JP6473642B2 - Ceramic structure and method for manufacturing ceramic structure - Google Patents
Ceramic structure and method for manufacturing ceramic structure Download PDFInfo
- Publication number
- JP6473642B2 JP6473642B2 JP2015053421A JP2015053421A JP6473642B2 JP 6473642 B2 JP6473642 B2 JP 6473642B2 JP 2015053421 A JP2015053421 A JP 2015053421A JP 2015053421 A JP2015053421 A JP 2015053421A JP 6473642 B2 JP6473642 B2 JP 6473642B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- matrix
- fibers
- fiber
- support material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
本発明は、セラミック繊維強化セラミック部材で構成されるセラミック構造体およびセラミック構造体の製造方法に関する。 The present invention relates to a ceramic structure composed of ceramic fiber reinforced ceramic members and a method for manufacturing the ceramic structure.
セラミック繊維強化セラミック部材は、耐熱性、強度、靱性を備えているので、様々な分野で利用されている。
セラミック繊維強化セラミック部材の用途として、高い耐熱性、強度を利用して、例えば、高温、高速の流体のセラミック構造体として用いられている。
セラミック繊維強化セラミック部材は、セラミックよりなる母材（マトリックス）に、骨材としてセラミック繊維を加えた材料である。母材であるセラミックは、耐熱性、強度を備えているものの、弾性率が高いセラミック材料の特徴により脆い素材である。繊維強化セラミック複合材料は、さらにセラミック繊維を複合させることによってセラミックの母材の弱点である脆性を改良した素材である。
Ceramic fiber reinforced ceramic members are used in various fields because they have heat resistance, strength, and toughness.
As an application of the ceramic fiber reinforced ceramic member, it is used as, for example, a ceramic structure of a high-temperature, high-speed fluid utilizing high heat resistance and strength.
The ceramic fiber reinforced ceramic member is a material obtained by adding ceramic fibers as an aggregate to a base material (matrix) made of ceramic. Although ceramic as a base material has heat resistance and strength, it is a brittle material due to the characteristics of a ceramic material having a high elastic modulus. The fiber reinforced ceramic composite material is a material in which brittleness, which is a weak point of a ceramic base material, is improved by further combining ceramic fibers.
特許文献１に記載されているように、このようなセラミック構造体（セラミック繊維強化セラミック部材）を所望の形状や大きさに加工する際に、ダイヤモンドカッターを用いることがある。 As described in Patent Document 1, a diamond cutter may be used when processing such a ceramic structure (ceramic fiber reinforced ceramic member) into a desired shape or size.
しかしながら、前述したように、セラミック構造体をダイヤモンドカッターで切断した際には、切断面が平坦となるため、他の部材と接着する際に接着しにくく、アンカー効果が十分に得られない。
また、切断面が平坦であるため、放熱効果も一定以上得られない。
However, as described above, when the ceramic structure is cut with a diamond cutter, the cut surface becomes flat. Therefore, when the ceramic structure is bonded to another member, it is difficult to bond, and the anchor effect cannot be sufficiently obtained.
Moreover, since the cut surface is flat, a heat dissipation effect cannot be obtained beyond a certain level.
本発明では、前記課題を鑑み、他の部材と接着した際に十分なアンカー効果を得ることができるとともに、切断面からの放熱性を十分に得ることができるセラミック構造体およびセラミック構造体の製造方法を提供することを目的とする。 In the present invention, in view of the above problems, a ceramic structure and a ceramic structure that can obtain a sufficient anchor effect when bonded to another member and can sufficiently obtain heat dissipation from a cut surface. It aims to provide a method.
前記課題を解決するための本発明のセラミック構造体は、単位セラミック繊維を束ねたストランドで構成されたセラミック繊維層からなる支持材と、前記支持材を覆うセラミックマトリックスと、からなる本体を有し、前記本体における前記単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する切断面は、前記単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、前記セラミックマトリックスが形成する凹部とを有する。 A ceramic structure of the present invention for solving the above-mentioned problems has a main body comprising a support material composed of a ceramic fiber layer composed of strands in which unit ceramic fibers are bundled, and a ceramic matrix covering the support material. The cut surface that intersects the longitudinal direction of the unit ceramic fiber in the main body has a convex portion from which the longitudinal end portion of the unit ceramic fiber protrudes, and a concave portion formed by the ceramic matrix.
本発明のセラミック構造体によれば、ストランドで構成されたセラミック繊維層からなる支持材と、支持材を覆うセラミックマトリックスと、からなる本体を有する。このため、単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向にセラミック構造体を切断すると、支持材およびセラミックマトリックスが切断される。
このとき、切断面においては、単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、切断時に溶融し冷却されて収縮したセラミックマトリックスによって形成する凹部とを有する。このため、切断面を他の部材と接着する際に、接着部材が凹部に浸透するので、十分なアンカー効果が得られる。また、切断面の表面積が増すので、放熱性が改善される。さらに、切断位置が支持材の切断位置で画定されるので、正確な長さに切断することができる。
また、セラミック繊維層は、単位セラミック繊維を束ねたストランドが複数並べられて構成される。このため、束ねるセラミック繊維の本数を調整することにより、容易にセラミック繊維の繊維径を調整して繊維密度を調整することができる。また、複数のセラミック繊維が束ねられたストランドの状態で使用されると、複数の繊維がまとまっているため強度を増すことができる。また、個々の繊維が突出する毛羽立ちを少なくすることができるので、より気流の乱れを抑えることができ、抵抗を少なくすることができる。
According to the ceramic structure of the present invention, it has a main body composed of a support material composed of a ceramic fiber layer composed of strands, and a ceramic matrix covering the support material. For this reason, when the ceramic structure is cut in a direction crossing the longitudinal direction of the unit ceramic fibers, the support material and the ceramic matrix are cut.
At this time, the cut surface has a convex part from which a longitudinal end of the unit ceramic fiber protrudes, and a concave part formed by a ceramic matrix that is melted, cooled, and contracted during cutting. For this reason, when the cut surface is bonded to another member, the adhesive member penetrates into the concave portion, so that a sufficient anchor effect is obtained. Moreover, since the surface area of a cut surface increases, heat dissipation is improved. Furthermore, since the cutting position is defined by the cutting position of the support material, it can be cut to an accurate length.
The ceramic fiber layer is formed by arranging a plurality of strands in which unit ceramic fibers are bundled. For this reason, by adjusting the number of the ceramic fibers to be bundled, the fiber diameter of the ceramic fibers can be easily adjusted to adjust the fiber density. Moreover, when it is used in the state of a strand in which a plurality of ceramic fibers are bundled, the strength can be increased because the plurality of fibers are gathered. Moreover, since the fluff from which each fiber protrudes can be reduced, the turbulence of the air current can be further suppressed, and the resistance can be reduced.
さらに、本発明のセラミック構造体は、以下の態様であることが望ましい。
（１）前記セラミックマトリックスは、ＳｉＣである。
ＳｉＣは、高強度であるので、セラミック構造体の強度を増すことができる。また、ＳｉＣは、耐蝕性、耐酸化性にも優れ、セラミックマトリックスにＳｉＣを用いることにより、セラミック構造体を高温、腐食性雰囲気でも好適に利用できる。
Furthermore, it is desirable that the ceramic structure of the present invention has the following aspect.
(1) The ceramic matrix is SiC.
Since SiC has high strength, the strength of the ceramic structure can be increased. Further, SiC is excellent in corrosion resistance and oxidation resistance, and by using SiC for the ceramic matrix, the ceramic structure can be suitably used even in a high temperature and corrosive atmosphere.
（２）前記セラミック繊維は、ＳｉＣ繊維である。
ＳｉＣ繊維は、耐蝕性、耐酸化性が優れ、高強度であるので、支持材にＳｉＣを用いることにより、高温、腐食性雰囲気でセラミックマトリックスが損傷した場合でも、セラミック繊維がクラックの進展を止め、安全に使用することができる。
(2) The ceramic fiber is a SiC fiber.
Since SiC fiber has excellent corrosion resistance and oxidation resistance and high strength, even if the ceramic matrix is damaged in high temperature and corrosive atmosphere, the ceramic fiber stops the development of cracks by using SiC as the support material. Can be used safely.
（３）前記単位セラミック繊維の太さが５〜１０μｍであるとともに、前記凸部の突出量が７〜２０μｍである。
このため、強度を低下させることなく、アンカー効果を得ることができる。なお、突出量が小さ過ぎるとアンカー効果が不充分で、大き過ぎると内部へ向かうクラックの起点になり易い。
(3) While the thickness of the unit ceramic fiber is 5 to 10 μm, the protruding amount of the convex portion is 7 to 20 μm.
For this reason, an anchor effect can be acquired, without reducing intensity | strength. If the protruding amount is too small, the anchor effect is insufficient, and if it is too large, it tends to be a starting point of a crack toward the inside.
（４）前記凸部の先端が曲面で構成されている。
このため、他の部材と接着する際に、物理的に接着材が繊維間に入り込み易くなる。
(4) The tip of the convex portion is a curved surface.
For this reason, when it adheres to another member, it becomes easy for an adhesive material to physically enter between fibers.
また、前記課題を解決するための本発明のセラミック構造体の製造方法は、セラミック繊維を巻回した支持材をセラミックマトリックスにより覆って本体を形成した後、前記本体を焼成してから前記セラミック繊維を構成する単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向に沿って切断して切断面を形成し、次いで、前記セラミックマトリックスが溶融または昇華するまで前記本体を加熱してから冷却させることにより、前記切断面において前記単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、前記セラミックマトリックスが熱収縮して形成する凹部とを形成する。
なお、セラミックマトリックスがＳｉＣの場合、ＳｉＣが昇華する温度である２５４５℃まで上昇させればよい。
また、溶融または昇華する温度は、セラミックマトリックスの組成や純度などにより異なるので、セラミックマトリックスの組成や純度に応じて、溶融または昇華する温度まで上昇させる。
The method for manufacturing a ceramic structure according to the present invention for solving the above-described problem is that the ceramic fiber is covered with a ceramic matrix to form a main body, and then the main body is fired before the ceramic fiber is fired. By cutting along the direction crossing the longitudinal direction of the unit ceramic fibers constituting the cut surface, and then heating and cooling the body until the ceramic matrix melts or sublimates, A convex part from which the longitudinal end of the unit ceramic fiber protrudes on the cut surface and a concave part formed by thermal contraction of the ceramic matrix are formed.
In addition, what is necessary is just to raise to 2545 degreeC which is the temperature at which SiC sublimates, when a ceramic matrix is SiC.
Further, since the melting or sublimation temperature varies depending on the composition and purity of the ceramic matrix, the temperature is raised to the melting or sublimation temperature according to the composition and purity of the ceramic matrix.
本発明のセラミック構造体の製造方法によれば、単位セラミック繊維を束ねて構成されるセラミック繊維を巻回した支持材を、セラミックマトリックスにより覆って本体を形成する。そして、本体を焼成してからセラミック繊維を構成する単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向に沿って切断して切断面を形成し、セラミックマトリックスが溶融または昇華するまで本体を加熱してから冷却させる。
これにより、切断面において単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、セラミックマトリックスが熱収縮して形成する凹部とを形成するので、切断面を他の部材と接着する際に、接着部材が凹部に浸透するので、十分なアンカー効果が得られる。また、切断面の表面積が増すので、放熱性が改善される。さらに、切断位置が支持材の切断位置で画定されるので、正確な長さに切断することができる。
さらにまた、単位セラミック繊維を束ねてセラミック繊維を構成するので、束ねるセラミック繊維の本数を調整することにより、容易にセラミック繊維の繊維径を調整して繊維密度を調整することができる。また、複数のセラミック繊維が束ねられたストランドの状態で使用されると、複数の繊維がまとまっているため強度を増すことができる。また、個々の繊維が突出する毛羽立ちを少なくすることができるので、より気流の乱れを抑えることができ、抵抗を少なくすることができる。
According to the method for producing a ceramic structure of the present invention, a support body on which ceramic fibers formed by bundling unit ceramic fibers are wound is covered with a ceramic matrix to form a main body. Then, after firing the main body, cut along the direction intersecting the longitudinal direction of the unit ceramic fibers constituting the ceramic fiber to form a cut surface, and heat the main body until the ceramic matrix melts or sublimes Allow to cool.
As a result, a convex part from which the longitudinal end of the unit ceramic fiber protrudes on the cut surface and a concave part formed by thermal contraction of the ceramic matrix are formed, so that when the cut surface is bonded to another member, Since the member penetrates into the recess, a sufficient anchor effect can be obtained. Moreover, since the surface area of a cut surface increases, heat dissipation is improved. Furthermore, since the cutting position is defined by the cutting position of the support material, it can be cut to an accurate length.
Furthermore, since the unit ceramic fibers are bundled to form the ceramic fibers, by adjusting the number of the ceramic fibers to be bundled, the fiber diameter of the ceramic fibers can be easily adjusted to adjust the fiber density. Moreover, when it is used in the state of a strand in which a plurality of ceramic fibers are bundled, the strength can be increased because the plurality of fibers are gathered. Moreover, since the fluff from which each fiber protrudes can be reduced, the turbulence of the air current can be further suppressed, and the resistance can be reduced.
さらに、本発明のセラミック構造体の製造方法は、以下の態様であることが望ましい。
（５）前記本体を加熱してから冷却させることにより、前記凸部の先端を曲面で構成する。
凸部を構成する単位セラミック繊維の先端が曲面で構成されるので、他の部材と接着する際に、接着材が物理的に単位セラミック繊維間に入りやすくなる。このため、接着強度を高めることができる。
Furthermore, it is desirable that the method for producing a ceramic structure of the present invention is as follows.
(5) The tip of the convex part is formed by a curved surface by heating and cooling the main body.
Since the tip of the unit ceramic fiber constituting the convex portion is formed with a curved surface, the adhesive material is easily physically placed between the unit ceramic fibers when bonded to another member. For this reason, adhesive strength can be raised.
本発明によれば、単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向にセラミック構造体を切断すると、支持材およびセラミックマトリックスが切断される。このとき、切断面においては、単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、切断時に溶融し冷却されて収縮したセラミックマトリックスによって形成する凹部とを有する。このため、切断面を他の部材と接着する際に、接着部材が凹部に浸透するので、十分なアンカー効果が得られる。また、切断面の表面積が増すので、放熱性が改善される。 According to the present invention, when the ceramic structure is cut in a direction crossing the longitudinal direction of the unit ceramic fibers, the support material and the ceramic matrix are cut. At this time, the cut surface has a convex part from which a longitudinal end of the unit ceramic fiber protrudes, and a concave part formed by a ceramic matrix that is melted, cooled, and contracted during cutting. For this reason, when the cut surface is bonded to another member, the adhesive member penetrates into the concave portion, so that a sufficient anchor effect is obtained. Moreover, since the surface area of a cut surface increases, heat dissipation is improved.
本発明のセラミック構造体について説明する。 The ceramic structure of the present invention will be described.
前記課題を解決するための本発明のセラミック構造体は、単位セラミック繊維を束ねたストランドで構成されたセラミック繊維層からなる支持材と、前記支持材を覆うセラミックマトリックスと、からなる本体を有し、前記本体における前記単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する切断面は、前記単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、前記セラミックマトリックスが形成する凹部とを有する。 A ceramic structure of the present invention for solving the above-mentioned problems has a main body comprising a support material composed of a ceramic fiber layer composed of strands in which unit ceramic fibers are bundled, and a ceramic matrix covering the support material. The cut surface that intersects the longitudinal direction of the unit ceramic fiber in the main body has a convex portion from which the longitudinal end portion of the unit ceramic fiber protrudes, and a concave portion formed by the ceramic matrix.
本発明のセラミック構造体によれば、ストランドで構成されたセラミック繊維層からなる支持材と、支持材を覆うセラミックマトリックスと、からなる本体を有する。このため、単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向にセラミック構造体を切断すると、支持材およびセラミックマトリックスが切断される。
このとき、切断面においては、単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、切断時に溶融し冷却されて収縮したセラミックマトリックスによって形成する凹部とを有する。このため、切断面を他の部材と接着する際に、接着部材が凹部に浸透するので、十分なアンカー効果が得られる。また、切断面の表面積が増すので、放熱性が改善される。さらに、切断位置が支持材の切断位置で画定されるので、正確な長さに切断することができる。
また、セラミック繊維層は、単位セラミック繊維を束ねたストランドが複数並べられて構成される。このため、束ねるセラミック繊維の本数を調整することにより、容易にセラミック繊維の繊維径を調整して繊維密度を調整することができる。また、複数のセラミック繊維が束ねられたストランドの状態で使用されると、複数の繊維がまとまっているため強度を増すことができる。また、個々の繊維が突出する毛羽立ちを少なくすることができるので、より気流の乱れを抑えることができ、抵抗を少なくすることができる。
According to the ceramic structure of the present invention, it has a main body composed of a support material composed of a ceramic fiber layer composed of strands, and a ceramic matrix covering the support material. For this reason, when the ceramic structure is cut in a direction crossing the longitudinal direction of the unit ceramic fibers, the support material and the ceramic matrix are cut.
At this time, the cut surface has a convex part from which a longitudinal end of the unit ceramic fiber protrudes, and a concave part formed by a ceramic matrix that is melted, cooled, and contracted during cutting. For this reason, when the cut surface is bonded to another member, the adhesive member penetrates into the concave portion, so that a sufficient anchor effect is obtained. Moreover, since the surface area of a cut surface increases, heat dissipation is improved. Furthermore, since the cutting position is defined by the cutting position of the support material, it can be cut to an accurate length.
The ceramic fiber layer is formed by arranging a plurality of strands in which unit ceramic fibers are bundled. For this reason, by adjusting the number of the ceramic fibers to be bundled, the fiber diameter of the ceramic fibers can be easily adjusted to adjust the fiber density. Moreover, when it is used in the state of a strand in which a plurality of ceramic fibers are bundled, the strength can be increased because the plurality of fibers are gathered. Moreover, since the fluff from which each fiber protrudes can be reduced, the turbulence of the air current can be further suppressed, and the resistance can be reduced.
さらに、本発明のセラミック構造体は、以下の態様であることが望ましい。
（１）前記セラミックマトリックスは、ＳｉＣである。
ＳｉＣは、高強度であるので、セラミック構造体の強度を増すことができる。また、ＳｉＣは、耐蝕性、耐酸化性にも優れ、セラミックマトリックスにＳｉＣを用いることにより、セラミック構造体を高温、腐食性雰囲気でも好適に利用できる。
Furthermore, it is desirable that the ceramic structure of the present invention has the following aspect.
(1) The ceramic matrix is SiC.
Since SiC has high strength, the strength of the ceramic structure can be increased. Further, SiC is excellent in corrosion resistance and oxidation resistance, and by using SiC for the ceramic matrix, the ceramic structure can be suitably used even in a high temperature and corrosive atmosphere.
（２）前記セラミック繊維は、ＳｉＣ繊維である。
ＳｉＣ繊維は、耐蝕性、耐酸化性が優れ、高強度であるので、支持材にＳｉＣを用いることにより、高温、腐食性雰囲気でセラミックマトリックスが損傷した場合でも、セラミック繊維がクラックの進展を止め、安全に使用することができる。
(2) The ceramic fiber is a SiC fiber.
Since SiC fiber has excellent corrosion resistance and oxidation resistance and high strength, even if the ceramic matrix is damaged in high temperature and corrosive atmosphere, the ceramic fiber stops the development of cracks by using SiC as the support material. Can be used safely.
（３）前記単位セラミック繊維の太さが５〜１０μｍであるとともに、前記凸部の突出量が７〜２０μｍである。
このため、強度を低下させることなく、アンカー効果を得ることができる。なお、突出量が小さ過ぎるとアンカー効果が不充分で、大き過ぎると内部へ向かうクラックの起点になり易い。
(3) While the thickness of the unit ceramic fiber is 5 to 10 μm, the protruding amount of the convex portion is 7 to 20 μm.
For this reason, an anchor effect can be acquired, without reducing intensity | strength. If the protruding amount is too small, the anchor effect is insufficient, and if it is too large, it tends to be a starting point of a crack toward the inside.
（４）前記凸部の先端が曲面で構成されている。
このため、他の部材と接着する際に、物理的に接着材が繊維間に入り込み易くなる。
(4) The tip of the convex portion is a curved surface.
For this reason, when it adheres to another member, it becomes easy for an adhesive material to physically enter between fibers.
また、前記課題を解決するための本発明のセラミック構造体の製造方法は、セラミック繊維を巻回した支持材をセラミックマトリックスにより覆って本体を形成した後、前記本体を焼成してから前記セラミック繊維を構成する単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向に沿って切断して切断面を形成し、次いで、前記セラミックマトリックスが溶融または昇華するまで前記本体を加熱してから冷却させることにより、前記切断面において前記単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、前記セラミックマトリックスが熱収縮して形成する凹部とを形成する。
なお、セラミックマトリックスがＳｉＣの場合、ＳｉＣが昇華する温度である２５４５℃まで上昇させればよい。
また、溶融または昇華する温度は、セラミックマトリックスの組成や純度などにより異なるので、セラミックマトリックスの組成や純度に応じて、溶融または昇華する温度まで上昇させる。
The method for manufacturing a ceramic structure according to the present invention for solving the above-described problem is that the ceramic fiber is covered with a ceramic matrix to form a main body, and then the main body is fired before the ceramic fiber is fired. By cutting along the direction crossing the longitudinal direction of the unit ceramic fibers constituting the cut surface, and then heating and cooling the body until the ceramic matrix melts or sublimates, A convex part from which the longitudinal end of the unit ceramic fiber protrudes on the cut surface and a concave part formed by thermal contraction of the ceramic matrix are formed.
In addition, what is necessary is just to raise to 2545 degreeC which is the temperature at which SiC sublimates, when a ceramic matrix is SiC.
Further, since the melting or sublimation temperature varies depending on the composition and purity of the ceramic matrix, the temperature is raised to the melting or sublimation temperature according to the composition and purity of the ceramic matrix.
本発明のセラミック構造体の製造方法によれば、単位セラミック繊維を束ねて構成されるセラミック繊維を巻回した支持材を、セラミックマトリックスにより覆って本体を形成する。そして、本体を焼成してからセラミック繊維を構成する単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向に沿って切断して切断面を形成し、セラミックマトリックスが溶融または昇華するまで本体を加熱してから冷却させる。
これにより、切断面において単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、セラミックマトリックスが熱収縮して形成する凹部とを形成するので、切断面を他の部材と接着する際に、接着部材が凹部に浸透するので、十分なアンカー効果が得られる。また、切断面の表面積が増すので、放熱性が改善される。さらに、切断位置が支持材の切断位置で画定されるので、正確な長さに切断することができる。
さらにまた、単位セラミック繊維を束ねてセラミック繊維を構成するので、束ねるセラミック繊維の本数を調整することにより、容易にセラミック繊維の繊維径を調整して繊維密度を調整することができる。また、複数のセラミック繊維が束ねられたストランドの状態で使用されると、複数の繊維がまとまっているため強度を増すことができる。また、個々の繊維が突出する毛羽立ちを少なくすることができるので、より気流の乱れを抑えることができ、抵抗を少なくすることができる。
According to the method for producing a ceramic structure of the present invention, a support body on which ceramic fibers formed by bundling unit ceramic fibers are wound is covered with a ceramic matrix to form a main body. Then, after firing the main body, cut along the direction intersecting the longitudinal direction of the unit ceramic fibers constituting the ceramic fiber to form a cut surface, and heat the main body until the ceramic matrix melts or sublimes Allow to cool.
As a result, a convex part from which the longitudinal end of the unit ceramic fiber protrudes on the cut surface and a concave part formed by thermal contraction of the ceramic matrix are formed, so that when the cut surface is bonded to another member, Since the member penetrates into the recess, a sufficient anchor effect can be obtained. Moreover, since the surface area of a cut surface increases, heat dissipation is improved. Furthermore, since the cutting position is defined by the cutting position of the support material, it can be cut to an accurate length.
Furthermore, since the unit ceramic fibers are bundled to form the ceramic fibers, by adjusting the number of the ceramic fibers to be bundled, the fiber diameter of the ceramic fibers can be easily adjusted to adjust the fiber density. Moreover, when it is used in the state of a strand in which a plurality of ceramic fibers are bundled, the strength can be increased because the plurality of fibers are gathered. Moreover, since the fluff from which each fiber protrudes can be reduced, the turbulence of the air current can be further suppressed, and the resistance can be reduced.
さらに、本発明のセラミック構造体の製造方法は、以下の態様であることが望ましい。
（５）前記本体を加熱してから冷却させることにより、前記凸部の先端を曲面で構成する。
凸部を構成する単位セラミック繊維の先端が曲面で構成されるので、他の部材と接着する際に、接着材が物理的に単位セラミック繊維間に入りやすくなる。このため、接着強度を高めることができる。
Furthermore, it is desirable that the method for producing a ceramic structure of the present invention is as follows.
(5) The tip of the convex part is formed by a curved surface by heating and cooling the main body.
Since the tip of the unit ceramic fiber constituting the convex portion is formed with a curved surface, the adhesive material is easily physically placed between the unit ceramic fibers when bonded to another member. For this reason, adhesive strength can be raised.
本発明のセラミック構造体の製造方法は、支持材形成工程と、マトリックス形成工程と、芯抜工程とからなる。最初に支持材を形成した後に、芯抜工程およびマトリックス形成工程を行う。芯抜工程とマトリックス形成工程の順序は特に限定されず、芯抜工程の前後にマトリックス形成工程を行ってもよい。
図５（Ａ）〜図５（Ｃ）は本発明の実施形態のセラミック構造体の製造工程を示す。図５（Ａ）は支持材形成工程、マトリックス形成工程、芯抜工程の順に製造する製造工程、図５（Ｂ）は支持材形成工程、芯抜工程、マトリックス形成工程の順に製造する製造工程、図５（Ｃ）は支持材形成工程、マトリックス形成工程、芯抜工程、マトリックス形成工程の順に製造する製造工程を示す。
The method for producing a ceramic structure of the present invention includes a support material forming step, a matrix forming step, and a centering step. After the support material is first formed, a centering process and a matrix forming process are performed. The order of the centering step and the matrix forming step is not particularly limited, and the matrix forming step may be performed before and after the centering step.
5 (A) to 5 (C) show the manufacturing process of the ceramic structure according to the embodiment of the present invention. FIG. 5A shows a manufacturing process for manufacturing in the order of the support material forming process, the matrix forming process, and the centering process. FIG. 5B shows a manufacturing process for manufacturing in the order of the support material forming process, the centering process, and the matrix forming process. FIG. 5C shows a manufacturing process in which a support material forming process, a matrix forming process, a centering process, and a matrix forming process are performed in this order.
次に、支持材形成工程について説明する。支持材形成工程は、例えば円柱形状の芯材の周囲にセラミック繊維を巻回し、支持材を形成する。支持材形成工程はセラミック繊維の配置、巻き方などで細かく分類される。支持材形成工程は、芯材の軸方向に対して平面視で交差する方向に配向する巻回工程と、軸方向に沿って配向する軸方向配置工程とからなる。
図６（Ａ）〜図６（Ｃ）は、本発明の実施形態のセラミック構造体の支持材形成工程の詳細な製造工程を示す。
Next, a support material formation process is demonstrated. In the support material forming step, for example, a ceramic fiber is wound around a cylindrical core material to form a support material. The support material forming step is finely classified by the arrangement and winding method of the ceramic fibers. The support material forming step includes a winding step that is oriented in a direction intersecting in plan view with respect to the axial direction of the core material, and an axial direction arranging step that is oriented along the axial direction.
6 (A) to 6 (C) show the detailed manufacturing process of the support material forming process of the ceramic structure according to the embodiment of the present invention.
図６（Ａ）は、巻回工程が最初と最後にある製造工程であり、この製造方法により、支持材の内層のセラミック繊維層の外側および内側を覆う最表層のセラミック繊維層が中心軸に対して平面視で交差して配向しているセラミック繊維によってセラミック構造体を構成することができる。
図６（Ｂ）は、巻回工程が最初にあり、最後にはない製造工程であり、この製造方法により、支持材の内層のセラミック繊維層の内側面を覆う最表層のセラミック繊維層が中心軸に対して平面視で交差して配向しているセラミック繊維によってセラミック構造体を構成することができる。
図６（Ｃ）は、巻回工程が最後にあり最初にはない製造工程であり、この製造方法により、支持材の内層のセラミック繊維層の外側面を覆う最表層のセラミック繊維層が中心軸に対して平面視で交差して配向しているセラミック繊維によってセラミック構造体を構成することができる。最初または最後の巻回工程の間は、セラミック繊維の配置、巻回方法、回数、順序は限定されず、自由に組み合わせることができる。
FIG. 6 (A) shows a manufacturing process in which the winding process is the first and last. By this manufacturing method, the outermost ceramic fiber layer covering the inner and outer ceramic fiber layers of the support material is centered on the center axis. On the other hand, the ceramic structure can be constituted by ceramic fibers that intersect and orient in a plan view.
FIG. 6B shows a manufacturing process in which the winding process is the first and not the last, and by this manufacturing method, the outermost ceramic fiber layer covering the inner surface of the ceramic fiber layer of the inner layer of the support material is the center. The ceramic structure can be constituted by ceramic fibers that are oriented so as to intersect the axis in plan view.
FIG. 6 (C) shows a manufacturing process in which the winding process is the last and not the first. By this manufacturing method, the outermost ceramic fiber layer covering the outer surface of the ceramic fiber layer as the inner layer of the support material has a central axis. The ceramic structure can be constituted by ceramic fibers that intersect and orient in a plan view. During the first or last winding step, the arrangement, winding method, number of times, and order of the ceramic fibers are not limited and can be freely combined.
次にマトリックス形成工程について説明する。マトリックス形成工程は、骨材であるセラミック繊維の周囲にセラミックマトリックスを充填する。
セラミックマトリックスはどのようなものでもよく特に限定されない。例えば、ＳｉＣ、アルミナ、Ｓｉ３Ｎ４、Ｂ４Ｃなどを利用できる。セラミックマトリックスはどのような方法で形成してもよい。例えば、有機物である前駆体(プレカーサ)を熱分解させセラミックのマトリックスを得るプレカーサ法、原料ガスを熱分解させセラミックマトリックスを得るＣＶＤ法などが利用できる。またこれらを併用してもよい。
Next, the matrix forming process will be described. In the matrix forming step, the ceramic matrix is filled around the ceramic fibers which are aggregates.
The ceramic matrix may be anything and is not particularly limited. For example, SiC, alumina, Si 3 N 4 , B 4 C, or the like can be used. The ceramic matrix may be formed by any method. For example, a precursor method in which a precursor (precursor) that is an organic substance is thermally decomposed to obtain a ceramic matrix, a CVD method in which a raw material gas is thermally decomposed to obtain a ceramic matrix, and the like can be used. These may be used in combination.
以下プレカーサ法、ＣＶＤ法について説明する。
プレカーサ法では、熱分解によりセラミックが得られる前駆体を適宜選定する。プレカーサ法では、液体の前駆体を支持材に塗布または含浸したのち、加熱処理し、最終的に焼成することによりセラミックマトリックスを得る。加熱処理では、前駆体の形態によってさまざまな処理が行われる。前駆体が溶液である場合には溶媒の乾燥、前駆体がモノマー、ダイマーまたはオリゴマーなどの場合には重合反応、前駆体がポリマーである場合には熱分解反応の処理が行われる。
Hereinafter, the precursor method and the CVD method will be described.
In the precursor method, a precursor from which ceramic can be obtained by thermal decomposition is appropriately selected. In the precursor method, a ceramic matrix is obtained by applying or impregnating a liquid precursor to a support material, followed by heat treatment and finally firing. In the heat treatment, various treatments are performed depending on the form of the precursor. When the precursor is a solution, the solvent is dried. When the precursor is a monomer, dimer or oligomer, a polymerization reaction is performed. When the precursor is a polymer, a thermal decomposition reaction is performed.
前駆体は、液体の形態で使用する。液体であるとは、前駆体を溶媒に溶かした溶液、液状の前駆体、固体の前駆体を加熱して溶融した液状の前駆体などが利用できる。なお、プレカーサ法では、最終的に前駆体を焼成し、セラミックマトリックスを生成させる。
前駆体は、例えば次のようなものが利用できる。前駆体が炭素の場合は、フェノール樹脂、フラン樹脂などが利用できる。前駆体がＳｉＣの場合はポリカルボシラン（PCS：Polycarbosilane）などが利用できる。これらの樹脂をセラミック繊維間に浸透させて、熱分解することによりセラミックマトリックスを得ることができる。
また、プリカーサ法は支持材形成工程のなかで軸方向配置工程が最後にあり、軸方向に並んだセラミック繊維が最表層にある場合に、セラミック繊維の脱落や毛羽立ちを防止するためのバインダーとすることもできる。この場合には、前駆体が、乾燥、重合または熱分解する過程で、セラミック繊維同士を結合させた状態を維持することができるので、好適に利用することができる。
The precursor is used in liquid form. As the liquid, a solution obtained by dissolving a precursor in a solvent, a liquid precursor, a liquid precursor obtained by heating and melting a solid precursor, and the like can be used. In the precursor method, the precursor is finally fired to form a ceramic matrix.
For example, the following can be used as the precursor. When the precursor is carbon, a phenol resin, a furan resin, or the like can be used. When the precursor is SiC, polycarbosilane (PCS) can be used. A ceramic matrix can be obtained by infiltrating these resins between ceramic fibers and thermally decomposing them.
In addition, the precursor method has an axial arrangement step at the end of the support material formation step, and when ceramic fibers arranged in the axial direction are on the outermost layer, it is used as a binder for preventing the ceramic fibers from falling off and fluffing. You can also. In this case, since the precursor can maintain the state in which the ceramic fibers are bonded in the process of drying, polymerization, or thermal decomposition, it can be used preferably.
ＣＶＤ法では、ＣＶＤ炉に支持材をいれ、加熱した状態で原料ガスを導入する。原料ガスは、ＣＶＤ炉内で拡散するとともに、加熱された支持材に接触すると熱分解が起こり、原料ガスに対応するセラミックマトリックスが支持材を構成するセラミック繊維の表面に形成される。
ＣＶＤ法で使用する原料ガスは、セラミックマトリックスの種類によって適宜選択する。
In the CVD method, a support material is placed in a CVD furnace, and a source gas is introduced in a heated state. The source gas diffuses in the CVD furnace, and when it contacts the heated support material, thermal decomposition occurs, and a ceramic matrix corresponding to the source gas is formed on the surface of the ceramic fibers constituting the support material.
The source gas used in the CVD method is appropriately selected depending on the type of ceramic matrix.
目的とするセラミックマトリックスが炭素の場合は、メタン、エタン、プロパンなどの炭化水素ガスが利用できる。
目的とするセラミックマトリックスがＳｉＣの場合には、炭化水素ガスと、シラン系ガスの混合ガス、炭素と珪素を有する有機シラン系ガスなどが利用できる。これらの原料ガスは、水素がハロゲンで置換されたガスも利用することができる。シラン系ガスとしては、クロロシラン、ジクロロシラン、トリクロロシラン、テトラクロロシラン、有機シラン系ガスの場合には、メチルトリクロロシラン（Methyltrichlorosilane）、メチルジクロロシラン（Methyldichlorosilane）、メチルクロロシラン（Methylchlorosilane）、ジメチルジクロロシラン（Dimethyldichlorosilane)、トリメチルジクロロシラン（Trimethyldichlorosilane）などが利用できる。またこれらの原料ガスを適宜混合して用いてもよく、さらに水素、アルゴンなどのキャリアガスとしても用いることもできる。キャリアガスとして水素を用いた場合には、平衡の調整に関与することができる。
When the target ceramic matrix is carbon, hydrocarbon gases such as methane, ethane, and propane can be used.
When the target ceramic matrix is SiC, a mixed gas of hydrocarbon gas and silane-based gas, organosilane-based gas containing carbon and silicon, or the like can be used. As these source gases, gas in which hydrogen is replaced with halogen can also be used. Silane-based gases include chlorosilane, dichlorosilane, trichlorosilane, tetrachlorosilane, and organic silane-based gases such as methyltrichlorosilane, methyldichlorosilane, methylchlorosilane, dimethyldichlorosilane ( Dimethyldichlorosilane), trimethyldichlorosilane, etc. can be used. Further, these raw material gases may be used by mixing them as appropriate, and can also be used as a carrier gas such as hydrogen or argon. When hydrogen is used as the carrier gas, it can be involved in equilibrium adjustment.
また、他のセラミック材料の場合には、目的のセラミックマトリックスにあわせて適宜原料ガスを選定することができる。
ＣＶＤの温度は、原料ガスの分解温度、分解速度に応じて適宜選定することができ、例えば８００〜２０００℃である。ＣＶＤの圧力は、セラミックマトリックスの沈着の状態に応じて適宜選択することができる。使用できる範囲は、例えば０．１〜１００ｋＰａの減圧ＣＶＤ法、また圧力を制御しない常圧ＣＶＤ法でもよい。
In the case of other ceramic materials, the source gas can be appropriately selected according to the target ceramic matrix.
The CVD temperature can be appropriately selected according to the decomposition temperature and decomposition rate of the source gas, and is, for example, 800 to 2000 ° C. The CVD pressure can be appropriately selected according to the state of deposition of the ceramic matrix. The usable range may be, for example, a low pressure CVD method of 0.1 to 100 kPa, or an atmospheric pressure CVD method in which the pressure is not controlled.
次に、芯抜工程について説明する。
芯抜工程の位置によって３つのパターンが存在する。
芯抜工程が、マトリックス形成工程の後の場合、支持材形成工程、マトリックス形成工程、芯抜工程の順に製造する（図５（Ａ））。
芯抜工程が、マトリックス形成工程の前の場合、支持材形成工程、芯抜工程、マトリックス形成工程の順に製造する（図５（Ｂ））。
芯抜工程が、マトリックス形成工程の中にある場合、支持材形成工程、マトリックス形成工程、芯抜工程、マトリックス形成工程の順に製造する（図５（Ｃ））。
Next, the centering process will be described.
There are three patterns depending on the position of the centering process.
When the centering step is after the matrix forming step, the support material forming step, the matrix forming step, and the centering step are manufactured in this order (FIG. 5A).
When the centering step is before the matrix forming step, the support material forming step, the centering step, and the matrix forming step are manufactured in this order (FIG. 5B).
When the centering step is in the matrix forming step, the support material forming step, the matrix forming step, the centering step, and the matrix forming step are manufactured in this order (FIG. 5C).
図５（Ａ）に示すように、芯抜工程が、マトリックス形成工程の後の場合、芯抜工程で分離される段階では、すでにセラミック繊維強化セラミック複合材料が形成され、本発明のセラミック構造体そのものである。この場合には、形状が固定された段階で芯抜きされるので、寸法精度の高いセラミック構造体を得ることができる。 As shown in FIG. 5 (A), when the centering step is after the matrix forming step, the ceramic fiber reinforced ceramic composite material is already formed at the stage of separation in the centering step, and the ceramic structure of the present invention. It is itself. In this case, since the core is cored when the shape is fixed, a ceramic structure with high dimensional accuracy can be obtained.
図５（Ｂ）に示すように、芯抜工程が、マトリックス形成工程の前の場合、芯抜工程で分離されるものは、セラミック繊維層からなる支持材そのものである。この場合には、支持材の内側面および外側面に同時にセラミックマトリックスを形成することができ、効率よくセラミック構造体を得ることができる。 As shown in FIG. 5B, when the centering step is before the matrix forming step, what is separated in the centering step is the support material itself made of the ceramic fiber layer. In this case, the ceramic matrix can be simultaneously formed on the inner side surface and the outer side surface of the support material, and a ceramic structure can be obtained efficiently.
図５（Ｃ）に示すように、芯抜工程が、マトリックス形成工程の中にある場合、芯抜工程で分離される段階では、セラミック繊維強化セラミック複合材料の途中段階の製品である。この場合には、支持材の内側面および外側面に同時にセラミックマトリックスを形成することができ、寸法精度の高いセラミック構造体を効率よく得ることができる。 As shown in FIG. 5C, when the centering step is in the matrix forming step, the product is an intermediate stage product of the ceramic fiber reinforced ceramic composite material at the stage of being separated in the centering step. In this case, the ceramic matrix can be simultaneously formed on the inner side surface and the outer side surface of the support material, and a ceramic structure with high dimensional accuracy can be obtained efficiently.
いずれの方法をとってもよいが、芯抜工程が、マトリックス形成工程の中にある場合の製造方法（図５（Ｃ）参照）を用いることが好ましい。
芯抜工程が、マトリックス形成工程の中にある場合には、支持材のセラミック繊維間にセラミックマトリックスが形成されセラミック繊維強化セラミック複合材料になった後に芯材が抜かれるので、芯材が抜かれた後に変形しにくくすることができる。
Any method may be used, but it is preferable to use a manufacturing method (see FIG. 5C) when the centering step is in the matrix forming step.
When the core forming process is in the matrix forming process, the core material is removed after the ceramic matrix is formed between the ceramic fibers of the support material to form a ceramic fiber reinforced ceramic composite material, and thus the core material is removed. It can be made difficult to deform later.
また、この場合、芯材が抜かれた後、支持材の外側面と内側面の両側からセラミックマトリックスを形成することができるので、セラミック繊維を確実にセラミックマトリックスで覆うことができ、ほつれにくくより強固なセラミック繊維強化セラミック複合材料を得ることができる。 In this case, since the ceramic matrix can be formed from both the outer surface and the inner surface of the support material after the core material is removed, the ceramic fibers can be reliably covered with the ceramic matrix, and are more resistant to fraying and stronger. Ceramic fiber reinforced ceramic composite material can be obtained.
また、マトリックス形成工程の中に芯抜き工程がある場合には、芯抜工程の前後のマトリックス形成工程は同一の方法を用いてもよいし、異なる方法を用いてもよい。なかでも、芯抜工程の前はプリカーサ法を用い、芯抜工程の後はＣＶＤ法を用いることが好ましい。プリカーサ法は、簡単な方法で支持材を固めることができ、変形を防止できるようになる。ＣＶＤ法では、緻密で強固な膜が得られるのでセラミック構造体の最表面を構成する膜として好適に利用することができる。 Moreover, when there exists a centering process in a matrix formation process, the matrix formation process before and behind a centering process may use the same method, and may use a different method. In particular, it is preferable to use a precursor method before the centering step and to use a CVD method after the centering step. In the precursor method, the support material can be hardened by a simple method, and deformation can be prevented. In the CVD method, a dense and strong film can be obtained, so that it can be suitably used as a film constituting the outermost surface of the ceramic structure.
図１（Ａ）〜図１（Ｃ）および図２（Ａ）〜図２（Ｂ）に基づいて、セラミック構造体の製造方法について説明する。
セラミック構造体１０の製造方法は、円柱状に形成された芯材１１の中心軸ＣＬに対する周方向に沿ってセラミック繊維（ストランド）２１を巻回する巻回工程と、芯材１１の中心軸ＣＬに対して平行にセラミック繊維２１を配置する軸方向配置工程を有する。
A method for manufacturing a ceramic structure will be described with reference to FIGS. 1 (A) to 1 (C) and FIGS. 2 (A) to 2 (B).
The manufacturing method of the ceramic structure 10 includes a winding step of winding the ceramic fiber (strand) 21 along the circumferential direction with respect to the central axis CL of the core material 11 formed in a columnar shape, and the central axis CL of the core material 11. And an axial arrangement step of arranging the ceramic fibers 21 in parallel with each other.
巻回工程においては、図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示すように、中心軸ＣＬ回りに回転する芯材１１の外周面にセラミック繊維２１を巻回してセラミック繊維層２２を形成する。
図１（Ａ）はヘリカル巻きによるセラミック繊維２１の巻回工程の往路を示し、図１（Ｂ）はヘリカル巻きによるセラミック繊維２１の巻回工程の復路を示す。なお、ここでは詳細に触れないが、巻回工程には、芯材の中心軸に対して直交する方向に巻回するフープ巻きもある。
In the winding step, as shown in FIGS. 1 (A) and 1 (B), the ceramic fiber 21 is formed by winding the ceramic fiber 21 around the outer peripheral surface of the core material 11 rotating around the central axis CL. .
FIG. 1A shows the outward path of the winding process of the ceramic fiber 21 by helical winding, and FIG. 1B shows the return path of the winding process of the ceramic fiber 21 by helical winding. Although not described in detail here, the winding process includes hoop winding in which the winding process is performed in a direction perpendicular to the central axis of the core material.
このとき、セラミック繊維２１を収容するロール２１１を、芯材１１の一端側（図１（Ａ）において右端側）から他端側（図１（Ａ）において左端側）へ移動（矢印Ａ参照）させることにより、セラミック繊維２１を芯材１１の外側面に巻回することができる。
なお、図１（Ｂ）に示すヘリカル巻きによるセラミック繊維２１の巻回工程の復路では、セラミック繊維を収容するロール２１１を、芯材１１の他端側（図１（Ｂ）において左端側）から一端側（図１（Ｂ）において右端側）へ移動させる（矢印Ｂ参照）。
At this time, the roll 211 containing the ceramic fibers 21 is moved from one end side (the right end side in FIG. 1A) of the core material 11 to the other end side (the left end side in FIG. 1A) (see arrow A). By doing so, the ceramic fiber 21 can be wound around the outer surface of the core material 11.
In the return path of the winding process of the ceramic fiber 21 by helical winding shown in FIG. 1B, the roll 211 that accommodates the ceramic fiber is moved from the other end side (the left end side in FIG. 1B) of the core material 11. Move to one end (right end in FIG. 1B) (see arrow B).
このとき、ロール２１１の送り速度によって巻回されるセラミック繊維２１の形態が変化する。すなわち、ロール２１１の送り速度を調整することにより軸線間距離を調整して、繊維間密度を所望の密度に設定することができる。すなわち、ロール２１１の送り速度を速くしてセラミック繊維２１を螺旋のよう巻くと、間隔が空くようにセラミック繊維２１を巻回すると、繊維間密度が低密度となる。また、ロール２１１の送り速度を遅くしてセラミック繊維２１を巻回すると、繊維間密度が高密度となる。 At this time, the form of the ceramic fiber 21 to be wound changes depending on the feed speed of the roll 211. That is, the inter-axis distance can be adjusted by adjusting the feed speed of the roll 211, and the density between fibers can be set to a desired density. That is, when the feed speed of the roll 211 is increased and the ceramic fiber 21 is wound like a spiral, when the ceramic fiber 21 is wound so as to be spaced apart, the inter-fiber density becomes low. Moreover, when the feeding speed of the roll 211 is slowed and the ceramic fiber 21 is wound, the density between the fibers becomes high.
なお、ヘリカル巻きでは１回の送りでは芯材１１の全外周面を覆うことができないので、ロール２１１を何往復も繰り返し送りながら芯材１１の外周面にセラミック繊維層２２を形成する。
すなわち、セラミック繊維２１の一方向の送りを１単位とすると、ヘリカル巻きでは、１単位のセラミック繊維２１では、芯材１１の全外周面を覆い尽くすことができないので、任意の単位のセラミック繊維２１は前後それぞれ複数の単位のセラミック繊維２１と接触する。
なお、図面においては、わかりやすくするために、隣接するセラミック繊維２１同士の間隔を大きく表示している。
In the helical winding, since the entire outer peripheral surface of the core material 11 cannot be covered by a single feed, the ceramic fiber layer 22 is formed on the outer peripheral surface of the core material 11 while repeatedly feeding the roll 211 repeatedly.
That is, assuming that the unidirectional feed of the ceramic fiber 21 is one unit, the helical winding cannot cover the entire outer peripheral surface of the core material 11 with one unit of the ceramic fiber 21. Are in contact with a plurality of units of ceramic fibers 21.
In the drawing, for easy understanding, the interval between adjacent ceramic fibers 21 is shown large.
軸方向配置工程においては、例えば図１（Ｃ）に示すように、芯材１１の一端側および他端側に係止部２１２、２１３を設けておき、係止部２１２と係止部２１３とに交互にセラミック繊維２１を引っ掛けることにより、セラミック繊維２１を芯材１１の中心軸ＣＬに沿って配置してセラミック繊維層２２を形成する。従って、係止部２１２、２１３の間隔により繊維間隔が決定され、繊維間密度を設定することができる。
これを芯材１１の外側面に沿って全周に実施する。このとき、セラミック繊維２１は、係止部２１２、２１３の太さ、配置によっては、中心軸ＣＬを含む平面に対し、斜めに配置されることもあるが、隣接するセラミック繊維２１同士は非常に近接しているので、中心軸ＣＬに対して平行に配置されると言える。なお、図１（Ｃ）においては、わかりやすくするために、隣接するセラミック繊維２１同士の間隔を大きく表示している。
In the axial arrangement step, for example, as shown in FIG. 1C, locking portions 212 and 213 are provided on one end side and the other end side of the core material 11, and the locking portion 212 and the locking portion 213 are provided. By alternately hooking the ceramic fibers 21 to each other, the ceramic fibers 21 are arranged along the central axis CL of the core material 11 to form the ceramic fiber layer 22. Therefore, the fiber interval is determined by the interval between the locking portions 212 and 213, and the density between fibers can be set.
This is performed on the entire circumference along the outer surface of the core material 11. At this time, the ceramic fibers 21 may be arranged obliquely with respect to the plane including the central axis CL depending on the thickness and arrangement of the locking portions 212 and 213, but the adjacent ceramic fibers 21 are very close to each other. Since they are close to each other, it can be said that they are arranged parallel to the central axis CL. In FIG. 1C, for easy understanding, the interval between adjacent ceramic fibers 21 is shown large.
セラミック繊維層２２は、巻回工程と軸方向配置工程とを繰り返し実施して積層される。巻回工程と軸方向配置工程との順番および実施回数は任意である。
例えば、巻回工程と軸方向配置工程とを１回ずつ交互に実施することができるが、巻回工程および軸方向配置工程を各々複数回ずつ実施して交互に実施することもできる。
これにより、複数のセラミック繊維層２２を堆積させて、円筒状の支持材２３が芯材１１の表面に形成される（図２（Ａ）参照）。
The ceramic fiber layer 22 is laminated by repeatedly performing a winding process and an axial arrangement process. The order of the winding process and the axial arrangement process and the number of executions are arbitrary.
For example, the winding process and the axial arrangement process can be alternately performed once, but the winding process and the axial arrangement process can be alternately performed by performing each of the plurality of times.
Thereby, the several ceramic fiber layer 22 is deposited, and the cylindrical support material 23 is formed in the surface of the core material 11 (refer FIG. 2 (A)).
次いで、支持材２３のセラミック繊維２１間にセラミックマトリックス２４を形成させて、中心軸ＣＬを包囲する本体２０を形成する（図３（Ｃ）および図４参照）。実施形態では、セラミックマトリックス２４をＣＶＤ法により形成する。セラミック繊維層２２を有する支持材をＣＶＤ炉に入れ、ＣＶＤ炉にメチルトリクロロシランガスを導入し、ＳｉＣのセラミックマトリックス２４を形成する。 Next, the ceramic matrix 24 is formed between the ceramic fibers 21 of the support member 23 to form the main body 20 surrounding the central axis CL (see FIGS. 3C and 4). In the embodiment, the ceramic matrix 24 is formed by a CVD method. The support material having the ceramic fiber layer 22 is put into a CVD furnace, and methyltrichlorosilane gas is introduced into the CVD furnace to form a SiC ceramic matrix 24.
そして、図２（Ｂ）に示すように、分離する工程では、芯材１１から本体２０を脱型させて、本体２０を焼成する。
なお、これに限定されず、本体２０を芯材１１から分離する工程は、セラミックマトリックス２４を形成する前、形成した後、セラミックマトリックス２４を形成する途中段階のいずれであってもよい（図５参照）。
Then, as shown in FIG. 2B, in the separation step, the main body 20 is removed from the core material 11 and the main body 20 is fired.
Note that the process of separating the main body 20 from the core material 11 is not limited to this, and may be any of intermediate stages of forming the ceramic matrix 24 before and after forming the ceramic matrix 24 (FIG. 5). reference).
このようにして、セラミック繊維２１を巻回した支持材２３をセラミックマトリックス２４により覆って本体２０を形成し、本体２０を焼成した後に、本体２０をセラミック繊維２１を構成する単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向（例えばセラミック繊維２１に直交する方向）に沿って切断して切断面２０１を形成する。
次いで、セラミックマトリックス２４が溶融または昇華するまで本体２０を加熱してから冷却させることにより、切断面２０１において単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部２２１と、セラミックマトリックス２４が熱収縮して形成する凹部２５とを形成する（図３（Ｃ）および図４参照）。
このとき、セラミックマトリックス２４が溶融または昇華するまで本体２０を加熱してから冷却させることにより、凸部２２１の先端２２２を曲面２２３で構成する。
In this way, the support material 23 around which the ceramic fibers 21 are wound is covered with the ceramic matrix 24 to form the main body 20, and after firing the main body 20, the main body 20 is formed in the longitudinal direction of the unit ceramic fibers constituting the ceramic fibers 21. A cut surface 201 is formed by cutting along a direction intersecting with (for example, a direction orthogonal to the ceramic fiber 21).
Next, by heating and cooling the main body 20 until the ceramic matrix 24 is melted or sublimated, the convex portions 221 from which the longitudinal ends of the unit ceramic fibers protrude from the cut surface 201 and the ceramic matrix 24 are thermally contracted. And a recess 25 to be formed (see FIGS. 3C and 4).
At this time, the main body 20 is heated and cooled until the ceramic matrix 24 is melted or sublimated, whereby the tip 222 of the convex portion 221 is configured by the curved surface 223.
なお、セラミックマトリックス２４がＳｉＣの場合、ＳｉＣが昇華する温度である２５４５℃まで上昇させればよい。
また、溶融または昇華する温度は、セラミックマトリックスの組成や純度などにより異なるので、セラミックマトリックスの組成や純度に応じて、溶融または昇華する温度まで上昇させる。
If the ceramic matrix 24 is SiC, the ceramic matrix 24 may be raised to 2545 ° C., which is the temperature at which SiC sublimates.
Further, since the melting or sublimation temperature varies depending on the composition and purity of the ceramic matrix, the temperature is raised to the melting or sublimation temperature according to the composition and purity of the ceramic matrix.
次に、セラミック構造体１０について説明する。
図３（Ａ）には、セラミック構造体１０を切断した状態が示されている。
図３（Ａ）に示すように、セラミック構造体１０は、中心軸ＣＬを包囲する本体２０を有する。本体２０は、ＳｉＣ繊維であるセラミック繊維２１により形成されたセラミック繊維層２２を積層した支持材２３（図２参照）を有しており、このセラミック繊維２１にＣＶＤ法によってＳｉＣのセラミックマトリックス２４を沈積させ繊維強化セラミック複合材料を得ることができる。セラミック繊維２１は、単位セラミック繊維を束ねたストランドを用いている。
Next, the ceramic structure 10 will be described.
FIG. 3A shows a state where the ceramic structure 10 is cut.
As shown in FIG. 3A, the ceramic structure 10 has a main body 20 surrounding the central axis CL. The main body 20 has a support material 23 (see FIG. 2) in which a ceramic fiber layer 22 formed of ceramic fibers 21 which are SiC fibers is laminated. An SiC ceramic matrix 24 is formed on the ceramic fibers 21 by a CVD method. A fiber reinforced ceramic composite can be obtained by deposition. The ceramic fiber 21 uses a strand in which unit ceramic fibers are bundled.
本体２０を中心軸に対して直交する方向に、例えばウォーターガイドレーザーにより切断すると、図３（Ｂ）および図３（Ｃ）に示すように、切断面２０１と交差していたセラミック繊維２１およびセラミックマトリックス２４が切断される。
このとき、切断時の熱によってセラミックマトリックス２４が部分的に溶融して流出したり、切断後の冷却によって熱収縮する。その結果、本体２０の切断面２０１には、切断面２０１から内部に向かって凹部２５が形成されるとともにセラミック繊維２１の端部が突出して凸部２２１が形成される。
When the main body 20 is cut in a direction orthogonal to the central axis by, for example, a water guide laser, as shown in FIGS. 3B and 3C, the ceramic fiber 21 and the ceramic crossing the cut surface 201 are formed. The matrix 24 is cut.
At this time, the ceramic matrix 24 partially melts and flows out by heat at the time of cutting, or heat shrinks by cooling after cutting. As a result, the cut surface 201 of the main body 20 is formed with the concave portion 25 from the cut surface 201 toward the inside, and the end portion of the ceramic fiber 21 protrudes to form the convex portion 221.
次に、本実施形態のセラミック構造体の作用・効果について説明する。
本実施形態のセラミック構造体１０によれば、単位セラミック繊維を束ねたセラミック繊維（ストランド）２１で構成されたセラミック繊維層２２からなる支持材２３と、支持材２３を覆うセラミックマトリックス２４と、からなる本体２０を有する。このため、単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向にセラミック構造体１０を切断すると、支持材２３およびセラミックマトリックス２４が切断される。
Next, functions and effects of the ceramic structure of the present embodiment will be described.
According to the ceramic structure 10 of the present embodiment, the support member 23 is composed of a ceramic fiber layer 22 composed of ceramic fibers (strands) 21 in which unit ceramic fibers are bundled, and the ceramic matrix 24 covers the support member 23. A main body 20. For this reason, when the ceramic structure 10 is cut in a direction crossing the longitudinal direction of the unit ceramic fibers, the support member 23 and the ceramic matrix 24 are cut.
このとき、切断面２０１においては、単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部２２１と、切断時に溶融し冷却されて収縮したセラミックマトリックス２４によって形成される凹部２５とを有する。このため、切断面２０１を他の部材と接着する際に、接着部材が凹部２５に浸透するので、十分なアンカー効果が得られる。また、切断面２０１の表面積が増すので、放熱性が改善される。さらに、切断位置が支持材２３の切断位置、すなわち凸部２２１で画定されるので、正確な長さに切断することができる。特に、セラミック構造体１０が想定切断長さよりも長くなることを防止することができる。 At this time, the cut surface 201 has a convex portion 221 from which the end portion of the unit ceramic fiber protrudes, and a concave portion 25 formed by the ceramic matrix 24 which is melted, cooled and contracted at the time of cutting. For this reason, when the cut surface 201 is bonded to another member, the adhesive member penetrates into the recess 25, so that a sufficient anchor effect is obtained. Moreover, since the surface area of the cut surface 201 increases, heat dissipation is improved. Furthermore, since the cutting position is defined by the cutting position of the support member 23, that is, the convex portion 221, it can be cut to an accurate length. In particular, the ceramic structure 10 can be prevented from becoming longer than the assumed cutting length.
また、セラミック繊維層２２は、単位セラミック繊維を束ねたセラミック繊維２１が複数並べられて構成される。このため、束ねるセラミック繊維の本数を調整することにより、容易にセラミック繊維の繊維径を調整して繊維密度を調整することができる。また、複数の単位セラミック繊維が束ねられたストランドの状態で使用されると、複数の繊維がまとまっているため強度を増すことができる。また、個々の繊維が突出する毛羽立ちを少なくすることができるので、より気流の乱れを抑えることができ、抵抗を少なくすることができる。 The ceramic fiber layer 22 is configured by arranging a plurality of ceramic fibers 21 in which unit ceramic fibers are bundled. For this reason, by adjusting the number of the ceramic fibers to be bundled, the fiber diameter of the ceramic fibers can be easily adjusted to adjust the fiber density. Further, when the unit ceramic fibers are used in a bundled strand state, the strength can be increased because the plurality of fibers are gathered. Moreover, since the fluff from which each fiber protrudes can be reduced, the turbulence of the air current can be further suppressed, and the resistance can be reduced.
本実施形態のセラミック構造体１０によれば、セラミックマトリックス２４は、ＳｉＣである。
ＳｉＣは、高強度であるので、セラミック構造体１０の強度を増すことができる。また、ＳｉＣは、耐蝕性、耐酸化性にも優れ、セラミックマトリックス２４にＳｉＣを用いることにより、セラミック構造体１０を高温、腐食性雰囲気でも好適に利用できる。
According to the ceramic structure 10 of the present embodiment, the ceramic matrix 24 is SiC.
Since SiC has high strength, the strength of the ceramic structure 10 can be increased. Further, SiC is excellent in corrosion resistance and oxidation resistance, and by using SiC for the ceramic matrix 24, the ceramic structure 10 can be suitably used even in a high temperature and corrosive atmosphere.
本実施形態のセラミック構造体１０によれば、セラミック繊維２１は、ＳｉＣ繊維である。
ＳｉＣ繊維は、耐蝕性、耐酸化性が優れ、高強度であるので、支持材２３にＳｉＣを用いることにより、高温、腐食性雰囲気でセラミックマトリックス２４が損傷した場合でも、セラミック繊維２１がクラックの進展を止め、安全に使用することができる。
According to the ceramic structure 10 of the present embodiment, the ceramic fiber 21 is a SiC fiber.
Since the SiC fiber has excellent corrosion resistance and oxidation resistance and high strength, even when the ceramic matrix 24 is damaged in a high temperature and corrosive atmosphere by using SiC for the support material 23, the ceramic fiber 21 is cracked. It is possible to stop progress and use it safely.
本実施形態のセラミック構造体１０によれば、単位セラミック繊維の太さが５〜１０μｍであるとともに、凸部２２１の突出量が７〜２０μｍである。
このため、強度を低下させることなく、アンカー効果を得ることができる。なお、突出量が小さ過ぎるとアンカー効果が不充分で、大き過ぎると内部へ向かうクラックの起点になり易い。
According to the ceramic structure 10 of the present embodiment, the thickness of the unit ceramic fiber is 5 to 10 μm, and the protruding amount of the convex portion 221 is 7 to 20 μm.
For this reason, an anchor effect can be acquired, without reducing intensity | strength. If the protruding amount is too small, the anchor effect is insufficient, and if it is too large, it tends to be a starting point of a crack toward the inside.
本実施形態のセラミック構造体１０によれば、凸部２２１の先端２２２が曲面２２３で構成されている。
このため、他の部材と接着する際に、物理的に接着材が繊維間に入り込み易くなる。
According to the ceramic structure 10 of the present embodiment, the tip 222 of the convex portion 221 is configured by the curved surface 223.
For this reason, when it adheres to another member, it becomes easy for an adhesive material to physically enter between fibers.
本実施形態のセラミック構造体の製造方法によれば、単位セラミック繊維を束ねて構成されるセラミック繊維２１を巻回した支持材２３を、セラミックマトリックス２４により覆って本体２０を形成する。そして、本体２０を焼成してからセラミック繊維２１を構成する単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向に沿って切断して切断面２０１を形成し、セラミックマトリックス２４が溶融または昇華するまで本体２０を加熱してから冷却させる。
これにより、切断面２０１において単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部２２１と、セラミックマトリックス２４が熱収縮して形成する凹部２５とを形成するので、切断面２０１を他の部材と接着する際に、接着部材が凹部２５に浸透し、十分なアンカー効果が得られる。また、切断面２０１の表面積が増すので、放熱性が改善される。さらに、切断位置が支持材２３の切断位置で画定されるので、正確な長さに切断することができる。
さらにまた、単位セラミック繊維を束ねてセラミック繊維２１を構成するので、束ねる単位セラミック繊維の本数を調整することにより、容易にセラミック繊維２１の繊維径を調整して繊維密度を調整することができる。また、複数の単位セラミック繊維が束ねられたストランドの状態で使用されると、複数の繊維がまとまっているため強度を増すことができる。また、個々の繊維が突出する毛羽立ちを少なくすることができるので、より気流の乱れを抑えることができ、抵抗を少なくすることができる。
According to the method for manufacturing a ceramic structure of the present embodiment, the main body 20 is formed by covering the support material 23 around which the ceramic fibers 21 configured by bundling unit ceramic fibers are wound with the ceramic matrix 24. The main body 20 is fired and then cut along a direction intersecting the longitudinal direction of the unit ceramic fibers constituting the ceramic fiber 21 to form a cut surface 201, and the main body until the ceramic matrix 24 is melted or sublimated. 20 is heated and then allowed to cool.
As a result, a convex portion 221 from which the end portion of the unit ceramic fiber protrudes in the cut surface 201 and a concave portion 25 formed by the thermal contraction of the ceramic matrix 24 are formed, so that the cut surface 201 is bonded to another member. In doing so, the adhesive member penetrates into the recess 25, and a sufficient anchor effect is obtained. Moreover, since the surface area of the cut surface 201 increases, heat dissipation is improved. Furthermore, since the cutting position is defined by the cutting position of the support member 23, it can be cut into an accurate length.
Furthermore, since the ceramic fibers 21 are formed by bundling the unit ceramic fibers, the fiber density can be easily adjusted by adjusting the fiber diameter of the ceramic fibers 21 by adjusting the number of unit ceramic fibers to be bundled. Further, when the unit ceramic fibers are used in a bundled strand state, the strength can be increased because the plurality of fibers are gathered. Moreover, since the fluff from which each fiber protrudes can be reduced, the turbulence of the air current can be further suppressed, and the resistance can be reduced.
本実施形態のセラミック構造体の製造方法によれば、セラミックマトリックス２４が溶融または昇華するまで本体２０を加熱してから冷却させることにより、凸部２２１の先端２２２を曲面２２３で構成する。
凸部２２１を構成する単位セラミック繊維の先端２２２が曲面２２３で構成されるので、他の部材と接着する際に、接着材が物理的に単位セラミック繊維間に入りやすくなる。このため、接着強度を高めることができる。
According to the method for manufacturing a ceramic structure of the present embodiment, the tip 222 of the convex portion 221 is configured by the curved surface 223 by heating and cooling the main body 20 until the ceramic matrix 24 is melted or sublimated.
Since the front end 222 of the unit ceramic fiber constituting the convex portion 221 is formed by the curved surface 223, the adhesive material is likely to physically enter between the unit ceramic fibers when bonded to another member. For this reason, adhesive strength can be raised.
本発明のセラミック構造体１０およびセラミック構造体の製造方法は、前述した各実施形態に限定されるものでなく、適宜な変形，改良等が可能である。 The ceramic structure 10 and the method for manufacturing the ceramic structure of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and appropriate modifications and improvements can be made.
本発明のセラミック構造体およびセラミック構造体の製造方法は、高温、腐食性雰囲気で用いられる例えば半導体製造装置用部品、単結晶引き上げ装置用部品、電子部品などの位置決め用治具などに利用することができる。 The ceramic structure of the present invention and the method of manufacturing the ceramic structure are used for positioning jigs such as parts for semiconductor manufacturing equipment, parts for single crystal pulling equipment, electronic parts, etc. used in high temperature and corrosive atmospheres. Can do.
１０ セラミック構造体
２０ 本体
２０１ 切断面
２１ セラミック繊維（単位セラミック繊維）
２２ セラミック繊維層
２２１ 凸部
２２２ 先端
２２３ 曲面
２３ 支持材
２４ セラミックマトリックス
２５ 凹部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Ceramic structure 20 Main body 201 Cut surface 21 Ceramic fiber (unit ceramic fiber)
22 Ceramic fiber layer 221 Convex part 222 Tip 223 Curved surface 23 Support material 24 Ceramic matrix 25 Concave part
Claims (2)
前記本体を焼成してから前記セラミック繊維を構成する単位セラミック繊維の長手方向に対して交差する方向に沿って切断して切断面を形成し、
次いで、前記セラミックマトリックスが溶融または昇華するまで前記本体を加熱してから冷却させることにより、
前記切断面において前記単位セラミック繊維の長手方向端部が突出する凸部と、前記セラミックマトリックスが熱収縮して形成する凹部とを形成することを特徴とするセラミック構造体の製造方法。 After forming the body by covering the support material wound with ceramic fibers with a ceramic matrix,
After cutting the main body, cut along the direction intersecting the longitudinal direction of the unit ceramic fiber constituting the ceramic fiber to form a cut surface,
Then, by heating and cooling the body until the ceramic matrix melts or sublimes,
A method for producing a ceramic structure, comprising: forming a convex portion from which a longitudinal end portion of the unit ceramic fiber protrudes on the cut surface; and a concave portion formed by thermal contraction of the ceramic matrix.
前記本体を加熱してから冷却させることにより、前記凸部の先端を曲面で構成することを特徴とするセラミック構造体の製造方法。 A method for producing a ceramic structure according to claim 1 ,
A method for manufacturing a ceramic structure, wherein the main body is heated and then cooled to form a tip of the convex portion with a curved surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015053421A JP6473642B2 (en) | 2015-03-17 | 2015-03-17 | Ceramic structure and method for manufacturing ceramic structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015053421A JP6473642B2 (en) | 2015-03-17 | 2015-03-17 | Ceramic structure and method for manufacturing ceramic structure |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016172663A JP2016172663A (en) | 2016-09-29 |
| JP6473642B2 true JP6473642B2 (en) | 2019-02-20 |
Family
ID=57008633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015053421A Active JP6473642B2 (en) | 2015-03-17 | 2015-03-17 | Ceramic structure and method for manufacturing ceramic structure |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6473642B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7502091B2 (en) * | 2020-06-05 | 2024-06-18 | イビデン株式会社 | Manufacturing method for ceramic composite material |
| CN116768642A (en) * | 2023-08-17 | 2023-09-19 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | Preparation method of long spiral fiber toughened ceramic matrix composite |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05238853A (en) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | Surface modification method for ceramics substrate |
| JP2000103685A (en) * | 1998-09-30 | 2000-04-11 | Toshiba Corp | Composite substrate for thermal spray deposition and solar cell using this substrate |
| JP2009203092A (en) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Ibiden Co Ltd | Vessel holding member |
| JP2009210266A (en) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Ibiden Co Ltd | Tubular body |
| US20100279845A1 (en) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | General Electric Company | Process of producing ceramic matrix composites |
| JP6056564B2 (en) * | 2013-03-08 | 2017-01-11 | 株式会社Ihi | Processing method for ceramic matrix composites |
-
2015
- 2015-03-17 JP JP2015053421A patent/JP6473642B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2016172663A (en) | 2016-09-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6431860B2 (en) | Ceramic matrix composite structure with controlled microstructure fabricated using chemical vapor infiltration (CVI) | |
| JP6363150B2 (en) | Apparatus and method for processing ceramic fibers | |
| US20180087157A1 (en) | Multi-composition fiber with refractory additive(s) and method of making | |
| JP6925687B2 (en) | How to process ceramic fibers | |
| US12133465B2 (en) | Multilayer functional fiber and method of making | |
| US20180087214A1 (en) | Refractory oxide coated fiber and method of making | |
| JP2007535461A (en) | Process for producing carbon fiber reinforced ceramic composites | |
| JP6467290B2 (en) | Ceramic composite material | |
| JP6473642B2 (en) | Ceramic structure and method for manufacturing ceramic structure | |
| JP6334293B2 (en) | Tubular body | |
| JP6334292B2 (en) | Method for manufacturing tubular body | |
| JP2007070222A (en) | Method and apparatus for forming a composite protective layer | |
| EP2952495B1 (en) | Method for combined desizing and interface coating of fibers for ceramic matrix composites | |
| JP6888949B2 (en) | Method for manufacturing SiC fiber reinforced SiC composite material | |
| JP6441701B2 (en) | Fluid rectifier | |
| JP6484047B2 (en) | Fluid rectifier | |
| KR20150144873A (en) | Method for fabrication of high density SiCf/SiC composites with homogeneous microstructure | |
| JP6543457B2 (en) | Flow straightening member | |
| JP6441700B2 (en) | Fluid rectifier | |
| KR101266074B1 (en) | Manufacturing method of preform for silicon carbide fiber composite | |
| JP2016141581A (en) | Fluid flow-rectification member | |
| KR101679581B1 (en) | Method for making carbon-carbon composite | |
| JP7256000B2 (en) | ceramic tubular body | |
| JP6441699B2 (en) | Fluid rectifier | |
| JP7343360B2 (en) | Ceramic composite material and its manufacturing method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171226 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180829 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180925 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181105 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190108 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190128 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6473642 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |