JP6232827B2 - Manufacturing method of ceramic composite - Google Patents
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Description
本発明は、共晶組成の酸化物融液を一方向凝固して製造される2種以上の結晶相が連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体の製造方法に関する。詳しくは、高温に暴露される熱機関などの構造部材として用いられる前記セラミックス複合体、熱光起電発電技術において用いる選択的な波長で強い放射率を有する選択エミッター部材として用いられる前記セラミックス複合体、または、ディスプレイ、照明、バックライト光源等に利用される白色発光ダイオードなどに光変換用部材として用いられる前記セラミックス複合体の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a ceramic composite having a structure in which two or more crystal phases produced by unidirectional solidification of an eutectic oxide melt are continuously and three-dimensionally entangled with each other. . Specifically, the ceramic composite used as a structural member of a heat engine exposed to a high temperature, and the ceramic composite used as a selective emitter member having a strong emissivity at a selective wavelength used in thermophotovoltaic power generation technology. The present invention also relates to a method for producing the ceramic composite used as a light conversion member in a white light emitting diode or the like used for a display, illumination, backlight light source or the like.
共晶組成の酸化物融液を一方向凝固して製造される2種以上の結晶相が連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体が、高温構造部材として、選択エミッター部材として、または光変換用部材として優れた特性を持つことが知られている(特許文献1〜5)。中でも光変換用部材として用いられるセラミックス複合体は、それだけで光変換用部材として使用でき、高い発光強度と耐熱性とを併せ持つ、高出力の発光ダイオードと組み合わせて使用するに好適な、工業的有用性が特に高いセラミックス複合体である。
A ceramic composite with a structure in which two or more crystal phases produced by unidirectional solidification of an eutectic oxide melt is continuously and three-dimensionally intertwined is selected as a high-temperature structural member It is known to have excellent characteristics as an emitter member or a light conversion member (
近年、窒化物系化合物半導体を用いた青色発光素子を発光源とする白色発光ダイオードの開発研究が盛んに行われている。白色発光ダイオードは軽量で、水銀のような有害物質を使用せず、長寿命であることから、今後、需要が急速に拡大することが予測されている。 In recent years, research and development of white light emitting diodes using a blue light emitting element using a nitride compound semiconductor as a light source has been actively conducted. White light-emitting diodes are light in weight, do not use harmful substances such as mercury, and have a long lifetime, so that demand is expected to increase rapidly in the future.
青色発光素子の青色光を白色光に変換する方法として最も一般的に行なわれている方法は、例えば特許文献6に記載されているように、青色発光素子の前面に、青色光の一部を吸収して黄色光を発する蛍光体を含有するコーティング層と、光源の青色光とコーティング層からの黄色光を混色するためのモールド層とを設け、補色関係にある青色と黄色を混色することにより擬似的に白色を得るものである。従来、コーティング層としては、セリウムで付活されたイットリウムアルミニウムガーネット(YAG:Ce)粉末とエポキシ樹脂の混合物が採用されている。現在、白色発光ダイオードの用途が拡大することにより、発光強度の高い高輝度白色発光ダイオードが求められ、その開発が進められている。
The most commonly performed method for converting blue light of a blue light emitting element into white light is, for example, as described in
白色発光ダイオードの発光強度の向上には、より高出力の電流印加が必要となる。しかし、高出力の電流印加により、発光源となる青色発光ダイオードに発熱を生じ、蛍光体やコーティング樹脂の劣化が起こり、発光強度が下がることに繋がる。 In order to improve the light emission intensity of the white light emitting diode, it is necessary to apply a higher output current. However, application of a high output current generates heat in the blue light emitting diode as a light emitting source, causing deterioration of the phosphor and the coating resin, leading to a decrease in light emission intensity.
その問題を解決するために、樹脂を使用しない蛍光体の研究開発が行われている。上述の、光変換用部材として使用できる、共晶組成の酸化物融液を一方向凝固して製造される2種以上の結晶相が連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体(光変換用セラミックス複合体)は、樹脂と比較して非常に耐熱性が高く、発熱による蛍光体の劣化が起こらず、高い蛍光強度を保つことが可能である(特許文献4、5)。
In order to solve this problem, research and development of phosphors that do not use a resin has been conducted. Two or more types of crystal phases produced by unidirectional solidification of an oxide melt having a eutectic composition, which can be used as a light conversion member, have a structure in which they are intertwined with each other continuously and three-dimensionally. Ceramic composites (ceramic composites for light conversion) have extremely high heat resistance compared to resins, and do not cause deterioration of the phosphor due to heat generation, and can maintain high fluorescence intensity (
上述のセラミックス複合体は、通常、適当な温度勾配を持った炉内でそのセラミックス複合体を構成する成分からなる融液を入れた坩堝を移動して、融液を一方向凝固させるブリッジマン法により製造される。ルツボには、イリジウム(以下Irと記す)、タングステン(以下Wと記す)、モリブデン(以下Moと記す)等の高融点金属からなるルツボを用いることができる。 The above-mentioned ceramic composite is usually moved by a crucible containing a melt composed of components constituting the ceramic composite in a furnace having an appropriate temperature gradient, and the Bridgman method is used to solidify the melt in one direction. Manufactured by. As the crucible, a crucible made of a refractory metal such as iridium (hereinafter referred to as Ir), tungsten (hereinafter referred to as W), molybdenum (hereinafter referred to as Mo), or the like can be used.
また、ルツボ内の構造を、特許文献7の図3または図4のように、単一化結晶成長室と単一化結晶成長室の上部に位置し、単一化結晶成長室から直胴部へ開口径を拡大していく繋ぎ部とを有し、ルツボ内壁との間に大容積の空間を設けた形状の入れ子を使った構造とし、さらに特許文献7の実施例5に開示されているように、セラミックス複合体そのものを種子結晶として用いることで、クラックのないセラミックス複合体を高い歩留まりで得ることが可能である。
Further, as shown in FIG. 3 or FIG. 4 of
しかしながら、以上の方法によりクラックのないセラミックス複合体を高い歩留まりで得ることができても、一方向凝固時に、高温下で融液を保持したルツボが損耗して、ルツボから融液にルツボの構成成分が混入することがある。そして、混入したルツボの構成成分は凝固後のセラミックス複合体の、特に種子結晶からセラミックス複合体の下部にかけて汚染物として残留し、その汚染部位においては、セラミックス複合体が、本来の色を呈さないばかりか、セラミックス複合体本来の特性を示さないことがある。また、セラミックス複合体の表面近傍に薄片状等の形態で残留することもある。 However, even if a ceramic composite without cracks can be obtained with a high yield by the above method, the crucible holding the melt at a high temperature is worn out during the unidirectional solidification, and the crucible structure is changed from the crucible to the melt. Ingredients may be mixed. The mixed components of the crucible remain as contaminants in the ceramic composite after solidification, particularly from the seed crystal to the lower part of the ceramic composite, and the ceramic composite does not exhibit the original color at the contaminated site. In addition, the original characteristics of the ceramic composite may not be exhibited. Moreover, it may remain in the form of flakes or the like in the vicinity of the surface of the ceramic composite.
一方向凝固工程において混入したルツボの構成成分が、以上のように前記セラミックス複合体に残留すると、ルツボの構成成分が混入し汚染された部位はセラミックス複合体本来の特性を発現しないので、除去する必要があり、その場合、製品歩留まりが低下し、またその除去工程が必要にもなり、前記セラミックス複合体の製造コストが増加する。 If the crucible constituents mixed in the unidirectional solidification process remain in the ceramic composite as described above, the contaminated portion contaminated by the crucible constituents does not exhibit the original characteristics of the ceramic composite and is removed. In such a case, the product yield is reduced, and the removal process is required, which increases the manufacturing cost of the ceramic composite.
そこで本発明は、ブリッジマン法によって共晶組成の酸化物融液から種子結晶を用いて2種以上の結晶相が連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体を成長させるセラミックス複合体の製造方法において、クラックがなく、不純物による汚染が少ないセラミックス複合体を、高い歩留まりで製造できることを可能にするセラミックス複合体の製造方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention grows a ceramic composite having a structure in which two or more crystal phases are continuously and three-dimensionally entangled with each other using a seed crystal from an oxide melt having a eutectic composition by the Bridgman method. An object of the present invention is to provide a method for producing a ceramic composite that enables a ceramic composite that is free from cracks and less contaminated by impurities to be produced with a high yield.
以上の目的を達成するために、本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、まず、融液を従来より高い温度に保持した上で、具体的にはセラミックス複合体からなる種子結晶が完全に融解する温度にした上でセラミックス複合体を成長させると、ルツボの構成成分による汚染がセラミックス複合体に残りにくくなることを見出した。しかし、種子結晶が全て融解すると、得られるセラミックス複合体が多結晶化しやすくなるので、クラックがないセラミックス複合体が得られる歩留まりが低下する問題が生じた。 In order to achieve the above object, the present inventors conducted extensive research. As a result, first, the melt was maintained at a higher temperature than before, and specifically, the seed crystal composed of the ceramic composite was completely formed. It has been found that when the ceramic composite is grown after the melting temperature is reached, contamination due to the constituent components of the crucible hardly remains in the ceramic composite. However, when all the seed crystals are melted, the resulting ceramic composite is easily polycrystallized, resulting in a problem that the yield for obtaining a ceramic composite free from cracks is reduced.
そこで、さらに本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、種子結晶にセラミックス複合体を構成する結晶相のいずれか1つの結晶と同じ母体の単結晶を用いることで、種子結晶がセラミックス複合体では全て融解するような温度、つまり種子結晶全ての温度をセラミックス複合体の融点以上の温度に保持した上で融液を一方向凝固しても、種子結晶を完全に融解させることなく、種子結晶からセラミックス複合体を成長させることができることと、それによって、セラミックス複合体の多結晶化に伴うクラックの発生を抑制できることを見出した。 Therefore, as a result of further extensive research, the present inventors have used a single crystal of the same base as the crystal of any one of the crystal phases constituting the ceramic composite for the seed crystal, so that the seed crystal is not a ceramic composite. Even if the melt is unidirectionally solidified while maintaining the temperature at which all the seed crystals are melted, that is, the temperature above the melting point of the ceramic composite, the seed crystals are not melted completely. It has been found that the ceramic composite can be grown, and that the generation of cracks associated with the crystallization of the ceramic composite can be suppressed.
以上のように、本発明者らは、種子結晶にセラミックス複合体を構成する結晶相のいずれか1つの結晶と同じ母体の単結晶を用いることで、融液を従来より高い温度に保持した上で一方向凝固を行っても、種子結晶からセラミックス複合体を成長させることができることと、それによって、クラックがなく、不純物による汚染が少ないセラミックス複合体を高い歩留まりで得ることができることを見出し、本発明に至った。 As described above, the present inventors use a single crystal of the same matrix as any one of the crystal phases constituting the ceramic composite for the seed crystal, thereby maintaining the melt at a higher temperature than before. It was found that ceramic composites can be grown from seed crystals even if unidirectional solidification is carried out in this way, and that ceramic composites free from cracks and less contaminated by impurities can be obtained with a high yield. Invented.
すなわち本発明は、ブリッジマン法によって、共晶組成の酸化物融液から、種子結晶を用いて、2種以上の結晶相が連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体を成長させる方法であって、前記種子結晶が、前記セラミックス複合体を構成する結晶相のいずれか1つの結晶相と同一の母体を持つ単結晶であることを特徴とするセラミックス複合体の製造方法である。 That is, the present invention relates to a ceramic composite having a structure in which two or more crystal phases are continuously and three-dimensionally entangled with each other using a seed crystal from an oxide melt having a eutectic composition by the Bridgman method. A method for growing a body, wherein the seed crystal is a single crystal having the same matrix as any one of crystal phases constituting the ceramic composite. Is the method.
また本発明は、前記種子結晶が、前記結晶相のうち最も高い融点を持つ結晶相の母体結晶と同一の母体を持つ単結晶であることを特徴とする前記のセラミックス複合体の製造方法である。 Further, the present invention is the method for producing a ceramic composite according to the above, wherein the seed crystal is a single crystal having the same base as the base crystal of the crystal phase having the highest melting point among the crystal phases. .
また本発明は、前記セラミックス複合体が、Ln3Al5O12(LnはY、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuの少なくとも一つの元素である。)相からなる第1結晶相と、Al2O3からなる第2結晶相とから構成されることを特徴とする前記セラミックス複合体の製造方法である。 According to the present invention, the ceramic composite is a first crystal composed of an Ln 3 Al 5 O 12 (Ln is at least one element of Y, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu) phase. phase and a method for manufacturing a ceramic composite body, characterized in that it is composed of a second crystalline phase made of Al 2 O 3.
また本発明は、前記第1結晶相が、蛍光を発する結晶相であり、前記セラミックス複合体が、受光した光の一部を受光した光とは異なる波長の光に変換する光変換用セラミックス複合体であることを特徴とする前記セラミックス複合体の製造方法である。 In the present invention, the first crystal phase is a crystal phase that emits fluorescence, and the ceramic composite converts a part of the received light into light having a wavelength different from that of the received light. It is a manufacturing method of the said ceramics composite body characterized by the above-mentioned.
また本発明は、前記Lnが、YまたはTbの少なくとも一つの元素であり、前記第1結晶相が、Ceを付活剤として含有する結晶相であることを特徴とする前記のセラミックス複合体の製造方法である。 In the ceramic composite according to the present invention, the Ln is at least one element of Y or Tb, and the first crystal phase is a crystal phase containing Ce as an activator. It is a manufacturing method.
また本発明は、前記Lnが、Yであることを特徴とする前記のセラミックス複合体の製造方法である。 Further, the present invention is the method for producing a ceramic composite according to the above, wherein Ln is Y.
また本発明は、前記種子結晶が、Al2O3の単結晶であることを特徴とする前記のセラミックス複合体の製造方法である。 In addition, the present invention provides the method for producing a ceramic composite as described above, wherein the seed crystal is a single crystal of Al 2 O 3 .
本発明に係るセラミックス複合体の製造方法によれば、ブリッジマン法によって、共晶組成の酸化物融液から、種子結晶を用いて、2種以上の結晶相が連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体を成長させる方法において、種子結晶を完全には融解させずに種子結晶近傍の融液の温度を高くできるので、クラックがなく、ルツボからの不純物による汚染が少ないセラミックス複合体を高い歩留まりで製造することができる。 According to the method for producing a ceramic composite according to the present invention, two or more kinds of crystal phases are continuously and three-dimensionally formed by using a seed crystal from an oxide melt having a eutectic composition by the Bridgman method. In the method of growing a ceramic composite having a structure intertwined with each other, the temperature of the melt near the seed crystal can be increased without completely melting the seed crystal, so that there is no crack and contamination by impurities from the crucible is avoided. A small number of ceramic composites can be produced with a high yield.
はじめに、本発明に係るセラミックス複合体について説明する。 First, the ceramic composite according to the present invention will be described.
本発明に係るセラミックス複合体は、例えば特許文献1〜5などに具体的に開示されている、それ自体公知の、2種以上の結晶相が連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体であり、高温における機械的性質が良好な高温構造材料や機能材料として好適に使用することのできるセラミックス複合体である。
The ceramic composite according to the present invention is specifically disclosed in, for example,
本発明に係るセラミックス複合体が、Ln3Al5O12(LnはY、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuの少なくとも一つの元素である。)相からなる第1結晶相と、Al2O3からなる第2結晶相とから構成されるセラミックス複合体である場合は、高温における機械的性質が特に良好な高温構造材料や、高温において選択的な波長で高い放射率を有する選択エミッター材料等として好適である。 The ceramic composite according to the present invention includes a first crystal phase composed of an Ln 3 Al 5 O 12 (Ln is at least one element of Y, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu) phase. In the case of a ceramic composite composed of a second crystal phase made of Al 2 O 3 , a high-temperature structural material having particularly good mechanical properties at high temperatures and a high emissivity at a selective wavelength at high temperatures It is suitable as a selective emitter material.
本発明に係るセラミックス複合体が、第1結晶相が蛍光を発する結晶相であり、受光した光の一部を受光した光とは異なる波長の光に変換する光変換用セラミックス複合体である場合は、各種発光装置に光変換用部材として好適に使用されるので、好ましい。 The ceramic composite according to the present invention is a ceramic composite for light conversion in which the first crystal phase is a crystalline phase that emits fluorescence, and a part of the received light is converted into light having a wavelength different from that of the received light. Is preferable because it is suitably used as a light conversion member in various light emitting devices.
さらに、Lnが、YまたはTbの少なくとも一つの元素であり、第1結晶相が、Ceを付活剤として含有する結晶相である光変換用セラミックス複合体である場合は、第1結晶相が受光した青色光を黄色光に変換し、第2結晶相が青色光をそのまま透過させて、黄色光と青色光とが混合された白色光を発光できるので、青色発光ダイオードと組み合わせて使用される白色発光ダイオード用の光変換部材として好適であり、特に好ましい。 Further, when Ln is at least one element of Y or Tb and the first crystal phase is a ceramic composite for light conversion that is a crystal phase containing Ce as an activator, the first crystal phase is The received blue light is converted into yellow light, the second crystal phase transmits blue light as it is, and white light mixed with yellow light and blue light can be emitted, so it is used in combination with a blue light emitting diode. It is suitable as a light conversion member for a white light emitting diode, and is particularly preferable.
LnがYである場合、すなわち、本発明に係るセラミックス複合体が、蛍光を発する結晶相である、Ceで付活されたY3Al5O12相からなる第1結晶相と、Al2O3からなる第2結晶相とが連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有する光変換用セラミックス複合体である場合は、特に内部量子効率が高くなるので、青色発光ダイオードと組み合わせて使用される白色発光ダイオード用の光変換部材として特に好適である。また、Ceで付活されたY3Al5O12相からなる第1結晶相はGdを含有することができる。第1結晶相がGdを含有すると、第1結晶相から発せられる蛍光の波長を長波長化することができる。 In the case where Ln is Y, that is, the ceramic composite according to the present invention is a crystalline phase that emits fluorescence, a first crystal phase composed of a Y 3 Al 5 O 12 phase activated by Ce, and Al 2 O In the case of a ceramic composite for light conversion having a structure in which the second crystal phase composed of 3 is continuously and three-dimensionally entangled with each other, the internal quantum efficiency is particularly high. It is particularly suitable as a light conversion member for the white light emitting diode used. Further, the first crystal phase composed of the Y 3 Al 5 O 12 phase activated by Ce can contain Gd. When the first crystal phase contains Gd, the wavelength of the fluorescence emitted from the first crystal phase can be increased.
次に、本発明に係るセラミックス複合体の製造方法について説明する。 Next, a method for producing a ceramic composite according to the present invention will be described.
本発明に係るセラミックス複合体は、ブリッジマン法により、原料酸化物の融液を、種子結晶を用いて一方向凝固させ、結晶成長させることで製造される。 The ceramic composite according to the present invention is manufactured by unidirectionally solidifying a raw material oxide melt using a seed crystal by the Bridgeman method and growing the crystal.
そして、本発明のセラミックス複合体の製造方法は、ブリッジマン法による共晶組成の酸化物融液の一方向凝固において、特定の単結晶からなる種子結晶を用いることを特徴とする。すなわち本発明のセラミックス複合体の製造方法は、ブリッジマン法によって、共晶組成の融液から、種子結晶を用いて2種以上の結晶相が連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体を成長させる方法であって、前記種子結晶が、前記セラミックス複合体を構成する結晶相のいずれか1つの結晶相と同一の母体を持つ単結晶であることを特徴とする。母体とは、蛍光体結晶における母体結晶のことであり、例えば、蛍光体結晶がY3Al5O12:Ceの場合のY3Al5O12結晶のことを言う。 The method for producing a ceramic composite according to the present invention is characterized in that a seed crystal made of a specific single crystal is used in unidirectional solidification of an oxide melt having a eutectic composition by the Bridgman method. That is, the method for producing a ceramic composite of the present invention is a structure in which two or more crystal phases are continuously and three-dimensionally intertwined from a melt having a eutectic composition using a seed crystal by the Bridgman method. The seed crystal is a single crystal having the same base material as any one of the crystal phases constituting the ceramic composite. The host is a host crystal in the phosphor crystal, and refers to, for example, a Y 3 Al 5 O 12 crystal when the phosphor crystal is Y 3 Al 5 O 12 : Ce.
本発明に係るセラミックス複合体は、後述の通り、共晶組成の融液を凝固させて得られるので、セラミックス複合体を構成する結晶相のいずれか1つの結晶相と同じ母体を持つ単結晶は、セラミックス複合体より融点が高い。したがって、本発明に係る単結晶を種子結晶に用いれば、セラミックス複合体と同一物を種子結晶に用いる場合よりも、種子結晶近傍の融液をより高い温度で保持できる。セラミックス複合体そのものを種子結晶に用いた場合は、種子結晶全てを融液の融点以上の温度にすると、種子結晶がすべて融解するが、本発明に係る単結晶を種子結晶に用いれば、種子結晶全ての温度を融液の融点以上の温度にしても、本発明に係る単結晶の融点の温度までは種子結晶が完全に融解することがない。したがって、本発明に係る単結晶を種子結晶に用いれば、融液を従来よりも高い温度で溶融させた状態でも、種子結晶からセラミックス複合体を成長させることができる。 Since the ceramic composite according to the present invention is obtained by solidifying a melt having a eutectic composition as described later, a single crystal having the same matrix as any one of the crystal phases constituting the ceramic composite is The melting point is higher than that of the ceramic composite. Therefore, when the single crystal according to the present invention is used for the seed crystal, the melt near the seed crystal can be maintained at a higher temperature than when the same ceramic composite is used for the seed crystal. When the ceramic composite itself is used as a seed crystal, all the seed crystals are melted when the temperature of all the seed crystals is higher than the melting point of the melt. However, if the single crystal according to the present invention is used as a seed crystal, the seed crystals are melted. Even if all the temperatures are higher than the melting point of the melt, the seed crystals are not completely melted up to the melting point of the single crystal according to the present invention. Therefore, if the single crystal according to the present invention is used for the seed crystal, the ceramic composite can be grown from the seed crystal even in a state where the melt is melted at a higher temperature than before.
本発明に用いる種子結晶はセラミックス複合体を構成する結晶相のいずれか1つの結晶相と同じ母体を持つ単結晶であるので、種子結晶の方位によってセラミックス複合体を構成する結晶相の方位を任意の方位に制御することができる。また、セラミックス複合体を構成する結晶相の格子間隔とのミスマッチがないので、セラミックス複合体が多結晶化してクラックが発生することが少なく、精密な方位制御が可能である。 Since the seed crystal used in the present invention is a single crystal having the same matrix as any one of the crystal phases constituting the ceramic composite, the orientation of the crystal phase constituting the ceramic composite can be arbitrarily determined by the orientation of the seed crystal. It is possible to control the direction. In addition, since there is no mismatch with the lattice spacing of the crystal phase constituting the ceramic composite, the ceramic composite is less likely to be polycrystallized and cracks are generated, and precise orientation control is possible.
本発明に用いる種子結晶は、セラミックス複合体を構成する結晶相のいずれか1つの結晶相と同じ母体を持つ単結晶であれば良い。例えば、セラミックス複合体が、Y3Al5O12:Ceからなる第1結晶相と、Al2O3からなる第2結晶相とが連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有する光変換用セラミックス複合体である場合は、Al2O3の単結晶、Y3Al5O12:Ceの単結晶だけでなく、Ceを含有しないY3Al5O12の単結晶等を種子結晶として用いることができる。セラミックス複合体と組成が異なる種子結晶の一部が融解して融液に混入しセラミックス複合体に残存しても、種子結晶は、得られるセラミックス複合体の構成元素の一部から構成されており、また得られるセラミックス複合体に対する種子結晶の割合は通常非常に小さいので、得られるセラミックス複合体の歩留まりや特性に影響を与えることはない。 The seed crystal used in the present invention may be a single crystal having the same matrix as any one of crystal phases constituting the ceramic composite. For example, the ceramic composite has a structure in which a first crystal phase composed of Y 3 Al 5 O 12 : Ce and a second crystal phase composed of Al 2 O 3 are continuously and three-dimensionally entangled with each other. In the case of a ceramic composite for light conversion, not only a single crystal of Al 2 O 3 and a single crystal of Y 3 Al 5 O 12 : Ce but also a single crystal of Y 3 Al 5 O 12 not containing Ce is used as a seed. It can be used as a crystal. Even if part of the seed crystal with a composition different from that of the ceramic composite melts and enters the melt and remains in the ceramic composite, the seed crystal is composed of some of the constituent elements of the resulting ceramic composite. In addition, since the ratio of the seed crystal to the obtained ceramic composite is usually very small, it does not affect the yield and characteristics of the obtained ceramic composite.
本発明においては、共晶組成の酸化物融液からセラミックス複合体を成長させる。融液の組成が共晶組成であれば、セラミックス複合体の凝固時には共晶を構成する結晶相がほぼ同時に晶出しながら成長するので、共晶を構成する特定の結晶相が粗大化することがなく、均一な組織を有するセラミックス複合体を製造することが可能である。ここで、本発明における共晶組成とは、共晶点のみでなく、共晶を構成する特定の結晶相が粗大化してセラミックス複合体にクラックが生じることがない共晶点近傍の組成、具体的には、共晶点から±7mol%の範囲の組成のことを言う。融液の組成がこの範囲であれば、共晶を構成する特定の結晶相が極端に粗大化することがない。融液の組成は、共晶点から±5mol%の範囲の組成であることがより好ましい。 In the present invention, a ceramic composite is grown from an oxide melt having a eutectic composition. If the composition of the melt is a eutectic composition, the crystal phase constituting the eutectic grows while crystallizing almost simultaneously when the ceramic composite is solidified, so that the specific crystal phase constituting the eutectic may become coarse. It is possible to produce a ceramic composite having a uniform structure. Here, the eutectic composition in the present invention is not only the eutectic point, but also a composition near the eutectic point where a specific crystal phase constituting the eutectic is not coarsened and cracks are generated in the ceramic composite. Specifically, it refers to a composition in the range of ± 7 mol% from the eutectic point. If the composition of the melt is within this range, the specific crystal phase constituting the eutectic does not become extremely coarse. The composition of the melt is more preferably within the range of ± 5 mol% from the eutectic point.
本発明に用いる種子結晶は、セラミックス複合体を構成する結晶相のうち最も高い融点を持つ結晶相の母体結晶と同一の母体を持つ単結晶であることが好ましい。種子結晶の融点が高いほど、融液の温度を高くすることができ、不純物による汚染が少ないセラミックス複合体を得ることができるからである。 The seed crystal used in the present invention is preferably a single crystal having the same base as the base crystal of the crystal phase having the highest melting point among the crystal phases constituting the ceramic composite. This is because as the melting point of the seed crystal is higher, the temperature of the melt can be increased and a ceramic composite with less contamination by impurities can be obtained.
本発明に係るセラミックス複合体が、Ln3Al5O12(LnはY、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuの少なくとも一つの元素である。)相からなる第1結晶相と、Al2O3からなる第2結晶相とが連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体である場合は、種子結晶はAl2O3の単結晶であることが好ましい。Ln3Al5O12(LnはY、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuの少なくとも一つの元素である。)の単結晶の融点よりも、Al2O3の単結晶の融点が高いからである。 The ceramic composite according to the present invention includes a first crystal phase composed of an Ln 3 Al 5 O 12 (Ln is at least one element of Y, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu) phase. In the case of a ceramic composite having a structure in which the second crystal phase composed of Al 2 O 3 is continuously and three-dimensionally entangled with each other, the seed crystal may be a single crystal of Al 2 O 3 preferable. The melting point of the single crystal of Al 2 O 3 is higher than the melting point of the single crystal of Ln 3 Al 5 O 12 (Ln is at least one element of Y, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu). Because it is expensive.
本発明に係るセラミックス複合体が、Ln3Al5O12(LnはY、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuの少なくとも一つの元素である。)相からなる蛍光を発する第1結晶相と、Al2O3からなる第2結晶相とが連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体であり、前記セラミックス複合体が、受光した光の一部を受光した光とは異なる波長の光に変換する光変換用セラミックス複合体である場合は、さらに、種子結晶がAl2O3の単結晶であることが好ましい。Lnが、YまたはTbの少なくとも一つの元素であり、前記第1結晶相が、Ceを付活剤として含有する結晶相である場合は、特に、種子結晶がAl2O3の単結晶であることが好ましい。 The ceramic composite according to the present invention first emits fluorescence composed of Ln 3 Al 5 O 12 (Ln is at least one element of Y, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu). A ceramic composite having a structure in which a crystal phase and a second crystal phase made of Al 2 O 3 are continuously and three-dimensionally entangled with each other, and the ceramic composite receives a part of received light. In the case of a ceramic composite for light conversion that converts light having a wavelength different from that of the received light, the seed crystal is preferably an Al 2 O 3 single crystal. When Ln is at least one element of Y or Tb and the first crystal phase is a crystal phase containing Ce as an activator, the seed crystal is an Al 2 O 3 single crystal. It is preferable.
種子結晶にAl2O3の単結晶を用いると、得られるセラミックス複合体を構成するAl2O3相の結晶方位を精密に制御することできる。ブリッジマン法で得られる凝固体の形状として一般的な円柱状のセラミックス複合体を製造する場合、セラミックス複合体を構成するAl2O3相の結晶方位を精密に制御できることによって、Al2O3相の結晶方位が目的の方位に調整され、直径が揃ったウェハ状の試料を、セラミックス複合体から容易に歩留まり良く採取できるようになる。例えば、特許文献5に開示されている光変換用セラミックス複合体層と単結晶層とが直接接合された発光ダイオード用基板において、単結晶層をAl2O3の単結晶からなる層、光変換用セラミックス複合体層を本発明に係る光変換用セラミックス複合体からなる層とした場合に、Al2O3相の結晶方位が目的の方位に調整されたウェハ状の光変換用セラミックス複合体を歩留まり良く採取できることは、次に説明する効果をもたらす。
When an Al 2 O 3 single crystal is used as a seed crystal, the crystal orientation of the Al 2 O 3 phase constituting the resulting ceramic composite can be precisely controlled. When producing a general cylindrical ceramic composite as the shape of a solidified body obtained by the Bridgman method, the crystal orientation of the Al 2 O 3 phase constituting the ceramic composite can be precisely controlled, so that Al 2 O 3 It becomes possible to easily collect a wafer-like sample having a uniform diameter from the ceramic composite with a high yield by adjusting the crystal orientation of the phase to the target orientation. For example, in a light emitting diode substrate in which a ceramic composite layer for light conversion and a single crystal layer disclosed in
単結晶層の面方位と同一の方位のAl2O3の単結晶を種子結晶に用いて、光変換用セラミックス複合体を成長させることで、成長方向と垂直な面のAl2O3相が特許文献8に開示されている発光ダイオード用基板の単結晶層の面方位と同一の方位に配向した光変換用セラミックス複合体を製造することができる。この光変換用セラミックス複合体を成長方向と垂直な向きにスライスすることで、Al2O3相の面方位が単結晶層の面方位と同一のウェハ状の光変換用セラミックス複合体層を用意することができる。光変換用セラミックス複合体層のAl2O3相と、単結晶層のAl2O3の単結晶との接合面の面方位が同一であれば、接合強度が高く一定の品質の発光ダイオード用基板が、高い歩留まりで得られやすいので、本発明において、種子結晶にAl2O3の単結晶を用いると、高品質、一定品質の前記発光ダイオード用基板を高い歩留まりで製造できるようになる。以上の通り、本発明のセラミックス複合体が、受光した光の一部を受光した光とは異なる波長の光に変換する光変換用セラミックス複合体である場合は、特に、種子結晶がAl2O3の単結晶であることが好ましい。
By using a single crystal of Al 2 O 3 having the same orientation as the plane orientation of the single crystal layer as a seed crystal to grow a ceramic composite for light conversion, an Al 2 O 3 phase on a plane perpendicular to the growth direction can be obtained. A ceramic composite for light conversion that is oriented in the same direction as the plane orientation of the single crystal layer of the substrate for a light emitting diode disclosed in
本発明の、ブリッジマン法によってセラミックス複合体を成長させる方法について具体的に説明する。 The method for growing a ceramic composite by the Bridgman method of the present invention will be specifically described.
本発明に係るセラミックス複合体の成長工程、すなわちブリッジマン法による一方向凝固工程に供される融解原料は、以下の方法によって調製することができる。最初に、原料粉末を、所望する成分比率のセラミックス複合体が生成する割合で混合して、混合粉末を得る。混合方法については特別の制限はなく、乾式混合法及び湿式混合法のいずれも採用することができる。湿式混合法を用いる際の媒体としては、メタノール、エタノールのようなアルコールが一般に使用される。湿式混合法を採用した場合は、用いた媒体をロータリーエバポレータなどにより除去する。ついで、この混合粉末をMo製の坩堝中で融解して、その融解物を所定形状の型に流し込み、冷却後、型から取りだして、一方向凝固工程に供される融解原料を得ることができる。 The melting raw material used in the ceramic composite growth step according to the present invention, that is, the unidirectional solidification step by the Bridgeman method can be prepared by the following method. First, the raw material powder is mixed at a ratio that produces a ceramic composite having a desired component ratio to obtain a mixed powder. There is no particular limitation on the mixing method, and either a dry mixing method or a wet mixing method can be employed. As a medium when using the wet mixing method, alcohol such as methanol or ethanol is generally used. When the wet mixing method is adopted, the used medium is removed by a rotary evaporator or the like. Subsequently, the mixed powder is melted in a crucible made of Mo, the melt is poured into a mold having a predetermined shape, and after cooling, it is taken out from the mold to obtain a melting raw material to be subjected to a unidirectional solidification process. .
ブリッジマン法によるセラミックス複合体の成長、すなわちブリッジマン法による一方向凝固は、以下の方法により行われる。 Growth of the ceramic composite by the Bridgman method, that is, unidirectional solidification by the Bridgman method is performed by the following method.
一方向凝固装置としては、セラミックス複合体の融点以上に加熱でき、雰囲気調節が可能なブリッジマン装置であれば特に制約なく使用することができる。本発明においては、真空チャンバー内にルツボが上下方向に移動可能なように収納されており、真空チャンバー内に加熱用の高周波誘導コイルと、高周波誘導コイルの内側に黒鉛製断熱材と高周波誘導コイルによって加熱可能な黒鉛製サセプターとが取り付けられており、高周波電源と容器内空間を減圧にするための真空ポンプが設置されている、それ自体公知のブリッジマン装置を使用する。 As the unidirectional solidification device, any Bridgman device that can be heated above the melting point of the ceramic composite and can control the atmosphere can be used without any particular limitation. In the present invention, the crucible is accommodated in the vacuum chamber so as to be movable in the vertical direction, a high frequency induction coil for heating in the vacuum chamber, a graphite heat insulating material and a high frequency induction coil inside the high frequency induction coil A graphite susceptor, which can be heated by the above, is installed, and a Bridgman device known per se is used, which is equipped with a high-frequency power source and a vacuum pump for reducing the pressure inside the container.
ルツボの形状としては、種子結晶を装填でき、種子結晶からの結晶成長が可能なものであれば良く、公知の単結晶成長用の形状のルツボを用いることができる。またルツボの材質としては、セラミックス複合体の融点以上の温度で融解しない耐熱性を持ち、また融液と反応しないものであれば良いが、Moを好適に用いることができる。図1に、本発明に用いられる公知のルツボ1の模式図を示す。ルツボは、特許文献7に記載されている公知のルツボであり、単一化結晶成長室3と、単一化結晶成長室3の上部に位置し、単一化結晶成長室3から直胴部4へ開口径を拡大していく繋ぎ部5とを有し、ルツボ内壁との間に大容積の空間を設けた形状の入れ子2を備えている。以下に、公知のルツボ1を用いた一実施形態に基づいて本発明の実施形態を説明するが、これにより本発明が限定されるわけではない。
The crucible may be any shape as long as it can be loaded with a seed crystal and can grow from the seed crystal, and a known crucible for single crystal growth can be used. The crucible may be made of any material as long as it has heat resistance that does not melt at a temperature equal to or higher than the melting point of the ceramic composite and does not react with the melt, but Mo can be preferably used. In FIG. 1, the schematic diagram of the well-known
図2に、ルツボ1が、本発明で使用するブリッジマン装置の真空チャンバー内に設置された状態の一例を示す。ルツボ1は、チルプレート6上に設置したルツボの支持台7の上に設置されている。さらに、ルツボの支持台7に固定したタングステン−レニウム熱電対8によって種子結晶直下の温度が測定できるように、ルツボ1の底の外側にタングステン−レニウム熱電対8が装着されている。
FIG. 2 shows an example of a state in which the
図3に、種子結晶9が装填され、融解原料10が投入された状態のルツボ1の模式図を示す。図2に示すように、チルプレート6の上に設置されたルツボの支持台7の上に固定され、タングステン−レニウム熱電対8が装着されたルツボ1に、図3に示すように、種子結晶9を装填し、融解原料10を投入する。その後、ブリッジマン装置の真空チャンバー内を真空ポンプにて減圧し、所定の圧力に達したところで高周波誘導コイルに通電して黒鉛サセプターの加熱を開始する。種子結晶直下のルツボ外側に設置した熱電対により測定される温度(以下、種子結晶直下温度と記す)が、セラミックス複合体を構成する結晶相のいずれか1つの結晶と同じ母体の単結晶からなる種子結晶が完全に融解する温度にならないように確認しながら、高周波電源の出力を調節し、融解原料を融解する。そして、種子結晶直下温度を、種子結晶が完全に融解しない温度に保った状態で一定時間保持する。ここで、融液の融解状態保持時の種子結晶直下温度は、予め、セラミックス複合体の種子結晶近傍の汚染がほぼなくなる温度を確認し、それ以上の温度であり、本発明で用いる種子結晶が完全に融解しない温度に設定する。
FIG. 3 shows a schematic diagram of the
その後、ルツボを引き下げて、ルツボを下部から、すなわち種子結晶側から冷却して融液の一方向凝固を行い、セラミックス複合体を成長させる。 Thereafter, the crucible is pulled down, the crucible is cooled from the lower part, that is, from the seed crystal side, and the melt is unidirectionally solidified to grow a ceramic composite.
融液の一方向凝固は、ルツボおよびブリッジマン装置の構成部材が酸化消耗しない雰囲気であれば常圧下でも可能であるが、欠陥の少ない材料を得るやすくなるためには、4000Pa以下の圧力下で行うことが好ましく、0.13Pa以下で行うことが特に好ましい。 Unidirectional solidification of the melt is possible under normal pressure as long as the components of the crucible and Bridgman apparatus are not oxidized and consumed, but in order to easily obtain a material with few defects, the pressure is 4000 Pa or less. It is preferable to carry out, and it is particularly preferable to carry out at 0.13 Pa or less.
ルツボの引き下げ速度、すなわち、セラミックス複合体の成長速度は、融液組成及び融解条件によって、適宜設定することになるが、通常50mm/時間以下、好ましくは1〜20mm/時間である。 The crucible pulling rate, that is, the growth rate of the ceramic composite is appropriately set depending on the melt composition and melting conditions, but is usually 50 mm / hour or less, preferably 1 to 20 mm / hour.
本発明の効果は、クラックが発生しないセラミックス複合体が得られる歩留まりと、セラミックス複合体のほぼ全体が本来の色を呈すること(ルツボからの汚染による部分的な着色がないこと)により目視で確認することができる。また、目視による確認に加えて、セラミックス複合体のほぼ全体が本来の特性を示すことによっても確認することもできる。本発明においては、セラミックス複合体が、Ceを付活剤として含有するY3Al5O12相からなる第1結晶相と、Al2O3からなる第2結晶相とから構成される光変換用セラミックス複合体である場合について、次のように本発明の効果を確認する。 The effect of the present invention is visually confirmed by the yield of the ceramic composite that does not generate cracks and the fact that almost the entire ceramic composite exhibits the original color (there is no partial coloration due to contamination from the crucible). can do. Further, in addition to visual confirmation, it can also be confirmed that almost the entire ceramic composite exhibits original characteristics. In the present invention, the ceramic composite is a light conversion composed of a first crystal phase composed of a Y 3 Al 5 O 12 phase containing Ce as an activator and a second crystal phase composed of Al 2 O 3. The effect of the present invention is confirmed as follows for the ceramic composite for use.
Ceを付活剤として含有するY3Al5O12相からなる第1結晶相と、Al2O3からなる第2結晶相とから構成される光変換用セラミックス複合体の製造実験を20回行い、その場合のクラックがない光変換用セラミックス複合体が得られる歩留まりと、クラックが発生していない光変換用セラミックス複合体の複数個所の内部量子効率測定結果から本発明の効果を確認する。 20 production experiments of a ceramic composite for light conversion composed of a first crystal phase composed of Y 3 Al 5 O 12 phase containing Ce as an activator and a second crystal phase composed of Al 2 O 3 In this case, the effect of the present invention is confirmed from the yield at which a ceramic composite for light conversion free from cracks is obtained and the internal quantum efficiency measurement results at a plurality of locations of the ceramic composite for light conversion free from cracks.
光変換用セラミックス複合体の内部量子効率の測定は、量子効率測定システムQE−1100F(大塚電子株式会社製)を用いて、8mm×8mm、厚み1.5mmに光変換用セラミックス複合体を加工した板状サンプルについて行う。量子効率とは、サンプルが吸収した励起光の光子数(励起光量子数)に対する蛍光して放出した光子数(蛍光光量子数)の割合として定義されており、内部量子効率とは、励起光量子数からサンプルからの反射光による光子数(反射光量子数)を引き算する吸収光量子数に対する蛍光光量子数の割合を表わしたものである。 The internal quantum efficiency of the ceramic composite for light conversion was measured by using a quantum efficiency measurement system QE-1100F (manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.) to process the ceramic composite for light conversion into 8 mm × 8 mm and a thickness of 1.5 mm. This is done for plate samples. Quantum efficiency is defined as the ratio of the number of photons emitted by fluorescence (fluorescence photon number) to the number of photons of excitation light absorbed by the sample (excitation photon number). The internal quantum efficiency is calculated from the excitation photon number. It represents the ratio of the fluorescence photon number to the absorbed photon number that subtracts the number of photons (reflected photon number) by the reflected light from the sample.
本発明に係る光変換用セラミックス複合体の内部量子効率の測定手順は以下の通りである。まず、前記量子効率測定システム付帯の積分球内にサンプルを設置せずに、使用する励起光の強度を測定し、励起量子数を計算する。次に、前記システム付帯の積分球内に、本発明に係る光変換用セラミックス複合体を加工した前記板状サンプルを、励起光全てがこのサンプルに照射されるように設置し、サンプルに励起光を照射する。励起光を受光したサンプルが発した蛍光の蛍光強度を測定し、その蛍光強度から蛍光光量子数と吸収光量子数を算出し、内部量子効率を計算する。なお、本発明における内部量子効率測定においては、励起光として、一般的な青色LEDが発する光の一種である460nmの波長の光を用いる。 The procedure for measuring the internal quantum efficiency of the ceramic composite for light conversion according to the present invention is as follows. First, without setting a sample in the integrating sphere attached to the quantum efficiency measurement system, the intensity of the excitation light to be used is measured, and the excitation quantum number is calculated. Next, the plate sample processed with the ceramic composite for light conversion according to the present invention is placed in the integrating sphere attached to the system so that all of the excitation light is irradiated to the sample, and the excitation light is applied to the sample. Irradiate. The fluorescence intensity of the fluorescence emitted from the sample receiving the excitation light is measured, the fluorescence light quantum number and the absorption light quantum number are calculated from the fluorescence intensity, and the internal quantum efficiency is calculated. In the internal quantum efficiency measurement in the present invention, light having a wavelength of 460 nm, which is a kind of light emitted from a general blue LED, is used as excitation light.
本発明に係るセラミックス複合体が、Ceを付活剤として含有するY3Al5O12相からなる第1結晶相と、Al2O3からなる第2結晶相とから構成される光変換用セラミックス複合体である場合について、次のようにして本発明を実施し、その効果を確認した。 The ceramic composite according to the present invention is composed of a first crystal phase composed of a Y 3 Al 5 O 12 phase containing Ce as an activator and a second crystal phase composed of Al 2 O 3 . In the case of a ceramic composite, the present invention was carried out as follows and the effect was confirmed.
(光変換用セラミックス複合体の種子結晶が完全に融解する温度の確認)
光変換用セラミックス複合体の多結晶化によるクラック発生率を低くするためには、種子結晶から光変換用セラミックス複合体を成長させる必要がある。したがって、種子結晶が全て融解する温度を把握して、それより低い温度で光変換用セラミックス複合体を製造する必要がある。光変換用セラミックス複合体を種子結晶に用いた場合に種子結晶が完全に融解する温度を以下の方法で測定した。
(Confirmation of the temperature at which the seed crystal of the ceramic composite for light conversion completely melts)
In order to reduce the crack generation rate due to polycrystallization of the ceramic composite for light conversion, it is necessary to grow the ceramic composite for light conversion from the seed crystal. Therefore, it is necessary to grasp the temperature at which all seed crystals are melted and to produce a ceramic composite for light conversion at a lower temperature. When the ceramic composite for light conversion was used as a seed crystal, the temperature at which the seed crystal completely melted was measured by the following method.
図2に示すようにタングステン−レニウム熱電対を装着した、内径φ54mm、長さ200mm、底の厚み4.0mmのMo製ルツボを用意した。本発明で使用するブリッジマン装置の真空チャンバー内に設置された、図2に示すようにタングステン−レニウム熱電対を装着した、前記ルツボの最下部に、図3の様に、直径4mm、高さ30mmの、円柱状の光変換用セラミックス複合体を種子結晶として装填し、続いて、後述の実施例1にて説明する方法により製造した融解原料をルツボ内に仕込んだ。その後、ブリッジマン装置の真空チャンバー内を減圧し、高周波電源の出力を徐々に大きくしながらルツボおよび融解原料を加熱して、1.33×10-3Paの圧力下で融解原料を融解した。さらに、種子結晶直下温度が1,600℃になるまで昇温し、種子結晶直下温度が1,600℃のまま3時間保持した。 As shown in FIG. 2, a Mo crucible equipped with a tungsten-rhenium thermocouple and having an inner diameter of 54 mm, a length of 200 mm, and a bottom thickness of 4.0 mm was prepared. As shown in FIG. 3, the bottom part of the crucible, which is installed in the vacuum chamber of the Bridgman apparatus used in the present invention and equipped with a tungsten-rhenium thermocouple as shown in FIG. 2, has a diameter of 4 mm and a height. A 30 mm cylindrical ceramic composite for light conversion was loaded as a seed crystal, and subsequently, a melting raw material produced by the method described in Example 1 described later was charged into a crucible. Thereafter, the inside of the vacuum chamber of the Bridgeman apparatus was depressurized, and the crucible and the melting raw material were heated while gradually increasing the output of the high-frequency power source, thereby melting the melting raw material under a pressure of 1.33 × 10 −3 Pa. Further, the temperature was increased until the temperature immediately below the seed crystal reached 1,600 ° C., and the temperature immediately below the seed crystal was maintained at 1,600 ° C. for 3 hours.
次に、高周波電源の出力を一定に保ったまま、同一の雰囲気においてルツボを5mm/時間の速度で引き下げて融液をルツボの下部から一方向凝固させて、Y3Al5O12:Ce相とAl2O3相とからなる、直径54mm、直胴部の高さ100mmの光変換用セラミックス複合体を得た。 Next, while keeping the output of the high frequency power source constant, the crucible is pulled down at a speed of 5 mm / hour in the same atmosphere to solidify the melt unidirectionally from the bottom of the crucible, and the Y 3 Al 5 O 12 : Ce phase And a ceramic composite for light conversion having a diameter of 54 mm and a straight body portion height of 100 mm, comprising an Al 2 O 3 phase.
ルツボから取り出した入れ子の中心を切断して種子結晶の高さ方向の断面を観察して、種子結晶が融解せずに残った高さを測定した。種子結晶が融解せずに残った高さは、融解せずに残った種子結晶と、この一方向凝固において種子結晶から成長した光変換用セラミックスとの間の、線状の境界の存在によって目視にて知ることができる。本発明の光変換用セラミックスそのものである種子結晶と、種子結晶から成長した直後の僅かな線状の領域の光変換用セラミックスとでは、組織のサイズが異なっており、それが透明感の違いとして目視にて確認できるものと思われる。そして、種子結晶直下温度が1,600℃の場合の、種子結晶が融解せずに残った高さは、7mmであった。 The center of the nesting taken out from the crucible was cut and a cross section in the height direction of the seed crystal was observed, and the height at which the seed crystal remained without melting was measured. The height of the seed crystal remaining unmelted is visually determined by the presence of a linear boundary between the seed crystal remaining unmelted and the ceramic for light conversion grown from the seed crystal in this unidirectional solidification. You can find out at The seed crystal, which is the ceramic for light conversion of the present invention itself, and the ceramic for light conversion in a slight linear region immediately after growing from the seed crystal have different tissue sizes, which is a difference in transparency. It can be confirmed visually. When the temperature immediately below the seed crystal was 1,600 ° C., the height at which the seed crystal remained without melting was 7 mm.
続いて、種子結晶直下温度を1,620℃にしたこと以外は、種子結晶直下温度を1,600℃にした場合と同様にして、光変換用セラミックスを製造した。種子結晶の高さ方向の断面を観察したところ、種子結晶と作製した光変換用セラミックスの境界は確認されなかった。種子結晶直下温度を1,600℃にしても種子結晶は完全に融解しないものの、1,620℃にすると種子結晶が完全に融解することがあることがわかった。 Subsequently, a ceramic for light conversion was produced in the same manner as when the temperature immediately below the seed crystal was 1,600 ° C., except that the temperature immediately below the seed crystal was 1,620 ° C. When the cross section of the seed crystal in the height direction was observed, the boundary between the seed crystal and the produced ceramic for light conversion was not confirmed. It was found that even if the temperature immediately below the seed crystal was 1,600 ° C., the seed crystal was not completely melted, but when the temperature was 1,620 ° C., the seed crystal was sometimes completely melted.
(光変換用セラミックス複合体の汚染がなくなる温度の確認)
種子結晶直下温度を種子結晶が完全に融解することが確認された1,620℃より10℃間隔で高くして光変換用セラミックス複合体を製造する実験を、光変換用セラミックス複合体の種子結晶が完全に融解する温度の確認で説明した方法と同様の方法で行った。種子結晶直下温度が低いほど、得られる光変換用セラミックス複合体は、Moルツボの構成成分と思われる汚染物が残留した汚染部位が多く、種子結晶直下温度を高くするにつれて目視で確認される汚染部位が少なくなった。そして、種子結晶直下温度が1,670℃では、得られる光変換用セラミックス複合体には汚染部位が殆ど確認されなかった。
(Confirmation of the temperature at which contamination of the ceramic composite for light conversion is eliminated)
An experiment for producing a ceramic composite for light conversion by increasing the temperature immediately below the seed crystal at an interval of 10 ° C. from 1,620 ° C. at which it was confirmed that the seed crystal was completely melted was conducted. Was performed in the same manner as described in the confirmation of the temperature at which the glass melts completely. The lower the temperature just below the seed crystal, the more the contaminated part of the resulting light conversion ceramic composite that is supposed to be a constituent of the Mo crucible remains. Contamination that is visually confirmed as the temperature immediately below the seed crystal increases. There were fewer sites. When the temperature immediately below the seed crystal was 1,670 ° C., the contaminated portion was hardly confirmed in the obtained ceramic composite for light conversion.
(実施例1)
α−Al2O3粉末(純度99.99%)とY2O3粉末(純度99.999%)をモル比で82:18となるよう、またCeO2粉末(純度99.99%)を一方向凝固により生成するY3Al5O12 1モルに対し0.03モルとなるよう秤量した。これらの原料粉末を、エタノールを媒体としてボールミルによって16時間湿式混合した後、エバポレータを用いてエタノールを除去して混合粉末を得た。混合粉末をMoルツボに投入し、真空炉中で1,950℃に加熱して融解させ、その融解物を所定形状の型に流し込み、冷却後、型から取りだして、一方向凝固工程に供される融解原料を作製した。
Example 1
The α-Al 2 O 3 powder (purity 99.99%) and Y 2 O 3 powder (purity 99.999%) were mixed at a molar ratio of 82:18, and CeO 2 powder (purity 99.99%) was added. It was weighed so as to be 0.03 mole Y 3 Al 5 O 12 1 mol of product by unidirectional solidification. These raw material powders were wet mixed with a ball mill for 16 hours using ethanol as a medium, and then the ethanol was removed using an evaporator to obtain a mixed powder. The mixed powder is put into a Mo crucible, heated and melted at 1,950 ° C. in a vacuum furnace, the melt is poured into a mold of a predetermined shape, cooled, taken out of the mold, and subjected to a unidirectional solidification process. A melting raw material was prepared.
次に、ブリッジマン装置の真空チャンバー内に設置された、内径54mm、長さ200mm、底の厚み4.0mmのMo製ルツボの最下部に、図3の様に、直径4mm、高さ30mmの、(11−20)面が長手方向と垂直な円柱状のAl2O3単結晶を種子結晶として装填し、続いて融解原料をルツボ内に仕込んだ。その後、ブリッジマン装置の真空チャンバー内を減圧し、ルツボおよび融解原料を加熱して、1.33×10-3Paの圧力下で融解原料を融解し、その後、種子結晶直下温度が1,670℃になるまで昇温した。 Next, at the bottom of a Mo crucible with an inner diameter of 54 mm, a length of 200 mm, and a bottom thickness of 4.0 mm installed in the vacuum chamber of the Bridgeman apparatus, a diameter of 4 mm and a height of 30 mm as shown in FIG. , (11-20) A cylindrical Al 2 O 3 single crystal having a plane perpendicular to the longitudinal direction was charged as a seed crystal, and then a melting raw material was charged into the crucible. Thereafter, the inside of the vacuum chamber of the Bridgeman apparatus is depressurized, the crucible and the melting raw material are heated, and the melting raw material is melted under a pressure of 1.33 × 10 −3 Pa. Thereafter, the temperature immediately below the seed crystal is 1,670. The temperature was raised to 0 ° C.
次に、高周波電源の出力を一定に保ったまま、同一の雰囲気においてルツボを5mm/時間の速度で引き下げて融液をルツボの下部から一方向凝固させて、Y3Al5O12:Ce相とAl2O3相とからなる、直径54mm、直胴部の高さ100mmの光変換用セラミックス複合体を得た。 Next, while keeping the output of the high frequency power source constant, the crucible is pulled down at a speed of 5 mm / hour in the same atmosphere to solidify the melt unidirectionally from the bottom of the crucible, and the Y 3 Al 5 O 12 : Ce phase And a ceramic composite for light conversion having a diameter of 54 mm and a straight body portion height of 100 mm, comprising an Al 2 O 3 phase.
上述の条件で光変換用セラミックス複合体の製造実験を20回行い、直径54mm、直胴部の高さ100mmの光変換用セラミックス複合体を20個作製した。20回の実験後全ての光変換用セラミックス複合体で種子結晶の一部が融解せずに残っていることが確認され、その未融解の種子結晶の高さは3〜15mmであった。全ての光変換用セラミックス複合体にルツボからの汚染と思われる着色は確認されず、また、クラックの発生は20個中1個であり、クラック発生率は5%であった。図4に、得られた光変換用セラミックス複合体の一つの種子結晶近傍の部位を、入れ子ごと成長方向にその中心で切断した断面の写真を示す。Al2O3単結晶からなる種子結晶の一部8が完全には融解せずに残っていることがわかる。
The light conversion ceramic composite production experiment was performed 20 times under the above-described conditions, and 20 light conversion ceramic composites having a diameter of 54 mm and a straight body portion height of 100 mm were produced. After 20 experiments, it was confirmed that a part of the seed crystal remained unmelted in all the ceramic composites for light conversion, and the height of the unmelted seed crystal was 3 to 15 mm. All of the ceramic composites for light conversion were not confirmed to be colored from the crucible, and the occurrence of cracks was 1 in 20 and the crack generation rate was 5%. FIG. 4 shows a photograph of a cross section obtained by cutting a portion in the vicinity of one seed crystal of the obtained ceramic composite for light conversion in the growth direction along with the nest. It can be seen that
得られた光変換用セラミックス複合体の内部量子効率の測定を次のように行った。光変換用セラミックス複合体の直胴部において、内部量子効率測定サンプルを採取するための厚み1mmの円板状サンプルを図5に示すように、30mm間隔で4枚採取した。その円板状サンプルより、図6に示すように10mm×10mm、厚み0.2mmの内部量子効率測定用サンプルを切り出した。光変換用セラミックス複合体1個あたり合計8個所について、内部量子効率の測定を行った。クラックが発生した光変換用セラミックス複合体を除いた19個の光変換用セラミックス複合体について、上述した内部量子効率測定を行い、各個所の平均値を計算した。その結果を表1に示す。全ての個所で高い内部量子効率が得られており、実施例1の光変換用セラミックス複合体の製造方法では、クラックがなく、光学特性が悪い部位が少ない光変換用セラミックス複合体を高い歩留まりで得ることができていることがわかった。 The internal quantum efficiency of the obtained ceramic composite for light conversion was measured as follows. In the straight body portion of the ceramic composite for light conversion, four 1 mm-thick disk samples for collecting the internal quantum efficiency measurement samples were collected at intervals of 30 mm as shown in FIG. From the disk-like sample, a sample for measuring internal quantum efficiency having a size of 10 mm × 10 mm and a thickness of 0.2 mm was cut out as shown in FIG. The internal quantum efficiency was measured at a total of 8 locations per ceramic composite for light conversion. With respect to 19 ceramic composites for light conversion excluding the ceramic composite for light conversion in which cracks occurred, the above-described internal quantum efficiency measurement was performed, and the average value at each location was calculated. The results are shown in Table 1. High internal quantum efficiencies are obtained at all points, and in the method for producing a ceramic composite for light conversion of Example 1, a ceramic composite for light conversion with no cracks and few parts with poor optical properties can be obtained with a high yield. I found out I was able to get it.
また、光変換用セラミックス複合体の結晶方位を以下の方法で測定した。測定サンプルとして、得られた光変換用セラミックス複合体から採取した、図5に示す光変換用セラミックス複合体の上部の円板状サンプルを用いた。表面構造評価用多機能X線回折装置ATX−G(株式会社リガク製)を用いて、円板状サンプルの中心部のAl2O3の(300)面の完全極点図形測定を行った。その後に、解析ソフト「極点図とステレオ投影図表示プログラム」(株式会社ノエル工学製)を使用して、測定したAl2O3の(300)面の極点図形とシミュレーション図のAl2O3の(300)面とが重なるように、シミュレーション図を回転、傾転することで、光変換用セラミックス複合体の結晶方位のステレオ投影図を作成した。そのステレオ投影図から、Al2O3の(11−20)面が円板状サンプルの主面の方位と一致することが確認された。すなわち、Al2O3の(11−20)面が、光変換用セラミックス複合体の成長方向と垂直であり、光変換用セラミックス複合体のAl2O3相の結晶方位が、種子結晶の結晶方位が反映されたものであることが確認された。クラックが発生しなかった光変換用セラミックス複合体全てについて、光変換用セラミックス複合体のAl2O3相の結晶方位が、種子結晶の結晶方位が反映されたものであることが確認された。 Further, the crystal orientation of the ceramic composite for light conversion was measured by the following method. As the measurement sample, a disk-shaped sample on the upper part of the ceramic composite for light conversion shown in FIG. 5 collected from the obtained ceramic composite for light conversion was used. Using a multifunctional X-ray diffractometer ATX-G for surface structure evaluation (manufactured by Rigaku Corporation), complete pole figure measurement of the (300) plane of Al 2 O 3 at the center of the disk-shaped sample was performed. After that, using the analysis software “Pole figure and stereo projection display program” (manufactured by Noel Engineering Co., Ltd.), the pole figure of the (300) plane of Al 2 O 3 measured and the simulation figure of Al 2 O 3 By rotating and tilting the simulation diagram so as to overlap the (300) plane, a stereo projection diagram of the crystal orientation of the ceramic composite for light conversion was created. From the stereo projection, it was confirmed that the (11-20) plane of Al 2 O 3 coincided with the orientation of the main surface of the disk-shaped sample. That is, the (11-20) plane of Al 2 O 3 is perpendicular to the growth direction of the ceramic composite for light conversion, and the crystal orientation of the Al 2 O 3 phase of the ceramic composite for light conversion is the crystal of the seed crystal. It was confirmed that the direction was reflected. It was confirmed that the crystal orientation of the Al 2 O 3 phase of the ceramic composite for light conversion reflected the crystal orientation of the seed crystal for all the ceramic composites for light conversion in which no crack was generated.
(比較例1)
種子結晶に実施例1により得られた光変換用セラミックス複合体を用いたこと以外は実施例1と同じ方法で、光変換用セラミックス複合体を作製した。実施例1と同様に、光変換用セラミックス複合体の製造実験を20回行い、直径54mm、直胴部の高さ100mmの光変換用セラミックス複合体を20個作製した。20回の実験後全ての光変換用セラミックス複合体で種子結晶が全て融解して残っていないことを確認した。全ての光変換用セラミックス複合体にルツボからの汚染と思われる着色は確認されず、また、クラックの発生は20個中4個であり、クラック発生率は20%であった。得られた光変換用セラミックス複合体の内部量子効率の測定を実施例1と同じ方法で行った。その結果を表1に示す。測定結果は実施例1と同程度であるものの、クラック発生による歩留まり低下が確認された。
(Comparative Example 1)
A ceramic composite for light conversion was produced in the same manner as in Example 1 except that the ceramic composite for light conversion obtained in Example 1 was used for the seed crystal. In the same manner as in Example 1, 20 light conversion ceramic composites were manufactured 20 times, and 20 light conversion ceramic composites having a diameter of 54 mm and a straight body portion height of 100 mm were manufactured. After 20 experiments, it was confirmed that all seed crystals were not melted and remained in all the ceramic composites for light conversion. All of the ceramic composites for light conversion were not confirmed to be colored from the crucible, and the number of cracks generated was 4 out of 20 and the crack generation rate was 20%. The internal quantum efficiency of the obtained ceramic composite for light conversion was measured by the same method as in Example 1. The results are shown in Table 1. Although the measurement result was similar to that of Example 1, it was confirmed that the yield was reduced due to the occurrence of cracks.
また、クラックが発生しなかった全ての光変換用セラミックス複合体の結晶方位を実施例1と同じ方法で確認したところ、Al2O3の(11−20)面が光変換用セラミックス複合体の成長方向に対して垂直な面から10〜30°傾いた範囲に分布しており、Al2O3相の結晶方位にバラツキがあることが確認された。 In addition, when a crack is confirmed the crystal orientation of all the light converting ceramic composite which did not occur in the same manner as in Example 1, the Al 2 O 3 (11-20) plane of the light converting ceramic composite It was distributed in a range inclined by 10 to 30 ° from a plane perpendicular to the growth direction, and it was confirmed that there was variation in the crystal orientation of the Al 2 O 3 phase.
(比較例2)
種子結晶直下温度を1,600℃にしたこと以外は比較例1と同じ方法で、光変換用セラミックス複合体を作製した。比較例1と同様に、光変換用セラミックス複合体の製造実験を20回行い、直径54mm、直胴部の高さ100mmの光変換用セラミックス複合体を20個作製した。20回の実験後全ての光変換用セラミックス複合体で種子結晶の一部が融解せずに残っていることが確認され、その未融解の種子結晶の高さは5〜15mmであった。全ての光変換用セラミックス複合体にルツボからの汚染と思われる着色が確認され、また、クラックの発生は20個中1個であり、クラック発生率は5%であった。得られた光変換用セラミックス複合体の内部量子効率の測定を実施例1と同じ方法で行った。その結果を表1に示す。光変換用セラミックス複合体の下部においては内部量子効率が低く、クラックのない光変換用セラミックス複合体は高い歩留まりで得られるものの、光学特性が悪い部位が多いことが確認された。
(Comparative Example 2)
A ceramic composite for light conversion was produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that the temperature immediately below the seed crystal was 1,600 ° C. In the same manner as in Comparative Example 1, 20 light conversion ceramic composites were manufactured 20 times, and 20 light conversion ceramic composites having a diameter of 54 mm and a straight body portion height of 100 mm were produced. After 20 experiments, it was confirmed that a part of the seed crystal remained unmelted in all the ceramic composites for light conversion, and the height of the unmelted seed crystal was 5 to 15 mm. All of the ceramic composites for light conversion were confirmed to be colored from the crucible, and the occurrence of cracks was 1 in 20 and the crack generation rate was 5%. The internal quantum efficiency of the obtained ceramic composite for light conversion was measured by the same method as in Example 1. The results are shown in Table 1. In the lower part of the ceramic composite for light conversion, it was confirmed that although the internal quantum efficiency is low and the ceramic composite for light conversion without cracks can be obtained with a high yield, there are many parts with poor optical characteristics.
また、クラックが発生しなかった全ての光変換用セラミックス複合体の結晶方位を実施例1と同じ方法で確認したところ、Al2O3の(11−20)面が、光変換用セラミックス複合体の成長方向と垂直であり、光変換用セラミックス複合体のAl2O3相の結晶方位が、種子結晶の結晶方位が反映されたものであることが確認された。 In addition, when a crack is confirmed the crystal orientation of all the light converting ceramic composite which did not occur in the same manner as in Example 1, (11-20) plane of Al 2 O 3 is, for light conversion ceramic composite It was confirmed that the crystal orientation of the Al 2 O 3 phase of the ceramic composite for light conversion reflects the crystal orientation of the seed crystal.
1 ルツボ
2 入れ子
3 単一化結晶成長室
4 (ルツボの)直胴部
5 繋ぎ部
6 チルプレート
7 ルツボの支持台
8 タングステン−レニウム熱電対
9 種子結晶
10 融解原料
11 光変換用セラミックス複合体の製造後に、融解せずに残ったAl2O3単結晶からなる種子結晶の一部
DESCRIPTION OF
Claims (6)
共晶組成の酸化物融液から、種子結晶を用いて、
Ln 3 Al 5 O 12 (LnはY、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuの少なくとも一つの元素である。)相からなる第1結晶相と、Al 2 O 3 からなる第2結晶相とが連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有するセラミックス複合体を成長させる方法であって、
前記種子結晶が、前記セラミックス複合体を構成する結晶相のいずれか1つの結晶相と同一の母体を持つ単結晶であることを特徴とするセラミックス複合体の製造方法。 By Bridgman method
From an oxide melt of eutectic composition, using seed crystals,
A first crystal phase composed of Ln 3 Al 5 O 12 (Ln is at least one element of Y, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu) and a second crystal composed of Al 2 O 3 . A method of growing a ceramic composite having a structure in which a crystalline phase is continuously and three-dimensionally entangled with each other,
The method for producing a ceramic composite, wherein the seed crystal is a single crystal having the same base as any one of crystal phases constituting the ceramic composite.
前記セラミックス複合体が、受光した光の一部を受光した光とは異なる波長の光に変換する光変換用セラミックス複合体であることを特徴とする請求項1又は2に記載のセラミックス複合体の製造方法。 The first crystal phase is a crystal phase emitting fluorescence;
The ceramic composite according to claim 1 or 2 , wherein the ceramic composite is a ceramic composite for light conversion that converts a part of received light into light having a wavelength different from that of the received light. Production method.
前記第1結晶相が、Ceを付活剤として含有する結晶相であることを特徴とする請求項3に記載のセラミックス複合体の製造方法。 Ln is at least one element of Y or Tb;
The method for producing a ceramic composite according to claim 3 , wherein the first crystal phase is a crystal phase containing Ce as an activator.
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