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JP6462983B2 - Photosensitive thermosetting resin composition and flexible printed wiring board - Google Patents
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JP6462983B2 - Photosensitive thermosetting resin composition and flexible printed wiring board - Google Patents

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Description

本発明は、感光性熱硬化性樹脂組成物およびフレキシブルプリント配線板に関し、詳しくは、アルカリによる現像が可能であり、難燃性、耐折れ性および絶縁信頼性に優れた感光性熱硬化性樹脂組成物および該感光性熱硬化性樹脂組成物の硬化物を備えたフレキシブルプリント配線板に関する。   The present invention relates to a photosensitive thermosetting resin composition and a flexible printed wiring board, and more specifically, a photosensitive thermosetting resin that can be developed with an alkali and is excellent in flame retardancy, folding resistance, and insulation reliability. The present invention relates to a flexible printed wiring board provided with a composition and a cured product of the photosensitive thermosetting resin composition.

近年、スマートフォンやタブレット端末の普及と性能の向上が急速に進行している。これらに代表される情報機器端末は、小型化、薄型化への消費者の要求が高く、その要求に応えるべく、製品内部の回路基板の高密度化、省スペース化が必要となっている。そのため、折り曲げての収納が可能で、回路配置の自由度を高めることのできるフレキシブルプリント配線板の用途が拡大しており、フレキシブルプリント配線板に対する信頼性もこれまで以上に高いものが求められている。   In recent years, the spread of smartphones and tablet terminals and the improvement of performance are progressing rapidly. Information equipment terminals represented by these are highly demanded by consumers for downsizing and thinning, and in order to meet these demands, it is necessary to increase the density of circuit boards inside the products and save space. Therefore, the use of flexible printed wiring boards that can be folded and stored and that can increase the degree of freedom of circuit arrangement is expanding, and the reliability for flexible printed wiring boards is required to be higher than ever. Yes.

現在、フレキシブルプリント配線板の絶縁信頼性を確保するための絶縁膜として、折り曲げ部(屈曲部)には、ポリイミドをベースとしたカバーレイが用いられ、実装部(非屈曲部)には、感光性樹脂組成物を用いた混載プロセスが広く採用されている(特許文献1、2参照)。ポリイミドは、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れ、一方、実装部に用いられる感光性樹脂組成物は、電気絶縁性やはんだ耐熱性などに優れ微細加工が可能であるという特性を有する。   Currently, a cover lay based on polyimide is used for the bent part (bent part) as an insulating film for ensuring the insulation reliability of the flexible printed wiring board, and the mounting part (non-bent part) is photosensitive. A mixed loading process using a conductive resin composition is widely employed (see Patent Documents 1 and 2). Polyimide is excellent in mechanical properties such as heat resistance and flexibility, while the photosensitive resin composition used in the mounting part has characteristics such as excellent electrical insulation and solder heat resistance and can be finely processed. .

プリント配線板、特に、フレキシブルプリント配線板(以下、FPCと略称する)には高い難燃性が要求されており、それらの主要な構成要素の一つである絶縁膜も難燃性に優れることが求められている。ポリイミド基板等を基板として用いるFPCは、ガラスエポキシ基板のプリント配線板と比較すると薄膜である。一方で、必要な絶縁膜の膜厚はプリント配線板もFPCも同様であるため、薄膜のFPCの場合、相対的に絶縁膜への難燃化の負担が大きくなる。   Printed wiring boards, particularly flexible printed wiring boards (hereinafter abbreviated as FPC), are required to have high flame retardancy, and an insulating film that is one of the main components thereof is also excellent in flame retardancy. Is required. An FPC using a polyimide substrate or the like as a substrate is a thin film as compared with a printed wiring board of a glass epoxy substrate. On the other hand, since the required film thickness of the insulating film is the same for both the printed wiring board and the FPC, in the case of a thin FPC, the burden of making the insulating film flame-retardant is relatively increased.

そのため、従来から絶縁膜の難燃化について種々の提案がなされており、例えば、樹脂組成物に難燃性を付与しうるリン含有化合物や耐熱性に優れるエポキシ樹脂を、絶縁膜を得るための硬化性樹脂組成物に配合することが行われてきた。例えば特許文献3には、(a)エポキシ樹脂などのバインダーポリマー、(b)ブロモフェニル基等のハロゲン化芳香環と、(メタ)アクリロイル基等の重合可能なエチレン性不飽和結合とを分子中に有する光重合性化合物、(c)光重合開始剤、(d)ブロックイソシアネート化合物、および(e)分子中にリン原子を有するリン含有化合物を含有するFPC用の難燃性感光性樹脂組成物が開示されている。   Therefore, various proposals have conventionally been made for flame retarding of insulating films. For example, a phosphorus-containing compound capable of imparting flame retardancy to a resin composition or an epoxy resin excellent in heat resistance is used to obtain an insulating film. Blending into a curable resin composition has been performed. For example, Patent Document 3 discloses that (a) a binder polymer such as an epoxy resin, (b) a halogenated aromatic ring such as a bromophenyl group, and a polymerizable ethylenically unsaturated bond such as a (meth) acryloyl group in the molecule. A flame retardant photosensitive resin composition for FPC, comprising: (c) a photopolymerization initiator; (d) a blocked isocyanate compound; and (e) a phosphorus-containing compound having a phosphorus atom in the molecule. Is disclosed.

特開昭62−263692号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-263692 特開昭63−110224号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-110224 特開2007−10794号公報JP 2007-10794 A

これまでの感光性樹脂組成物は、粘度調整や硬化塗膜の物性改善、感度の向上のために、(メタ)アクリレートモノマーが配合されている。(メタ)アクリレートモノマーは、比較的易燃性であり、感光性樹脂組成物の難燃性が損なわれるため、それを補うべくリン含有化合物等の難燃剤を多量に配合する必要があった。
しかしながら、リン含有化合物を感光性樹脂組成物に配合すると、耐折れ性が悪化し、配線板の切断加工時や熱衝撃試験時等において硬化塗膜にクラックが発生しやすくなることがある。また、リン含有化合物は、リン酸エステル骨格を有するものが多く、それらの配合によりイオン性不純物が増加し、感光性樹脂組成物の絶縁信頼性が低下するという問題もあった。
Conventional photosensitive resin compositions contain a (meth) acrylate monomer in order to adjust viscosity, improve physical properties of a cured coating film, and improve sensitivity. Since the (meth) acrylate monomer is relatively flammable and the flame retardancy of the photosensitive resin composition is impaired, it is necessary to add a large amount of a flame retardant such as a phosphorus-containing compound to compensate for it.
However, when a phosphorus-containing compound is added to the photosensitive resin composition, the folding resistance is deteriorated, and cracks are likely to occur in the cured coating film at the time of cutting processing of a wiring board or a thermal shock test. In addition, many phosphorus-containing compounds have a phosphate ester skeleton, and there is a problem that ionic impurities increase due to their blending and the insulation reliability of the photosensitive resin composition decreases.

そこで本発明の目的は、難燃性、耐折れ性および絶縁信頼性に優れた感光性熱硬化性樹脂組成物および該感光性熱硬化性樹脂組成物の硬化物を備えたフレキシブルプリント配線板を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive thermosetting resin composition excellent in flame retardancy, folding resistance and insulation reliability, and a flexible printed wiring board provided with a cured product of the photosensitive thermosetting resin composition. It is to provide.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、イミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂、光塩基発生剤、熱硬化成分、および反応性を有する難燃剤を含む感光性熱硬化性樹脂組成物とすることで上記課題を解決しうることを見出した。
即ち、光照射によって光塩基発生剤が活性化し、発生した塩基を触媒としてカルボキシル基を有するポリイミド樹脂と熱硬化成分とを、加熱によって付加反応させることにより、未露光部分のみをアルカリ溶液によって除去することが可能となることが見出された。これによって、アルカリ現像による微細加工が可能となる一方、信頼性に優れた硬化物を得ることが期待できる。
また、イミド環を有する樹脂はそれ自体で難燃性に優れることから、多量の難燃剤を添加する必要がなくなり、難燃剤に由来する耐折れ性、絶縁信頼性悪化を避けることができるが、更に、難燃剤を反応性を有する化合物とすることで、当該化合物が硬化系に取り込まれ、より少量でも優れた難燃性と絶縁信頼性を得ることができることが分かった。本発明は、かかる知見に基づき完成されたものである。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present invention have photosensitive thermosetting including a polyimide resin having an imide ring and a carboxyl group, a photobase generator, a thermosetting component, and a reactive flame retardant. It discovered that the said subject could be solved by setting it as a resin composition.
That is, a photobase generator is activated by light irradiation, and a polyimide resin having a carboxyl group and a thermosetting component are subjected to an addition reaction by heating using the generated base as a catalyst, whereby only an unexposed portion is removed with an alkaline solution. It has been found that this is possible. As a result, fine processing by alkali development becomes possible, and it can be expected to obtain a cured product having excellent reliability.
In addition, since the resin having an imide ring is excellent in flame retardancy by itself, it is not necessary to add a large amount of flame retardant, and bending resistance derived from the flame retardant and insulation reliability deterioration can be avoided. Furthermore, it was found that by using a flame retardant as a reactive compound, the compound is incorporated into the curing system, and excellent flame retardancy and insulation reliability can be obtained even in a smaller amount. The present invention has been completed based on such findings.

即ち、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、
(A)イミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂、
(B)光塩基発生剤
(C)熱硬化成分、および、
(D)難燃剤
を含み、前記(D)難燃剤が反応性を有する化合物であることを特徴とするものである。
That is, the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is
(A) a polyimide resin having an imide ring and a carboxyl group,
(B) a photobase generator (C) a thermosetting component, and
(D) Flame retardant
And (D) the flame retardant is a reactive compound.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物においては、前記(D)難燃剤が前記(C)熱硬化成分との反応性を有する化合物であることが好ましく、より好ましくは前記(D)難燃剤がフェノール性水酸基を有するリン含有化合物である。また、(メタ)アクリレートモノマーを実質的に含まないことが好ましい。さらに、前記(A)イミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂が、フェノール性水酸基を有することが好ましい。さらに、前記(C)熱硬化成分が環状エーテル化合物であることが好ましい。さらにまた、フレキシブル配線板用として好適である。   In the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention, the (D) flame retardant is preferably a compound having reactivity with the (C) thermosetting component, more preferably the (D) flame retardant. Is a phosphorus-containing compound having a phenolic hydroxyl group. Moreover, it is preferable not to contain a (meth) acrylate monomer substantially. Further, the (A) polyimide resin having an imide ring and a carboxyl group preferably has a phenolic hydroxyl group. Furthermore, the (C) thermosetting component is preferably a cyclic ether compound. Furthermore, it is suitable for a flexible wiring board.

また、本発明のドライフィルムは、前記感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有することを特徴とするものである。   Moreover, the dry film of this invention has a resin layer which consists of the said photosensitive thermosetting resin composition, It is characterized by the above-mentioned.

さらに、本発明のプリント配線板は、前記感光性熱硬化性樹脂組成物、または、前記ドライフィルムを用いて形成される硬化物を備えることを特徴とするものである。   Furthermore, the printed wiring board of this invention is equipped with the hardened | cured material formed using the said photosensitive thermosetting resin composition or the said dry film, It is characterized by the above-mentioned.

本発明により、アルカリによる現像が可能であり、難燃性、耐折れ性および絶縁信頼性に優れた感光性熱硬化性樹脂組成物および該感光性熱硬化性樹脂組成物の硬化物を備えたフレキシブルプリント配線板を提供することが可能となる。本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜、特に折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)の一括形成プロセスに好適である。また、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、多層構造のカバーレイのカバー層用樹脂組成物としても好適である。ここで、カバー層とは、2層以上の積層構造を有するカバーレイの、フレキシブルプリント基板とは接しない外側の樹脂層のことを指す。   According to the present invention, there is provided a photosensitive thermosetting resin composition capable of developing with an alkali and having excellent flame retardancy, folding resistance and insulation reliability, and a cured product of the photosensitive thermosetting resin composition. A flexible printed wiring board can be provided. The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is suitable for a process for forming an insulating film of a flexible printed wiring board, particularly a bent part (bent part) and a mounting part (non-bent part). The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is also suitable as a resin composition for a cover layer of a multilayer coverlay. Here, the cover layer refers to an outer resin layer of a cover lay having a laminated structure of two or more layers that is not in contact with the flexible printed circuit board.

本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の一例を模式的に示す工程図である。It is process drawing which shows typically an example of the manufacturing method of the flexible printed wiring board of this invention.

以下、本発明の実施の形態について詳述する。
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、(A)イミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂、(B)光塩基発生剤、(C)熱硬化成分および(D)難燃剤を含み、前記(D)難燃剤が反応性を有する化合物である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention comprises (A) a polyimide resin having an imide ring and a carboxyl group, (B) a photobase generator, (C) a thermosetting component, and (D) a flame retardant, (D) The flame retardant is a reactive compound.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、光塩基発生剤から生じる塩基を触媒として、カルボキシル基を有するポリイミド樹脂と熱硬化成分とを露光後の加熱によって付加反応をさせ、未露光部分をアルカリ溶液によって除去することによって現像が可能となる樹脂組成物である。これにより、従来の光ラジカル重合開始剤から発生するラジカルによる重合反応を利用した感光性樹脂組成物においては必要であった(メタ)アクリレートモノマーを配合する必要がなくなる。
(メタ)アクリレートモノマーは易燃性であり、それを実質的に含まないことによって、感光性熱硬化性樹脂組成物の難燃性の低下を避けることができる。その為、リン含有化合物に代表される難燃剤を大量に配合する必要がなくなり、リン含有化合物に起因する耐折れ性の低下、絶縁信頼性の低下を抑制することが可能となる。よって、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、(メタ)アクリレートモノマーを実質的に含まないことが好ましい。ここで、(メタ)アクリレートモノマーを実質的に含まないとは、構成成分として積極的に配合されていないことであり、本発明の効果を損なわない範囲で少量含まれることは排除されない。例えば、(メタ)アクリレートモノマーは、その配合効果を得るためには通常、感光性樹脂100質量部に対して20〜50質量部程度配合されるが、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物においては、(A)成分であるイミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂100質量部に対して、好ましくは15質量部以下、より好ましくは10質量部以下である。
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention uses a base generated from a photobase generator as a catalyst, causes a polyimide resin having a carboxyl group and a thermosetting component to undergo an addition reaction by heating after exposure, and removes an unexposed portion. It is a resin composition that can be developed by removing it with an alkaline solution. Thereby, it is not necessary to add a (meth) acrylate monomer, which is necessary in a photosensitive resin composition utilizing a polymerization reaction by radicals generated from a conventional photo radical polymerization initiator.
The (meth) acrylate monomer is flammable, and by not containing it substantially, it is possible to avoid a decrease in flame retardancy of the photosensitive thermosetting resin composition. For this reason, it is not necessary to add a large amount of a flame retardant typified by a phosphorus-containing compound, and it becomes possible to suppress a decrease in folding resistance and a decrease in insulation reliability due to the phosphorus-containing compound. Therefore, it is preferable that the photosensitive thermosetting resin composition of this invention does not contain a (meth) acrylate monomer substantially. Here, substantially not containing a (meth) acrylate monomer means that it is not actively blended as a constituent component, and it is not excluded that it is contained in a small amount as long as the effects of the present invention are not impaired. For example, the (meth) acrylate monomer is usually blended in an amount of about 20 to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photosensitive resin in order to obtain the blending effect, but the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention. In (A), it is preferably 15 parts by mass or less, more preferably 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the polyimide resin having an imide ring and a carboxyl group as component (A).

また、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、難燃剤を反応性を有する化合物、好ましくは熱硬化成分との反応性を有する化合物とすることにより、難燃剤が硬化系に取り込まれ、より少量でも優れた難燃性と絶縁信頼性を得ることが可能となる。
より好ましくは難燃剤をフェノール性水酸基を有するリン含有化合物とする。本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、光塩基発生剤から生じる塩基を触媒として、イミド環を有するアルカリ可溶性樹脂と熱硬化成分とを露光後の加熱によって付加反応をさせ、未露光部分をアルカリ溶液によって除去することによって現像が可能となるが、難燃化剤としてフェノール性水酸基を有するリン含有化合物を用いると、フェノール性水酸基を有しない化合物を用いた場合に比べて、前記露光後の加熱硬化反応時(下記PEB工程時)において同一の加熱温度下での、付加反応によりアルカリ耐性となるまでの時間を長くすることができる。また、加熱硬化反応時(下記PEB工程時)の加熱温度の選択幅を広げることができる。これらのことから、樹脂組成物の作業性、取扱性が向上する。未露光部がアルカリ耐性となる、いわゆるかぶりの発生を抑制することもできる。
In addition, the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention has a flame retardant incorporated into the curing system by making the flame retardant a reactive compound, preferably a compound having reactivity with a thermosetting component, Even with a smaller amount, excellent flame retardancy and insulation reliability can be obtained.
More preferably, the flame retardant is a phosphorus-containing compound having a phenolic hydroxyl group. The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention causes an alkali-soluble resin having an imide ring and a thermosetting component to undergo an addition reaction by heating after exposure using a base generated from a photobase generator as a catalyst, and thereby unexposed portions. Can be developed with an alkaline solution. However, when a phosphorus-containing compound having a phenolic hydroxyl group is used as a flame retardant, the post-exposure can be performed compared to the case of using a compound having no phenolic hydroxyl group. During the heat curing reaction (at the time of the following PEB step), it is possible to lengthen the time until alkali resistance is achieved by the addition reaction under the same heating temperature. Moreover, the selection range of the heating temperature at the time of thermosetting reaction (at the time of the following PEB process) can be expanded. From these things, the workability | operativity and handleability of a resin composition improve. It is also possible to suppress the occurrence of so-called fogging in which the unexposed portion becomes resistant to alkali.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、フレキシブルプリント配線板の樹脂絶縁層、例えば、カバーレイ、ソルダーレジストに好適である。
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物を用いてフレキシブルプリント配線板の樹脂絶縁層を形成する場合、好適な製造方法は、下記のようになる。即ち、フレキシブルプリント配線板上に本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程、パターン状に光を樹脂層に照射する工程、樹脂層を加熱する工程(Post Exposure Bake;PEBとも称する)、および、樹脂層をアルカリ現像して、パターンを有する樹脂絶縁層を形成する工程を含む製造方法である。アルカリ現像後、さらなる光照射や加熱硬化(ポストキュア)を行い、樹脂組成物を完全硬化させて信頼性の高い樹脂絶縁層を得る。
このように、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、好適には、選択的な光照射後の加熱処理により、カルボキシル基と熱硬化成分とが付加反応することによって、アルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となるものである。
得られる硬化物が耐熱性および屈曲性に優れ、かつ、アルカリ現像により微細加工が可能であることから、ポリイミドに対してアルカリ現像型の感光性樹脂組成物を部分的に併用する必要がなく、フレキシブルプリント配線板の折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)のいずれにも用いることができ、折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)の一括形成プロセスに好適である。
以下、各成分について詳述する。
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is suitable for resin insulating layers of flexible printed wiring boards, such as coverlays and solder resists.
When forming the resin insulation layer of a flexible printed wiring board using the photosensitive thermosetting resin composition of this invention, a suitable manufacturing method is as follows. That is, a step of forming a resin layer comprising the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention on a flexible printed wiring board, a step of irradiating the resin layer with light in a pattern, and a step of heating the resin layer (Post Exposure Bake) ; Also referred to as PEB), and a step of alkali-developing the resin layer to form a resin insulating layer having a pattern. After alkali development, further light irradiation and heat curing (post-cure) are performed to completely cure the resin composition to obtain a highly reliable resin insulation layer.
As described above, the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is preferably a negative by alkaline development by an addition reaction between a carboxyl group and a thermosetting component by selective heat treatment after light irradiation. Mold pattern formation is possible.
Since the resulting cured product is excellent in heat resistance and flexibility and can be finely processed by alkali development, it is not necessary to partially use an alkali development type photosensitive resin composition for polyimide, It can be used for both the bent part (bent part) and the mounting part (non-bent part) of the flexible printed wiring board, and is suitable for the batch formation process of the bent part (bent part) and the mounting part (non-bent part). .
Hereinafter, each component will be described in detail.

[(A)イミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂]
本発明において、(A)イミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂は、カルボキシル基とイミド環を有する樹脂である。
(A)成分であるポリイミド樹脂は、イミド環として下記式(1)で表される部分構造を有することが好ましい。式(1)中、Rが芳香環を含むものであることが好ましい。

Figure 0006462983
上記式(1)で表される部分構造は、下記式(2)または(3)で表されるものであることがより好ましい。
Figure 0006462983
Figure 0006462983
カルボキシル基の位置は特に限定されない。上記イミド環もしくはそれと結合する基の置換基としてカルボキシル基が存在してもよく、アミン成分やイソシアネート成分として、カルボキシル基を有するものを用いて合成することによってカルボキシル基をポリイミド樹脂に導入してもよい。 [(A) Polyimide resin having imide ring and carboxyl group]
In the present invention, (A) a polyimide resin having an imide ring and a carboxyl group is a resin having a carboxyl group and an imide ring.
The polyimide resin as component (A) preferably has a partial structure represented by the following formula (1) as an imide ring. In formula (1), it is preferable that R contains an aromatic ring.
Figure 0006462983
The partial structure represented by the above formula (1) is more preferably one represented by the following formula (2) or (3).
Figure 0006462983
Figure 0006462983
The position of the carboxyl group is not particularly limited. A carboxyl group may be present as a substituent of the imide ring or a group bonded thereto, and the carboxyl group may be introduced into a polyimide resin by synthesis using an amine component or an isocyanate component having a carboxyl group. Good.

また、上記(A)成分のポリイミド樹脂として、フェノール性水酸基を有するものが好ましい。フェノール性水酸基が存在すると、存在しない場合に比べて、露光後の加熱硬化反応時(下記PEB工程時)において同一の加熱温度下での、付加反応によりアルカリ耐性となるまでの時間を長くすることができる。また、加熱硬化反応時(下記PEB工程時)の加熱温度の選択幅を広げることができる。これらのことから、樹脂組成物の作業性、取扱性が向上する。未露光部がアルカリ耐性となる、いわゆるかぶりの発生を抑制することもできる。   Moreover, what has a phenolic hydroxyl group is preferable as a polyimide resin of the said (A) component. When a phenolic hydroxyl group is present, the time until it becomes alkali resistant by the addition reaction at the same heating temperature during the heat curing reaction after exposure (during the following PEB step) is longer than when it does not exist. Can do. Moreover, the selection range of the heating temperature at the time of thermosetting reaction (at the time of the following PEB process) can be expanded. From these things, the workability | operativity and handleability of a resin composition improve. It is also possible to suppress the occurrence of so-called fogging in which the unexposed portion becomes resistant to alkali.

(A)成分であるポリイミド樹脂の合成には公知慣用の手法を用いることができる。例えば、カルボン酸無水物成分とアミン成分及び/又はイソシアネート成分とを反応させて得られる樹脂が挙げられる。イミド化は熱イミド化で行っても、化学イミド化で行ってもよく、またこれらを併用して製造してもよい。   A well-known and usual method can be used for the synthesis | combination of the polyimide resin which is (A) component. For example, the resin obtained by making a carboxylic anhydride component react with an amine component and / or an isocyanate component is mentioned. Imidization may be performed by thermal imidization, chemical imidization, or a combination thereof.

カルボン酸無水物成分としては、テトラカルボン酸無水物やトリカルボン酸無水物などが挙げられるが、これらの酸無水物に限定されるものではなく、アミノ基やイソシアネート基と反応する酸無水物基およびカルボキシル基を有する化合物であれば、その誘導体を含め用いることができる。また、これらのカルボン酸無水物成分は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   Examples of the carboxylic acid anhydride component include tetracarboxylic acid anhydrides and tricarboxylic acid anhydrides, but are not limited to these acid anhydrides, and acid anhydride groups that react with amino groups and isocyanate groups, and Any compound having a carboxyl group can be used, including derivatives thereof. Moreover, these carboxylic anhydride components may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

テトラカルボン酸無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3−フルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ジフルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ビス(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,2’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、および2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,3”,4,4”−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’”,4,4’”−クァテルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3””,4,4””−キンクフェニルテトラカルボン酸二無水物、メチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−へキサフルオロプロパン二無水物、ジフルオロメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2−テトラフルオロ−1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロ−1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4−オクタフルオロ−1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4,5,5−デカフルオロ−1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、チオ−4,4’−ジフタル酸二無水物、スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,3,3−テトラメチルシロキサン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,3−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、1,4−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタン二無水物、ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタンニ無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジメチルシラン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,4,5−テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物、カルボニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、メチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、オキシ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、チオ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、スルホニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、3,3’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、9−フェニル−9−(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ〔2,2,2〕オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物、9,9−ビス〔4−(2,3−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物、1,2−(エチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,3−(トリメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,4−(テトラメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,5−(ペンタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,6−(ヘキサメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,7−(ヘプタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,8−(オクタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,9−(ノナメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,10−(デカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,12−(ドデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,16−(ヘキサデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,18−(オクタデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)などが挙げられる。   Examples of the tetracarboxylic acid anhydride include pyromellitic dianhydride, 3-fluoropyromellitic dianhydride, 3,6-difluoropyromellitic dianhydride, 3,6-bis (trifluoromethyl) pyro Merit acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic acid Anhydride, 2,2′-difluoro-3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5′-difluoro-3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid Anhydride, 6,6′-difluoro-3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluoro-3,3 ′ , 4,4'-biphenyltet Carboxylic dianhydride, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -3, 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′ , 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -3, 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride , And 2,2 ', 5,5', 6,6 -Hexakis (trifluoromethyl) -3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ", 4,4 "-Terphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 '", 4,4' "-quaterphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3" ", 4,4" "-kinkphenyltetracarboxylic acid Dianhydride, methylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1-ethynylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 2,2-propylidene-4,4′-diphthalic dianhydride 1,2-ethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,3-trimethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,4-tetramethylene-4,4′-diphthalic acid Anhydride, 1,5-pentamethylene-4,4'-diph Talic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, difluoromethylene-4,4′-diphthal Acid dianhydride, 1,1,2,2-tetrafluoro-1,2-ethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3-hexafluoro-1, 3-trimethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluoro-1,4-tetramethylene-4,4′-diphthalic dianhydride 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5-decafluoro-1,5-pentamethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, thio-4,4′- Diphthalic dianhydride, sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphene) ) -1,1,3,3-tetramethylsiloxane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ) Benzene dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,3-bis [ 2- (3,4-Dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, 1,4-bis [2- (3,4-dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, bis [ 3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4- Dicarboxyphenoxy Phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, bis (3,4- Dicarboxyphenoxy) dimethylsilane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene Tetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic Acid dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid Anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′ , 4,4′-bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride, carbonyl-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, methylene-4,4′-bis (cyclohexane-1, 2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,2-ethylene-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1-ethynylidene-4,4′-bis (cyclohexane) San-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 2,2-propylidene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1,1,3,3,3 -Hexafluoro-2,2-propylidene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, oxy-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride Thio-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, sulfonyl-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 3,3 ′ -Difluorooxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluorooxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluorooxy-4,4'-diphthalic acid Anhydride, 3, 3 ', 5, 5', 6 6′-hexafluorooxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-bis (tri Fluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5′- Tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 5, 5 ', 6,6'-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3', 5,5 ', 6,6'-hexakis (trifluoromethyl) oxy- 4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3'-diflu Orosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-difluorosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-difluorosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluorosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′- Diphthalic dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic acid Dianhydride, 3,3 ′, 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl -4,4'-diphthalate Dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexakis ( Trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-difluoro -2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3, 3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) -2, 2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalate Acid dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-difluoro-2,2-perfluoro Propylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis ( Trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexakis (trifluoromethyl) -2,2 -Perfluoropropylidene-4,4'-diph Talic dianhydride, 9-phenyl-9- (trifluoromethyl) xanthene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis (trifluoromethyl) xanthene-2,3 6,7-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2,2,2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis [4- (3 , 4-Dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, 9,9-bis [4- (2,3-dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, ethylene glycol bistrimellitic dianhydride, 1,2- ( Ethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,3- (trimethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,4- (tetramethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,5- (pentamethylene) bis (trimetic anhydride) Retate anhydride), 1,6- (hexamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,7- (heptamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,8- (octamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,9- (nonamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,10- (decamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,12- (dodecamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,16- (hexadeca) Methylene) bis (trimellitate anhydride), 1,18- (octadecamethylene) bis (trimellitate anhydride), and the like.

トリカルボン酸無水物としては、例えば、トリメリット酸無水物や核水添トリメリット酸無水物などが挙げられる。   Examples of the tricarboxylic acid anhydride include trimellitic acid anhydride and nuclear hydrogenated trimellitic acid anhydride.

アミン成分としては、脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンなどのジアミン、脂肪族ポリエーテルアミンなどの多価アミンを用いることができるが、これらのアミンに限定されるものではない。また、これらのアミン成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。   Examples of the amine component include diamines such as aliphatic diamines and aromatic diamines, and polyvalent amines such as aliphatic polyether amines, but are not limited to these amines. These amine components may be used alone or in combination.

ジアミンとしては、例えば、p−フェニレンジアミン(PPD)、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−トルエンジアミン、2,5−トルエンジアミン、2,6−トルエンジアミンなどのベンゼン核1つのジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルなどのジアミノジフェニルエーテル類、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3’−ジメチルベンジジン(o−トリジン)、2,2’−ジメチルベンジジン(m−トリジン)、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジメトキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタンなどのベンゼン核2つのジアミン、1,3−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)−4−トリフルオロメチルベンゼン、3,3’−ジアミノ−4−(4−フェニル)フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジ(4−フェニルフェノキシ)ベンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(3−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼンなどのベンゼン核3つのジアミン、3,3’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンなどのベンゼン核4つのジアミンなどの芳香族ジアミン、1,2−ジアミノエタン、1,3−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,11−ジアミノウンデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,2−ジアミノシクロヘキサン等の脂肪族ジアミンが挙げられ、脂肪族ポリエーテルアミンとしては、エチレングリコール及び/又はプロピレングリコール系の多価アミン等が挙げられる。また、下記の様に、カルボキシル基を有するアミンを用いることもできる。   Examples of the diamine include one diamine nucleus diamine such as p-phenylenediamine (PPD), 1,3-diaminobenzene, 2,4-toluenediamine, 2,5-toluenediamine, and 2,6-toluenediamine. , 4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, diaminodiphenyl ethers such as 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylme , Bis (4-aminophenyl) sulfide, 4,4′-diaminobenzanilide, 3,3′-dichlorobenzidine, 3,3′-dimethylbenzidine (o-tolidine), 2,2′-dimethylbenzidine (m -Toridine), 3,3'-dimethoxybenzidine, 2,2'-dimethoxybenzidine, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diamino Diphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3, 3'-diaminobenzophenone, 3,3'-diamino- , 4′-dichlorobenzophenone, 3,3′-diamino-4,4′-dimethoxybenzophenone, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2- Bis (3-aminophenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 3,3′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfoxide, 4,4 ′ -Two diamine diamines such as diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3'-dicarboxy-4,4'-diaminodiphenylmethane 1,3-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl) ) Benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3- Aminophenoxy) -4-trifluoromethylbenzene, 3,3′-diamino-4- (4-phenyl) phenoxybenzophenone, 3,3′-diamino-4,4′-di (4-phenylphenoxy) benzophenone, 1 , 3-bis (3-aminophenyl sulfide) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl sulfide) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl) Rufido) benzene, 1,3-bis (3-aminophenylsulfone) benzene, 1,3-bis (4-aminophenylsulfone) benzene, 1,4-bis (4-aminophenylsulfone) benzene, 1,3- Bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene, 1,4-bis [2- (3-aminophenyl) isopropyl] benzene, 1,4-bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene, etc. Benzene nucleus of three diamines, 3,3′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 3,3′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4 , 4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- ( -Aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, Bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [3- (3-amino Phenoxy) phenyl] sulfide, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [ 3- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (4-aminophenoxy) ) Phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [3 -(4-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 2,2-bis [3- (3- Aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4 -(4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-he Safluoropropane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) ) Phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexa Aromatic diamines such as four diamines of benzene nucleus such as fluoropropane, 1,2-diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,7-diaminoheptane, 1,8-diaminooctane, 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane, 1 It includes aliphatic diamines of 2-diaminocyclohexane, etc., the aliphatic polyether amines, polyvalent amines ethylene glycol and / or propylene glycol and the like. Moreover, the amine which has a carboxyl group can also be used as follows.

カルボキシル基を有するアミンとしては、3,5−ジアミノ安息香酸、2,5−ジアミノ安息香酸、3,4−ジアミノ安息香酸等のジアミノ安息香酸類、3,5-ビス(3-アミノフェノキシ)安息香酸、3,5-ビス(4-アミノフェノキシ)安息香酸等のアミノフェノキシ安息香酸類、3,3‘−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシビフェニル、4,4‘−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシビフェニル、4,4‘−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシビフェニル、4,4‘−ジアミノ−2,2’,5,5‘−テトラカルボキシビフェニル等のカルボキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4‘−ジカルボキシジフェニルメタン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ジアミノ−2,2‘,5,5’−テトラカルボキシジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルアルカン類、3,3‘−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−2,2’,5,5‘−テトラカルボキシジフェニルエーテル等のカルボキシジフェニルエーテル化合物、3,3’−ジアミノ−4,4‘−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3‘−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2‘−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2‘,5,5’−テトラカルボキシジフェニルスルフォン等のジフェニルスルフォン化合物、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−カルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン等のビス[(カルボキシフェニル)フェニル]アルカン化合物類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフォン等のビス[(カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフォン化合物等を挙げることができる。   Examples of the amine having a carboxyl group include 3,5-diaminobenzoic acid, 2,5-diaminobenzoic acid, diaminobenzoic acids such as 3,4-diaminobenzoic acid, and 3,5-bis (3-aminophenoxy) benzoic acid. Aminophenoxybenzoic acids such as 3,5-bis (4-aminophenoxy) benzoic acid, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxybiphenyl, 4,4′-diamino-3,3′-di Carboxybiphenyl compounds such as carboxybiphenyl, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxybiphenyl, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetracarboxybiphenyl, 3,3 ′ -Diamino-4,4'-dicarboxydiphenylmethane, 3,3'-dicarboxy-4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4-carbo Cyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 4,4′-diamino-2,2 Carboxydiphenylalkanes such as carboxydiphenylmethane such as', 5,5'-tetracarboxydiphenylmethane, 3,3'-diamino-4,4'-dicarboxydiphenyl ether, 4,4'-diamino-3,3'-di Carboxydiphenyl ether compounds such as carboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetracarboxydiphenyl ether, 3,3′- Diamino-4,4′-dicarboxydiphenylsulfone, 4,4′-dia Mino-3,3′-dicarboxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetracarboxydiphenyl sulfone Bis [(carboxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-carboxyphenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- ( And bis [(carboxyphenoxy) phenyl] sulfone compounds such as 4-amino-3-carboxyphenoxy) phenyl] sulfone.

ポリイミド樹脂にフェノール性水酸基を導入するには、フェノール性水酸基を有するジアミンを併用して合成する方法によることができる。フェノール性水酸基を有するジアミンとしては、例えば、2,4−ジアミノフェノール等のジアミノフェノール類、3,3‘−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシビフェニル、4,4‘−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシビフェニル等のヒドロキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシジフェニルメタン等のヒドロキシジフェニルメタン等のヒドロキシジフェニルアルカン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシジフェニルエーテル等のヒドロキシジフェニルエーテル化合物、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシジフェニルスルフォン等のジフェニルスルフォン化合物、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]プロパン等のビス[(ヒドロキシフェニル)フェニル]アルカン化合物類、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフェニル化合物類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン等のビス[(ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン化合物、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルアルカン類、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドロキシフェノキシ)ビフェニル化合物類、1,3−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン等のビス(ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン化合物類等が挙げられる。   In order to introduce a phenolic hydroxyl group into a polyimide resin, a method of synthesizing with a diamine having a phenolic hydroxyl group can be used. Examples of the diamine having a phenolic hydroxyl group include diaminophenols such as 2,4-diaminophenol, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxybiphenyl, 4,4′-diamino-3,3′-. Hydroxybiphenyl compounds such as dihydroxybiphenyl, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxybiphenyl, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxybiphenyl, 3,3′- Diamino-4,4′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3- Amino-4-hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-hydroxyphenyl] propane, 2 , 2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane, hydroxydiphenylalkanes such as hydroxydiphenylmethane such as 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxydiphenylmethane, 3 , 3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino Hydroxydiphenyl ether compounds such as 2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxydiphenyl ether, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl Sulfone, 4,4'-diamino-2,2'- Diphenylsulfone compounds such as hydroxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxydiphenylsulfone, 2,2-bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl Bis [(hydroxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as propane, bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as 4,4′-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl, 2,2- Bis [(hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone compounds such as bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4 ′ -Carboxydiphenyl such as diamino-2,2'-dihydroxydiphenylmethane Bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as alkanes, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl, 1,3 And bis (hydroxyphenoxy) benzene compounds such as bis (3-amino-4-hydroxyphenoxy) benzene and 1,3-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) benzene.

イソシアネート成分としては、芳香族ジイソシアネート及びその異性体や多量体、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類及びその異性体などのジイソシアネートやその他汎用のジイソシアネート類を用いることができるが、これらのイソシアネートに限定されるものではない。また、これらのイソシアネート成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。   Diisocyanates such as aromatic diisocyanates and isomers and multimers, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and isomers thereof, and other general-purpose diisocyanates can be used as the isocyanate component. It is not limited. These isocyanate components may be used alone or in combination.

ジイソシアネートとして、例えば4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ビフェニルジイソシアネート、ジフェニルスルホンジイソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート及びその異性体、多量体、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、キシシレンジイソシアネートなどの脂肪族ジイソシアネート類、あるいは前記芳香族ジイソシアネートを水添した脂環式ジイソシアネート類及び異性体、もしくはその他汎用のジイソシアネート類が挙げられる。   Examples of diisocyanates include aromatic diisocyanates such as 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, tolylene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, xylylene diisocyanate, biphenyl diisocyanate, diphenyl sulfone diisocyanate, diphenyl ether diisocyanate, and isomers, multimers, hexamethylene diisocyanate, isophorone. Examples thereof include aliphatic diisocyanates such as diisocyanate, dicyclohexylmethane diisocyanate, and xylylene diisocyanate, alicyclic diisocyanates and isomers obtained by hydrogenation of the aromatic diisocyanate, and other general-purpose diisocyanates.

(A)成分であるポリイミド樹脂はアミド結合を有していてもよい。これはイソシアネートとカルボン酸を反応させて得られるアミド結合であってもよく、それ以外の反応によるものでもよい。さらにその他の付加および縮合からなる結合を有していてもよい。   The polyimide resin as component (A) may have an amide bond. This may be an amide bond obtained by reacting an isocyanate and a carboxylic acid, or may be caused by other reaction. Furthermore, you may have the coupling | bonding which consists of another addition and condensation.

(A)成分であるポリイミド樹脂の合成には、公知慣用のカルボキシル基及び/又は酸無水物基を有するアルカリ溶解性ポリマー、オリゴマー、モノマーを用いてもよく、例えばこれらの公知慣用のアルカリ溶解性樹脂類を単独でもしくは上記のカルボン酸無水物成分と組み合わせて、上記のアミン/イソシアネート類と反応させて得られる樹脂であってもよい。   For the synthesis of the polyimide resin as the component (A), a publicly known and commonly used alkali-soluble polymer, oligomer or monomer having a carboxyl group and / or an acid anhydride group may be used. Resins obtained by reacting with the above amines / isocyanates alone or in combination with the above carboxylic anhydride component may also be used.

(A)成分であるポリイミド樹脂は、アルカリ現像工程に対応するために、その酸価が20〜200mgKOH/gであることが好ましく、より好適には60〜150mgKOH/gであることが好ましい。この酸価が20mgKOH/g以上の場合、アルカリに対する溶解性が増加し、現像性が良好となり、さらには、光照射後の熱硬化成分との架橋度が高くなるため、十分な現像コントラストを得ることができる。また、この酸価が200mgKOH/g以下の場合には、後述する光照射後のPEB工程でのいわゆる熱かぶりを抑制でき、プロセスマージンが大きくなる。   The polyimide resin as component (A) preferably has an acid value of 20 to 200 mgKOH / g, more preferably 60 to 150 mgKOH / g in order to correspond to the alkali development step. When the acid value is 20 mgKOH / g or more, the solubility in alkali increases, the developability becomes good, and further, the degree of crosslinking with the thermosetting component after light irradiation becomes high, so that sufficient development contrast is obtained. be able to. Moreover, when this acid value is 200 mgKOH / g or less, what is called a hot fog in the PEB process after light irradiation mentioned later can be suppressed, and a process margin becomes large.

また、(A)成分であるポリイミド樹脂の分子量は、現像性と硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量1,000〜100,000が好ましく、さらに2,000〜50,000がより好ましい。
この分子量が1,000以上の場合、露光・PEB後に十分な耐現像性と硬化物性を得ることができる。また、分子量が100,000以下の場合、アルカリ溶解性が増加し、現像性が向上する。
The molecular weight of the polyimide resin as component (A) is preferably 1,000 to 100,000, more preferably 2,000 to 50,000, considering developability and cured coating film characteristics.
When the molecular weight is 1,000 or more, sufficient development resistance and cured properties can be obtained after exposure and PEB. On the other hand, when the molecular weight is 100,000 or less, alkali solubility increases and developability improves.

[(B)光塩基発生剤]
(B)光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、カルボキシル基を有するポリイミド樹脂と熱硬化成分との付加反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。
光塩基発生剤として、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。なかでも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。
[(B) Photobase generator]
(B) The photobase generator is a catalyst for an addition reaction between a polyimide resin having a carboxyl group and a thermosetting component when the molecular structure is changed by light irradiation such as ultraviolet light or visible light, or when the molecule is cleaved. Is a compound that produces one or more basic substances that can function as Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines.
Examples of photobase generators include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzyl carbamate groups, and alkoxyoxybenzyl carbamates. And compounds having a substituent such as a group. Of these, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferred. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable.

その他の光塩基発生剤として、WPBG-018(商品名:9-anthrylmethylN,N’-diethylcarbamate),WPBG-027(商品名:(E)-1-[3-(2-hydroxyphenyl)-2-propenoyl]piperidine),WPBG-082(商品名:guanidinium2-(3-benzoylphenyl)propionate), WPBG-140 (商品名:1-(anthraquinon-2-yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することもできる。   Other photobase generators include WPBG-018 (trade name: 9-anthrylmethylN, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (trade name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2-propenoyl ] piperidine), WPBG-082 (trade name: guanidinium2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (trade name: 1- (anthraquinon-2-yl) ethyl imidazolecarboxylate), and the like can also be used.

α―アミノアセトフェノン化合物は、分子中にベンゾインエーテル結合を有し、光照射を受けると分子内で開裂が起こり、硬化触媒作用を奏する塩基性物質(アミン)が生成する。α−アミノアセトフェノン化合物の具体例としては、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン(イルガキュア369、商品名、BASFジャパン社製)や4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン(イルガキュア907、商品名、BASFジャパン社製)、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(イルガキュア379、商品名、BASFジャパン社製)などの市販の化合物またはその溶液を用いることができる。   The α-aminoacetophenone compound has a benzoin ether bond in the molecule, and when irradiated with light, cleavage occurs in the molecule to produce a basic substance (amine) that exhibits a curing catalytic action. Specific examples of the α-aminoacetophenone compound include (4-morpholinobenzoyl) -1-benzyl-1-dimethylaminopropane (Irgacure 369, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) and 4- (methylthiobenzoyl) -1-methyl. -1-morpholinoethane (Irgacure 907, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.), 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl]- A commercially available compound such as 1-butanone (Irgacure 379, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) or a solution thereof can be used.

オキシムエステル化合物としては、光照射により塩基性物質を生成する化合物であればいずれをも使用することができる。かかるオキシムエステル化合物としては、下記一般式(4)で表される基を有するオキシムエステル系光塩基発生剤が好ましい。

Figure 0006462983
(式中、Rは、水素原子、無置換または炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基もしくはハロゲン原子で置換されたフェニル基、無置換または1個以上の水酸基で置換された炭素数1〜20のアルキル基、1個以上の酸素原子で中断された該アルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数5〜8のシクロアルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基を表し、
は、無置換または炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基もしくはハロゲン原子で置換されたフェニル基、無置換または1個以上の水酸基で置換された炭素数1〜20のアルキル基、1個以上の酸素原子で中断された該アルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数5〜8のシクロアルキル基、無置換または炭素数1〜6のアルキル基もしくはフェニル基で置換された炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基を表す。) Any oxime ester compound can be used as long as it is a compound that generates a basic substance by light irradiation. As such an oxime ester compound, an oxime ester photobase generator having a group represented by the following general formula (4) is preferable.
Figure 0006462983
(Wherein R 1 is a hydrogen atom, an unsubstituted or alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group substituted with a phenyl group or a halogen atom, unsubstituted or substituted with one or more hydroxyl groups. -20 alkyl group, the alkyl group interrupted by one or more oxygen atoms, unsubstituted, C1-C6 alkyl group or phenyl group substituted with C5-C8 cycloalkyl group, unsubstituted Or an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group,
R 2 represents an unsubstituted or alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group substituted with a phenyl group or a halogen atom, an unsubstituted or alkyl group having 1 to 20 carbon atoms substituted with one or more hydroxyl groups, The alkyl group interrupted by one or more oxygen atoms, unsubstituted or a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms substituted by an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group, unsubstituted or having 1 to 6 carbon atoms An alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group substituted with an alkyl group or a phenyl group is represented. )

オキシムエステル系光塩基発生剤の市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュアーOXE01、イルガキュアーOXE02、アデカ社製N−1919、NCI−831などが挙げられる。また、特許第4344400号公報に記載された、分子内に2個のオキシムエステル基を有する化合物も好適に用いることができる。   Examples of commercially available oxime ester photobase generators include CGI-325, Irgacure OXE01, Irgacure OXE02 manufactured by BASF Japan, N-1919, NCI-831 manufactured by Adeka. Moreover, the compound which has two oxime ester groups in the molecule | numerator described in the patent 4344400 gazette can also be used suitably.

その他、特開2004−359639号公報、特開2005−097141号公報、特開2005−220097号公報、特開2006−160634号公報、特開2008−094770号公報、特表2008−509967号公報、特表2009−040762号公報、特開2011−80036号公報記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。   In addition, JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-220097, JP-A-2006-160634, JP-A-2008-094770, JP-A-2008-509967, Specific examples include carbazole oxime ester compounds described in JP2009-040762A and JP2011-80036A.

このような光塩基発生剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。アルカリ現像型熱硬化性樹脂組成物中の光塩基発生剤の配合量は、好ましくは熱硬化成分100質量部に対して0.1〜40質量部であり、さらに好ましくは、0.1〜30質量部である。0.1質量部以上の場合、光照射部/未照射部の耐現像性のコントラストを良好に得ることができる。また、40質量部以下の場合、硬化物特性が向上する。   Such a photobase generator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The blending amount of the photobase generator in the alkali development type thermosetting resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, more preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting component. Part by mass. In the case of 0.1 parts by mass or more, the development resistance contrast of the light irradiated part / non-irradiated part can be favorably obtained. Moreover, in 40 mass parts or less, hardened | cured material characteristic improves.

[(C)熱硬化成分]
(C)熱硬化成分は、熱によって、カルボキシル基もしくはフェノール性水酸基と付加反応が可能な官能基を有するものである。熱硬化成分としては、例えば、環状(チオ)エーテル基を有する化合物が好ましく、エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物等が挙げられる。
[(C) Thermosetting component]
(C) The thermosetting component has a functional group capable of addition reaction with a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group by heat. As the thermosetting component, for example, a compound having a cyclic (thio) ether group is preferable, and examples thereof include an epoxy resin and a polyfunctional oxetane compound.

上記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ樹脂、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。なお、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。   The epoxy resin is a resin having an epoxy group, and any known one can be used. Examples thereof include a bifunctional epoxy resin having two epoxy groups in the molecule, and a polyfunctional epoxy resin having many epoxy groups in the molecule. In addition, a hydrogenated bifunctional epoxy compound may be used.

上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, and alicyclic type. Epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin , Diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl methacrylate Relate copolymerization system epoxy resins, copolymerized epoxy resins of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, and a CTBN modified epoxy resin.

その他の液状2官能性エポキシ樹脂としては、ビニルシクロヘキセンジエポキシド、(3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、(3’,4’−エポキシ−6’−メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート等の脂環族エポキシ樹脂を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Other liquid bifunctional epoxy resins include vinylcyclohexene diepoxide, (3 ′, 4′-epoxycyclohexylmethyl) -3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, and (3 ′, 4′-epoxy-6′-methyl). And alicyclic epoxy resins such as (cyclohexylmethyl) -3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate. These epoxy resins may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

なお、(C)熱硬化成分として、マレイミド化合物、ブロックイソシアネート化合物、アミノ樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、エピスルフィド樹脂などの公知慣用の化合物を配合してもよい。   In addition, you may mix | blend well-known and usual compounds, such as a maleimide compound, a block isocyanate compound, an amino resin, a benzoxazine resin, a carbodiimide resin, a cyclocarbonate compound, an episulfide resin, as a thermosetting component (C).

(C)熱硬化成分の配合量としては、(A)成分であるポリイミド樹脂との当量比(カルボキシル基:エポキシ基などの熱反応性基)が1:0.1〜1:10であることが好ましい。このような配合比の範囲とすることにより、現像が良好となり、容易に微細パターンを形成できる。上記当量比は、1:0.2〜1:5であることがさらに好ましい。   (C) As a compounding quantity of a thermosetting component, equivalence ratio (a carboxyl group: thermoreactive groups, such as an epoxy group) with the polyimide resin which is (A) component is 1: 0.1-1: 10. Is preferred. By setting the blending ratio in such a range, development becomes favorable and a fine pattern can be easily formed. The equivalent ratio is more preferably 1: 0.2 to 1: 5.

[(D)難燃剤]
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、難燃剤として反応性を有する化合物を含む。かかる反応性を有する難燃剤としては、例えば、リン含有化合物を挙げることができ、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
[(D) Flame retardant]
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention contains a reactive compound as a flame retardant. As the flame retardant having such reactivity, for example, phosphorus-containing compounds can be mentioned, and one kind may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.

反応性を有するリン含有化合物としては、有機リン系難燃剤として公知のものが挙げられる。そのような有機リン系難燃剤のうち好適なものとしては、リン酸エステル及び縮合リン酸エステル、リン元素含有(メタ)アクリレート、カルボキシル基を有するリン化合物、フェノール性水酸基を有するリン含有化合物、下記一般式(I)で表される化合物等が挙げられる。

Figure 0006462983
(式中、R、R及びRは、それぞれ独立に、ハロゲン原子以外の置換基を示す。) Examples of the phosphorus-containing compound having reactivity include those known as organophosphorus flame retardants. Among such organic phosphorus flame retardants, preferred are phosphoric acid esters and condensed phosphoric acid esters, phosphorus element-containing (meth) acrylates, phosphorus compounds having a carboxyl group, phosphorus-containing compounds having a phenolic hydroxyl group, The compound etc. which are represented with general formula (I) are mentioned.
Figure 0006462983
(In the formula, R 5 , R 6 and R 7 each independently represent a substituent other than a halogen atom.)

リン元素含有(メタ)アクリレートは、リン元素を有しており、且つ、分子中に複数の(メタ)アクリロイル基を有する化合物がよく、具体的には、上記一般式(I)におけるRとRが水素原子であり、Rが(メタ)アクリレート誘導体である化合物が挙げられる。一般に9,10−ジヒドロー9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイドと公知慣用の多官能(メタ)アクリレートモノマーとのマイケル付加反応により合成することができる。 The phosphorus element-containing (meth) acrylate is preferably a compound having a phosphorus element and having a plurality of (meth) acryloyl groups in the molecule. Specifically, R 5 in the above general formula (I) and Examples include compounds in which R 6 is a hydrogen atom and R 7 is a (meth) acrylate derivative. Generally, it can be synthesized by a Michael addition reaction between 9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide and a known and commonly used polyfunctional (meth) acrylate monomer.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物において、上述のように樹脂組成物の作業性、取扱性等の観点から、より好ましい難燃剤はフェノール性水酸基を有するリン含有化合物である。かかるリン含有化合物は、疎水性、耐熱性が高く、加水分解による電気特性の低下が無く、はんだ耐熱性が高いという利点も有する。また、好適な組み合わせとして、熱硬化性樹脂のうちエポキシ樹脂を用いた場合、エポキシ基と反応しネットワークに取り込まれるので硬化後にブリードアウトすることが無いという利点が得られる。フェノール性水酸基を有するリン含有化合物のうち、好ましいものとしては、上記一般式(I)中、R、Rが水素原子または炭素原子数1〜4のアルキル基であって、Rが2,5−ジヒドロキシフェニル基、または3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル基であるものが挙げられるが、これに限定されるものではない。 In the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention, a more preferable flame retardant is a phosphorus-containing compound having a phenolic hydroxyl group from the viewpoints of workability and handleability of the resin composition as described above. Such phosphorus-containing compounds have the advantages of high hydrophobicity and heat resistance, no deterioration in electrical properties due to hydrolysis, and high solder heat resistance. Further, as an appropriate combination, when an epoxy resin is used among thermosetting resins, there is an advantage that it does not bleed out after curing because it reacts with the epoxy group and is taken into the network. Among the phosphorus-containing compounds having a phenolic hydroxyl group, in the general formula (I), R 5 and R 6 are hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms, and R 7 is 2 , 5-dihydroxyphenyl group, or 3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl group, but is not limited thereto.

上記一般式(I)で表されるリン含有化合物の市販品としては、HCA、SANKO−220、M−ESTER、HCA−HQ(いずれも三光社の商品名)等がある。   Commercially available products of the phosphorus-containing compound represented by the general formula (I) include HCA, SANKO-220, M-ESTER, HCA-HQ (all are trade names of Sankosha), and the like.

また、フェノール性水酸基を有するオリゴマーもしくはポリマーであるリン含有化合物は、アルキル鎖の影響により折り曲げ性の低下が少なく、また分子量が大きいため硬化後のブリードアウトが無いという利点が得られるため好ましい。
また、カルボン酸を有するオリゴマーとして下記一般式(II)で表されるリン元素含有ジカルボン酸またはその無水物を用いることもできる。

Figure 0006462983
Further, a phosphorus-containing compound that is an oligomer or polymer having a phenolic hydroxyl group is preferable because it is less likely to bend due to the influence of an alkyl chain and has a large molecular weight, so that there is no bleeding out after curing.
Moreover, the phosphorus element containing dicarboxylic acid represented by the following general formula (II) or its anhydride can also be used as an oligomer which has carboxylic acid.
Figure 0006462983

上記一般式(II)中のR、Rで表される炭素原子数1〜6の炭化水素基としては、例えば、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルケニル基、シクロアルキル基、フェニル基が挙げられる。炭素原子数1〜6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、第二ブチル基、第三ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、第三ペンチル基、ヘキシル基等、炭素原子数1〜6のアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、3−ブテニル基、イソブテニル基、4−ペンテニル基、5−ヘキセニル基等が挙げられる。炭素原子数1〜6の炭化水素基は分岐および置換の何れか一方がされていてもよい。 Examples of the hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms represented by R 8 and R 9 in the general formula (II) include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and an alkenyl having 1 to 6 carbon atoms. Group, cycloalkyl group and phenyl group. Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, secondary butyl group, tertiary butyl group, isobutyl group, pentyl group, isopentyl group, and tertiary pentyl group. Examples of the alkenyl group having 1 to 6 carbon atoms such as hexyl group include vinyl group, allyl group, 3-butenyl group, isobutenyl group, 4-pentenyl group, and 5-hexenyl group. The hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms may be branched or substituted.

上記リン元素含有ジカルボン酸またはその無水物の例としては、9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイドとイタコン酸とを反応させて得られる化合物およびその無水物等が挙げられる。   Examples of the phosphorus element-containing dicarboxylic acid or anhydride thereof include compounds obtained by reacting 9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide with itaconic acid and anhydrides thereof. Thing etc. are mentioned.

反応性を有するリン含有化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。良好な難燃効果を得ることができ、また硬化物の耐折れ性、絶縁信頼性を得るために、反応性を有するリン含有化合物の配合量は、感光性熱硬化性樹脂組成物中のリンの含有率として好ましくは0.01〜3.0質量%、より好ましくは0.01〜2.5質量%である。   The reactive phosphorus-containing compound may be used alone or in combination of two or more. In order to obtain a good flame retardant effect, and to obtain the bending resistance and insulation reliability of the cured product, the compounding amount of the reactive phosphorus-containing compound is the phosphorus content in the photosensitive thermosetting resin composition. The content of is preferably 0.01 to 3.0 mass%, more preferably 0.01 to 2.5 mass%.

(フェノール性水酸基を有する樹脂)
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、フェノール性水酸基を有する樹脂を含むことが好ましい。フェノール性水酸基を有する樹脂が存在すると、存在しない場合に比べて、露光後の加熱硬化反応時(下記PEB工程時)において同一の加熱温度下での、付加反応によりアルカリ耐性となるまでの時間を長くすることができる。また、加熱硬化反応時(下記PEB工程時)の加熱温度の選択幅を広げることができる。これらのことから、樹脂組成物の作業性、取扱性が向上する。未露光部がアルカリ耐性となる、いわゆるかぶりの発生を抑制することもできる。
フェノール性水酸基を有する樹脂は、主鎖もしくは側鎖にフェノール性水酸基、即ちベンゼン環に結合した水酸基を有していれば特に制限されない。フェノール性水酸基もカルボキシル基と同様、熱硬化成分と付加反応することができる。
(Resin having a phenolic hydroxyl group)
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention preferably contains a resin having a phenolic hydroxyl group. When a resin having a phenolic hydroxyl group is present, the time until the alkali resistance is obtained by the addition reaction at the same heating temperature at the time of the heat curing reaction after exposure (at the time of the following PEB process) as compared with the case where it does not exist. Can be long. Moreover, the selection range of the heating temperature at the time of thermosetting reaction (at the time of the following PEB process) can be expanded. From these things, the workability | operativity and handleability of a resin composition improve. It is also possible to suppress the occurrence of so-called fogging in which the unexposed portion becomes resistant to alkali.
The resin having a phenolic hydroxyl group is not particularly limited as long as it has a phenolic hydroxyl group in the main chain or side chain, that is, a hydroxyl group bonded to a benzene ring. Similarly to the carboxyl group, the phenolic hydroxyl group can undergo an addition reaction with the thermosetting component.

上記フェノール性水酸基を有する樹脂としては、イミド環を有するものが好ましい。イミド環は上記したものと同様のものを挙げることができる。イミド環、フェノール性水酸基を有する樹脂としては、例えば、上記のようなカルボン酸無水物に対して、フェノール性水酸基を有するジアミンを用いて合成したポリイミド樹脂が好ましい。
フェノール性水酸基を有する樹脂の分子量は、露光・PEB後の現像性、耐現像性および硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量1,000〜100,000が好ましく、さらに2,000〜50,000がより好ましい。
As the resin having a phenolic hydroxyl group, one having an imide ring is preferable. Examples of the imide ring are the same as those described above. As the resin having an imide ring and a phenolic hydroxyl group, for example, a polyimide resin synthesized using a diamine having a phenolic hydroxyl group with respect to the carboxylic acid anhydride as described above is preferable.
The molecular weight of the resin having a phenolic hydroxyl group is preferably a mass average molecular weight of 1,000 to 100,000, more preferably 2,000 to 50, in consideration of developability after exposure and PEB, development resistance and cured coating film properties. 000 is more preferable.

(高分子樹脂)
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、得られる硬化物の可撓性、指触乾燥性の向上を目的に慣用公知の高分子樹脂を配合することができる。高分子樹脂としてはセルロース系、ポリエステル系、フェノキシ樹脂系ポリマー、ポリビニルアセタール系、ポリビニルブチラール系、ポリアミド系、ポリアミドイミド系バインダーポリマー、ブロック共重合体、エラストマー等が挙げられる。上記高分子樹脂は1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(Polymer resin)
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention can be blended with conventionally known polymer resins for the purpose of improving the flexibility and dryness of the touch of the resulting cured product. Examples of the polymer resin include cellulose, polyester, phenoxy resin, polyvinyl acetal, polyvinyl butyral, polyamide, polyamideimide binder polymer, block copolymer, elastomer and the like. The above polymer resins may be used alone or in combination of two or more.

(無機充填剤)
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、無機充填剤を配合することができる。無機充填剤は、感光性熱硬化性樹脂組成物の硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために使用される。無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、無定形シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグシリシャスアース等が挙げられる。上記無機充填剤は1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(Inorganic filler)
An inorganic filler can be blended in the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention. An inorganic filler is used in order to suppress the curing shrinkage of the cured product of the photosensitive thermosetting resin composition and to improve properties such as adhesion and hardness. Examples of the inorganic filler include barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, and Neuburg Examples include rich earth. The said inorganic filler may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

(着色剤)
さらに、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、着色剤を配合することができる。着色剤としては、赤、青、緑、黄、白、黒などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。
(Coloring agent)
Furthermore, a coloring agent can be mix | blended with the photosensitive thermosetting resin composition of this invention. As the colorant, conventionally known colorants such as red, blue, green, yellow, white, and black can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used.

(有機溶剤)
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、樹脂組成物の調製のためや、基材やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のために、有機溶剤を使用することができる。
このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。
(Organic solvent)
In the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention, an organic solvent can be used for preparing the resin composition and adjusting the viscosity for application to a substrate or a carrier film.
Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. Such an organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.

(その他の任意成分)
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じてさらに、メルカプト化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。また、上記の感光性熱硬化性樹脂組成物には、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/又はレベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
(Other optional ingredients)
If necessary, the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention may further contain components such as a mercapto compound, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber. As these, those known in the field of electronic materials can be used. The photosensitive thermosetting resin composition includes a known and commonly used thickener such as finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite, and montmorillonite, an antifoaming agent such as silicone, fluorine, and polymer. // Known additives such as a leveling agent, a silane coupling agent, and a rust preventive agent can be blended.

〔ドライフィルム〕
本発明のドライフィルムは、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有することを特徴とする。
ドライフィルム化に際しては、例えば、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター等の公知の手法でキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥し、キャリアフィルム上に樹脂層を形成する。
[Dry film]
The dry film of the present invention is characterized by having a resin layer comprising the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention.
In forming a dry film, for example, the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is diluted with an organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, and a uniform thickness is formed on the carrier film by a known method such as a comma coater. Apply. Thereafter, drying is usually performed at a temperature of 50 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes to form a resin layer on the carrier film.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。キャリアフィルム上に樹脂層を形成した後、さらに、樹脂層の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層してもよい。   A plastic film is used as the carrier film. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of a carrier film, Generally, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers. After forming the resin layer on the carrier film, a peelable cover film may be further laminated on the surface of the resin layer.

〔フレキシブルプリント配線板及びその製造方法〕
本発明のフレキシブルプリント配線板は、感光性熱硬化性樹脂組成物、又は、ドライフィルムの樹脂層からなる硬化物を有することを特徴とするものである。
本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法は、フレキシブルプリント配線板上に感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程、パターン状に光を樹脂層に照射する工程、樹脂層を加熱する工程、及び、樹脂層をアルカリ現像して、カバーレイ及びソルダーレジストのうちの少なくともいずれか一方を形成する工程を含む。
[Flexible printed wiring board and manufacturing method thereof]
The flexible printed wiring board of the present invention is characterized by having a cured product composed of a photosensitive thermosetting resin composition or a resin layer of a dry film.
The method for producing a flexible printed wiring board of the present invention includes a step of forming a resin layer made of a photosensitive thermosetting resin composition on a flexible printed wiring board, a step of irradiating the resin layer with light in a pattern, and a resin layer. A step of heating, and a step of alkali-developing the resin layer to form at least one of a coverlay and a solder resist.

[樹脂層形成工程]
この工程では、フレキシブルプリント配線板上にアルカリ現像型熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を少なくとも一層形成する。
樹脂層の形成方法としては、塗布法と、ラミネート法が挙げられる。
塗布法の場合、スクリーン印刷等の方法により、アルカリ現像型熱硬化性樹脂組成物をフレキシブルプリント配線板上に塗布し、乾燥することにより樹脂層を形成する。
ラミネート法の場合、まずは、アルカリ現像型熱硬化性樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、キャリアフィルム上に塗布、乾燥して樹脂層を有するドライフィルムを作成する。次に、ラミネーター等により樹脂層が、フレキシブルプリント配線板と接触するように貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離する。
[Resin layer forming step]
In this step, at least one resin layer made of an alkali development type thermosetting resin composition is formed on the flexible printed wiring board.
Examples of the method for forming the resin layer include a coating method and a laminating method.
In the case of the application method, the alkali development type thermosetting resin composition is applied onto the flexible printed wiring board by a method such as screen printing and dried to form a resin layer.
In the case of the laminating method, first, the alkali development type thermosetting resin composition is diluted with an organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, applied onto a carrier film, and dried to prepare a dry film having a resin layer. Next, after bonding together so that a resin layer may contact a flexible printed wiring board with a laminator etc., a carrier film is peeled.

また、樹脂層とフレキシブルプリント配線板の間には、他の層を介在させることができる。他の層は、アルカリ現像型感光性樹脂組成物からなることが好ましい。アルカリ現像型感光性樹脂組成物としては、公知の組成物を使用することができ、例えば、従来からソルダーレジスト組成物として使用される、カルボキシル基含有樹脂またはカルボキシル基含有感光性樹脂と、エチレン性不飽和結合を有する化合物と、光重合開始剤と、熱反応性化合物とを含む光硬化性熱硬化性樹脂組成物や、カルボキシル基含有樹脂と、光塩基発生剤と熱反応性化合物とを含む感光性熱硬化性樹脂組成物等を使用できる。このように他の層を含めた積層構造とすることにより、さらに耐衝撃性と屈曲性に優れた硬化物を得ることができる。積層構造の層間の界面は馴染んでいてもよい。   Moreover, another layer can be interposed between the resin layer and the flexible printed wiring board. The other layer is preferably made of an alkali development type photosensitive resin composition. As the alkali development type photosensitive resin composition, a known composition can be used. For example, a carboxyl group-containing resin or a carboxyl group-containing photosensitive resin conventionally used as a solder resist composition, and an ethylenic resin A photocurable thermosetting resin composition containing a compound having an unsaturated bond, a photopolymerization initiator, and a thermoreactive compound, a carboxyl group-containing resin, a photobase generator, and a thermoreactive compound A photosensitive thermosetting resin composition or the like can be used. Thus, by setting it as the laminated structure including another layer, the hardened | cured material which was further excellent in impact resistance and flexibility can be obtained. The interface between the layers of the laminated structure may be familiar.

[光照射工程]
この工程は、ネガ型のパターン状に光照射にて樹脂層に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する。この工程では、光照射部で発生した塩基により、光塩基発生剤が不安定化し、塩基が化学的に増殖することにより、樹脂層の深部まで十分硬化できる。
[Light irradiation process]
This step activates the photobase generator contained in the resin layer by light irradiation in a negative pattern to cure the light irradiation part. In this step, the photobase generator is destabilized by the base generated in the light irradiation part, and the base is chemically proliferated, whereby the resin layer can be sufficiently cured to the deep part.

光照射機としては、直接描画装置、メタルハライドランプを搭載した光照射機などを用いることができる。パターン状の光照射用のマスクは、ネガ型のマスクである。
光照射に用いる活性エネルギー線としては、最大波長が350〜450nmの範囲にあるレーザー光又は散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく光塩基発生剤を活性化させることができる。この範囲のレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には100〜1500mJ/cmとすることができる。
As the light irradiator, a direct writer, a light irradiator equipped with a metal halide lamp, or the like can be used. The patterned light irradiation mask is a negative mask.
As the active energy ray used for light irradiation, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the photobase generator can be activated efficiently. If a laser beam in this range is used, either a gas laser or a solid laser may be used. Moreover, although the light irradiation amount changes with film thicknesses etc., it can generally be set as 100-1500 mJ / cm < 2 >.

[加熱工程]
この工程は、光照射後、樹脂層を加熱することにより光照射部を硬化する。この工程により、光照射工程で発生した塩基により深部まで硬化できる。加熱温度は、例えば、80〜140℃である。加熱時間は、例えば、10〜100分である。
本発明における感光性熱硬化性樹脂組成物の硬化は、例えば、熱反応によるエポキシ樹脂の開環反応であるため、光ラジカル反応で硬化が進行する場合と比べてひずみや硬化収縮を抑えることができる。
[Heating process]
In this step, after the light irradiation, the light irradiation part is cured by heating the resin layer. By this process, it is possible to cure to a deep part by the base generated in the light irradiation process. The heating temperature is, for example, 80 to 140 ° C. The heating time is, for example, 10 to 100 minutes.
Since the curing of the photosensitive thermosetting resin composition in the present invention is, for example, a ring-opening reaction of an epoxy resin by a thermal reaction, it can suppress distortion and curing shrinkage compared to the case where curing proceeds by a photoradical reaction. it can.

[現像工程]
現像工程は、アルカリ現像により、未照射部を除去して、ネガ型のパターン状の絶縁膜、特に、カバーレイ及びソルダーレジストを形成する。
現像方法としては、ディッピング等の公知の方法によることができる。また、現像液としては、公知慣用のものを用いることができ、例えば、水酸化カリウム、アミン類、イミダゾール類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液またはこれらの混合液を用いることができる。
なお、現像工程の後に、さらに、絶縁膜を光照射してもよい。また、例えば、150℃以上で加熱してもよい。
[Development process]
In the development step, the unirradiated portion is removed by alkali development to form a negative patterned insulating film, particularly a coverlay and a solder resist.
The developing method can be a known method such as dipping. Moreover, as a developing solution, a well-known and usual thing can be used, for example, alkaline aqueous solutions, such as potassium hydroxide, amines, imidazoles, tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH), or these liquid mixture are used. Can do.
Note that the insulating film may be further irradiated with light after the development step. For example, you may heat at 150 degreeC or more.

次に、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物から本発明のフレキシブルプリント配線板を製造する方法の一例を図1の工程図に基づき説明する。なお、図1では、樹脂層が積層構造である場合を示すが、1層のみからなる場合でもよい。   Next, an example of a method for producing the flexible printed wiring board of the present invention from the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention will be described based on the process diagram of FIG. FIG. 1 shows a case where the resin layer has a laminated structure, but it may be composed of only one layer.

図1の積層工程は、樹脂層3と樹脂層4からなる積層構造体を、銅回路2が形成されたフレキシブルプリント配線基材1に形成する。
樹脂層3は、カルボキシル基含有樹脂などを含むアルカリ現像型の感光性樹脂組成物からなる。
樹脂層4は、樹脂層3上に形成され、1分子中に1個以上のイミド環と1個以上のカルボキシル基とを有するポリイミド樹脂、光塩基発生剤、及び熱硬化成分を含む感光性熱硬化性樹脂組成物からなる。
In the laminating process of FIG. 1, a laminated structure composed of the resin layer 3 and the resin layer 4 is formed on the flexible printed wiring substrate 1 on which the copper circuit 2 is formed.
The resin layer 3 is made of an alkali development type photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing resin or the like.
The resin layer 4 is formed on the resin layer 3 and is a photosensitive heat containing a polyimide resin having one or more imide rings and one or more carboxyl groups in one molecule, a photobase generator, and a thermosetting component. It consists of a curable resin composition.

図1の光照射工程は、樹脂層4上にマスク5を配置し、ネガ型のパターン状に光照射することにより、感光性熱硬化性樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する工程である。図1の加熱工程は、光照射工程の後、樹脂層を加熱することにより、光照射部を硬化する工程(PEB工程)である。図1の現像工程は、アルカリ性水溶液によって現像することにより、未照射部が除去され、ネガ型のパターン層を形成する工程である。   The light irradiation process of FIG. 1 activates the photobase generator contained in the photosensitive thermosetting resin composition by disposing a mask 5 on the resin layer 4 and irradiating light in a negative pattern. This is a step of curing the light irradiation part. The heating process of FIG. 1 is a process (PEB process) of curing the light irradiation part by heating the resin layer after the light irradiation process. The development process in FIG. 1 is a process in which an unirradiated portion is removed by developing with an alkaline aqueous solution, and a negative pattern layer is formed.

なお、図1の第2光照射工程は、必要に応じて、残った光塩基発生剤を活性化して塩基を発生させるための工程であり、熱硬化工程は、必要に応じて、パターン層を十分に熱硬化させるための工程である。   In addition, the 2nd light irradiation process of FIG. 1 is a process for activating the remaining photobase generator as needed, and generating a base, and a thermosetting process is a pattern layer as needed. This is a process for sufficient heat curing.

以下、実施例、比較例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例、比較例によって制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not restrict | limited by these Examples and a comparative example.

<イミド環及びカルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液の合成例>
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,5−ジアミノ安息香酸を12.5g、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを8.2g、NMPを30g、γ−ブチロラクトンを30g、4,4’−オキシジフタル酸無水物を27.9g、トリメリット酸無水物を3.8g加え、窒素雰囲気下、室温、100rpmで4時間撹拌した。次いでトルエンを20g加え、シリコン浴温度180℃、150rpmでトルエン及び水を留去しながら4時間撹拌してイミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液(PI−1)を得た。
得られた樹脂(固形分)の酸価は85mgKOH/g、重量平均分子量(Mw)は10000であった。
<Synthesis example of polyimide resin solution having imide ring and carboxyl group>
12.5 g of 3,5-diaminobenzoic acid, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) was added to a separable three-necked flask equipped with a stirrer, a nitrogen inlet tube, a fractional ring, and a cooling ring. Phenyl] propane (8.2 g), NMP (30 g), γ-butyrolactone (30 g), 4,4′-oxydiphthalic anhydride (27.9 g) and trimellitic anhydride (3.8 g) were added. For 4 hours. Next, 20 g of toluene was added and stirred for 4 hours while distilling off toluene and water at a silicon bath temperature of 180 ° C. and 150 rpm to obtain a polyimide resin solution (PI-1) having an imide ring and a carboxyl group.
The acid value of the obtained resin (solid content) was 85 mgKOH / g, and the weight average molecular weight (Mw) was 10,000.

<イミド環、フェノール性水酸基、カルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液の合成例>
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホン22.4g、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを8.2g、NMPを30g、γ−ブチロラクトンを30g、4,4’−オキシジフタル酸無水物を27.9g、トリメリット酸無水物を3.8g加え、窒素雰囲気下、室温、100rpmで4時間撹拌した。次いでトルエンを20g加え、シリコン浴温度180℃、150rpmでトルエン及び水を留去しながら4時間撹拌してイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂溶液(PI−2)を得た。
得られた樹脂(固形分)の酸価は18mgKOH/g、Mwは10000、水酸基当量は390であった。
<Synthesis example of polyimide resin solution having imide ring, phenolic hydroxyl group, carboxyl group>
To a separable three-necked flask equipped with a stirrer, a nitrogen introduction tube, a fractionation ring, and a cooling ring, 22.4 g of 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone, 2,2′-bis [4 -(4-aminophenoxy) phenyl] propane 8.2 g, NMP 30 g, γ-butyrolactone 30 g, 4,4′-oxydiphthalic anhydride 27.9 g, trimellitic anhydride 3.8 g, The mixture was stirred at room temperature and 100 rpm for 4 hours under a nitrogen atmosphere. Next, 20 g of toluene was added and stirred for 4 hours while distilling off toluene and water at a silicon bath temperature of 180 ° C. and 150 rpm to obtain an alkali-soluble resin solution (PI-2) having an imide ring.
The acid value of the obtained resin (solid content) was 18 mgKOH / g, Mw was 10,000, and the hydroxyl group equivalent was 390.

<感光性熱硬化性樹脂組成物の調製>
下記表1記載の配合に従って、実施例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、感光性熱硬化性樹脂組成物を調製した。表中の値は、特に断りが無い限り質量部である。
<Preparation of photosensitive thermosetting resin composition>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, the materials described in the examples were respectively mixed, preliminarily mixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to prepare a photosensitive thermosetting resin composition. The values in the table are parts by mass unless otherwise specified.

<絶縁信頼性>
上記各実施例及び比較例の組成物を、L/S=50/50μmのポリイミド基板(新日鐵化学社製エスパネックス)上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分乾燥し、室温まで放冷した。得られた基板にメタルハライドランプ搭載の露光装置(HMW−680−GW20)を用いて最適露光量でレジストパターンを露光し、30℃の1wt%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得、この基板を、150℃で60分加熱して硬化した。得られた評価基板にDC50Vのバイアス電圧を印加し、85℃、85%R.H.の恒温恒湿槽にて抵抗値を連続測定にて確認した。判定基準は以下のとおりである。
○:1000時間経過後においてショート及び銅箔の変色の発生無し。
△:1000時間経過後においてショートの発生は無いが、銅箔の変色有り。
×:1000時間以内にショートの発生有り。
<Insulation reliability>
The compositions of the above Examples and Comparative Examples were applied to the entire surface of a polyimide substrate (Espanex manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) with L / S = 50/50 μm by screen printing, dried at 80 ° C. for 30 minutes, and room temperature. It was left to cool. The obtained substrate is exposed to a resist pattern with an optimal exposure amount using an exposure apparatus (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp, and a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is sprayed at a pressure of 0.2 MPa. Development was performed for 60 seconds to obtain a resist pattern, and this substrate was cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes. A bias voltage of DC 50 V was applied to the obtained evaluation substrate, and 85 ° C., 85% R.D. H. The resistance value was confirmed by continuous measurement in a constant temperature and humidity chamber. The judgment criteria are as follows.
○: No occurrence of short circuit and discoloration of copper foil after 1000 hours.
Δ: No short circuit occurred after 1000 hours, but there was discoloration of the copper foil.
×: Short circuit occurred within 1000 hours.

<低反り性>
可撓性(耐折れ性)の評価用サンプルと同様に作製したサンプルを50mm×50mm□に切り出し、4角の反りを測定して平均値を求め、以下の基準で評価した。
○:反りが4mm未満であるもの。
△:反りが4mm以上、8mm未満であるもの。
×:反りが8mm以上であるもの。
<Low warpage>
A sample prepared in the same manner as the sample for evaluation of flexibility (folding resistance) was cut into 50 mm × 50 mm □, and the average value was obtained by measuring four-angle warpage, and evaluated according to the following criteria.
○: The warp is less than 4 mm.
(Triangle | delta): The curvature is 4 mm or more and less than 8 mm.
X: The warp is 8 mm or more.

<難燃性>
上記各実施例及び比較例の組成物を、25μm、12.5μm厚のポリイミドフィルム(東レデュポン社製、カプトン100H(25μm)、カプトン50H(12.5μm))にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分乾燥して室温まで放冷した。さらに裏面を同様にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分乾燥して室温まで放冷し両面塗布基板を得た。得られた両面基板にメタルハライドランプ搭載の露光装置(HMW−680−GW20)を用いて最適露光量でソルダーレジストを全面露光し、30℃の1wt%NaCO水溶液をスプレー圧2kg/cmの条件で60秒間現像を行い、150℃で60分間熱硬化を行い評価サンプルとした。この難燃性評価用サンプルについて、UL94規格に準拠した薄材垂直燃焼試験を行った。評価は難燃性試験合格を○、不合格を×と表した。
<Flame retardance>
The composition of each of the above Examples and Comparative Examples was applied on the entire surface by screen printing onto a polyimide film having a thickness of 25 μm and a thickness of 12.5 μm (manufactured by Toray DuPont, Kapton 100H (25 μm), Kapton 50H (12.5 μm)). It dried at 30 degreeC for 30 minutes, and stood to cool to room temperature. Further, the entire back surface was similarly applied by screen printing, dried at 80 ° C. for 30 minutes, and allowed to cool to room temperature to obtain a double-side coated substrate. The obtained double-sided substrate is exposed to the entire surface of the solder resist with an optimum exposure amount using an exposure apparatus (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp, and a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is sprayed at a pressure of 2 kg / cm 2. Development was performed for 60 seconds under the above conditions, and thermosetting was performed at 150 ° C. for 60 minutes to obtain an evaluation sample. This flame retardant evaluation sample was subjected to a thin material vertical combustion test based on the UL94 standard. In the evaluation, the flame retardant test pass was indicated as “◯” and the failure was indicated as “X”.

<可撓性(耐折れ性)>
上記各実施例及び比較例の組成物を、25μm厚のポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製カプトン100H)にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分乾燥し、室温まで放冷した。得られた基板にメタルハライドランプ搭載の露光装置(HMW−680−GW20)を用いて最適露光量でレジストパターンを露光し、30℃の1wt%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得、この基板を、150℃で60分加熱して硬化した。
得られた評価基板に対してハゼ折りにより180°折り曲げを数回繰り返して行い、その際の塗膜におけるクラック発生状況を目視及び200倍の光学顕微鏡で観察し、クラックが発生するまでに行った折り曲げ回数を測定し、以下の基準で評価した。
◎:折り曲げ回数が6回以上であるもの。
○:折り曲げ回数が4〜5回であるもの。
△:折り曲げ回数が2〜3回であるもの。
×:折り曲げ回数が0〜1回であるもの。
上記各評価試験の結果を表1にまとめて示す。
<Flexibility (breaking resistance)>
The compositions of the above Examples and Comparative Examples were applied to the entire surface of a 25 μm thick polyimide film (Kapton 100H manufactured by Toray DuPont) by screen printing, dried at 80 ° C. for 30 minutes, and allowed to cool to room temperature. The obtained substrate is exposed to a resist pattern with an optimal exposure amount using an exposure apparatus (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp, and a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is sprayed at a pressure of 0.2 MPa. Development was performed for 60 seconds to obtain a resist pattern, and this substrate was cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes.
The obtained evaluation substrate was subjected to 180 ° folding by goblet folding several times, and the occurrence of cracks in the coating film at that time was observed visually and with a 200-fold optical microscope until cracks were generated. The number of bendings was measured and evaluated according to the following criteria.
A: The number of times of bending is 6 times or more.
○: The number of bending is 4 to 5 times.
(Triangle | delta): The frequency | count of bending is 2-3 times.
X: The number of times of bending is 0 to 1 times.
The results of the above evaluation tests are summarized in Table 1.

Figure 0006462983
※1 上記合成例に従い合成したイミド環及びカルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液である。
※2 上記合成例に従い合成したイミド環、フェノール性水酸基、カルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液である。
※3 三菱化学社製 E828
※4 BASF社製 イルガキュアOXE−02
※5 和光純薬社製 WPRG−027
※6 クラリアント社製 エクソリットOP935 ホスフィン酸金属塩
※7 三光社製 HCA−HQ
※8 明和化成社製 水酸基価284、軟化点100℃のフェノール性水酸基を有する難燃剤
Figure 0006462983
* 1 A polyimide resin solution having an imide ring and a carboxyl group synthesized according to the above synthesis example.
* 2 A polyimide resin solution having an imide ring, a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group synthesized according to the above synthesis example.
* 3 E828 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation
* 4 Irgacure OXE-02 manufactured by BASF
* 5 WPRG-027 manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.
* 6 Clariant Exolit OP935 Phosphinic acid metal salt * 7 Sanko HCA-HQ
* 8 A flame retardant having a hydroxyl value of 284 and a phenolic hydroxyl group with a softening point of 100 ° C manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.

上記表1から明らかなように、本発明にかかる実施例1〜4の樹脂組成物は、難燃剤の配合量が少ないにも関わらず、難燃性は良好であり、絶縁信頼性、低反り性および耐折れ性に優れていた。それに対して、難燃剤を配合していない比較例1は、難燃性が劣り、また、本発明の(A)〜(C)成分に加えて、反応性を有していない難燃剤を多量に含む比較例2は、難燃性は良好であったが、絶縁信頼性が悪く、低反り性についても劣るものであった。   As apparent from Table 1 above, the resin compositions of Examples 1 to 4 according to the present invention have good flame retardancy despite the small amount of flame retardant, insulation reliability, and low warpage. Excellent in resistance and folding resistance. On the other hand, the comparative example 1 which does not mix | blend a flame retardant is inferior in a flame retardance, and in addition to the (A)-(C) component of this invention, a large amount of the flame retardant which does not have reactivity. In Comparative Example 2 included in the above, flame retardancy was good, but insulation reliability was poor and low warpage was poor.

1 フレキシブルプリント配線基材
2 銅回路
3 樹脂層
4 樹脂層
5 マスク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible printed wiring board 2 Copper circuit 3 Resin layer 4 Resin layer 5 Mask

Claims (7)

(A)イミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂、
(B)光塩基発生剤
(C)熱硬化成分、および、
(D)難燃剤
を含み、(メタ)アクリレートモノマーを実質的に含まず、
前記(D)難燃剤が前記(C)熱硬化成分との反応性を有する化合物であり、
光照射によって前記(B)光塩基発生剤が活性化し、発生した塩基を触媒として前記(A)カルボキシル基を有するポリイミド樹脂と前記(C)熱硬化成分とを加熱付加反応させ、アルカリ現像による微細加工が可能となる用途に用いられることを特徴とする感光性熱硬化性樹脂組成物(ここで、(メタ)アクリレートモノマーを実質的に含まないとは、前記(A)イミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂100質量部に対して、前記(メタ)アクリレートモノマーが10質量部以下であることを表す)。
(A) a polyimide resin having an imide ring and a carboxyl group,
(B) a photobase generator (C) a thermosetting component, and
(D) Flame retardant
Containing substantially no (meth) acrylate monomer,
Ri compound der wherein the (D) a flame retardant having reactivity with the (C) thermosetting component,
The (B) photobase generator is activated by light irradiation, the (A) the polyimide resin having a carboxyl group and the (C) thermosetting component are subjected to a heat addition reaction using the generated base as a catalyst, and fine by alkali development. A photosensitive thermosetting resin composition characterized in that it is used for applications that can be processed (here, (A) the imide ring and the carboxyl group are not substantially contained in (meth) acrylate monomer. The said (meth) acrylate monomer represents that it is 10 mass parts or less with respect to 100 mass parts of polyimide resin which has.
前記(D)難燃剤がフェノール性水酸基を有するリン含有化合物である請求項1記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1, wherein the flame retardant (D) is a phosphorus-containing compound having a phenolic hydroxyl group. 前記(A)イミド環およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂が、フェノール性水酸基を有する請求項1または2記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1 or 2, wherein the (A) polyimide resin having an imide ring and a carboxyl group has a phenolic hydroxyl group. 前記(C)熱硬化成分が環状エーテル化合物である請求項1〜3のいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1, wherein the thermosetting component (C) is a cyclic ether compound. フレキシブル配線板用である請求項1〜4のいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   It is for flexible wiring boards, The photosensitive thermosetting resin composition as described in any one of Claims 1-4. 請求項1〜5のいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。   It has a resin layer which consists of a photosensitive thermosetting resin composition as described in any one of Claims 1-5, The dry film characterized by the above-mentioned. 請求項1〜5のいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物、または、請求項6記載のドライフィルムを用いて形成される硬化物を備えることを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board comprising the photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1 or a cured product formed using the dry film according to claim 6.
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