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JP6231406B2 - リングオシレータ、センサ、リングオシレータの制御方法、測定方法、プログラム及び記録媒体 - Google Patents
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JP6231406B2 - リングオシレータ、センサ、リングオシレータの制御方法、測定方法、プログラム及び記録媒体 - Google Patents

リングオシレータ、センサ、リングオシレータの制御方法、測定方法、プログラム及び記録媒体 Download PDF

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Description

本発明は、リングオシレータ、センサ、リングオシレータの制御方法、測定方法、プログラム及び記録媒体に関し、特に、FPGAにおけるリングオシレータ等に関する。
製造後に回路構成を変更できる自由度の高いFPGA(field-programmable gate array)は、製造後のフレキシビリティが高いことや短期間に低コストで開発可能であることから、従来型LSIを用いたシステムの多くがFPGAに移行しつつある。
FPGAの構成例を図14に示す。図14(a)に示すように、FPGAは、複数の論理ブロック101を有する。論理ブロック101間の接続は、スイッチマトリックス103によって変更されうる。また、図14(b)に示すように、論理ブロック101は、複数のLAB(Logic Array Block)105を有する。LAB105は、複数のLE(Logic Element)107から構成される。LE107は、LUT(Look-Up Table)回路109及びFF(Flip-Flop)111を有する。
また、LUT回路109の構成例を図15に示す。LUT回路109は、複数のSRAM111と、複数のセレクタ113と、入力端子115と、出力端子117とを有する。SRAM111に論理値0又は1を設定することで、入力端子数で表現できる任意の組合せ論理をLUT回路109で実現することができる。図15には、入力が4ビットで、出力が1ビットであるLUT回路109において、(A,B,C,D)=(0,1,1,0)が入力されて0が出力される場合が例示されている。
FPGAの信頼性を高めるため、FPGA上の自由な箇所に搭載可能なセンサとして活用可能なリングオシレータの活用が期待される。
発明者らは、リングオシレータの劣化を抑制する手法を開発してきた(例えば、特許文献1及び非特許文献1参照)。また、発明者らは、FPGAにおいてLUT回路を用いたリングオシレータを開発・提案してきた(例えば、非特許文献2参照)。
特開2012−151662号公報
Miura, et al, "On-chip Temperature and Voltage Measurement for Field Testing," 17th IEEE European Test Symposium, p.181, 2012-05 三宅、外3名、「FPGAにおける複数の周波数特性を実現するためのリングオシレータ構成法の検討」、信学技報、一般社団法人電子情報通信学会、VLD2013-84、DC2013-50(2013-11)
しかしながら、特許文献1及び非特許文献1に記載の技術は、CMOS型インバータをリングオシレータの遅延要素として用いており、LUT回路をリングオシレータの遅延要素として用いた場合の劣化抑制に対応するものではない。
また、非特許文献2において、FPGAにおけるリングオシレータの遅延要素としてLUT回路を用いた場合に、LUT回路の構成方法について提案されている。しかし、リングオシレータの出力周波数のばらつきを抑えるための、レイアウトや結線方法等の構成方法について検討されており、劣化抑制については、具体的に検討されていなかった。
このように、FPGAにおいて、LUT回路を用いたリングオシレータの劣化を抑制し長寿命化を図る具体的な実現方法については、検討の余地が残されていた。
ゆえに、本発明は、FPGAにおけるリングオシレータの長寿命化を実現可能とするリングオシレータ等を提供することを目的とする。
本発明の第1の観点は、FPGAにおけるリングオシレータであって、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を備え、前記各LUT回路は、それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、次段のLUT回路に接続された出力端子と、前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、複数の第1ゲート部とを有し、前記各第1ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数個のLUT回路には、入力側から出力側に順に接続された第1LUT回路、第2LUT回路及び第3LUT回路が含まれ、前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路は、同一の前記複数の第1ゲート部を有し、前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、非発振時において、前記第2LUT回路の前記第1入力端子に入力された論理値と前記出力端子から出力される論理値が同じであることにより、前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路において、同じ第1ゲート部がオフ状態となる、リングオシレータである。
本発明の第2の観点は、第1の観点のリングオシレータであって、前記各LUT回路は、前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、複数の第2ゲート部とをさらに有し、前記各第2ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを含み、前記非発振時に、前記第2LUT回路の前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値が前記第2入力端子に入力されることにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させる。
本発明の第3の観点は、第2の観点のリングオシレータであって、前記第2ゲート部は、前記第1ゲート部よりも前記出力端子側に位置し、オン状態では前記第1ゲート部が通過させた一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となる。
本発明の第4の観点は、第2の観点のリングオシレータであって、前記各第1ゲート部と前記各第2ゲート部とは、別体ではなく単一の複数入力ゲート部であって、前記複数入力ゲート部は、前記第1入力端子に入力された論理値及び前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものである。
本発明の第5の観点は、第1から第4のいずれかの観点のリングオシレータであって、少なくとも初段のLUT回路以外の前記各LUT回路においては、前記非発振時に前記出力端子に接続される個別格納部は、前記非発振時において前記第1入力端子に入力される論理値を格納する。
本発明の第6の観点は、FPGAにおけるリングオシレータであって、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を備え、前記各LUT回路は、それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、次段のLUT回路に接続された出力端子と、前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、複数の第1ゲート部と、前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、複数の第2ゲート部とを有し、前記各第1ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、前記各第2ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、非発振時に、前記複数個のLUT回路のうち少なくとも2つのLUT回路において、前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値が前記第2入力端子に入力されることにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させる、リングオシレータである。
本発明の第7の観点は、第6の観点のリングオシレータであって、前記各第1ゲート部と前記各第2ゲート部とは、別体ではなく単一の複数入力ゲート部であって、前記複数入力ゲート部は、前記第1入力端子に入力された論理値及び前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものである。
本発明の第8の観点は、FPGAにおけるリングオシレータであって、鎖状に接続された遅延要素として、入力側から出力側に順に接続された第1LUT回路及び第2LUT回路のみを備え、前記第1LUT回路及び前記第2LUT回路は、それぞれ、それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、出力端子と、第1入力端子と、複数の第1ゲート部とを有し、前記第1LUT回路の前記出力端子は前記第2LUT回路の前記第1入力端子に接続され、前記第2LUT回路の前記出力端子は前記第1LUT回路の前記第1入力端子に接続され、前記各第1ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記第1LUT回路及び前記第2LUT回路は、同一の前記複数の第1ゲート部を有し、前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、非発振時において、前記第1LUT回路の前記第1入力端子に入力された論理値と前記出力端子から出力される論理値が同じであることにより、前記第1LUT回路及び前記第2LUT回路において、同じ第1ゲート部がオフ状態となる、リングオシレータである。
本発明の第9の観点は、FPGAにおけるリングオシレータであって、遅延要素として、LUT回路を1つのみ備え、前記LUT回路は、それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、出力端子と、前記出力端子に接続された第1入力端子と、複数の第1ゲート部と、前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、複数の第2ゲート部とを有し、前記各第1ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、前記各第2ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、非発振時に、前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値が前記第2入力端子に入力されることにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させる、リングオシレータである。
本発明の第10の観点は、周波数、温度、電圧又は製造バラツキ度合を計測するセンサであって、請求項1から9のいずれかに記載のリングオシレータを備えるセンサである。
本発明の第11の観点は、FPGAにおけるリングオシレータの制御方法であって、前記リングオシレータは、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を有し、前記各LUT回路は、それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、次段のLUT回路に接続された出力端子と、前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、複数の第1ゲート部とを有し、前記各第1ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数個のLUT回路には、入力側から出力側に順に接続された第1LUT回路、第2LUT回路及び第3LUT回路が含まれ、前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路は、同一の前記複数の第1ゲート部を有し、前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、非発振時において、前記第2LUT回路の前記第1入力端子に入力された論理値と前記出力端子から出力される論理値を同じとすることにより、前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路において、同じ第1ゲート部をオフ状態とするステップを含む、リングオシレータの制御方法である。
本発明の第12の観点は、第11の観点のリングオシレータの制御方法であって、前記各LUT回路は、前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、複数の第2ゲート部とをさらに有し、前記各第2ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを含み、前記非発振時に、前記第2LUT回路の前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値を前記第2入力端子に入力することにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させる。
本発明の第13の観点は、第11又は第12の観点のリングオシレータの制御方法であって、少なくとも初段のLUT回路以外の前記各LUT回路においては、前記非発振時に前記出力端子に接続される個別格納部に、前記非発振時において前記第1入力端子に入力される論理値を格納させる。
本発明の第14の観点は、FPGAにおけるリングオシレータの制御方法であって、前記リングオシレータは、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を有し、前記各LUT回路は、それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、次段のLUT回路に接続された出力端子と、前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、複数の第1ゲート部と、前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、複数の第2ゲート部とを有し、前記各第1ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、前記各第2ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、非発振時に、前記複数個のLUT回路のうち少なくとも2つのLUT回路において、前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値を前記第2入力端子に入力することにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させるステップを含む、リングオシレータの制御方法である。
本発明の第15の観点は、FPGAにおけるリングオシレータの物理量を測定する測定方法であって、前記リングオシレータは、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を有し、前記各LUT回路は、それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、次段のLUT回路に接続された出力端子と、前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、複数の第1ゲート部とを有し、前記各第1ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数個のLUT回路には、入力側から出力側に順に接続された第1LUT回路、第2LUT回路及び第3LUT回路が含まれ、前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路は、同一の前記複数の第1ゲート部を有し、非発振時において、前記第2LUT回路の前記第1入力端子に入力された論理値と前記出力端子から出力される論理値を同じとすることにより、前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路において、同じ第1ゲート部をオフ状態とするステップと、発振時に、前記リングオシレータが出力する周波数を測定するステップとを含む、測定方法である。
本発明の第16の観点は、FPGAにおけるリングオシレータの物理量を測定する測定方法であって、前記リングオシレータは、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を有し、前記各LUT回路は、それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、次段のLUT回路に接続された出力端子と、前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、複数の第1ゲート部と、前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、複数の第2ゲート部とを有し、前記各第1ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、前記各第2ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、非発振時に、前記複数個のLUT回路のうち少なくとも2つのLUT回路において、前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値を前記第2入力端子に入力することにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させるステップと、発振時に、前記リングオシレータが出力する周波数を測定するステップとを含む、測定方法である。
本発明の第17の観点は、第15又は第16の観点の測定方法であって、前記各LUT回路は、前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、複数の第2ゲート部とをさらに有し、前記各第2ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、前記複数の第1ゲート部よりも前記出力端子側に位置し、オン状態では前記第1ゲート部が通過させた一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを含み、非発振時には、特定の個別格納部を前記出力端子に接続する特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力し、かつ、発振時にも、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力して、前記リングオシレータが出力する第1周波数を測定するステップと、非発振時には、前記特定の第2ゲート部がオフ状態となる論理値を前記第2入力端子に入力し、かつ、発振時には、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力して、前記リングオシレータが出力する第2周波数を測定するステップと、前記第1周波数及び前記第2周波数を比較するステップとを含む。
本発明の第18の観点は、第15又は第16の観点の測定方法であって、前記各LUT回路は、前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、複数の第2ゲート部とをさらに有し、前記各第2ゲート部は、p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、前記複数の第1ゲート部よりも前記出力端子側に位置し、オン状態では前記第1ゲート部が通過させた一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを含み、非発振時には、特定の個別格納部を前記出力端子に接続する特定の第2ゲート部がオフ状態となる論理値を前記第2入力端子に入力し、かつ、発振時には、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力して、前記リングオシレータが出力する第2周波数を測定するステップと、非発振時には、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力し、かつ、発振時にも、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力して、前記リングオシレータが出力する第1周波数を測定するステップと、前記第1周波数及び前記第2周波数を比較するステップとを含む。
本発明の第19の観点は、コンピュータに、本発明の第11から第14のいずれかの観点のリングオシレータの制御方法、又は、本発明の第15から第18のいずれかの観点の測定方法を実行させるためのプログラムである。
本発明の第20の観点は、本発明の第19の観点のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
まず、トランジスタの劣化現象について説明する。リングオシレータを構成するLUT回路のトランジスタとしては、通常、p型トランジスタとしてPMOSトランジスタが用いられ、n型トランジスタとしてNMOSトランジスタが用いられる。図16に示すように、一般に、PMOSトランジスタの劣化現象としてNBTI(Negative Bias Temperature Instability)が知られている。また、NMOSトランジスタの劣化現象として、PBTI(Positive Bias Temperature Instability)が知られている。PMOSのNBTIは、多くのプロセスで問題となる一方、NMOSのPBTIは、超微細プロセスにおいて問題となる。このように、通常、p型トランジスタとn型トランジスタでは、劣化現象が異なる。
NBTIとPBTIは、共に、ゲート電圧がオンとなる状態(オン状態)で劣化が進行する。PMOSトランジスタの場合、Low電圧でオン状態となる。NMOSトランジスタの場合、High電圧でオン状態となる。そのため、適切なゲート電圧をトランジスタに指定することにより、劣化を抑止したいトランジスタの劣化を抑止し、リングオシレータとしての劣化現象を抑止することができる。
通常のリングオシレータでは、LUT回路のような各遅延要素から出力される論理値が一個おきに変わる。そのため、通常のリングオシレータでは、例えば発振に寄与する特定のp型(又はn型)トランジスタに着目してオフ状態にしたい場合でも、1個おきの遅延要素にしか実現できない。その結果、約半数のLUT回路におけるp型(又はn型)トランジスタしかオフにすることができず、残りのp型(又はn型)トランジスタはオンになり、p型(又はn型)トランジスタ全体の劣化を統一して抑止することができないこととなる。
この現象について、図17及び図18を用いて説明を加える。図17は、従来の考え方に基づくリングオシレータを構成した場合の発振時の一例を示す図である。図18は、従来の考え方に基づくリングオシレータを構成した場合の非発振時の一例を示す図である。図17と図18を比較することにより、図18(b)において二段目以降のLUT回路で丸で囲まれているトランジスタは、発振時にも非発振時にもオン状態となるため、劣化が進行する。発振に寄与するトランジスタの約半数が、このような劣化進行の問題を抱えている。
図19に、通常のリングオシレータの劣化測定の実験結果を示す。40℃で1分おきに1時間測定した。測定時以外は、停止(電源はON)した。図19からは、たった1時間でも出力周波数が低下していることが分かる。このことは、リングオシレータの劣化が重大な問題であることを示している。
本願発明の各観点におけるリングオシレータは、LUT回路を利用するものである。LUT回路は、インバータ等と異なり、出力端子から出力される論理値を設定可能である。発振時には、各LUT回路から出力される論理値は、リングオシレータとしての目的により、例えば1個おきに変えること等が必要となる。非発振時には、リングオシレータとしての目的による制限を考慮する必要はない。
さらに、リングオシレータは、通常、一時的に発振状態となり、ほとんどの時間で非発振状態である。例えば、センサとしてモニタ測定を行うごく短時間(1分あたり数10ms等)だけ発振し、それ以外の時間は非発振状態である。そのため、トランジスタの劣化抑制には、非発振状態が重要な役割を果たすこととなる。
そこで、本願発明の各観点によれば、発振時と非発振時を区別して、リングオシレータの非発振状態に着目し、劣化を抑制したい第1ゲート部のp型トランジスタ(又はn型トランジスタ)をオフ状態とする論理値を、リングオシレータ内の初段のLUT回路以外で隣接するLUT回路の第1入力端子に入力することが可能となる。これにより、半数より多くのLUT回路で、劣化を抑制したいp型トランジスタ(又はn型トランジスタ)の劣化を効率的に抑制することが可能となる。換言すれば、発振に寄与するp型トランジスタ(又はn型トランジスタ)のうち、劣化が抑制されたトランジスタの割合を従来よりも増加させることが可能となる。そのため、リングオシレータ全体として長寿命化を実現することができる。
多くの場合、劣化が進みやすいPMOSトランジスタ(p型トランジスタ)のNBTIを抑制したいとの要請が想定される。その場合は、非発振時にPMOSトランジスタをオフ状態とする論理値を第1入力端子に入力することで、反対の論理値を第1入力端子に入力した場合よりも多くのPMOSトランジスタの劣化を抑制することも可能となる。しかし、超微細プロセスで製造された場合など、NMOSトランジスタ(n型トランジスタ)のPBTIを抑制したい場合もある。その場合には、非発振時にNMOSトランジスタをオフ状態とする論理値を第1入力端子に入力すればよい。本発明によれば、p型トランジスタとn型トランジスタの劣化現象の違いに着目し、非発振時において、あるLUT回路の第1入力端子に、いずれか劣化を抑制したいトランジスタをオフ状態とする論理値を与えれば、次段のLUT回路においても、同じ種類のトランジスタをオフ状態とすることができ、連続する複数のLUT回路において、p型又はn型トランジスタの劣化を抑制することができる点に特徴がある。
また、本発明の第2の観点によれば、発振に寄与する第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を用いて非発振状態を実現する。これにより、発振時とは異なる個別格納部に格納された論理値が出力端子に接続されることとなり、発振に寄与した第1ゲート部をオフ状態とすることとリングオシレータを非発振とすることの両立が容易となる。その結果、リングオシレータの長寿命化がさらに容易となる。
さらに、本発明の第3の観点によれば、格納部側で発振させることとなるため、発振時に、発振に寄与する入力端子に前段のLUT回路から論理値が入力されてから個別格納部の論理値が出力されるまでに通過するトランジスタの数が少なくとも出力端子側に位置する第2ゲート部の分だけ増える。これらのトランジスタの劣化を抑制する論理値が第2入力端子に入力されることにより、発振トランジスタの劣化の全体に占める影響を低減できることが期待できる。その結果、リングオシレータの長寿命化がさらに容易となる。
さらに、本発明の第4の観点によれば、複数の入力端子に与えられた論理値に応じてオン状態又はオフ状態となるゲート部により、同様のリングオシレータの長寿命化を図ることが可能となる。
さらに、本発明の第5の観点によれば、リングオシレータの複数の遅延要素として、同一の論理値群を格納させた同一のLUT回路を用いて、リングオシレータの発振及び非発振を制御することが可能となる。そのため、LUT回路を用いたリングオシレータにおける劣化現象の抑制がさらに容易となる。
また、本発明の第6の観点によれば、第2入力端子に入力された値によって、発振に寄与するp型トランジスタ(又はn型トランジスタ)をオフ状態とできる場合に、非発振時において、第2入力端子の入力の制御に着目し、リングオシレータの長寿命化を図ることが可能となる。
特に、本発明の第7の観点によれば、例えば第1ゲート部と第2ゲート部が一体であり、第1入力端子に入力される値及び第2入力端子に入力される値で制御される場合に、リングオシレータの長寿命化を効果的に制御することが可能となる。
また、本発明の第8及び第9の観点によれば、遅延要素であるLUT回路が少ない場合であっても、リングオシレータの長寿命化を図ることが可能となる。
また、本発明の第10の観点によれば、劣化耐性を持つセンサであって、安定な周波数、温度、電圧又は製造バラツキ度合を測定するセンサを提供することが可能となる。
また、本発明の第15及び第16の観点によれば、安定した周波数を長時間出力しうるリングオシレータの出力周波数から、リングオシレータの物理量を測定することが可能となる。ここでいう物理量には、例えば、劣化モードごとの劣化量、セレクタの論理値に対応する劣化量、劣化モード(NBTI/PBTIなど)及び劣化セレクタのLUT内位置によるLUT全体の遅延量に対する影響度合い、並びに、非劣化状態に保持した場合の回復量が含まれる。
さらに、本発明の第17及び第18の観点によれば、特定のトランジスタのオン状態及びオフ状態を反映した出力周波数を比較することにより、当該トランジスタの劣化モードに基づくリングオシレータの劣化量を測定することが可能となる。
本願発明の実施例に係るリングオシレータ1の概要を示す図である。 図1のLUT回路3において、PMOS劣化抑止をする場合の動作例を示す。 図1のリングオシレータ1を設計するための処理の一例を示すフロー図である。 図1のLUT回路3において、図2とは異なるPMOS劣化抑止をする場合の動作例を示す図である。 図1のLUT回路3において、NMOS劣化抑止をする場合の動作例を示す図である。 図1の個別選択部21及び第1選択部23の他の具体例を示す図である。 実験に使用した通常PMOS劣化を示す図である。 実験に使用したPMOS積極劣化を示す図である。 実験に使用したPMOS劣化抑止を示す図である。 2か所のロケーションにおいて、図7〜図9の実験結果を示す図である。 LUT回路が1つのみの場合のリングオシレータの一例を示す図である。 LUT回路が2つのみの場合のリングオシレータの一例を示す図である。 選択部が複数の入力である場合のLUT回路の一例を示す図である。 一般的なFPGAの構成例を示す図である。 一般的なLUT回路の構成例を示す図である。 PMOSの劣化現象であるNBTI及びNMOSの劣化現象であるPBTIについて示す図である。 従来の考え方に基づくリングオシレータを構成した場合の発振時の一例を示す図である。 従来の考え方に基づくリングオシレータを構成した場合の非発振時の一例を示す図である。 通常のリングオシレータの劣化測定の実験結果を示す図である。
以下、図面を参照して、本願発明の実施例について述べる。なお、本願発明の実施の形態は、以下の実施例に限定されるものではない。
図1は、本願発明の実施例に係るリングオシレータ1の概要を示す図である。(a)は、リングオシレータ1の全体像を示すブロック図である。(b)は、LUT回路3の具体的な構成の一例を示す。
図1のリングオシレータ1は、FPGAにおけるものである。リングオシレータ1は、複数のLUT回路31、…、3N(Nは、3以上の奇数である。添え字は、省略する場合もある。)と、発振記憶部11と、非発振記憶部13と、選択信号部15と、選択部17を備える。
LUT回路3は、リングオシレータ1における遅延要素である。各LUT回路3は、4つの入力端子A、B、C及びDを備える。入力端子Aが、リングオシレータにおける発振のために使用されるものである。LUT回路31は、LUT回路32の入力端子A(本願請求項の「第1入力端子」の一例)に対して論理値を出力する。同様に、LUT回路3i(iは、1以上N−1以下の整数。)は、LUT回路3i+1の入力端子A(本願請求項の「第1入力端子」の一例)に出力する。LUT回路3Nは、論理値を外部にfoutとして出力するとともに、LUT回路31の入力端子A(本願請求項の「第1入力端子」の一例)に対して出力する。複数のLUT回路3が鎖状に接続されていることは、図1(a)のように、LUT回路3iが、次段のLUT回路3i+1に論理値を出力し、LUT回路3Nが、LUT回路31に論理値を出力する状態を意味する。
各LUT回路3は、発振時には、入力された論理値の反転論理値(すなわち、0が入力されると1を出力し、1が入力されると0を出力する。)を出力することにより、リングオシレータとして機能するものである。
各LUT回路3には、鎖状に接続されることにより他のLUT回路から入力される値に加えて、一つ又は複数の入力論理値が与えられる。図1(b)では、このような入力論理値が3ビットである場合を示す。これらの3ビットの入力論理値は、入力端子B、C及びDに与えられる。
発振記憶部11は、発振時に(すなわち、リングオシレータとして使用中に)、各LUT回路3に対して入力される入力論理値を格納する。非発振記憶部13は、非発振時に(すなわち、リングオシレータとして使用されていないときに)、各LUT回路3に対して入力される入力論理値を格納する。
選択信号部15は、選択部17に対して、発振時と非発振時とで異なる信号を与えるものである。
選択部17は、選択信号部15から得られた信号に応じて、発振記憶部11と非発振記憶部13のいずれかを選択し、各LUT回路3に入力論理値を与える。
図1(b)を参照して、各LUT回路3の構成の一例を説明する。各LUT回路3j(jは、1以上N以下の整数)は、16個の個別格納部21j1,…,21j16(個別格納部21が、本願請求項の「個別格納部」の一例)と、8個の第1選択部23j1,…,23j8と、4個の第2選択部25j1,…,25j4と、2つの第3選択部27j1及び27j2と、1つの第4選択部29jを備える。第1選択部23は、個別格納部21よりも出力端子側に位置する。第2選択部25は、第1選択部23よりも出力端子側に位置する。第3選択部27は、第2選択部25よりも出力端子側に位置する。第4選択部29は、第3選択部27よりも出力端子側に位置する。格納部22(本願請求項の「格納部」の一例)は、個別格納部21を併せたものである。
個別格納部21は、それぞれ、論理値を格納する。
第1選択部23は、入力端子Aに与えられた論理値に基づいて個別格納部21のいずれかを選択して格納する論理値を出力できる状態となる。以下では、第1選択部23は、入力端子Aの論理値が1の場合には奇数番目の個別格納部21を選択し、論理値が0の場合には偶数番目の個別格納部21を選択するとする。例えば、第1選択部23j1は、入力端子Aの論理値が1の場合には個別格納部21j1を選択し、論理値が0の場合には個別格納部21j2を選択する。
第2選択部25は、入力端子Bに与えられた論理値に基づいて第1選択部23のいずれかを選択してその出力できる状態の論理値を出力できる状態となる。以下では、第2選択部25は、入力端子Bの論理値が1の場合には奇数番目の第1選択部23を選択し、論理値が0の場合には偶数番目の第1選択部23を選択するとする。例えば、第2選択部25j1は、入力端子Bの論理値が1の場合には第1選択部23j1を選択し、論理値が0の場合には第1選択部23j2を選択する。
第3選択部27は、入力端子Cに与えられた論理値に基づいて第2選択部25のいずれかを選択してその出力できる状態の論理値を出力できる状態となる。以下では、第3選択部27は、入力端子Cの論理値が1の場合には奇数番目の第2選択部25を選択し、論理値が0の場合には偶数番目の第2選択部25を選択するとする。例えば、第3選択部27j1は、入力端子Cの論理値が1の場合には第2選択部25j1を選択し、論理値が0の場合には第2選択部25j2を選択する。
第4選択部29は、入力端子Dに与えられた論理値に基づいて第3選択部27のいずれかを選択してその出力できる状態の論理値を出力できる状態となる。第3選択部29jは、入力端子Dの論理値が1の場合には第3選択部27j1を選択し、論理値が0の場合には第3選択部27j2を選択する。
図2は、図1のLUT回路3において、PMOS劣化抑止をする場合の動作例を示す。図2(a)は、入力端子Aが発振のために使用される場合の発振時を示し、図2(b)は、非発振時(未使用時、停止時)を示す。
第1選択部23、第2選択部25、第3選択部27及び第4選択部29は、それぞれ、入力端子の論理値が1で選択するものをNMOSトランジスタ(本願請求項の「第1ゲート部」及び「n型トランジスタ」の一例)で構成しており、論理値が0で選択するものをPMOSトランジスタ(本願請求項の「第1ゲート部」及び「p型トランジスタ」の一例)で構成している。個々の第1選択部23には、1個のNMOSトランジスタ(本願請求項の「第2ゲート部」及び「n型トランジスタ」の一例)と1個のPMOSトランジスタ(本願請求項の「第2ゲート部」及び「p型トランジスタ」の一例)が含まれている。第1選択部23全体としては、8個のNMOSトランジスタと8個のPMOSトランジスタが含まれている。個々の第2選択部25には、1個のNMOSトランジスタ(本願請求項の「第2ゲート部」及び「n型トランジスタ」の一例)と1個のPMOSトランジスタ(本願請求項の「第2ゲート部」及び「p型トランジスタ」の一例)が含まれている。第2選択部25全体としては、4個のNMOSトランジスタと4個のPMOSトランジスタが含まれている。個々の第3選択部27には、1個のNMOSトランジスタ(本願請求項の「第2ゲート部」及び「n型トランジスタ」の一例)と1個のPMOSトランジスタ(本願請求項の「第2ゲート部」及び「p型トランジスタ」の一例)が含まれている。第3選択部27全体としては、2個のNMOSトランジスタと2個のPMOSトランジスタが含まれている。第4選択部29には、1個のNMOSトランジスタ(本願請求項の「第2ゲート部」及び「n型トランジスタ」の一例)と1個のPMOSトランジスタ(本願請求項の「第2ゲート部」及び「p型トランジスタ」の一例)が含まれている。
図2(a)の発振時では、入力端子Aが発振のために使用され、発振時には、前段のLUT回路3から1又は0が入力される。入力端子B、C及びDには、それぞれ、発振時に0、0及び0が与えられる。そのため、発振時には、図2(a)のトランジスタ311、312及び313がオン状態となり、入力端子Aの論理値に応じて、トランジスタ314と315のいずれか一方がオン状態となる。そして、個別格納部21j15及び21j16には、それぞれ、0及び1が格納されており、入力端子Aの論理値が1の場合、出力端子には0が出力され、入力端子Aの論理値が0の場合、出力端子には1が出力される。
図2(b)の非発振時では、PMOS劣化を抑止するため、入力端子Aには、論理値1が入力される。これにより、少なくともトランジスタ315はオフ状態となり、劣化を抑止することができる。さらに、入力端子B、C及びDには、それぞれ、1、1及び1が与えられる。これにより、トランジスタ331、332、333及び334がオン状態となる。他方、トランジスタ311、312、313及び314がオフ状態となる。その結果、発振時に使用するPMOSは、全て、非発振時の劣化を抑止することができる。なお、第2選択部25、第3選択部27及び第4選択部29におけるNMOS劣化は、発振に影響しない。そのため、劣化現象がPMOSのNBTIだけの場合、発振に寄与するトランジスタ311、312、313、31、31の非発振時における劣化を完全に抑止することができる。他方、第1選択部23のNMOSトランジスタであるトランジスタ314は、発振時及び非発振時共にオン状態となる。そのため、PBTIが起こる場合には、トランジスタ314が劣化する可能性もあるが、劣化の影響を最小限に抑えることができる。そして、個別格納部21j1に、入力端子Aに入力される論理値1と同じ論理値である1を格納することにより、出力端子にも論理値1を出力する。これにより、次段のLUT回路も、同様にPMOS劣化を抑止することができる。
図3は、LUT回路3を有する図1のリングオシレータ1を設計するための処理の一例を示すフロー図である。まず、リングオシレータの構成を決定し(ステップST1)、論理式を決定し(ステップST2)、論理記述を行う(ステップST3)。そして、配置配線を行う(ステップST4)。ここで、配置配線は、自動的に行うことも可能であるが、通常、その後に、人の手によって配置された配線を固定したり修正したりして調整する。そして、この配置配線を示すデータをFPGAにダウンロードして書き込み、実行する(ステップST5)。
PMOSの劣化を抑止したい場合を例として、個別格納部に与えられる論理値の決定例について具体的に述べる。ステップST1において、発振条件やLAB内に収めるため等の制約をふまえ、LUTの数等のリングオシレータ1の構成を決定する。
ステップST2において、発振時には、入力端子Aへの1又は0が入力される場合に出力端子に0又は1がそれぞれ出力される必要がある。そのため、個別格納部21j15及び21j16には、それぞれ、0及び1が格納されることが決定される。また、非発振時には、トランジスタ31をオフ状態とすると共に、入力端子Aと出力端子から出力される値が同じであるために、個別格納部21j1が格納する値が1であることが決定される。上記以外の個別格納部の値は、入力端子A〜Dへ入力される論理値と出力される論理値との関係を表す論理式が簡易になるように決める。ここでは、発振時に入力端子B〜Dに0が入力され、非発振時に入力端子B〜Dに1が入力されるとする。すると、出力端子からの出力論理値F=!A+B+C+Dで表される。この論理式に基づけば、個別格納部21j2〜21j14には、全て論理値1が与えられる。
続いて、図4を参照して、他のPMOS劣化抑止の一例について説明する。(a)は発振時を示し、(b)は非発振時を示す。この例では、入力端子Aが発振に使用されており、発振時には、入力端子B、C及びDには、それぞれ、1、1及び1が与えられる。そのため、トランジスタ351、352及び353がオン状態であり、トランジスタ354と355のいずれか一方がオン状態となる。個別格納部21j1及び21j2には、それぞれ、0及び1が格納されており、入力端子Aの論理値が1のときは出力端子に0が出力され、入力端子Aの論理値が0のときは出力端子に1が出力される。非発振時には、入力端子Aには、1が与えられる。そのため、トランジスタ355は、オフ状態となり、劣化が抑止される。そして、入力端子B、C及びDには、それぞれ、0、1及び1が与えられる。そのため、トランジスタ353及びはオフ状態となり、トランジスタ356がオン状態となる。個別格納部21j3には、1が格納されている。そのため、出力端子には、入力端子Aに与えられる論理値1と同じ論理値1が出力される。なお、PBTIも発生する時には、第1選択部23、第3選択部27及び第4選択部29のNMOS劣化は抑止することはできないが、NBTIによるPMOS劣化は発生しない。
続いて、図5を参照して、NMOS劣化抑止の一例について説明する。(a)は発振時を示し、(b)は非発振時を示す。この例では、入力端子Aが発振に使用されており、発振時には、入力端子B、C及びDには、それぞれ、1、1及び1が与えられる。そのため、トランジスタ371、372及び373がオン状態であり、トランジスタ374と375のいずれか一方がオン状態となる。個別格納部21j1及び21j2には、それぞれ、0及び1が格納されており、入力端子Aの論理値が1のときは出力端子に0が出力され、入力端子Aの論理値が0のときは出力端子に1が出力される。非発振時には、入力端子Aには、0が与えられる。そのため、トランジスタ374は、オフ状態となり、劣化が抑止される。そして、入力端子B、C及びDには、それぞれ、0、0及び0が与えられる。そのため、トランジスタ371、372及び373はオフ状態となり、トランジスタ391、392、393及び394がオン状態となる。個別格納部21j16には、0が格納されている。そのため、出力端子には、入力端子Aに与えられる論理値0と同じ論理値0が出力される。これにより、発振時に使用する全てのNMOS劣化を抑止することができる。なお、トランジスタ375のPMOS劣化が生じるが、第2選択部、第3選択部及び第4選択部のPMOS劣化は発振に影響しない。
図6は、個別格納部21及び第1選択部23の他の一例を示す図である。SRAM41及び43は、個別格納部21に対応し、それぞれ論理値を記憶する。パスゲート45(本願請求項の「第1ゲート部」又は「第2ゲート部」の一例)は、p型トランジスタ(本願請求項の「p型トランジスタ」の一例)及びn型トランジスタ(本願請求項の「n型トランジスタ」の一例)を含む。パスゲート47「第1ゲート部」又は「第2ゲート部」の一例)も同様である。パスゲート45及び47は、入力端子Aの論理値1及び0に応じて、それぞれ、オン状態及びオフ状態となる。入力端子Aに入力された論理値は、そのままパスゲート45のNMOS入力及びパスゲート47のPMOS入力に入力される。また、インバータ49は、入力端子Aの論理値1及び0に応じて、それぞれ、論理値0及び1をパスゲート45のPMOS入力及びパスゲート47のNMOS入力に出力する。
例えば、入力端子Aに入力された論理値が0の場合、パスゲート47のp型トランジスタにNBTI劣化が生じる。また、インバータ49を構成するp型トランジスタにもNBTI劣化が生じ、パスゲート47のn型トランジスタに1を出力する速度が劣化する。その結果、パスゲート47の論理値を通過させる機能の劣化が生じる。他方、入力端子Aに入力された論理値が1の場合、パスゲート45のp型トランジスタにNBTI劣化が生じるが、インバータ49を構成するp型トランジスタにはNBTI劣化が生じない。そのため、このような構成であっても、入力端子Aに入力される論理値に応じて特定の劣化モードを抑制することが可能であり、上記で説明したリングオシレータ1の長寿命化を図ることが可能となる。
続いて、図7から図10を参照して、本願発明による効果について行った実験について説明する。図7は、「通常のPMOS劣化」に対応するLUT回路の構成例を示す図である。個別格納部は、出力論理値=!A・!B・!C・!Dとなる(すなわち、A、B、C及びDが全て0の場合に1を出力し、そうでない場合には0を出力する)ように設定されている。(a)が発振時であり、(b)が非発振時を示す。(a)の発振時では、入力端子Dが発振のために使用されており、前段のLUT回路から1又は0が入力される。他の入力端子A、B及びCには、論理値0が与えられている。この場合、オン状態になりうるものを実線及び破線で丸印を付している。(b)の非発振時では、入力端子A、B、C及びDに、それぞれ、1、0、0及び0が入力されており、オン状態にあるものを実線及び破線で丸印を付している。図7において、破線の丸印については、発振時にオン状態となりうるものであり、かつ、停止時でオン状態となるものである。そのため、これらのトランジスタが劣化しやすいこととなる。
図8は、「PMOS積極劣化」に対応するLUT回路の構成例を示す図である。個別格納部は、同様に、出力論理値=!A・!B・!C・!Dとなるように設定されている。(a)が発振時であり、(b)が非発振時を示す。(a)の発振時では、入力端子Aが発振のために使用されており、下段のLUT回路から1又は0が入力される。他の入力端子B、C及びDには、論理値0が与えられている。この場合、オン状態にあるものを実線及び破線で丸印を付している。(b)の非発振時では、入力端子A、B、C及びDに、それぞれ、0、1、0及び0が入力されており、オン状態にあるものを実線及び破線で丸印を付している。図8において、破線の丸印については、発振時にも非発振時にも常にオン状態となるものである。そのため、これらのトランジスタは、特に劣化しやすいこととなる。
図9は、「PMOS劣化抑止」に対応するLUT回路の構成例を示す図である。個別格納部は、出力論理値=A・!B・!C・!Dとなる(すなわち、Aが1で、B、C及びDが0の場合に1を出力し、そうでない場合には0を出力する)ように設定されている。(a)が発振時であり、(b)が非発振時を示す。(a)の発振時では、入力端子Aが発振のために使用されており、下段のLUT回路から1又は0が入力される。他の入力端子B、C及びDには、論理値0が与えられている。この場合、オン状態にあるものを実線で丸印を付している。(b)の非発振時では、入力端子A、B、C及びDに、論理値1が入力されており、オン状態にあるものを実線で丸印を付している。図9において、発振時と非発振時で、共に、オン状態となりうるトランジスタはなく、発振時に使用するトランジスタの非発振時におけるPMOS劣化を抑止することができる。
図10は、2か所でのロケーション(以下、「ロケーション1」及び「ロケーション2」という。)において劣化を評価するためのものである。各ロケーションにおいて、520分加熱し、前後計9回の移動平均をとったものである。各図は、ロケーション1での(a)通常PMOS劣化(図7参照)、(b)PMOS積極劣化(図8参照)、及び、(c)PMOS劣化抑止(図9参照)であり、ロケーション2での(d)通常PMOS劣化、(e)PMOS積極劣化、及び、(f)PMOS劣化抑止である。横軸は、FPGAが加熱(劣化加速)されている時間[分]に対応する,縦軸は、リングオシレータの周波数が時間とともに変化する割合を示す。縦軸の値がマイナスであることは、だんだん遅くなることを示している。ロケーション1では、(a)通常PMOS劣化でのピークは−0.2を超え、(b)PMOS積極劣化でも−0.2付近である。(c)PMOS劣化抑止によれば、ピークは−0.15付近である。そのため、劣化が抑止されていることが分かる。また、ロケーション2でも、(d)通常PMOS劣化及び(e)PMOS積極劣化でのピークは−0.15を超える。(f)PMOS劣化抑止によれば、ピークは−0.1付近である。そのため、劣化が抑止されていることが分かる。このように、リングオシレータの特定の劣化モードごとに劣化を加速させた場合や劣化を抑止した場合と比較することにより、リングオシレータの劣化量を測定することが可能となる。劣化モードごとの劣化量の他にも、セレクタの論理値に対応する劣化量、劣化モード(NBTI/PBTIなど)若しくは劣化セレクタのLUT内位置によるLUT全体の遅延量に対する影響度合い、又は、非劣化状態に保持した場合の回復量、などの物理量を測定することが可能である。ここに列挙したのは、本願請求項記載の「物理量」の一例である。
なお、本実施例では、LUT回路の個数Nが3以上の奇数の場合について記載したが、本発明は、Nが1、又は、偶数の場合にも適用可能である。リングオシレータを構成するためには、発振動作時にN個のLUT回路のうち、奇数個は前段のLUT回路に接続された入力端子の反転を出力し、残りのLUT回路は、前段のLUT回路に接続された入力端子と同じ値を出力すればよい。
例えば、図11に示すように、N=1のとき、LUT回路は、出力端子と入力端子の1つが接続され、ループが回る度に出力端子に反対の論理値が入力される。このとき、発振時において、入力端子A=0→出力端子Y=1→入力端子A=1→出力端子Y=0→入力端子A=0→…のようになる。また、図12に示すように、N=2のとき、前段から入力端子に入力された値と同じ値を出力するLUT回路と、前段から入力端子に入力された値の反転を出力するLUT回路とでリングオシレータが構成される。このとき、発振時において、LUT1入力端子A1=0→LUT1出力端子Y1=0→LUT2入力端子A2=0→LUT2出力端子Y2=1→LUT1入力端子A1=1→LUT1出力端子Y1=1→LUT2入力端子A=1→LUT2出力端子Y2=0→LUT1入力端子A1=0→…となる。なお、反転を出力するLUT回路と同じ値を出力するLUT回路の順序は問わない。
また、同じ値を出力するLUT回路は、個別格納部21が格納する論理値を調整することで得られる。例えば、図2において、個別調整部21j15が格納する値を1とし、個別調整部21j16が格納する値を0とする。他の例として、図4において、個別調整部21j1が格納する値を1とし、個別調整部21j2が格納する値を0とする。さらに他の例として、図5において、個別調整部21j1が格納する値を1とし、個別調整部21j2が格納する値を0とする。このようにして、非反転のLUT回路を用意することができる。
さらに、本発明に係るLUT回路の構成は、本実施例で示した構成に限定されるものではない。例えば、第1選択部23の負荷駆動能力を向上するため、トライステートバッファを使用したり、入力又は出力にインバータを挿入したりする構成が考えられる。この場合、第1選択部23の入力と出力が反転の関係になる場合がある。第2選択部25、第3選択部27及び第4選択部29に関しても同様である。また、LUT回路の構成として、複数の選択部を1体のものとして構成する方法も考えられる。例えば、図13に示すように、第1選択部23と第2選択部25を一体化した選択部とし、4つの個別格納部が格納する論理値から1つを選択する構成としてもよい。この場合、一体化した選択部は、入力端子A及び入力端子Bの2つの入力端子により制御される。ここで、一体化した選択部が有するゲート部も、入力端子A(本願発明の「第1入力端子」の一例)及び入力端子B(本願発明の「第2入力端子」の一例)の2つの入力端子により制御されるものであってもよい。例えば、一体化した選択部121は、2つの入力(AB)=(00,01,10,11)に応じて1つがオン状態となる4つのゲート部123〜123を有してもよい。このとき、発振時にB=0とすると、00及び10に対応する2つのゲート部123が交互にオンとなる。非発振時には、B=1とすると、01又は11に対応する2つのゲート部123のうちのどちらかがオン状態となり、Aの値によらず00及び10に対応する2つのゲート部123は、オフ状態となる。そのため、入力端子Bに適切な値を入力することにより、発振に寄与するゲート部の非発振時の劣化抑制を行うことが可能となる。このようなゲート部123の一例としては、トライステートバッファが挙げられる。本発明は、これらの構成のLUT回路にも適用が可能である。
1・・・リングオシレータ、3・・・LUT回路、11・・・発振記憶部、13・・・非発振記憶部、15・・・選択信号部、17・・・選択部、21・・・個別格納部、22・・・格納部、23・・・第1選択部、25・・・第2選択部、27・・・第3選択部、29・・・第4選択部、31,33,35,37,39,45,47・・・トランジスタ、41,43・・・SRAM、49・・・インバータ

Claims (20)

  1. FPGAにおけるリングオシレータであって、
    鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を備え、
    前記各LUT回路は、
    それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、
    次段のLUT回路に接続された出力端子と、
    前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、
    複数の第1ゲート部とを有し、
    前記各第1ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数個のLUT回路には、入力側から出力側に順に接続された第1LUT回路、第2LUT回路及び第3LUT回路が含まれ、
    前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路は、同一の前記複数の第1ゲート部を有し、
    前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    非発振時において、前記第2LUT回路の前記第1入力端子に入力された論理値と前記出力端子から出力される論理値が同じであることにより、前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路において、同じ第1ゲート部がオフ状態となる、リングオシレータ。
  2. 前記各LUT回路は、
    前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、
    複数の第2ゲート部とをさらに有し、
    前記各第2ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを含み、
    前記非発振時に、前記第2LUT回路の前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値が前記第2入力端子に入力されることにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させる、請求項1記載のリングオシレータ。
  3. 前記第2ゲート部は、
    前記第1ゲート部よりも前記出力端子側に位置し、
    オン状態では前記第1ゲート部が通過させた一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となる、請求項2記載のリングオシレータ。
  4. 前記各第1ゲート部と前記各第2ゲート部とは、別体ではなく単一の複数入力ゲート部であって、
    前記複数入力ゲート部は、前記第1入力端子に入力された論理値及び前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものである、請求項2記載のリングオシレータ。
  5. 少なくとも初段のLUT回路以外の前記各LUT回路においては、前記非発振時に前記出力端子に接続される個別格納部は、前記非発振時において前記第1入力端子に入力される論理値を格納する、請求項1から4のいずれかに記載のリングオシレータ。
  6. FPGAにおけるリングオシレータであって、
    鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を備え、
    前記各LUT回路は、
    それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、
    次段のLUT回路に接続された出力端子と、
    前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、
    複数の第1ゲート部と、
    前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、
    複数の第2ゲート部とを有し、
    前記各第1ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    前記各第2ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    非発振時に、前記複数個のLUT回路のうち少なくとも2つのLUT回路において、前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値が前記第2入力端子に入力されることにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させる、リングオシレータ。
  7. 前記各第1ゲート部と前記各第2ゲート部とは、別体ではなく単一の複数入力ゲート部であって、
    前記複数入力ゲート部は、前記第1入力端子に入力された論理値及び前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものである、請求項6記載のリングオシレータ。
  8. FPGAにおけるリングオシレータであって、
    鎖状に接続された遅延要素として、入力側から出力側に順に接続された第1LUT回路及び第2LUT回路のみを備え、
    前記第1LUT回路及び前記第2LUT回路は、それぞれ、
    それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、
    出力端子と、
    第1入力端子と、
    複数の第1ゲート部とを有し、
    前記第1LUT回路の前記出力端子は前記第2LUT回路の前記第1入力端子に接続され、前記第2LUT回路の前記出力端子は前記第1LUT回路の前記第1入力端子に接続され、
    前記各第1ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記第1LUT回路及び前記第2LUT回路は、同一の前記複数の第1ゲート部を有し、
    前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    非発振時において、前記第1LUT回路の前記第1入力端子に入力された論理値と前記出力端子から出力される論理値が同じであることにより、前記第1LUT回路及び前記第2LUT回路において、同じ第1ゲート部がオフ状態となる、リングオシレータ。
  9. FPGAにおけるリングオシレータであって、
    遅延要素として、LUT回路を1つのみ備え、
    前記LUT回路は、
    それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、
    出力端子と、
    前記出力端子に接続された第1入力端子と、
    複数の第1ゲート部と、
    前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、
    複数の第2ゲート部とを有し、
    前記各第1ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    前記各第2ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    非発振時に、前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値が前記第2入力端子に入力されることにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させる、リングオシレータ。
  10. 周波数、温度、電圧又は製造バラツキ度合を計測するセンサであって、請求項1から9のいずれかに記載のリングオシレータを備えるセンサ。
  11. FPGAにおけるリングオシレータの制御方法であって、
    前記リングオシレータは、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を有し、
    前記各LUT回路は、
    それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、
    次段のLUT回路に接続された出力端子と、
    前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、
    複数の第1ゲート部とを有し、
    前記各第1ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数個のLUT回路には、入力側から出力側に順に接続された第1LUT回路、第2LUT回路及び第3LUT回路が含まれ、
    前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路は、同一の前記複数の第1ゲート部を有し、
    前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    非発振時において、前記第2LUT回路の前記第1入力端子に入力された論理値と前記出力端子から出力される論理値を同じとすることにより、前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路において、同じ第1ゲート部をオフ状態とするステップを含む、リングオシレータの制御方法。
  12. 前記各LUT回路は、
    前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、
    複数の第2ゲート部とをさらに有し、
    前記各第2ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを含み、
    前記非発振時に、前記第2LUT回路の前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値を前記第2入力端子に入力することにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させる、請求項11記載のリングオシレータの制御方法。
  13. 少なくとも初段のLUT回路以外の前記各LUT回路においては、前記非発振時に前記出力端子に接続される個別格納部に、前記非発振時において前記第1入力端子に入力される論理値を格納させる、請求項11又は12記載のリングオシレータの制御方法。
  14. FPGAにおけるリングオシレータの制御方法であって、
    前記リングオシレータは、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を有し、
    前記各LUT回路は、
    それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、
    次段のLUT回路に接続された出力端子と、
    前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、
    複数の第1ゲート部と、
    前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、
    複数の第2ゲート部とを有し、
    前記各第1ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    前記各第2ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    非発振時に、前記複数個のLUT回路のうち少なくとも2つのLUT回路において、前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値を前記第2入力端子に入力することにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させるステップを含む、リングオシレータの制御方法。
  15. FPGAにおけるリングオシレータの物理量を測定する測定方法であって、
    前記リングオシレータは、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を有し、
    前記各LUT回路は、
    それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、
    次段のLUT回路に接続された出力端子と、
    前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、
    複数の第1ゲート部とを有し、
    前記各第1ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数個のLUT回路には、入力側から出力側に順に接続された第1LUT回路、第2LUT回路及び第3LUT回路が含まれ、
    前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路は、同一の前記複数の第1ゲート部を有し、
    非発振時において、前記第2LUT回路の前記第1入力端子に入力された論理値と前記出力端子から出力される論理値を同じとすることにより、前記第2LUT回路及び前記第3LUT回路において、同じ第1ゲート部をオフ状態とするステップと、
    発振時に、前記リングオシレータが出力する周波数を測定するステップとを含む、測定方法。
  16. FPGAにおけるリングオシレータの物理量を測定する測定方法であって、
    前記リングオシレータは、鎖状に接続された遅延要素として、複数個のLUT回路を有し、
    前記各LUT回路は、
    それぞれが論理値を格納する複数の個別格納部を有する格納部と、
    次段のLUT回路に接続された出力端子と、
    前段のLUT回路の出力端子に接続された第1入力端子と、
    複数の第1ゲート部と、
    前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、
    複数の第2ゲート部とを有し、
    前記各第1ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第1入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第1ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    前記各第2ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    オン状態では前記個別格納部のうちの一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを有し、
    非発振時に、前記複数個のLUT回路のうち少なくとも2つのLUT回路において、前記第2入力端子に対して発振時に入力される論理値とは異なる論理値を前記第2入力端子に入力することにより、前記発振時に前記格納部と前記出力端子とを接続しうる第2ゲート部とは異なる第2ゲート部を経由して前記格納部と前記出力端子とを接続させるステップと、
    発振時に、前記リングオシレータが出力する周波数を測定するステップとを含む、測定方法。
  17. 前記各LUT回路は、
    前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、
    複数の第2ゲート部とをさらに有し、
    前記各第2ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    前記複数の第1ゲート部よりも前記出力端子側に位置し、オン状態では前記第1ゲート部が通過させた一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを含み、
    非発振時には、特定の個別格納部を前記出力端子に接続する特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力し、かつ、発振時にも、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力して、前記リングオシレータが出力する第1周波数を測定するステップと、
    非発振時には、前記特定の第2ゲート部がオフ状態となる論理値を前記第2入力端子に入力し、かつ、発振時には、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力して、前記リングオシレータが出力する第2周波数を測定するステップと、
    前記第1周波数及び前記第2周波数を比較するステップとを含む、請求項15又は16記載の測定方法。
  18. 前記各LUT回路は、
    前記第1入力端子とは異なる第2入力端子と、
    複数の第2ゲート部とをさらに有し、
    前記各第2ゲート部は、
    p型トランジスタ及び/又はn型トランジスタを有し、
    前記第2入力端子に入力された論理値に応じて、オン状態又はオフ状態となるものであり、
    前記複数の第1ゲート部よりも前記出力端子側に位置し、オン状態では前記第1ゲート部が通過させた一つの論理値又は当該一つの論理値を反転させた論理値を前記出力端子側に通過させることができる状態となり、オフ状態では前記個別格納部に格納された論理値を前記出力端子側に通過させない状態となるものであり、
    前記複数の第2ゲート部は、p型トランジスタ及びn型トランジスタを含み、
    非発振時には、特定の個別格納部を前記出力端子に接続する特定の第2ゲート部がオフ状態となる論理値を前記第2入力端子に入力し、かつ、発振時には、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力して、前記リングオシレータが出力する第2周波数を測定するステップと、
    非発振時には、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力し、かつ、発振時にも、前記特定の第2ゲート部がオン状態となる論理値を前記第2入力端子に入力して、前記リングオシレータが出力する第1周波数を測定するステップと、
    前記第1周波数及び前記第2周波数を比較するステップとを含む、請求項15又は16記載の測定方法。
  19. コンピュータに、請求項11から14のいずれかに記載のリングオシレータの制御方法、又は、請求項15から18のいずれかに記載の測定方法を実行させるためのプログラム。
  20. 請求項19に記載されたプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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