JP6175322B2 - 流路部材、液体吐出ヘッド、および記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、流路部材、液体吐出ヘッド、および記録装置に関するものである。

従来から、液体吐出ヘッドとして、例えば、液滴を記録媒体上に吐出することによって各種の印画を行うインクジェットヘッドが知られている。このような液体吐出ヘッドは、流路部材を備えている。流路部材は、複数の板状部材が積層されるとともに内部に流路が設けられた第１部材、および、第１部材の流路内における液体を吐出するための吐出孔が設けられた第２部材を有する。第１部材の流路は、第１部材の側面に設けられた開口部と連通している。第２部材に設けられた吐出孔は、当該開口部を介して第１部材の流路と連通している（例えば、特許文献１参照）。

特開平１１−２５４６７４号公報

ところで、上記従来の液体吐出ヘッドにおいて、第２部材に設けられた吐出孔と第１部材の流路とを連通させる場合、第２部材は、例えば、接着部材を介して第１部材の側面上に配置される。しかしながら、上記従来の液体吐出ヘッドでは、第１部材は、複数の板状部材が積層されていることから、当該第１部材の側面には段差が生じる可能性があった。このような場合において、接着部材を介して第１部材の側面上に第２部材を配置すると、接着部材が吐出孔側へと流入し、当該吐出孔から液滴を吐出できなくなる可能性があった。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液滴の不吐出が生じる可能性を低減することができる流路部材、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。

本発明の流路部材における一態様は、主面および該主面よりも面積が小さい側面を含んだ板状部材を複数有しており、前記主面同士が対向するように複数の前記板状部材が積層された第１部材と、複数の前記板状部材の前記側面と対向する対向面を有した第２部材と、複数の前記板状部材の前記側面と前記対向面とを接着する接着部材と、を備え、前記第１部材は、少なくとも一つの前記板状部材の前記側面において開口する第１開口部、および、前記第１部材の内部に設けられており且つ前記第１開口部に連通する第１流路を有しており、前記第２部材は、前記対向面において開口しており且つ前記第１開口部に連通する第２開口部、および、前記第２部材の内部に設けられており且つ該第２開口部に連通する第２流路を有しており、断面視して、前記第２開口部の幅は、前記第１開口部の幅よりも大きい。

本発明の液体吐出ヘッドにおける一態様は、本発明に係る流路部材と、該流路部材上に設けられた加圧部と、を備え、前記第１流路は、マニホールド、および、該マニホールドに連結するとともに複数の前記第１開口部のそれぞれに連結した複数の加圧室を有しており、前記第２部材は、前記第２流路に連通する吐出孔を有しており、前記加圧部は、前記加圧室を加圧することで当該加圧室内の液体を前記吐出孔から吐出させる。

本発明の記録装置における一態様は、本発明に係る液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対して記録媒体を搬送する搬送部と、を備える。

本発明の流路部材、液体吐出ヘッド、および記録装置は、液滴の不吐出が生じる可能性を低減することができる、という効果を奏する。

（ａ）は、本実施形態に係るプリンタの概略構成を示した側面図である。（ｂ）は、本実施形態に係るプリンタの概略構成を示した平面図である。 （ａ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドを示した斜視図である。（ｂ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドのうち、吐出ユニットを示した斜視図である。（ｃ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドのうち、第２部材を示した斜視図である。 （ａ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドのうち、第１部材を示した平面図である。（ｂ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドのうち、第１部材を示した平面図であって、第１部材の第１流路を示した図である。 図３の（ｂ）中に示した１点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図である。 本実施形態に係る液体吐出ヘッドを示した図であって、図４中に示したＩ−Ｉ線断面図である。 変形例１に係る液体吐出ヘッドを示した図であって、図５と同じ部位を示した図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。

但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、本発明の一実施形態の構成部材のうち、本発明を説明するために必要な主要部材を簡略化して示したものである。したがって、本発明に係る流路部材、液体吐出ヘッド、および記録装置は、本明細書が参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。

図１の（ａ）は、本実施形態に係るプリンタ１の概略構成を示した側面図である。図１の（ｂ）は、本実施形態に係るプリンタ１の概略構成を示した平面図である。プリンタ１は、本発明に係る記録装置の一実施態様である。

プリンタ１は、フレーム７０、液体吐出ヘッド２、搬送部８０、制御部８８を備えている。

フレーム７０は、印刷用紙Ｐと対向して位置している。フレーム７０には、２０個の孔が設けられている。液体吐出ヘッド２は、フレーム７０に設けられた２０個の孔のそれぞれに対応して、当該フレーム７０に固定されている。また、液体吐出ヘッド２における吐出面６−２は、フレーム７０に設けられた孔において当該フレーム７０から露出しており、印刷用紙Ｐに対向している。本実施形態では、５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

搬送部８０は、給紙ローラ８０ａ、回収ローラ８０ｂ、ガイドローラ８２ａ、および搬送ローラ８２ｂを有する。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０の下方を通過する。印刷用紙Ｐは、フレーム７０の下方を通過する際に、液体吐出ヘッド２における吐出面６−２より吐出された液滴により印画される。印画された印刷用紙Ｐは、２つの搬送ローラ８２ｂの間を通った後、回収ローラ８０ｂによって巻き取られる。

制御部８８は、液体吐出ヘッド２および搬送部８０の動作を制御する役割を有する。なお、制御部８８は、プリンタ１の内部に設けられていてもよいし、プリンタ１の外部に設けられていてもよい。また、搬送部８０の動作は、制御部８８によって制御されていなくともよく、例えば、手動によって操作されていてもよい。

ここで、プリンタ１の動作について説明する。

プリンタ１では、４つのヘッド群７２は、印刷用紙Ｐが給紙ローラ８０ａから回収ローラ８０ｂへと搬送される方向に並んで配置されている。このため、制御部８８からの信号によって搬送された印刷用紙Ｐは、４つのヘッド群７２の下方を順次通過することになる。ここで、制御部８８は、液体吐出ヘッド２に対して画像あるいは文字データに基づく信号を送信する。制御部８８より信号を受信した液体吐出ヘッド２は、当該信号に基づいて吐出面６−２より液滴を吐出する。本実施形態では、４つのヘッド群７２のそれぞれには、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）のインクが供給される。このため、印刷用紙Ｐが４つのヘッド群７２の下方を通過することで、当該印刷用紙Ｐに対してカラープリントを行うことができる。

なお、本実施形態では、プリンタ１は、カラープリンタであるが、これに限らず、モノクロプリンタであってもよい。プリンタ１がモノクロプリンタである場合、当該プリンタ１は、１つのヘッド群７２を有する構成としてもよいし、１つの液体吐出ヘッド２を有する構成としてもよい。

また、本実施形態では、プリンタ１は、液体吐出ヘッド２が固定された状態で印画を行うライン式のプリンタであるが、これに限らず、印刷用紙Ｐの搬送方向とは交差する方向に液体吐出ヘッド２を移動させながら印画を行うシリアル方式のプリンタであってもよい。

次に、図２〜図５を参照しながら、液体吐出ヘッド２について説明する。図２の（ａ）は、液体吐出ヘッド２を示した斜視図である。図２の（ｂ）は、液体吐出ヘッド２のうち、吐出ユニット３を示した斜視図である。図２の（ｃ）は、液体吐出ヘッド２のうち、第２部材６を示した斜視図である。図３の（ａ）は、液体吐出ヘッド２のうち、第１部材４を示した平面図である。図３の（ｂ）は、液体吐出ヘッド２のうち、第１部材４を示した平面図であって、第１部材４の第１流路Ｆ１を示した図である。図４は、図３の（ｂ）中に示した１点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図である。図５は、液体吐出ヘッド２を示した図であって、図４中に示したＩ−Ｉ線断面図である。

液体吐出ヘッド２は、第１部材４および圧電アクチュエータ基板２１を有する吐出ユニット３、第２部材６、ならびに接着部材９を備えている。なお、第１部材４、第２部材６、および接着部材９が、本発明の流路部材における一態様となる。

吐出ユニット３は、第２部材６の吐出面６―２から液体を吐出させる役割を有する。本実施形態では、１つの液体吐出ヘッド２に４つの吐出ユニット３が含まれている。吐出ユニット３は、図２においてＸ方向に延びる略矩形状である。また、４つの吐出ユニット３は、図２においてＹ方向に並んで配置されている。なお、Ｙ方向は、プリンタ１における印刷用紙Ｐの搬送方向に対応する。

吐出ユニット３は、第１部材４および圧電アクチュエータ基板２１を有する。

第１部材４は、内部に流路を有する部材である。また、第１部材４は、複数の板状部材
４ａ〜ｅが順次積層された構造体である。板状部材４ａ〜ｅのそれぞれは、一方主面、当該一方主面の反対側に位置する他方主面、一方主面と他方主面との間に位置するとともに図２においてＺ方向下方に位置する第１側面、当該第１側面の反対側に位置する第２側面を含んでいる。なお、板状部材４ａ〜ｅのそれぞれにおいて、第１側面および第２側面の平面視における面積は、一方主面および他方主面の平面視における面積よりも小さい。

板状部材４ａ〜ｅは、隣り合う板状部材の一方主面と他方主面とが対向するように積層されている。ここで、「対向する」とは、互いに向かい合って位置することを指す。このため、隣り合う板状部材の一方主面同士、あるいは、他方主面同士は、対向していない。板状部材４ａ〜ｅのうち隣り合う板状部材の一方主面と他方主面とは、例えば、図示しない接着材料を介して互いに接着される。本実施形態では、板状部材４ａの一方主面は、他の板状部材と対向しておらず、当該一方主面が第１部材４の一方主面４−１となる。また、本実施形態では、板状部材４ｅの他方主面は、他の板状部材と対向しておらず、当該他方主面が第１部材４の他方主面４−２となる。また、本実施形態では、板状部材４ａ〜ｅの第１側面は、第１部材４の第１側面４−３となり、板状部材４ａ〜ｅの第２側面は、第１部材４の第２側面４−４となる。板状部材４ａ〜ｅの構成材料としては、例えば、金属材料、ステンレス、シリコンが挙げられる。

なお、本実施形態では、第１部材４は、５つの板状部材４ａ〜ｅが積層された構造体であるが、これに限らず、積層される板状部材の個数は任意である。

第１部材４は、供給孔５ａおよび第１開口部１２を有する。供給孔５ａは、例えば、図示しないリザーバより液体が供給される部位である。供給孔５ａは、第１部材４の第２側面４−４において開口して設けられている。具体的には、供給孔５ａは、板状部材４ｃの第２側面において開口して設けられている。第１開口部１２は、第２部材６の第２開口部１３と連通する部位である。第１開口部１２は、第１部材４の第１側面４−３において開口して設けられている。具体的には、第１開口部１２は、板状部材４ａの第１側面において開口して設けられている。ここで、供給孔５ａと第１開口部１２とは、第１部材４の内部の流路によって連通している。本実施形態では、当該流路を第１流路Ｆ１と称する。

第１流路Ｆ１は、マニホールド５、個別供給路１４、加圧室１０、および連通路１１を含んでいる。

マニホールド５は、複数の加圧室１０のそれぞれに対して液体を供給する共通流路である。マニホールド５は、２つの供給孔５ａと連通している。ここで、２つの供給孔５ａは、Ｘ方向における第１部材４の一端および他端のそれぞれに対応して設けられている。このため、本実施形態では、マニホールド５は、Ｘ方向に沿って延びるように配置される。本実施形態では、マニホールド５は、板状部材４ｃが一方主面から他方主面にかけて貫通するように、当該板状部材４ｃにエッチング処理を施すことによって形成される。

個別供給路１４は、マニホールド５と複数の加圧室１０のそれぞれとを連通する役割を有する。個別供給路１４は、板状部材４ｂおよび４ｄが一方主面から他方主面にかけて貫通するように、当該板状部材４ｂおよび４ｄにエッチング処理を施すことによって形成される。なお、加圧室１０内に位置する液体がマニホールド５内へと逆流する可能性を低減するために、個別供給路１４は、しぼりを有することが好ましい。当該しぼりは、例えば、個別供給路１４の一部を連通路１１に比して断面積を小さくすることで形成される。

加圧室１０は、個別供給路１４を介してマニホールド５と連通している。加圧室１０は、Ｘ方向に並んで複数設けられている。具体的には、複数の加圧室１０は、一方の加圧室群および他方の加圧室群に群別される。一方の加圧室群は、マニホールド５よりも一方主
面４−１側において、８つ加圧室１０がＸ方向に並んで配置されている。他方の加圧室群は、マニホールド５よりも他方主面４−２側において、８つ加圧室１０がＸ方向に並んで配置されている。本実施形態では、一方の加圧室群に含まれる加圧室１０と他方の加圧室群に含まれる加圧室１０とは、Ｙ方向において互いに隣り合うことがないように配置されている。加圧室１０は、板状部材４ａおよび４ｅが一方主面から他方主面にかけて貫通するように、当該板状部材４ａおよび４ｅにエッチング処理を施すことによって形成される。

なお、本実施形態では、加圧室１０のうち第２側面４−４側の端部は、個別供給路１４よりも第２側面４−４側に位置しているが、これに限らず、個別供給路１４と略同一の高さ位置であってもよい。

連通路１１は、加圧室１０と第１開口部１２とを互いに連通している。連通路１１は、加圧室１０よりも第１側面４−３側に位置している。一方の加圧室群に含まれる加圧室１０と連通する連通路１１および第１開口部１２は、板状部材４ａの他方主面をハーフエッチングすることによって形成される。このため、本実施形態では、第１開口部１２は、板状部材４ａの第１側面において開口するとともに、板状部材４ｂの第１側面と接している。また、他方の加圧室群に含まれる加圧室１０と連通する連通路１１および第１開口部１２は、板状部材４ｅの一方主面をハーフエッチングすることによって形成される。このため、本実施形態では、第１開口部１２は、板状部材４ｅの第１側面において開口するとともに、板状部材４ｄの第１側面と接している。

圧電アクチュエータ基板２１は、複数の加圧室１０のそれぞれを加圧する役割を有する。圧電アクチュエータ基板２１は、本発明に係る加圧部の一実施形態となる。なお、本発明に係る加圧部は、圧電アクチュエータ基板２１に限らず、例えば、複数の加圧室１０内の温度を変化させることによって当該加圧室１０を加圧する部材であってもよい。圧電アクチュエータ基板２１は、一方主面４−１および他方主面４−２のそれぞれに対応して２つ設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエータ基板２１は、Ｘ方向において第１部材４よりも短く形成されている。

圧電アクチュエータ基板２１は、圧電セラミック層２１ａ，２１ｂ、共通電極２４、および個別電極２５を有する。

圧電セラミック層２１ａは、振動板としての役割を有する。圧電セラミック層２１ａは、一方主面４−１上および他方主面４−２上において、加圧室１０を覆っている。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａの略全面上に設けられている。共通電極２４は、例えば、圧電セラミック層２１ｂ上に設けられた図示しない第１表面電極と電気的に接続される。圧電セラミック層２１ｂは、共通電極２４の略全面上に設けられている。個別電極２５は、圧電セラミック層２１ｂ上において、加圧室１０に対応して複数設けられている。具体的には、個別電極２５は、Ｙ方向において加圧室１０と重なるように配置されている。また、個別電極２５は、Ｙ方向において加圧室１０と重ならないように設けられた図示しない第２表面電極と電気的に接続されている。

ここで、上記の第１表面電極および第２表面電極は、例えば、図示しないフレキシブル配線基板を介して、プリンタ１が備える制御部８８に電気的に接続される。すなわち、共通電極２４および複数の個別電極２５は、制御部８８に電気的に接続されることになる。制御部８８より共通電極２４および複数の個別電極２５に対して電圧が供給されると、圧電セラミック層２１ｂのうち共通電極２４と個別電極２５との間に位置する部位が変位する。そして、圧電セラミック層２１ａが圧電セラミック層２１ｂの変位に応じて変位することで、加圧室１０を加圧することができる。

圧電セラミック層２１ａ,２１ｂの構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛
またはチタン酸バリウムが挙げられる。共通電極２４および個別電極２５の構成材料としては、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｇ―Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｃｕが挙げられる。圧電アクチュエータ基板２１の形成方法としては、例えば、以下の方法が挙げられる。すなわち、ロールコータ法、スリットコーター法等のテープ成形法により、圧電性セラミック粉末および有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。次に、グリーンシートの表面に、共通電極２４となる電極ペーストを印刷法等により形成する。その後、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後、積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成する。そして、焼成後の積層体に個別電極２５なる電極ペーストを印刷法等により形成し、焼成する。これにより、圧電アクチュエータ基板２１が形成される。

このように、吐出ユニット３では、供給孔５ａからマニホールド５へと供給された液体が、個別供給路１４を介して複数の加圧室１０のそれぞれへと流入する。ここで、加圧室１０は、圧電アクチュエータ基板２１の一部が変位することにより、加圧される。加圧室１０が加圧されると、当該加圧室１０内に位置する液体は、連通路１１を介して第１開口部１２から第２部材６の第２開口部１３へと流入する。

第２部材６は、４つの液体吐出ヘッド２における第１側面４−３と対向して設けられている。第２部材６は、Ｘ方向に沿って延びる略矩形状である。本実施形態では、第２部材６は、板状部材６ａおよび６ｂが順次積層された構造体である。板状部材６ａおよび６ｂのそれぞれは、一方主面および当該一方主面の反対側に位置する他方主面を有する。板状部材６ａおよび６ｂは、板状部材６ａの他方主面と板状部材６ｂの一方主面とが対向するように積層されている。板状部材６ａの他方主面と板状部材６ｂの一方主面とは、例えば、図示しない接着材料を介して互いに接着される。本実施形態では、板状部材６ａの一方主面は、４つの液体吐出ヘッド２における第１側面４−３と対向しており、当該一方主面が第２部材６の対向面６−１となる。また、本実施形態では、板状部材６ｂの他方主面は、複数の吐出孔８が設けられる面であり、当該他方主面が第２部材６の吐出面６−２となる。板状部材６ａおよび６ｂの構成材料としては、例えば、ステンレス、ニッケル、ポリイミド、シリコン等が挙げられる。

第２部材６は、第２開口部１３および吐出孔８を有する。第２開口部１３は、第１開口部１２と連通する部位である。第２開口部１３は、第２部材６の対向面６−１において開口して設けられている。具体的には、第２開口部１３は、板状部材６ａの一方主面において開口して設けられている。吐出孔８は、液滴を外部に吐出する部位である。吐出孔８は、第２部材６の吐出面６−２において開口して設けられている。具体的には、吐出孔８は、板状部材６ｂの他方主面において開口して設けられている。ここで、第２開口部１３と吐出孔８とは、第２部材６の内部の流路によって連通している。本実施形態では、当該流路を第２流路Ｆ２と称する。第２流路Ｆ２は、エッチング処理等によって板状部材６ａおよび６ｂが一方主面から他方主面にかけて貫通することによって形成される。なお、第２流路Ｆ２の流路構造は任意であり、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜変更することができる。

吐出孔８は、複数の加圧室１０のそれぞれに対応して複数設けられている。このため、吐出孔８は、一方の吐出孔群および他方の吐出孔群に群別される。具体的には、一方の吐出孔群は、一方の加圧室群に対応しており、８つの吐出孔８がＸ方向に並んで配置されている。また、他方の吐出孔群は、他方の加圧室群に対応しており、８つの吐出孔８がＸ方向に並んで配置されている。一方の吐出孔群と他方の吐出孔群とは、Ｙ方向に並んで配置されている。ここで、液体吐出ヘッド２では、吐出ユニット３は、４つ設けられている。
このため、第２部材６は、Ｙ方向に並んだ８つの吐出孔群を有する。なお、本実施形態では、吐出孔８は、第１開口部１２の直下に位置しているが、これに限らない。複数の吐出孔８の配置については、任意であり、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜変更することができる。

接着部材９は、第１部材４と第２部材６とを接着する役割を有する。接着部材９は、第１部材４の第１側面４−３と第２部材６の対向面６−１との間に設けられている。また、接着部材９は、第１開口部１２と第２開口部１３との連通部分には設けられていない。接着部材９としては、例えば、熱塑性の接着剤フィルムを用いることができる。

ここで、断面視して、第２開口部１３の幅Ｄ２は、第１開口部１２の幅Ｄ１よりも大きい。このため、液体吐出ヘッド２では、液滴の不吐出が生じる可能性を低減することができる。

具体的には、液体吐出ヘッド２では、接着部材９は、第１部材４の第１側面４−３と第２部材６の対向面６−１とを接着する。ここで、第１部材４は複数の板状部材４ａ〜ｅが積層された構造体である。このため、第１部材４の第１側面４−３は、板状部材４ａ〜ｅのそれぞれの第１側面を含んでいる。そのため、第１部材４の第１側面４−３には、積層ずれによる段差が生じている可能性がある。特に、板状部材４ａ〜ｅのそれぞれの第１側面は、板状部材４ａ〜ｅのそれぞれの一方主面および他方主面に比して面積が小さい。このため、第１部材４の第１側面４−３には、積層ずれによる段差が生じやすい。従来の液体吐出ヘッドでは、第１部材の第１側面に段差が生じていると、接着部材を介して第１部材の第１側面と第２部材の対向面とを接着する際に、接着部材が第２開口部側にはみ出し、第２流路の流路径が小さくなってしまう可能性があった。第２流路の流路径が小さくなってしまうと、吐出孔から液滴が吐出しなくなってしまう可能性があった。

そこで、液体吐出ヘッド２では、断面視して、第２開口部１３の幅Ｄ２は、第１開口部１２の幅Ｄ１よりも大きい。このような構成によれば、接着部材９を介して第１部材４の第１側面４−３と第２部材６の対向面６−１とを接着する際に、接着部材６が第２開口部１３側にはみ出してしまったとしても、第２流路Ｆ２の流路径が小さくなってしまう可能性を低減することができる。このため、吐出孔８から液滴が吐出しなくなってしまう可能性を低減することができる。

なお、本実施形態のように、第２開口部１３は、第１開口部１２の内側に位置することが好ましい。具体的には、第２開口部１３の全部は、平面視して第１開口部１２の内側に位置することが好ましい。このような構成によれば、接着部材９を介して第１部材４の第１側面４−３と第２部材６の対向面６−１とを接着する際に、接着部材６が第２開口部１３側にはみ出してしまったとしても、第２流路Ｆ２の流路径が小さくなってしまう可能性をより低減することができる。

ここで、断面視して、板状部材４ｂの一方主面を延長した仮想線を第１仮想線Ｌ１とする。また、断面視して板状部材４ｂの他方主面を延長した仮想線を第２仮想線Ｌ２とする。本実施形態のように、断面視して、板状部材４ａの第１側面４−３に設けられた第２開口部１３の一端１３ａは、第１仮想線Ｌ１と第２仮想線Ｌ２との間に位置することが好ましい。具体的には、板状部材４ａの第１側面４−３に設けられた第２開口部１３の一端１３ａが、第１仮想線Ｌ１と第２仮想線Ｌ２との間に位置していると、板状部材４ｂの第１側面と板状部材４ｃの第１側面との間に生じる段差の影響によってインクリークが発生する可能性を低減することができる。また、第２開口部１３の一端１３ａが第２仮想線Ｌ２を跨いで位置していないため、第２流路Ｆ２の流路径が相対的に大きくなる可能性を低減することができる。

また、本実施形態のように、第１開口部１２は、板状部材４ａの第１側面において開口するとともに、板状部材４ｂの第１側面と接していることが好ましい。このような構成によれば、板状部材４ａおよび４ｂの２つの部材のみによって第１開口部１２を形成することができる。このため、Ｙ方向において第１部材４を薄型化することができる。また、板状部材４ａの他方主面にハーフエッチング処理を施し、当該板状部材４ａと板状部材４ｂとを積層することによって、第１開口部１２を形成することができる。このため、第１開口部１２を容易に形成することができる。

また、本実施形態のように、板状部材４ａに形成された連通路１１は、当該連通路１１に連通する加圧室１０に比して一方主面４−１から遠い側に位置していることが好ましい。このような構成によれば、一方主面４−１上に設けられた圧電アクチュエータ基板２１の変位によって、連通路１１が加圧されてしまう可能性を低減することができる。

なお、上述した実施形態は、本発明の実施形態の一具体例を示したものであり、種々の変形が可能である。以下、主な変形例を示す。また、以下の変形例において、上述した実施形態と同様の部材については、同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。

［変形例１］
図６は、変形例１に係る液体吐出ヘッド２００を示した図であって、図５と同じ部位を示した図である。

図６に示すように、液体吐出ヘッド２００の第２部材６は、液体吐出ヘッド２の第２部材６が有する第２開口部１３の代わりに、第２開口部２１０を備えている。

第２開口部２１０は、第２開口部１３と同様の役割を有する。ここで、断面視して、第２開口部２１０の一端２１０ａは、第２仮想線Ｌ２を跨いで位置している。第２開口部２１０の一端２１０ａが第２仮想線Ｌ２を跨いで位置していると、板状部材６ａに形成された第２流路Ｆ２の流路径を相対的に大きくすることができる。このため、当該第２流路Ｆ２において、第２流路Ｆ２、連通路１１、および加圧室１０内の液体に生じる圧力波の残留振動を減衰させることができる。そのため、液体吐出ヘッド２００の吐出特性が低下する可能性を低減することができる。

また、第２開口部２１０の一端２１０ａが第２仮想線Ｌ２を跨いで位置していると、板状部材６ａに形成された第２流路Ｆ２の一部は、板状部材４ｃに形成されたマニホールド５の下方に位置することになる。このため、第２流路Ｆ２の一部をマニホールド５のダンパーとして機能させることができる。

［変形例２］
なお、本明細書は、上記の実施形態および変形例１について個別具体的に説明したが、これに限らず、上記の実施形態および変形例１に個別に記載された事項を適宜組み合わせた例についても記載されているものである。すなわち、本発明に係る流路部材は、上記の実施形態および変形例１に個別に記載された事項を適宜組み合わせた流路部材も含む。また、本発明に係る液体吐出ヘッドは、上記の実施形態および変形例２に個別に記載された事項を適宜組み合わせた液体吐出ヘッドも含む。また、上記の実施形態では、液体吐出ヘッド２を備えたプリンタ１について説明したが、本発明に係る記録装置は、これに限定されない。本発明に係る記録装置は、液体吐出ヘッド２に代えて液体吐出ヘッド２００を備えていてもよい。

１ プリンタ（記録装置）
２，２００ 液体吐出ヘッド
４ 第１部材
４ａ〜ｅ 板状部材
４−１ 一方主面
４−２ 他方主面
４−３ 一方側面
４−４ 他方側面
５ マニホールド
６ 第２部材
６−１ 対向面
６−２ 吐出面
８ 吐出孔
９ 接着部材
１０ 加圧室（加圧部）
１１ 連通路
１２ 第１開口部
１３，２１０ 第２開口部
１３ａ，２１０ａ 第２開口部の一端
１３ｂ，２１０ｂ 第２開口部の他端
２１ 圧電アクチュエータ基板
８０ 搬送部

Claims (6)

1. 主面および該主面よりも面積が小さい側面を含んだ板状部材を複数有しており、前記主面同士が対向するように複数の前記板状部材が積層された第１部材と、
   複数の前記板状部材の前記側面と対向する対向面を有した第２部材と、
   複数の前記板状部材の前記側面と前記対向面とを接着する接着部材と、を備え、
   前記第１部材は、少なくとも一つの前記板状部材の前記側面において開口する第１開口部、および、前記第１部材の内部に設けられているとともに前記第１開口部に連通する第１流路を有しており、
   前記第２部材は、前記対向面において開口しているとともに前記第１開口部に連通する第２開口部、および、前記第２部材の内部に設けられているとともに該第２開口部に連通する第２流路を有しており、
   断面視して、前記第２開口部の幅は、前記第１開口部の幅よりも大きくされており、
   前記板状部材は、第１主面、該第１主面の反対側に位置する第２主面、および前記第１主面と前記第２主面との間に位置する第１側面を含んだ第１板状部材と、前記第２主面に対向する第３主面、該第３主面の反対側に位置する第４主面、および前記第３主面と前記第４主面との間に位置する第２側面を含んだ第２板状部材と、を有しており、
   前記第１開口部は、前記第１側面において開口するとともに、平面視して前記第２側面と接しており、
   前記板状部材は、前記第４主面に対向する第５主面、該第５主面の反対側に位置する第６主面、および前記第５主面と前記第６主面との間に位置する第３側面を含んだ第３板状部材を有しており、
   断面視して、
   前記第３主面を延長した仮想線を第１仮想線とし、
   前記第４主面を延長した仮想線を第２仮想線とするとき、
   前記第２開口部の一端は、前記第１仮想線と前記第２仮想線との間に位置する、流路部材。
2. 主面および該主面よりも面積が小さい側面を含んだ板状部材を複数有しており、前記主面同士が対向するように複数の前記板状部材が積層された第１部材と、
   複数の前記板状部材の前記側面と対向する対向面を有した第２部材と、
   複数の前記板状部材の前記側面と前記対向面とを接着する接着部材と、を備え、
   前記第１部材は、少なくとも一つの前記板状部材の前記側面において開口する第１開口部、および、前記第１部材の内部に設けられているとともに前記第１開口部に連通する第１
   流路を有しており、
   前記第２部材は、前記対向面において開口しているとともに前記第１開口部に連通する第２開口部、および、前記第２部材の内部に設けられているとともに該第２開口部に連通する第２流路を有しており、
   断面視して、前記第２開口部の幅は、前記第１開口部の幅よりも大きくされており、
   前記板状部材は、第１主面、該第１主面の反対側に位置する第２主面、および前記第１主面と前記第２主面との間に位置する第１側面を含んだ第１板状部材と、前記第２主面に対向する第３主面、該第３主面の反対側に位置する第４主面、および前記第３主面と前記第４主面との間に位置する第２側面を含んだ第２板状部材と、を有しており、
   前記第１開口部は、前記第１側面において開口するとともに、平面視して前記第２側面と接しており、
   前記板状部材は、前記第４主面に対向する第５主面、該第５主面の反対側に位置する第６主面、および前記第５主面と前記第６主面との間に位置する第３側面を含んだ第３板状部材を有しており、
   断面視して、
   前記第４主面を延長した仮想線を第２仮想線とするとき、
   前記第２開口部は、前記第２仮想線を跨いで位置する、流路部材。
3. 請求項１または２に記載された流路部材と、
   該流路部材上に設けられた加圧部と、を備え、
   前記第１流路は、マニホールド、および、該マニホールドに連結するとともに複数の前記第１開口部のそれぞれに連結した複数の加圧室を有しており、
   前記第２部材は、前記第２流路に連通する吐出孔を有しており、
   前記加圧部は、前記加圧室を加圧することで当該加圧室内の液体を前記吐出孔から吐出させる、液体吐出ヘッド。
4. 前記加圧部は、圧電素子であり、
   前記加圧室は、前記マニホールドよりも前記第１主面側に位置しており、
   前記圧電素子は、前記第１主面上に設けられている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１流路は、前記加圧室と前記第１開口部とを連通する連通路を有し、
   前記連通路は、前記加圧室に比して前記第１主面から遠い側に位置している、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドに対して記録媒体を搬送する搬送部と、を備えた記録装置。

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