JP6426152B2 - Method of forming blackened conductive pattern and blackened conductive ink composition - Google Patents
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Description
本発明は、黒化導電性パターンの形成方法に関する。より詳細には、導電性物質と黒化物質を混合して、光学的・電気的特性が優れた黒化導電性インク組成物を基材の溝に充填させ、単一層の導電性パターンを形成する方法に関する。 The present invention relates to a method of forming a blackening conductive pattern. More specifically, the conductive material and the blackening material are mixed to fill the groove of the substrate with the blackened conductive ink composition having excellent optical and electrical properties to form a single layer conductive pattern. On how to do it.
最近、電子製品の軽薄短小化の傾向により、ディスプレイまたはトランジスタなどの電子素子が共に高密度、高集積の形態で製作されることが要求されるに伴い、電極または配線(metallization)用に使用することができる微細な金属パターンを形成する技術が注目されている。 Recently, due to the tendency of electronic products to be lighter, thinner and smaller, it is required to manufacture both electronic devices such as displays or transistors in a form of high density and high integration, and they are used for electrodes or metallization A technique for forming a fine metal pattern that can be used is attracting attention.
特に、タッチパネルに必須の透明電極を製作する技術の中で、基材上に微細なパターンを形成し、金属導電性インクを充填して形成される金属パターンは、抵抗特性において非常に有用である。しかし、金属導電性インクを基材上のパターンに充填すると、金属の反射特性によって視認性の問題が発生する。 In particular, in the technology for producing a transparent electrode which is essential for touch panels, a metal pattern formed by forming a fine pattern on a substrate and filling it with a metal conductive ink is very useful in resistance characteristics. . However, when the metal conductive ink is filled in the pattern on the substrate, the reflection property of the metal causes a problem of visibility.
これを解決しようと、一般的に金属導電性インクの充填後に黒化処理工程が導入される。黒化処理工程は、フィルムの視認性を改善させるが、フィルムの導電性を悪化させるため、結果的に電極としての物性を悪化させる問題がある。 In order to solve this, a blackening treatment step is generally introduced after the filling of the metal conductive ink. The blackening treatment step improves the visibility of the film, but deteriorates the conductivity of the film, resulting in the problem of deteriorating the physical properties as an electrode.
様々な工程を用いて金属微細パターン電極を形成する方法が公知となっているが、後述する従来の技術は、次のような問題点が発見される。 Although methods for forming fine metal pattern electrodes using various processes are known, the following problems are found in the prior art described later.
韓国公開特許第10−2006−0105914号には、透明高分子フィルムにシードの役割として導電性金属を蒸着して、ここに黒色電気メッキ層を形成した後、メッシュ状にパターニングする方法が記載されている。しかし、この方法は、パターニングによる食刻およびエッチング工程であり、工程が複雑で、低抵抗の電極形成が難しいのみならず、環境的問題を発生させる。 Korean Published Patent Application No. 10-2006-0105914 describes a method of forming a black electroplated layer on a transparent polymer film by depositing a conductive metal as a seed, and patterning it in a mesh shape. ing. However, this method is an etching and etching process by patterning, and the process is complicated, and it is not only difficult to form a low resistance electrode, but it causes environmental problems.
他の方法として、日本公開特許第2001−127485号には、透明基材上にメッシュ状の黒色金属酸化物層と金属層を順次に積層して、透視性電磁波シールド材を形成する方法が記載されている。しかし、この方法も、蒸着および食刻(エッチング)の複雑な工程を必要とする。 As another method, JP-A-2001-127485 describes a method of forming a transparent electromagnetic shielding material by sequentially laminating a mesh-like black metal oxide layer and a metal layer on a transparent substrate. It is done. However, this method also requires complicated steps of deposition and etching (etching).
また他の方法として、韓国公開特許第10−2007−0102263号には、基板の上に光硬化または熱硬化が可能な導電性レジスト層を塗布して、モールドで加圧した後、導電性レジスト層を食刻(エッチング)して形成する方法が記載されている。しかし、食刻(エッチング)工程であるため、工程が複雑で、低抵抗の電極形成に限界があるという問題点がある。 As another method, according to Korean Patent Publication No. 10-2007-0102263, a conductive resist layer which can be photocured or thermally cured is coated on a substrate and pressed with a mold. A method is described for forming layers by etching. However, since it is an etching (etching) process, the process is complicated, and there is a problem that the formation of a low resistance electrode is limited.
また他の方法として、韓国公開特許第10−2009−0061225号に記載された発明では、非導電性基材にレジスト層を塗布し、レーザーを用いてレジスト層に微細パターンを形成し、前記パターンに導電性物質層および黒化物質層を積層して導電性パターンを形成する。前記の方法は、視認性が落ちて、低抵抗の電極形成が難しい。 As another method, in the invention described in Korean Patent Publication No. 10-2009-0061225, a resist layer is applied to a nonconductive substrate, and a fine pattern is formed on the resist layer using a laser, and the pattern The conductive material layer and the blackening material layer are stacked on the substrate to form a conductive pattern. According to the above-mentioned method, visibility is lowered and it is difficult to form a low resistance electrode.
したがって、黒化度などの光学的特性は向上させながら、電気的特性も維持することができる黒化物質および簡単な工程で光学的、電気的、機械的特性を有する微細パターン電極を形成することができるパターン方法の開発が要求される。 Therefore, while forming the blackening substance capable of maintaining the electrical properties while improving the optical properties such as the degree of blackening, and forming the fine pattern electrode having the optical, electrical and mechanical properties in a simple process It is necessary to develop a pattern method that can
したがって、本発明の目的は、このような従来の問題点を解決するためのものであって、導電性物質に黒化物質を混合して黒化度を改善すると同時に、抵抗を低下させずに電気的特性を維持することができる黒化導電性パターンを形成する方法を提供することにある。 Accordingly, the object of the present invention is to solve such conventional problems, and by mixing a conductive substance with a blackening substance to improve the degree of blackening, without reducing the resistance. It is an object of the present invention to provide a method of forming a blackened conductive pattern capable of maintaining electrical characteristics.
また、パターンを満たす物質として導電性物質と黒化物質とが混合された1つの黒化導電性インク組成物を使用して、別途の黒化過程を経ることなく、単一層のパターンを形成することができる黒化導電性パターンを形成する方法を提供することにある。 In addition, using a single blackening conductive ink composition in which a conductive substance and a blackening substance are mixed as a substance that satisfies the pattern, a single layer pattern is formed without undergoing a separate blackening process. It is an object of the present invention to provide a method of forming a blackened conductive pattern that can be
また、黒化導電性インク組成物で単一層のパターンを形成して、基材溝との付着力を向上させ、機械的特性を向上させることができる黒化導電性パターンを形成する方法を提供することにある。 Also provided is a method of forming a blackened conductive pattern capable of improving adhesion to a substrate groove and improving mechanical properties by forming a single layer pattern with the blackened conductive ink composition. It is to do.
また、パターン充填時に残存することになる基材表面上の黒化導電性インクをエッチングで溶解させて、溝に押し込んで充填することによって、従来技術では、具現が難しかった低抵抗の微細な黒化導電性パターンを形成する方法を提供することにある。 In addition, the blackened conductive ink on the surface of the substrate, which will remain when filling the pattern, is dissolved by etching, pressed into the groove and filled, and the fine black of low resistance, which is difficult to realize in the prior art. It is an object of the present invention to provide a method of forming a conductive conductive pattern.
前記課題を達成するために、本発明の実施例に係る黒化導電性パターンの形成方法は、溝を有する基材の前記溝に黒化導電性インク組成物を満たすように充填する1次充填段階、前記1次充填段階で前記黒化導電性インク組成物を前記溝に充填しながら、前記基材の表面上に残ることになる残留黒化導電性インク組成物をエッチング液で溶解させて、前記残留黒化導電性インク組成物を前記溝に充填する2次充填段階を含むことを特徴とする。 In order to achieve the above-mentioned subject, the formation method of the blackening conductive pattern concerning the example of the present invention fills the above-mentioned slot of the substrate which has a slot so that the blackening conductive ink composition may be filled up. And filling the blackening conductive ink composition into the grooves in the primary filling step, and dissolving the residual blackening conductive ink composition to be left on the surface of the substrate with an etching solution. The method may further include a secondary filling step of filling the groove with the residual blackening conductive ink composition.
前記黒化導電性インク組成物は、導電性物質および黒化物質を含むことができる。 The blackening conductive ink composition may include a conductive material and a blackening material.
前記導電性物質は、金属錯体化合物、金属前駆体、球状金属粒子、金属フレークまたはナノ粒子のうちの少なくとも1つを含み、前記黒化物質は、チタン系、ジルコニウム系、マンガン系、アンチモン系またはバナジウム系の錯体化合物またはこれらの錯体化合物の組み合わせを含むことができ、導電性パターンを形成することができる物質であれば、すべて適用可能である。 The conductive material includes at least one of a metal complex compound, a metal precursor, spherical metal particles, metal flakes or nanoparticles, and the blackening material is titanium based, zirconium based, manganese based, antimony based or Any substance that can contain a vanadium-based complex compound or a combination of these complex compounds and can form a conductive pattern is applicable.
好ましくは、前記チタン系の錯体化合物は、イソプロピルチタネート、エチルチタネート、n−ブチルチタネート、ポリ−N−ブチルチタネート、2−エチルヘキシルチタネート、n−プロピルチタネート、オクチルグリコールチタネート、テトライソオクチルチタネート、クレシルチタネートモノマー、クレシルチタネートポリマー、トリエタノールアミンチタネート、チタンアセチルアセトネート、チタンイソプロポキシド、エチルアセト酢酸エステルチタネート、イソステアロイルチタネートまたはチタンラクテートキレートのうちの少なくとも1つを含み、前記ジルコニウム系の錯体化合物は、トリエタノールアミンジルコネート、ジルコニウムラクテート、ジルコニウムグリコレート、n−ブチルジルコネートまたはn−プロピルジルコネートのうちの少なくとも1つを含み、前記マンガン系の錯体化合物は、マンガン(III)アセチルアセトネート、マンガン(III)アセチルアセトネートテトラハイドレート、マンガン(II)アセテート、マンガン(III)アセテートジハイドレート、マンガン(II)アセチルアセトネート、マンガン(II)カーボネート、マンガン(II)カーボネートハイドレート、マンガン(II)ヘキサフルオロアセチルアセトネートトリハイドレート、マンガン(II)クロライド、マンガン(II)ナイトレートテトラハイドレート、マンガン(II)スルフェートモノハイドレート、マンガン(II)スルフィド、マンガン(II)ナイトレートハイドレート、マンガン(II)スルフェートモノハイドレート、マンガン(II)パークロレートハイドレート、マンガン(III)フルオライド、マンガン(II)スルフェートハイドレート、マンガン(II)クロライドハイドレートまたはマンガン(II)クロライドモノハイドレートのうちの少なくとも1つを含み、前記アンチモン系の錯体化合物は、アンチモン(III)クロライド、アンチモン(III)アセテート、アンチモン(III)エトキシド、アンチモン(V)クロライド、アンチモン(V)スルフィド、アンチモン(III)メトキシドアンチモン(III)スルフィド、アンチモン(V)フルオライド、アンチモン(III)スルフィド、アンチモン(III)ブトキシド、アンチモン(III)イソプロポキシドまたはアンチモン(III)プロポキシドのうちの少なくとも1つを含
むことができる。また、前記バナジウム系の錯体化合物は、バナジウム(III)アセチルアセトネート、バナジウム(II)クロライド、バナジウム(III)クロライド、バナジウム(V)オキシルトリエトキシド、バナジウム(V)オキシルクロライド、バナジウム(IV)クロライド、バナジウム(V)オキシルトリプロポキシド、バナジウム(V)オキシルフルオライド、バナジウム(IV)オキサイドスルフェートハイドレート、ホウ化バナジウム(vanadium boride)、バナジウム(III)ブロマイド、バナジウム(III)ヨウ化物(iodide)を含むことができる。
Preferably, the titanium-based complex compound is isopropyl titanate, ethyl titanate, n-butyl titanate, poly-N-butyl titanate, 2-ethylhexyl titanate, n-propyl titanate, octyl glycol titanate, tetraisooctyl titanate, cresyl A zirconium based complex compound containing at least one of titanate monomer, cresyl titanate polymer, triethanolamine titanate, titanium acetylacetonate, titanium isopropoxide, ethyl acetoacetate titanate, isostearoyl titanate or titanium lactate chelate Is triethanolamine zirconate, zirconium lactate, zirconium glycolate, n-butyl zirconate or n-propyl And the manganese-based complex compound containing at least one of the gluconates is manganese (III) acetylacetonate, manganese (III) acetylacetonate tetrahydrate, manganese (II) acetate, manganese (III) acetate dihydrate , Manganese (II) acetylacetonate, manganese (II) carbonate, manganese (II) carbonate hydrate, manganese (II) hexafluoroacetylacetonate trihydrate, manganese (II) chloride, manganese (II) nitrate tetralate Hydrate, Manganese (II) Sulfate Monohydrate, Manganese (II) Sulfide, Manganese (II) Nitrate Hydrate, Manganese (II) Sulfate Monohydrate, Manganese II) at least one of perchlorate hydrate, manganese (III) fluoride, manganese (II) sulfate hydrate, manganese (II) chloride hydrate or manganese (II) chloride monohydrate, and the above antimony system Of complex compounds of antimony (III) chloride, antimony (III) acetate, antimony (III) ethoxide, antimony (V) chloride, antimony (V) sulfide, antimony (III) methoxide antimony (III) sulfide, antimony (V) ) Containing at least one of fluoride, antimony (III) sulfide, antimony (III) butoxide, antimony (III) isopropoxide or antimony (III) propoxide be able to. Further, the vanadium-based complex compound is vanadium (III) acetylacetonate, vanadium (II) chloride, vanadium (III) chloride, vanadium (V) oxyl triethoxide, vanadium (V) oxychloride, vanadium (IV) Chloride, vanadium (V) oxyl tripropoxide, vanadium (V) oxyl fluoride, vanadium (IV) oxide sulfate hydrate, vanadium boride, vanadium (III) bromide, vanadium (III) iodide ( can be included.
前記1次充填段階では、インクジェット方法、平板スクリーン法、スピンコーティング法、バーコーター法、ロールコーティング法、フローコーティング法、ドクターブレード、ディスペンシング、グラビアプリンティング法またはフレキソプリンティング法により前記黒化導電性インク組成物を満たすことができるが、これに限定されるものではない。 In the primary filling step, the blackened conductive ink is formed by an ink jet method, flat screen method, spin coating method, bar coater method, roll coating method, flow coating method, doctor blade, dispensing, gravure printing method or flexo printing method Although a composition can be filled, it is not limited to this.
前記2次充填段階は、前記残留黒化導電性インク組成物をエッチング液で溶解させる残留インク組成物溶解段階および前記エッチング液によって溶解した前記残留黒化導電性インク組成物を前記溝に満たすように誘導する残留インク組成物充填段階を含むことを特徴とする。 In the second filling step, a residual ink composition dissolving step of dissolving the residual blackening conductive ink composition with an etching solution, and filling the groove with the residual blackening conductive ink composition dissolved by the etching solution And a residual ink composition filling step.
前記エッチング液は、前記基材の表面に塗布されて、前記残留黒化導電性インク組成物を溶解することができ、エッチング液の塗布方法は、業界で通常使用することができる方法であれば、すべて適用可能である。 The etching solution may be applied to the surface of the substrate to dissolve the residual blackening conductive ink composition, and the method of applying the etching solution may be any method commonly used in the industry. , All applicable.
前記溶解段階において、前記エッチング液は、アンモニウムカルバメート系、アンモニウムカーボネート系、アンモニウムバイカーボネート系、カルボン酸系、ラクトン系、ラクタム系、環状酸無水物系化合物、酸−塩基塩複合体、酸−塩基−アルコール系複合体またはメルカプト系化合物のうちの少なくとも1つおよび酸化剤を含むことができる。しかし、これに限定されるものではなく、金属物質を溶解させることができるエッチング液であれば、すべて適用可能である。前記2次充填段階では、溶解した前記残留黒化導電性インク組成物を前記溝に押し込むことによって、前記溝に前記残留黒化導電性インク組成物を満たすことができる。 In the dissolution step, the etching solution may be an ammonium carbamate type, ammonium carbonate type, ammonium bicarbonate type, carboxylic acid type, lactone type, lactam type, cyclic acid anhydride type compound, acid-base salt complex, acid-base -At least one of an alcohol complex or a mercapto compound and an oxidizing agent can be included. However, the present invention is not limited to this, and any etching solution capable of dissolving a metal substance is applicable. In the secondary filling step, the groove can be filled with the residual blackening conductive ink composition by pressing the dissolved residual blackening conductive ink composition into the groove.
ここで、溶解した前記残留黒化導電性インク組成物は、ドクターブレードまたはブラシを用いて前記溝に押し込まれて前記溝を満たすことができるが、その方法はこれに限定されるものではない。 Here, the melted residual blackening conductive ink composition can be pressed into the groove to fill the groove using a doctor blade or a brush, but the method is not limited thereto.
前記黒化導電性パターン上に黒化導電性インク組成物を積層する積層段階をさらに含むことができる。 The method may further include laminating a blackening conductive ink composition on the blackening conductive pattern.
前記1次充填段階、前記2次充填段階または前記積層段階以後、前記溝に満たされた前記黒化導電性インク組成物を22〜600℃の温度で乾燥する乾燥段階をさらに含むことができ、乾燥方法は様々に適用可能である。 The method may further include a drying step of drying the blackened conductive ink composition filled in the groove at a temperature of 22 to 600 ° C. after the primary filling step, the secondary filling step, or the laminating step. The drying method is variously applicable.
また、前記課題を達成するために、本発明の実施例に係る黒化導電性インク組成物は、導電性物質および黒化物質を含み、前記黒化物質は、チタン系、ジルコニウム系、マンガン系またはアンチモン系の錯体化合物またはこれら錯体化合物の組み合わせを含むことが好ましく、黒化導電性パターンを形成することができる物質であれば、これに限定されない。 In order to achieve the above object, the blackened conductive ink composition according to the embodiment of the present invention includes a conductive material and a blackened material, and the blackened material is titanium based, zirconium based, manganese based. It is preferable to include an antimony-based complex compound or a combination of these complex compounds, and it is not limited to this as long as it is a substance capable of forming a blackened conductive pattern.
前記黒化導電性インク組成物の前記導電性物質は、金属錯体化合物、金属前駆体、球状金属粒子、金属フレークまたはナノ粒子のうちの少なくとも1つを含むことができるが、これに限定されない。 The conductive material of the blackening conductive ink composition may include, but is not limited to, at least one of a metal complex compound, a metal precursor, spherical metal particles, metal flakes or nanoparticles.
前記黒化物質は、前記導電性物質100重量部に対して、0.01〜10重量部であることが好ましい。 The amount of the blackening substance is preferably 0.01 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the conductive substance.
本発明の黒化導電性パターンの形成方法によれば、次のような効果が1つあるいはそれ以上ある。 According to the method for forming a blackened conductive pattern of the present invention, one or more of the following effects are obtained.
基材溝に満たされるインク組成物が、導電性物質に最適の黒化物質が添加されて形成されることによって、導電性パターンの光学的、電気的、機械的特性を同時に向上させることができる。 The ink composition filled in the substrate groove can be formed by adding an optimal blackening substance to the conductive substance, thereby simultaneously improving the optical, electrical and mechanical properties of the conductive pattern. .
また、別途の黒化層を形成せず、導電性物質と黒化物質とを混合したインク組成物を用いるので、工程が単純になって経済的であり、パターンの付着性が著しく向上する。 In addition, since an ink composition in which a conductive substance and a blackening substance are mixed is used without forming a separate blackening layer, the process is simple and economical, and the adhesion of the pattern is remarkably improved.
のみならず、黒化導電性インク組成物を基材の溝に充填する時、残存することになる黒化導電性インク組成物をエッチング液で溶解させて、前記溝に再充填させることによって、優れた性能を具現できる低抵抗の導電性パターンを形成することができ、微細な導電性パターンの形成が容易である。 Not only that, when the blackening conductive ink composition is filled in the grooves of the substrate, the blackening conductive ink composition that will remain is dissolved in the etching solution and refilled in the grooves, A low resistance conductive pattern capable of realizing excellent performance can be formed, and formation of a fine conductive pattern is easy.
本発明の効果は、以上で言及した効果に制限されず、言及されていない別の効果は、特許請求の範囲の記載から当業者に明確に理解されることができる。 The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.
本発明の利点および特徴、そして、それらを達成する方法は、添付した図と共に詳細に後述されている実施例を参照すれば明確になる。しかし、本発明は、以下で開示される実施例に限定されるものではなく、互いに異なる様々な形態で具現されることができ、単に本実施例は、本発明の開示が完全になるようにして、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、請求項の範疇によって定義されるだけである。明細書全体にわたって同一の参照符号は、同一の構成要素を指す。 The advantages and features of the present invention, and the manner in which they are achieved, will become clearer with reference to the embodiments described in detail below in conjunction with the attached drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be embodied in various forms different from one another, and the present embodiment merely makes the disclosure of the present invention complete. It is provided to fully inform the scope of the invention to those skilled in the art to which the present invention belongs, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.
空間的に相対的な用語である「下(below)」、「下(beneath)」、「下部(lower)」、「上(above)」、「上部(upper)」などは、図に示しているように、1つの構成要素と他の構成要素との相関関係を容易に記述するために使用することができる。空間的に相対的な用語は、図に示している方向に加えて、使用時または動作時の構成要素の互いに異なる方向を含む用語として理解されなければならない。例えば、図に示している構成要素をひっくり返した場合、他の構成要素の「下(below)」または「下(beneath)」で記述された構成要素は、他の構成要素の「上(above)」に置くことができる。したがって、例示的な用語である「下」は、下と上の方向の両方を含むことができる。構成要素は、他の方向にも配向することができ、これにより、空間的に相対的な用語は配向によって解釈することができる。 Spatially relative terms such as "below", "below", "lower", "above", "upper" etc are shown in the figure. As such, it can be used to easily describe the correlation between one component and another. Spatially relative terms should be understood as terms that include different orientations of the components in use or operation in addition to the orientations shown in the figures. For example, if the component shown in the figure is turned over, the component described in the “below” or “beneath” of the other component is the “above” of the other component. ) Can be placed. Thus, the exemplary term "bottom" can include both bottom and top directions. The components can also be oriented in other directions, whereby spatially relative terms can be interpreted by orientation.
本明細書において、使用された用語は実施例を説明するためのものであって、本発明を制限するものではない。本明細書において、単数形は文句で特に言及しない限り、複数形も含む。明細書で使用される「含む」および/または「含んでいる」は、言及された構成要素、段階は1つ以上の他の構成要素、段階の存在または追加を排除しない。 The terms used in the present specification are for the purpose of describing the examples and do not limit the present invention. In the specification, the singular forms also include the plural unless specifically stated otherwise. As used herein, "comprising" and / or "including" does not exclude the presence of, or the addition of, the component mentioned, the step one or more other components, a step.
図において各構成要素の厚さや大きさは、説明の便宜および明確性のために、誇張されたり省略されたり、または概略的に示されている。また、各構成要素の大きさと面積は、実際の大きさや面積を全的に反映するものではない。 In the drawings, the thickness and size of each component are exaggerated, omitted or schematically shown for the convenience and clarity of the description. Also, the size and area of each component do not totally reflect the actual size and area.
以下、本発明の実施例によって、黒化導電性パターン方法を説明するために図を参考して、本発明について説明することにする。 The present invention will now be described by way of example with reference to the drawings in order to illustrate the blackening conductive pattern method according to an embodiment of the present invention.
本発明の一実施例に係る黒化導電性パターン方法は、図1のように、1次充填段階(S10)および2次充填段階(S20)を含んでなる。 The blackening conductive pattern method according to an embodiment of the present invention comprises a primary filling step (S10) and a secondary filling step (S20) as shown in FIG.
1次充填段階(S10)
1次充填段階(S10)は、溝を有する基材の前記溝に黒化導電性インク組成物を満たす段階であって、陰刻の溝に導電性を有する物質を充填する。
Primary filling stage (S10)
In the primary filling step (S10), the grooves of the grooved substrate are filled with the blackening conductive ink composition, and the intaglio grooves are filled with a conductive material.
前記基材の種類は、特に限定されるものではない。前記基材は、透明な材質、例えばプラスチックフィルムやガラスで形成されることができる。前記プラスチックフィルムとしては、ポリイミド(PI)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルホン(PES)、ナイロン(Nylon)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリカーボネート(PC)、またはポリアリレート(PAR)を使用することができる。不透明な材質を適用することもできる。例えば、表面を絶縁処理した金属製のプレートを使用したり、不透明なプラスチックフィルム、不透明なガラスまたは不透明なガラス繊維材を適用することができる。このように、プラスチックフィルムやガラス基板などを使用することができるが、これに限定されない。 The type of the substrate is not particularly limited. The substrate may be formed of a transparent material, such as a plastic film or glass. Examples of the plastic film include polyimide (PI), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethersulfone (PES), nylon (Nylon), polytetrafluoroethylene (PTFE), and polyetheretherketone (PEEK). ), Polycarbonate (PC), or polyarylate (PAR) can be used. An opaque material can also be applied. For example, it is possible to use a metal plate whose surface is insulating, or to apply an opaque plastic film, an opaque glass or an opaque glass fiber material. Thus, although a plastic film, a glass substrate, etc. can be used, it is not limited to this.
前記基材に溝を形成する方法は、業界で通常的に使用する方法で形成することができ、好ましくは、インプリンティング工程によりUV硬化樹脂または熱硬化性樹脂をモールドでインプリントして形成する方法、レーザーで直接基材を食刻して形成して使用する方法、フォトリソグラフィ方式を使用して形成する方法などを用いて、具現しようとする微細線幅の大きさに合わせて選択して使用することができる。 The groove may be formed on the substrate by any method commonly used in the industry, preferably by imprinting a UV curable resin or a thermosetting resin with a mold by an imprinting process. It is selected according to the size of the fine line width to be embodied using a method, a method in which a substrate is directly formed by laser etching and used, a method in which a photolithography method is used, or the like. It can be used.
黒化導電性インク組成物は、導電性物質および黒化物質を含んでなる。 The blackening conductive ink composition comprises a conductive substance and a blackening substance.
前記導電性物質は、金属錯体化合物、金属前駆体、球状金属粒子、金属フレークまたはナノ粒子を使用することができ、導電性物質の材料に応じて2種以上を混合して使用することができる。 As the conductive material, metal complex compounds, metal precursors, spherical metal particles, metal flakes or nanoparticles can be used, and two or more kinds can be mixed and used according to the material of the conductive material. .
微細溝への充填性を向上させるために、金属錯体化合物または金属前駆体を使用することができる。また、金属錯体化合物または金属前駆体を還元させて、ナノの大きさの金属粒子を製造して、混合物としても使用することができる。これを使用すると、従来技術では形成することができなかったナノの大きさの微細導電性パターンを容易に形成することができる。 A metal complex compound or a metal precursor can be used to improve the filling property of the microgrooves. In addition, the metal complex compound or the metal precursor can be reduced to produce metal particles of nano size and used as a mixture. Using this, it is possible to easily form nano-sized fine conductive patterns that could not be formed by the prior art.
本発明に使用される金属前駆体は、一般式MnXで表すことができ、ここでMはAg、Au、Cu、Ni、Co、Pd、Ti、V、Mn、Fe、Cr、Zr、Nb、Mo、W、Ru、Cd、Ta、Re、Os、Ir、Al、Ga、Ge、In、Sn、Sb、Pb、Biであり、nは1〜10の整数であり、Xは酸素、硫黄、ハロゲン、シアノ、シアネート、カーボネート、ニトラート(Nitrate)、スルフェート、ホスフェート、チオシアネート、クロレート、パークロレート、テトラフルオロボレート、アセチルアセトネート、メルカプト、アミド、アルコキシド、カルボキシレートなどを示す。具体的には、たとえば、酢酸(Acetic Acid)金、シュウ酸パラジウム、2−エチルヘキサン酸銀、2−エチルヘキサン酸銅、ステアリン酸鉄、ギ酸(formic acid)ニッケル、亜鉛シトラート(zinc citrate)のようなカルボン酸金属、硝酸銀、シアン化銅、炭酸コバルト、塩化白金、塩化金酸、テトラブトキシチタン、ジメトキシジルコニウムジクロライド、アルミニウムイソプロポキシド、バナジウムオキサイド、タンタル(tantalum)メトキシド、ビスマスアセテート、ドデシルメルカプト化金、インジウムアセチルアセトネートのような金属化合物などを一種類以上選択して共に使用可能である。 The metal precursors used in the present invention can be represented by the general formula Mn x, where M is Ag, Au, Cu, Ni, Co, Pd, Ti, V, Mn, Fe, Cr, Zr, Nb, Mo, W, Ru, Cd, Ta, Re, Os, Ir, Al, Ga, Ge, In, Sn, Sb, Pb, Bi, n is an integer of 1 to 10, X is oxygen, Sulfur, halogen, cyano, cyanate, carbonate, nitrate (Nitrate), sulfate, phosphate, thiocyanate, chlorate, perchlorate, tetrafluoroborate, acetylacetonate, mercapto, amide, alkoxide, carboxylate and the like are shown. Specifically, for example, acetic acid gold, palladium oxalate, silver 2-ethylhexanoate, copper 2-ethylhexanoate, iron stearate, nickel formic acid, zinc citrate, and the like Such as metal carboxylate, silver nitrate, copper cyanide, cobalt carbonate, platinum chloride, chloroauric acid, tetrabutoxytitanium, dimethoxyzirconium dichloride, aluminum isopropoxide, vanadium oxide, tantalum (tantalum) methoxide, bismuth acetate, dodecyl mercaptoation One or more kinds of metal compounds such as gold and indium acetylacetonate can be selected and used together.
一般的な金属ナノ粒子製造方法には、物理的に金属の塊を微細に粉砕して製造する物理的な方法と、化学的な反応を用いて製造する方法がある。化学的な方法をより具体的に説明すると、高圧のガスを噴射して粉末を製造するエアロゾル(aerosol)法、金属化合物および気体還元剤を使用して熱分解により粉末を製造する熱分解法、蒸発原料を加熱蒸発させて粉末を製造する蒸発凝縮法、ゾルゲル法、水熱合成法、超音波合成法、マイクロエマルジョン法、液状還元法などがある。ナノ粒子の形成制御が容易であり、最も経済性が良いと評価されている、分散剤および還元剤を用いて製造する液状還元法が最も多く使用されているが、本発明においては、ナノ粒子を形成できるのならば、すべての方法を使用することができる。液状還元法のナノ粒子の製造方法に対する具体的な説明は、本出願人が出願した大韓民国特許出願第2006−0074246号に記載されており、前記特許出願に記載された金属ナノ粒子は、粒子の大きさが均一で凝集性が最小化されるという長所があり、前記金属ナノ粒子を含有する導電性インクは、150℃以下の低い温度で、短い時間で焼成しても高い導電度を有する均一で緻密な薄膜または微細パターンの形成が容易であるという長所がある。 Common metal nanoparticle production methods include physical methods in which a mass of metal is physically finely pulverized and produced, and methods in which production is performed using a chemical reaction. More specifically, the chemical method includes an aerosol method of injecting a high pressure gas to produce a powder, a thermal decomposition method of producing a powder by thermal decomposition using a metal compound and a gaseous reducing agent, There are evaporation condensation method, sol-gel method, hydrothermal synthesis method, ultrasonic synthesis method, micro-emulsion method, liquid reduction method, etc. which heat and evaporate the evaporation raw material to produce powder. The liquid reduction method manufactured using a dispersant and a reducing agent, which is easy to control the formation of nanoparticles and evaluated as the most economical, is most often used, but in the present invention, the nanoparticles are used. All methods can be used if they can be formed. The specific description of the method of producing nanoparticles of liquid reduction method is described in Korean Patent Application No. 2006-0074246 filed by the applicant, and the metal nanoparticles described in the above patent application are particles of The conductive ink containing the metal nanoparticles has the advantages of uniform size and minimized aggregation, and the conductive ink containing the metal nanoparticles is uniform with high conductivity even when fired at a low temperature of 150 ° C. or less for a short time. It has the advantage that it is easy to form a dense thin film or a fine pattern.
黒化物質は、前記導電性物質と混合されて、黒化導電性インク組成物を形成する。 The blackening substance is mixed with the conductive substance to form a blackening conductive ink composition.
前記黒化物質はチタン(Ti)系、ジルコニウム(Zr)系、マンガン(Mn)系、アンチモン(Sb)系またはバナジウム(V)系の錯体化合物であることが好ましく、導電性物質の種類に応じて、これらの錯体化合物を組み合わせて使用することができる。 The blackening substance is preferably a complex compound of titanium (Ti), zirconium (Zr), manganese (Mn), antimony (Sb) or vanadium (V), depending on the type of conductive substance. Thus, these complex compounds can be used in combination.
チタン系、ジルコニウム系、マンガン系またはアンチモン系の錯体化合物は、視認性の改善に優れた効果があり、金属特有の反射特性を制御し、光の吸収度を高め、基材との密着力を向上させることができる。 Titanium-, zirconium-, manganese- or antimony-based complex compounds have excellent effects for improving visibility, control the reflection characteristics unique to metals, increase the degree of light absorption, and improve adhesion to substrates. It can be improved.
前記チタン系の錯体化合物は、イソプロピルチタネート、エチルチタネート、n−ブチルチタネート、ポリ−N−ブチルチタネート、2−エチルヘキシルチタネート、n−プロピルチタネート、オクチルグリコールチタネート、テトライソオクチルチタネート、クレシルチタネートモノマー、クレシルチタネートポリマー、トリエタノールアミンチタネート、チタンアセチルアセトネート、チタンイソプロポキシド、エチルアセト酢酸エステルチタネート、イソステアロイルチタネートまたはチタンラクテートキレートのうちの少なくとも1つを含むことが好ましい。 The titanium-based complex compounds are isopropyl titanate, ethyl titanate, n-butyl titanate, poly-N-butyl titanate, 2-ethylhexyl titanate, n-propyl titanate, octyl glycol titanate, tetraisooctyl titanate, cresyl titanate monomer, It is preferred to include at least one of cresyl titanate polymer, triethanolamine titanate, titanium acetylacetonate, titanium isopropoxide, ethylacetoacetate titanate, isostearoyl titanate or titanium lactate chelate.
前記ジルコニウム系の錯体化合物は、トリエタノールアミンジルコネート、ジルコニウムラクテート、ジルコニウムグリコレート、n−ブチルジルコネートまたはn−プロピルジルコネートのうちの少なくとも1つを含むことが好ましい。 The zirconium-based complex compound preferably contains at least one of triethanolamine zirconate, zirconium lactate, zirconium glycolate, n-butyl zirconate, and n-propyl zirconate.
前記マンガン系の錯体化合物は、マンガン(III)アセチルアセトネート、マンガン(III)アセチルアセトネートテトラハイドレート、マンガン(II)アセテート、マンガン(III)アセテートジハイドレート、マンガン(II)アセチルアセトネート、マンガン(II)カーボネート、マンガン(II)カーボネートハイドレート、マンガン(II)ヘキサフルオロアセチルアセトネートトリハイドレート、マンガン(II)クロライド、マンガン(II)ナイトレートテトラハイドレート、マンガン(II)スルフェートモノハイドレート、マンガン(II)スルフィド、マンガン(II)ナイトレートハイドレート、マンガン(II)スルフェートモノハイドレート、マンガン(II)パークロレートハイドレート、マンガン(III)フルオライド、マンガン(II)スルフェートハイドレート、マンガン(II)クロライドハイドレートまたはマンガン(II)クロライドモノハイドレートのうちの少なくとも1つを含むことが好ましい。 The manganese-based complex compounds are manganese (III) acetylacetonate, manganese (III) acetylacetonate tetrahydrate, manganese (II) acetate, manganese (III) acetate dihydrate, manganese (II) acetylacetonate, Manganese (II) carbonate, manganese (II) carbonate hydrate, manganese (II) hexafluoroacetylacetonate trihydrate, manganese (II) chloride, manganese (II) nitrate tetrahydrate, manganese (II) sulfate monobasic Hydrate, Manganese (II) Sulfide, Manganese (II) Nitrate Hydrate, Manganese (II) Sulfate Monohydrate, Manganese (II) Perchlorate Hydrate, Manga (III) fluoride, manganese (II) sulfate hydrate, it is preferable to include at least one of manganese (II) chloride hydrate or manganese (II) chloride monohydrate.
前記アンチモン系の錯体化合物は、アンチモン(III)クロライド、アンチモン(III)アセテート、アンチモン(III)エトキシド、アンチモン(V)クロライド、アンチモン(V)スルフィド、アンチモン(III)メトキシド、アンチモン(III)スルフィド、アンチモン(V)フルオライド、アンチモン(III)スルフィド、アンチモン(III)ブトキシド、アンチモン(III)イソプロポキシドまたはアンチモン(III)プロポキシドのうちの少なくとも1つを含むことが好ましい。 The antimony-based complex compounds are antimony (III) chloride, antimony (III) acetate, antimony (III) ethoxide, antimony (V) chloride, antimony (V) sulfide, antimony (III) methoxide, antimony (III) sulfide, It is preferable to include at least one of antimony (V) fluoride, antimony (III) sulfide, antimony (III) butoxide, antimony (III) isopropoxide or antimony (III) propoxide.
前記バナジウム系の錯体化合物は、バナジウム(III)アセチルアセトネート、バナジウム(II)クロライド、バナジウム(III)クロライド、バナジウム(V)オキシルトリエトキシド、バナジウム(V)オキシルクロライド、バナジウム(IV)クロライド、バナジウム(V)オキシルトリプロポキシド、バナジウム(V)オキシルフルオライド、バナジウム(IV)オキサイドスルフェートハイドレート、ホウ化バナジウム(vanadium boride)、バナジウム(III)ブロマイドまたはバナジウム(III)ヨウ化物(iodide)を含むことができる。 The vanadium-based complex compounds are vanadium (III) acetylacetonate, vanadium (II) chloride, vanadium (III) chloride, vanadium (V) oxyl triethoxide, vanadium (V) oxyl chloride, vanadium (IV) chloride, Vanadium (V) oxyl tripropoxide, vanadium (V) oxyl fluoride, vanadium (IV) oxide sulfate hydrate, vanadium boride, vanadium (III) bromide or vanadium (III) iodide Can be included.
前記金属錯体化合物またはこれらの組み合わせからなる黒化物質の含有量は、導電性物質100重量部に対して、0.01〜10重量部とすることが好ましい。 The content of the blackening substance comprising the metal complex compound or the combination thereof is preferably 0.01 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the conductive substance.
黒化物質が0.01重量部未満の場合には、金属の乱反射制御が難しくて、濁度(ヘイズ)が著しく落ちる。また、10重量部を超過する場合には、電気的特性が減少する問題がある。 If the amount of the blackening substance is less than 0.01 parts by weight, it is difficult to control the irregular reflection of the metal and the turbidity (haze) is significantly reduced. In addition, when it exceeds 10 parts by weight, there is a problem that the electrical characteristics decrease.
これらの混合物以外に、必要に応じて、溶媒、安定剤、分散剤、バインダー樹脂(binder resin)、離型剤、還元剤、界面活性剤(surfactant)、湿潤剤(wetting agent)、チキソトロープ剤(thixotropic agent)またはレベリング(levelling)剤、増粘剤のような添加剤などを含むことができる。 In addition to these mixtures, if necessary, a solvent, a stabilizer, a dispersant, a binder resin, a mold release agent, a reducing agent, a surfactant, a wetting agent, and a thixotropic agent ( Thixotropic agents or leveling agents, additives such as thickeners, etc. can be included.
前記バインダー樹脂は、様々な基材との付着力が優れたものが好ましい。これに使用可能な物質は、有機高分子物質としてポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ポリメチルメタアクリレート、セルロースアセテート、ポリ塩化ビニル(polyvinyl chloride)、ポリウレタン、ポリエステル、アルキド樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、フェノール変成アルキド樹脂、エポキシ変成アルキド樹脂、ビニル変成アルキド樹脂、シリコン変成アルキド樹脂、アクリルメラミン樹脂、ポリイソシアネート樹脂、エポキシエステル樹脂などを例に挙げることができ、本発明に合えば、これに限定されない。前記1次充填段階(S10)で使用される黒化導電性インクにおいて、銀(Ag)錯体化合物やナノ粒子の場合は、バインダーがない場合にも使用可能であるため、前述した内容に限定されるものではない。 The binder resin is preferably one having excellent adhesion to various substrates. Substances usable for this are organic polymer substances such as polypropylene, polycarbonate, polyacrylate, polymethyl methacrylate, cellulose acetate, polyvinyl chloride, polyurethane, polyester, alkyd resin, epoxy resin, phenoxy resin, melamine Resin, phenol resin, phenol modified alkyd resin, epoxy modified alkyd resin, vinyl modified alkyd resin, silicon modified alkyd resin, acrylic melamine resin, polyisocyanate resin, epoxy ester resin, etc. can be mentioned as an example, according to the present invention Not limited to this. In the case of the silver (Ag) complex compound and the nanoparticles in the blackening conductive ink used in the first filling step (S10), since it can be used even when there is no binder, it is limited to the contents described above It is not a thing.
また、均一な薄膜に形成するために溶媒が必要な場合があるが、この際、使用できる溶媒としては、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、ヘキサノールのようなアルコール類、エチレングリコール、グリセリンのようなグリコール類、エチルアセテート、ブチルアセテート、メトキシプロピルアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテートのようなアセテート類、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサンのようなエーテル類、メチルエチルケトン、アセトン、ジメチルホルムアミド、1−メチル−2−ピロリドンのようなケトン類、ヘキサン、ヘプタン、ドデカン、パラフィンオイル、ミネラルスピリットのような炭化水素系、ベンゼン、トルエン、キシレンのような芳香族、そして、クロロホルムやメチレンクロライド、カーボンテトラクロライドのようなハロゲン置換溶媒、アセトニトリル、ジメチルスルホキシドまたはこれらの混合溶媒などを使用することができる。しかし、溶媒の種類はこれに限定されるものではない。 In addition, a solvent may be required to form a uniform thin film, and as the solvent that can be used at this time, alcohols such as ethanol, isopropanol, butanol and hexanol, and glycols such as ethylene glycol and glycerin can be used. Ethyl acetate, butyl acetate, methoxypropyl acetate, carbitol acetate, acetates such as ethyl carbitol acetate, methyl cellosolve, butyl cellosolve, diethyl ether, ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, methyl ethyl ketone, acetone, dimethylformamide, 1 Ketones such as methyl-2-pyrrolidone, hexane, heptane, dodecane, paraffin oil, hydrocarbon such as mineral spirits, benzene, toluene, Aromatics such as down, and, chloroform, methylene chloride, halogen-substituted solvents such as carbon tetrachloride, acetonitrile, dimethyl sulfoxide or a mixed solvent thereof and the like can be used. However, the type of solvent is not limited to this.
前記1次充填段階(S10)で、黒化導電性インク組成物を基材の溝に満たす方法は、制限がないが、インクジェット(inkjet)方法、平板スクリーン法、スピン(spin)コーティング法、バー(bar)コーター法、ロール(roll)コーティング法、フロー(flow)コーティング法、ドクターブレード(doctor blade)、ディスペンシング(dispensing)、グラビア(Gravure)プリンティング法またはフレキソ(flexography)プリンティング法が好ましい。この際、充填回数は1回またはそれ以上の充填回数を繰り返すこともできる。前記各々の充填方法に応じて、充填特性の差異が見られることがあるが、これは各充填方法に適合するように、黒化導電性インクの成分を調節して組成物のレオロジーを充填方法に最適化することが必要である。 The method for filling the blackening conductive ink composition in the grooves of the substrate in the primary filling step (S10) is not limited, but the ink jet method, flat screen method, spin coating method, bar method (Bar) coater method, roll coating method, flow coating method, doctor blade, dispensing, gravure printing method or flexography printing method is preferred. At this time, the number of fillings may be repeated one or more times. Depending on the respective filling methods, differences in the filling properties may be observed, which adjust the components of the blackening conductive ink to match the respective filling methods and fill the rheology of the composition. Needs to be optimized.
前記の方法により形成された導電性パターンの厚さは、陰刻のパターン深さより同一であるか低いことが好ましいが、これに限定されるものではない。後処理工程の条件によっては、導電性パターンの厚さを陰刻パターンの深さよりも厚くして、上部回路との接触力を高めた方が良いこともある。具体的に説明すると、10μm以下、より好ましくは0.1μm以上5μm以下が好ましい。導電性パターンの厚さは、具現しようとする線幅、要求抵抗および後処理条件に応じて、厚さ調節が必要である。 The thickness of the conductive pattern formed by the above method is preferably equal to or less than the pattern depth of the intaglio, but is not limited thereto. Depending on the conditions of the post-treatment process, it may be better to make the thickness of the conductive pattern thicker than the depth of the intaglio pattern to increase the contact force with the upper circuit. Specifically, it is preferably 10 μm or less, more preferably 0.1 μm to 5 μm. The thickness of the conductive pattern needs to be adjusted according to the line width to be embodied, the required resistance and the post-processing conditions.
前記1次充填段階(S10)で、黒化導電性インク組成物を基材の溝に満たした後、乾燥段階を実施することが好ましい。導電性パターンの乾燥は、好ましくは22〜600℃であり、さらに好ましくは80〜400℃であることが効果的である。前記温度範囲に必ずしも限定されるものではなく、基材の種類に応じて基材が変形しない温度範囲で進行されることが好ましい。 It is preferable to carry out a drying step after filling the blackening conductive ink composition in the grooves of the substrate in the primary filling step (S10). Drying of the conductive pattern is preferably 22 to 600 ° C., more preferably 80 to 400 ° C. The temperature range is not necessarily limited, and it is preferable to proceed in a temperature range in which the base material is not deformed according to the type of the base material.
2次充填段階(S20)
2次充填段階(S20)は、前記1次充填段階(S10)で黒化導電性インク組成物を溝に満たしながら、表面上に残ることになる残留黒化導電性インク組成物を処理して、溝に追加充填する段階であって、エッチング液で残留黒化導電性インク組成物を溶解して、溶解した前記残留黒化導電性インク組成物が溝に満たされるようにする。
Secondary filling stage (S20)
In the secondary filling step (S20), while filling the blackening conductive ink composition in the grooves in the primary filling step (S10), the residual blackening conductive ink composition to be left on the surface is treated And a step of additionally filling the groove, wherein the residual blackening conductive ink composition is dissolved with an etchant so that the groove is filled with the dissolved residual blackening conductive ink composition.
2次充填段階(S20)は、残留インク組成物溶解段階(S21)および残留インク組成物充填段階(S22)を含むことができ、残留導電性インク組成物を溶解する過程で溝に充填することもできる。 The secondary filling step (S20) may include a residual ink composition dissolving step (S21) and a residual ink composition filling step (S22), and filling the grooves in the process of dissolving the residual conductive ink composition You can also.
残留インク組成物溶解段階(S21)
残留インク組成物溶解段階(S21)は、前記1次充填段階(S10)で黒化導電性インク組成物を前記溝に満たしながら、前記表面上に残ることになる残留黒化導電性インク組成物を溶解させる段階であって、1次充填段階(S10)で黒化導電性インク組成物を満たしながら、不可避に基材の表面に残ることになる黒化導電性インク組成物を溝に誘導するために、エッチング液で溶解させる。
Residual ink composition dissolution step (S21)
The residual ink composition dissolving step (S21) is a residual blackening conductive ink composition remaining on the surface while filling the grooves with the blackening conductive ink composition in the primary filling step (S10). Dissolving the blackening conductive ink composition in the primary filling step (S10) while inducing the blackening conductive ink composition to be left on the surface of the substrate in the grooves. In order to dissolve it with an etching solution.
黒化導電性インク組成物のエッチングメカニズムは、一般的に酸化剤が金属表面を酸化させて金属酸化物を形成し、これを溶解する化合物で溶解する過程と膨潤過程とを繰り返すこととすることができる。 Generally, the etching mechanism of the blackening conductive ink composition is that the oxidizing agent oxidizes the metal surface to form a metal oxide and repeats the process of dissolving it with a compound that dissolves it and the swelling process. Can.
基材の表面に残留している黒化導電性インク組成物を溶解するために、エッチング液を基材の表面に塗布することができる。エッチング液の塗布方法は、通常のコーティング法によって行うことができる。 An etchant may be applied to the surface of the substrate to dissolve the blackened conductive ink composition remaining on the surface of the substrate. The application method of etching liquid can be performed by the usual coating method.
エッチング液は、アンモニウムカルバメート系、アンモニウムカーボネート系、アンモニウムバイカーボネート系、カルボン酸系、ラクトン系、ラクタム系、環状酸無水物系化合物、酸−塩基塩複合体、酸−塩基−アルコール系複合体またはメルカプト(mercapto)系化合物のうちの少なくとも1つおよび酸化剤を含むことが好ましい。 The etching solution may be ammonium carbamate type, ammonium carbonate type, ammonium bicarbonate type, carboxylic acid type, lactone type, lactam type, cyclic acid anhydride type compound, acid-base salt complex, acid-base-alcohol type complex or It is preferable to include at least one of mercapto compounds and an oxidizing agent.
例えば、酸化剤と1つ以上の前記の化合物およびこれらの混合物とを常圧または加圧状態で、溶媒なしで直接反応させるか、溶媒を使用する場合には、水、メタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、エタノールアミンのようなアルコール類、エチレングリコール、グリセリンのようなグリコール類、エチルアセテート、ブチルアセテート、カルビトールアセテートのようなアセテート類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサンのようなエーテル類、メチルエチルケトン、アセトンのようなケトン類、ヘキサン、ヘプタンのような炭化水素系、ベンゼン、トルエンのような芳香族、そしてクロロホルムやメチレンクロライド、カーボンテトラクロライドのようなハロゲン置換溶媒、パーフルオロカーボンのようなフッ素系溶媒またはこれらの混合溶媒などを使用することができる。圧力容器のような加圧状態では、低沸点のフッ素系溶剤や液化炭酸ガスなども使用可能である。本発明のエッチング液の製造方法を特に制限する必要はない。すなわち、本発明の目的に合えば、公知のいかなる方法を使用してもよい。 For example, an oxidizing agent and one or more of the above-mentioned compounds and a mixture thereof are directly reacted without a solvent at atmospheric pressure or under pressure, or when a solvent is used, water, methanol, propanol, isopropanol, Alcohols such as butanol, ethanolamine, ethylene glycol, glycols such as glycerin, ethyl acetate, butyl acetate, acetates such as carbitol acetate, ethers such as diethyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, methyl ethyl ketone, acetone Ketones such as hexane, hydrocarbons such as hexane and heptane, aromatics such as benzene and toluene, and halogen-substituted solvents such as chloroform, methylene chloride and carbon tetrachloride, and perfluorocarbons. Etc. can be used fluorine-based solvent or a mixed solvent. In a pressurized state such as a pressure vessel, low boiling point fluorinated solvents and liquefied carbon dioxide can also be used. It is not necessary to restrict | limit the manufacturing method of the etching liquid of this invention in particular. That is, any known method may be used for the purpose of the present invention.
前記エッチング液としては、酸化剤は例えば、酸素、オゾンなどのような酸化性気体、過酸化水素、Na2O2、KO2、NaBO3、(NH4)S2O8、H2SO5、(CH3)3CO2H、(C6H5CO2)2などのような過酸化物、HCO3H、CH3CO3H、CF3CO3H、C6H5CO3H、m−ClC6H5−CO3Hなどのような過酸素酸、硝酸、硫酸、ヨード(I2)、Fe(NO3)3、Fe2(SO4)3、K3Fe(CN)6、(NH4)2Fe(SO4)2、Ce(NH4)4(SO4)4、NaIO4、KMnO4、K2CrO4などのように、一般的によく知られている酸化性無機酸または金属、非金属化合物などがここに含まれる。このような酸化剤を使用するときには、単独または最小限1つ以上の酸化剤を混合して使用してもよい。 As the etching solution, the oxidizing agent is, for example, an oxidizing gas such as oxygen or ozone, hydrogen peroxide, Na 2 O 2 , KO 2 , NaBO 3 , (NH 4 ) S 2 O 8 , H 2 SO 5 , Peroxides such as (CH 3 ) 3 CO 2 H, (C 6 H 5 CO 2 ) 2 , HCO 3 H, CH 3 CO 3 H, CF 3 CO 3 H, C 6 H 5 CO 3 H , Peroxy acids such as m-ClC 6 H 5 -CO 3 H, nitric acid, sulfuric acid, iodo (I 2 ), Fe (NO 3 ) 3 , Fe 2 (SO 4 ) 3 , K 3 Fe (CN) 6 , commonly known oxidations such as (NH 4 ) 2 Fe (SO 4 ) 2 , Ce (NH 4 ) 4 (SO 4 ) 4 , NaIO 4 , KMnO 4 , K 2 CrO 4 etc. Inorganic acids or metals, nonmetal compounds, etc. are included here. When using such oxidizing agents, one or at least one oxidizing agent may be mixed and used.
前記エッチング液が基材の溝に充填されず基材の表面に残っている導電性インクを効果的に溶解して、微細溝への再充填性を高めるために、エッチング液組成物に親水特性を付与することが好ましいことがある。アンモニウムカルバメート系、アンモニウムカーボネート系、アンモニウムバイカーボネート系、カルボン酸系、ラクトン系、ラクタム系、環状酸無水物系、酸−塩基塩複合体、酸−塩基−アルコール系複合体、メルカプト系化合物の炭素数を調節して、親水特性の程度を調節することが好ましい。 In order to effectively dissolve the conductive ink remaining on the surface of the substrate without being filled in the grooves of the substrate, the etching solution is made hydrophilic to the composition of the etching solution in order to enhance the refillability into the fine grooves. It may be preferable to apply Ammonium carbamate type, ammonium carbonate type, ammonium bicarbonate type, carboxylic acid type, lactone type, lactam type, cyclic acid anhydride type, acid-base salt complex, acid-base-alcohol type complex, carbon of mercapto type compound Preferably, the number is adjusted to adjust the degree of hydrophilic character.
ここで、アンモニウムカルバメート系化合物、アンモニウムカーボネート系化合物およびアンモニウムバイカーボネート系化合物は、本出願人の韓国登録第0727466号に具体的に説明されており、カルボン酸系の化合物としては、安息香酸、オレイン酸、プロピオン酸、マロン酸、ヘキサン酸、オクタン酸、デカン酸、ネオデカン酸、シュウ酸、クエン酸、サリチル酸、ステアリン酸、アクリル酸、コハク酸、アジピン酸、グリコール酸、イソブチル酸、アスコルビン酸などを使用することができる。 Here, ammonium carbamate compounds, ammonium carbonate compounds and ammonium bicarbonate compounds are specifically described in the applicant's Korean Registration No. 0727466, and as carboxylic acid compounds, benzoic acid, olein Acid, propionic acid, malonic acid, hexanoic acid, octanoic acid, decanoic acid, neodecanoic acid, oxalic acid, citric acid, salicylic acid, stearic acid, acrylic acid, succinic acid, adipic acid, glycolic acid, isobutyric acid, ascorbic acid etc. It can be used.
ラクトン系化合物としては、β−プロピオラクトン、γ−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、γ−チオブチロラクトン、α−メチル−γ−ブチロラクトン、β−メチル−γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、γ−カプロラクトン、γ−オクタノイックラクトン、δ−バレロラクトン、1、6−ジオキサスピロ[4、4]ノナン−2、7−ジオン、α−メチレン−γ−ブチロラクトン、γ−メチレン−γ−ブチロラクトン、ε−カプロラクトン、ラクチド、グリコライド、テトロン酸、2(5H)−フラノン、β−ヒドロキシ−γ−ブチロラクトン、メバロニックラクトン(mevalonic lactone)、5、6−ジヒドロ−2H−ピラン−2−オン、δ−バレロラクトン、ε−カプロラクトン、γ−カプロラクトン、γ−オクタノイックラクトン(Octanoic lactone)などを使用することができる。 Examples of lactone compounds include β-propiolactone, γ-propiolactone, γ-butyrolactone, γ-thiobutyrolactone, α-methyl-γ-butyrolactone, β-methyl-γ-butyrolactone, γ-valerolactone, and γ- Caprolactone, γ-octanoic lactone, δ-valerolactone, 1,6-dioxaspiro [4,4] nonane-2,7-dione, α-methylene-γ-butyrolactone, γ-methylene-γ-butyrolactone, ε- Caprolactone, lactide, glycolide, tetronic acid, 2 (5H) -furanone, β-hydroxy-γ-butyrolactone, mevalonic lactone, 5,6-dihydro-2H-pyran-2-one, δ- Valerolactone, ε-caprolactone, γ-caprolactone, γ-octanoic Or the like can be used lactone (Octanoic lactone).
ラクタム系化合物としては、2−アゼチドン、2−ピロリジノン、5−メトキシ−2−ピロリジノン、5−メチル−2−ピロリジノン、N−メチルカプロラクタム、2−アザシクロノナノン、N−アセチルカプロラクタムなどを使用することができる。 As a lactam compound, 2-azetidone, 2-pyrrolidinone, 5-methoxy-2-pyrrolidinone, 5-methyl-2-pyrrolidinone, N-methylcaprolactam, 2-azacyclononanone, N-acetylcaprolactam etc. are used. be able to.
環状酸無水物としては、無水イタコン酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、グルタル酸無水物、オクタデシルコハク酸無水物、2、2−ジメチルコハク酸無水物、2−ドデカン−1−イルコハク酸無水物、ヘキサフルオログルタル酸無水物、3、3−ジメチルグルタル酸無水物、3−エチル−3−メチルグルタル酸無水物、3、5−ジアセチルテトラヒドロピラン−2、4、6−トリオン、ジグリコール酸無水物などを使用することができる。 As cyclic acid anhydride, itaconic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride, glutaric anhydride, octadecyl succinic anhydride, 2, 2- dimethyl succinic anhydride, 2-dodecane-1-yl succinic anhydride Hexafluoroglutaric anhydride, 2,3-dimethylglutaric anhydride, 3-ethyl-3-methylglutaric anhydride, 3,5-diacetyltetrahydropyran-2,4,6-trione diglycolic anhydride Things can be used.
メルカプト系の化合物としては、1−メタンチオール、1−エタンチオール、2−ブタンチオール、1−ヘプタンチオール、1−オクタンチオール、1−デカンチオール、1−ヘキサデカンチオール、チオ酢酸、6−メルカプトヘキサン酸、チオ安息香酸、プルプリルメルカプタン、シクロヘキサンチオール、11−メルカプト−1−ウンデカノル、2−メルカプトエタノル、3−メルカプト−1−プロパノール、チオサリチル酸、1−チオグリセロール、2−ナフタレンチオール、メチル3−メルカプトプロピオネート、ガンマメルカプトプロピルトリメトキシシランなどを使用することができる。これに限定されるものではなく、このうち、単一成分で使用してもよく、2種以上の混合物からなるグループの中から選択されたものでもよい。 As mercapto compounds, 1-methanethiol, 1-ethanethiol, 2-butanethiol, 1-heptanethiol, 1-octanethiol, 1-decanethiol, 1-hexadecanethiol, thioacetic acid, 6-mercaptohexanoic acid , Thiobenzoic acid, purpuryl mercaptan, cyclohexanethiol, 11-mercapto-1-undecanol, 2-mercaptoethanol, 3-mercapto-1-propanol, thiosalicylic acid, 1-thioglycerol, 2-naphthalenethiol, methyl 3- Mercaptopropionate, gamma mercaptopropyltrimethoxysilane and the like can be used. There is no limitation to this, and among these, a single component may be used, or one selected from a group consisting of a mixture of two or more types may be used.
前記エッチング組成物のエッチング速度は、コーティングのとき、エッチング液の沈積時間を調節したり、エッチング液の酸化剤またはアンモニウムカルバメート系、アンモニウムカーボネート系、アンモニウムバイカーボネート系、カルボン酸系、ラクトン系、ラクタム系、環状酸無水物系、酸−塩基塩複合体、酸−塩基−アルコール系複合体、メルカプト系化合物の濃度を調節して制御することが好ましく、必要に応じてエッチング過程を繰り返すことができる。また、無機酸や塩基を含むエッチング液の場合、別途の水や有機溶剤で洗浄して除去することができる。例えば、洗浄工程をもう一度含んで、基材表面の導電性インクを溝に入れることもできる。 At the time of coating, the etching rate of the etching composition controls the deposition time of the etching solution, or the oxidizing agent of the etching solution or the ammonium carbamate type, ammonium carbonate type, ammonium carbonate type, ammonium bicarbonate type, carboxylic acid type, lactone type, lactam It is preferable to adjust and control the concentration of a system, cyclic acid anhydride type, acid-base salt complex, acid-base-alcohol type complex, and mercapto type compound, and the etching process can be repeated as necessary. . In the case of an etching solution containing an inorganic acid or a base, the etching solution can be removed by washing with an additional water or an organic solvent. For example, the conductive ink on the surface of the substrate can be put in the groove by further including a washing step.
残留導電性インク組成物の再溶解および充填率は、前記の酸化剤およびエッチング液組成物の比率に応じて調節することができる。 The re-dissolution and filling rate of the residual conductive ink composition can be adjusted according to the ratio of the above-mentioned oxidizing agent and etching solution composition.
残留インク組成物充填段階(S22)
残留インク組成物充填段階(S22)は、前記残留インク組成物溶解段階(S21)で溶解した残留黒化導電性インク組成物を基材の溝に満たすことであり、前記残留黒化導電性インク組成物を溝に誘導する。
Residual ink composition filling step (S22)
The residual ink composition filling step (S22) is to fill the grooves of the substrate with the residual blackening conductive ink composition dissolved in the residual ink composition dissolving step (S21), and the residual blackening conductive ink The composition is introduced into the groove.
残留黒化導電性インク組成物を溝に誘導する方法としては、物理的な力で前記溝に押し込んで満たされるようにすることが好ましい。 As a method of guiding the residual blackening conductive ink composition to the groove, it is preferable to push the groove into the groove with a physical force so as to be filled.
溶解した残留黒化導電性インク組成物を押し込む方法または押し込む処理部材の制限はないが、ドクターブレードまたはブラシを用いることができる。さらに好ましくは、ブラシを用いる。ブラシは、物理的な力を減少させることによって、基材の表面のきず、インク流失を効果的に防止することができる。 There is no limitation on the method of pushing in the melted residual blackening conductive ink composition or the processing member to push in, but a doctor blade or brush can be used. More preferably, a brush is used. The brush can effectively prevent the surface of the substrate from being scratched and the ink being lost by reducing the physical force.
また、充填は1回以上行うことができ、様々な方法、特にドクターブレードとブラシを混用して使用することもできる。 Also, the filling can be carried out once or more and various methods can be used, in particular by mixing a doctor blade and a brush.
ドクターブレードまたはブラシを用いて溶解した残留黒化導電性インク組成物を押し込みながら、基材の溝に黒化導電性インク組成物を満たすと同時に基材の表面に残っている黒化導電性インク組成物の成分である金属物質または有機物質などを除去することができる。 A blackening conductive ink remaining on the surface of the substrate while filling the grooves of the substrate with the blackening conductive ink composition while pushing in the residual blackening conductive ink composition dissolved using a doctor blade or a brush It is possible to remove the metal substance or the organic substance which is a component of the composition.
この他にも、溶解した残留黒化導電性インク組成物を溝に満たすために、別途の振動および/または揺動、エアーを用いることもできる。 In addition, in order to fill the groove with the residual blackening conductive ink composition which has been dissolved, additional vibration and / or shaking, air can be used.
前記2次充填段階(S20)では、基材表面の溶解した残留黒化導電性インク組成物を処理した後、乾燥段階を実施することが好ましい。黒化導電性パターンの乾燥は、好ましくは22〜600℃であり、さらに好ましくは80〜400℃であることが効果的である。前記温度範囲に必ずしも限定されるものではなく、基材の種類に応じて、基材が変形しない温度範囲で行われることが好ましい。 In the secondary filling step (S20), it is preferable to carry out a drying step after treating the residual blackening conductive ink composition dissolved on the substrate surface. Drying of the blackening conductive pattern is preferably 22 to 600 ° C., more preferably 80 to 400 ° C. It is not necessarily limited to the said temperature range, and it is preferable to be performed in the temperature range which a base material does not deform | transform according to the kind of base material.
溝に満たされた溶解した残留黒化導電性インク組成物からエッチング液は揮発し、溝には黒化導電性インク組成物1つの物質からなる単一層のパターンが形成される。 The etchant evaporates from the dissolved residual blackening conductive ink composition filled in the grooves, and a pattern of a single layer consisting of one substance of the blackening conductive ink composition is formed in the grooves.
以下では、図2を参照して、本発明について具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to FIG.
図2a〜図2fは、本発明の一実施例に係る黒化導電性パターンの形成方法を順次に図式化した断面図である。 FIGS. 2a to 2f are sectional views sequentially illustrating the method of forming a blackening conductive pattern according to an embodiment of the present invention.
図2aに示すように、基材1上に膜2が形成され、前記膜2に側断面が四角形の溝3が形成されている。溝3の形態は、必ずしも四角形に限定されるものではなく、様々な形態の溝が混合して形成されてもよい。前記溝3は、その深さが前記膜2の厚さよりも小さくなるようにすることができる。
As shown in FIG. 2a, a
前記膜2は、前記溝3が形成される前に、その上面を疏水性処理することができる。これによって、後述する黒化導電性インク組成物の処理(溝への充填および除去)をより容易にすることができる。このような上面に対する疏水性処理は、例えば、膜の上面をプラズマ処理することにより可能である。
The
図2bで、膜2上に黒化導電性インク組成物6を塗布した後、前記黒化導電性インク組成物6を前記溝3に満たす。スクイズ、該当図では、ドクターブレード7を用いて膜2の面を押して、黒化導電性インク組成物6が溝2に満たされるようにする。
In FIG. 2 b, after applying the blackening conductive ink composition 6 on the
前記黒化導電性インク組成物6を塗布する方法として、ドクターブレード7を用いることに限定されるものではなく、インクジェット方法、平板スクリーン法、スピンコーティング法、バーコーター法、ロールコーティング法、フローコーティング法、ドクターブレード、ディスペンシング、グラビアプリンティング法またはフレキソプリンティング法などを使用することができる。黒化導電性インク組成物の塗布は、1回に限定されるものではなく、場合によって複数回反復することができる。 The method for applying the blackened conductive ink composition 6 is not limited to the use of the doctor blade 7 and may be an inkjet method, flat screen method, spin coating method, bar coater method, roll coating method, flow coating method Methods such as doctor blade, dispensing, gravure printing or flexographic printing can be used. The application of the blackening conductive ink composition is not limited to one time, and may be repeated several times in some cases.
前記方法で溝3に満たされた黒化導電性インク組成物4は、溝の深さと同一であるかこれより低くすることができる。
The blackening
次に、図2cに示すように、膜2上にエッチング液8が塗布される。エッチング液8は、図2bで黒化導電性インク組成物6が満たされて不可避に発生する、膜2の表面上の残留黒化導電性インク組成物5を溶解する。
Next, as shown in FIG. 2 c, an
前記エッチング液6は、この後残留黒化導電性インク組成物5を溝3に容易に満たすために、親水性を有するようにすることができる。好ましくは、アンモニウムカルバメート系、アンモニウムカーボネート系、アンモニウムバイカーボネート系、カルボン酸系、ラクトン系、ラクタム系、環状酸無水物系化合物、酸−塩基塩複合体、酸−塩基−アルコール系複合体またはメルカプト系化合物を含むことが効果的である。アンモニウムカルバメート系、アンモニウムカーボネート系、アンモニウムバイカーボネート系の化合物を含む場合には、炭素数を調節して親水性の程度を制御することができる。
The etching solution 6 can be made hydrophilic to allow the residual blackening
エッチング液6の塗布方法は、業界で通常使用される方法によるが、ロールコーティング、フローコーティング、グラビアプリンティングまたはフレキソプリンティング方法が好ましい。 The method of applying the etching solution 6 is by methods commonly used in the industry, but roll coating, flow coating, gravure printing or flexographic printing is preferred.
以後、図2dに示すように、溶解した残留黒化導電性インク組成物を前記溝3に押し込む。このために、スクイズを使用することができ、該当図ではブラシ9を使用した。これは、1回以上実施することができ、様々な種類のスクイズを混用して使用することができる。
Thereafter, as shown in FIG. 2 d, the melted residual blackening conductive ink composition is pushed into the
この際、膜2の表面が疏水性処理されている場合、さらに容易に黒化導電性インク組成物6を溝3に満たすことができる。
At this time, when the surface of the
溶解した残留黒化導電性インク組成物がブラシ9により溝3に満たされると、図2eに示すように、溶解した残留黒化導電性インク組成物が図2bの黒化導電性インク組成物4上に積層される。
When the residual blackening conductive ink composition dissolved is filled in the
図2eで、溶解した残留黒化導電性インク組成物は、エッチング液を含んでおり、層の区別がある。この後、乾燥または焼成を経て、エッチング液は除去されて、図2fに示すように、一種類のインク組成物からなる単一層の導電性パターンが形成される。 In FIG. 2e, the dissolved residual blackening conductive ink composition contains an etchant and there is a layer distinction. After drying or baking, the etching solution is removed to form a single layer conductive pattern of one ink composition, as shown in FIG. 2f.
以下では、実施例によって本発明について具体的に説明する。本発明の範囲は、実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples. The scope of the present invention is not limited to the examples.
[製造例1]
コーティングインク(インクテック社製造)10.5gに導電性ペースト(インクテック社製造)19.05gおよびヘキサノール0.45gを混合し、ペーストミックス(DAE WHA Tech社製造)を用いて、6分間1000rpmで攪拌して、導電性インク組成物を製造した。
Production Example 1
19.05 g of conductive paste (manufactured by Ink Tech) and 0.45 g of hexanol are mixed with 10.5 g of a coating ink (manufactured by Ink Tech), and paste paste (manufactured by DAE WHA Tech) is used at 1000 rpm for 6 minutes. The mixture was stirred to produce a conductive ink composition.
[製造例2]
製造例1により製造した導電性インク組成物30gと2−エチルヘキシルチタネート0.5gを混合し、ペーストミキサー(paste mixer)(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して、黒化導電性インク組成物を製造した。
Production Example 2
30 g of the conductive ink composition prepared according to Preparation Example 1 and 0.5 g of 2-ethylhexyl titanate are mixed, and the mixture is stirred at 1000 rpm for 3 minutes using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech Co., Ltd.). A conductive ink composition was produced.
[製造例3]
製造例1により製造した導電性インク組成物30gとエチルアセト酢酸エステルチタネート0.5gを混合し、ペーストミキサー(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して黒化導電性インク組成物を製造した。
[Production Example 3]
30 g of the conductive ink composition produced according to Production Example 1 and 0.5 g of ethyl acetoacetic acid ester titanate are mixed, and the composition is stirred at 1000 rpm for 3 minutes using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech) to make a blackened conductive ink composition Made things.
[製造例4]
製造例1により製造した導電性インク組成物30gとマンガン(III)アセテートジハイドレート0.5gを混合し、ペーストミキサー(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して、黒化導電性インク組成物を製造した。
Production Example 4
30 g of the conductive ink composition produced according to Production Example 1 and 0.5 g of manganese (III) acetate dihydrate are mixed, and stirred using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech Co., Ltd.) for 3 minutes at 1000 rpm for black A conductive ink composition was produced.
[製造例5]
製造例1により製造した導電性インク組成物30gとアンチモン(III)イソプロポキシド0.5gを混合し、ペーストミキサー(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して、黒化導電性インク組成物を製造した。
Production Example 5
30 g of the conductive ink composition prepared according to Preparation Example 1 and 0.5 g of antimony (III) isopropoxide were mixed, and stirred using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech Co., Ltd.) for 3 minutes at 1000 rpm for blackening. A conductive ink composition was produced.
[製造例6]
製造例1により製造した導電性インク組成物30gとチタンテトライソオクチルチタネート0.5gを混合し、ペーストミキサー(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して、黒化導電性インク組成物を製造した。
Production Example 6
30 g of the conductive ink composition prepared according to Preparation Example 1 and 0.5 g of titanium tetraisooctyl titanate are mixed, and the mixture is stirred at 1000 rpm for 3 minutes using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech Co., Ltd.) to conduct blackening conductivity. An ink composition was produced.
[製造例7]
導電性ペースト(インクテック社製造)30gと2−エチルヘキシルチタネート0.5gを混合し、ペーストミキサー(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して、黒化導電性インク組成物を製造した。
Production Example 7
30 g of conductive paste (manufactured by Ink Tech Co., Ltd.) and 0.5 g of 2-ethylhexyl titanate are mixed, and the mixture is stirred at 1000 rpm for 3 minutes using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech) to obtain a blackened conductive ink composition Manufactured.
[製造例8]
導電性ペースト(インクテック社製造)30gとエチルアセト酢酸エステルチタネート0.5gを混合し、ペーストミキサー(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して、黒化導電性インク組成物を製造した。
Production Example 8
30 g of conductive paste (manufactured by Ink Tech Co., Ltd.) and 0.5 g of ethyl acetoacetic acid ester titanate are mixed and stirred at 1000 rpm for 3 minutes using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech) to obtain a blackened conductive ink composition Manufactured.
[製造例9]
導電性ペースト(インクテック社製造)30gとマンガン(III)アセテートジハイドレート0.5gを混合し、ペーストミキサー(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して、黒化導電性インク組成物を製造した。
Production Example 9
30 g of conductive paste (manufactured by Ink Tech Co., Ltd.) and 0.5 g of manganese (III) acetate dihydrate are mixed, and stirred with 1000 rpm for 3 minutes using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech) to make blackened conductive Ink composition was prepared.
[製造例10]
導電性ペースト(インクテック社製造)30gとアンチモン(III)イソプロポキシド0.5gを混合し、ペーストミキサー(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して、黒化導電性インク組成物を製造した。
Production Example 10
30 g of conductive paste (manufactured by Ink Tech Co., Ltd.) and 0.5 g of antimony (III) isopropoxide are mixed, and stirred at 1000 rpm for 3 minutes using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech) to achieve blackening conductivity. An ink composition was produced.
[製造例11]
導電性ペースト(インクテック社製造)30gとテトライソオクチルチタネート0.5gを混合し、ペーストミキサー(DAE WHA Tech社製造)を用いて、3分間1000rpmで攪拌して、黒化導電性インク組成物を製造した。
Production Example 11
30 g of conductive paste (manufactured by Ink Tech Co., Ltd.) and 0.5 g of tetraisooctyl titanate are mixed, and stirred at 1000 rpm for 3 minutes using a paste mixer (manufactured by DAE WHA Tech) to obtain a blackened conductive ink composition Manufactured.
[製造例12]
イソブチルカルバメート5g、イソブチルアミン83g、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノール95%溶液2gを添加した後、30%過酸化水素10gをゆっくり添加した後、5時間攪拌して、エッチング溶液を製造した。
Production Example 12
After adding 5 g of isobutyl carbamate, 83 g of isobutyl amine, and 2 g of a 95% solution of 2-amino-2-methyl-1-propanol, 10 g of 30% hydrogen peroxide was slowly added, and then stirred for 5 hours to produce an etching solution. did.
[製造例13]
イソブチルカルバメート10g、イソブチルアミン83g、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノール95%溶液2gを添加した後、30%過酸化水素5gをゆっくり添加した後、5時間攪拌して、エッチング溶液を製造した。
Production Example 13
After adding 10 g of isobutyl carbamate, 83 g of isobutyl amine, 2 g of a 95% solution of 2-amino-2-methyl-1-propanol, 5 g of 30% hydrogen peroxide was slowly added, and then stirred for 5 hours to prepare an etching solution. did.
実施例
[実施例1]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例1により製造した導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
Example [Example 1]
Using the PET film surface-modified by plasma treatment as a substrate, the conductive ink composition produced according to Production Example 1 was screen-printed on the upper side of the substrate. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例2]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例2により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
Example 2
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 2. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例3]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例3により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
[Example 3]
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate using the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 3. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例4]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例4により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
Example 4
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 4. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例5]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例5により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
[Example 5]
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 5. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例6]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例6により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
[Example 6]
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 6. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例7]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、マイクロサイズの金属粒子からなる導電性ペースト(インクテック社製造)インクで基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
[Example 7]
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with a conductive paste (manufactured by Ink Tech Co., Ltd.) ink composed of micro-sized metal particles. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例8]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例7により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
[Example 8]
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 7. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例9]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例8により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
[Example 9]
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 8. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例10]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例9により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
[Example 10]
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 9. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例11]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例10により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
[Example 11]
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 10. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例12]
プラズマ処理により表面改質されたPETフィルムを基材にして、製造例11により製造した黒化導電性インク組成物で基材上段にスクリーンプリンティングした。プリンティングした導電性パターンを有するフィルムは、120℃で5分間焼成した。
[Example 12]
A PET film surface-modified by plasma treatment was used as a substrate, and screen printing was performed on the upper side of the substrate with the blackened conductive ink composition produced according to Production Example 11. The film having the printed conductive pattern was baked at 120 ° C. for 5 minutes.
[実施例13]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した(ref.)。導電性インクとして製造例1により製造した導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を導電性インクが充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 13]
After the UV resin was coated on PET, it was imprinted by pressing with a 3 μm fine line width mesh type mold, and the resin was cured and used as a substrate (ref.). The conductive ink composition prepared according to Preparation Example 1 as the conductive ink was coated on the upper side of the substrate, filled by a blade method, and the process of baking at 120 ° C. for 1 minute was repeated several times. In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the conductive ink, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are refilled or removed using the blade system. did. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe away metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例14]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例2により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
Example 14
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 2 as a blackening improving ink is applied to the upper side of the substrate, filled twice by blade method, and fired several times at 120 ° C. for 1 minute. The In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例15]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例3により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 15]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 3 is applied to the upper side of the substrate as the blacking improvement ink, filled twice by blade method, and repeated several times the process of baking at 120 ° C. for 1 minute The In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例16]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例4により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 16]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 4 is applied to the upper side of the substrate as the blacking improvement ink, filled twice by blade method, and repeated several times the process of baking at 120 ° C. for 1 minute. The In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例17]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例5により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 17]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 5 is applied to the upper side of the substrate as the blacking improvement ink, filled twice by blade method, and the process of baking at 120 ° C. for 1 minute is repeated several times. The In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例18]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例6により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 18]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 6 as a blackening improvement ink is applied to the upper side of the base, filled twice by blade method, and fired several times at 120 ° C. for 1 minute. The In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例19]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。導電性インクとしてマイクロ級金属粒子からなる導電性ペースト(インクテック社製造)を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 19]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. Apply conductive paste (manufactured by Ink Tech Co., Ltd.) consisting of micro-class metal particles as conductive ink on the upper side of the substrate, fill it twice with blade method, and bake several times at 120 ° C for 1 minute I repeated it. In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例20]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例7により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 20]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 7 as a blackening improving ink is applied to the upper side of the base, filled twice by blade method, and fired several times at 120 ° C. for 1 minute. The In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例21]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例8により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 21]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 8 as a blackening improvement ink is applied to the upper side of the substrate, filled twice by blade method, and fired several times at 120 ° C. for 1 minute. The In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例22]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例9により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
Example 22
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The process of applying the blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 9 as the blackening improvement ink on the upper side of the base, filling twice with a blade method, and baking it at 120 ° C. for 1 minute was repeated several times . In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例23]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例10により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 23]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The process of applying the blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 10 as the blackening improvement ink to the upper side of the base, filling twice with a blade method, and baking it at 120 ° C. for 1 minute was repeated several times . In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例24]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。黒化改善インクとして製造例11により製造した黒化導電性インク組成物を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例12により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解してブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 24]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. The blackened conductive ink composition prepared according to Preparation Example 11 as a blackening improvement ink is applied to the upper side of the base, filled twice by blade method, and fired several times at 120 ° C. for 1 minute. The In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 12 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, and the residual metal substance on the surface is dissolved and re-into the fine grooves using a blade system. Filled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
[実施例25]
UV樹脂をPETにコーティングした後、3μm微細線幅のメッシュタイプの金型で加圧してインプリントし、樹脂を硬化して基材として使用した。導電性インクとしてマイクロ級金属粒子からなる導電性ペースト(インクテック社製造)を基材上段に塗布し、ブレード(blade)方式で2回充填して、120℃で1分間焼成する過程を数回繰り返した。次の段階で、製造例13により製造したエッチング液を黒化導電性インク組成物が充填された基材に塗布し、表面の残留金属物質を溶解して、ブレード方式を使用して微細溝に再充填または除去した。次の段階で、前記エッチング液をブラシに浸し、基材表面に残留する金属物質および有機物質を拭き取った。次の段階で、金属物質が充填された前記基材を120℃で5分間乾燥して、微細線幅電極を形成した。
[Example 25]
After coating a UV resin on PET, it was pressed with a 3 μm fine line width mesh type mold for imprinting, and the resin was cured and used as a substrate. Apply conductive paste (manufactured by Ink Tech Co., Ltd.) consisting of micro-class metal particles as conductive ink on the upper side of the substrate, fill it twice with blade method, and bake several times at 120 ° C for 1 minute I repeated it. In the next step, the etching solution prepared according to Preparation Example 13 is applied to the substrate filled with the blackening conductive ink composition, the residual metal substance on the surface is dissolved, and the fine grooves are formed using a blade system. It was refilled or removed. In the next step, the etching solution was dipped in a brush to wipe off metal and organic substances remaining on the substrate surface. In the next step, the substrate loaded with the metal material was dried at 120 ° C. for 5 minutes to form a fine line width electrode.
以下、表1には、実施例1〜実施例25により製造された微細線幅電極の面抵抗、比抵抗、黒化度、透過率、濁度および付着力の結果を記載した。 Table 1 below shows the results of the surface resistance, the specific resistance, the degree of blackening, the transmittance, the turbidity, and the adhesion of the fine line width electrodes manufactured according to Examples 1 to 25.
このように、本発明によれば、導電性物質に最適の黒化物質を添加してインク組成物を形成し、これを用いて導電性パターンを形成して、電気的、光学的、機械的特性に優れた導電性パターンを有する電極を具現することができ、別途の黒化処理がないため、簡単に導電性パターンを製造することができる。のみならず、導電性パターンを形成するにおいて、基材の溝に黒化導電性インク組成物を満たし、基材表面に残存することになる残留黒化導電性インク組成物をエッチング液で溶解させて、基材の溝に再充填させる方式によるため、50nmから50μm線幅に至る低抵抗の超微細導電性パターンを提供することができる。 Thus, according to the present invention, an optimum blackening substance is added to a conductive substance to form an ink composition, which is used to form a conductive pattern, to form an electrical, optical, or mechanical pattern. Since an electrode having a conductive pattern excellent in characteristics can be realized and there is no separate blackening treatment, the conductive pattern can be easily manufactured. Not only that, in forming the conductive pattern, the groove of the substrate is filled with the blackening conductive ink composition, and the residual blackening conductive ink composition that will remain on the substrate surface is dissolved with the etching solution Since the grooves of the substrate are refilled, it is possible to provide a low resistance ultrafine conductive pattern ranging from 50 nm to 50 μm line width.
図3aおよび図3bは、黒化導電性インク組成物に対し、黒化物質の含量比を変えて測定した比抵抗値および黒化度を示すグラフである。 FIGS. 3a and 3b are graphs showing the specific resistance value and the degree of blackening measured for the blackening conductive ink composition by changing the content ratio of the blackening substance.
図3aによると、ハイブリッドインク(コーティングインク、導電性ペーストおよびヘキサノールを混合した導電性インク組成物)は、黒化物質の含量を増やすに伴って黒化特性が改善され、電気的特性も優れていることが分かる。 According to FIG. 3a, the hybrid ink (coating ink, conductive ink composition mixed with conductive paste and hexanol) has improved blackening properties as the content of the blackening substance is increased and the electrical properties are also excellent. I understand that
図3bによると、導電性ペーストに黒化物質の含量を増加させながら混合し、黒化導電性インク組成物を形成するに伴って、電気的特性および黒化特性が改善されることを確認することができる。 According to FIG. 3b, the conductive paste is mixed with increasing the content of the blackening substance, and it is confirmed that the electrical property and the blackening property are improved as the blackening conductive ink composition is formed. be able to.
これにより、黒化物質は導電性物質に対して、0.1〜2重量部の含量であるとき、比抵抗値が低いため、電気的特性が優秀でありながら黒化度も著しく改善されたパターンを具現できることが分かる。黒化物質の含量は、導電性物質の種類に応じて調節することができる。 As a result, the blackening substance has a low specific resistance value when the content of the blackening substance is 0.1 to 2 parts by weight with respect to the conductive substance, so that the degree of blackening is also remarkably improved while the electrical properties are excellent It can be seen that the pattern can be embodied. The content of the blackening substance can be adjusted according to the type of conductive substance.
本発明の権利範囲は、前述した実施形態に限定されるものではなく、添付した特許請求の範囲内で様々な形態の実施形態で具現することができる。特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、当該発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば誰でも変形可能な多様な範囲までも本発明の請求範囲の記載の範囲内にあるものとみなす。 The scope of the present invention is not limited to the embodiments described above, and can be embodied in various forms within the scope of the appended claims. The scope of the claims of the present invention is as diverse as any person skilled in the art to which the present invention belongs can be modified without departing from the scope of the present invention as claimed in the claims. Is considered to be within the scope of
本発明によれば、従来技術では具現が難しかった低抵抗の超微細導電性パターンを形成することができるだけでなく、黒化物質と導電性物質を混合してインク組成物を形成し、単一層の導電性パターンを形成することができるため、電気的、機械的特性に優れたパターン形成方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible not only to form a low resistance ultrafine conductive pattern which is difficult to realize in the prior art, but also to mix an blackening substance and a conductive substance to form an ink composition, and to form a single layer. The conductive pattern can be formed to provide a pattern formation method having excellent electrical and mechanical properties.
Claims (15)
前記1次充填段階で前記黒化導電性インク組成物を前記溝に充填しながら、前記基材の表面上に残ることになる残留黒化導電性インク組成物を、アンモニウムカルバメート系、アンモニウムカーボネート系、アンモニウムバイカーボネート系、カルボン酸系、ラクトン系、ラクタム系、環状酸無水物系化合物、酸−塩基塩複合体、酸−塩基−アルコール系複合体またはメルカプト系化合物のうちの少なくとも1つおよび酸化剤を含むエッチング液で溶解させる、残留インク組成物溶解段階、および前記エッチング液によって溶解した前記残留黒化導電性インク組成物を前記溝に押し込むことによって、前記溝に前記残留黒化導電性インク組成物が満たされる、残留インク組成物充填段階を含む2次充填段階;を含むことを特徴とする黒化導電性パターンの形成方法。 A first filling step of filling the grooves of the base material having grooves with the blackening conductive ink composition containing the conductive material and the blackening material; and the blackening conductive ink in the first filling step The residual blackening conductive ink composition which will remain on the surface of the substrate while filling the groove into the groove is made of ammonium carbamate, ammonium carbonate, ammonium bicarbonate, carboxylic acid, lactone, etc. , lactam, cyclic acid anhydride-based compounds, acid - base salt complex, acid - base - Ru dissolved with an etching solution containing at least one and the oxidizing agent of alcohol complex or mercapto compounds, residual ink A step of dissolving the composition, and the groove by forcing the residual blackening conductive ink composition dissolved by the etchant into the groove Said residual blackening conductive ink composition is filled, the secondary filling phase containing residual ink composition filling phase; method of forming blackened conductive pattern, which comprises a.
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