JP6486644B2 - 電圧検出方法 - Google Patents

Description

本発明は、絶縁材で被覆された検出対象の電圧をこの絶縁材を介して検出する電圧検出方法に関するものである。

非接触型の電圧検出装置として、下記の特許文献１に開示された電圧検出装置（非接触式の静電圧フォロア）が知られている。この電圧検出装置は、電圧検出のためのプローブを備えている。このプローブは、測定されるべき静電量をもつ測定表面（検出対象の表面）に向けて配置される検出電極と、検出電極と測定表面間の容量結合を変調するために検出電極に作用連結された変調器ないし駆動手段と、検出電極と一致する測定表面の区域を照射するために測定表面に向けられた輻射線の通路を規定する手段とを含んでいる。

また、検出電極はハウジング内に収容されている。また、このハウジングには第１開口ないし窓が設けられ、この第１開口ないし窓を通して検出電極が測定表面に露呈される。また、検出電極は、ハウジング内に収容された増幅器（電流電圧変換用の演算増幅器）の加算入力端（反転入力端）に線によって接続され、この増幅器の非反転入力端は線によって基準単位となるハウジングに接続されている。また、変調器ないし駆動手段には、例えば圧電トランスデューサを用いることができ、変調器ないし駆動手段は、作用連結された検出電極を機械的に運動（振動）させることで、測定表面と検出電極との間に形成される容量（結合容量）を変調させる。

このプローブを備えた電圧検出装置では、この容量の変調時に、この容量、および電流電圧変換用として増幅器の加算入力端（反転入力端）と出力端子との間に接続された抵抗を介して流れる電流に基づいて、測定表面の電圧を非接触で検出することが可能になっている。

特公平７−９２４８７号公報（第６頁、第７図）

ところが、上記の電圧検出装置には、以下のような解決すべき課題が存在している。すなわち、この電圧検出装置では、ハウジングに設けられた第１開口（ないし窓）を通して検出電極が測定表面に露呈されるようにプローブを測定表面に配置する必要がある。これは、第１開口を絶縁体で覆う構成とすると、絶縁体の表面にも理論的には測定表面の電圧の影響を受けて電荷が現れるが、絶縁体の表面に現れる電荷は容易に逃げて消失する。したがって、この電圧検出装置には、測定表面と検出電極との間に絶縁体が介在する場合には、測定表面の電圧を検出することができないという解決すべき課題が存在している。

本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、検出対象と検出電極との間に絶縁体が存在する場合であっても、検出対象の電圧を非接触で検出し得る電圧検出方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の電圧検出方法は、絶縁体で被覆された検出対象に生じている検出対象電圧を検出する際に、前記絶縁体に直接的に接触させて配設した振動体を振動させて機械的振動を当該絶縁体に伝達させることで当該絶縁体を振動させ、
前記絶縁体が振動させられている状態において、当該絶縁体に直接的に接触させている検出電極を経由して前記検出対象から基準電圧に流れると共に前記検出対象電圧と当該基準電圧との間の電位差に応じて振幅が変調された前記振動体の振動に同期する検出電流を、演算増幅器で構成されて基準電位に接続されている一方の入力端子とバーチャルショート状態の他方の入力端子に前記検出電極が接続されている電流電圧変換回路を用いて検出電圧信号に変換し、検波回路を用いて、前記電位差を示す検波出力を前記検出電圧信号から検出する。

請求項２記載の電圧検出方法は 絶縁体で被覆された検出対象に生じている検出対象電圧を検出する際に、前記絶縁体に直接的に接触させている検出電極に接触させて配設した振動体を振動させて機械的振動を当該絶縁体に伝達させることで当該絶縁体を振動させ、前記絶縁体が振動させられている状態において、当該絶縁体に直接的に接触させている前記検出電極を経由して前記検出対象から基準電圧に流れると共に前記検出対象電圧と当該基準電圧との間の電位差に応じて振幅が変調された前記振動体の振動に同期する検出電流を、演算増幅器で構成されて基準電位に接続されている一方の入力端子とバーチャルショート状態の他方の入力端子に前記検出電極が接続されている電流電圧変換回路を用いて検出電圧信号に変換し、検波回路を用いて、前記電位差を示す検波出力を前記検出電圧信号から検出する。

請求項３記載の電圧検出方法は、絶縁体で被覆された検出対象に生じている検出対象電圧を検出する際に、前記絶縁体に直接的に接触させている検出電極に接触させているシールドシートに接触させて配設した振動体を振動させて機械的振動を当該絶縁体に伝達させることで当該絶縁体を振動させ、前記絶縁体が振動させられている状態において、当該絶縁体に直接的に接触させている前記検出電極を経由して前記検出対象から基準電圧に流れると共に前記検出対象電圧と当該基準電圧との間の電位差に応じて振幅が変調された前記振動体の振動に同期する検出電流を、演算増幅器で構成されて基準電位に接続されている一方の入力端子とバーチャルショート状態の他方の入力端子に前記検出電極が接続されている電流電圧変換回路を用いて検出電圧信号に変換し、検波回路を用いて、前記電位差を示す検波出力を前記検出電圧信号から検出する。

請求項４記載の電圧検出方法は、請求項１から３のいずれかに記載の電圧検出方法において、前記検波回路として同期検波回路を用いて、前記検出電圧信号に同期した同期信号で当該検出電圧信号を同期検波して前記検波出力を検出する。

請求項１から３記載の電圧検出方法によれば、検出電極を直接的に接触させた絶縁体を振動体で振動させることで、検出対象と検出電極との間に検出電流を発生させ、この検出電流に基づいて、検出対象の検査対象電圧を検出するため、検出対象と検出電極との間に絶縁体が存在する場合であっても、検査対象電圧を非接触で（検出電極を検出対象に直接接触させることなく）検出することができる。

請求項４記載の電圧検出方法によれば、検出電圧信号を同期信号で同期検波して検波出力を出力することにより、外乱の影響が少ない状態で検波出力を検出することができる。

電圧検出装置１の構成図である。 検出電極１１と振動体１３についての他の配置を説明するための説明図である。 検出電極１１と振動体１３についてのさらに他の配置を説明するための説明図である。 ケース２１を備えた電圧検出装置１の構成を説明するための説明図である。

以下、電圧検出装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、電圧検出装置の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示す電圧検出装置としての電圧検出装置１は、非接触型の電圧検出装置であって、一例として、検出電極１１、発振回路１２、振動体１３、電流電圧変換回路１４、バッファアンプ１５、検波回路１６、位相調整回路１７および出力回路１８を備え、絶縁体５１で被覆された検出対象５２に生じている電圧（検出対象電圧）Ｖ１を非接触で検出可能に構成されている。

この場合、検出対象５２は、図１に示すように、その表面における一部の部位が絶縁体５１で被覆されていてもよいし、図２，３，４に示すように、表面全域が絶縁体５１で被覆されていてもよい（例えば、検出対象５２は、外周面全域が絶縁被覆で覆われた被覆電線の芯線でもよい）。また、絶縁体５１は、１種類の絶縁材料で構成された単層構造であってもよいし、それぞれ異なる種類の絶縁材料で構成された複数の層が積層されてなる多層構造であってもよい。

検出電極１１は、検出対象５２を被覆する絶縁体５１の表面に直接的に接触、またはこの表面に接（密着）して配設された他の絶縁体（空気などの気体以外の絶縁体）を介在させた状態で間接的に接触させ得る形状に構成されている。この場合、検出電極１１は、絶縁体５１の表面に密着により近い状態で接触させるのが好ましい。このため、例えば、絶縁体５１の表面が平面状のときには、これに対応して、絶縁体５１の表面との接触面が平面状に形成された形状に構成され、絶縁体５１の表面が円筒状のときには、これに対応して、絶縁体５１の表面との接触面が凹面状に形成された形状に構成されている。

発振回路１２は、例えば、十数ｋＨｚ〜数ＭＨｚ程度の一定の周波数（所定周波数）の駆動信号Ｓ１を生成して出力する。この場合、発振回路１２は、この駆動信号Ｓ１を作動中において連続的に出力する構成を採用することもできるし、一定時間ずつ断続して周期的に出力する構成を採用することもできるし、測定時にのみ単発的に一定時間だけ出力する構成を採用することもできる。また、発振回路１２は、例えば、矩形波信号、三角波信号および正弦波信号などのいずれかの信号を駆動信号Ｓ１として出力する。なお、発振回路１２は、上記のように一定の周波数で駆動信号Ｓ１を生成して出力する構成に代えて、例えば、予め規定された下限周波数および上限周波数の範囲内で周波数が時間と共に変化するスイープ信号として駆動信号Ｓ１を生成して出力する構成や、周波数が時間と共にランダムに変化するランダム信号（ノイズ信号）として駆動信号Ｓ１を生成して出力する構成を採用することもできる。

振動体１３は、発振回路１２からの駆動信号Ｓ１で駆動されて、一例として、駆動信号Ｓ１の周波数と同じ振動周波数（本例では所定周波数）で振動して、接触させられた部材（本例では絶縁体）に機械的振動を伝達する。この振動体１３は、例えば、超音波振動子、圧電振動子、セラミック振動子、電磁誘導型振動子、磁歪振動子または回転子を用いた振動子などで構成することができる。

電流電圧変換回路１４は、一例として、演算増幅器１４ａおよび帰還回路としての帰還抵抗１４ｂを備えて構成されている。演算増幅器１４ａは、非反転入力端子（第１の入力端子）が基準電位（グランド）に接続されて基準電圧（ゼロボルト）に規定され、反転入力端子（第２の入力端子）が検出電極１１に接続され、かつ反転入力端子と出力端子との間に帰還抵抗１４ｂが接続されている。なお、本例では一例として、１個の帰還抵抗１４ｂで帰還回路を構成しているが、複数の抵抗の直列回路または並列回路や、直列回路および並列回路を組み合わせた直並列回路で帰還回路を構成することもできる。

この電流電圧変換回路１４は、後述するようにして、振動体１３からの振動によって検出対象５２と検出電極１１との間に位置する絶縁体５１の静電容量の容量値が変化しているときに、検出対象５２の電圧Ｖ１と検出電極１１の電圧（演算増幅器１４ａの各入力端子間がバーチャルショート状態のため、基準電圧）との電位差Ｖｄｉ（本例では基準電圧はゼロボルトのため、電圧Ｖ１）に起因して、この電位差Ｖｄｉの大きさに応じた電流値（振幅）で検出対象５２から検出電極１１を経由して基準電位に流れる検出電流Ｉを検出電圧信号Ｖ２に変換して出力する。つまり、この電流電圧変換回路１４では、検出対象５２の電圧Ｖ１と、検出電極１１の電圧（基準電圧）との間の電位差に応じて振幅が変調された振動体１３の振動に同期する検出電流Ｉを検出電圧信号Ｖ２に変換する。

この場合、検出電流Ｉは、振動体１３の振動周波数で絶縁体５１の静電容量の容量値が変化することに起因して発生するため、振動周波数と同じ周波数の交流信号であって、その振幅が上記した電位差Ｖｄｉ（本例では電圧Ｖ１）に応じたレベルに変調された交流信号として発生する。このため、検出電圧信号Ｖ２もまた、振動周波数と同じ周波数の交流信号であって、その振幅が電位差Ｖｄｉ（本例では電圧Ｖ１）に応じたレベルに変調された交流信号として電流電圧変換回路１４から出力される。

なお、電流電圧変換回路１４は、一例として上記したように、演算増幅器１４ａおよび帰還抵抗１４ｂを有する構成として、一般的にその振幅が極めて小さな（微弱な）検出電流Ｉを感度よく検出して検出電圧信号Ｖ２に変換し得るようにしているが、これに限定されるものではない。例えば、より簡易な構成で電流電圧変換回路１４を実現することが望まれる場合には、上記の構成に代えて、図示はしないが、検出電極１１に一端が接続されると共に他端が基準電位（グランド）に接続された抵抗を有する構成を採用することもできる。この構成の電流電圧変換回路１４では、この抵抗が、検出対象５２から検出電極１１を経由して基準電位（基準電圧）に流れる検出電流Ｉを検出電圧信号Ｖ２に変換する。そして、この抵抗の一端において変換された検出電圧信号Ｖ２が、後述するバッファアンプ１５に出力される。

バッファアンプ１５は、高入力インピーダンス、かつ低出力インピーダンスのアンプで構成されて、電流電圧変換回路１４から出力される検出電圧信号Ｖ２を入力して低インピーダンスで出力する。検波回路１６は、一例として同期検波回路で構成されて、バッファアンプ１５から入力した検出電圧信号Ｖ２を、位相調整回路１７から入力した同期信号Ｓ２で同期検波することにより、検出電圧信号Ｖ２の振幅成分（直流成分）を検出（抽出）して、検波出力（電圧信号）Ｖ３として出力する。この検波回路１６は、乗算器、アナログスイッチで構成された切替スイッチ（マルチプレクサ）、および相関器のいずれかで構成されている。なお、検波回路１６は、包絡線検波回路で構成することもでき、この構成を採用したときには、同期信号Ｓ２が不要となるため、位相調整回路１７を省略することができる。

位相調整回路１７は、発振回路１２からの駆動信号Ｓ１を入力すると共に遅延させて同期信号Ｓ２として出力する。位相調整回路１７は、この駆動信号Ｓ１に対する同期信号Ｓ２の遅延量を調整することが可能に構成されている。また、この遅延量は、検波回路１６に入力される交流信号としての検出電圧信号Ｖ２の位相と、同期信号Ｓ２の位相とが一致するように予め調整されている。

出力回路１８は、例えば、検波出力Ｖ３の電圧値を検出して表示する電圧計や、検波出力Ｖ３を入力して低インピーダンスで出力するバッファ回路や、検波出力Ｖ３をＡ／Ｄ変換してその電圧値を示す電圧データを出力するＡ／Ｄ変換器などで構成されている。

次いで、電圧検出装置１による検出対象５２の電圧Ｖ１についての検出動作について説明する。なお、電圧Ｖ１は、直流電圧であってもよいし、交流電圧であってもよい。本例では一例として、電圧Ｖ１は直流電圧であるものとする。

まず、図１に示すように、検出対象５２を被覆する絶縁体５１の表面に検出電極１１および振動体１３を接触（密着）させる。この際には、同図に示すように、絶縁体５１における検出対象５２との接触面に対する背面側の表面に、検出電極１１および振動体１３の双方を離間させて接触させてもよいし、図２に示すように、絶縁体５１の表面に接触させた検出電極１１に振動体１３を接触（密着）させてもよい。なお、図２に示すように、検出電極１１に振動体１３を接触させる構成を採用したときには、振動体１３において発生する電気信号の検出電極１１への影響を軽減するため、同図に示すように、検出電極１１と振動体１３との間にシールドシート（例えば、電界や磁界をシールドするシート）５３を介在させる構成が好ましい。また、これらの部材間（絶縁体５１と検出電極１１との間、絶縁体５１と振動体１３との間、検出電極１１（またはシールドシート５３）と振動体１３との間）の密着性を向上させるため、部材間に他の絶縁体（例えば、絶縁シートやジェル状の絶縁体）を介在させてもよい。

また、図３に示すように、検出対象５２の外周が全域に亘って絶縁体５１に覆われている構成のときには、絶縁体５１における検出電極１１を接触させた表面の背面側に振動体１３を接触させるようにすることもできる。

この状態において、発振回路１２から駆動信号Ｓ１が出力されると、振動体１３は、この駆動信号Ｓ１で駆動されて振動する。また、位相調整回路１７は、この駆動信号Ｓ１を入力すると共に遅延させることにより、同期信号Ｓ２を出力する。

この振動体１３の振動（機械的振動）は振動体１３と接触している絶縁体５１に伝わるため、絶縁体５１も、振動体１３の振動周波数と同じ周波数で振動する。この場合、検出対象５２と検出電極１１との間の距離または密度（絶縁体５１の密度）が振動体１３の振動周波数と同じ周波数で変化するため、検出対象５２と検出電極１１との間に位置する絶縁体５１の静電容量の容量値もこの振動周波数と同じ周波数で変化する。また、この静電容量の容量値が変化するのに伴い、振幅が電位差Ｖｄｉ（電圧Ｖ１）に応じたレベルに変調され、かつ振動周波数と同じ周波数の交流信号である検出電流Ｉが、検出対象５２、検出電極１１および電流電圧変換回路１４の帰還抵抗１４ｂを含む経路に流れる。

電流電圧変換回路１４は、この検出電流Ｉを検出電圧信号Ｖ２に変換して出力し、バッファアンプ１５が、電流電圧変換回路１４から出力されるこの検出電圧信号Ｖ２を入力して低インピーダンスで出力する。検波回路１６は、バッファアンプ１５から出力されるこの検出電圧信号Ｖ２を、位相調整回路１７から出力される同期信号Ｓ２で同期検波することにより、検出電圧信号Ｖ２の振幅成分（直流成分）を外乱の影響が少ない状態で検出して検波出力（電圧信号）Ｖ３として出力回路１８に出力する。この場合、検波出力Ｖ３として検出された検出電圧信号Ｖ２の振幅成分（直流成分）は、上記した電位差Ｖｄｉ（本例では電圧Ｖ１）に応じて、そのレベルが変化する。

出力回路１８は、この検波出力（電圧信号）Ｖ３を入力して、例えば、アナログ電圧計で構成されているときには、検波出力Ｖ３の電圧値（電位差Ｖｄｉ（電圧Ｖ１）と比例する電圧値）に基づいて、電位差Ｖｄｉ（電圧Ｖ１）の電圧値を示す数値まで指針を移動させることで、電位差Ｖｄｉ（電圧Ｖ１）の電圧値を目視し得る状態で出力する。また、出力回路１８は、例えば、バッファ回路で構成されているときには、検波出力Ｖ３を入力して低インピーダンスで外部に出力する（外部の計測器などに対して、検波出力Ｖ３に基づいて、電位差Ｖｄｉ（電圧Ｖ１）の電圧値を検出できるように出力する）。また、出力回路１８は、例えば、Ａ／Ｄ変換器で構成されているときには、検波出力Ｖ３を入力してその電圧値を示す電圧データ（電位差Ｖｄｉ（電圧Ｖ１）の電圧値を示す電圧データでもある）を、内部に設けられた処理部（不図示）や外部の処理装置に出力する。

このように、この電圧検出装置１では、検出電極１１を接触させた絶縁体５１を振動体１３で振動させることで、検出電流Ｉを発生させ、この検出電流Ｉに基づいて、検出対象５２の電圧Ｖ１を検出する。したがって、この電圧検出装置１によれば、検出対象５２と検出電極１１との間に絶縁体５１が存在する場合であっても、検出対象５２の電圧Ｖ１を非接触で（検出電極１１を検出対象５２に直接接触させることなく）検出することができる。

また、この電圧検出装置１によれば、検波回路１６が検出電圧信号Ｖ２を同期信号Ｓ２で同期検波して検波出力Ｖ３を出力することにより、外乱の影響が少ない状態で検波出力Ｖ３を検出して出力することができる。

また、この電圧検出装置１によれば、電流電圧変換回路１４を、演算増幅器１４ａおよび帰還抵抗１４ｂを有する構成としたことにより、検出電流Ｉを感度よく検出して検出電圧信号Ｖ２に変換することができる。

なお、上記の例では、検出対象５２を被覆している絶縁体５１に検出電極１１を直接接触させる構成を採用しているが、上記したように、絶縁体５１は多層構造でもよいことに着目して、図４に示すように、電圧検出装置１を絶縁材料で形成されたケース２１内に収納（配設）して、検出電極１１および振動体１３を露出させない構成を採用することもできる。この構成では、同図に示すように、ケース２１を構成する複数の壁部のうちの外面が絶縁体５１と接触させられる他の絶縁体としての壁部２１ａの内面に検出電極１１を配設する。なお、振動体１３については、その振動をケース２１を介して絶縁体５１に伝えることができる限り、ケース２１を構成するいずれの壁部に配設してもよいが、検出電極１１と共に共通の壁部２１ａに配置することで、その振動を最も効率的に絶縁体５１に伝えることが可能となる。また、この図４では、検出電極１１および振動体１３以外の構成要素については図示を省略している。

このように、電圧検出装置１を絶縁材料で形成されたケース２１内に収納（配設）して、検出電極１１および振動体１３を露出させない構成とすることにより、検出電極１１および振動体１３を個別に絶縁体５１に接触させる手間が省けることから、電圧Ｖ１の検出作業をより効率よく実施することができる。

また、上記したように、電圧検出装置１を絶縁材料で形成されたケース２１内に収納する構成を採用したときには、図４に示すように、ケース２１にシールド部材（例えば、ケース２１の内面へのシールド部材５４や、ケース２１の外面へのシールド部材５５）を配設する構成を採用することもできる。この場合、検出電極１１と検出対象５２との間にシールド部材が介在しないようにする。また、図４において、ケース２１における検出電極１１と振動体１３とが配置される壁部（絶縁体５１に接触させられる上壁）のみを絶縁材料として、シールド部材５４やシールド部材５５が配置される壁部（側壁および下壁）をシールド材で構成して、この壁部自体をシールド部材とする構成を採用することもできる。また、このシールド部材は、電圧検出装置１を構成する上記の各回路（検出電極１１、発振回路１２、振動体１３、電流電圧変換回路１４、バッファアンプ１５、検波回路１６、位相調整回路１７および出力回路１８）の基準電位（図１に示される演算増幅器１４ａの非反転入力端子が接続された基準電位）に電気的に接続される。

この構成によれば、このシールド部材によって電圧検出装置１が覆われるため、電圧検出装置１を構成する上記の各回路（検出電極１１、発振回路１２、振動体１３、電流電圧変換回路１４、バッファアンプ１５、検波回路１６、位相調整回路１７および出力回路１８）への外乱（外部磁界や外部電界など）の影響を低減することができるため、外乱の影響が一層少ない状態で検波出力Ｖ３を検出して出力することが可能になる。

１ 電圧検出装置
１１ 検出電極
１３ 振動体
１４ 電流電圧変換回路
１４ａ 演算増幅器
１４ｂ 帰還抵抗
１６ 検波回路
２１ ケース
５１ 絶縁体
５２ 検出対象
５４，５５ シールド部材
Ｉ 検出電流
Ｖ１ 電圧（検出対象電圧）
Ｖ２ 検出電圧信号
Ｖ３ 検波出力
Ｖｄｉ 電位差

Claims (4)

1. 絶縁体で被覆された検出対象に生じている検出対象電圧を検出する際に、
   前記絶縁体に直接的に接触させて配設した振動体を振動させて機械的振動を当該絶縁体に伝達させることで当該絶縁体を振動させ、
   前記絶縁体が振動させられている状態において、当該絶縁体に直接的に接触させている検出電極を経由して前記検出対象から基準電圧に流れると共に前記検出対象電圧と当該基準電圧との間の電位差に応じて振幅が変調された前記振動体の振動に同期する検出電流を、演算増幅器で構成されて基準電位に接続されている一方の入力端子とバーチャルショート状態の他方の入力端子に前記検出電極が接続されている電流電圧変換回路を用いて検出電圧信号に変換し、
   検波回路を用いて、前記電位差を示す検波出力を前記検出電圧信号から検出する電圧検出方法。
2. 絶縁体で被覆された検出対象に生じている検出対象電圧を検出する際に、
   前記絶縁体に直接的に接触させている検出電極に接触させて配設した振動体を振動させて機械的振動を当該絶縁体に伝達させることで当該絶縁体を振動させ、
   前記絶縁体が振動させられている状態において、当該絶縁体に直接的に接触させている前記検出電極を経由して前記検出対象から基準電圧に流れると共に前記検出対象電圧と当該基準電圧との間の電位差に応じて振幅が変調された前記振動体の振動に同期する検出電流を、演算増幅器で構成されて基準電位に接続されている一方の入力端子とバーチャルショート状態の他方の入力端子に前記検出電極が接続されている電流電圧変換回路を用いて検出電圧信号に変換し、
   検波回路を用いて、前記電位差を示す検波出力を前記検出電圧信号から検出する電圧検出方法。
3. 絶縁体で被覆された検出対象に生じている検出対象電圧を検出する際に、
   前記絶縁体に直接的に接触させている検出電極に接触させているシールドシートに接触させて配設した振動体を振動させて機械的振動を当該絶縁体に伝達させることで当該絶縁体を振動させ、
   前記絶縁体が振動させられている状態において、当該絶縁体に直接的に接触させている前記検出電極を経由して前記検出対象から基準電圧に流れると共に前記検出対象電圧と当該基準電圧との間の電位差に応じて振幅が変調された前記振動体の振動に同期する検出電流を、演算増幅器で構成されて基準電位に接続されている一方の入力端子とバーチャルショート状態の他方の入力端子に前記検出電極が接続されている電流電圧変換回路を用いて検出電圧信号に変換し、
   検波回路を用いて、前記電位差を示す検波出力を前記検出電圧信号から検出する電圧検出方法。
4. 前記検波回路として同期検波回路を用いて、前記検出電圧信号に同期した同期信号で当該検出電圧信号を同期検波して前記検波出力を検出する請求項１から３のいずれかに記載の電圧検出方法。

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