JP6402196B2 - パターン状被めっき層含有積層体の製造方法、金属層含有積層体の製造方法、タッチパネルセンサー、タッチパネル、パターン状被めっき層含有積層体、金属層含有積層体 - Google Patents
パターン状被めっき層含有積層体の製造方法、金属層含有積層体の製造方法、タッチパネルセンサー、タッチパネル、パターン状被めっき層含有積層体、金属層含有積層体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6402196B2 JP6402196B2 JP2016550056A JP2016550056A JP6402196B2 JP 6402196 B2 JP6402196 B2 JP 6402196B2 JP 2016550056 A JP2016550056 A JP 2016550056A JP 2016550056 A JP2016550056 A JP 2016550056A JP 6402196 B2 JP6402196 B2 JP 6402196B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- plated
- group
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/11—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having cover layers or intermediate layers, e.g. subbing layers
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/1601—Process or apparatus
- C23C18/1603—Process or apparatus coating on selected surface areas
- C23C18/1607—Process or apparatus coating on selected surface areas by direct patterning
- C23C18/1608—Process or apparatus coating on selected surface areas by direct patterning from pretreatment step, i.e. selective pre-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/1601—Process or apparatus
- C23C18/1603—Process or apparatus coating on selected surface areas
- C23C18/1607—Process or apparatus coating on selected surface areas by direct patterning
- C23C18/1612—Process or apparatus coating on selected surface areas by direct patterning through irradiation means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/18—Pretreatment of the material to be coated
- C23C18/20—Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins
- C23C18/2006—Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30
- C23C18/2046—Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30 by chemical pretreatment
- C23C18/2073—Multistep pretreatment
- C23C18/2086—Multistep pretreatment with use of organic or inorganic compounds other than metals, first
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/18—Pretreatment of the material to be coated
- C23C18/20—Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins
- C23C18/28—Sensitising or activating
- C23C18/30—Activating or accelerating or sensitising with palladium or other noble metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
- G03F7/0388—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/091—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers characterised by antireflection means or light filtering or absorbing means, e.g. anti-halation, contrast enhancement
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/40—Treatment after imagewise removal, e.g. baking
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0444—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a single conductive element covering the whole sensing surface, e.g. by sensing the electrical current flowing at the corners
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0445—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using two or more layers of sensing electrodes, e.g. using two layers of electrodes separated by a dielectric layer
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0446—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/18—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/18—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
- H05K3/181—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
- H05K3/182—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/1601—Process or apparatus
- C23C18/1633—Process of electroless plating
- C23C18/1646—Characteristics of the product obtained
- C23C18/165—Multilayered product
- C23C18/1653—Two or more layers with at least one layer obtained by electroless plating and one layer obtained by electroplating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/32—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron
- C23C18/34—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron using reducing agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/38—Coating with copper
- C23C18/40—Coating with copper using reducing agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/42—Coating with noble metals
- C23C18/44—Coating with noble metals using reducing agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/52—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating using reducing agents for coating with metallic material not provided for in a single one of groups C23C18/32 - C23C18/50
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0286—Programmable, customizable or modifiable circuits
- H05K1/0287—Programmable, customizable or modifiable circuits having an universal lay-out, e.g. pad or land grid patterns or mesh patterns
- H05K1/0289—Programmable, customizable or modifiable circuits having an universal lay-out, e.g. pad or land grid patterns or mesh patterns having a matrix lay-out, i.e. having selectively interconnectable sets of X-conductors and Y-conductors in different planes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Architecture (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Description
導電層の作製方法としては種々の方法が提案されており、例えば、特許文献1においては、めっき触媒またはその前駆体と相互作用する官能基および重合性基を有する樹脂と、重合開始剤とを含む樹脂組成物層(被めっき層形成用層)を用いて、被めっき層を基板全面に形成して、めっき触媒またはその前駆体を付与して、めっき処理を行い、被めっき層上に金属層を形成した後、フォトリソグラフィー工程によって不必要な金属層の一部を除去して導電層を形成する方法(サブトラクティブ法)が提案されている。なお、特許文献1の実施例欄においては、重合開始剤としてイルガキュアOXE−02などが使用されている。
上述した特許文献1に記載の方法を用いて、上記のような導電性フィルムを作製しようとする場合、基板の一方の主面上に上記樹脂組成物層を配置して、パターン状の露光を行い、樹脂組成物層の未露光領域を除去してパターン状の被めっき層を形成し、その後、めっき処理を行い被めっき層上に金属層を配置する処理を実施し、その後、基板の他方の主面上にも同様の処理を実施して、基板の両面に金属層を配置する方法がある。しかしながら、この方法では、基板のそれぞれの面に対して各工程を実施する、つまり、各工程を2回実施する必要があり、工程数が多くなり、必ずしも工業的に好ましくない。さらに、一方を処理したことによる基板の伸縮により、他方のパターンがずれる可能性がある。
それに対して、基板の両面に上記樹脂組成物層をそれぞれ配置して、基板の両面からそれぞれパターン状に露光を行い、その後、樹脂組成物層中の未露光領域を除去して、基板の両面にパターン状の被めっき層を形成し、その後、めっき処理を行うことができれば、樹脂組成物層中の未露光領域の除去処理、および、めっき処理を1回実施するだけでよく、工程数を減らすことができる。また、両面のパターンがずれる可能性が低い。
また、本発明は、金属層含有積層体の製造方法、タッチパネルセンサー、タッチパネル、パターン状被めっき層含有積層体、および、金属層含有積層体を提供することも課題とする。
つまり、本発明者らは、以下の構成により上記課題が解決できることを見出した。
積層体中の基板の一方の主面側から、以下の要件1または要件2を満たすように、被めっき層形成用層の一方に対してパターン状に光を照射する工程B−1、および、基板の他方の主面側から、以下の要件1または要件2を満たすように、被めっき層形成用層の他方に対してパターン状に光を照射する工程B−2を含む工程Bと、
被めっき層形成用層中の光が照射されていない領域を除去して、基板の2つの主面上にパターン状被めっき層をそれぞれ形成する工程Cと、を有する、パターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
化合物X:めっき触媒またはその前駆体と相互作用する官能基、および、重合性基を有する化合物
組成物Y:めっき触媒またはその前駆体と相互作用する官能基を有する化合物、および、重合性基を有する化合物を含む組成物
要件1:重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも短波長側にある場合、重合開始剤が感光する波長の光を被めっき層形成用層にパターン状に照射する。
要件2:重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側にある場合、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以上で重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以下の範囲の光を除いた光であって、重合開始剤が感光する波長の光を被めっき層形成用層にパターン状に照射する。
(2) 要件2において、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以上で重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以下の範囲の光を少なくとも遮光する遮光フィルターを用いて、光の照射を行う、(1)に記載のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
(3) 基板が、樹脂基板である、(1)または(2)に記載のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
(4) 基板に、紫外線吸収剤が含まれる、(1)〜(3)のいずれかに記載のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
(5) 基板が、支持体と、支持体上に配置された、紫外線吸収剤を含む紫外線吸収層とを有する積層体である、(1)〜(4)のいずれかに記載のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
(6) (1)〜(5)のいずれかに記載の製造方法より得られるパターン状被めっき層含有積層体中のパターン状被めっき層にめっき触媒またはその前駆体を付与して、めっき触媒またはその前駆体が付与されたパターン状被めっき層に対してめっき処理を行い、パターン状被めっき層上に金属層を形成する工程を有する、金属層含有積層体の製造方法。
(7) (6)に記載の製造方法より得られる金属層含有積層体を含むタッチパネルセンサー。
(8) (6)に記載の製造方法より得られる金属層含有積層体を含むタッチパネル。
(9) 2つの主面を有する基板と、
基板の2つの主面上にそれぞれ配置された、めっき触媒またはその前駆体が担持されるために用いられるパターン状被めっき層とを有し、
基板の2つの主面上にそれぞれ配置されたパターン状被めっき層のパターンが異なる、パターン状被めっき層含有積層体。
(10) (9)に記載のパターン状被めっき層含有積層体と、パターン状被めっき層含有積層体中のパターン状被めっき層の基板との接触面以外の表面上に配置された金属層とを有する、金属層含有積層体。
また、本発明によれば、金属層含有積層体の製造方法、タッチパネルセンサー、タッチパネル、パターン状被めっき層含有積層体、および、金属層含有積層体を提供することもできる。
なお、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。また、本発明における図は模式図であり、各層の厚みの関係や位置関係などは必ずしも実際のものとは一致しない。
以下では、まず、従来技術の問題点について詳述する。
特許文献1においては、イルガキュアOXE−02を含む樹脂組成物層が使用されており、UV(紫外線)露光機(波長:365nm)で照射する旨が開示されている。図1に示すように、基板120の両面に上記樹脂組成物層140Aおよび140Bを配置して、基板の一方の表面側から上記UV露光機によりパターン状に光照射を行うと、樹脂組成物層140Aの所定の領域が感光される。一方で、樹脂組成物層140Aの照射領域160に照射された光の一部は基板120を透過して、樹脂組成物層140Bまで到達してしまい、樹脂組成物層140Bの感光させたくない領域まで感光されるという問題がある。
以下、上記問題を解決した本発明について詳述する。
まず、本発明のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法の第1の実施態様では、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも短波長側に位置する。重合開始剤および基板の紫外可視吸収スペクトルの関係を図2に示す。図2に示すように、上記第1の実施態様においては、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端AE1が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端AE2よりも短波長側に位置する。この態様では、重合開始剤の吸収波長領域が、基板の吸収波長領域と重複している。従って、このような態様において、図3に示すように、基板12の両面に配置された被めっき層形成用層(第1被めっき層形成用層14Aおよび第2被めっき層形成用層14B)に、重合開始剤が感光する波長の光(つまり、基板の吸収端AE2よりも短波長側の波長であり、かつ、重合開始剤が感光する波長の光であり、言い換えれば、重合開始剤の吸収端AE1よりも短波長側の波長の光。)を照射すると、第1被めっき層形成用層14Aの照射領域16Aを透過した光は基板12によって吸収されるため、第2被めっき層形成用層14Bに到達することを抑制することができる。
また、本発明のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法の第2の実施態様では、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側に位置する。第2の実施態様における、重合開始剤および基板の紫外可視吸収スペクトルの関係を図4に示す。図4に示すように、上記第2の実施態様においては、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端AE1が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端AE2よりも長波長側に位置する。このような態様においては、図4の白抜き矢印に示すように、基板の吸収端AE2よりも短波長側の波長の光(つまり、基板の吸収端AE2よりも短波長側の波長であり、かつ、重合開始剤が感光する波長の光。言い換えれば、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以上で重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以下の範囲の光を除いた(含まない)光であって、重合開始剤が感光する波長の光)を照射することにより、上記第1の実施態様と同様に、第1被めっき層形成用層14Aの照射領域16Aを透過した光は基板12によって吸収されるため、第2被めっき層形成用層14Bに到達することを抑制することができる。
本発明のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法の第1の実施態様は、2つの主面を有する基板と、基板の2つの主面上にそれぞれ配置された被めっき層形成用層とを有する積層体を作製する工程A(積層体作製工程)と、被めっき層形成用層に光をパターン状に照射する工程B(照射工程)、被めっき層形成用層中の未照射領域を除去して、パターン状被めっき層を基板の両面にそれぞれ形成する工程C(被めっき層形成工程)とを有する。
なお、第1の実施態様においては、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも短波長側にある。この関係は、上記図2で説明した関係に該当する。
図5は、本発明のパターン状被めっき層含有積層体および金属層含有積層体の製造方法の第1の実施態様を工程順に示す断面図である。以下に、図面を参照しながら、各工程で使用される材料およびその手順について詳述する。
本工程は、2つの主面を有する基板と、基板の2つの主面上にそれぞれ配置された被めっき層形成用層とを有する積層体を作製する工程である。より具体的には、図5(A)に示すように、本工程では、基板12と、基板12の2つの主面上に配置された第1被めっき層形成用層14Aおよび第2被めっき層形成用層14Bとを備える積層体10を製造する。本工程で得られる積層体は、後述する光照射が施される被めっき層形成用層を備える前駆体に該当する。
以下では、まず、積層体に含まれる各部材・各材料について詳述し、その後、工程の手順を詳述する。
基板は、2つの主面を有し、後述する重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端と所定の関係を満たすものであれば特に制限されず、例えば、絶縁基板が挙げられ、より具体的には、樹脂基板、セラミック基板、ガラス基板などを使用することができ、樹脂基板が好ましい。なお、樹脂基板としては、後述する粘着シートも含まれる。
樹脂基板の材料としては、例えば、ポリエステル系樹脂(ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート)、ポリエーテルスルホン、ポリアクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、セルロース系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、シクロオレフィン系樹脂などが挙げられる。なかでも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、または、ポリオレフィンが好ましい。
また、基板としては、粘着性のある基板、つまり、粘着シートを使用してもよい。粘着シートを構成する材料としては公知の材料(アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤など)が使用できる。
また、基板は、光を適切に透過することが好ましい。具体的には、基板の全光線透過率は、85〜100%であることが好ましい。
基板の紫外可視吸収スペクトルの吸収端の位置は、通常、基板の材料に依存する。
なお、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端とは、基板の紫外可視吸収スペクトルをUV−3000(島津製作所)にて測定した際に、吸光度が1.0以下となる最も長波長側の波長を意図する。
なお、紫外線吸収剤としては、後述する重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側に吸収端を有する紫外線吸収剤を選択することが好ましい。つまり、使用される紫外線吸収剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側にあることが好ましい。
なお、紫外線吸収剤を用いた場合の基板の紫外可視吸収スペクトルの吸収端の測定方法も、上記と同様の手順が挙げられる。
上記サリチル酸系紫外線吸収剤としては、フェニルサリシート、p−tert−ブチルフェニルサリシート、p−オクチルフェニルサリシートが挙げられる。
上記ベンゾフェノン系紫外線吸収剤としては、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−オクトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−ドデシルオキシベンゾフェノン、2,2′−ジヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2,2′−ジヒドロキシ−4、4′−ジメトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシ−5−スルホベンゾフェノン、ビス(2−メトキシ−4−ヒドロキシ−5−ベンゾイルフェニル)メタン等が挙げられる。
上記ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤としては、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−4−(1,1,3,3−テトラメチルブチル)フェノール、2−(2′−ヒドロキシ−5′−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−5′−tert−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−3′,5′ジ−tert−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−3′−tert−ブチル−5′−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−3′,5′−ジ−tert−ブチル−フェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−3′,5′−ジ−tert−ブチル−5′−アミルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−4′−オクトキシフェニル)ベンゾトリアゾール等が挙げられる。
上記シアノアクリレート系紫外線吸収剤としては、2−エチルヘキシル−2−シアノ−3,3′−ジフェニルアクリレート、エチル−2−シアノ−3,3′−ジフェニルアクリレート等が挙げられる。
基板が複層構造である場合、例えば、基板としては、支持体と、支持体上に配置された、紫外線吸収剤を含む紫外線吸収層とを有する積層体が挙げられる。
支持体には、紫外線吸収剤が含まれていなくても、含まれていてもよく、その種類としては上述した基板として例示したものが挙げられる。
紫外線吸収層には、少なくとも紫外線吸収剤が含まれる。紫外線吸収剤としては、上述したものが挙げられる。なお、紫外線吸収剤には、樹脂などのバインダーが含まれていてもよい。
被めっき層形成用層は、後述する光照射により被めっき層となる層であり、重合開始剤、および、以下の化合物Xまたは組成物Yを少なくとも含む。より具体的には、被めっき層形成用層は、重合開始剤と化合物Xとを含む層であっても、重合開始剤と組成物Yとを含む層であってもよい。
化合物X:めっき触媒またはその前駆体と相互作用する官能基(以後、単に「相互作用性基」とも称する)、および、重合性基を有する化合物
組成物Y:めっき触媒またはその前駆体と相互作用する官能基を有する化合物、および、重合性基を有する化合物を含む組成物
以下では、まず、被めっき層形成用層に含まれる材料について詳述する。
重合開始剤としては特に制限はなく、上述した基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端と所定の関係を満たせばよく、公知の重合開始剤(いわゆる光重合開始剤)などを用いることができる。重合開始剤の例としては、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類、α−アミノアルキルフェノン類、ベンゾイン類、ケトン類、チオキサントン類、ベンジル類、ベンジルケタール類、オキスムエステル類、アンソロン類、テトラメチルチウラムモノサルファイド類、ビスアシルフォスフィノキサイド類、アシルフォスフィンオキサイド類、アントラキノン類、アゾ化合物等およびその誘導体を挙げることができる。
なお、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの吸収端とは、重合開始剤濃度が0.01質量%の溶液(溶媒としては、重合開始剤が溶解する溶媒、例えば、アセトニトリルを使用)を用意し、UV−3000にて測定した際に、吸光度が1.0以下となる最も長波長側の波長を意図する。
化合物Xは、相互作用性基と重合性基とを有する化合物である。
相互作用性基とは、パターン状被めっき層に付与されるめっき触媒またはその前駆体と相互作用できる官能基を意図し、例えば、めっき触媒またはその前駆体と静電相互作用を形成可能な官能基、または、めっき触媒またはその前駆体と配位形成可能な含窒素官能基、含硫黄官能基、含酸素官能基などを使用することができる。
相互作用性基としてより具体的には、アミノ基、アミド基、イミド基、ウレア基、3級のアミノ基、アンモニウム基、アミジノ基、トリアジン環、トリアゾール環、ベンゾトリアゾール基、イミダゾール基、ベンズイミダゾール基、キノリン基、ピリジン基、ピリミジン基、ピラジン基、ナゾリン基、キノキサリン基、プリン基、トリアジン基、ピペリジン基、ピペラジン基、ピロリジン基、ピラゾール基、アニリン基、アルキルアミン構造を含む基、イソシアヌル構造を含む基、ニトロ基、ニトロソ基、アゾ基、ジアゾ基、アジド基、シアノ基、シアネート基などの含窒素官能基;エーテル基、水酸基、フェノール性水酸基、カルボン酸基、カーボネート基、カルボニル基、エステル基、N−オキシド構造を含む基、S−オキシド構造を含む基、N−ヒドロキシ構造を含む基などの含酸素官能基;チオフェン基、チオール基、チオウレア基、チオシアヌール酸基、ベンズチアゾール基、メルカプトトリアジン基、チオエーテル基、チオキシ基、スルホキシド基、スルホン基、サルファイト基、スルホキシイミン構造を含む基、スルホキシニウム塩構造を含む基、スルホン酸基、スルホン酸エステル構造を含む基などの含硫黄官能基;ホスフォート基、ホスフォロアミド基、ホスフィン基、リン酸エステル構造を含む基などの含リン官能基;塩素、臭素などのハロゲン原子を含む基などが挙げられ、塩構造をとりうる官能基においてはそれらの塩も使用することができる。
なかでも、極性が高く、めっき触媒またはその前駆体などへの吸着能が高いことから、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、およびボロン酸基などのイオン性極性基や、エーテル基、またはシアノ基が特に好ましく、カルボン酸基(カルボキシル基)またはシアノ基がさらに好ましい。
化合物Xには、相互作用性基が2種以上含まれていてもよい。
化合物X中には、重合性基が2種以上含まれていてもよい。また、化合物X中に含まれる重合性基の数は特に制限されず、1つでも、2つ以上でもよい。
なお、上記重合性基を有する低分子化合物とは、いわゆるモノマー(単量体)に該当する。また、高分子化合物とは、所定の繰り返し単位を有するポリマーであってもよい。
また、化合物としては1種のみを使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
このような重合性基および相互作用性基を有するポリマーの合成方法は特に制限されず、公知の合成方法(特許公開2009−280905号の段落[0097]〜[0125]参照)が使用される。
ポリマーの第1の好ましい態様として、下記式(a)で表される重合性基を有する繰り返し単位(以下、適宜重合性基ユニットとも称する)、および、下記式(b)で表される相互作用性基を有する繰り返し単位(以下、適宜相互作用性基ユニットとも称する)を含む共重合体が挙げられる。
なお、R1としては、水素原子、メチル基、または、臭素原子で置換されたメチル基が好ましい。R2としては、水素原子、メチル基、または、臭素原子で置換されたメチル基が好ましい。R3としては、水素原子が好ましい。R4としては、水素原子が好ましい。R5としては、水素原子、メチル基、または、臭素原子で置換されたメチル基が好ましい。
L1としては、ポリマーの合成が容易で、金属層の密着性がより優れる点で、脂肪族炭化水素基、または、ウレタン結合若しくはウレア結合を有する2価の有機基(例えば、脂肪族炭化水素基)が好ましく、なかでも、総炭素数1〜9であるものが好ましい。なお、ここで、L1の総炭素数とは、L1で表される置換または無置換の2価の有機基に含まれる総炭素原子数を意味する。
また、上記相互作用性基ユニットの含有量は、めっき触媒またはその前駆体に対する吸着性の観点から、ポリマー中の全繰り返し単位に対して、5〜95モル%が好ましく、10〜95モル%がより好ましい。
ポリマーの第2の好ましい態様としては、下記式(A)、式(B)、および式(C)で表される繰り返し単位を含む共重合体が挙げられる。
式(B)で表される繰り返し単位中のR5、XおよびL2は、上記式(b)で表される繰り返し単位中のR5、XおよびL2と同じであり、各基の説明も同じである。
式(B)中のWaは、後述するVで表される親水性基またはその前駆体基を除く、めっき触媒またはその前駆体と相互作用する基を表す。なかでも、シアノ基、エーテル基が好ましい。
式(C)中、Uは、単結合、または、置換若しく無置換の2価の有機基を表す。2価の有機基の定義は、上述したX、YおよびZで表される2価の有機基と同義である。Uとしては、ポリマーの合成が容易で、金属層の密着性がより優れる点で、単結合、エステル基(−COO−)、アミド基(−CONH−)、エーテル基(−O−)、または置換若しくは無置換の2価の芳香族炭化水素基が好ましい。
式(C)中、L3は、単結合、または、置換若しく無置換の2価の有機基を表す。2価の有機基の定義は、上述したL1およびL2で表される2価の有機基と同義である。L3としては、ポリマーの合成が容易で、金属層の密着性がより優れる点で、単結合、または、2価の脂肪族炭化水素基、2価の芳香族炭化水素基、またはこれらを組み合わせた基であることが好ましい。
親水性基としては、めっき触媒またはその前駆体との相互作用の点で、イオン性極性基であることが好ましい。イオン性極性基としては、具体的には、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、ボロン酸基が挙げられる。なかでも、適度な酸性(他の官能基を分解しない)という点から、カルボン酸基が好ましい。
式(A)で表される繰り返し単位の含有量は、反応性(硬化性、重合性)および合成の際のゲル化の抑制の点から、ポリマー中の全繰り返し単位に対して、5〜50モル%が好ましく、5〜30モル%がより好ましい。
式(B)で表される繰り返し単位の含有量は、めっき触媒またはその前駆体に対する吸着性の観点から、ポリマー中の全繰り返し単位に対して、5〜75モル%が好ましく、10〜70モル%がより好ましい。
式(C)で表される繰り返し単位の含有量は、水溶液による現像性と耐湿密着性の点から、ポリマー中の全繰り返し単位に対して、10〜70モル%が好ましく、20〜60モル%がより好ましく、30〜50モル%がさらに好ましい。
このポリマーは、公知の方法(例えば、上記で列挙された文献中の方法)により製造することができる。
上記化合物がいわゆるモノマーである場合、好適態様の一つとして式(X)で表される化合物が挙げられる。
置換または無置換の脂肪族炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、若しくはブチレン基、または、これらの基が、メトキシ基、塩素原子、臭素原子、若しくはフッ素原子等で置換されたものが好ましい。
置換または無置換の芳香族炭化水素基としては、無置換のフェニレン基、または、メトキシ基、塩素原子、臭素原子、若しくはフッ素原子等で置換されたフェニレン基が好ましい。
式(X)中、L10の好適態様の一つとしては、−NH−脂肪族炭化水素基−、または、−CO−脂肪族炭化水素基−が挙げられる。
式(X)中、Wの好適態様としては、イオン性極性基が挙げられ、カルボン酸基がより好ましい。
第四級アンモニウムカチオンとしては、例えば、テトラメチルアンモニウムイオン、テトラブチルアンモニウムイオンなどが挙げられる。
なかでも、めっき触媒またはその前駆体の付着、および、パターニング後の金属残渣の点から、水素原子であることが好ましい。
nは、1または2の整数を表す。なかでも、化合物の入手性の観点から、nは1であることが好ましい。
L11は、エステル基(−COO−)、アミド基(−CONH−)、またはフェニレン基を表す。なかでも、L11がアミド基であると、耐溶剤性(例えば、アルカリ溶剤耐性)が向上する。
L12は、単結合、2価の脂肪族炭化水素基(好ましくは炭素数1〜8、より好ましくは炭素数3〜5)、または、2価の芳香族炭化水素基を表す。脂肪族炭化水素基は、直鎖状、分岐状、環状であってもよい。なお、L12が単結合の場合、L11はフェニレン基を表す。
組成物Yは、相互作用性基を有する化合物、および、重合性基を有する化合物を含む組成物である。つまり、被めっき層形成用層が、相互作用性基を有する化合物、および、重合性基を有する化合物の2種を含む。相互作用性基および重合性基の定義は、上述の通りである。
相互作用性基を有する化合物とは、相互作用性基を有する化合物である。相互作用性基の定義は上述の通りである。このような化合物としては、低分子化合物であっても、高分子化合物であってもよい。相互作用性基を有する化合物の好適態様としては、上述した式(b)で表される繰り返し単位を有する高分子(例えば、ポリアクリル酸)が挙げられる。なお、相互作用性基を有する化合物には、重合性基は含まれない。
重合性基を有する化合物とは、いわゆるモノマーであり、形成される被めっき層の硬度がより優れる点で、2個以上の重合性基を有する多官能モノマーであることが好ましい。多官能モノマーとは、具体的には、2〜6個の重合性基を有するモノマーを使用することが好ましい。反応性に影響を与える架橋反応中の分子の運動性の観点から、用いる多官能モノマーの分子量としては150〜1000が好ましく、さらに好ましくは200〜700である。また、複数存在する重合性基同士の間隔(距離)としては原子数で1〜15であることが好ましく、6以上10以下であることがさらに好ましい。
重合性基を有する化合物には、相互作用性基が含まれていてもよい。
Lは、単結合、または、2価の有機基を表す。2価の有機基の定義は、上述の通りである。
Qは、n価の有機基を表す。n価の有機基としては、下記式(1A)で表される基、下記式(1B)で表される基、
nは、2以上の整数を表し、2〜6が好ましい。
例えば、被めっき層形成用層には、モノマー(但し、上記式(X)または式(1)で表される化合物を除く)が含まれていてもよい。モノマーが含まれることにより、被めっき層中の架橋密度などを適宜制御することができる。
使用されるモノマーは特に制限されず、例えば、付加重合性を有する化合物としてはエチレン性不飽和結合を有する化合物、開環重合性を有する化合物としてはエポキシ基を有する化合物等が挙げられる。なかでも、被めっき層中の架橋密度を向上する点から、多官能モノマーを使用することが好ましい。多官能モノマーとは、重合性基を2個以上有するモノマーを意味する。具体的には、2〜6個の重合性基を有するモノマーを使用することが好ましい。
上記基板および基板の両面上に配置された被めっき層形成用層を含む積層体の製造方法は特に制限されず、基板の両面上に上述した各種成分を含む組成物を塗布して被めっき層形成用層を形成し、積層体を形成する方法(塗布法)や、仮基板上に被めっき層形成用層を形成して、基板の両面上に転写する方法(転写法)などが挙げられる。なかでも、厚みの制御がしやすい点、塗布法が好ましい。
以下、塗布法の態様について詳述する。
なお、組成物には、取扱い性の点から、溶剤が含まれることが好ましい。
使用できる溶剤は特に限定されず、例えば、水;メタノール、エタノール、プロパノール、エチレングリコール、1−メトキシ−2−プロパノール、グリセリン、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのアルコール系溶剤;酢酸などの酸;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤;ホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドンなどのアミド系溶剤;アセトニトリル、プロピオニトリルなどのニトリル系溶剤;酢酸メチル、酢酸エチルなどのエステル系溶剤;ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネートなどのカーボネート系溶剤;この他にも、エーテル系溶剤、グリコール系溶剤、アミン系溶剤、チオール系溶剤、ハロゲン系溶剤などが挙げられる。
このなかでも、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、ケトン系溶剤、ニトリル系溶剤、カーボネート系溶剤が好ましい。
組成物中の溶剤の含有量は特に制限されないが、組成物全量に対して、50〜98質量%が好ましく、70〜95質量%がより好ましい。上記範囲内であれば、組成物の取扱い性に優れ、層厚の制御などがしやすい。
なお、基板の両面に被めっき層形成用層を配置するためには、基板の片面ずつに組成物を塗布してもよいし、組成物中に基板を浸漬して基板の両面に一度に塗布してもよい。
取り扱い性や製造効率の観点からは、組成物を基板上に塗布し、必要に応じて乾燥処理を行って残存する溶剤を除去して、被めっき層形成用層を形成する態様が好ましい。
なお、乾燥処理の条件は特に制限されないが、生産性がより優れる点で、室温〜220℃(好ましくは50〜120℃)で、1〜30分間(好ましく1〜10分間)実施することが好ましい。
例えば、基板と被めっき層形成用層との間には、プライマー層が配置されていてもよい。プライマー層が配置されることにより、後述するパターン状被めっき層と基板との密着性が向上する。
プライマー層によってパターン状被めっき層の密着性を高めるためには、表面エネルギーを制御すること、パターン状被めっき層との化学結合を形成すること、または、応力緩和による粘着力を利用する等、種々の密着力向上の手段を取ることができる。表面エネルギー制御の場合、例えば、パターン状被めっき層の表面エネルギーに近い低分子層や高分子層を用いることができる。化学結合を形成する場合は、重合活性部位を有する低分子層や高分子層を用いることができる。応力緩和による粘着力を利用する場合は、弾性率の低いゴム性の樹脂等を用いることができる。
プライマー層の材料は特に制限されず、基板との密着性が良好な樹脂であることが好ましい。樹脂の具体例としては、例えば、熱硬化性樹脂でも熱可塑性樹脂でもまたそれらの混合物でもよく、例えば、熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリオレフィン系樹脂、イソシアネート系樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン、ポリスルフォン、ポリフェニレンスルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニルエーテル、ポリエーテルイミド、ABS(acrylonitrile butadiene styrene)樹脂等が挙げられる。
熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂とは、それぞれ単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。また、シアノ基を含有する樹脂を使用してもよく、具体的には、ABS樹脂や、特開2010−84196号の段落〔0039〕〜〔0063〕記載の「側鎖にシアノ基を有するユニットを含むポリマー」を用いてもよい。
また、NBRゴム(アクリロニトリル・ブタジエンゴム)やSBRゴム(スチレン・ブタジエンゴム)などのゴム成分を用いることもできる。
共役ジエン化合物由来の繰り返し単位の好適態様の一つとしては、ブタジエン骨格を有する化合物が重合反応することで生成する繰り返し単位が挙げられる。
上記共役ジエン化合物単位は水素添加されていてもよく、水素添加された共役ジエン化合物単位を含む場合、パターン状金属層の密着性がより向上し好ましい。つまり、共役ジエン化合物由来の繰り返し単位中の二重結合が水素添加されていてもよい。
水素添加されていてもよい共役ジエン化合物単位を有するポリマーには、上述した相互作用性基が含まれていてもよい。
このポリマーの好適な態様としては、アクリロニトリルブタジエンゴム(NBR)、カルボキシル基含有ニトリルゴム(XNBR)、アクリロニトリル−ブタジエン−イソプレンゴム(NBIR)、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体(ABS樹脂)、または、これらの水素添加物(例えば、水素添加アクリロニトリルブタジエンゴム)などが挙げられる。
塗布方法における加熱温度と時間は、塗布溶剤が充分乾燥し得る条件を選択すればよいが、製造適性の点からは、加熱温度200℃以下、時間60分以内の範囲の加熱条件を選択することが好ましく、加熱温度40〜100℃、時間20分以内の範囲の加熱条件を選択することがより好ましい。なお、使用される溶剤は、使用する樹脂に応じて適宜最適な溶剤(例えば、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン)が選択される。
本工程は、上記工程で作製した積層体中の2つの被めっき層形成用層に対してパターン状に光を照射する工程(パターン状に露光を行う工程)である。つまり、本工程は、積層体中の基板の一方の主面側から、基板の一方の主面上に配置された一方の被めっき層形成用層に対して、重合開始剤が感光する波長の光をパターン状に照射する工程、および、基板の他方の主面側から、基板の他方の主面上に配置された他方の被めっき層形成用層に対して、重合開始剤が感光する波長の光をパターン状に照射する工程を少なくとも含む工程である。なお、後述するように、さらに、被めっき層形成用層の未照射領域を除去して、パターン状被めっき層を形成する。なお、上記光は、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも短波長側の波長であり、かつ、重合開始剤が感光する波長の光に該当する。
より具体的には、まず、図5(B)に示すように、第1被めっき層形成用層14Aの所定の照射領域16A(光が照射される領域)に対して、重合開始剤が感光する波長の光を照射する。次に、図5(C)に示すように、第2被めっき層形成用層14Bの所定の照射領域16Bに対して、重合開始剤が感光する波長の光を照射する。上述したように、本実施態様では、第1被めっき層形成用層14Aに照射された光は基板12によって吸収されるため、第2被めっき層形成用層14Bへの到達が抑制される。なお、第2被めっき層形成用層14Bに照射された光に関しても、基板12によって吸収されるため、第1被めっき層形成用層14Aへの到達が抑制される。結果として、第1被めっき層形成用層14Aおよび第2被めっき層形成用層14Bに、所望の照射領域を形成することができる。
以下、本工程の手順に関して、基板の一方の主面上に配置された第1被めっき層形成用層に対して、所定の波長の光をパターン状に照射する第1照射工程と、基板の他方の主面上に配置された第2被めっき層形成用層に対して、所定の波長の光をパターン状に照射する第2照射工程とに分けて説明する。なお、第1照射工程と第2照射工程は同時に実施してもよい。
本工程では、積層体中の基板の一方の主面側から、基板の一方の主面上に配置された第1被めっき層形成用層に対して、重合開始剤が感光する波長の光をパターン状に照射する工程である。つまり、以下の要件1を満たすように、パターン状の光照射が実施される。
要件1:重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも短波長側にある場合、重合開始剤が感光する波長の光を被めっき層形成用層にパターン状に照射する。
光が照射された領域においては、重合性基間の重合や、基板と重合性基との反応などが進行し、硬化して、不溶部となる。この不要部は、いわゆる被めっき層となる。
本工程で第1被めっき層形成用層に対して照射される光は、被めっき層形成用層中の重合開始剤が感光する波長の光である。より具体的には、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも短波長側の波長の光である。なお、本工程で第1被めっき層形成用層に対して照射される光としては、重合開始剤が感光する波長の光が含まれていればよく、それ以外の波長の光が含まれていてもよい。つまり、第1被めっき層形成用層に対して照射される光には、重合開始剤が感光する波長の光が含まれていればよく、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側の波長の光が含まれていてもよい。
照射される光は上記要件を満たしていれば、単色光であっても、連続光であってもよい。上記のような要件を満たす光を照射する際には、光源を適宜選択する方法や、光源と所定の遮光フィルターを用いて特定の波長の光を選択する方法などが挙げられる。
照射処理に用いられる光源は特に制限されず、上記波長の光を出射できればよく、例えば、UVランプ、可視光線などによる光照射等が用いられる。光源としては、例えば、水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯等がある。
露光時間としては、反応性および光源により異なるが、通常、10秒〜5時間の間である。露光エネルギーとしては、10〜8000mJ程度であればよく、好ましくは50〜3000mJの範囲である。
なお、上記露光処理をパターン状に実施する方法は特に制限されず、公知の方法が採用され、例えば、マスクを介して露光光を第1被めっき層形成用層に照射すればよい。
本工程では、積層体中の基板の他方の主面側から、基板の他方の主面上に配置された第2被めっき層形成用層に対して、重合開始剤が感光する波長の光をパターン状に照射する工程である。つまり、本工程でも上述した要件1を満たすように、パターン状の光照射が実施される。
本工程の手順は、上記第1照射工程と同様である。第1照射工程と第2照射工程の照射条件は異なっていてもよい。
なお、本工程にて照射されるパターン形状は、第1照射工程のパターン形状と異なっていてもよい。
本工程は、上記照射工程(第1照射工程および第2照射工程)が施された被めっき層形成用層(第1被めっき層形成用層および第2被めっき層形成用層)の未照射領域(未露光領域)を除去する工程である。本工程を実施することにより、被めっき層形成用層中の未照射領域が除去され、パターン状被めっき層(第1パターン状被めっき層および第2パターン状被めっき層)が形成される。より具体的には、図5(D)に示すように、得られた積層体に本処理を施すことにより、未照射領域を除去して、第1パターン状被めっき層18Aおよび第2パターン状被めっき層18Bを有するパターン状被めっき層含有積層体20が得られる。
上記除去方法は特に制限されず、被めっき層形成用層中に含まれる化合物によって適宜最適な方法が選択されるが、通常、上記化合物が溶解する溶剤を被めっき層形成用層に接触させる方法が挙げられる。
より具体的には、アルカリ性溶液を現像液として用いる方法が挙げられる。アルカリ性溶液を用いて、未照射領域を除去する場合は、照射工程が施された積層体をアルカリ性溶液中に浸漬させる方法や、その被めっき層形成用層上にアルカリ性溶液を塗布する方法などが挙げられるが、浸漬する方法が好ましい。浸漬する方法の場合、浸漬時間としては生産性・作業性などの観点から、1分から30分程度が好ましい。
この積層体は、金属膜(導電膜)を形成する用途に好適に適用できる。つまり、積層体中のパターン状被めっき層にめっき触媒またはその前駆体を付与して、さらに、めっき処理を施すことにより、パターン状被めっき層上に金属層を形成することができる。つまり、パターン状被めっき層の形状を制御することにより、金属層のパターンを制御することができる。また、このようなパターン状被めっき層を使用することにより、金属層の基板に対する密着性が優れる。
以下、上記金属層を形成する工程(金属層形成工程)について詳述する。
本工程は、パターン状被めっき層含有積層体中のパターン状被めっき層にめっき触媒またはその前駆体を付与して、めっき触媒またはその前駆体が付与されたパターン状被めっき層に対してめっき処理を行い、パターン状被めっき層上に金属層を形成する工程である。より具体的には、本工程を実施することにより、図5(E)に示すように、第1パターン状被めっき層18Aおよび第2パターン状被めっき層18B上に金属層22が形成され、金属層含有積層体24が得られる。
以下では、パターン状被めっき層(第1パターン状被めっき層および第2パターン状被めっき層)にめっき触媒またはその前駆体を付与する工程(工程X)と、めっき触媒またはその前駆体が付与されたパターン状被めっき層に対してめっき処理を行う工程(工程Y)とに分けて説明する。
本工程では、まず、パターン状被めっき層にめっき触媒またはその前駆体を付与する。上記化合物由来の相互作用性基が、その機能に応じて、付与されためっき触媒またはその前駆体を付着(吸着)する。より具体的には、パターン状被めっき層中およびパターン状被めっき層表面上に、めっき触媒またはその前駆体が付与される。
めっき触媒またはその前駆体は、めっき処理の触媒や電極として機能するものである。そのため、使用されるめっき触媒またはその前駆体の種類は、めっき処理の種類により適宜決定される。
なお、用いられるめっき触媒またはその前駆体は、無電解めっき触媒またはその前駆体であることが好ましい。以下で、主に、無電解めっき触媒またはその前駆体などについて詳述する。
この無電解めっき触媒としては、金属コロイドを用いてもよい。
本工程において用いられる無電解めっき触媒前駆体とは、化学反応により無電解めっき触媒となりうるものであれば、特に制限なく使用することができる。主には、上記無電解めっき触媒として挙げた金属の金属イオンが用いられる。無電解めっき触媒前駆体である金属イオンは、還元反応により無電解めっき触媒である0価金属になる。無電解めっき触媒前駆体である金属イオンはパターン状被めっき層へ付与された後、無電解めっき浴への浸漬前に、別途還元反応により0価金属に変化させて無電解めっき触媒としてもよい。また、無電解めっき触媒前駆体のまま無電解めっき浴に浸漬し、無電解めっき浴中の還元剤により金属(無電解めっき触媒)に変化させてもよい。
本工程において、無電解めっきを行わず直接電気めっきを行うために用いられる触媒として、0価金属を使用することもできる。
上記溶剤としては、水や有機溶剤が適宜使用される。有機溶剤としては、パターン状被めっき層に浸透しうる溶剤が好ましく、例えば、アセトン、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、エチレングリコールジアセテート、シクロヘキサノン、アセチルアセトン、アセトフェノン、2−(1−シクロヘキセニル)シクロヘキサノン、プロピレングリコールジアセテート、トリアセチン、ジエチレングリコールジアセテート、ジオキサン、N−メチルピロリドン、ジメチルカーボネート、ジメチルセロソルブなどを用いることができる。
触媒付与液の調製方法は特に制限されず、所定の金属塩を適切な溶剤で溶解させ、必要に応じて、酸またはアルカリを用いてpHを所定の範囲に調整する。
また、接触時間としては、30秒〜24時間程度であることが好ましく、1分〜1時間程度であることがより好ましい。
次に、めっき触媒またはその前駆体が付与されたパターン状被めっき層に対してめっき処理を行う。
めっき処理の方法は特に制限されず、例えば、無電解めっき処理、または、電解めっき処理(電気めっき処理)が挙げられる。本工程では、無電解めっき処理を単独で実施してもよいし、無電解めっき処理を実施した後にさらに電解めっき処理を実施してもよい。
なお、本明細書においては、いわゆる銀鏡反応は、上記無電解めっき処理の一種として含まれる。よって、例えば、銀鏡反応などによって、付着させた金属イオンを還元させて、所望のパターン状金属層を形成してもよく、さらにその後電解めっき処理を実施してもよい。
以下、無電解めっき処理、および、電解めっき処理の手順について詳述する。
本工程における無電解めっきは、例えば、無電解めっき触媒が付与されたパターン状被めっき層を備える積層体を、水洗して余分な無電解めっき触媒(金属)を除去した後、無電解めっき浴に浸漬して行うことが好ましい。使用される無電解めっき浴としては、公知の無電解めっき浴を使用することができる。
また、無電解めっき触媒前駆体が付与されたパターン状被めっき層を備える基板を、無電解めっき触媒前駆体がパターン状被めっき層に吸着または含浸した状態で無電解めっき浴に浸漬する場合には、積層体を水洗して余分な無電解めっき触媒前駆体(金属塩など)を除去した後、無電解めっき浴中へ浸漬させることが好ましい。この場合には、無電解めっき浴中において、無電解めっき触媒前駆体の還元とこれに引き続き無電解めっきが行われる。ここで使用される無電解めっき浴としても、上記同様、公知の無電解めっき浴を使用することができる。
なお、無電解めっき触媒前駆体の還元は、上記のような無電解めっき液を用いる態様とは別に、触媒活性化液(還元液)を準備し、無電解めっき前の別工程として行うことも可能である。
無電解めっき浴に用いられる有機溶剤としては、水に可能な溶剤である必要があり、その点から、アセトンなどのケトン類、メタノール、エタノール、イソプロパノールなどのアルコール類が好ましく用いられる。無電解めっき浴に用いられる金属の種類としては、銅、すず、鉛、ニッケル、金、銀、パラジウム、ロジウムが知られており、なかでも、導電性の観点からは、銅、銀、金が好ましく、銅がより好ましい。また、上記金属に合わせて最適な還元剤、添加剤が選択される。
無電解めっき浴への浸漬時間としては、1分〜6時間程度であることが好ましく、1分〜3時間程度であることがより好ましい。
なお、上述したように、本工程においては、上記無電解めっき処理の後に、必要に応じて、電解めっき処理を行うことができる。このような態様では、形成される金属層の厚みを適宜調整可能である。
電気めっきの方法としては、従来公知の方法を用いることができる。尚、電気めっきに用いられる金属としては、銅、クロム、鉛、ニッケル、金、銀、すず、亜鉛などが挙げられ、導電性の観点から、銅、金、銀が好ましく、銅がより好ましい。
上述した特許文献1に記載のサブトラクティブ法を用いた場合、パターン状の金属層間に親水性樹脂などで構成される被めっき層が存在するために、金属層のパターンがより微細化した際には金属層間の被めっき層の影響により金属イオンのマイグレーションが生じやすく、絶縁性が低下する懸念がある。一方、本発明の上記手順では、パターン状被めっき層を形成し、そのパターン状被めっき層上に導電層に該当する金属層を形成する、いわゆるアディティブ法であり、この方法で得られる金属層含有積層体では金属層間に被めっき層が残存しないため、マイグレーションの発生がより抑制され、タッチパネルセンサー用の導電性フィルムとして好適に使用できる。
なお、図5(E)においては、第1パターン状被めっき層18Aの上面のみに金属層22が配置される態様を示しているが、この態様には限定されず、図5(F)に示すように、第1パターン状被めっき層18Aの基板12との接触面以外の表面上に金属層22が配置される態様であってもよい。つまり、パターン状被めっき層の基板との接触面以外の表面を覆うように金属層が配置されていてもよい。
上記処理により得られた金属層を有する金属層含有積層体は、種々の用途に適用でき、タッチパネル(または、タッチパネルセンサー)、半導体チップ、各種電気配線板、FPC(Flexible printed circuits)、COF(Chip on Film)、TAB(Tape Automated Bonding)、アンテナ、多層配線基板、マザーボード等の種々の用途に適用することができる。なかでも、タッチパネルセンサー(静電容量式タッチパネルセンサー)に用いることが好ましい。上記金属層含有積層体をタッチパネルセンサーに適用する場合、金属層含有積層体中の金属層がタッチパネルセンサー中の検出電極または引き出し配線として機能する。
なお、本明細書においては、タッチパネルセンサーと、各種表示装置(例えば、液晶表示装置、有機EL(electro-luminescence)表示装置)を組み合わせたものを、タッチパネルと呼ぶ。タッチパネルとしては、いわゆる静電容量式タッチパネルが好ましく挙げられる。
図6に示すように、金属層含有積層体124は、基板12と、基板12の一方の主面上に配置された第1パターン状被めっき層18Aと、第1パターン状被めっき層18A上に配置された第1検出電極26および第1引き出し配線28と、基板12の他方の主面上に配置された第2パターン状被めっき層18Bと、第2パターン状被めっき層18B上に配置された第2検出電極30および第2引き出し配線32とを有する。なお、第1検出電極26、第1引き出し配線28、第2検出電極30、および、第2引き出し配線32は、上述した金属層で構成されている。
このような金属層含有積層体を製造するためには、第1検出電極26、第1引き出し配線28、第2検出電極30、および、第2引き出し配線32を配置させたい位置に第1パターン状被めっき層18Aおよび第2パターン状被めっき層18Bを形成し、これらの上に金属層を形成することにより得られる。つまり、第1検出電極26および第1引き出し配線28と基板12との間には、第1パターン状被めっき層18Aが配置され、第2検出電極30および第2引き出し配線32と基板12との間には、第2パターン状被めっき層18Bが配置される。
第1検出電極26は、タッチパネルセンサーの入力領域に接近した操作者の指のX方向における入力位置の検出を行う役割を有するものであり、指との間に静電容量を発生する機能を有している。第1検出電極26は、第1方向(X方向)に延び、第1方向と直交する第2方向(Y方向)に所定の間隔をあけて配列された電極である。
第2検出電極30は、タッチパネルセンサーの入力領域に接近した操作者の指のY方向における入力位置の検出を行う役割を有するものであり、指との間に静電容量を発生する機能を有している。第2検出電極30は、第2方向(Y方向)に延び、第1方向(X方向)に所定の間隔をあけて配列された電極である。図6においては、第1検出電極26は5つ、第2検出電極30は5つ設けられているが、その数は特に制限されず複数あればよい。
第1引き出し配線28および第2引き出し配線32は、それぞれ第1検出電極26および第2検出電極30に電圧を印加するための役割を担う部材である。
本発明のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法の第2の実施態様は、2つの主面を有する基板と、基板の2つの主面上にそれぞれ配置された被めっき層形成用層とを有する積層体を作製する工程(積層体作製工程)と、被めっき層形成用層に光をパターン状に照射する工程B(照射工程)、被めっき層形成用層中の未照射領域を除去して、パターン状被めっき層を基板の両面にそれぞれ形成する工程C(被めっき層形成工程)とを有し、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側にある。
第2の実施態様は、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端と基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端との位置関係が異なり、被めっき層形成用層への照射条件が異なる点を除いて、上記第1の実施態様と同じであり、各工程の手順も同じであるため、以下では、主に第1の実施態様と異なる点について主に説明する。
使用される重合開始剤や基板は、上記関係を満たすように適宜選択され、第1の実施態様で説明した重合開始剤や基板が適宜使用される。
第2の実施態様においては、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端は、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側に位置していればよく、両者の波長差(重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの吸収端の波長(nm)−基板の紫外可視吸収スペクトルの吸収端の波長(nm))は特に制限されないが、10〜150nmが好ましく、20〜100nmがより好ましい。
要件2:重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側にある場合、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以上で重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以下の範囲の光を除いた光であって、重合開始剤が感光する波長の光を被めっき層形成用層にパターン状に照射する。
上記のように、第2の実施態様においては、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの吸収端は、基板の紫外可視吸収スペクトルの吸収端よりも長波長側に位置しているため、上記光であれば被めっき層形成用層中の重合開始剤は感光する。
また、上記基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも短波長側の波長の光は、第1照射工程において第1被めっき層形成用層に照射されるが、第1の実施態様と同様に、上記の光のうち第1被めっき層形成用層を透過した光は基板で吸収され、反対側に位置する第2被めっき層形成用層までは到達しない。第2照射工程においても、第1の実施態様と同様に、照射された光が基板より吸収される。
また、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以上で、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以下の範囲の光は、被めっき層形成用層に照射する光に含まれないため、例えば、第1被めっき層形成用層に照射光によって第2被めっき層形成用層中の重合開始剤が感光することは抑制されている。
なお、本態様で被めっき層形成用層(第1被めっき層形成用層および第2被めっき層形成用層)に対して照射される光としては、上記のように、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以上で、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以下の範囲の光が含まれず、かつ、重合開始剤が感光する波長の光が含まれていればよく、それ以外の波長の光が含まれていてもよい。つまり、被めっき層形成用層に対して照射される光には、重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側の波長の光が含まれていてもよい。
なお、上記遮光フィルターを使用することにより、種々の光源を使用することできる。
上記遮光フィルターの態様は特に制限されず、公知の遮光フィルターを使用することができるが、例えば、特定波長を少なくとも吸収できる吸収剤(例えば、色素または顔料)を含有する吸収型フィルター;バンドパスフィルター(誘電体多層膜)のような反射型フィルターが挙げられる。
2Lの三口フラスコに酢酸エチル1L、2−アミノエタノール159gを入れ、氷浴にて冷却した。そこへ、2−ブロモイソ酪酸ブロミド150gを内温20℃以下になるように調節して滴下した。その後、内温を室温(25℃)まで上昇させて2時間反応させた。反応終了後、蒸留水300mLを追加して反応を停止させた。その後、酢酸エチル相を蒸留水300mLで4回洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、さらに酢酸エチルを留去することで原料Aを80g得た。
次に、500mLの三口フラスコに、原料A47.4g、ピリジン22g、酢酸エチル150mLを入れて氷浴にて冷却した。そこへ、アクリル酸クロライド25gを内温20℃以下になるように調節して滴下した。その後、室温に上げて3時間反応させた。反応終了後、蒸留水300mLを追加し、反応を停止させた。その後、酢酸エチル相を蒸留水300mLで4回洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、さらに酢酸エチルを留去した。その後、カラムクロマトグラフィーにて、以下のモノマーM1(20g)を得た。
滴下終了後、更に反応溶液を3時間撹拌した。その後、N,N−ジメチルアセトアミド41gを追加し、室温まで反応溶液を冷却した。上記の反応溶液に、4−ヒドロキシTEMPO(東京化成製)0.09g、DBU(ジアザビシクロウンデセン)54.8gを加え、室温で12時間反応を行った。その後、反応液に70質量%メタンスルホン酸水溶液54g加えた。反応終了後、水で再沈を行い、固形物を取り出し、ポリマー1を12g得た。
得られたポリマー1の同定をIR測定機((株)堀場製作所製)を用いて行った。測定はポリマーをアセトンに溶解させKBr結晶を用いて行った。IR測定の結果、2240cm-1付近にピークが観測されニトリルユニットであるアクリロニトリルがポリマーに導入されている事が分かった。また、酸価測定によりカルボン酸基含有ユニットとしてアクリル酸が導入されている事が分かった。また、重DMSO(ジメチルスルホキシド)に溶解させ、ブルカー製300MHzのNMR(Nuclear Magnetic Resonance)(AV−300)にて測定を行った。ニトリル基含有ユニットに相当するピークが2.5−0.7ppm(5H分)にブロードに観察され、重合性基含有ユニットに相当するピークが7.8−8.1ppm(1H分)、5.8−5.6ppm(1H分)、5.4−5.2ppm(1H分)、4.2−3.9ppm(2H分)、3.3−3.5ppm(2H分)、2.5−0.7ppm(6H分)にブロードに観察され、カルボン酸基含有ユニットに相当するピークが2.5−0.7ppm(3H分)にブロードに観察され、重合性基含有ユニット:ニトリル基含有ユニット:カルボン酸基含有ユニット=30:30:40(mol%)であることが分かった。
イソプロパノール(IPA)、ポリマー1、ポリアクリル酸、メチレンビスアクリルアミド(MBA)、IRGACUREOXE02(BASF製)、IRGACURE127(BASF製)、IRGACURE2959(BASF製)を表1に従って調液し、組成物1〜4を得た。
なお、表1中、各成分の含有量は、組成物全量に対する質量%として表示される。
水素化ニトリルブタジエンゴムZetpole0020(日本ゼオン製)100gをシクロペンタノン(東京化成製)900gに溶解させた液をプライマー層形成用組成物とした。
〔基板S1−1の作製〕
ZF14(ゼオン製ゼオノアフィルム)をトルエンに溶解させUV吸収剤LA−29(ADEKA製)を樹脂成分中5質量%になるよう添加し、100μmの厚みになるように製膜した基板をS1−1とした。
〔基板S1−2の作製〕
F5023(JSR製アートンフィルム)をトルエンに溶解させUV吸収剤LA−29(ADEKA製)を樹脂成分中5質量%になるよう添加し、100μmの厚みになるように製膜した基板をS1−2とした。
〔基板S2−0〜2−4の作製〕
100μm厚のA4300(東洋紡製PETフィルム)、100μmのZF14、100μmのF5023、基板S1−1、および、基板S1−2のそれぞれの表面上にバーコートによってプライマー層形成用組成物を2μmの膜厚になるように塗布して、プライマー層を両面に成膜した基板をそれぞれS2−0〜S2−4とした。より具体的には、100μm厚のA4300の両面にプライマー層を配置した基板をS2−0、100μmのZF14の両面にプライマー層を配置した基板をS2−1、100μmのF5023の両面にプライマー層を配置した基板をS2−2、基板S1−1の両面にプライマー層を配置した基板をS2−3、および、基板S1−2の両面にプライマー層を配置した基板をS2−4とした。
〔積層体S3−1〜10〕
基板S2−0〜S2−4と組成物1〜4を表2のように組み合わせて、基板の両面に被めっき層形成用層をバーコートによって0.25μmの厚みになるように成膜し、積層体S3−1〜10とした。
積層体S3−1を異なるパターンを有するマスク二枚にて挟み込み、300nm以下の波長の光を含む出射光を出射できるUVランプDeep UV Lamp(Ushio製)を用いて、積層体の両面をそれぞれ所定のパターン状にて露光エネルギーが100mJになるよう露光した後、40℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液に5分間浸漬して現像して、パターン状被めっき層を含むサンプルを得た。なお、積層体の両面に照射される光の照射領域は異なる。つまり、積層体の両面に照射される照射パターン(露光パターン)はそれぞれ異なる。また、上記UVランプより出射される出射光には、300nm以下の波長の光のみならず、300nm超の波長の光も含まれる。
積層体S3−1の代わりに積層体S3−2〜S3−10を用いた以外は、上記と同様の手順に従って、サンプルを得た。
ただし、実施例6のみ露光する際、光源とマスクの間に300nmから400nmの光をカットするバンドパスフィルター(朝日分光製)を用いた。なお、実施例6で使用される重合開始剤であるIRGACURE OXE02の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端は400nmよりも短波長側に位置する。
また、比較例5のみ光源として、UV露光機(波長:365nm(ソーダガラスを用いて短波側波長カット)三永電機製作所社製、型番:UVF-502S、ランプ:UXM-501MD)を用いた。
比較例1〜5および実施例1〜6のサンプルを0.05質量%のローダミン6G水溶液に5分間浸漬して染色した後、基板の両面に配置されているパターン状被めっき層がそれぞれ使用したマスクと同じパターン形状になっているか否かを光学顕微鏡にて観察した。基板の両面に配置されるそれぞれのパターン状被めっき層のパターンがマスクと同じ所望のパターンである場合を「A」、いずれか一方のパターン状被めっき層のパターンが所望のパターンでない場合(一方の面上からの光照射によって他方の面上のパターン状被めっき層のパターンが影響を受けている場合)を「B」とした。結果を表2にまとめて示す。
「開始剤吸収端」欄において、「>300」とは重合開始剤の吸収端の位置が300nm超であることを意図し、「<300」とは重合開始剤の吸収端の位置が300nm未満であることを意図する。
「基板の吸収端」とは、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の位置(nm)を表す。この吸収端の決定方法は、上述の通りである。
「基板の吸収端」欄において、「<250」とは基板の吸収端の位置が250nm未満であることを意図する。
なお、表2中、「開始剤の吸収端」が「<300」で、かつ、「基板の吸収端」が「<250」である場合(比較例3および4)は、開始剤の吸収端は基板の吸収端よりも長波長側に位置する。
一方、本発明の要件を満たさない、比較例1〜5においては、所望の効果は得られなかった。より具体的には、比較例1〜5においては、基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側で、かつ、重合開始剤を感光する波長の光が被めっき層形成用層に照射されるため、基板の一方の面上に配置された被めっき層形成用層に照射した光が、基板を通過して、基板の他方の面上に配置された被めっき層形成用層に到達し、かつ、重合開始剤を感光してしまうため、所望のパターンが形成されなかった。
なお、比較例5は、特許文献1を参照した態様に該当する。
実施例1〜6のサンプルを形成する際、マスクとして、図6に示すような、検出電極部分(第1検出電極26、第2検出電極30)および引き出し配線部分(第1引き出し配線28、第2引き出し配線32)の位置に開口部が設けられたマスクを用いて露光を行い、パターン状被めっき層を有するサンプルをそれぞれ得た。
得られたサンプルに対して、次のように無電解めっきを施し、パターン状被めっき層上に金属層を形成した。得られたサンプルを、Pd触媒付与液MAT−2(上村工業製)のMAT−2Aのみを5倍に希釈したものに室温にて5分間浸漬し、純水にて2回洗浄した。次に、還元剤MAB(上村工業製)に36℃にて5分間浸漬し、純水にて2回洗浄した。その後、無電解めっき液スルカップPEA(上村工業製)に室温にてそれぞれ60分浸漬し、純水にて洗浄しタッチパネル用配線の形成された金属層含有積層体を得た。なお、得られた金属層は、パターン状被めっき層の基板との接触面以外の表面を覆うように配置されていた。
得られた金属層含有積層体をそれぞれ用いてタッチパネルセンサーを作製し、各種部材を貼り合せてタッチパネルとして駆動させたところ良好な駆動性が確認された。
12,120 基板
14A 第1被めっき層形成用層
14B 第2被めっき層形成用層
16A,16B,160 照射領域
18A 第1パターン状被めっき層
18B 第2パターン状被めっき層
20 パターン状被めっき層含有積層体
22 金属層
24,124 金属層含有積層体
26 第1検出電極
28 第1引き出し配線
30 第2検出電極
32 第2引き出し配線
34 遮光フィルター
140A,140B 樹脂組成物層
Claims (6)
- 2つの主面を有する基板と、前記基板の2つの主面上にそれぞれ配置された、重合開始剤、および、以下の化合物Xまたは組成物Yを含む被めっき層形成用層と、を有する積層体を作製する工程Aと、
前記積層体中の前記基板の一方の主面側から、以下の要件1または要件2を満たすように、前記被めっき層形成用層の一方に対してパターン状に光を照射する工程B−1、および、前記基板の他方の主面側から、以下の要件1または要件2を満たすように、前記被めっき層形成用層の他方に対してパターン状に光を照射する工程B−2を含む工程Bと、
前記被めっき層形成用層中の前記光が照射されていない領域を除去して、前記基板の2つの主面上にパターン状被めっき層をそれぞれ形成する工程Cと、を有する、パターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
化合物X:めっき触媒またはその前駆体と相互作用する官能基、および、重合性基を有する化合物
組成物Y:めっき触媒またはその前駆体と相互作用する官能基を有する化合物、および、重合性基を有する化合物を含む組成物
要件1:前記重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、前記基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも短波長側にある場合、前記重合開始剤が感光する波長の光を前記被めっき層形成用層にパターン状に照射する。
要件2:前記重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端が、前記基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端よりも長波長側にある場合、前記基板の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以上で前記重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以下の範囲の光を除いた光であって、前記重合開始剤が感光する波長の光を前記被めっき層形成用層にパターン状に照射する。 - 前記要件2において、前記重合開始剤の紫外可視吸収スペクトルの長波長側の吸収端の波長以下の範囲の光を少なくとも遮光する遮光フィルターを用いて、光の照射を行う、請求項1に記載のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
- 前記基板が、樹脂基板である、請求項1また2に記載のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
- 前記基板に、紫外線吸収剤が含まれる、請求項1〜3のいずれか1項に記載のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
- 前記基板が、支持体と、前記支持体上に配置された、紫外線吸収剤を含む紫外線吸収層とを有する積層体である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のパターン状被めっき層含有積層体の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の製造方法より得られるパターン状被めっき層含有積層体中の前記パターン状被めっき層にめっき触媒またはその前駆体を付与して、前記めっき触媒またはその前駆体が付与されたパターン状被めっき層に対してめっき処理を行い、前記パターン状被めっき層上に金属層を形成する工程を有する、金属層含有積層体の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014192739 | 2014-09-22 | ||
| JP2014192739 | 2014-09-22 | ||
| PCT/JP2015/074149 WO2016047355A1 (ja) | 2014-09-22 | 2015-08-27 | パターン状被めっき層含有積層体の製造方法、金属層含有積層体の製造方法、タッチパネルセンサー、タッチパネル、パターン状被めっき層含有積層体、金属層含有積層体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2016047355A1 JPWO2016047355A1 (ja) | 2017-08-03 |
| JP6402196B2 true JP6402196B2 (ja) | 2018-10-10 |
Family
ID=55580884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016550056A Active JP6402196B2 (ja) | 2014-09-22 | 2015-08-27 | パターン状被めっき層含有積層体の製造方法、金属層含有積層体の製造方法、タッチパネルセンサー、タッチパネル、パターン状被めっき層含有積層体、金属層含有積層体 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10152185B2 (ja) |
| EP (1) | EP3200023A4 (ja) |
| JP (1) | JP6402196B2 (ja) |
| KR (1) | KR101902133B1 (ja) |
| CN (1) | CN106716253B (ja) |
| TW (1) | TWI695228B (ja) |
| WO (1) | WO2016047355A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6983895B2 (ja) * | 2017-09-01 | 2021-12-17 | 富士フイルム株式会社 | 前駆体フィルム、両面導電性フィルムの製造方法、タッチパネルセンサー |
| CN108288638A (zh) | 2018-01-25 | 2018-07-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种触控基板及其制备方法、触控显示装置 |
| EP3784822A1 (en) | 2018-04-24 | 2021-03-03 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement | Method of metal plating of polymer-containing substrates |
| JP7094372B2 (ja) * | 2018-08-23 | 2022-07-01 | 富士フイルム株式会社 | 転写フィルム、積層体、及びパターン形成方法 |
| CN111610871A (zh) * | 2019-02-25 | 2020-09-01 | 英属维尔京群岛商天材创新材料科技股份有限公司 | 电极结构及其触控面板 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6172216A (ja) * | 1984-09-17 | 1986-04-14 | Shinku Lab:Kk | 露光方法 |
| JP2000098620A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 焼き付け装置及びその焼き付け装置を用いたプリント配線板の製造法 |
| FR2842617B1 (fr) * | 2002-07-17 | 2005-01-21 | Automa Tech Sa | Machine d'exposition de panneaux de circuit imprime |
| KR100891703B1 (ko) * | 2007-03-30 | 2009-04-03 | 주식회사 엘지화학 | 마이크로 패턴이 형성된 필름의 제조방법 및 그로부터제조된 필름 |
| KR100862354B1 (ko) * | 2007-04-10 | 2008-10-13 | 전자부품연구원 | 비동기 검색 환경을 지원하는 멀티미디어 검색 방법 |
| US8523867B2 (en) * | 2009-07-31 | 2013-09-03 | Zimmer Gmbh | Orthopaedic reamer |
| JP2011094192A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Fujifilm Corp | 被めっき層形成用組成物、金属パターン材料の作製方法、及び金属パターン材料 |
| WO2011065032A1 (ja) | 2009-11-27 | 2011-06-03 | 凸版印刷株式会社 | 透明導電性積層体およびその製造方法ならびに静電容量式タッチパネル |
| JP2011154080A (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Toppan Printing Co Ltd | 透明基材両面へのパターン形成方法 |
| JP5661533B2 (ja) * | 2010-05-28 | 2015-01-28 | 富士フイルム株式会社 | 導電シートの製造方法及びタッチパネルの製造方法 |
| JP2012097296A (ja) | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Fujifilm Corp | 金属膜形成方法 |
| JP5613124B2 (ja) * | 2011-08-24 | 2014-10-22 | 富士フイルム株式会社 | 加飾シート及びインモールド成形方法 |
| KR20140072131A (ko) * | 2011-09-30 | 2014-06-12 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 미세 피치 상호연결부가 있는 가요성 터치 센서 |
| JP2014026085A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Fujifilm Corp | マスクユニット及び露光装置 |
-
2015
- 2015-08-27 WO PCT/JP2015/074149 patent/WO2016047355A1/ja not_active Ceased
- 2015-08-27 EP EP15845223.5A patent/EP3200023A4/en active Pending
- 2015-08-27 CN CN201580048411.0A patent/CN106716253B/zh active Active
- 2015-08-27 KR KR1020177005480A patent/KR101902133B1/ko active Active
- 2015-08-27 JP JP2016550056A patent/JP6402196B2/ja active Active
- 2015-08-28 TW TW104128330A patent/TWI695228B/zh not_active IP Right Cessation
-
2017
- 2017-02-15 US US15/433,430 patent/US10152185B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPWO2016047355A1 (ja) | 2017-08-03 |
| KR20170040288A (ko) | 2017-04-12 |
| US10152185B2 (en) | 2018-12-11 |
| TW201701081A (zh) | 2017-01-01 |
| KR101902133B1 (ko) | 2018-09-27 |
| CN106716253A (zh) | 2017-05-24 |
| EP3200023A4 (en) | 2017-10-04 |
| EP3200023A1 (en) | 2017-08-02 |
| CN106716253B (zh) | 2018-11-27 |
| US20170160837A1 (en) | 2017-06-08 |
| WO2016047355A1 (ja) | 2016-03-31 |
| TWI695228B (zh) | 2020-06-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6490194B2 (ja) | 被めっき層形成用組成物、被めっき層前駆体層付きフィルム、パターン状被めっき層付きフィルム、導電性フィルム、タッチパネル | |
| KR102112435B1 (ko) | 도전성 적층체의 제조 방법과, 피도금층 전구체층을 구비한 입체 구조물, 패턴 형상 피도금층을 구비한 입체 구조물, 도전성 적층체, 터치 센서, 발열 부재 및 입체 구조물 | |
| JP6145219B6 (ja) | タッチパネル用導電性積層体、タッチパネル、透明導電性積層体 | |
| JP6402196B2 (ja) | パターン状被めっき層含有積層体の製造方法、金属層含有積層体の製造方法、タッチパネルセンサー、タッチパネル、パターン状被めっき層含有積層体、金属層含有積層体 | |
| JPWO2015190484A6 (ja) | タッチパネル用導電性積層体、タッチパネル、透明導電性積層体 | |
| JP6275861B2 (ja) | 積層体、導電性積層体およびその製造方法、タッチパネルセンサー、タッチパネル、転写フィルム | |
| JP6295330B2 (ja) | タッチパネルセンサー用導電性積層体、および、その製造方法、タッチパネルセンサー、タッチパネル | |
| CN111902885B (zh) | 导电性膜、触控面板传感器、触控面板 | |
| JP6279082B2 (ja) | タッチパネルセンサー用導電性フィルム、タッチパネルセンサー、タッチパネル | |
| WO2019187709A1 (ja) | 前駆体フィルム、被めっき層付き基板、導電性フィルム、タッチパネルセンサー、タッチパネル、導電性フィルムの製造方法、および、被めっき層形成用組成物 | |
| JP6612970B2 (ja) | 積層体、パターン状被めっき層付き基板の製造方法、金属層含有積層体の製造方法、タッチパネルセンサー、及びタッチパネル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170116 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180206 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180301 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180904 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180910 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6402196 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |