JP6284266B2

JP6284266B2 - 検査装置

Info

Publication number: JP6284266B2
Application number: JP2014024965A
Authority: JP
Inventors: 博和北嶋
Original assignee: 日本電設工業株式会社
Priority date: 2014-02-13
Filing date: 2014-02-13
Publication date: 2018-02-28
Anticipated expiration: 2034-02-13
Also published as: JP2015152369A

Description

本発明は、検査対象部が導通しているか否かをブザーにより確認し、配線が確実に行われていることを検査する検査装置に関する。

配線工程などの後に、正しく当該配線工程が行われ断線などないかを確認するために、導通試験などを行うことは一般的である。

例えば、特許文献１（特開平６−１８８５７９号公報）には、試験端子Ｔと上記グランド端子４間に電圧を印加することにより、渡り配線Ｊを介して流れる電流で表示素子Ｌを点灯可能とし、この点灯で渡り配線Ｊの断線を確認可能とする技術が開示されている。
特開平６−１８８５７９号公報

出願人らは、信号配線の配線接続作業や切り離し作業を行っている。そこで、配線接続作業や切り離し作業の後に、作業の誤りを防ぐためにブザーが内蔵された検査装置を用いて導通確認を行い、配線が確実に行われていることを確認している。

図７は、従来の検査装置の問題点を説明する図である。検査装置は端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が、導通しているか、導通していないかを検査することが想定されている。このような従来の検査装置としては、ブザーと電池とが直列接続されたものの両端に、第１プローブＰ１と第２プローブＰ２とを設けたものである。これらの第１プローブＰ１と第２プローブＰ２とを、検査対象部の両端で接触させることで、前記検査対象部が導通しているか否かに係る検査を行う。仮に、前記検査対象部が導通していなければ、ブザーは鳴らず、導通していればブザーがなるようになっている。検査対象部の線路は、図示するような電圧が印加された状態の活線である。

ところで、信号配線の中には、図に示すようにリレーが設けられているが、検査対象部が導通していない場合、第１プローブＰ１と第２プローブＰ２とを検査対象部の両端で接触させると、図中の点線で示されるような異常電流が流れてしまい、リレーを誤動作させてしまう可能性がある、という問題があった。

また、リレーの誤動作に加え、ブザーにも電流が流れてしまい、検査対象部が導通していないにも関わらず、ブザーが鳴動してしまう可能性がある、という問題もあった。

さらに、Ｖｏがブザーの定格電圧を超えているような場合、ブザーの破損などの危険性もある、といった問題もあった。

上記のような課題を解決するために、請求項１に係る発明は、所定電圧が印加されている検査対象部の両端に、第１プローブと第２プローブとを接触させることで、前記検査対象部が導通しているか否かをブザーにより確認し、配線が確実に行われていることを検査する検査装置において、
前記第１プローブと接続される第１導線路と、
前記第２プローブと接続される第２導線路と、
前記第１導線路が接続される第１入力部と、前記第２導線路が接続される第２入力部と、前記第１入力部と前記第２入力部との電圧の差分を増幅して出力する出力部とを有する増幅器と、前記増幅器の出力部が接続され、前記出力部の電圧が、所定の閾値以内であるか、所定の閾値を超えるか否かを判定する電圧判定部と、前記電圧判定部の判定結果に基づいて、前記ブザーを鳴動するブザー駆動部と、を有し、前記第１導線路は所定電圧のバイアスが印加されると共に、前記第２導線路は接地され、前記第１導線路中には、前記所定電圧のバイアスが印加される点と前記増幅器との間に抵抗が設けられ、前記第１導線路に、所定電圧を印加する電圧印加部が設けられており、前記所定電圧のバイアスが印加される点より検査対象部側に配され、前記第１プローブと前記増幅器の前記第１入力部とを切り離し、前記電圧印加部側との接続を行う切り替え部と、前記電圧印加部により、前記第１導線路が印加された際に流れる電流を測定する電流測定部と、前記電流測定部で測定された電流が所定値以上であると異常灯を点灯させる電流値判定部と、をさらに有することを特徴とする。

また、請求項２に係る発明は、前記第１導線路と第２導線路との間には、第１のツェナーダイオード対が設けられ、前記第１導線路と前記第１のツェナーダイオード対との接続点が前記抵抗と前記増幅器の間であることを特徴とする。

また、請求項３に係る発明は、請求項２に記載の検査装置において、前記第１のツェナーダイオード対は、互いに同極が接続されていることを特徴とする。

本発明の検査装置は、入力抵抗が高い増幅器が用いられていると共に、増幅器の第１入力部に接続されている第１導線路中には抵抗が設けられているので、本発明に係る検査装置によれば、検査対象部の近くに接続されているリレーに電流が流れたとしても、ごく小さな電流であり、リレーを誤動作させてしまうようなことはない。

また、本発明に係る検査装置によれば、検査対象部が導通していない場合には、ブザーが鳴動してしまうようなこともないし、ブザーの部品が破損するようなこともない。

本発明の実施形態に係る検査装置１００の概要を説明する図である。本発明の実施形態に係る検査装置１００が、第１プローブＰ１と第２プローブＰ２との双方が、検査対象部を含め、何とも接触していない場合の動作を説明する図である。本発明の実施形態に係る検査装置１００によって、端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が導通している場合の動作を説明する図である。本発明の実施形態に係る検査装置１００によって、第２プローブＰ２を検査対象部の高圧側に接触させ、第１プローブＰ１を検査対象部の低圧側に接触させて検査を行う場合を説明する。本発明の実施形態に係る検査装置１００の第１プローブＰ１と第２プローブＰ２とにＡＣ１００［Ｖ］を印加した場合を説明する図である。本発明に係る検査装置１００における使用開始前のチェック機能を説明する図である。従来の検査装置の問題点を説明する図である。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の実施形態に係る検査装置１００の概要を説明する図である。以下、本発明に係る検査装置１００を、信号配線の配線接続作業や切り離し作業の作業工程の後に、検査対象部が導通しているか否かを検査する例に基づいて、説明を行うが、本発明に係る検査装置１００は、この例に限らず、他の状況においても用いることが可能なものである。

本発明に係る検査装置１００についても、従来のもの同様、所定電圧が印加されている検査対象部である端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が、導通しているか、導通していないかを検査するものである。

また、本発明に係る検査装置１００が、図示するように、線路にＶｏ［Ｖ］、−Ｖｏ［Ｖ］が印加されている活線であることが想定されている。なお、本例では、Ｖｏ［Ｖ］＝２４［Ｖ］である。

第１プローブＰ１は導電性の先端部を持ち、検査装置１００本体部の第１導線路１５に電気接続されている。一方、第２プローブＰ２は導電性の先端部を持ち、検査装置１００本体部の第２導線路２５に電気接続されている。本発明に係る検査装置１００においても、従来同様、第１プローブＰ１と第２プローブＰ２とを、検査対象部の両端で接触させることで、前記検査対象部が導通しているか否かに係る検査を行う。ここで、「接触」とは、第１プローブＰ１や第２プローブＰ２の導電性の部分を、検査対象部の両端の導電性の部分に当接させることをいう。

第１導線路１５は、第１プローブＰ１からの入力を増幅器Ｕ４の第１入力部に導く線路であり、第２導線路２５は、第２プローブＰ２からの入力を増幅器Ｕ４の第２入力部に導く線路である。

増幅器Ｕ４は、第１入力部電圧Ｖ１と第２入力部電圧Ｖ２との電圧の差分を増幅して、出力部電圧Ｖ３として出力するものである。このような増幅器Ｕ４としては、入力抵抗が高い汎用のオペアンプなどを用いることができる。

第１導線路１５中には、増幅器Ｕ４の第１入力部までの間に、切り替え部３０、抵抗Ｒ１４が設けられている。なお、本例では、Ｒ１４としては、４７［ｋΩ］のものを用いている。また、増幅器Ｕ４は不図示の電源によって、５［Ｖ］で駆動されている。

第１導線路１５中に設けられる抵抗Ｒ１４は、検査対象部の近くに接続されているリレーに流れる電流を制限する。

切り替え部３０は、不図示のスイッチの押下などにより、第１プローブＰ１と増幅器Ｕ４の第１入力部とを導通させるＡ端子側と、第１プローブＰ１と増幅器Ｕ４の第１入力部とを切り離し、増幅器Ｕ４の第１入力部と電流測定回路５２とを導通させるＢ端子側と、切り替えることができるようになっている。

また、第１導線路１５は、ダイオードＤ２、抵抗Ｒ１３を介して、バイアス電源３３によって、Ｖｏ［Ｖ］が印加されている状態となっている。なお、本例では、Ｒ１３としては、２４［ｋΩ］のものを用いている。

また、第１導線路１５と、第２導線路２５との間は、互いに同極が接続されている第１のツェナーダイオード対（Ｄ５、Ｄ７）が設けられている。このようなツェナーダイオード対は、保護回路の一部として機能する。なお、本例では、ツェナーダイオードＤ５、Ｄ７としては、ツェナー電圧が４．７［Ｖ］のものを用いている。

また、抵抗Ｒ１３とダイオードＤ２の間の点と、第２導線路２５との間は、互いに同極が接続されている第２のツェナーダイオード対（Ｄ４、Ｄ６）が設けられている。このようなツェナーダイオード対は、バイアス電源３３の保護回路の一部として機能する。なお、本例では、ツェナーダイオードＤ４、Ｄ６としては、ツェナー電圧が３０［Ｖ］のものを用いている。

電圧判定回路４２は、増幅器Ｕ４の出力部が接続され、出力部電圧Ｖ３が、所定の閾値以内であるか、所定の閾値を超えるか否かを判定する回路である。本例では、電圧判定回路４２は、（ａ） −０．５［Ｖ］≦Ｖ３≦＋０．５［Ｖ］であるか、或いは（ｂ）Ｖ３＜−０．５［Ｖ］又は＋０．５［Ｖ］＜Ｖ３であるかを判定する構成となっている。

ブザー駆動回路４３は、電圧判定回路４２の判定結果に基づいて、ブザー４５を鳴動する。ここで、本例では、ブザー駆動回路４３は、電圧判定回路４２の判定が（ａ）の場合、ブザー４５を鳴動し、電圧判定回路４２の判定が（ｂ）の場合、ブザー４５を鳴動しない。

切り替え部３０によって、Ｂ端子が選択され、増幅器Ｕ４の第１入力部と電流測定回路５２とが導通している際には、電圧印加回路５１が発生する電圧も、増幅器Ｕ４の第１入力部に印加される。電流測定回路５２は、このときに流れる電流を測定するものである。電流値判定回路５３は、電流測定回路５２で測定された電流を判定し、異常灯５５又は正常灯５６を点灯させる。

より具体的には、電流値判定回路５３は、電流測定回路５２で所定値以上の電流が測定された場合には、増幅器Ｕ４や保護回路などに、何らかの異常があるものと判定し、異常灯５５を点灯する。一方、電流値判定回路５３は、電流測定回路５２で所定値未満の電流が測定された場合には、増幅器Ｕ４や保護回路などは正常であるものと判定し、正常灯５６を点灯する。なお、本例では、前記の所定値の電流としては、２．５［ｍＡ］としている。

上記のように切り替え部３０によって、Ｂ端子が選択されると、上記のように、増幅器Ｕ４や保護回路などに異常がないかをチェックすることが可能となる。

次に、以上のように構成される本発明に係る検査装置１００の動作について説明する。図１は本発明の実施形態に係る検査装置１００によって、端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が、導通していないことを検出する場合を示している。

増幅器Ｕ４は、第１入力部電圧Ｖ１と第２入力部電圧Ｖ２との電圧の差分を増幅して、出力部電圧Ｖ３として出力するものであり、その増幅度をαとすると、
Ｖ３＝α×（Ｖ１−Ｖ２）
の関係を有するようになっている。ここで、増幅器Ｕ４の第２入力部は、Ｖ２はグランドに接続されているので、
Ｖ３＝α×Ｖ１
の関係となる。なお、本例では、α＝２．５で設計を行っている。

電圧判定回路４２は、増幅器Ｕ４からの出力部電圧Ｖ３の値を判定してブザー４５の鳴動、非鳴動を決定している。本例では、Ｖ３の値が−０．５［Ｖ］≦Ｖ３≦＋０．５［Ｖ］の範囲でブザー４５がブザー駆動回路４３によって鳴動されるように設計してある。すなわち、増幅器Ｕ４の出力部電圧Ｖ３が＋０．５Ｖを超えた場合又は−０．５Ｖを下回った場合、ブザー４５は鳴動しない。

このように、本発明に係る検査装置１００においては、ブザー４５が鳴動しないことで、検査者は端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が、導通していないことを確認することが可能となる。

ここで、検査対象部の近傍に設けられているリレーに流れる電流の大きさについて説明
する。

図１に示すように、端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が、導通していないので、Ｖｏ［Ｖ］により点線の矢印のルートで電流が流れる。Ｄ５、Ｄ７はツェナー電圧が４．７Ｖのツェナーダイオードを使用しており、Ｄ４、Ｄ６はツェナー電圧が３０Ｖのツェナーダイオードを使用しているので、電流の経路はＤ５、Ｄ７を流れるルートのみである。

Ｖｏ［Ｖ］の電圧を２４［Ｖ］とすると電流値は、
（２４［Ｖ］−４．７［Ｖ］）／４７［ｋΩ］＝０．４１［ｍＡ］
となる。

図１では０．４１ｍＡがリレーに流れるが、この電流値はリレーを励磁するには至らない程度の小さい値である。したがって、本発明に係る検査装置１００を接続しても、励磁していないリレーが誤動作することはない。例えば、高感度線条リレーＭ−２４００でも、７．５ｍＡ以上流れないと励磁しない。

このように、本発明の検査装置１００は、入力抵抗が高い増幅器Ｕ４が用いられていると共に、増幅器Ｕ４の第１入力部に接続されている第１導線路１５中には抵抗（Ｒ１４）が設けられているので、本発明に係る検査装置１００によれば、検査対象部の近くに接続されているリレーに電流が流れたとしても、ごく小さな電流であり、リレーを誤動作させてしまうようなことはない。

また、本発明に係る検査装置１００によれば、検査対象部が導通していない場合には、ブザー４５が鳴動してしまうようなこともないし、ブザー４５の部品が破損するようなこともない。

ここで、図２を参照して、本発明に係る検査装置１００が、第１プローブＰ１と第２プローブＰ２との双方が、検査対象部を含め、何とも接触していない場合における動作を説明する。

第１プローブＰ１と第２プローブＰ２が何とも接触していない状態では、増幅器Ｕ４の出力部電圧Ｖ３と第１入力部電圧Ｖ１と第２入力部電圧Ｖ２との関係は、
Ｖ３＝α×（Ｖ１−Ｖ２）＝α×Ｖ１
となる。

第１プローブＰ１と第２プローブＰ２が何とも接触していない状態は、バイアス電源３３の＋２４［Ｖ］が抵抗Ｒ１３を通して増幅器Ｕ４の第１入力部に印加されるので増幅器Ｕ４の出力部電圧Ｖ３は
Ｖ３＝２．５×Ｖｏ＝２．５×２４＝６０Ｖ
となる。

ただし、増幅器Ｕ４の電源電圧は５Ｖなので６０Ｖは出力できず、出力部電圧Ｖ３は約５Ｖで飽和する。

増幅器Ｕ４の出力部電圧Ｖ３は次段の電圧判定回路４２に接続されている。電圧判定回路４２は入力電圧の値を判定する。入力電圧＋０．５Ｖ〜−０．５Ｖの範囲でブザーが鳴動するように設計されている。

第１プローブＰ１と第２プローブＰ２に何も接続されていない状態では、この入力電圧は約５Ｖなので、＋０．５Ｖ〜−０．５Ｖの範囲外となり、ブザーは鳴動しない。

このように、本発明に係る検査装置１００においては、第１プローブＰ１と第２プローブＰ２が何とも接触されていない状態では、ブザー４５が鳴動しない設定となっている。

次に、端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が、短絡している場合について説明する。図３は本発明の実施形態に係る検査装置１００によって、端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が導通している場合の動作を説明する図である。

端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が導通している場合には、第１プローブＰ１と第２プローブＰ２との間が短絡状態となるので、Ｖ１＝Ｖ２となり、増幅器Ｕ４の出力部電圧Ｖ３は
Ｖ３＝２．５×（Ｖ１−Ｖ２）＝２．５×（０−０）＝０Ｖ
になる。この値は、＋０．５Ｖ〜−０．５Ｖの範囲内なので電圧判定回路４２、ブザー駆動回路４３によって、ブザー４５は鳴動する。

このように、本発明に係る検査装置１００においては、ブザー４５が鳴動することで、検査者は端子Ｔ１と端子Ｔ２との間が、導通していることを確認可能となる。

次に、図４を参照して、本発明の実施形態に係る検査装置１００によって、第２プローブＰ２を検査対象部の高圧側に接触させ、第１プローブＰ１を検査対象部の高圧側に接触させて検査を行う場合を説明する。この場合、図１において点線で示した電流と反対方向に流れる電流以外に、バイアス電源３３によって、図４において示す一点鎖線の矢印に示す電流が流れる。

一点鎖線の矢印に示す電流−１は、−Ｖｏ［Ｖ］の２４［Ｖ］及び、バイアス電源３３の２４［Ｖ］が直列になってＲ１３（２４［ｋΩ］）を通過する。したがって、一点鎖線の矢印に示す電流−１の値は
（２４［Ｖ］＋２４［Ｖ］）／２４［ｋΩ］＝２［ｍＡ］
となる。

また、図４において点線で示した電流−２の値はツェナーダイオードＤ７、Ｄ５及びＲ１４（４７［ｋΩ］）を通過する。したがって、点線で示した電流−２の値は、
（２４［Ｖ］−４．７［Ｖ］）／４７［ｋΩ］＝０．４１［ｍＡ］
となる。

上記の２つの電流を重ね合わせると、２．４１［ｍＡ］を得ることとなる。

この２．４１［ｍＡ］がリレーに流れるが、この電流値はリレーを励磁するには至らない程度の小さい値である。したがって、検査装置１００を接続しても、励磁していないリレーが誤動作することはない。例えば、高感度線条リレーＭ−２４００でも７．５ｍＡ以上流れないと励磁しない。

以上のように、検査装置１００は、検査者は、第１プローブＰ１、第２プローブＰ２の極性について意識をすることなく使用することができる。

次に図５を参照して、本発明の実施形態に係る検査装置１００の第１プローブＰ１と第２プローブＰ２とにＡＣ１００［Ｖ］を印加した場合の、検査装置１００における保護部品について説明する図である。

増幅器Ｕ４は入力に電源電圧以上の電圧が印加されると過大入力となって破損する。本実施形態の検査装置１００で使用する増幅器Ｕ４は電源電圧が±５Ｖなので、ＡＣ１００
Ｖを印加すると保護部品がないと破損する。そこで、本発明に係る検査装置１００においては、保護部品が設けられている。

本発明に係る検査装置１００においては、図５のＲ１３、ツェナーダイオードＤ４、Ｄ６及びＲ１４、ツェナーダイオードＤ５、Ｄ７が保護部品となる。

誤って第１プローブＰ１と第２プローブＰ２とにＡＣ１００［Ｖ］を接触させた場合、第１導線路１５と第２導線路２５との間にＡＣ１００Ｖが印加されることとなる。

仮に保護部品が存在しないとすると、増幅器Ｕ４の入力に直接ＡＣ１００［Ｖ］の高電圧がかかってしまうが、図５のようにツェナーダイオードＤ５、Ｄ７によって電圧１は、±４．７Ｖまでクランプされ、増幅器Ｕ４は保護される。

同様に仮に保護部品が存在しないとすると、バイアス電源３３もＡＣ１００［Ｖ］の高電圧が印加されるが、こちらは図５に示すように保護部品であるツェナーダイオードＤ４、Ｄ６によって±３０Ｖにクランプする。バイアス電源３３は３０Ｖまで耐えられるように設計してあるので、バイアス電源３３が破損することはない。

次に、本発明に係る検査装置１００における、増幅器Ｕ４や保護回路部品などに異常がないかをチェックする機能について説明する。図６は本発明に係る検査装置１００におけるチェック機能を説明する図である。

図６に示すように、切り替え部３０によって、Ｂ端子が選択されると、上記のように、増幅器Ｕ４や保護回路などに異常がないかをチェックすることが可能となる。

何らかの原因により検査装置１００の増幅器Ｕ４や保護回路などが破損していると、図６において示す一点鎖線の矢印に示す所定値以上の電流が流れる。本例では、この所定値以上の電流値が２．５ｍA以上であれば破損していると判定し、異常灯を点灯させる。

チェック用のスイッチを押下すると、不図示のリレーが励磁されて、切り替え部３０において、図に示すようにＢ端子が選択される。

本例は、閾値である電流値を２．５［ｍＡ］としたが、これはＶｏ（２４［Ｖ］）で換算するとプローブからみた抵抗値が約１０ｋΩ以上ということになる。（２４［Ｖ］）／２．５［ｍＡ］＝約１０［ｋΩ］）
増幅器Ｕ４や保護回路などが破損してプローブからみた抵抗値が１０［ｋΩ］以下になると、２．５［ｍＡ］以上電流が流入して、Ｖｏ（２４［Ｖ］）に接続してあるリレーが誤動作する危険がある。

電流値判定回路５３は、電流測定回路５２で２．５［ｍＡ］以上の電流が測定された場合には、増幅器Ｕ４や保護回路などに、何らかの異常があるものと判定し、異常灯５５を点灯する。一方、電流値判定回路５３は、電流測定回路５２で２．５［ｍＡ］未満の電流が測定された場合には、増幅器Ｕ４や保護回路などは正常であるものと判定し、正常灯５６を点灯する。

このように、本発明に係る検査装置１００においては、切り替え部３０によって、Ｂ端子が選択されると、上記のように、増幅器Ｕ４や保護回路などに異常がないかをチェックすることが可能となる。

以上、本発明の検査装置は、入力抵抗が高い増幅器が用いられていると共に、増幅器の
第１入力部に接続されている第１導線路中には抵抗が設けられているので、本発明に係る検査装置によれば、検査対象部の近くに接続されているリレーに電流が流れたとしても、ごく小さな電流であり、リレーを誤動作させてしまうようなことはない。

１５・・・第１導線路
２５・・・第２導線路
３０・・・切り替え部
３３・・・バイアス電源
４２・・・電圧判定回路
４３・・・ブザー駆動回路
４５・・・ブザー
５１・・・電圧印加回路
５２・・・電流測定回路
５３・・・電流値判定回路
５５・・・異常灯
５６・・・正常灯
Ｐ１・・・第１プローブ
Ｐ２・・・第２プローブ
Ｕ４・・・増幅器
Ｖ１・・・第１入力部電圧
Ｖ２・・・第２入力部電圧
Ｖ３・・・出力部電圧
Ｒ１３、Ｒ１４・・・抵抗
Ｄ２・・・ダイオード
Ｄ４、Ｄ５、Ｄ６、Ｄ７・・・ツェナーダイオード

Claims

所定電圧が印加されている検査対象部の両端に、第１プローブと第２プローブとを接触させることで、前記検査対象部が導通しているか否かをブザーにより確認し、配線が確実に行われていることを検査する検査装置において、
前記第１プローブと接続される第１導線路と、
前記第２プローブと接続される第２導線路と、
前記第１導線路が接続される第１入力部と、前記第２導線路が接続される第２入力部と、前記第１入力部と前記第２入力部との電圧の差分を増幅して出力する出力部とを有する増幅器と、
前記増幅器の出力部が接続され、前記出力部の電圧が、所定の閾値以内であるか、所定の閾値を超えるか否かを判定する電圧判定部と、
前記電圧判定部の判定結果に基づいて、前記ブザーを鳴動するブザー駆動部と、を有し、
前記第１導線路は所定電圧のバイアスが印加されると共に、前記第２導線路は接地され、
前記第１導線路中には、前記所定電圧のバイアスが印加される点と前記増幅器との間に抵抗が設けられ、
前記第１導線路に、所定電圧を印加する電圧印加部が設けられており、
前記所定電圧のバイアスが印加される点より検査対象部側に配され、前記第１プローブと前記増幅器の前記第１入力部とを切り離し、前記電圧印加部側との接続を行う切り替え部と、
前記電圧印加部により、前記第１導線路が印加された際に流れる電流を測定する電流測定部と、
前記電流測定部で測定された電流が所定値以上であると異常灯を点灯させる電流値判定部と、をさらに有することを特徴とする検査装置。
前記第１導線路と第２導線路との間には、第１のツェナーダイオード対が設けられ、
前記第１導線路と前記第１のツェナーダイオード対との接続点が前記抵抗と前記増幅器の間であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
前記第１のツェナーダイオード対は、互いに同極が接続されていることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。