JP6428407B2 - Method for producing solder powder and method for producing solder paste using the powder - Google Patents
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Description
本発明は、電子部品等の実装に用いられるハンダ粉末の製造方法及びこの粉末を用いたハンダ用ペーストの製造方法に関する。更に詳しくは、リフロー後、再溶融及び接合強度の低下が起こりにくく、高温雰囲気に晒される電子部品等の実装に好適なハンダ粉末の製造方法及びこの粉末を用いたハンダ用ペーストの製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for producing a solder powder used for mounting electronic components and the like, and a method for producing a solder paste using this powder. More particularly, the present invention relates to a method for producing solder powder suitable for mounting electronic parts and the like that are unlikely to be remelted and reduced in bonding strength after reflow and exposed to a high temperature atmosphere, and a method for producing a solder paste using this powder. It is.
電子部品等の接合に用いられるハンダは環境の面から鉛フリー化が進められ、現在では、錫を主成分としたハンダ粉末が採用されている。ハンダ粉末のような微細な金属粉末を得る方法としては、ガスアトマイズ法や回転ディスク法等のアトマイズ法の他に、メルトスピニング法、回転電極法、機械的プロセス、化学的プロセス等が知られている。ガスアトマイズ法は、誘導炉やガス炉で金属を溶融した後、タンディッシュの底のノズルから溶融金属を流下させ、その周囲より高圧ガスを吹き付けて粉化する方法等が知られている。また、回転ディスク法は、遠心力アトマイズ法とも呼ばれ、溶融した金属を高速で回転するディスク上に落下させて、接線方向に剪断力を加えて破断して微細粉を作る方法である。 Solder used for joining electronic parts and the like has been made lead-free from the viewpoint of the environment, and at present, solder powder mainly composed of tin is used. As a method for obtaining a fine metal powder such as a solder powder, in addition to an atomizing method such as a gas atomizing method or a rotating disk method, a melt spinning method, a rotating electrode method, a mechanical process, a chemical process, or the like is known. . As the gas atomizing method, a method is known in which after melting a metal in an induction furnace or a gas furnace, the molten metal is caused to flow down from a nozzle at the bottom of a tundish, and high pressure gas is sprayed from the surroundings to pulverize. The rotating disk method is also called a centrifugal atomizing method, and is a method in which a molten metal is dropped onto a rotating disk at high speed, and a shearing force is applied in a tangential direction to break and make a fine powder.
ハンダには、上述の環境面における特性以外に、実装される電子部品の用途等に応じて様々な特性が求められる。例えば、携帯電話やパソコン等の情報電子機器では、携帯性を重視させた薄型化、軽量化が要求され、これらの製造に用いられる電子部品の小型化や接合部品のファインピッチ化が進んでおり、より微細な粒径のハンダ粉末が求められる。 In addition to the above-mentioned environmental characteristics, the solder is required to have various characteristics depending on the use of the electronic component to be mounted. For example, information electronic devices such as mobile phones and personal computers are required to be thinner and lighter with an emphasis on portability, and electronic components used in these manufactures are becoming smaller and finer pitches for joining components. Therefore, a solder powder having a finer particle size is required.
一方、車載用途等の高温下で使用される電子部品では、実装後のハンダが高温雰囲気に晒されることによって再溶融し、接合強度が低下するのを防止する必要があることから、リフロー後の高い耐熱性が求められる。最も一般的なSn−Pb系の共晶ハンダ(組成比 Sn:Pb=63:37質量%)の場合、融点は約187℃であり、また、一般的なSn−Ag−Cu系ハンダでは約217℃程度である。これに対し、耐熱性のある高温ハンダとして知られるAu−Sn系の高温ハンダ(組成比Sn:Au=20:80質量%)では、融点が約280℃であり、Sn−Pb系の高温ハンダ(組成比 Sn:Pb=5:95質量%)では、約310〜315℃程度の高い融点を示す。 On the other hand, in electronic parts used at high temperatures such as in-vehicle applications, it is necessary to prevent the solder after mounting from remelting by being exposed to a high temperature atmosphere and reducing the bonding strength. High heat resistance is required. In the case of the most common Sn—Pb type eutectic solder (composition ratio Sn: Pb = 63: 37% by mass), the melting point is about 187 ° C., and in the case of a general Sn—Ag—Cu type solder, It is about 217 ° C. In contrast, Au—Sn high temperature solder (composition ratio Sn: Au = 20: 80 mass%) known as heat resistant high temperature solder has a melting point of about 280 ° C., and Sn—Pb high temperature solder. (Composition ratio Sn: Pb = 5: 95% by mass) shows a high melting point of about 310 to 315 ° C.
しかし、上記Au−Sn系ハンダでは、非常に高価なAuを使用していることから、製造コストが上昇してしまうという問題がある。また、Sn−Pb系の高温ハンダは、非常に高い耐熱性を示すものの、鉛を使用しているため、上述の環境面の問題が残る。このような問題を解消するため、鉛や金を含まない低融点、かつ低コストの材料粉末に、融点が高い他の材料粉末を混合して耐熱性や接合強度等を向上させる技術が知られている(例えば、特許文献1〜6参照。)。 However, since the Au—Sn solder uses very expensive Au, there is a problem that the manufacturing cost increases. In addition, although Sn—Pb-based high-temperature solder exhibits very high heat resistance, it uses lead, and thus the above-mentioned environmental problems remain. In order to solve such problems, a technology is known that improves heat resistance, bonding strength, etc. by mixing low-melting and low-cost material powders that do not contain lead or gold with other material powders with high melting points. (For example, refer to Patent Documents 1 to 6.)
特許文献1には、セラミックス部材と金属部材との当接に、金属Cu粉末、金属Sn粉末及びAg−Cu−Ti合金粉末を混合させた金属材料を使用した接合方法が開示されている。また、特許文献2には、鉛を含まず、従来の錫鉛共晶合金よりも融点が低いSn−Bi等の合金粉末に、従来の錫鉛共晶合金よりも融点が高いSn−Ag等の合金粉末を混合した混合粉末を含有するハンダペーストが開示されている。また、特許文献3には、共晶ハンダ以外に、該共晶ハンダよりも融点が高いAg、Sn、Cu等の金属粒子を混合させたクリームハンダが開示されている。また、特許文献4には、鉛を含まず、Sn等の第一金属成分に、400℃以上の融点を有するAg、Cu等の第二金属成分を混合させたハンダ付け用組成物が開示されている。また、特許文献5には、粉末状をなす第1金属成分と第2金属成分を含み、第1金属成分がSn−Cu系合金、Sn−Cu−Sb系合金のいずれか、若しくはこれらのうちのいずれかにAg、In、Bi、ZnまたはNiのうちの一種以上を添加したものであり、第2金属成分はCu、Sn、Sb、Ag、Zn、Niのうちの一種以上の金属若しくはこれらの金属のうちの2種以上の合金である高温クリームはんだ用組成物が開示されている。また、特許文献6には、鉛を含まず、錫を主成分として含む第一金属粉と、第一金属粉よりも高い融点をもち、銅を主として含む第二金属粉を含有させたハンダ用組成物が開示されている。 Patent Document 1 discloses a joining method using a metal material in which a metal Cu powder, a metal Sn powder, and an Ag—Cu—Ti alloy powder are mixed for contact between a ceramic member and a metal member. Further, Patent Document 2 does not contain lead, and Sn—Bi or the like, which has a melting point lower than that of a conventional tin-lead eutectic alloy, Sn—Ag or the like whose melting point is higher than that of a conventional tin-lead eutectic alloy. A solder paste containing a mixed powder obtained by mixing these alloy powders is disclosed. Patent Document 3 discloses cream solder in which metal particles such as Ag, Sn, and Cu having a higher melting point than eutectic solder are mixed in addition to eutectic solder. Patent Document 4 discloses a soldering composition in which a second metal component such as Ag or Cu having a melting point of 400 ° C. or higher is mixed with a first metal component such as Sn that does not contain lead. ing. Patent Document 5 includes a first metal component and a second metal component in powder form, and the first metal component is either a Sn—Cu based alloy or a Sn—Cu—Sb based alloy, or of these. One or more of Ag, In, Bi, Zn, or Ni is added to any of the above, and the second metal component is one or more metals of Cu, Sn, Sb, Ag, Zn, Ni, or these A composition for high-temperature cream solder, which is an alloy of two or more of these metals, is disclosed. Patent Document 6 includes a first metal powder that does not contain lead and contains tin as a main component, and a solder that contains a second metal powder that has a higher melting point than the first metal powder and mainly contains copper. A composition is disclosed.
上記従来の特許文献1〜6では、いずれも鉛や金等を含まない低融点の金属粉末と、高融点を有する金属粉末とを混合して得られたハンダ粉末等を使用しているが、このように融点や組成等が異なる2又はそれ以上の粉末同士を混合して得られるハンダ粉末では、粉末の混ざり具合に不均一さが生じやすい。不均一さが生じると、リフロー時に、部分的な溶融ムラや組成ズレが生じ、これにより、接合部位において十分な強度が得られないといった問題が生じる。 In the above-mentioned conventional Patent Documents 1 to 6, all use a solder powder obtained by mixing a low melting point metal powder not containing lead or gold and a high melting point metal powder, etc. As described above, in the solder powder obtained by mixing two or more powders having different melting points, compositions, etc., nonuniformity is likely to occur in the mixing of the powders. When non-uniformity occurs, partial melting unevenness and compositional deviation occur during reflow, which causes a problem that sufficient strength cannot be obtained at the joint portion.
この問題を解決するため、本出願人は、中心核と前記中心核を被覆する被覆層で構成され、前記中心核が銅及び銅と錫との金属間化合物からなり、前記被覆層が錫からなるハンダ粉末において、前記ハンダ粉末の平均粒径が30μm以下であり、前記ハンダ粉末の全体量100質量%に対し、銅の含有割合が2.0質量%を超え40質量%以下であることを特徴とするハンダ粉末を特許出願した(特許文献7参照。)。そしてこの特許文献7記載のハンダ粉末は次の方法で製造される。先ず、水、アルコール、エーテル、ケトン、エステル等の溶媒に、中心核、被覆層を構成する金属元素を含む化合物、即ち塩化銅(II)のような銅を含む化合物及び塩化錫(II)のような錫を含む化合物と、セルロース系、ビニル系、多価アルコール等の分散剤とをそれぞれ添加して混合することにより、溶解液を調製する。溶解液中における錫を含む化合物、銅を含む化合物の割合は、ハンダ粉末製造後に、各金属元素の含有割合が上記範囲になるように調整する。次いで、調製した溶解液はpHを、生成したハンダ粉末の再溶解等を考慮して、0〜2.0の範囲に調整する。次にpH調整した溶解液に還元剤水溶液を添加して混合することにより、溶解液中の各金属イオンを還元して液中に金属粉末が分散した分散液を得る。この還元反応では、先ず、錫よりも貴な銅が還元され、最後に錫が還元される。これにより、銅からなる中心核と、この中心核を被覆する錫からなる被覆層で構成された、平均粒径30μm以下の金属粉末が形成される。続いてこの分散液を固液分離し、回収した固形分を水又はpHを0.5〜2に調整した塩酸水溶液等で洗浄する。洗浄後は、再度固液分離して固形分を回収する。洗浄から固液分離までの工程を、2〜5回繰り返す。更に、回収した固形分に、沸点が100℃以上の高沸点溶媒を加えて分散させ、不活性ガス雰囲気下、所定の温度で加熱する。この加熱処理を施すことにより、上記還元反応で形成された金属粉末の銅からなる中心核、中心核を被覆する錫からなる被覆層の一部が反応して、その一部が銅と錫の金属間化合物からなる中心核が形成される。加熱後に、再度上記洗浄から固液分離までの工程を2〜5回繰り返した後、回収した固形分を真空乾燥させることにより、ハンダ粉末を得る。特許文献7には、比較例2として、塩化銅(II)と塩化錫(II)の溶解液に還元剤を加えて銅イオンと錫イオンを還元して、ハンダ粉末の全体量100質量%に対して、銅の含有割合が60質量%、錫の含有割合が40質量%になるハンダ粉末を製造する例が開示される。 In order to solve this problem, the present applicant is composed of a central core and a coating layer that covers the central core, the central core is made of copper and an intermetallic compound of copper and tin, and the coating layer is made of tin. In the solder powder, the average particle size of the solder powder is 30 μm or less, and the copper content is more than 2.0 mass% and 40 mass% or less with respect to 100 mass% of the total amount of the solder powder. A patent application for the characteristic solder powder was made (see Patent Document 7). And the solder powder of this patent document 7 is manufactured by the following method. First, in a solvent such as water, alcohol, ether, ketone, ester, etc., a compound containing a central core, a metal element constituting the coating layer, that is, a compound containing copper such as copper (II) chloride and tin (II) chloride. A solution is prepared by adding and mixing such a tin-containing compound and a dispersant such as cellulose, vinyl, and polyhydric alcohol. The ratio of the compound containing tin and the compound containing copper in the solution is adjusted so that the content ratio of each metal element is within the above range after the solder powder is manufactured. Next, the pH of the prepared solution is adjusted to a range of 0 to 2.0 in consideration of re-dissolution of the generated solder powder. Next, a reducing agent aqueous solution is added to and mixed with the pH-adjusted solution, whereby each metal ion in the solution is reduced to obtain a dispersion in which metal powder is dispersed in the solution. In this reduction reaction, copper that is nobler than tin is first reduced, and finally tin is reduced. As a result, a metal powder having an average particle size of 30 μm or less, which is composed of a central core made of copper and a coating layer made of tin covering the central core, is formed. Subsequently, the dispersion is subjected to solid-liquid separation, and the collected solid is washed with water or a hydrochloric acid aqueous solution whose pH is adjusted to 0.5 to 2. After washing, the solid content is recovered by solid-liquid separation again. The process from washing to solid-liquid separation is repeated 2 to 5 times. Further, a high boiling point solvent having a boiling point of 100 ° C. or higher is added to the recovered solid content and dispersed, and heated at a predetermined temperature in an inert gas atmosphere. By performing this heat treatment, the central core made of copper of the metal powder formed by the above reduction reaction, a part of the coating layer made of tin covering the central core reacts, and a part thereof is made of copper and tin. A central nucleus composed of an intermetallic compound is formed. After heating, the steps from washing to solid-liquid separation are repeated 2 to 5 times, and then the collected solid content is vacuum-dried to obtain solder powder. In Patent Document 7, as Comparative Example 2, a reducing agent is added to a solution of copper chloride (II) and tin chloride (II) to reduce copper ions and tin ions, so that the total amount of solder powder becomes 100% by mass. On the other hand, the example which manufactures the solder powder whose content rate of copper is 60 mass% and whose content rate of tin is 40 mass% is disclosed.
特許文献7の比較例2のように、塩化銅(II)及び塩化錫(II)の溶解液に還元剤を加えて銅イオンを還元して中心核を作り、その周囲に錫イオンを還元して被覆層を作る方法(以下、中心核と錫被覆層の湿式逐次析出法という。)で、銅の含有割合を60質量%程度に高めたときには、所定の粒径への調整、異なる製造ロット間での粒径の再現性及び同一製造ロットでのハンダ粉末の粒度分布のばらつき抑制等の粒径制御が困難であるという不具合が生じていた。更には、粒径制御の困難さに付随して、ハンダ粉末の各々粒子中の錫と銅の含有割合のばらつきも大きくなることが懸念され、リフロー時にハンダ粉末が均一に溶融せず、結果的に接合部位において十分な接合強度が得られない問題点があった。 As in Comparative Example 2 of Patent Document 7, a reducing agent is added to a solution of copper chloride (II) and tin chloride (II) to reduce copper ions to form a central core, and tin ions are reduced around it. When the copper content is increased to about 60% by the method of forming a coating layer (hereinafter referred to as a wet sequential deposition method of a central core and a tin coating layer), adjustment to a predetermined particle size, different production lots There is a problem that it is difficult to control the particle size such as the reproducibility of the particle size between them and the suppression of variation in the particle size distribution of the solder powder in the same production lot. Furthermore, accompanying the difficulty in controlling the particle size, there is a concern that the variation in the content ratio of tin and copper in each particle of the solder powder will increase, and the solder powder does not melt uniformly during reflow, resulting in However, there is a problem in that sufficient bonding strength cannot be obtained at the bonding site.
本発明の第1の目的は、ハンダ粉末における所定の粒径への調整、異なる製造ロット間での粒径の良好な再現性及び同一製造ロットでのハンダ粉末の粒度分布のばらつき低減等の粒径制御が可能なハンダ粉末の製造方法を提供することにある。本発明の第2の目的は、リフロー時にハンダ粉末が均一に溶融し、十分な接合強度が得られるハンダ粉末の製造方法を提供することにある。本発明の第3の目的は、リフロー後、高温雰囲気に晒されるときに、再溶融及び接合強度の低下が起こりにくいハンダ粉末を製造する方法を提供することにある。更に本発明の第3の目的は、接合部位において十分な接合強度が得られる、この粉末を用いたハンダ用ペーストの製造方法を提供することにある。 The first object of the present invention is to adjust the solder powder to a predetermined particle size, to achieve good reproducibility of the particle size between different production lots, and to reduce variation in the size distribution of the solder powder in the same production lot. An object of the present invention is to provide a solder powder manufacturing method capable of controlling the diameter. A second object of the present invention is to provide a method for producing a solder powder in which the solder powder is uniformly melted during reflow and sufficient bonding strength is obtained. A third object of the present invention is to provide a method for producing a solder powder which is less likely to be remelted and reduced in bonding strength when exposed to a high temperature atmosphere after reflow. Furthermore, the third object of the present invention is to provide a method for producing a solder paste using this powder, in which sufficient bonding strength can be obtained at the bonding site.
本発明者らが鋭意研究を重ねた結果、中心核と錫被覆層の湿式逐次析出法に基づく塩化銅(II)のような銅を含む化合物を用いる代わりに、所定の平均粒径を有しかつ粒度分布のばらつきの小さい銅粉末を用い、この銅粉末と分散剤を溶媒に添加混合して銅粉末の分散液を調製し、この銅粉末の分散液に錫を含む化合物を直接添加混合し溶解させ、この銅粉末が分散する液中の錫イオンを還元する方法(以下、銅粉末への錫湿式被覆法という。)でハンダ粉末を製造した場合、銅の含有割合を40質量%を超える割合にしても、粒径調整が容易で、異なる製造ロット間での粒径の再現性が良好で、しかも粒度分布のばらつきも小さいハンダ粉末を製造できることを本発明者らは見い出した。そして、錫を少なくとも30質量%含ませて、リフロー条件を変更することにより、リフロー時のハンダ粉末を均一かつ十分に溶融させて基板等に接合でき、しかも高温雰囲気に晒されても実装後のハンダが再溶融せずに、又はハンダの一部において液相が生じることなく、基板等との接合不良を発生させないことを本発明者らは見い出し、本発明に到達した。 As a result of repeated extensive research by the present inventors, instead of using a compound containing copper such as copper (II) chloride based on the wet sequential deposition method of the central core and the tin coating layer, it has a predetermined average particle size. Using copper powder with a small variation in particle size distribution, add this copper powder and dispersant to a solvent to prepare a copper powder dispersion, and then add and mix the tin-containing compound directly into this copper powder dispersion. When the solder powder is manufactured by a method of dissolving and reducing tin ions in the liquid in which the copper powder is dispersed (hereinafter referred to as a tin wet coating method on the copper powder), the copper content exceeds 40% by mass. The present inventors have found that it is possible to produce a solder powder that can be easily adjusted in particle size, that has good reproducibility of particle size between different production lots, and that has a small variation in particle size distribution. And by including at least 30% by mass of tin and changing the reflow conditions, the solder powder at the time of reflow can be uniformly and sufficiently melted and bonded to a substrate or the like, and even after being exposed to a high temperature atmosphere, The present inventors have found that the solder does not remelt, or a liquid phase does not occur in a part of the solder, and does not cause poor bonding with the substrate or the like, and has reached the present invention.
本発明の第1の観点は、平均粒径が1〜24μmの範囲にありかつ粒度分布のスパン値が1.0未満の銅粉末を溶媒に分散して第1分散液を調製する第1工程と、錫の金属塩を前記銅粉末の第1分散液に添加混合して前記錫の金属塩が溶解し前記銅粉末が分散する混合液を調製する第2工程と、前記混合液のpHを0.1〜2.0に調整する第3工程と、前記pH調整した混合液に還元剤を添加し、混合することにより、錫イオンが還元され、析出した錫が前記銅粉末を被覆する第2分散液を調製する第4工程と、前記第2分散液を固液分離し、前記固液分離した固形分を乾燥してハンダ粉末を得る第5工程とを含み、前記第1工程において前記ハンダ粉末の全体量100質量%に対し、前記銅粉末を銅の含有割合が40質量%を超え70質量%以下になるように添加し、かつ前記第2工程において前記錫の金属塩を錫の含有割合が30質量%以上60質量%未満になるように添加して、図1に示すように、中心核11と中心核11を被覆する被覆層12で構成され、中心核11が銅及び銅と錫との金属間化合物からなり、被覆層12が錫からなる、平均粒径が1〜30μmの範囲にありかつ前記平均粒径の変動係数が0.15以下であるハンダ粉末を製造する方法である。ただし、前記銅粉末の粒度分布のスパン値とは、その粒度分布測定結果の積算粒子量曲線において、その積算量が10%、50%、90%を占めるときの粒子径D10、D50、D90を用いて、式(D90−D10)/D50から求められる粒度分布のばらつきを表す指標となる値をいい、前記第1工程から前記第5工程までを同一設備で一連の工程で行って製造される一群のハンダ粉末の製造ロットを1ロットとするとき、前記平均粒径の変動係数とは、前記製造ロットが5ロットのときの前記平均粒径の標準偏差を前記平均粒径で除した値をいう。 The first aspect of the present invention is a first step of preparing a first dispersion by dispersing copper powder having an average particle size in the range of 1 to 24 μm and a particle size distribution span value of less than 1.0 in a solvent. A second step of preparing a mixed solution in which the metal salt of tin is dissolved and the copper powder is dispersed by adding and mixing the metal salt of tin to the first dispersion of the copper powder, and the pH of the mixed solution A third step of adjusting to 0.1 to 2.0, and adding a reducing agent to the pH-adjusted liquid mixture and mixing them, tin ions are reduced, and precipitated tin covers the copper powder. a fourth step of preparing a 2 dispersion, the second dispersion liquid was subjected to solid-liquid separation, and a fifth step of obtaining a solder powder by drying the solid, wherein the solid-liquid separation, the in the first step With respect to the total amount of solder powder of 100% by mass, the copper powder has a copper content exceeding 40% by mass and 70 quality. % Was added to a less and with a metal salt of the tin in the second step was added pressure as the content of tin is less than 30 wt% to 60 wt%, as shown in FIG. 1, It is composed of a central core 11 and a coating layer 12 covering the central core 11, the central core 11 is made of copper and an intermetallic compound of copper and tin, and the coating layer 12 is made of tin, with an average particle diameter of 1 to 30 μm This is a method for producing a solder powder that is in the range and has a coefficient of variation of the average particle diameter of 0.15 or less. However, the span value of the particle size distribution of the copper powder is the particle diameter D 10 , D 50 when the accumulated amount occupies 10%, 50%, 90% in the accumulated particle amount curve of the particle size distribution measurement result, D 90 is a value that serves as an index representing the dispersion of the particle size distribution obtained from the formula (D 90 -D 10 ) / D 50 , and a series of steps from the first step to the fifth step using the same equipment. performed in and when to one lot to production lot of a group of solder powder produced, the variation coefficient of the average particle diameter, the manufacturing lot 5 lot said average particle standard deviation above the mean particle diameter in the case of The value divided by the diameter.
本発明の第2の観点は、第1の観点に基づく発明であって、更に銅と錫との金属間化合物がCu3Sn、Cu6Sn5、Cu10Sn3及びCu41Sn11からなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物であることを特徴とする。 A second aspect of the present invention is an invention based on the first aspect, wherein the intermetallic compound of copper and tin further comprises Cu 3 Sn, Cu 6 Sn 5 , Cu 10 Sn 3 and Cu 41 Sn 11. It is one or two or more compounds selected from the group.
本発明の第3の観点は、第1又は第2の観点の方法によりハンダ粉末を製造し、このハンダ粉末とハンダ用フラックスを混合してペースト化するハンダ用ペーストの製造方法である。 A third aspect of the present invention, the method of the first or second aspect to produce a solder powder, a method for producing a Ruha Sunda paste to a paste by mixing the solder powder and solder flux.
本発明の第4の観点は、第3の観点のハンダ用ペーストを用いて電子部品を実装する方法である。 A fourth aspect of the present invention is a method for mounting an electronic component using the solder paste according to the third aspect .
本発明の第1の観点のハンダ粉末の製造方法で製造されたハンダ粉末では、平均粒径が1〜24μmの範囲にありかつ粒度分布のスパン値(粒度分布測定結果の積算粒子量曲線において、その積算量が10%、50%、90%を占めるときの粒子径D10、D50、D90より、式(D90−D10)/D50から求められる粒度分布のばらつきを表す指標となる値)が1.0未満の範囲にある銅粉末をハンダ粉末の中心核の構成要素とするため、またハンダ粉末の平均粒径の変動係数が0.15以下であるため、銅の含有割合を40質量%を超える割合にしても、所定の粒径への調整、異なる製造ロット間での粒径の再現性が良好で、かつ同一製造ロットで用いた銅粉末と同程度の粒度分布のばらつきの小さいハンダ粉末を得られる。また本発明のハンダ粉末では、粉末表面が融点の低い錫から構成される。これらのことから、錫の含有割合が特許文献7記載の含有割合と比べて減少しても、リフロー時の溶融性、焼結性等に優れる一方、リフロー後は、銅の含有割合が特許文献7記載のハンダ粉末の2.0質量%を超え40質量%以下の含有割合と比べて増加するため、特許文献7記載のハンダ粉末と異なり、Cu6Sn5、Cu3Sn等の融点の高い金属間化合物及び銅からなる接合層を形成することが可能となる。 The solder powder produced by the production how the solder powder of the first aspect of the present invention, in the cumulative particle weight curve of the average particle size is in the range of 1~24μm and span values of the particle size distribution (particle size distribution measurement result , An index representing the dispersion of the particle size distribution obtained from the formula (D 90 -D 10 ) / D 50 from the particle diameters D 10 , D 50 , D 90 when the integrated amount occupies 10%, 50%, 90% Copper value in the range of less than 1.0 is used as a constituent element of the core of the solder powder, and the coefficient of variation of the average particle size of the solder powder is 0.15 or less. Even if the ratio exceeds 40% by mass, the adjustment to a predetermined particle size, the reproducibility of the particle size between different production lots, and the same particle size distribution as the copper powder used in the same production lot Solder powder with a small variation in the size can be obtained. In the solder powder of the present invention, the powder surface is composed of tin having a low melting point. From these facts, even if the content ratio of tin is reduced as compared with the content ratio described in Patent Document 7, it is excellent in meltability and sinterability at the time of reflow. Unlike the solder powder described in Patent Document 7, the melting point of Cu 6 Sn 5 , Cu 3 Sn or the like is high, because the content is higher than the content ratio of more than 2.0% by mass and 40% by mass or less. A bonding layer made of an intermetallic compound and copper can be formed.
本発明の第2の観点の方法で製造されるハンダ粉末は、銅と錫との金属間化合物がCu3Sn、Cu6Sn5、Cu10Sn3及びCu41Sn11からなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物である。この金属間化合物の融点を例示すれば、ε相(Cu3Sn)の融点は676℃、η相(Cu6Sn5)の融点は415℃である。こうして凝固開始温度が640〜760℃程度まで上昇することで再溶融が起こりにくくなる。このため、本発明の方法で製造されるハンダ粉末は、高温雰囲気に晒される電子部品等の実装に用いても、再溶融しない特長がある。また、粉末を構成する一つの金属粒子内において、銅と錫が含まれ、かつこれらの含有割合及びハンダ粉末の粒径の各ばらつきが小さいため、リフロー時の溶融ムラや組成ズレによる接合強度の低下を防止できる。 In the solder powder produced by the method of the second aspect of the present invention, the intermetallic compound of copper and tin is selected from the group consisting of Cu 3 Sn, Cu 6 Sn 5 , Cu 10 Sn 3 and Cu 41 Sn 11. Or one or more compounds. To illustrate the melting point of this intermetallic compound, the melting point of the ε phase (Cu 3 Sn) is 676 ° C., and the melting point of the η phase (Cu 6 Sn 5 ) is 415 ° C. Thus, when the solidification start temperature rises to about 640 to 760 ° C., remelting hardly occurs. For this reason, the solder powder produced by the method of the present invention has a feature that it does not remelt even when used for mounting electronic parts exposed to a high temperature atmosphere. In addition, in one metal particle constituting the powder, copper and tin are included, and since each variation in the content ratio and the particle size of the solder powder is small, the bonding strength due to melting unevenness or composition deviation at the time of reflow is reduced. Decrease can be prevented.
本発明の第3の観点のハンダ用ペーストの製造方法では、上記本発明の方法で製造されるハンダ粉末を用いて製造される。そのため、この製造されたハンダ用ペーストは、本発明の方法で製造されるハンダ粉末が上記特長を有するため、リフロー時に均一にかつ速やかに溶融し、溶融性に優れる。またリフロー後は、特許文献7記載のハンダ粉末と異なり金属間化合物及び銀からなる接合層を形成し、溶融するハンダ粉末が特許文献7と比べて高い融点の金属間化合物を形成し、耐熱性が上昇するため、熱による再溶融が起こりにくい。このため、本発明の方法で製造されたハンダ用ペーストは、高温雰囲気に晒される電子部品等の実装に好適に用いることができる。 In a third aspect method for producing a solder paste of the present invention are prepared using a solder powder produced by the method of the present invention. Therefore, the manufactured solder paste, solder powder produced by the method of the present invention to have the above characteristics, uniformly and melted quickly during reflow, excellent meltability. Further, after reflowing, unlike the solder powder described in Patent Document 7, a bonding layer made of an intermetallic compound and silver is formed, and the melting solder powder forms an intermetallic compound having a higher melting point than that of Patent Document 7, and heat resistance Therefore, remelting due to heat hardly occurs. For this reason, the paste for solder manufactured by the method of the present invention can be suitably used for mounting electronic parts and the like exposed to a high temperature atmosphere.
本発明の第4の観点の電子部品を実装する方法では、上記本発明のハンダ用ペーストを用いるため、リフロー時にはハンダ用ペーストが均一で速やかに溶融する、優れた溶融性により、簡便に、かつ高い精度で実装することができるとともに、実装後においてより一層高い耐熱性を付与できる。 In the method for mounting the electronic component according to the fourth aspect of the present invention, since the solder paste of the present invention is used, the solder paste is uniformly and quickly melted at the time of reflow. It can be mounted with high accuracy, and higher heat resistance can be imparted after mounting.
次に本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。 Next, an embodiment for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
〔ハンダ粉末の製造方法〕
本発明のハンダ粉末を製造する方法について説明する。先ず、平均粒径が1〜24μmの範囲にある銅粉末を溶媒に分散して第1分散液を調製する。溶媒には分散剤を混合してもよい。次いで、錫の金属塩を銅粉末の第1分散液に添加混合して錫の金属塩が溶解し銅粉末が分散する混合液を調製する。次に、混合液のpHを0.1〜2.0に調整する。このpH調整した混合液に還元剤を添加し、混合することにより、錫イオンが還元され、析出した錫が前記銅粉末を被覆する金属粉末が分散する第2分散液を調製した後、この第2分散液を固液分離し、この固液分離した固形分を乾燥してハンダ粉末を得る。混合液中における銅粉末、錫を含む化合物の割合は、ハンダ粉末製造後に、銅の含有割合が40質量%を超え70質量%以下の範囲になるように調整する。
[Method for producing solder powder]
A method for producing the solder powder of the present invention will be described. First, a first dispersion is prepared by dispersing copper powder having an average particle diameter in the range of 1 to 24 μm in a solvent. A dispersant may be mixed in the solvent. Next, a metal salt of tin is added to and mixed with the first dispersion of copper powder to prepare a liquid mixture in which the metal salt of tin is dissolved and the copper powder is dispersed. Next, the pH of the mixed solution is adjusted to 0.1 to 2.0. By adding a reducing agent to the pH adjusted liquid mixture and mixing, tin ions are reduced, and after preparing a second liquid dispersion in which the deposited tin disperses the metal powder covering the copper powder, (2) The dispersion is subjected to solid-liquid separation, and the solid content thus separated is dried to obtain a solder powder. The ratio of the copper powder and the compound containing tin in the mixed liquid is adjusted so that the copper content exceeds 40% by mass and is equal to or less than 70% by mass after the solder powder is manufactured.
上記銅粉末は、1μm以上24μm以下の平均粒径を有すること及び粒度分布のスパン値が1.0未満であることが必要である。この下限値の1μm未満では、本発明の方法で製造されるハンダ粉末の平均粒径が最小値の1μmに達しなくなる。ハンダ粉末の平均粒径が最小値の1μm未満になると、ハンダ粉末の比表面積が高くなり、粉末の表面酸化層の影響によりハンダの溶融性を低下させてしまう。また上記下限値の1μm未満では、ハンダ粉末を構成する銅の含有量40質量%を超えることが困難になる。また上限値の24μmを超えると、ハンダ粉末の平均粒径が最大値の30μmを超える。ハンダ粉末の平均粒径が最大値の30μmを超えると、このハンダ粉末を用いたハンダペーストによりバンプを形成する場合においてバンプのコプラナリティが低下し、また、パターン表面をハンダでコートする場合に塗布ムラが生じ、パターン全面を均一にコートできなくなる。銅粉末の平均粒径は2〜10μmであることが好ましい。また粒度分布のスパン値が1.0以上では、ハンダ粉末の平均粒径の変動係数が0.15を超えるため、各粒子中の錫と銅の含有割合にばらつきが生じ、このハンダ粉末を用いたハンダペーストにより得られるハンダバンプ及びハンダコートにおいて溶融ムラ及び溶融不良を生じる不具合がある。この銅粉末は、還元反応による化学的手法で得られる他、アトマイズ法のような物理的手法によって得られる。 The copper powder needs to have an average particle size of 1 μm or more and 24 μm or less, and the span value of the particle size distribution must be less than 1.0. If the lower limit is less than 1 μm, the average particle size of the solder powder produced by the method of the present invention does not reach the minimum value of 1 μm. When the average particle size of the solder powder is less than the minimum value of 1 μm, the specific surface area of the solder powder increases, and the meltability of the solder is lowered due to the influence of the surface oxide layer of the powder. Moreover, if it is less than 1 micrometer of the said lower limit, it will become difficult to exceed content of 40 mass% of copper which comprises solder powder. When the upper limit of 24 μm is exceeded, the average particle size of the solder powder exceeds the maximum value of 30 μm. When the average particle size of the solder powder exceeds the maximum value of 30 μm, the bump coplanarity is lowered when the bump is formed by the solder paste using the solder powder, and the uneven coating is applied when the pattern surface is coated with the solder. As a result, the entire surface of the pattern cannot be uniformly coated. The average particle size of the copper powder is preferably 2 to 10 μm. Also, when the span value of the particle size distribution is 1.0 or more, the coefficient of variation of the average particle size of the solder powder exceeds 0.15, so that the content ratio of tin and copper in each particle varies, and this solder powder is used. There is a problem that uneven melting and poor melting occur in solder bumps and solder coats obtained from the solder paste. This copper powder can be obtained not only by a chemical method using a reduction reaction but also by a physical method such as an atomizing method.
銅粉末が分散する第1分散液の溶媒としては、水、アルコール、エーテル、ケトン、エステル等が挙げられる。調製した混合液は、生成したハンダ粉末の再溶解等を考慮して、pHを0.1〜2.0に調整する。なお、混合液に錯化剤を加えて、錫元素を錯体化してもよい、錯化剤を加えることでpHがアルカリ側でも錫イオンが沈殿せず、広い範囲での合成が可能となる。錯化剤としては、コハク酸、酒石酸、グリコール酸、乳酸、フタル酸、リンゴ酸、クエン酸、シュウ酸、エチレンジアミン四酢酸、イミノ二酢酸、ニトリロ三酢酸又はその塩等が挙げられる。また、分散剤としては、セルロース系、ビニル系、多価アルコール等が挙げられ、その他にゼラチン、カゼイン等を用いることができる。分散剤は、錯化剤を加えた後に添加してもよい。 Examples of the solvent of the first dispersion liquid in which the copper powder is dispersed include water, alcohol, ether, ketone, and ester. The prepared mixed solution is adjusted to a pH of 0.1 to 2.0 in consideration of re-dissolution of the generated solder powder. Note that a complexing agent may be added to the mixed solution to complex the tin element. By adding the complexing agent, tin ions do not precipitate even when the pH is alkaline, and synthesis in a wide range is possible. Examples of the complexing agent include succinic acid, tartaric acid, glycolic acid, lactic acid, phthalic acid, malic acid, citric acid, oxalic acid, ethylenediaminetetraacetic acid, iminodiacetic acid, nitrilotriacetic acid, and salts thereof. Examples of the dispersant include cellulose-based, vinyl-based, and polyhydric alcohols. In addition, gelatin, casein, and the like can be used. The dispersant may be added after adding the complexing agent.
混合液の調製に用いられる錫化合物としては、塩化錫(II)、硫酸錫(II)、酢酸錫(II)、シュウ酸錫(II)等の錫の金属塩が挙げられる。このうち、錫を含む化合物は、塩酸塩の塩化錫(II)を使用するのが特に好ましい。 Examples of the tin compound used for preparing the mixed solution include tin metal salts such as tin (II) chloride, tin (II) sulfate, tin (II) acetate, and tin (II) oxalate. Among these, it is particularly preferable to use tin (II) chloride as a hydrochloride as the compound containing tin.
次に、pH調整した混合液に還元剤を添加する際には、予め還元剤を溶解した水溶液を調製し、この水溶液のpHを、混合液と同程度に調整しておくことが好ましい。還元剤としては、テトラヒドロホウ酸ナトリウム、ジメチルアミンボラン等のホウ素水素化物、ヒドラジン等の窒素化合物、3価のチタンイオンや2価のクロムイオン等の金属イオン等が挙げられる。 Next, when adding a reducing agent to the pH-adjusted mixed solution, it is preferable to prepare an aqueous solution in which the reducing agent is dissolved in advance and adjust the pH of the aqueous solution to the same level as the mixed solution. Examples of the reducing agent include boron hydrides such as sodium tetrahydroborate and dimethylamine borane, nitrogen compounds such as hydrazine, metal ions such as trivalent titanium ions and divalent chromium ions, and the like.
次に、上記混合液に還元剤水溶液を添加して混合することにより、混合液中の錫イオンが還元され、析出した錫が銅粉末を被覆する金属粉末が分散した第2分散液が得られる。この還元反応により、銅からなる中心核と、この中心核を被覆する錫からなる被覆層で構成された金属粉末が形成される。混合液と還元剤水溶液を混合する方法としては、容器内の混合液に所定の添加速度で還元剤水溶液を滴下し、スターラ等で攪拌する方法や、所定の径を有する反応チューブを用い、この反応チューブ内に両液を所定の流量で注ぎ込み、混合させる方法等が挙げられる。 Next, a reducing agent aqueous solution is added to and mixed with the above mixed solution, whereby tin ions in the mixed solution are reduced, and a second dispersion in which the metal powder covering the copper powder with the deposited tin is dispersed is obtained. . By this reduction reaction, a metal powder composed of a central core made of copper and a coating layer made of tin covering the central core is formed. As a method of mixing the mixed solution and the reducing agent aqueous solution, the reducing agent aqueous solution is dropped into the mixed solution in the container at a predetermined addition rate and stirred with a stirrer or a reaction tube having a predetermined diameter. Examples include a method of pouring both solutions into a reaction tube at a predetermined flow rate and mixing them.
次いで、上記金属粉末が分散した第2分散液を、デカンテーション等によって固液分離し、回収した固形分を水又はpHを0.5〜2に調整した塩酸水溶液、硝酸水溶液、硫酸水溶液、或いはメタノール、エタノール、アセトン等で洗浄する。洗浄後は、再度固液分離して固形分を回収する。洗浄から固液分離までの工程を、好ましくは2〜5回繰り返した後、回収した固形分を真空乾燥させることにより、本発明のハンダ粉末を得ることができる。 Next, the second dispersion liquid in which the metal powder is dispersed is subjected to solid-liquid separation by decantation or the like, and the recovered solid content is water or a hydrochloric acid aqueous solution, a nitric acid aqueous solution, a sulfuric acid aqueous solution whose pH is adjusted to 0.5 to 2, or Wash with methanol, ethanol, acetone, etc. After washing, the solid content is recovered by solid-liquid separation again. The solder powder of the present invention can be obtained by repeating the steps from washing to solid-liquid separation, preferably 2 to 5 times, and then vacuum-drying the collected solid content.
また、更に下記に記載する加熱処理を行ってもよい。真空乾燥する前の回収した固形分に、沸点が100℃以上の高沸点溶媒を加えて分散させ不活性ガス雰囲気下、所定の温度で加熱する。この加熱処理を施すことにより、上記還元反応で形成された金属粉末の銅からなる中心核、中心核を被覆する錫からなる被覆層の一部が反応して、加熱処理を行わない場合に比べて、より厚い銅と錫の金属間化合物からなる層を有する中心核が形成される。 Further, the heat treatment described below may be performed. A high boiling point solvent having a boiling point of 100 ° C. or higher is added to and dispersed in the collected solid content before vacuum drying, and heated at a predetermined temperature in an inert gas atmosphere. By applying this heat treatment, the central core made of copper of the metal powder formed by the above reduction reaction reacts with a part of the coating layer made of tin covering the central core, and compared with the case where the heat treatment is not performed. Thus, a central core having a layer made of a thicker intermetallic compound of copper and tin is formed.
使用される高沸点溶媒としてはエチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ヒマシ油等が挙げられる。 Examples of the high boiling point solvent used include ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, polyethylene glycol, and castor oil.
上記加熱処理は、100〜130℃の温度で20分間〜1時間、窒素又はアルゴン等の不活性ガス雰囲気下で行うのが好ましい。処理温度又は保持時間が下限値未満では、中心核に金属間化合物が形成されない場合がある。また、処理温度が上限値を越えると、被覆層の錫が酸化されて溶融性が低下する不具合が生じる。なお、保持時間を上限値以上としてもその効果は変わらない。このうち115〜125℃の温度で30〜40分間行うのが特に好ましい。不活性ガス雰囲気下で行うのは、錫の酸化を防ぐためである。 The heat treatment is preferably performed at a temperature of 100 to 130 ° C. for 20 minutes to 1 hour in an inert gas atmosphere such as nitrogen or argon. When the treatment temperature or holding time is less than the lower limit value, an intermetallic compound may not be formed in the central core. On the other hand, when the treatment temperature exceeds the upper limit value, tin in the coating layer is oxidized, resulting in a problem that the meltability is lowered. The effect does not change even if the holding time is set to the upper limit value or more. Among these, it is particularly preferable to carry out at a temperature of 115 to 125 ° C. for 30 to 40 minutes. The reason why the reaction is performed in an inert gas atmosphere is to prevent oxidation of tin.
加熱後は、再度上記洗浄から固液分離までの工程を、好ましくは2〜5回繰り返した後、回収した固形分を真空乾燥させることにより、本発明のハンダ粉末を得ることができる。 After heating, the steps from washing to solid-liquid separation are preferably repeated 2 to 5 times, and then the collected solid content is vacuum dried to obtain the solder powder of the present invention.
〔ハンダ粉末〕
本発明の方法で製造されるハンダ粉末は、図1に示すように、中心核11と中心核11を被覆する被覆層12で構成され、中心核11が銅及び銅と錫との金属間化合物からなり、被覆層12が錫からなるハンダ粉末である。本発明のハンダ粉末は、このように、銅及び銅と錫との金属間化合物からなる中心核が、融点の低い錫からなる被覆層で被覆された構造になっているため、基本的にリフロー時の溶融性に優れる。これに加えて本発明のハンダ粉末は中心核を銅粉末で製造することから、ハンダ粉末の粒径調整が容易で、異なる製造ロット間での粒径の再現性が良好で、かつ粒度分布のばらつきも小さくすることができる。更にハンダ粉末中の錫と銅の含有割合のばらつきも小さくなり、リフロー時の溶融性に優れる。上記従来のハンダ粉末のように、融点等が異なる2種類以上の金属粉末を混合した粉末ではなく、粉末を構成する一つの金属粒子内において、銅と錫が含まれるため、リフロー時の溶融ムラや組成ズレが起こりにくく、高い接合強度が得られる。更に、中心核の一部が、リフロー前に既に銅と錫との金属間化合物を形成しているため、例えば銅からなる中心核を錫で被覆した構造の粉末に比べて、リフロー時の溶融拡散性が良く、ハンダバンプ形成時の組成制御が容易であり、濡れ性に優れる。
[Solder powder]
As shown in FIG. 1, the solder powder produced by the method of the present invention is composed of a central core 11 and a coating layer 12 covering the central core 11, and the central core 11 is copper and an intermetallic compound of copper and tin. The coating layer 12 is a solder powder made of tin. Thus, the solder powder of the present invention basically has a structure in which the central core made of copper and an intermetallic compound of copper and tin is coated with a coating layer made of tin having a low melting point. Excellent meltability at the time. In addition to this, since the solder powder of the present invention is manufactured with copper powder as the central core, it is easy to adjust the particle size of the solder powder, the reproducibility of the particle size between different production lots, and the particle size distribution. Variation can also be reduced. Furthermore, the variation in the content ratio of tin and copper in the solder powder is reduced, and the meltability during reflow is excellent. Unlike the conventional solder powder, it is not a powder in which two or more kinds of metal powders having different melting points are mixed, but copper and tin are contained in one metal particle constituting the powder. And composition deviation hardly occur, and high bonding strength can be obtained. Furthermore, since a part of the central core has already formed an intermetallic compound of copper and tin before reflowing, for example, compared to a powder having a structure in which the central core made of copper is covered with tin, melting at the time of reflowing Good diffusibility, easy composition control during solder bump formation, and excellent wettability.
そして、本発明の方法で製造されるハンダ粉末10は、平均粒径が1〜30μmでありかつ前記平均粒径の変動係数が0.15以下である。ハンダ粉末の平均粒径を1〜30μmに限定したのは、30μmを超えるとバンプを形成する場合においてバンプのコプラナリティが低下するという不具合を生じ、また、パターン表面をハンダでコートする場合に塗布ムラが生じ、パターン全面を均一にコートできないという不具合を生じるからである。なお、1μm未満になると、比表面積が高くなり、粉末の表面酸化層の影響によりハンダの溶融性が低下する。ハンダ粉末の平均粒径は2μm以上12μm以下の範囲とするのが好ましい。なお、本明細書において、粉末の平均粒径とは、レーザー回折散乱法を用いた粒度分布測定装置(堀場製作所社製、レーザー回折/散乱式粒子径分布測定装置LA−950)にて測定した体積累積中位径(Median径、D50)をいう。またハンダ粉末の平均粒径の変動係数が0.15を超えると、各粒子中の錫と銅の含有割合にばらつきが生じ、このハンダ粉末を用いたハンダペーストにより得られるハンダバンプ及びハンダコートにおいて溶融ムラ及び溶融不良を生じる不具合がある。 The solder powder 10 produced by the method of the present invention has an average particle diameter of 1 to 30 μm and a coefficient of variation of the average particle diameter of 0.15 or less. The reason why the average particle size of the solder powder is limited to 1 to 30 μm is that when it exceeds 30 μm, the bump coplanarity deteriorates when the bump is formed, and the coating unevenness occurs when the pattern surface is coated with solder. This is because a problem arises that the entire pattern surface cannot be uniformly coated. When the thickness is less than 1 μm, the specific surface area increases, and the meltability of the solder decreases due to the influence of the surface oxide layer of the powder. The average particle size of the solder powder is preferably in the range of 2 μm to 12 μm. In the present specification, the average particle size of the powder was measured with a particle size distribution measuring device (Horiba Seisakusho, laser diffraction / scattering particle size distribution measuring device LA-950) using a laser diffraction scattering method. Volume cumulative median diameter (Median diameter, D 50 ). Also, if the coefficient of variation of the average particle size of the solder powder exceeds 0.15, the content ratio of tin and copper in each particle will vary, and it will melt in the solder bump and solder coat obtained by the solder paste using this solder powder. There are defects that cause unevenness and poor melting.
また、本発明の方法で製造されるハンダ粉末10は、粉末の全体量100質量%に対し、銅の含有割合が40質量%を超え70質量%以下である。従来のハンダ粉末では、Sn−Pb系共晶ハンダ(組成比 Sn:Pb=63:37質量%)の代替として使用されるため、融点が近く、共晶組成が求められるという理由から、銅の割合を0.7質量%程度と、比較的少なめに含有させている。一方、本発明のハンダ粉末では、銅の割合を特許文献7と比べて多めの上記範囲で含ませることにより、リフロー後に、640〜760℃程度の高い凝固開始温度を有するSn−Cu合金を形成する。なお、銅の含有割合が少なくても、リフロー後は、錫よりも凝固開始温度の高いSn−Cu合金を形成するが、銅をより多く含有させることで、凝固開始温度が更に上昇するのは、合金中に高い融点を有する金属間化合物の比率がより一層高くなるという理由からである。これにより、このハンダ粉末を含むハンダ用ペーストのリフローによって形成されるハンダバンプでは、耐熱性が大幅に向上し、再溶融及び接合強度の低下を防止することができる。このため、高温雰囲気に晒される電子部品等の実装に用いられる高温ハンダとして好適に用いることができる。銅の含有割合が40質量%以下では、凝固開始温度が低くなることから、リフロー後に形成されるハンダバンプにおいて十分な耐熱性が得られず、高温雰囲気での使用の際に再溶融が起こり、高温ハンダとして用いることができない。一方、70質量%を越えると凝固開始温度が高くなりすぎて、ハンダが十分に溶融しないため、接合不良が発生するという不具合が生じる。このうち、粉末の全体量100質量%に占める銅の含有割合は、40質量%を超え62質量%以下とするのが好ましい。 Moreover, as for the solder powder 10 manufactured by the method of this invention, the content rate of copper exceeds 40 mass% and is 70 mass% or less with respect to 100 mass% of the whole quantity of powder. Since conventional solder powder is used as an alternative to Sn—Pb-based eutectic solder (composition ratio Sn: Pb = 63: 37 mass%), the melting point is close and the eutectic composition is required. The proportion is about 0.7% by mass and relatively small. On the other hand, in the solder powder of the present invention, an Sn—Cu alloy having a high solidification start temperature of about 640 to 760 ° C. is formed after reflowing by including a copper ratio in the above-mentioned range which is larger than that of Patent Document 7. To do. Even if the content ratio of copper is small, after reflowing, a Sn—Cu alloy having a higher solidification start temperature than tin is formed. However, if more copper is contained, the solidification start temperature is further increased. This is because the ratio of the intermetallic compound having a high melting point in the alloy is further increased. Thereby, in the solder bump formed by reflow of the solder paste containing this solder powder, the heat resistance is greatly improved, and remelting and reduction in bonding strength can be prevented. For this reason, it can be suitably used as a high-temperature solder used for mounting electronic parts and the like exposed to a high-temperature atmosphere. When the copper content is 40% by mass or less, the solidification start temperature is low, so that sufficient heat resistance cannot be obtained in the solder bump formed after reflow, remelting occurs when used in a high temperature atmosphere, and high temperature. It cannot be used as solder. On the other hand, if it exceeds 70% by mass, the solidification start temperature becomes too high, and the solder does not melt sufficiently, resulting in a problem that bonding failure occurs. Among these, it is preferable that the content rate of the copper which occupies for 100 mass% of the whole quantity of powder exceeds 40 mass%, and is 62 mass% or less.
また、本発明の方法で製造されるハンダ粉末中の錫の含有割合は、粉末中の上記銅以外の残部、即ちハンダ粉末の全体量100質量%に対して30質量%以上60質量%未満、好ましくは38質量%以上60質量%未満である。錫の含有割合が30質量%未満では、リフロー時においてハンダ粉末に必要とされる低融点を示さないからである。また、60質量%以上では、結果的に銅の含有割合が少なくなり、リフロー後に形成されるハンダバンプの耐熱性が低下する。即ち、高温雰囲気に実装後のハンダが晒されると実装後のハンダが再溶融するか、又はハンダの一部において液相が生じて、基板等との接合強度が低下するおそれがある。 Further, the content ratio of tin in the solder powder produced by the method of the present invention is 30% by mass or more and less than 60% by mass with respect to the remainder other than the copper in the powder, that is, 100% by mass of the total amount of the solder powder. Preferably they are 38 mass% or more and less than 60 mass%. This is because if the tin content is less than 30% by mass, the low melting point required for the solder powder is not exhibited during reflow. Moreover, if it is 60 mass% or more, the content rate of copper will decrease as a result and the heat resistance of the solder bump formed after reflow will fall. That is, when the solder after mounting is exposed to a high temperature atmosphere, the solder after mounting may be remelted or a liquid phase may be generated in a part of the solder, which may reduce the bonding strength with the substrate or the like.
中心核の一部を構成する銅と錫との金属間化合物としては、Cu3Sn、Cu6Sn5、Cu10Sn3及びCu41Sn11からなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物が挙げられるが、実際には、銅と錫との組成比により、主にCu3Sn、Cu6Sn5が中心核を形成する。 As an intermetallic compound of copper and tin constituting a part of the central core, one or more selected from the group consisting of Cu 3 Sn, Cu 6 Sn 5 , Cu 10 Sn 3 and Cu 41 Sn 11 In practice, Cu 3 Sn and Cu 6 Sn 5 mainly form a central nucleus depending on the composition ratio of copper and tin.
〔ハンダ用ペースト及びその調製方法〕
以上の製造工程により、得られた本発明のハンダ粉末は、ハンダ用フラックスと混合してペースト化して得られるハンダ用ペーストの材料として好適に用いられる。ハンダ用ペーストの調製は、ハンダ粉末とハンダ用フラックスとを所定の割合で混合してペースト化することにより行われる。ハンダ用ペーストの調製に用いられるハンダ用フラックスは、特に限定されないが、溶剤、ロジン、チキソ剤及び活性剤等の各成分を混合して調製されたフラックスを用いることができる。
[Solder paste and its preparation method]
The solder powder of the present invention obtained by the above manufacturing process is suitably used as a material for a solder paste obtained by mixing with a solder flux to form a paste. The solder paste is prepared by mixing solder powder and solder flux at a predetermined ratio to form a paste. The solder flux used for the preparation of the solder paste is not particularly limited, but a flux prepared by mixing components such as a solvent, rosin, thixotropic agent and activator can be used.
上記ハンダ用フラックスの調製に好適な溶剤としては、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオール、α−テルピネオール等の沸点が180℃以上である有機溶剤が挙げられる。また、ロジンとしては、ガムロジン、水添ロジン、重合ロジン、エステルロジン等が挙げられる。 Solvents suitable for preparing the solder flux include diethylene glycol monohexyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether acetate, tetraethylene glycol, 2-ethyl-1,3-hexanediol, α-terpineol and the like having a boiling point of 180. An organic solvent having a temperature of not lower than ° C. can be mentioned. Examples of the rosin include gum rosin, hydrogenated rosin, polymerized rosin, and ester rosin.
また、チキソ剤としては、硬化ひまし油、脂肪酸アマイド、天然油脂、合成油脂、N,N’−エチレンビス−12−ヒドロキシステアリルアミド、12−ヒドロキシステアリン酸、1,2,3,4−ジベンジリデン−D−ソルビトール及びその誘導体等が挙げられる。 Further, as the thixotropic agent, hardened castor oil, fatty acid amide, natural fats and oils, synthetic fats and oils, N, N′-ethylenebis-12-hydroxystearylamide, 12-hydroxystearic acid, 1,2,3,4-dibenzylidene- Examples include D-sorbitol and its derivatives.
また、活性剤としては、ハロゲン化水素酸アミン塩が好ましく、具体的には、トリエタノールアミン、ジフェニルグアニジン、エタノールアミン、ブチルアミン、アミノプロパノール、ポリオキシエチレンオレイルアミン、ポリオキシエチレンラウリルアミン、ポリオキシエチレンステアリルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、メトキシプロピルアミン、ジメチルアミノプロピルアミン、ジブチルアミノプロピルアミン、エチルヘキシルアミン、エトキシプロピルアミン、エチルヘキシルオキシプロピルアミン、ビスプロピルアミン、イソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ピペリジン、2,6−ジメチルピペリジン、アニリン、メチルアミン、エチルアミン、ブチルアミン、3−アミノ−1−プロペン、イソプロピルアミン、ジメチルヘキシルアミン、シクロヘキシルアミン等のアミンの塩化水素酸塩又は臭化水素酸塩が挙げられる。また、この他に有機酸、アミン及びこれらの塩等も用いることができる。 The activator is preferably a hydrohalic acid amine salt, specifically, triethanolamine, diphenylguanidine, ethanolamine, butylamine, aminopropanol, polyoxyethyleneoleylamine, polyoxyethylenelaurylamine, polyoxyethylene. Stearylamine, diethylamine, triethylamine, methoxypropylamine, dimethylaminopropylamine, dibutylaminopropylamine, ethylhexylamine, ethoxypropylamine, ethylhexyloxypropylamine, bispropylamine, isopropylamine, diisopropylamine, piperidine, 2,6-dimethyl Piperidine, aniline, methylamine, ethylamine, butylamine, 3-amino-1-propene, isopropylamine , Dimethyl hexyl amines, hydrochloric acid salt or hydrobromide of an amine such as cyclohexylamine. In addition, organic acids, amines and salts thereof can be used.
ハンダ用フラックスは、上記各成分を所定の割合で混合することにより得られる。フラックス全体量100質量%中に占める溶剤の割合は30〜60質量%、チキソ剤の割合は1〜10質量%、活性剤の割合は0.1〜10質量%とするのが好ましい。溶剤の割合が下限値未満では、フラックスの粘度が高くなりすぎるため、これを用いたハンダ用ペーストの粘度も応じて高くなり、ハンダの充填性低下や塗布ムラが多発する等、印刷性が低下する不具合を生じる場合がある。一方、上限値を越えるとフラックスの粘度が低くなりすぎるため、これを用いたハンダ用ペーストの粘度も応じて低くなることから、ハンダ粉末とフラックス成分が沈降分離する不具合を生じる場合がある。また、チキソ剤の割合が下限値未満では、ハンダ用ペーストの粘度が低くなりすぎるため、ハンダ粉末とフラックス成分が沈降分離するという不具合を生じる場合がある。一方、上限値を越えるとハンダ用ペーストの粘度が高くなりすぎるため、ハンダ充填性や塗布ムラ等の印刷性低下という不具合を生じる場合がある。また、活性剤の割合が下限値未満では、ハンダ粉末が溶融せず、十分な接合強度が得られないという不具合を生じる場合があり、一方、上限値を越えると保管中に活性剤がハンダ粉末と反応し易くなるため、ハンダ用ペーストの保存安定性が低下するという不具合を生じる場合がある。この他、ハンダ用フラックスには、粘度安定剤を添加しても良い。粘度安定剤としては、溶剤に溶解可能なポリフェノール類、リン酸系化合物、硫黄系化合物、トコフェノール、トコフェノールの誘導体、アスコルビン酸、アスコルビン酸の誘導体等が挙げられる。粘度安定剤は、多すぎるとハンダ粉末の溶融性が低下する等の不具合が生じる場合があるため、10質量%以下とするのが好ましい。 The soldering flux can be obtained by mixing the above components at a predetermined ratio. It is preferable that the ratio of the solvent in the total amount of flux of 100% by mass is 30 to 60% by mass, the ratio of the thixotropic agent is 1 to 10% by mass, and the ratio of the activator is 0.1 to 10% by mass. If the solvent ratio is less than the lower limit, the viscosity of the flux will be too high, so the viscosity of the solder paste using this will also increase accordingly, resulting in poor printability, such as poor solder filling and uneven coating. May cause malfunctions. On the other hand, when the upper limit is exceeded, the viscosity of the flux becomes too low, and the viscosity of the solder paste using the flux also decreases accordingly, which may cause a problem that the solder powder and the flux component settle and separate. In addition, when the ratio of the thixotropic agent is less than the lower limit, the viscosity of the solder paste becomes too low, which may cause a problem that the solder powder and the flux component are settled and separated. On the other hand, when the upper limit is exceeded, the viscosity of the solder paste becomes too high, which may cause problems such as poor solderability and poor printability such as coating unevenness. In addition, if the ratio of the activator is less than the lower limit value, the solder powder may not be melted and a sufficient bonding strength may not be obtained. On the other hand, if the upper limit value is exceeded, the activator may become solder powder during storage. This may cause a problem that the storage stability of the solder paste is lowered. In addition, a viscosity stabilizer may be added to the solder flux. Examples of the viscosity stabilizer include polyphenols that can be dissolved in a solvent, phosphoric acid compounds, sulfur compounds, tocophenols, tocophenol derivatives, ascorbic acid, ascorbic acid derivatives, and the like. If there are too many viscosity stabilizers, problems such as a decrease in the meltability of the solder powder may occur.
ハンダ用ペーストを調製する際のハンダ用フラックスの混合量は、調製後のペースト100質量%中に占める該フラックスの割合が5〜30質量%になる量にするのが好ましい。下限値未満ではフラックス不足でペースト化が困難になり、一方、上限値を越えるとペースト中のフラックスの含有割合が多すぎて金属の含有割合が少なくなってしまい、ハンダ溶融時に所望のサイズのハンダバンプを得るのが困難になるからである。 The amount of solder flux mixed when preparing the solder paste is preferably such that the proportion of the flux in 100% by mass of the prepared paste is 5 to 30% by mass. If it is less than the lower limit, it becomes difficult to form a paste due to insufficient flux, while if it exceeds the upper limit, the content of the flux in the paste is too high and the content of metal is reduced, and solder bumps of the desired size when melting the solder This is because it becomes difficult to obtain.
このハンダ用ペーストは、上記本発明のハンダ粉末を材料としているため、リフロー時の溶融が速く、溶融性に優れる一方、リフロー後は、溶融するハンダ粉末が融点の高い金属間化合物を形成し、耐熱性が上昇するため、熱による再溶融が起こりにくい。このため、本発明のハンダ用ペーストは、高温雰囲気に晒される電子部品等の実装に好適に用いることができる。 Since this solder paste is made of the above-described solder powder of the present invention, melting at the time of reflow is fast and excellent in meltability, and after reflow, the melting solder powder forms an intermetallic compound having a high melting point, Since heat resistance increases, remelting due to heat hardly occurs. For this reason, the solder paste of the present invention can be suitably used for mounting electronic components exposed to a high temperature atmosphere.
〔ハンダ用ペーストを用いた電子部品の実装方法と接合体〕
上記方法で調製されたハンダ用ペーストを用いてシリコンチップ、LEDチップ等の電子部品を各種放熱基板、FR4(Flame Retardant Type 4)基板、コバール等の基板に実装するには、ピン転写法にて上記基板の所定位置にハンダ用ペーストを転写するか、又は印刷法により所定位置にハンダ用ペーストを印刷する。次いで、転写又は印刷されたペースト上に電子部品であるチップ素子を搭載する。この状態で、リフロー炉にて窒素雰囲気中、250〜400℃の温度で、5〜120分間保持して、ハンダ粉末をリフローする。場合によっては、チップと基板とを加圧しながら接合してもよい。これにより、チップ素子と基板とを接合させて接合体を得て、電子部品を基板に実装する。
[Electronic component mounting method and joint using solder paste]
To mount electronic parts such as silicon chips and LED chips on various heat dissipation boards, FR4 (Flame Retardant Type 4) boards, and Kovar boards using the solder paste prepared by the above method, use the pin transfer method. The solder paste is transferred to a predetermined position of the substrate, or the solder paste is printed at a predetermined position by a printing method. Next, a chip element which is an electronic component is mounted on the transferred or printed paste. In this state, the solder powder is reflowed by holding in a reflow furnace in a nitrogen atmosphere at a temperature of 250 to 400 ° C. for 5 to 120 minutes. In some cases, the chip and the substrate may be joined while being pressed. Thus, the chip element and the substrate are bonded to obtain a bonded body, and the electronic component is mounted on the substrate.
次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく説明する。 Next, examples of the present invention will be described in detail together with comparative examples.
<実施例1>
実施例1では、銅粉末への錫湿式被覆法により、ハンダ粉末を製造した。先ず、水50mLに平均粒径が1.0μmであって平均粒径のスパン値が0.9である銅粉末2.20gを分散させて第1分散液を調製した。この分散液に塩化錫(II)2.56×10−2molを加え、スターラを用いて回転速度300rpmにて5分間攪拌し、混合液を調製した。この混合液を塩酸にてpHを0.5に調整した後、分散剤としてポリビニルアルコール500(平均分子量が500のポリビニルアルコール)を0.5g加え、更に回転速度300rpmにて10分間攪拌した。次いで、この混合液にpHを0.5に調整した1.58mol/Lの2価クロムイオン水溶液50mLを、添加速度50mL/secにて加え、回転速度500rpmにて10分間攪拌して錫イオンを還元した。この還元により析出した錫が銅粉末を被覆する金属粉末が分散する第2分散液を得た。この分散液を60分間静置して生成した金属粉末を沈降させた後、上澄み液を捨て、ここに水100mLを加えて回転速度300rpmにて10分間攪拌する操作を4回繰返し、洗浄を行った。最後にこれを真空乾燥機にて乾燥することにより、Cu及び金属間化合物Cu3Sn、Cu6Sn5を中心核、Snを被覆層とするハンダ粉末を得た。
<Example 1>
In Example 1, solder powder was manufactured by the tin wet coating method to copper powder. First, 2.20 g of copper powder having an average particle diameter of 1.0 μm and an average particle diameter span value of 0.9 was dispersed in 50 mL of water to prepare a first dispersion. To this dispersion, 2.56 × 10 −2 mol of tin (II) chloride was added and stirred for 5 minutes at a rotational speed of 300 rpm using a stirrer to prepare a mixed solution. After adjusting the pH of this mixed liquid to 0.5 with hydrochloric acid, 0.5 g of polyvinyl alcohol 500 (polyvinyl alcohol having an average molecular weight of 500) was added as a dispersant, and the mixture was further stirred for 10 minutes at a rotation speed of 300 rpm. Next, 50 mL of a 1.58 mol / L divalent chromium ion aqueous solution whose pH was adjusted to 0.5 was added to this mixed solution at an addition rate of 50 mL / sec. Reduced. A second dispersion was obtained in which the metal powder covering the copper powder with the tin deposited by this reduction was dispersed. The dispersion was allowed to stand for 60 minutes to settle the metal powder, and then the supernatant was discarded, 100 mL of water was added thereto, and the mixture was stirred for 10 minutes at a rotational speed of 300 rpm, and washed four times. It was. Finally, this was dried with a vacuum dryer to obtain a solder powder having Cu and intermetallic compounds Cu 3 Sn and Cu 6 Sn 5 as the central core and Sn as the coating layer.
<実施例2〜25、比較例1〜14>
実施例2〜25及び比較例1〜14においても、銅粉末への錫湿式被覆法により、ハンダ粉末を製造した。以下の表1及び表2に示すように、平均粒径及びそのスパン値が異なる銅粉末を用いるか、又は銅粉末の添加量の添加量を調整することにより、ハンダ粉末100質量%中に含まれる銅の割合を変更したこと、ハンダ粉末の平均粒径を所定の粒径に制御したこと以外は、実施例1と同様にしてハンダ粉末を得た。
<Examples 2 to 25 and Comparative Examples 1 to 14>
Also in Examples 2 to 25 and Comparative Examples 1 to 14, solder powder was produced by a tin wet coating method on copper powder. As shown in Tables 1 and 2 below, copper powders having different average particle diameters and span values are used, or the amount of copper powder added is adjusted to be included in 100% by mass of solder powder. A solder powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the ratio of copper to be used was changed and the average particle size of the solder powder was controlled to a predetermined particle size.
<比較例15>
比較例15では、中心核と錫被覆層の湿式逐次析出法により、ハンダ粉末を製造した。先ず、水50mLに塩化銅(II)を3.46×10−2mol、塩化錫(II)を2.56×10−2mol加え、スターラを用いて回転速度300rpmにて5分間攪拌し、溶解液を調製した。この溶解液を塩酸にてpHを0.5に調整した後、分散剤としてポリビニルアルコール500(平均分子量が500のポリビニルアルコール)を0.5g加え、更に回転速度300rpmにて10分間攪拌した。次いで、この溶解液にpHを0.5に調整した1.58mol/Lの2価クロムイオン水溶液50mLを、添加速度50mL/secにて加え、回転速度500rpmにて10分間攪拌して各金属イオンを還元し、液中に金属粉末が分散する分散液を得た。この分散液を60分間静置して生成した金属粉末を沈降させた後、上澄み液を捨て、ここに水100mLを加えて回転速度300rpmにて10分間攪拌する操作を4回繰返し、洗浄を行った。その後、エチレングリコール100mLを加えて分散させ、回転速度300rpmにて攪拌しながら120℃で30分加熱を行った。加熱後、再び分散液を60分間静置して加熱した金属粉末を沈降させた後、上澄み液を捨て、ここに水100mLを加えて回転速度300rpmにて10分間攪拌する操作を4回繰返し、洗浄を行った。最後にこれを真空乾燥機にて乾燥することにより、Cu及び金属間化合物Cu3Sn、Cu6Sn5を中心核、Snを被覆層とするハンダ粉末を得た。
<Comparative Example 15>
In Comparative Example 15, solder powder was produced by a wet sequential deposition method of a central core and a tin coating layer. First, 3.46 × 10 −2 mol of copper (II) chloride and 2.56 × 10 −2 mol of tin (II) chloride were added to 50 mL of water, and the mixture was stirred for 5 minutes at a rotation speed of 300 rpm using a stirrer. A lysis solution was prepared. After adjusting the pH of this solution to 0.5 with hydrochloric acid, 0.5 g of polyvinyl alcohol 500 (polyvinyl alcohol having an average molecular weight of 500) was added as a dispersant, and the mixture was further stirred for 10 minutes at a rotation speed of 300 rpm. Next, 50 mL of a 1.58 mol / L divalent chromium ion aqueous solution whose pH was adjusted to 0.5 was added to this solution at an addition rate of 50 mL / sec and stirred for 10 minutes at a rotational speed of 500 rpm. To obtain a dispersion in which the metal powder is dispersed in the liquid. The dispersion was allowed to stand for 60 minutes to settle the metal powder, and then the supernatant was discarded, 100 mL of water was added thereto, and the mixture was stirred for 10 minutes at a rotational speed of 300 rpm, and washed four times. It was. Thereafter, 100 mL of ethylene glycol was added and dispersed, and the mixture was heated at 120 ° C. for 30 minutes while stirring at a rotation speed of 300 rpm. After heating, the dispersion was allowed to stand again for 60 minutes to settle the heated metal powder, and then the supernatant was discarded, 100 mL of water was added thereto, and the operation of stirring at a rotational speed of 300 rpm for 10 minutes was repeated four times. Washing was performed. Finally, this was dried with a vacuum dryer to obtain a solder powder having Cu and intermetallic compounds Cu 3 Sn and Cu 6 Sn 5 as the central core and Sn as the coating layer.
<比較例16〜19>
比較例16〜19においても、中心核と錫被覆層の湿式逐次析出法により、ハンダ粉末を製造した。以下の表3に示すように、塩化銅(II)の添加量又は塩化錫(II)の添加量を調整することにより、ハンダ粉末100質量%中に含まれる銅及び錫の割合を変更したこと、ハンダ粉末の平均粒径を所定の粒径に制御したこと以外は、比較例15と同様にしてハンダ粉末を得た。
<Comparative Examples 16-19>
Also in Comparative Examples 16 to 19, solder powder was produced by the wet sequential deposition method of the central core and the tin coating layer. As shown in Table 3 below, the ratio of copper and tin contained in 100% by mass of solder powder was changed by adjusting the amount of copper (II) chloride or the amount of tin (II) chloride added. A solder powder was obtained in the same manner as in Comparative Example 15 except that the average particle size of the solder powder was controlled to a predetermined particle size.
<比較試験及び評価>
実施例1〜25及び比較例1〜19で用いた銅粉末と、前記実施例及び比較例で得られたハンダ粉末について、ハンダ粉末の構造、銅粉末及びハンダ粉末の各平均粒径、及びそれぞれの粒度分布のばらつき(スパン値)を以下に示す方法で測定した。またハンダ粉末の製造ロット間の平均粒径の変動係数及びハンダ粉末中の錫と銅の含有割合を以下に示す方法で測定した。これらの結果を以下の表1〜表3に示す。また、これらのハンダ粉末を用いてハンダ用ペーストをそれぞれ調製し、リフロー時の最大保持温度を変えたときの接合強度を評価した。これらの結果を以下の表4〜表10に示す。
<Comparison test and evaluation>
About the copper powder used in Examples 1-25 and Comparative Examples 1-19, and the solder powder obtained in the Examples and Comparative Examples, the structure of the solder powder, the average particle diameter of the copper powder and the solder powder, and each The particle size distribution variation (span value) was measured by the following method. Further, the coefficient of variation of the average particle diameter between solder powder production lots and the content ratio of tin and copper in the solder powder were measured by the following methods. These results are shown in Tables 1 to 3 below. In addition, solder pastes were prepared using these solder powders, and the bonding strength when the maximum holding temperature during reflow was changed was evaluated. These results are shown in Tables 4 to 10 below.
(1) ハンダ粉末の構造については、粉末X線回折装置(リガク社製:RINT Ultima+/PC)にて分析した。 (1) The structure of the solder powder was analyzed by a powder X-ray diffractometer (manufactured by Rigaku Corporation: RINT Ultimate + / PC).
(2) 銅粉末の粒径の平均粒径及び粒度分布のばらつき(スパン値)については、レーザー回折散乱法を用いた粒度分布測定装置(堀場製作所社製、レーザー回折/散乱式粒子径分布測定装置LA−950)にて銅粉末の粒度分布を測定することにより行った。平均粒径は、D50により求め、スパン値は、(D90−D10)/D50の式から求めた。 (2) Regarding the dispersion of the average particle size and the particle size distribution (span value) of the copper powder, the particle size distribution measuring device using laser diffraction scattering method (manufactured by Horiba, Ltd., laser diffraction / scattering type particle size distribution measurement) The measurement was performed by measuring the particle size distribution of the copper powder with an apparatus LA-950). The average particle size is determined by D 50, span values were determined from the equation (D 90 -D 10) / D 50.
(3) ハンダ粉末の粒径の平均粒径、粒度分布のばらつき(スパン値)及び製造ロット間の平均粒径の変動係数については、レーザー回折散乱法を用いた上記と同じ粒度分布測定装置にてハンダ粉末の粒度分布を測定することにより行った。平均粒径は、D50により求め、スパン値は、(D90−D10)/D50の式から求めた。製造ロット間の平均粒径の変動係数は、D50_dev/D50_aveの式から求めた。D50_aveは、製造した5ロットにおける平均粒径の平均値をいい、D50_devは、製造した5ロットにおける平均粒径の標準偏差をいう。 (3) For the average particle size of solder powder, variation in particle size distribution (span value), and coefficient of variation of average particle size between production lots, use the same particle size distribution measuring apparatus as described above using the laser diffraction scattering method. This was done by measuring the particle size distribution of the solder powder. The average particle size is determined by D 50, span values were determined from the equation (D 90 -D 10) / D 50. The coefficient of variation of the average particle diameter between production lots was determined from the formula D 50 —dev / D 50 —ave . D 50 — ave refers to the average value of the average particle diameter in the five manufactured lots, and D 50 — dev refers to the standard deviation of the average particle diameter in the five manufactured lots.
なお、上記(2)及び(3)において、上記D10、D50及びD90は粒度分布測定結果の(積算粒子量曲線において、その積算量が10%、50%、90%を占めるときの粒子径を表す。 In the above (2) and (3), D 10 , D 50 and D 90 are the particle size distribution measurement results (when the integrated amount occupies 10%, 50% and 90% in the integrated particle amount curve). Represents the particle size.
(4) ハンダ粉末中の錫と銅の含有割合については、誘導結合プラズマ発光分光分析(島津製作所社製 ICP発光分析装置:ICPS−7510)により求めた。 (4) The content ratio of tin and copper in the solder powder was determined by inductively coupled plasma emission spectroscopic analysis (ICP emission analyzer: ICPS-7510 manufactured by Shimadzu Corporation).
(5) 接合強度については、次の方法により求めた。先ず、溶剤として50質量%のジエチレングリコールモノヘキシルエーテルと、ロジンとして46質量%の重合ロジン(軟化点95℃)と、活性剤としてシクロヘキシルアミン臭化水素酸塩1.0質量%と、チキソ剤として硬化ひまし油3.0質量%とを混合してフラックスを調製した。次に、このフラックスと、実施例1〜20及び比較例1〜14で得られたハンダ粉末とを、フラックスを88質量%、ハンダ粉末を12質量%の割合で混合してハンダ用ペーストをそれぞれ調製した。 (5) The bonding strength was determined by the following method. First, 50% by mass of diethylene glycol monohexyl ether as a solvent, 46% by mass of polymerized rosin (softening point 95 ° C.) as rosin, 1.0% by mass of cyclohexylamine hydrobromide as an activator, and thixotropic agent A flux was prepared by mixing 3.0% by mass of hardened castor oil. Next, this flux and the solder powder obtained in Examples 1 to 20 and Comparative Examples 1 to 14 are mixed at a ratio of 88 mass% flux and 12 mass% solder powder, respectively, and solder paste is obtained. Prepared.
上記調製したペーストをピン転写法にて先端部の直径100μmのピンを用いて0.5mm厚のコバール(Fe−Ni−Co系合金)基板の所定位置に転写した。なお、コバール基板上にはNiメッキ、更にその上にAuフラッシュメッキを行った。続いて、転写されたペースト上に0.9mm□のLEDチップを搭載した。更に、加圧用治具を用いて、LEDチップ及び基板とを1.0MPaの圧力で加圧しながら、リフロー炉(SIKAMA社製 Falcon8500)にて窒素雰囲気中、0.5時間、所定の最大保持温度でリフローし、LEDチップとコバール基板とを接合させることにより、接合サンプルを得た。なお、上記リフロー時の最大保持温度を250℃、300℃、350℃の異なる温度に設定し、実施例又は比較例ごとにそれぞれ3つずつ接合サンプルを得た。 The prepared paste was transferred to a predetermined position on a 0.5 mm thick Kovar (Fe—Ni—Co alloy) substrate using a pin having a diameter of 100 μm by a pin transfer method. The Kovar substrate was Ni-plated, and further Au flash-plated. Subsequently, a 0.9 mm □ LED chip was mounted on the transferred paste. Furthermore, while pressing the LED chip and the substrate at a pressure of 1.0 MPa using a pressurizing jig, a predetermined maximum holding temperature for 0.5 hours in a nitrogen atmosphere in a reflow furnace (SIKAMA Falcon 8500) The sample was obtained by reflowing and bonding the LED chip and the Kovar substrate. In addition, the maximum holding temperature at the time of the reflow was set to different temperatures of 250 ° C., 300 ° C., and 350 ° C., and three bonded samples were obtained for each of the examples or comparative examples.
上記接合したコバール基板及びLEDチップとの接合強度について、JIS Z 3198−7に記されている鉛フリーハンダ試験方法−第7部の「チップ部品におけるハンダ接合のシェア強度測定方法」に準拠して、室温及び300℃で0時間及び500時間保持後の接合シェア強度をそれぞれ測定した。また室温におけるシェア強度を100としたときの300℃での0時間及び500時間保持後の相対的シェア強度を求めた。表中、「優」は、相対的シェア強度が90以上であった場合を示し、「良」は、90未満から80以上であった場合を示し、「可」は、80未満から70以上であった場合を示し、「不可」は、70未満であった場合を示す Regarding the bonding strength between the above-mentioned Kovar substrate and the LED chip, in accordance with “Lead-free solder test method described in JIS Z 3198-7—Part 7:“ Measurement method of shear strength of solder joint in chip parts ” The joint shear strength after holding at room temperature and 300 ° C. for 0 hour and 500 hours was measured, respectively. Further, the relative shear strength after holding at 300 ° C. for 0 hour and 500 hours when the shear strength at room temperature was 100 was determined. In the table, “excellent” indicates a case where the relative share strength is 90 or more, “good” indicates a case where it is less than 90 to 80 or more, and “good” indicates less than 80 to 70 or more. Indicates that there was a case, “impossible” indicates a case where it was less than 70
表3〜表10から実施例1〜25と比較例1〜19とを比較すると次のことが分かった。 From Tables 3 to 10, the following was found when Examples 1 to 25 and Comparative Examples 1 to 19 were compared.
(1) ハンダ粉末の構造
実施例1〜25及び比較例1〜19で得られたすべてのハンダ粉末は、中心核がCu及びCu3Sn、Cu6Sn5で形成され、この中心核がSnで被覆されていた。
(1) Structure of solder powder All the solder powders obtained in Examples 1 to 25 and Comparative Examples 1 to 19 have a central core formed of Cu, Cu 3 Sn, and Cu 6 Sn 5 , and the central core is Sn. It was covered with.
(2) 銅粉末及びハンダ粉末の各平均粒径と接合強度
銅粉末への錫湿式被覆法により、ハンダ粉末を製造したときの銅粉末の平均粒径が0.5μmの比較例5〜9では、ハンダ粉末の平均粒径が0.52〜0.60μmとなって比表面積が大きくなり、粉末に占める表面の酸化膜の比率が増大し、これによりハンダが溶融しなかった。この結果、初期(0時間、300℃)の接合が不良であり、接合強度を判定できなかった。また銅粉末への錫湿式被覆法により、ハンダ粉末を製造したときの銅粉末の平均粒径が30.0μmの比較例10〜14では、ハンダ粉末の平均粒径が31.3〜36.0μmとなり、300℃での500時間保持後の相対的シェア強度が50〜69と低くなったことから、500時間保持後の接合強度の評価判定が全て「不可」となった。これに対して、銅粉末への錫湿式被覆法により、ハンダ粉末を製造したときの銅粉末の平均粒径が1〜24μmであって、ハンダ粉末の平均粒径が1〜30μmの実施例1〜25では、相対的シェア強度が向上し、高温雰囲気における接合強度についての評価の0時間及び500時間保持後の判定が全て「可」、「良」又は「優」と良好な結果が得られた。特に銅粉末の平均粒径が1.0μmの実施例1〜5及び平均粒径が24.0μmの実施例21〜24では、高温雰囲気における接合強度についての評価の0時間及び500時間保持後の判定が全て「可」であったのに対して、平均粒径が2.0〜10.0μmの実施例6〜20では、上記判定が全て「可」、「良」又は「優」と良好な結果が得られた。
(2) In Comparative Examples 5 to 9 where the average particle size of the copper powder and the solder powder was 0.5 μm when the solder powder was produced by the tin wet coating method on the copper powder. The average particle size of the solder powder was 0.52 to 0.60 μm, the specific surface area was increased, the ratio of the oxide film on the surface to the powder was increased, and the solder was not melted. As a result, the initial (0 hour, 300 ° C.) bonding was poor, and the bonding strength could not be determined. Further, in Comparative Examples 10 to 14 in which the average particle size of the copper powder was 30.0 μm when the solder powder was manufactured by the tin wet coating method on the copper powder, the average particle size of the solder powder was 31.3 to 36.0 μm. Thus, since the relative shear strength after holding at 300 ° C. for 500 hours was as low as 50 to 69, all the evaluation judgments of the bonding strength after holding for 500 hours were “impossible”. On the other hand, Example 1 in which the average particle diameter of the copper powder when the solder powder is produced by the wet tin coating method on the copper powder is 1 to 24 μm, and the average particle diameter of the solder powder is 1 to 30 μm. ˜25, the relative shear strength is improved, and all the judgments after holding for 0 hour and 500 hours of evaluation of the bonding strength in a high temperature atmosphere are “good”, “good” or “excellent”. It was. Particularly in Examples 1 to 5 in which the average particle diameter of the copper powder is 1.0 μm and Examples 21 to 24 in which the average particle diameter is 24.0 μm, the evaluation of the bonding strength in a high-temperature atmosphere is performed for 0 hour and 500 hours after holding. While all the judgments were “good”, in Examples 6 to 20 in which the average particle diameter was 2.0 to 10.0 μm, all of the above judgments were “good”, “good” or “excellent”. Results were obtained.
(3) 銅粉末の粒度分布のばらつき(スパン値)と接合強度
銅粉末への錫湿式被覆法により、ハンダ粉末を製造した比較例5〜9では、銅粉末の粒度分布のばらつき(スパン値)が1.0であったため、各粒子中の錫と銅の含有割合にばらつきが生じ、このハンダ粉末を用いたハンダペーストにより得られるハンダバンプ及びハンダコートにおいて溶融ムラ及び溶融不良を生じることに起因して、ハンダが溶融しなかった。この結果、初期(0時間、300℃)の接合が不良であり、接合強度を判定できなかった。これに対して、銅粉末への錫湿式被覆法により、ハンダ粉末を製造したハンダ粉末の粒度分布のばらつき(スパン値)が1.0未満の実施例1〜25では、相対的シェア強度が向上し、高温雰囲気における接合強度についての評価の0時間及び500時間保持後の判定が全て「可」、「良」又は「優」と良好な結果が得られた。
(3) Particle size distribution variation (span value) and bonding strength of copper powder In Comparative Examples 5 to 9 in which solder powder was manufactured by a tin wet coating method on copper powder, particle size distribution variation (span value) of copper powder This is because the content ratio of tin and copper in each particle varies, resulting in uneven melting and poor melting in solder bumps and solder coats obtained by solder paste using this solder powder. The solder did not melt. As a result, the initial (0 hour, 300 ° C.) bonding was poor, and the bonding strength could not be determined. In contrast, in Examples 1 to 25 in which the dispersion (span value) of the particle size distribution of the solder powder produced by the tin wet coating method on the copper powder is less than 1.0, the relative shear strength is improved. In addition, all the determinations after holding for 0 hour and 500 hours in the evaluation of the bonding strength in a high temperature atmosphere were all “good”, “good” or “excellent”.
(4) 製造ロット間の平均粒径の変動係数と接合強度
銅粉末への錫湿式被覆法により、ハンダ粉末を製造した比較例5〜9では、銅粉末のスパン値が1.0であり、その粒度分布のばらつきが大きかったため、製造ロット間の平均粒径の変動係数が0.18となった。また中心核と錫被覆層の湿式逐次析出法により、ハンダ粉末を製造した比較例15〜19では、中心核の生成又は成長速度及び錫被覆層の成長速度が液温や液の攪拌速度等の粉末合成条件に大きく依存し、これにより製造ロット間での液温及び液の攪拌速度等の粉末合成条件のばらつきを抑制することが困難となり、平均粒径の変動係数が0.30となった。このため比較例5〜9及び比較例15〜19では、各粒子中の錫と銅の含有割合にばらつきが生じ、このハンダ粉末を用いたハンダペーストにより得られるハンダバンプ及びハンダコートにおいて溶融ムラ及び溶融不良を生じることに起因して、ハンダが溶融しなかった。この結果、初期(0時間、300℃)の接合が不良であり、接合強度を判定できなかった。
(4) Coefficient of variation of average particle diameter between production lots and bonding strength In Comparative Examples 5 to 9 in which solder powder was produced by a tin wet coating method on copper powder, the span value of the copper powder was 1.0, Since the dispersion of the particle size distribution was large, the variation coefficient of the average particle size between production lots was 0.18. Further, in Comparative Examples 15 to 19 in which the solder powder was manufactured by the wet sequential deposition method of the central core and the tin coating layer, the generation speed or growth speed of the central core and the growth speed of the tin coating layer are the liquid temperature, the liquid stirring speed, etc. This greatly depends on the powder synthesis conditions, which makes it difficult to suppress variations in the powder synthesis conditions such as the liquid temperature and the liquid stirring speed among production lots, and the coefficient of variation of the average particle size is 0.30. . For this reason, in Comparative Examples 5 to 9 and Comparative Examples 15 to 19, variation occurs in the content ratios of tin and copper in each particle, and in the solder bumps and solder coats obtained by the solder paste using this solder powder, melting unevenness and melting The solder did not melt due to the failure. As a result, the initial (0 hour, 300 ° C.) bonding was poor, and the bonding strength could not be determined.
(5) ハンダ粉末中の錫と銅の含有割合
銅粉末への錫湿式被覆法により製造したハンダ粉末における銅の含有割合が40質量%である比較例1及び比較例3では、凝固開始温度が低くなったためにハンダが再溶融し、300℃での500時間保持後の相対的シェア強度が54〜69と低くなったことから、500時間保持後の接合強度の評価判定が全て「不可」となった。一方、同じ方法で製造したハンダ粉末における銅の含有割合が70質量%を超える比較例2及び比較例4では、凝固開始温度が高くなりすぎたためにリフロー時にハンダ粉末が溶融せず、十分な接合が得られなかったことから、接合シェア強度が測定できず、500時間保持後の接合強度の評価判定が全て「不可」となった。これに対して、同じ方法で製造したハンダ粉末における銅の含有割合が40質量%を超え70質量%以下の実施例1〜25では、相対的シェア強度が向上し、高温雰囲気における接合強度についての評価の0時間及び500時間保持後の判定が全て「可」、「良」又は「優」と良好な結果が得られた。
(5) Content ratio of tin and copper in solder powder In Comparative Example 1 and Comparative Example 3 in which the content ratio of copper in the solder powder produced by the wet coating method of tin on the copper powder is 40% by mass, the solidification start temperature is Since the solder was remelted because it became lower and the relative shear strength after holding at 300 ° C. for 500 hours decreased to 54 to 69, the evaluation judgment of the joint strength after holding for 500 hours was all “impossible” became. On the other hand, in Comparative Example 2 and Comparative Example 4 in which the copper content in the solder powder manufactured by the same method exceeds 70% by mass, the soldering powder does not melt at the time of reflow because the solidification start temperature is too high. Therefore, the joint shear strength could not be measured, and all the joint strength evaluation judgments after holding for 500 hours were “impossible”. On the other hand, in Examples 1 to 25 in which the copper content in the solder powder produced by the same method exceeds 40% by mass and is 70% by mass or less, the relative shear strength is improved, and the bonding strength in a high-temperature atmosphere is increased. A good result was obtained that all the judgments after the evaluation were held for 0 hour and 500 hours were “OK”, “Good” or “Excellent”.
本発明の方法で製造されたハンダ粉末は、高温雰囲気に晒される電子部品の実装に好適に利用できる。 The solder powder produced by the method of the present invention can be suitably used for mounting electronic components exposed to a high temperature atmosphere.
10 ハンダ粉末
11 中心核
12 被覆層
10 Solder powder 11 Central core 12 Coating layer
Claims (4)
錫の金属塩を前記銅粉末の第1分散液に添加混合して前記錫の金属塩が溶解し前記銅粉末が分散する混合液を調製する第2工程と、
前記混合液のpHを0.1〜2.0に調整する第3工程と、
前記pH調整した混合液に還元剤を添加し、混合することにより、錫イオンが還元され、析出した錫が前記銅粉末を被覆する第2分散液を調製する第4工程と、
前記第2分散液を固液分離し、前記固液分離した固形分を乾燥してハンダ粉末を得る第5工程とを含み、
前記第1工程において前記ハンダ粉末の全体量100質量%に対し、前記銅粉末を銅の含有割合が40質量%を超え70質量%以下になるように添加し、かつ前記第2工程において前記錫の金属塩を錫の含有割合が30質量%以上60質量%未満になるように添加して、中心核と前記中心核を被覆する被覆層で構成され、前記中心核が銅及び銅と錫との金属間化合物からなり、前記被覆層が錫からなる、平均粒径が1〜30μmの範囲にありかつ前記平均粒径の変動係数が0.15以下であるハンダ粉末を製造する方法。
ただし、前記銅粉末の粒度分布のスパン値とは、その粒度分布測定結果の積算粒子量曲線において、その積算量が10%、50%、90%を占めるときの粒子径D10、D50、D90より、式(D90−D10)/D50から求められる粒度分布のばらつきを表す指標となる値をいい、前記第1工程から前記第5工程までを同一設備で一連の工程で行って製造される一群のハンダ粉末の製造ロットを1ロットとするとき、前記平均粒径の変動係数とは、前記製造ロットが5ロットのときの前記平均粒径の標準偏差を前記平均粒径で除した値をいう。 A first step of preparing a first dispersion by dispersing a copper powder having an average particle size in the range of 1 to 24 μm and a span value of the particle size distribution of less than 1.0 in a solvent;
A second step of adding a tin metal salt to the first dispersion of the copper powder to prepare a mixed solution in which the tin metal salt is dissolved and the copper powder is dispersed;
A third step of adjusting the pH of the mixed solution to 0.1 to 2.0;
A fourth step of preparing a second dispersion in which tin ions are reduced by adding a reducing agent to the pH-adjusted mixture and mixing, and the precipitated tin covers the copper powder;
And a fifth step of solid-liquid separating the second dispersion, and drying the solid-liquid separated solid to obtain a solder powder.
In the first step, the copper powder is added so that the copper content is more than 40% by mass and less than 70% by mass with respect to the total amount of the solder powder of 100% by mass, and in the second step, the tin powder is added. and a metal salt and added pressure, as the content of tin is less than 30 wt% to 60 wt%, is composed of a coating layer which covers the central core of the central core, the central core is copper and copper and tin A solder powder having an average particle diameter in the range of 1 to 30 μm and a coefficient of variation of the average particle diameter of 0.15 or less.
However, the span value of the particle size distribution of the copper powder is the particle diameter D 10 , D 50 when the accumulated amount occupies 10%, 50%, 90% in the accumulated particle amount curve of the particle size distribution measurement result, than D 90, it refers to a value as an index representing the variation in the particle size distribution obtained from the equation (D 90 -D 10) / D 50, carried out in a series of steps in the same equipment up to the fifth step from the first step when the production lot of a group of solder powder and one lot to be manufactured Te, wherein the variation coefficient of the average particle diameter, the standard deviation of the average particle diameter when the production lot is 5 lots said average particle size The value divided by.
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