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JP6162008B2 - Semiconductor switch circuit - Google Patents
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Description

本発明は、携帯電話機等の移動体通信機器や高周波機器における高周波信号の経路切り替えに用いられる半導体スイッチ回路に係り、特に、半導体素子における歪の低減、抑圧等を図ったものに関する。   The present invention relates to a semiconductor switch circuit used for path switching of a high-frequency signal in a mobile communication device such as a mobile phone or a high-frequency device, and more particularly to a device that reduces distortion or suppresses a semiconductor element.

高周波信号を扱う携帯電話機や移動体無線通信などの装置においては、高周波信号の切り替えを行うために、電界効果トランジスタ等を用いてなる半導体スイッチ回路が従来から使用されている。このような半導体スイッチ回路としては、例えば、特許文献1等に開示されたものなどがある。
かかる半導体スイッチ回路においては、近年、携帯電話などの携帯端末における送信信号のさらなる品質改善や受信感度向上のため、より高いレベルの歪特性が要求されている。
ところが、近年の無線通信規格の高度化や機器の進歩により、半導体スイッチ回路がさらに大規模となり、歪特性に対するより一層の厳しい要求がなされつつある。
2. Description of the Related Art In devices such as mobile phones and mobile radio communications that handle high-frequency signals, semiconductor switch circuits using field effect transistors or the like have been conventionally used to switch high-frequency signals. Examples of such a semiconductor switch circuit include those disclosed in Patent Document 1 and the like.
In such a semiconductor switch circuit, in recent years, a higher level of distortion characteristics is required in order to further improve the quality and transmission sensitivity of a transmission signal in a portable terminal such as a cellular phone.
However, due to the recent advancement of wireless communication standards and advances in equipment, semiconductor switch circuits have become larger in scale, and more severe demands for distortion characteristics are being made.

特開2005−323030号公報(第5−9頁、図1−図7)Japanese Patent Laying-Open No. 2005-323030 (page 5-9, FIGS. 1 to 7)

しかしながら、電界効果トランジスタを用いた大規模回路においては、非導通(OFF)状態の電界効果トランジスタが多数存在することとなり、歪特性が劣化してしまう。そのため、回路の大規模化と歪特性の向上とは相反する要求であり、その両立は困難であるという問題がある。   However, in a large-scale circuit using a field effect transistor, there are a large number of non-conductive (OFF) field effect transistors, and the distortion characteristics deteriorate. For this reason, an increase in circuit scale and an improvement in distortion characteristics are contradictory requirements, and there is a problem that it is difficult to achieve both.

ここで、OFF状態にある電界効果トランジスタにおける歪の発生について説明することとする。
図6には、従来の半導体スイッチ回路の主要部の回路構成例が示されており、以下、同図を参照しつつ説明する。
この半導体スイッチ回路は、共通端子PCと複数の個別端子P1、P2、P3、・・・が設けられると共に、共通端子PCと各個別端子P1、P2、P3、・・・との間には、3段直接接続のスイッチFETがそれぞれ設けられており、その導通、非導通を制御することで、複数の個別端子P1、P2、P3、・・・が択一的に共通端子PCと接続可能に構成されてなるものである。
Here, generation of distortion in the field effect transistor in the OFF state will be described.
FIG. 6 shows an example of a circuit configuration of a main part of a conventional semiconductor switch circuit, which will be described below with reference to FIG.
This semiconductor switch circuit is provided with a common terminal PC and a plurality of individual terminals P1, P2, P3,..., And between the common terminal PC and each individual terminal P1, P2, P3,. Each of the three-stage direct connection switch FETs is provided, and by controlling the conduction and non-conduction, a plurality of individual terminals P1, P2, P3,... Can be alternatively connected to the common terminal PC. It is composed.

かかる構成において、共通端子PCと個別端子P1とを信号経路として選択すべく、共通端子PCと個別端子P1の間の3個のスイッチFETのゲートに論理値Highに相当する電圧が印加され、PC−P1経路が導通状態とされる一方、他のスイッチFETのゲートには、論理値Lowの相当するレベルの電圧が印加され、個別端子P1を除く他の個別端子P2、P3、・・・と共通端子PC間の経路は非導通状態とされているとする(図6参照)。
この場合、個別端子P1を除く他の個別端子P2、P3、・・・は、外部回路で終端され(図示せず)、ローインピーダンスとなっている。
In such a configuration, in order to select the common terminal PC and the individual terminal P1 as signal paths, a voltage corresponding to the logical value High is applied to the gates of the three switch FETs between the common terminal PC and the individual terminal P1, and PC While the −P1 path is turned on, a voltage corresponding to the logical value Low is applied to the gates of the other switch FETs, and the individual terminals P2, P3,. It is assumed that the path between the common terminals PC is in a non-conductive state (see FIG. 6).
In this case, the other individual terminals P2, P3,... Except for the individual terminal P1 are terminated by an external circuit (not shown) and have low impedance.

なお、OFF状態とされるスイッチFETのゲートは、スレッショルド電圧よりも十分低いゲート・ソース間電圧Vgsを印加して歪を低減することが、低歪スイッチ回路の基本である。この図6を参照しつつ説明する回路においても、そのような低いゲート・ソース間電圧Vgsが印加されることを前提とする。   Note that the gate of the switch FET that is turned off is applied with a gate-source voltage Vgs that is sufficiently lower than the threshold voltage to reduce the distortion, which is the basis of the low distortion switch circuit. Also in the circuit described with reference to FIG. 6, it is assumed that such a low gate-source voltage Vgs is applied.

しかして、OFF状態にある電界効果トランジスタにおいては、ゲート・ソース間、ゲート・ドレイン間に空乏層が生じて寄生容量が発生する。
以下の説明の便宜上、ゲート・ソース間の寄生容量を”Cgs”と表記し、ゲート・ドレイン間の寄生容量を”Cgd”と表記する。
これら、Cgs、Cgdは、ゲート・ソース間電圧Vgsとゲート・ドレイン間電圧Vgdに線形的に比例するものとなっている。
なお、ソース・ドレイン間にも寄生容量は生ずるが、その容量は小さいため無視できるものとする。
Therefore, in the field effect transistor in the OFF state, a depletion layer is generated between the gate and the source and between the gate and the drain, and a parasitic capacitance is generated.
For convenience of the following description, the parasitic capacitance between the gate and the source is expressed as “Cgs”, and the parasitic capacitance between the gate and the drain is expressed as “Cgd”.
These Cgs and Cgd are linearly proportional to the gate-source voltage Vgs and the gate-drain voltage Vgd.
Although parasitic capacitance is also generated between the source and drain, it is negligible because the capacitance is small.

上述のような寄生容量を考慮したOFF状態にある電界効果トランジスタの等価回路は、図7に示されたようにドレインとソースとの間にCgs、Cgdが直列接続された回路となる。
かかるOFF状態にある電界効果トランジスタにおいては、ドレイン側に印加された高周波信号は、Cgs、Cgdによって分圧されることとなり、その際生ずるVgs、Vgdは、図8に示されたように、相互に180度位相のずれたほぼ正弦波で変化する電圧となる。
The equivalent circuit of the field effect transistor in the OFF state in consideration of the parasitic capacitance as described above is a circuit in which Cgs and Cgd are connected in series between the drain and the source as shown in FIG.
In such a field effect transistor in the OFF state, the high-frequency signal applied to the drain side is divided by Cgs and Cgd, and the Vgs and Vgd generated at this time are as shown in FIG. In other words, the voltage changes almost sinusoidally with a phase shift of 180 degrees.

一方、Cgs、Cgdは、Vgs、Vgdに対して、図9に示されたような変化を示す。
同図においては、Cg、とCgdの変化と共に、CgsとCgdの直列接続による合成容量であるトータル容量Ctotalの変化が示されている。
図9によれば、トータル容量Ctotalが高周波信号の変化に伴い波打っていることが確認でき、OFF状態の電界効果トランジスタにおける歪は、このトータル容量Ctotalの変動に起因するものと考えられる。
On the other hand, Cgs and Cgd show changes as shown in FIG. 9 with respect to Vgs and Vgd.
In the same figure, the change of the total capacity | capacitance Ctotal which is a synthetic capacity by the serial connection of Cgs and Cgd is shown with the change of Cg and Cgd.
According to FIG. 9, it can be confirmed that the total capacitance Ctotal undulates with the change of the high frequency signal, and the distortion in the field effect transistor in the OFF state is considered to be caused by the fluctuation of the total capacitance Ctotal.

本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、多数の電界効果トランジスタを用いた大規模の半導体スイッチ回路におけるOFF状態の電界効果トランジスタに生ずる寄生容量に起因する歪の低減、抑圧を可能とし、歪特性の向上を図った半導体スイッチ回路を提供するものである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and enables distortion reduction and suppression due to parasitic capacitance generated in an OFF-state field effect transistor in a large-scale semiconductor switch circuit using a large number of field effect transistors. A semiconductor switch circuit with improved distortion characteristics is provided.

上記本発明の目的を達成するため、本発明に係る半導体スイッチ回路は、
少なくとも1つの共通端子と複数の個別端子とを有し、
前記共通端子と前記個別端子との間には、それぞれ2組の単位スイッチが並列接続されて設けられ、
前記2組の単位スイッチの導通、非導通を制御することにより所望する個別端子と共通端子間における信号の伝搬を可能とするよう構成されてなる半導体スイッチ回路であって、
前記単位スイッチは、それぞれ同一個数の電界効果トランジスタの直列接続により構成されてなり、
前記2組の単位スイッチの内、一方の単位スイッチにあっては、各電界効果トランジスタのゲート・ソース間に、それぞれ付加容量が接続され、他方の単位スイッチにあっては、各電界効果トランジスタのゲート・ドレイン間に、それぞれ付加容量が接続されてなるものである。
In order to achieve the above object of the present invention, a semiconductor switch circuit according to the present invention includes:
Having at least one common terminal and a plurality of individual terminals;
Between the common terminal and the individual terminal, two sets of unit switches are respectively connected in parallel,
A semiconductor switch circuit configured to allow signal propagation between a desired individual terminal and a common terminal by controlling conduction and non-conduction of the two sets of unit switches,
Each of the unit switches is configured by series connection of the same number of field effect transistors,
In one of the two sets of unit switches, an additional capacitor is connected between the gate and source of each field effect transistor, and in the other unit switch, each field effect transistor has An additional capacitor is connected between the gate and the drain.

本発明によれば、付加容量を設けることでOFF状態にある電界効果トランジスタにおける寄生容量のトータルの変動を抑圧できるようにしたので、寄生容量の変動に起因する電界効果トランジスタの歪を低減、抑圧することができ、従来に比してより歪特性の良好な半導体スイッチ回路を提供することができるという効果を奏するものである。   According to the present invention, by providing the additional capacitor, it is possible to suppress the total variation of the parasitic capacitance in the field effect transistor in the OFF state, thereby reducing and suppressing the distortion of the field effect transistor due to the variation of the parasitic capacitance. Therefore, it is possible to provide a semiconductor switch circuit having better distortion characteristics than conventional ones.

本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路の回路構成例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the circuit structural example of the semiconductor switch circuit in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路においてOFF状態の電界効果トランジスタの寄生容量の変化を示す波形図である。It is a wave form diagram which shows the change of the parasitic capacitance of the field effect transistor of an OFF state in the semiconductor switch circuit in embodiment of this invention. 本発明を適用した5段FETスイッチを用いたSP10Tスイッチにおける付加容量に対する高調波レベルのシミュレーション結果を示す特性線図である。It is a characteristic diagram which shows the simulation result of the harmonic level with respect to the additional capacity | capacitance in SP10T switch using the 5-stage FET switch to which this invention is applied. 図3に示されたシミュレーションを行ったSP10Tスイッチの回路構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the circuit structure of SP10T switch which performed the simulation shown by FIG. 図4に示されたSP10Tスイッチの前提となる従来構成のSP10Tスイッチの回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram of an SP10T switch having a conventional configuration which is a premise of the SP10T switch shown in FIG. 4. 従来の半導体スイッチ回路の回路構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the circuit structure of the conventional semiconductor switch circuit. OFF状態にある電界効果トランジスタの等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram of the field effect transistor in the OFF state. OFF状態にある電界効果トランジスタに生ずる寄生容量における電圧変化を示す波形図である。It is a wave form diagram which shows the voltage change in the parasitic capacitance which arises in the field effect transistor in an OFF state. OFF状態にある電界効果トランジスタに生ずる寄生容量の容量変化を示す波形図である。It is a wave form diagram which shows the capacitance change of the parasitic capacitance which arises in the field effect transistor in an OFF state.

以下、本発明の実施の形態について、図1乃至図6を参照しつつ説明する。
なお、以下に説明する部材、配置等は本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨の範囲内で種々改変することができるものである。
最初に、本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路の回路構成例について、図1を参照しつつ説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 6.
The members and arrangements described below do not limit the present invention and can be variously modified within the scope of the gist of the present invention.
First, a circuit configuration example of a semiconductor switch circuit according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路は、一つの共通端子(図1においては「PC」と表記)51と、複数の個別端子(図1においては、それぞれ「P1」、「P2」・・・と表記)52−1、52−2、・・・とを具備すると共に、共通端子51と各個別端子52−1、52−2、・・・との間には、それぞれ2組の単位スイッチ101ー1,101−2、102−1,102−2、・・・が設けられており、その導通、非導通を制御することで、複数の個別端子52−1、52−2、・・・の中の所望する一つの個別端子と共通端子51とを導通状態として、高周波信号を伝搬せしめることができるよう構成されてなるものである。   The semiconductor switch circuit according to the embodiment of the present invention includes one common terminal (indicated as “PC” in FIG. 1) 51 and a plurality of individual terminals (in FIG. 1, “P1”, “P2”,. .) 52-1, 52-2,... And two sets of units between the common terminal 51 and each individual terminal 52-1, 52-2,. Are provided with switches 101-1, 101-2, 102-1, 102-2,... By controlling the conduction and non-conduction of the plurality of individual terminals 52-1, 52-2,. .. Are configured so that a desired individual terminal and the common terminal 51 can be in a conductive state and a high-frequency signal can be propagated.

以下、具体的にその構成を説明すれば、まず、共通端子51と第1の個別端子52−1との間には、並列接続された2組の単位スイッチ101−1,101−2が、また、共通端子51と第2の個別端子52−2との間にも、同じく並列接続された2組の単位スイッチ102−1,102−2が、それぞれ設けられている。
なお、図1においては、第1及び第2の個別端子52−1,52−2以外の個別端子の図示を省略してあるが、それら他の個別端子と共通端子51との間にも、それぞれ2組の単位スイッチが設けられた構成となっている。
Hereinafter, the configuration will be specifically described. First, between the common terminal 51 and the first individual terminal 52-1, two sets of unit switches 101-1 and 101-2 connected in parallel are provided. Further, two sets of unit switches 102-1 and 102-2 that are also connected in parallel are provided between the common terminal 51 and the second individual terminal 52-2, respectively.
In FIG. 1, the illustration of the individual terminals other than the first and second individual terminals 52-1 and 52-2 is omitted, but between the other individual terminals and the common terminal 51, Each has two sets of unit switches.

共通端子51と第1の個別端子52−1との間に設けられた2組の単位スイッチ101−1,101−2と、共通端子51と他の個別端子52−2、・・・との間に設けられた2組の単位スイッチの回路構成は基本的に同一であるので、共通端子51と第1の個別端子52−1との間に設けられた2組の単位スイッチ101−1,101−2の構成の説明を以て他の2組の単位スイッチの構成の説明に代えることとする。
なお、以下の説明においては、共通端子51と第2の個別端子52−2との間に設けられた2組の単位スイッチ102−1,102−2については、2組の単位スイッチ101−1,101−2の構成の説明における構成要素の符号の後に括弧書きで対応する構成要素の符号を示すこととする。
Two sets of unit switches 101-1 and 101-2 provided between the common terminal 51 and the first individual terminal 52-1, and the common terminal 51 and the other individual terminals 52-2,. Since the circuit configuration of the two sets of unit switches provided between them is basically the same, the two sets of unit switches 101-1 provided between the common terminal 51 and the first individual terminal 52-1, The description of the configuration of 101-2 will be replaced with the description of the configuration of the other two unit switches.
In the following description, for the two sets of unit switches 102-1 and 102-2 provided between the common terminal 51 and the second individual terminal 52-2, two sets of unit switches 101-1 are used. , 101-2, the reference numerals of the constituent elements in the description of the constituent elements are shown in parentheses to indicate the corresponding constituent elements.

まず、本発明の実施の形態における2組の単位スイッチ101−1,101−2(102−1,102−2)は、それぞれ電界効果トランジスタ(以下「FET」と称する)が3つ直列接続されて、いわゆるFET3段構成を有するものとなっており、共通端子51と第1の個別端子52−1(52−2)との間で相互に並列接続されて設けられたものとなっている。
そして、第1の単位スイッチ101−1(102−1)は、第1乃至第3のFET1−1〜1−3(2−1〜2−3)が直列接続されて構成され、第2の単位スイッチ101−2(102−2)は、第4乃至第6のFET1−4〜1−6(2−4〜2−6)が直列接続されて構成されたものとなっている。
First, in each of the two sets of unit switches 101-1 and 101-2 (102-1 and 102-2) in the embodiment of the present invention, three field effect transistors (hereinafter referred to as “FETs”) are connected in series. Thus, it has a so-called FET three-stage configuration, and is provided by being connected in parallel between the common terminal 51 and the first individual terminal 52-1 (52-2).
The first unit switch 101-1 (102-1) is configured by connecting first to third FETs 1-1 to 1-3 (2-1 to 2-3) in series, The unit switch 101-2 (102-2) is configured by connecting fourth to sixth FETs 1-4 to 1-6 (2-4 to 2-6) in series.

第1の単位スイッチ101−1(102−1)において、第1のFET1−1(2−1)のドレインは共通端子51に接続される一方、ソースは、第2のFET1−2(2−2)のドレインと相互に接続され、第2のFET1−2(2−2)のソースは、第3のFET1−3(2−3)のドレインと接続されたものとなっている。そして、第3のFET1−3(2−3)のソースは、第1の個別端子52−1(52−2)と接続されている。   In the first unit switch 101-1 (102-1), the drain of the first FET 1-1 (2-1) is connected to the common terminal 51, while the source is the second FET 1-2 (2- 2) connected to the drain of the second FET 1-2 (2-2), and connected to the drain of the third FET 1-3 (2-3). The source of the third FET 1-3 (2-3) is connected to the first individual terminal 52-1 (52-2).

さらに、第1のFET1−1(2−1)のゲートとソースとの間には、第1の付加容量11−1(12−1)が、第2のFET1−2(2−2)のゲートとソースとの間には、第2の付加容量11−2(12−2)が、第3のFET1−3(2−3)のゲートとソースとの間には、第3の付加容量11−3(12−3)が、それぞれ接続されている。   Furthermore, between the gate and source of the first FET 1-1 (2-1), the first additional capacitor 11-1 (12-1) is connected to the second FET 1-2 (2-2). A second additional capacitor 11-2 (12-2) is provided between the gate and the source, and a third additional capacitor is provided between the gate and the source of the third FET 1-3 (2-3). 11-3 (12-3) are connected to each other.

一方、第2の単位スイッチ101−2(102−2)においては、第4のFET1−4(2−4)のドレインは共通端子51に接続される一方、ソースは、第5のFET1−5(2−5)のドレインと相互に接続され、第5のFET1−5(2−5)のソースは、第6のFET1−6(2−6)のドレインと接続されたものとなっている。そして、第6のFET1−6(2−6)のソースは、第1の個別端子52−1(52−2)と接続されている。   On the other hand, in the second unit switch 101-2 (102-2), the drain of the fourth FET1-4 (2-4) is connected to the common terminal 51, while the source is the fifth FET1-5. It is mutually connected to the drain of (2-5), and the source of the fifth FET 1-5 (2-5) is connected to the drain of the sixth FET 1-6 (2-6). . The source of the sixth FET 1-6 (2-6) is connected to the first individual terminal 52-1 (52-2).

また、第4のFET1−4(2−4)のゲートとドレインとの間には、第4の付加容量11−4(12−4)が、第5のFET1−5(2−5)のゲートとドレインとの間には、第5の付加容量11−5(12−5)が、第6のFET1−6(2−6)のゲートとドレインとの間には、第6の付加容量11−6(12−6)が、それぞれ接続されている。   The fourth additional capacitor 11-4 (12-4) is connected between the gate and the drain of the fourth FET1-4 (2-4) and the fifth FET1-5 (2-5). A fifth additional capacitor 11-5 (12-5) is provided between the gate and the drain, and a sixth additional capacitor is provided between the gate and the drain of the sixth FET 1-6 (2-6). 11-6 (12-6) are connected to each other.

またさらに、第1乃至第3のFET1−1〜1−3のゲートには第1乃至第3のゲート抵抗器21−1〜21−3(22−1〜22−3)の一端がそれぞれ接続され、第4乃至第6のFET1−4〜1−6のゲートには第4乃至第6のゲート抵抗器21−4〜21−6(22−4〜22−6)の一端がそれぞれ接続される一方、第1乃至第6のゲート抵抗器21−1〜21−6(22−1〜22−6)の他端は、相互に接続されて、第1の共用抵抗器31−1(31−2)を介して、図示されない制御回路からの制御信号が印加されるようになっている。   Furthermore, one ends of first to third gate resistors 21-1 to 21-3 (22-1 to 22-3) are connected to the gates of the first to third FETs 1-1 to 1-3, respectively. The fourth to sixth gate resistors 21-4 to 21-6 (22-4 to 22-6) are connected to the gates of the fourth to sixth FETs 1-4 to 1-6, respectively. On the other hand, the other ends of the first to sixth gate resistors 21-1 to 21-6 (22-1 to 22-6) are connected to each other to form the first shared resistor 31-1 (31). -2), a control signal from a control circuit (not shown) is applied.

ここで、図示されない制御回路は、導通状態を所望する信号経路、すなわち、共通端子51と、複数の個別端子52−1、52−2、・・・のいずれか一つとの間に形成されるべき経路に応じて、該当する2組の単位スイッチを導通状態とすべく論理値Highに相当する電圧信号を出力する一方、他の2組の単位スイッチを非導通状態とすべく論理値Lowに相当する電圧信号を出力するよう構成されてなるものである。   Here, a control circuit (not shown) is formed between a signal path for which a conduction state is desired, that is, between the common terminal 51 and any one of the plurality of individual terminals 52-1, 52-2,. Depending on the power path, a voltage signal corresponding to the logical value High is output to turn on the corresponding two sets of unit switches, while the logical value Low is set to turn off the other two sets of unit switches. It is configured to output a corresponding voltage signal.

かかる構成において、第1及び第2の単位スイッチ101−1,101−2を構成する第1乃至第6のFET1−1〜1−6(2−1〜2−6)は、いずれもゲート幅Wgが従来回路のゲート幅(標準ゲート幅)に比して1/2に設定されたものが用いられたものとなっている。そして、第1乃至第6のFET1−1〜1−6(2−1〜2−6)全体としてのトータルのゲート幅Wgは従来回路のFETと基本的に同一となっている。
ここで、従来回路とは、共通端子51と個別端子52−1、52−2、・・・との間に、FET3段構成の単位スイッチが、それぞれ一つずつ設けられた構成のものを意味する。
In this configuration, each of the first to sixth FETs 1-1 to 1-6 (2-1 to 2-6) constituting the first and second unit switches 101-1 and 101-2 has a gate width. The one in which Wg is set to ½ of the gate width (standard gate width) of the conventional circuit is used. The total gate width Wg of the first to sixth FETs 1-1 to 1-6 (2-1 to 2-6) as a whole is basically the same as that of the FET of the conventional circuit.
Here, the conventional circuit means a configuration in which one unit switch of FET three-stage configuration is provided between the common terminal 51 and the individual terminals 52-1, 52-2,. To do.

また、第1乃至第6のFET1−1〜1−6(2−1〜2−6)がOFF状態において、それぞれのゲート・ドレイン間に生ずる寄生容量をCgd、それぞれのゲート・ソース間に生ずる寄生容量をCgsとすると、第1乃至第6の付加容量11−1〜11−6(12−1〜12−6)のそれぞれ容量は、Cgs/Cgdの数倍の値に設定されたものとなっている。なお、具体的に如何なる値とするかは、具体的なFETの仕様等に応じて、試験やシミュレーション結果に基づいて適切な値を定めるのが好適である。   Further, when the first to sixth FETs 1-1 to 1-6 (2-1 to 2-6) are in the OFF state, a parasitic capacitance generated between each gate and drain is generated between Cgd and each gate and source. Assuming that the parasitic capacitance is Cgs, the capacitances of the first to sixth additional capacitors 11-1 to 11-6 (12-1 to 12-6) are set to values that are several times larger than Cgs / Cgd. It has become. Note that it is preferable to determine an appropriate value based on a test or a simulation result in accordance with a specific FET specification or the like.

上述のように第1乃至第6の付加容量11−1〜11−6(12−1〜12−6)のそれぞれ容量を、Cgs/Cgdの数倍の値に設定することで、第1乃至第3のFET1−1〜1−3のそれぞれの容量Cupは、ゲート・ドレイン間の寄生容量CgdだけでCup≒Cgdと近似することができる一方、第4乃至第6のFET1−4〜1−6のそれぞれの容量Cdownは、ゲート・ソース間の寄生容量CgsだけでCdown≒Cgsと近似することができることとなる。   As described above, by setting the capacities of the first to sixth additional capacitors 11-1 to 11-6 (12-1 to 12-6) to values that are several times larger than Cgs / Cgd, the first to sixth capacities are set. The capacitances Cup of the third FETs 1-1 to 1-3 can be approximated as Cup≈Cgd only by the parasitic capacitance Cgd between the gate and the drain, while the fourth to sixth FETs 1-4 to 1- Each capacitance Cdown of 6 can be approximated as Cdown≈Cgs only by the parasitic capacitance Cgs between the gate and the source.

例えば、図1に示された構成において、図示されない制御回路から、2組の単位スイッチ101−1,101−2の各FET1−1〜1−6のゲートへ対して論理値Highに相当する電圧信号が印加されて、信号経路として共通端子51と第1の個別端子52−1が選択される一方、他の単位スイッチ102−1,102−2、・・・に対しては図示されない制御回路から論理値Lowに相当する電圧信号が印加されて、他の個別端子52−2、・・・と共通端子51間は非導通状態にあるとする。   For example, in the configuration shown in FIG. 1, a voltage corresponding to the logical value High from the control circuit (not shown) to the gates of the FETs 1-1 to 1-6 of the two sets of unit switches 101-1 and 101-2. A signal is applied to select the common terminal 51 and the first individual terminal 52-1 as a signal path, while the other unit switches 102-1, 102-2,. A voltage signal corresponding to the logic value Low is applied to the other individual terminals 52-2,... And the common terminal 51 in a non-conductive state.

良く知られているように、OFF状態にあるFETの寄生容量CgdとCgsは、位相が180度ずれているため(図9参照)、例えば、OFF状態にある単位スイッチ102−1,102−2の各FET2−1〜2−6における上述の容量CupとCdownも同様に180度の位相差で、高周波信号の変化に伴って変化するものとなる(図2参照)。
なお、図2において、一点鎖線の特性線は、容量Cupの変化特性を、実線の特性線は、容量Cdownの変化特性を、それぞれ表すものとなっている。
As is well known, the parasitic capacitances Cgd and Cgs of the FET in the OFF state are 180 degrees out of phase (see FIG. 9). For example, the unit switches 102-1 and 102-2 in the OFF state Similarly, the capacitances Cup and Cdown in each of the FETs 2-1 to 2-6 also have a phase difference of 180 degrees and change as the high-frequency signal changes (see FIG. 2).
In FIG. 2, the one-dot chain line characteristic line represents the change characteristic of the capacitance Cup, and the solid line characteristic line represents the change characteristic of the capacitance Cdown.

したがって、容量CupとCdownは、並列接続されているため、それぞれの容量変化が相殺し合うこととなり、共通端子51と第2の個部端子52−2間におけるトータル容量Ctotalは高周波信号の変化に関わらず一定となる(図2の二点鎖線参照)。それ故、従来と異なり、トータル容量Ctotalの変動に起因するOFF状態のFETに生ずる歪が低減、抑圧されることとなる。   Accordingly, since the capacitors Cup and Cdown are connected in parallel, the respective capacitance changes cancel each other, and the total capacitance Ctotal between the common terminal 51 and the second individual terminal 52-2 is caused by the change in the high-frequency signal. Regardless, it is constant (see the two-dot chain line in FIG. 2). Therefore, unlike the conventional case, the distortion generated in the FET in the OFF state due to the fluctuation of the total capacitance Ctotal is reduced and suppressed.

なお、上述のCup≒Cgd、及び、Cdown≒Cgsの近似の精度は、付加容量11−1〜11−6、12−1〜12−6、・・・の容量を大とするほど高くなるため、OFF状態のFETにおける歪の低減、抑圧効果をさらに向上させることができるが、その反面、付加容量11−1〜11−6、12−1〜12−6、・・・の容量増大は、電圧定在波比 (VSWR: Voltage Standing Wave Ratio)とパワーハンドリングに影響を与えるため、これらを十分考慮して容量設定を行う必要がある。   Note that the accuracy of approximation of the above Cup≈Cgd and Cdown≈Cgs increases as the capacity of the additional capacitors 11-1 to 11-6, 12-1 to 12-6,. , The distortion reduction and suppression effect in the FET in the OFF state can be further improved, but on the other hand, the increase in capacity of the additional capacitors 11-1 to 11-6, 12-1 to 12-6,. Since it affects the voltage standing wave ratio (VSWR) and power handling, it is necessary to set the capacity with sufficient consideration.

次に、本発明をSP10Tスイッチ回路に適用した場合のシュミレーション結果について、図3乃至図5を参照しつつ説明する。
まず、図5には、本発明適用前の従来のSP10Tスイッチ回路の回路構成例が示されている。
同図に示された半導体スイッチ回路例は、図面を簡潔にして理解を容易とするため、図示を一部省略してあるが、10個の個別端子P1、P2、・・・P10が設けられ、共通端子PCとの間には、それぞれ単位スイッチ101B、102B、・・・、110Bが設けられて、10個の個別端子P1、P2、・・・P10のいずれか一つと共通端子PCとが図示されない制御回路による制御により導通状態とされるよう構成されてなるものである。
そして、各単位スイッチ101B、102B、・・・、110Bは、それぞれFET5段直列接続されて構成されたものとなっている。
Next, simulation results when the present invention is applied to the SP10T switch circuit will be described with reference to FIGS.
First, FIG. 5 shows a circuit configuration example of a conventional SP10T switch circuit before application of the present invention.
The semiconductor switch circuit example shown in the figure is partially omitted in order to simplify the drawing and make it easy to understand. However, ten individual terminals P1, P2,... P10 are provided. , 110B are provided between the common terminal PC and each of the ten individual terminals P1, P2,... P10 and the common terminal PC. It is configured to be in a conductive state under the control of a control circuit (not shown).
Each unit switch 101B, 102B,..., 110B is configured by connecting 5 stages of FETs in series.

図4には、上述の従来回路に本発明を適用した場合の回路構成例が示されており、以下、同図を参照しつつ、この場合の回路構成について説明する。
なお、図を見易くして理解を容易とするため、図4においては、主要な構成要素にのみ符号を付すこととする。
共通端子PCと各個別端子P1、P2、・・・P10との間には、それぞれ並列接続された2組の単位スイッチ101A−1,101A−2、102A−1,102A−2、・・・、110A−1,110A−2が設けられたものとなっている。
FIG. 4 shows a circuit configuration example in the case where the present invention is applied to the above-described conventional circuit. The circuit configuration in this case will be described below with reference to FIG.
Note that, in order to make the drawing easy to understand and easy to understand, in FIG. 4, only major components are denoted by reference numerals.
Between the common terminal PC and each individual terminal P1, P2,... P10, two sets of unit switches 101A-1, 101A-2, 102A-1, 102A-2,. 110A-1 and 110A-2 are provided.

各単位スイッチ101A−1,101A−2、102A−1,102A−2、・・・、110A−1,110A−2は、図5に示された従来回路同様、FET5段直列接続により構成されている点は同一であるが、各FET1A−1、1A−2、・・・のゲート幅Wgは、図5に示された従来回路におけるFETの1/2に設定されたものとなっている。   Each unit switch 101A-1, 101A-2, 102A-1, 102A-2,..., 110A-1, 110A-2 is configured by a five-stage FET connection in the same way as the conventional circuit shown in FIG. The gate width Wg of each FET 1A-1, 1A-2,... Is set to 1/2 of the FET in the conventional circuit shown in FIG.

また、単位スイッチ101A−1,101A−2を例に採れば、図1で説明したと同様に、一方の単位スイッチ101A−1においては、付加容量11A−1〜11A−5が、FET1A−1〜1A−5のゲート・ソース間にそれぞれ接続されて設けられており、他方の単位スイッチ101A−2においては、付加容量11A−6〜11A−10が、FET1A−6〜1A−10のゲート・ドレイン間にそれぞれ接続されて設けられたものとなっている。   Further, if the unit switches 101A-1 and 101A-2 are taken as an example, as described in FIG. 1, in one unit switch 101A-1, the additional capacitors 11A-1 to 11A-5 are connected to the FET 1A-1. 1A-5 are respectively connected between the gate and the source of the other unit switch 101A-2, and the additional capacitors 11A-6 to 11A-10 are connected to the gates of the FETs 1A-6 to 1A-10, respectively. Each drain is connected between the drains.

図3には、図4に示された回路について、付加容量に対する高調波のレベル変化をシミュレーションした結果を示す特性線図が示されており、以下、同図を参照しつつ、シミュレーション結果について説明する。
まず、図3において、横軸は付加容量を、縦軸は高調波レベルを、それぞれ示している。また、シミュレーション条件として、周波数f0=1GHz、入力高周波電力=30dBm、論理値Highに対応する電圧=1.4V、論理値Lowに対応する電圧=−6Vである。シミュレーションにおいて、非線形FETモデルを用いた。
FIG. 3 is a characteristic diagram showing the result of simulating the level change of the harmonics with respect to the additional capacitance for the circuit shown in FIG. 4, and the simulation result will be described below with reference to FIG. To do.
First, in FIG. 3, the horizontal axis indicates the additional capacitance, and the vertical axis indicates the harmonic level. As simulation conditions, the frequency f0 = 1 GHz, the input high-frequency power = 30 dBm, the voltage corresponding to the logical value High = 1.4V, and the voltage corresponding to the logical value Low = −6V. In the simulation, a nonlinear FET model was used.

図3において、点線の特性線は2倍高調波(2f0)の変化を、実線の特性線は3倍高調波(3f0)の変化を、それぞれ表している。
また、同図において、容量0、すなわち、縦軸と上述の各特性線との交点は、従来回路におけるそれぞれの高調波レベルを表している。
同図によれば、付加容量の増大と共に、2倍高調波、3倍高調波共に改善されてゆくことが確認できる。
以上、本発明の実施例について説明したが、単位スイッチを構成する電界効果トランジスタの和は多くなる程、歪特性が劣化するため、本発明のように構成すれば、より効果的に歪特性の向上を図ることができるが、単位スイッチを構成する電界効果トランジスタの和を1個としても、従来例に比して歪特性向上の効果を奏することが可能となる。
In FIG. 3, the dotted characteristic line represents the change of the second harmonic (2f0), and the solid characteristic line represents the change of the third harmonic (3f0).
Further, in the figure, the capacitance 0, that is, the intersection of the vertical axis and the above characteristic lines represents the respective harmonic levels in the conventional circuit.
According to the figure, it can be confirmed that both the second harmonic and the third harmonic are improved as the additional capacity is increased.
As described above, the embodiments of the present invention have been described. However, since the distortion characteristics deteriorate as the sum of the field effect transistors constituting the unit switch increases, the distortion characteristics are more effectively improved when configured as in the present invention. Although the improvement can be achieved, even if the sum of the field effect transistors constituting the unit switch is set to one, the effect of improving the distortion characteristics can be obtained as compared with the conventional example.

OFF状態のFETに生ずる歪のさらなる低減、抑圧が所望される半導体スイッチ回路に適用できる。   The present invention can be applied to a semiconductor switch circuit in which further reduction and suppression of distortion generated in the FET in the OFF state is desired.

11−1〜11−6…付加容量
12−1〜12−6…付加容量
101−1…第1の単位スイッチ
101−2…第2の単位スイッチ
102−1…第1の単位スイッチ
102−2…第2の単位スイッチ
11-1 to 11-6 ... additional capacitors 12-1 to 12-6 ... additional capacitors 101-1 ... first unit switch 101-2 ... second unit switch 102-1 ... first unit switch 102-2 ... Second unit switch

Claims (1)

少なくとも1つの共通端子と複数の個別端子とを有し、
前記共通端子と前記個別端子との間には、それぞれ2組の単位スイッチが並列接続されて設けられ、
前記2組の単位スイッチの導通、非導通を制御することにより所望する個別端子と共通端子間における信号の伝搬を可能とするよう構成されてなる半導体スイッチ回路であって、
前記単位スイッチは、それぞれ同一個数の電界効果トランジスタの直列接続により構成されてなり、
前記2組の単位スイッチの内、一方の単位スイッチにあっては、各電界効果トランジスタのゲート・ソース間に、それぞれ付加容量が接続され、他方の単位スイッチにあっては、各電界効果トランジスタのゲート・ドレイン間に、それぞれ付加容量が接続されてなることを特徴とする半導体スイッチ回路。
Having at least one common terminal and a plurality of individual terminals;
Between the common terminal and the individual terminal, two sets of unit switches are respectively connected in parallel,
A semiconductor switch circuit configured to allow signal propagation between a desired individual terminal and a common terminal by controlling conduction and non-conduction of the two sets of unit switches,
Each of the unit switches is configured by series connection of the same number of field effect transistors,
In one of the two sets of unit switches, an additional capacitor is connected between the gate and source of each field effect transistor, and in the other unit switch, each field effect transistor has A semiconductor switch circuit comprising an additional capacitor connected between a gate and a drain.
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