation table 6 provided on the downstream side of the separation supply unit 6. A first measurement unit 7a, a second measurement unit 7b, a third measurement unit 7c, a first measurement unit 7a, a second measurement unit 7b that measure the characteristics of the workpiece W1 or the sample workpiece W1s held in the workpiece storage hole 4; A defective workpiece discharge unit 8 and a non-defective workpiece discharge unit 9 are provided which are disposed downstream of the third measurement unit 7c and discharge the workpiece W1 held in the workpiece storage hole 4 of the transfer table 3.

このうち、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cにより測定手段が構成され、不良ワーク排出部8および良品ワーク排出部9により排出手段が構成される。   Among these, the first measuring unit 7a, the second measuring unit 7b, and the third measuring unit 7c constitute a measuring means, and the defective workpiece discharging unit 8 and the non-defective workpiece discharging unit 9 constitute a discharging unit.

また搬送テーブル3は、図示されない駆動機構の作用により中心軸3aの周囲に矢印A1の方向に間歇回転する。また各ワーク収納孔4は搬送テーブル3の外周部に、中心に向けて形成され、これらワーク収納孔4は搬送テーブル3の外側に向けて開口する凹部からなり、ここに図3および図4に示す被測定ワークとしてのワークW1およびサンプルワークW1sを個別に収納して搬送する。   The transport table 3 is intermittently rotated in the direction of the arrow A1 around the central shaft 3a by the action of a drive mechanism (not shown). Each workpiece storage hole 4 is formed in the outer peripheral portion of the transfer table 3 toward the center, and the workpiece storage hole 4 is formed of a recess opening toward the outside of the transfer table 3. The workpiece W1 and the sample workpiece W1s as the workpieces to be shown are individually stored and transported.

さらに搬送テーブル3の外周部に向けて直線形状のリニアフィーダ5が配置されている。リニアフィーダ5は図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークW1を1列状態で矢印B1方向に搬送する機能を有する。リニアフィーダ5の終端部は搬送テーブル3の外周部に近接し、そこにおいてワーク収納孔4の開口部に対向する。リニアフィーダ5の終端部とワーク収納孔4の開口部が対向する位置には、上述のようにリニアフィーダ5上のワークWを1個ずつ分離して個別にワーク収納孔4に供給する分離供給手段としての分離供給部6が配置されている。この分離供給部6から搬送テーブル3の間歇回転方向すなわち矢印A1方向に沿って、上述のようにワークW1の各種特性の測定を行う測定手段としての第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c、および測定の結果に基づいて不良と判定されたワークW1をワーク収納孔4から排出する排出手段としての不良ワーク排出部8、測定の結果に基づいて良品と判定されたワークW1をワーク収納孔4から排出する排出手段としての良品ワーク排出部9が、この順に配置されている。   Further, a linear feeder 5 having a linear shape is arranged toward the outer periphery of the transport table 3. The linear feeder 5 vibrates by the action of a drive mechanism (not shown), and has a function of conveying the workpiece W1 in the direction of the arrow B1 in a single row state by this vibration. The terminal portion of the linear feeder 5 is close to the outer peripheral portion of the transfer table 3 and faces the opening of the work storage hole 4 there. At the position where the end portion of the linear feeder 5 and the opening of the workpiece storage hole 4 face each other, as described above, the separation supply for separating the workpieces W on the linear feeder 5 one by one and supplying them individually to the workpiece storage hole 4 A separation supply unit 6 is arranged as a means. A first measuring unit 7a, a second measuring unit 7b as measuring means for measuring various characteristics of the workpiece W1 as described above along the intermittent rotation direction, that is, the direction of the arrow A1 from the separation supply unit 6; The third measurement unit 7c, the defective workpiece discharge unit 8 as discharge means for discharging the workpiece W1 determined to be defective based on the measurement result, from the workpiece storage hole 4, and the workpiece determined to be non-defective based on the measurement result A non-defective workpiece discharge portion 9 as discharge means for discharging W1 from the workpiece storage hole 4 is arranged in this order.

また搬送テーブル3の間歇回転方向すなわち矢印A1方向に沿って、分離供給部6と第1測定部7aの間に、サンプルワーク供給手段としてのサンプルテーブル10xが配置され、かつサンプルテーブル10xと搬送テーブル3との間にサンプルワークW1sの移載を行う移載部10tが配置されている。   A sample table 10x as a sample work supply means is disposed between the separation supply unit 6 and the first measurement unit 7a along the intermittent rotation direction of the transfer table 3, that is, the direction of the arrow A1, and the sample table 10x and the transfer table. 3, a transfer unit 10 t that transfers the sample work W <b> 1 s is arranged.

このサンプルテーブル10xと移載部10tとにより、測定系確認部10が構成されている。サンプルテーブル10xの形状は搬送テーブル3と同様に円形をなし、図示されない駆動機構の作用により、中心軸10xaの周囲に矢印X1方向に間歇回転する。サンプルテーブル10xの外周部には、搬送テーブル3と同様に保管部としての複数のワーク収納孔11が外側に向けて開口して形成され、ワーク収納孔11にはサンプルワークW1sが保管される。   The sample table 10x and the transfer unit 10t constitute a measurement system confirmation unit 10. The sample table 10x has a circular shape like the transport table 3, and rotates intermittently in the direction of the arrow X1 around the central axis 10xa by the action of a drive mechanism (not shown). In the outer periphery of the sample table 10x, a plurality of workpiece storage holes 11 serving as storage units are formed outwardly like the transfer table 3, and the sample workpiece W1s is stored in the workpiece storage hole 11.

そして、ワーク測定装置1を構成する搬送テーブル3、分離供給部6、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c、不良ワーク排出部8、良品ワーク排出部9、サンプルテーブル10x、および移載部10tの制御を行うため制御部(制御装置)12が設置されている。   And the conveyance table 3 which comprises the workpiece | work measuring apparatus 1, the separation supply part 6, the 1st measurement part 7a, the 2nd measurement part 7b, the 3rd measurement part 7c, the defective workpiece discharge part 8, the non-defective workpiece discharge part 9, the sample table A control unit (control device) 12 is installed to control 10x and the transfer unit 10t.

なお、搬送テーブル3が間歇回転してワークW1を搬送するので、分離供給部6から良品ワーク排出部9までの搬送テーブル3の外周部には、間歇回転の際にワークW1に作用する遠心力によりワークW1が搬送テーブル3の外側に飛び出すのを防止するため、図示しないガード壁が形成されている。   Since the transfer table 3 rotates intermittently to transfer the workpiece W1, the outer peripheral portion of the transfer table 3 from the separation supply unit 6 to the non-defective workpiece discharge unit 9 has a centrifugal force acting on the workpiece W1 during the intermittent rotation. In order to prevent the workpiece W1 from jumping out of the transfer table 3, a guard wall (not shown) is formed.

同様に、分離供給部6から良品ワーク排出部9までのワーク収納孔4の上部には、間歇回転時の振動でワークW1が搬送テーブル3の上側に飛び出すのを防止するため、図示しないテーブルカバーが形成されている。   Similarly, a table cover (not shown) is provided above the work storage hole 4 from the separation supply unit 6 to the non-defective work discharge unit 9 in order to prevent the work W1 from jumping out above the transfer table 3 due to vibration during intermittent rotation. Is formed.

同様に、サンプルテーブル10xが間歇回転してサンプルワークW1sを搬送するので、サンプルテーブル10xの外周部には、間歇回転の際にサンプルワークW1sに作用する遠心力によりサンプルワークW1sがサンプルテーブル10xの外側に飛び出すのを防止するため、図示しないガード壁が形成されている。同様に、サンプルテーブル10xのワーク収納孔11の上部には、間歇回転時の振動でサンプルワークW1sがサンプルテーブル10xの上側に飛び出すのを防止するための、図示しないテーブルカバーが形成されている。   Similarly, since the sample table 10x rotates intermittently and transports the sample work W1s, the sample work W1s is placed on the outer periphery of the sample table 10x due to the centrifugal force acting on the sample work W1s during the intermittent rotation. A guard wall (not shown) is formed in order to prevent it from jumping out. Similarly, a table cover (not shown) for preventing the sample work W1s from jumping out above the sample table 10x due to vibration during intermittent rotation is formed on the upper part of the work storage hole 11 of the sample table 10x.

図1における測定系確認部10付近、すなわち一点鎖線領域P1の拡大図を、図2に示す。搬送テーブル3のワーク収納孔4とサンプルテーブル10xのワーク収納孔11は、いずれもテーブルの外側に向けて開口しており、移載位置において移載部10t側にそれぞれの開口部が対向する。この開口部が対向した状態のワーク収納孔4とワーク収納孔11を、図2においてはワーク収納孔4tおよびワーク収納孔11tと記載している。ワーク収納孔4およびワーク収納孔11には、図3および図4に示す形状のワークW1およびサンプルワークW1sが収納される。ここに、サンプルワークW1sは、ワークW1と同一であり、かつその特性すなわち図1に示す第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cにおけるそれぞれの測定結果が既知であるワークである。   FIG. 2 shows an enlarged view of the vicinity of the measurement system confirmation unit 10 in FIG. 1, that is, the one-dot chain line region P1. Both the work storage hole 4 of the transfer table 3 and the work storage hole 11 of the sample table 10x are opened toward the outside of the table, and the respective openings are opposed to the transfer unit 10t side at the transfer position. The workpiece storage hole 4 and the workpiece storage hole 11 in a state where the openings face each other are described as a workpiece storage hole 4t and a workpiece storage hole 11t in FIG. The workpiece storage hole 4 and the workpiece storage hole 11 store the workpiece W1 and the sample workpiece W1s having the shapes shown in FIGS. Here, the sample workpiece W1s is the same as the workpiece W1, and the characteristics thereof, that is, the workpieces whose measurement results in the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c shown in FIG. It is.

具体的には、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cにおいて使用される測定器と同一かつ校正済みの測定器を用いて、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cにおける測定項目と同一の測定をサンプルワークW1sに対してあらかじめ実施し、その測定結果(基準特性)を制御部12内の記憶手段としての記憶部12aに記憶させておく。このワンプルワークW1sの基準特性は、制御部12の制御によって記憶部12aから読み出すことが可能になっている。また制御部12はサンプル測定モードをとったとき、サンプルワークW1sの基準特性とワークW1の測定結果とを比較する比較部12bと、比較部12bにより比較した結果、両者の差異が所定値を越えた際、警報を発する警報部12cとを有している。また制御部12は通常測定モードをとったとき、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cによる測定結果に基づいてワークW1が良品か不良品かの判定を行なう判定部12dを有している。   Specifically, the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c, using the same and calibrated measurement devices as those used in the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c. 7b, the same measurement as the measurement item in the third measurement unit 7c is performed on the sample work W1s in advance, and the measurement result (reference characteristic) is stored in the storage unit 12a as a storage unit in the control unit 12. . The reference characteristic of the one-piece work W1s can be read from the storage unit 12a under the control of the control unit 12. Further, when the control unit 12 is in the sample measurement mode, the comparison unit 12b that compares the reference characteristic of the sample work W1s and the measurement result of the work W1 and the comparison unit 12b compare them, and the difference between the two exceeds a predetermined value. And an alarm unit 12c that issues an alarm. Further, when the control unit 12 takes the normal measurement mode, the determination unit determines whether the workpiece W1 is a non-defective product or a defective product based on the measurement results obtained by the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c. 12d.

次に搬送テーブル3のワーク収納孔4について、図6および図7を用いて説明する。図6はワーク収納孔4が図1における分離供給部6に停止している状態の斜視図である。ワーク収納孔4はテーブルベース2上に水平に配置された搬送テーブル3の外側に向けて開口しており、図1に示すリニアフィーダ5の終端部がこの開口部に対向して位置するが、図6においては図示されていない。この開口部の反対側すなわち搬送テーブル3の中心軸3a(図1)側にあるワーク収納孔4の壁面4wには、エア制御孔4aが形成されている。エア制御孔4aは分離供給部6において、テーブルベース2に形成されたエア通路6vを経由して、テーブルベース2内に設置された真空発生源13に連通している。そして、この真空発生源13からの矢印F6方向の真空吸引によって、ワーク収納孔4の内部には壁面4wに向けて吸引力が作用する。また、搬送テーブル3においてはワーク収納孔4の上面は開放されているが、分離供給部6においてワーク収納孔4の上面およびリニアフィーダ5の終端部の上面は、図示されないカバーにより覆われている。このカバーの存在により、ワーク収納孔4の内部は略密閉状態となり、上記吸引力が効率良く作用する。   Next, the work storage hole 4 of the transfer table 3 will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. 6 is a perspective view of a state in which the work storage hole 4 is stopped at the separation supply unit 6 in FIG. The work storage hole 4 opens toward the outside of the transfer table 3 disposed horizontally on the table base 2, and the end of the linear feeder 5 shown in FIG. It is not shown in FIG. An air control hole 4a is formed in the wall surface 4w of the work storage hole 4 on the opposite side of the opening, that is, on the central axis 3a (FIG. 1) side of the transfer table 3. The air control hole 4 a communicates with a vacuum generation source 13 installed in the table base 2 through an air passage 6 v formed in the table base 2 in the separation supply unit 6. Then, by the vacuum suction from the vacuum generation source 13 in the direction of the arrow F6, a suction force acts on the wall surface 4w inside the work storage hole 4. In the transfer table 3, the upper surface of the work storage hole 4 is open, but in the separation supply unit 6, the upper surface of the work storage hole 4 and the upper surface of the end portion of the linear feeder 5 are covered with a cover (not shown). . Due to the presence of this cover, the inside of the work storage hole 4 is substantially sealed, and the suction force acts efficiently.

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用、すなわちワーク測定方法について説明する。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration, that is, a workpiece measuring method will be described.

図1において、ワークW1は図示されないパーツフィーダにまとめて投入される。そして、図示されない方向検知機構の作用によって、図3に示す発光面W1Lが上側に向き、かつ電極W1bがワークの進行方向すなわち図1に示す矢印B1方向を向くように方向を揃えられて、リニアフィーダ5上に1列に並ぶ。リニアフィーダ5は上述のように、図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークW1は上述の方向に揃った1列状態で矢印B1方向に搬送される。そして、停止している搬送テーブル3のワーク収納孔4の開口部に対向する位置に到達したワークW1は、分離供給部6において図示されない分離機構の作用によって1個ずつ分離されて、図6に示す矢印F6方向の真空吸引により、個別にワーク収納孔4に収納される。   In FIG. 1, workpieces W1 are put together in a parts feeder (not shown). Then, by the action of the direction detection mechanism (not shown), the light emitting surface W1L shown in FIG. 3 is oriented upward, and the electrode W1b is aligned in the direction of the workpiece, that is, the direction of the arrow B1 shown in FIG. Line up in a row on the feeder 5. As described above, the linear feeder 5 vibrates by the action of a drive mechanism (not shown), and the workpiece W1 is conveyed in the direction of the arrow B1 in a single row aligned in the above-described direction due to this vibration. And the workpiece | work W1 which reached | attained the position which opposes the opening part of the workpiece | work storage hole 4 of the conveyance table 3 which has stopped is isolate | separated one by one by the effect | action of the separation mechanism which is not illustrated in the separation supply part 6, FIG. The workpieces are individually accommodated in the workpiece accommodation holes 4 by vacuum suction in the direction indicated by the arrow F6.

このようにして、ワーク収納孔4にワークW1が収納された様子を、斜視図として図7に示す。このとき、リニアフィーダ5上であらかじめ上述のようにワークW1の方向が揃えられているので、ワークW1は発光面W1Lが上側を向き、かつ電極W1b(カソードマークW1m)が搬送テーブル3の回転軸3a(図1)に近い側となる状態で、ワーク収納孔4に収納される。   FIG. 7 shows a perspective view of the work W1 stored in the work storage hole 4 in this manner. At this time, since the direction of the workpiece W1 is previously aligned on the linear feeder 5 as described above, the workpiece W1 has the light emitting surface W1L facing upward, and the electrode W1b (cathode mark W1m) is the rotation axis of the transport table 3. In the state close to 3a (FIG. 1), the workpiece is accommodated in the workpiece accommodation hole 4.

次に搬送テーブル3が図1に示す矢印A1の方向に間歇回転し、分離供給部6においてワーク収納孔4に収納されたワークW1は移載部10tを通過して、第1測定部7aで停止する。そして、図示されない直流電源および波長計を使用して、ワークW1の波長測定を実施する。次に、搬送テーブル3の間歇回転により、第2測定部7bに到達して停止したワークW1は、図示されない直流電源および輝度計を使用して、ワークW1の輝度測定を実施する。そして、搬送テーブル3の間歇回転により、第3測定部7cに到達して停止したワークW1は、図示されないソースメータおよびマルチチャンネル分光器を使用して、ワークW1の全光束測定を実施する。   Next, the transfer table 3 rotates intermittently in the direction of the arrow A1 shown in FIG. 1, and the workpiece W1 stored in the workpiece storage hole 4 in the separation supply unit 6 passes through the transfer unit 10t and is transferred to the first measurement unit 7a. Stop. And the wavelength measurement of the workpiece | work W1 is implemented using the DC power supply and wavelength meter which are not illustrated. Next, the workpiece W1 that has reached the second measuring unit 7b and stopped by intermittent rotation of the transfer table 3 performs luminance measurement of the workpiece W1 using a DC power source and a luminance meter (not shown). And the workpiece | work W1 which reached | attained the 3rd measurement part 7c by intermittent rotation of the conveyance table 3, and stopped was implemented using the source meter and multi-channel spectrometer which are not shown in figure, and implement | achieves the total light flux of the workpiece | work W1.

以上の測定が終了すると、第1測定部7a、第2測定部7bおよび第3測定部7cからの測定結果に基づいて、制御部12は判定部12dによりワークW1が良品か不良品かを判定する。そして、その判定結果に対応して、搬送テーブル3の間歇回転により、不良ワーク排出部8あるいは良品ワーク排出部9においてワーク収納孔4内のワークW1を排出する。良品ワーク排出部9においてすべてのワーク収納孔4が空になり、搬送テーブル3の間歇回転により分離供給部6に到達した空のワーク収納孔4に再びワークW1が収納され、上記と同様の作用が繰り返される。以上の一連の作用は通常測定モードと呼ばれ、すべて制御部12の制御に基づいて実行される。   When the above measurement is completed, based on the measurement results from the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c, the control unit 12 determines whether the workpiece W1 is a non-defective product or a defective product by the determination unit 12d. To do. Corresponding to the determination result, the workpiece W1 in the workpiece storage hole 4 is discharged at the defective workpiece discharge unit 8 or the non-defective workpiece discharge unit 9 by intermittent rotation of the transfer table 3. All the workpiece storage holes 4 are emptied in the non-defective workpiece discharge unit 9, and the workpiece W1 is stored again in the empty workpiece storage hole 4 that has reached the separation supply unit 6 by intermittent rotation of the transfer table 3. Is repeated. The series of operations described above is called a normal measurement mode, and is all executed based on the control of the control unit 12.

ここで、制御部12には時間計数機能を有するタイマー12eが内蔵され、上記通常測定モードの動作時間を計数している。そして動作時間があらかじめ決められた時間に到達すると、自動切換手段12fにより通常測定モードを中断して、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cに配置されている測定器を含む測定系の測定精度の確認を行うサンプル測定モードに移行させる(切換える)。   Here, the control unit 12 includes a timer 12e having a time counting function, and counts the operation time in the normal measurement mode. When the operation time reaches a predetermined time, the normal measuring mode is interrupted by the automatic switching means 12f, and the measuring devices arranged in the first measuring unit 7a, the second measuring unit 7b, and the third measuring unit 7c. Shift to the sample measurement mode to check the measurement accuracy of the measurement system including.

サンプル測定モードにおいて、サンプルテーブル10xのワーク収納孔11にあらかじめ収納されているサンプルワークW1sを、移載部10tから搬送テーブル3のワーク収納孔4に移載し、分離供給部6からワーク収納孔4に供給されたワークW1と同様に搬送テーブル3の間歇回転によって搬送しながら、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cにおいて測定を実施し、測定結果をデータとして取得する。ただし、測定結果に基づいて不良ワーク排出部8あるいは良品ワーク排出部9においてワーク収納孔4内からサンプルワークW1sを排出することはなく、搬送テーブル3の間歇回転によってサンプルワークW1sが再び移載部10tに到達したら、搬送テーブル3のワーク収納孔4に収納されているサンプルワークW1sを、移載部10tにおいてサンプルテーブル10xのワーク収納孔11のうち、当該サンプルワークW1sがあらかじめ収納されていたワーク収納孔11に再度収納する。すなわち、本実施形態においては、測定器の校正のためにサンプルワークW1sのデータ取得を行うべきタイミングは、ワーク測定装置1を動作させるプログラムにより自動設定されている。   In the sample measurement mode, the sample work W1s stored in advance in the work storage hole 11 of the sample table 10x is transferred from the transfer unit 10t to the work storage hole 4 of the transfer table 3, and the work supply hole from the separation supply unit 6 is transferred. As in the case of the workpiece W1 supplied to 4, the first measuring unit 7a, the second measuring unit 7b, and the third measuring unit 7c perform measurement while conveying the sample by intermittent rotation of the conveying table 3, and obtain the measurement result as data. To do. However, the sample workpiece W1s is not discharged from the workpiece storage hole 4 in the defective workpiece discharge portion 8 or the non-defective workpiece discharge portion 9 based on the measurement result, and the sample workpiece W1s is transferred again by intermittent rotation of the transfer table 3. When 10t is reached, the sample work W1s stored in the work storage hole 4 of the transfer table 3 is transferred to the work in which the sample work W1s is stored in advance among the work storage holes 11 of the sample table 10x in the transfer unit 10t. Re-store in the storage hole 11. That is, in the present embodiment, the timing at which data of the sample work W1s is acquired for calibration of the measuring instrument is automatically set by a program that operates the work measuring apparatus 1.

ここで、測定装置1がサンプル測定モードで動作する際の前提条件である、搬送テーブル3のワーク収納孔4およびサンプルテーブル10xのワーク収納孔11の位置認識機能について、図8(a)(b)(c)を用いて説明する。   Here, regarding the function of recognizing the position of the work storage hole 4 of the transfer table 3 and the work storage hole 11 of the sample table 10x, which is a precondition when the measuring apparatus 1 operates in the sample measurement mode, FIGS. ) And (c).

図8(a)は、図1に示す搬送テーブル3に形成された全部で16個のワーク収納孔4と、サンプルテーブル10xに形成された全部で8個のワーク収納孔11の模式図である。ただし、図を見やすくするために、図1に示す各部のうち、図8(a)には搬送テーブル3とサンプルテーブル10xおよびリニアフィーダ5と移載部10tのみを表記している。また、図1においては、搬送テーブル3とサンプルテーブル10xは移載部10tにおいて極めて近接して配置されているが、図8(a)においては表記の都合上、移載部10tにおいて両テーブルを離間させて配置している。   FIG. 8A is a schematic diagram of a total of 16 workpiece storage holes 4 formed in the transfer table 3 shown in FIG. 1 and a total of 8 workpiece storage holes 11 formed in the sample table 10x. . However, in order to make the drawing easy to see, only the transport table 3, the sample table 10x, the linear feeder 5, and the transfer unit 10t are shown in FIG. 8A among the units shown in FIG. In FIG. 1, the transfer table 3 and the sample table 10x are arranged very close to each other in the transfer unit 10t. However, in FIG. 8A, for convenience of description, both tables are displayed in the transfer unit 10t. They are spaced apart.

まず、図8(a)において各ワーク収納孔に付与されている番号について説明する。搬送テーブル3のワーク収納孔4は、上記のように全部で16個が形成されている。各ワーク収納孔4における搬送テーブル3の中心軸3a側に記載された番号<1>〜<16>は、当該ワーク収納孔4が存在する位置すなわち搬送テーブル3の間歇回転に無関係な固定位置を示す。リニアフィーダ5の終端部に対向する位置が<1>であり、図3に示すワークW1は、位置<1>においてリニアフィーダ5から分離供給部6(図1)の作用により、矢印G1方向にワーク収納孔4に収納される。以下搬送テーブル3の間歇回転方向すなわち矢印A1方向に<1,2,・・・>内の番号が1ずつ増加し、最大値<16>の次に<1>に戻る。例えば、移載部10tの位置は<3>で表わされる。   First, the numbers assigned to the workpiece storage holes in FIG. A total of 16 workpiece storage holes 4 of the transfer table 3 are formed as described above. Numbers <1> to <16> written on the center axis 3a side of the transfer table 3 in each workpiece storage hole 4 indicate the position where the workpiece storage hole 4 exists, that is, the fixed position unrelated to intermittent rotation of the transfer table 3. Show. The position facing the terminal portion of the linear feeder 5 is <1>, and the workpiece W1 shown in FIG. 3 is moved in the direction of the arrow G1 by the action of the separation feeder 6 (FIG. 1) from the linear feeder 5 at the position <1>. It is stored in the work storage hole 4. Thereafter, the numbers in <1, 2,..., Increase by 1 in the intermittent rotation direction of the transfer table 3, that is, in the direction of arrow A1, and return to <1> after the maximum value <16>. For example, the position of the transfer unit 10t is represented by <3>.

これに対して、各ワーク収納孔4における搬送テーブル3の外側に記載された番号(1)〜(16)は、当該ワーク収納孔4に個別に付与された孔番号である。すなわち、孔番号は搬送テーブル3の間歇回転に対応して位置が変化するもので、時計回りに増加するように付与される。位置と孔番号の具体例は以下のとおりである。   On the other hand, numbers (1) to (16) described on the outside of the transfer table 3 in each workpiece storage hole 4 are hole numbers assigned to the workpiece storage holes 4 individually. That is, the hole number changes in position corresponding to the intermittent rotation of the transport table 3, and is given so as to increase clockwise. Specific examples of the position and the hole number are as follows.

図8(a)において、孔番号(1)を付与されたワーク収納孔4は位置<1>に存在している。この状態から搬送テーブル3が矢印A1方向に1回間歇回転して停止すると、孔番号(1)を付与されたワーク収納孔4は位置<2>に移動し、同時に位置<1>には図8(a)において孔番号(16)を付与されたワーク収納孔4が移動する。   In FIG. 8 (a), the workpiece storage hole 4 to which the hole number (1) is assigned exists at the position <1>. From this state, when the transfer table 3 rotates once in the direction of arrow A1 and stops, the workpiece storage hole 4 assigned with the hole number (1) moves to the position <2>, and at the same time the position <1> In 8 (a), the workpiece storage hole 4 assigned with the hole number (16) moves.

上述の位置と孔番号の付与規則は、サンプルテーブル10xのワーク収納孔11についても同様である。サンプルテーブル10xにおいては、位置をで表記し、孔番号を[1]〜[8]で表記している。位置はサンプルテーブル10xの間歇回転方向すなわち矢印X1方向に,・・・の数字が増加し、孔番号[1]〜[8]は時計回りに増加している。そして、位置は移載部10tにおけるワーク収納孔11の位置であり、そこには孔番号[8]のワーク収納孔11がある。すなわち、移載部10tにおいて、搬送テーブル3における位置<3>のワーク収納孔4とサンプルテーブル10xにおける位置のワーク収納孔11が対向している。そして後述のように、ワーク測定装置1がサンプル測定モードで動作する際には、位置のワーク収納孔11から位置<3>のワーク収納孔4に向けて矢印H1方向にサンプルワークW1sが移載され、位置<3>のワーク収納孔4から位置1のワーク収納孔11に向けて矢印J1方向にサンプルワークW1sが移載される。なお、位置および孔番号が記載されていない図2ならびに図2を引用する文章においては、上記の移載部10tにおいて対向する搬送テーブル3のワーク収納孔4とサンプルテーブル10xのワーク収納孔11について、それぞれワーク収納孔4tおよび11tと表記している。 The above-mentioned position and hole number assigning rules are the same for the work storage holes 11 of the sample table 10x. In the sample table 10x, the positions are represented by 1 to 8 , and the hole numbers are represented by [1] to [8]. In the positions 1 to 8 , the numbers 1 , 2 ,... Increase in the intermittent rotation direction of the sample table 10x, that is, in the direction of the arrow X1, and the hole numbers [1] to [8] increase clockwise. Position 1 is the position of the work storage hole 11 in the transfer section 10t, and there is a work storage hole 11 with a hole number [8]. That is, in the transfer part 10t, the work storage hole 4 at position <3> on the transfer table 3 and the work storage hole 11 at position 1 on the sample table 10x face each other. As will be described later, when the workpiece measuring apparatus 1 operates in the sample measurement mode, the sample workpiece W1s moves in the direction of the arrow H1 from the workpiece storage hole 11 at the position 1 toward the workpiece storage hole 4 at the position <3>. The sample work W1s is transferred in the direction of the arrow J1 from the work storage hole 4 at the position <3> toward the work storage hole 11 at the position 1. 2 and the text quoting FIG. 2 in which the position and the hole number are not described, the workpiece storage hole 4 of the transfer table 3 and the workpiece storage hole 11 of the sample table 10x facing each other in the transfer unit 10t. These are indicated as workpiece storage holes 4t and 11t, respectively.

ここに、ワーク収納孔4およびワーク収納孔11の位置と孔番号が図8(a)に示すように対応して搬送テーブル3およびサンプルテーブル10xが停止している状態を初期状態と呼ぶ。そして、ワーク測定装置1の電源を入れると必ず初期状態となるように、図1に示す制御部12が制御を行う。   Here, the state in which the transfer table 3 and the sample table 10x are stopped corresponding to the positions and the hole numbers of the work storage holes 4 and the work storage holes 11 as shown in FIG. 8A is referred to as an initial state. And the control part 12 shown in FIG. 1 controls so that it will be in an initial state whenever the power of the workpiece | work measuring apparatus 1 is turned on.

以上の説明から、動作中のワーク測定装置1において、すべてのワーク収納孔4およびワーク収納孔11は、孔番号により個々に識別可能であり、かつその位置を識別することが可能であることがわかる。すなわち、ワーク収納孔4およびワーク収納孔11にそれぞれ収納されているワークW1あるいはサンプルワークW1sを制御部12が個々に識別することができる。その識別情報に基づいて、制御部12は各種制御を実行する。   From the above description, in the workpiece measuring apparatus 1 in operation, all the workpiece storage holes 4 and the workpiece storage holes 11 can be individually identified by their hole numbers and their positions can be identified. Recognize. That is, the control unit 12 can individually identify the workpiece W1 or the sample workpiece W1s stored in the workpiece storage hole 4 and the workpiece storage hole 11, respectively. Based on the identification information, the control unit 12 executes various controls.

図8(a)すなわち初期状態におけるワーク収納孔4およびワーク収納孔11の位置と孔番号の対応を示す表を、図8(b)、(c)に示す。図8(b)がワーク収納孔4を示し、図8(c)がワーク収納孔11を示す。図8(b)(c)に示す各表のデータ欄には、当該の孔番号を付与されたワーク収納孔4、11に収納されているワークW1(サンプルワークWs1)を個別に識別して記載する。ここでは便宜上、すべてのデータ欄に当該ワーク収納孔が空であることを示す「−」が記載されている。また、図8(b)の位置<1>および位置<3>と図8(c)の位置には、図8(a)における矢印G1、H1、J1に対応する矢印が記載されている。 FIGS. 8A and 8C show a table showing the correspondence between the positions of the work storage holes 4 and the work storage holes 11 in the initial state and the hole numbers. FIG. 8B shows the work storage hole 4, and FIG. 8C shows the work storage hole 11. In the data column of each table shown in FIGS. 8B and 8C, the work W1 (sample work Ws1) stored in the work storage holes 4 and 11 to which the hole numbers are assigned is individually identified. Describe. Here, for convenience, “-” indicating that the work accommodation hole is empty is described in all the data columns. Further, at positions <1> and <3> in FIG. 8B and at position 1 in FIG. 8C, arrows corresponding to the arrows G1, H1, and J1 in FIG. .

図2における移載部10tの拡大斜視図を図9に示す。ここに、図9における搬送テーブル3の方向は図6と同一にしてある。移載部10tにおいて、搬送テーブル3のワーク収納孔4tとサンプルテーブル10xのワーク収納孔11tは、それぞれの開口部が極めてわずかな間隙を有して対向している。搬送テーブル3の中心軸3a(図1)側にあるワーク収納孔4tの壁面4wに形成されたエア制御孔4aは、移載部10tにおいてテーブルベース2に形成されたエア通路10p2を経由して、切替弁14aに連通している。切替弁14aは3通りの切替モードx1、x2、x3を選択する機能を有する。   FIG. 9 shows an enlarged perspective view of the transfer unit 10t in FIG. Here, the direction of the transfer table 3 in FIG. 9 is the same as that in FIG. In the transfer section 10t, the work storage holes 4t of the transfer table 3 and the work storage holes 11t of the sample table 10x are opposed to each other with a very small gap. The air control hole 4a formed in the wall surface 4w of the work storage hole 4t on the side of the center axis 3a (FIG. 1) of the transfer table 3 passes through the air passage 10p2 formed in the table base 2 in the transfer portion 10t. The switching valve 14a communicates. The switching valve 14a has a function of selecting three switching modes x1, x2, and x3.

切替モードx1はテーブルベース2内に設置された真空発生源13を選択するもので、このときエア通路10p2は真空発生源13に連通し、エア制御孔4aからワーク収納孔4t内が矢印V102の方向に真空吸引される。また、切替モードx2はテーブルベース2内に設置された圧縮エア発生源15を選択するもので、このときエア通路10p2は圧縮エア発生源15に連通し、エア制御孔4aからワーク収納孔4t内に矢印C102の方向に圧縮エアが噴出する。また、切替モードx3は何も選択しないので、エア通路10p2はどこにも連通することがなく、ワーク収納孔4t内は大気圧の状態を保つ。   In the switching mode x1, the vacuum generation source 13 installed in the table base 2 is selected. At this time, the air passage 10p2 communicates with the vacuum generation source 13, and the work storage hole 4t extends from the air control hole 4a to the arrow V102. Vacuum sucked in the direction. Further, the switching mode x2 selects the compressed air generation source 15 installed in the table base 2. At this time, the air passage 10p2 communicates with the compressed air generation source 15, and passes through the air control hole 4a to the work storage hole 4t. Compressed air is ejected in the direction of arrow C102. Further, since nothing is selected in the switching mode x3, the air passage 10p2 does not communicate anywhere, and the work storage hole 4t is kept at atmospheric pressure.

また、移載部10tにおいて、ワーク収納孔4tが位置するテーブルベース2にはセンサ通路10s2が形成されている。センサ通路10s2の下方となるテーブルベース2内には、図9においては図示されていないが、後述する光センサ光源4La(図28乃至図35)が配置されており、ワーク収納孔4t内に向けて上向きの光を送出する。   Further, in the transfer portion 10t, a sensor passage 10s2 is formed in the table base 2 where the work storage hole 4t is located. In the table base 2 below the sensor passage 10s2, an optical sensor light source 4La (FIGS. 28 to 35), which will be described later, is arranged, which is not shown in FIG. 9, and is directed toward the work storage hole 4t. Send upward light.

以上のワーク収納孔4tに関わる構成と作用は、移載部10tにおいてワーク収納孔4tに対向するワーク収納孔11tについても同様である。   The configuration and operation related to the workpiece storage hole 4t are the same for the workpiece storage hole 11t facing the workpiece storage hole 4t in the transfer portion 10t.

サンプルテーブル10xの中心軸10xa(図1)側にあるワーク収納孔11tの壁面11wに形成されたエア制御孔11aは、移載部10tにおいてテーブルベース2に形成されたエア通路10p1を経由して、切替弁14bに連通している。そして、切替弁14bが切替モードx1、x2、x3を選択することによって、ワーク収納孔4tと同様に、ワーク収納孔11t内が矢印V101の方向に真空吸引され、またワーク収納孔11t内に矢印C101の方向に圧縮エアが噴出し、またワーク収納孔11t内が大気圧の状態を保つ。   The air control hole 11a formed in the wall surface 11w of the work storage hole 11t on the central axis 10xa (FIG. 1) side of the sample table 10x passes through the air passage 10p1 formed in the table base 2 in the transfer portion 10t. The switching valve 14b communicates. Then, when the switching valve 14b selects the switching mode x1, x2, x3, similarly to the work storage hole 4t, the work storage hole 11t is vacuum-sucked in the direction of the arrow V101, and the work storage hole 11t has an arrow. Compressed air is ejected in the direction of C101, and the inside of the work storage hole 11t is kept at atmospheric pressure.

また、移載部10tにおいて、ワーク収納孔11tが位置するテーブルベース2にはセンサ通路10s1が形成されている。センサ通路10s1の下方となるテーブルベース2内には、図9においては図示されていないが、後述する光センサ光源11La(図28乃至図35)が配置されており、光センサ光源4La(図28乃至図35)と同様に光の送出を行う。   In the transfer portion 10t, a sensor passage 10s1 is formed in the table base 2 where the work storage hole 11t is located. In the table base 2 below the sensor passage 10s1, an optical sensor light source 11La (FIGS. 28 to 35) described later is arranged, which is not shown in FIG. 9, and the optical sensor light source 4La (FIG. 28) is arranged. The light is transmitted in the same manner as in FIG.

図9に示す移載部10tにおいて、ワーク収納孔11tにサンプルワークW1sが収納されている斜視図を図10に示す。切替弁14aは切替モードx3を選択し、切替弁14bは切替モードx1を選択している。このため、サンプルワークW1sは矢印V101の方向に真空吸引されて、ワーク収納孔11tに保持されている。また、このときのサンプルワークW1sは、発光面W1Lを上側に向け、電極W1a(アノード)を壁面11w側に向けた状態となっている。この状態から、ワーク収納孔11tに対向するワーク収納孔4tに移載されると、サンプルワークW1sの向きは図7に示すワークW1の向きに一致する。   In the transfer part 10t shown in FIG. 9, a perspective view in which the sample work W1s is stored in the work storage hole 11t is shown in FIG. The switching valve 14a selects the switching mode x3, and the switching valve 14b selects the switching mode x1. For this reason, the sample work W1s is vacuum-sucked in the direction of the arrow V101 and is held in the work storage hole 11t. Further, the sample work W1s at this time is in a state in which the light emitting surface W1L faces upward and the electrode W1a (anode) faces the wall surface 11w. From this state, when the sample is transferred to the workpiece storage hole 4t facing the workpiece storage hole 11t, the direction of the sample workpiece W1s coincides with the direction of the workpiece W1 shown in FIG.

移載部10tにおけるサンプルワークW1sの移載について、図11乃至図35を用いて詳細に説明する。   The transfer of the sample work W1s in the transfer unit 10t will be described in detail with reference to FIGS.

図11(a)(b)(c)乃至図27(a)(b)(c)は、図1における一点鎖線領域P1の拡大図である図2に、図8に示す位置ならびに孔番号を対応させ、各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示した模式図である。   11 (a), (b), (c) to FIGS. 27 (a), (b), and (c) are enlarged views of the alternate long and short dash line region P1 in FIG. 1, and the positions and hole numbers shown in FIG. It is the schematic diagram which showed the mode of the movement of the workpiece | work in each workpiece | work storage hole correspondingly.

ここに、図11(a)(b)(c)乃至図27(a)(b)(c)および対応する説明においては、搬送テーブル3の全16個のワーク収納孔4を孔番号によりワーク収納孔(1)、ワーク収納孔(2)、・・・のように記載して個々に区別する。同様に、サンプルテーブル10xの全8個のワーク収納孔11を孔番号によりワーク収納孔[1] 、ワーク収納孔[2]、・・・のように記載して個々に区別する。また、リニアフィーダ5により搬送されて、通常測定モードにおいて搬送テーブル3により搬送されるワークW1(図7)については1,2,・・・のような表記で個々に区別する。そして同様に、通常測定モードにおいてサンプルテーブル10xに保管され、サンプル測定モードにおいて搬送テーブル3により搬送されるサンプルワークW1s(図10)についてはa,b,・・・のような表記で個々に区別する。   Here, in FIGS. 11 (a), (b), (c) to FIGS. 27 (a), (b), and (c) and the corresponding explanation, all 16 workpiece storage holes 4 of the transfer table 3 are designated by the hole numbers. The storage holes (1), work storage holes (2),... Similarly, all the eight workpiece storage holes 11 of the sample table 10x are individually identified by being described as a workpiece storage hole [1], a workpiece storage hole [2],. Further, the workpiece W1 (FIG. 7) conveyed by the linear feeder 5 and conveyed by the conveyance table 3 in the normal measurement mode is individually distinguished by a notation such as 1, 2,. Similarly, the sample work W1s (FIG. 10) stored in the sample table 10x in the normal measurement mode and transported by the transport table 3 in the sample measurement mode is individually distinguished by notation such as a, b,. To do.

また、本実施形態においてはサンプルワークW1sの数を4個とする。図11は図8に示す初期状態である。すなわち、位置<1>にはワーク収納孔(1)が停止している。このとき、搬送テーブル3のワーク収納孔(1)乃至(16)はすべて空であり、この状態を図11(b)において、孔番号(1)から(16)までのすべてのデータ欄に当該ワーク収納孔が空であることを示す「−」を記載することにより表わしている。   In the present embodiment, the number of sample workpieces W1s is four. FIG. 11 shows the initial state shown in FIG. That is, the work storage hole (1) is stopped at the position <1>. At this time, the work storage holes (1) to (16) of the transfer table 3 are all empty, and this state is applied to all the data columns from the hole numbers (1) to (16) in FIG. This is expressed by describing "-" indicating that the work storage hole is empty.

また、サンプルテーブル10xのワーク収納孔[1]にはサンプルワークaが収納され、同様にワーク収納孔[2]、[3]、[4]にはそれぞれサンプルワークb,c,dが収納されている。この状態を図11(c)において、孔番号[1]、[2]、[3]、[4]のデータ欄にそれぞれa,b,c,dと記載することにより表わしている。   In addition, the sample work a is stored in the work storage hole [1] of the sample table 10x, and similarly, the sample work b, c, d is stored in the work storage holes [2], [3], and [4], respectively. ing. This state is represented by writing a, b, c, and d in the data columns of the hole numbers [1], [2], [3], and [4] in FIG.

なお、サンプルテーブル10xについても、空のワーク収納孔に対応するデータは「−」を記載する。また、図11(a)において、リニアフィーダ5上には、搬送テーブル3に近い側から順にワーク1,2,3が順に並んでいる。そして、図示されていないが、ワーク3の左側には、さらにワーク4,5,・・・のように多数のワークW1が一列に並んでおり、リニアフィーダ5によって図1の矢印B1方向に搬送されている。   For the sample table 10x as well, data corresponding to an empty work storage hole is described as “−”. In FIG. 11A, the workpieces 1, 2, and 3 are sequentially arranged on the linear feeder 5 in order from the side close to the transfer table 3. Although not shown, a large number of workpieces W1, such as workpieces 4, 5,... Are further arranged in a line on the left side of the workpiece 3, and conveyed by the linear feeder 5 in the direction of arrow B1 in FIG. Has been.

次に、図12(a)に示すように、リニアフィーダ5上のワーク1が、図1における分離供給部6の作用により分離された後、図7における矢印F6方向の真空吸引によって、図12(a)に矢印G1で示す方向に移動し、搬送テーブル3のワーク収納孔(1)に収納される。この状態を、図12(b)において、位置<1>および孔番号(1)に対応する行の左側に矢印G1を表記し、併せてデータを1とすることで表わしている。   Next, as shown in FIG. 12A, after the workpiece 1 on the linear feeder 5 is separated by the action of the separation supply unit 6 in FIG. 1, the vacuum suction in the direction of arrow F6 in FIG. It moves in the direction indicated by arrow G1 in (a) and is stored in the work storage hole (1) of the transfer table 3. In FIG. 12B, this state is represented by indicating an arrow G1 on the left side of the row corresponding to the position <1> and the hole number (1), and setting the data to 1.

この状態から通常測定モードが開始され、搬送テーブル3は図1における矢印A1方向に間歇回転し、ワーク1を搬送する。そして、搬送テーブル3が停止すると、空のワーク収納孔(16)が位置<1>に停止して、そこにワーク2が収納される。そして、同様に搬送テーブル3が図1における矢印A1方向に間歇回転し、空のワーク収納孔(15)が位置<1>に停止して、そこにワーク3が収納される。このときの様子を図13(a)に示す。   In this state, the normal measurement mode is started, and the transfer table 3 is intermittently rotated in the direction of the arrow A1 in FIG. When the transfer table 3 stops, the empty work storage hole (16) stops at the position <1>, and the work 2 is stored there. Similarly, the transfer table 3 is intermittently rotated in the direction of the arrow A1 in FIG. 1, the empty work storage hole (15) is stopped at the position <1>, and the work 3 is stored there. The state at this time is shown in FIG.

位置<1>にはワーク収納孔(15)が停止して、矢印G1方向にワーク3が収納されている。今までワーク1、2が収納されたワーク収納孔(1)、(16)は、それぞれ位置<3>、<2>まで移動している。このとき、ワーク収納孔(1)は位置<3>、すなわち移載部10tに停止しているが、通常測定モードであるため、ワーク収納孔(1)に対する移載部10tの作用はない。   At the position <1>, the work storage hole (15) stops and the work 3 is stored in the direction of the arrow G1. The workpiece storage holes (1) and (16) in which the workpieces 1 and 2 have been stored so far have moved to positions <3> and <2>, respectively. At this time, the workpiece storage hole (1) is stopped at the position <3>, that is, the transfer unit 10t. However, since the workpiece storage hole (1) is in the normal measurement mode, there is no action of the transfer unit 10t on the workpiece storage hole (1).

図13の状態の後は、搬送テーブル3の空のワーク収納孔にリニアフィーダ5から位置<1>においてワークW1が次々と収納される。そして、ワークW1は搬送テーブル3の間歇回転により搬送されて、上述のように各種測定を実施した後、搬送テーブル3から排出される。そして排出により再び空になったワーク収納孔は位置<1>に到達し、同様の動作が繰り返される。これらはすべて図1に示す制御部12の制御によって実施される。   After the state shown in FIG. 13, the workpieces W1 are successively stored in the empty workpiece storage holes of the transfer table 3 from the linear feeder 5 at the position <1>. Then, the workpiece W1 is conveyed by intermittent rotation of the conveyance table 3, and after being subjected to various measurements as described above, it is discharged from the conveyance table 3. Then, the work storage hole emptied again by discharging reaches position <1>, and the same operation is repeated. These are all carried out under the control of the control unit 12 shown in FIG.

ところで、上述のように、ワーク測定装置1において、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cの測定精度を確認するためにサンプルワークW1sのデータ取得を行うべきタイミングは、ワーク測定装置1を動作させるプログラムによる自動設定になっている。   By the way, as described above, in the workpiece measurement apparatus 1, the timing at which data acquisition of the sample workpiece W1s is performed in order to confirm the measurement accuracy of the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c is It is automatically set by a program for operating the workpiece measuring apparatus 1.

このため、以上のような通常測定モードがあらかじめ規定された時間だけ継続したことをタイマー12eが時間計数によって検知すると、制御部12は上記タイミングが到来したものと判断する。そして、サンプルワークW1sのデータ取得を行うサンプル測定モードに移行するように制御を行う。その動作を以下に詳述する。   For this reason, when the timer 12e detects from the time count that the normal measurement mode as described above has continued for a predetermined time, the control unit 12 determines that the timing has arrived. And it controls so that it may transfer to the sample measurement mode which acquires the data of sample work W1s. The operation will be described in detail below.

まず、上記タイミングにおいて、図1に示す分離供給部6の動作を停止する。これにより、搬送テーブル3のワーク収納孔4には、ワークW1が新たに収納されなくなる。そして、上記タイミング以前に搬送テーブル3のワーク収納孔4に収納されたワークW1は、搬送テーブル3の間歇回転によって、図1に示す第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cに順次停止して、それぞれ所定の測定が実施される。そして、それらの測定結果に基づいて、不良ワーク排出部8或いは良品ワーク排出部9においてワーク収納孔4から排出される。   First, at the above timing, the operation of the separation supply unit 6 shown in FIG. 1 is stopped. As a result, the workpiece W1 is not newly stored in the workpiece storage hole 4 of the transfer table 3. And the workpiece | work W1 accommodated in the workpiece | work storage hole 4 of the conveyance table 3 before the said timing is the 1st measurement part 7a, the 2nd measurement part 7b, and the 3rd measurement part which are shown in FIG. The operation is sequentially stopped at 7c, and predetermined measurements are performed. And based on those measurement results, the defective workpiece discharge section 8 or the non-defective workpiece discharge section 9 is discharged from the workpiece storage hole 4.

この時点で、搬送テーブル3のすべてのワーク収納孔4は空になる。そして、搬送テーブル3は初期状態で停止する。この様子を図14(a)(b)(c)に示す。図14(a)においてワーク収納孔(1)は位置<1>に停止しており、リニアフィーダ5上には搬送テーブル3のワーク収納孔4に収納されないワークW1が並んでいる。その先頭ワークには番号が付されているが、これは一例であり、この番号に限定されるものではない。また、ワーク収納孔(1)乃至(16)は、図14(b)に示すように、すべて空である。   At this point, all the work storage holes 4 of the transfer table 3 are emptied. And the conveyance table 3 stops in an initial state. This is shown in FIGS. 14 (a), (b) and (c). In FIG. 14A, the workpiece storage hole (1) is stopped at the position <1>, and workpieces W1 that are not stored in the workpiece storage hole 4 of the transfer table 3 are arranged on the linear feeder 5. A number is assigned to the head work, but this is an example, and the number is not limited to this number. Moreover, as shown in FIG.14 (b), all the workpiece | work storage holes (1) thru | or (16) are empty.

ここまでで、通常測定モードからサンプル測定モードへの移行が完了する。ここから、サンプル測定モードが開始する。まず搬送テーブル3が間歇回転し、ワーク収納孔(1)が位置<3>に到達する。この様子を図15(a)(b)(c)に示す。次にサンプルテーブル10xが図1における矢印X1方向に間歇回転し、サンプルワークaが収納されているワーク収納孔[1]が位置1に到達して停止する。この様子を図16(a)(b)(c)に示す。   Thus, the transition from the normal measurement mode to the sample measurement mode is completed. From here, the sample measurement mode starts. First, the transfer table 3 rotates intermittently, and the workpiece storage hole (1) reaches the position <3>. This is shown in FIGS. 15 (a), (b) and (c). Next, the sample table 10x rotates intermittently in the direction of the arrow X1 in FIG. 1, and the work storage hole [1] in which the sample work a is stored reaches position 1 and stops. This is shown in FIGS. 16 (a), 16 (b) and 16 (c).

図16(a)(b)(c)に示すように、位置<3>と位置が対向する位置は移載部10tであり、図16(a)から判るように、移載部10tにおいて、ワークが収納されていない搬送テーブル3のワーク収納孔(1)とサンプルワークaが収納されているサンプルテーブル10xのワーク収納孔[1]が対向している。 As shown in FIGS. 16A, 16B, and 16C, the position where the position <3> and the position 1 face each other is the transfer unit 10t. As can be seen from FIG. 16A, the transfer unit 10t The workpiece storage hole (1) of the transfer table 3 in which no workpiece is stored faces the workpiece storage hole [1] of the sample table 10x in which the sample workpiece a is stored.

この状態からサンプルワークaが移載される手順と移載完了の確認方法について、移載部10tを図16(a)の矢印K1方向から見た透視図である図28(a)(b)乃至図31(a)(b)を用いて説明する。図28(a)は図16(a)に対応する透視図であり、図10がその斜視図である。図10において、切替弁14aは切替モードx3を選択し、切替弁14bは切替モードx1を選択している。このため、ワーク収納孔4t内は大気圧に保たれ、ワーク収納孔11t内は矢印V101の方向に真空吸引される。   FIGS. 28A and 28B are perspective views of the transfer part 10t as viewed from the direction of the arrow K1 in FIG. 16A, with regard to the procedure for transferring the sample workpiece a from this state and the transfer completion confirmation method. It demonstrates using thru | or FIG. 31 (a) (b). FIG. 28A is a perspective view corresponding to FIG. 16A, and FIG. 10 is a perspective view thereof. In FIG. 10, the switching valve 14a selects the switching mode x3, and the switching valve 14b selects the switching mode x1. For this reason, the inside of the work storage hole 4t is maintained at atmospheric pressure, and the work storage hole 11t is vacuum-sucked in the direction of the arrow V101.

すなわち図28(a)においてサンプルワークW1s(a)はワーク収納孔11t内に収納され、ワーク収納孔11t直下のテーブルベース2内に形成されたセンサ通路10s1の直上に位置している。   That is, in FIG. 28A, the sample work W1s (a) is stored in the work storage hole 11t, and is positioned immediately above the sensor passage 10s1 formed in the table base 2 immediately below the work storage hole 11t.

なお、図28(a)(b)乃至図31(a)(b)においてサンプルワークW1s(a)の表記を用いているが、これは、図16(a)(b)(c)におけるサンプルワーク(a)と対応させるためのものである。ここで、センサ通路10s1の下方のテーブルベース2内には、光センサ光源11Laが配置されており、ワーク収納孔11t内に向けて上向きの検出光L11を送出している。一方、ワーク収納孔11tの上方かつ光センサ光源11Laに対向する位置には光センサ11Lbが配置されている。   In addition, in FIG. 28 (a) (b) thru | or FIG. 31 (a) (b), the description of sample work W1s (a) is used, but this is the sample in FIG. 16 (a) (b) (c). It is intended to correspond to the workpiece (a). Here, an optical sensor light source 11La is disposed in the table base 2 below the sensor passage 10s1, and sends upward detection light L11 toward the work storage hole 11t. On the other hand, an optical sensor 11Lb is disposed above the workpiece storage hole 11t and at a position facing the optical sensor light source 11La.

この場合、検出光L11はワーク収納孔11t内に収納されているサンプルワークW1s(a)により遮断されて、光センサ11Lbにより検出されない。一方、移載部10tにおいてワーク収納孔11tに対向するワーク収納孔4t直下のテーブルベース2内に形成されたセンサ通路10s2の下方のテーブルベース2内には、光センサ光源4Laが配置されており、ワーク収納孔4t内に向けて上向きの検出光L4を送出している。一方、ワーク収納孔4tの上方かつ光センサ光源4Laに対向する位置には光センサ4Lbが配置されている。   In this case, the detection light L11 is blocked by the sample work W1s (a) stored in the work storage hole 11t and is not detected by the optical sensor 11Lb. On the other hand, an optical sensor light source 4La is disposed in the table base 2 below the sensor passage 10s2 formed in the table base 2 immediately below the workpiece storage hole 4t facing the workpiece storage hole 11t in the transfer portion 10t. The upward detection light L4 is sent out into the work storage hole 4t. On the other hand, an optical sensor 4Lb is disposed above the workpiece storage hole 4t and at a position facing the optical sensor light source 4La.

この場合、検出光L4はワーク収納孔4t内にサンプルワークW1s(a)が収納されていないため、光センサ4Lbにより検出される。このように、光センサ11Lbにより検出光L11が検出されず、光センサ4Lbにより検出光L4が検出された場合には、サンプルワークW1s(a)がサンプルテーブル10xに収納されていることが判る。   In this case, the detection light L4 is detected by the optical sensor 4Lb because the sample work W1s (a) is not stored in the work storage hole 4t. Thus, when the detection light L11 is not detected by the optical sensor 11Lb and the detection light L4 is detected by the optical sensor 4Lb, it can be seen that the sample work W1s (a) is stored in the sample table 10x.

この関係を図28(b)に示す。上述の光センサ光源11La、光センサ11Lb、光センサ光源4La、光センサ4Lbにより、移載検出手段が構成されている。   This relationship is shown in FIG. The above-described optical sensor light source 11La, optical sensor 11Lb, optical sensor light source 4La, and optical sensor 4Lb constitute transfer detection means.

図28(a)の状態からサンプルワークW1s(a)をサンプルテーブル10xから搬送テーブル3に移載する様子を図29(a)(b)乃至図31(a)(b)に示す。まず、図29(a)(b)において、切替弁14bが切替モードx2を選択し、エア通路10p1が圧縮エア発生源15に連通して矢印C101の方向に圧縮エアが噴出する。同時に、切替弁14aが切替モードx1を選択し、エア通路10p2が真空発生源13に連通して矢印V102の方向に真空吸引が行われる。このため、サンプルワークW1s(a)は矢印H1の方向に移動を開始する。これを検出光L11および検出光L4の検出状態と対応させたものを、図29(b)に示す。   FIGS. 29A, 29B, 31A, and 31B show how the sample work W1s (a) is transferred from the sample table 10x to the transfer table 3 from the state shown in FIG. First, in FIGS. 29 (a) and 29 (b), the switching valve 14b selects the switching mode x2, the air passage 10p1 communicates with the compressed air generation source 15, and the compressed air is ejected in the direction of the arrow C101. At the same time, the switching valve 14a selects the switching mode x1, the air passage 10p2 communicates with the vacuum generation source 13, and vacuum suction is performed in the direction of the arrow V102. For this reason, the sample work W1s (a) starts to move in the direction of the arrow H1. FIG. 29B shows the correspondence between the detection states of the detection light L11 and the detection light L4.

図29(b)に示すように、サンプルワークW1s(a)は移動中であり、検出光L11および検出光L4の検出状態は図28(b)と同一である。図29(a)の状態から少し時間が経過したときの様子を図30(a)に示す。サンプルワークW1s(a)は矢印H1の方向に移動を続けて、ワーク収納孔11tとワーク収納孔4tの略中間地点に到達する。このとき、サンプルワークW1s(a)がセンサ通路10s1の直上位置から離間し、検出光L11が光センサ11Lbにより検出されるようになる。この関係を図30(b)に示す。   As shown in FIG. 29B, the sample work W1s (a) is moving, and the detection states of the detection light L11 and the detection light L4 are the same as those in FIG. FIG. 30A shows a state when a little time has elapsed from the state of FIG. The sample work W1s (a) continues to move in the direction of the arrow H1 and reaches a substantially intermediate point between the work storage hole 11t and the work storage hole 4t. At this time, the sample work W1s (a) is separated from the position immediately above the sensor passage 10s1, and the detection light L11 is detected by the optical sensor 11Lb. This relationship is shown in FIG.

この後、サンプルワークW1s(a)はワーク収納孔4t内に収納され、図31(a)のようにセンサ通路10s2上に位置する。このため、センサ通路10s2の下方のテーブルベース2内に配置された光センサ光源4Laからワーク収納孔4t内に向けて照射される検出光L4は、サンプルワークW1s(a)により遮断されて、光センサ4Lbにより検出されなくなる。この関係を図31(b)に示す。このように、移載部10tにおいて、検出光L11および検出光L4が光センサ11Lbおよび光センサ4Lbにより検出されるか非検出であるかの情報を図1に示す制御部12に送信しておけば、それらの情報が図28(b)から図29(b)、図30(b)を経て図31(b)の状態に変化したときに、制御部12はサンプルワークW1s(a)がサンプルテーブル10xから搬送テーブル3に移載されたと判断することができる。   Thereafter, the sample work W1s (a) is stored in the work storage hole 4t, and is positioned on the sensor passage 10s2 as shown in FIG. For this reason, the detection light L4 emitted from the optical sensor light source 4La disposed in the table base 2 below the sensor passage 10s2 into the work storage hole 4t is blocked by the sample work W1s (a), It is no longer detected by the sensor 4Lb. This relationship is shown in FIG. In this way, in the transfer unit 10t, information on whether the detection light L11 and the detection light L4 are detected by the optical sensor 11Lb and the optical sensor 4Lb or not detected can be transmitted to the control unit 12 shown in FIG. For example, when the information changes from FIG. 28 (b) to FIG. 31 (b) through FIG. 29 (b) and FIG. 30 (b), the control unit 12 samples the sample work W1s (a). It can be determined that the table 10x has been transferred to the transfer table 3.

ここで、図31(a)(b)に対応する模式図を図17(a)(b)(c)に示す。すなわち、図17(a)を矢印K1方向から見た透視図が図31(a)である。   Here, schematic diagrams corresponding to FIGS. 31 (a) and 31 (b) are shown in FIGS. 17 (a), 17 (b), and 17 (c). That is, FIG. 31A is a perspective view of FIG. 17A viewed from the direction of the arrow K1.

図17(a)(b)(c)において、移載部10tに示す矢印H1方向にサンプルワークaが移動して、サンプルテーブル10xのワーク収納孔[1]から搬送テーブル3のワーク収納孔(1)に移載されている。この移載の様子を、図17(c)の位置(孔番号[1])から図17(b)の位置<3>(孔番号(1))に向かう矢印H1で示している。このようにサンプルワークaの移載が完了すると、搬送テーブル3およびサンプルテーブル10xはいずれも間歇回転する。そして、図18(a)に示すように、移載部10tには空のワーク収納孔(16)とサンプルワークbを収納したワーク収納孔[2]がそれぞれ到達して対向する。そして、上述のサンプルワークaのときと同様にして、サンプルワークbがサンプルテーブル10xのワーク収納孔[2]から搬送テーブル3のワーク収納孔(16)に移載される。移載が終了したときの様子を図19(a)(b)(c)に示す。 17A, 17B, and 17C, the sample work a moves in the direction of the arrow H1 shown in the transfer portion 10t, and the work storage hole (1) of the transfer table 3 from the work storage hole [1] of the sample table 10x. It has been transferred to 1). This transfer state is indicated by an arrow H1 from position 1 (hole number [1]) in FIG. 17C to position <3> (hole number (1)) in FIG. 17B. When the transfer of the sample work a is completed in this way, both the transfer table 3 and the sample table 10x rotate intermittently. Then, as shown in FIG. 18 (a), an empty work storage hole (16) and a work storage hole [2] storing the sample work b arrive at the transfer part 10t and face each other. Then, the sample work b is transferred from the work storage hole [2] of the sample table 10x to the work storage hole (16) of the transfer table 3 in the same manner as the sample work a described above. FIGS. 19A, 19B, and 19C show the state when the transfer is completed.

以後は、同様にして搬送テーブル3およびサンプルテーブル10xが間歇回転して、移載部10tにおいてサンプルワークcおよびdが順次移載される。サンプルワークdの移載が完了したときの様子を、図20(a)(b)(c)に示す。図20(a)(b)(c)において、すべてのサンプルワークa〜dがサンプルテーブル10xから搬送テーブル3に移載されている。次に、搬送テーブル3が間歇回転して、これらのサンプルワークa〜dはその順に、図1に示す第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cに順次到達して停止する。そして、それぞれの測定部においては、被測定ワークとしてのワークW1に対するのと同一の波長測定、輝度測定、全光束測定を、各サンプルワークa〜dに対して実施する。   Thereafter, similarly, the transfer table 3 and the sample table 10x rotate intermittently, and the sample works c and d are sequentially transferred in the transfer unit 10t. FIGS. 20A, 20B, and 20C show the state when the transfer of the sample work d is completed. 20A, 20B, and 20C, all the sample works a to d are transferred from the sample table 10x to the transport table 3. Next, the conveyance table 3 rotates intermittently, and these sample works a to d sequentially reach the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c shown in FIG. To do. In each measurement unit, the same wavelength measurement, luminance measurement, and total luminous flux measurement as those for the workpiece W1 as the workpiece to be measured are performed on each of the sample workpieces a to d.

その際、図8(a)を用いて説明したように、各サンプルワークa〜dがそれぞれ搬送テーブル3のワーク収納孔(1)、(16)、(15)、(14)に収納されていることを制御部12が認識している。このため、各サンプルワークa〜dに関する第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cにおける測定結果は、制御部12により個別に認識することが可能である。   At that time, as described with reference to FIG. 8A, each of the sample works a to d is stored in the work storage holes (1), (16), (15) and (14) of the transfer table 3, respectively. The control unit 12 recognizes that For this reason, the measurement result in the 1st measurement part 7a, the 2nd measurement part 7b, and the 3rd measurement part 7c regarding each sample work ad can be recognized separately by the control part 12. FIG.

このように各種測定を実施されたサンプルワークa〜dは、搬送テーブル3の間歇回転によって、不良ワーク排出部8および良品ワーク排出部9を通過して、再び移載部10tに到達する。そして、制御部12の制御により、サンプルワークa〜dは移載部10tにおいて、搬送テーブル3のワーク収納孔(1)、(16)、(15)、(14)から、各サンプルワークa〜dがあらかじめ収納されていたサンプルテーブル10xのワーク収納孔[1]、[2]、[3]、[4]に再度収納される。その様子を図21(a)(b)(c)乃至図27(a)(b)(c)を用いて説明する。   The sample workpieces a to d on which various measurements have been performed in this way pass through the defective workpiece discharge unit 8 and the non-defective workpiece discharge unit 9 by the intermittent rotation of the transfer table 3, and reach the transfer unit 10t again. Then, under the control of the control unit 12, the sample workpieces a to d are transferred from the workpiece storage holes (1), (16), (15), and (14) of the transfer table 3 in the transfer unit 10t. d is stored again in the workpiece storage holes [1], [2], [3], and [4] of the sample table 10x stored in advance. This will be described with reference to FIGS. 21 (a), (b), and (c) to FIGS. 27 (a), (b), and (c).

図21(a)(b)(c)は、搬送テーブル3のワーク収納孔(1)に収納されて各種測定を実施されたサンプルワークaが、搬送テーブル3の間歇回転によって移載部10tに到達したときの様子を示したものである。移載部10tにおいて搬送テーブル3のワーク収納孔(1)と対向するサンプルテーブル10xのワーク収納孔の孔番号は[4]であり、これはサンプルワークdがサンプルテーブル10xから搬送テーブル3に移載を完了した状態を示す図20(a)(b)(c)と一致している。   21 (a), 21 (b) and 21 (c) show that the sample work a stored in the work storage hole (1) of the transfer table 3 and subjected to various measurements is transferred to the transfer section 10t by intermittent rotation of the transfer table 3. It shows the situation when it arrives. The hole number of the work storage hole of the sample table 10x facing the work storage hole (1) of the transfer table 3 in the transfer section 10t is [4], which means that the sample work d is transferred from the sample table 10x to the transfer table 3. This corresponds to FIGS. 20A, 20B and 20C showing the state where the loading is completed.

次に、サンプルテーブル10xが図1における矢印X1方向に間歇回転して、図22(a)(b)(c)に示すように、孔番号[1]のワーク収納孔が移載部10tにおいて搬送テーブル3のワーク収納孔(1)と対向する。   Next, the sample table 10x is intermittently rotated in the direction of the arrow X1 in FIG. 1, and as shown in FIGS. 22 (a), (b), and (c), the work storage hole with the hole number [1] is formed in the transfer portion 10t. It faces the work storage hole (1) of the transfer table 3.

この状態からサンプルワークaが移載される手順と移載完了の確認方法について、移載部10tを図22の矢印K1方向から見た透視図である図32(a)(b)乃至図35(a)(b)を用いて説明する。なお、図32(a)(b)乃至図35(a)(b)に示す各部の機能については、既に図28(a)(b)乃至図31(a)(b)の説明において記載しているので、省略する。   32 (a) to (b) through FIG. 35, which are perspective views of the transfer part 10t as viewed from the direction of the arrow K1 in FIG. 22 with respect to the procedure for transferring the sample work a from this state and the transfer completion confirmation method. (A) It demonstrates using (b). Note that the function of each part shown in FIGS. 32 (a) (b) through 35 (a) (b) has already been described in the description of FIGS. 28 (a) (b) through 31 (a) (b). Because it is, it is omitted.

図32(a)は図22に対応する透視図である。図32(a)において、切替弁14aは切替モードx1を選択し、切替弁14bは切替モードx3を選択している。このため、ワーク収納孔4t内は矢印V102の方向に真空吸引され、ワーク収納孔11t内は大気圧に保たれる。サンプルワークW1s(a)はワーク収納孔4t内に収納されているため、光センサ光源4Laが送出する上向きの検出光L4は、サンプルワークW1s(a)により遮断されて、光センサ4Lbにより検出されない。   FIG. 32A is a perspective view corresponding to FIG. In FIG. 32A, the switching valve 14a selects the switching mode x1, and the switching valve 14b selects the switching mode x3. For this reason, the work storage hole 4t is vacuum-sucked in the direction of arrow V102, and the work storage hole 11t is maintained at atmospheric pressure. Since the sample work W1s (a) is stored in the work storage hole 4t, the upward detection light L4 transmitted by the optical sensor light source 4La is blocked by the sample work W1s (a) and is not detected by the optical sensor 4Lb. .

一方、移載部10tにおいてワーク収納孔4tに対向するワーク収納孔11tにはサンプルワークW1s(a)が収納されていないため、光センサ光源11Laが送出する上向きの検出光L11は、光センサ11Lbにより検出される。このため、サンプルワークW1s(a)が搬送テーブル3に収納されていることが判る。この関係を図32(b)に示す。   On the other hand, since the sample workpiece W1s (a) is not stored in the workpiece storage hole 11t facing the workpiece storage hole 4t in the transfer unit 10t, the upward detection light L11 sent out by the optical sensor light source 11La is the optical sensor 11Lb. Is detected. Therefore, it can be seen that the sample work W1s (a) is stored in the transfer table 3. This relationship is shown in FIG.

図32(a)の状態からサンプルワークW1s(a)を搬送テーブル3からサンプルテーブル10xに移載する様子を図33(a)(b)乃至図35(a)(b)に示す。まず、図33(a)において、切替弁14aが切替モードx2を選択し、エア通路10p2が圧縮エア発生源15に連通して矢印C102の方向に圧縮エアが噴出する。同時に、切替弁14bが切替モードx1を選択し、エア通路10p1が真空発生源13に連通して矢印V101の方向に真空吸引が行われる。このため、サンプルワークW1s(a)は矢印J1の方向に移動を開始する。   FIGS. 33 (a) (b) to 35 (a) (b) show how the sample work W1s (a) is transferred from the transfer table 3 to the sample table 10x from the state of FIG. 32 (a). First, in FIG. 33A, the switching valve 14a selects the switching mode x2, the air passage 10p2 communicates with the compressed air generation source 15, and the compressed air is ejected in the direction of the arrow C102. At the same time, the switching valve 14b selects the switching mode x1, the air passage 10p1 communicates with the vacuum generation source 13, and vacuum suction is performed in the direction of the arrow V101. For this reason, the sample work W1s (a) starts moving in the direction of the arrow J1.

この状態を検出光L4および検出光L11の検出状態と対応させたものが、図33(b)に示されている。サンプルワークW1s(a)は移動中であり、検出光L4および検出光L11の検出状態は図32(b)と同一である。図33(a)の状態から少し時間が経過したときの様子を図34(a)に示す。   FIG. 33B shows this state corresponding to the detection states of the detection light L4 and the detection light L11. The sample work W1s (a) is moving, and the detection states of the detection light L4 and the detection light L11 are the same as those in FIG. FIG. 34 (a) shows a state when a little time has elapsed from the state of FIG. 33 (a).

図34(a)に示すように、サンプルワークW1s(a)は矢印J1の方向に移動を続けて、ワーク収納孔4tとワーク収納孔11tの略中間地点に到達する。このとき、サンプルワークW1s(a)がセンサ通路10s2の直上位置から離間し、検出光L4が光センサ4Lbにより検出されるようになる。この関係を図34(b)に示す。   As shown in FIG. 34 (a), the sample work W1s (a) continues to move in the direction of the arrow J1, and reaches a substantially intermediate point between the work storage hole 4t and the work storage hole 11t. At this time, the sample work W1s (a) is separated from the position immediately above the sensor passage 10s2, and the detection light L4 is detected by the optical sensor 4Lb. This relationship is shown in FIG.

その後、サンプルワークW1s(a)はワーク収納孔11t内に収納され、図35(a)のようにセンサ通路10s1上に位置する。このため、光センサ光源11Laからワーク収納孔11t内に向けて照射される検出光11はサンプルワークW1s(a)により遮断されて、光センサ11Lbにより検出されなくなる。この関係を図35(b)に示す。   Thereafter, the sample work W1s (a) is stored in the work storage hole 11t, and is positioned on the sensor passage 10s1 as shown in FIG. For this reason, the detection light 11 emitted from the optical sensor light source 11La toward the workpiece accommodation hole 11t is blocked by the sample workpiece W1s (a) and is not detected by the optical sensor 11Lb. This relationship is shown in FIG.

移載部10tにおいて、検出光L4および検出光L11が光センサ4Lbおよび光センサ11Lbにより検出されるか非検出であるかの情報は図1に示す制御部12に送信される。それらの情報が図32(b)から図33(b)、図34(b)を経て図35(b)の状態に変化したときに、制御部12はサンプルワークW1s(a)が搬送テーブル3からサンプルテーブル10xに移載されたと判断することができる。   In the transfer unit 10t, information on whether the detection light L4 and the detection light L11 are detected by the optical sensor 4Lb and the optical sensor 11Lb or not detected is transmitted to the control unit 12 shown in FIG. When the information changes from the state shown in FIG. 32 (b) to the state shown in FIG. 35 (b) through FIGS. 33 (b) and 34 (b), the control unit 12 indicates that the sample work W1s (a) is transferred to the transfer table 3. It can be determined that the sample has been transferred to the sample table 10x.

ここで、図35(a)(b)に対応する模式図を図23(a)(b)(c)に示す。すなわち、図23(a)を矢印K1方向から見た透視図が図35(a)である。図23(a)において、移載部10tに示す矢印J1方向にサンプルワークaが移動して、搬送テーブル3のワーク収納孔(1)からサンプルテーブル10xのワーク収納孔[1]に移載されている。この移載の様子を、図23(b)の位置<3>(孔番号(1))から図23(c)の位置(孔番号[1])に向かう矢印J1で示している。 Here, schematic diagrams corresponding to FIGS. 35A and 35B are shown in FIGS. That is, FIG. 35A is a perspective view of FIG. 23A viewed from the direction of the arrow K1. In FIG. 23 (a), the sample work a moves in the direction of arrow J1 shown in the transfer section 10t, and is transferred from the work storage hole (1) of the transfer table 3 to the work storage hole [1] of the sample table 10x. ing. This transfer state is indicated by an arrow J1 from position <3> (hole number (1)) in FIG. 23 (b) to position 1 (hole number [1]) in FIG. 23 (c).

このようにサンプルワークaの移載が完了すると、搬送テーブル3およびサンプルテーブル10xはいずれも間歇回転する。そして、図24(a)に示すように、移載部10tにはサンプルワークbを収納したワーク収納孔(16)と空のワーク収納孔[2]がそれぞれ到達して対向する。そして、上述のサンプルワークaのときと同様にして、サンプルワークbが搬送テーブル3のワーク収納孔(16)からサンプルテーブル10xのワーク収納孔[2]に移載される。移載が終了したときの様子を図25(a)(b)(c)に示す。   When the transfer of the sample work a is completed in this way, both the transfer table 3 and the sample table 10x rotate intermittently. Then, as shown in FIG. 24 (a), the workpiece storage hole (16) storing the sample workpiece b and the empty workpiece storage hole [2] reach the transfer portion 10t and face each other. Then, the sample work b is transferred from the work storage hole (16) of the transfer table 3 to the work storage hole [2] of the sample table 10x in the same manner as the sample work a described above. FIGS. 25A, 25B and 25C show the state when the transfer is completed.

以後は、同様にして搬送テーブル3およびサンプルテーブル10xが間歇回転して、移載部10tにおいてサンプルワークcおよびdが順次移載される。サンプルワークdの移載が完了したときの様子を、図26(a)(b)(c)に示す。   Thereafter, similarly, the transfer table 3 and the sample table 10x rotate intermittently, and the sample works c and d are sequentially transferred in the transfer unit 10t. FIGS. 26A, 26B, and 26C show the state when the transfer of the sample work d is completed.

図26(a)(b)(c)において、すべてのサンプルワークa〜dが搬送テーブル3からサンプルテーブル10xに移載されている。そして各サンプルワークa〜dのサンプルテーブル10xにおける移載先は、あらかじめそれらが収納されていたワーク収納孔に一致している。   26A, 26B, and 26C, all the sample workpieces a to d are transferred from the transfer table 3 to the sample table 10x. The transfer destinations of the sample workpieces a to d in the sample table 10x coincide with the workpiece storage holes in which they are stored in advance.

以上のように、すべてのサンプルワークがサンプルテーブル10xに移載されると、制御部12により、図1に示す第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cにおいて測定した各サンプルワークW1の測定結果と、あらかじめ制御部12内の記憶部12aに記憶されている各サンプルワークW1sの既知の測定結果(基準特性)とが比較部12bにおいて比較される。そして、両方の測定結果の差異があらかじめ規定された規格値(所定値)を外れていた測定部については、警報部12cから警報を表示し、あるいは警報音を発し、当該の測定部に配置されている測定器を校正するように、作業者に通知する。   As described above, when all the sample works are transferred to the sample table 10x, the control unit 12 measures each of the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c shown in FIG. The comparison unit 12b compares the measurement result of the sample workpiece W1 with the known measurement result (reference characteristic) of each sample workpiece W1s stored in advance in the storage unit 12a in the control unit 12. And about the measurement part from which the difference of both measurement results was outside the standard value (predetermined value) prescribed | regulated beforehand, an alarm is displayed from the alarm part 12c, or an alarm sound is emitted, and it is arrange | positioned at the said measurement part. Notify the operator to calibrate the measuring instrument.

以上でサンプル測定モードは終了し、ワーク測定装置1は動作を停止する。作業者は上記の通知があればワーク測定装置1の電源を切り、校正すべき測定器を校正した後、再度電源を入れてワーク測定装置1を起動する。起動されたワーク測定装置1は通常測定モードで動作を再開する。   Thus, the sample measurement mode ends, and the workpiece measurement apparatus 1 stops operating. If the operator receives the above notification, the operator turns off the workpiece measuring apparatus 1, calibrates the measuring instrument to be calibrated, and then turns on the power again to activate the workpiece measuring apparatus 1. The activated workpiece measurement apparatus 1 resumes operation in the normal measurement mode.

また、上記の通知がなく、測定器の校正の必要がないのであれば、作業者はワーク測定装置1の電源を一度切り、その後すぐに電源を入れてワーク測定装置1を起動する。或いは、電源を入れたままで起動用の押しボタンスイッチを押下することによってワーク測定装置1を起動してもよい。いずれの場合にも、起動されたワーク測定装置1は通常測定モードで動作を再開する。   Further, if there is no notification as described above and there is no need to calibrate the measuring instrument, the operator turns off the power of the workpiece measuring device 1 and then immediately turns on the power to activate the workpiece measuring device 1. Or you may start the workpiece | work measuring apparatus 1 by pushing down the pushbutton switch for starting, with the power supply turned on. In either case, the activated workpiece measurement apparatus 1 resumes operation in the normal measurement mode.

以上のように本実施の形態によれば、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7cの測定精度を容易かつ簡単に確認することができる。   As described above, according to the present embodiment, the measurement accuracy of the first measurement unit 7a, the second measurement unit 7b, and the third measurement unit 7c can be easily and easily confirmed.

第2の実施の形態
次に本発明の第2の実施形態を図36乃至図51により説明する。
Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図36は本発明を適用したワーク測定装置21を示す正面図である。ワーク測定装置21は、垂直に配置されたテーブルベース22に隣接して回転自在に配置された搬送体としての円形の搬送テーブル23を有し、搬送テーブル23は、図示されない駆動機構の作用により中心軸23aの周囲に矢印A2の方向に間歇回転する。   FIG. 36 is a front view showing a workpiece measuring apparatus 21 to which the present invention is applied. The workpiece measuring device 21 has a circular transfer table 23 as a transfer body rotatably arranged adjacent to a vertically arranged table base 22, and the transfer table 23 is centered by the action of a drive mechanism (not shown). It rotates intermittently in the direction of arrow A2 around the shaft 23a.

搬送テーブル23の外周近傍には保持部としての複数のワーク収納孔24が搬送テーブル23の両面を貫通して形成されている。すなわち、ワーク収納孔24は搬送テーブル23の一面および他面に開口し、ここに後述する被測定ワークとしてのワークW2およびこのワークW2と同一形状のサンプルワークW2sが個別に収納されて搬送される。   In the vicinity of the outer periphery of the transfer table 23, a plurality of work storage holes 24 as holding parts are formed so as to penetrate both sides of the transfer table 23. That is, the work storage hole 24 opens on one surface and the other surface of the transfer table 23, and a work W2 as a work to be measured, which will be described later, and a sample work W2s having the same shape as the work W2 are individually stored and transferred. .

また、図37に示すように、搬送テーブル23の一面に向けて直線形状のリニアフィーダ25が水平に配置されている。リニアフィーダ25は図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークW2を1列状態で搬送テーブル23の一面に向けて搬送する機能を有する。リニアフィーダ25の終端部は搬送テーブル23の一面に近接し、そこにおいてワーク収納孔24の開口部に対向する。リニアフィーダ25の終端部とワーク収納孔24の開口部が対向する位置には、リニアフィーダ25上のワークW2を1個ずつ分離して個別にワーク収納孔24に供給する分離供給手段としての分離供給部26が配置されている。この分離供給部26から搬送テーブル23の間歇回転方向すなわち矢印A2方向に沿って、ワークW2の各種特性の測定を行う測定手段としての第1測定部27a、第2測定部27b、および測定の結果に基づいて不良と判定されたワークW2をワーク収納孔24から排出する排出手段としての不良ワーク排出部28、測定の結果に基づいて良品と判定されたワークW2をワーク収納孔24から排出する排出手段としての良品ワーク排出部29が、この順に配置されている。   As shown in FIG. 37, a linear linear feeder 25 is disposed horizontally toward one surface of the transport table 23. The linear feeder 25 vibrates due to the action of a drive mechanism (not shown), and has a function of transporting the workpiece W2 toward one surface of the transport table 23 in a single row state due to the vibration. The end portion of the linear feeder 25 is close to one surface of the transfer table 23 and faces the opening of the work storage hole 24 there. Separation as separation supply means for separating the workpieces W2 on the linear feeder 25 one by one and supplying them individually to the workpiece storage holes 24 at positions where the end of the linear feeder 25 and the opening of the workpiece storage holes 24 face each other. A supply unit 26 is arranged. A first measurement unit 27a, a second measurement unit 27b as measurement means for measuring various characteristics of the workpiece W2 along the intermittent rotation direction of the transfer table 23 from the separation supply unit 26, that is, the arrow A2 direction, and measurement results , A workpiece discharge unit 28 serving as a discharge unit that discharges the workpiece W2 determined to be defective from the workpiece storage hole 24, and discharge of the workpiece W2 determined to be non-defective based on the measurement result from the workpiece storage hole 24. A non-defective work discharge unit 29 as a means is arranged in this order.

また、搬送テーブル23の間歇回転方向すなわち矢印A2方向に沿って、分離供給部26と第1測定部27aの間に、サンプルワーク供給手段としてのサンプルテーブル30xが配置され、かつサンプルテーブル30xと搬送テーブル23との間にサンプルワークW2sの移載を行う移載部30tが配置されている。   Further, a sample table 30x as a sample work supply means is disposed between the separation supply unit 26 and the first measurement unit 27a along the intermittent rotation direction of the transfer table 23, that is, the direction of the arrow A2, and the sample table 30x is transferred with the sample table 30x. Between the table 23, the transfer part 30t which transfers sample work W2s is arrange | positioned.

このサンプルテーブル30xと移載部30tとにより、測定系確認部30が構成されている。サンプルテーブル30xの形状は搬送テーブル23と同様に円形をなし、図示されない駆動機構の作用により、中心軸30xaの周囲に矢印X2方向に間歇回転する。サンプルテーブル30xの外周に近い部分には、搬送テーブル23と同様の形状を有する保管部としての複数のワーク収納孔31が形成され、ワーク収納孔31にはサンプルワークW2sが保管される。   The sample table 30x and the transfer unit 30t constitute a measurement system confirmation unit 30. The sample table 30x has a circular shape like the transport table 23, and rotates intermittently in the direction of the arrow X2 around the central axis 30xa by the action of a drive mechanism (not shown). A plurality of work storage holes 31 as storage portions having the same shape as the transfer table 23 are formed in a portion near the outer periphery of the sample table 30x, and the sample work W2s is stored in the work storage holes 31.

そして、ワーク測定装置21を構成する搬送テーブル3、分離供給部26、第1測定部27a、第2測定部27b、不良ワーク排出部28、良品ワーク排出部29、サンプルテーブル30x、および移載部30tの制御を行う制御部32が設置されている。   And the conveyance table 3 which comprises the workpiece | work measuring apparatus 21, the separation supply part 26, the 1st measurement part 27a, the 2nd measurement part 27b, the defective workpiece discharge part 28, the non-defective work discharge part 29, the sample table 30x, and the transfer part A control unit 32 for controlling 30t is installed.

なお、搬送テーブル23が間歇回転してワークW2を搬送するので、分離供給部26から良品ワーク排出部29までの搬送テーブル23の一面側には、間歇回転の際にワークW2に作用する振動によりワークW2が搬送テーブル23の外側に飛び出すのを防止するため、図示しないテーブルカバーが形成されている。   Since the transfer table 23 is intermittently rotated to transfer the workpiece W2, the one surface side of the transfer table 23 from the separation supply unit 26 to the non-defective workpiece discharge unit 29 is caused by vibration acting on the workpiece W2 during the intermittent rotation. In order to prevent the workpiece W2 from jumping out of the transfer table 23, a table cover (not shown) is formed.

図36における矢印M方向からワーク測定装置21を見た平面図を図37に示す。ただし、簡単のため、図37においては第1測定部27a、第2測定部27b、不良ワーク排出部28、良品ワーク排出部29は記載していない。上述のリニアフィーダ25が振動によりワークW2を1列状態で搬送テーブル23の一面に向けて搬送する方向は、図37において矢印B2の方向である。   FIG. 37 is a plan view of the workpiece measuring device 21 as viewed from the direction of arrow M in FIG. However, for the sake of simplicity, the first measurement unit 27a, the second measurement unit 27b, the defective workpiece discharge unit 28, and the non-defective workpiece discharge unit 29 are not shown in FIG. The direction in which the above-described linear feeder 25 conveys the workpieces W2 toward one surface of the conveyance table 23 in a row by vibration is the direction of the arrow B2 in FIG.

また、測定系確認部30におけるサンプルテーブル30xは、搬送テーブル23の一面側に位置しており、図36に示すように移載部30tにおいて搬送テーブル23と重なっている。そして、後述のようにワーク収納孔24とワーク収納孔31のそれぞれの開口部が移載部30tにおいて対向している。また、測定系確認部30において、サンプルテーブル30xの搬送テーブル23と反対側には、移載部30tの機能を内蔵するとともにサンプルテーブル30xの間歇回転に伴う振動によりサンプルワークW2sがサンプルテーブル30xから飛び出すのを防止するため、テーブルカバー30bが配置されている。   Further, the sample table 30x in the measurement system confirmation unit 30 is located on one surface side of the transport table 23, and overlaps the transport table 23 in the transfer unit 30t as shown in FIG. As will be described later, the openings of the work storage hole 24 and the work storage hole 31 face each other at the transfer portion 30t. Further, in the measurement system confirmation unit 30, the function of the transfer unit 30t is incorporated on the opposite side of the sample table 30x from the transport table 23, and the sample work W2s is removed from the sample table 30x due to vibration accompanying intermittent rotation of the sample table 30x. A table cover 30b is arranged to prevent the jumping out.

図36における測定系確認部30付近、すなわち一点鎖線領域P2の拡大図を、図38に示す。ただし、簡単のため、図38においてテーブルカバー30bは記載していない。   FIG. 38 shows an enlarged view of the vicinity of the measurement system confirmation unit 30 in FIG. 36, that is, the one-dot chain line region P2. However, for simplicity, the table cover 30b is not shown in FIG.

搬送テーブル23のワーク収納孔24とサンプルテーブル30xのワーク収納孔31は、移載部10tにおいてそれぞれの開口部が対向している。この開口部が対向した状態のワーク収納孔24とワーク収納孔31を、図38においてはワーク収納孔24tおよびワーク収納孔31tと記載している。ワーク収納孔24およびワーク収納孔31には、図39および図40に示す形状のワークW2およびサンプルワークW2sが収納される。ここに、サンプルワークW2sは、ワークW2と同一であり、かつその特性すなわち図36に示す第1測定部27a、第2測定部27bにおけるそれぞれの測定結果が既知であるワークである。   The work storage holes 24 of the transfer table 23 and the work storage holes 31 of the sample table 30x face each other in the transfer section 10t. The workpiece storage hole 24 and the workpiece storage hole 31 in a state where the openings face each other are shown as a workpiece storage hole 24t and a workpiece storage hole 31t in FIG. The workpiece storage hole 24 and the workpiece storage hole 31 store the workpiece W2 and the sample workpiece W2s having the shapes shown in FIGS. Here, the sample work W2s is the same work as the work W2, and the characteristics thereof, that is, the respective measurement results in the first measurement unit 27a and the second measurement unit 27b shown in FIG. 36 are known.

具体的には、第1測定部27a、第2測定部27bにおいて使用される測定器と同一かつ校正済みの測定器を用いて、第1測定部27a、第2測定部27bにおける測定項目と同一の測定を、サンプルワークW2sに対してあらかじめ実施し、その測定結果(基準特性)を制御部32内の記憶部32aに記憶させておく。このサンプルワークW2sの基準特性は、制御部32の制御によって記憶部32aから読み出すことが可能になっている。   Specifically, the same measurement items as those used in the first measurement unit 27a and the second measurement unit 27b and the same measurement items as those in the first measurement unit 27a and the second measurement unit 27b are used. Is measured in advance on the sample work W2s, and the measurement result (reference characteristic) is stored in the storage unit 32a in the control unit 32. The reference characteristics of the sample work W2s can be read from the storage unit 32a under the control of the control unit 32.

また制御部32はサンプル測定モードをとったとき、サンプルワークW2sの基準特性とワークW2との測定結果とを比較する比較部32bと、比較部32bにより比較した結果、両者の差異が所定値を越えた際、警報を発する警報部32cとを有している。また制御部32は通常測定モードをとったとき、第1測定部27a、第2測定部27bによる測定結果に基づいてワークW2が良品か不良品かの判定を行なう判定部32dと、制御部32のモードを切替える自動切替手段32fとを有している。   In addition, when the control unit 32 takes the sample measurement mode, the comparison unit 32b that compares the reference characteristic of the sample workpiece W2s and the measurement result of the workpiece W2 and the comparison unit 32b compare them. And an alarm unit 32c that issues an alarm when the limit is exceeded. When the control unit 32 is in the normal measurement mode, the control unit 32 determines whether the workpiece W2 is a non-defective product or a defective product based on the measurement results of the first measurement unit 27a and the second measurement unit 27b. Automatic switching means 32f for switching the mode.

ここで、図39乃至図41を用いて、ワークW2について説明する。図39にワークW2の斜視図を、またワークW2を図39における矢印C2、D2、E2の方向から見た図をそれぞれ図40(a)(b)(c)に示す。さらに、ワークW2の電気回路図を図41に示す。ワークW2はインダクタである。   Here, the workpiece W2 will be described with reference to FIGS. 39 is a perspective view of the work W2, and FIGS. 40A, 40B, and 40C are views of the work W2 viewed from the directions of arrows C2, D2, and E2 in FIG. Furthermore, FIG. 41 shows an electric circuit diagram of the workpiece W2. The work W2 is an inductor.

図39および図40(a)(b)(c)に示すように、ワークW2は絶縁体により6面体形状に形成された基体W2xと、その長手方向両端に導電体により形成される電極W2a、W2bとからなる。そして、電極W2a、W2bとワークW2の電気回路との対応は図41のようになっている。すなわち、電極W2a、W2bの間にインダクタL0が形成されており、その周囲を絶縁体で覆って基体W2xとしている。ワークW2を構成する6面体の各辺の長さ(図40におけるa2、b2、c2)は、長手方向の長さa2が2mm〜3mm程度で、電極W2aおよびW2bの各辺の長さb2およびc2がそれぞれ1mm〜2mm程度の製品が市販されている。   As shown in FIGS. 39 and 40 (a) (b) (c), the workpiece W2 includes a base W2x formed in a hexahedral shape by an insulator, and electrodes W2a formed by a conductor at both ends in the longitudinal direction. W2b. The correspondence between the electrodes W2a and W2b and the electric circuit of the work W2 is as shown in FIG. That is, the inductor L0 is formed between the electrodes W2a and W2b, and the periphery thereof is covered with an insulator to form the base body W2x. The length (a2, b2, c2 in FIG. 40) of each side of the hexahedron constituting the work W2 is about 2 mm to 3 mm in the longitudinal direction, and the length b2 of each side of the electrodes W2a and W2b and Products with c2 of about 1 mm to 2 mm are commercially available.

次に搬送テーブル23のワーク収納孔24について、図42および図43を用いて説明する。図42はワーク収納孔24が図36および図37における分離供給部26に停止している状態の斜視図である。   Next, the work storage hole 24 of the transfer table 23 will be described with reference to FIGS. 42 and 43. FIG. 42 is a perspective view showing a state in which the work storage hole 24 is stopped at the separation supply unit 26 in FIGS. 36 and 37.

ワーク収納孔24はテーブルベース22に隣接して配置された搬送テーブル23の両面に開口しており、図36および図37に示すリニアフィーダ25の終端部がこの開口部に対向して位置するが、図42においては図示されていない。この開口部に対向するテーブルベース22内には、その壁面24wに開口部24bを有するエア通路26vが形成されている。エア通路26vはテーブルベース22内に設置された真空発生源132に連通している。そして、この真空発生源132からの矢印F26方向の真空吸引によって、ワーク収納孔24の内部には壁面24wに向けて吸引力が作用する。また、搬送テーブル23はテーブルベース22と極めて近接して配置されているため、分離供給部26においてワーク収納孔24の内部は略密閉状態となり、上記吸引力が効率良く作用する。   The work storage holes 24 are opened on both surfaces of the transfer table 23 arranged adjacent to the table base 22, and the end portion of the linear feeder 25 shown in FIGS. 36 and 37 is located facing the opening. This is not shown in FIG. In the table base 22 facing the opening, an air passage 26v having an opening 24b on the wall surface 24w is formed. The air passage 26v communicates with a vacuum generation source 132 installed in the table base 22. Then, due to the vacuum suction from the vacuum generation source 132 in the direction of the arrow F26, a suction force acts on the wall surface 24w inside the work storage hole 24. In addition, since the transfer table 23 is arranged very close to the table base 22, the inside of the work storage hole 24 is substantially sealed in the separation supply unit 26, and the above suction force acts efficiently.

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用、すなわちワーク測定方法について説明する。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration, that is, a workpiece measuring method will be described.

図36において、ワークW2は図示されないパーツフィーダにまとめて投入される。そして、電極W2aおよびW2bがワークの進行方向すなわち図37に示す矢印B2方向を向くように方向を揃えられて、リニアフィーダ25上に1列に並ぶ。リニアフィーダ25は上述のように、図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークW2は上述の方向に揃った1列状態で矢印B2方向に搬送される。そして、停止している搬送テーブル23のワーク収納孔24の開口部に対向する位置に到達したワークW2は、分離供給部26において図示されない分離機構の作用によって1個ずつ分離されて、図42に示す矢印F26方向の真空吸引により、個別にワーク収納孔24に収納される。   In FIG. 36, the workpiece W2 is put together in a parts feeder (not shown). The electrodes W2a and W2b are aligned in a line so as to be directed in the direction of the workpiece, that is, in the direction of the arrow B2 shown in FIG. As described above, the linear feeder 25 vibrates by the action of a drive mechanism (not shown), and the workpiece W2 is conveyed in the direction of the arrow B2 in a single row aligned in the above-described direction due to this vibration. Then, the workpieces W2 that have reached the position facing the opening of the workpiece storage hole 24 of the transport table 23 that has been stopped are separated one by one by the action of a separation mechanism (not shown) in the separation supply unit 26, and FIG. The workpieces are individually accommodated in the workpiece accommodation holes 24 by vacuum suction in the direction of the arrow F26 shown.

このようにして、ワーク収納孔24にワークW2が収納された様子を、斜視図として図43に示す。このとき、リニアフィーダ25上であらかじめ上述のようにワークW2の方向が揃えられているので、ワークW2はワーク収納孔24に収納された状態において、電極W2aおよびW2bが搬送テーブル23の両面に露出している。なお、図43に示すワークW2は電極W2bがテーブルベース22側に面しているが、電極W2aがテーブルベース22側に面するように収納されるワークW2もある。   FIG. 43 is a perspective view showing a state where the workpiece W2 is stored in the workpiece storage hole 24 in this manner. At this time, since the direction of the workpiece W2 is aligned in advance on the linear feeder 25 as described above, the electrodes W2a and W2b are exposed on both surfaces of the transfer table 23 when the workpiece W2 is stored in the workpiece storage hole 24. doing. 43, although the electrode W2b faces the table base 22 side, there is also a work W2 that is accommodated so that the electrode W2a faces the table base 22 side.

次に搬送テーブル23が図36に示す矢印A2の方向に間歇回転し、分離供給部26においてワーク収納孔24に収納されたワークW2は移載部30tを通過して、第1測定部27aで停止する。そして、測定器としてのLCRメータに接続された図示されないプローブが搬送テーブル23の両面に露出しているワークW2の電極W2aおよびW2bに当接して、ワークW2のインダクタンス値測定およびQ値測定を実施する。次に、搬送テーブル23の間歇回転により、ワークW2は第2測定部27bに到達して停止する。そして、第1測定部27aと同様に、測定器としての直流抵抗計に接続された図示されないプローブが搬送テーブル23の両面に露出しているワークW2の電極W2aおよびW2bに当接して、ワークW2の直流抵抗値測定を実施する。   Next, the transfer table 23 rotates intermittently in the direction of the arrow A2 shown in FIG. 36, and the workpiece W2 stored in the workpiece storage hole 24 in the separation supply unit 26 passes through the transfer unit 30t and is transferred to the first measurement unit 27a. Stop. Then, a probe (not shown) connected to the LCR meter as a measuring instrument comes into contact with the electrodes W2a and W2b of the work W2 exposed on both surfaces of the transfer table 23, and the inductance value measurement and the Q value measurement of the work W2 are performed. To do. Next, due to intermittent rotation of the transfer table 23, the workpiece W2 reaches the second measuring unit 27b and stops. Then, similarly to the first measuring unit 27a, probes (not shown) connected to a DC resistance meter as a measuring instrument abut on the electrodes W2a and W2b of the workpiece W2 exposed on both surfaces of the transfer table 23, and the workpiece W2 Conduct DC resistance measurement.

以上の測定が終了すると、第1測定部27a、第2測定部27bからの測定結果に基づいて制御部32は判定部32dによりワークW2が良品か不良品かを判定する。そして、その判定結果に対応して、搬送テーブル23の間歇回転により、不良ワーク排出部28あるいは良品ワーク排出部29においてワーク収納孔24内のワークW2を排出する。良品ワーク排出部29においてすべてのワーク収納孔24が空になり、搬送テーブル23の間歇回転により分離供給部26に到達した空のワーク収納孔24に再びワークW2が収納され、上記と同様の作用が繰り返される。以上がワーク測定装置21における通常測定モードである。   When the above measurement is completed, the control unit 32 determines whether the workpiece W2 is a non-defective product or a defective product by the determination unit 32d based on the measurement results from the first measurement unit 27a and the second measurement unit 27b. In response to the determination result, the workpiece W2 in the workpiece storage hole 24 is discharged by the defective workpiece discharge unit 28 or the non-defective workpiece discharge unit 29 by intermittent rotation of the transfer table 23. All the workpiece storage holes 24 are emptied in the non-defective workpiece discharge unit 29, and the workpiece W2 is stored again in the empty workpiece storage hole 24 that has reached the separation supply unit 26 by intermittent rotation of the transfer table 23. Is repeated. The above is the normal measurement mode in the workpiece measuring device 21.

ワーク測定装置21におけるサンプル測定モードの動作は、ワーク測定装置1におけるサンプル測定モードと同一である。すなわち、図38において、サンプルテーブル30xのワーク収納孔31にあらかじめ収納してあるサンプルワークW2sを移載部30tにおいて搬送テーブル23のワーク収納孔24に移載して、図36に示す第1測定部27a、第2測定部27bにおいて測定を実施した後で、再度移載部30tにおいてサンプルテーブル30xのワーク収納孔31に移載するものである。また、通常測定モードからサンプル測定モードへの移行も、ワーク測定装置1と同様にプログラムによる自動設定となっている。   The operation of the sample measurement mode in the workpiece measurement device 21 is the same as the sample measurement mode in the workpiece measurement device 1. That is, in FIG. 38, the sample work W2s previously stored in the work storage hole 31 of the sample table 30x is transferred to the work storage hole 24 of the transfer table 23 by the transfer unit 30t, and the first measurement shown in FIG. After the measurement in the part 27a and the second measurement part 27b, the transfer part 30t again transfers the sample to the work storage hole 31 of the sample table 30x. Further, the transition from the normal measurement mode to the sample measurement mode is also automatically set by a program in the same manner as the workpiece measurement apparatus 1.

ワーク測定装置21はワーク測定装置1と同様に、搬送テーブル23のワーク収納孔24およびサンプルテーブル30xのワーク収納孔31の位置認識機能を有している。搬送テーブル23には全部で16個のワーク収納孔24が形成され、サンプルテーブル30xには全部で8個のワーク収納孔31が形成されている。これらのワーク収納孔の数はワーク測定装置1と同じである。各ワーク収納孔について、ワーク測定装置1と同様に固定位置と孔番号を記した模式図を図44(a)(b)(c)に示す。   Similar to the workpiece measuring device 1, the workpiece measuring device 21 has a function of recognizing the positions of the workpiece storage holes 24 of the transfer table 23 and the workpiece storage holes 31 of the sample table 30x. A total of 16 workpiece storage holes 24 are formed in the transfer table 23, and a total of eight workpiece storage holes 31 are formed in the sample table 30x. The number of these workpiece storage holes is the same as that of the workpiece measuring device 1. 44A, 44B, and 44C are schematic diagrams showing the fixed positions and the hole numbers in the same manner as the workpiece measuring device 1 for each workpiece storage hole.

図44(a)(b)(c)において、固定位置と孔番号の表記方法はワーク測定装置1の説明において引用した図8(a)(b)(c)と同一なので、詳細な説明は省略する。   44 (a) (b) (c), the notation method of the fixing position and the hole number is the same as that of FIGS. 8 (a) (b) (c) quoted in the description of the workpiece measuring apparatus 1, and therefore the detailed explanation is as follows. Omitted.

ここに、搬送テーブル23の固定位置<1>は図36において分離供給部26に対向するワーク収納孔の位置に付与されており、移載部30tの固定位置は、搬送テーブル23が(3)、サンプルテーブル30xが[8]である。   Here, the fixed position <1> of the transfer table 23 is given to the position of the work storage hole facing the separation supply unit 26 in FIG. 36, and the fixed position of the transfer unit 30t is (3). The sample table 30x is [8].

これらの付与方法は、ワーク測定装置1と同一である。また、搬送テーブル23の間歇回転方向A2およびサンプルテーブル30xの間歇回転方向X2は、図44(a)(b)(c)と図8(a)(b)(c)を比較すれば明らかなように、やはりワーク測定装置1と同一である。さらに、図44(c)に示すように、サンプルワークa〜dがあらかじめ収納されるサンプルテーブル30xのワーク収納孔31の孔番号もまた、ワーク測定装置1と同一である。すなわち、ワーク測定装置21において、通常測定モードの動作およびサンプル測定モードにおけるサンプルワークW2sをサンプルテーブル30xと搬送テーブル23との間で移載する手順は、各テーブルにおけるワーク収納孔の形状が異なる以外は、ワーク測定装置1における図11(a)(b)(c)乃至図27(a)(b)(c)と全く同じである。よって、詳細な説明は省略する。   These application methods are the same as those of the workpiece measuring apparatus 1. Further, the intermittent rotation direction A2 of the transport table 23 and the intermittent rotation direction X2 of the sample table 30x are apparent by comparing FIGS. 44 (a) (b) (c) and FIGS. 8 (a) (b) (c). Thus, it is the same as the workpiece measuring apparatus 1 as well. Furthermore, as shown in FIG. 44 (c), the hole number of the work storage hole 31 of the sample table 30 x in which the sample works a to d are stored in advance is also the same as that of the work measurement apparatus 1. That is, in the workpiece measuring device 21, the procedure for transferring the sample workpiece W2s between the sample table 30x and the transfer table 23 in the normal measurement mode and the sample measurement mode is that the shape of the workpiece storage hole in each table is different. These are the same as FIGS. 11A, 11B, 11C to 27A, 27B, and 27C in the workpiece measuring apparatus 1. Therefore, detailed description is omitted.

移載部30tを図38の矢印K2方向から見た透視図を図45に示す。図45において、移載部30tは、テーブルベース22、搬送テーブル23、サンプルテーブル30x、テーブルカバー30bが、この順にいずれも互いにわずかな間隙を有して右から左に並んで配置されている。搬送テーブル23のワーク収納孔24tとサンプルテーブル30xのワーク収納孔31tは、上述のようにそれぞれの開口部が対向している。   FIG. 45 shows a perspective view of the transfer unit 30t as viewed from the direction of the arrow K2 in FIG. In FIG. 45, the transfer unit 30t includes a table base 22, a transport table 23, a sample table 30x, and a table cover 30b arranged in this order from right to left with a slight gap therebetween. As described above, the work storage holes 24t of the transfer table 23 and the work storage holes 31t of the sample table 30x face each other.

また、テーブルベース22内には、ワーク収納孔24tの開口部に対向して開口するエア通路30p2が形成されている。同様に、テーブルカバー30b内には、ワーク収納孔31tの開口部に対向して開口するエア通路30p1が形成されている。さらに、テーブルベース22内には、ワーク収納孔24tの開口部に対向して開口するセンサ通路30s2が形成されている。   Further, an air passage 30p2 is formed in the table base 22 so as to face the opening of the work storage hole 24t. Similarly, an air passage 30p1 is formed in the table cover 30b so as to face the opening of the work storage hole 31t. Further, a sensor passage 30s2 that opens to face the opening of the work storage hole 24t is formed in the table base 22.

センサ通路30s2の右方となるテーブルベース22内には、ワーク収納孔24t内に向けて光を送出し、反射光を検出するか否かによってワーク収納孔24t内にサンプルワークW2sが移載されたか否かを検知する機能を有する光センサ24Lが配置されている。   In the table base 22 on the right side of the sensor passage 30s2, the sample work W2s is transferred into the work storage hole 24t depending on whether or not the reflected light is detected by sending light toward the work storage hole 24t. An optical sensor 24L having a function of detecting whether or not has been disposed is disposed.

この光センサ24Lは、第1の実施形態における図28(a)(b)乃至図35(a)(b)に示す光センサ光源4Laと光センサ4Lbとを一つにまとめた機能を有し、反射型フォトセンサ或いはフォトリフレクタ等の名称で市販されている。同様に、テーブルカバー30b内には、ワーク収納孔31tの開口部に対向して開口するセンサ通路30s1が形成されている。   This optical sensor 24L has a function in which the optical sensor light source 4La and the optical sensor 4Lb shown in FIGS. 28A, 28B, 35A, and 35B in the first embodiment are combined into one. In addition, it is commercially available under the name of a reflection type photo sensor or a photo reflector. Similarly, a sensor passage 30s1 is formed in the table cover 30b so as to open facing the opening of the work storage hole 31t.

センサ通路30s1の左方となるテーブルカバー30b内には、ワーク収納孔31t内に向けて光を送出し、反射光を検出するか否かによってワーク収納孔31t内にサンプルワークW2sが移載されたか否かを検知する機能を有する光センサ31Lが配置されている。   In the table cover 30b on the left side of the sensor passage 30s1, light is sent toward the work storage hole 31t, and the sample work W2s is transferred into the work storage hole 31t depending on whether or not the reflected light is detected. An optical sensor 31L having a function of detecting whether or not has been disposed is disposed.

この光センサ31Lは、第1の実施形態における図28(a)(b)乃至図35(a)(b)に示す光センサ光源11Laと光センサ11Lbとを一つにまとめた機能を有している。これらの光センサ24Lおよび光センサ31Lによって、移載検知手段が構成されている。移載部30tの拡大斜視図を図46に示す。   This optical sensor 31L has a function of integrating the optical sensor light source 11La and the optical sensor 11Lb shown in FIGS. 28A, 28B, 35A, and 35B in the first embodiment. ing. The optical sensor 24L and the optical sensor 31L constitute transfer detection means. FIG. 46 shows an enlarged perspective view of the transfer unit 30t.

図46に示すように、移載部30tにおいてテーブルベース22に形成されたエア通路30p2は切替弁142aに連通している。切替弁142aは3通りの切替モードx1、x2、x3を選択する機能を有する。切替モードx1はテーブルベース22内に設置された真空発生源132を選択するもので、このときエア通30p2は真空発生源132に連通し、ワーク収納孔24t内が矢印V302の方向に真空吸引される。また、切替モードx2はテーブルベース22内に設置された圧縮エア発生源152を選択するもので、このときエア通路30p2は圧縮エア発生源152に連通し、ワーク収納孔24t内に矢印C302の方向に圧縮エアが噴出する。また、切替モードx3は何も選択しないので、エア通路30p2はどこにも連通することがなく、ワーク収納孔24t内は大気圧の状態を保つ。   As shown in FIG. 46, the air passage 30p2 formed in the table base 22 in the transfer portion 30t communicates with the switching valve 142a. The switching valve 142a has a function of selecting three switching modes x1, x2, and x3. In the switching mode x1, the vacuum generation source 132 installed in the table base 22 is selected. At this time, the air passage 30p2 communicates with the vacuum generation source 132, and the work storage hole 24t is vacuumed in the direction of the arrow V302. The In the switching mode x2, the compressed air generation source 152 installed in the table base 22 is selected. At this time, the air passage 30p2 communicates with the compressed air generation source 152, and the direction of the arrow C302 is set in the work accommodation hole 24t. Compressed air is ejected. Further, since nothing is selected in the switching mode x3, the air passage 30p2 does not communicate anywhere, and the work storage hole 24t is kept at atmospheric pressure.

同様に、移載部10tにおいてテーブルカバー30bに形成されたエア通路30p1は切替弁142bに連通している。そして、切替弁142bが切替モードx1、x2、x3を選択することによって、ワーク収納孔24tと同様に、ワーク収納孔31t内が矢印V301の方向に真空吸引され、またワーク収納孔31t内に矢印C301の方向に圧縮エアが噴出し、またワーク収納孔31t内が大気圧の状態を保つ。   Similarly, the air passage 30p1 formed in the table cover 30b in the transfer part 10t communicates with the switching valve 142b. Then, when the switching valve 142b selects the switching mode x1, x2, x3, similarly to the work storage hole 24t, the work storage hole 31t is vacuum-sucked in the direction of the arrow V301, and the work storage hole 31t has an arrow. Compressed air is ejected in the direction of C301, and the inside of the work storage hole 31t is kept at atmospheric pressure.

移載部30tにおいて、ワーク収納孔31tにサンプルワークW2sが収納されている様子を図47に示す。切替弁142aは切替モードx3を選択し、切替弁142bは切替モードx1を選択している。このため、サンプルワークW2sは矢印V301の方向に真空吸引されて、ワーク収納孔31tに保持されている。この状態から、サンプルワークW2sがワーク収納孔31tに対向するワーク収納孔24tに移載されると、サンプルワークW2sの向きは図43に示すワークW2の向きに一致する。   FIG. 47 shows a state where the sample work W2s is stored in the work storage hole 31t in the transfer unit 30t. The switching valve 142a selects the switching mode x3, and the switching valve 142b selects the switching mode x1. For this reason, the sample work W2s is vacuum-sucked in the direction of the arrow V301 and is held in the work storage hole 31t. From this state, when the sample work W2s is transferred to the work storage hole 24t facing the work storage hole 31t, the direction of the sample work W2s coincides with the direction of the work W2 shown in FIG.

移載部30tにおけるサンプルワークW2sが移載される手順および移載完了の確認方法について、図48(a)(b)乃至図51(a)(b)を用いて説明する。その原理はワーク測定装置1における図28(a)(b)乃至図35(a)(b)と同一であるため、説明は大幅に簡略化して行う。図48(a)は図45に対応する透視図であり、図47はその斜視図である。図48(a)において、切替弁142aは切替モードx3を選択し、切替弁142bは切替モードx1を選択している。   A procedure for transferring the sample work W2s in the transfer unit 30t and a method for confirming transfer completion will be described with reference to FIGS. 48 (a), 48 (b) to 51 (a) (b). Since the principle is the same as that in FIGS. 28A and 28B to FIGS. 35A and 35B in the workpiece measuring apparatus 1, the description will be greatly simplified. 48 (a) is a perspective view corresponding to FIG. 45, and FIG. 47 is a perspective view thereof. In FIG. 48A, the switching valve 142a selects the switching mode x3, and the switching valve 142b selects the switching mode x1.

図48(a)に示すように、ワーク収納孔24t内は大気圧に保たれ、ワーク収納孔31t内は矢印V301の方向に真空吸引される。すなわち図48(a)においてサンプルワークW2sはワーク収納孔31t内に収納され、ワーク収納孔31tに対向するテーブルカバー30b内に形成されたセンサ通路30s1の直近に位置している。このため、光センサ31Lからセンサ通路30s1を通してワーク収納孔31t内に向けて送出された光はサンプルワークW2sによって反射し、その反射光L31がセンサ通路30s1を通って光センサ31Lに到達して検出される。   As shown in FIG. 48A, the work storage hole 24t is maintained at atmospheric pressure, and the work storage hole 31t is vacuum-sucked in the direction of the arrow V301. That is, in FIG. 48A, the sample work W2s is stored in the work storage hole 31t, and is positioned in the immediate vicinity of the sensor passage 30s1 formed in the table cover 30b facing the work storage hole 31t. For this reason, the light sent from the optical sensor 31L through the sensor passage 30s1 into the workpiece accommodation hole 31t is reflected by the sample work W2s, and the reflected light L31 reaches the optical sensor 31L through the sensor passage 30s1 and is detected. Is done.

他方、テーブルベース22内に配置された光センサ24Lからセンサ通路30s2を通してワーク収納孔31t内に向けて送出された光は、サンプルワークW2sがセンサ通路30s2から離間しているため、サンプルワークW2sに到達する前に減衰してしまう。よって、サンプルワークW2sによって反射する光はなく、光センサ24Lは何も検出しない。この場合は、サンプルワークW2sがサンプルテーブル30xに収納されていることが判る。この関係を図48(b)に示す。   On the other hand, the light sent from the optical sensor 24L arranged in the table base 22 through the sensor passage 30s2 into the work accommodation hole 31t is separated from the sensor passage 30s2, and thus the sample work W2s is separated from the sample work W2s. It will decay before it reaches. Therefore, there is no light reflected by the sample work W2s, and the optical sensor 24L detects nothing. In this case, it can be seen that the sample work W2s is stored in the sample table 30x. This relationship is shown in FIG.

図48(a)(b)の状態からサンプルワークW2sをサンプルテーブル30xから搬送テーブル23に移載する様子を図49(a)(b)に示す。   FIGS. 49 (a) and 49 (b) show how the sample work W2s is transferred from the sample table 30x to the transfer table 23 from the state of FIGS. 48 (a) and 48 (b).

図49(a)において、切替弁142aが切替モードx1を選択し、エア通路30p2が真空発生源132に連通して矢印V302の方向に真空吸引が行われる。同時に、切替弁142bが切替モードx2を選択し、エア通路30p1が圧縮エア発生源152に連通して矢印C301の方向に圧縮エアが噴出する。このため、サンプルワークW2sは矢印H2の方向に移動を開始し、図49(a)においてはサンプルテーブル30xから搬送テーブル23に移動中の状態である。   49A, the switching valve 142a selects the switching mode x1, the air passage 30p2 communicates with the vacuum generation source 132, and vacuum suction is performed in the direction of the arrow V302. At the same time, the switching valve 142b selects the switching mode x2, the air passage 30p1 communicates with the compressed air generation source 152, and compressed air is ejected in the direction of the arrow C301. For this reason, the sample work W2s starts to move in the direction of the arrow H2, and is in a state of being moved from the sample table 30x to the transfer table 23 in FIG.

図49(a)に示すように、サンプルワークW2sはセンサ通路30s1および30s2のいずれからも離間しているため、光センサ31Lからセンサ通路30s1を通してワーク収納孔31t内に向けて送出された光および光センサ24Lからセンサ通路30s2を通してワーク収納孔24t内に向けて送出された光は、いずれもサンプルワークW2sに到達する前に減衰してしまう。このためサンプルワークW2sによって反射する光はなく、光センサ31Lおよび24Lは何も検出しない。この関係を図49(b)に示す。この状態からさらに時間が経過して、サンプルワークW2sが搬送テーブル23に移載された状態を図50(a)に示す。   As shown in FIG. 49 (a), since the sample work W2s is separated from both the sensor passages 30s1 and 30s2, the light sent from the optical sensor 31L through the sensor passage 30s1 into the work accommodation hole 31t and All of the light transmitted from the optical sensor 24L through the sensor passage 30s2 into the work storage hole 24t is attenuated before reaching the sample work W2s. For this reason, there is no light reflected by the sample work W2s, and the optical sensors 31L and 24L detect nothing. This relationship is shown in FIG. FIG. 50A shows a state where the sample work W2s has been transferred to the transfer table 23 after a further time has elapsed from this state.

図50(a)に示すように、サンプルワークW2sはワーク収納孔24t内に収納され、ワーク収納孔24tに対向するテーブルベース22内に形成されたセンサ通路30s2の直近に位置している。よって、光センサ31Lおよび24Lによる検出状況は図48(b)の場合と逆転して、図50(b)のようになる。   As shown in FIG. 50A, the sample work W2s is stored in the work storage hole 24t, and is positioned in the immediate vicinity of the sensor passage 30s2 formed in the table base 22 facing the work storage hole 24t. Therefore, the detection status by the optical sensors 31L and 24L is reversed to the case of FIG. 48 (b) and becomes as shown in FIG. 50 (b).

すなわち、移載部30tにおいて、光センサ31Lおよび24Lが反射光を検出するか非検出であるかの情報を図36に示す制御部32に送信しておけば、それらの情報が図48(b)から図49(b)を経て図50(b)の状態に変化したときに、制御部32はサンプルワークW2sがサンプルテーブル30xから搬送テーブル23に移載されたと判断することができる。同様に、サンプルワークW2sを搬送テーブル23からサンプルテーブル30xに移載する際には、図50(a)(b)の状態から図51(a)(b)の状態を経て図48(a)(b)の状態に変化する。   That is, if the information on whether the optical sensors 31L and 24L detect the reflected light or not is transmitted to the control unit 32 shown in FIG. 36 in the transfer unit 30t, the information is shown in FIG. ) Through FIG. 49 (b) and the state shown in FIG. 50 (b), the control unit 32 can determine that the sample work W 2 s has been transferred from the sample table 30 x to the transport table 23. Similarly, when the sample work W2s is transferred from the transfer table 23 to the sample table 30x, the state shown in FIGS. 50A and 50B is changed to the state shown in FIGS. It changes to the state of (b).

図51(a)において、切替弁142aが切替モードx2を選択し、エア通路30p2が圧縮エア発生源152に連通して矢印C302の方向に圧縮エアが噴出する。同時に、切替弁142bが切替モードx1を選択し、エア通路30p1が真空発生源132に連通して矢印V301の方向に真空吸引が行われる。このため、サンプルワークW2sは矢印J2の方向に移動を開始し、図51(a)においては搬送テーブル23からサンプルテーブル30xに移動中の状態である。このとき、光センサ31Lおよび24Lに対するサンプルワークW2sの位置は図49(a)(b)に示す状態と同様であるため、各光センサの反射光検出は図51(b)のようになる。   In FIG. 51A, the switching valve 142a selects the switching mode x2, the air passage 30p2 communicates with the compressed air generation source 152, and compressed air is ejected in the direction of the arrow C302. At the same time, the switching valve 142b selects the switching mode x1, the air passage 30p1 communicates with the vacuum generation source 132, and vacuum suction is performed in the direction of the arrow V301. For this reason, the sample work W2s starts to move in the direction of the arrow J2, and is in a state of being moved from the transport table 23 to the sample table 30x in FIG. At this time, since the position of the sample work W2s with respect to the optical sensors 31L and 24L is the same as the state shown in FIGS. 49A and 49B, the reflected light detection of each optical sensor is as shown in FIG.

すなわち、移載部30tにおいて、光センサ31Lおよび24Lが反射光を検出するか非検出であるかの情報を図36に示す制御部32に送信しておけば、それらの情報が図50(b)から図51(b)を経て図48(b)の状態に変化したときに、制御部32はサンプルワークW2sが搬送テーブル23からサンプルテーブル30xに移載されたと判断することができる。   That is, in the transfer unit 30t, if information on whether the optical sensors 31L and 24L detect reflected light or not is transmitted to the control unit 32 shown in FIG. 36, the information is shown in FIG. ) Through FIG. 51 (b) and the state shown in FIG. 48 (b), the control unit 32 can determine that the sample work W2s has been transferred from the transport table 23 to the sample table 30x.

以上のように、図36に示すワーク測定装置21においても、図1に示すワーク測定装置1と同様にサンプル測定モードによる動作が可能であり、その測定結果とあらかじめ制御部32内の記憶部に記憶されている各サンプルワークの既知の測定結果を比較する。そして、両方の測定結果の差異があらかじめ定めた規格値を外れていた測定部については、上述のワーク測定装置1と同様に警報を発して作業者に通知する。   As described above, the workpiece measuring device 21 shown in FIG. 36 can operate in the sample measurement mode similarly to the workpiece measuring device 1 shown in FIG. 1, and the measurement result and the storage unit in the control unit 32 are stored in advance. Compare the stored measurement results of each sample work. And about the measurement part from which the difference of both the measurement results deviated from the predetermined standard value, similarly to the above-mentioned workpiece measurement device 1, an alarm is issued and the operator is notified.

第3の実施の形態
次に本発明の第3の実施形態を図52乃至図66を用いて説明する。
Third Embodiment Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

本発明を適用したワーク測定装置41の平面図を図52に示す。また、図52を矢印N方向から見た正面図を図53に示す。   A plan view of the workpiece measuring apparatus 41 to which the present invention is applied is shown in FIG. FIG. 53 shows a front view of FIG. 52 viewed from the direction of arrow N.

ただし、簡単のために、図53においては図52の主要部分以外は表記していない。ワーク測定装置41は、搬送体としての水平な搬送テーブル43を有し、搬送テーブル43の一面側に搬送テーブル43に対して進退自在の搬送ノズル44が保持部として設けられている。図52および図53において、水平に配置されたテーブルベース42の上方に離間して、搬送体としての円形の搬送テーブル43が中心軸である支柱43aに支持されて回転自在に配置されている。   However, for the sake of simplicity, FIG. 53 does not show other than the main part of FIG. The workpiece measuring device 41 has a horizontal transfer table 43 as a transfer body, and a transfer nozzle 44 that can move forward and backward with respect to the transfer table 43 is provided on one surface side of the transfer table 43 as a holding unit. In FIG. 52 and FIG. 53, a circular transfer table 43 as a transfer body is spaced apart above a horizontally arranged table base 42 and is rotatably supported by a support 43a as a central axis.

搬送テーブル43は、図示されない駆動機構の作用によって支柱43aの周囲に図52に示す矢印A3の方向に間歇回転する。搬送テーブル43の外周部に近接して、テーブルベース42に面した一面側に複数の搬送ノズル44が配置されている。図53に示すように、搬送ノズル44は図示されない駆動機構の作用により、搬送テーブル43の一面に対して矢印Qおよび矢印Rの方向に進退自在である。図53はすべての搬送ノズル44が上限位置にある状態を示す。搬送テーブル43は搬送ノズル44がこの上限位置にある状態で間歇回転する。搬送ノズル44の下端には、被測定ワークとしての後述するワークW3およびワークW3と同一のサンプルワークW3sが個別に保持されて搬送される。   The transport table 43 is intermittently rotated in the direction of the arrow A3 shown in FIG. 52 around the support 43a by the action of a drive mechanism (not shown). In the vicinity of the outer peripheral portion of the transfer table 43, a plurality of transfer nozzles 44 are arranged on one side facing the table base 42. As shown in FIG. 53, the transport nozzle 44 can be moved back and forth in the directions of arrows Q and R with respect to one surface of the transport table 43 by the action of a drive mechanism (not shown). FIG. 53 shows a state in which all the transport nozzles 44 are at the upper limit position. The transfer table 43 rotates intermittently with the transfer nozzle 44 in the upper limit position. A workpiece W3 to be described later as a workpiece to be measured and a sample workpiece W3s identical to the workpiece W3 are individually held and conveyed at the lower end of the conveyance nozzle 44.

図52に示すように、テーブルベース42上には、搬送テーブル43の外周部直下に向けて直線形状のリニアフィーダ5が配置されている。リニアフィーダ5は図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークW3を1列状態で矢印B3方向に搬送する機能を有する。リニアフィーダ5の終端部は搬送テーブル43の外周部直下において、テーブルベース42の上面に位置する。そして、その位置からわずかに搬送テーブル43の支柱43aに近く、かつ搬送ノズル44の直下となる位置には、リニアフィーダ5上のワークW3を1個ずつ分離して個別に搬送ノズル44に供給する分離供給手段としての分離供給台46が配置されている。   As shown in FIG. 52, a linear feeder 5 having a linear shape is arranged on the table base 42 so as to be directly below the outer peripheral portion of the transport table 43. The linear feeder 5 vibrates by the action of a drive mechanism (not shown), and has a function of conveying the workpiece W3 in the direction of the arrow B3 in a single row state by this vibration. The terminal portion of the linear feeder 5 is located on the upper surface of the table base 42 immediately below the outer peripheral portion of the transport table 43. Then, the workpiece W3 on the linear feeder 5 is separated one by one and supplied to the conveying nozzle 44 individually at a position slightly close to the column 43a of the conveying table 43 from the position and directly below the conveying nozzle 44. A separation supply stand 46 as a separation supply means is arranged.

この分離供給台46から搬送テーブル43の間歇回転方向すなわち矢印A3方向に沿って、ワーク測定装置1と同様に、ワークW3の各種特性の測定を行う測定手段としての第1測定部47a、第2測定部47b、第3測定部47c、および測定の結果に基づいて不良と判定されたワークW3を搬送ノズル44から排出する排出手段としての不良ワーク排出部48、測定の結果に基づいて良品と判定されたワークW3を搬送ノズル44から排出する排出手段としての良品ワーク排出部49が、この順に配置されている。   Similar to the workpiece measuring device 1, along the intermittent rotation direction of the conveying table 43 from the separation supply base 46, that is, in the direction of the arrow A3, the first measuring unit 47a and the second measuring unit 47a are used as measuring means for measuring various characteristics of the workpiece W3. The measurement unit 47b, the third measurement unit 47c, and the defective workpiece discharge unit 48 as a discharge unit that discharges the workpiece W3 determined to be defective from the measurement result from the transport nozzle 44, and is determined to be non-defective based on the measurement result A non-defective workpiece discharge portion 49 is disposed in this order as a discharge means for discharging the workpiece W3 from the transfer nozzle 44.

また、搬送テーブル43の間歇回転方向すなわち矢印A3方向に沿って、分離供給台46と第1測定部47aの間となるテーブルベース42の上面に、サンプルワーク供給手段としてのサンプルテーブル10xが配置され、かつサンプルテーブル10xと搬送テーブル43との間でサンプルワークW3sの移載を行う移載位置としての移載部50tが配置されている。サンプルテーブル10xは第1の実施形態において説明したものと同一の形状である。また、移載部50tは、サンプルテーブル10xのワーク収納孔11が搬送ノズル44の直下となる位置に配置されている。また、ワーク測定装置41を構成する搬送テーブル43、分離供給部46、第1測定部47a、第2測定部47b、第3測定部47c、不良ワーク排出部48、良品ワーク排出部49、サンプルテーブル10xおよび移載部50tの動作を制御するための制御部52が配置されている。   A sample table 10x as a sample work supply unit is disposed on the upper surface of the table base 42 between the separation supply base 46 and the first measurement unit 47a along the intermittent rotation direction of the transfer table 43, that is, the arrow A3 direction. In addition, a transfer unit 50t is disposed as a transfer position for transferring the sample work W3s between the sample table 10x and the transfer table 43. The sample table 10x has the same shape as that described in the first embodiment. In addition, the transfer unit 50 t is disposed at a position where the workpiece storage hole 11 of the sample table 10 x is directly below the transport nozzle 44. Further, the conveyance table 43, the separation supply unit 46, the first measurement unit 47a, the second measurement unit 47b, the third measurement unit 47c, the defective workpiece discharge unit 48, the non-defective workpiece discharge unit 49, and the sample table that constitute the workpiece measurement device 41. A control unit 52 for controlling the operation of 10x and the transfer unit 50t is arranged.

また、制御部52はサンプル測定モードをとったとき、サンプルワークW3sの基準特性とワークW3との測定結果とを比較する比較部52bと、比較部52bにより比較した結果、両者の差異が所定値を越えた際、警報を発する警報部52cとを有している。また制御部52は通常測定モードをとったとき、第1測定部47a、第2測定部47b、第3測定部47cによる測定結果に基づいてワークW3が良品か不良品かの判定を行なう判定部52dと、制御部52のモードを切替える自動切替手段52fとを有している。   In addition, when the control unit 52 takes the sample measurement mode, the comparison unit 52b that compares the reference characteristic of the sample workpiece W3s and the measurement result of the workpiece W3 and the comparison unit 52b compare them, and the difference between the two is a predetermined value. And an alarm unit 52c that issues an alarm when the value exceeds. When the control unit 52 is in the normal measurement mode, the determination unit determines whether the workpiece W3 is a non-defective product or a defective product based on the measurement results obtained by the first measurement unit 47a, the second measurement unit 47b, and the third measurement unit 47c. 52d and automatic switching means 52f for switching the mode of the control unit 52.

ここで、ワークW3について説明する。図54にワークW3の斜視図を、またワークW3を図54における矢印C3、D3、E3の方向から見た図をそれぞれ図55(a)、(b)、(c)に示す。ワークW3は発光ダイオード(LED)である。図54および図55に示すように、ワークW3は図3および図4に示すワークW1と類似した形状を有している。すなわち、ワークW3は絶縁体により6面体形状に形成され、その1面である面W3f4に透明な樹脂で覆われた発光面W3Lが略平面状に形成されるとともに、面W3f4に隣接し、かつ互いに対向する2面である面W3f2および面W3f3に、それぞれ導電体からなる電極W3a、W3bが突出している。そして、電極W3a、W3bとワークW3の電気回路との対応は図5と同様である。   Here, the workpiece W3 will be described. FIG. 54 is a perspective view of the workpiece W3, and FIGS. 55A, 55B, and 55C are views of the workpiece W3 viewed from the directions of arrows C3, D3, and E3 in FIG. The work W3 is a light emitting diode (LED). As shown in FIGS. 54 and 55, the workpiece W3 has a shape similar to that of the workpiece W1 shown in FIGS. That is, the work W3 is formed in a hexahedron shape by an insulator, and a light emitting surface W3L covered with a transparent resin is formed in a substantially planar shape on a surface W3f4 which is one surface thereof, and is adjacent to the surface W3f4, and Electrodes W3a and W3b made of a conductor project on surfaces W3f2 and W3f3, which are two surfaces facing each other, respectively. The correspondence between the electrodes W3a and W3b and the electric circuit of the work W3 is the same as that in FIG.

すなわち、電極W3aがアノード、電極W3bがカソードであり、直流電圧源から、あらかじめ規定された直流電圧を電極W3aが電極W3bよりも高い電位となるようにワークW3に対して供給すると、発光面W3Lが発光する。このように、電極W3aと電極W3bには方向性があるので、ワークW3を外部から見た時にその方向を識別する必要がある。この目的のために、面W3f1の電極W3bに近い側の角部に、電極W3bがカソードであることを示すカソードマークW3mが印刷されている。ワークW3を構成する6面体の各辺の長さ(図55におけるa3、b3、c3)は、カソードマークW3mが印刷されている面W3f1の各辺の長さa3、b3が5mm〜7mm程度で、電極W3a、W3bが突出する面W3f2および面W3f3の短辺の長さc3が2mm程度の製品が市販されている。   That is, when the electrode W3a is an anode and the electrode W3b is a cathode, and a predetermined DC voltage is supplied from the DC voltage source to the workpiece W3 so that the electrode W3a has a higher potential than the electrode W3b, the light emitting surface W3L Emits light. Thus, since the electrode W3a and the electrode W3b have directionality, it is necessary to identify the direction when the work W3 is viewed from the outside. For this purpose, a cathode mark W3m indicating that the electrode W3b is a cathode is printed on a corner of the surface W3f1 on the side close to the electrode W3b. The length (a3, b3, c3 in FIG. 55) of each side of the hexahedron constituting the workpiece W3 is such that the lengths a3, b3 of each side of the surface W3f1 on which the cathode mark W3m is printed are about 5 mm to 7 mm. A product having a surface W3f2 from which the electrodes W3a and W3b protrude and a length c3 of a short side of the surface W3f3 of about 2 mm is commercially available.

図54および図55に示すように、ワークW3は図3および図4に示すワークW1とは異なり、それを構成する6面の中で最も面積の広い面W3f1に発光面を有していないため、後述のように、面W3f1を搬送ノズル44によって吸着して搬送することができる。   As shown in FIGS. 54 and 55, the workpiece W3 is different from the workpiece W1 shown in FIGS. 3 and 4 because the surface W3f1 having the largest area among the six surfaces constituting the workpiece W3 does not have a light emitting surface. As will be described later, the surface W3f1 can be sucked and transported by the transport nozzle 44.

ワーク測定装置41はワーク測定装置1と同様に、搬送テーブル43の搬送ノズル44およびサンプルテーブル10xのワーク収納孔11の位置認識機能を有している。ここに、搬送テーブル43はワーク測定装置1における搬送テーブル3のワーク収納孔4に代えて搬送ノズル44を配置しているので、搬送テーブル3の説明で用いた孔番号をノズル番号と言い換えて説明する。搬送テーブル43には全部で16個の搬送ノズル44が配置され、サンプルテーブル10xには全部で8個のワーク収納孔11が形成されている。これらの搬送ノズルおよびワーク収納孔の数はワーク測定装置1と同じである。各搬送ノズルおよびワーク収納孔について、ワーク測定装置1と同様に固定位置とノズル番号或いは孔番号を記した模式図を図56に示す。固定位置とノズル番号或いは孔番号の表記方法は、ワーク測定装置1の説明において引用した図8と同一なので、詳細な説明は省略する。   Similar to the workpiece measuring device 1, the workpiece measuring device 41 has a function of recognizing the positions of the transfer nozzle 44 of the transfer table 43 and the workpiece storage hole 11 of the sample table 10x. Here, since the transfer table 43 is provided with a transfer nozzle 44 instead of the work storage hole 4 of the transfer table 3 in the workpiece measuring apparatus 1, the hole number used in the description of the transfer table 3 is referred to as a nozzle number. To do. A total of 16 transfer nozzles 44 are arranged on the transfer table 43, and a total of 8 workpiece storage holes 11 are formed in the sample table 10x. The number of these transfer nozzles and workpiece storage holes is the same as that of the workpiece measuring apparatus 1. FIG. 56 is a schematic diagram showing the fixed position and the nozzle number or hole number for each transfer nozzle and workpiece storage hole, as in the workpiece measuring device 1. The notation method of the fixed position and the nozzle number or the hole number is the same as that in FIG.

ここに、搬送テーブル43の固定位置<1>は図52において分離供給台46の直上に配置された搬送ノズルの位置に付与されており、移載部50tの固定位置は、搬送テーブル43が(3)、サンプルテーブル10xが[8]である。これらの付与方法は、ワーク測定装置1と同一である。   Here, the fixed position <1> of the transfer table 43 is given to the position of the transfer nozzle arranged immediately above the separation supply base 46 in FIG. 3) The sample table 10x is [8]. These application methods are the same as those of the workpiece measuring apparatus 1.

また、搬送テーブル43の間歇回転方向A3およびサンプルテーブル10xの間歇回転方向X3は、図56と図8を比較すれば明らかなように、やはりワーク測定装置1と同一である。さらに、サンプルワークa〜dがあらかじめ収納されるサンプルテーブル10xのワーク収納孔11の孔番号もまた、ワーク測定装置1と同一である。すなわち、ワーク測定装置41において、通常測定モードの動作およびサンプル測定モードにおけるサンプルワークW3sをサンプルテーブル10xと搬送テーブル43との間で移載する手順は、搬送テーブル43がワーク収納孔に代えて搬送ノズルを有する以外は、ワーク測定装置1における図11乃至図27と全く同じである。よって、詳細な説明は省略する。   Further, the intermittent rotation direction A3 of the transport table 43 and the intermittent rotation direction X3 of the sample table 10x are the same as those of the workpiece measuring apparatus 1 as is apparent from a comparison of FIGS. Furthermore, the hole number of the workpiece storage hole 11 of the sample table 10x in which the sample workpieces a to d are stored in advance is also the same as that of the workpiece measuring apparatus 1. That is, in the workpiece measuring device 41, the operation of the normal measurement mode and the procedure for transferring the sample workpiece W3s in the sample measurement mode between the sample table 10x and the transfer table 43 are transferred by the transfer table 43 instead of the workpiece storage holes. Except having a nozzle, it is exactly the same as FIGS. 11 to 27 in the workpiece measuring apparatus 1. Therefore, detailed description is omitted.

次にこのような構成を有するワーク測定装置41の作用、すなわちワーク測定方法について、以下に説明する。図52において、ワークW3は図示されないパーツフィーダにまとめて投入される。   Next, an operation of the workpiece measuring apparatus 41 having such a configuration, that is, a workpiece measuring method will be described below. In FIG. 52, the workpiece W3 is put together in a parts feeder (not shown).

そして、図示されない方向検知機構の作用によって、図54に示す発光面W3Lがワークの進行方向すなわち図52に示す矢印B3方向と逆方向となるように方向を揃えられて、リニアフィーダ5上に1列に並ぶ。図52においてリニアフィーダ5の作用により矢印B3方向に一列状態で搬送されたワークW3は、その終端部に到達すると、図示されない分離供給機構の作用により、図56における矢印G3方向に分離供給台46に向けて個別に移載される。分離供給台46の上にワークW3が移載されると、図53において分離供給台46の直上の上限位置に停止している、下端にワークW3を保持していない搬送ノズル44が矢印Q方向に下降する。そして、図57に示すように、搬送ノズル44の下端が分離供給台46に載置されたワークW3の面W3f1に当接した状態で停止する。   Then, due to the action of a direction detection mechanism (not shown), the light emitting surface W3L shown in FIG. 54 is aligned in the direction opposite to the work traveling direction, that is, the direction of the arrow B3 shown in FIG. Line up in a row. In FIG. 52, when the workpiece W3 conveyed in a line in the direction of arrow B3 by the action of the linear feeder 5 reaches the end portion thereof, the separation supply base 46 in the direction of arrow G3 in FIG. It is transferred individually for. When the workpiece W3 is transferred onto the separation supply table 46, the transport nozzle 44 that is stopped at the upper limit position directly above the separation supply table 46 in FIG. To descend. Then, as shown in FIG. 57, the conveyance nozzle 44 stops in a state where the lower end of the conveyance nozzle 44 is in contact with the surface W3f1 of the workpiece W3 placed on the separation supply base 46.

この場合、搬送ノズル44の内部にはエア通路44aが形成され、搬送ノズル44の下端に開口部44bが開口している。そして、エア通路44aは図53に示す搬送テーブル43および中心軸43aを経由してテーブルベース42内に到達し、そこに配置された切替弁16aに連通している。   In this case, an air passage 44 a is formed inside the transport nozzle 44, and an opening 44 b is opened at the lower end of the transport nozzle 44. The air passage 44a reaches the table base 42 via the transfer table 43 and the central shaft 43a shown in FIG. 53, and communicates with the switching valve 16a disposed there.

切替弁16aは2通りの切替モードy1、y3を選択する機能を有する。切替モードy1はテーブルベース42内に設置された真空発生源133aを選択するもので、このときエア通路44bは真空発生源133aに連通し、矢印F44の方向に真空吸引される。   The switching valve 16a has a function of selecting two switching modes y1 and y3. The switching mode y1 selects the vacuum generation source 133a installed in the table base 42. At this time, the air passage 44b communicates with the vacuum generation source 133a and is vacuumed in the direction of the arrow F44.

一方、切替モードy3は何も選択しないので、エア通路44bはどこにも連通することがなく、大気圧の状態を保つ。搬送ノズル44が図53において分離供給台46の直上の上限位置に停止している状態から矢印Qの方向に下降して、図57に示すように、その下端がワークW3の面W3f1に当接するまでの間は、切替弁16aは切替モードy3を選択する。   On the other hand, since nothing is selected in the switching mode y3, the air passage 44b does not communicate anywhere and maintains the atmospheric pressure state. The transport nozzle 44 descends in the direction of arrow Q from the state where it is stopped at the upper limit position directly above the separation supply base 46 in FIG. 53, and as shown in FIG. 57, the lower end abuts against the surface W3f1 of the workpiece W3. Until this time, the switching valve 16a selects the switching mode y3.

すなわち、エア通路44bは大気圧の状態である。そして、搬送ノズル44の下端がワークW3の面W3f1に当接して停止すると、切替弁16aは切替モードy1を選択する。このときエア通路44bは真空発生源133aに連通し、矢印F44の方向に真空吸引されるので、ワークW3は搬送ノズル44の下端に吸着されて保持される。このとき、図57に示すワークW3は、上述のようにリニアフィーダ5上で方向が揃っているため、矢印S方向が図56における矢印G3方向に一致する。すなわち、ワークW3は発光面W3Lが搬送テーブル43の外側に向くように搬送ノズル44に保持される。   That is, the air passage 44b is in an atmospheric pressure state. When the lower end of the transport nozzle 44 comes into contact with the surface W3f1 of the workpiece W3 and stops, the switching valve 16a selects the switching mode y1. At this time, the air passage 44b communicates with the vacuum generation source 133a and is vacuum-sucked in the direction of the arrow F44, so that the work W3 is attracted and held by the lower end of the transport nozzle 44. At this time, since the direction of the workpiece W3 shown in FIG. 57 is aligned on the linear feeder 5 as described above, the arrow S direction coincides with the arrow G3 direction in FIG. That is, the workpiece W3 is held by the transport nozzle 44 so that the light emitting surface W3L faces the outside of the transport table 43.

次に、搬送ノズル44はワークW3を保持したまま、図53の矢印R方向に上昇して上限位置で停止する。そして、搬送テーブル43が図52の矢印A3方向に間歇回転し、ワークW3を搬送する。   Next, the transport nozzle 44 rises in the direction of arrow R in FIG. 53 while holding the workpiece W3, and stops at the upper limit position. Then, the transfer table 43 is intermittently rotated in the direction of arrow A3 in FIG. 52 to transfer the workpiece W3.

そして、ワークW3は移載部50tを通過して、第1測定部47aで停止する。そして、搬送ノズル44は図53に示す矢印Q方向に下降し、ワークW3はテーブルベース42上に配置された、図示されない測定台上に載置される。そして、ワーク測定装置1の第1測定部7aと同様に、図示されない直流電源および波長計を使用して、ワークW3の波長測定を実施する。この測定の間、ワークW3は搬送ノズル44に吸着保持された状態を維持する。測定が終了すると、搬送ノズル44はワークW3を保持したまま、図53の矢印R方向に上昇して上限位置で停止する。そして、搬送テーブル43が図52の矢印A3方向に間歇回転し、ワークW3を搬送する。そして、ワークW3は第1測定部47aと同様に、第2測定部47b、第3測定部47cに順次停止し、搬送ノズル44の下降、各測定部における測定項目の測定、搬送ノズル44の上昇を繰り返す。   Then, the workpiece W3 passes through the transfer unit 50t and stops at the first measurement unit 47a. The transport nozzle 44 descends in the direction of arrow Q shown in FIG. 53, and the workpiece W3 is placed on a measurement table (not shown) disposed on the table base 42. And similarly to the 1st measurement part 7a of the workpiece | work measuring apparatus 1, the wavelength measurement of the workpiece | work W3 is implemented using the DC power supply and wavelength meter which are not shown in figure. During this measurement, the work W3 is maintained in the state of being sucked and held by the transport nozzle 44. When the measurement is completed, the transport nozzle 44 rises in the direction of arrow R in FIG. 53 and stops at the upper limit position while holding the workpiece W3. Then, the transfer table 43 is intermittently rotated in the direction of arrow A3 in FIG. 52 to transfer the workpiece W3. Then, similarly to the first measurement unit 47a, the workpiece W3 is sequentially stopped at the second measurement unit 47b and the third measurement unit 47c, and the conveyance nozzle 44 is lowered, the measurement item is measured in each measurement unit, and the conveyance nozzle 44 is raised. repeat.

ここに、第2測定部47b、第3測定部47cに対応する測定項目は、第1の実施形態におけるワーク測定装置1の第2測定部7b、第3測定部7cにおける測定項目と同一である。よって、詳細な説明は省略する。   Here, the measurement items corresponding to the second measurement unit 47b and the third measurement unit 47c are the same as the measurement items in the second measurement unit 7b and the third measurement unit 7c of the workpiece measurement apparatus 1 in the first embodiment. . Therefore, detailed description is omitted.

以上の測定が終了すると、第1測定部47a、第2測定部47b、第3測定部47cからの測定結果に基づいて制御部52は判定部52dによりワークW3が良品か不良品かを判定する。そして、その判定結果に対応して、搬送テーブル43の間歇回転により、不良ワーク排出部48あるいは良品ワーク排出部49において搬送ノズル44に吸着保持されたワークW3を排出する。   When the above measurement is completed, the control unit 52 determines whether the workpiece W3 is a non-defective product or a defective product by the determination unit 52d based on the measurement results from the first measurement unit 47a, the second measurement unit 47b, and the third measurement unit 47c. . Corresponding to the determination result, the workpiece W3 sucked and held by the transfer nozzle 44 in the defective workpiece discharge unit 48 or the non-defective workpiece discharge unit 49 is discharged by intermittent rotation of the transfer table 43.

排出の際には、各ワーク排出部48、49において、図57に示す切替弁16aが切替モードy3を選択し、エア通路44aを大気圧とすることによって、ワークW3を搬送ノズル44の下端から重力による自然落下で、図示されない排出口へと導く。   When discharging, in each workpiece discharge section 48, 49, the switching valve 16a shown in FIG. 57 selects the switching mode y3, and the air passage 44a is set to atmospheric pressure, whereby the workpiece W3 is moved from the lower end of the transfer nozzle 44. It leads to a discharge port (not shown) by natural fall due to gravity.

図52において、良品ワーク排出部49以降はすべての搬送ノズル44の下端が何も保持しない状態になり、搬送テーブル43の間歇回転により分離供給台46の直上位置に到達した搬送ノズル44には、再びワークW3が吸着保持され、上記と同様の作用が繰り返される。以上の一連の作用が通常測定モードであり、すべて制御部52の制御に基づいて実行される。   In FIG. 52, after the non-defective workpiece discharge section 49, the lower ends of all the transport nozzles 44 are not held at all, and the transport nozzle 44 that has reached the position immediately above the separation supply base 46 by intermittent rotation of the transport table 43 includes: The workpiece W3 is again held by suction, and the same operation as described above is repeated. The series of operations described above is the normal measurement mode, and all the operations are executed based on the control of the control unit 52.

次に、サンプル測定モードについて説明する。上述のように、ワーク測定装置41において、搬送テーブル43の搬送ノズル44およびサンプルテーブル10xのワーク収納孔11の位置認識機能はワーク測定装置1と同様である。   Next, the sample measurement mode will be described. As described above, in the workpiece measuring device 41, the function of recognizing the positions of the transfer nozzle 44 of the transfer table 43 and the workpiece storage hole 11 of the sample table 10x is the same as that of the workpiece measuring device 1.

また、サンプル測定モードにおけるサンプルワークW3sをサンプルテーブル10xと搬送テーブル43との間で移載する手順もまた、ワーク測定装置1と同様である。よって、ここでは、移載部50tにおける移載方法と移載検知手段についてのみ説明する。   The procedure for transferring the sample work W3s in the sample measurement mode between the sample table 10x and the transfer table 43 is also the same as that of the work measurement apparatus 1. Therefore, only the transfer method and transfer detection means in the transfer unit 50t will be described here.

図58に、サンプルワークW3sがサンプルテーブル10xのワーク収納孔11に収納されている様子を斜視図として示す。移載部50tにおけるワーク収納孔11の上側は開放されている。また、サンプルワークW3sは、発光面W3Lがサンプルテーブル10xの外周側に向くように、かつ面W3f1が上側を向くようにして、ワーク収納孔11内に収納されている。   FIG. 58 is a perspective view showing a state in which the sample work W3s is stored in the work storage hole 11 of the sample table 10x. The upper side of the work accommodation hole 11 in the transfer part 50t is opened. The sample work W3s is stored in the work storage hole 11 so that the light emitting surface W3L faces the outer peripheral side of the sample table 10x and the surface W3f1 faces the upper side.

すなわち、図52において、移載部50tにおけるサンプルワークW3sの発光面W3Lは、矢印T方向に面している。移載部50tにおいて、ワーク収納孔11内は、図10に示すワーク測定装置1におけるサンプルテーブル10xの場合と同様に、エア通路50vを経由して切替弁16bに連通している。切替弁16bは2通りの切替モードy1、y3を選択する機能を有する。   That is, in FIG. 52, the light emission surface W3L of the sample work W3s in the transfer part 50t faces the arrow T direction. In the transfer part 50t, the inside of the work accommodation hole 11 communicates with the switching valve 16b via the air passage 50v, as in the case of the sample table 10x in the work measurement apparatus 1 shown in FIG. The switching valve 16b has a function of selecting two switching modes y1 and y3.

このうち切替モードy1はテーブルベース42内に設置された真空発生源133bを選択するもので、このときエア通路50vは真空発生源133bに連通し、ワーク収納孔11内が矢印F50の方向に真空吸引される。他方、切替モードy3は何も選択しないので、エア通路50vはどこにも連通することがなく、ワーク収納孔11内は大気圧の状態を保つ。   Among these, the switching mode y1 selects the vacuum generation source 133b installed in the table base 42. At this time, the air passage 50v communicates with the vacuum generation source 133b, and the work storage hole 11 is evacuated in the direction of the arrow F50. Sucked. On the other hand, since nothing is selected in the switching mode y3, the air passage 50v does not communicate anywhere, and the work storage hole 11 is kept at atmospheric pressure.

サンプル測定モードにおいて、サンプルワークW3sをワーク収納孔11と搬送ノズル44との間で移載する方法と移載完了を確認する方法について、移載部50tの模式図である図59(a)(b)乃至図66(a)(b)を用いて説明する。図59(a)は、サンプルワークW3sを収納したワーク収納孔11の直上の上限位置に、搬送ノズル44が停止している状態を示す。   FIG. 59A is a schematic diagram of the transfer section 50t regarding a method for transferring the sample work W3s between the work storage hole 11 and the transfer nozzle 44 and a method for confirming transfer completion in the sample measurement mode. This will be described with reference to (b) to (a) and (b) of FIG. FIG. 59A shows a state where the transport nozzle 44 is stopped at the upper limit position immediately above the workpiece storage hole 11 storing the sample workpiece W3s.

図59(a)に示すように、切替弁16aは切替モードy3を選択し、搬送ノズル44のエア通路44aは大気圧となっている。ここに、エア通路44aには、切替弁16aに至る途中に、エア通路本体44xから分岐するエア通路分岐部44yが形成されている。そして、エア通路分岐部44yの終端部には真空センサ44s2が配置されている。真空センサ44s2は、エア通路44a内が真空となったことを検出する機能を有する。図59(a)(b)においては、エア通路44aは大気圧であるため、真空センサ44s2は非検出状態である。ここで、搬送ノズル44の上昇および下降を実現するための機構について、簡単に説明する。   As shown in FIG. 59A, the switching valve 16a selects the switching mode y3, and the air passage 44a of the transport nozzle 44 is at atmospheric pressure. Here, an air passage branching portion 44y that branches off from the air passage main body 44x is formed in the air passage 44a on the way to the switching valve 16a. And the vacuum sensor 44s2 is arrange | positioned at the terminal part of the air channel | path branch part 44y. The vacuum sensor 44s2 has a function of detecting that the air passage 44a is evacuated. 59A and 59B, since the air passage 44a is at atmospheric pressure, the vacuum sensor 44s2 is not detected. Here, a mechanism for realizing the raising and lowering of the transport nozzle 44 will be briefly described.

図59(a)(b)乃至図66(a)(b)に記載のエアシリンダ44cは、図示されないエア源からシリンダチューブ44t内にエアを出し入れすることにより、ピストン44pをシリンダチューブ44t内で往復動させて、ピストン44pに接続されたピストンロッド44rの作用により、搬送ノズルの上昇および下降を行う機構である。図59(a)(b)乃至図66(a)(b)においては簡単のため、ピストンロッド44rの移動方向と搬送ノズル44の移動方向が同一になるように記載している。また、エアシリンダ44cには、ピストン44pの位置を検出するシリンダセンサ44s1が配置されている。シリンダセンサ44s1は、搬送ノズル44が図53に示す上限位置にある場合に対応するピストン44pの位置を検出すると、上限検出信号NUを発出する。図57に示すように、搬送ノズル44がサンプルワークW3sの面W3f1に当接する位置にある場合に対応するピストン44の位置を検出すると、下限検出信号NDを発出する。シリンダセンサ44s1と真空センサ44s2とにより、移載検知手段が構成されている。   The air cylinder 44c described in FIGS. 59 (a), (b) to 66 (a) and 66 (b) allows the piston 44p to move into and out of the cylinder tube 44t by taking air into and out of the cylinder tube 44t from an air source (not shown). It is a mechanism that reciprocates and raises and lowers the transport nozzle by the action of the piston rod 44r connected to the piston 44p. In FIGS. 59 (a), (b) to 66 (a), (b), for the sake of simplicity, the movement direction of the piston rod 44r and the movement direction of the transport nozzle 44 are shown to be the same. The air cylinder 44c is provided with a cylinder sensor 44s1 for detecting the position of the piston 44p. When the cylinder sensor 44s1 detects the position of the piston 44p corresponding to the case where the transport nozzle 44 is at the upper limit position shown in FIG. 53, the cylinder sensor 44s1 issues an upper limit detection signal NU. As shown in FIG. 57, when the position of the piston 44 corresponding to the case where the transport nozzle 44 is in a position where it abuts against the surface W3f1 of the sample work W3s is detected, a lower limit detection signal ND is issued. The cylinder sensor 44s1 and the vacuum sensor 44s2 constitute transfer detection means.

なお、図59(a)においては搬送ノズル44が上限位置にあるため、シリンダセンサ44s1は上限検出信号NUを発出している。このときの各センサの状態とサンプルワークの位置を図59(b)に示す。また、図59(a)において、切替弁16bは切替モードy1を選択している。これにより、サンプルワークWs3は上述の真空吸引の作用によりワーク収納孔11内に保持される。   In FIG. 59A, since the transport nozzle 44 is at the upper limit position, the cylinder sensor 44s1 issues an upper limit detection signal NU. The state of each sensor and the position of the sample work at this time are shown in FIG. In FIG. 59A, the switching valve 16b selects the switching mode y1. Thus, the sample work Ws3 is held in the work storage hole 11 by the above-described vacuum suction action.

次に、図60(a)に示すように、シリンダチューブ44t内にエアが注入されて、ピストン44pが矢印Q0の方向に移動する。これによって、搬送ノズル44は矢印Qの方向(図53における矢印Qに対応)に下降する。このとき、シリンダセンサ44s1は非検出状態となる。そして、真空センサ44s2も非検出状態を継続する。この関係を図60(b)に示す。   Next, as shown in FIG. 60A, air is injected into the cylinder tube 44t, and the piston 44p moves in the direction of the arrow Q0. As a result, the transport nozzle 44 is lowered in the direction of the arrow Q (corresponding to the arrow Q in FIG. 53). At this time, the cylinder sensor 44s1 is not detected. And vacuum sensor 44s2 also continues a non-detection state. This relationship is shown in FIG.

この状態からしばらく経過すると、図61(a)に示すように搬送ノズル44はサンプルワークW3sの面W3f1に当接し、シリンダセンサ44s1は下限検出信号NDを発出する。この関係を図61(b)に示す。   After a while from this state, as shown in FIG. 61A, the transport nozzle 44 comes into contact with the surface W3f1 of the sample work W3s, and the cylinder sensor 44s1 issues a lower limit detection signal ND. This relationship is shown in FIG.

次に、図62(a)に示すように切替弁16aが切替モードy1を選択し、エア通路44aは真空発生源133aに連通して矢印F44の方向に真空吸引されるので、ワークW3は搬送ノズル44の下端に吸着されて保持される。このため、エア通路44a内は真空となり、真空センサ44s2が真空を検出する。この関係を図62(b)に示す。次に、図63(a)に示すように、シリンダチューブ44t内のエアが排出されて、ピストン44pが矢印R0の方向に移動する。これによって、搬送ノズル44はサンプルワークW3sを吸着保持した状態で矢印Rの方向(図53における矢印Rに対応)に上昇する。このとき、シリンダセンサ44s1は非検出状態となる。そして、真空センサ44s2は検出状態を継続する。この関係を図63(b)に示す。この状態からしばらく経過すると、図64(a)に示すように搬送ノズル44は上限位置に到達し、、シリンダセンサ44s1は上限検出信号NUを発出する。この関係を図64(b)に示す。   Next, as shown in FIG. 62 (a), the switching valve 16a selects the switching mode y1, and the air passage 44a communicates with the vacuum generation source 133a and is sucked in the direction of the arrow F44. It is adsorbed and held at the lower end of the nozzle 44. For this reason, the air passage 44a is evacuated, and the vacuum sensor 44s2 detects the vacuum. This relationship is shown in FIG. Next, as shown in FIG. 63A, the air in the cylinder tube 44t is discharged, and the piston 44p moves in the direction of the arrow R0. As a result, the transport nozzle 44 rises in the direction of the arrow R (corresponding to the arrow R in FIG. 53) with the sample work W3s being sucked and held. At this time, the cylinder sensor 44s1 is not detected. And vacuum sensor 44s2 continues a detection state. This relationship is shown in FIG. After a while from this state, the transport nozzle 44 reaches the upper limit position as shown in FIG. 64A, and the cylinder sensor 44s1 issues an upper limit detection signal NU. This relationship is shown in FIG.

この状態において、サンプルワークW3sがサンプルテーブル10xから搬送テーブル43に移載されたことになる。すなわち、移載部50tにおいて、シリンダセンサ44s1が上限検出信号NUあるいは下限検出信号NDを検出するかについて、および真空センサ44s2が真空を検出するか非検出であるかについての情報を図52に示す制御部52に送信しておけば、それらの情報が図59(b)から図60(b)乃至図63(b)を経て図64(b)の状態に変化したときに、制御部52はサンプルワークW3sがサンプルテーブル10xから搬送テーブル43に移載されたと判断することができる。   In this state, the sample work W3s is transferred from the sample table 10x to the transfer table 43. That is, FIG. 52 shows information about whether the cylinder sensor 44s1 detects the upper limit detection signal NU or the lower limit detection signal ND and whether the vacuum sensor 44s2 detects vacuum or not in the transfer unit 50t. If the information is transmitted to the control unit 52, when the information changes from FIG. 59 (b) to FIG. 64 (b) through FIG. 60 (b) to FIG. 63 (b), the control unit 52 It can be determined that the sample work W3s has been transferred from the sample table 10x to the transfer table 43.

なお、上述のように、図52において、移載部50tにおけるサンプルワークW3sの発光面W3Lは矢印T方向に面しているので、搬送テーブル43に移載されたサンプルワークW3sの各面の方向は、被測定ワークとしてのワークW3と同じになる。   As described above, in FIG. 52, the light emitting surface W3L of the sample work W3s in the transfer unit 50t faces the direction of the arrow T, and therefore the direction of each surface of the sample work W3s transferred to the transfer table 43. Is the same as the workpiece W3 as the workpiece to be measured.

以上の手順により、サンプルワークa〜dが搬送ノズル44に保持されると、これらのサンプルワークは図52に示す第1測定部47a、第2測定部47b、第3測定部47cに順次到達して停止する。そして、それぞれの測定部においては、被測定ワークとしてのワークW3に対するのと同一の波長測定、輝度測定、全光束測定を、各サンプルワークa〜dに対して実施する。その後、各サンプルワークは移載部50tにおいて搬送テーブル43からサンプルテーブル10xに移載される。測定を終了したサンプルワークW3sが移載部50tに到達したときの様子を図64に示す。   When the sample workpieces a to d are held by the transfer nozzle 44 by the above procedure, these sample workpieces sequentially reach the first measurement unit 47a, the second measurement unit 47b, and the third measurement unit 47c shown in FIG. And stop. In each measurement unit, the same wavelength measurement, luminance measurement, and total luminous flux measurement as those for the workpiece W3 as the workpiece to be measured are performed on each of the sample workpieces a to d. Thereafter, each sample work is transferred from the transfer table 43 to the sample table 10x in the transfer unit 50t. FIG. 64 shows a state when the sample work W3s that has been measured has reached the transfer part 50t.

この状態から、図65(a)に示すように、シリンダチューブ44t内にエアが注入されて、ピストン44pが矢印Q0の方向に移動する。これによって、搬送ノズル44は矢印Qの方向(図53における矢印Qに対応)に下降する。このとき、シリンダセンサ44s1は非検出状態となる。そして、真空センサ44s2は検出状態を継続する。この関係を図65(b)に示す。   From this state, as shown in FIG. 65A, air is injected into the cylinder tube 44t, and the piston 44p moves in the direction of the arrow Q0. As a result, the transport nozzle 44 is lowered in the direction of the arrow Q (corresponding to the arrow Q in FIG. 53). At this time, the cylinder sensor 44s1 is not detected. And vacuum sensor 44s2 continues a detection state. This relationship is shown in FIG.

この状態からしばらく経過すると、図62(a)に示すように搬送ノズル44に保持されたサンプルワークW3sは、サンプルテーブル10xのワーク収納孔11内に載置される。そして、シリンダセンサ44s1は下限検出信号NDを発出する。この関係を図62(b)に示す。   After a while from this state, the sample work W3s held by the transport nozzle 44 is placed in the work storage hole 11 of the sample table 10x as shown in FIG. The cylinder sensor 44s1 issues a lower limit detection signal ND. This relationship is shown in FIG.

次に、図61(a)に示すように切替弁16aが切替モードy3を選択し、エア通路44bはどこにも連通しなくなるので、ワークW3sは搬送ノズル44の下端に吸着されなくなる。このとき、エア通路44a内は大気圧となり、真空センサ44s2が非検出となる。この関係を図61(b)に示す。   Next, as shown in FIG. 61A, the switching valve 16a selects the switching mode y3, and the air passage 44b does not communicate anywhere, so the workpiece W3s is not attracted to the lower end of the transport nozzle 44. At this time, the air passage 44a is at atmospheric pressure, and the vacuum sensor 44s2 is not detected. This relationship is shown in FIG.

次に、図66(a)に示すように、シリンダチューブ44t内のエアが排出されて、ピストン44pが矢印R0の方向に移動する。これによって、搬送ノズル44はサンプルワークW3sから離間して矢印Rの方向(図53における矢印Rに対応)に上昇する。このとき、シリンダセンサ44s1は非検出状態となる。そして、真空センサ44s2は非検出状態を継続する。この関係を図66(b)に示す。   Next, as shown in FIG. 66 (a), the air in the cylinder tube 44t is discharged, and the piston 44p moves in the direction of the arrow R0. As a result, the transport nozzle 44 moves away from the sample work W3s and rises in the direction of the arrow R (corresponding to the arrow R in FIG. 53). At this time, the cylinder sensor 44s1 is not detected. And vacuum sensor 44s2 continues a non-detection state. This relationship is shown in FIG.

その後、搬送ノズルは図53に示す上限位置に到達して停止する。その様子を、上述の図59(a)に示す。そして、図59(b)に示すように、シリンダセンサ44s1は上限検出信号NUを発出し、真空センサ44s2は非検出である。すなわち、移載部50tにおいて、シリンダセンサ44s1および真空センサ44s2の検出情報を図52に示す制御部52に送信しておけば、それらの情報が図64(b)、図65(b)、図62(b)、図61(b)、図66(b)、図59(b)の順に変化したときに、制御部52はサンプルワークW3sが搬送テーブル43からサンプルテーブル10xに移載されたと判断することができる。   Thereafter, the transport nozzle reaches the upper limit position shown in FIG. 53 and stops. This is shown in FIG. 59 (a) described above. As shown in FIG. 59B, the cylinder sensor 44s1 issues an upper limit detection signal NU, and the vacuum sensor 44s2 is not detected. That is, in the transfer unit 50t, if the detection information of the cylinder sensor 44s1 and the vacuum sensor 44s2 is transmitted to the control unit 52 shown in FIG. 52, the information is shown in FIG. 64 (b), FIG. 65 (b), FIG. When changing in the order of 62 (b), FIG. 61 (b), FIG. 66 (b), and FIG. 59 (b), the control unit 52 determines that the sample work W3s has been transferred from the transfer table 43 to the sample table 10x. can do.

以上のように、図52に示すワーク測定装置41においても、図1に示すワーク測定装置1と同様にサンプル測定モードによる動作が可能であり、その測定結果とあらかじめ制御部52内の記憶部に記憶されている各サンプルワークの既知の測定結果を比較する。そして、両方の測定結果の差異があらかじめ定めた規格値を外れていた測定部については、上述のワーク測定装置1と同様に警報を発して作業者に通知する。   As described above, the workpiece measuring device 41 shown in FIG. 52 can operate in the sample measurement mode similarly to the workpiece measuring device 1 shown in FIG. 1, and the measurement result is stored in advance in the storage unit in the control unit 52. Compare the stored measurement results of each sample work. And about the measurement part from which the difference of both the measurement results deviated from the predetermined standard value, similarly to the above-mentioned workpiece measurement device 1, an alarm is issued and the operator is notified.

なお、各実施の形態において、測定部の数を3箇所或いは2箇所とした例を示したが、測定部の数はこれらに限定されるものではない。また、各測定部における測定項目についても、以上の説明における項目に限定されるものではない。   In each embodiment, an example in which the number of measurement units is three or two is shown, but the number of measurement units is not limited to these. Further, the measurement items in each measurement unit are not limited to the items in the above description.

さらにまた、上記各実施の形態において、搬送テーブルは水平或いは垂直に設置されているが、これに限らず搬送テーブルを傾斜して設置してもよい。   Furthermore, in each of the above embodiments, the transport table is installed horizontally or vertically, but the present invention is not limited to this, and the transport table may be installed inclined.

また、上記各実施の形態において、測定精度確認のためにサンプルワークのデータ取得を行うべきタイミング、すなわちモード切換えをプログラムによる自動切換手段により実行した例を示したが、これに限らず作業者の手動操作、例えば押しボタンスイッチなどの手動切換手段を用いて、サンプルワークのデータ取得を行うべきタイミング、すなわちモード切換えを実行してもよい。   In each of the above embodiments, an example is shown in which sample work data acquisition is performed for confirmation of measurement accuracy, that is, mode switching is performed by automatic switching means by a program. Manual operation, for example, manual switching means such as a push button switch may be used to execute timing at which sample work data should be acquired, that is, mode switching.

また、上記各実施形態は、いずれも搬送体として中心軸の周囲に間歇回転する円形の搬送テーブルを用いたものであるが、搬送体の形状は、このような搬送テーブルに限定されるものではない。例えば、搬送体として、ワークを個別に収納する複数の凹部を長手方向に配置した無端の搬送ベルトを、間歇移動により該長手方向に周回させてもよい。   Moreover, although each said embodiment uses the circular conveyance table which rotates intermittently around a central axis as a conveyance body, the shape of a conveyance body is not limited to such a conveyance table. Absent. For example, an endless conveyance belt in which a plurality of concave portions that individually store workpieces are arranged in the longitudinal direction as the conveyance body may be circulated in the longitudinal direction by intermittent movement.

また、上記各実施形態は、いずれも中心軸の周囲に間歇回転する円形のサンプルテーブルをサンプルワーク供給手段として用いたものであるが、サンプルワーク供給手段の形状は、搬送体との間でサンプルワークを互いに移載することができ、かつ移載検知手段を設けることができるものであれば、このような円形のテーブルに限定されるものではない。   In each of the above embodiments, a circular sample table that rotates intermittently around the central axis is used as the sample work supply means. As long as the workpieces can be transferred to each other and transfer detection means can be provided, the circular table is not limited thereto.

1 ワーク測定装置
2、22、42 テーブルベース
3、23、43 搬送テーブル
4、24、44 ワーク収納孔
4La 光センサ光源
4Lb 光センサ
5、25 リニアフィーダ
6、26、46 分離供給部
7a、27a、47a 第1測定部
7b、27b、47b 第2測定部
7c、47c 第3測定部
8、28、48 不良ワーク排出部
9、29、49 良品ワーク排出部
10x、30x サンプルテーブル
11、31 ワーク収納孔
11La 光センサ光源
11Lb 光センサ
12、32、52 制御部
12a、32a、52a 記憶部
12b、32b、52b 比較部
12c、32c、52c 警報部
12d、32d、52d 判定部
12e、32e、52e タイマ
12f、32f、52f 自動切換手段
13 真空発生源
14a、14b 切替弁
15 圧縮エア発生源
W1、W2、W3 ワーク
W1s、W2s、W3s サンプルワーク
1 Work measuring device 2, 22, 42 Table base 3, 23, 43 Transport table 4, 24, 44 Work storage hole 4La Optical sensor light source 4Lb Optical sensor 5, 25 Linear feeder 6, 26, 46 Separation supply unit 7a, 27a, 47a 1st measurement part 7b, 27b, 47b 2nd measurement part 7c, 47c 3rd measurement part 8, 28, 48 Defective work discharge part 9, 29, 49 Non-defective work discharge part 10x, 30x Sample table 11, 31 Work storage hole 11La photosensor light source 11Lb photosensor 12, 32, 52 Control unit 12a, 32a, 52a Storage unit 12b, 32b, 52b Comparison unit 12c, 32c, 52c Alarm unit 12d, 32d, 52d Determination unit 12e, 32e, 52e Timer 12f, 32f, 52f Automatic switching means 13 Vacuum generation source 14a, 14b Switching valve 15 Compressed air generation Source W1, W2, W3 work W1s, W2s, W3s sample work

Claims (16)

各々がワークおよびサンプルワークを保持する複数の保持部を有し、回転自在に設けられた搬送体と、
搬送体の保持部にワークを個別に分離して供給する分離供給手段と、
分離供給手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークおよびサンプルワークの特性を測定する測定手段と、
測定手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークを排出する排出手段とを備え、
分離供給手段と測定手段との間に、予め基準特性が定められた複数のサンプルワークを搬送体の持部に供給するとともにサンプルワークが収納される複数の保管部を有するサンプルワーク供給手段を設け、
搬送体と、分離供給手段と、測定手段と、排出手段と、サンプルワーク供給手段を制御する制御装置を設け、
制御装置は通常測定モードをとるとき、分離供給手段から搬送体の保持部に供給されたワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出し、サンプル測定モードをとるとき、搬送体の保持部に保持されたワークをすべて排出手段から排出してすべての保持部を空にした後、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークを測定手段で測定し、排出手段から排出することなくサンプルワーク供給手段の当該サンプルワークの元の保管部に戻し、制御装置は、各サンプルが収納されている搬送体の保持部を認識して、測定手段により測定されたサンプルワークの測定結果を個別に認識し、個別に認識されたサンプルワークの測定結果と、予め内蔵された対応するサンプルワークの基準特性とを比較してその差異を求める比較部と、比較部に接続され測定結果とサンプルワークの基準特性の差異が所定値を越えた際に警報を発する警報部とを有し、サンプルワーク供給手段はサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部内に供給されたこと、およびサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部へ戻されたことを各々検知する移載検知手段を有することを特徴とするワーク測定装置。
A plurality of holders each holding a workpiece and a sample workpiece, and a transport body provided rotatably;
Separation supply means for individually separating and supplying workpieces to the holding unit of the carrier;
A measuring unit that is disposed on the downstream side of the separation supply unit and measures the characteristics of the workpiece and the sample workpiece held in the holding unit of the transport body;
A discharge means that is disposed on the downstream side of the measurement means and discharges the work held by the holding portion of the transport body;
Between the separation feeding means and measuring means, the sample workpiece supply means having a plurality of storage portions sample workpiece is accommodated supplies a plurality of sample workpieces previously reference characteristic is defined in hold portion of the carrier Provided,
A control device for controlling the transport body, the separation supply means, the measurement means, the discharge means, and the sample work supply means is provided,
When the control device takes the normal measurement mode, the workpiece supplied from the separation supply means to the carrier holding part is measured by the measurement means and then discharged from the discharge means. When the sample measurement mode is taken, the carrier holding part After discharging all the workpieces held in the discharge unit and emptying all the holding units, measure the sample workpiece supplied from the storage unit of the sample workpiece supply unit to the holding unit of the transport body with the measurement unit and discharge it. The sample is returned to the original storage part of the sample work of the sample work supply means without being discharged from the means, and the control device recognizes the holding part of the transport body in which each sample is stored, and the sample measured by the measurement means recognizes the measurement results of the work separately, the difference compared with the measurement results of the individual recognized SamplesWorkspace with the reference characteristics of corresponding samples workpiece built in advance And a warning unit that is connected to the comparison unit and issues an alarm when the difference between the measurement result and the reference characteristic of the sample workpiece exceeds a predetermined value. The sample workpiece supply means supplies the sample workpiece to the sample workpiece. A workpiece measuring apparatus comprising transfer detecting means for respectively detecting that the sample work is supplied from the storage part of the means into the holding part of the transport body and that the sample work is returned to the storage part of the sample work supply means. .
制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを自動的に切換える自動切換手段を有することを特徴とする請求項記載のワーク測定装置。 Controller workpiece measuring apparatus according to claim 1, characterized in that it has an automatic switching means for switching between the normal measurement mode and sample measurement mode automatically. 制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを手動で切換える手動切換手段を有することを特徴とする請求項記載のワーク測定装置。 Controller workpiece measuring apparatus according to claim 1, characterized in that it has a manual switching means for switching between the normal measurement mode and sample measurement mode manually. 手動切換手段は押しボタンスイッチを有することを特徴とする請求項記載のワーク測定装置。 4. The workpiece measuring apparatus according to claim 3, wherein the manual switching means has a push button switch. 搬送体は円形の搬送テーブルを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載のワーク測定装置。 Conveying bodies workpiece measuring apparatus according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it has a circular conveying table. 搬送体の保持部は搬送テーブルの外周に設けられ、外側に向けて開口する凹部からなることを特徴とする請求項記載のワーク測定装置。 6. The workpiece measuring apparatus according to claim 5 , wherein the holding unit of the transfer body includes a recess provided on the outer periphery of the transfer table and opening outward. 搬送体の保持部は、搬送テーブルの外周近傍に設けられ、搬送テーブルを貫通する貫通孔からなることを特徴とする請求項5記載のワーク測定装置。   6. The workpiece measuring apparatus according to claim 5, wherein the holding unit of the transfer body is provided in the vicinity of the outer periphery of the transfer table and includes a through-hole penetrating the transfer table. 搬送体の保持部は搬送テーブルの一方の面に設けられ、この一方の面に対して進退する搬送ノズルからなることを特徴とする請求項記載のワーク測定装置。 6. The workpiece measuring device according to claim 5 , wherein the holding unit of the transfer body is provided on one surface of the transfer table and includes a transfer nozzle that advances and retreats with respect to the one surface. 各々がワークおよびサンプルワークを保持する複数の保持部を有し、回転自在に設けられた搬送体と、
搬送体の保持部にワークを個別に分離して供給する分離供給手段と、
分離供給手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークおよびサンプルワークの特性を測定する測定手段と、
測定手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークを排出する排出手段とを備え、
分離供給手段と測定手段との間に、予め基準特性が定められた複数のサンプルワークを搬送体の持部に供給するとともにサンプルワークが収納される複数の保管部を有するサンプルワーク供給手段を設け、
搬送体と、分離供給手段と、測定手段と、排出手段と、サンプルワーク供給手段を制御する制御装置を設け、制御装置は、各サンプルが収納されている搬送体の保持部を認識して、測定手段により測定されたサンプルワークの測定結果を個別に認識し、個別に認識したサンプルワークの測定結果と、予め内蔵された対応するサンプルワークの基準特性とを比較してその差異を求める比較部と、比較部に接続され測定結果とサンプルワークの基準特性の差異が所定値を越えた際に警報を発する警報部とを有し、サンプルワーク供給手段はサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部内に供給されたこと、およびサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部へ戻されたことを各々検知する移載検知手段を有するワーク測定装置を用いたワーク測定方法において、
制御装置が通常測定モードをとって、分離供給手段から搬送体の保持部に供給されたワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出する工程と、
制御装置がサンプル測定モードをとって、搬送体の保持部に保持されたワークをすべて排出手段から排出してすべての保持部を空にした後、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークを測定手段で測定し、排出手段から排出することなくサンプルワーク供給手段の当該サンプルワークの元の保管部に戻す工程とを備えたことを特徴とするワーク測定方法。
A plurality of holders each holding a workpiece and a sample workpiece, and a transport body provided rotatably;
Separation supply means for individually separating and supplying workpieces to the holding unit of the carrier;
A measuring unit that is disposed on the downstream side of the separation supply unit and measures the characteristics of the workpiece and the sample workpiece held in the holding unit of the transport body;
A discharge means that is disposed on the downstream side of the measurement means and discharges the work held by the holding portion of the transport body;
Between the separation feeding means and measuring means, the sample workpiece supply means having a plurality of storage portions sample workpiece is accommodated supplies a plurality of sample workpieces previously reference characteristic is defined in hold portion of the carrier Provided,
A control device for controlling the transport body, the separation supply means, the measurement means, the discharge means, and the sample work supply means is provided, and the control device recognizes the holding portion of the transport body in which each sample is stored, A comparison unit that individually recognizes the measurement results of the sample workpieces measured by the measuring means, compares the individually recognized measurement results of the sample workpieces with the reference characteristics of the corresponding built-in sample workpieces, and calculates the difference And an alarm unit that is connected to the comparison unit and issues an alarm when the difference between the measurement result and the reference characteristic of the sample work exceeds a predetermined value. The sample work supply means is a storage part of the sample work supply means. And a transfer detecting means for detecting that the sample work has been supplied into the holding part of the transport body and that the sample work has been returned to the storage part of the sample work supplying means. In the work measuring method using the click measurement device,
A step in which the control device takes the normal measurement mode, measures the workpiece supplied from the separation supply unit to the holding unit of the transport body by the measurement unit, and then discharges the workpiece from the discharge unit;
The control device takes the sample measurement mode, discharges all the workpieces held in the holder of the carrier from the discharge means and empties all the holders, and then holds the carrier from the storage of the sample workpiece supply means. And a step of measuring the sample work supplied to the part by the measuring means and returning the sample work to the original storage part of the sample work without discharging from the discharging means.
制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを自動的に切換える自動切換手段を有することを特徴とする請求項記載のワーク測定方法。 10. The workpiece measuring method according to claim 9, wherein the control device has automatic switching means for automatically switching between the normal measurement mode and the sample measurement mode. 制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを手動で切換える手動切換手段を有することを特徴とする請求項記載のワーク測定方法。 10. The workpiece measuring method according to claim 9, wherein the control device has manual switching means for manually switching between the normal measurement mode and the sample measurement mode. 手動切換手段は押しボタンスイッチを有することを特徴とする請求項11記載のワーク測定方法。 12. The workpiece measuring method according to claim 11, wherein the manual switching means has a push button switch. 搬送体は円形の搬送テーブルを有することを特徴とする請求項9乃至12のいずれか記載のワーク測定方法。 The work measuring method according to claim 9, wherein the transport body has a circular transport table. 搬送体の保持部は搬送テーブルの外周に設けられ、外側に向けて開口する凹部からなることを特徴とする請求項13記載のワーク測定方法。 The workpiece measuring method according to claim 13 , wherein the holding unit of the transfer body includes a recess provided on the outer periphery of the transfer table and opening outward. 搬送体の保持部は、搬送テーブルの外周近傍に設けられ、搬送テーブルを貫通する貫通孔からなることを特徴とする請求項13記載のワーク測定方法。   The workpiece measuring method according to claim 13, wherein the holding unit of the transfer body is provided in the vicinity of the outer periphery of the transfer table and includes a through-hole penetrating the transfer table. 搬送体の保持部は搬送テーブルの一方の面に設けられ、この一方の面に対して進退する搬送ノズルからなることを特徴とする請求項13記載のワーク測定方法。 14. The workpiece measuring method according to claim 13 , wherein the holding unit of the transfer body includes a transfer nozzle that is provided on one surface of the transfer table and moves forward and backward with respect to the one surface.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2746812B2 (en) 1993-03-12 1998-05-06 川崎製鉄株式会社 Damping steel sheet for roll forming and method of manufacturing the same

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6435535B2 (en) * 2015-01-07 2018-12-12 株式会社 東京ウエルズ Work characteristic measuring apparatus and work characteristic measuring method
JP5975556B1 (en) * 2015-12-11 2016-08-23 上野精機株式会社 Transfer equipment
KR102270675B1 (en) * 2017-11-13 2021-06-28 스미또모 덴꼬 쇼오께쯔 고오낑 가부시끼가이샤 sizing device
CN114365272B (en) * 2019-09-30 2025-11-18 应用材料公司 Conveyor inspection system, substrate rotator, and test system having the foregoing items.
US10937683B1 (en) 2019-09-30 2021-03-02 Applied Materials, Inc. Conveyor inspection system, substrate rotator, and test system having the same
JP6836816B1 (en) * 2020-05-28 2021-03-03 上野精機株式会社 Electronic component processing equipment
JP7007677B1 (en) 2021-03-11 2022-02-10 上野精機株式会社 Electronic component inspection equipment
CN113394148B (en) * 2021-06-15 2022-09-20 深圳市创一智能装备有限公司 Solar cell's distributing device
CN116622966A (en) * 2023-05-19 2023-08-22 上海锐拓五金制品有限公司 A heat treatment equipment for rivet nuts
JP7751927B1 (en) * 2025-08-13 2025-10-09 株式会社 東京ウエルズ Work transport device and work inspection system

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0427856Y2 (en) * 1985-02-05 1992-07-06
JP3153620B2 (en) * 1992-04-27 2001-04-09 アンリツ株式会社 Calibration part setting device
US5383135A (en) * 1992-12-31 1995-01-17 Zellweger Uster, Inc. Acquisition, measurement and control of thin webs on in-process textile materials
JPH10139136A (en) * 1996-11-13 1998-05-26 Nitto Kogyo Co Ltd Means of aligningly carrying chip back and forth
JP3709542B2 (en) * 2000-05-31 2005-10-26 澁谷工業株式会社 Element transfer device
JP3690257B2 (en) * 2000-08-28 2005-08-31 株式会社村田製作所 Chip parts transfer device
EP1371041A4 (en) * 2001-02-02 2006-04-19 Bristol Myers Squibb Pharma Co Apparatus and methods for on-line monitoring of fluorinated material in headspace of vial
JP3900876B2 (en) * 2001-09-25 2007-04-04 株式会社村田製作所 Electronic component inspection equipment
JP5388282B2 (en) * 2009-04-17 2014-01-15 株式会社 東京ウエルズ Work conveying apparatus and work conveying method
CN101837351B (en) * 2010-06-02 2012-09-19 天津大学 Oil seal spring automatic sorting system and method based on image detection method
JP2012020822A (en) * 2010-07-13 2012-02-02 Tokyo Weld Co Ltd Workpiece transferring device
JP5525477B2 (en) * 2011-03-31 2014-06-18 シャープ株式会社 Sample inspection equipment
JP2014055041A (en) * 2012-09-11 2014-03-27 Shibuya Kogyo Co Ltd Article sorting apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2746812B2 (en) 1993-03-12 1998-05-06 川崎製鉄株式会社 Damping steel sheet for roll forming and method of manufacturing the same

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