JP6494638B2

JP6494638B2 - 対基板作業装置

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Publication number: JP6494638B2
Application number: JP2016546247A
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Inventors: 瑞穂山本; 晋吾藤村; 淳郎高桑
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Filing date: 2014-09-03
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Description

本発明は、対基板作業装置に関する。

従来、産業用ロボットとしては、例えば、上下軸に支持された伸縮軸内に設けられるケーブルの一端が上下軸に接続され、他端が伸縮軸に接続され、ケーブル保護具が伸縮軸内でＳ字型に結合されているものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この装置では、伸縮軸内の限られた空間にケーブルを配設することができるとしている。

実開平３−６５６８９号公報

ところで、基板に部品を実装するなどの対基板作業装置では、例えば、実装ヘッドなど、配線や配管が接続され、所定の可動範囲で移動する可動部を有する。このような可動部に接続される配線や配管などは、可動部の移動により可動範囲からはみ出すことがあった。特許文献１の装置では、内部空間にケーブルを配置するものであるが、内部空間以外でのケーブルの配置については考慮されておらず、装置のコンパクト化を図ることが求められていた。

本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、よりコンパクト化を図ることができる対基板作業装置を提供することを主目的とする。

本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

本発明の対基板作業装置は、
基板に対する作業を行う対基板作業装置であって、
第１端と第２端との間の可動範囲内で移動する可動部と、
前記可動部と所定の第１配設部とに接続され、前記第１端側で前記可動範囲外に出ず且つ前記第２端側で前記可動範囲外に出ることなく配設された第１接続部材と、
前記可動部と所定の第２配設部とに接続され、前記第１端側で前記可動範囲外に出ず且つ前記第２端側で前記可動範囲外に出ることなく配設された第２接続部材と、
を備えたものである。

この装置では、可動部の移動によっても第１接続部材と第２接続部材とが可動範囲外に出ないため、装置のコンパクト化をより図ることができる。また、第１接続部材と第２接続部材など複数の接続部材を用いることができる。ここで、第１接続部材と第２接続部材とは、それぞれ用途が同じであってもよいし異なっていてもよく、それぞれ材質が同じであってもよいし異なっていてもよい。

本発明の対基板作業装置において、前記第１接続部材は、前記第１配設部側に向かって前記可動部から引き出された第１引出部を有し、前記第２接続部材は、前記第２配設部側に向かって前記可動部から引き出された第２引出部を有するものとしてもよい。こうすれば、例えば、可動部が第１端又は第２端側に配置されても、第１及び第２接続部材は、その屈曲した部分などが可動範囲外に突出しにくい。ここで、「配設部側に向かって」とは、配設部が形成されている方に引出部が向いている趣旨である。

本発明の対基板作業装置において、前記第１接続部材は、前記可動部の移動方向に対して垂直方向に向かって前記可動部から引き出された第１引出部を有し、前記第２接続部材は、前記可動部の移動方向に対して垂直方向に向かって前記可動部から引き出された第２引出部を有するものとしてもよい。こうすれば、例えば、可動部が第１端又は第２端側に配置されても、第１及び第２接続部材は、その屈曲した部分などが可動範囲外に突出しにくい。なお、「垂直」とは、おおよそ垂直であればよく、例えば、引出部は、可動部の移動方向に対して８０°〜１００°の間の角度としてもよい。

本発明の対基板作業装置において、前記第１接続部材及び前記第２接続部材は、前記可動範囲内で前記可動部が移動する際のいずれかの位置において、２以上の屈曲部が形成されるものとしてもよい。こうすれば、第１及び第２接続部材は、２以上屈曲することにより、可動部の可動範囲から突出しにくい。

本発明の対基板作業装置において、前記第１接続部材は、前記可動範囲内で前記可動部が移動する際に前記第１端側に屈曲し、前記第２接続部材は、前記可動範囲内で前記可動部が移動する際に前記第２端側に屈曲するものとしてもよい。こうすれば、第１接続部材と第２接続部材とが別方向に屈曲するため、これらの部材同士の干渉などをより抑制した状態で装置のコンパクト化を図ることができる。

本発明の対基板作業装置において、前記第１配設部及び前記第２配設部は、前記可動範囲の第１端と第２端との間の中央領域に配設されているものとしてもよい。こうすれば、可動部を可動範囲内で移動しやすい。

本発明の対基板作業装置は、前記第１配設部及び前記第２配設部が設けられ、前記可動部を前記可動範囲内で移動可能に支持する支持部材、を備え、前記第１接続部材は、前記支持部材に対して、前記第１配設部側が固定端であり前記可動部側が可動端であり、前記第２接続部材は、前記支持部材に対して、前記第２配設部側が固定端であり前記可動部側が可動端であるものとしてもよい。

本発明の対基板作業装置において、前記第１接続部材は、エアー配管であり、前記第２接続部材は、電気配線であるものとしてもよい。こうすれば、エアー配管と電気配線とを別々の接続部材としたうえで、装置のコンパクト化を図ることができる。

本発明の対基板作業装置において、前記可動部は、部品を前記基板に実装する実装ヘッドが配設されているものとしてもよい。こうすれば、実装ヘッドを備えた実装装置のコンパクト化をより図ることができる。

実装システム１０の概略説明図。実装装置１２の概要の説明図。接続部材支持機構１８の斜視図。接続部材支持機構１８の平面図。実装装置１２の接続関係を表すブロック図。本発明とは別の接続部材支持機構１１８の平面図。

本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は、実装システム１０の概略説明図である。図２は、実装装置１２の概要の説明図である。図３は、接続部材支持機構１８の斜視図である。図４は、接続部材支持機構１８の平面図である。図５は、実装装置１２の接続関係を表すブロック図である。本実施形態の実装システム１０は、ＬＡＮ１１に接続され部品Ｐ（図２参照）を基板Ｓに実装処理する実装装置１２と、ＬＡＮ１１に接続され実装処理に関する情報（例えば生産ジョブデータ）の管理を行う管理コンピュータ８０とを備えている。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１〜４に示した通りとする。また、実装処理とは、部品Ｐを基板Ｓ上に配置、装着、挿入、接合、接着する処理などを含む。

実装装置１２は、基板Ｓを搬送する基板搬送ユニット１４と、装置で用いる正圧及び負圧を各ユニットへ付与する圧力付与ユニット１５と、部品Ｐを吸着（採取）し基板Ｓ上へ配置する実装ユニット１６と、部品Ｐを供給する部品供給ユニット１７と、装置全体を制御する制御装置７０とを備えている（図５参照）。また、実装装置１２は、接続部材支持機構１８を備えている。基板搬送ユニット１４は、図２に示すように、前後一対のコンベアベルトにより基板ＳをＸ軸方向へ搬送する。部品供給ユニット１７は、部品Ｐを収容しているテープを巻いたリールと、リールから巻きほどかれたテープを送り出すフィーダ部とを備えている。

圧力付与ユニット１５は、装置の動作に要する負圧及び正圧を供給するユニットである。この圧力付与ユニット１５は、真空ポンプ２２と、電磁弁２３と、吸気口２４と、エアー配管４０ａとを備えている。エアー配管４０ａは、電磁弁２３を介して真空ポンプ２２及び吸気口２４のいずれか一方に接続される。圧力付与ユニット１５は、真空ポンプ２２と連通するように電磁弁２３が操作されるとエアー配管４０ａに負圧が付与され、吸気口２４と連通するように電磁弁２３が操作されるとエアー配管４０ａに正圧が付与される。エアー配管４０ａの先には、吸着ノズル２１が接続されている。吸着ノズル２１は、エアー配管４０ａからの圧力を利用して、ノズル先端に部品Ｐを吸着したり、ノズル先端に吸着している部品Ｐを放したりするものである。

実装ユニット１６は、実装ヘッド２０と、Ｘ軸スライダ２６と、Ｙ軸スライダ２８とを備えている。Ｘ軸スライダ２６は、前後方向にスライド可能なＹ軸スライダ２８の前面に、左右方向にスライド可能となるように取り付けられている。Ｙ軸スライダ２８は、前後方向に延びる左右一対のガイドレール２９にスライド可能に取り付けられている。Ｙ軸スライダ２８の前面には、左右方向に延びる上下一対のガイドレール２７が設けられ、このガイドレール１７にＸ軸スライダ２６が左右方向にスライド可能に取り付けられている。実装ヘッド２０は、Ｘ軸スライダ２６が左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Ｙ軸スライダ２８が前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。なお、各スライダ２６，２８は、それぞれ図示しない駆動モータにより駆動される。実装ヘッド２０は、Ｘ軸スライダ２６の前面に可動部３５を介して取り付けられている。実装ヘッド２０は、部品Ｐを吸着する吸着ノズル２１を複数装着している。吸着ノズル２１は、図示しないＺ軸モータにより昇降される。

接続部材支持機構１８は、Ｙ軸スライダ２８の下面側に配設されている。この接続部材支持機構１８は、実装ヘッド２０がＸ軸方向へ移動可能な状態で、実装ヘッド２０に接続されるエアー配管４０及び電気配線４５を引き回す機構である。接続部材支持機構１８は、図３、４に示すように、支持部材３０、第１配設部３１、第２配設部３２、可動部３５、第１接続部材としてのエアー配管４０、第２接続部材としての電気配線４５などを備えている。

支持部材３０は、側方に立壁部３０ａを有する板状体であり、その前方で可動部３５を移動可能に支持すると共に、可動部３５の移動に伴いエアー配管４０及び電気配線４５をその上面３０ｂで摺動させる部材である。なお、支持部材３０は、可動部３５を直接支持してもよいし、スライダなど他の部材を介して支持してもよい。支持部材３０には、可動部３５の可動範囲Ａ（図４参照）の第１端Ａ１と第２端Ａ２との間の中央領域Ｃに、第１配設部３１及び第２配設部３２が配設されている。第１配設部３１は、圧力付与の中継部材であり、本体側からエアー配管４０ａが接続されており、可動部３５側へエアー配管４０が接続されている。第２配設部３２は、電力供給の中継部材であり、本体側から図示しない電気配線が接続されており、可動部３５側へ電気配線４５が接続されている。なお、本体と第１配設部３１との配管接続と、本体と第２配設部３２との配線接続とは、接続部材支持機構１８と同様の機構を有するものとしてもよい。

可動部３５は、前面側に配設面３５ａを有する板状部材であり、この配設面３５ａに部品Ｐを基板Ｓに実装する実装ヘッド２０が配設される。可動部３５は、第１端Ａ１と第２端Ａ２との間の可動範囲Ａ（図４参照）の範囲内で移動する。可動部３５の後部には、エアー配管４０の第１引出部４４及び電気配線４５の第２引出部４９を固定する固定部材３６が配設されている（図３）。この固定部材３６は、上板、下板及びこれらを繋ぐ側板を有し、支持部材３０の後部側（第１配設部３１及び第２配設部３２側）且つ水平方向に向かうよう第１引出部４４及び第２引出部４９を固定する。

エアー配管４０は、実装ヘッド２０が備える吸着ノズル２１や図示しないエアシリンダなどへ負圧を供給する配管である。エアー配管４０は、内部に複数の耐圧配管を有し、この複数の配管が柔軟性を有する樹脂により被覆された部材である。エアー配管４０は、例えば、ウレタン樹脂で形成されていてもよい。エアー配管４０は、可動部３５に設けられた第１接続部３３と、支持部材３０に設けられた第１配設部３１とに接続され、可動部３５の移動によっても第１端Ａ１側及び第２端Ａ２側で可動範囲Ａより外に出ることなく配設されている。エアー配管４０は、支持部材３０の上面３０ｂの上を水平に摺動する水平部４１と、第１接続部３３への接続のため鉛直下方に向けて形成される垂直部４２とを有している。また、エアー配管４０は、第１配設部３１側（装置後方側）に向かって可動部３５から引き出された第１引出部４４を有している。この第１引出部４４は、可動部３５の移動方向に対して垂直方向に向かって可動部３５から引き出されている。なお、「垂直」とは、おおよそ垂直であればよい。例えば、第１引出部４４及び第２引出部４９は、可動部３５の移動方向に対して８０°〜１００°の間の角度としてもよい（以下同じ）。このエアー配管４０は、可動範囲Ａの範囲内で可動部３５が移動する際のいずれかの位置において、２以上の屈曲部４３が形成される。なお、この接続部材支持機構１８では、可動部３５がいずれの位置においてもエアー配管４０に複数の屈曲部４３が形成される。また、エアー配管４０は、可動部３５が移動する可動範囲Ａの範囲内で、その第１配設部３１への接続部分が、主として第１端Ａ１側に屈曲している。エアー配管４０は、支持部材３０に対して、第１配設部３１側が固定端であり可動部３５側が可動端である。

電気配線４５は、実装ヘッド２０が備えるモータなどの駆動電力を本体側から供給すると共に、制御信号などを伝達する配線である。電気配線４５は、内部に複数の配線を有し、この複数の配線が柔軟性を有する樹脂により被覆された部材である。電気配線４５は、エアー配管４０と柔軟性などの特性が異なる材質、例えば、塩化ビニル樹脂で形成されていてもよい。電気配線４５は、可動部３５に設けられた第２接続部３４と、支持部材３０に設けられた第２配設部３２とに接続され、可動部３５の移動によっても第１端Ａ１側及び第２端Ａ２側で可動範囲Ａより外に出ることなく配設されている。電気配線４５は、支持部材３０の上面３０ｂの上を水平に摺動する水平部４６と、第２接続部３４への接続のため鉛直下方に向けて形成される垂直部４７とを有している。また、電気配線４５は、第２配設部３２側（装置後方側）に向かって可動部３５から引き出された第２引出部４９を有している。この第２引出部４９は、可動部３５の移動方向に対して垂直方向に向かって可動部３５から引き出されている。この電気配線４５は、可動範囲Ａの範囲内で可動部３５が移動する際のいずれかの位置において、２以上の屈曲部４８が形成される。なお、この接続部材支持機構１８では、可動部３５がいずれの位置においても電気配線４５に複数の屈曲部４３が形成される。また、電気配線４５は、可動部３５が移動する可動範囲Ａの範囲内で、その第２配設部３２への接続部分が、主として第２端Ａ２側に屈曲している。電気配線４５は、支持部材３０に対して、第２配設部３２側が固定端であり可動部３５側が可動端である。

制御装置７０は、図５に示すように、ＣＰＵ７１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶するＲＯＭ７２、各種データを記憶するＨＤＤ７３、作業領域として用いられるＲＡＭ７４、外部装置と電気信号のやり取りを行う入出力インタフェース７５などを備えており、これらはバスを介して接続されている。この制御装置７０は、基板搬送ユニット１４、圧力付与ユニット１５、実装ユニット１６、部品供給ユニット１７などと双方向通信可能に接続されており、これらのユニットなどと信号をやりとりする。

次に、こうして構成された本実施形態の実装システム１０の動作、特に、可動部３５の移動に伴うエアー配管４０及び電気配線４５の動きについて、図３，４を用いて説明する。実装装置１２の実装処理などが実行されると、制御装置７０のＣＰＵ７１は、必要に応じて実装ヘッド２０（可動部３５）をＸ軸方向（左右方向）に移動させる。例えば、可動部３５が装置左側に移動されたときには、左側に配設されたエアー配管４０は、第１引出部４４が第１配設部３１側（装置後方側）に向かって引き出されており、複数の屈曲部４３を形成することにより、可動範囲Ａから外に出ることがない。このとき、電気配線４５も同様に可動範囲Ａから外に出ることがない。また、可動部３５が装置右側に移動されたときには、右側に配設された電気配線４５は、第２引出部４９が第２配設部３２側（後方側）に向かって引き出されており、複数の屈曲部４８を形成することにより、可動範囲Ａから外に出ることがない。このとき、エアー配管４０も同様に可動範囲Ａから外に出ることがない。

図６は、本発明とは別の接続部材支持機構１１８の平面図である。この接続部材支持機構１１８は、可動部３５の移動方向に向かって引き出された第１引出部１４４を有するエアー配管１４０と、可動部３５の移動方向に向かって引き出された第２引出部１４９を有する電気配線１４５とを備える。第１引出部１４４と第２引出部１４９とは、互いに反対方向に向かって引き出されている。なお、ここでは、接続部材支持機構１８と同様の構成については同じ符号を付してその説明を省略する。この接続部材支持機構１１８では、エアー配管１４０や電気配線１４５は、屈曲部１４３，１４８が１つだけ形成されるＵ字配管、Ｕ字配線となっている。このように構成された接続部材支持機構１１８では、可動範囲Ａの外側までエアー配管１４０や電気配線１４５が存在してしまい、可動不能な範囲が存在して装置が大きくなる。なお、従来では、エアー配管と電気配線とを１本の接続部材として配設部と接続部とを接続するものであり、このような構成では、より大きい可動不能な範囲が存在していた。これに対して、用途の異なる接続部材（配管や配線）は、好適な材質が異なることがあり、これらを分けて装置内に配設することが考えられる。このような複数の接続部材を同じ方向に屈曲させて配設すると、応力の違いなどから擦れが生じるなど互いに悪影響を及ぼすことがある。これを回避しようとして、図６に示すように、異なる方向に２つの接続部材を屈曲させて装置内に配設すると、可動不能な範囲が更に広がることになる。本発明の接続部材支持機構１８では、２つの接続部材を設けるに際して、エアー配管４０の第１引出部４４及び電気配線４５の第２引出部４９を第１配設部３１や第２配設部３２の存在する装置後方側へ引き出すことにより、エアー配管４０や電気配線４５を可動範囲から出ないようにすることができるのである。

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の実装装置１２が本発明の対基板作業装置に相当し、可動部３５が可動部に相当し、エアー配管４０が第１接続部材に相当し、電気配線４５が第２接続部材に相当する。

以上説明した本実施形態の接続部材支持機構１８では、可動部３５の移動によってもエアー配管４０と電気配線４５とが可動範囲Ａの範囲外に出ないため、装置のコンパクト化、特に装置の幅方向のコンパクト化をより図ることができる。また、エアー配管４０と電気配線４５など複数の接続部材を用いることができる。また、エアー配管４０は、第１配設部３１側（装置後方側、可動部３５の移動方向に直交する方向側）に向かって可動部３５から引き出された第１引出部４４を有し、電気配線４５は、第２配設部３２側（装置後方側、可動部３５の移動方向に直交する方向側）に向かって可動部３５から引き出された第２引出部４９を有する。このため、エアー配管４０や電気配線４５は、例えば、引出部が移動方向に沿って引き出されているもの（図６参照）などに比して、可動部３５が第１端Ａ１側又は第２端Ａ２側に配置されても、その屈曲した部分などが可動範囲Ａの範囲外に突出しにくい。

更に、エアー配管４０及び電気配線４５は、可動範囲Ａの範囲内で可動部３５が移動する際のいずれかの位置において、２以上の屈曲部４３，４８が形成されるため、可動部３５の可動範囲Ａから突出しにくい。更にまた、エアー配管４０は、可動部３５が移動する可動範囲Ａの範囲内で第１配設部３１の接続部分が第１端Ａ１側に屈曲し、電気配線４５は、可動部３５が移動する可動範囲Ａの範囲内で第２配設部３２の接続部分が第２端Ａ２側に屈曲する。即ち、エアー配管４０と電気配線４５とは、異なる形状の屈曲をするように配設されている。このため、これらの部材同士の干渉などをより抑制した状態で装置のコンパクト化を図ることができる。そして、第１配設部３１及び第２配設部３２は、可動範囲Ａの第１端Ａ１と第２端Ａ２との間の中央領域Ｃに配設されているため、エアー配管４０及び電気配線４５の長さや応力のかかり方などに偏りなどが出にくく、可動部３５を可動範囲Ａの範囲内で移動しやすい。そしてまた、第１接続部材はエアー配管４０であり、第２接続部材は電気配線４５であるため、エアー配管と電気配線とを別々の接続部材としたうえで、装置のコンパクト化を図ることができる。そして更に、対基板作業装置は、実装装置１２であるため、実装ヘッド２０を備えた実装装置１２のコンパクト化をより図ることができる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、第１引出部４４や第２引出部４９の引き出し方向によって、エアー配管４０や電気配線４５が可動範囲Ａから外に出ることがないものとしたが、特にこれに限定されない。また、上述した実施形態では、第１引出部４４は、第１配設部３１側（装置後方側）且つ可動部３５の移動方向に垂直方向に引き出されているものとしたが、これに限定されず、いずれか一方を満たすものとしてもよい。なお、第２引出部４９も同様である。

上述した実施形態では、第１配設部３１及び第２配設部３２が左右に配設されているものとしたが、特にこれに限定されず、上下に配設されているものとしてもよい。また、上述した実施形態では、エアー配管４０と電気配線４５とが異なる屈曲を形成するように配設されているものとしたが、同じ屈曲を形成するように配設されているものとしてもよい。このとき、第１配設部３１及び第２配設部３２が上下に配設され、第１接続部３３及び第２接続部３４が上下に配設されているものとしてもよい。こうしても、２つの接続部材が可動部３５の可動範囲Ａの範囲外に出ないため、装置のコンパクト化を図ることができる。なお、第１配設部３１及び第２配設部３２が左右に配設されている方が、装置の上下方向のコンパクト化を図る上では特に好ましい。

上述した実施形態では、エアー配管４０は、第１接続部３３に垂直部４２が接続し、第１引出部４４を介して水平部４１が第１配設部３１に接続されているものとしたが、可動部３５から引出部が支持部材３０の第１配設部３１側に引き出されているものとすれば、特にこれに限られない。例えば、エアー配管４０は、垂直部４２がなく第１接続部に第１引出部４４が直接接続されているものとしてもよい。即ち、第１接続部は、その接続方向が第１配設部３１側（装置後方側）になるよう形成されているものとしてもよい。こうしても、接続部材が可動部３５の可動範囲外に出ないため、装置のコンパクト化を図ることができる。なお、電気配線４５も同様である。

上述した実施形態では、２つの接続部材がエアー配管４０と電気配線４５とであるものとしたが、特にこれに限定されない。例えば、第１接続部材と第２接続部材とは、それぞれ用途が同じであってもよいし異なっていてもよく、それぞれ材質が同じであってもよいし異なっていてもよい。こうしても、第１接続部材と第２接続部材とが可動範囲外に出ないため、装置のコンパクト化をより図ることができる。

上述した実施形態では特に説明しなかったが、第１配設部３１からのエアー配管４０の引き出し方向は、例えば、エアー配管４０の屈曲の程度に応じて任意に定めることができる。また、第２配設部３２においても同様である。

上述した実施形態では、２つの接続部材を備えた接続部材支持機構１８として説明したが、特にこれに限定されず、３以上の接続部材を備えるものとしてもよい。

上述した実施形態では、対基板作業装置を実装装置として説明したが、例えば、対基板作業装置を基板にはんだを印刷する印刷装置としてもよいし、基板を搬送する搬送装置としてもよい。

本発明は、電子部品の実装分野に利用可能である。

１０実装システム、１１ＬＡＮ、１２実装装置、１４基板搬送ユニット、１５圧力付与ユニット、１６実装ユニット、１７部品供給ユニット、１８，１１８接続部材支持機構、２０実装ヘッド、２１吸着ノズル、２２真空ポンプ、２３電磁弁、２４吸気口、２６Ｘ軸スライダ、２７ガイドレール、２８Ｙ軸スライダ、２９
ガイドレール、３０支持部材、３０ａ立壁部、３０ｂ上面、３１第１配設部、３２第２配設部、３３第１接続部、３４第２接続部、３５可動部、３５ａ配設面、３６固定部材、４０，４０ａ，１４０エアー配管、４１水平部、４２垂直部、４３，１４３屈曲部、４４，１４４第１引出部、４５，１４５電気配線、４６水平部、４７垂直部、４８，１４８屈曲部、４９，１４９第２引出部、７０制御装置、７１ＣＰＵ、７２ＲＯＭ、７３ＨＤＤ、７４ＲＡＭ、７５入出力インタフェース、８０管理コンピュータ、Ｐ部品、Ｓ基板、Ａ可動範囲、Ａ１第１端、Ａ２第２端、Ｃ中央領域。

Claims

基板に対する作業を行う対基板作業装置であって、
第１端と第２端との間の可動範囲内で移動する可動部と、
前記可動部と所定の第１配設部とに接続され、前記第１端側で前記可動範囲外に出ず且つ前記第２端側で前記可動範囲外に出ることなく配設された第１接続部材と、
前記可動部と所定の第２配設部とに接続され、前記第１端側で前記可動範囲外に出ず且つ前記第２端側で前記可動範囲外に出ることなく配設された第２接続部材と、
前記可動部を移動可能に支持すると共に前記可動部の移動に伴い前記第１接続部材と前記第２接続部材とをその上面において高さ一定の状態で別々に摺動させる支持部材と、
を備えた対基板作業装置。
前記第１接続部材は、前記第１配設部側に向かって前記可動部から引き出された第１引出部を有し、
前記第２接続部材は、前記第２配設部側に向かって前記可動部から引き出された第２引出部を有する、請求項１に記載の対基板作業装置。
前記第１接続部材は、前記可動部の移動方向に対して垂直方向に向かって前記可動部から引き出された第１引出部を有し、
前記第２接続部材は、前記可動部の移動方向に対して垂直方向に向かって前記可動部から引き出された第２引出部を有する、請求項１又は２に記載の対基板作業装置。
前記第１接続部材及び前記第２接続部材は、前記可動範囲内で前記可動部が移動する際のいずれかの位置において、前記可動部の移動に伴い屈曲する屈曲部が２以上形成される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の対基板作業装置。
前記第１接続部材は、前記可動範囲内で前記可動部が移動する際に前記第１端側に屈曲し、
前記第２接続部材は、前記可動範囲内で前記可動部が移動する際に前記第２端側に屈曲する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の対基板作業装置。
前記第１配設部及び前記第２配設部は、前記可動範囲の第１端と第２端との間の中央領域に配設されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の対基板作業装置。
前記支持部材は、前記第１配設部及び前記第２配設部が設けられ、前記可動部を前記可動範囲内で移動可能に支持し、
前記第１接続部材は、前記支持部材に対して、前記第１配設部側が固定端であり前記可動部側が可動端であり、
前記第２接続部材は、前記支持部材に対して、前記第２配設部側が固定端であり前記可動部側が可動端である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の対基板作業装置。
前記第１接続部材は、エアー配管であり、
前記第２接続部材は、電気配線である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の対基板作業装置。
前記可動部は、部品を前記基板に実装する実装ヘッドが配設されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載の対基板作業装置。