JP6388450B2 - Alkali development type photocurable thermosetting resin composition and printed wiring board using the same - Google Patents
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Description
本発明は、アルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物およびフレキシブルプリント配線板に関し、詳しくは、アルカリによる現像が可能であり、屈曲性に優れ、かつ、現像後の加熱処理時のダレの発生が抑制され、特にはさらに、深部硬化性が良好でパターン形成性に優れるアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物および該アルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物の硬化物を備えたフレキシブルプリント配線板に関する。 The present invention relates to an alkali-developable photocurable thermosetting resin composition and a flexible printed wiring board, and in particular, it can be developed with alkali, has excellent flexibility, and is free from sagging during heat treatment after development. In particular, an alkali-developable photocurable thermosetting resin composition having good deep-part curability and excellent pattern formability and a cured product of the alkali-developable photocurable thermosetting resin composition The present invention relates to a flexible printed wiring board provided.
近年、スマートフォンやタブレット端末の普及と性能の向上が急速に進行している。これらに代表される情報機器端末は、小型化、薄型化への消費者の要求が高く、その要求に応えるべく、製品内部の回路基板の高密度化、省スペース化が必要となっている。そのため、折り曲げての収納が可能で、回路配置の自由度を高めることのできるフレキシブルプリント配線板の用途が拡大しており、フレキシブルプリント配線板に対する信頼性もこれまで以上に高いものが求められている。 In recent years, the spread of smartphones and tablet terminals and the improvement of performance are progressing rapidly. Information equipment terminals represented by these are highly demanded by consumers for downsizing and thinning, and in order to meet these demands, it is necessary to increase the density of circuit boards inside the products and save space. Therefore, the use of flexible printed wiring boards that can be folded and stored and that can increase the degree of freedom of circuit arrangement is expanding, and the reliability for flexible printed wiring boards is required to be higher than ever. Yes.
現在、フレキシブルプリント配線板の絶縁信頼性を確保するための絶縁膜として、折り曲げ部(屈曲部)には、ポリイミドをベースとしたカバーレイが用いられ、実装部(非屈曲部)には、感光性樹脂組成物を用いた混載プロセスが広く採用されている(特許文献1、2参照)。ポリイミドは、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れ、一方、実装部に用いられる感光性樹脂組成物は、電気絶縁性やはんだ耐熱性などに優れ微細加工が可能であるという特性を有する。 Currently, a polyimide-based coverlay is used for the bent part (bent part) as an insulating film to ensure the insulation reliability of the flexible printed wiring board, and the mounting part (non-bent part) is photosensitive. A mixed loading process using a conductive resin composition is widely employed (see Patent Documents 1 and 2). Polyimide is excellent in mechanical properties such as heat resistance and flexibility, while the photosensitive resin composition used in the mounting part has characteristics such as excellent electrical insulation and solder heat resistance and can be finely processed. .
従来のポリイミドをベースとしたカバーレイでは、金型打ち抜きによる加工を必要とするため、微細配線には不向きである。そのため、微細配線が必要となるチップ実装部には、フォトリソグラフィーによる加工ができるアルカリ現像型の感光性樹脂組成物(ソルダーレジスト)を部分的に併用することが行われている。フレキシブルプリント配線板の製造においてこのような樹脂組成物の部分的な使い分けをする場合、カバーレイを貼り合わせる工程とソルダーレジストを形成する工程の2つの工程を経ることになり、コストと作業性に劣るという問題があった。 Conventional polyimide-based coverlays are not suitable for fine wiring because they require processing by die punching. For this reason, an alkali-developable photosensitive resin composition (solder resist) that can be processed by photolithography is partially used together in a chip mounting portion that requires fine wiring. When partially using such a resin composition in the production of a flexible printed wiring board, two processes, a process of bonding a cover lay and a process of forming a solder resist, are performed, resulting in cost and workability. There was a problem of being inferior.
これまで、混載プロセスによらないカバーレイの検討がなされてきている。例えば、ソルダーレジスト用の感光性樹脂組成物をフレキシブルプリント配線板のカバーレイとして適用することが検討されているが、ソルダーレジスト用の樹脂組成物では、カバーレイとしての耐衝撃性や屈曲性などの信頼性が不十分である。ソルダーレジスト用の樹脂組成物では、アクリル系の光重合による硬化収縮も伴うため、フレキシブル配線板の反りなど寸法安定性にも課題があった。 So far, coverlays that do not depend on the mixed loading process have been studied. For example, application of a photosensitive resin composition for a solder resist as a coverlay for a flexible printed wiring board has been studied. However, in a resin composition for a solder resist, impact resistance, flexibility, etc. as a coverlay The reliability is insufficient. Since the resin composition for solder resist is accompanied by curing shrinkage due to acrylic photopolymerization, there is a problem in dimensional stability such as warping of a flexible wiring board.
そこで本発明の目的は、屈曲性、作業性に優れ、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜、特に折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)の一括形成プロセスに好適なアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is an alkali development type photocuring which is excellent in flexibility and workability, and suitable for a batch forming process of an insulating film of a flexible printed wiring board, particularly a bent portion (bent portion) and a mounting portion (non-bent portion). It is providing a heat-resistant thermosetting resin composition.
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、カルボキシル基を有するウレタン樹脂、光塩基発生剤および熱硬化成分を含む樹脂組成物が上記課題を解決しうることを見出した。
即ち、光照射によって光塩基発生剤が活性化し、発生した塩基を触媒としてカルボキシル基を有するウレタン樹脂と熱硬化成分とを、加熱によって付加反応させることにより、未露光部分のみをアルカリ溶液によって除去することが可能となることが見出された。これによって、アルカリ現像による微細加工が可能となる一方、ウレタン樹脂を含むことから屈曲性に優れた硬化物を得ることが期待できる。As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that a resin composition containing a urethane resin having a carboxyl group, a photobase generator, and a thermosetting component can solve the above problems.
That is, the photobase generator is activated by light irradiation, and the urethane resin having a carboxyl group and the thermosetting component are subjected to an addition reaction by heating using the generated base as a catalyst, whereby only the unexposed portion is removed with an alkaline solution. It has been found that this is possible. As a result, fine processing by alkali development is possible, and since a urethane resin is included, it can be expected to obtain a cured product having excellent flexibility.
ところが、カルボキシル基を有するウレタン樹脂、熱硬化成分および光塩基発生剤を含む組成物を光照射後の現像に続いて加熱硬化させる際に、加熱によって樹脂が溶け出し、いわゆるダレが発生することによってパターンが崩れる現象が起こる場合があることが認められた。
そこで、本発明者らはさらなる検討を重ね、上記成分の他に、ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂を含有させることによって上記問題が解消できることを見出し、本発明を完成するに至った。また、上記組成物に、エチレン性不飽和基を有するモノマーを配合するか、もしくは、前記カルボキシル基を有するウレタン樹脂としてエチレン性不飽和基を有するものを用いることが、ダレ発生の防止がより一層期待できることから好適であることも併せて見出した。However, when a composition containing a urethane resin having a carboxyl group, a thermosetting component and a photobase generator is heat-cured subsequent to development after light irradiation, the resin melts by heating, and so-called sagging occurs. It was recognized that the pattern may collapse.
Therefore, the present inventors have further studied and found that the above problems can be solved by containing a resin having a carboxyl group other than the urethane resin in addition to the above components, and have completed the present invention. Further, blending a monomer having an ethylenically unsaturated group into the composition, or using a urethane resin having a carboxyl group as the urethane resin having an ethylenically unsaturated group can further prevent the occurrence of sagging. It was also found that it is preferable because it can be expected.
一方、上記のような、光照射により発生した塩基を触媒とする付加反応を利用してアルカリ現像による微細加工をする場合、深部硬化性に改良の余地があることが明らかとなった。特に、アルカリ現像型樹脂組成物を、多層構造のカバーレイにおける基板に近接する層に用いる場合、上層に含まれる樹脂や感光剤によって光が吸収され、樹脂層の深部まで光が十分に届かないことがあった。 On the other hand, it has been clarified that there is room for improvement in deep curability when fine processing by alkali development is performed using an addition reaction using a base generated by light irradiation as a catalyst as described above. In particular, when the alkali-developable resin composition is used for a layer close to the substrate in the multilayer coverlay, light is absorbed by the resin or photosensitizer contained in the upper layer, and the light does not reach the depth of the resin layer sufficiently. There was a thing.
そこで、本発明者らはさらなる検討を重ね、光塩基発生剤として、特定の構造を有するオキシムエステル系光塩基発生剤を採用することによって上記問題が解消できることを見出した。また、アルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物の光照射後の加熱硬化反応において、加熱温度や加熱時間の選択幅を広げることができ、より作業性に優れた樹脂組成物となることを併せて見出した。 Therefore, the present inventors have further studied and found that the above problem can be solved by adopting an oxime ester photobase generator having a specific structure as a photobase generator. In addition, in the heat curing reaction after light irradiation of the alkali development type photocurable thermosetting resin composition, the selection range of the heating temperature and the heating time can be widened, and the resin composition is more excellent in workability. It was also found.
本発明は、以下の[1]〜[9]である。
[1]カルボキシル基を有するウレタン樹脂、ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂、光塩基発生剤、および、熱硬化成分、を含むことを特徴とするアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物。
[2]前記光塩基発生剤が、下記一般式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光塩基発生剤を含む[1]のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物。
(式中、R1は、水素原子、無置換または炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基もしくはハロゲン原子で置換されたフェニル基、無置換または1個以上の水酸基で置換された炭素数1〜20のアルキル基、1個以上の酸素原子で中断された該アルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数5〜8のシクロアルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基を表し、
R2は、無置換または炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基もしくはハロゲン原子で置換されたフェニル基、無置換または1個以上の水酸基で置換された炭素数1〜20のアルキル基、1個以上の酸素原子で中断された該アルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数5〜8のシクロアルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基を表す。)
[3]前記カルボキシル基を有するウレタン樹脂がエチレン性不飽和基を有するものである[1]のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物。
[4]さらに、エチレン性不飽和基を有するモノマーを含む[1]のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物。
[5]前記熱硬化成分が環状エーテル化合物である[1]のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物。
[6]カバーレイ接着層用である[1]のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物。
[7][1]のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させてなる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。
[8][1]のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物、または、[7]のドライフィルムを硬化してなることを特徴とする硬化物。
[9][8]の硬化物を備えることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。The present invention includes the following [1] to [9].
[1] An alkali developing photocurable thermosetting resin composition comprising a urethane resin having a carboxyl group, a resin having a carboxyl group other than the urethane resin, a photobase generator, and a thermosetting component. .
[2] The alkali development type photocurable thermosetting resin composition according to [1], wherein the photobase generator includes an oxime ester photobase generator having a group represented by the following general formula (I).
(Wherein R 1 is a hydrogen atom, an unsubstituted or alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group substituted with a phenyl group or a halogen atom, unsubstituted or substituted with one or more hydroxyl groups. -20 alkyl group, the alkyl group interrupted by one or more oxygen atoms, unsubstituted, C1-C6 alkyl group or phenyl group substituted with C5-C8 cycloalkyl group, unsubstituted Or an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group,
R 2 represents an unsubstituted or alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group substituted with a phenyl group or a halogen atom, an unsubstituted or alkyl group having 1 to 20 carbon atoms substituted with one or more hydroxyl groups, The alkyl group interrupted by one or more oxygen atoms, unsubstituted or a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms substituted by an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group, unsubstituted or having 1 to 6 carbon atoms An alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group substituted with an alkyl group or a phenyl group is represented. )
[3] The alkali development type photocurable thermosetting resin composition of [1], wherein the urethane resin having a carboxyl group has an ethylenically unsaturated group.
[4] The alkali development type photocurable thermosetting resin composition according to [1], further comprising a monomer having an ethylenically unsaturated group.
[5] The alkali development type photocurable thermosetting resin composition of [1], wherein the thermosetting component is a cyclic ether compound.
[6] The alkali development type photocurable thermosetting resin composition according to [1], which is used for a coverlay adhesive layer.
[7] A dry film comprising a resin layer formed by applying and drying the alkali development type photocurable thermosetting resin composition of [1].
[8] A cured product obtained by curing the alkali development type photocurable thermosetting resin composition of [1] or the dry film of [7].
[9] A flexible printed wiring board comprising the cured product of [8].
本発明により、現像後の加熱硬化時のダレの発生が抑制されたアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物を提供することが可能となる。また、屈曲性に優れ、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜、特に折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)の一括形成プロセスに好適なアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物、および、その硬化物を備えるプリント配線板を提供することが可能となる。また、本発明のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、光照射後加熱硬化時の温度・時間管理が容易であり、作業性に優れる。
本発明のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、フレキシブルプリント配線板のカバーレイに好適である。本発明のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、多層構造のカバーレイの接着層用樹脂組成物としても好適である。ここで、接着層とは、2層以上の積層構造を有するカバーレイの、フレキシブルプリント基板に接する樹脂層のことを指す。According to the present invention, it is possible to provide an alkali development type photocurable thermosetting resin composition in which the occurrence of sagging during heat curing after development is suppressed. Also, an alkali development type photo-curable thermosetting resin composition that is excellent in flexibility and suitable for a batch forming process of an insulating film of a flexible printed wiring board, particularly a bent portion (bent portion) and a mounting portion (non-bent portion), And it becomes possible to provide a printed wiring board provided with the hardened | cured material. Moreover, the alkali development type photocurable thermosetting resin composition of the present invention is easy to manage temperature and time at the time of heat curing after light irradiation, and is excellent in workability.
The alkali development type photocurable thermosetting resin composition of the present invention is suitable for a coverlay of a flexible printed wiring board. The alkali-developable photocurable thermosetting resin composition of the present invention is also suitable as a resin composition for an adhesive layer of a multilayer coverlay. Here, the adhesive layer refers to a resin layer in contact with the flexible printed board of a cover lay having a laminated structure of two or more layers.
また、光塩基発生剤として、上記一般式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光塩基発生剤を用いることで、深部硬化性に優れたアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物を提供することが可能となる。さらに、光照射後加熱硬化時の温度・時間の選択幅が広くなり、作業性に優れるものとなる。 Further, by using an oxime ester photobase generator having a group represented by the above general formula (I) as a photobase generator, an alkali development type photocurable thermosetting resin composition excellent in deep part curability Things can be provided. Furthermore, the selection range of the temperature and time at the time of heat curing after light irradiation is widened, and the workability is excellent.
本発明のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物(以下、単に「本発明の樹脂組成物」とも称する。)は、カルボキシル基を有するウレタン樹脂、ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂、光塩基発生剤、および、熱硬化成分、を含むことを特徴とするものである。
本発明の樹脂組成物は、光塩基発生剤から生じる塩基を触媒として、カルボキシル基を有するウレタン樹脂と熱硬化成分とを露光後の加熱によって付加反応させ、未露光部分をアルカリ溶液によって除去することによって現像が可能となる樹脂組成物である。
カルボキシル基を有するウレタン樹脂、熱硬化成分および光塩基発生剤を含む樹脂組成物に、さらに、上記ウレタン樹脂以外の樹脂でカルボキシル基を有するものを配合することによって、現像後の加熱硬化時のダレの発生を抑制することができる。詳細なメカニズムは定かでは無いが、考えられる理由の一つとして、カルボキシル基を有するウレタン樹脂中のカルボキシル基は、熱硬化成分との反応性が低く、ウレタン樹脂以外の樹脂でカルボキシル基を有するものを配合することによって、現像後の加熱硬化時の付加反応がより進み、強固なマトリックスが形成されることが挙げられる。The alkali development type photocurable thermosetting resin composition of the present invention (hereinafter also simply referred to as “the resin composition of the present invention”) is a urethane resin having a carboxyl group, a resin having a carboxyl group other than a urethane resin, It contains a photobase generator and a thermosetting component.
The resin composition of the present invention is prepared by subjecting a urethane resin having a carboxyl group and a thermosetting component to an addition reaction by heating after exposure using a base generated from a photobase generator as a catalyst, and removing an unexposed portion with an alkaline solution. Is a resin composition that can be developed.
A resin composition containing a carboxyl group-containing urethane resin, a thermosetting component, and a photobase generator is further blended with a resin other than the urethane resin and having a carboxyl group, so that dripping at the time of heat curing after development can be achieved. Can be suppressed. Although the detailed mechanism is not clear, one possible reason is that the carboxyl group in the urethane resin having a carboxyl group has low reactivity with the thermosetting component and has a carboxyl group in a resin other than the urethane resin By blending, the addition reaction at the time of heat curing after development further proceeds, and a strong matrix can be formed.
また、本発明の樹脂組成物は、系内にエチレン性不飽和基を含有することが、ダレ発生抑制効果の観点から好ましい。エチレン性不飽和基は、上記カルボキシル基を有するウレタン樹脂中に存在してもよく、本発明の樹脂組成物に対して、さらに、後述するエチレン性不飽和基を有するモノマーを配合してもよく、またその双方であってもよい。エチレン性不飽和基が存在することにより、光によるラジカル重合反応が起こり、強固なマトリックスが形成され、現像後の加熱硬化時のダレの発生を抑制することができると考えられる。 In addition, the resin composition of the present invention preferably contains an ethylenically unsaturated group in the system from the viewpoint of the effect of suppressing the occurrence of sagging. The ethylenically unsaturated group may be present in the urethane resin having a carboxyl group, and a monomer having an ethylenically unsaturated group to be described later may be further added to the resin composition of the present invention. Or both. It is considered that the presence of the ethylenically unsaturated group causes a radical polymerization reaction by light to form a strong matrix and suppress the occurrence of sagging during heat curing after development.
本発明の樹脂組成物は、フレキシブルプリント配線板の樹脂絶縁層、例えば、カバーレイや、ソルダーレジストに好適である。
本発明の樹脂組成物を用いてフレキシブルプリント配線板の樹脂絶縁層を形成する場合、好適な製造方法は、下記のようになる。即ち、フレキシブルプリント配線板上に本発明の樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程、パターン状に光を樹脂層に照射する工程、樹脂層を加熱する工程(Post Exposure Bake;PEBとも称する)、及び、樹脂層をアルカリ現像して、パターンを有する樹脂絶縁層を形成する工程を含む製造方法である。必要に応じて、アルカリ現像後、さらなる光照射や加熱硬化(ポストキュア)を行い、樹脂組成物を完全硬化させて信頼性の高い樹脂絶縁層を得る。
このように、本発明の樹脂組成物は、好適には、選択的な光照射後の加熱処理により、カルボキシル基と熱硬化成分とが付加反応することによって、アルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となるものである。
得られる硬化物が耐熱性および屈曲性に優れ、かつ、アルカリ現像により微細加工が可能であることから、アルカリ現像型の感光性樹脂組成物を部分的に併用する必要がなく、フレキシブルプリント配線板の折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)のいずれにも用いることができ、折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)の一括形成プロセスに好適である。The resin composition of the present invention is suitable for a resin insulating layer of a flexible printed wiring board, for example, a coverlay or a solder resist.
When forming the resin insulation layer of a flexible printed wiring board using the resin composition of this invention, a suitable manufacturing method is as follows. That is, a step of forming a resin layer made of the resin composition of the present invention on a flexible printed wiring board, a step of irradiating the resin layer with light in a pattern, and a step of heating the resin layer (also referred to as Post Exposure Bake; PEB) And a method of forming the resin insulating layer having a pattern by alkali-developing the resin layer. If necessary, after alkali development, further light irradiation or heat curing (post-cure) is performed to completely cure the resin composition to obtain a highly reliable resin insulating layer.
As described above, the resin composition of the present invention is preferably capable of forming a negative pattern by alkali development by an addition reaction between a carboxyl group and a thermosetting component by heat treatment after selective light irradiation. It is possible.
Since the resulting cured product is excellent in heat resistance and flexibility and can be finely processed by alkali development, there is no need to partially use an alkali-developable photosensitive resin composition, and a flexible printed wiring board It can be used for both the bent part (bent part) and the mounting part (non-bent part), and is suitable for the batch formation process of the bent part (bent part) and the mounting part (non-bent part).
上記したように、ウレタン樹脂中のカルボキシル基は反応性が低く、その他のカルボキシル基含有樹脂のみを含む場合に比べて、露光後の加熱硬化反応時(PEB工程時)において同一の加熱温度下での、付加反応によりアルカリ耐性となるまでの時間を長くすることができる。また、加熱硬化反応時(PEB工程時)の加熱温度の選択幅を広げることができる。これらのことから、樹脂組成物の作業性や取扱性が向上する。未露光部がアルカリ耐性となる、いわゆるかぶりの発生を抑制することもできる。
以下、各成分について詳述する。As described above, the carboxyl group in the urethane resin has low reactivity, and compared with the case where only other carboxyl group-containing resin is included, the heat curing reaction after exposure (during the PEB process) is performed under the same heating temperature. It is possible to lengthen the time until alkali resistance is achieved by the addition reaction. Moreover, the selection range of the heating temperature at the time of thermosetting reaction (at the time of PEB process) can be expanded. From these things, the workability | operativity and handleability of a resin composition improve. It is also possible to suppress the occurrence of so-called fogging in which the unexposed portion becomes resistant to alkali.
Hereinafter, each component will be described in detail.
[カルボキシル基を有するウレタン樹脂]
本発明の樹脂組成物に含まれるカルボキシル基を有するウレタン樹脂としては、分子中にカルボキシル基を含有している公知慣用のウレタン樹脂化合物が使用できる。また、上記のように、加熱時のダレ発生防止効果向上の点から、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有ウレタン樹脂が好ましい。ここで、ダレとは、樹脂組成物を光照射後の現像に続いて加熱硬化させる際に、加熱によって樹脂が溶け出し、パターンが崩れる現象のことをいう。エチレン性不飽和二重結合としては、(メタ)アクリル酸もしくは(メタ)アクリル酸誘導体由来のものが好ましい。カルボキシル基を有するウレタン樹脂の具体例としては、以下に(1)〜(4)として列挙するような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。[Urethane resin having carboxyl group]
As the urethane resin having a carboxyl group contained in the resin composition of the present invention, a known and commonly used urethane resin compound containing a carboxyl group in the molecule can be used. Further, as described above, a carboxyl group-containing urethane resin having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule is preferable from the viewpoint of improving the effect of preventing the occurrence of sagging during heating. Here, sagging refers to a phenomenon in which, when the resin composition is heat-cured subsequent to development after light irradiation, the resin melts by heating and the pattern collapses. As the ethylenically unsaturated double bond, those derived from (meth) acrylic acid or (meth) acrylic acid derivatives are preferable. Specific examples of the urethane resin having a carboxyl group include the compounds listed below as (1) to (4) (any of oligomers and polymers).
(1)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。
(2)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応による感光性カルボキシル基含有ウレタン樹脂。
(3)上記(1)又は(2)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子内に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した感光性カルボキシル基含有ウレタン樹脂。
(4)上記(1)又は(2)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子内に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した感光性カルボキシル基含有ウレタン樹脂。
カルボキシル基を有するウレタン樹脂は、その酸価が20〜200mgKOH/gであることが好ましく、40〜150mgKOH/gであることがより好ましい。酸価が上記の範囲内であると、アルカリ溶解性が良好で、アルカリ現像によるパターニングが容易となる。
また、カルボキシル基を有するウレタン樹脂の質量平均分子量は、1,000〜100,000が好ましく、さらに3,000〜50,000が好ましい。質量平均分子量を1,000以上とすることで十分な硬化物の柔軟性を得ることができる。また質量平均分子量が100,000以下の場合アルカリ現像性を良くする事ができる。
カルボキシル基を有するウレタン樹脂の配合量は、カルボキシル基を有するウレタン樹脂とウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂との合計100質量部中10質量部以上が好ましく、30質量部以上であることがより好ましい。10質量部以上配合することで柔軟性が良好となる。(1) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate polyols, and polyethers A carboxyl group-containing urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.
(2) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( Photosensitive carboxyl group-containing urethane resin by polyaddition reaction of (meth) acrylate or its modified partial anhydride, carboxyl group-containing dialcohol compound and diol compound.
(3) During the synthesis of the resin of the above (1) or (2), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added, and the terminal ( Photosensitive carboxyl group-containing urethane resin that has been meta-acrylated.
(4) During the synthesis of the resin of the above (1) or (2), one isocyanate group and one or more (meth) acryl groups are introduced into the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. The photosensitive carboxyl group-containing urethane resin which added the compound which has and was terminally (meth) acrylated.
The urethane resin having a carboxyl group preferably has an acid value of 20 to 200 mgKOH / g, and more preferably 40 to 150 mgKOH / g. When the acid value is within the above range, the alkali solubility is good and patterning by alkali development becomes easy.
The mass average molecular weight of the urethane resin having a carboxyl group is preferably 1,000 to 100,000, and more preferably 3,000 to 50,000. By setting the mass average molecular weight to 1,000 or more, sufficient flexibility of the cured product can be obtained. Further, when the mass average molecular weight is 100,000 or less, the alkali developability can be improved.
The compounding amount of the urethane resin having a carboxyl group is preferably 10 parts by mass or more, more preferably 30 parts by mass or more, in a total of 100 parts by mass of the urethane resin having a carboxyl group and the resin having a carboxyl group other than the urethane resin. preferable. Flexibility becomes favorable by mix | blending 10 mass parts or more.
[ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂]
本発明の樹脂組成物に含まれるウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂は、上記のカルボキシル基を有するウレタン樹脂以外の樹脂であって、分子内にカルボキシル基を有する樹脂である。そのような樹脂としては、分子中にカルボキシル基を含有している公知慣用の樹脂化合物が使用できる。また、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有する樹脂であってもよい。エチレン性不飽和二重結合としては、(メタ)アクリル酸もしくは(メタ)アクリル酸誘導体由来のものが好ましい。
カルボキシル基を有するウレタン以外の樹脂の具体例としては、以下に(5)〜(11)として列挙するような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。[Resin having a carboxyl group other than urethane resin]
The resin having a carboxyl group other than the urethane resin contained in the resin composition of the present invention is a resin other than the above urethane resin having a carboxyl group, and is a resin having a carboxyl group in the molecule. As such a resin, a known and commonly used resin compound containing a carboxyl group in the molecule can be used. Further, it may be a resin having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule. As the ethylenically unsaturated double bond, those derived from (meth) acrylic acid or (meth) acrylic acid derivatives are preferable.
Specific examples of resins other than urethane having a carboxyl group include compounds (any of oligomers and polymers) listed below as (5) to (11).
(5)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。
(6)2官能又はそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に2塩基酸無水物を付加させた感光性カルボキシル基含有樹脂。
(7)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させた感光性カルボキシル基含有樹脂。
(8)2官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。
(9)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物と、エチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシド及び/又はエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物を反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸で部分エステル化し、得られた反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物と、エチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシド及び/又はエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物を反応させて得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。
(11)上記(5)〜(10)の樹脂にさらに1分子内に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリル基を有する化合物を付加してなる感光性カルボキシル基含有樹脂。
ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂は、その酸価が20〜200mgKOH/gであることが好ましく、より好適には40〜150mgKOH/gであることが好ましい。酸価が上記の範囲内であると、アルカリ溶解性が良好で、アルカリ現像によるパターニングが容易となる。
また、ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂の質量平均分子量は、1,000〜100,000が好ましく、さらに3,000〜50,000が好ましい。分子量が上記の範囲内であると、アルカリ溶解性が良好で、アルカリ現像によるパターニングが容易となる。
ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂の配合量は、カルボキシル基を有するウレタン樹脂とウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂の合計100質量部中5質量部以上、好ましくは20質量部以上であることが好ましい。5質量部以上配合することで光照射後の加熱時(PEB工程)に低温または短時間で露光部の耐現像性を得ることができる。(5) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene.
(6) A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by reacting a bifunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin with (meth) acrylic acid and adding a dibasic acid anhydride to a hydroxyl group present in the side chain.
(7) Photosensitivity in which (meth) acrylic acid is reacted with a polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin, and a dibasic acid anhydride is added to the resulting hydroxyl group. Functional carboxyl group-containing resin.
(8) A carboxyl group-containing polyester resin obtained by reacting a difunctional oxetane resin with a dicarboxylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group.
(9) Unsaturated reaction products obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide and / or a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by partial esterification with a group-containing monocarboxylic acid and reacting the resulting reaction product with a polybasic acid anhydride.
(10) A polybasic reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide and / or a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting an acid anhydride.
(11) A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryl groups in one molecule to the resins (5) to (10).
The resin having a carboxyl group other than the urethane resin preferably has an acid value of 20 to 200 mgKOH / g, and more preferably 40 to 150 mgKOH / g. When the acid value is within the above range, the alkali solubility is good and patterning by alkali development becomes easy.
Moreover, 1,000-100,000 are preferable and, as for the mass mean molecular weight of resin which has carboxyl groups other than urethane resin, 3,000-50,000 are preferable. When the molecular weight is within the above range, the alkali solubility is good and patterning by alkali development becomes easy.
The blending amount of the resin having a carboxyl group other than the urethane resin is 5 parts by mass or more, preferably 20 parts by mass or more, in a total of 100 parts by mass of the urethane resin having a carboxyl group and the resin having a carboxyl group other than the urethane resin. Is preferred. By blending 5 parts by mass or more, the development resistance of the exposed part can be obtained at a low temperature or in a short time during heating after light irradiation (PEB process).
[光塩基発生剤]
本発明において用いられる光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、カルボキシル基と後述する熱硬化成分の付加反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。
本発明の樹脂組成物がエチレン性不飽和基を系内に有する場合、光照射によるエチレン性不飽和基の重合反応を開始させることができることから、光塩基発生剤の中でも、光照射による活性化の過程でラジカルを生成する光ラジカル重合開始剤としても機能するものが好ましい。
光塩基発生剤として、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。なかでも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。[Photobase generator]
The photobase generator used in the present invention is used as a catalyst for the addition reaction of a carboxyl group and a thermosetting component described later when the molecular structure is changed by irradiation with light such as ultraviolet rays or visible light, or when the molecule is cleaved. It is a compound that produces one or more basic substances that can function. Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines.
When the resin composition of the present invention has an ethylenically unsaturated group in the system, it is possible to initiate a polymerization reaction of the ethylenically unsaturated group by light irradiation. Those that also function as a photo-radical polymerization initiator that generates radicals in the above process are preferred.
Examples of photobase generators include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzyl carbamate groups, and alkoxyoxybenzyl carbamates. And compounds having a substituent such as a group. Of these, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferred. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable.
その他の光塩基発生剤として、WPBG-018(商品名:9-anthrylmethylN,N'-diethylcarbamate),WPBG-027(商品名:(E)-1-[3-(2-hydroxyphenyl)-2-propenoyl]piperidine),WPBG-082(商品名:guanidinium2-(3-benzoylphenyl)propionate), WPBG-140 (商品名:1-(anthraquinon-2-yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することもできる。 Other photobase generators include WPBG-018 (trade name: 9-anthrylmethylN, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (trade name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2-propenoyl ] piperidine), WPBG-082 (trade name: guanidinium2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (trade name: 1- (anthraquinon-2-yl) ethyl imidazolecarboxylate), and the like can also be used.
α―アミノアセトフェノン化合物は、分子中にベンゾインエーテル結合を有し、光照射を受けると分子内で開裂が起こり、硬化触媒作用を奏する塩基性物質(アミン)が生成する。α−アミノアセトフェノン化合物の具体例としては、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン(イルガキュア369、商品名、BASFジャパン社製)や4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン(イルガキュア907、商品名、BASFジャパン社製)、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(イルガキュア379、商品名、BASFジャパン社製)などの市販の化合物またはその溶液を用いることができる。 The α-aminoacetophenone compound has a benzoin ether bond in the molecule, and when irradiated with light, cleavage occurs in the molecule to produce a basic substance (amine) that exhibits a curing catalytic action. Specific examples of the α-aminoacetophenone compound include (4-morpholinobenzoyl) -1-benzyl-1-dimethylaminopropane (Irgacure 369, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) and 4- (methylthiobenzoyl) -1-methyl. -1-morpholinoethane (Irgacure 907, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.), 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl]- A commercially available compound such as 1-butanone (Irgacure 379, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) or a solution thereof can be used.
オキシムエステル化合物としては、光照射により塩基性物質を生成する化合物であればいずれをも使用することができる。かかるオキシムエステル化合物としては、市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュアーOXE01、イルガキュアーOXE02、アデカ社製N−1919、NCI−831などが挙げられる。また、特許第4,344,400号公報に記載された、分子内に2個のオキシムエステル基を有する化合物も好適に用いることができる。 Any oxime ester compound can be used as long as it is a compound that generates a basic substance by light irradiation. Examples of such oxime ester compounds include CGI-325, Irgacure OXE01, Irgacure OXE02 manufactured by BASF Japan, N-1919, and NCI-831 manufactured by Adeka. Further, compounds having two oxime ester groups in the molecule described in Japanese Patent No. 4,344,400 can also be suitably used.
その他、特開2004−359639号公報、特開2005−097141号公報、特開2005−220097号公報、特開2006−160634号公報、特開2008−094770号公報、特表2008−509967号公報、特表2009−040762号公報、特開2011−80036号公報記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。 In addition, JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-220097, JP-A-2006-160634, JP-A-2008-094770, JP-A-2008-509967, Specific examples include carbazole oxime ester compounds described in JP2009-040762A and JP2011-80036A.
このような光塩基発生剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明の樹脂組成物中の光塩基発生剤の配合量は、好ましくは熱硬化成分100質量部に対して0.1〜40質量部であり、さらに好ましくは、0.1〜30質量部である。0.1質量部以上の場合、光照射部/未照射部の耐現像性のコントラストを良好に得ることができる。また、40質量部以下の場合、硬化物特性が向上する。 Such a photobase generator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The blending amount of the photobase generator in the resin composition of the present invention is preferably 0.1 to 40 parts by mass, more preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting component. is there. In the case of 0.1 parts by mass or more, the development resistance contrast of the light irradiated part / non-irradiated part can be favorably obtained. Moreover, in 40 mass parts or less, hardened | cured material characteristic improves.
本発明においては、上記のうちでも、下記一般式(I)で表される構造を有するオキシムエステル系光塩基発生剤を使用することが好ましい。かかるオキシムエステル系光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射によって分子が開裂することにより、カルボキシル基と後述する熱硬化成分の付加反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば1級アミン、2級アミン、3級アミンが挙げられる。 In the present invention, among the above, it is preferable to use an oxime ester photobase generator having a structure represented by the following general formula (I). Such an oxime ester photobase generator is one or more basic substances that can function as a catalyst for the addition reaction between a carboxyl group and a thermosetting component described later, when the molecule is cleaved by light irradiation such as ultraviolet light or visible light. Is a compound that produces Examples of basic substances include primary amines, secondary amines, and tertiary amines.
光塩基発生剤として、一般式(I)で表される構造を有するオキシムエステル系光塩基発生剤を用いると、その他の光塩基発生剤を用いた場合に比べて、樹脂組成物の深部硬化性が良好となる。また、オキシムエステル系光塩基発生剤は、光照射によりラジカルと塩基の両方を発生するため、樹脂組成物系内にエチレン性不飽和基などのラジカル重合するものが含まれている場合であっても、光塩基発生剤に加えて光ラジカル重合開始剤を含ませる必要がなくなる。その結果、光ラジカル重合開始剤と光塩基発生剤の双方が含まれることによって十分な光が深部まで到達しないという問題の発生を避けることができる。以上のことから、オキシムエステル系光塩基発生剤を用いることで、深部まで十分に硬化し、断面形状が良好なパターンを形成することが可能となる。
また、一般式(I)で表される構造を有するオキシムエステル系光塩基発生剤を用いると、露光後の加熱硬化反応時(PEB工程時)において同一の加熱温度下での、加熱時間の選択幅を広げることができる。これらのことから、樹脂組成物の作業性、取扱性が向上する。When the oxime ester photobase generator having the structure represented by the general formula (I) is used as the photobase generator, the deep curability of the resin composition is higher than when other photobase generators are used. Becomes better. In addition, since the oxime ester photobase generator generates both radicals and bases by light irradiation, the resin composition system contains a radical polymerizing agent such as an ethylenically unsaturated group. However, it is not necessary to include a radical photopolymerization initiator in addition to the photobase generator. As a result, it is possible to avoid the problem that sufficient light does not reach the depth due to the inclusion of both the photo radical polymerization initiator and the photo base generator. From the above, by using an oxime ester photobase generator, it is possible to form a pattern that is sufficiently cured to a deep portion and has a good cross-sectional shape.
In addition, when an oxime ester photobase generator having a structure represented by the general formula (I) is used, the selection of the heating time at the same heating temperature during the heat curing reaction after exposure (PEB process) The width can be increased. From these things, the workability | operativity and handleability of a resin composition improve.
一般式(I)で表される構造を有するオキシムエステル系光塩基発生剤を光塩基発生剤として用いることにより、深部硬化性が良くPEBの時間管理幅を広くとることができる。また、オキシムエステル系光塩基発生剤を用いることにより、望まざる部分においても付加反応による硬化が起きてしまい、現像ができなくなるといういわゆる熱かぶりの発生が抑制される。詳細な理由は定かではないが、考えられる理由として、一般式(I)で表される構造を有するオキシムエステル系光塩基発生剤は、光照射されていない状態では塩基を発生せず、光照射による分子の開裂を経て初めて塩基が発生する。従って、未露光部では塩基を触媒とする付加反応が進行しないということが挙げられる。これに対して、光塩基発生剤であっても、光照射により立体構造が変化し塩基性が強くなる性質を備える化合物では、もともと分子内にアミンなどの塩基を有しており、これが未露光部でも付加反応を引き起こしてしまうと考えられる。このような場合、露光部と未露光部とで、付加反応による樹脂組成物の硬化度合いの差が小さくなり、アルカリ現像による明確なコントラストが得られなくなったり、熱かぶりが発生してしまうことになる。 By using the oxime ester photobase generator having the structure represented by the general formula (I) as the photobase generator, the deep curability is good and the time management range of PEB can be widened. In addition, by using an oxime ester photobase generator, the occurrence of so-called hot fog, in which an undesired portion is cured by an addition reaction and cannot be developed, is suppressed. Although the detailed reason is not clear, as a possible reason, the oxime ester photobase generator having the structure represented by the general formula (I) does not generate a base in the state where it is not irradiated with light, and is irradiated with light. The base is generated only after the cleavage of the molecule. Therefore, it can be mentioned that the addition reaction using a base as a catalyst does not proceed in the unexposed area. On the other hand, even if it is a photobase generator, a compound having the property that the three-dimensional structure is changed by light irradiation and the basicity becomes strong, originally has a base such as an amine in the molecule, which is unexposed. It is thought that the addition reaction is caused even in the part. In such a case, the difference in the degree of cure of the resin composition due to the addition reaction between the exposed area and the unexposed area becomes small, and a clear contrast due to alkali development cannot be obtained, or heat fogging occurs. Become.
(式中、R1は、水素原子、無置換または炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基もしくはハロゲン原子で置換されたフェニル基、無置換または1個以上の水酸基で置換された炭素数1〜20のアルキル基、1個以上の酸素原子で中断された該アルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数5〜8のシクロアルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基を表し、
R2は、無置換または炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基もしくはハロゲン原子で置換されたフェニル基、無置換または1個以上の水酸基で置換された炭素数1〜20のアルキル基、1個以上の酸素原子で中断された該アルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数5〜8のシクロアルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基を表す。) (Wherein R 1 is a hydrogen atom, an unsubstituted or alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group substituted with a phenyl group or a halogen atom, unsubstituted or substituted with one or more hydroxyl groups. -20 alkyl group, the alkyl group interrupted by one or more oxygen atoms, unsubstituted, C1-C6 alkyl group or phenyl group substituted with C5-C8 cycloalkyl group, unsubstituted Or an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group,
R 2 represents an unsubstituted or alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group substituted with a phenyl group or a halogen atom, an unsubstituted or alkyl group having 1 to 20 carbon atoms substituted with one or more hydroxyl groups, The alkyl group interrupted by one or more oxygen atoms, unsubstituted or a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms substituted by an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group, unsubstituted or having 1 to 6 carbon atoms An alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group substituted with an alkyl group or a phenyl group is represented. )
オキシムエステル系光塩基発生剤の市販品としては、前掲したようなものがある。また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する光重合開始剤も好適に用いることができ、具体的には、下記一般式で表されるカルバゾール構造を有するオキシムエステル化合物が挙げられる。
(式中、Xは、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)を表し、Y、Zはそれぞれ、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、ハロゲン基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)、アンスリル基、ピリジル基、ベンゾフリル基、ベンゾチエニル基を表し、Arは、結合か、炭素数1〜10のアルキレン、ビニレン、フェニレン、ビフェニレン、ピリジレン、ナフチレン、チオフェン、アントリレン、チエニレン、フリレン、2,5−ピロール−ジイル、4,4’−スチルベン−ジイル、4,2’−スチレン−ジイルで表し、nは0か1の整数である。)Examples of commercially available oxime ester photobase generators include those listed above. Moreover, the photoinitiator which has two oxime ester groups in a molecule | numerator can also be used suitably, Specifically, the oxime ester compound which has a carbazole structure represented with the following general formula is mentioned.
(In the formula, X is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a phenyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms). A group, an amino group, an alkylamino group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms), And Y and Z are each a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, or a carbon number 1). Alkyl group having 1 to 8 alkoxy group, halogen group, phenyl group, phenyl group (alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, amino group, alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) Group or a dialkylamino group), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkylamino group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or Represents an anthryl group, a pyridyl group, a benzofuryl group, a benzothienyl group, and Ar is a bond or alkylene having 1 to 10 carbon atoms, vinylene, phenylene, biphenylene, pyridylene, naphthylene, thiophene , Anthrylene, thienylene, furylene, 2,5-pyrrole-diyl, 4,4′-stilbene-diyl, 4,2′-styrene-diyl, and n is an integer of 0 or 1.)
特に、前記一般式中、X、Yが、それぞれメチル基又はエチル基であり、Zはメチル基又はフェニル基であり、nは0であり、Arは、結合か、フェニレン、ナフチレン、チオフェン又はチエニレンであることが好ましい。 In particular, in the above general formula, X and Y are each a methyl group or an ethyl group, Z is a methyl group or a phenyl group, n is 0, Ar is a bond, phenylene, naphthylene, thiophene, or thienylene. It is preferable that
また、好ましいカルバゾールオキシムエステル化合物として、下記一般式で表すことができる化合物を挙げることもできる。
(式中、R11は、炭素原子数1〜4のアルキル基、または、ニトロ基、ハロゲン原子もしくは炭素原子数1〜4のアルキル基で置換されていてもよいフェニル基を表す。
R12は、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、または、炭素原子数1〜4のアルキル基もしくはアルコキシ基で置換されていてもよいフェニル基を表す。
R13は、酸素原子または硫黄原子で連結されていてもよく、フェニル基で置換されていてもよい炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基で置換されていてもよいベンジル基を表す。
R14は、ニトロ基、または、X1−C(=O)−で表されるアシル基を表す。X1は、炭素原子数1〜4のアルキル基で置換されていてもよいアリール基、チエニル基、モルホリノ基、チオフェニル基、または、下記式で示される構造を表す。)
Moreover, the compound which can be represented by the following general formula can also be mentioned as a preferable carbazole oxime ester compound.
(Wherein, R 11 represents an alkyl group or a nitro group, a halogen atom or a phenyl group which may be substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms having 1 to 4 carbon atoms.
R 12 represents a phenyl group which may be substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkyl group or alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.
R 13 may be linked with an oxygen atom or a sulfur atom, and may be substituted with an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms and an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted with a phenyl group. Represents a good benzyl group.
R 14 represents a nitro group or an acyl group represented by X 1 —C (═O) —. X 1 represents an aryl group, a thienyl group, a morpholino group, a thiophenyl group, or a structure represented by the following formula, which may be substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. )
その他、前掲した公報記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等も用いることができる。 In addition, carbazole oxime ester compounds described in the above-mentioned publications can also be used.
このようなオキシムエステル系光塩基発生剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。アルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物中の光塩基発生剤の配合量は、好ましくは熱硬化成分100質量部に対して0.1〜40質量部であり、さらに好ましくは、0.1〜30質量部である。0.1質量部以上の場合、光照射部/未照射部の耐現像性のコントラストを良好に得ることができる。また、40質量部以下の場合、硬化物特性が向上する。 Such oxime ester photobase generators may be used singly or in combination of two or more. The blending amount of the photobase generator in the alkali development type photocurable thermosetting resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, more preferably 0. 1 to 30 parts by mass. In the case of 0.1 parts by mass or more, the development resistance contrast of the light irradiated part / non-irradiated part can be favorably obtained. Moreover, in 40 mass parts or less, hardened | cured material characteristic improves.
[光ラジカル重合開始剤]
本発明の樹脂組成物は、上記光塩基発生剤以外に、本発明の効果を損なわない範囲で、光ラジカル重合開始剤を含んでいてもよい。光ラジカル重合開始剤としては、光照射によってラジカルを生成する公知の光ラジカル重合開始剤を用いることができる。例えば、上記した光塩基発生剤として機能しうるα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤以外のアルキルフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤等を挙げることができる。[Photo radical polymerization initiator]
In addition to the photobase generator, the resin composition of the present invention may contain a photoradical polymerization initiator as long as the effects of the present invention are not impaired. As the photoradical polymerization initiator, a known photoradical polymerization initiator that generates radicals by light irradiation can be used. For example, alkylphenone photopolymerization initiators other than α-aminoacetophenone photopolymerization initiators that can function as the above-mentioned photobase generator, acylphosphine oxide photopolymerization initiators, titanocene photopolymerization initiators, etc. Can do.
アルキルフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン等が挙げられる。 Examples of the alkylphenone photopolymerization initiator include 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl. -Propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one and the like.
アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、具体的には2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン社製のルシリンTPO、BASFジャパン社製のイルガキュアー819などが挙げられる。 Specific examples of the acylphosphine oxide photopolymerization initiator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, and bis (2,6-dimethoxy). And benzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide. Examples of commercially available products include Lucilin TPO manufactured by BASF Japan and Irgacure 819 manufactured by BASF Japan.
これらアルキルフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤の配合量は、カルボキシル基を有するウレタン樹脂とウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂との合計量100質量部に対して、0.01〜15質量部であることが好ましい。0.01質量部未満であると、光硬化性が不足し、耐薬品性などの塗膜特性が低下することがある。一方、15質量部を超えると、アウトガスの低減効果が得られず、さらに塗膜表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは0.5〜10質量部である。 The compounding amount of these alkylphenone photopolymerization initiator and acylphosphine oxide photopolymerization initiator is 0 with respect to 100 parts by mass of the total amount of the urethane resin having a carboxyl group and the resin having a carboxyl group other than the urethane resin. It is preferable that it is 0.01-15 mass parts. If it is less than 0.01 parts by mass, the photocurability may be insufficient, and the coating properties such as chemical resistance may deteriorate. On the other hand, when the amount exceeds 15 parts by mass, the effect of reducing the outgas cannot be obtained, the light absorption on the surface of the coating film becomes intense, and the deep curability tends to decrease. More preferably, it is 0.5-10 mass parts.
チタノセン系光重合開始剤としては、例えば、ビス(シクロペンタジエニル)−ジフェニル−チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ジクロロ−チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス(2,3,4,5,6ペンタフルオロフェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(ピロール−1−イル)フェニル)チタニウムなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン社製のイルガキュアー784などが挙げられる。 Examples of titanocene photopolymerization initiators include bis (cyclopentadienyl) -diphenyl-titanium, bis (cyclopentadienyl) -dichloro-titanium, and bis (cyclopentadienyl) -bis (2,3,4). , 5,6 pentafluorophenyl) titanium, bis (cyclopentadienyl) -bis (2,6-difluoro-3- (pyrrol-1-yl) phenyl) titanium, and the like. Examples of commercially available products include Irgacure 784 manufactured by BASF Japan.
チタノセン系光重合開始剤の配合量は、カルボキシル基を有するウレタン樹脂とウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂の合計量100質量部に対して、0.01〜15質量部であることが好ましい。0.01質量部未満であると、銅上での光硬化性が不足し、塗膜が剥離するとともに、耐薬品性等の塗膜特性が低下する場合がある。一方、15質量部を超えると、光吸収量が過剰に高くなり深部硬化性が悪化する場合がある。より好ましくは0.5〜10質量部である。 It is preferable that the compounding quantity of a titanocene type photoinitiator is 0.01-15 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of urethane resin which has a carboxyl group, and resin which has carboxyl groups other than a urethane resin. When it is less than 0.01 parts by mass, the photocurability on copper is insufficient, the coating film peels off, and the coating properties such as chemical resistance may be deteriorated. On the other hand, if it exceeds 15 parts by mass, the light absorption amount becomes excessively high and the deep curability may be deteriorated. More preferably, it is 0.5-10 mass parts.
上記光重合開始剤の他に、光開始助剤、増感剤を用いることができる。感光性樹脂組成物に好適に用いることができる光重合開始剤、光開始助剤及び増感剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、3級アミン化合物、及びキサントン化合物などを挙げることができる。 In addition to the photopolymerization initiator, a photoinitiator assistant and a sensitizer can be used. Photoinitiators, photoinitiators, and sensitizers that can be suitably used for photosensitive resin compositions include benzoin compounds, acetophenone compounds, anthraquinone compounds, thioxanthone compounds, ketal compounds, benzophenone compounds, and tertiary amine compounds. And xanthone compounds.
ベンゾイン化合物としては、具体的には、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどが挙げられる。 Specific examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether.
アセトフェノン化合物としては、具体的には、例えばアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。 Specific examples of the acetophenone compound include acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, and the like.
アントラキノン化合物としては、具体的には、例えば2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどが挙げられる。 Specific examples of the anthraquinone compound include 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, and the like.
チオキサントン化合物としては、具体的には、例えば2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。 Specific examples of the thioxanthone compound include 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone.
ケタール化合物としては、具体的には、例えばアセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。 Specific examples of the ketal compound include acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal.
ベンゾフェノン化合物としては、具体的には、例えばベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィドなどが挙げられる。 Specific examples of the benzophenone compound include benzophenone, 4-benzoyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-ethyldiphenyl sulfide, and 4-benzoyl-4′-propyldiphenyl. And sulfides.
3級アミン化合物としては、具体的には、例えばエタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、市販品では、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達社製ニッソキュアーMABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などのジアルキルアミノベンゾフェノン、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)などのジアルキルアミノ基含有クマリン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬社製カヤキュアーEPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure DMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure BEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬社製カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(Van Dyk社製Esolol 507)などが挙げられる。 Specifically, as the tertiary amine compound, for example, an ethanolamine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure, such as 4,4′-dimethylaminobenzophenone (Nisso Cure MABP manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), 4, Dialkylaminobenzophenone such as 4′-diethylaminobenzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one (7- (diethylamino) -4-methylcoumarin), etc. Dialkylamino group-containing coumarin compounds, ethyl 4-dimethylaminobenzoate (Kayacure EPA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), ethyl 2-dimethylaminobenzoate (Quantacure DMB, manufactured by International Bio-Synthetics), 4-dimethylamino Nobenzoic acid (n-butoxy) ethyl (Quantacure BEA manufactured by International Bio-Synthetics), p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ethyl ester (Kayacure DMBI manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 2-dimethylhexyl 4-dimethylaminobenzoic acid (Esolol 507 manufactured by Van Dyk).
これらのうち、チオキサントン化合物及び3級アミン化合物が好ましい。特に、チオキサントン化合物が含まれることが、深部硬化性の面から好ましい。中でも、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどのチオキサントン化合物を含むことが好ましい。 Of these, thioxanthone compounds and tertiary amine compounds are preferred. In particular, the inclusion of a thioxanthone compound is preferable from the viewpoint of deep curability. Among them, it is preferable to include a thioxanthone compound such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone.
このようなチオキサントン化合物の配合量としては、上記カルボキシル基を有するウレタン樹脂とウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂の合計量100質量部に対して、20質量部以下であることが好ましい。チオキサントン化合物の配合量が20質量部を超えると、厚膜硬化性が低下するとともに、製品のコストアップに繋がる。より好ましくは10質量部以下である。 As a compounding quantity of such a thioxanthone compound, it is preferable that it is 20 mass parts or less with respect to 100 mass parts of total amounts of the urethane resin which has the said carboxyl group, and resin which has carboxyl groups other than a urethane resin. When the blending amount of the thioxanthone compound exceeds 20 parts by mass, the thick film curability is lowered and the cost of the product is increased. More preferably, it is 10 parts by mass or less.
また、3級アミン化合物としては、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜450nmの範囲内にあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物及びケトクマリン類が特に好ましい。 As the tertiary amine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure is preferable, and among them, a dialkylaminobenzophenone compound, a dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength in the range of 350 to 450 nm, and ketocoumarins are particularly preferable. .
ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンが、毒性も低く好ましい。ジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が350〜410nmと紫外線領域にあるため、着色が少なく、無色透明な硬化被膜はもとより、着色顔料を用い、着色顔料自体の色を反映した着色硬化被膜を提供することが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが、波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。 As the dialkylaminobenzophenone compound, 4,4'-diethylaminobenzophenone is preferable because of its low toxicity. Dialkylamino group-containing coumarin compounds have a maximum absorption wavelength in the ultraviolet region of 350 to 410 nm, so they are less colored and use a colored pigment as well as a colorless and transparent cured coating, and a colored cured coating that reflects the color of the colored pigment itself Can be provided. In particular, 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one is preferable because it exhibits an excellent sensitizing effect on laser light having a wavelength of 400 to 410 nm.
このような3級アミン化合物の配合量としては、カルボキシル基を有するウレタン樹脂とウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂の合計量100質量部に対して、0.1〜20質量部であることが好ましい。3級アミン化合物の配合量が0.1質量部未満であると、十分な増感効果を得ることができない傾向にある。一方、20質量部を超えると、3級アミン化合物による塗膜の表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは0.1〜10質量部である。 As a compounding quantity of such a tertiary amine compound, it is 0.1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of urethane resin which has a carboxyl group, and resin which has carboxyl groups other than urethane resin. preferable. When the amount of the tertiary amine compound is less than 0.1 parts by mass, a sufficient sensitizing effect tends not to be obtained. On the other hand, when it exceeds 20 parts by mass, light absorption on the surface of the coating film by the tertiary amine compound becomes violent, and the deep curability tends to decrease. More preferably, it is 0.1-10 mass parts.
これらの光ラジカル重合開始剤、光開始助剤及び増感剤は、1種を単独で用いてもよく、2種類以上の混合物として使用することもできる。
このような光ラジカル重合開始剤、光開始助剤、及び増感剤の総量は、カルボキシル基を有するウレタン樹脂とウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂の合計量100質量部に対して35質量部以下であることが好ましい。35質量部を超えると、これらの光吸収により深部硬化性が低下する傾向にある。These radical photopolymerization initiators, photoinitiator assistants, and sensitizers may be used singly or as a mixture of two or more.
The total amount of such radical photopolymerization initiator, photoinitiator assistant, and sensitizer is 35 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the urethane resin having a carboxyl group and the resin having a carboxyl group other than the urethane resin. The following is preferable. When it exceeds 35 parts by mass, the deep curability tends to decrease due to light absorption.
[熱硬化成分]
熱硬化成分は、熱によって、カルボキシル基と付加反応が可能な官能基を有するものである。熱硬化成分としては、例えば、環状(チオ)エーテル基を有する化合物が好ましく、エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物等が挙げられる。[Thermosetting component]
The thermosetting component has a functional group capable of addition reaction with a carboxyl group by heat. As the thermosetting component, for example, a compound having a cyclic (thio) ether group is preferable, and examples thereof include an epoxy resin and a polyfunctional oxetane compound.
上記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ樹脂、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。なお、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。 The epoxy resin is a resin having an epoxy group, and any known one can be used. Examples thereof include a bifunctional epoxy resin having two epoxy groups in the molecule, and a polyfunctional epoxy resin having many epoxy groups in the molecule. In addition, a hydrogenated bifunctional epoxy compound may be used.
上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, and alicyclic type. Epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin , Diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl methacrylate Relate copolymerization system epoxy resins, copolymerized epoxy resins of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, and a CTBN modified epoxy resin.
その他の液状2官能性エポキシ樹脂としては、ビニルシクロヘキセンジエポキシド、(3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、(3’,4’−エポキシ−6’−メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート等の脂環族エポキシ樹脂を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Other liquid bifunctional epoxy resins include vinylcyclohexene diepoxide, (3 ′, 4′-epoxycyclohexylmethyl) -3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, and (3 ′, 4′-epoxy-6′-methyl). And alicyclic epoxy resins such as (cyclohexylmethyl) -3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate. These epoxy resins may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
なお、熱硬化成分として、マレイミド化合物、ブロックイソシアネート化合物、アミノ樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、エピスルフィド樹脂などの公知慣用の化合物を配合してもよい。 In addition, you may mix | blend well-known and usual compounds, such as a maleimide compound, a block isocyanate compound, an amino resin, a benzoxazine resin, a carbodiimide resin, a cyclocarbonate compound, an episulfide resin, as a thermosetting component.
熱硬化成分の配合量としては、上記カルボキシル基を有するウレタン樹脂および上記ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂との当量比(カルボキシル基:エポキシ基などの熱反応性基)が1:0.1〜1:10であることが好ましい。このような配合比の範囲とすることにより、現像が良好となり、容易に微細パターンを形成できる。上記当量比は、1:0.2〜1:5であることがさらに好ましい。 As a compounding amount of the thermosetting component, an equivalent ratio (carboxyl group: heat-reactive group such as epoxy group) of the urethane resin having a carboxyl group and a resin having a carboxyl group other than the urethane resin is 1: 0.1. It is preferably ˜1: 10. By setting the blending ratio in such a range, development becomes favorable and a fine pattern can be easily formed. The equivalent ratio is more preferably 1: 0.2 to 1: 5.
[感光性モノマー]
本発明の樹脂組成物は、エチレン性不飽和基を有するモノマー(感光性モノマーと称する)を含有することができる。感光性モノマーは、分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物である。感光性モノマーは、活性エネルギー線照射によるエチレン性不飽和基の重合反応を助けるものである。エチレン性不飽和基が存在することにより、光によるラジカル重合反応が起こり、強固なマトリックスが形成され、現像後の加熱硬化時のダレの発生を抑制することができる。エチレン性不飽和基としては、(メタ)アクリレート由来のものが好ましい。[Photosensitive monomer]
The resin composition of the present invention can contain a monomer having an ethylenically unsaturated group (referred to as a photosensitive monomer). The photosensitive monomer is a compound having one or more ethylenically unsaturated groups in the molecule. The photosensitive monomer assists the polymerization reaction of ethylenically unsaturated groups by irradiation with active energy rays. Due to the presence of the ethylenically unsaturated group, a radical polymerization reaction due to light occurs, a strong matrix is formed, and the occurrence of dripping at the time of heat curing after development can be suppressed. As the ethylenically unsaturated group, those derived from (meth) acrylate are preferable.
前記感光性モノマーとして用いられる化合物としては、例えば、慣用公知のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。具体的には、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコール又はこれらのエチレンオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、及びこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;前記に限らず、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオールなどのポリオールを直接アクリレート化、もしくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類及びメラミンアクリレート、及び前記アクリレートに対応する各メタクリレート類の少なくとも何れか一種などが挙げられる。 Examples of the compound used as the photosensitive monomer include conventionally known polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, carbonate (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, and the like. . Specifically, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; N, N-dimethylacrylamide Acrylamides such as N-methylol acrylamide and N, N-dimethylaminopropyl acrylamide; aminoalkyl acrylates such as N, N-dimethylaminoethyl acrylate and N, N-dimethylaminopropyl acrylate; hexanediol, trimethylolpropane, Polyhydric alcohols such as pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate or the like; Polyhydric acrylates such as lenoxide adducts, propylene oxide adducts, or ε-caprolactone adducts; polyvalent acrylates such as phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and ethylene oxide or propylene oxide adducts of these phenols Acrylates; glyceryl diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, polyglycerides of glycidyl ether such as triglycidyl isocyanurate; not limited to the above, polyether polyol, polycarbonate diol, hydroxyl-terminated polybutadiene, Directly acrylated polyol such as polyester polyol, or urethane acrylate via diisocyanate Acrylates and melamine acrylates, and at least one of each methacrylate corresponding to the acrylate.
さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などの多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂などを感光性モノマーとして用いてもよい。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。 Furthermore, you may use the epoxy acrylate resin etc. which made acrylic acid react with polyfunctional epoxy resins, such as a cresol novolak-type epoxy resin, as a photosensitive monomer. Such an epoxy acrylate resin can improve photocurability without deteriorating the touch drying property.
前記の感光性モノマーとして用いられる分子中にエチレン性不飽和基を有する化合物の配合量は、好ましくはカルボキシル基を有するウレタン樹脂とウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂の合計量100質量部に対して、1〜50質量部、より好ましくは、3〜30質量部の割合である。前記配合量が、1質量部未満の場合、十分なダレ防止効果が得られないことがある。一方、50質量部を超えた場合、硬化膜が脆くなることがある。 The compounding amount of the compound having an ethylenically unsaturated group in the molecule used as the photosensitive monomer is preferably 100 parts by mass of the total amount of the urethane resin having a carboxyl group and the resin having a carboxyl group other than the urethane resin. 1 to 50 parts by mass, more preferably 3 to 30 parts by mass. When the blending amount is less than 1 part by mass, a sufficient sagging prevention effect may not be obtained. On the other hand, when it exceeds 50 mass parts, a cured film may become weak.
(高分子樹脂)
本発明の樹脂組成物には、得られる硬化物の可撓性、指触乾燥性の向上を目的に慣用公知の高分子樹脂を配合することができる。高分子樹脂としてはセルロース系、ポリエステル系、フェノキシ樹脂系ポリマー、ポリビニルアセタール系、ポリビニルブチラール系、ポリアミド系、ポリアミドイミド系バインダーポリマー、ブロック共重合体、エラストマー等が挙げられる。上記高分子樹脂は1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。(Polymer resin)
The resin composition of the present invention can be blended with conventionally known polymer resins for the purpose of improving the flexibility and dryness of the touch of the resulting cured product. Examples of the polymer resin include cellulose, polyester, phenoxy resin, polyvinyl acetal, polyvinyl butyral, polyamide, polyamideimide binder polymer, block copolymer, elastomer and the like. The above polymer resins may be used alone or in combination of two or more.
(無機充填剤)
本発明の樹脂組成物には、無機充填剤を配合することができる。無機充填剤は、樹脂組成物の硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために使用される。無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、無定形シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグシリシャスアース等が挙げられる。上記無機充填剤は1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。(Inorganic filler)
An inorganic filler can be blended in the resin composition of the present invention. The inorganic filler is used for suppressing the curing shrinkage of the cured product of the resin composition and improving properties such as adhesion and hardness. Examples of the inorganic filler include barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, and Neuburg Examples include rich earth. The said inorganic filler may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
(着色剤)
さらに、本発明の樹脂組成物には、着色剤を配合することができる。着色剤としては、赤、青、緑、黄、白、黒などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。(Coloring agent)
Furthermore, a coloring agent can be mix | blended with the resin composition of this invention. As the colorant, conventionally known colorants such as red, blue, green, yellow, white, and black can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used.
(有機溶剤)
本発明の樹脂組成物には、樹脂組成物の調製のためや、基材やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のために、有機溶剤を使用することができる。
このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。(Organic solvent)
In the resin composition of the present invention, an organic solvent can be used for preparing the resin composition or adjusting the viscosity for application to a substrate or a carrier film.
Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. Such an organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.
(その他の任意成分)
本発明の樹脂組成物には、必要に応じてさらに、メルカプト化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。また、上記の樹脂組成物には、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/又はレベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。(Other optional ingredients)
If necessary, the resin composition of the present invention may further contain components such as a mercapto compound, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber. As these, those known in the field of electronic materials can be used. In addition, the above resin composition includes known and commonly used thickeners such as finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite, montmorillonite, silicone-based, fluorine-based, polymer-based antifoaming agents and / or leveling agents, Known and commonly used additives such as silane coupling agents and rust preventives can be blended.
〔ドライフィルム〕
本発明のドライフィルムは、本発明の樹脂組成物からなる樹脂層を有することを特徴とする。本発明の樹脂組成物以外の樹脂組成物からなる層も有する多層構造のドライフィルムであってもよい。
ドライフィルム化に際しては、例えば、本発明の樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター等の公知の手法でキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥し、キャリアフィルム上に樹脂層を形成する。[Dry film]
The dry film of the present invention has a resin layer made of the resin composition of the present invention. The multilayer film may be a dry film having a layer made of a resin composition other than the resin composition of the present invention.
In forming a dry film, for example, the resin composition of the present invention is diluted with an organic solvent to have an appropriate viscosity, and is applied to a carrier film with a uniform thickness by a known technique such as a comma coater. Thereafter, drying is usually performed at a temperature of 50 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes to form a resin layer on the carrier film.
キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。キャリアフィルム上に樹脂層を形成した後、さらに、樹脂層の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層してもよい。 A plastic film is used as the carrier film. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of a carrier film, Generally, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers. After forming the resin layer on the carrier film, a peelable cover film may be further laminated on the surface of the resin layer.
〔フレキシブルプリント配線板及びその製造方法〕
本発明のフレキシブルプリント配線板は、感光性熱硬化性樹脂組成物、又は、ドライフィルムの樹脂層からなる硬化物を有することを特徴とするものである。
本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法は、フレキシブルプリント配線板上に感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程、パターン状に光を樹脂層に照射する工程、樹脂層を加熱する工程、及び、樹脂層をアルカリ現像して、カバーレイ及びソルダーレジストのうちの少なくともいずれか一方を形成する工程を含む。[Flexible printed wiring board and manufacturing method thereof]
The flexible printed wiring board of the present invention is characterized by having a cured product composed of a photosensitive thermosetting resin composition or a resin layer of a dry film.
The method for producing a flexible printed wiring board of the present invention includes a step of forming a resin layer made of a photosensitive thermosetting resin composition on a flexible printed wiring board, a step of irradiating the resin layer with light in a pattern, and a resin layer. A step of heating, and a step of alkali-developing the resin layer to form at least one of a coverlay and a solder resist.
[樹脂層形成工程]
この工程では、フレキシブルプリント配線板上にアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を少なくとも一層形成する。
樹脂層の形成方法としては、塗布法と、ラミネート法が挙げられる。
塗布法の場合、スクリーン印刷等の方法により、アルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物をフレキシブルプリント配線板上に塗布し、乾燥することにより樹脂層を形成する。
ラミネート法の場合、まずは、アルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、キャリアフィルム上に塗布、乾燥して樹脂層を有するドライフィルムを作成する。次に、ラミネーター等により樹脂層が、フレキシブルプリント配線板と接触するように貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離する。[Resin layer forming step]
In this step, at least one resin layer made of an alkali development type photocurable thermosetting resin composition is formed on the flexible printed wiring board.
Examples of the method for forming the resin layer include a coating method and a laminating method.
In the case of the application method, the alkali development type photocurable thermosetting resin composition is applied onto the flexible printed wiring board by a method such as screen printing and dried to form a resin layer.
In the case of the laminating method, first, an alkali development type photo-curable thermosetting resin composition is diluted with an organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, applied onto a carrier film, and dried to produce a dry film having a resin layer. To do. Next, after bonding together so that a resin layer may contact a flexible printed wiring board with a laminator etc., a carrier film is peeled.
また、樹脂層には、他の層を積層させることができる。他の層は、アルカリ現像型感光性樹脂組成物からなることが好ましい。アルカリ現像型感光性樹脂組成物としては、公知の組成物を使用することができ、例えば、カバーレイ用又はソルダーレジスト用の公知の組成物を使用できる。このように他の層を含めた積層構造とすることにより、さらに耐衝撃性と屈曲性に優れた硬化物を得ることができる。 Moreover, another layer can be laminated | stacked on a resin layer. The other layer is preferably made of an alkali development type photosensitive resin composition. As an alkali development type photosensitive resin composition, a well-known composition can be used, For example, the well-known composition for coverlays or a soldering resist can be used. Thus, by setting it as the laminated structure including another layer, the hardened | cured material which was further excellent in impact resistance and flexibility can be obtained.
[光照射工程]
この工程は、ネガ型のパターン状に光照射にて樹脂層に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する。この工程では、光照射部で発生した塩基により、光塩基発生剤が不安定化し、塩基が化学的に増殖することにより、樹脂層の深部まで十分硬化できる。[Light irradiation process]
This step activates the photobase generator contained in the resin layer by light irradiation in a negative pattern to cure the light irradiation part. In this step, the photobase generator is destabilized by the base generated in the light irradiation part, and the base is chemically proliferated, whereby the resin layer can be sufficiently cured to the deep part.
光照射機としては、直接描画装置、メタルハライドランプを搭載した光照射機などを用いることができる。パターン状の光照射用のマスクは、ネガ型のマスクである。
光照射に用いる活性エネルギー線としては、最大波長が350〜450nmの範囲にあるレーザー光又は散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく光塩基発生剤を活性化させることができる。この範囲のレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には100〜1500mJ/cm2とすることができる。As the light irradiator, a direct writer, a light irradiator equipped with a metal halide lamp, or the like can be used. The patterned light irradiation mask is a negative mask.
As the active energy ray used for light irradiation, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the photobase generator can be activated efficiently. If a laser beam in this range is used, either a gas laser or a solid laser may be used. Moreover, although the light irradiation amount changes with film thicknesses etc., it can generally be set as 100-1500 mJ / cm < 2 >.
[加熱工程]
この工程は、光照射後、樹脂層を加熱することにより光照射部を硬化する。この工程により、光照射工程で発生した塩基により深部まで硬化できる。加熱温度は、例えば、80〜140℃である。加熱時間は、例えば、10〜100分である。
本発明におけるアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物の硬化は、例えば、熱反応によるエポキシ樹脂の開環反応であるため、光ラジカル反応で硬化が進行する場合と比べてひずみや硬化収縮を抑えることができる。[Heating process]
In this step, after the light irradiation, the light irradiation part is cured by heating the resin layer. By this process, it is possible to cure to a deep part by the base generated in the light irradiation process. The heating temperature is, for example, 80 to 140 ° C. The heating time is, for example, 10 to 100 minutes.
Curing of the alkali development type photo-curable thermosetting resin composition in the present invention is, for example, a ring-opening reaction of an epoxy resin by a thermal reaction, and therefore, distortion and curing shrinkage compared to the case where curing proceeds by a photoradical reaction. Can be suppressed.
[現像工程]
現像工程は、アルカリ現像により、未照射部を除去して、ネガ型のパターン状の絶縁膜、特に、カバーレイ及びソルダーレジストを形成する。
現像方法としては、ディッピング等の公知の方法によることができる。また、現像液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化カリウム、アミン類、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液またはこれらの混合液を用いることができる。
なお、現像工程の後に、さらに、絶縁膜を光照射してもよい。また、例えば、150℃以上で加熱してもよい。[Development process]
In the development step, the unirradiated portion is removed by alkali development to form a negative patterned insulating film, particularly a coverlay and a solder resist.
The developing method can be a known method such as dipping. Further, as the developing solution, sodium carbonate, potassium carbonate, potassium hydroxide, amines, imidazoles such as 2-methylimidazole, alkaline aqueous solution such as tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH) or a mixed solution thereof should be used. Can do.
Note that the insulating film may be further irradiated with light after the development step. For example, you may heat at 150 degreeC or more.
次に、本発明の樹脂組成物から本発明のフレキシブルプリント配線板を製造する方法の一例を図1の工程図に基づき説明する。なお、図1では、樹脂層が積層構造である場合を示すが、1層のみからなる場合でもよい。 Next, an example of a method for producing the flexible printed wiring board of the present invention from the resin composition of the present invention will be described based on the process diagram of FIG. FIG. 1 shows a case where the resin layer has a laminated structure, but it may be composed of only one layer.
図1の積層工程は、樹脂層3と樹脂層4からなる積層構造体を、銅回路2が形成されたフレキシブルプリント配線基材1に形成する。
樹脂層3は、カルボキシル基を有するウレタン樹脂、ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂および光塩基発生剤を含む本発明のアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物からなる。
樹脂層4は、樹脂層3上に形成され、1分子中に1個以上のイミド環と1個以上のカルボキシル基とを有するポリイミド樹脂、光塩基発生剤、及び熱硬化成分を含む感光性熱硬化性樹脂組成物からなる。In the laminating process of FIG. 1, a laminated structure composed of the resin layer 3 and the resin layer 4 is formed on the flexible printed wiring substrate 1 on which the
The resin layer 3 is made of the alkali development type photocurable thermosetting resin composition of the present invention containing a urethane resin having a carboxyl group, a resin having a carboxyl group other than the urethane resin, and a photobase generator.
The resin layer 4 is formed on the resin layer 3 and is a photosensitive heat containing a polyimide resin having one or more imide rings and one or more carboxyl groups in one molecule, a photobase generator, and a thermosetting component. It consists of a curable resin composition.
図1の光照射工程は、樹脂層4上にマスク5を配置し、ネガ型のパターン状に光照射することにより、各樹脂層に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する工程である。図1の加熱工程は、光照射工程の後、樹脂層を加熱することにより、光照射部を硬化する工程(PEB工程)である。図1の現像工程は、アルカリ性水溶液によって現像することにより、未照射部が除去され、ネガ型のパターン層を形成する工程である。 In the light irradiation step of FIG. 1, a mask 5 is arranged on the resin layer 4 and light irradiation is performed in a negative pattern, thereby activating the photobase generator contained in each resin layer and curing the light irradiation portion. It is a process to do. The heating process of FIG. 1 is a process (PEB process) of curing the light irradiation part by heating the resin layer after the light irradiation process. The development process in FIG. 1 is a process in which an unirradiated portion is removed by developing with an alkaline aqueous solution, and a negative pattern layer is formed.
なお、図1の第2光照射工程は、必要に応じて、残った光塩基発生剤を活性化して塩基を発生させるための工程であり、熱硬化工程は、必要に応じて、パターン層を十分に熱硬化させるための工程である。 In addition, the 2nd light irradiation process of FIG. 1 is a process for activating the remaining photobase generator as needed, and generating a base, and a thermosetting process is a pattern layer as needed. This is a process for sufficient heat curing.
以下、実施例、比較例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例、比較例によって制限されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not restrict | limited by these Examples and a comparative example.
[実施例1、参考例1〜5、比較例1〜4]
<樹脂組成物の調製>
下記表1記載の配合に従って、実施例、参考例および比較例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、アルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物を調製した。表中の値は、特に断りが無い限り固形分(質量部)である。
[Example 1, Reference Examples 1 to 5, Comparative Examples 1 to 4]
<Preparation of resin composition>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, the materials described in Examples, Reference Examples and Comparative Examples were respectively blended, premixed with a stirrer, kneaded with a three roll mill, and alkali-developable photocurable thermosetting resin. A composition was prepared. The values in the table are solids (parts by mass) unless otherwise specified.
<樹脂層の形成工程>
銅厚18μmで回路が形成されているフレキシブルプリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して、前処理を行った。その後、前記前処理を行ったフレキシブルプリント配線板に、実施例1、参考例1〜5および比較例1〜4の樹脂組成物を液状塗布方法にて乾燥後で20μmになるようにコーティングを行った。その後、熱風循環式乾燥炉にて80℃、30分にて乾燥し、樹脂層を形成した。その後、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて500mJ/cm2の露光量でネガ型のパターン状に光照射した。
<Resin layer formation process>
A flexible printed wiring substrate in which a circuit was formed with a copper thickness of 18 μm was prepared, and pre-treatment was performed using MEC CZ-8100. Thereafter, the flexible printed wiring board subjected to the pretreatment was coated with the resin compositions of Example 1, Reference Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4 to 20 μm after drying by a liquid coating method. It was. Then, it dried at 80 degreeC and 30 minutes with the hot-air circulation type drying furnace, and formed the resin layer. Thereafter, the film was irradiated with a negative pattern with an exposure amount of 500 mJ / cm 2 using ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light).
<PEB工程の温度による現像性評価>
上記の樹脂層の形成工程により得られた露光後の樹脂層を有する基板を、80℃60分、90℃30分、100℃15分間加熱処理を行った。その後30℃の1質量%の炭酸ナトリウム水溶液中に基材を浸漬して3分間現像を行い、現像性の可否を評価し、現像可能な加熱時間の幅(分)を評価した。評価基準は以下の通り。
○:現像可能で、塗膜の状態も良好。
× ※1:露光部が現像液に溶解するためパターン形成不可。
× ※2:未露光部が現像液に溶解しないためパターン形成不可。<Developability evaluation by temperature of PEB process>
The board | substrate which has the resin layer after the exposure obtained by the formation process of said resin layer was heat-processed for 80 degreeC 60 minutes, 90 degreeC 30 minutes, and 100 degreeC 15 minutes. Thereafter, the substrate was immersed in a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C., developed for 3 minutes, evaluated for developability, and evaluated for the width (minutes) of the developable heating time. The evaluation criteria are as follows.
○: Development is possible and the state of the coating is good.
× * 1: Pattern cannot be formed because the exposed area is dissolved in the developer.
× * 2: The pattern cannot be formed because the unexposed area does not dissolve in the developer.
<硬化後のパターン形状評価>
上記の樹脂層の形成工程により得られた露光後の樹脂層を有する基板を、90℃30分加熱処理(PEB)を行った。その後30℃の1質量%の炭酸ナトリウム水溶液中に基材を浸漬して3分間現像を行った。その後150℃60分加熱し、硬化後にパターン形状がダレているかを評価した。評価基準は以下の通り。得られた結果を下記表1に示す。
◎:パターン形状にダレなく、しかもシャープな形状。
○:パターン形状にダレなし。
×:パターン形状にダレ有り。<Evaluation of pattern shape after curing>
The board | substrate which has the resin layer after the exposure obtained by the formation process of said resin layer performed 90 degreeC 30 minute heat processing (PEB). Thereafter, the substrate was immersed in a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. and developed for 3 minutes. Thereafter, it was heated at 150 ° C. for 60 minutes, and it was evaluated whether the pattern shape was sag after curing. The evaluation criteria are as follows. The obtained results are shown in Table 1 below.
A: The shape of the pattern is smooth and sharp.
○: No sagging in the pattern shape.
X: The pattern shape is sagging.
*2:酸価50mgKOH/g ポリウレタン樹脂(根上工業社製)
*3:酸価63mgKOH/g 酸変性ノボラック型エポキシアクリレート樹脂(日本化薬社製)
*4:酸価104mgKOH/g ビスフェノールAノボラック樹脂
*5:トリメチロールプロパンEO 変性トリアクリレート(東亞合成社製)
*6:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製)
*7:α−ヒドロキシアセトフェノン系光重合開始剤(BASF社製)
*8:光塩基発生剤(和光純薬社製)
*9:オキシム系光重合開始剤(BASF社製)
* 2: Acid value 50 mgKOH / g Polyurethane resin (Negami Kogyo Co., Ltd.)
* 3: Acid value 63 mgKOH / g Acid-modified novolak epoxy acrylate resin (Nippon Kayaku Co., Ltd.)
* 4: Acid value 104 mg KOH / g Bisphenol A novolak resin * 5: Trimethylolpropane EO modified triacrylate (manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
* 6: Bisphenol A type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation)
* 7: α-hydroxyacetophenone photopolymerization initiator (BASF)
* 8: Photobase generator (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
* 9: Oxime-based photopolymerization initiator (BASF)
表1に示す評価結果から明らかなように、実施例1および参考例1〜5の感光性熱硬化性樹脂組成物は、80℃、90℃、100℃のいずれの温度での露光後加熱処理であっても現像性が良好であった。また、硬化後のパターン形状にダレがなく、シャープな形状が得られた。 As is apparent from the evaluation results shown in Table 1, the photosensitive thermosetting resin compositions of Example 1 and Reference Examples 1 to 5 were subjected to post-exposure heat treatment at any of 80 ° C., 90 ° C., and 100 ° C. Even so, the developability was good. Moreover, there was no drooping in the pattern shape after curing, and a sharp shape was obtained.
[実施例2,3および参考例6〜11]
<樹脂組成物の調製>
下記表2記載の配合に従って、実施例および参考例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、アルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物を調製した。表中の値は、特に断りが無い限り固形分(質量部)である。
[Examples 2 and 3 and Reference Examples 6 to 11]
<Preparation of resin composition>
In accordance with the formulation shown in Table 2 below, the materials described in Examples and Reference Examples were respectively blended, premixed with a stirrer, kneaded with a three-roll mill, and an alkali development type photocurable thermosetting resin composition was obtained. Prepared. The values in the table are solid contents (parts by mass) unless otherwise specified.
<樹脂層の形成工程>
銅厚18μmで回路が形成されているフレキシブルプリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して、前処理を行った。その後、前記前処理を行ったフレキシブルプリント配線板に、実施例2,3および参考例6〜11の樹脂組成物を液状塗布方法にて乾燥後で20μmになるようにコーティングを行った。その後、熱風循環式乾燥炉にて80℃、30分にて乾燥し、樹脂層を形成した。
<Resin layer formation process>
A flexible printed wiring substrate in which a circuit was formed with a copper thickness of 18 μm was prepared, and pre-treatment was performed using MEC CZ-8100. Thereafter, the pre-treated flexible printed wiring board was coated with the resin compositions of Examples 2 and 3 and Reference Examples 6 to 11 to 20 μm after drying by a liquid coating method. Then, it dried at 80 degreeC and 30 minutes with the hot-air circulation type drying furnace, and formed the resin layer.
<PEB工程の時間による現像性評価>
上記の樹脂層の形成工程により得られた樹脂層に、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて500mJ/cm2の露光量でネガ型のパターン状に光照射した。
露光後の樹脂層を有する基板を、90℃30分、60分、70分、80分間、それぞれ加熱処理を行った。その後30℃の1質量%の炭酸ナトリウム水溶液中に基材を浸漬して3分間現像を行い、現像性の可否を評価し、現像可能な加熱時間の幅(分)を評価した。評価基準は以下の通り。
○:現像可能で、塗膜の状態も良好。
×:未露光部も硬化反応を起こし現像によるパターン形成不可。<Developability evaluation by PEB process time>
The resin layer obtained by the above resin layer formation step was irradiated with a negative pattern at an exposure amount of 500 mJ / cm 2 with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light).
The substrate having the exposed resin layer was subjected to heat treatment at 90 ° C. for 30 minutes, 60 minutes, 70 minutes, and 80 minutes. Thereafter, the substrate was immersed in a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C., developed for 3 minutes, evaluated for developability, and evaluated for the width (minutes) of the developable heating time. The evaluation criteria are as follows.
○: Development is possible and the state of the coating is good.
X: A pattern is not formed by development because the unexposed portion also undergoes a curing reaction.
<保護層用の組成物の調製>
下記パターニング性評価において用いる、保護層用の樹脂組成物を以下のように調製した。酸価86mgKOH/g Mw:10000のカルボキシル基を有するポリイミドを100質量部、jER828を63.5質量部、イルガキュアOXE02を10質量部の配合量でそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、保護層用の樹脂組成物を調製した。<Preparation of composition for protective layer>
A resin composition for a protective layer used in the following patternability evaluation was prepared as follows. An acid value of 86 mgKOH / g Mw: 10,000 parts by weight of polyimide having a carboxyl group of 10000, 63.5 parts by weight of jER828, and 10 parts by weight of Irgacure OXE02, and after premixing with a stirrer, 3 pieces A resin composition for the protective layer was prepared by kneading with a roll mill.
<接着層として用いたときのパターンニング性評価>
実施例および参考例それぞれの樹脂組成物を用い、上記の樹脂層の形成工程により得られた乾燥後の樹脂層の上に、保護層用の組成物の調製で得られた樹脂組成物を液状塗布方法にて乾燥後で10μmになるようにコーティングを行い、熱風循環式乾燥炉にて80℃、30分乾燥し、2層の樹脂層を形成した。その後、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて500mJ/cm2の露光量でネガ型のパターン状に光照射し、90℃30分間加熱処理を行った。その後30℃の1質量%の炭酸ナトリウム水溶液中に基材を浸漬して3分間現像を行い、パターンニングした。パターンニング後、断面の形状を光学顕微鏡にて確認しその形状を評価した。
○:下層のアンダーカット発生なし。
×:下層のアンダーカット発生大。
結果を下記表2に示す。
<Patternability evaluation when used as an adhesive layer>
Using the resin compositions of Examples and Reference Examples, the resin composition obtained by preparing the composition for the protective layer is liquid on the dried resin layer obtained by the above resin layer forming step. Coating was performed so as to be 10 μm after drying by a coating method, and drying was performed at 80 ° C. for 30 minutes in a hot air circulation type drying furnace to form two resin layers. Thereafter, the film was irradiated with a negative pattern with an exposure amount of 500 mJ / cm 2 using ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light), and subjected to heat treatment at 90 ° C. for 30 minutes. Thereafter, the substrate was immersed in a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C., developed for 3 minutes, and patterned. After patterning, the cross-sectional shape was confirmed with an optical microscope and the shape was evaluated.
○: Undercut does not occur in the lower layer.
×: Large undercut occurs in the lower layer.
The results are shown in Table 2 below.
※12:酸価63mgKOH/g 酸変性ノボラック型エポキシアクリレート樹脂(日本化薬社製)
※13:酸価104mgKOH/g ビスフェノールAノボラック樹脂
※14:ビスフェノールA型エポキシ樹脂、jER828(三菱化学社製)
※15:イルガキュアOXE−02(BASF社製)
※16:NCI−831(ADEKA社製)
※17:下記構造式で表される化合物
※18:イルガキュア184(ヒドロキシルアルキルフェノン系光重合開始剤、BASF社製)
※19:イルガキュア907(アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、BASF社製)
※20:WPRG−018(9−アンスリルメチル N,N’−ジエチルカルバメート)(和光純薬社製)
* 13: Acid value 104 mgKOH / g Bisphenol A novolac resin * 14: Bisphenol A type epoxy resin, jER828 (Mitsubishi Chemical Corporation)
* 15: Irgacure OXE-02 (BASF)
* 16: NCI-831 (made by ADEKA)
* 17: Compound represented by the following structural formula
* 18: Irgacure 184 (hydroxylalkylphenone photopolymerization initiator, manufactured by BASF)
* 19: Irgacure 907 (aminoalkylphenone photopolymerization initiator, manufactured by BASF)
* 20: WPRG-018 (9-anthrylmethyl N, N′-diethylcarbamate) (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
上記表2から明らかなように、本発明の一般式(I)で表される構造を有するオキシムエステル系光塩基発生剤を含む参考例6〜10に係る樹脂組成物は、PEB工程における加熱時間の選択幅が広く、取扱性に優れたものであった。
これに対して、一般式(I)で表される構造を有するオキシムエステル系光塩基発生剤を含まない実施例2,3および参考例11に係る樹脂組成物は、90℃で70分以上加熱すると未露光部であってもアルカリ現像ができず、パターン形成が不可能であった。
また、参考例6〜10に係る樹脂組成物は、上層として光を吸収する樹脂組成物からなる保護層を有する2層構造の下層に位置しても、十分な深部硬化性を示した。
As is apparent from Table 2 above, the resin composition according to Reference Examples 6 to 10 containing the oxime ester photobase generator having the structure represented by the general formula (I) of the present invention is the heating time in the PEB step. The selection range was wide, and the handleability was excellent.
In contrast, the resin compositions according to Examples 2 and 3 and Reference Example 11 that do not contain the oxime ester photobase generator having the structure represented by the general formula (I) are heated at 90 ° C. for 70 minutes or more. Then, even if it was an unexposed part, alkali development was not possible and pattern formation was impossible.
Moreover, even if the resin composition which concerns on Reference Examples 6-10 was located in the lower layer of the two-layer structure which has a protective layer which consists of a resin composition which absorbs light as an upper layer, sufficient deep part sclerosis | hardenability was shown.
1 フレキシブルプリント配線基材
2 銅回路
3 樹脂層
4 樹脂層
5 マスクDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible printed
Claims (8)
ウレタン樹脂以外のカルボキシル基を有する樹脂、
光塩基発生剤、および、
熱硬化成分、
を含み、
前記光塩基発生剤が、9−アンスリルメチルN,N’−ジエチルカルバメートおよび/または(E)−1−ピペリジノ−3−(2−ヒドロキシフェニル)−2−プロペン−1−オンを含むことを特徴とするアルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物。 Urethane resin having a carboxyl group,
Resin having a carboxyl group other than urethane resin,
A photobase generator, and
Thermosetting component,
Only including,
The photobase generator comprises 9-anthrylmethyl N, N′-diethylcarbamate and / or (E) -1-piperidino-3- (2-hydroxyphenyl) -2-propen-1-one ; An alkali-developable photocurable thermosetting resin composition.
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