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JP6345809B2 - Wavelength multiplexed optical receiver module - Google Patents
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Description

本発明は、波長多重化光受信モジュールに関し、より詳細には、薄膜フィルターを用いた波長多重化光受信モジュールに関する。   The present invention relates to a wavelength multiplexed optical receiver module, and more particularly to a wavelength multiplexed optical receiver module using a thin film filter.

データの需要が徐々に増加するにつれて光通信の速度と容量もまた急激に増加する傾向にあり、既に、単波長の光信号を使用して、10Gbps以上の伝送容量を有する光通信システムが商用化され使用されている。しかし、近年、メトロおよび基幹伝送網では、1本の光ファイバーに40Gbpsまたは100Gbpsの伝送容量が求められており、1本の光ファイバーに10Gbpsまたは25Gbpsの伝送速度を有する互いに異なる4個の波長の光信号を多重化して、40Gbpsまたは100Gbpsのデータを伝送する波長分割多重化(WDM;Wavelength Division Multiplexing)方式の光通信が使用されている。   As the demand for data gradually increases, the speed and capacity of optical communication tend to increase rapidly, and an optical communication system having a transmission capacity of 10 Gbps or more is already commercialized using a single wavelength optical signal. Is being used. However, in recent years, in metro and backbone transmission networks, a transmission capacity of 40 Gbps or 100 Gbps is required for one optical fiber, and optical signals of four different wavelengths having a transmission speed of 10 Gbps or 25 Gbps per optical fiber. Are used, and wavelength division multiplexing (WDM) optical communication for transmitting 40 Gbps or 100 Gbps data is used.

かかる波長分割多重化方式の光通信では、4個の波長のレーザ光を波長分割多重化する光送信モジュールと光線路を介して伝送されてきた光信号をそれぞれの波長に逆多重化し、これを光検出素子で電気信号に検出し、検出した電気信号を増幅させる「波長分割多重化光受信モジュール」が光通信システムの最も核心的な部品として構成される。かかる波長多重化光受信モジュールは、光線路の終端に位置した光ファイバーコネクターと光受信モジュールを結合するレセプタクルと、光結合レンズと、受信した互いに異なる波長の光信号を逆多重化し、それぞれの波長に分離するための逆多重化素子と、それぞれの波長に分離した光を電気信号(光電流)に変換するための光検出素子と、これらの電気信号を増幅させるための伝達インピーダンスタイプの増幅素子と、からなっている。   In such wavelength division multiplexing optical communication, an optical transmission module for wavelength division multiplexing of four wavelengths of laser light and an optical signal transmitted via an optical line are demultiplexed into respective wavelengths, A “wavelength division multiplexing optical receiver module” that detects an electrical signal with a photodetecting element and amplifies the detected electrical signal is configured as the most important component of the optical communication system. Such a wavelength-multiplexed optical receiver module is configured to demultiplex optical signals received at different wavelengths from each other by demultiplexing the optical fiber connector located at the end of the optical line and a receptacle for coupling the optical receiver module, the optical coupling lens, and the received optical signals. A demultiplexing element for separating, a light detecting element for converting light separated into respective wavelengths into an electric signal (photocurrent), and a transfer impedance type amplifying element for amplifying these electric signals; It is made up of.

かかる波長多重化光受信モジュールは、逆多重化素子の種類に応じて、以下のように二つのタイプに大別される。第1のタイプの波長分割多重化光受信モジュールは、図1に示されているように、逆多重化素子としてアレイ導波路格子(AWG;Arrayed Waveguide Grating)素子14を使用して、多重化された光をそれぞれの波長にそれぞれ分離し、それぞれ分離した波長による光信号を、光検出素子16と前置増幅素子18を使用して電気信号に変換した後、増幅して出力させる形態を有する。   Such wavelength-multiplexed optical receiver modules are roughly classified into the following two types according to the type of demultiplexing element. A first type wavelength division multiplexing optical receiver module is multiplexed using an arrayed waveguide grating (AWG) element 14 as a demultiplexing element, as shown in FIG. The light is separated into each wavelength, and an optical signal having the separated wavelength is converted into an electrical signal using the light detection element 16 and the preamplifier 18 and then amplified and output.

具体的に、アレイ導波路格子素子14を用いた波長多重化光受信モジュール(以下、「光受信モジュール」と略称)は、フェルール12が挿入されたレセプタクル11の部分が、光ファイバーコネクター(図示せず)と締結され、多重化した光信号が光受信モジュールの内部に入力されると、非球面レンズ13を使用して光をアレイ導波路格子素子14の光導波路に結合して入射させることになり、アレイ導波路格子素子14内で光信号がそれぞれの波長に分離されてそれぞれの異なる出力ポートを介して発散する。   Specifically, a wavelength multiplexed optical receiver module (hereinafter abbreviated as “optical receiver module”) using the arrayed waveguide grating element 14 has an optical fiber connector (not shown) in which the portion of the receptacle 11 in which the ferrule 12 is inserted. When the multiplexed optical signal is input into the optical receiving module, the aspherical lens 13 is used to couple the light to the optical waveguide of the arrayed waveguide grating element 14 and make it incident. In the arrayed waveguide grating element 14, the optical signal is separated into the respective wavelengths and diverges through the different output ports.

アレイ導波路格子素子14の光導波路から出力されて発散されるそれぞれの波長は、レンズ15によりそれぞれの光信号の検出を担当する光検出素子16の受光領域に収まり、光検出素子16は、収まった波長に応じて検出された電気信号を、後段に位置してワイヤボンディング(図示せず)で連結された伝達インピーダンスタイプの多数の前置増幅素子18でそれぞれの信号を増幅して出力させる。   Each wavelength output from the optical waveguide of the arrayed waveguide grating element 14 and diverges is contained in the light receiving region of the photodetecting element 16 responsible for detecting each optical signal by the lens 15, and the photodetecting element 16 is contained. The electrical signals detected in accordance with the wavelengths are amplified and output by a number of preamplifier elements 18 of the transfer impedance type, which are located in the subsequent stage and connected by wire bonding (not shown).

かかる第1の形態に係る従来の光受信モジュールの場合、レセプタクル11に入力された光信号が、最終的に光検出素子16に入力されるまでの光経路において多くの光損失が生じることが最大の欠点である。光損失は、非球面レンズ13を使用して、入力光をアレイ導波路格子素子14の光導波路に入射させるときに発生するだけでなく、アレイ導波路格子素子14の内部においても大きく発生する。   In the case of the conventional optical receiver module according to the first embodiment, it is most likely that a lot of optical loss occurs in the optical path from when the optical signal input to the receptacle 11 is finally input to the photodetecting element 16. Is a drawback. The optical loss occurs not only when the input light is made incident on the optical waveguide of the arrayed waveguide grating element 14 using the aspheric lens 13 but also greatly generated inside the arrayed waveguide grating element 14.

そのため、アレイ導波路格子素子14の内部で発生する光損失を低減するためには、アレイ導波路格子素子14の入力端の共通ポートから出力端のそれぞれの波長のポートに至る光導波路の曲がりを最小化するように設計しなければならない。しかしながら、このようにする場合、アレイ導波路格子素子14のサイズが増加し、全体の光受信モジュールのサイズが増加するという問題が生じる。通常、かかるアレイ導波路格子素子14を使用した光受信モジュールは、ほとんどの場合、全体の光挿入損失が2dB以上と大きい。   Therefore, in order to reduce the optical loss generated inside the arrayed waveguide grating element 14, the bending of the optical waveguide from the common port at the input end of the arrayed waveguide grating element 14 to each wavelength port at the output end is reduced. Must be designed to minimize. However, in this case, there arises a problem that the size of the arrayed waveguide grating element 14 increases and the size of the entire optical receiving module increases. In general, an optical receiving module using such an arrayed waveguide grating element 14 has a large total optical insertion loss of 2 dB or more in most cases.

一方、他の形態に係る光受信モジュールとしては、図2に示されているように、多重化した光の波長を4個の波長に分離するための逆多重化素子でそれぞれの波長のみを通過させる薄膜フィルター25‐1〜25‐4を用いた光受信モジュールがある。   On the other hand, as shown in FIG. 2, an optical receiving module according to another embodiment is a demultiplexing element for separating the wavelength of multiplexed light into four wavelengths and passes only each wavelength. There is an optical receiving module using thin film filters 25-1 to 25-4.

この際、薄膜フィルター25‐1〜25‐4を含んでなる逆多重化素子は、通常、当業界において「ジグザグフィルター」と称し、ジグザグフィルターは、図2aに示されているように、所定の角度を有するように加工されたガラスブロック24と、ガラスブロック24の一側に所定の間隔で取り付けられる薄膜フィルター25‐1〜25‐4と、薄膜フィルター25‐1〜25‐4と対応するガラスブロック24の他側面に取り付けられる反射膜コーティングされた他の反射ブロック24‐1と、からなり、それぞれの波長の光信号がジグザグフィルターの内部で反射して、該当する波長の光のみが薄膜フィルター25‐1〜25‐4を通り抜けるようにする原理を有する。   In this case, the demultiplexing element including the thin film filters 25-1 to 25-4 is generally referred to as a “zigzag filter” in the industry, and the zigzag filter has a predetermined value as shown in FIG. Glass block 24 processed to have an angle, thin film filters 25-1 to 25-4 attached to one side of glass block 24 at predetermined intervals, and glass corresponding to thin film filters 25-1 to 25-4 And a reflection film coated with another reflection block 24-1 attached to the other side of the block 24. The optical signal of each wavelength is reflected inside the zigzag filter, and only the light of the corresponding wavelength is a thin film filter. It has the principle of passing through 25-1 to 25-4.

かかるジグザグフィルターを用いた従来の光受信モジュール20の動作原理について簡単に説明すると、レセプタクル21内のフェルール22を通過して入力された光信号は、空気との屈折率の差によって広がり、このように広がる光信号は、非球面レンズ23によって平行光Lとなる。   The operation principle of the conventional optical receiver module 20 using such a zigzag filter will be briefly described. An optical signal input through the ferrule 22 in the receptacle 21 spreads due to a difference in refractive index with air, and thus The optical signal that spreads into the light becomes parallel light L by the aspherical lens 23.

この平行光がジグザグフィルターを通過すると、それぞれの波長の光信号に分離されて出力され、それぞれの波長の光信号は、アレイレンズ26を通過して焦点光に変化されて発散され、発散された各光信号は、45度に傾いて取り付けられた反射鏡27によって反射され、金属光学台32の上に水平に取り付けられた光検出素子28に入力される。   When this parallel light passes through the zigzag filter, it is separated into optical signals of respective wavelengths and outputted, and the optical signals of the respective wavelengths pass through the array lens 26 and are converted into focused light to be diverged and diverged. Each optical signal is reflected by a reflecting mirror 27 mounted at an inclination of 45 degrees, and is input to a light detecting element 28 mounted horizontally on the metal optical bench 32.

光検出素子28は、入力された各波長の光信号に応じて検出された電気信号を、後段に位置してワイヤボンディング(図示せず)で連結された伝達インピーダンスタイプの多数の前置増幅素子29でそれぞれの信号を増幅して出力させる。   The light detection element 28 is a plurality of preamplification elements of transfer impedance type in which electrical signals detected in accordance with input optical signals of respective wavelengths are connected to each other by wire bonding (not shown) at the subsequent stage. At 29, each signal is amplified and output.

かかるジグザグフィルターを使用した従来の光受信モジュール20は、アレイ導波路格子素子14を使用する光受信モジュール10に比べて光信号の挿入損失を大幅に低減することができ、且つ逆多重化素子自体のサイズもまたより小さくすることができるという利点がある。   The conventional optical receiving module 20 using such a zigzag filter can greatly reduce the insertion loss of the optical signal as compared with the optical receiving module 10 using the arrayed waveguide grating element 14, and the demultiplexing element itself. There is also an advantage that the size of can also be made smaller.

しかし、かかる薄膜フィルター25‐1〜25‐4を使用した光受信モジュール20は、図3のように、ジグザグフィルターの挿入損失および帯域通過波長の特性が、薄膜フィルターに入射される光信号の入射角度に大きく左右され(図3を参照すると、光の入射角度(AOI;Angle of Incidence)が10度に設計された薄膜フィルターにおいて、+/−0.1度の入射角度の変化がある場合、2dB程度の挿入損失が発生)、且つ光検出素子28で焦点光の入力正確度によって測定される電気信号の偏差が激しいという欠点があった。   However, in the optical receiver module 20 using such thin film filters 25-1 to 25-4, the insertion loss of the zigzag filter and the characteristics of the band pass wavelength are as shown in FIG. In a thin film filter whose angle of incidence (AOI; Angle of Incidence) is designed to be 10 degrees, there is a change in incident angle of +/− 0.1 degrees. There is a drawback that an insertion loss of about 2 dB occurs) and that the deviation of the electrical signal measured by the input accuracy of the focus light by the light detection element 28 is severe.

そのため、薄膜フィルターに対する入射角度の変化による挿入損失と、光検出素子から測定される電気信号の偏差を最小化するためには、入射角度の変化が最小化するように発散光を平行光としてジグザグフィルターに入射させる凸レンズ状の非球面レンズ23と、ジグザグフィルターを通過し、それぞれの波長に分離された平行光を光検出素子28の受光領域に正確に入射させるためのアレイレンズ26の位置と角度の整列が非常に重要であった。   Therefore, in order to minimize the insertion loss due to the change in the incident angle with respect to the thin film filter and the deviation of the electrical signal measured from the light detection element, the divergent light is zigzag as parallel light so that the change in the incident angle is minimized. The position and angle of the convex lens-shaped aspherical lens 23 to be incident on the filter and the array lens 26 for accurately allowing the parallel light that has passed through the zigzag filter and separated into the respective wavelengths to enter the light receiving region of the light detection element 28 The alignment of was very important.

しかし、今までの非球面レンズ23と、アレイレンズ26の位置と角度の整列は、それぞれ手作業で光検出素子28から検出される電気信号を測定すると共に整列(能動整列)させたため、時間的、投入人力的に非常に非効率的で、これに伴い、製造コストが上昇し、且つ生産性が大幅に低下するという問題があった。   However, the alignment of the position and angle of the aspherical lens 23 and the array lens 26 up to now has been made by measuring and aligning (actively aligning) the electrical signals detected from the light detection elements 28 by hand. However, there is a problem that it is very inefficient in terms of manpower, and as a result, the manufacturing cost increases and the productivity is greatly reduced.

したがって、前記のような問題を解決すると共に性能および生産性を向上させることができ、製造コストとサイズを最小化することができる新たな構造の光受信モジュールが求められている。   Accordingly, there is a need for an optical receiver module having a new structure that can solve the above-described problems, improve performance and productivity, and minimize the manufacturing cost and size.

本発明は、上記で導き出された問題を解決するためのものであり、薄膜フィルターを使用した波長多重化光受信モジュールを具現するにあたり、金属光学台上において非球面レンズとアレイレンズとの整列が容易に行われ、且つ全般的なモジュールの構成の数、サイズ、製造工程および製造コストを減少させることができる波長多重化光受信モジュールを提供することを目的とする。   The present invention is to solve the problems derived above, and in implementing a wavelength multiplexing optical receiver module using a thin film filter, the alignment of the aspherical lens and the array lens on the metal optical bench is performed. An object of the present invention is to provide a wavelength-multiplexed optical receiver module that can be easily performed and can reduce the number, size, manufacturing process, and manufacturing cost of the overall module configuration.

本発明の一側面によれば、波長分割多重化(WDM;Wavelength Division Multiplexing)方式の光通信のための波長多重化光受信モジュールであって、光線路の終端に形成された光ファイバーコネクターと結合するレセプタクルと、前記レセプタクルの内部空間に位置して入力光を平行光に変換する屈折率分布型レンズ(GRIN LENS)を含む平行光レセプタクル部と、平行四辺形状のガラスブロックと、前記ガラスブロックの一側面に形成されるコーティング部と、前記コーティング部が形成されたガラスブロックの他側面に形成される薄膜フィルターとが形成され、各波長別に光信号を分離するためのジグザグフィルター部と、前記ジグザグフィルター部から分離されて発散される平行光状の光信号を焦点光状の光信号に変換するために、前記ジグザグフィルター部の後段に配置されるアレイレンズと、前記アレイレンズの後段に、前記平行光状の光信号と水平に配置され、前記アレイレンズから発散される各波長別の光信号による電気信号を検出するアレイ光検出素子と、前記アレイレンズから発散される焦点光の方向を前記アレイ光検出素子の方に変換する反射鏡と、上部面に前記ジグザグフィルター部、前記アレイレンズ、反射鏡、アレイ光検出素子が載置されて整列されるようにする金属光学台とからなる光パッケージ部と、前記光検出素子から検出された電気信号を増幅して出力させる伝達インピーダンスタイプのアレイ前置増幅素子と、前記アレイ前置増幅素子が載置されるアレイ前置増幅素子サブマウントと、モジュールハウジングとからなる前置増幅素子部と、を含む波長多重化光受信モジュールが提供され得る。   According to one aspect of the present invention, a wavelength division multiplexing optical receiver module for wavelength division multiplexing (WDM) optical communication, which is coupled to an optical fiber connector formed at the end of an optical line A receptacle, a parallel light receptacle portion including a gradient index lens (GRIN LENS) located in the internal space of the receptacle and converting input light into parallel light, a parallelogram-shaped glass block, and one of the glass blocks A zigzag filter portion for separating a light signal for each wavelength, wherein a coating portion formed on a side surface and a thin film filter formed on the other side surface of the glass block on which the coating portion is formed, and the zigzag filter Parallel light that diverges from the part An array lens disposed downstream of the zigzag filter unit, and horizontally disposed in parallel with the parallel light optical signal downstream of the array lens, for converting the signal into a focused light optical signal. An array light detecting element for detecting an electrical signal by an optical signal for each wavelength emitted from the lens, a reflecting mirror for converting the direction of the focus light emitted from the array lens toward the array light detecting element, and an upper part An optical package unit comprising a metal optical stage for placing and aligning the zigzag filter unit, the array lens, the reflecting mirror, and the array light detection element on a surface; and an electric signal detected from the light detection element A transfer impedance type array preamplifier for amplifying and outputting the signal, an array preamplifier submount on which the array preamplifier is mounted, a module Wavelength multiplexing optical receiver module comprising a preamplification element before comprising a housing may be provided.

本発明の他の側面によれば、波長分割多重化(WDM;Wavelength Division Multiplexing)方式の光通信のための波長多重化光受信モジュールであって、光線路の終端に形成された光ファイバーコネクターと結合するレセプタクルと、前記レセプタクルの内部空間に位置して入力光を平行光に変換する屈折率分布型レンズ(GRIN LENS)を含む平行光レセプタクル部と、平行四辺形状のガラスブロックと、前記ガラスブロックの一側面に形成されるコーティング部と、前記コーティング部が形成されたガラスブロックの他側面に形成される薄膜フィルターとが形成され、各波長別に光信号を分離するためのジグザグフィルター部と、前記ジグザグフィルター部から分離されて発散される平行光状の光信号を焦点光状の光信号に変換するために、前記ジグザグフィルター部の後段に配置されるアレイレンズと、前記アレイレンズの後段に前記平行光状の光信号に対して垂直に配置され、前記アレイレンズから発散される焦点光による電気信号を検出するアレイ光検出素子と、前記アレイ光検出素子が垂直に取り付けられるアレイ光検出素子サブマウントと、上部面に前記ジグザグフィルター部、前記アレイレンズ、アレイ光検出素子、アレイ光検出素子サブマウントが載置されて整列されるようにする金属光学台とからなる光パッケージ部と、前記光検出素子から検出された電気信号を増幅して出力させる伝達インピーダンスタイプのアレイ前置増幅素子と、前記アレイ前置増幅素子が載置されるアレイ前置増幅素子サブマウントと、モジュールハウジングとからなる前置増幅素子部と、を含む波長多重化光受信モジュールが提供され得る。   According to another aspect of the present invention, a wavelength division multiplexing (WDM) optical receiving module for optical communication of a wavelength division multiplexing (WDM) system, which is coupled to an optical fiber connector formed at the end of an optical line A parallel light receptacle portion including a gradient index lens (GRIN LENS) positioned in the internal space of the receptacle and converting input light into parallel light, a parallelogram shaped glass block, and a glass block A zigzag filter unit for separating an optical signal according to each wavelength, wherein a coating unit formed on one side surface and a thin film filter formed on the other side surface of the glass block on which the coating unit is formed, is formed. Parallel light that diverges from the filter An array lens disposed downstream of the zigzag filter unit to convert the signal into a focused light optical signal; and an array lens disposed perpendicular to the parallel light optical signal downstream of the array lens; An array light detecting element for detecting an electrical signal generated by the focus light emitted from the array lens, an array light detecting element submount on which the array light detecting element is vertically mounted, the zigzag filter portion on the upper surface, the array lens, An optical package unit composed of an array photodetecting element and a metal optical stand for placing and aligning the array photodetecting element submount, and a transmission for amplifying and outputting an electric signal detected from the photodetecting element An impedance type array preamplifier, an array preamplifier submount on which the array preamplifier is mounted, and a module. A preamplifier element portion consisting of a Lumpur housing, the wavelength multiplexing optical receiver module including a may be provided.

本発明のさらに他の実施例によれば、波長分割多重化(WDM;Wavelength Division Multiplexing)方式の光通信のための波長多重化光受信モジュールであって、光線路の終端に形成された光ファイバーコネクターと結合するレセプタクルと、前記レセプタクルの内部空間に位置して入力光を平行光に変換する屈折率分布型レンズ(GRIN LENS)を含む平行光レセプタクル部と、平行四辺形状のガラスブロックと、前記ガラスブロックの一側面に形成されるコーティング部と、前記コーティング部が形成されたガラスブロックの他側面に形成される薄膜フィルターとが形成され、各波長別に光信号を分離するためのジグザグフィルター部と、前記ジグザグフィルター部から分離されて発散される平行光状の光信号を下方に垂直に屈折させる反射鏡と、前記反射鏡の下側に前記反射鏡と平行に配置され、前記反射鏡により反射された平行光状の光信号を焦点光状の光信号に変換するアレイレンズと、前記アレイレンズの下側に前記アレイレンズと平行に配置され、前記アレイレンズから発散される焦点光状の光信号による電気信号を検出するアレイ光検出素子と、上部面に前記ジグザグフィルター部が載置されて整列され、前記反射鏡、前記アレイレンズ、前記アレイ光検出素子が所定の間隔をおいて互いに平行に載置されて整列されるようにする金属光学台とからなる光パッケージ部と、前記光検出素子から検出された電気信号を増幅して出力させる伝達インピーダンスタイプのアレイ前置増幅素子と、前記アレイ前置増幅素子が載置されるアレイ前置増幅素子サブマウントと、モジュールハウジングとからなる前置増幅素子部と、を含む波長多重化光受信モジュールが提供され得る。   According to another embodiment of the present invention, there is provided a wavelength division multiplexing optical receiver module for optical communication of wavelength division multiplexing (WDM) system, and an optical fiber connector formed at the end of an optical line A parallel light receptacle part including a gradient index lens (GRIN LENS) positioned in the internal space of the receptacle and converting input light into parallel light, a parallelogram shaped glass block, and the glass A coating part formed on one side of the block, and a thin film filter formed on the other side of the glass block on which the coating part is formed, a zigzag filter part for separating optical signals for each wavelength, A flat surface separated from the zigzag filter unit and diverging. A reflecting mirror that vertically refracts the optical signal in the downward direction, and a parallel lower optical signal reflected by the reflecting mirror is arranged below the reflecting mirror in parallel with the reflecting mirror. An array lens for converting into an optical signal, an array light detecting element that is arranged in parallel to the array lens below the array lens, and detects an electrical signal generated by a focused light signal diverged from the array lens; Metal optics that mounts and aligns the zigzag filter portion on the upper surface, and arranges the reflecting mirror, the array lens, and the array light detection element in parallel with each other at a predetermined interval. An optical package unit comprising a base, a transfer impedance type array preamplifier for amplifying and outputting an electrical signal detected from the photodetection element, and the array preamplifier are mounted An array preamplification device submount that the preamplifier element unit comprising a module housing, the wavelength multiplexing optical receiver module including a may be provided.

本発明の様々な実施例による波長多重化光受信モジュールは、光受信モジュールの製造に伴う能動整列工程を最小化することができ、光受信モジュールの多数の個別のアセンブリー型の構成が個別に製造および組み立てられて形成されることで、全般的なモジュールの生産性(製造歩留まり)を向上させることができる。   Wavelength multiplexed optical receiver modules according to various embodiments of the present invention can minimize the active alignment process associated with the manufacture of optical receiver modules, and many individual assembly-type configurations of optical receiver modules can be manufactured individually. And, by being assembled and formed, overall module productivity (manufacturing yield) can be improved.

また、製造歩留まりの向上と共に、優れた特性の光受信モジュールを低コストで大量生産することができ、光受信モジュールを重要部品として使用する光トランシーバの価格も減少させることができ、最終的に光受信モジュール市場の活性化と波長多重化技術を用いて光通信のデータ伝送容量を増加させることに大きく寄与することができる。   In addition to improved manufacturing yield, optical receiver modules with excellent characteristics can be mass-produced at low cost, and the price of optical transceivers that use optical receiver modules as important components can be reduced. The activation of the receiver module market and the wavelength multiplexing technology can greatly contribute to increasing the data transmission capacity of optical communication.

従来のアレイ導波路格子(AWG;Arrayed Waveguide Grating)素子を用いた波長分割多重化光受信モジュールを示す平面図である。It is a top view which shows the wavelength division multiplexing optical receiver module using the conventional arrayed-waveguide grating (AWG; Arrayed Waveguide Grating) element. 従来の薄膜フィルターを用いた波長分割多重化光受信モジュールを示す平面図および断面図である。It is the top view and sectional drawing which show the wavelength division multiplexing optical receiver module using the conventional thin film filter. 図2における薄膜フィルターを用いた波長分割多重化光受信モジュールの帯域通過薄膜フィルター(Band Pass Filter)の光の入射角度による挿入損失曲線を示すグラフである。It is a graph which shows the insertion loss curve by the incident angle of the light of the bandpass thin film filter (Band Pass Filter) of the wavelength division multiplexing optical receiver module using the thin film filter in FIG. 本発明の一実施例による波長分割多重化光受信モジュールを示す平面図および断面図である。1A and 1B are a plan view and a cross-sectional view illustrating a wavelength division multiplexing optical receiver module according to an embodiment of the present invention. 図4における光パッケージ部にシリコンV溝反射鏡が適用された状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state by which the silicon | silicone V groove | channel reflective mirror was applied to the optical package part in FIG. 図1における波長分割多重化光受信モジュールの組立工程を説明するための組立説明図である。FIG. 3 is an assembly explanatory diagram for explaining an assembly process of the wavelength division multiplexing optical receiver module in FIG. 1. 本発明の他の実施例による波長分割多重化光受信モジュールを示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a wavelength division multiplexing optical receiver module according to another embodiment of the present invention. 図7における光パッケージ部にレンズ集積式光検出素子が適用された状態を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a state in which a lens integrated photodetecting element is applied to the optical package unit in FIG. 7. 本発明のさらに他の実施例による波長分割多重化光受信モジュールの平行光レセプタクル部および光パッケージ部を示す平面図および断面図である。FIG. 6 is a plan view and a cross-sectional view showing a parallel light receptacle part and an optical package part of a wavelength division multiplexing optical receiver module according to still another embodiment of the present invention.

以下、本発明の好ましい実施例を添付の図面を参照して詳細に説明する。以下に紹介する実施例は、当業者に本発明の思想を十分に伝達するために例として提供されるものである。したがって、本発明は、以下に説明する実施例に限定されず、他の形態に具体化されてもよい。また、図面において、構成要素の幅、長さ、厚さなどは、便宜上、誇張して表現することがある。なお、明細書の全体にわたり、同じ参照符号は、同じ構成要素を示す。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following examples are provided as examples to fully convey the concept of the present invention to those skilled in the art. Therefore, the present invention is not limited to the examples described below, and may be embodied in other forms. In the drawings, the width, length, thickness, and the like of components may be exaggerated for convenience. Throughout the specification, the same reference numerals denote the same components.

図4は本発明の一実施例による波長分割多重化光受信モジュールを示す平面図および断面図である。図5は図4の光パッケージ部にシリコンV溝反射鏡が適用された状態を示す断面図である。   FIG. 4 is a plan view and a cross-sectional view showing a wavelength division multiplexing optical receiver module according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state in which a silicon V-groove reflector is applied to the optical package part of FIG.

まず、図4を参照すると、本発明の一実施例による波長多重化光受信モジュール(以下、「光受信モジュール」と略称する)は、平行光レセプタクル部110と、ジグザグフィルター部120と、光パッケージ部130と、前置増幅素子部140と、を含んでなる。   First, referring to FIG. 4, a wavelength-multiplexed optical receiver module (hereinafter abbreviated as “optical receiver module”) according to an embodiment of the present invention includes a parallel optical receptacle unit 110, a zigzag filter unit 120, and an optical package. Part 130 and preamplifier element part 140.

平行光レセプタクル部110は、光線路の終端に位置した光コネクター(図示せず)と光受信モジュールとを連結するための構成であって、円筒状のレセプタクル111と、レセプタクルの内部に位置するフェルール112と、レセプタクル111とフェルール112との間に位置する円筒状のスリーブ113と、フェルール112の後段側のレセプタクル111の内部に位置する屈折率分布型レンズ(GRIN LENS)114と、を含む。この際、前記フェルール112、スリーブ113および屈折率分布型レンズ114は、レセプタクル111の内部において互いに同じ中心軸を有する。   The parallel light receptacle unit 110 is configured to connect an optical connector (not shown) located at the end of the optical line and an optical receiving module, and includes a cylindrical receptacle 111 and a ferrule located inside the receptacle. 112, a cylindrical sleeve 113 located between the receptacle 111 and the ferrule 112, and a gradient index lens (GRIN LENS) 114 located inside the receptacle 111 on the rear stage side of the ferrule 112. At this time, the ferrule 112, the sleeve 113, and the gradient index lens 114 have the same central axis within the receptacle 111.

かかる平行光レセプタクル部110は、フェルールとスリーブのみからなる従来のレセプタクル部と比較して、屈折率分布型レンズ114をさらに挿入したことを特徴としており、この際、フェルール112と屈折率分布型レンズ114は、互いに対向する一面が加工されてもよい。かかる屈折率分布型レンズ114は、フェルール112を介して発散される分散光を平行光に変換する機能をする。かかる屈折率分布型レンズ114は、完璧な平行光を作製するための焦点距離の位置が屈折率分布型レンズ114の長さに応じて決定されるため、所望の規格の屈折率分布型レンズ114を利用すればよいことから、設計および作製の容易性が上昇することができる。また、屈折率分布型レンズ114は、円筒状の構造を有するレセプタクル111の内部に同じ円筒状構造のフェルール112と、別の整列工程なくレセプタクル111に挿着される構造を有することで、機械的な精度だけでも正確な位置に固定させる工程のみが求められ、これにより、別の能動整列がなくても比較的完璧な平行光を作製することができる。   The parallel light receptacle 110 is characterized in that a gradient index lens 114 is further inserted as compared with a conventional receptacle consisting only of a ferrule and a sleeve. At this time, the ferrule 112 and the gradient index lens are provided. One surface of 114 facing each other may be processed. The gradient index lens 114 functions to convert the dispersed light diverged through the ferrule 112 into parallel light. In the gradient index lens 114, the position of the focal length for producing perfect parallel light is determined in accordance with the length of the gradient index lens 114, and therefore the gradient index lens 114 of a desired standard. Therefore, the ease of design and production can be increased. Further, the gradient index lens 114 has a structure in which the ferrule 112 having the same cylindrical structure is inserted into the receptacle 111 having a cylindrical structure and a structure that is inserted into the receptacle 111 without a separate alignment process. Only the process of fixing at an accurate position is required only with a high degree of accuracy, so that a relatively perfect collimated light can be produced without a separate active alignment.

かかる平行光レセプタクル部110は、従来の光受信モジュールにおいて平行光を作製するために構成される非球面凸レンズと、前記非球面凸レンズを正確な焦点距離に位置させるために光検出素子の光電流を測定して、非球面凸レンズの位置を探し固定させる能動整列方式を使用するに伴う組立工程の複雑性の増加と製造歩留まりの低下の問題を解消できる利点を有する。   The parallel light receptacle 110 includes an aspherical convex lens configured to produce parallel light in a conventional optical receiving module, and a photocurrent of the light detecting element to position the aspherical convex lens at an accurate focal length. This has the advantage of eliminating the problems of increased complexity of the assembly process and reduced manufacturing yield associated with the use of an active alignment scheme to measure and locate the aspherical convex lens.

ジグザグフィルター部120は、各波長別に光信号を分離するための逆多重化素子として、平行四辺形状のガラスブロック123と、ガラスブロック123の一側面に所定の間隔で形成され、該当する帯域の光信号を通過させる薄膜フィルター124‐x:124‐1〜124‐4と、を含んでなり得る。この際、薄膜フィルター124‐x:124‐1〜124‐4が形成されたガラスブロック123の他側面には、コーティング部121、122が形成されてもよい。   The zigzag filter unit 120 is a demultiplexing element for separating an optical signal for each wavelength, and is formed on a side surface of the parallelogram glass block 123 and one side of the glass block 123 at a predetermined interval. And a thin film filter 124-x: 124-1 to 124-4 that allows the signal to pass therethrough. At this time, coating portions 121 and 122 may be formed on the other side of the glass block 123 on which the thin film filters 124-x: 124-1 to 124-4 are formed.

コーティング部121、122は、屈折率分布型レンズ114を介して光信号が入射される領域と対応する所定の領域に形成される無反射膜コーティング部121と、無反射膜コーティング部が形成された領域以外の他の領域に形成される反射膜コーティング部122とに分けて形成されてもよい。   The coating parts 121 and 122 are formed with an antireflective film coating part 121 formed in a predetermined area corresponding to an area where an optical signal is incident through the gradient index lens 114 and an antireflective film coating part. It may be formed separately from the reflective film coating portion 122 formed in a region other than the region.

この際、ガラスブロック123の一側に形成される無反射膜コーティング部121は、屈折率分布型レンズ114を介して入射される光信号がガラスブロック123に反射することによる損失を最小化する役割を果たし、反射膜コーティング部122は、反対側に形成された薄膜フィルター124‐1から反射してきた光信号がまた反射し、次の薄膜フィルター124‐2〜124‐4に入射されるようにする役割を果たす。   At this time, the non-reflective film coating part 121 formed on one side of the glass block 123 plays a role of minimizing loss due to the reflection of the optical signal incident through the gradient index lens 114 on the glass block 123. The reflective film coating unit 122 reflects the optical signal reflected from the thin film filter 124-1 formed on the opposite side again and enters the next thin film filter 124-2 to 124-4. Play a role.

かかるジグザグフィルター部120は、まず、所定の屈折率と厚さを有するガラス板の一側面の一部の領域に無反射膜コーティング部121を形成し、同じ面の他の領域には、反射膜コーティング部122を形成してから所定のサイズを有するように切り取った後、切り取ったガラスブロックをその断面が平行四辺形の形状を有するように精密な角度で研磨した後、予め作製された薄膜フィルター124‐x:124‐1〜124‐4をガラスブロック123のコーティング部が形成された一側面と対応する他側面の所定の位置に順に取り付ける工程により作製することができる。   In the zigzag filter unit 120, first, the non-reflective film coating unit 121 is formed in a partial region of one side surface of a glass plate having a predetermined refractive index and thickness, and a reflective film is formed in another region of the same surface. After the coating portion 122 is formed and then cut to have a predetermined size, the cut glass block is polished at a precise angle so that the cross section has a parallelogram shape, and then a thin film filter prepared in advance 124-x: 124-1 to 124-4 can be manufactured by sequentially attaching the glass block 123 to a predetermined position on the other side surface corresponding to the one side surface on which the coating portion of the glass block 123 is formed.

かかる形態の構造および作製過程によるジグザグフィルター部120は、別の反射膜を作製してガラスブロックの側面に取り付ける形態を有する従来の構造に比べて、必要となる部品数量を減少し、組立工程も単純化することで、ジグザグフィルター部の製造コストを削減することができる。   The zigzag filter unit 120 according to the structure and the manufacturing process of this form reduces the number of parts required and the assembly process compared to the conventional structure having a form in which another reflective film is manufactured and attached to the side surface of the glass block. By simplifying, the manufacturing cost of the zigzag filter portion can be reduced.

光パッケージ部130は、アレイレンズ131と、反射鏡132と、アレイ光検出素子133と、金属光学台134と、を含んでなり得る。   The optical package unit 130 may include an array lens 131, a reflecting mirror 132, an array light detection element 133, and a metal optical stand 134.

この際、アレイレンズ131は、発散光を焦点光に変換するレンズを一つの部品に集積化したものであり、アレイ光検出素子133は、光検出素子を一つの部品に集積化したものであって、その役割は従来のものと類似し得る。   At this time, the array lens 131 is a lens in which divergent light is converted into focus light, and is integrated into one component. The array light detection element 133 is a light detection element integrated in one component. Thus, its role can be similar to the conventional one.

反射鏡132は、アレイ光検出素子133の上部側に位置してアレイレンズ131によって発散される焦点光をアレイ光検出素子133に屈折させるための構成であり、一面に反射膜がコーティングされたロッド状の鏡からなり、所定の角度(約45度)に傾くように位置してもよい。   The reflecting mirror 132 is configured to refract the focused light emitted from the array lens 131 located on the upper side of the array light detecting element 133 to the array light detecting element 133, and a rod coated with a reflective film on one surface. The mirror may be formed to be inclined at a predetermined angle (about 45 degrees).

金属光学台134は、ジグザグフィルター部120、アレイレンズ131、反射鏡132およびアレイ光検出素子133が載置され固定される構成要素であり、各構成がそれぞれ載置されて整列および固定されるように、整列溝部135と載置部135aが加工形成され得る。具体的に、金属光学台134の上部側には、ジグザグフィルター部120のガラスブロック123、アレイレンズ131およびアレイ光検出素子133と対応する形状の整列溝が加工形成されてもよい。また、アレイ光検出素子133の上部側に反射鏡132が所定の角度で傾いて載置されるようにするための載置部135aが突出形成されてもよい。   The metal optical stage 134 is a component on which the zigzag filter unit 120, the array lens 131, the reflecting mirror 132, and the array light detection element 133 are mounted and fixed, and each component is mounted and aligned and fixed. Further, the alignment groove portion 135 and the placement portion 135a can be processed and formed. Specifically, an alignment groove having a shape corresponding to the glass block 123, the array lens 131, and the array light detection element 133 of the zigzag filter unit 120 may be formed on the upper side of the metal optical stage 134. Further, a mounting portion 135a for projecting the reflecting mirror 132 at a predetermined angle may be formed on the upper side of the array light detection element 133 so as to protrude.

かかるそれぞれの構成品の整列および載置のための整列溝部135と載置部135aが加工された金属光学台134は、各構成品、特に、アレイレンズ131の場合、従来の能動整列を行う必要なく機械的な精度だけで各構成要素の位置を整列することができ、反射鏡132の場合、角度の調節、載置のための別の構成要素を設ける必要がなくなり、製造工程にかかる時間およびコストを低減して生産効率性が向上することができる。また、金属光学台134の整列溝部135および載置部135aに各構成品が整列および載置されることで、外力による構成品の損傷および整列状態の変形などが防止され、光パッケージ部の機械的耐久性も向上することができる。   The metal optical stage 134 on which the alignment groove 135 and the mounting portion 135a for aligning and placing the respective components are processed needs to perform conventional active alignment in the case of each component, particularly the array lens 131. The position of each component can be aligned with only mechanical accuracy, and in the case of the reflector 132, there is no need to provide another component for adjusting the angle and mounting, and the time required for the manufacturing process can be reduced. Production efficiency can be improved by reducing costs. Further, each component is aligned and placed in the alignment groove portion 135 and the placement portion 135a of the metal optical stand 134, thereby preventing damage to the component and deformation of the alignment state due to external force. Durability can also be improved.

前置増幅素子部140は、光受信モジュールハウジング141と、伝達インピーダンスタイプの前置増幅(TIA)素子が一つの構成に集積化したアレイ前置増幅素子142と、アレイ前置増幅素子142が載置されるアレイ前置増幅素子サブマウント143と、を含んでなり得る。   The preamplifier element unit 140 includes an optical receiver module housing 141, an array preamplifier element 142 in which transfer impedance type preamplifier (TIA) elements are integrated in one configuration, and an array preamplifier element 142. And an array preamplifier submount 143 placed thereon.

図5は図4における光パッケージ部にV溝エッチングされたシリコン半導体が適用された状態を示す断面図である。   FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a state in which a V-groove-etched silicon semiconductor is applied to the optical package portion in FIG.

一方、図5に示されているように、光パッケージ部にアレイレンズ131によって発散される焦点光をアレイ光検出素子133が位置した下方に屈折させるための平板状の反射鏡136の代わりに、シリコンV溝反射鏡136が構成されてもよい。かかるシリコンV溝反射鏡136は、シリコン半導体の上にV溝をエッチングにより形成し、そのエッチングされた傾斜面に反射膜コーティングを施したものであり、シリコンV溝反射鏡136は、通常の平板状の反射鏡132に比べて低いコストで大量生産が可能であるという利点があり、反射鏡136を利用することに比べて、光パッケージ部130の価格を低減する面においてより効率的に作用することができる。   On the other hand, as shown in FIG. 5, instead of the plate-like reflecting mirror 136 for refracting the focus light diverged by the array lens 131 in the optical package part downward where the array light detection element 133 is located, A silicon V-groove reflector 136 may be configured. The silicon V-groove reflector 136 is formed by etching a V-groove on a silicon semiconductor and applying a reflective film coating to the etched inclined surface. The silicon V-groove reflector 136 is a normal flat plate. Compared to using the reflecting mirror 136, the optical package unit 130 operates more efficiently in terms of reducing the price, compared with using the reflecting mirror 136. be able to.

ただし、シリコンV溝反射鏡136を使用して光をアレイ光検出素子133の方に屈折させる場合には、反射角度として45度ではなく、シリコンの湿式エッチングの際に現れる傾斜面の角度である約54.7度となる。かかる場合、アレイ光検出素子133に入射される光が、90度ではなく、約80.3度に入射される特徴があるが、これは、反射鏡の位置による調整が可能であるため、出力光電流値にはあまり影響(または変化)がない。   However, when the silicon V-groove reflecting mirror 136 is used to refract light toward the array light detection element 133, the reflection angle is not 45 degrees, but the angle of the inclined surface that appears during wet etching of silicon. It will be about 54.7 degrees. In such a case, the light incident on the array light detecting element 133 is incident at about 80.3 degrees instead of 90 degrees, but this can be adjusted according to the position of the reflecting mirror. The photocurrent value has little influence (or change).

本発明の一実施例による光受信モジュールを構成する平行光レセプタクル部110、ジグザグフィルター部120、光パッケージ部130および前置増幅素子部140は、それぞれ別のアセンブリーに作製および組み立てが可能であり、これらの組立工程について図6を参照して説明する。   The parallel light receptacle part 110, the zigzag filter part 120, the optical package part 130, and the preamplifier element part 140 constituting the optical receiver module according to the embodiment of the present invention can be manufactured and assembled in separate assemblies, These assembly steps will be described with reference to FIG.

図6は図1における波長分割多重化光受信モジュールの組立工程を説明するための組立説明図である。   FIG. 6 is an assembly explanatory diagram for explaining an assembly process of the wavelength division multiplexing optical receiver module in FIG.

まず、ジグザグフィルター部120を光パッケージ部130の所定の位置に取り付ける組立ステップ‐1の工程が行われる。この際、組立ステップ‐1の工程を行う際、ジグザグフィルター部120とアレイレンズ131との距離は、モジュールの特性に影響を及ぼさないが、ジグザグフィルター部120のズレ具合は、光損失および波長特性に大きな影響を及ぼすことになる。一方、本発明に係る金属光学台134は、整列溝315が形成されているため、整列溝315にジグザグフィルター部120を載置させるだけでもジグザグフィルター部120のズレを最小化した状態で組み立てが行われ得る。   First, the process of the assembly step-1 which attaches the zigzag filter part 120 to the predetermined position of the optical package part 130 is performed. At this time, the distance between the zigzag filter unit 120 and the array lens 131 does not affect the characteristics of the module when the assembly step-1 is performed. However, the deviation of the zigzag filter unit 120 is caused by the optical loss and wavelength characteristics. It will have a big impact on On the other hand, since the metal optical stand 134 according to the present invention has the alignment groove 315, it can be assembled with the displacement of the zigzag filter part 120 minimized even by simply placing the zigzag filter part 120 in the alignment groove 315. Can be done.

組立ステップ‐1によりジグザグフィルター部120が組み立てられた光パッケージ部130を前置増幅素子部140の内部の所定の位置に取り付ける組立ステップ‐2の工程が行われる。この組立工程の精度は、光受信モジュールの光学的特性に影響を及ぼさないため、正確な位置精度が求められない。また、前置増幅素子部140の内部に組み立てられた光パッケージ部130のアレイ光検出素子は、前置増幅素子部140のアレイ前置増幅素子142とはワイヤボンディングにより連結される(図面上省略)。   The process of assembly step-2 is performed in which the optical package unit 130 in which the zigzag filter unit 120 is assembled in the assembly step-1 is attached to a predetermined position inside the preamplifier element 140. Since the accuracy of this assembly process does not affect the optical characteristics of the optical receiving module, accurate positional accuracy is not required. In addition, the array light detection element of the optical package unit 130 assembled inside the preamplifier element unit 140 is connected to the array preamplifier element 142 of the preamplifier element unit 140 by wire bonding (not shown in the drawing). ).

最後に、前記組立ステップ‐2により完成されたジグザグフィルター部120、光パッケージ部130および前置増幅素子部140が組み立てられた組立品に平行光レセプタクル部110を組み立てる組立ステップ‐3の工程が行われる。この組立工程では、平行光レセプタクル部110のレセプタクルを介して光を入力させて、該当するアレイ光検出素子の出力電気信号(光電流)値を読み取り、最大の電気信号値が得られる位置に平行光レセプタクル部110を固定する能動整列方式に組み立てなければならない。この際、少なくとも2箇所以上のアレイ光検出素子の電気信号値が所定基準以上の値に出力されるように能動整列しなければならず、平行光Lの光経路が最も短い光検出素子と最も長い光検出素子(例:124‐1、124‐4)の電気信号値を測定すると共に整列することが効果的であり得る。   Finally, the assembly step-3 is performed in which the parallel light receptacle unit 110 is assembled to the assembly in which the zigzag filter unit 120, the optical package unit 130, and the preamplifier element unit 140 completed in the assembly step-2 are assembled. Is called. In this assembly process, light is input through the receptacle of the parallel light receptacle 110 to read the output electric signal (photocurrent) value of the corresponding array light detection element, and parallel to the position where the maximum electric signal value is obtained. The optical receptacle 110 must be assembled in an active alignment method for fixing. In this case, active alignment must be performed so that the electrical signal values of at least two or more array photodetectors are output to a value equal to or greater than a predetermined reference. It may be advantageous to measure and align the electrical signal values of long photodetection elements (eg, 124-1, 124-4).

以下では、本発明の他の実施例による波長分割多重化光受信モジュールについて説明する。   Hereinafter, a wavelength division multiplexing optical receiver module according to another embodiment of the present invention will be described.

図7は本発明の他の実施例による波長分割多重化光受信モジュールを示す断面図である。図8は図7の光パッケージ部にレンズ集積式光検出素子が適用された状態を示す断面図である。   FIG. 7 is a sectional view showing a wavelength division multiplexing optical receiver module according to another embodiment of the present invention. FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state in which a lens integrated photodetecting element is applied to the optical package portion of FIG.

図7を参照すると、本発明の他の実施例による光受信モジュールは、本発明の一実施例と比較して、光パッケージ部130を構成する部品の一つであるアレイ光検出素子133が金属光学台234の上面に取り付けられた形態ではなく、アレイ光検出素子サブマウント237に垂直に取り付けられている形態を有することを特徴とする。かかる構造によると、アレイ光検出素子233に入射される光の方向を屈折させる必要がないため、一実施例の光パッケージ部に構成された反射鏡132またはシリコンV溝反射鏡136のような構成要素が必要なくなり、よりコンパクトな光受信モジュールの製造が可能となる。   Referring to FIG. 7, in the optical receiver module according to another embodiment of the present invention, the array photodetecting element 133, which is one of the components constituting the optical package unit 130, is made of metal compared to the embodiment of the present invention. It is characterized in that it is not attached to the upper surface of the optical bench 234 but is attached vertically to the array light detection element submount 237. According to such a structure, since it is not necessary to refract the direction of light incident on the array light detection element 233, a configuration such as the reflecting mirror 132 or the silicon V-groove reflecting mirror 136 configured in the optical package unit of one embodiment. This eliminates the need for elements and enables the production of a more compact optical receiver module.

一方、図8に示されている本発明の他の実施例による光受信モジュールのアレイ光検出素子233のレンズ集積式光検出素子238を使用することを特徴とする。レンズ集積式光検出素子238は、光検出素子の受光領域の背面にレンズが一体型にモジュール化したものであり、従来、光検出素子の前面を介して受光領域に光が入力されたとすると、レンズ集積式光検出素子は、レンズを介して入力される光を光検出素子の背面を介して受光領域に光を入力させる構造である。   On the other hand, a lens integrated photodetecting element 238 of the array photodetecting element 233 of the optical receiving module according to another embodiment of the present invention shown in FIG. 8 is used. The lens integrated photodetecting element 238 is a module in which a lens is integrated into the back surface of the light receiving area of the photodetecting element. Conventionally, if light is input to the light receiving area via the front surface of the photodetecting element, The lens integrated photodetecting element has a structure in which light input through a lens is input to a light receiving region through the back surface of the photodetecting element.

このようにレンズ集積式光検出素子238を使用する光パッケージ部230では、ジグザグフィルター部220を通過した平行光Lを焦点光に変換するためのアレイレンズが別に必要ないことから、作製工程を単純化し、作製モジュールのサイズを減少させることができる。   In this way, in the optical package unit 230 using the lens integrated photodetecting element 238, an array lens for converting the parallel light L that has passed through the zigzag filter unit 220 into a focused light is not required, so that the manufacturing process is simplified. And the size of the manufacturing module can be reduced.

以下では、本発明のさらに他の実施例による波長分割多重化光受信モジュールについて説明する。   Hereinafter, a wavelength division multiplexing optical receiver module according to still another embodiment of the present invention will be described.

図9は本発明のさらに他の実施例による波長分割多重化光受信モジュールの平行光レセプタクル部320および光パッケージ部330を示す平面図および断面図である。   FIG. 9 is a plan view and a cross-sectional view showing a parallel light receptacle part 320 and an optical package part 330 of a wavelength division multiplexing optical receiver module according to still another embodiment of the present invention.

図9を参照すると、本発明のさらに他の実施例による光受信モジュールは、上述の一実施例による光受信モジュールと比較して、光パッケージ部において差があるため、光パッケージ部330についてのみ説明する。   Referring to FIG. 9, an optical receiver module according to another embodiment of the present invention is different from the optical receiver module according to the above-described embodiment in the optical package unit. Therefore, only the optical package unit 330 will be described. To do.

本発明のさらに他の実施例による光パッケージ部330は、そのジグザグフィルター部320と反射鏡333との間に位置したアレイレンズ331が反射鏡332とアレイ光検出素子333との間に配置されるようにその位置を移動させたことを特徴とする。この際、アレイレンズ331は、アレイ光検出素子333と垂直方向の同一線上に平行に配置される。   In an optical package unit 330 according to still another embodiment of the present invention, an array lens 331 positioned between the zigzag filter unit 320 and the reflecting mirror 333 is disposed between the reflecting mirror 332 and the array light detecting element 333. The position is moved as described above. At this time, the array lens 331 is arranged in parallel with the array light detection element 333 on the same vertical line.

なお、アレイレンズ331とアレイ光検出素子333との距離は、アレイレンズ331の焦点距離にアレイ光検出素子333が位置するように金属光学台334の両縁部の所定の位置に段差を設けてアレイレンズ331を整列させる。これは、一実施例で説明した載置部と対応することができる。   The distance between the array lens 331 and the array light detection element 333 is such that a step is provided at a predetermined position on both edges of the metal optical table 334 so that the array light detection element 333 is positioned at the focal length of the array lens 331. The array lens 331 is aligned. This can correspond to the mounting portion described in the embodiment.

上述のような本発明の様々な実施例による光受信モジュールは、光受信モジュールの製造に伴う能動整列工程を最小化することができ、光受信モジュールにおける多数の個別のアセンブリー型の構成が個別に製造および組み立てられて形成されることで、全般的なモジュールの生産性(製造歩留まり)を向上させることができる。   The optical receiver module according to the various embodiments of the present invention as described above can minimize the active alignment process associated with the manufacture of the optical receiver module, and the multiple individual assembly-type configurations in the optical receiver module can be individually used. By being manufactured and assembled, overall module productivity (manufacturing yield) can be improved.

また、モジュールの小型化が可能で、構成要素を減少させることで製造工程および製造コストを低減することができ、光受信モジュールを重要部品として使用する光トランシーバの価格も減少させることができ、最終的に光受信モジュール市場の活性化と波長多重化技術を用いて光通信のデータ伝送容量を増加させることに大きく寄与することができる。   In addition, the module can be miniaturized, and the manufacturing process and manufacturing cost can be reduced by reducing the number of components, and the price of the optical transceiver that uses the optical receiving module as an important part can also be reduced. In particular, the activation of the optical receiver module market and the use of wavelength multiplexing technology can greatly contribute to increasing the data transmission capacity of optical communication.

上述の本発明は、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者にとって本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で様々な置換、変形および変更が可能であり、上述の実施例および添付の図面により限定されず、様々な変形が行われ得るように各実施例の全部または一部が選択的に組み合わされて構成されてもよい。   The above-described present invention can be variously replaced, modified and changed by those who have ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs without departing from the technical idea of the present invention. The present invention is not limited to the drawings, and all or a part of the embodiments may be selectively combined so that various modifications can be made.

Claims (11)

波長分割多重化(WDM;Wavelength Division Multiplexing)方式の光通信のための波長多重化光受信モジュールであって、
光線路の終端に形成された光ファイバーコネクターと結合するレセプタクルと、前記レセプタクルの内部空間に位置して入力光を平行光に変換する屈折率分布型レンズ(GRIN LENS)と、前記屈折率分布型レンズの前方側の前記レセプタクルの内部空間に位置するフェルールと、前記フェルールとレセプタクルとの間に配置される円筒状のスリーブと、を含み、前記フェルールと前記屈折率分布型レンズは、互いに対向する中心軸に対して垂直ではない面が加工され、前記屈折率分布型レンズは、前記フェルールを介して発散される分散光を平行光に変換する平行光レセプタクル部と、
平行四辺形状のガラスブロックと、前記ガラスブロックの一側面に形成されるコーティング部と、前記コーティング部が形成されたガラスブロックの他側面に形成される薄膜フィルターとが形成され、各波長別に光信号を分離するためのジグザグフィルター部と、
前記ジグザグフィルター部から分離されて発散される平行光状の光信号を焦点光状の光信号に変換するために、前記ジグザグフィルター部の後段に配置されるアレイレンズと、
前記アレイレンズの後段に、前記平行光状の光信号と水平に配置され、前記アレイレンズから発散される各波長別の光信号による電気信号を検出するアレイ光検出素子と、前記アレイレンズから発散される焦点光の方向を前記アレイ光検出素子の方に変換する反射鏡と、上部面に前記ジグザグフィルター部、前記アレイレンズ、反射鏡、アレイ光検出素子が載置されて整列されるようにする金属光学台とからなる光パッケージ部と、
前記光検出素子から検出された電気信号を増幅して出力させる伝達インピーダンスタイプのアレイ前置増幅素子と、前記アレイ前置増幅素子が載置されるアレイ前置増幅素子サブマウントと、モジュールハウジングとからなる前置増幅素子部と、を含む、波長多重化光受信モジュール。
A wavelength division multiplexing optical receiver module for optical communication of wavelength division multiplexing (WDM) system,
A receptacle coupled to an optical fiber connector formed at the end of an optical line, a gradient index lens (GRIN LENS) positioned in the internal space of the receptacle and converting input light into parallel light, and the gradient index lens A ferrule located in the interior space of the receptacle on the front side of the receptacle, and a cylindrical sleeve disposed between the ferrule and the receptacle, wherein the ferrule and the gradient index lens are opposed to each other. A surface that is not perpendicular to the axis is processed, and the gradient index lens includes a parallel light receptacle that converts the dispersed light emitted through the ferrule into parallel light, and
A parallelogram shaped glass block, a coating part formed on one side of the glass block, and a thin film filter formed on the other side of the glass block on which the coating part is formed are formed. Zigzag filter section for separating
In order to convert a parallel light signal separated and diverged from the zigzag filter unit into a focused light signal, an array lens disposed at a subsequent stage of the zigzag filter unit;
An array light detection element that is disposed horizontally behind the parallel light signal and detects an electrical signal of each wavelength-divided light signal emitted from the array lens, and diverges from the array lens. A reflecting mirror that converts the direction of the focused light beam toward the array light detection element, and the zigzag filter unit, the array lens, the reflection mirror, and the array light detection element are placed and aligned on the upper surface. An optical package unit comprising a metal optical bench,
A transfer impedance type array preamplifier for amplifying and outputting an electrical signal detected from the photodetection element; an array preamplifier submount on which the array preamplifier is mounted; and a module housing; And a pre-amplifying element unit comprising: a wavelength-multiplexed optical receiver module.
波長分割多重化(WDM;Wavelength Division Multiplexing)方式の光通信のための波長多重化光受信モジュールであって、
光線路の終端に形成された光ファイバーコネクターと結合するレセプタクルと、前記レセプタクルの内部空間に位置して入力光を平行光に変換する屈折率分布型レンズ(GRIN LENS)と、前記屈折率分布型レンズの前方側の前記レセプタクルの内部空間に位置するフェルールと、前記フェルールとレセプタクルとの間に配置される円筒状のスリーブと、を含み、前記フェルールと前記屈折率分布型レンズは、互いに対向する中心軸に対して垂直ではない面が加工され、前記屈折率分布型レンズは、前記フェルールを介して発散される分散光を平行光に変換する平行光レセプタクル部と、
平行四辺形状のガラスブロックと、前記ガラスブロックの一側面に形成されるコーティング部と、前記コーティング部が形成されたガラスブロックの他側面に形成される薄膜フィルターとが形成され、各波長別に光信号を分離するためのジグザグフィルター部と、
前記ジグザグフィルター部から分離されて発散される平行光状の光信号を焦点光状の光信号に変換するために、前記ジグザグフィルター部の後段に配置されるアレイレンズと、
前記アレイレンズの後段に前記平行光状の光信号に対して垂直に配置され、前記アレイレンズから発散される焦点光による電気信号を検出するアレイ光検出素子と、前記アレイ光検出素子が垂直に取り付けられるアレイ光検出素子サブマウントと、上部面に前記ジグザグフィルター部、前記アレイレンズ、アレイ光検出素子、アレイ光検出素子サブマウントが載置されて整列されるようにする金属光学台とからなる光パッケージ部と、
前記光検出素子から検出された電気信号を増幅して出力させる伝達インピーダンスタイプのアレイ前置増幅素子と、前記アレイ前置増幅素子が載置されるアレイ前置増幅素子サブマウントと、モジュールハウジングとからなる前置増幅素子部と、を含む、波長多重化光受信モジュール。
A wavelength division multiplexing optical receiver module for optical communication of wavelength division multiplexing (WDM) system,
A receptacle coupled to an optical fiber connector formed at the end of an optical line, a gradient index lens (GRIN LENS) positioned in the internal space of the receptacle and converting input light into parallel light, and the gradient index lens A ferrule located in the interior space of the receptacle on the front side of the receptacle, and a cylindrical sleeve disposed between the ferrule and the receptacle, wherein the ferrule and the gradient index lens are opposed to each other. A surface that is not perpendicular to the axis is processed, and the gradient index lens includes a parallel light receptacle that converts the dispersed light emitted through the ferrule into parallel light, and
A parallelogram shaped glass block, a coating part formed on one side of the glass block, and a thin film filter formed on the other side of the glass block on which the coating part is formed are formed. Zigzag filter section for separating
In order to convert a parallel light signal separated and diverged from the zigzag filter unit into a focused light signal, an array lens disposed at a subsequent stage of the zigzag filter unit;
An array light detection element that is arranged perpendicularly to the parallel light signal behind the array lens and detects an electrical signal generated by the focus light emitted from the array lens, and the array light detection element is perpendicular to the array lens. An array photodetection element submount to be attached, and a zigzag filter section, the array lens, the array photodetection element, and a metal optical stand for mounting and aligning the array photodetection element submount on the upper surface An optical package part;
A transfer impedance type array preamplifier for amplifying and outputting an electrical signal detected from the photodetection element; an array preamplifier submount on which the array preamplifier is mounted; and a module housing; And a pre-amplifying element unit comprising: a wavelength-multiplexed optical receiver module.
波長分割多重化(WDM;Wavelength Division Multiplexing)方式の光通信のための波長多重化光受信モジュールであって、
光線路の終端に形成された光ファイバーコネクターと結合するレセプタクルと、前記レセプタクルの内部空間に位置して入力光を平行光に変換する屈折率分布型レンズ(GRIN LENS)と、前記屈折率分布型レンズの前方側の前記レセプタクルの内部空間に位置するフェルールと、前記フェルールとレセプタクルとの間に配置される円筒状のスリーブと、を含み、前記フェルールと前記屈折率分布型レンズは、互いに対向する中心軸に対して垂直ではない面が加工され、前記屈折率分布型レンズは、前記フェルールを介して発散される分散光を平行光に変換する平行光レセプタクル部と、
平行四辺形状のガラスブロックと、前記ガラスブロックの一側面に形成されるコーティング部と、前記コーティング部が形成されたガラスブロックの他側面に形成される薄膜フィルターとが形成され、各波長別に光信号を分離するためのジグザグフィルター部と、
前記ジグザグフィルター部から分離されて発散される平行光状の光信号を下方に垂直に屈折させる反射鏡と、前記反射鏡の下側に前記反射鏡と平行に配置され、前記反射鏡により反射された平行光状の光信号を焦点光状の光信号に変換するアレイレンズと、前記アレイレンズの下側に前記アレイレンズと平行に配置され、前記アレイレンズから発散される焦点光状の光信号による電気信号を検出するアレイ光検出素子と、上部面に前記ジグザグフィルター部が載置されて整列され、前記反射鏡、前記アレイレンズ、前記アレイ光検出素子が所定の間隔をおいて互いに平行に載置されて整列されるようにする金属光学台とからなる光パッケージ部と、
前記光検出素子から検出された電気信号を増幅して出力させる伝達インピーダンスタイプのアレイ前置増幅素子と、前記アレイ前置増幅素子が載置されるアレイ前置増幅素子サブマウントと、モジュールハウジングとからなる前置増幅素子部と、を含む、波長多重化光受信モジュール。
A wavelength division multiplexing optical receiver module for optical communication of wavelength division multiplexing (WDM) system,
A receptacle coupled to an optical fiber connector formed at the end of an optical line, a gradient index lens (GRIN LENS) positioned in the internal space of the receptacle and converting input light into parallel light, and the gradient index lens A ferrule located in the interior space of the receptacle on the front side of the receptacle, and a cylindrical sleeve disposed between the ferrule and the receptacle, wherein the ferrule and the gradient index lens are opposed to each other. A surface that is not perpendicular to the axis is processed, and the gradient index lens includes a parallel light receptacle that converts the dispersed light emitted through the ferrule into parallel light, and
A parallelogram shaped glass block, a coating part formed on one side of the glass block, and a thin film filter formed on the other side of the glass block on which the coating part is formed are formed. Zigzag filter section for separating
A reflecting mirror that refracts the parallel optical signal separated and diverged from the zigzag filter unit vertically, and is disposed below the reflecting mirror in parallel with the reflecting mirror and reflected by the reflecting mirror. An array lens that converts the parallel light signal into a focused light signal, and a focused light signal that is disposed below the array lens in parallel with the array lens and diverges from the array lens. The zigzag filter unit is placed on the upper surface and aligned with the array photodetecting element for detecting the electrical signal by the reflector, and the reflecting mirror, the array lens, and the array photodetecting element are parallel to each other at a predetermined interval. An optical package unit composed of a metal optical stand to be placed and aligned;
A transfer impedance type array preamplifier for amplifying and outputting an electrical signal detected from the photodetection element; an array preamplifier submount on which the array preamplifier is mounted; and a module housing; And a pre-amplifying element unit comprising: a wavelength-multiplexed optical receiver module.
前記平行光レセプタクル部は、
記レセプタクルの内部空間、屈折率分布型レンズ、フェルールおよびスリーブは、いずれも同じ中心軸を有するように位置する、請求項1から3のいずれか1項に記載の波長多重化光受信モジュール。
The parallel light receptacle is
The internal space of the previous SL receptacle, gradient index lenses, ferrule and sleeve are both positioned so as to have the same center axis, the wavelength multiplexing optical receiver module according to any one of claims 1 to 3.
前記コーティング部は、前記屈折率分布型レンズの後段部に位置する前記ガラスブロックの一側面に形成されるにあたり、前記屈折率分布型レンズから光が入力される所定の領域に形成される無反射膜コーティング部と、前記無反射膜コーティング部が形成された領域以外の他の領域に形成される反射膜コーティング部とに区分して形成される、請求項1から3のいずれか1項に記載の波長多重化光受信モジュール。   When the coating portion is formed on one side surface of the glass block positioned at the rear stage portion of the gradient index lens, the coating portion is formed in a predetermined region where light is input from the gradient index lens. 4. The method according to claim 1, wherein the film coating portion is formed separately from a film coating portion and a reflection film coating portion formed in a region other than the region where the non-reflection film coating portion is formed. 5. Wavelength multiplexed optical receiver module. 前記反射鏡は、一面に反射膜がコーティングされた平面状の反射鏡またはシリコン半導体の上にV溝をエッチングにより形成し、そのエッチングされた傾斜面に反射膜コーティングを施したシリコンV溝反射鏡のいずれか一つに形成される、請求項1に記載の波長多重化光受信モジュール。   The reflecting mirror is a planar reflecting mirror whose one surface is coated with a reflecting film or a silicon V-groove reflecting mirror in which a V-groove is formed on a silicon semiconductor by etching, and the etched inclined surface is coated with a reflecting film. The wavelength multiplexed optical receiver module according to claim 1, wherein the wavelength multiplexed optical receiver module is formed in any one of the following. 前記アレイ光検出素子は、平行光状の光信号を焦点光状の光信号に転換するレンズが光検出素子に一体に形成されてなるレンズ集積式光検出素子に形成される、請求項2に記載の波長多重化光受信モジュール。   The array photodetecting element is formed in a lens-integrated photodetecting element in which a lens for converting a parallel light-like optical signal into a focused light-like optical signal is formed integrally with the photodetecting element. The wavelength-multiplexed optical receiver module described. 前記金属光学台には、前記ジグザグフィルター部、前記アレイレンズ、アレイ光検出素子、反射鏡がそれぞれ部分的に挿入されて整列されるようにするための整列溝部、または突出傾斜面や多層の段差からなる載置部が選択的にまたは組み合わされて形成される、請求項1から3のいずれか1項に記載の波長多重化光受信モジュール。   In the metal optical stage, the zigzag filter portion, the array lens, the array light detecting element, the reflecting mirror are respectively inserted into the alignment groove portion so as to be aligned, or a projecting inclined surface or a multi-layer step. The wavelength division multiplexing optical receiver module according to any one of claims 1 to 3, wherein the mounting portion is formed selectively or in combination. 前記平行光レセプタクル部、前記ジグザグフィルター部、前記光パッケージ部および前記前置増幅素子部は、それぞれ別に作製され、これらを互いに組み立てることで形成される、請求項1から3のいずれか1項に記載の波長多重化光受信モジュール。   The parallel light receptacle part, the zigzag filter part, the optical package part, and the preamplifier element part are manufactured separately, and are formed by assembling them together. The wavelength-multiplexed optical receiver module described. 前記平行光レセプタクル部は、前記前置増幅素子部のモジュールハウジングの一面の中心から離脱した外側に偏って組み立て(形成)られる、請求項9に記載の波長多重化光受信モジュール。   The wavelength-multiplexed optical receiver module according to claim 9, wherein the parallel light receptacle part is assembled (formed) so as to be biased to the outside separated from the center of one surface of the module housing of the preamplifier element part. 前記平行光レセプタクル部が、前記前置増幅素子部のモジュールハウジングの一面に組み立てられる際に、平行光レセプタクル部を介して入力される光によるアレイ光検出素子の出力電気信号値を読み取り、最大の電気信号値が得られる位置に平行光レセプタクル部を固定する能動整列方式により組み立てられる、請求項10に記載の波長多重化光受信モジュール。   When the parallel light receptacle part is assembled on one surface of the module housing of the preamplifier element part, the output electric signal value of the array light detection element by the light input through the parallel light receptacle part is read, and the maximum The wavelength-multiplexed optical receiver module according to claim 10, wherein the wavelength-multiplexed optical receiver module is assembled by an active alignment method in which a parallel light receptacle is fixed at a position where an electric signal value is obtained.
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