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JP6355993B2 - Optical axis adjusting device and optical axis adjusting method - Google Patents
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JP6355993B2 - Optical axis adjusting device and optical axis adjusting method - Google Patents

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Description

本発明は、光素子モジュールと光ファイバとの光軸調整を行うための光軸調整装置および光軸調整方法に関する。   The present invention relates to an optical axis adjustment device and an optical axis adjustment method for adjusting an optical axis between an optical element module and an optical fiber.

近年、光通信の通信速度はますます増大しており、高い通信速度を有し、より小型で低消費電力である光通信モジュールが要望されている。そのため、1つの光通信モジュール内に波長の異なる複数のレーザダイオード素子(以下、LD素子)を実装し、それらのLD素子から出力される光を合波し、単一の光ファイバに光結合させることで、小型で高い通信速度を有する集積型光通信モジュール(以下、集積モジュール)が開発されている。   In recent years, the communication speed of optical communication is increasing, and there is a demand for an optical communication module that has a high communication speed, a smaller size, and lower power consumption. Therefore, a plurality of laser diode elements (hereinafter referred to as LD elements) having different wavelengths are mounted in one optical communication module, light output from these LD elements is multiplexed, and optically coupled to a single optical fiber. Therefore, an integrated optical communication module (hereinafter referred to as an integrated module) having a small size and a high communication speed has been developed.

従来、1つの光通信モジュールに1つのLD素子が組み込まれており、このLD素子に対して光ファイバとの光軸調整を行い、光ファイバを通して測定される光強度が最適となる位置で光通信モジュールおよび光ファイバを固定していた。   Conventionally, one LD element is incorporated in one optical communication module, and the optical axis is adjusted with the optical fiber for this LD element, and optical communication is performed at a position where the light intensity measured through the optical fiber is optimal. The module and optical fiber were fixed.

しかしながら、上記の集積モジュール内には波長の異なる複数のLD素子が実装されているため、それぞれのLD素子に対して光ファイバの光軸調整を行い、それぞれのLD素子に応じた光軸調整座標から集積モジュールに対する光ファイバの最適位置を決定する必要がある。そのため、集積モジュール内に実装されているLD素子の数だけ光軸調整の実行回数が増加することになり、その結果、光軸調整に要する時間も増加する。   However, since a plurality of LD elements having different wavelengths are mounted in the integrated module, the optical axis of the optical fiber is adjusted for each LD element, and the optical axis adjustment coordinates corresponding to each LD element are adjusted. Therefore, it is necessary to determine the optimum position of the optical fiber with respect to the integrated module. Therefore, the number of executions of optical axis adjustment increases by the number of LD elements mounted in the integrated module, and as a result, the time required for optical axis adjustment also increases.

下記特許文献1では、光軸調整装置の光強度測定に伴うステージ移動、停止時間を短縮し、さらにステージ位置に同期した光強度測定を行うことによって、光軸調整時間を削減することが提案されている。具体的には、光通信モジュールと光ファイバの相対位置を調整するステージには、ロータリーエンコーダを備えた駆動モータが取り付けられており、ロータリーエンコーダの出力信号は同期信号出力回路に供給されている。光ファイバで伝送された光の強度は、光パワー検出部によって測定され、A/D変換器に入力される。A/D変換器は、同期信号出力回路からの外部同期信号に同期してA/D変換を開始し、変換されたデジタル値はバッファメモリに蓄積している。これにより光強度を測定するためのステージ停止時間を削減し、光軸調整時間を削減している。   In the following Patent Document 1, it has been proposed to reduce the time for adjusting the optical axis by shortening the stage moving and stopping time associated with the light intensity measurement of the optical axis adjusting device and further performing the light intensity measurement synchronized with the stage position. ing. Specifically, a drive motor including a rotary encoder is attached to a stage that adjusts the relative position between the optical communication module and the optical fiber, and an output signal of the rotary encoder is supplied to a synchronization signal output circuit. The intensity of light transmitted through the optical fiber is measured by the optical power detector and input to the A / D converter. The A / D converter starts A / D conversion in synchronization with the external synchronization signal from the synchronization signal output circuit, and the converted digital value is stored in the buffer memory. Thereby, the stage stop time for measuring the light intensity is reduced, and the optical axis adjustment time is reduced.

ここで、ロータリーエンコーダの出力信号は、同期信号出力回路を介してA/D変換器に入力されている。そのため、ロータリーエンコーダの出力信号と、A/D変換器に入力される同期信号との間の出力タイミングは、同期信号出力回路の介在によって時間遅延が生じ、その時間遅延分だけ、測定した光強度との同期にずれが生じてしまう。   Here, the output signal of the rotary encoder is input to the A / D converter via the synchronization signal output circuit. Therefore, the output timing between the output signal of the rotary encoder and the synchronization signal input to the A / D converter has a time delay due to the intervention of the synchronization signal output circuit, and the measured light intensity by the time delay. Deviation occurs in synchronization with the.

また、特許文献1には明示されていないが、ロータリーエンコーダの出力信号をカウントし、ステージの座標位置と移動方向を検出するカウンタも必要となることから、ステージの位置データと光強度データの同期のずれがよりいっそう増加してしまう。
また、特許文献1では、集積モジュールのようにモジュール内に複数のLD素子を実装している場合、光軸調整回数が増加してしまう。
Further, although not explicitly disclosed in Patent Document 1, a counter that counts the output signal of the rotary encoder and detects the coordinate position and the moving direction of the stage is also required. Therefore, the synchronization between the position data of the stage and the light intensity data is required. The gap will increase even more.
In Patent Document 1, when a plurality of LD elements are mounted in a module like an integrated module, the number of optical axis adjustments increases.

特開2003−185495号公報JP 2003-185495 A 特開平9−311250号公報JP-A-9-311250

特許文献1では、上述のように、光通信モジュールと光ファイバとの光軸調整において、両者の相対位置を調整するステージの位置データと光ファイバにより測定されるLD素子の光強度を同期して測定する場合、ステージ位置と光強度の同期にずれが生じてしまう。さらに、上記の同期ずれは、ステージを高速に駆動させるほど顕著になるため、光軸調整を高速化すると調整精度が悪くなる。   In Patent Document 1, as described above, in the optical axis adjustment between the optical communication module and the optical fiber, the position data of the stage for adjusting the relative position of the two and the light intensity of the LD element measured by the optical fiber are synchronized. In the case of measurement, there is a deviation in synchronization between the stage position and the light intensity. Further, the above-mentioned synchronization deviation becomes more prominent as the stage is driven at a higher speed. Therefore, when the optical axis adjustment is speeded up, the adjustment accuracy is deteriorated.

また、1つの光通信モジュール内に波長の異なる複数のLD素子を実装している集積型光通信モジュールにおいては、複数のLD素子毎に光ファイバとの光軸調整を行う必要があるため、光軸調整回数が増加し、光ファイバの調整組立時間が長くなってしまう。   In an integrated optical communication module in which a plurality of LD elements having different wavelengths are mounted in one optical communication module, it is necessary to adjust the optical axis with the optical fiber for each of the plurality of LD elements. The number of shaft adjustments increases, and the adjustment and assembly time of the optical fiber becomes longer.

本発明の目的は、位置信号と光強度信号との間の同期ずれを抑制でき、高精度の光軸調整を高速に達成できる光軸調整装置および光軸調整方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide an optical axis adjustment device and an optical axis adjustment method that can suppress a synchronization shift between a position signal and a light intensity signal and can achieve high-precision optical axis adjustment at high speed.

上記目的を達成するために、本発明は、光素子モジュールと光ファイバとの光軸調整を行うための光軸調整装置であって、
前記光素子モジュールと前記光ファイバとの間の相対位置を制御する移動機構と、
該相対位置に対応したアナログ位置信号を出力する位置センサと、
前記光素子モジュールから前記光ファイバに入射する光の強度に対応したアナログ光強度信号を出力する光検出器と、
アナログ位置信号およびアナログ光強度信号を相互に同期してそれぞれ対応するデジタル値に変換するアナログデジタル変換器と、
該アナログデジタル変換器からのデジタル値を保存する記憶部と、
該記憶部に保存されたデジタル値に基づいて、光軸調整に最適な相対位置を探索する演算部と、を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides an optical axis adjusting device for adjusting an optical axis between an optical element module and an optical fiber,
A moving mechanism for controlling a relative position between the optical element module and the optical fiber;
A position sensor that outputs an analog position signal corresponding to the relative position;
A photodetector that outputs an analog light intensity signal corresponding to the intensity of light incident on the optical fiber from the optical element module;
An analog-to-digital converter that converts an analog position signal and an analog light intensity signal into corresponding digital values in synchronization with each other;
A storage unit for storing digital values from the analog-digital converter;
An arithmetic unit that searches for a relative position optimal for optical axis adjustment based on the digital value stored in the storage unit.

また本発明は、光素子モジュールと光ファイバとの光軸調整を行うための光軸調整方法であって、
前記光素子モジュールと前記光ファイバとの間の相対位置を予め定めた走査範囲内で連続的に走査しながら、前記光素子モジュールから前記光ファイバに入射する光の強度に対応したアナログ光強度信号および前記相対位置に対応したアナログ位置信号を相互に同期してそれぞれ対応するデジタル値に変換し、記憶部に保存する連続走査ステップと、
該記憶部に保存されたデジタル値に基づいて、光軸調整に最適な相対位置を探索する探索ステップと、を含むことを特徴とする。
The present invention is also an optical axis adjustment method for adjusting the optical axis between the optical element module and the optical fiber,
An analog light intensity signal corresponding to the intensity of light incident on the optical fiber from the optical element module while continuously scanning the relative position between the optical element module and the optical fiber within a predetermined scanning range. And a continuous scanning step of converting analog position signals corresponding to the relative positions into corresponding digital values in synchronization with each other and storing them in a storage unit,
And a search step of searching for an optimum relative position for optical axis adjustment based on the digital value stored in the storage unit.

本発明によれば、光素子モジュールと光ファイバとの間の相対位置に対応したアナログ位置信号および、光ファイバに入射する光の強度に対応したアナログ光強度信号の両方を相互に同期してそれぞれ対応するデジタル値に変換することによって、位置信号と光強度信号との間の同期ずれを抑制できるため、高精度の光軸調整を高速に達成できる。   According to the present invention, both the analog position signal corresponding to the relative position between the optical element module and the optical fiber and the analog light intensity signal corresponding to the intensity of light incident on the optical fiber are synchronized with each other. By converting to a corresponding digital value, a synchronization shift between the position signal and the light intensity signal can be suppressed, so that highly accurate optical axis adjustment can be achieved at high speed.

本発明の実施の形態1に係る光軸調整装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the optical axis adjustment apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. 比較例として従来の光軸調整方法を示すフロー図である。It is a flowchart which shows the conventional optical axis adjustment method as a comparative example. 本発明に係る光軸調整方法の一例を示すフロー図である。It is a flowchart which shows an example of the optical axis adjustment method which concerns on this invention. LDモジュールに複数のLD素子が実装された場合、走査位置と光強度の関係の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the relationship between a scanning position and light intensity, when several LD element is mounted in LD module. 図5(a)は渦巻きスキャンの一例を示す説明図であり、図5(b)はラスタースキャン一例を示す説明図である。FIG. 5A is an explanatory diagram illustrating an example of a spiral scan, and FIG. 5B is an explanatory diagram illustrating an example of a raster scan.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る光軸調整装置を示す構成図である。光軸調整装置は、LDモジュール1と、光ファイバ2と、XYステージ3と、Zステージ4と、位置センサ5と、分波器6と、光検出器7と、A/D変換器8と、コンピュータ9などを備える。ここで理解容易のため、LDモジュール1からの光が進む方向をZ方向、Z方向に対して垂直かつ紙面と垂直な方向をY方向、Z方向に対して垂直かつ紙面と平行な方向をX方向とする。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating an optical axis adjusting apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. The optical axis adjusting device includes an LD module 1, an optical fiber 2, an XY stage 3, a Z stage 4, a position sensor 5, a duplexer 6, a photodetector 7, and an A / D converter 8. And a computer 9. For easy understanding, the direction in which the light from the LD module 1 travels is the Z direction, the direction perpendicular to the Z direction and perpendicular to the paper surface is the Y direction, and the direction perpendicular to the Z direction and parallel to the paper surface is X. The direction.

LDモジュール1は、単一または複数のLD素子およびレンズを内蔵しており、XYステージ3の可動部に装着される。LD素子は、給電冶具(不図示)を経由してLD電源(不図示)から所望のタイミングで給電される。波長分割多重通信(WDM)の場合、LDモジュール1には発光波長の異なる複数のLD素子が実装され、各LD素子の光軸はほぼ共軸となるように位置決めされる。   The LD module 1 incorporates a single or a plurality of LD elements and lenses, and is mounted on a movable part of the XY stage 3. The LD element is supplied with power at a desired timing from an LD power source (not shown) via a power supply jig (not shown). In the case of wavelength division multiplex communication (WDM), a plurality of LD elements having different emission wavelengths are mounted on the LD module 1, and the optical axes of the LD elements are positioned so as to be substantially coaxial.

XYステージ3は、固定部と、該固定部に対してX方向およびY方向に変位する可動部と、可動部を駆動するXモータおよびYモータなどを備える。各モータには、コンピュータ9からの命令に従って動作する駆動回路(不図示)が接続される。XYステージ3には、可動部のX方向およびY方向の相対位置に対応したアナログ位置信号を出力する2つの位置センサ5が設けられる。   The XY stage 3 includes a fixed portion, a movable portion that is displaced in the X direction and the Y direction with respect to the fixed portion, and an X motor and a Y motor that drive the movable portion. A drive circuit (not shown) that operates according to a command from the computer 9 is connected to each motor. The XY stage 3 is provided with two position sensors 5 that output analog position signals corresponding to the relative positions of the movable part in the X direction and the Y direction.

光ファイバ2は、LDモジュール1から出射される光を受光して伝送する機能を有しており、Zステージ4の可動部に装着される。   The optical fiber 2 has a function of receiving and transmitting light emitted from the LD module 1, and is attached to the movable part of the Z stage 4.

Zステージ4は、固定部と、該固定部に対してZ方向に変位する可動部と、可動部を駆動するZモータなどを備える。Zモータには、コンピュータ9からの命令に従って動作する駆動回路(不図示)が接続される。Zステージ4には、可動部のZ方向の相対位置に対応したアナログ位置信号を出力する1つの位置センサ5が設けられる。   The Z stage 4 includes a fixed portion, a movable portion that is displaced in the Z direction with respect to the fixed portion, a Z motor that drives the movable portion, and the like. A drive circuit (not shown) that operates according to a command from the computer 9 is connected to the Z motor. The Z stage 4 is provided with one position sensor 5 that outputs an analog position signal corresponding to the relative position of the movable part in the Z direction.

光ファイバ2の後端には、LDモジュール1から光ファイバ2に入射する光の強度に対応したアナログ光強度信号を出力する光検出器7が設けられる。波長分割多重通信(WDM)の場合、光ファイバ2の後端に、光ファイバ2で伝送される光を波長別に分波する分波器6が介在し、分波器6の後段には、分波された光のアナログ光強度信号を出力する複数の光検出器7が波長毎に設けられる。光検出器7は、出力インターフェースとしてアナログ電圧出力を備えたタイプのO/Eコンバータ、パワーメータなどが使用できる。   At the rear end of the optical fiber 2 is provided a photodetector 7 that outputs an analog light intensity signal corresponding to the intensity of light incident on the optical fiber 2 from the LD module 1. In the case of wavelength division multiplex communication (WDM), a demultiplexer 6 for demultiplexing light transmitted through the optical fiber 2 by wavelength is interposed at the rear end of the optical fiber 2. A plurality of photodetectors 7 that output analog light intensity signals of the waved light are provided for each wavelength. The photodetector 7 can be an O / E converter of a type having an analog voltage output as an output interface, a power meter, or the like.

A/D変換器8は、位置センサ5からのアナログ位置信号および光検出器7からのアナログ光強度信号の両方を相互に同期して、それぞれ対応するデジタル値に変換する機能を有する。A/D変換器8には、好ましくはバッファメモリ8aが搭載されており、予め設定された周期毎に変換されるデジタル値が一時的に保存され、さらに所望のタイミングでコンピュータ9の記憶部9bに転送、保存される。   The A / D converter 8 has a function of synchronizing both the analog position signal from the position sensor 5 and the analog light intensity signal from the photodetector 7 with each other and converting them into corresponding digital values. The A / D converter 8 is preferably equipped with a buffer memory 8a, which temporarily stores digital values to be converted for each preset period, and further stores the storage unit 9b of the computer 9 at a desired timing. Transferred to and saved.

A/D変換器8が、入力されるアナログ信号をデジタル値に変換するタイミングとして、外部からトリガ信号を与える方法と、入力信号の電圧値自体をトリガとする方法があるが、本発明においてはいずれのトリガ方法も使用できる。外部トリガ信号を用いる場合は、装置にトリガ信号発生器を設ける必要がある。また、アナログ信号の変換を停止する場合においても、いずれのトリガ方法も使用できる。   There are a method of giving a trigger signal from the outside and a method of using the voltage value itself of the input signal as a trigger as the timing at which the A / D converter 8 converts the input analog signal into a digital value. Either trigger method can be used. When using an external trigger signal, it is necessary to provide a trigger signal generator in the apparatus. In addition, any trigger method can be used even when the conversion of the analog signal is stopped.

コンピュータ9は、マイクロプロセッサなどの演算部9aと、ROM、RAM、磁気ディスク装置などの記憶部9bと、各種インタフェースなどを備えたパーソナルコンピュータなどで構成され、装置全体の動作を制御するとともに、記憶部9bに保存されたデジタル値に基づいて、光軸調整に最適な相対位置、例えば、最大光強度が得られる相対位置を探索する機能を有する。こうした機能は、一般にソフトウェアで実現できる。   The computer 9 includes a calculation unit 9a such as a microprocessor, a storage unit 9b such as a ROM, a RAM, and a magnetic disk device, and a personal computer equipped with various interfaces. Based on the digital value stored in the unit 9b, it has a function of searching for a relative position optimal for optical axis adjustment, for example, a relative position where the maximum light intensity is obtained. Such functions can generally be realized by software.

本実施形態では、LDモジュール1と光ファイバ2との間の相対位置を制御する移動機構として、XYステージ3をLDモジュール1側に、Zステージ4を光ファイバ2側に設置した場合を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、XYステージ3を光ファイバ2側に、Zステージ4をLDモジュール1側に設置してもよく、あるいは、LDモジュール1および光ファイバ2のいずれか一方を固定した状態で、他方の側にXYZ方向に変位するXYZステージを設けてもよい。   In this embodiment, the case where the XY stage 3 is installed on the LD module 1 side and the Z stage 4 is installed on the optical fiber 2 side is illustrated as a moving mechanism for controlling the relative position between the LD module 1 and the optical fiber 2. However, the present invention is not limited to this. For example, the XY stage 3 may be installed on the optical fiber 2 side and the Z stage 4 may be installed on the LD module 1 side. Alternatively, either the LD module 1 or the optical fiber 2 is fixed and the other side is installed. An XYZ stage that is displaced in the XYZ direction may be provided.

さらに、図1には図示していないが、LDモジュール1および光ファイバ2のいずれか一方の側に、X軸周りおよびY軸周りの回転方向(θx、θy)に調整し面合わせを行う機構(例えば、ゴニオステージ等)、及び/又はZ軸周りの回転方向(θz)に調整する機構(例えば、回転ステージ等)を追加して設けてもよい。   Further, although not shown in FIG. 1, a mechanism for adjusting the surface on either side of the LD module 1 or the optical fiber 2 by adjusting the rotational directions (θx, θy) around the X axis and the Y axis. (For example, a gonio stage or the like) and / or a mechanism (for example, a rotation stage or the like) that adjusts in the rotation direction (θz) around the Z axis may be additionally provided.

また本実施形態では、XYステージ3およびZステージ4に、X方向、Y方向およびZ方向の相対位置に対応したアナログ位置信号を出力する位置センサ5を設けている。位置センサ5の出力は、ステージ位置の変化に対して線形的に変化することが好ましいが、単調増加曲線または単調減少曲線など、両者の値が一意に決まる関係式であれば足りる。   In the present embodiment, the XY stage 3 and the Z stage 4 are provided with position sensors 5 that output analog position signals corresponding to the relative positions in the X direction, the Y direction, and the Z direction. The output of the position sensor 5 preferably changes linearly with respect to the change in the stage position, but a relational expression in which both values are uniquely determined, such as a monotone increase curve or a monotone decrease curve, is sufficient.

また、XYステージ3およびZステージ4を駆動するモータとして、ステッピングモータ、サーボモータなどが使用でき、さらにステージ内に位置センサ5を内蔵したピエゾステージを用いてもよい。なお、ピエゾステージは、高い分解能を有するが、その駆動範囲は、前述のステッピングモータ、サーボモータより小さいことから、これらを組み合わせて使用することが好ましい。   Further, as a motor for driving the XY stage 3 and the Z stage 4, a stepping motor, a servo motor or the like can be used, and a piezo stage having a position sensor 5 built in the stage may be used. Although the piezo stage has a high resolution, its driving range is smaller than that of the above-described stepping motor and servo motor, so it is preferable to use a combination of these.

次に、光軸調整方法について説明する。図2は、比較例として従来の光軸調整方法を示すフロー図である。ここでは、XY平面上での光軸調整手順を示す。   Next, an optical axis adjustment method will be described. FIG. 2 is a flowchart showing a conventional optical axis adjustment method as a comparative example. Here, an optical axis adjustment procedure on the XY plane is shown.

まず始めに、XYステージ3の可動部をいずれか1軸、例えばX方向に定量分だけ移動させ(ステップa1)、そして一旦停止した状態で、光検出器7を用いて光強度を測定する(ステップa2)。次に、測定した光強度が規格を満足するかを判定する(ステップa3)。規格を満足しない場合は、ステップa1に戻って再度XYステージ3の可動部を同じ方向に定量分だけ移動させ、光強度を測定し(ステップa2)、光強度が規格を満足するまで、繰り返し実行する。一方、ステップa3において規格を満足する場合は、X方向のステージ移動は終了し、X方向の光軸調整は完了となる。   First, the movable portion of the XY stage 3 is moved by a fixed amount in any one axis, for example, the X direction (step a1), and the light intensity is measured using the photodetector 7 in a state where it is stopped (step a1). Step a2). Next, it is determined whether the measured light intensity satisfies the standard (step a3). If the standard is not satisfied, return to step a1, move the movable part of the XY stage 3 in the same direction by a fixed amount, measure the light intensity (step a2), and repeat until the light intensity satisfies the standard To do. On the other hand, when the standard is satisfied in step a3, the stage movement in the X direction is finished, and the optical axis adjustment in the X direction is completed.

次に、残りの座標軸について光軸調整を行う。XYステージ3の可動部をY方向に定量分だけ移動させ(ステップa4)、そして一旦停止した状態で、光検出器7を用いて光強度を測定する(ステップa5)。次に、測定した光強度が規格を満足するかを判定する(ステップa6)。規格を満足しない場合は、ステップa4に戻って再度XYステージ3の可動部を同じ方向に定量分だけ移動させ、光強度を測定し(ステップa5)、光強度が規格を満足するまで、繰り返し実行する。一方、ステップa6において規格を満足する場合は、Y方向のステージ移動は終了し、Y方向の光軸調整は完了となる。こうしてX方向およびY方向の光軸調整が完了する。   Next, optical axis adjustment is performed for the remaining coordinate axes. The movable part of the XY stage 3 is moved by a fixed amount in the Y direction (step a4), and the light intensity is measured using the photodetector 7 in a temporarily stopped state (step a5). Next, it is determined whether the measured light intensity satisfies the standard (step a6). If the standard is not satisfied, return to step a4, move the movable part of the XY stage 3 in the same direction by a fixed amount, measure the light intensity (step a5), and repeat until the light intensity satisfies the standard To do. On the other hand, when the standard is satisfied in step a6, the stage movement in the Y direction is finished, and the optical axis adjustment in the Y direction is completed. Thus, the optical axis adjustment in the X direction and the Y direction is completed.

ここで、ステップa1,a4におけるXYステージの移動量は、LDモジュール1と光ファイバ2の相対位置変化に対する光強度の変化量から決定する。例えば、移動量を1μm程度とした場合、XY方向の光軸調整範囲が100μmとすると、最大で10000(=100×100)点のデータを取得することなる。そのためステップ移動毎に停止していることから、光軸調整時間が長くなってしまう。そこで、一般的には、最初に10μm程度の移動量としておき、ある程度光強度が得られるよう光軸調整し(粗調整)、最終的には調整範囲を絞った状態で1μmの刻み幅で光軸調整(精調整)するといったように、移動量を段階に分けて調整している。また、ステージ走査方法としては、渦巻きスキャン、ラスタースキャンなどが一般に用いられる。   Here, the amount of movement of the XY stage in steps a1 and a4 is determined from the amount of change in light intensity with respect to the relative position change between the LD module 1 and the optical fiber 2. For example, if the movement amount is about 1 μm, and the optical axis adjustment range in the XY directions is 100 μm, data of 10000 (= 100 × 100) points at maximum is acquired. Therefore, since it stops every step movement, the optical axis adjustment time becomes long. Therefore, in general, the movement amount is set to about 10 μm at first, and the optical axis is adjusted (coarse adjustment) so that the light intensity can be obtained to some extent. Finally, the light is adjusted in steps of 1 μm with the adjustment range narrowed. The amount of movement is adjusted in stages, such as adjusting the axis (fine adjustment). Further, as the stage scanning method, a spiral scan, a raster scan, or the like is generally used.

図3は、本発明に係る光軸調整方法の一例を示すフロー図である。ここでは、XY平面上で4つの座標(X,Y),(X,Y),(X,Y),(X,Y)で囲まれた矩形状の走査範囲内での光軸調整手順を示す。以下、この走査範囲を外周から内周に向けて渦巻きスキャンを行う場合を例示する。 FIG. 3 is a flowchart showing an example of the optical axis adjusting method according to the present invention. Here, a rectangular scanning range surrounded by four coordinates (X S , Y S ), (X E , Y S ), (X S , Y E ), and (X E , Y E ) on the XY plane. The optical axis adjustment procedure is shown below. Hereinafter, a case where a spiral scan is performed with this scanning range from the outer periphery toward the inner periphery will be exemplified.

[ステップb1]
まず始めに、XYステージ3の可動部をX方向に座標(X,Y)から(X,Y)まで、停止することなく連続的に一定の速度で走査する。即ち、X方向走査と同時に光強度のアナログ測定を行いながら、A/D変換器8のバッファメモリ8aへのデータ蓄積を行う。このとき可動部のX方向の位置変化を測定している位置センサ5は、可動部の移動量に応じて連続的にアナログ電圧を出力しており、光強度測定データと同期してA/D変換器8のバッファメモリ8aに蓄積される。ここで、波長分割多重通信(WDM)の場合、光ファイバ2を通して伝送される光は分波器6により波長毎に分波されており、波長別の光強度測定データが同時にバッファメモリ8aに蓄積される。
[Step b1]
First, the movable part of the XY stage 3 is continuously scanned at a constant speed in the X direction from the coordinates (X S , Y S ) to (X S , Y E ) without stopping. That is, data is stored in the buffer memory 8a of the A / D converter 8 while performing analog measurement of light intensity simultaneously with scanning in the X direction. At this time, the position sensor 5 that measures the change in the position of the movable part in the X direction continuously outputs an analog voltage according to the amount of movement of the movable part, and the A / D is synchronized with the light intensity measurement data. It is stored in the buffer memory 8a of the converter 8. Here, in the case of wavelength division multiplexing (WDM), the light transmitted through the optical fiber 2 is demultiplexed for each wavelength by the demultiplexer 6, and the light intensity measurement data for each wavelength is simultaneously stored in the buffer memory 8a. Is done.

図4は、LDモジュール1に複数のLD素子が実装された場合、走査位置と光強度の関係の一例を示すグラフである。ここでは、4つのLD素子が実装された例を示す。XYステージ3の可動部をX方向に開始位置Xから終了位置Xまで走査した場合、4つのLD素子に対応した光強度測定データD1〜D4が得られる。これらのデータD1〜D4は、LD素子の実装位置の変動に起因して、ピーク位置X1〜X4およびピーク高さが変動していることが判る。 FIG. 4 is a graph showing an example of the relationship between the scanning position and the light intensity when a plurality of LD elements are mounted on the LD module 1. Here, an example in which four LD elements are mounted is shown. If the movable portion of an XY stage 3 is scanned from the start position X S in the X direction to the end position X E, the light intensity measurement data D1~D4 corresponding to four LD device can be obtained. From these data D1 to D4, it can be seen that the peak positions X1 to X4 and the peak height fluctuate due to fluctuations in the mounting position of the LD element.

[ステップb2]
XYステージ3の可動部が開始位置Xから終了位置Xに到達すると、XYステージ3の動作を停止させる。
[Step b2]
When the movable portion of the XY stage 3 reaches the end position X E from the starting position X S, it stops the operation of the XY stage 3.

[ステップb3]
今度は、XYステージ3の可動部をY方向に座標(X,Y)から(X,Y)まで、停止することなく連続的に一定の速度で走査する。ステップb1と同様に、Y方向走査と同時に光強度のアナログ測定を行いながら、A/D変換器8のバッファメモリ8aへのデータ蓄積を行う。このとき可動部のY方向の位置変化を測定している位置センサ5は、可動部の移動量に応じて連続的にアナログ電圧を出力しており、光強度測定データと同期してA/D変換器8のバッファメモリ8aに蓄積される。LDモジュール1に複数のLD素子が実装された場合は、素子の個数分の光強度測定データが得られる。
[Step b3]
This time, the movable portion of the XY stage 3 is continuously scanned at a constant speed in the Y direction from the coordinates (X E , Y S ) to (X E , Y E ) without stopping. As in step b1, data is stored in the buffer memory 8a of the A / D converter 8 while analog measurement of light intensity is performed simultaneously with scanning in the Y direction. At this time, the position sensor 5 that measures the change in the position of the movable part in the Y direction continuously outputs an analog voltage according to the amount of movement of the movable part, and the A / D is synchronized with the light intensity measurement data. It is stored in the buffer memory 8a of the converter 8. When a plurality of LD elements are mounted on the LD module 1, light intensity measurement data for the number of elements is obtained.

[ステップb4]
XYステージ3の可動部が開始位置Yから終了位置Yに到達すると、XYステージ3の動作を停止させる。
[Step b4]
When the moving part of the XY stage 3 is reached from the start position Y S in the end position Y E, it stops the operation of the XY stage 3.

[ステップb5]
上記の走査範囲に渡って、XY座標位置およびこれに対応する光強度測定データが網羅的に取得できるまで、ステップb1〜b4を繰り返す。従って、渦巻きスキャンの場合は、図5(a)に示すように、続いて座標(X,Y)→(X,Y)→(X,YS+1)→(XE−1,YS+1)→(XE−1,YE−1)→(XS+1,YE−1)→(XS+1,YS+2)→(XS+2,YE−2)→…のようにして走査を行う。なお、代替としてラスタースキャンを行う場合は、図5(b)に示すように、座標(X,Y)→(X,Y)→(X,YS+1)→(X,YS+1)→(X,YS+2)→(X,YS+2)→(X,YS+3)→(X,YS+3)→…のようにして走査を行う。
[Step b5]
Steps b1 to b4 are repeated until the XY coordinate position and the corresponding light intensity measurement data can be comprehensively acquired over the above scanning range. Accordingly, in the case of the spiral scan, as shown in FIG. 5A, the coordinates (X E , Y E ) → (X S , Y E ) → (X S , Y S + 1 ) → (X E−1) , Y S + 1 ) → (X E−1 , Y E−1 ) → (X S + 1 , Y E−1 ) → (X S + 1 , Y S + 2 ) → (X S + 2 , Y E− 2 ) →. Scan. When a raster scan is performed instead, as shown in FIG. 5B, coordinates (X S , Y S ) → (X E , Y S ) → (X E , Y S + 1 ) → (X S , Scanning is performed as follows: Y S + 1 ) → (X S , Y S + 2 ) → (X E , Y S + 2 ) → (X E , Y S + 3 ) → (X S , Y S + 3 ) →.

ここで、XYステージ3においてピエゾステージを使用する場合は、光軸調整範囲がモータステージよりも小さいため、別途モータステージを設けてもよい。ピエゾステージの駆動範囲内において、光強度の規定量を満足しない場合、モータステージをピエゾステージの駆動範囲分だけ駆動させ、再度ステップ1aから光軸調整を行うことで、より広い範囲で光軸調整が可能となる。   Here, when a piezo stage is used in the XY stage 3, since the optical axis adjustment range is smaller than the motor stage, a separate motor stage may be provided. If the specified amount of light intensity is not satisfied within the drive range of the piezo stage, the motor stage is driven by the drive range of the piezo stage and the optical axis is adjusted again from step 1a, so that the optical axis is adjusted over a wider range. Is possible.

[ステップb6]
所定範囲の走査が完了すると、コンピュータ9の演算部9aは、記憶部9bに保存されたXY座標位置およびこれに対応する光強度測定データを参照して、光軸調整に最適な座標位置、例えば、最大光強度が得られる座標位置を探索する。
[Step b6]
When the scanning of the predetermined range is completed, the calculation unit 9a of the computer 9 refers to the XY coordinate position stored in the storage unit 9b and the light intensity measurement data corresponding thereto, for example, the optimal coordinate position for optical axis adjustment, for example, The coordinate position where the maximum light intensity is obtained is searched.

[ステップb7]
ステップb6で得られた最適な座標位置になるように、XYステージ3の可動部を位置決めする。
[Step b7]
The movable part of the XY stage 3 is positioned so that the optimum coordinate position obtained in step b6 is obtained.

ここで、波長分割多重通信(WDM)の場合、分波器6によって分波された光は、A/D変換器8に対してそれぞれ別のチャンネルとして入力されている。そのため、図4に示すように、4つのLD素子に対応した光強度測定データD1〜D4ごとに光強度が最大となるステージ位置X1〜X4を求めることが可能である。なお、Y方向走査についても同様に、4つのLD素子ごとに光強度が最大となるステージ位置Y1〜Y4を求めることが可能である。   Here, in the case of wavelength division multiplex communication (WDM), the light demultiplexed by the demultiplexer 6 is input to the A / D converter 8 as separate channels. Therefore, as shown in FIG. 4, it is possible to obtain the stage positions X1 to X4 at which the light intensity is maximum for each of the light intensity measurement data D1 to D4 corresponding to the four LD elements. Similarly, in the Y-direction scanning, it is possible to obtain the stage positions Y1 to Y4 at which the light intensity is maximum for every four LD elements.

この場合、光軸調整に最適な座標位置を決定する手法として、a)位置X1〜X4の平均値および位置Y1〜Y4の平均値、b)各LD素子の光強度が均一となるXY位置、などが考えられる。   In this case, as a method for determining the optimum coordinate position for optical axis adjustment, a) an average value of positions X1 to X4 and an average value of positions Y1 to Y4, b) an XY position where the light intensity of each LD element is uniform, And so on.

上記の説明では、1つのZ平面(Z=Za)において光軸調整を行い、LDモジュール1と光ファイバ2の相対位置が最適となるように、XYステージ3の位置決めを行った。   In the above description, the optical axis is adjusted in one Z plane (Z = Za), and the XY stage 3 is positioned so that the relative position between the LD module 1 and the optical fiber 2 is optimal.

続いて、光ファイバ2側に設けたZステージ4を駆動して、別のZ平面(Z=Zb)に変化させた状態でXY方向に前述の光軸調整を行うことによって、Zステージ4の最適位置を決定できる。   Subsequently, the Z stage 4 provided on the optical fiber 2 side is driven, and the optical axis adjustment described above is performed in the XY direction in a state where the Z stage 4 is changed to another Z plane (Z = Zb). The optimal position can be determined.

最終的に、LDモジュール1と光ファイバ2の間の最適な相対位置がX座標、Y座標およびZ座標について決定されると、最適な相対位置に位置決めした状態でLDモジュール1および光ファイバ2を共通ハウジング(不図示)に固定する。その固定方法は、一般にYAGレーザ溶接、接着などが用いられる。   Finally, when the optimum relative position between the LD module 1 and the optical fiber 2 is determined with respect to the X coordinate, the Y coordinate, and the Z coordinate, the LD module 1 and the optical fiber 2 are positioned in the optimum relative position. Fix to a common housing (not shown). As the fixing method, YAG laser welding, adhesion or the like is generally used.

以上のように、従来の手法では、光強度測定の度に駆動ステージを停止させていたため、光軸調整時間が長くなってしまう。一方、本発明では、XYステージ3を停止させることなく走査しながら、光強度信号およびステージ位置信号を相互に同期して測定することによって、光軸調整時間を大幅に短縮することが可能である。   As described above, in the conventional method, since the drive stage is stopped every time the light intensity is measured, the optical axis adjustment time becomes long. On the other hand, in the present invention, the optical axis adjustment time can be greatly shortened by measuring the light intensity signal and the stage position signal in synchronization with each other while scanning without stopping the XY stage 3. .

また、光ファイバ2を通して伝送させる光を分波器6により分波し、A/D変換器8のそれぞれ別のチャンネルに入力することによって、1つのモジュール内に複数のLD素子を実装している集積型光通信モジュールにおいても、1回の光軸調整で全てのLD素子に対して最適な光軸調整位置を求めることができ、光軸調整回数を削減できる。   Further, the light transmitted through the optical fiber 2 is demultiplexed by the demultiplexer 6 and input to different channels of the A / D converter 8 to mount a plurality of LD elements in one module. Also in the integrated optical communication module, the optimum optical axis adjustment position for all LD elements can be obtained by one optical axis adjustment, and the number of optical axis adjustments can be reduced.

1 LDモジュール、 2 光ファイバ、 3 XYステージ、 4 Zステージ、
5 位置センサ、 6 分波器、 7 光検出器、 8 A/D変換器、
8a バッファメモリ、 9 コンピュータ、 9a 演算部、 9b 記憶部。
1 LD module, 2 optical fiber, 3 XY stage, 4 Z stage,
5 position sensor, 6 duplexer, 7 photodetector, 8 A / D converter,
8a buffer memory, 9 computer, 9a arithmetic unit, 9b storage unit.

Claims (5)

光素子モジュールと光ファイバとの光軸調整を行うための光軸調整装置であって、
前記光素子モジュールと前記光ファイバとの間の相対位置を制御する移動機構と、
該相対位置に対応したアナログ位置信号を出力する位置センサと、
前記光素子モジュールから前記光ファイバに入射する光の強度に対応したアナログ光強度信号を出力する光検出器と、
アナログ位置信号およびアナログ光強度信号の両方を相互に同期してそれぞれ対応するデジタル値に変換するアナログデジタル変換器と、
該アナログデジタル変換器からのデジタル値を保存する記憶部と、
該記憶部に保存されたデジタル値に基づいて、光軸調整に最適な相対位置を探索する演算部と、を備えることを特徴とする光軸調整装置。
An optical axis adjusting device for adjusting an optical axis between an optical element module and an optical fiber,
A moving mechanism for controlling a relative position between the optical element module and the optical fiber;
A position sensor that outputs an analog position signal corresponding to the relative position;
A photodetector that outputs an analog light intensity signal corresponding to the intensity of light incident on the optical fiber from the optical element module;
An analog-to-digital converter that converts both the analog position signal and the analog light intensity signal into corresponding digital values in synchronization with each other;
A storage unit for storing digital values from the analog-digital converter;
An optical axis adjustment apparatus comprising: an arithmetic unit that searches for a relative position optimal for optical axis adjustment based on a digital value stored in the storage unit.
前記光素子モジュールには、発光波長の異なる複数の発光素子が実装されており、
前記光ファイバで伝送される光を波長別に分波し、波長毎に設けられた前記光検出器に供給する分波器をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の光軸調整装置。
In the optical element module, a plurality of light emitting elements having different emission wavelengths are mounted,
2. The optical axis adjusting device according to claim 1, further comprising: a demultiplexer that demultiplexes light transmitted through the optical fiber by wavelength and supplies the demultiplexed light to the photodetector provided for each wavelength.
光素子モジュールと光ファイバとの光軸調整を行うための光軸調整方法であって、
前記光素子モジュールと前記光ファイバとの間の相対位置を予め定めた走査範囲内で連続的に走査しながら、前記光素子モジュールから前記光ファイバに入射する光の強度に対応したアナログ光強度信号および前記相対位置に対応したアナログ位置信号の両方を相互に同期してそれぞれ対応するデジタル値に変換し、記憶部に保存する連続走査ステップと、
該記憶部に保存されたデジタル値に基づいて、光軸調整に最適な相対位置を探索する探索ステップと、を含むことを特徴とする光軸調整方法。
An optical axis adjustment method for adjusting an optical axis between an optical element module and an optical fiber,
An analog light intensity signal corresponding to the intensity of light incident on the optical fiber from the optical element module while continuously scanning the relative position between the optical element module and the optical fiber within a predetermined scanning range. And a continuous scanning step of converting both of the analog position signals corresponding to the relative positions into corresponding digital values in synchronization with each other and storing them in a storage unit,
And a search step for searching for the optimum relative position for optical axis adjustment based on the digital value stored in the storage unit.
前記光素子モジュールには、発光波長の異なる複数の発光素子が実装されており、
前記探索ステップでは、分波器を用いて前記光ファイバで伝送される光を波長別に分波し、最大光強度が得られる相対位置を波長別に探索することを特徴とする請求項3記載の光軸調整方法。
In the optical element module, a plurality of light emitting elements having different emission wavelengths are mounted,
4. The light according to claim 3, wherein, in the searching step, the light transmitted through the optical fiber is demultiplexed by wavelength using a demultiplexer, and the relative position where the maximum light intensity is obtained is searched for by wavelength. Axis adjustment method.
前記光素子モジュールと前記光ファイバとの間の相対位置が、波長別の最大光強度位置の平均値になるように位置決めを行うステップをさらに含むことを特徴とする請求項4記載の光軸調整方法。   5. The optical axis adjustment according to claim 4, further comprising a step of positioning so that a relative position between the optical element module and the optical fiber becomes an average value of a maximum light intensity position for each wavelength. Method.
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