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JP6430754B2 - Method for producing graphene film, graphene film and laminate using the same - Google Patents
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Method for producing graphene film, graphene film and laminate using the same Download PDF

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Description

本発明は、グラフェン膜の製造方法、並びにグラフェン膜及びこれを用いた積層体に関する。   The present invention relates to a method for producing a graphene film, a graphene film, and a laminate using the same.

グラフェンは、1炭素原子の厚さのsp結合を形成する炭素原子から構成されるシート状の二次元材料であり、化学気相成長法により製造されることが多い。しかし、この製造方法では、1000℃の高温と触媒が必要で、また続いて転写プロセスも必要とする。これに対して、より簡易な方法として、グラファイトの酸化により得られる酸化グラフェンを還元して、グラフェン又はグラフェン膜(グラフェン薄膜又はグラフェン自己保持膜)を製造する方法が検討されている(例えば、非特許文献1、2)。この製造方法により得られるグラフェンは、還元型酸化グラフェンと称されることがある。還元型酸化グラフェン中には、酸化グラフェンが有していた酸素含有官能基の一部が残存していることが多い。そのため、還元型酸化グラフェンは、グラフェンと酸化グラフェンとの中間に位置する材料として位置付けることができる。 Graphene is a sheet-like two-dimensional material composed of carbon atoms forming sp 2 bonds with a thickness of 1 carbon atom, and is often manufactured by chemical vapor deposition. However, this manufacturing method requires a high temperature of 1000 ° C. and a catalyst, and also requires a transfer process. On the other hand, as a simpler method, a method for producing graphene or a graphene film (a graphene thin film or a graphene self-supporting film) by reducing graphene oxide obtained by oxidation of graphite has been studied (for example, non-processing) Patent Documents 1 and 2). Graphene obtained by this production method is sometimes referred to as reduced graphene oxide. In the reduced graphene oxide, part of the oxygen-containing functional group that the graphene oxide has often remains. Therefore, reduced graphene oxide can be positioned as a material positioned between graphene and graphene oxide.

酸化グラフェンの還元による方法は、還元の程度等を調節することでグラフェン膜の電気伝導率を広い範囲で制御できる、グラフェン膜の膜厚等の自由度が高く自己保持性のグラフェン膜の製造が可能である等の点で、化学気相成長法よりも優れている。   The graphene oxide reduction method is capable of controlling the electrical conductivity of the graphene film over a wide range by adjusting the degree of reduction, etc., and producing a graphene film with a high degree of freedom such as the thickness of the graphene film. It is superior to the chemical vapor deposition method in that it is possible.

Advanced Materials Research, 2014, 1004-1005, 1013-1016Advanced Materials Research, 2014, 1004-1005, 1013-1016 Nature Communications 1, Article number: 73, doi:10.1038/ncomms1067Nature Communications 1, Article number: 73, doi: 10.1038 / ncomms1067

しかし、酸化グラフェンの還元により得られるグラフェン膜の電気伝導率は、比較的低いものにとどまっており、より高い電気伝導率を含む広い範囲の電気伝導率を実現できることが望まれる。   However, the electrical conductivity of the graphene film obtained by the reduction of graphene oxide is relatively low, and it is desired that a wide range of electrical conductivity including higher electrical conductivity can be realized.

そこで本発明の主な目的は、酸化グラフェンの還元により、高い電気伝導率を含む広い範囲の電気伝導率を有するグラフェン膜の製造を可能にすることにある。   Therefore, a main object of the present invention is to enable the production of graphene films having a wide range of electric conductivity including high electric conductivity by reduction of graphene oxide.

本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究したところ、アルコール及びヨウ化水素を組み合わせることで、従来の還元型酸化グラフェン膜と比較して非常に高い電気伝導率を有するグラフェン膜を製造できることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventor has intensively studied to solve the above problems, and by combining alcohol and hydrogen iodide, manufactures a graphene film having a very high electric conductivity compared with a conventional reduced graphene oxide film. The present inventors have found that this can be done and have completed the present invention.

すなわち、本発明は、酸素含有官能基を有する酸化グラフェンを含む酸化グラフェン膜をヨウ化水素及びアルコールを含む流体と接触させて、前記酸化グラフェン膜中の前記酸素含有官能基の一部又は全部を還元する工程を備える、グラフェン膜の製造方法を提供する。   That is, according to the present invention, a part or all of the oxygen-containing functional group in the graphene oxide film is obtained by contacting a graphene oxide film containing graphene oxide having an oxygen-containing functional group with a fluid containing hydrogen iodide and alcohol. Provided is a method for producing a graphene film, which includes a reduction step.

上記流体における、アルコールの体積に対するヨウ化水素の体積の比が0.4未満であってもよい。このように少量のヨウ化水素であっても、上記方法によれば効率的にグラフェン膜を製造することができる。   The ratio of the volume of hydrogen iodide to the volume of alcohol in the fluid may be less than 0.4. Thus, even with a small amount of hydrogen iodide, a graphene film can be efficiently produced according to the above method.

上記流体の圧力は、アルコールの臨界圧力以下であってもよい。このような温和な条件であっても、上記方法によれば効率的にグラフェン膜を製造することができる。   The pressure of the fluid may be lower than the critical pressure of alcohol. Even under such mild conditions, the graphene film can be efficiently produced according to the above method.

別の側面において、本発明は、酸素含有官能基を有する酸化グラフェンを含むグラフェン膜を提供する。本発明の一側面に係るグラフェン膜は下記式(1)を満たすシート抵抗Rs(kΩ/□)を有する。
Rs≦0.15×T+1.44×10×(103−T)−4.3 (1)
(T:グラフェン膜の厚み方向における光透過率(%))
In another aspect, the present invention provides a graphene film including graphene oxide having an oxygen-containing functional group. The graphene film according to one aspect of the present invention has a sheet resistance Rs (kΩ / □) that satisfies the following formula (1).
Rs ≦ 0.15 × T + 1.44 × 10 7 × (103−T) −4.3 (1)
(T: light transmittance (%) in the thickness direction of the graphene film)

さらに別の側面において、本発明は、絶縁性基板と、前記絶縁性基板上に設けられた上記グラフェン膜と、を備える、積層体を提供する。本発明に係るグラフェン膜は、絶縁性基板上であっても、容易に形成されることができる。   In still another aspect, the present invention provides a laminate including an insulating substrate and the graphene film provided on the insulating substrate. The graphene film according to the present invention can be easily formed even on an insulating substrate.

本発明によれば、酸化グラフェンの還元により、高い電気伝導率を含む広い範囲の電気伝導率を有するグラフェン膜の製造を可能にすることができる。本発明の方法にも用いられるヨウ化水素は、ヒドラジン等の他の還元剤と比較して安全性が高く、取り扱いが容易である。しかも、ヨウ化水素の使用量を少なくすることが可能であり、環境負荷が低減されることも期待できる。   According to the present invention, the reduction of graphene oxide can make it possible to produce a graphene film having a wide range of electrical conductivity including high electrical conductivity. Hydrogen iodide used in the method of the present invention is safer and easier to handle than other reducing agents such as hydrazine. In addition, it is possible to reduce the amount of hydrogen iodide used, and it can be expected that the environmental load will be reduced.

実施例1のグラフェン膜及び酸化グラフェン膜のXRDスペクトルである。横軸は回折角(2θ)、縦軸はピーク強度を示す。2 is an XRD spectrum of the graphene film and the graphene oxide film of Example 1. FIG. The horizontal axis indicates the diffraction angle (2θ), and the vertical axis indicates the peak intensity. 実施例1のグラフェン膜及び酸化グラフェン膜の熱重量変化スペクトルである。横軸は温度、縦軸は質量残存率を示す。It is a thermogravimetric change spectrum of the graphene film and graphene oxide film of Example 1. The horizontal axis represents temperature, and the vertical axis represents mass residual ratio. 実施例1のグラフェン膜及びグラファイトのラマンスペクトルである。横軸はラマンシフト、縦軸はピーク強度を示す。It is a Raman spectrum of the graphene film of Example 1 and graphite. The horizontal axis indicates the Raman shift, and the vertical axis indicates the peak intensity. 実施例2及び比較例3のグラフェン膜の光透過率に対するシート抵抗を示すグラフである。横軸は光透過率(T)、縦軸はシート抵抗(Rs)を示す。破線はRs=0.15×T+1.44×10×(103−T)−4.3の曲線を示す。It is a graph which shows the sheet resistance with respect to the light transmittance of the graphene film of Example 2 and Comparative Example 3. The horizontal axis represents light transmittance (T), and the vertical axis represents sheet resistance (Rs). A broken line shows the curve of Rs = 0.15 * T + 1.44 * 10 < 7 > * (103-T) -4.3 .

以下、本発明の好適な実施形態について説明する。ただし、本発明は下記実施形態に何ら限定されるものではない。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. However, the present invention is not limited to the following embodiment.

本明細書において、「酸化グラフェン膜」は、グラファイトの酸化により形成された酸化グラフェンを成膜したときに形成される膜を意味する。「グラフェン膜」とは、酸化グラフェン膜中の酸素含有官能基の一部又は全部を還元することによって形成される膜を意味し、「還元型酸化グラフェン膜」と称されることもある。グラフェン膜は、還元されずに残存する酸素含有官能基を有する酸化グラフェンを含み得る。酸化グラフェン膜及びグラフェン膜は、薄膜(酸化グラフェン薄膜若しくはグラフェン薄膜)、又は自己保持膜(酸化グラフェン自己保持膜若しくはグラフェン自己保持膜)であり得る。「薄膜」は、基板上に形成された、自己で膜の形態を保持できない態様の膜を意味する。「自己保持膜」は、基板無しに自己で膜の形態を保持できる膜を意味する。グラフェン自己保持膜は、複数のグラフェン薄膜から構成される積層体であり得る。   In this specification, “graphene oxide film” means a film formed when a graphene oxide formed by oxidation of graphite is formed. The “graphene film” means a film formed by reducing part or all of the oxygen-containing functional group in the graphene oxide film, and may be referred to as “reduced graphene oxide film”. The graphene film may include graphene oxide having oxygen-containing functional groups that remain without being reduced. The graphene oxide film and the graphene film can be a thin film (graphene oxide thin film or graphene thin film) or a self-supporting film (graphene oxide self-supporting film or graphene self-supporting film). The “thin film” means a film formed on a substrate in a mode in which the film cannot be maintained by itself. The “self-holding film” means a film that can hold the film form by itself without a substrate. The graphene self-holding film may be a laminate composed of a plurality of graphene thin films.

グラフェン膜の製造方法
一実施形態に係るグラフェン膜の製造方法は、グラファイトを酸化して、酸素含有官能基を有する酸化グラフェンを得る工程と、酸化グラフェンを含む酸化グラフェン膜を形成する工程と、酸化グラフェン膜中の酸素含有官能基の一部又は全部を還元する工程とを備える。
A graphene film manufacturing method according to an embodiment includes a step of oxidizing graphite to obtain graphene oxide having an oxygen-containing functional group, a step of forming a graphene oxide film containing graphene oxide, and an oxidation And a step of reducing some or all of the oxygen-containing functional groups in the graphene film.

酸化グラフェンは、例えば、非特許文献1に記載のハマーズ法によるグラファイトの酸化によって得ることができる。ハマーズ法は、一般に、グラファイトを過硫酸アンモニウム、五酸化二リン及び硫酸から選ばれる化合物との反応により前処理する工程(第一段階)と、前処理されたグラファイトを硫酸及び強い酸化剤(例えば、過マンガン酸カリウム)で酸化する工程(第二段階)とを含む。通常、前処理後のグラファイトは水で洗浄し、乾燥してから第二段階に供される。第二段階で酸化されたグラファイト(酸化グラフェン)は、過酸化水素、塩酸及び水等により洗浄してもよい。   Graphene oxide can be obtained, for example, by oxidation of graphite by the Hammers method described in Non-Patent Document 1. The Hammers method generally involves pre-treating graphite by reaction with a compound selected from ammonium persulfate, diphosphorus pentoxide and sulfuric acid (first stage), and treating the pre-treated graphite with sulfuric acid and a strong oxidizing agent (eg, A step of oxidizing with potassium permanganate) (second stage). Usually, the pretreated graphite is washed with water and dried before being subjected to the second stage. The graphite oxidized in the second stage (graphene oxide) may be washed with hydrogen peroxide, hydrochloric acid, water, or the like.

酸化グラフェンは、グラファイトを酸化することによって生成した酸素含有官能基を有する。酸素含有官能基は、例えば、エポキシ基(−COC−)、水酸基(−OH)、カルボニル基(−CO−)、及びカルボキシ基(−COOH)から選ばれる少なくとも1種の官能基を含み得る。   Graphene oxide has an oxygen-containing functional group generated by oxidizing graphite. The oxygen-containing functional group can include, for example, at least one functional group selected from an epoxy group (—COC—), a hydroxyl group (—OH), a carbonyl group (—CO—), and a carboxy group (—COOH).

酸化グラフェンを成膜することで、酸化グラフェン自己保持膜を形成することができる。酸化グラフェン自己保持膜は、例えば、酸化グラフェンの分散液を調製し、この分散液をろ過膜によってろ過し、ろ過膜上に形成された膜を乾燥することによって得ることができる。分散液の溶媒としては、水、エタノール等が挙げられる。   By forming graphene oxide, a graphene oxide self-supporting film can be formed. The graphene oxide self-supporting film can be obtained, for example, by preparing a dispersion of graphene oxide, filtering the dispersion through a filtration membrane, and drying the membrane formed on the filtration membrane. Examples of the solvent for the dispersion include water and ethanol.

あるいは、基板上に酸化グラフェン薄膜を形成してもよい。これにより、基板及び該基板上に設けられた酸化グラフェン薄膜を有する積層体を製造することができる。基板上の酸化グラフェン薄膜は、例えば、酸化グラフェンを含む分散液又は溶液を基板に塗布し、塗布された分散液又は溶液を乾燥する方法により、得ることができる。分散液又は溶液を基板に塗布する方法としては、スピンコート法、ディップコート法、スプレー法等が挙げられる。   Alternatively, a graphene oxide thin film may be formed over the substrate. Thereby, the laminated body which has a board | substrate and the graphene oxide thin film provided on this board | substrate can be manufactured. The graphene oxide thin film on the substrate can be obtained, for example, by a method of applying a dispersion or solution containing graphene oxide to the substrate and drying the applied dispersion or solution. Examples of the method for applying the dispersion or solution to the substrate include spin coating, dip coating, and spraying.

基板は、特に制限されないが、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板等の絶縁性基板から選ばれ得る。本実施形態に係る方法は、化学気相成長法における400℃以上(通常は1000℃)のような高温での処理が必ずしも必要としないことから、プラスチック基板のような耐熱性が比較的低い基板を使用することができる。基板の表面を、UVオゾン洗浄機等を用いて予め親水化処理してもよい。   The substrate is not particularly limited, but may be selected from insulating substrates such as a glass substrate, a quartz substrate, and a plastic substrate. The method according to the present embodiment does not necessarily require processing at a high temperature such as 400 ° C. or higher (usually 1000 ° C.) in the chemical vapor deposition method, and therefore a substrate having a relatively low heat resistance such as a plastic substrate. Can be used. The surface of the substrate may be hydrophilized in advance using a UV ozone cleaner or the like.

酸化グラフェン膜の膜厚は、特に制限されないが、酸化グラフェン自己保持膜の場合、例えば、1〜500μmであってもよく、酸化グラフェン薄膜の場合、例えば、0.001μm以上1μm未満であってもよい。   The thickness of the graphene oxide film is not particularly limited, but may be, for example, 1 to 500 μm in the case of a graphene oxide self-supporting film, and may be, for example, 0.001 μm or more and less than 1 μm in the case of a graphene oxide thin film. Good.

酸化グラフェン膜中の酸化グラフェンが有する酸素含有官能基を還元することにより、sp結合の炭素がsp結合の炭素に変換され、還元前の非導電性の酸化グラフェン膜と比較して高い電気伝導性を有するグラフェン膜が形成される。還元工程の前に、酸化グラフェン膜を乾燥しておいてもよい。乾燥は、例えば、減圧又は真空下で45℃以下の加熱により行うことができる。 By reducing the oxygen-containing functional group of the graphene oxide in the graphene oxide film, the sp 3 -bonded carbon is converted to the sp 2 -bonded carbon, which is higher than the non-conductive graphene oxide film before reduction. A conductive graphene film is formed. Prior to the reduction step, the graphene oxide film may be dried. Drying can be performed, for example, by heating at 45 ° C. or lower under reduced pressure or vacuum.

酸素含有官能基の還元は、酸化グラフェン膜をヨウ化水素及びアルコールを含む流体と接触させることにより、行うことができる。酸化グラフェン膜が基板上に設けられている場合(酸化グラフェン薄膜の場合)、酸化グラフェン膜は基板とともに還元工程に供されてもよい。還元工程に用いられる流体は、気体、液体、超臨界流体又はこれらの組み合わせであり得る。アルコールは、例えば、エタノールであってもよい。   The reduction of the oxygen-containing functional group can be performed by bringing the graphene oxide film into contact with a fluid containing hydrogen iodide and alcohol. When the graphene oxide film is provided over the substrate (in the case of a graphene oxide thin film), the graphene oxide film may be subjected to a reduction process together with the substrate. The fluid used in the reduction process can be a gas, a liquid, a supercritical fluid, or a combination thereof. The alcohol may be, for example, ethanol.

例えば、反応容器中に酸化グラフェン膜、ヨウ化水素及びアルコールを入れ、反応容器を密閉してから、反応容器中の温度及び圧力を、還元反応が進行するような条件に調整することができる。   For example, after a graphene oxide film, hydrogen iodide, and alcohol are placed in a reaction vessel and the reaction vessel is sealed, the temperature and pressure in the reaction vessel can be adjusted to conditions such that the reduction reaction proceeds.

還元工程における流体の圧力(絶対圧力)は、アルコールの臨界圧力以下(エタノールの場合、6.14MPa以下)であってもよい。本実施形態に係る方法では、ヨウ化水素とアルコールとを組み合わせていることから、アルコールの超臨界流体が形成されるような高圧の条件でなくとも、十分効率的に還元反応を進行させることができる。流体の圧力を臨界圧力以下まで低くすることにより、耐高圧(例えば、9MPa)用の容器が不要となるため、コストを抑えることが可能となる。同様の観点から、流体の絶対圧力は、2MPa以下又は1MPa以下であってもよい。流体の絶対圧力の下限値は、特に制限されないが、適切な反応速度等の観点から、例えば、0.1MPa(大気圧)以上であってもよい。   The fluid pressure (absolute pressure) in the reduction step may be not more than the critical pressure of alcohol (in the case of ethanol, not more than 6.14 MPa). In the method according to the present embodiment, since hydrogen iodide and alcohol are combined, the reduction reaction can proceed sufficiently efficiently even under high pressure conditions such that a supercritical fluid of alcohol is formed. it can. By reducing the pressure of the fluid to a critical pressure or less, a container for high pressure resistance (for example, 9 MPa) becomes unnecessary, and thus the cost can be suppressed. From the same viewpoint, the absolute pressure of the fluid may be 2 MPa or less or 1 MPa or less. The lower limit value of the absolute pressure of the fluid is not particularly limited, but may be, for example, 0.1 MPa (atmospheric pressure) or more from the viewpoint of an appropriate reaction rate and the like.

還元工程における流体の温度は、適切な反応速度等の観点から、例えば、400℃以下又は300℃以下であってもよく、150℃以上又は200℃以上であってもよい。   The temperature of the fluid in the reduction step may be, for example, 400 ° C. or lower or 300 ° C. or lower, or 150 ° C. or higher or 200 ° C. or higher from the viewpoint of an appropriate reaction rate.

還元の反応時間は、特に制限されないが、例えば、1〜8時間又は2〜5時間であってもよい。   The reaction time for the reduction is not particularly limited, but may be, for example, 1 to 8 hours or 2 to 5 hours.

反応容器は、還元工程中の流体の圧力及び温度に耐えられるものであれば、特に制限されない。反応容器は、例えば、ステンレス反応管であってもよい。   The reaction vessel is not particularly limited as long as it can withstand the pressure and temperature of the fluid during the reduction process. The reaction vessel may be, for example, a stainless steel reaction tube.

還元工程における流体は、空気を含んでいてもよい。本実施形態に係る還元工程は、特に窒素、アルゴン等の不活性ガスに置換することなく、空気雰囲気下で行うことができる。   The fluid in the reduction process may contain air. The reduction process according to the present embodiment can be performed in an air atmosphere without particularly substituting with an inert gas such as nitrogen or argon.

流体中のアルコールの体積に対するヨウ化水素の体積の比は0.4未満、0.2以下、0.1以下、又は0.08以下であってもよい。このようにヨウ化水素の比率が小さい場合であっても、電気伝導率が十分に高いグラフェン膜を得ることができる。電気伝導率等の観点から、ヨウ化水素の体積の比は、例えば、0.0005以上又は0.005以上であってもよい。   The ratio of the volume of hydrogen iodide to the volume of alcohol in the fluid may be less than 0.4, 0.2 or less, 0.1 or less, or 0.08 or less. Thus, even when the ratio of hydrogen iodide is small, a graphene film with sufficiently high electrical conductivity can be obtained. From the viewpoint of electrical conductivity and the like, the volume ratio of hydrogen iodide may be, for example, 0.0005 or more or 0.005 or more.

還元反応を終えた後、形成されたグラフェン膜を、エタノール等で洗浄してもよい。   After the reduction reaction, the formed graphene film may be washed with ethanol or the like.

以上説明した方法により得られるグラフェン膜は、還元型酸化グラフェン膜である。このグラフェン膜は、酸素含有官能基を有する酸化グラフェンを実質的に含んでいなくてもよいし、含んでいてもよい。酸化グラフェンを含むグラフェン膜は、化学気相成長法等により形成される実質的に純粋なグラフェン膜と比較して、多機能性を有することができる。還元の程度等を調整することで、得られるグラフェン膜の親水性(又は疎水性)、電気伝導性、プロトン伝導性等の特性を、広い範囲で制御することができる。また、酸素含有官能基を利用して、グラフェン膜に種々の機能を付与できることも期待される。   The graphene film obtained by the method described above is a reduced graphene oxide film. This graphene film may or may not substantially contain graphene oxide having an oxygen-containing functional group. A graphene film containing graphene oxide can have multiple functions as compared to a substantially pure graphene film formed by a chemical vapor deposition method or the like. By adjusting the degree of reduction and the like, characteristics such as hydrophilicity (or hydrophobicity), electrical conductivity, and proton conductivity of the obtained graphene film can be controlled in a wide range. In addition, it is expected that various functions can be imparted to the graphene film using oxygen-containing functional groups.

また、還元型酸化グラフェン膜(グラフェン膜、特にグラフェン薄膜)は、そのシート抵抗Rs(kΩ/□)が下記式(1)又は(1)’を満たすような、高い電気伝導率を有し得る。光透過率は、波長550nmの光の透過率である。一般に、光透過率の値が高いことは、グラフェン膜の膜厚が薄いことに対応する。
Rs≦0.15×T+1.44×10×(103−T)−4.3 (1)
Rs≦0.12×T+1.2×10×(103−T)−4.6 (1)’
(T:グラフェン膜の厚み方向における光透過率(%))
Further, the reduced graphene oxide film (graphene film, particularly graphene thin film) may have high electrical conductivity such that the sheet resistance Rs (kΩ / □) satisfies the following formula (1) or (1) ′. . The light transmittance is a transmittance of light having a wavelength of 550 nm. In general, a high light transmittance value corresponds to a thin film thickness of the graphene film.
Rs ≦ 0.15 × T + 1.44 × 10 7 × (103−T) −4.3 (1)
Rs ≦ 0.12 × T + 1.2 × 10 7 × (103−T) −4.6 (1) ′
(T: light transmittance (%) in the thickness direction of the graphene film)

グラフェン膜のシート抵抗の下限は、特に制限されないが、例えば、0.001kΩ/□以上、0.05kΩ/□以上、又は1.0kΩ/□以上であってもよい。   The lower limit of the sheet resistance of the graphene film is not particularly limited, and may be, for example, 0.001 kΩ / □ or more, 0.05 kΩ / □ or more, or 1.0 kΩ / □ or more.

還元型酸化グラフェン膜は、光透過率Tが50〜100%の範囲で、式(1)又は式(1)’を満たしていてもよい。   The reduced graphene oxide film may satisfy Formula (1) or Formula (1) ′ when the light transmittance T is in the range of 50 to 100%.

グラフェン膜の膜厚は、特に制限されないが、グラフェン自己保持膜の場合、例えば、1〜500μmであってもよく、グラフェン薄膜の場合、例えば、0.001μm以上1μm未満であってもよい。   The film thickness of the graphene film is not particularly limited, but may be, for example, 1 to 500 μm in the case of a graphene self-holding film, and may be, for example, 0.001 μm or more and less than 1 μm in the case of a graphene thin film.

以下、本発明の内容を実施例及び比較例を用いてより詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the contents of the present invention will be described in more detail using examples and comparative examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

実施例1
1.酸化グラフェン自己保持膜の作製(グラファイトの酸化及び酸化グラフェンの成膜)
酸化グラフェンの分散液(分散媒体:水)を、非特許文献1に記載の方法に準じたハマーズ法によって調製した。得られた酸化グラフェン分散液を減圧ろ過して、ろ過膜上に酸化グラフェンの膜を形成させた。この膜を室温で乾燥させて、自己保持性の酸化グラフェン膜(酸化グラフェン自己保持膜)を得た。
Example 1
1. Preparation of graphene oxide self-supporting film (oxidation of graphite and film formation of graphene oxide)
A dispersion of graphene oxide (dispersion medium: water) was prepared by the Hammers method according to the method described in Non-Patent Document 1. The obtained graphene oxide dispersion was filtered under reduced pressure to form a graphene oxide film on the filtration membrane. This film was dried at room temperature to obtain a self-supporting graphene oxide film (graphene oxide self-supporting film).

2.グラフェン膜の作製(酸化グラフェン自己保持膜の還元)
ヒーター及び圧力計が装着された内容量75mLのステンレス反応管に酸化グラフェン自己保持膜及びエタノール(50mL)を加え、さらにヨウ化水素(0.3mL)を添加し、反応管を密閉した。この際、反応管内の空気は置換しなかった。酸化グラフェン自己保持膜は、減圧下で45℃の加熱により予め乾燥しておいた。反応管内の圧力を1MPaに調整し、300℃で4時間の加熱により、還元反応を進行させた。反応管を氷浴で室温まで冷却し、実施例1のグラフェン自己保持膜を得た。グラフェン膜の膜厚は7.5μmであった。グラフェン膜の膜厚はSEM(走査型電子顕微鏡)で得られた断面画像を用いて測定した。
2. Preparation of graphene film (reduction of graphene oxide self-supporting film)
A graphene oxide self-supporting membrane and ethanol (50 mL) were added to a stainless steel reaction tube having a capacity of 75 mL equipped with a heater and a pressure gauge, hydrogen iodide (0.3 mL) was further added, and the reaction tube was sealed. At this time, the air in the reaction tube was not replaced. The graphene oxide self-supporting film was previously dried by heating at 45 ° C. under reduced pressure. The pressure in the reaction tube was adjusted to 1 MPa, and the reduction reaction was advanced by heating at 300 ° C. for 4 hours. The reaction tube was cooled to room temperature with an ice bath to obtain the graphene self-supporting film of Example 1. The film thickness of the graphene film was 7.5 μm. The film thickness of the graphene film was measured using a cross-sectional image obtained by SEM (scanning electron microscope).

3.評価
(1)電気伝導性
グラフェン膜のシート抵抗は、4探針抵抗率測定器Σ−5+(エヌピイエス株式会社製)を用いて室温で測定した。
グラフェン膜のシート抵抗は8.3Ω/□であった。これと膜厚より計算されるグラフェン膜の電気伝導率は16064S/mであった。
3. Evaluation (1) Electrical conductivity The sheet resistance of the graphene film was measured at room temperature using a 4-probe resistivity meter Σ-5 + (manufactured by NP Corporation).
The sheet resistance of the graphene film was 8.3Ω / □. The electric conductivity of the graphene film calculated from this and the film thickness was 16064 S / m.

(2)X線回折
グラフェン膜及び還元前の酸化グラフェン膜の回析角5〜60°におけるXRDスペクトルを図1に示す。XRDスペクトルはRINT Ultima III 薄膜XRD(株式会社リガク製)を用いて測定した。酸化グラフェン膜では、2θ=10.12°(層間距離0.873nm)にピークが観測されたのに対して、グラフェン膜では、2θ=24.60°(層間距離0.362nm)にピークが観測された。この結果は、酸化グラフェン膜中にあった酸素含有官能基のうち大部分が還元されたことを示唆する。
(2) X-ray diffraction FIG. 1 shows XRD spectra of a graphene film and a graphene oxide film before reduction at a diffraction angle of 5 to 60 °. The XRD spectrum was measured using a RINT Ultimate III thin film XRD (manufactured by Rigaku Corporation). In the graphene oxide film, a peak was observed at 2θ = 10.12 ° (interlayer distance 0.873 nm), whereas in the graphene film, a peak was observed at 2θ = 24.60 ° (interlayer distance 0.362 nm). It was done. This result suggests that most of the oxygen-containing functional groups present in the graphene oxide film were reduced.

(3)熱重量分析
グラフェン膜及び酸化グラフェン膜の熱重量変化スペクトルを図2に示す。熱重量変化スペクトルは、DTG−60A 熱分析装置(株式会社島津製作所製)を用いて測定した。酸化グラフェン膜では200℃前後で大きな質量減少が観測され、これは酸化グラフェン膜がグラファイトの酸化により形成された酸素含有官能基を有することを示す。酸化グラフェン膜の500℃での質量減少率は約37%であった。これに対して、実施例1のグラフェン膜の質量減少率は約10%であり、大きな質量減少は認められなかった。これも、酸化グラフェン膜中の酸素含有官能基のうち大部分が還元されたことを示唆する。
(3) Thermogravimetric analysis FIG. 2 shows the thermogravimetric change spectra of the graphene film and the graphene oxide film. The thermogravimetric change spectrum was measured using a DTG-60A thermal analyzer (manufactured by Shimadzu Corporation). In the graphene oxide film, a large mass decrease is observed around 200 ° C., which indicates that the graphene oxide film has an oxygen-containing functional group formed by oxidation of graphite. The mass reduction rate of the graphene oxide film at 500 ° C. was about 37%. In contrast, the mass reduction rate of the graphene film of Example 1 was about 10%, and no significant mass reduction was observed. This also suggests that most of the oxygen-containing functional groups in the graphene oxide film have been reduced.

(4)ラマンスペクトル
グラフェン膜及びグラファイトのラマンスペクトルを図3に示す。ラマンスペクトルは、NRS−7200(日本分光株式会社製)を用いて測定した。グラフェン膜のラマンスペクトルにおいて、Gバンド(1580cm−1付近)の強度に対するDバンド(1350cm−1付近)の強度の比はグラファイトと同様に1未満であったが、Dバンドが顕著に観測された。これは、グラファイトから酸化グラフェンを合成する際に、グラファイトの結晶構造の一部が崩壊して生じた結晶欠陥が、グラフェン膜中に残っていること等に起因すると推察される。すなわち、グラフェン膜中に、酸素含有官能基の一部が残存していることが示唆される。
(4) Raman spectrum FIG. 3 shows the Raman spectra of the graphene film and graphite. The Raman spectrum was measured using NRS-7200 (manufactured by JASCO Corporation). In the Raman spectrum of the graphene film, the intensity ratio of G-band (1580 cm -1 vicinity) D band to the intensity of (1350 cm around -1) was less than 1 like the graphite, D band was markedly observed . This is presumably due to the fact that, when synthesizing graphene oxide from graphite, a crystal defect caused by the collapse of a part of the crystal structure of graphite remains in the graphene film. That is, it is suggested that a part of the oxygen-containing functional group remains in the graphene film.

比較例1
実施例1と同様の方法により得た酸化グラフェン自己保持膜を、非特許文献1に記載の超臨界状態のエタノールを用いた方法に準じた方法により処理して、比較例1のグラフェン膜を得た。すなわち、酸化グラフェン自己保持膜及びエタノール(65mL)をステンレス反応管に加え、密閉した反応管内で、圧力9MPa、300℃で4時間の加熱により、還元反応を進行させた。得られたグラフェン膜の膜厚は14.4μm、シート抵抗は21.6Ω/□であり、これより計算されるグラフェン膜の電気伝導率は3215S/mであった。
Comparative Example 1
The graphene oxide self-supporting film obtained by the same method as in Example 1 is processed by a method according to the method using supercritical ethanol described in Non-Patent Document 1, thereby obtaining the graphene film of Comparative Example 1 It was. That is, a graphene oxide self-supporting film and ethanol (65 mL) were added to a stainless steel reaction tube, and the reduction reaction was allowed to proceed by heating for 4 hours at a pressure of 9 MPa and 300 ° C. in a sealed reaction tube. The thickness of the obtained graphene film was 14.4 μm, the sheet resistance was 21.6 Ω / □, and the calculated electrical conductivity of the graphene film was 3215 S / m.

比較例2
実施例1と同様の方法により得た酸化グラフェン自己保持膜を、非特許文献2に記載のヨウ化水素及び酢酸を用いた方法に準じた方法により処理して、比較例2のグラフェン膜を得た。すなわち、酸化グラフェン自己保持膜、ヨウ化水素(2mL)及び酢酸(5mL)を反応管に加え、密閉した反応器内で、真空圧(10−1Pa)、40℃で24時間の加熱により、還元反応を進行させた。得られたグラフェン膜の膜厚は6.5μm、シート抵抗は19.6Ω/□であり、これより計算されるグラフェン膜の電気伝導率は7850S/mであった。
Comparative Example 2
The graphene oxide self-supporting film obtained by the same method as in Example 1 was processed by a method according to the method using hydrogen iodide and acetic acid described in Non-Patent Document 2 to obtain the graphene film of Comparative Example 2 It was. That is, a graphene oxide self-supporting film, hydrogen iodide (2 mL) and acetic acid (5 mL) were added to a reaction tube, and heated in a sealed reactor at 40 ° C. under vacuum pressure (10 −1 Pa) for 24 hours. The reduction reaction was allowed to proceed. The thickness of the obtained graphene film was 6.5 μm, the sheet resistance was 19.6 Ω / □, and the electric conductivity of the graphene film calculated from this was 7850 S / m.

実施例1及び比較例1、2のグラフェン膜の製造方法、膜厚、シート抵抗及び電気伝導率を表1に示す。   Table 1 shows the manufacturing method, film thickness, sheet resistance, and electrical conductivity of the graphene films of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2.

Figure 0006430754
Figure 0006430754

実施例2
1.酸化グラフェン薄膜の作製(グラファイトの酸化及び酸化グラフェンの成膜)
酸化グラフェンの分散液を、実施例1と同様に、ハマーズ法によって調製した。UVオゾン親水化処理したガラス基板上に、酸化グラフェンの分散液をスプレー法によって塗布し、酸化グラフェン薄膜を形成した。
Example 2
1. Preparation of graphene oxide thin film (oxidation of graphite and film formation of graphene oxide)
A dispersion of graphene oxide was prepared by the Hammers method in the same manner as in Example 1. A graphene oxide dispersion was applied on a glass substrate subjected to UV ozone hydrophilization treatment by a spray method to form a graphene oxide thin film.

2.グラフェン薄膜の作製(酸化グラフェン薄膜の還元)
ヒーター及び圧力計が装着された内容量75mLのステンレス反応管に酸化グラフェン薄膜が設けられているガラス基板及びエタノール(50mL)を加え、さらにヨウ化水素(0.3mL)を添加し、反応管を密閉した。この際、反応管内の空気は置換しなかった。酸化グラフェン膜が設けられている基板は、減圧下で45℃の加熱により予め乾燥しておいた。反応管内の圧力を1MPaに調整し、300℃で4時間の加熱により、還元反応を進行させた。反応管を氷浴で室温まで冷却し、実施例2のグラフェン薄膜を得た。グラフェン薄膜の光透過率として、分光光度計を用いて、550nmの光の透過率(=(透過光の強度/入射光の強度)×100)を測定した。
2. Preparation of graphene thin film (reduction of graphene oxide thin film)
Add a glass substrate with graphene oxide thin film and ethanol (50 mL) to a stainless steel reaction tube with a capacity of 75 mL equipped with a heater and pressure gauge, and then add hydrogen iodide (0.3 mL). Sealed. At this time, the air in the reaction tube was not replaced. The substrate provided with the graphene oxide film was previously dried by heating at 45 ° C. under reduced pressure. The pressure in the reaction tube was adjusted to 1 MPa, and the reduction reaction was advanced by heating at 300 ° C. for 4 hours. The reaction tube was cooled to room temperature with an ice bath to obtain the graphene thin film of Example 2. As a light transmittance of the graphene thin film, a light transmittance of 550 nm (= (intensity of transmitted light / intensity of incident light) × 100) was measured using a spectrophotometer.

比較例3
実施例2と同様の方法により得た酸化グラフェン薄膜を、非特許文献1に記載の超臨界状態のエタノールを用いた方法に準じた方法により処理して、比較例3のグラフェン膜を得た。すなわち、酸化グラフェン薄膜が設けられているガラス基板及びエタノール(65mL)をステンレス反応管に加え、密閉した反応管内で、圧力9MPa、300℃で4時間の加熱により、還元反応を進行させた。
Comparative Example 3
The graphene oxide thin film obtained by the same method as in Example 2 was processed by a method according to the method using supercritical ethanol described in Non-Patent Document 1 to obtain a graphene film of Comparative Example 3. That is, a glass substrate provided with a graphene oxide thin film and ethanol (65 mL) were added to a stainless steel reaction tube, and the reduction reaction was advanced by heating at a pressure of 9 MPa and 300 ° C. for 4 hours in a sealed reaction tube.

実施例2と同様の方法によって、光透過率の異なる酸化グラフェン薄膜及びグラフェン薄膜を作製し、その光透過率及びシート抵抗を測定した。図4は、グラフェン膜のシート抵抗Rsと光透過率Tとの関係を示すグラフである。シート抵抗は、光透過率の増加、すなわち膜厚の減少にともなって増加する傾向にあるが、同程度の光透過率(膜厚)で比較すると、実施例2のグラフェン膜は比較例3のグラフェン膜と比較して、シート抵抗が低い(電気伝導率が大きい)ことが確認された。図4には、Rs=0.15×T+1.44×10×(103−T)−4.3に対応する曲線(破線)も示しており、実施例2のグラフェン膜のシート抵抗Rsは、式(1)を満たすものであることも確認された。図4には、Rs=0.12×T+1.2×10×(103−T)−4.6に対応する曲線(二点鎖線)及びRs=0.08×T+3.2×106×(103−T)−4.6に対応する曲線(一点鎖線)も示した。 A graphene oxide thin film and a graphene thin film having different light transmittances were prepared by the same method as in Example 2, and the light transmittance and sheet resistance were measured. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the sheet resistance Rs and the light transmittance T of the graphene film. The sheet resistance tends to increase as the light transmittance increases, that is, as the film thickness decreases. However, when compared with the same light transmittance (film thickness), the graphene film of Example 2 is the same as that of Comparative Example 3. It was confirmed that the sheet resistance was low (electric conductivity was high) compared to the graphene film. FIG. 4 also shows a curve (broken line) corresponding to Rs = 0.15 × T + 1.44 × 10 7 × (103−T) −4.3 , and the sheet resistance Rs of the graphene film of Example 2 is Further, it was also confirmed that the formula (1) was satisfied. FIG. 4 shows a curve corresponding to Rs = 0.12 × T + 1.2 × 10 7 × (103−T) −4.6 (two-dot chain line) and Rs = 0.08 × T + 3.2 × 10 6 × A curve corresponding to (103-T) -4.6 (dashed line) is also shown.

実施例3〜7
エタノール及びヨウ化水素の量を表2に示すものに変更した以外は、実施例1と同様にして、実施例3〜7のグラフェン薄膜を得た。実施例2〜7のグラフェン薄膜の光透過率80%におけるシート抵抗を表2に示す。
Examples 3-7
The graphene thin films of Examples 3 to 7 were obtained in the same manner as in Example 1 except that the amounts of ethanol and hydrogen iodide were changed to those shown in Table 2. Table 2 shows the sheet resistance at 80% light transmittance of the graphene thin films of Examples 2 to 7.

Figure 0006430754
Figure 0006430754

本発明に係る方法により得られるグラフェン膜は、例えば、光透過性、電気伝導性などを利用した透明電極、折り曲げ可能な大型タッチパネル又はレーザ部材への応用、高電流密度耐性などを利用した配線材料への応用、化学的な鋭敏性及び化学反応などを利用した化学センサー又は水素貯蔵材料へ応用、機械的強度及び軽元素材料などを利用したメカニカルセンサー又はMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスへの応用、高い移動度及び2次元性などを利用した高速トランジスタ、スピンデバイス、単電子トランジスタ又は半導体メモリーへの応用が期待できる。   The graphene film obtained by the method according to the present invention is, for example, a transparent electrode utilizing light transmission, electrical conductivity, etc., application to a foldable large touch panel or laser member, wiring material utilizing high current density resistance, etc. Application to chemical sensors or hydrogen storage materials using chemical sensitivity and chemical reaction, application to mechanical sensors or MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) devices using mechanical strength and light element materials, etc. Application to high-speed transistors, spin devices, single-electron transistors, or semiconductor memories using high mobility and two-dimensionality can be expected.

更に、グラフェン膜と様々な基質材料との組み合わせは、熱伝導材料、高機能触媒材料、ハイブリッド導電性材料、太陽電池、各種薄型表示装置、スーパーキャパシター電極、酸素還元電極触媒、帯電防止膜、並びに金属粒子等のナノ粒子の酸化防止(保護)、完全ガスバリア材などとしての可能性が想定される。   Furthermore, the combination of graphene film and various substrate materials includes heat conductive material, high-performance catalyst material, hybrid conductive material, solar cell, various thin display devices, supercapacitor electrode, oxygen reduction electrode catalyst, antistatic film, and Possibility of oxidation prevention (protection) of nanoparticles such as metal particles, and a complete gas barrier material is assumed.

加えて、グラフェン膜の材料そのものが極めて安価である点を考慮すると、金属の使用量の低減又は貴金属フリーの導電材料としての利用も期待される。   In addition, in consideration of the fact that the graphene film material itself is extremely inexpensive, it is expected to reduce the amount of metal used or as a noble metal-free conductive material.

Claims (3)

酸素含有官能基を有する酸化グラフェンを含む酸化グラフェン膜をヨウ化水素及びアルコールを含む流体と接触させて、前記酸化グラフェン膜中の前記酸素含有官能基の一部又は全部を還元する工程を備える、グラフェン膜の製造方法。   Contacting a graphene oxide film containing graphene oxide having an oxygen-containing functional group with a fluid containing hydrogen iodide and alcohol to reduce a part or all of the oxygen-containing functional group in the graphene oxide film, Manufacturing method of graphene film. 前記流体における、前記アルコールの体積に対する前記ヨウ化水素の体積の比が0.4未満である、請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein a ratio of a volume of the hydrogen iodide to a volume of the alcohol in the fluid is less than 0.4. 前記流体の圧力が前記アルコールの臨界圧力以下である、請求項1又は2に記載の製造方法。   The manufacturing method of Claim 1 or 2 whose pressure of the said fluid is below the critical pressure of the said alcohol.
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