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JP6419015B2 - Discharger package and discharger - Google Patents
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Description

本発明は、放電器用パッケージ、およびそれを備えた放電器に関する。   The present invention relates to a package for a discharger and a discharger including the same.

近年、携帯電話などの携帯機器にカメラ機能が設けられており、夜間および室内などにおいても明るい画像を撮像することが求められている。携帯機器に設ける照明装置には小型化が必要であり、従来ではLED(Light Emitting Diode)を用いた照明装置が設けられている。しかし、LEDでは光量が低く、要求される光量の照明光を放射することができなかった。そこで、瞬間的に大光量の光を放射可能な、ガラス管内にキセノンなどの不活性ガスが充填された構造の放電器を小型化することが提案されている。   In recent years, a camera function is provided in a mobile device such as a mobile phone, and it is required to capture a bright image at night and indoors. A lighting device provided in a portable device needs to be downsized, and conventionally, a lighting device using an LED (Light Emitting Diode) is provided. However, the amount of light in the LED is low, and the required amount of illumination light cannot be emitted. Therefore, it has been proposed to reduce the size of a discharger having a structure in which an inert gas such as xenon is filled in a glass tube that can instantaneously emit a large amount of light.

しかしながら、放電器を構成するガラス管を単に小型化すると、不活性ガスが充填されるガラス管の耐久性、特に熱応力に対する耐久性が低下し得る。それゆえ、耐久性を考慮するとガラス管の小型化には限界があり、結果として放電器の小型化に限界があった。   However, if the glass tube constituting the discharger is simply reduced in size, the durability of the glass tube filled with an inert gas, particularly the durability against thermal stress, may be reduced. Therefore, considering the durability, there is a limit to miniaturization of the glass tube, and as a result, there is a limit to miniaturization of the discharger.

そこで、セラミックスから成る容器部材の放電空間内にキセノンなどの不活性ガスが充填され、該放電空間内に板状の放電電極が設けられた構造の発光装置が提案されている(特許文献1参照)。   Therefore, a light emitting device having a structure in which an inert gas such as xenon is filled in a discharge space of a container member made of ceramics and a plate-like discharge electrode is provided in the discharge space has been proposed (see Patent Document 1). ).

特開2011−96562号公報JP 2011-96562 A

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、板状の放電電極間の放電効率が十分であるとは言えず、光量が不十分であるという課題があった。   However, in the technique described in Patent Document 1, it cannot be said that the discharge efficiency between the plate-like discharge electrodes is sufficient, and there is a problem that the amount of light is insufficient.

本発明の目的は、放電電極間の放電効率が高く、十分な光量を確保することができる放電器用パッケージ、および、該放電器用パッケージを備えた放電器を提供することである。   An object of the present invention is to provide a discharger package having a high discharge efficiency between discharge electrodes and ensuring a sufficient amount of light, and a discharger including the discharger package.

本発明の一つの態様による放電器用パッケージは、セラミックスから成る筐体であって、板状の底部と、前記底部の主面に設けられ、該底部の外周縁に沿った枠状を成し、該底部の主面に垂直な内周面を有する側壁部と、前記底部の主面の前記側壁部で囲まれた領域から突出するか、または、前記側壁部の前記内周面から突出し、前記底部の主面と平行な上面を有する板状の一対の突出部と、を備える筐体と、第1金属から成り、前記一対の突出部のそれぞれの前記上面に設けられる一対の金属層と、第2金属から成る棒状の一対の放電電極であって、各放電電極の先端同士が互いに対向するように、前記一対の金属層上に、導電性を有する接合材によって接合された一対の放電電極と、を含むことを特徴とする。   A package for a discharger according to an aspect of the present invention is a housing made of ceramics, and is provided on a plate-like bottom portion and a main surface of the bottom portion, and has a frame shape along an outer peripheral edge of the bottom portion. A side wall portion having an inner peripheral surface perpendicular to the main surface of the bottom portion, and a region protruding from the region surrounded by the side wall portion of the main surface of the bottom portion, or a portion protruding from the inner peripheral surface of the side wall portion, A pair of plate-like protrusions having an upper surface parallel to the main surface of the bottom, and a pair of metal layers made of a first metal and provided on each upper surface of the pair of protrusions, A pair of rod-shaped discharge electrodes made of a second metal, wherein a pair of discharge electrodes are joined to the pair of metal layers by a conductive bonding material so that the tips of the discharge electrodes face each other. It is characterized by including these.

また、本発明の一つの態様による放電器は、上述の放電器用パッケージと、前記筐体の前記側壁部の上端開口を塞ぐ蓋体と、前記筐体の前記底部および前記側壁部と、前記蓋体とで囲まれた空間内に充填された不活性ガスと、を含むことを特徴とする。   A discharger according to one aspect of the present invention includes the above-described discharger package, a lid that closes an upper end opening of the side wall of the casing, the bottom and the side wall of the casing, and the lid And an inert gas filled in a space surrounded by the body.

本発明によれば、一対の放電電極間の放電効率が高く、十分な光量を確保することができる放電器用パッケージ、および、該放電器用パッケージを備えた放電器を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the discharge efficiency between a pair of discharge electrode is high, and the discharger provided with this discharger package which can ensure sufficient light quantity and this discharger package can be provided.

本発明の一実施形態に係る放電器10を有する撮像装置1の外観図である。It is an external view of the imaging device 1 which has the discharger 10 which concerns on one Embodiment of this invention. 図1の放電器10の斜視図である。It is a perspective view of the discharger 10 of FIG. 図2の放電器10の分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the discharger 10 of FIG. 2. 図2の切断面線A−Aで切断したときの放電器10の断面図である。It is sectional drawing of the discharger 10 when it cut | disconnects by the cut surface line AA of FIG. 放電器10を構成する放電器用パッケージ11の平面図である。2 is a plan view of a discharger package 11 constituting the discharger 10. FIG. 放電器用パッケージ11を下方から見た底面図である。It is the bottom view which looked at the package 11 for electric dischargers from the downward direction. 放電器用パッケージ11を製造するための積層体を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the laminated body for manufacturing the package 11 for electric dischargers.

以下、本発明に係る放電器用パッケージおよび放電器について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, a package for a discharger and a discharger according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係る放電器10を有する撮像装置1の外観図である。放電器10は、たとえばスマートフォンなどの携帯端末やデジタルカメラなどの撮像装置1に内蔵するものである。放電器10は、たとえば、希ガスなどの不活性ガスの放電作用を利用して、LEDと比較して、瞬間的に大光量の閃光を発することができる。放電器10を発光させる回路構成は、従来公知の、ガラス管内にキセノンなどの不活性ガスが充填された構造のキセノン放電管を用いた閃光発光器と同様である。図1に示す撮像装置1は、スマートフォンであって、表示面の裏面側に撮像可能なレンズを有する光学装置2や放電器10を内蔵した発光装置3が設けられている。   FIG. 1 is an external view of an imaging apparatus 1 having a discharger 10 according to an embodiment of the present invention. The discharger 10 is built in the imaging device 1 such as a portable terminal such as a smartphone or a digital camera. The discharger 10 can emit a flash of a large amount of light instantaneously as compared with an LED, for example, by using a discharge action of an inert gas such as a rare gas. The circuit configuration for causing the discharger 10 to emit light is the same as a conventionally known flash light emitter using a xenon discharge tube having a structure in which an inert gas such as xenon is filled in a glass tube. An imaging apparatus 1 shown in FIG. 1 is a smartphone, and is provided with an optical device 2 having a lens capable of imaging on the back side of a display surface and a light emitting device 3 incorporating a discharger 10.

図2は図1の放電器10の斜視図であり、図3は図2の放電器10の分解斜視図であり、図4は図2の切断面線A−Aで切断したときの放電器10の断面図である。また、図5は放電器10を構成する放電器用パッケージ11の平面図であり、図6は放電器用パッケージ11を下方から見た底面図である。   2 is a perspective view of the discharger 10 of FIG. 1, FIG. 3 is an exploded perspective view of the discharger 10 of FIG. 2, and FIG. 4 is a discharger taken along the cutting plane line AA of FIG. 10 is a cross-sectional view of FIG. 5 is a plan view of the discharger package 11 constituting the discharger 10, and FIG. 6 is a bottom view of the discharger package 11 as viewed from below.

放電器10は、本実施形態に係る放電器用パッケージ11と、放電器用パッケージ11における筐体111の側壁部111Bに接合されて側壁部111Bの上端開口111Bbを塞ぎ、側壁部111Bによって規定される放電空間Pを塞ぐ蓋体12と、放電空間P内に充填された不活性ガスと、を含んで構成される。なお、不活性ガスは、たとえば、希ガスであるキセノン(Xe)を主成分とするガスである。   The discharger 10 is bonded to the discharger package 11 according to the present embodiment and the side wall 111B of the casing 111 in the discharger package 11 so as to close the upper end opening 111Bb of the side wall 111B, and is discharged by the side wall 111B. It is configured to include a lid 12 that closes the space P, and an inert gas filled in the discharge space P. The inert gas is, for example, a gas whose main component is xenon (Xe), which is a rare gas.

蓋体12は、透光性を有する平板状の部材であり、放電器用パッケージ11における筐体111の側壁部111Bの上面に接合され、側壁部111Bの上端開口111Bbを塞いでいる。ここで、蓋体12の「透光性」とは、放電空間P内における発光によって放射された光の少なくとも一部の波長の光が透過できることをいう。蓋体12は、たとえばガラス、サファイア、透光性セラミックスなどの絶縁材料から成る。   The lid 12 is a light-transmitting flat plate-like member, joined to the upper surface of the side wall 111B of the casing 111 in the discharger package 11, and closes the upper end opening 111Bb of the side wall 111B. Here, the “translucency” of the lid 12 means that light having a wavelength of at least a part of light emitted by light emission in the discharge space P can be transmitted. The lid 12 is made of an insulating material such as glass, sapphire, or translucent ceramic.

蓋体12がガラスから成る場合、蓋体12は、ガラス接合によって放電器用パッケージ11における筐体111の側壁部111Bの上面に固定されている。蓋体12がサファイアまたは透光性セラミックスから成る場合、蓋体12は、ガラス接合または焼結接合によって放電器用パッケージ11における筐体111の側壁部111Bの上面に固定されている。「焼結接合」とは、筐体111の側壁部111Bと蓋体12とを、接合用治具を使用して被接合面を接触させた状態にて高温処理することにより、筐体111の側壁部111
Bに含まれるガラス質を接合材として機能させて接合させることをいう。
When the lid 12 is made of glass, the lid 12 is fixed to the upper surface of the side wall 111B of the housing 111 in the discharger package 11 by glass bonding. When the lid 12 is made of sapphire or translucent ceramics, the lid 12 is fixed to the upper surface of the side wall 111B of the casing 111 in the discharger package 11 by glass bonding or sintering bonding. “Sintered bonding” means that the side wall portion 111B of the casing 111 and the lid body 12 are subjected to high-temperature treatment in a state where the surfaces to be bonded are brought into contact with each other using a bonding jig. Side wall 111
It means that the glassy substance contained in B is made to function as a bonding material and bonded.

放電器用パッケージ11は、筐体111と、一対の金属層112,113と、一対の放電電極114,115と、トリガ電極116とを含んで構成される。   The discharger package 11 includes a casing 111, a pair of metal layers 112 and 113, a pair of discharge electrodes 114 and 115, and a trigger electrode 116.

筐体111は、アルミナ、チタニア系酸化物、ジルコン酸系酸化物などのセラミックスから成る。筐体111は、矩形板状の底部111Aと、矩形枠状の側壁部111Bと、矩形板状の一対の突出部111Baとを有する。筐体111において、底部111A、側壁部111B、および一対の突出部111Baは、一体的に形成されている。   The casing 111 is made of ceramics such as alumina, titania-based oxide, and zirconate-based oxide. The casing 111 includes a rectangular plate-shaped bottom portion 111A, a rectangular frame-shaped side wall portion 111B, and a pair of rectangular plate-shaped protruding portions 111Ba. In the housing 111, the bottom 111A, the side wall 111B, and the pair of protrusions 111Ba are integrally formed.

筐体111において、側壁部111Bは、底部111Aの主面に設けられ、底部111Aの外周縁に沿った枠状を成し、底部111Aの主面に垂直な内周面を有する。換言すると、側壁部111Bは、下面が底部111Aの主面における外周縁に連なり、上方に開放した上端開口111Bbを有し、底部111Aの主面に垂直な内周面によって放電空間Pが規定される。   In the casing 111, the side wall portion 111B is provided on the main surface of the bottom portion 111A, forms a frame shape along the outer peripheral edge of the bottom portion 111A, and has an inner peripheral surface perpendicular to the main surface of the bottom portion 111A. In other words, the side wall 111B has an upper end opening 111Bb whose lower surface is connected to the outer peripheral edge of the main surface of the bottom 111A and opened upward, and the discharge space P is defined by the inner peripheral surface perpendicular to the main surface of the bottom 111A. The

一対の突出部111Baは、それぞれ、底部111Aの主面の側壁部111Bで囲まれた領域から突出するか、または、側壁部111Bの内周面から突出し、底部111Aと平行である。本実施形態では、一対の突出部111Baは、それぞれ、側壁部111Bの内周面において、矩形枠状の互いに対向する2つの短辺に対応した部分から、放電空間P内に突出している。これら一対の突出部111Baは、下面が底部111Aの主面に連なっており、上面が底部111Aの主面に平行である。   Each of the pair of protrusions 111Ba protrudes from a region surrounded by the side wall 111B of the main surface of the bottom 111A, or protrudes from the inner peripheral surface of the side wall 111B and is parallel to the bottom 111A. In the present embodiment, each of the pair of protruding portions 111Ba protrudes into the discharge space P from a portion corresponding to two mutually opposing short sides of the rectangular frame shape on the inner peripheral surface of the side wall portion 111B. The pair of protrusions 111Ba has a lower surface continuous to the main surface of the bottom portion 111A and an upper surface parallel to the main surface of the bottom portion 111A.

筐体111において、底部111Aは、長辺の長さが5mm〜20mmであり、短辺の長さが2mm〜5mmであり、厚みが0.2mm〜0.5mmである。また、側壁部111Bは、厚み(底部111Aの主面からの高さ)が0.2mm〜1mmであり、外周縁において、長辺の長さが5mm〜20mmであり、短辺の長さが2mm〜5mmであり、内周縁において、長辺の長さが3mm〜18mmであり、短辺の長さが1mm〜4mmである。さらにまた、一対の突出部111Baは、それぞれ、厚み(底部111Aの主面からの高さ)が0.2mm〜1mmであり、短辺の長さ(放電空間P内への突出長さ)が0.5mm〜3mmであり、長辺の長さが1mm〜3mmである。   In the casing 111, the bottom 111A has a long side length of 5 mm to 20 mm, a short side length of 2 mm to 5 mm, and a thickness of 0.2 mm to 0.5 mm. Further, the side wall portion 111B has a thickness (height from the main surface of the bottom portion 111A) of 0.2 mm to 1 mm, and has a long side length of 5 mm to 20 mm and a short side length of the outer peripheral edge. The length of the long side is 3 mm to 18 mm and the length of the short side is 1 mm to 4 mm. Furthermore, each of the pair of protruding portions 111Ba has a thickness (height from the main surface of the bottom portion 111A) of 0.2 mm to 1 mm, and a short side length (a protruding length into the discharge space P). It is 0.5 mm-3 mm, and the length of a long side is 1 mm-3 mm.

また、筐体111には、底部111Aにおける2つの短辺に対応した側面中央部、および、底部111Aにおける1つの長辺に対応した側面中央部に、内方へ曲面状に窪んだキャスタレーション111Cが設けられている。なお、各キャスタレーション111Cには、後述の外部端子117,118,119にそれぞれ対応した導通路が形成されている。   The casing 111 has a castellation 111C that is recessed in a curved shape inwardly at the center of the side surface corresponding to the two short sides of the bottom 111A and the center of the side surface corresponding to one long side of the bottom 111A. Is provided. Each castellation 111C is formed with a conduction path corresponding to each of external terminals 117, 118, and 119 described later.

一対の金属層112,113は、第1金属から成り、筐体111における一対の突出部111Baのそれぞれの上面に、互いに電気的に絶縁された状態で設けられる。一対の金属層112,113を構成する第1金属としては、タングステン(W)およびモリブデン(Mo)などの高融点金属を挙げることができる。   The pair of metal layers 112 and 113 are made of the first metal, and are provided on the upper surfaces of the pair of protrusions 111Ba in the casing 111 in a state of being electrically insulated from each other. As a 1st metal which comprises a pair of metal layers 112 and 113, refractory metals, such as tungsten (W) and molybdenum (Mo), can be mentioned.

一対の放電電極114,115は、第2金属から成り、電位差によって不活性ガスに絶縁破壊を生じさせて、不活性ガスに電流を流すために用いられる電極であり、一方が陽極であり、他方が陰極である。一対の放電電極114,115は、それぞれ、長さが1mm〜5mmであり、外径が0.3mm〜0.8mmの棒状に形成される。   The pair of discharge electrodes 114 and 115 is made of a second metal, and is an electrode used to cause a dielectric breakdown in the inert gas due to a potential difference and to pass a current through the inert gas, one being an anode and the other being Is the cathode. The pair of discharge electrodes 114 and 115 are each formed in a rod shape having a length of 1 mm to 5 mm and an outer diameter of 0.3 mm to 0.8 mm.

一対の放電電極114,115は、各放電電極114,115の先端114a,115a同士が互いに対向するように、一対の金属層112,113上のそれぞれに、導電性を有する接合材114b,115bによって接合されている。   The pair of discharge electrodes 114 and 115 are made of conductive bonding materials 114b and 115b on the pair of metal layers 112 and 113, respectively, so that the tips 114a and 115a of the discharge electrodes 114 and 115 face each other. It is joined.

一対の放電電極114,115は、互いに軸線が一致し、各軸線が、矩形枠状の側壁部111Bの2つの短辺の中心を通る仮想直線と平行であり、先端114a,115aが各突出部111Baの上面から内方側に延出するように、各突出部111Baの上面に設けられた一対の金属層112,113上に接合されている。また、好ましくは、一対の放電電極114,115は、互いに軸線が一致し、かつ、各軸線が、矩形枠状の側壁部111Bの2つの短辺の中心を通る仮想直線と一致している。   The pair of discharge electrodes 114 and 115 have their axes coincident with each other, each axis is parallel to an imaginary straight line passing through the centers of the two short sides of the rectangular frame-shaped side wall portion 111B, and the tips 114a and 115a are each protruding portion. It is joined on a pair of metal layers 112 and 113 provided on the upper surface of each protrusion 111Ba so as to extend inward from the upper surface of 111Ba. Preferably, the pair of discharge electrodes 114 and 115 have their axes coincident with each other, and each axis coincides with an imaginary straight line passing through the centers of the two short sides of the rectangular frame-shaped side wall portion 111B.

一対の放電電極114,115を構成する第2金属としては、タングステン(W)およびモリブデン(Mo)などの高融点金属を挙げることができる。また、一対の放電電極114,115を構成する第2金属は、一対の金属層112,113を構成する第1金属と同一であってもよく、異なっていてもよい。   Examples of the second metal constituting the pair of discharge electrodes 114 and 115 include refractory metals such as tungsten (W) and molybdenum (Mo). Further, the second metal constituting the pair of discharge electrodes 114 and 115 may be the same as or different from the first metal constituting the pair of metal layers 112 and 113.

一対の放電電極114,115のうち、陰極となる放電電極は、タングステン(W)およびモリブデン(Mo)などの高融点金属である第2金属の他に、電子放出特性に優れた酸化ランタン、酸化イットリウムまたは酸化セリウムを含んでいてもよい。   Among the pair of discharge electrodes 114 and 115, the discharge electrode serving as the cathode is a lanthanum oxide having excellent electron emission characteristics, oxidation, in addition to the second metal which is a refractory metal such as tungsten (W) and molybdenum (Mo). It may contain yttrium or cerium oxide.

また、一対の放電電極114,115の先端114a,115aの形状は特に限定されるものではないが、半球状、円錐台形状、四角錐台形状などの、先細状であることが好ましい。一対の放電電極114,115の先端114a,115aが先細状である、特に、陰極となる放電電極の先端が先細状であることによって、電子放出特性を向上させることができ、一対の放電電極114,115間の放電効率をより高くすることができるので、放電器10において十分な光量を確保することができる。   The shapes of the tips 114a and 115a of the pair of discharge electrodes 114 and 115 are not particularly limited, but are preferably tapered such as a hemispherical shape, a truncated cone shape, and a truncated pyramid shape. The tips 114a and 115a of the pair of discharge electrodes 114 and 115 are tapered, in particular, the tip of the discharge electrode serving as the cathode is tapered, so that the electron emission characteristics can be improved, and the pair of discharge electrodes 114. , 115 can be made higher, so that a sufficient amount of light can be secured in the discharger 10.

一対の放電電極114,115を一対の金属層112,113に接合するための接合材114b,115bは、タングステンを主成分とする金属ろう材であり、一対の金属層112,113を構成する第1金属、および、一対の放電電極114,115を構成する第2金属と、合金を形成可能な金属を1%以上50%以下含有している。   The joining materials 114b and 115b for joining the pair of discharge electrodes 114 and 115 to the pair of metal layers 112 and 113 are metal brazing materials mainly composed of tungsten, and the first material constituting the pair of metal layers 112 and 113 is used. 1 metal and the 2nd metal which comprises a pair of discharge electrodes 114 and 115, and the metal which can form an alloy are contained 1% or more and 50% or less.

接合材114b,115bに含有される金属は、一対の金属層112,113を構成する第1金属、および、一対の放電電極114,115を構成する第2金属が、タングステン(W)またはモリブデン(Mo)であることに対応して、ニッケル(Ni)またはチタン(Ti)またはコバルト(Co)である。第1金属および第2金属と合金を形成可能な金属を含有する接合材114b,115bを用いることによって、一対の放電電極114,115と一対の金属層112,113との間の接合強度を向上させることができる。   The metal contained in the bonding materials 114b and 115b includes tungsten (W) or molybdenum (the first metal constituting the pair of metal layers 112 and 113 and the second metal constituting the pair of discharge electrodes 114 and 115). Corresponding to being Mo), it is nickel (Ni) or titanium (Ti) or cobalt (Co). By using the bonding materials 114b and 115b containing a metal capable of forming an alloy with the first metal and the second metal, the bonding strength between the pair of discharge electrodes 114 and 115 and the pair of metal layers 112 and 113 is improved. Can be made.

トリガ電極116は、矩形板状に形成され、一対の金属層112,113および一対の放電電極114,115と電気的に絶縁されるように、底部111Aの内部に埋設されている。トリガ電極116は、外部のトリガ回路からの信号に応じて、一対の放電電極114,115のうちの陰極となる放電電極との間で予備放電し、一対の放電電極114,115間での安定した主放電を開始させる。   The trigger electrode 116 is formed in a rectangular plate shape, and is embedded in the bottom 111A so as to be electrically insulated from the pair of metal layers 112 and 113 and the pair of discharge electrodes 114 and 115. The trigger electrode 116 preliminarily discharges with the discharge electrode serving as the cathode of the pair of discharge electrodes 114 and 115 in accordance with a signal from an external trigger circuit, and stabilizes between the pair of discharge electrodes 114 and 115. The main discharge is started.

トリガ電極116は、タングステン(W)およびモリブデン(Mo)などの高融点金属から成る。また、トリガ電極116は、長辺の長さが3mm〜18mmであり、短辺の長さが1mm〜4mmであり、厚みが1μm〜10μmである。   The trigger electrode 116 is made of a refractory metal such as tungsten (W) and molybdenum (Mo). The trigger electrode 116 has a long side length of 3 mm to 18 mm, a short side length of 1 mm to 4 mm, and a thickness of 1 μm to 10 μm.

さらに、本実施形態の放電器用パッケージ11は、筐体111の外面に、一対の金属層112,113のそれぞれに対応した外部端子117,118と、トリガ電極116に対応した外部端子119とが設けられている。   Furthermore, the discharger package 11 of the present embodiment is provided with external terminals 117 and 118 corresponding to the pair of metal layers 112 and 113 and external terminals 119 corresponding to the trigger electrode 116 on the outer surface of the casing 111. It has been.

金属層112と外部端子117とはキャスタレーション111Cに形成された導通路117aを介して電気的に接続され、金属層113と外部端子118とはキャスタレーション111Cに形成された導通路118aを介して電気的に接続され、トリガ電極116と外部端子119とはキャスタレーション111Cに形成された不図示の導通路を介して電気的に接続されている。外部端子117,118,119および導通路117a,118aは、それぞれ、タングステン(W)およびモリブデン(Mo)などの高融点金属から成る。   The metal layer 112 and the external terminal 117 are electrically connected through a conduction path 117a formed in the castellation 111C, and the metal layer 113 and the external terminal 118 are connected through a conduction path 118a formed in the castellation 111C. The trigger electrode 116 and the external terminal 119 are electrically connected via a conduction path (not shown) formed in the castellation 111C. External terminals 117, 118, 119 and conduction paths 117a, 118a are each made of a refractory metal such as tungsten (W) and molybdenum (Mo).

次に、本実施形態に係る放電器10の製造方法について、図7を用いて説明する。図7は、放電器用パッケージ11を製造するための積層体を示す分解斜視図である。放電器10の製造方法は、成形工程と、印刷工程と、焼成工程と、封入工程とを含んで構成される。図7に示すように、放電器10を構成する放電器用パッケージ11は、矩形板状の第1のセラミックグリーンシート21と、矩形板状の第2のセラミックグリーンシート22と、矩形板状の第3のセラミックグリーンシート23と、矩形板状の第4のセラミックグリーンシート24とを積層させた積層体を用いて、製造される。   Next, a method for manufacturing the discharger 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 7 is an exploded perspective view showing a laminate for manufacturing the discharger package 11. The manufacturing method of the discharger 10 includes a forming process, a printing process, a firing process, and an enclosing process. As shown in FIG. 7, the discharger package 11 constituting the discharger 10 includes a rectangular plate-shaped first ceramic green sheet 21, a rectangular plate-shaped second ceramic green sheet 22, and a rectangular plate-shaped first ceramic green sheet 22. 3 and the fourth ceramic green sheet 24 having a rectangular plate shape.

成形工程では、加工前の第1のセラミックグリーンシート21、第2のセラミックグリーンシート22、第3のセラミックグリーンシート23、および第4のセラミックグリーンシート24を、予め定められた形状に成形する。たとえば、第1のセラミックグリーンシート21は、筐体111の側壁部111Bの上端開口111Bbに対応した、厚み方向に貫通する第1シート孔部211が形成されるように、成形される。第2のセラミックグリーンシート22は、筐体111の側壁部111Bの上端開口111Bbおよび一対の突出部111Baに対応した、厚み方向に貫通する第2シート孔部221が形成されるとともに、矩形板状のシートにおいて互いに対向する2つの短辺の縁端中央部に、キャスタレーション111Cに対応して内方へ曲面状に窪んだ第2シート切欠き222が形成されるように、成形される。第3のセラミックグリーンシート23は、矩形板状のシートにおいて互いに対向する2つの短辺の縁端中央部に、キャスタレーション111Cに対応して内方へ曲面状に窪んだ第3シート切欠き231が形成され、1つの長辺の縁端中央部に、キャスタレーション111Cに対応して内方へ曲面状に窪んだ第3シート切欠き231が形成されるように、成形される。第4のセラミックグリーンシート24は、矩形板状のシートにおいて互いに対向する2つの短辺の縁端中央部に、キャスタレーション111Cに対応して内方へ曲面状に窪んだ第4シート切欠き241が形成され、1つの長辺の縁端中央部に、キャスタレーション111Cに対応して内方へ曲面状に窪んだ第4シート切欠き241が形成されるように、成形される。   In the forming step, the first ceramic green sheet 21, the second ceramic green sheet 22, the third ceramic green sheet 23, and the fourth ceramic green sheet 24 before processing are formed into a predetermined shape. For example, the first ceramic green sheet 21 is formed such that a first sheet hole 211 that penetrates in the thickness direction corresponding to the upper end opening 111Bb of the side wall 111B of the housing 111 is formed. The second ceramic green sheet 22 is formed with a second sheet hole portion 221 penetrating in the thickness direction corresponding to the upper end opening 111Bb and the pair of projecting portions 111Ba of the side wall portion 111B of the casing 111, and has a rectangular plate shape. The second sheet notch 222 that is recessed inwardly in a curved shape corresponding to the castellation 111C is formed at the center of the edge of the two short sides facing each other in the sheet. The third ceramic green sheet 23 is a third sheet cutout 231 that is recessed inwardly in a curved shape inwardly corresponding to the castellation 111C at the center of the edge of the two short sides facing each other in the rectangular plate-like sheet. Is formed so that a third sheet cutout 231 that is recessed inwardly in a curved shape corresponding to the castellation 111C is formed at the center of the edge of one long side. The fourth ceramic green sheet 24 is a fourth sheet cutout 241 that is recessed in a curved shape inwardly corresponding to the castellation 111C at the center of the edge of the two short sides facing each other in the rectangular plate-like sheet. And a fourth sheet cutout 241 that is recessed inwardly in a curved shape corresponding to the castellation 111C is formed at the center of the edge of one long side.

ここで、加工前のセラミックグリーンシートは、従来公知の方法で形成される。たとえば、加工前のセラミックグリーンシートの原料の主成分には、アルミナ、チタニア系酸化物、およびジルコン酸系酸化物等が用いられる。チタン酸バリウムを主成分とする焼結体を用いる場合には、たとえば、チタン酸バリウム粉末に対して、所定量の酸化マグネシウム粉末、希土類元素の酸化物粉末および酸化マンガン粉末を配合し、さらに、必要に応じて焼結助剤としてガラス粉末を添加して素原量粉末を得る。次に、素原量粉末に有機ビヒクルを加えてセラミックスラリを調製し、次いで、ドクターブレード法またはダイコーダ法などの従来公知のシート成形法を用いて、加工前のセラミックグリーンシートが形成される。   Here, the ceramic green sheet before processing is formed by a conventionally known method. For example, alumina, titania-based oxide, zirconate-based oxide, or the like is used as the main component of the raw material of the ceramic green sheet before processing. When using a sintered body mainly composed of barium titanate, for example, a predetermined amount of magnesium oxide powder, rare earth oxide powder and manganese oxide powder are blended with barium titanate powder, If necessary, glass powder is added as a sintering aid to obtain raw powder. Next, an organic vehicle is added to the raw material powder to prepare a ceramic slurry, and then a ceramic green sheet before processing is formed using a conventionally known sheet forming method such as a doctor blade method or a die coder method.

成形工程の後工程である印刷工程では、第2のセラミックグリーンシート22の一主面上に、一対の金属層112,113を印刷する。さらに、第4のセラミックグリーンシート24の一主面上に、トリガ電極116を印刷する。図7においては、第4のセラミックグリーンシート24の一主面上にトリガ電極116を印刷しているが、第3のセラミックグリーンシート23の、第4のセラミックグリーンシート24と対向する面上に、トリガ
電極116を印刷してもよい。
In the printing process, which is a subsequent process of the forming process, the pair of metal layers 112 and 113 are printed on one main surface of the second ceramic green sheet 22. Further, the trigger electrode 116 is printed on one main surface of the fourth ceramic green sheet 24. In FIG. 7, the trigger electrode 116 is printed on one main surface of the fourth ceramic green sheet 24, but on the surface of the third ceramic green sheet 23 facing the fourth ceramic green sheet 24. The trigger electrode 116 may be printed.

また、第4のセラミックグリーンシート24の、第3のセラミックグリーンシート23と対向する面とは反対側の面上に、外部端子117,118,119を印刷する。また、第2のセラミックグリーンシート22の第2シート切欠き222、第3のセラミックグリーンシート23の第3シート切欠き231、ならびに第4のセラミックグリーンシート24の第4シート切欠き241に、導通路117a,118aを印刷する。   In addition, external terminals 117, 118, and 119 are printed on the surface of the fourth ceramic green sheet 24 opposite to the surface facing the third ceramic green sheet 23. The second ceramic green sheet 22 is led to the second sheet notch 222, the third ceramic notch 231 of the third ceramic green sheet 23, and the fourth notch 241 of the fourth ceramic green sheet 24. The passages 117a and 118a are printed.

印刷工程における、一対の金属層112,113、トリガ電極116、外部端子117,118,119、および導通路117a,118aは、高融点金属であるタングステン(W)またはモリブデン(Mo)などの金属粒子に、予め定める有機バインダおよび溶剤を添加混合して得た金属ペーストを、従来公知のスクリーン印刷法を用いて印刷することによって、形成される。   In the printing process, the pair of metal layers 112 and 113, the trigger electrode 116, the external terminals 117, 118, and 119, and the conduction paths 117a and 118a are made of metal particles such as tungsten (W) or molybdenum (Mo), which is a refractory metal. In addition, a metal paste obtained by adding and mixing a predetermined organic binder and a solvent is printed using a conventionally known screen printing method.

印刷工程の後工程である焼成工程では、第1のセラミックグリーンシート21、第2のセラミックグリーンシート22、第3のセラミックグリーンシート23、および第4のセラミックグリーンシート24を、一対の金属層112,113が第1のセラミックグリーンシート21の孔部211内に含まれ、トリガ電極116が第3のセラミックグリーンシート23および第4のセラミックグリーンシート24に挟持されるように、積層して積層体を形成する。次に、積層させた積層体を焼成する。   In the firing process, which is a subsequent process of the printing process, the first ceramic green sheet 21, the second ceramic green sheet 22, the third ceramic green sheet 23, and the fourth ceramic green sheet 24 are combined into a pair of metal layers 112. , 113 are included in the hole 211 of the first ceramic green sheet 21 and the trigger electrode 116 is sandwiched between the third ceramic green sheet 23 and the fourth ceramic green sheet 24. Form. Next, the laminated body is fired.

焼成工程における積層体の焼成条件としては、昇温速度を5℃/hから300℃/hとして、脱脂を500℃までの温度範囲で行い、次いで、昇温速度を25℃/hから1000℃/hとして、水素および窒素の混合ガスの還元雰囲気中にて1400℃から1600℃の温度範囲で0.5時間から4時間焼成する。   As the firing conditions of the laminate in the firing step, the heating rate is 5 ° C./h to 300 ° C./h, degreasing is performed in a temperature range up to 500 ° C., and then the heating rate is 25 ° C./h to 1000 ° C. / H is calcined in a reducing atmosphere of a mixed gas of hydrogen and nitrogen at a temperature range of 1400 ° C. to 1600 ° C. for 0.5 to 4 hours.

次に、一対の放電電極114,115を一対の金属層112,113に、接合材114b,115bを用いて接合し、放電器用パッケージ11を製造する。   Next, the pair of discharge electrodes 114 and 115 are bonded to the pair of metal layers 112 and 113 using the bonding materials 114b and 115b, and the discharger package 11 is manufactured.

次に、封入工程では、たとえばキセノン(Xe)を主成分とする不活性ガス雰囲気下において、放電器用パッケージ11の筐体111における側壁部111Bの上面を、蓋体12と密着させ、筐体111の底部111Aおよび側壁部111Bと、蓋体12とで囲まれる密閉空間(放電空間P)内に、不活性ガスを封入する。側壁部111Bの上面と蓋体12との密着には、蓋体12に用いるガラスより融点の低いガラスが用いられる。   Next, in the sealing step, for example, in an inert gas atmosphere containing xenon (Xe) as a main component, the upper surface of the side wall portion 111B of the casing 111 of the discharger package 11 is brought into close contact with the lid 12 so that the casing 111 An inert gas is sealed in a sealed space (discharge space P) surrounded by the bottom portion 111 </ b> A and the side wall portion 111 </ b> B and the lid body 12. For the close contact between the upper surface of the side wall portion 111 </ b> B and the lid body 12, glass having a lower melting point than the glass used for the lid body 12 is used.

上記成形工程、印刷工程、焼成工程、および封入工程を経ることにより、本実施形態に係る放電器10を製造することができる。   The discharger 10 according to the present embodiment can be manufactured through the molding step, the printing step, the firing step, and the sealing step.

以上のような構成の本実施形態の放電器10によれば、セラミックスから成る筐体111における一対の突出部111Baの上面に設けられた一対の金属層112,113に、棒状の一対の放電電極114,115が、各放電電極114,115の先端114a,115a同士が互いに対向するように、接合材114b,115bによって接合されている。このような、棒状の一対の放電電極114,115を用いることによって、たとえば、特許文献1に記載される発光装置のように、板状の放電電極を用いる構成に比べて、一対の放電電極114,115間の放電効率を高くすることができるので、瞬間的に大光量の光を放射可能となり、放電器10において十分な光量を確保することができる。   According to the discharger 10 of the present embodiment configured as described above, a pair of rod-shaped discharge electrodes is formed on the pair of metal layers 112 and 113 provided on the upper surfaces of the pair of protrusions 111Ba in the casing 111 made of ceramics. 114 and 115 are joined by joining materials 114b and 115b so that the tips 114a and 115a of the discharge electrodes 114 and 115 face each other. By using such a pair of rod-shaped discharge electrodes 114, 115, for example, a pair of discharge electrodes 114 compared to a configuration using plate-shaped discharge electrodes as in the light emitting device described in Patent Document 1, for example. , 115 can be increased, so that a large amount of light can be emitted instantaneously, and a sufficient amount of light can be secured in the discharger 10.

また、一対の放電電極114,115の先端114a,115aが先細状である、特に、陰極となる放電電極の先端が先細状であることによって、電子放出特性を向上させることができ、一対の放電電極114,115間の放電効率をより高くすることができる。   Further, the tip end 114a, 115a of the pair of discharge electrodes 114, 115 is tapered, in particular, the tip of the discharge electrode serving as the cathode is tapered, so that the electron emission characteristics can be improved, and the pair of discharge electrodes The discharge efficiency between the electrodes 114 and 115 can be further increased.

また、一対の放電電極114,115を一対の金属層112,113に接合するための接合材114b,115bは、一対の金属層112,113を構成する第1金属、および一対の放電電極114,115を構成する第2金属と、合金を形成可能な金属を含有している。このような金属を含有する接合材114b,115bを用いることによって、一対の放電電極114,115と一対の金属層112,113との間の接合強度を向上させることができる。   Further, the bonding materials 114b and 115b for bonding the pair of discharge electrodes 114 and 115 to the pair of metal layers 112 and 113 include the first metal constituting the pair of metal layers 112 and 113, and the pair of discharge electrodes 114 and 113, respectively. The second metal constituting 115 and a metal capable of forming an alloy are contained. By using the bonding materials 114b and 115b containing such a metal, the bonding strength between the pair of discharge electrodes 114 and 115 and the pair of metal layers 112 and 113 can be improved.

また、放電器10では、放電空間P内に不活性ガスが充填される構造として、セラミックスから成る筐体111を用いているので、ガラス管内にキセノンなどの不活性ガスが充填された構造の従来のキセノン放電管に比べて、一対の放電電極114,115間の放電により発生する熱に起因した耐久性の低下が抑制される。   Further, in the discharger 10, since the casing 111 made of ceramics is used as a structure in which the discharge space P is filled with the inert gas, a conventional structure in which the glass tube is filled with an inert gas such as xenon is used. As compared with the xenon discharge tube, a decrease in durability due to heat generated by the discharge between the pair of discharge electrodes 114 and 115 is suppressed.

上記の効果は、放電器10を構成する各材料の熱伝導率を指標として説明することができる。すなわち、一対の放電電極114,115を構成する材料であるタングステン(W)の熱伝導率が173[W/mK]であることに対し、筐体111を構成するセラミックスのたとえばアルミナの熱伝導率は32[W/mK]であり、石英ガラスの熱伝導率は1.4[W/mK]である。放電器10では、一対の放電電極114,115間の放電により発生する熱が、接合材114b,115bおよび一対の金属層112,113を介して、ガラス管を構成する石英ガラスよりも熱伝導率が高いセラミックスから成る筐体111により放熱される。これによって、一対の放電電極114,115に熱が蓄積されることを抑制することができるので、一対の放電電極114,115の耐久性が向上し、ひいては放電器10の耐久性が向上する。   The above effect can be explained using the thermal conductivity of each material constituting the discharger 10 as an index. That is, the thermal conductivity of tungsten (W), which is a material constituting the pair of discharge electrodes 114 and 115, is 173 [W / mK], whereas the thermal conductivity of the ceramic constituting the casing 111, for example, alumina. Is 32 [W / mK], and the thermal conductivity of quartz glass is 1.4 [W / mK]. In the discharger 10, the heat generated by the discharge between the pair of discharge electrodes 114 and 115 is more thermally conductive than the quartz glass constituting the glass tube via the bonding materials 114 b and 115 b and the pair of metal layers 112 and 113. The heat is dissipated by the casing 111 made of high ceramics. As a result, heat can be prevented from being accumulated in the pair of discharge electrodes 114 and 115, so that the durability of the pair of discharge electrodes 114 and 115 is improved, and consequently the durability of the discharger 10 is improved.

本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変形や変更が可能である。さらに、特許請求の範囲に属する変形や変更は全て本発明の範囲内のものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention. Further, all modifications and changes belonging to the scope of the claims are within the scope of the present invention.

1 撮像装置
2 光学装置
3 発光装置
10 放電器
11 放電器用パッケージ
12 蓋体
21 第1のセラミックグリーンシート
22 第2のセラミックグリーンシート
23 第3のセラミックグリーンシート
24 第4のセラミックグリーンシート
111 筐体
111A 底部
111B 側壁部
111Ba 突出部
111C キャスタレーション
112,113 金属層
114,115 放電電極
114a,115a 先端
114b,115b 接合材
116 トリガ電極
117,118,119 外部端子
117a,118a 導通路
211 第1シート孔部
221 第2シート孔部
222 第2シート切欠き
231 第3シート切欠き
241 第4シート切欠き
P 放電空間
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Imaging device 2 Optical apparatus 3 Light-emitting device 10 Discharger 11 Package for dischargers 12 Cover body 21 1st ceramic green sheet 22 2nd ceramic green sheet 23 3rd ceramic green sheet 24 4th ceramic green sheet 111 Case 111A Bottom portion 111B Side wall portion 111Ba Projection portion 111C Castellation 112, 113 Metal layer 114, 115 Discharge electrode 114a, 115a Tip 114b, 115b Joining material 116 Trigger electrode 117, 118, 119 External terminal 117a, 118a Conducting path 211 First sheet hole Part 221 Second sheet hole 222 Second sheet notch 231 Third sheet notch 241 Fourth sheet notch P Discharge space

Claims (5)

セラミックスから成る筐体であって、
板状の底部と、
前記底部の主面に設けられ、該底部の外周縁に沿った枠状を成し、該底部の主面に垂直な内周面を有する側壁部と、
前記底部の主面の前記側壁部で囲まれた領域から突出するか、または、前記側壁部の前記内周面から突出し、前記底部の主面と平行な上面を有する板状の一対の突出部と、を備える筐体と、
第1金属から成り、前記一対の突出部のそれぞれの前記上面に設けられる一対の金属層と、
第2金属から成る棒状の一対の放電電極であって、各放電電極の先端同士が互いに対向するように、前記一対の金属層上に、導電性を有する接合材によって接合された一対の放電電極と、を含むことを特徴とする放電器用パッケージ。
A housing made of ceramics,
A plate-like bottom;
A side wall portion provided on a main surface of the bottom portion, forming a frame shape along an outer peripheral edge of the bottom portion, and having an inner peripheral surface perpendicular to the main surface of the bottom portion;
A pair of plate-like protrusions protruding from a region surrounded by the side wall portion of the main surface of the bottom portion or protruding from the inner peripheral surface of the side wall portion and having an upper surface parallel to the main surface of the bottom portion A housing comprising:
A pair of metal layers made of a first metal and provided on the upper surface of each of the pair of protrusions;
A pair of rod-shaped discharge electrodes made of a second metal, wherein a pair of discharge electrodes are joined to the pair of metal layers by a conductive bonding material so that the tips of the discharge electrodes face each other. And a package for a discharger.
前記接合材は、前記第1金属および前記第2金属と合金を形成可能な金属を含有していることを特徴とする請求項1に記載の放電器用パッケージ。   The discharger package according to claim 1, wherein the bonding material contains a metal capable of forming an alloy with the first metal and the second metal. 前記第1金属および前記第2金属は、タングステンまたはモリブデンであり、
前記金属は、ニッケルまたはチタンであることを特徴とする請求項2に記載の放電器用パッケージ。
The first metal and the second metal are tungsten or molybdenum;
The discharge metal package according to claim 2, wherein the metal is nickel or titanium.
前記各放電電極の前記先端は、先細状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の放電器用パッケージ。   The package for a discharger according to any one of claims 1 to 3, wherein the tip of each discharge electrode is tapered. 請求項1〜4のいずれか1つに記載の放電器用パッケージと、
前記筐体の前記側壁部の上端開口を塞ぐ蓋体と、
前記筐体の前記底部および前記側壁部と、前記蓋体とで囲まれた空間内に充填された不活性ガスと、を含むことを特徴とする放電器。
A package for a discharger according to any one of claims 1 to 4,
A lid for closing the upper end opening of the side wall of the housing;
A discharger comprising: an inert gas filled in a space surrounded by the bottom and side walls of the casing and the lid.
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