JP6432406B2 - R-T-B system alloy powder and R-T-B system sintered magnet - Google Patents
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Description
本発明は、R−T−B系合金粉末およびR−T−B系焼結磁石に関する。 The present invention relates to an RTB-based alloy powder and an RTB-based sintered magnet.
R−T−B系焼結磁石(RはYを含む希土類元素、TはFeを主成分とする遷移元素であり具体的にはFeまたはFeとCo、Bはホウ素)は、種々の磁石の中で最も高い磁気エネルギー積を示し、価格も比較的安いことから、各種電子機器において広く利用されている。 R-T-B based sintered magnets (R is a rare earth element including Y, T is a transition element containing Fe as a main component, specifically Fe or Fe and Co, and B is boron) Since it has the highest magnetic energy product among them and its price is relatively low, it is widely used in various electronic devices.
R−T−B系焼結磁石は、例えば、以下に示す工程によって作製される。 The RTB-based sintered magnet is produced by, for example, the following process.
まず、インゴット法やストリップキャスト法などの方法により、各種原料金属を鋳造することで原料合金を製造する。次に、得られた原料合金を粉砕工程に供し、所定の粒径の合金粉末を得る。この粉砕工程には、通常、粗粉砕工程と微粉砕工程とが含まれており、前者は、例えば水素脆化現象を利用して、後者は、例えば気流式粉砕機(ジェットミル)を用いて行われる。 First, a raw material alloy is manufactured by casting various raw metals by a method such as an ingot method or a strip cast method. Next, the obtained raw material alloy is subjected to a pulverization step to obtain an alloy powder having a predetermined particle size. This pulverization process usually includes a coarse pulverization process and a fine pulverization process. The former uses, for example, a hydrogen embrittlement phenomenon, and the latter uses, for example, an airflow pulverizer (jet mill). Done.
次に、前記粉末を磁界中で所望の形状にプレス成形する磁界中成形工程に供する。これにより得られた成形体を焼結することによって、R−T−B系焼結磁石が作製される。また、焼結の後、通常は、熱処理を行う。 Next, the powder is subjected to a molding process in a magnetic field in which the powder is press-molded into a desired shape. By sintering the molded body thus obtained, an RTB-based sintered magnet is produced. Further, after sintering, heat treatment is usually performed.
R−T−B系焼結磁石の保磁力を向上させるために、種々の方法が提案されている。 Various methods have been proposed to improve the coercive force of the RTB-based sintered magnet.
特許文献1は、RE2TM14B(ここでREは、Y、Sc及びランタノイドのうちから選択された一種又は二種以上の元素、またTMは、Fe、Co及びNiから選択された一種又は二種以上の元素)からなる粉末のまわりを、それより融点の低いRE−TM系合金(ここでREについては上と同じ)でコーティングした粉末を原料とし、この原料粉末を、圧縮成形した後、焼結する製造方法を開示している。この原料粉末を用いることにより高磁気特性かつ高耐食性の磁石を得ることができる。 Patent Document 1 discloses RE 2 TM 14 B (where RE is one or more elements selected from Y, Sc and lanthanoids, and TM is one or more elements selected from Fe, Co and Ni) After the powder composed of two or more elements) is coated with a RE-TM alloy having a lower melting point (here, RE is the same as above), and this raw material powder is compression-molded Discloses a manufacturing method for sintering. By using this raw material powder, a magnet having high magnetic properties and high corrosion resistance can be obtained.
特許文献2は、ネオジム、鉄およびホウ素を含む粉末を、ジスプロシウム、テルビウム、鉄、および、それらの合金からなる群から選択される金属を含有する蒸気に接触させて、被覆粉末を形成する工程と、前記被覆粉末から永久磁石を形成する工程とを備えた磁石の製造方法を開示している。 Patent Document 2 is a process in which a powder containing neodymium, iron and boron is contacted with a vapor containing a metal selected from the group consisting of dysprosium, terbium, iron, and alloys thereof to form a coating powder; And a step of forming a permanent magnet from the coating powder.
特許文献1、2に記載の技術では、一旦粉末を作製した後、金属膜で被覆する処理を行うため、酸素含有量の増加が避けられず、高性能の焼結磁石を製造するのが困難である。 In the techniques described in Patent Documents 1 and 2, since a powder is once produced and then coated with a metal film, an increase in oxygen content is unavoidable and it is difficult to produce a high-performance sintered magnet. It is.
また、特許文献1、2に記載の技術では、いずれも粉砕と、コーティング又は被覆という2段階の工程が必要であった。 In addition, in the techniques described in Patent Documents 1 and 2, two steps of pulverization and coating or coating are necessary.
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、微粉砕工程にて作製される合金粉末であって、その表面に希土類元素の濃縮層を有するR−T−B系合金粉末およびこれを用いて作製されるR−T−B系焼結磁石を提供することをその目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and is an alloy powder produced by a fine pulverization process, and an RTB-based alloy powder having a rare earth element enriched layer on the surface thereof, and It is an object of the present invention to provide an RTB-based sintered magnet produced by using the same.
本発明の実施形態によるR−T−B系合金粉末は、粒子の表面が、Nd、Pr、Dy、Tbのうちの少なくとも1種以上の希土類元素を含むR濃縮層で覆われており、前記R濃縮層における希土類元素の濃度は20原子%以上32原子%以下の範囲にあることを特徴とするR−T−B系合金粉末である。 In the RTB-based alloy powder according to the embodiment of the present invention, the particle surface is covered with an R enriched layer containing at least one rare earth element selected from Nd, Pr, Dy, and Tb. The R-TB alloy powder is characterized in that the rare earth element concentration in the R enriched layer is in the range of 20 atomic% to 32 atomic%.
ある実施形態において、前記R濃縮層の厚さ方向の酸素濃度は、粒子表面から内部に向かって一様に低下する。 In one embodiment, the oxygen concentration in the thickness direction of the R enriched layer decreases uniformly from the particle surface toward the inside.
ある実施形態において、前記R濃縮層には、さらにFeが含まれており、前記R濃縮層におけるFeの濃度は、前記R濃縮層の内側のR2Fe14B相におけるFeの濃度より低い。 In one embodiment, the R enriched layer further contains Fe, and the concentration of Fe in the R enriched layer is lower than the concentration of Fe in the R 2 Fe 14 B phase inside the R enriched layer.
ある実施形態において、前記R濃縮層には、さらにBが含まれており、前記R濃縮層におけるBの濃度は、前記R濃縮層の内側のR2Fe14B相におけるBの濃度より低い。 In one embodiment, the R enriched layer further contains B, and the concentration of B in the R enriched layer is lower than the concentration of B in the R 2 Fe 14 B phase inside the R enriched layer.
本発明の実施形態によるR−T−B系焼結磁石は、上記のR−T−B系合金粉末を用いて作製された焼結体として得られる。 The RTB-based sintered magnet according to the embodiment of the present invention is obtained as a sintered body produced using the above RTB-based alloy powder.
本発明の実施形態によれば、R濃縮層で覆われたR−T−B系合金粉末、保磁力の高いR−T−B系焼結磁石を提供することができる。 According to the embodiment of the present invention, an RTB-based alloy powder covered with an R-enriched layer and an RTB-based sintered magnet having a high coercive force can be provided.
[R−T−B系合金粉末]
本発明の実施形態にかかるR−T−B系合金粉末は、Nd、Pr、Dy、Tbのうちの少なくとも1種以上の希土類元素を含むR濃縮層でその表面が覆われており、前記R濃縮層における希土類元素の濃度は20原子%以上32原子%以下の範囲にある。
[RTB-based alloy powder]
The RTB-based alloy powder according to an embodiment of the present invention has a surface covered with an R enriched layer containing at least one rare earth element of Nd, Pr, Dy, and Tb, and the R The concentration of the rare earth element in the concentrated layer is in the range of 20 atomic% to 32 atomic%.
前記R濃縮層において、その厚さ方向の酸素濃度は粒子表面から内部に向かって一様に低下する。 In the R enriched layer, the oxygen concentration in the thickness direction decreases uniformly from the particle surface toward the inside.
前記R濃縮層には、さらにFeが含まれており、前記R濃縮層におけるFeの濃度は、前記R濃縮層の内側のR2Fe14B相におけるFeの濃度より低い。 The R enriched layer further contains Fe, and the Fe concentration in the R enriched layer is lower than the Fe concentration in the R 2 Fe 14 B phase inside the R enriched layer.
前記R濃縮層には、さらにBが含まれており、前記R濃縮層におけるBの濃度は、前記R濃縮層の内側のR2Fe14B相におけるBの濃度より低い。 The R enriched layer further contains B, and the concentration of B in the R enriched layer is lower than the concentration of B in the R 2 Fe 14 B phase inside the R enriched layer.
R−T−B系焼結磁石の液相に通常含まれる主要元素であるFe、Bをさらに含んでいることで、広い焼結温度の範囲で、焼結体内のRリッチ相の分散性が高まり、焼結体の粒界が適正化されやすくなる。 By further including Fe and B, which are the main elements usually contained in the liquid phase of the RTB-based sintered magnet, the dispersibility of the R-rich phase in the sintered body can be achieved within a wide range of sintering temperatures. This increases the grain boundary of the sintered body.
好ましくは、前記R濃縮層の厚さは30nm以上90nm以下である。 Preferably, the R concentrated layer has a thickness of 30 nm or more and 90 nm or less.
前記R濃縮層は、粒子の表面を被覆している。R−T−B系合金粉末の表面にR濃縮層が存在することで、焼結後において、結晶粒界に均一なRリッチ相が形成され、逆磁区の発生が効果的に抑制されるので、保磁力HcJが大幅に向上する。 The R concentrated layer covers the surface of the particles. The presence of the R-enriched layer on the surface of the RTB-based alloy powder results in the formation of a uniform R-rich phase at the grain boundary after sintering, effectively suppressing the occurrence of reverse magnetic domains. The coercive force H cJ is greatly improved.
また、合金粉末の組成は、27.5質量%以上36.0質量%以下のR(Rは希土類元素のうちの少なくとも1種でありNd、Pr、Dy、Tbのうちの少なくとも1種を必ず含む)、0.85質量%以上1.05質量%以下のB、残部T(TはFeを主成分とする遷移元素であり、具体的にはFeまたはFeとCo)である。 The composition of the alloy powder is 27.5% by mass or more and 36.0% by mass or less of R (R is at least one of rare earth elements, and at least one of Nd, Pr, Dy, and Tb must be used. 0.85 mass% to 1.05 mass% B and the balance T (T is a transition element mainly composed of Fe, specifically Fe or Fe and Co).
Rの濃度が27.5質量%未満であると、焼結過程において液相生成が困難となる。一方、Rの濃度が36.0質量%を超えると、R−T−B系焼結磁石の磁化が際立って低下する。Rの濃度は、好ましくは28.5質量%以上33.0質量%である。 When the concentration of R is less than 27.5% by mass, it is difficult to generate a liquid phase in the sintering process. On the other hand, when the concentration of R exceeds 36.0% by mass, the magnetization of the RTB-based sintered magnet is significantly reduced. The concentration of R is preferably 28.5% by mass or more and 33.0% by mass.
Bの濃度が0.85質量%未満であると軟磁性相が生成され、R−T−B系焼結磁石の保磁力を低下させる可能性がある。一方、Bの濃度が1.05質量%を超えると、非磁性相が生成され、R−T−B系焼結磁石の磁化が低下する。Bの濃度は、好ましくは、0.90質量%以上1.05質量%以下である。 If the concentration of B is less than 0.85% by mass, a soft magnetic phase is generated, which may reduce the coercive force of the RTB-based sintered magnet. On the other hand, when the concentration of B exceeds 1.05% by mass, a nonmagnetic phase is generated, and the magnetization of the RTB-based sintered magnet is lowered. The concentration of B is preferably 0.90% by mass or more and 1.05% by mass or less.
本発明の実施形態によるR−T−B系合金粉末は、さらに、0.1質量%以上2.5質量%以下の既知の添加元素M(Mは、Al、Ti、V、Cr、Mn、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、Mo、Ag、In、Sn、Hf、Ta、W、Pb、およびBiからなる群から選択された少なくとも1種)を含んでもよい。添加元素Mは、磁化の大きな低下を招かない2.5質量%以下の範囲で添加できる。元素Mの範囲は、好ましくは0.25質量%以上0.9質量%以下である。Mは好ましくは、Al、Cu、Ga、Zr、Nbからなる群から選択された少なくとも1種からなる。 The RTB-based alloy powder according to the embodiment of the present invention further includes a known additive element M (M is Al, Ti, V, Cr, Mn, 0.1 wt% or more and 2.5 wt% or less). And at least one selected from the group consisting of Ni, Cu, Zn, Ga, Zr, Nb, Mo, Ag, In, Sn, Hf, Ta, W, Pb, and Bi. The additive element M can be added in a range of 2.5 mass% or less that does not cause a significant decrease in magnetization. The range of the element M is preferably 0.25% by mass or more and 0.9% by mass or less. M is preferably composed of at least one selected from the group consisting of Al, Cu, Ga, Zr, and Nb.
Tは、残部である。TはFeを主成分とする遷移元素であって、Coを含んでもよい。TはFeまたはFeとCoであり、FeとCoとの合計のうちFeが50原子%以上を占める。 T is the balance. T is a transition element mainly composed of Fe, and may contain Co. T is Fe or Fe and Co, and Fe accounts for 50 atomic% or more of the total of Fe and Co.
本発明の実施形態によるR−T−B系合金粉末は、好ましくは酸素含有量が0.3質量%以下である。R−T−B系合金粉末の酸素含有量を少なくすることで、R−T−B系焼結磁石の保磁力を高めることができる。 The RTB-based alloy powder according to the embodiment of the present invention preferably has an oxygen content of 0.3% by mass or less. By reducing the oxygen content of the RTB-based alloy powder, the coercive force of the RTB-based sintered magnet can be increased.
不可避不純物としては、C、N、H、Si、Ca、S、P等がある。いずれも、磁石の高性能化のためには工業的に可能な範囲で含有量を少なく抑えることが好ましい。 Inevitable impurities include C, N, H, Si, Ca, S, P, and the like. In any case, in order to improve the performance of the magnet, it is preferable to keep the content as small as possible in an industrially possible range.
[R−T−B系焼結磁石]
本発明の実施形態によるR−T−B系焼結磁石は、前記R−T−B系合金粉末を用いて作製された焼結体として得られる。
[RTB sintered magnet]
The RTB-based sintered magnet according to the embodiment of the present invention is obtained as a sintered body produced using the RTB-based alloy powder.
[R−T−B系合金粉末の製造方法]
本発明の実施形態によるR−T−B系合金粉末は、例えば、前記組成範囲の合金の粗粉末を粉砕装置の粉砕槽内にて旋回させつつ、粉末同士の衝突、粉末同士の磨砕、粉末と粉砕槽壁面との摩擦およびRリッチ極微粒子が合金粉末の粒子に付着することにより、微粉砕することで作製される。
[Method for producing RTB-based alloy powder]
The RTB-based alloy powder according to the embodiment of the present invention, for example, while rotating the coarse powder of the alloy in the composition range in the pulverization tank of the pulverizer, collision between the powders, grinding between the powders, Friction between the powder and the pulverization tank wall surface and R-rich ultrafine particles adhere to the particles of the alloy powder, and are produced by fine pulverization.
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態によるR−T−B系合金粉末の製造方法を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定するものではない。 Hereinafter, although the manufacturing method of the RTB type | system | group alloy powder by embodiment of this invention is demonstrated, referring drawings, this invention is not limited to the following embodiment.
[母合金]
合金はインゴット法、ストリップキャスト法のいずれによって作製されてもよいが、急冷法であるストリップキャスト法にて作製することが好ましい。これにより、鋳造組織にα-Feが残存せず、容易に粉砕することができる。母合金の組成は、作製される合金粉末の組成が所定の組成となるように、途中工程における各元素の減少分を考慮して適宜決めればよい。
[Mother alloy]
The alloy may be produced by either an ingot method or a strip cast method, but is preferably produced by a strip cast method which is a rapid cooling method. Thereby, α-Fe does not remain in the cast structure and can be easily pulverized. The composition of the mother alloy may be appropriately determined in consideration of the reduction of each element in the intermediate process so that the composition of the alloy powder to be produced has a predetermined composition.
[粉砕]
粉砕工程には、粗粉砕工程と微粉砕工程との2段階の粉砕工程が含まれる。
[Crushing]
The pulverization process includes a two-stage pulverization process including a coarse pulverization process and a fine pulverization process.
まず、粗粉砕工程について説明する。母合金の粗粉砕は、機械的な粉砕法、または水素粉砕法によって行うことができる。 First, the coarse pulverization step will be described. The coarse pulverization of the mother alloy can be performed by a mechanical pulverization method or a hydrogen pulverization method.
これらのうち、水素脆化現象を利用した水素粉砕法によって、母合金を粗粉砕することが好ましい。この方法は水素吸蔵に伴う合金の脆化現象と体積膨張現象とを利用して、母合金に微細なクラックを生じさせ、母合金を粉砕するものである。水素粉砕法によれば、粒界で割れる確率が高くなる。粒界で割れる確率が高くなると、粒子内に含まれる主相結晶(2−14−1化合物)が1個となり、容易磁化方向が1方向となるため、磁界配向が容易となり残留磁束密度Brが向上する。 Among these, it is preferable to coarsely pulverize the master alloy by a hydrogen pulverization method using a hydrogen embrittlement phenomenon. This method utilizes the embrittlement phenomenon and volume expansion phenomenon of the alloy that accompany hydrogen occlusion to generate fine cracks in the mother alloy and pulverize the mother alloy. According to the hydrogen pulverization method, the probability of cracking at the grain boundary increases. When the probability of cracking at the grain boundary increases, the number of main phase crystals (2-14-1 compound) contained in the grain becomes one, and the easy magnetization direction becomes one direction. Therefore, the magnetic field orientation becomes easy and the residual magnetic flux density B r. Will improve.
水素粉砕法は、例えば、常温で加圧水素に一定時間暴露することで行う。次に、温度を上昇して過剰な水素を放出させた後、冷却する。水素脆化後の合金粉末は、多数のクラックを内在し、比表面積が大幅に増大している。このため、非常に活性であり、大気中の取り扱いでは酸素量の増大が著しくなるので、N2、Arなどの不活性ガス中で取り扱うことが望ましい。粗粉砕工程によって得られる合金粉末の粒度は、例えば500μm以下である。 The hydrogen pulverization method is performed, for example, by exposing to pressurized hydrogen for a certain period of time at room temperature. Next, the temperature is raised to release excess hydrogen and then cooled. The alloy powder after hydrogen embrittlement contains a large number of cracks, and the specific surface area is greatly increased. For this reason, it is very active, and the amount of oxygen increases remarkably when handled in the atmosphere. Therefore, it is desirable to handle in an inert gas such as N 2 or Ar. The particle size of the alloy powder obtained by the coarse pulverization step is, for example, 500 μm or less.
なお、粗粉砕工程の後、後述の微粉砕工程の前に、例えば、ふるいなどを用いて粒度を特定範囲以下としてもよい。 Note that, after the coarse pulverization step and before the fine pulverization step, which will be described later, for example, the particle size may be set to a specific range or less using a sieve or the like.
次に、微粉砕工程は、合金粉末同士を粉砕装置の粉砕槽内にて旋回させつつ、粉末同士の衝突、粉末同士の磨砕、粉末と粉砕槽壁面との摩擦およびRリッチ極微粒子が合金粉末の粒子に付着することにより、微粉砕する。 Next, in the fine pulverization step, the alloy powders are swirled in the pulverization tank of the pulverizer, the powders collide with each other, the powders are ground, the friction between the powder and the pulverization tank wall surface, and the R-rich ultrafine particles are alloyed. By adhering to powder particles, it is finely pulverized.
例として、旋回流式粉砕装置を用いた微粉砕工程を以下に説明する。 As an example, a fine pulverization process using a swirl flow pulverizer will be described below.
旋回流式粉砕装置を用いた気流粉砕方式では、粉砕装置に設けた粉砕槽の内部に、高圧の粉砕ガスを導入する。これによって、粉砕槽の内部に高速で旋回するガスの流れを発生させ、このガスの流れによって合金粉末を粉砕槽内で旋回させる。旋回流式粉砕装置を用いた粉砕方式により、旋回中、磨砕によって、合金粉末が微粉砕される。粉砕ガスには、一般にN2ガスを用いるが、HeやArガスなどの希ガスを用いてもよい。 In the airflow pulverization method using a swirl flow pulverizer, a high-pressure pulverization gas is introduced into a pulverization tank provided in the pulverizer. As a result, a gas flow swirling at high speed is generated inside the pulverization tank, and the alloy powder is swirled in the pulverization tank by this gas flow. The alloy powder is finely pulverized by grinding during swirling by a pulverization method using a swirling flow pulverizer. As the pulverization gas, N 2 gas is generally used, but a rare gas such as He or Ar gas may be used.
本明細書において、旋回流式粉砕装置とは、一般にジェットミルと称される気流式粉砕機のうち、主に旋回力によって粉砕する方式、より具体的には、磨砕効果が得られるものを広く含むものとする。 In the present specification, the swirl type pulverizer is an air flow type pulverizer generally referred to as a jet mill, which is mainly pulverized by a swirl force, more specifically, a device capable of obtaining a grinding effect. Widely include.
また、粉砕槽に導入するガス圧力とは、ゲージ圧(大気圧との差)を意味する。 The gas pressure introduced into the pulverization tank means a gauge pressure (difference from atmospheric pressure).
また、滞留時間は、粗粉砕粉供給ノズルからの供給開始から回収容器(不図示)に合金粉末が確認されるまでの時間で定義している。 The residence time is defined as the time from the start of supply from the coarsely pulverized powder supply nozzle until the alloy powder is confirmed in the collection container (not shown).
粉砕ガスの圧力は、ゲージ圧で0.75MPa以上に設定するのが好ましい。より好ましくは0.75MPa以上1.5MPa以下であり、さらに好ましくは0.75MPa以上0.95MPa以下である。 The pressure of the pulverization gas is preferably set to 0.75 MPa or more in terms of gauge pressure. More preferably, it is 0.75 MPa or more and 1.5 MPa or less, More preferably, it is 0.75 MPa or more and 0.95 MPa or less.
滞留時間は、5分以上が好ましい。さらに好ましくは6分以上10分以下である。 The residence time is preferably 5 minutes or longer. More preferably, it is 6 minutes or more and 10 minutes or less.
本実施形態では、滞留時間を延ばすために、例えば、合金粉末の供給量を従来よりも少なくする方法を採ることができる。 In the present embodiment, in order to extend the residence time, for example, a method of reducing the supply amount of the alloy powder as compared with the conventional method can be adopted.
合金粉末を微粉砕する過程で、Rリッチ組成の極微粒子(Rリッチ極微粒子)が発生する。ここで、Rリッチ極微粒子は、Nd、Pr、Dy、Tbといった希土類元素を多く含んでいる。 In the process of finely pulverizing the alloy powder, ultrafine particles having an R-rich composition (R-rich ultrafine particles) are generated. Here, the R-rich ultrafine particles contain a large amount of rare earth elements such as Nd, Pr, Dy, and Tb.
旋回流式粉砕装置を用いた気流粉砕方式では、Rリッチ極微粒子は早期には分離回収されず、粉砕槽内で合金粉末とともに粉砕槽内を旋回する。Rリッチ極微粒子を合金粉末と共に粉砕槽内を旋回させることで、Rリッチ極微粒子が、合金粉末に付着し、粒子の表面が、Nd、Pr、Dy、Tbのうちの少なくとも1種以上の希土類元素を含むR濃縮層で覆われているR−T−B系合金粉末が得られると考えられる。 In the airflow pulverization method using the swirl flow pulverizer, the R-rich ultrafine particles are not separated and recovered at an early stage, but swirl in the pulverization tank together with the alloy powder in the pulverization tank. By rotating the R-rich ultrafine particles together with the alloy powder in the grinding tank, the R-rich ultrafine particles adhere to the alloy powder, and the surface of the particles is at least one kind of rare earth of Nd, Pr, Dy, Tb. It is considered that an RTB-based alloy powder covered with an R enriched layer containing an element is obtained.
一方、旋回流式以外の他の形態のジェットミルでは、Rリッチ極微粒子は早期に粉砕槽から排出されてしまう可能性が高い。 On the other hand, in other forms of jet mills other than the swirl type, the R-rich ultrafine particles are likely to be discharged from the pulverization tank at an early stage.
この微粉砕工程後に回収される合金粉末の粒径は、例えば、D50(気流分散型レーザー回折法により得られる粉末粒径であり、体積基準中心値)で1.0μm以上5.5μm以下である。また、本実施形態において磁気特性をより向上させるためには、粒径はD50で2.5μm以上5.0μm以下が好ましく、より好ましくは3.14μm以上4.93μm以下である。 The particle size of the alloy powder recovered after the fine pulverization step is, for example, 1.0 μm or more and 5.5 μm or less in D50 (powder particle size obtained by airflow dispersion type laser diffraction method, volume reference central value). . In order to further improve the magnetic properties in this embodiment, the particle size is preferably D50 to 2.5 μm to 5.0 μm, more preferably 3.14 μm to 4.93 μm.
以下、本実施形態で用いられる例示的な旋回流式粉砕装置の詳細を説明する。 Hereinafter, details of an exemplary swirling flow type crusher used in the present embodiment will be described.
図3(a)は、旋回流式粉砕装置1を示す模式図である。また、図3(b)は、図3(a)のZ―Z´線で切断した断面を示す。旋回流式粉砕装置1は、その内部で旋回する粉砕ガスおよび粉砕粉を収容する粉砕槽2Aを備える。ここでは、粉砕槽2Aは、ハウジング2によって囲まれた空間である。 FIG. 3A is a schematic diagram showing the swirling flow crusher 1. FIG. 3B shows a cross section taken along the line ZZ ′ of FIG. The swirl type pulverizer 1 includes a pulverization tank 2A that accommodates pulverized gas and pulverized powder that are swirled therein. Here, the crushing tank 2 </ b> A is a space surrounded by the housing 2.
ハウジング2には、粉砕槽2Aに連通する複数の粉砕ガス導入ノズル5を取り付けている。各粉砕ガス導入ノズル5は、それぞれ噴射口を粉砕槽2Aの内部へ向けて(但し、中心から外れた方向へ向けて)固定設置されている。 The housing 2 is provided with a plurality of pulverized gas introduction nozzles 5 communicating with the pulverization tank 2A. Each of the pulverized gas introduction nozzles 5 is fixedly installed with its injection port directed toward the inside of the pulverization tank 2A (in the direction away from the center).
図3(a)および(b)に示すように、粉砕ガス導入ノズル5のうち1つには、粗粉砕された合金粉末を粉砕槽内に供給する粗粉砕粉供給口3が設置されている。この粗粉砕粉供給口3より、ホッパー状の粗粉砕粉供給部4から供給された合金粉末が粉砕ガス中に供給され、粉砕ガス導入ノズル5から噴射される高速の粉砕ガスとともに粉砕槽2A内に噴射・導入される。 As shown in FIGS. 3A and 3B, one of the pulverized gas introduction nozzles 5 is provided with a coarsely pulverized powder supply port 3 for supplying the coarsely pulverized alloy powder into the pulverization tank. . From the coarsely pulverized powder supply port 3, the alloy powder supplied from the hopper-like coarsely pulverized powder supply unit 4 is supplied into the pulverized gas, and in the pulverization tank 2 A together with the high-speed pulverized gas injected from the pulverized gas introduction nozzle 5. Will be injected and introduced.
粉砕ガス導入ノズル5に、それぞれ不図示の高圧気体供給装置から送気チューブを介して高圧のガス(粉砕ガス)が送り込まれる。 High-pressure gas (crushed gas) is fed into the pulverized gas introduction nozzle 5 from a high-pressure gas supply device (not shown) through an air feed tube.
本実施形態において、上記の高圧気体供給装置は、粉砕槽2Aに供給する粉砕ガスの圧力をゲージ圧で0.75MPa以上にできるように構成されている。 In the present embodiment, the high-pressure gas supply device is configured so that the pressure of the pulverized gas supplied to the pulverization tank 2A can be set to 0.75 MPa or more as a gauge pressure.
粉砕槽2Aの内部に導入された合金粉末は、内側壁に沿って配設した複数の粉砕ガス導入ノズル5から噴出したガスによって生成される高速旋回流18に巻き込まれ、粉砕槽2A内を旋回する。このとき、衝突、磨砕が生じ、その過程で、前記衝突、磨砕時に発生したRリッチ極微粒子が合金粉末の粒子に付着する。 The alloy powder introduced into the pulverization tank 2A is entrained in the high-speed swirl flow 18 generated by the gas ejected from the plurality of pulverization gas introduction nozzles 5 disposed along the inner wall, and swirls in the pulverization tank 2A. To do. At this time, collision and grinding occur, and in the process, R-rich ultrafine particles generated during the collision and grinding adhere to the particles of the alloy powder.
旋回流式粉砕装置1内の粉砕槽2Aに所定時間滞留することで、合金粉末の粒子の表面がR濃縮層で覆われているR−T−B系合金粉末が得られる。このようにしてR濃縮層によって表面が覆われたR−T−B系合金粉末は、粉砕槽内の滞留量が一定以上になると、粉砕槽2Aの中央部の上方に位置する微粉砕粉排出口6から取り出される。 By staying in the pulverization tank 2A in the swirling flow pulverizer 1 for a predetermined time, an RTB-based alloy powder in which the surface of the alloy powder particles is covered with an R concentrated layer is obtained. In this way, the RTB-based alloy powder whose surface is covered with the R-enriched layer, when the retention amount in the pulverization tank exceeds a certain level, the finely pulverized powder discharged above the central portion of the pulverization tank 2A. It is taken out from the outlet 6.
図3(a)および(b)に示す構成では、粉砕槽2A内に滞留することができる合金粉末の量は装置毎、運転条件毎に決まっている。その量を超える合金粉末が粉砕槽2A内に導入されると、導入した分に相当する合金粉末が槽外に排出される。このため、粉砕槽2Aへの導入量を調整することで、粉砕槽内の滞留時間を調整することができる。 In the configuration shown in FIGS. 3A and 3B, the amount of the alloy powder that can stay in the pulverization tank 2A is determined for each apparatus and for each operating condition. When the amount of the alloy powder exceeding the amount is introduced into the pulverizing tank 2A, the alloy powder corresponding to the introduced amount is discharged out of the tank. For this reason, the residence time in a crushing tank can be adjusted by adjusting the introduction amount to the crushing tank 2A.
[R−T−B系焼結磁石の製造方法]
[外部磁界による主相結晶の配向]
異方性焼結磁石を製造する場合は、前記R−T−B系合金粉末を外部磁界により主相結晶配向する。
[Method for producing RTB-based sintered magnet]
[Orientation of main phase crystals by external magnetic field]
In the case of manufacturing an anisotropic sintered magnet, the RTB-based alloy powder is crystallized in the main phase by an external magnetic field.
より具体的には、外部磁界により主相結晶配向するために、磁界印加コイルを有する金型プレスで行ってもよいし、充填容器に高密度に粉末を充填した後、外部磁界により主相結晶配向してもよい。その他の方法を排除しない。 More specifically, in order to orient the main phase crystal by an external magnetic field, it may be performed by a mold press having a magnetic field application coil, or after filling the filling container with powder at high density, It may be oriented. Do not exclude other methods.
また、印加される磁界は、静磁界でもパルス磁界でもよい。 The applied magnetic field may be a static magnetic field or a pulsed magnetic field.
[成形]
金型プレスを用いる場合、成形体の密度を3.7g/cm3以上4.7g/cm3以下にすることが好ましい。この範囲に調整すると、成形体は、成形体の強度を保ちつつ、配向度を高くしやすい。3.7g/cm3未満であると、金型プレスにて行った場合、成形体の強度が不足し、成形体取扱い時に割れてしまう恐れがある。4.7g/cm3を超えると、成形体強度は高くなるが、プレスによる加圧時に粒子の動きが抑えられ、配向度を高くできないおそれがある。
[Molding]
When using a die press, the density of the compact is preferably 3.7 g / cm 3 or more and 4.7 g / cm 3 or less. When adjusted to this range, the molded body tends to increase the degree of orientation while maintaining the strength of the molded body. If it is less than 3.7 g / cm 3 , the strength of the molded product is insufficient when it is performed by a mold press, and there is a risk of cracking during handling of the molded product. If it exceeds 4.7 g / cm 3 , the strength of the molded product increases, but the movement of the particles is suppressed during pressurization by pressing, and the degree of orientation may not be increased.
金型プレス又は静水圧プレスにて上記のR−T−B系合金粉末の成形体を作製する際、炭素の取り込みを抑制するために、潤滑剤等の使用を最小限にとどめることが望ましい。焼結工程(またはその前の工程)において、脱脂可能とするために、揮発性の高い潤滑剤が選択される。 It is desirable to minimize the use of a lubricant or the like in order to suppress carbon uptake when producing a molded body of the above-described RTB-based alloy powder by a die press or an isostatic press. In the sintering process (or the previous process), a highly volatile lubricant is selected in order to enable degreasing.
本発明の実施形態によるR−T−B系合金粉末であれば、潤滑剤の使用量を減らしてもあるいは潤滑剤を用いない場合であっても、高い配向が得られる。 With the RTB-based alloy powder according to the embodiment of the present invention, high orientation can be obtained even if the amount of lubricant used is reduced or no lubricant is used.
金型プレスにおいて、成形時に加える圧力は、特に限定するものではないが、例えば、9.8MPa以上、より好ましくは19.6MPa以上であり、245MPa以下、より好ましくは147MPa以下である。 In the mold press, the pressure applied at the time of molding is not particularly limited, but is, for example, 9.8 MPa or more, more preferably 19.6 MPa or more, and 245 MPa or less, more preferably 147 MPa or less.
[焼結]
焼結工程は、真空中または大気圧以下の不活性ガス雰囲気に保たれた焼結炉内で行うのが好ましい。ここでの不活性ガスとは、ArまたはHeガスを指す。大気圧以下の不活性ガス雰囲気を保持する方法は、真空ポンプによる真空排気を行いつつ、不活性ガスを少量焼結炉内に導入する方法が好ましい。この場合、真空排気を間歇的に行ってもよく、不活性ガスの導入を間歇的に行ってもよい。また真空排気と導入の双方とも間歇的に行うこともできる。
[Sintering]
The sintering step is preferably performed in a sintering furnace maintained in a vacuum or an inert gas atmosphere at atmospheric pressure or lower. The inert gas here refers to Ar or He gas. As a method of maintaining an inert gas atmosphere at atmospheric pressure or lower, a method of introducing a small amount of inert gas into a sintering furnace while performing evacuation by a vacuum pump is preferable. In this case, evacuation may be performed intermittently or inert gas may be introduced intermittently. Also, both evacuation and introduction can be performed intermittently.
焼結は通常、成形体を950℃から1100℃の温度範囲で30分から16時間保持することで行う。同じ温度または異なる温度で、複数回に分けて焼結を行ってもよい。焼結後の冷却の条件は、以下の熱処理を含め、得られる磁石の保磁力の値が目標値となるよう、適宜条件を組み合わすことができる。 Sintering is usually performed by holding the compact in a temperature range of 950 ° C. to 1100 ° C. for 30 minutes to 16 hours. Sintering may be performed in multiple steps at the same temperature or different temperatures. Conditions for cooling after sintering can be appropriately combined so that the value of the coercive force of the obtained magnet becomes a target value including the following heat treatment.
前述した焼結方法以外に、外部から圧力を加えながら加温するホットプレス、成形体に対してジュール熱により加熱する通電焼結など、粉末冶金法で用いられるあらゆる焼結手段も適用できる。これらの手法を用いる場合は、焼結温度、時間は前記の限りでない。 In addition to the sintering method described above, any sintering means used in the powder metallurgy method such as a hot press for heating while applying pressure from the outside and an electric current sintering for heating the compact by Joule heat can be applied. When these methods are used, the sintering temperature and time are not limited to the above.
焼結後、焼結体として得られた磁石の密度が7.3g/cm3以上となることが好ましい。より好ましくは7.5g/cm3以上である。 After the sintering, the density of the magnet obtained as a sintered body is preferably 7.3 g / cm 3 or more. More preferably, it is 7.5 g / cm 3 or more.
前記R濃縮層を有するR−T−B系合金粉末を焼結すると、Nd、Pr、Dy、Tbの分散性が良好になり、結晶粒界に均一なRリッチ相が形成される。その結果、この合金粉末を用いて作製したR−T−B系焼結磁石の保磁力HcJが向上する。 When the RTB-based alloy powder having the R-enriched layer is sintered, the dispersibility of Nd, Pr, Dy, and Tb is improved, and a uniform R-rich phase is formed at the crystal grain boundary. As a result, the coercive force H cJ of the RTB -based sintered magnet produced using this alloy powder is improved.
[熱処理]
保磁力を高めることを目的に、焼結終了後、焼結温度以下で熱処理を行うことができる。また、この熱処理を、同じ温度または温度を変えて複数回行ってもよい。熱処理の際の冷却条件も、狙いの保磁力の値にあわせ、種々の条件を選択できる。
[Heat treatment]
For the purpose of increasing the coercive force, heat treatment can be performed at a sintering temperature or lower after the end of sintering. Further, this heat treatment may be performed a plurality of times at the same temperature or at different temperatures. Various conditions can be selected for the cooling conditions during the heat treatment in accordance with the target coercive force value.
なお、焼結後の状態で充分な保磁力を得ている場合は、あえて熱処理を行う必要はない。 In addition, when sufficient coercive force is obtained in the state after sintering, it is not necessary to perform heat treatment.
[加工]
焼結体として得られた磁石が最終製品に近い形状を有している場合もあるが、そうでない場合もあり、一般的には切断、研削、研磨等の機械加工により、焼結後のR−T−B系焼結磁石を所定形状に仕上げる。なお、この加工は、焼結後であれば、熱処理の前でも後でも、または複数回の熱処理の中間に行ってもよい。
[processing]
The magnet obtained as a sintered body may have a shape close to that of the final product, but it may not be the case. Generally, R after sintering is obtained by machining such as cutting, grinding, and polishing. -Finish the T-B sintered magnet into a predetermined shape. In addition, as long as this process is after sintering, you may perform before or after heat processing, or in the middle of several heat processing.
[表面処理]
防錆のため、得られたR−T−B系焼結磁石に表面コーティング処理を施すのが好ましい。表面コーティング処理の例としては、Niめっき、Snめっき、Znめっき、Al蒸着、Al合金蒸着、樹脂塗装などがある。
[surface treatment]
In order to prevent rust, it is preferable to subject the obtained RTB-based sintered magnet to a surface coating treatment. Examples of the surface coating treatment include Ni plating, Sn plating, Zn plating, Al deposition, Al alloy deposition, and resin coating.
以下、本発明の実施例を説明する。 Examples of the present invention will be described below.
(実施例1)
純度99.5%以上のNd、電解鉄、低炭素フェロボロン合金を主原料とし、添加元素(CoおよびM)を純金属またはFeとの合金として添加して、最終的にR−T−B系合金粉末および焼結磁石の組成がNd:30.5、B:0.94、Co:0.9、Cu:0.1、Al:0.1、Ga:0.1、Fe:残部[質量%]となるように溶解した合金溶湯をストリップキャスト法で急冷し、厚さ0.1〜0.3mmの板状の合金を得た。
Example 1
Nd, electrolytic iron, and low carbon ferroboron alloy with a purity of 99.5% or more are used as main raw materials, and additive elements (Co and M) are added as pure metals or alloys with Fe, and finally the R-T-B system The composition of the alloy powder and sintered magnet is Nd: 30.5, B: 0.94, Co: 0.9, Cu: 0.1, Al: 0.1, Ga: 0.1, Fe: balance [mass %] Was rapidly cooled by a strip casting method to obtain a plate-like alloy having a thickness of 0.1 to 0.3 mm.
この合金を加圧可能な熱処理炉を用いて水素加圧雰囲気で保持した後、600℃まで真空中で加熱し、その後、冷却した。炉から取り出した後、ふるいにて粒度の調整を行い、粒度が425μm以下の合金粉末を得た。 The alloy was held in a hydrogen pressure atmosphere using a heat treatment furnace capable of pressurization, heated to 600 ° C. in a vacuum, and then cooled. After taking out from the furnace, the particle size was adjusted with a sieve to obtain an alloy powder having a particle size of 425 μm or less.
次に、図3(a)および(b)に示した旋回流式粉砕装置1を用いて、供給量、滞留時間を変え、合金粉末を微粉砕した粉砕条件および得られた粉末の粒径(D50)を表1に示す。 Next, using the swirl type pulverizer 1 shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), the supply amount and the residence time are changed, and the pulverization conditions for finely pulverizing the alloy powder and the particle size of the obtained powder ( D50) is shown in Table 1.
本実施例で用いた装置の粉砕槽の容積は314cm3である。ここで、粉砕ガスは、酸素濃度を8000ppm以下に制御したN2ガスである。粉砕ガス圧力は、粉砕槽に導入する粉砕ガスの圧力をゲージ圧で表した値である。 The volume of the crushing tank of the apparatus used in this example is 314 cm 3 . Here, the pulverized gas is N 2 gas whose oxygen concentration is controlled to 8000 ppm or less. The pulverization gas pressure is a value representing the pressure of the pulverization gas introduced into the pulverization tank by a gauge pressure.
供給量は1分間に粉砕槽に投入する合金粉末の量である。滞留時間は、粗粉砕粉供給ノズルからの供給開始からサイクロン(不図示)を経て回収容器(不図示)内に合金粉末の存在が確認されるまでの所要時間である。少量でも4分後に回収できた場合を4分、4分では回収できず6分で回収した場合を6分としている。 The supply amount is the amount of alloy powder charged into the grinding tank per minute. The residence time is the time required from the start of supply from the coarsely pulverized powder supply nozzle to the presence of the alloy powder in the recovery container (not shown) through a cyclone (not shown). Even if it is a small amount, it can be recovered after 4 minutes, and when it is recovered after 4 minutes and 4 minutes, it is 6 minutes.
上記表1のサンプル1(実施例)およびサンプル2(比較例)について表面分析を行った。その結果を図1に示す。 Surface analysis was performed on Sample 1 (Example) and Sample 2 (Comparative Example) in Table 1 above. The result is shown in FIG.
図1(c)および(d)は、サンプル1およびサンプル2の合金粉末の表面のAES(Auger Electron Spectroscopy:オージェ電子分光法)による元素マッピングの結果を示す。合金粉末の表層における元素情報(ここではNd)が、白黒の濃度の濃さによって示されている。白く示される領域は、Ndの濃度が高い領域であり、黒く示される領域は、Ndの濃度が低い領域である。 FIGS. 1C and 1D show the results of element mapping by AES (Auger Electron Spectroscopy) on the surface of the alloy powders of Sample 1 and Sample 2. FIG. Element information (here, Nd) in the surface layer of the alloy powder is indicated by the density of the black and white density. A region shown in white is a region having a high Nd concentration, and a region shown in black is a region having a low Nd concentration.
図1(c)からわかるように、サンプル1の表面には、Ndの濃度が濃い高輝度領域が多く形成されており、Ndが粒子の表面に広く分布していることが確認できる。 As can be seen from FIG. 1C, the surface of the sample 1 has many high-luminance regions with high Nd concentration, and it can be confirmed that Nd is widely distributed on the surface of the particles.
一方、図1(d)からわかるように、サンプル2の表面では、Ndが局所的に偏在している。 On the other hand, as can be seen from FIG. 1 (d), Nd is locally unevenly distributed on the surface of the sample 2.
次に、AESのdepth profileの分析を行った。図2は、サンプル1の合金粉末の粒子の表面から内部へのAES depth profileを示す。分析値は1μm×1μmの領域の平均値であり、Arによるスパッタレート3.8nm/minを狙い値として、微粉砕後の合金粉末を一定速度で深さ方向に掘りながら分析を行った。 Next, AES depth profile was analyzed. FIG. 2 shows the AES depth profile from the surface of the alloy powder particles of Sample 1 to the inside. The analysis value is an average value in a region of 1 μm × 1 μm, and the analysis was performed while digging the finely pulverized alloy powder in the depth direction at a constant speed with a sputtering rate of 3.8 nm / min by Ar as a target value.
図2の右端において、上からFe、Nd、B、Oのdepth profileを示している。 At the right end of FIG. 2, the depth profiles of Fe, Nd, B, and O are shown from the top.
図2からわかるように、Fe、B、Ndの濃度がほぼ一定であるところがR2Fe14B相であり、そこから図2のグラフの左の端までがR濃縮層である。サンプル1において、粒子の表面付近にはR濃縮層が形成されており、R濃縮層の内側はR2Fe14B相で構成されている。R濃縮層には希土類元素としてNdが含まれている。粒子表面に形成されたNd濃度が20原子%から32原子%の領域をR濃縮層として見なすことができ、図2に示した例では、R濃縮層の厚さを約50nmと見積もることができる。 As can be seen from FIG. 2, the R 2 Fe 14 B phase has a substantially constant concentration of Fe, B, and Nd, and the R enriched layer extends from there to the left end of the graph of FIG. In Sample 1, an R enriched layer is formed in the vicinity of the surface of the particles, and the inside of the R enriched layer is composed of an R 2 Fe 14 B phase. The R enriched layer contains Nd as a rare earth element. A region having an Nd concentration of 20 atomic% to 32 atomic% formed on the particle surface can be regarded as an R concentrated layer, and in the example shown in FIG. 2, the thickness of the R concentrated layer can be estimated to be about 50 nm. .
粒子の酸素含有量は、R濃縮層において粒子表面から内部に向かって一様に低下していた。ここで、本明細書において「一様に低下する」とは、図2に示されるように粒子表面から内部に向かって全体として連続的に酸素濃度が漸減することを意味している。ただし、粉末の表面から内部に向かう方向において、酸素の濃度が一定の領域や、または、微増する領域が僅かに含まれていてもよい。 The oxygen content of the particles uniformly decreased from the particle surface toward the inside in the R concentrated layer. Here, “decreases uniformly” in this specification means that the oxygen concentration gradually decreases continuously from the particle surface toward the inside as shown in FIG. However, a region where the concentration of oxygen is constant or a region where the concentration of oxygen slightly increases may be included in the direction from the surface of the powder to the inside.
実施例のR−T−B系合金粉末は上記のような微粉砕工程によって製造されるので、粗粉砕後の合金粉末が外気にさらされることなく、Rリッチ極微粒子が付着することによるものと考えられる。 Since the RTB-based alloy powder of the example is manufactured by the fine pulverization process as described above, the alloy powder after the coarse pulverization is not exposed to the outside air, and the R-rich ultrafine particles adhere to it. Conceivable.
R濃縮層には、他にFe、Bが含まれていた。前記R濃縮層は、合金粉末を粉砕する過程で発生したRリッチ極微粒子がR2Fe14B相に付着して形成されたものであり、このために、R濃縮層にはFe、Bも含まれている。 The R concentrated layer contained Fe and B in addition. The R enriched layer is formed by adhering R-rich ultrafine particles generated in the process of pulverizing the alloy powder to the R 2 Fe 14 B phase. include.
R濃縮層におけるFe、Bの濃度は、R濃縮層の内側(粒子内部)に形成されているR2Fe14B相におけるFe、Bの濃度より低かった。 The concentrations of Fe and B in the R concentrated layer were lower than the concentrations of Fe and B in the R 2 Fe 14 B phase formed inside (inside the particles) of the R concentrated layer.
図1(a)でコントラストが暗かった箇所を5か所選び、改めてそれらの領域を解析したところ、いずれもNdが粒子の表面に広く分布していることが確認できた。このように、サンプル1の粒子の表面は、一見見えないような部分も含め、Ndリッチな層で全体的に覆われていることがわかった。対して、サンプル2においてはNdリッチな箇所が存在しても、粒子表面に付着しているに留まり、Ndリッチな層が粉末を覆っている状態でないことが確認された。 In FIG. 1 (a), five locations where the contrast was dark were selected and those regions were analyzed anew. As a result, it was confirmed that Nd was widely distributed on the surface of the particles. Thus, it was found that the surfaces of the particles of Sample 1 were entirely covered with the Nd-rich layer, including the part that was not visible at first glance. On the other hand, in Sample 2, even if an Nd-rich portion was present, it remained on the particle surface, and it was confirmed that the Nd-rich layer did not cover the powder.
なお、サンプル1の合金粉末から無作為に抽出した粒子10個の任意の位置のR濃縮層を測定したところ、30nmから90nmの範囲内にあった。 The R-enriched layer at an arbitrary position of 10 particles randomly extracted from the alloy powder of Sample 1 was measured and found to be in the range of 30 nm to 90 nm.
実施例の合金粉末(サンプル1)および比較例の合金粉末(サンプル2)にカプリル酸メチルを0.16質量%混合した後、1.36MA/mの磁界中で磁界印加方向と加圧方向とが直交する条件で、49MPaの成形圧にて、下記表2に示すサンプル1(実施例)、サンプル2(比較例)の成形体を作製した。 After mixing 0.16% by mass of methyl caprylate with the alloy powder of the example (sample 1) and the comparative example alloy powder (sample 2), the magnetic field application direction and the pressing direction in a magnetic field of 1.36 MA / m Were molded at the molding pressure of 49 MPa under the conditions of the orthogonal pressure of Sample 1 (Example) and Sample 2 (Comparative Example) shown in Table 2 below.
そして、サンプル1、2を、減圧Arガス雰囲気で1080℃で4時間焼結した。さらに、得られたR−T−B系焼結磁石に真空雰囲気にて500℃で2時間の熱処理を行い、その後冷却した。 Samples 1 and 2 were sintered in a reduced pressure Ar gas atmosphere at 1080 ° C. for 4 hours. Further, the obtained RTB-based sintered magnet was heat-treated at 500 ° C. for 2 hours in a vacuum atmosphere, and then cooled.
これらのサンプルを、機械加工後、B−Hトレーサーにより室温での保磁力HcJおよび残留磁束密度Brを測定した。結果を表2に示す。 These samples, after machining, was measured coercivity H cJ and remanence B r of at room temperature B-H tracer. The results are shown in Table 2.
表2に示すように、サンプル1(実施例)は、サンプル2(比較例)と同一組成でありながら、HcJの値が向上している。 As shown in Table 2, Sample 1 (Example) has the same composition as Sample 2 (Comparative Example), but has an improved H cJ value.
これは、粒子の表面に、Ndが濃縮されたR濃縮層を有することで、それを用いて作製された焼結体内においてRリッチ相の分散性が高まり、焼結体の粒界が適正化されるため、HcJが高くなったからであると考えられる。 This is because the R-rich layer enriched with Nd on the surface of the particles increases the dispersibility of the R-rich phase in the sintered body produced using it, and the grain boundaries of the sintered body are optimized. This is considered to be because H cJ became higher.
一般的に同じ粉末を原料とする場合は、配向度を低下させることによりHcJが向上し、Brが減少するが、サンプル1はサンプル2と比較してBrが低下していないため、HcJの向上は配向度低下によるものではなく、Rリッチ相の分散性によると考えるのが妥当である。 For the case of a general material of the same powder, H cJ is improved by reducing the degree of orientation, but B r is decreased, the sample 1 is B r as compared to the sample 2 is not reduced, It is reasonable to consider that the improvement in H cJ is not due to a decrease in the degree of orientation but due to the dispersibility of the R-rich phase.
(実施例2)
純度99.5%以上のNd、Pr、Dy、Tb、電解鉄、低炭素フェロボロン合金を主原料とし、添加元素Mを純金属またはFeとの合金として添加して、最終的にR−T−B系合金粉末および焼結磁石の組成がNd:22.8、Pr:7.6、Dy:1.0、Tb:1.0、B:1.05、Cu:0.1、Al:0.3、Nb:0.5、Fe:残部[質量%]となるように溶解した合金溶湯をストリップキャスト法で急冷し、厚さ0.1〜0.3mmの板状の合金を得た。
(Example 2)
Nd, Pr, Dy, Tb having a purity of 99.5% or more, electrolytic iron, and a low carbon ferroboron alloy are used as main raw materials, and additive element M is added as a pure metal or an alloy with Fe. The composition of the B-based alloy powder and the sintered magnet is Nd: 22.8, Pr: 7.6, Dy: 1.0, Tb: 1.0, B: 1.05, Cu: 0.1, Al: 0 .3, Nb: 0.5, Fe: The molten alloy melted to the balance [mass%] was quenched by a strip casting method to obtain a plate-like alloy having a thickness of 0.1 to 0.3 mm.
この合金を加圧可能な熱処理炉を用いて水素加圧雰囲気で保持した後、660℃まで真空中で加熱し、その後、冷却した。炉から取り出した後、ふるいにて粒度の調整を行い、粒度が425μm以下の合金粉末を得た。 This alloy was held in a hydrogen pressure atmosphere using a heat treatment furnace capable of pressurization, heated to 660 ° C. in a vacuum, and then cooled. After taking out from the furnace, the particle size was adjusted with a sieve to obtain an alloy powder having a particle size of 425 μm or less.
次に、図3(a)および(b)に示した旋回流式粉砕装置1を用いて、供給量、滞留時間を変え、合金粉末を微粉砕した粉砕条件および得られた粉末の粒径を表3に示す。 Next, using the swirling flow type pulverizer 1 shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), the supply amount and the residence time were changed, and the pulverization conditions for finely pulverizing the alloy powder and the particle size of the obtained powder were determined. Table 3 shows.
本実施例で用いた装置の粉砕槽の容積は314cm3である。ここで、粉砕ガスは、酸素濃度を8000ppm以下に制御したN2ガスである。粉砕ガス圧は、粉砕槽に導入する粉砕ガスの圧力をゲージ圧で表した値である。 The volume of the crushing tank of the apparatus used in this example is 314 cm 3 . Here, the pulverized gas is N 2 gas whose oxygen concentration is controlled to 8000 ppm or less. The pulverization gas pressure is a value representing the pressure of the pulverization gas introduced into the pulverization tank by a gauge pressure.
後述するように、サンプル3では粒子の表面にR濃縮層が形成されていたのに対し、サンプル4では粒子の表面にR濃縮層が形成されておらずR濃度が高い領域が局所的に存在するにすぎなかった。 As will be described later, in Sample 3, an R-enriched layer was formed on the particle surface, whereas in Sample 4, an R-enriched layer was not formed on the particle surface and a region with a high R concentration was present locally. I just did.
(実施例3)
純度99.5%以上のNd、Pr、電解鉄、低炭素フェロボロン合金を主原料とし、添加元素(CoおよびM)を純金属またはFeとの合金として添加して、最終的にR−T−B系合金粉末および焼結磁石の組成がNd:21.9、Pr:7.3、B:0.94、Co:2.0、Cu:0.1、Al:0.05、Ga:0.1、Fe:残部[質量%]となるように溶解した合金溶湯をストリップキャスト法で急冷し、厚さ0.1〜0.3mmの板状の合金を得た。
Example 3
Nd, Pr, electrolytic iron, low carbon ferroboron alloy having a purity of 99.5% or more is used as a main raw material, and additive elements (Co and M) are added as pure metal or an alloy with Fe. The composition of the B-based alloy powder and the sintered magnet is Nd: 21.9, Pr: 7.3, B: 0.94, Co: 2.0, Cu: 0.1, Al: 0.05, Ga: 0 .1, Fe: The molten alloy melted so as to be the balance [mass%] was rapidly cooled by a strip cast method to obtain a plate-shaped alloy having a thickness of 0.1 to 0.3 mm.
この合金を加圧可能な熱処理炉を用いて水素加圧雰囲気で保持した後、580℃まで真空中で加熱し、その後、冷却した。炉から取り出した後、ふるいにて粒度の調整を行い、粒度が425μm以下の合金粉末を得た。 The alloy was held in a hydrogen pressure atmosphere using a heat treatment furnace capable of being pressurized, heated to 580 ° C. in a vacuum, and then cooled. After taking out from the furnace, the particle size was adjusted with a sieve to obtain an alloy powder having a particle size of 425 μm or less.
次に、図3(a)および(b)に示した旋回流式粉砕装置1を用いて、供給量、滞留時間を変え、合金粉末を微粉砕した粉砕条件および得られた粉末の粒径を表4に示す。 Next, using the swirling flow type pulverizer 1 shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), the supply amount and the residence time were changed, and the pulverization conditions for finely pulverizing the alloy powder and the particle size of the obtained powder were determined. Table 4 shows.
本実施例で用いた装置の粉砕槽の容積は628cm3である。ここで、粉砕ガスは、ヘリウムガスである。粉砕ガス圧は、粉砕槽に導入する粉砕ガスの圧力をゲージ圧で表した値である。 The volume of the grinding tank of the apparatus used in this example is 628 cm 3 . Here, the grinding gas is helium gas. The pulverization gas pressure is a value representing the pressure of the pulverization gas introduced into the pulverization tank by a gauge pressure.
後述するように、サンプル5では粒子の表面にR濃縮層が形成されていたのに対し、サンプル6では粒子の表面にR濃縮層が形成されておらずR濃度が高い領域が局所的に存在するにすぎなかった。 As will be described later, in Sample 5, the R concentrated layer was formed on the particle surface, whereas in Sample 6, the R concentrated layer was not formed on the particle surface, and there was a region with a high R concentration. I just did.
(実施例4)
純度99.5%以上のNd、Pr、Dy、Tb、電解鉄、低炭素フェロボロン合金を主原料とし、添加元素(CoおよびM)を純金属またはFeとの合金として添加して、最終的にR−T−B系合金粉末および焼結磁石の組成がNd:22.5、Pr:7.5、Dy:0.1、Tb:0.1、B:0.90、Co:0.9、Cu:0.15、Al:0.1、Ga:0.5、Zr:0.1、Fe:残部[質量%]となるように溶解した合金溶湯をストリップキャスト法で急冷し、厚さ0.1〜0.3mmの板状の合金を得た。
(Example 4)
Nd, Pr, Dy, Tb, purity 99.5% or more of Nd, Pr, Tb, electrolytic iron, and low carbon ferroboron alloy are used as main raw materials, and additive elements (Co and M) are added as pure metal or an alloy with Fe. The composition of the RTB-based alloy powder and the sintered magnet is Nd: 22.5, Pr: 7.5, Dy: 0.1, Tb: 0.1, B: 0.90, Co: 0.9 , Cu: 0.15, Al: 0.1, Ga: 0.5, Zr: 0.1, Fe: The molten alloy melted so as to be the balance [mass%] was quenched by a strip cast method to obtain a thickness. A plate-shaped alloy of 0.1 to 0.3 mm was obtained.
この合金を加圧可能な熱処理炉を用いて水素加圧雰囲気で保持した後、550℃まで真空中で加熱し、その後、冷却した。炉から取り出した後、ふるいにて粒度の調整を行い、粒度が425μm以下の合金粉末を得た。 The alloy was held in a hydrogen pressure atmosphere using a heat treatment furnace capable of being pressurized, heated to 550 ° C. in a vacuum, and then cooled. After taking out from the furnace, the particle size was adjusted with a sieve to obtain an alloy powder having a particle size of 425 μm or less.
次に、図3(a)および(b)に示した旋回流式粉砕装置1を用いて、供給量、滞留時間を変え、合金粉末を微粉砕した粉砕条件および得られた粉末の粒径を表5に示す。 Next, using the swirling flow type pulverizer 1 shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), the supply amount and the residence time were changed, and the pulverization conditions for finely pulverizing the alloy powder and the particle size of the obtained powder were determined. Table 5 shows.
本実施例で用いた装置の粉砕槽の容積は314cm3である。ここで、粉砕ガスは、アルゴンガスである。粉砕ガス圧は、粉砕槽に導入する粉砕ガスの圧力をゲージ圧で表した値である。 The volume of the crushing tank of the apparatus used in this example is 314 cm 3 . Here, the grinding gas is argon gas. The pulverization gas pressure is a value representing the pressure of the pulverization gas introduced into the pulverization tank by a gauge pressure.
後述するように、サンプル7では粒子の表面にR濃縮層が形成されていたのに対し、サンプル8では粒子の表面にR濃縮層が形成されておらずR濃度が高い領域が局所的に存在するにすぎなかった。 As will be described later, in Sample 7, the R concentrated layer was formed on the particle surface, whereas in Sample 8, the R concentrated layer was not formed on the particle surface, and there was a region with a high R concentration. I just did.
(実施例2〜4についてのより詳細な分析結果)
以下、上記の実施例2〜4において説明した各サンプルについて、より詳細な分析結果を説明する。
(A more detailed analysis result about Examples 2-4)
Hereinafter, a more detailed analysis result is demonstrated about each sample demonstrated in said Examples 2-4.
上記表3、表4、表5に示したサンプル3、5、7(実施例)およびサンプル4、6、8(比較例)の合金粉末について、実施例1と同様にAES(Auger Electron Spectroscopy:オージェ電子分光法)による元素マッピングを行い、表面におけるR濃縮層の有無を調べたところ、以下の表6に示す通りとなった。 For the alloy powders of Samples 3, 5, 7 (Examples) and Samples 4, 6, 8 (Comparative Examples) shown in Table 3, Table 4, and Table 5, AES (Auger Electron Spectroscopy: Elemental mapping by Auger electron spectroscopy) was conducted and the presence or absence of an R-enriched layer on the surface was examined. The results were as shown in Table 6 below.
サンプル3、5、7(実施例)は、Rの濃度が20原子%から32原子%であるR濃縮層があり、前記R濃縮層は粒子表面に広く分布していた。実施例1のサンプル1と同様の傾向が確認された。 Samples 3, 5, and 7 (Examples) had an R enriched layer having an R concentration of 20 atomic% to 32 atomic%, and the R concentrated layer was widely distributed on the particle surface. A tendency similar to that of Sample 1 of Example 1 was confirmed.
サンプル4、6、8(比較例)は、Rの濃度が20原子%から32原子%であるR濃縮層がなく、Ndリッチな箇所が存在しても、粒子表面に付着しているに留まり、Ndリッチな層が粉末を覆っている状態でなかった。実施例1のサンプル2と同様の傾向が確認された。 Samples 4, 6, and 8 (comparative examples) do not have an R-enriched layer having an R concentration of 20 to 32 atom%, and remain attached to the particle surface even if Nd-rich portions exist. The Nd-rich layer was not covering the powder. A tendency similar to that of Sample 2 of Example 1 was confirmed.
さらに、サンプル3、5、7(実施例)は、AESのdepth profileの分析を行った。粒子の酸素含有量、およびFe、Bの有無を調べたところ、以下の表7に示す通りとなった。サンプル3、5、7(実施例)は実施例1のサンプル1と同様の傾向が確認された。 Further, samples 3, 5, and 7 (Examples) were analyzed for the depth profile of AES. When the oxygen content of the particles and the presence or absence of Fe and B were examined, the results were as shown in Table 7 below. Samples 3, 5, and 7 (Examples) confirmed the same tendency as Sample 1 of Example 1.
次に、実施例の合金粉末(サンプル3、5、7)および比較例の合金粉末(サンプル4、6、8)にカプリル酸メチルを0.16質量%混合した後、1.36MA/mの磁界中で磁界印加方向と加圧方向とは直交した条件で、下記表4に示すサンプル3、5、7(実施例)、サンプル4、6、8(比較例)の成形体を作製した。 Next, 0.16 mass% of methyl caprylate was mixed with the alloy powder of the example (samples 3, 5, and 7) and the alloy powder of the comparative example (samples 4, 6, and 8), and then 1.36 MA / m. Molded bodies of Samples 3, 5, and 7 (Examples) and Samples 4, 6, and 8 (Comparative Examples) shown in Table 4 below were produced under the condition that the magnetic field application direction and the pressing direction were orthogonal to each other in a magnetic field.
そして、サンプル3から8を、減圧Arガス雰囲気で焼結した。さらに、得られたR−T−B系焼結磁石に真空雰囲気にて500℃で2時間の熱処理を行い、その後冷却した。 Samples 3 to 8 were sintered in a reduced pressure Ar gas atmosphere. Further, the obtained RTB-based sintered magnet was heat-treated at 500 ° C. for 2 hours in a vacuum atmosphere, and then cooled.
これらのサンプルを、機械加工後、B−Hトレーサーにより室温での保磁力HcJおよび残留磁束密度Brを測定した。結果を表8に示す。 These samples, after machining, was measured coercivity H cJ and remanence B r of at room temperature B-H tracer. The results are shown in Table 8.
表8に示すように、サンプル3(実施例)は、サンプル4(比較例)と同一組成でありながら、HcJの値が向上している。同様に、サンプル5(実施例)とサンプル6(比較例)との比較、およびサンプル7(実施例)とサンプル8(比較例)との比較でも同一組成でありながら、HcJの値が向上している。 As shown in Table 8, Sample 3 (Example) has the same composition as Sample 4 (Comparative Example), but has an improved H cJ value. Similarly, the comparison between Sample 5 (Example) and Sample 6 (Comparative Example), and the comparison between Sample 7 (Example) and Sample 8 (Comparative Example) have the same composition, but the H cJ value is improved. doing.
これは、サンプル3、5、7の合金粉末は、実施例1と同様に粒子の表面にR濃縮層を有しているので、それを用いてできた焼結体内のRリッチ相の分散性が高まり、焼結体の粒界が適正化されるため、HcJが高くなったからであると考えられる。 This is because the alloy powders of Samples 3, 5, and 7 have the R-enriched layer on the surface of the particles as in Example 1, and therefore the dispersibility of the R-rich phase in the sintered body made using the same. This is thought to be because HcJ was increased because the grain boundary of the sintered body was optimized.
サンプル3、5、7でも、サンプル4、6、8とそれぞれ比較してBrが低下していないため、HcJの向上は配向度低下によるものではなく、Rリッチ相の分散性によると考えられる。 Any samples 3,5,7, since B r and comparative sample 4, 6 and 8 respectively are not reduced, the improvement of H cJ is not due to the degree of orientation decreases, probably due to the dispersibility of the R-rich phase It is done.
以上に説明したように、旋回流式粉砕装置を用いた場合において、例えば、粉砕層に導入する粉砕ガスのゲージ圧を0.75MPa以上に設定するとともに、粉砕層内における合金粉末の滞留時間を5分以上に設定することによって、粒子の表面全体にわたって広くR濃縮層が形成された合金粉末を得ることができる。また、R濃縮層が形成された合金粉末を用いてR−T−B系焼結磁石を作製することによって、保磁力を向上させることができる。 As described above, in the case of using the swirling flow type pulverizer, for example, the gauge pressure of the pulverization gas introduced into the pulverization layer is set to 0.75 MPa or more, and the residence time of the alloy powder in the pulverization layer is set. By setting it for 5 minutes or more, an alloy powder in which an R concentrated layer is widely formed over the entire surface of the particles can be obtained. Moreover, the coercive force can be improved by producing an RTB-based sintered magnet using the alloy powder in which the R concentrated layer is formed.
上記の実施例では、粉砕槽の容積が314cm3、628cm3の場合を説明したが、容積の大きさは特に限定されるものではない。容積の大きさに応じて合金粉末の供給量などを適宜調整することによって、表面全体にわたってR濃縮層が形成された合金粉末を得ることができる。 In the above embodiment, although the volume of the grinding chamber has been described with respect to the case of 314cm 3, 628cm 3, the size of the volume is not particularly limited. By appropriately adjusting the supply amount of the alloy powder according to the size of the volume, an alloy powder in which the R concentrated layer is formed over the entire surface can be obtained.
本発明の実施形態によるR−T−B系合金粉末は、R−T−B系焼結磁石の作製に好適に用いられる。 The RTB-based alloy powder according to the embodiment of the present invention is suitably used for producing an RTB-based sintered magnet.
1 旋回流式粉砕装置
2 ハウジング
2A 粉砕槽
3 粗粉砕粉供給口
4 粗粉砕粉供給部
5 粉砕ガス導入ノズル
6 微粉砕粉排出口
18 高速旋回流
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Swirling flow type pulverizer 2 Housing 2A Grinding tank 3 Coarse pulverized powder supply port 4 Coarse pulverized powder supply part 5 Grinding gas introduction nozzle 6 Finely pulverized powder discharge port 18 High-speed swirl flow
Claims (2)
前記粒子の前記R濃縮層で囲まれた内側の領域にはR 2 Fe 14 B相が主相として存在し、
前記R濃縮層は、前記粒子の表面に付着した複数のRリッチ微粒子から構成され、前記R濃縮層の厚さは30nm以上90nm以下であり、
前記R濃縮層の厚さ方向の酸素濃度は、粒子表面から内部に向かって一様に低下しており、
前記R濃縮層には、さらにFeおよびBが含まれており、
前記R濃縮層におけるFeの濃度は、前記R濃縮層の内側のR 2 Fe 14 B相におけるFeの濃度より低く、
前記R濃縮層におけるBの濃度は、前記R濃縮層の内側のR 2 Fe 14 B相におけるBの濃度より低い、R−T−B系合金粉末。 The surface of the particle is covered with an R enriched layer containing at least one rare earth element of Nd, Pr, Dy, and Tb, and the rare earth element in the R enriched layer is 20 atomic% or more and 32 atomic% or less. range near is,
An R 2 Fe 14 B phase exists as a main phase in an inner region surrounded by the R enriched layer of the particles ,
The R enriched layer is composed of a plurality of R-rich fine particles attached to the surface of the particles, and the thickness of the R enriched layer is 30 nm or more and 90 nm or less,
Oxygen concentration in the thickness direction of the R concentration layer, Ri Contact decreases uniformly towards the inside from the particle surface,
The R enriched layer further contains Fe and B,
The concentration of Fe in the R enriched layer is lower than the concentration of Fe in the R 2 Fe 14 B phase inside the R enriched layer ,
The concentration of B in the R enriched layer is lower than the concentration of B in the R 2 Fe 14 B phase inside the R enriched layer .
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