JP6203589B2

JP6203589B2 - Chuck table

Info

Publication number: JP6203589B2
Application number: JP2013204773A
Authority: JP
Inventors: 鈴木　稔; 稔鈴木
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-09-30
Filing date: 2013-09-30
Publication date: 2017-09-27
Anticipated expiration: 2033-09-30
Also published as: JP2015070179A

Description

本発明は被加工物を加工する加工装置において被加工物を保持するチャックテーブルに関する。 The present invention relates to a chuck table that holds a workpiece in a processing apparatus that processes the workpiece.

シリコン基板にＩＣやＬＳＩ等のデバイスが複数形成された半導体ウエーハや、電子部品に使用される各種セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板等の被加工物は、ダイシング装置によって個々のチップに分割され、各種電気機器に広く利用されている。 A semiconductor wafer in which a plurality of devices such as IC and LSI are formed on a silicon substrate, and various ceramic substrates, resin substrates, glass substrates and the like used for electronic components are divided into individual chips by a dicing apparatus, Widely used in various electrical equipment.

ダイシング装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを含む切削手段と、チャックテーブルを切削手段に対して相対的に加工送りする加工送り手段とを備えている。 The dicing apparatus includes a chuck table for holding a workpiece, a cutting means including a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and a machining feed for processing and feeding the chuck table relative to the cutting means. Means.

被加工物は、ハンドリングを容易にするためにダイシングテープによって被加工物よりも大きい環状フレームの中央に固定されている。環状フレームは、位置決め用の切欠きが形成されている。環状フレームは、チャックテーブルの外周に形成された位置決めピンに位置決め用の切欠きを当接することで、環状フレームに貼着されたウエーハをチャックテーブルの中央に位置決めする。位置決めされたウエーハは、チャックテーブルに吸着される。 The workpiece is fixed to the center of an annular frame larger than the workpiece by dicing tape to facilitate handling. The annular frame has a notch for positioning. The annular frame positions the wafer attached to the annular frame at the center of the chuck table by bringing a positioning notch into contact with a positioning pin formed on the outer periphery of the chuck table. The positioned wafer is attracted to the chuck table.

そして、高速回転された切削ブレードが、被加工物外周のダイシングテープへ所定の深さまで切り込んだ状態で予め設定された所定距離分チャックテーブルが加工送りされることで、被加工物が切削される。 Then, the workpiece is cut by feeding the chuck table by a predetermined distance in a state where the cutting blade rotated at a high speed is cut to a predetermined depth into the dicing tape on the outer periphery of the workpiece. .

特開２０１０−０２１４６４号公報JP 2010-021464 A

しかし、被加工物をダイシングテープを介して環状フレームに貼着する際に、マニュアルのマウンタで被加工物毎に貼着している場合などに、環状フレームの中心から外れて被加工物が貼着されてしまうことがある。その場合には、被加工物をチャックテーブルの中央に位置決めしようとすると、チャックテーブルの外周に突出している位置決めピンに環状フレームが干渉して、被加工物を位置決めすることができない。このために、位置決めピンをはずして、被加工物をチャックテーブルの中央に位置決めしていたので、切削装置を停止させて位置決めピンの取り外しを行わなければならず、作業効率が悪化するという問題があった。 However, when the work piece is attached to the annular frame via the dicing tape, if the work piece is attached to each work piece with a manual mounter, the work piece is attached to the center of the annular frame. It may be worn. In that case, when trying to position the workpiece at the center of the chuck table, the annular frame interferes with the positioning pins protruding from the outer periphery of the chuck table, and the workpiece cannot be positioned. For this reason, since the positioning pin was removed and the workpiece was positioned at the center of the chuck table, it was necessary to stop the cutting device and remove the positioning pin, resulting in a problem that work efficiency deteriorated. there were.

本発明は、上記問題にかんがみなされたもので、その目的は、被加工物が環状フレームに対して中央に貼着できていない場合にも、作業効率が悪化することを抑制できる加工装置のチャックテーブルを提供することである。 The present invention has been considered in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a chuck for a machining apparatus capable of suppressing deterioration of work efficiency even when a workpiece is not attached to the center of an annular frame. Is to provide a table.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のチャックテーブルは、粘着シートを介して環状フレームに装着された被加工物を保持する加工装置のチャックテーブルであって、該粘着シートを介して被加工物を吸着する吸着面を有する吸着部と、該吸着部を囲繞して形成された該環状フレームを磁力により吸引することで固定する環状フレーム固定手段を埋設しているとともに表面が外周に向かうにしたがって該吸着面から徐々に下方に向かうように傾斜した環状フレーム固定部と、該環状フレームをチャックテーブル中心に位置合わせして載置せしめる位置決め部と、を備え、該位置決め部は、該環状フレームに当接する凸部材と、該環状フレーム固定部の表面に開口して形成された該凸部材が係合没入される係合凹部と、該係合凹部内に配設され該凸部材を該環状フレーム固定部の表面から突出させる当接位置に付勢する弾性部材と、から構成され、該被加工物が該環状フレームに対して中央に貼着されているときには、当接位置に位置付けられている該凸部材に該環状フレームを当接させて位置決めし、該被加工物が該環状フレームに対して中央に貼着されていない場合には、該加工装置のオペレータにより該チャックテーブルの中心と該被加工物の中心とを位置合わせするように該環状フレームが載置されて、該環状フレーム又は該粘着シートが該凸部材の上に乗り該凸部材が該係合凹部内に没入することにより被加工物を該チャックテーブルの中央に載置することを特徴とする。
In order to solve the above-described problems and achieve the object, a chuck table of the present invention is a chuck table of a processing apparatus that holds a workpiece mounted on an annular frame via an adhesive sheet, and the adhesive sheet A suction portion having a suction surface for sucking a workpiece through the surface, and an annular frame fixing means for fixing the annular frame formed by surrounding the suction portion by magnetic force and having a surface embedded therein An annular frame fixing portion that is inclined so as to gradually move downward from the suction surface as it moves toward the outer periphery, and a positioning portion that aligns and places the annular frame on the center of the chuck table. A projecting member abutting on the annular frame, an engaging recess formed by opening the projecting member formed on the surface of the annular frame fixing portion, and the engagement And an elastic member that is disposed in the recess and biases the projecting member to a contact position that protrudes from the surface of the annular frame fixing portion, and the workpiece is adhered to the center of the annular frame. When the annular frame is brought into contact with the convex member positioned at the contact position, the workpiece is not attached to the center of the annular frame. The annular frame is placed by the operator of the processing apparatus so that the center of the chuck table and the center of the workpiece are aligned, and the annular frame or the adhesive sheet is placed on the convex member. The workpiece is placed in the center of the chuck table by the convex member being immersed in the engaging concave portion.

本発明は、通常時には弾性部材の付勢力により環状フレーム固定部の表面から突出させた凸部材を、上から押圧すると、係合凹部内に没入させることができる。このために、本発明によれば、環状フレームに対して中央に貼着されていない被加工物であっても、環状フレーム又は粘着シートを凸部材上に乗せて、環状フレーム又は粘着シートにより凸部材を押すことで、被加工物をチャックテーブルの中央に載置することができる。したがって、本発明は、被加工物が環状フレームに対して中央に貼着されていない場合であっても、作業効率が悪化することを抑制できる。 In the present invention, when the convex member that is normally protruded from the surface of the annular frame fixing portion by the urging force of the elastic member is pressed from above, it can be immersed in the engaging concave portion. For this reason, according to the present invention, even if the workpiece is not attached to the center of the annular frame, the annular frame or the adhesive sheet is placed on the convex member, and is projected by the annular frame or the adhesive sheet. By pressing the member, the workpiece can be placed at the center of the chuck table. Therefore, this invention can suppress that work efficiency deteriorates even if it is a case where a to-be-processed object is not stuck in the center with respect to the annular frame.

図１は、実施形態に係るチャックテーブルを備えた切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus including a chuck table according to the embodiment. 図２は、実施形態に係るチャックテーブルの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the chuck table according to the embodiment. 図３は、図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 図４は、図２中のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 図５は、実施形態に係るチャックテーブルの位置決めピンに環状フレームを当接させて位置決めした状態を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a state where the annular frame is brought into contact with the positioning pins of the chuck table according to the embodiment and positioned. 図６は、実施形態に係るチャックテーブルの位置決めピン上に環状フレームを乗せて位置決めした状態を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a state in which the annular frame is placed on the positioning pins of the chuck table according to the embodiment and positioned. 図７は、図６中のＡ−Ｂ−Ｃ線に沿う断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line ABC in FIG. 図８は、実施形態に係るチャックテーブルを備えた切削装置の変形例の構成例を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view illustrating a configuration example of a modified example of the cutting apparatus including the chuck table according to the embodiment. 図９は、図８に示された切削装置の投影手段により位置決め用の目盛が投影されたチャックテーブルの平面図である。FIG. 9 is a plan view of the chuck table on which positioning scales are projected by the projection means of the cutting apparatus shown in FIG.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係るチャックテーブルを図面に基いて説明する。図１は、実施形態に係るチャックテーブルを備えた切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係るチャックテーブルの平面図である。図３は、図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。図４は、図２中のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。 Embodiment
A chuck table according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus including a chuck table according to the embodiment. FIG. 2 is a plan view of the chuck table according to the embodiment. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG.

本実施形態に係る加工装置のチャックテーブル１０（以下、単にチャックテーブルと呼ぶ）は、粘着シートＳを介して環状フレームＦに装着された被加工物Ｗを保持するものである。チャックテーブル１０は、被加工物Ｗを切削してチップに分割する切削装置１（加工装置に相当）を構成する。 A chuck table 10 (hereinafter simply referred to as a chuck table) of a processing apparatus according to the present embodiment holds a workpiece W mounted on an annular frame F via an adhesive sheet S. The chuck table 10 constitutes a cutting device 1 (corresponding to a processing device) that cuts the workpiece W and divides it into chips.

なお、被加工物Ｗは、本実施形態では、電子部品に使用される各種セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板などである。また、本発明では、被加工物Ｗは、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハであってもよい。被加工物Ｗは、図１に示すように、粘着シートＳに貼着され、粘着シートＳに環状フレームＦが貼着されて、粘着シートＳを介して環状フレームＦに装着される。なお、被加工物Ｗの中心と環状フレームＦの中心とが一致する位置に、被加工物Ｗが貼着されるのが望ましい。粘着シートＳは、透明又は半透明な樹脂で構成されている。環状フレームＦは、磁性体で構成され、被加工物Ｗをチャックテーブル１０に位置決めするための位置決め用の切欠きＮが二つ形成されている。 In the present embodiment, the workpiece W is a ceramic substrate, a resin substrate, a glass substrate, or the like used for an electronic component. In the present invention, the workpiece W may be a disk-shaped semiconductor wafer or optical device wafer having silicon, sapphire, gallium or the like as a base material. As shown in FIG. 1, the workpiece W is attached to the adhesive sheet S, the annular frame F is attached to the adhesive sheet S, and the workpiece W is attached to the annular frame F via the adhesive sheet S. In addition, it is desirable that the workpiece W is stuck at a position where the center of the workpiece W and the center of the annular frame F coincide. The pressure-sensitive adhesive sheet S is made of a transparent or translucent resin. The annular frame F is made of a magnetic material, and two positioning notches N for positioning the workpiece W on the chuck table 10 are formed.

切削装置１は、オペレータが環状フレームＦに装着された被加工物Ｗをチャックテーブル１０に載置して、被加工物Ｗを切削するものである。切削装置１は、図１に示すように、被加工物Ｗを保持するチャックテーブル１０と、被加工物Ｗを切削する切削手段２０と、チャックテーブル１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段（図示せず）と、チャックテーブル１０をＺ軸と平行な軸心回りに回転させる回転駆動源（図示せず）と、Ｙ軸移動手段４０と、Ｚ軸移動手段５０と、制御手段１００等を備えている。 In the cutting apparatus 1, an operator places a workpiece W mounted on an annular frame F on a chuck table 10 and cuts the workpiece W. As shown in FIG. 1, the cutting device 1 includes a chuck table 10 that holds a workpiece W, a cutting means 20 that cuts the workpiece W, and an X-axis moving means that moves the chuck table 10 in the X-axis direction. (Not shown), a rotation drive source (not shown) for rotating the chuck table 10 around an axis parallel to the Z axis, a Y axis moving means 40, a Z axis moving means 50, a control means 100, etc. It has.

切削手段２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗに加工水を供給しながら切削（加工）するものである。切削手段２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗに対して、Ｙ軸移動手段４０によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動手段５０によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。 The cutting means 20 performs cutting (processing) while supplying processing water to the workpiece W held on the chuck table 10. The cutting means 20 is provided so as to be movable in the Y-axis direction by the Y-axis moving means 40 with respect to the workpiece W held on the chuck table 10, and is movable in the Z-axis direction by the Z-axis moving means 50. Is provided.

切削手段２０は、略リング形状を有する極薄の切削砥石でありかつスピンドル（図示せず）により回転することで被加工物Ｗを切削する切削ブレード２１などを含んで構成されている。切削手段２０のスピンドルの軸心方向は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。切削手段２０は、Ｙ軸移動手段４０及びＺ軸移動手段５０により、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動されて、チャックテーブル１０の表面の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。また、切削手段２０は、被加工物Ｗの上面を撮像する撮像手段８０が、スピンドルと一体的に移動するように固定されている。撮像手段８０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物Ｗの切削すべき領域を撮像するＣＣＤカメラを備えている。ＣＣＤカメラは、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗを撮像して、被加工物Ｗと切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得、得た画像を制御手段１００に出力する。 The cutting means 20 is an extremely thin cutting grindstone having a substantially ring shape, and includes a cutting blade 21 that cuts the workpiece W by being rotated by a spindle (not shown). The axial center direction of the spindle of the cutting means 20 is set parallel to the Y-axis direction. The cutting means 20 is moved in the Y-axis direction and the Z-axis direction by the Y-axis moving means 40 and the Z-axis moving means 50 so that the cutting blade 21 can be positioned at an arbitrary position on the surface of the chuck table 10. . Further, the cutting means 20 is fixed so that the image pickup means 80 for picking up an image of the upper surface of the workpiece W moves integrally with the spindle. The image pickup unit 80 includes a CCD camera that picks up an image of an area to be cut of the workpiece W before cutting held on the chuck table 10. The CCD camera images the workpiece W held on the chuck table 10 to obtain an image for performing alignment for aligning the workpiece W and the cutting blade 21, and controls the obtained image as a control means. Output to 100.

制御手段１００は、切削装置１を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御して、被加工物Ｗに対する切削加工を切削装置１に行わせるものである。具体的には、制御手段１００は、チャックテーブル１０と切削手段２０とを相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に移動させるとともに、Ｚ軸と平行な軸心回りにチャックテーブル１０を回転させて、被加工物Ｗに対する切削加工を切削装置１に行わせる。なお、制御手段１００は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されている。 The control means 100 controls each of the above-described constituent elements constituting the cutting apparatus 1 to cause the cutting apparatus 1 to perform cutting on the workpiece W. Specifically, the control unit 100 relatively moves the chuck table 10 and the cutting unit 20 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction, and around the axis parallel to the Z-axis. Is rotated to cause the cutting apparatus 1 to perform cutting on the workpiece W. Note that the control unit 100 is mainly configured by a microprocessor (not shown) including an arithmetic processing unit configured by a CPU or the like, a ROM, a RAM, or the like.

前提として、制御手段１００は、チャックテーブル１０の中心の位置（座標）を把握している。撮像手段８０は、チャックテーブル１０の中心の位置を基準にアライメントを遂行する。制御手段１００は、被加工物Ｗの中心を基準として、Ｘ軸移動手段、Ｙ軸移動手段４０、Ｚ軸移動手段５０及び回転駆動源を制御して、被加工物Ｗに対する分割加工を切削装置１に行わせる。また、制御手段１００は、加工動作の状態や前記画像などを表示する表示手段、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる図示しない操作手段、加工動作の各種の情報を記録する記録手段１１０や、記録した情報を音、画像などで出力する出力手段１２０と接続されている。 As a premise, the control means 100 grasps the center position (coordinates) of the chuck table 10. The imaging unit 80 performs alignment based on the position of the center of the chuck table 10. The control unit 100 controls the X-axis moving unit, the Y-axis moving unit 40, the Z-axis moving unit 50, and the rotation drive source with reference to the center of the workpiece W, and performs a division process on the workpiece W as a cutting device Let 1 do. The control means 100 includes a display means for displaying the state of the machining operation and the image, an operation means (not shown) used when the operator registers the machining content information, and a recording means 110 for recording various information of the machining operation. In addition, it is connected to output means 120 that outputs recorded information as sound, image, or the like.

前述した構成の切削装置１を構成するチャックテーブル１０は、図２に示すように、吸着部１１と、吸着部１１を囲繞して形成された環状フレーム固定部１２と、位置決め部１３とを備えている。 As shown in FIG. 2, the chuck table 10 constituting the cutting device 1 having the above-described configuration includes a suction portion 11, an annular frame fixing portion 12 formed so as to surround the suction portion 11, and a positioning portion 13. ing.

吸着部１１は、図４に示すように、粘着シートＳを介して被加工物Ｗを吸着する吸着面１１ａを表面に有している。吸着部１１は、ポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、吸着面１１ａ上に粘着シートＳを介して被加工物Ｗが載置される。吸着部１１は、図示しない真空吸引経路を介して真空吸引源Ｂと接続され、吸着面１１ａに載置された被加工物Ｗを吸引することで保持する。 As shown in FIG. 4, the suction unit 11 has a suction surface 11 a that sucks the workpiece W through the adhesive sheet S on the surface. The suction part 11 has a disk shape made of porous ceramic or the like, and the workpiece W is placed on the suction surface 11a via the adhesive sheet S. The suction unit 11 is connected to the vacuum suction source B through a vacuum suction path (not shown), and holds the workpiece W placed on the suction surface 11a by suction.

環状フレーム固定部１２は、環状フレームＦを固定するものであって、吸着部１１の外周及び下面側を囲繞して形成されている。環状フレーム固定部１２は、図３及び図４に示すように、その表面１２ａが、外周に向かうにしたがって吸着面１１ａから徐々に下方に向かうように傾斜している。環状フレーム固定部１２は、図２に示すように、吸着部１１の周りに環状フレーム固定手段１４を複数設けている。環状フレーム固定手段１４は、環状フレーム固定部１２の表面１２ａ上に環状フレームＦを載置させて、環状フレームＦを固定するものである。環状フレーム固定手段１４は、本実施形態では、例えば、永久磁石又は電磁石を含んで構成され、環状フレーム固定部１２内に埋設されている。環状フレーム固定手段１４は、環状フレームＦを磁力により吸引することで、環状フレーム固定部１２の表面１２ａ上に環状フレームＦを固定する。 The annular frame fixing part 12 fixes the annular frame F, and is formed so as to surround the outer periphery and the lower surface side of the adsorption part 11. As shown in FIGS. 3 and 4, the annular frame fixing portion 12 is inclined so that the surface 12 a gradually moves downward from the suction surface 11 a toward the outer periphery. As shown in FIG. 2, the annular frame fixing portion 12 is provided with a plurality of annular frame fixing means 14 around the suction portion 11. The annular frame fixing means 14 is for fixing the annular frame F by placing the annular frame F on the surface 12 a of the annular frame fixing part 12. In the present embodiment, the annular frame fixing means 14 includes, for example, a permanent magnet or an electromagnet, and is embedded in the annular frame fixing portion 12. The annular frame fixing means 14 fixes the annular frame F on the surface 12 a of the annular frame fixing part 12 by attracting the annular frame F by magnetic force.

位置決め部１３は、環状フレームＦをチャックテーブル１０の吸着部１１の中心に位置合わせして、環状フレームＦをチャックテーブル１０上に載置せしめるものである。位置決め部１３は、図３に示すように、環状フレームＦに当接する位置決めピン１５（凸部材に相当）と、位置決めピン１５が係合没入される係合凹部１６と、係合凹部１６内に配設された圧縮コイルばね１７（弾性部材に相当）と、から構成されている。位置決めピン１５は、円柱状に形成され、環状フレーム固定部１２の表面１２ａから突出した当接位置（図３に示す）と、表面１２ａよりも係合凹部１６内に没した非当接位置（図７に示す）とに亘って移動自在に係合凹部１６内に取り付けられている。また、位置決めピン１５は、係合凹部１６から脱落することが規制されている。本実施形態では、位置決めピン１５は、二つ設けられ、当接位置で位置決め用の切欠きＮ内に当接することで、環状フレームＦをチャックテーブル１０と同軸となる位置に位置決めする。即ち、位置決めピン１５は、環状フレームＦをチャックテーブル１０中心に位置合わせすることができる。 The positioning unit 13 positions the annular frame F on the chuck table 10 by aligning the annular frame F with the center of the suction part 11 of the chuck table 10. As shown in FIG. 3, the positioning portion 13 includes a positioning pin 15 (corresponding to a convex member) that contacts the annular frame F, an engagement recess 16 in which the positioning pin 15 is engaged and retracted, and an engagement recess 16. The compression coil spring 17 (corresponding to an elastic member) is provided. The positioning pin 15 is formed in a columnar shape, and a contact position (shown in FIG. 3) protruding from the surface 12a of the annular frame fixing portion 12 and a non-contact position (shown in FIG. 3) submerged in the engagement recess 16 than the surface 12a. (Shown in FIG. 7) and is mounted in the engagement recess 16 so as to be freely movable. Further, the positioning pin 15 is restricted from falling off the engaging recess 16. In the present embodiment, two positioning pins 15 are provided, and the annular frame F is positioned at a position coaxial with the chuck table 10 by abutting in the positioning notch N at the abutting position. That is, the positioning pin 15 can align the annular frame F with the center of the chuck table 10.

係合凹部１６は、環状フレーム固定部１２の表面１２ａに開口して形成された凹部であり、環状フレーム固定部１２の周方向に間隔をあけて、二つ設けられている。圧縮コイルばね１７は、位置決めピン１５と係合凹部１６の底面との間に配設され、位置決めピン１５を環状フレーム固定部１２の表面１２ａから突出させる当接位置に付勢する。 The engagement recess 16 is a recess formed by opening in the surface 12 a of the annular frame fixing portion 12, and two engagement recesses 16 are provided at intervals in the circumferential direction of the annular frame fixing portion 12. The compression coil spring 17 is disposed between the positioning pin 15 and the bottom surface of the engaging recess 16 and biases the positioning pin 15 to a contact position where the positioning pin 15 protrudes from the surface 12 a of the annular frame fixing portion 12.

また、位置決め部１３は、それぞれの係合凹部１６内に配設された検出スイッチ１８を備えている。検出スイッチ１８は、位置決めピン１５が非当接位置に位置付けられたことを検出し、検出結果を制御手段１００に出力する。 The positioning unit 13 includes a detection switch 18 disposed in each engagement recess 16. The detection switch 18 detects that the positioning pin 15 is positioned at the non-contact position, and outputs the detection result to the control means 100.

次に、前述したチャックテーブル１０に被加工物Ｗを位置決めする手順を、図５〜図７に基いて説明する。図５は、実施形態に係るチャックテーブルの位置決めピンに環状フレームを当接させて位置決めした状態を示す平面図である。図６は、実施形態に係るチャックテーブルの位置決めピン上に環状フレームを乗せて位置決めした状態を示す平面図である。図７は、図６中のＡ−Ｂ−Ｃ線に沿う断面図である。 Next, a procedure for positioning the workpiece W on the chuck table 10 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a plan view showing a state where the annular frame is brought into contact with the positioning pins of the chuck table according to the embodiment and positioned. FIG. 6 is a plan view showing a state in which the annular frame is placed on the positioning pins of the chuck table according to the embodiment and positioned. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line ABC in FIG.

チャックテーブル１０に被加工物Ｗを位置決めする際には、撮像手段８０がチャックテーブル１０の中心の位置を基準にアライメントを遂行し、制御手段１００が切削中にはチャックテーブル１０と切削手段２０とを被加工物Ｗの中心を基準として相対移動させるために、チャックテーブル１０の中心と被加工物Ｗの中心とを極力位置合わせするのが望ましい。 When positioning the workpiece W on the chuck table 10, the imaging unit 80 performs alignment based on the center position of the chuck table 10, and the control unit 100 performs the chuck table 10, the cutting unit 20, and the like during cutting. In order to move the workpiece relative to the center of the workpiece W, it is desirable to align the center of the chuck table 10 and the center of the workpiece W as much as possible.

このため、図５に示すように、被加工物Ｗが環状フレームＦに対して中央に貼着されているときには、切削装置１のオペレータが、当接位置に位置付けられている位置決めピン１５に環状フレームＦの位置決め用の切欠きＮを当接させて、チャックテーブル１０に対して環状フレームＦ即ち被加工物Ｗを位置決めする。 For this reason, as shown in FIG. 5, when the workpiece W is stuck to the center of the annular frame F, the operator of the cutting device 1 is annularly attached to the positioning pin 15 positioned at the contact position. The annular frame F, that is, the workpiece W is positioned with respect to the chuck table 10 by bringing the notch N for positioning the frame F into contact.

また、図６に示すように、被加工物Ｗが環状フレームＦに対して中央に貼着されていない場合には、切削装置１のオペレータが、チャックテーブル１０の中心と被加工物Ｗの中心とを極力位置合わせするように、環状フレームＦをチャックテーブル１０に載置する。すると、図７に示すように、環状フレームＦ又は粘着シートＳが位置決めピン１５の上に乗り、位置決めピン１５が係合凹部１６内に没入する非当接位置になることにより、切削装置１のオペレータが、被加工物Ｗをチャックテーブル１０の中央に載置することとなる。なお、図７に示された場合では、環状フレームＦが位置決めピン１５の上に乗っているが、本発明では、粘着シートＳが位置決めピン１５の上に乗ってもよい。 In addition, as shown in FIG. 6, when the workpiece W is not attached to the center of the annular frame F, the operator of the cutting apparatus 1 moves the center of the chuck table 10 and the center of the workpiece W. The annular frame F is placed on the chuck table 10 so as to be aligned as much as possible. Then, as shown in FIG. 7, the annular frame F or the adhesive sheet S rides on the positioning pin 15, and the positioning pin 15 enters the non-contact position where it is immersed in the engaging recess 16. The operator places the workpiece W on the center of the chuck table 10. In the case shown in FIG. 7, the annular frame F rides on the positioning pins 15, but in the present invention, the adhesive sheet S may ride on the positioning pins 15.

チャックテーブル１０に被加工物Ｗの位置決めが完了し、オペレータが操作手段によりその旨を制御手段１００に入力すると、切削装置１は、アライメントを実行した後、切削手段２０が加工内容情報に基いて被加工物Ｗを切削する。 When the positioning of the workpiece W on the chuck table 10 is completed and the operator inputs the fact to the control means 100 by the operation means, the cutting device 1 executes the alignment, and then the cutting means 20 is based on the machining content information. The workpiece W is cut.

また、切削装置１では、チャックテーブル１０に被加工物Ｗの位置決めが完了し、オペレータが操作手段によりその旨を制御手段１００に入力すると、制御手段１００が検出スイッチ１８の検出結果を記録手段１１０に記録する。このように、制御手段１００は、各被加工物Ｗを位置決めした際に位置決めピン１５が当接位置又は非当接位置であったかを記録手段１１０に記録する。 Further, in the cutting apparatus 1, when the positioning of the workpiece W on the chuck table 10 is completed and the operator inputs the fact to the control means 100 by the operation means, the control means 100 records the detection result of the detection switch 18 by the recording means 110. To record. As described above, the control unit 100 records in the recording unit 110 whether or not the positioning pin 15 is in the contact position or the non-contact position when each workpiece W is positioned.

制御手段１００は、操作手段からの操作により、記録手段１１０に記録された各被加工物Ｗを位置決めした際に位置決めピン１５が当接位置又は非当接位置であったかを示す情報を出力手段１２０から出力する。 The control unit 100 outputs information indicating whether the positioning pin 15 is in the contact position or the non-contact position when the workpiece W recorded in the recording unit 110 is positioned by the operation from the operation unit. Output from.

以上のように、本実施形態に係るチャックテーブル１０によれば、通常時には圧縮コイルばね１７の付勢力により環状フレーム固定部１２の表面１２ａから突起した位置決めピン１５を設けている。この位置決めピン１５は、押圧すると係合凹部１６に没入する。このために、チャックテーブル１０によれば、環状フレームＦに対して中央に貼着されていない被加工物Ｗであっても、環状フレームＦ又は粘着シートＳを位置決めピン１５上に乗せて、環状フレームＦ又は粘着シートＳにより位置決めピン１５を押すことで、被加工物Ｗをチャックテーブル１０の中央に載置することができる。したがって、チャックテーブル１０は、被加工物Ｗが環状フレームＦに対して中央に貼着されていない場合であっても、位置決めピン１５を取りはずす必要がなく、チャックテーブル１０の中央に位置決めでき、作業効率が悪化することを抑制できる。 As described above, according to the chuck table 10 according to the present embodiment, the positioning pin 15 protruding from the surface 12a of the annular frame fixing portion 12 by the urging force of the compression coil spring 17 is provided in the normal state. When the positioning pin 15 is pressed, the positioning pin 15 is immersed in the engaging recess 16. For this reason, according to the chuck table 10, even if the workpiece W is not attached to the center of the annular frame F, the annular frame F or the adhesive sheet S is placed on the positioning pins 15 to form an annular shape. By pressing the positioning pin 15 with the frame F or the adhesive sheet S, the workpiece W can be placed at the center of the chuck table 10. Therefore, the chuck table 10 can be positioned at the center of the chuck table 10 without having to remove the positioning pin 15 even when the workpiece W is not attached to the center of the annular frame F. It can suppress that efficiency falls.

また、チャックテーブル１０を備えた切削装置１によれば、制御手段１００が各被加工物Ｗを位置決めした際に検出スイッチ１８の検出結果を記録手段１１０に記録する。また、切削装置１によれば、制御手段１００が、記録手段１１０に記録された各被加工物Ｗを位置決めした際の検出スイッチ１８の検出結果及び切削の所要時間を示す情報を出力手段１２０から出力する。このために、切削装置１によれば、オペレータが各被加工物Ｗをチャックテーブル１０の中央の近くに位置決めできたか否かを把握することができるとともに、各被加工物Ｗを環状フレームＦの中央の近くに装着できたか否かを把握することができる。したがって、切削装置１によれば、オペレータに環状フレームＦに対して中央に被加工物Ｗを貼着することを促すこともできる。 Further, according to the cutting apparatus 1 provided with the chuck table 10, when the control unit 100 positions each workpiece W, the detection result of the detection switch 18 is recorded in the recording unit 110. Further, according to the cutting apparatus 1, the control unit 100 outputs information indicating the detection result of the detection switch 18 and the time required for cutting when the workpiece W recorded in the recording unit 110 is positioned from the output unit 120. Output. For this reason, according to the cutting apparatus 1, it is possible to grasp whether or not the operator has positioned each workpiece W near the center of the chuck table 10, and each workpiece W is placed on the annular frame F. It is possible to grasp whether or not it has been installed near the center. Therefore, according to the cutting device 1, it is possible to prompt the operator to attach the workpiece W to the center of the annular frame F.

さらに、チャックテーブル１０を備えた切削装置１によれば、オペレータに環状フレームＦに対して中央に被加工物Ｗを貼着することを促すことができるので、被加工物Ｗのアライメントの所要時間及び切削の所要時間を抑制することができる。また、チャックテーブル１０を備えた切削装置１によれば、オペレータに環状フレームＦに対して中央に被加工物Ｗを貼着することを促すことができるので、切削中のＸ軸移動手段、Ｙ軸移動手段４０の移動範囲を抑制することができ、加工時間をより短縮することができる。 Furthermore, according to the cutting apparatus 1 provided with the chuck table 10, the operator can be urged to attach the workpiece W to the center with respect to the annular frame F, so the time required for alignment of the workpiece W In addition, the time required for cutting can be suppressed. Moreover, according to the cutting apparatus 1 provided with the chuck table 10, the operator can be urged to attach the workpiece W to the center with respect to the annular frame F. The moving range of the axis moving means 40 can be suppressed, and the processing time can be further shortened.

また、前述した実施形態に記載されたチャックテーブル１０を備えた切削装置１は、オペレータがチャックテーブル１０に被加工物Ｗを位置決めする際に、図８に示すように、チャックテーブル１０に位置決め用の目盛Ｇ（図９に示す）を投影する投影手段６０を備えてもよい。図８は、実施形態に係るチャックテーブルを備えた切削装置の変形例の構成例を示す斜視図である。図９は、図８に示された切削装置の投影手段により位置決め用の目盛が投影されたチャックテーブルの平面図である。なお、図８及び図９において、実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。 Further, the cutting apparatus 1 having the chuck table 10 described in the above-described embodiment is used for positioning the chuck table 10 as shown in FIG. 8 when the operator positions the workpiece W on the chuck table 10. Projection means 60 for projecting the scale G (shown in FIG. 9). FIG. 8 is a perspective view illustrating a configuration example of a modified example of the cutting apparatus including the chuck table according to the embodiment. FIG. 9 is a plan view of the chuck table on which positioning scales are projected by the projection means of the cutting apparatus shown in FIG. In FIG. 8 and FIG. 9, the same parts as those in the embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図８に示された切削装置１の投影手段６０は、チャックテーブル１０の上方に設けられている。投影手段６０は、下方即ちチャックテーブル１０の吸着部１１の吸着面１１ａに向けて光を照射する蛍光ランプなどの発光手段と、発光手段とチャックテーブル１０との間に配設された位置決め用の目盛Ｇを投影するためのフィルタなどを備えている。投影手段６０は、発光手段がチャックテーブル１０の吸着部１１の吸着面１１ａに向けて光を照射すると、フィルタがチャックテーブル１０の吸着部１１の吸着面１１ａに位置決め用の目盛Ｇを投影する。チャックテーブル１０の吸着部１１の吸着面１１ａに投影された位置決め用の目盛Ｇは、チャックテーブル１０の吸着部１１の吸着面１１ａと同軸に設けられ、チャックテーブル１０の吸着部１１の吸着面１１ａの中心からの距離を示す目盛線ＧＬを複数備えている。なお、図９に示された場合では、複数の目盛線ＧＬは、円状に形成されているが、本発明では、これに限定されずに、種々の図形や模様であってもよい。 The projection means 60 of the cutting apparatus 1 shown in FIG. 8 is provided above the chuck table 10. The projection means 60 is positioned between the light emitting means and the chuck table 10 and a light emitting means such as a fluorescent lamp that irradiates light downward, that is, toward the suction surface 11 a of the suction portion 11 of the chuck table 10. A filter for projecting the scale G is provided. In the projection unit 60, when the light emitting unit irradiates light toward the suction surface 11 a of the suction part 11 of the chuck table 10, the filter projects a positioning scale G on the suction surface 11 a of the suction part 11 of the chuck table 10. The positioning scale G projected on the suction surface 11 a of the chuck portion 10 of the chuck table 10 is provided coaxially with the suction surface 11 a of the chuck portion 10 of the chuck table 10, and the suction surface 11 a of the chuck portion 10 of the chuck table 10. Are provided with a plurality of scale lines GL indicating the distance from the center. In the case shown in FIG. 9, the plurality of scale lines GL are formed in a circular shape. However, the present invention is not limited to this, and may be various figures and patterns.

図８及び図９に示された場合では、制御手段１００は、オペレータがチャックテーブル１０に被加工物Ｗを位置決めする際に、投影手段６０の発光手段に光を照射させる。また、制御手段１００は、チャックテーブル１０に被加工物Ｗの位置決めが完了すると、投影手段６０の発光手段の光の照射を停止させる。図８及び図９に示された場合によれば、チャックテーブル１０に被加工物Ｗを位置決めする際に、投影手段６０が位置決め用の目盛Ｇをチャックテーブル１０の吸着部１１の吸着面１１ａに投影するので、容易に、チャックテーブル１０の吸着部１１の吸着面１１ａの中央に被加工物Ｗを位置決めすることができる。また、本発明では、チャックテーブル１０の吸着部１１の吸着面１１ａに位置決め用の目盛を直接形成してもよい。 In the cases shown in FIGS. 8 and 9, the control unit 100 causes the light emitting unit of the projection unit 60 to emit light when the operator positions the workpiece W on the chuck table 10. Further, when the positioning of the workpiece W on the chuck table 10 is completed, the control unit 100 stops the light irradiation of the light emitting unit of the projection unit 60. 8 and 9, when positioning the workpiece W on the chuck table 10, the projection unit 60 places the positioning scale G on the suction surface 11 a of the suction portion 11 of the chuck table 10. Since the projection is performed, the workpiece W can be easily positioned at the center of the suction surface 11a of the suction portion 11 of the chuck table 10. Further, in the present invention, a positioning scale may be directly formed on the suction surface 11 a of the suction part 11 of the chuck table 10.

前述した実施形態などでは、凸部材として位置決めピン１５を示している。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、凸部材としてバー形状のものを用いてもよい。また、本発明では、切削装置１に限ることなく、種々の加工装置に用いられてもよい。さらに、本発明では、環状フレーム固定手段１４は、永久磁石又は電磁石に限らず種々の部品を備えて構成されてもよい。 In the above-described embodiment, the positioning pin 15 is shown as the convex member. However, in this invention, you may use a bar-shaped thing as a convex member, without being limited to this. Moreover, in this invention, you may use not only for the cutting device 1 but for various processing apparatuses. Furthermore, in this invention, the cyclic | annular flame | frame fixing means 14 may be comprised including not only a permanent magnet or an electromagnet but various components.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 The present invention is not limited to the above embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

１切削装置（加工装置）
１０チャックテーブル
１１吸着部
１１ａ吸着面
１２環状フレーム固定部
１２ａ表面
１３位置決め部
１５位置決めピン（凸部材）
１６係合凹部
１７圧縮コイルばね（弾性部材）
Ｆ環状フレーム
Ｓ粘着シート
Ｗ被加工物 1 Cutting equipment (processing equipment)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Chuck table 11 Adsorption part 11a Adsorption surface 12 Annular frame fixing | fixed part 12a Surface 13 Positioning part 15 Positioning pin (convex member)
16 Engaging recess 17 Compression coil spring (elastic member)
F Ring frame S Adhesive sheet W Workpiece

Claims

A chuck table of a processing apparatus for holding a workpiece mounted on an annular frame via an adhesive sheet,
An adsorbing portion having an adsorbing surface for adsorbing a workpiece through the adhesive sheet;
An annular frame fixing means for fixing the annular frame formed by surrounding the adsorption portion by attracting the magnetic frame by magnetic force is embedded, and the surface gradually moves downward from the adsorption surface toward the outer periphery. An inclined annular frame fixing part;
A positioning portion for positioning and mounting the annular frame on the center of the chuck table;
With
The positioning portion includes a convex member that comes into contact with the annular frame, an engagement recess formed by opening the convex member formed on the surface of the annular frame fixing portion, and an engagement recess. And an elastic member that urges the protruding member to a contact position that protrudes from the surface of the annular frame fixing portion,
When the workpiece is attached to the center of the annular frame, the workpiece is positioned by contacting the annular frame with the convex member positioned at the contact position;
When the workpiece is not attached to the center of the annular frame, the annular frame is configured so that the center of the chuck table and the center of the workpiece are aligned by an operator of the processing apparatus. Is placed, the annular frame or the pressure-sensitive adhesive sheet is placed on the convex member, and the convex member is immersed in the engagement concave portion to place the workpiece on the center of the chuck table, The chuck table of the processing apparatus characterized by the above.