JP6468441B2 - 圧電フィルム - Google Patents

Description

本発明は、圧電フィルムに関する。

従来、圧電性を有するフィルム又は膜として、種々の有機誘電体フィルム及び無機誘電体膜が知られている。
これらの中でも、分極化フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムは、透明性を有し、かつ無機誘電体膜とは異なり可撓性を有するという利点を有するので、様々な用途への適用が可能である。
例えば、特許文献１では、圧電フィルムとして、タッチパネル用又はタッチ圧検出用の分極化フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムが開示されている。

特開２０１１−２２２６７９号公報

しかし、近年、タッチパネルに用いられる部材には、高度な透明性が求められており、特許文献１に記載の分極化フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムは、透明性（特にヘイズ値）に改善の余地があった。
また、特許文献１に記載の分極化フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムは、形状における、及び視覚的な均一性（シワ、及びタルミの少なさ）、並びに分極率の均一性に改善の余地があった。
従って、本発明は、透明性（特にヘイズ値）が高く、形状における、及び視覚的な均一性、並びに分極率の均一性の高い、圧電フィルムの提供を目的とする。

本発明者らは、鋭意検討の結果、
全光線透過率が９０％以上であり；
全ヘイズ値が４．０％以下であり；及び
平面方向の全体に渡って１ｃｍ四方毎に１０箇所において厚さを測定したときの厚さの変動係数が１０％以下である；
圧電フィルム
によって、前記課題が解決出来ることを見出し、更なる検討の結果、本発明を完成するに至った。

本発明は、次の態様を含む。

項１．
全光線透過率が９０％以上であり；
全ヘイズ値が４．０％以下であり；及び
平面方向の全体に渡って１ｃｍ四方毎に１０箇所において厚さを測定したときの厚さの変動係数が１０％以下である；
圧電フィルム。
項２．
全ヘイズ値が２．０％以下である項１に記載の圧電フィルム。
項３．
有機圧電フィルムからなる項１又は２に記載の圧電フィルム。
項４．
分極化フッ化ビニリデン系重合体フィルムからなる項１又は２に記載の圧電フィルム。
項５．
キャスティング法により無延伸かつ非分極のフッ化ビニリデン系重合体フィルムを調製する工程Ａ；
前記無延伸かつ非分極のフッ化ビニリデン系重合体フィルムを分極処理する工程Ｂ；及び
工程Ｂに対して任意の時点で、無延伸のフッ化ビニリデン系重合体フィルムを熱処理する工程Ｃ
を含む
項４に記載の圧電フィルムの製造方法。
項６．
項１〜４のいずれか１項に記載の圧電フィルムのロールであって、ロールの軸方向の中心部の太さに対する、より太いほうの端部の太さの比が７０〜１３０％の範囲内である、ロール。
項７．
項１〜４のいずれか１項に記載の圧電フィルム、又は項５に記載の製造方法により製造される圧電フィルムを有する、圧電パネル、フィルムコンデンサ、又はエレクトロウエッティングデバイス。
項８．
項１〜４のいずれか１項に記載の圧電フィルム、又は請求項５に記載の製造方法により製造される圧電フィルムを有する入力装置。
項９．
項８に記載の入力装置を有する電子機器。

本発明によれば、透明性が高く、かつ厚さのばらつきが少ない圧電フィルムが提供される。

用語の意味
本明細書中、「タッチ位置」の「検出」は、タッチ位置の決定を意味し、一方、「タッチ圧」の「検出」は、押圧の有無、速度、大きさ又はこれらの組み合わせの決定を意味する。
本明細書中、用語「タッチ」は、触れること、触れられること、押すこと、押されること、及び接触すること、を包含する。
本明細書中、用語「分極化」は、表面に電荷を付与されていることを意味する。すなわち、分極化フィルムは、エレクトレットであることができる。

圧電フィルム
本発明の圧電フィルムは、
全光線透過率が９０％以上であり；
全ヘイズ値が４．０％以下であり；及び
平面方向の全体に渡って１ｃｍ四方毎に１０箇所において厚さを測定したときの厚さの変動係数が１０％以下である。
以下、本発明の圧電フィルムを詳細に説明する。

本発明の圧電フィルムは、有機圧電フィルムからなる。当該「有機圧電フィルム」は、有機物である重合体から形成されるフィルム（重合体フィルム）である。当該「有機圧電フィルム」としては、例えば、分極化フッ化ビニリデン系重合体フィルム、奇数鎖ナイロン圧電フィルム、及びポリ乳酸が挙げられる。当該「有機圧電フィルム」は、当該重合体以外の成分を含有してもよい。当該「有機圧電フィルム」は、当該重合体からなるフィルム、及び当該重合体中に無機物が分散されているフィルムを包含する。
本発明の圧電フィルムにおける当該重合体の含有量は、好ましくは、８０質量％以上、より好ましくは８５質量％以上、更に好ましくは９０質量％である。当該含有量の上限は特に制限されず、例えば、１００質量％であってもよいし、９９質量％であってもよい。
当該重合体は、好ましくは、フッ化ビニリデン系重合体である。
本発明の圧電フィルムは、好ましくは分極化フッ化ビニリデン系重合体フィルムからなる。
本明細書中、「フッ化ビニリデン系重合体フィルム」の例としては、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム、フッ化ビニリデン／トリフロオロエチレン共重合体フィルム、及びポリフッ化ビニリデンフィルムが挙げられる。
前記フッ化ビニリデン系重合体フィルムは、好ましくはフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムである。
当該「フッ化ビニリデン系重合体フィルム」は、樹脂フィルムに通常用いられる添加剤を含有してもよい。

当該「フッ化ビニリデン系重合体フィルム」は、フッ化ビニリデン系重合体から構成されるフィルムであり、フッ化ビニリデン系重合体を含有する。

当該「フッ化ビニリデン系重合体」の例としては、
（１）フッ化ビニリデンと、これと共重合可能な１種以上のモノマーと、の共重合体；及び
（２）ポリフッ化ビニリデン
が挙げられる

当該「（１）フッ化ビニリデンと、これと共重合可能な１種以上のモノマーと、の共重合体」における「これと共重合可能なモノマー」の例としては、トリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、クロロトリフルオロエチレン、及びフッ化ビニルが挙げられる。
当該「これと共重合可能な１種以上のモノマー」又はそのうちの１種は、好ましくはテトラフルオロエチレンである。
当該「フッ化ビニリデン系重合体」の好ましい例としては、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体が挙げられる。
当該「フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体」は、本発明に関する性質が著しく損なわれない限りにおいて、フッ化ビニリデン及びテトラフルオロエチレン以外のモノマーに由来する繰り返し単位を含有してもよい。
前記「（１）フッ化ビニリデンと、これと共重合可能な１種以上のモノマーと、の共重合体」は、フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位を５０モル％以上（好ましくは６０モル％以上）含有する。
前記「フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体」における（テトラフルオロエチレンに由来する繰り返し単位）／（フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位）のモル比は、好ましくは５／９５〜３６／６４の範囲内、より好ましくは１５／８５〜２５／７５の範囲内、更に好ましくは１８／８２〜２２／７８の範囲内である。

前記「フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体」は、本発明に関する性質が著しく損なわれない限りにおいて、フッ化ビニリデン及びテトラフルオロエチレン以外のモノマーに由来する繰り返し単位を含有してもよい。通常、このような繰り返し単位の含有率は、１０モル％以下である。このようなモノマーは、フッ化ビニリデンモノマー、テトラフルオロエチレンモノマーと共重合可能なものである限り限定されないが、その例としては、
（１）フルオロモノマー（例、ビニルフルオリド（ＶＦ）、トリフルオロエチレン（ＴｒＦＥ）、ヘキサフルオロプロペン（ＨＦＰ）、１−クロロ−１−フルオロ−エチレン（１，１−ＣＦＥ）、１−クロロ−２−フルオロ−エチレン（１，２−ＣＦＥ）、１−クロロ−２，２−ジフルオロエチレン（ＣＤＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）、トリフルオロビニルモノマー、１，１，２−トリフルオロブテン−４−ブロモ−１−ブテン、１，１，２−トリフルオロブテン−４−シラン−１−ブテン、ペルフルオロアルキルビニルエーテル、ペルフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）、ペルフルオロプロピルビニルエーテル（ＰＰＶＥ）、ペルフルオロアクリラート、２，２，２−トリフルオロエチルアクリラート、２−（ペルフルオロヘキシル）エチルアクリラート）；並びに
（２）炭化水素系モノマー（例、エチレン、プロピレン、無水マレイン酸、ビニルエーテル、ビニルエステル、アリルグリシジルエーテル、アクリル酸系モノマー、メタクリル酸系モノマー、酢酸ビニルが挙げられる。

前記「無機物」の好適な例としては、無機酸化物粒子が挙げられる。当該「無機酸化物粒子」を含有することによって、本発明の高誘電性フィルムは、高い誘電率を有することができる。また、このことによって、高い誘電率を維持したまま、体積抵抗率を大幅に向上させることができる。

前記「無機物」の好適な例としては、無機酸化物粒子が挙げられる。当該「無機酸化物粒子」を含有することによって、本発明の圧電フィルムは、高い誘電率を有することができる。また、高い誘電率を維持したまま、体積抵抗率を大幅に向上させることができる。また、電気絶縁性を向上させることができる。

当該「無機酸化物粒子」は、好ましくは、以下の無機酸化物粒子（Ｂ１）〜（Ｂ３）からなる群より選択される少なくとも１種である。

［無機酸化物粒子（Ｂ１）］周期表の２族、３族、４族、１２族又は１３族の金属元素の無機酸化物の粒子、又はこれらの無機酸化物複合粒子
前記金属元素としては、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｚｎ、及びＡｌ等が挙げられる。なかでも、Ａｌ、Ｍｇ、Ｙ、及びＺｎの酸化物が汎用で安価であり、また体積抵抗率が高い点から好ましい。
なかでも、具体的には、Ａｌ_２Ｏ_３、ＭｇＯ、ＺｒＯ_２、Ｙ_２Ｏ_３、ＢｅＯ、及びＭｇＯ・Ａｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも１種の金属酸化物の粒子が、体積抵抗率が高い点から好ましい。
なかでも、更に、結晶構造がγ型のＡｌ_２Ｏ_３が、比表面積が大きく、フッ化ビニリデン系重合体等の前記「重合体」、特にフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体への分散性が良好な点から好ましい。

［無機酸化物粒子（Ｂ２）］式：Ｍ^１ _ａ１Ｍ^２ _ｂ１Ｏ_ｃ１（式中、Ｍ^１は２族金属元素；Ｍ^２は４族金属元素であり；ａ１は０．９〜１．１であり；ｂ１は０．９〜１．１であり；ｃ１は２．８〜３．２である；Ｍ^１及びＭ^２はそれぞれ１種又は２種以上の金属元素であることができる）で表される無機複合酸化物の粒子
当該「４族金属元素」としては、例えばＴｉ、及びＺｒが好ましい。
当該「２族金属元素」としては、例えばＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、及びＢａが好ましい。
当該「無機複合酸化物の粒子」のなかでも、具体的には、ＢａＴｉＯ_３、ＳｒＴｉＯ_３、ＣａＴｉＯ_３、ＭｇＴｉＯ_３、ＢａＺｒＯ_３、ＳｒＺｒＯ_３、ＣａＺｒＯ_３、及びＭｇＺｒＯ_３からなる群より選ばれる少なくとも１種の無機酸化物の粒子が、体積抵抗率が高い点から好ましい。

［無機酸化物粒子（Ｂ３）］周期表の２族、３族、４族、１２族、又は１３族の金属元素の酸化物、及び酸化ケイ素の無機酸化物複合粒子
当該「無機酸化物粒子（Ｂ３）」は、前記「無機酸化物粒子（Ｂ１）」の前記「無機酸化物」、及び酸化ケイ素の複合体粒子である。
当該「無機酸化物粒子（Ｂ３）」として具体的には、例えば、３Ａ１_２Ｏ_３・２ＳｉＯ_２、２ＭｇＯ・ＳｉＯ_２、ＺｒＯ_２・ＳｉＯ_２、及びＭｇＯ・ＳｉＯ_２からなる群より選ばれる少なくとも１種の無機酸化物の粒子が挙げられる。

前記「無機酸化物粒子」は、必ずしも高誘電性である必要はなく、本発明の圧電フィルムの用途により適宜選択できる。例えば、汎用で安価な１種類の金属酸化物の粒子（Ｂ１）（特に、Ａｌ_２Ｏ_３の粒子、及びＭｇＯの粒子）を使用すると、体積抵抗率の向上を図ることができる。これら１種類の金属酸化物の粒子（Ｂ１）の比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）は、通常１００未満、好ましくは１０以下である。

前記「無機酸化物粒子」としては、誘電率を向上させる目的で強誘電性（比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）が１００以上）の無機酸化物粒子（例えば、無機酸化物粒子（Ｂ２）及び（Ｂ３））を用いてもよい。強誘電性の無機酸化物粒子（Ｂ２）及び（Ｂ３）を構成する無機材料としては、複合金属酸化物、その複合体、固溶体、及びゾルゲル体等が例示できるが、これらのみに限定されるものではない。

本発明の圧電フィルムは、前記「重合体」１００質量部に対し、前記「無機酸化物粒子」を、好ましくは０．０１〜３００質量部、より好ましくは０．１〜１００質量部含有できる。前記「無機酸化物粒子」の含有量が多すぎると、前記「無機酸化物粒子」を前記「重合体」中に均一に分散させることが難しくなる虞があり、また、電気絶縁性（耐電圧）が低下する虞もある。また、当該含有量が３００質量部以上になると、フィルムが脆くなり、及び引張り強度が低下する虞がある。この観点では、当該含有量の上限は、好ましくは２００質量部、より好ましくは１５０質量部である。当該含有量が少なすぎると電気絶縁性の向上効果が得られにくい。この観点では、当該含有量の下限は、好ましくは０．１質量部、より好ましくは０．５質量部、更に好ましくは１質量部である。一方、本発明の圧電フィルムに、高い全光透過率、及び低い全ヘイズ値が要求される場合は、当該含有量は、より小さいことが好ましく、更に、本発明の圧電フィルムに、特に高い全光透過率、及び低い全ヘイズ値が要求される場合は、本発明の圧電フィルムは、好適に、前記「無機酸化物粒子」を含有しないことができる。このように本発明の圧電フィルムに高い全光透過率、及び低い全ヘイズ値が要求される場合として、具体的には、本発明の圧電フィルムがタッチパネル等の圧電パネルに用いられる場合が挙げられる。

前記「無機酸化物粒子」の平均一次粒子径は小さい方が好ましく、特に平均一次粒子径１μｍ以下のいわゆるナノ粒子が好ましい。このような無機酸化物ナノ粒子が均一分散することにより、少量の配合でフィルムの電気絶縁性を大幅に向上させることができる。当該平均一次粒子径は、好ましくは８００ｎｍ以下、より好ましくは５００ｎｍ以下、更に好ましくは３００ｎｍ以下である。当該平均一次粒子径の下限は特に限定されないが、製造の困難性や均一分散の困難性、価格の面から、当該平均一次粒子径は、好ましくは１０ｎｍ以上、より好ましくは２０ｎｍ以上、更に好ましくは５０ｎｍ以上である。ここで、本発明の圧電フィルムに高い全光透過率、及び低い全ヘイズ値が要求される場合は、当該平均一次粒子径は、より小さいことが好ましい。前記「無機酸化物粒子」の平均一次粒子径は、レーザー回折・散乱式粒度分布測定装置 ＬＡ−９２０（商品名）（堀場製作所社）又はその同等品を用いて算出される。

前記「無機酸化物粒子」の比誘電率（２５℃、１ｋＨｚ）は、好ましくは１０以上である。圧電フィルムの誘電率を高くする観点からは、当該比誘電率は、好ましくは１００以上、より好ましくは３００以上である。当該比誘電率の上限は特に制限されないが、通常３０００程度である。当該「無機酸化物粒子」の比誘電率（ε）（２５℃、１ｋＨｚ）は、ＬＣＲメーターを用いて容量（Ｃ）を測定し、容量、電極面積（Ｓ）、焼結体の厚さ（ｄ）から、式Ｃ＝εε_０×Ｓ／ｄ（ε_０真空の誘電率）で算出した値である。

本発明の圧電フィルムは、必要に応じて、親和性向上剤等の、その他の成分を含有してもよい。

前記「親和性向上剤」は、本発明の圧電フィルムが前記「無機酸化物粒子」が含有する場合に、本発明の圧電フィルムに含有される。
前記「親和性向上剤」は、前記「無機酸化物粒子」と前記「重合体」との間の親和性を高め、前記「無機酸化物粒子」を前記「重合体」に均一に分散させ、前記「無機酸化物粒子」と前記「重合体」をフィルム中でしっかり結合させ、ボイドの発生を抑制し、及び比誘電率を高めることができる。

前記「親和性向上剤」としては、カップリング剤、界面活性剤、又はエポキシ基含有化合物が有効である。

前記「カップリング剤」の例としては、有機チタン化合物、有機シラン化合物、有機ジルコニウム化合物、有機アルミニウム化合物、及び有機リン化合物が挙げられる。

前記「有機チタン化合物」の例としては、アルコキシチタニウム、チタニウムキレート、及びチタニウムアシレート等のカップリング剤が挙げられる。なかでも、前記「無機酸化物粒子」との親和性が良好な点から、好ましい例として、アルコキシチタニウム、及びチタニウムキレートが挙げられる。

その具体例としては、テトライソプロピルチタネート、チタニウムイソプロポキシオクチレングリコレート、ジイソプロポキシ・ビス（アセチルアセトナト）チタン、ジイソプロポキシチタンジイソステアレート、テトライソプロピルビス（ジオクチルフォスファイト）チタネート、及びイソプロピルトリ（ｎ−アミノエチル−アミノエチル）チタネート、テトラ（２，２−ジアリルオキシメチル−１−ブチル）ビス（ジ−トリデシル）ホスファイトチタネートが挙げられる。

前記「有機シラン化合物」は、高分子型であっても、低分子型であってもよく、その例として、モノアルコキシシラン、ジアルコキシシラン、トリアルコキシシラン、及びテトラアルコキシシラン等のアルコキシシランが挙げられる。また、ビニルシラン、エポキシシラン、アミノシラン、メタクロキシシラン、及びメルカプトシラン等も好適に使用され得る。

アルコキシシランを用いる場合、加水分解により、表面処理の効果である体積抵抗率のより一層の向上（電気絶縁性の向上）を図ることができる。

前記「有機ジルコニウム化合物」の例としては、アルコキシジルコニウム、及びジルコニウムキレートが挙げられる。

有機アルミニウム化合物の例としては、アルコキシアルミニウム、及びアルミニウムキレートが挙げられる。

有機リン化合物の例としては、亜リン酸エステル、リン酸エステル、及びリン酸キレートが挙げられる。

親和性向上剤としての前記「界面活性剤」は、高分子型であっても、低分子型であってもよく、その例としては、非イオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、及びカチオン性界面活性剤が挙げられる。なかでも、熱安定性が良好な点から、高分子型の界面活性剤が好ましい。

前記「非イオン性界面活性剤」の例としては、ポリエーテル誘導体、ポリビニルピロリドン誘導体、及びアルコール誘導体が挙げられ、なかでも、前記「無機酸化物粒子」との親和性が良好な点から、ポリエーテル誘導体が好ましい。

前記「アニオン性界面活性剤」の例としては、スルホン酸、及びカルボン酸、及びそれらの塩を含有するポリマーが挙げられる。なかでも、前記「重合体」との親和性が良好な点から、好ましい例として、アクリル酸誘導体系ポリマー（poly(acrylic acid) derivative）、及びメタクリル酸誘導体系ポリマー（poly(methacrylic acid) derivative）が挙げられる。

前記「カチオン性界面活性剤」の例としては、アミン化合物、及びイミダゾリン等の含窒素系複合環を有する化合物、及びそのハロゲン化塩が挙げられる。

前記「親和性向上剤」としての「エポキシ基含有化合物」は、低分子量化合物であっても、高分子量化合物であってもよく、その例としては、エポキシ化合物、及びグリシジル化合物が挙げられる。なかでも、前記「重合体」との親和性が特に良好な点から、エポキシ基を１個有する低分子量の化合物が好ましい。

前記「エポキシ基含有化合物」の好ましい例としては、特に前記「重合体」との親和性に優れている点から、式：

（式中、Ｒは、水素原子、メチル基、酸素原子若しくは窒素原子を介在してもよい炭素数２〜１０の炭化水素基、又は置換されていてもよい芳香環基を表す。ｌは０又は１を表し、ｍは０又は１を表し、ｎは０〜１０の整数を表す。）で表される化合物が挙げられる。

その具体例としては、

等の、ケトン基、又はエステル基を有する化合物が挙げられる。

前記「親和性向上剤」は、本発明の効果が失われない範囲内の量で使用できるが、具体的には、均一な分散、及び得られるフィルムの比誘電率の高さの点から、その量は、「無機酸化物粒子」１００質量部に対して、好ましくは０．０１〜３０質量部の範囲内、より好ましくは０．１〜２５質量部の範囲内、更に好ましくは１〜２０質量部の範囲内である。

更に、本発明の圧電フィルムは、本発明の効果が失われない範囲内で、これら以外の添加剤を含有してもよい。

本発明の圧電フィルムは、全光線透過率が９０％以上である。
本発明の圧電フィルムの全光線透過率は、好ましくは９２％以上、より好ましくは９５％以上である。当該全光線透過率の上限は限定されないが、本発明の圧電フィルムの全光線透過率は、通常９９％以下である。
本明細書中、「全光線透過率」は、ＡＳＴＭ Ｄ１００３に基づき、ヘイズガードＩＩ（製品名）（東洋精機製作所）又はその同等品を使用した光透過性試験によって得られる。

本発明の圧電フィルムの全ヘイズ値は、４．０％以下である。
本発明の圧電フィルムの全ヘイズ値は、好ましくは３．０％以下であり、より好ましくは２．０％以下、更に好ましくは１．０％以下である。当該全ヘイズ値は低いほど好ましく、その下限は限定されないが、本発明の圧電フィルムの全ヘイズ値は、通常０．１以上である。
本明細書中、「全ヘイズ値」（total haze）は、ＡＳＴＭ Ｄ１００３に準拠し、ヘイズガードＩＩ（製品名、東洋精機製作所）又はその同等品を使用したヘイズ（ＨＡＺＥ、濁度）試験によって得られる。

本発明の圧電フィルムの内部ヘイズ値は、好ましくは２．０％以下、より好ましくは１．５％以下、更に好ましくは、１．２％以下、より更に好ましくは１．０％以下である。当該内部ヘイズ値は低いほど好ましく、その下限は限定されないが、本発明の圧電フィルムの内部ヘイズ値は、通常０．１％以上である。
本明細書中、「内部ヘイズ値」（inner haze）は、前記全ヘイズ値の測定方法において、ガラス製セルの中に水を入れて、その中にフィルムを挿入し、ヘイズ値を測定することにより、得られる。

本発明の圧電フィルムの外部ヘイズ値は、好ましくは２．０以下、より好ましくは１．５％以下、更に好ましくは１．０％以下である。当該外部ヘイズ値は低いほど好ましく、その下限は限定されないが、本発明の圧電フィルムの外部ヘイズ値は、通常０．１％以上である。
本明細書中、「外部ヘイズ値」（outer haze）は、フィルムの全ヘイズ値から内部へイズ値を差し引くことで算出される。

本発明の圧電フィルムの厚さは、例えば、０．５〜１００μｍの範囲内、０．８〜５０μｍの範囲内、０．８〜４０μｍの範囲内、３〜１００μｍの範囲内、３〜５０μｍの範囲内、６〜５０μｍの範囲内、９〜４０μｍの範囲内、１０〜４０μmの範囲内、又は１０〜３０μｍの範囲内である。好ましい厚さは、本発明の圧電フィルムの用途によって異なることができる。例えば、本発明の圧電フィルムがタッチパネル等の圧電パネルに用いられる場合は、本発明の圧電フィルムの厚さは好ましくは１０〜４０μｍの範囲内であり、より好ましくは１０〜３０μｍの範囲内であり、本発明の圧電フィルムがエレクトロウエッティングデバイスに用いられる場合は、本発明の圧電フィルムの厚さは好ましくは０．５〜５μｍ、より好ましくは０．８〜２μmの範囲内であり、及び本発明の圧電フィルムがフィムコンデンサに用いられる場合は、本発明の圧電フィルムの厚さは好ましくは１．５〜１２μｍの範囲内である。
本発明の圧電フィルムは、好ましくは、無延伸の圧電フィルムである。
これに関係して、本発明の圧電フィルムは、その厚さの均一性が高い。具体的に好ましくは、本発明の圧電フィルムは、平面方向の全体に渡って１ｃｍ四方毎に１０箇所において測定した厚さの変動係数が、±１０％以下である。

本発明の圧電フィルムの電気機械結合係数は、通常０．１〜０．０１の範囲内、好ましくは０．０９〜０．０２の範囲内、より好ましくは０．０８〜０．０３の範囲内である。
本発明の圧電フィルムの電気機械結合係数の変化率は、好ましくは１０％以下であり、より好ましくは８％以下であり、更に好ましくは６％以下である。
本明細書中、電気機械結合係数をｋｔと略記する場合がある。

本発明において、圧電フィルムの「電気機械結合係数」（ｋｔ値）は、圧電フィルムの両側にＡｌ蒸着電極を形成し、圧電フィルムの所定箇所について、１３ｍｍの円板を切り出し、インピーダンスアナライザ（ヒューレットパッカード社、４１９４Ａ）又はその同等品を用いて測定し、H. Ohigashiら、「The application of ferroelectric polymer, Ultrasonic transducers in the megahertz range」に記載の方法により、算出される。

本明細書中、「電気機械結合係数の変化率」は、特に記載の無い限り、８５℃で１０時間加熱したときの電気機械結合係数の変化率である。
当該「電気機械結合係数の変化率」は、
（１）圧電フィルムの電気機械結合係数（加熱前のｋｔ）を測定すること、
（２）圧電フィルムを、空気中で、８５℃で１０時間加熱すること、
（３）圧電フィルムを室温で放置して室温まで冷却すること、及び
（４）前記加熱及び前記冷却後の圧電フィルムの電気機械結合係数（加熱後のｋｔ）を測定すること
を実施し、測定された「加熱前のｋｔ」及び「加熱後のｋｔ」を次式に算入することによって決定される。
電気機械結合係数の変化量（％）＝
（（加熱後のｋｔ−加熱前のｋｔ）／加熱前のｋｔ）×１００
電気機械結合係数の変化率（％）＝｜電気機械結合係数の変化量（％）｜
本明細書中、「室温」は、１５〜３５℃の範囲内の温度である。

本発明の圧電フィルムは、形状の均一性及び視覚的な均一性が高い（すなわち、シワ、及びたわみ（重力による張力以外の張力がかけられていない状態での湾曲）が少ない）。
また、本発明の圧電フィルムは、分極率の均一性が高い。

製造方法
本発明の圧電フィルムは、例えば、
キャスティング法により無延伸かつ非分極の重合体フィルム（例、非分極のフッ化ビニリデン系重合体フィルム）を調製する工程Ａ；
前記無延伸かつ非分極の重合体フィルムを分極処理する工程Ｂ；及び
工程Ｂに対して任意の時点で、無延伸の重合体フィルムを熱処理する工程Ｃ
を含む製造方法
によって製造できる。

工程Ａ（フィルム調製工程）

キャスティング法による、「前記無延伸かつ非分極フィルム」の製造方法は、例えば、
（１）溶媒中に、重合体（例、フッ化ビニリデン系重合体）、並びに所望による成分（例、無機酸化物粒子、及び親和性向上剤）を溶媒中に溶解又は分散させて液状組成物を溶解させて、液状組成物を調製する工程；
（２）前記液状組成物を基材上に流延（塗布）する工程；及び
（３）前記溶媒を気化させて、フィルムを形成させる工程：
を含む製造方法である。

液状組成物の調製における溶解温度は特に限定されないが、溶解温度を高くすると溶解を促進できるので好ましい。しかし、溶解温度が高すぎると、得られるフィルムが着色してしまう傾向があるので、溶解温度は、室温以上８０℃以下であることが好ましい。
また、かかる着色を防止する意味から、前記溶媒の好ましい例としては、ケトン系溶媒（例、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、アセトン、ジエチルケトン、ジプロピルケトン）、エステル系溶媒（例、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、乳酸エチル）、エーテル系溶媒（例、テトラヒドロフラン、メチルテトラヒドロフラン、ジオキサン）、及びアミド系溶媒（例、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、ジメチルアセトアミド）が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、又は２種以上を組み合わせて用いられ得る。前記溶媒として、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）の溶解に汎用される溶媒であるアミド系溶媒を用いてもよいが、溶媒中のアミド系溶媒の含有率は５０％以下であることが望ましい。

前記液状組成物の基材上への流延（塗布）は、前記液状組成物の基材上への流延（塗布）は、ナイフコーティング方式、キャストコーティング方式、ロールコーティング方式、グラビアコーティング方式、ブレードコーティング方式、ロッドコーティング方式、エアドクタコーティング方式、またはスロットダイ方式等の慣用の方法に基づき行えばよい。なかでも、操作性が容易な点、得られるフィルム厚さのバラツキが少ない点、生産性に優れる点から、グラビアコーティング方式、又はスロットダイ方式が好ましい。当該基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用いることができる。

前記溶媒の気化は、加熱等の慣用の乾燥方法によって実施できる。
前記溶媒の気化における乾燥温度は溶媒の種類等に応じて適宜決定され得るが、通常、２０℃〜２００℃の範囲内であり、より好ましくは４０℃〜１７０℃の範囲内である。乾燥時間は、通常１〜６００秒間の範囲内、好ましくは１０〜１２０秒間の範囲内である。
当該乾燥温度は、乾燥温度条件を低温（例、４０〜１００℃）から高温（例、１２０〜２００℃）に変化させることが、ヘイズ値が低いフィルムが得られる点で好ましい。これは、例えば、乾燥ゾーンを数ゾーンに分割し、フィルムが低温のゾーンから入って高温のゾーンに移送することによって実現できる。
具体的には、例えば、乾燥ゾーンを５０℃、８０℃、１２０℃、及び１５０℃の５ゾーンに分割し、フィルム（又はフィルム形成前の流延された溶液）を５０℃のゾーンから１５０℃のゾーンへ連続的に移動させればよい。この場合、各ゾーンでの加熱時間は、好ましくは、それぞれ、１〜１００秒間の範囲内、１〜１００秒間の範囲内、１〜１００秒間の範囲内、及び１〜１００秒間の範囲内である。

工程Ａで調製される非分極フィルムの厚さは、得ようとする圧電フィルムに応じて設定すればよい。

工程Ｂ（分極処理工程）
工程Ｂでは、前記非分極フィルムを分極処理する。

工程Ｂに用いられる、非分極の前記共重合体フィルム（以下、単に「非分極フィルム」と称する場合がある）は、好ましくは、延伸されていないものである。また、好ましくは、本発明の製造方法においても、当該非分極フィルムを、延伸しない。
これにより、得られる本発明の圧電フィルムは、その厚さのばらつきが小さい。

工程Ｂの分極処理は、コロナ放電処理等の慣用の方法によって行うことができる。

工程Ｂの分極処理は、好ましくはコロナ放電によって行われる。
コロナ放電には、負コロナ及び正コロナのいずれを用いてもよいが、非分極樹脂フィルムの分極しやすさの観点から負コロナを用いることが望ましい。

コロナ放電処理は、特に限定されないが、例えば；特開２０１１−１８１７４８号公報に記載のように非分極フィルムに対して線状電極を用いて印加を実施すること；又は非分極フィルムに対して針状電極を用いて印加を実施すること；により行うことができる。
コロナ放電処理の条件は、本発明が属する技術分野の常識に基づいて、適宜設定すればよい。コロナ放電処理の条件が弱すぎると、得られる圧電フィルムの圧電性が不充分になる虞があり、一方、コロナ放電処理の条件が強すぎると、得られる圧電フィルムが点状欠陥を有する虞がある。
例えば、線状電極を用いてロール・トゥ・ロールで連続印加を実施する場合は、線状電極と非分極フィルムの間の距離、フィルム膜厚等によって異なるが、例えば、−１５〜−２５ｋＶの直流電界である。処理速度は、例えば、１０〜５００ｃｍ／分である。
別法として、分極処理は、コロナ放電の他に、例えば非分極フィルムの両面から平板電極で挟み込んで印加することにより実施してもよい。具体的には、例えば、非分極フィルムの両面から平板電極で挟み込んで印加を実施する場合、０〜４００ＭＶ／ｍ（好ましくは５０〜４００ＭＶ／ｍ）の直流電界、及び０．１秒〜６０分間の印加時間の条件を採用できる。

工程Ｃ（熱処理工程）
工程Ｃは、工程Ｂに対して任意の時点で、行われる。すなわち、工程Ｃは、工程Ｂの前、工程Ｂと同時、又は工程Ｂの後に実施できる。工程Ｃを工程Ｂの後に行う場合、工程Ｃの熱処理は、工程Ｂで得られた分極化フィルム又は工程Ｂにおいて分極を完了した部分に対して行うことができる。すなわち、工程Ｂの分極処理を実施しながら、当該分極処理を終えた部分に対して工程Ｃの熱処理を実施してもよい。
熱処理の方法は、特に限定されないが、例えば、前記無延伸の重合体フィルム（以下、単に前記フィルムと称する場合がある）を２枚の金属板で挟み、当該金属板を加熱すること；前記フィルムのロールを恒温槽中で加熱すること；又はロール・ツー・ロール方式での前記フィルムの生産において、金属ロールを加熱し、前記フィルムを、当該加熱した金属ロールに接触させること；又は前記フィルムを加熱した炉の中にロール・ツー・ロールで通していくことにより行うことができる。ここで、工程Ｃを工程Ｂの後に行う場合、分極化フィルムは単体で熱処理してもよいし、或いは別種のフィルム又は金属箔上に重ねて積層フィルムを作成し、これを熱処理してもよい。とりわけ、高温で熱処理する場合には後者の方法のほうが、分極化フィルムにしわが入りにくいので好ましい。
前記熱処理の温度は、熱処理される分極化フィルムの種類によって異なる場合があり、好ましくは（熱処理される分極化フィルムの融点−１００）℃〜（熱処理される分極化フィルムの融点＋４０）℃の範囲内である。
前記熱処理の温度は、具体的には、好ましくは８０℃以上、より好ましくは８５℃以上、更に好ましくは９０℃以上である。
また、前記熱処理の温度は、好ましくは１７０℃以下、より好ましくは１６０℃以下、更に好ましくは１４０℃以下である。
前記熱処理の時間は、通常、１０秒間以上、好ましくは０．５分間以上、より好ましくは１分間以上、更に好ましくは２分間以上である。
また、前記熱処理の時間の上限は限定されないが、通常、前記熱処理の時間は６０分間以下である。
前記熱処理の条件は、好ましくは９０℃以上で１分間以上である。

熱処理後、前記フィルムを所定温度まで冷却する。当該温度は、好ましくは、０℃〜６０℃の範囲であり、室温であることができる。冷却速度は、徐冷であっても急冷であってもよく、急冷であることが生産性の面から好ましい。急冷は、例えば送風等の手段によって実施できる。

圧電フィルムのロール
本発明の圧電フィルムは、好ましくは、ロールとして保管及び出荷され得る。
本発明の圧電フィルムは、このようなロールの形態にする際のシワの発生の抑制の観点から、弾性率が５００ＭＰａ以上であることが好ましい。弾性率は、フィルムの材質の選択等により調整できる。
本発明の圧電フィルムのロールは、本発明の圧電フィルムのみからなってもよく、本発明の圧電フィルムに保護フィルムなどを積層させて巻いた形態でもよく、紙管等の芯、及び当該芯に巻き付けられた本発明の圧電フィルムを備えてもよい。
本発明の圧電フィルムのロールは、好ましくは、幅５０ｍｍ以上、かつ長さ２０ｍ以上である。
本発明の圧電フィルムのロールは、例えば、本発明の圧電フィルムを、巻き出しローラーと巻き取りローラーを用いて巻き取ることにより、調製できる。
ここで、フィルムのたわみを抑制する観点で、通常行われるように、巻き出しローラーと巻き取りローラーを平行にすることが好ましい。
また、フィルムのたわみを抑制する観点で、本発明の圧電フィルムのなかでも、弾性率が５００ＭＰａ以上のフィルムを用いてもよい。
ローラーとしては、本発明のフィルムの滑り性を良くするため、滑り性のよいローラー、具体的にはフッ素樹脂で被覆されたローラー、メッキされたローラー、又は離型剤を塗布したローラーを用いることが好ましい。
ここで、フィルムの厚さが不均一である場合は、いわゆるロールの耳立ち（ハイエッジ；ロールの軸方向の中心部に比べて、端部が太くなること；両端部が中心部より膜厚が低い場合に両端部が中心部に比べて凹むこと；又は一方の端部からもう一方の端部に傾斜的に厚さが変化していく場合に膜厚が薄い側の端部が凹むこと）等のロールの太さの不均一さが発生し、これはシワの発生の原因になり得る。また、これは、フィルムの捲き出しの際に、フィルムのたわみ（重力による張力以外の張力がかけられていない状態での湾曲）が発生する原因となり得る。
一般に、ロールの耳立ちを防止する目的で、ロールの端となるフィルム端をスリッター耳おとし（スリット）することが行われるが、フィルムの厚さの不均一がフィルム端から広い範囲にわたる場合、耳おとしのみでは、ロールの耳立ち及び凹みの防止が困難である。
また、一般に、フィルムの幅が広い（例、幅１００ｍｍ以上）ほど、及びフィルムの長さが長い（例、５０ｍ以上）ほど、前記耳立ち、前記凹み及び前記たわみが生じやすい。
しかし、本発明の圧電フィルムは、厚さの均一性が高いので、そのまま、又はロールの端となるフィルム端をスリッター耳おとし（スリット）することのみで、フィルムの幅が広く（例、幅１００ｍｍ以上）、かつフィルムの長さが長い（例、５０ｍ以上）場合でも、前記耳立ち、前記凹み及び前記たわみが抑制されたロールにすることができる。
スリットで除去された耳（フィルム端）は、回収して、本発明の圧電フィルムの原料として、リサイクルできる。
本発明の圧電フィルムのロールは、太さの均一性が高く、好ましくは、ロールの軸方向の中心部の太さに対する、より太いほうの端部の太さの比が７０〜１３０％の範囲内である。
これにより、本発明の圧電フィルムのロールは、これから巻き出されたフィルムのたわみが抑制されている。

本発明の圧電フィルム及びそのロールの製造に用いられるローラーの表面粗さＲａは、１μｍ以下であることが好ましい。本明細書において、「表面粗さＲａ」は、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１に規定されている、「算術平均高さ」である。
また、本発明の圧電フィルム及びそのロールの製造に用いられるローラーは、少なくともその表面の材質が、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、クロムメッキ、又はステンレス鋼（ＳＵＳ）であることが好ましい。
これらのことにより、フィルムのシワを抑制できる。

適用
圧電パネル
本発明の圧電フィルムは、圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）等に使用できる。
本発明の圧電フィルムを有するタッチパネルは、タッチ位置及びタッチ圧の両方を検出でき、かつ極端な高温に曝された場合でもタッチ圧の検出性能が低下しにくく、かつ透明性が高い。
本発明の圧電フィルムは、抵抗膜方式、及び静電容量方式等の、あらゆる方式のタッチパネルに使用できる。
本発明の圧電フィルムは、タッチパネルに使用されるとき、必ずしも、タッチ位置及びタッチ圧の両方の検出のために使用される必要は無く、本発明の圧電フィルムは、タッチ位置又はタッチ圧のいずれかの検出にも使用されてもよい。
本発明の圧電フィルムを有する圧電パネルは、好ましくは、
第１の電極（好ましくは、透明電極）と、
本発明の圧電フィルム（好ましくは、透明圧電フィルム）と、
第２の電極（好ましくは、透明電極）と、
をこの順で有する。
第１の電極は本発明の圧電フィルムの一方の主面上に直接又は間接的に配置され、及び
第２の電極は本発明の圧電フィルムの他方の主面上に直接又は間接的に配置される。
当該電極の例としては、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）電極、酸化スズ電極、金属ナノワイヤー、金属ナノ粒子、及び有機導電樹脂等が挙げられる。

本発明の圧電フィルムを有するタッチパネルは、入力装置（すなわち、本発明の圧電フィルムを有する入力装置）に用いることができる。当該タッチパネルを有する入力装置は、タッチ位置、タッチ圧、又はその両方に基づく入力が可能である。当該タッチパネルを有する入力装置は、位置検出部及び圧力検出部を有することが出来る。

当該入力装置は、電子機器（例、携帯電話（例、スマートフォン）、携帯情報端末（ＰＤＡ）、タブレットＰＣ、ＡＴＭ、自動券売機、及びカーナビゲーションシステム）に用いることができる。当該入力装置を有する電子機器は、タッチ位置、タッチ圧又はその両方に基づく操作及び動作が可能である。

エレクトロウエッティングデバイス
本発明の圧電フィルムは、エレクトロウエッティングの性質を有し、エレクトロウエッティングデバイスに使用できる。ここで、当該「エレクトロウエッティング」とは、電界を用いて、フィルムの表面の濡れ性（wettability）を疎水性（撥水性）から親水性の間で変化させることを意味する。当該「エレクトロウエッティングデバイス」とは、当該「エレクトロウエッティング」を利用したデバイスを意味する。
本発明の圧電フィルムは、光学素子、表示装置（ディスプレイ）、可変焦点レンズ、光変調装置、光ピックアップ装置、光記録再生装置、現像装置、液滴操作装置、分析機器（例、試料の分析のため微小の導電性液体を移動させる必要がある、化学、生化学、および生物学的分析機器）などにおけるエレクトロウエッティングデバイスに好適に用いることができる。
本発明の圧電フィルムは、高い比誘電率及び低い誘電正接を有し得る。これにより、低い電圧で導電性液体を駆動できる。

フィルムコンデンサ
本発明の圧電フィルムは、高い比誘電率及び低い誘電正接を有し得る。これにより、低い電圧で導電性液体を駆動できる。
また、本発明の圧電フィルムは、高い比誘電率及び低い誘電正接を有し得るので、フィルムコンデンサ用のフィルムとしても好適に使用可能である。また、電圧を長時間印加してもフッ化ビニリデン系樹脂の特徴である高誘電性が損なわれない点でもフィルムコンデンサ用のフィルムとして有利である。

透明カバーフィルム
本発明の圧電フィルムは耐候性に優れたビニリデン系樹脂からなること、及び透明性が非常に高いことから、透明カバーフィルムとしても用いることができる。この場合、例えば、ポリカーボネート又はＰＥＴフィルムを本発明の圧電フィルムに積層することで、これらのフィルムに耐候性を付与できる。

本発明の圧電フィルムは、可撓性を有するので、種々の用途に好適に用いることができる。

以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
以下、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体における、テトラフルオロエチレンに由来する繰り返し単位／フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位のモル比を“ＴＦＥ／ＶＤＦ”で表す場合がある。

実施例１
（非分極フィルムの調製）
フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体（ＴＦＥ／ＶＤＦ＝２０／８０）をメチルエチルケトン（ＭＥＫ）に溶解させ固形分２５ｗｔ％の塗料を調製した。
その後、ダイコーターを用いてＰＥＴフィルム上に前記塗料を流延（キャスティング）し、及び乾燥を行って、厚さ２０μｍのフィルムを調製した。この際、乾燥は、乾燥装置を４ゾーンに分割し、それぞれの乾燥温度を、入り口側から５０℃、８０℃、１２０℃、及び１５０℃に設定し、各ゾーンの通過時間が２４秒間、２４秒間、２４秒間、及び２４秒間になるように移動速度を設定して、フィルム（又は流延された塗料）を通過させることによって、実施した。
（分極処理）
その後、当該フィルムを前記ＰＥＴフィルムから剥がし、金属電極を用いて前記重合体フィルムを上下から挟み、１５０ＭＶ／ｍの直流電圧を室温で５分間印加して分極し、分極化フィルムを得た。
（熱処理）
その後、当該分極化フィルムを、９０℃で１０分間、熱風乾燥機中で、加熱し、次いで室温で放置して室温まで冷却して、実施例１の圧電フィルムを得た。

比較例１
乾燥温度を４ゾーンとも同じ１２０℃に設定した以外は実施例１と同様にして、比較例１の圧電フィルム（厚さ２０μｍ）を得た。

比較例２
実施例１と同様にして、厚さ１００μｍの圧電フィルムを調製した。その後、延伸を行って、厚さ２０μｍの比較例２のフィルムを得た。

実施例１、比較例１及び比較例２の圧電フィルムについて、下記の方法で、全光透過率、ヘイズ値（全ヘイズ値、外部ヘイズ値、内部ヘイズ値）、厚さの変動係数及びｋｔ値変化率を決定した。結果を下記の表１に示す。

全光線透過率
ヘイズガードＩＩを使用し、ＡＳＴＭ Ｄ１００３に基づいて測定した。
ＨＡＺＥ試験：（株）東洋精機製作所製のヘイズガードＩＩを使用し、ＡＳＴＭ Ｄ１００３に基づいて測定した。

ヘイズ値（全ヘイズ値、外部ヘイズ値、内部ヘイズ値）
ヘイズガードＩＩ（製品名）（東洋精機製作所社）を使用し、ＡＳＴＭ Ｄ１００３に基づいて、全ヘイズ値を測定した。
内部へイズ値はガラス製セルの中に水を入れて、その中にフィルムを挿入した以外は、全ヘイズ値と同様にヘイズ値を測定することにより得た。外部へイズ値はフィルムの全ヘイズ値から内部へイズ値を差し引くことで算出した。

厚さの変動係数
フィルムの平面方向の全体に渡って１ｃｍ四方毎に１０箇所において厚さを測定し、フィルムの厚さの変動係数を算出した。
測定した１０点の平均値を平均厚さとし、下記計算式で厚さの変動係数を算出した。
厚さの変動係数（％）＝±[（厚さの最大値−厚みの平均値）＋（厚さの平均値−厚みの最小値）]÷厚さの平均値÷２×１００
分極前、分極後、及び熱処理後の厚さの変動係数に変化は無かった。

ｋｔ値変化率
電気機械結合係数（ｋｔ値）は、圧電フィルムの両側にＡｌ蒸着電極を形成し、圧電フィルムの所定箇所から直径１３ｍｍの円板を切り出し、インピーダンスアナライザ（ヒューレットパッカード社、４１９４Ａ）を用いて測定を実施し、H. Ohigashiら、「The application of ferroelectric polymer, Ultrasonic transducers in the megahertz range」に記載の方法により、算出した。
電気機械結合係数の変化率（ｋｔ値変化率）は、
（１）圧電フィルムの電気機械結合係数（加熱前のｋｔ）を測定すること、
（２）圧電フィルムを、空気中で、８５℃で１０時間加熱すること、
（３）圧電フィルムを室温で放置して室温まで冷却すること、及び
（４）前記加熱及び前記冷却後の圧電フィルムの電気機械結合係数（加熱後のｋｔ）を測定すること
を実施し、測定された「加熱前のｋｔ」及び「加熱後のｋｔ」を次式に算入することによって決定した。
電気機械結合係数の変化量（％）＝
（（加熱後のｋｔ−加熱前のｋｔ）／加熱前のｋｔ）×１００
電気機械結合係数の変化率（％）＝｜電気機械結合係数の変化量（％）｜

以上の結果から、（１）一定温度で乾燥したフィルムはヘイズ値が高く、及び（２）延伸した圧電フィルムでは厚さの変動係数が大きいのに対して、乾燥温度を低温から高温へ変化させて乾燥したフィルムは、厚さの変動係数も小さく、かつヘイズ値も小さいことが明らかになった。

試験例１（分極の均一性）
実施例１及び比較例２における未分極のフィルムを、それぞれ１０ｃｍ×１０ｃｍの大きさで切り出し、実施例１と同様の手法で、但し、印加条件を過酷にするため、４００ｋＶ／ｃｍの条件で、直流電圧を印加した。得られた分極化フィルムにおいて、直径０．５ｍｍ以上の穴の数を調べた。その結果、実施例１のフィルムでは１個の穴が観察され、比較例２のフィルムでは１８個の穴が観察された。
これにより、厚さの変動係数が小さい実施例１のフィルムは、分極の均一性が高いことが明らかになった。

ロール
実施例１及び比較例２の各圧電フィルムの端面をフィルム幅１００ｍｍになるよう耳おとし（スリット）した後、長さ５０ｍのフィルムを巻き取り、フィルムのロールを得た。当該ロールの軸方向の中心部の太さと端部の太さを測定し、その比を計算した。
当該ロールからフィルムを巻き出し、フィルムのたわみ（重力による張力以外の張力がかけられていない状態での湾曲）の有無を目視で観察した。

これにより、厚さの変動係数が小さい実施例１のフィルムのロールでは、耳立ち及びフィルムのたわみが抑制されていることが明らかになった。

実施例２、及び３、並びに比較例３
（非分極フィルムの調製）
フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体（ＴＦＥ／ＶＤＦ＝２０／８０）をメチルエチルケトン（ＭＥＫ）に溶解させ固形分２０ｗｔ％の塗料を調製した。
その後、ダイコーターを用いてＰＥＴフィルム上に前記塗料を流延（キャスティング）し、及び乾燥を行って、厚さ１．５μｍ（実施例２）、及び３μｍ（実施例３）の各フィルムを調製した。この際、乾燥は、乾燥装置を４ゾーンに分割し、それぞれの乾燥温度を、入り口側から５０℃、８０℃、１２０℃、及び１２０℃に設定し、各ゾーンの通過時間が２４秒間、２４秒間、２４秒間、及び２４秒間になるように移動速度を設定して、フィルム（又は流延された塗料）を通過させることによって、実施した。
比較例３として、実施例２、及び３と同様に流延（キャスティング）、及び乾燥を行って、厚さ８μｍのフィルムを作成し、次いで当該フィルムを延伸して厚さ３μｍのフィルムを調製した。
実施例２、及び３並びに比較例３の分極フィルムについて、実施例１において記載した方法と同じ方法で、全光透過率、ヘイズ値（全ヘイズ値、外部ヘイズ値、内部ヘイズ値）、及び厚さの変動係数を決定した。結果を下記の表３に示す。
得られた各フィルムをＩＴＯ付きガラス（日本板硝子（株））８０Ωの上にロールプレスではりつけた。その上にダイフリーＧＦ５００（ダイキン工業（株））を撥水層として０．１μｍの厚さになるようにスピンコートした。

試験例２（エレクトロウエッティング）
実施例２、及び３並びに比較例３の各フィルム上の撥水層の上に２０μＬの水滴をおとし、接触角を測定した。その後、更に、水滴に＋（プラス）電極、及びＩＴＯに−（マイナス）電極を接続して５０Ｖの電圧を印加して接触角を測定した。

結果を下記の表３に示す。

エレクトロウエッティングでは全光線透過率が高く、かつヘイズ値が低く、また電圧印加前後の水滴の接触角差が大きいことが必要である。この結果に見られるように、膜厚の変動係数の高いものは、電圧印加前後の水滴の接触角差が小さい。これは表面が粗くなることにより水滴がもともと広がりやすくなっているためであると考えられる。
また、実施例２及び３の比較にみられるように、膜厚が薄いほうが接触角差が大きくなるので有利である。

本発明の圧電フィルムはタッチ圧を検出できるタッチパネル等の圧電パネル等に用いることができる。

Claims (7)

1. 全光線透過率が９０％以上であり；
   全ヘイズ値が４．０％以下であり；
   平面方向の全体に渡って１ｃｍ四方毎に１０箇所において厚さを測定したときの厚さの変動係数が１０％以下であり；及び
   無延伸のフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム、又は無延伸のフッ化ビニリデン／トリフルオロエチレン共重合体フィルムからなる
   圧電フィルム。
2. 全ヘイズ値が２．０％以下である請求項１に記載の圧電フィルム。
3. キャスティング法により無延伸かつ非分極のフッ化ビニリデン系重合体フィルムを調製する工程Ａ；
   前記無延伸かつ非分極のフッ化ビニリデン系重合体フィルムを分極処理する工程Ｂ；及び
   工程Ｂに対して任意の時点で、無延伸のフッ化ビニリデン系重合体フィルムを熱処理する工程Ｃ
   を含み、前記フッ化ビニリデン系重合体フィルムが、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム、又はフッ化ビニリデン／トリフルオロエチレン共重合体フィルムである
   請求項１又は２に記載の圧電フィルムの製造方法。
4. 請求項１又は２に記載の圧電フィルムのロールであって、ロールの軸方向の中心部の太さに対する、より太いほうの端部の太さの比が７０〜１３０％の範囲内である、ロール。
5. 請求項１又は２に記載の圧電フィルムを有する、圧電パネル、フィルムコンデンサ、又はエレクトロウエッティングデバイス。
6. 請求項１又は２に記載の圧電フィルムを有する入力装置。
7. 請求項６に記載の入力装置を有する電子機器。