JP6349135B2 - ダイヤフラム真空ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、ダイヤフラム真空ポンプに関し、詳しくは、一対のポンプ室を有するダイヤフラム真空ポンプユニットを複数連結したダイヤフラム真空ポンプに関する。

ダイヤフラム真空ポンプとして、回転軸に設けたクランク機構によって往復動するコネクティングロッドに取り付けられたダイヤフラムにより拡縮するポンプ室と、該ポンプ室に連通する吸気通路及び排気通路と、前記ポンプ室から前記吸気通路への流体の逆流を規制する吸気側逆止弁と、前記排気通路から前記ポンプ室への流体の逆流を規制する排気側逆止弁とを備えたものがある（例えば、特許文献１参照。）。また、一つのモータの両側の回転軸に二つのクランク機構を設け、各クランク機構によって往復動するコネクティングロッドの両端にダイヤフラムをそれぞれ取り付け、各ダイヤフラムにより拡縮するポンプ室を合計４室設けるとともに、各ポンプ室を直列に接続したものがあった（例えば、特許文献２参照。）。

特開平４−２２４２８６号公報 特開平６−１８５４６６号公報（図２，図３）

しかし、上述の特許文献２に記載されたものでは、構造が複雑であり、ポンプ室を接続するチューブがケーシング内に設けられているため、用途が到達真空度の向上のみに限られており、また、モータの両側にポンプ室を設けているため、設置面積が大きいという問題があった。

そこで本発明は、設置面積を小さくすることができ、構造の簡略化も図れるとともに、到達真空度の向上だけでなく、排気速度の向上も図れるダイヤフラム真空ポンプを提供することを目的としている。

上記目的を達成するため、本発明のダイヤフラム真空ポンプは、両端部がケーシングに回転可能に支持されたカムシャフトと、該カムシャフトの回転によって作動するクランク機構と、該クランク機構によって前記カムシャフトの軸線に直行する水平方向に往復動するコネクティング部材と、該コネクティング部材の両端部にそれぞれ取り付けられたダイヤフラムと、該ダイヤフラムの作動により容積が拡縮する一対のポンプ室と、各ポンプ室に連通する吸気通路及び排気通路と、前記ポンプ室から前記吸気通路への流体の逆流を規制する吸気側逆止弁と、前記排気通路から前記ポンプ室への流体の逆流を規制する排気側逆止弁とを備えたダイヤフラム真空ポンプユニットを形成し、該ダイヤフラム真空ポンプユニットを上下方向に複数段積み重ね、上下に隣接する前記ダイヤフラム真空ポンプユニットの前記カムシャフト同士を歯付きベルトで連結すると共に、一つのダイヤフラム真空ポンプユニットの前記カムシャフトをモータに接続したことを特徴としている。

また、一方のポンプ室の前記排気通路と他方のポンプ室の前記吸気通路とを、コ字状に形成した透明で耐薬品性を備える樹脂製のパイプで形成され、両端部にシール部材を介して前記吸気通路又は前記排気通路に着脱可能に接続される連結部がそれぞれ一体に設けられた連結管で接続すると好適である。

本発明のダイヤフラム真空ポンプによれば、ダイヤフラム真空ポンプユニットは、一対のポンプ室を水平方向に並設し、モータにより回転する回転軸と一体に回転する１つのクランク機構で前記一対のダイヤフラムを作動させることから、ダイヤフラム真空ポンプユニットを小型化することができる。また、ダイヤフラム真空ポンプは、ダイヤフラム真空ポンプユニットを上下方向に重ねて連結して形成されることにより、排気量及び到達真空度の向上を図ることができると共に、装置全体を小型化し、設置面積を小さくすることができる。さらに、上下に隣接するダイヤフラム真空ポンプユニットの前記回転軸を、歯付きベルトで連結することにより、１台のモータで複数のポンプ室を良好に作動させることができる。

また、一方のポンプ室の排気通路と他方のポンプ室の吸気通路を繋ぐ連結管を、コ字状に形成した透明で耐薬品性の高いフッ素樹脂等の樹脂製のパイプで形成したことにより、連結管を排気通路と吸気通路とに簡便に接続できるとともに、シール部材を備えた連結部により高いシール性を確保することができる。さらに、運転時におけるポンプ室内部の結露や汚れの状態を把握できることから、メンテナンスのタイミングを確認することができる。

さらに、連結管は、複数の吸気通路と複数の排気通路に対して任意に接続可能であることにより、連結管の接続を適宜組み替えることにより、使用目的に合わせて排気量と真空度を変更することができる。

本発明の第１形態例を示すダイヤフラム真空ポンプユニットの断面平面図である。 同じく連結管の要部説明図である。 同じくダイヤフラム真空ポンプユニットの作動状態を示す説明図である。 同じくダイヤフラム真空ポンプの正面図である。 図４のＡ−Ａ矢視図である。 本発明の第１形態例を示すダイヤフラム真空ポンプの作動状態の説明図である。 本発明の第２形態例を示すダイヤフラム真空ポンプの作動状態の説明図である。 本発明の第３形態例を示すダイヤフラム真空ポンプの作動状態の説明図である。

図１乃至図６は、本発明のダイヤフラム真空ポンプの第１形態例を示す図で、本形態例のダイヤフラム真空ポンプ１は、ダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａ，１１ｂを上下に２段積み重ねて連結することにより形成されている。

図１乃至図３に示されるように、本形態例のダイヤフラム真空ポンプ１における第１のダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａは、モータ１２と、該モータ１２から水平方向に突出した出力軸１２ｂに連結されて回転するカムシャフト１２ａと、該カムシャフト１２ａに設けられた偏心カム１３ａにより作動するクランク機構１３と、該クランク機構１３に取り付けられ、カムシャフト１２ａに直交する水平方向に往復動するコネクティング部材１４と、該コネクティング部材１４の両端部にそれぞれ取り付けられたダイヤフラム１５，１６と、該ダイヤフラム１５，１６の進退によって容積が拡縮する一対のポンプ室１７，１８と、各ポンプ室１７，１８に連通する吸気通路１７ａ，１８ａ及び排気通路１７ｂ，１８ｂと、ポンプ室１７，１８から吸気通路１７ａ，１８ａへの空気の逆流を規制する吸気側逆止弁１７ｃ，１８ｃと、排気通路１７ｂ，１８ｂからポンプ室１７，１８への空気の逆流を規制する排気側逆止弁１７ｄ，１８ｄとを備えている。

クランク機構１３は、カムシャフト１２ａに直交して取り付けられるとともに、該カムシャフト１２ａと一体となって回転する偏心カム１３ａと、該偏心カム１３ａの外周に第１ベアリング１３ｂを介して回動可能に連結される従動部材１３ｃと、該従動部材１３ｃに、第２ベアリング１３ｄと連結ピン１３ｅとを介して連結される前記コネクティング部材１４とを備えている。偏心カム１３ａは、カムシャフト１２ａの外周に取り付けられた円形の部材で、偏心カム１３ａの中心軸とカムシャフト１２ａの中心軸とは異なる位置に配置される。従動部材１３ｃは、一端側に形成された大径部１３ｆと、他端側に形成された小径部１３ｇとを有する略ダルマ形状に形成され、大径部１３ｆに形成された取付孔に取り付けられた前記第１ベアリング１３ｂを介して偏心カム１３ａが連結され、小径部１３ｇに形成された取付孔に取り付けられた第２ベアリング１３ｄを介して連結ピン１３ｅが取り付けられ、該連結ピン１３ｅに前記コネクティング部材１４が連結されている。

コネクティング部材１４は、従動部材１３ｃの一側面と両端面とを覆う枠部材１４ａと、従動部材１３ｃの他側面を覆う板部材１４ｂとを、従動部材１３ｃを挟んで接合したもので、一端側には、カムシャフト１２ａを挿通すると共にコネクティング部材１４の水平方向の移動を許容する長孔からなる挿通孔１４ｃが形成され、他端側には、従動部材１３ｃに連結される前記連結ピン１３ｅを嵌合する連結ピン嵌合孔１４ｄが形成されている。さらに、枠部材１４ａの両端部には、ダイヤフラム１５，１６を装着するための装着部１４ｅ，１４ｅが設けられている。また、コネクティング部材１４の水平方向の長さは、一方のダイヤフラム１５が上死点のときに他方のダイヤフラム１６が下死点となり、他方のダイヤフラム１６が上死点のときに一方のダイヤフラム１５が下死点となる長さに形成されている。

このように形成されたクランク機構１３は、樹脂製の枠体で形成されたケーシング２１内に収容される。ケーシング２１のカムシャフト１２ａに直交する一対の側面２１ａ，２１ａには、カムシャフト１２ａを回転可能に保持するベアリング２２ａをそれぞれ備えた軸受ハウジング２２，２２がそれぞれ設けられ、モータ１２によって駆動されるカムシャフト１２ａの両端部が軸受ハウジング２２，２２に支持されて配置される。ケーシング２１内に配置されたカムシャフト１２ａの略中央部には、前記クランク機構１３が配置され、ケーシング２１のカムシャフト１２ａに平行な一対の側面２１ｂ，２１ｂには、ダイヤフラム取付部２１ｃ，２１ｃが開口してそれぞれ設けられている。各ダイヤフラム取付部２１ｃには、側面２１ｂから外方に突出するリング状の外周突部２１ｄと、外周突部２１ｄの内周側に形成され、前記ダイヤフラム１５の周縁を取り付ける周溝２１ｅとがそれぞれ形成されている。

また、クランク機構１３よりもモータ１２側のカムシャフト１２ａには、歯付きベルト（コッグドベルト）２を装着するためのスプロケット２３が取り付けられている。さらに、クランク機構１３を挟んでスプロケット２３と反対側のカムシャフト１２ａには、クランク機構１３を安定して作動させるためのバランサー２４が取り付けられている。

ダイヤフラム１５，１６は、コネクティング部材１４に取り付けられる厚肉の中心部から外周側に向けて薄肉になる円盤状に形成され、外周側の薄肉部１５ａ，１６ａの外周縁に、前記周溝２１ｅに係合する係合突部１５ｂ，１６ｂがそれぞれ形成されている。このように形成されたダイヤフラム１５，１６は、中央部がコネクティング部材１４に取り付けられ、係合突部１５ｂ，１６ｂを前記周溝２１ｅ，２１ｅに嵌着し、外側からカバー部材２５を装着することにより、係合突部１５ｂ，１６ｂが周溝２１ｅ，２１ｅに気密に取り付けられ、ダイヤフラム１５，１６の外面とカバー部材２５の内面との間に前記ポンプ室１７，１８が形成される。

各カバー部材２５は、ケーシング２１の外周突部２１ｄにシール材１９を介して気密に取り付けられるフランジ部２５ａと、周溝２１ｅ，２１ｅに嵌着したダイヤフラム１５，１６の係合突部１５ｂ，１６ｂにそれぞれ当接して係合突部１５ｂ，１６ｂを周溝２１ｅ，２１ｅ内に押圧する押圧部２５ｂと、ダイヤフラム１５，１６の外面との間にポンプ室１７，１８をそれぞれ形成する球面状凹部２５ｃと、吸気通路１７ａ，１８ａをそれぞれ取り付ける吸気通路取付ボス部２５ｄと、排気通路１７ｂ，１８ｂをそれぞれ取り付ける排気通路取付ボス部２５ｅと、吸気通路取付ボス部２５ｄとポンプ室１７，１８とをそれぞれ連通させる吸気孔２５ｆと、排気通路取付ボス部２５ｅとポンプ室１７，１８とをそれぞれ連通させる排気孔２５ｇとを備えている。

吸気通路１７ａ，１８ａは、基端部に、吸気通路取付ボス部２５ｄに嵌入される大径取付部を備えたＬ字管で形成され、大径取付部の内端部中央には、ポンプ室１７，１８から吸気通路１７ａ，１８ａへの空気の逆流をそれぞれ規制する前記吸気側逆止弁１７ｃ，１８ｃがシール材を介してそれぞれ一体に取り付けられている。吸気通路１７ａ，１８ａは、大径取付部を吸気通路取付ボス部２５ｄ嵌入し、抑え板を介してカバー部材２５に気密に取り付けられ、吸気通路１７ａ，１８ａは、吸気側逆止弁１７ｃ，１８ｃと吸気孔２５ｆ，２５ｆとを介してポンプ室１７，１８に連通している。排気通路１７ｂ，１８ｂは、吸気通路１７ａ，１８ａと同一のＬ字管で形成されており、基端部には、排気通路取付ボス部２５ｅに嵌入される大径取付部を備えている。この大径取付部の内端部中央には、排気通路１７ｂ，１８ｂからポンプ室１７，１８への空気の逆流を規制する前記排気側逆止弁１７ｄ，１８ｄがシール材を介してそれぞれ一体に取り付けられている。排気通路１７ｂ，１８ｂは、大径取付部を排気通路取付ボス部２５ｅに嵌入し、抑え板を介してカバー部材２５に気密に取り付けられ、排気通路１７ｂ，１８ｂは、排気側逆止弁１７ｄ，１８ｄと排気孔２５ｇ，２５ｇとを介してポンプ室１７，１８に連通している。また、吸気通路１７ａ，１８ａと排気通路１７ｂ，１８ｂとは、同一のＬ字管で形成されている。

一方のポンプ室１７は、モータ側に吸気通路１７ａが、反モータ側に排気通路１７ｂがそれぞれ設けられ、他方のポンプ室１８は、モータ側に排気通路１８ｂが、反モータ側に吸気通路１８ａがそれぞれ設けられ、通常は、一方のポンプ室１７の排気通路１７ｂと他方のポンプ室１８の吸気通路１８ａとを連結管３１によって連結した状態で用いられる。

連結管３１は、吸気通路又は排気通路を構成するＬ字管の外径に対応した内径を有するコ字状のパイプで形成され、両端部には、前記Ｌ字管を接続するための連結部３１ａが取り付けられている。連結管３１は、透明で耐薬品性を備える樹脂、例えばフッ素樹脂等で形成されている。連結部３１ａは、一端側開口内に連結管３１の先端部が挿入されて気密に固着され、他端側開口部３１ｂには、前記Ｌ字管の先端部を着脱可能な状態で気密に嵌入させるためのＯリング３１ｃが装着されている。

上述のダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａを単独で用いて、減圧対象物からガスを吸引して排気する操作を行う際の作動図を図１乃至図３に基づいて説明する。なお図３は、説明の便宜上、ポンプ室を平面断面図、クランク機構を側面図で説明する。ダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａは、一方のポンプ室１７の排気通路１７ｂと、他方のポンプ室１８の吸気通路１８ａとを連結管３１によって連結し、減圧対象物を一方のポンプ室１７の吸気通路１７ａに連結した状態でモータ１２を作動させる。まず、図１及び図３（Ａ）に示されるように、一方のダイヤフラム１５が下死点、他方のダイヤフラム１６が上死点となる状態から、図３（Ｂ）に示されるように、カムシャフト１２ａと共に偏心カム１３ａが時計回りに９０度回動すると、これに伴って従動部材１３ｃが従動し、コネクティング部材１４が一方のポンプ室１７側に水平方向に移動することにより、一方のダイヤフラム１５が一方のポンプ室１７の容積を縮小させて排気行程になると共に、他方のダイヤフラム１６が他方のポンプ室１８の容積を拡大させて吸気行程になる。続いて、図３（Ｃ）に示されるように、偏心カム１３ａが時計回りに１８０度回動すると、一方のダイヤフラム１５が上死点に至ると共に、他方のダイヤフラム１６が下死点に至る。この図３（Ａ）の状態から図３（Ｃ）の状態に至る間、すなわち、一方のダイヤフラム１５が下死点から上死点に至り、他方のダイヤフラム１６が上死点から下死点に至る間は、排気行程中の一方のポンプ室１７内のガスが排気側逆止弁１７ｄから排気され、排気通路１７ｂ、連結管３１、吸気通路１８ａ、吸気側逆止弁１８ｃを通って吸気行程中の他方のポンプ室１８に吸入される。このとき、一方のポンプ室１７では、吸気側逆止弁１７ｃにより、ポンプ室１７から吸気通路１７ａへのガスの排出が抑制され、他方のポンプ室１８では、排気側逆止弁１８ｄにより、排気通路１８ｂからポンプ室１８内へのガスの吸入が抑制される。

さらに、図３（Ｄ）に示されるように、偏心カム１３ａが時計回りに２７０度回動すると、コネクティング部材１４が他方のポンプ室１８側に水平方向に移動することにより、他方のダイヤフラム１６がポンプ室１８の容積を縮小させて排気行程になるとともに、一方のダイヤフラム１５がポンプ室１７の容積を拡大させて吸気行程になる。次いで、偏心カム１３ａが時計回りに３６０度回動すると、図３（Ａ）に示されるように、一方のダイヤフラム１５が下死点に至ると共に、他方のダイヤフラム１６が上死点に至る。この図３（Ｃ）の状態から図３（Ａ）の状態に至る間、すなわち、一方のダイヤフラム１５が上死点から下死点に至り、他方のダイヤフラム１６が下死点から上死点に至る間は、減圧対象物からのガスが吸気通路１７ａから吸気側逆止弁１７ｃを介して吸気行程中の一方のポンプ室１７内に吸引され、排気行程中の他方のポンプ室１８内のガスが排気側逆止弁１８ｄから排気通路１８ｂに排気される。このとき、一方のポンプ室１７では、排気側逆止弁１７ｄにより、排気通路１７ｂからポンプ室１７へのガスの吸入が抑制され、他方のポンプ室１８では、吸気側逆止弁１８ｃにより、ポンプ室１８から吸気通路１８ａへのガスの排出が抑制される。このように、モータ１２によってカムシャフト１２ａを回転させることにより、両ポンプ室１７，１８が交互に吸気行程と排気行程とを繰り返し、両ポンプ室１７，１８を直列に接続した状態で減圧対象物の排気操作を行うことができる。

本形態例では、図４乃至図５に示されるように、上述のモータ１２を備えた第１のダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａとモータ１２を持たない第２のダイヤフラム真空ポンプユニット１１ｂとを上下に積み重ね、２台のダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａ，１１ｂのスプロケット２３，２３に、歯付きベルト２を掛け回してカムシャフト１２ａ，１２ａを同期回転させることにより、ダイヤフラム真空ポンプ１を形成する。ダイヤフラム真空ポンプ１は、図６に示されるように上段の第２のダイヤフラム真空ポンプユニット１１ｂの一方のポンプ室Ｐ１の吸気通路１７ａに減圧対象物を接続し、該一方のポンプ室Ｐ１の排気通路１７ｂと、第２のダイヤフラム真空ポンプユニット１１ｂの他方のポンプ室Ｐ２の吸気通路１８ａとを連結管３１１で接続し、該ポンプ室Ｐ２の排気通路１８ｂと下段の第１のダイヤフラム真空ポンプ１１ａの一方のポンプ室Ｐ４の吸気通路１７ａとを連結管３１２で接続し、該ポンプ室Ｐ４の排気通路１７ｂと第１のダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａの他方のポンプ室Ｐ３の吸気通路１８ａとを連結管３１３で接続する。このように各ポンプ室Ｐ１〜Ｐ４を接続した状態でモータ１２を作動させることにより、ポンプ室Ｐ１の吸気通路に接続された減圧対象物が減圧され、ポンプ室Ｐ３の排気通路１８ｂから排気される。

本形態例は上述のように、各ダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａ，１１ｂについては、一対のポンプ室１７，１８を水平方向に並設し、カムシャフト１２ａの回転によって作動する１つのクランク機構１３で一対のポンプ室１７，１８を作動させることから、ダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａ，１１ｂを小型化することができる。また、ダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａ，１１ｂを上下方向に重ねて連結し、第１のダイヤフラム真空ポンプユニット１１ａのカムシャフト１２ａをモータ１２で駆動するとともに、両ユニット１１ａ，１１ｂのカムシャフト１２ａを歯付きベルト２で連結してダイヤフラム真空ポンプ１を形成することにより、到達真空度の向上を図ることができると共に、装置を小型化し、設置面積を小さくすることができる。

また、連結管３１を、コ字状に形成した透明で耐薬品性の高いフッ素樹脂等の樹脂製のパイプで形成したことにより、連結管３１を排気通路１７ｂと吸気通路１８ａとに簡便かつ確実に接続できるとともに、Ｏリング３１ｃを備えた連結部３１ａにより高いシール性を確保することができる。さらに、運転時におけるポンプ室内部の結露や汚れの状態を把握できることから、メンテナンスのタイミングを確認することができる。

図７及び図８は、本発明の他の形態例を示すもので、第１形態例と同様の構成要素を示すものには、同一の符号をそれぞれ付して、その詳細な説明は省略する。

図７は、本発明の第２形態例を示すもので、本形態例では、上段に配置されたダイヤフラム真空ポンプユニット１１ｂにおけるポンプ室Ｐ１の排気通路１７ｂとポンプ室Ｐ２の吸気通路１８ａとを連結管３１４で連結するとともに、下段に配置された真空ポンプユニット１１ａにおけるポンプ室Ｐ３の排気通路１８ｂとポンプ室Ｐ４の吸気通路１７ａとを連結管３１５で連結し、ポンプ室Ｐ２とポンプ室Ｐ４の排気通路１８ｂ，１７ｂ同士を連結管３１６で連結し、ポンプ室Ｐ１とポンプ室Ｐ３の吸気通路１７ａ，１８ａ同士を連結管３１７で連結する。また、連結管３１７には、減圧対象物が連結され、連結管３１ｆには排気管が連結される。これにより、両ポンプユニット１１ａ，１１ｂを並列に接続した状態で使用することができ、減圧対象物からの排気速度を向上させることができる。

図８は、本発明の第３形態例を示すもので、本形態例では、上段に配置されたダイヤフラム真空ポンプユニット１１ｂにおけるポンプ室Ｐ１の吸気通路１７ａとポンプ室Ｐ２の吸気通路１８ａとを連結管３１８で連結し、ポンプ室Ｐ１の排気通路１７ｂとポンプ室Ｐ２の排気通路１８ｂとを連結管３１９で連結するとともに、下段に配置された真空ポンプユニット１１ａにおけるポンプ室Ｐ３の吸気通路１８ａとポンプ室Ｐ４の吸気通路１７ａとを連結管３２０で連結し、ポンプ室Ｐ３の排気通路１８ｂとポンプ室Ｐ４の排気通路１７ｂとを連結管３２１で連結する。さらに、連結管３１８と連結管３２０とを連結管３２２で連結し、該連結管３２２に減圧対象物を連結し、連結管３１９と連結管３２１とを連結管３２３に連結し、該連結管３２３に排気管を接続する。これにより、４個のポンプ室の全てを並列状態で使用することができ、減圧対象物からの排気速度を更に向上させることができる。

上述のように本発明のダイヤフラム真空ポンプ１は、連結管の接続を適宜組み替えることにより、使用目的に合わせて排気量と真空度を変更することができる。

なお、本発明は上述の各形態例に限るものではなく、ダイヤフラム真空ポンプユニットを上下に２段以上積み重ねて連結してダイヤフラム真空ポンプを形成することもできる。

１…ダイヤフラム真空ポンプ、２…歯付きベルト、１１ａ，１１ｂ…ダイヤフラム真空ポンプユニット、１２…モータ、１２ａ…カムシャフト、１２ｂ…出力軸、１３…クランク機構、１３ａ…偏心カム、１３ｂ…第１ベアリング、１３ｃ…従動部材、１３ｄ…第２ベアリング、１３ｅ…連結ピン、１３ｆ…大径部、１３ｇ…小径部、１４…コネクティング部材、１４ａ…枠部材、１４ｂ…板部材、１４ｃ…挿通孔、１４ｄ…連結ピン嵌合孔、１４ｅ…装着部、１５，１６…ダイヤフラム、１５ａ，１６ａ…薄肉部、１５ｂ，１６ｂ…係合突部、１７，１８…ポンプ室、１７ａ，１８ａ…吸気通路、１７ｂ，１８ｂ…排気通路、１７ｃ，１８ｃ…吸気側逆止弁、１７ｄ，１８ｃ…排気側逆止弁、１９…シール材、２１…ケーシング、２１ａ，２１ｂ…側面、２１ｃ…ダイヤフラム取付部、２１ｄ…外周突部、２１ｅ…周溝、２２…軸受ハウジング、２２ａ…ベアリング、２３…スプロケット、２４…バランサー、２５…カバー部材、２５ａ…外周フランジ部、２５ｂ…押圧部、２５ｃ…球面状凹部、２５ｄ…吸気通路用ボス部、２５ｅ…排気通路用ボス部、２５ｆ…吸気孔、２５ｇ…排気孔、３１…連結管、３１ａ…連結部、３１ｂ…他端側開口部、３１ｃ…Ｏリング

Claims (1)

1. 両端部がケーシングに回転可能に支持されたカムシャフトと、該カムシャフトの回転によって作動するクランク機構と、該クランク機構によって前記カムシャフトの軸線に直行する水平方向に往復動するコネクティング部材と、該コネクティング部材の両端部にそれぞれ取り付けられたダイヤフラムと、該ダイヤフラムの作動により容積が拡縮する一対のポンプ室と、各ポンプ室に連通する吸気通路及び排気通路と、前記ポンプ室から前記吸気通路への流体の逆流を規制する吸気側逆止弁と、前記排気通路から前記ポンプ室への流体の逆流を規制する排気側逆止弁とを備えたダイヤフラム真空ポンプユニットを形成し、該ダイヤフラム真空ポンプユニットを上下方向に複数段積み重ね、上下に隣接する前記ダイヤフラム真空ポンプユニットの前記カムシャフト同士を歯付きベルトで連結すると共に、一つのダイヤフラム真空ポンプユニットの前記カムシャフトをモータに接続し、
   一方のポンプ室の前記排気通路と他方のポンプ室の前記吸気通路とを、コ字状に形成した透明で耐薬品性を備える樹脂製のパイプで形成され、両端部にシール部材を介して前記吸気通路又は前記排気通路に着脱可能に接続される連結部がそれぞれ一体に設けられた連結管で接続したことを特徴とするダイヤフラム真空ポンプ。

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