JP6495755B2 - UV detector - Google Patents
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Description
本発明は、紫外線検出器に関する。 The present invention relates to an ultraviolet detector.
光電子放出効果及び放電現象を利用した紫外線検出器として、光透過性を有し、放電ガスが封入された容器と、容器内に配置された陰極放電部、及び容器の封着部を貫通する陰極支持部を有する陰極と、容器内に配置された陽極放電部、及び容器の封着部を貫通する陽極支持部を有する陽極と、を備えるものが知られている(例えば、特許文献1参照)。 As an ultraviolet detector utilizing the photoelectron emission effect and discharge phenomenon, a light-transmitting container in which discharge gas is enclosed, a cathode discharge part disposed in the container, and a cathode penetrating the sealing part of the container What is equipped with the cathode which has a support part, the anode discharge part arrange | positioned in a container, and the anode which has an anode support part which penetrates the sealing part of a container is known (for example, refer patent document 1). .
上述したような紫外線検出器においては、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することが好ましく、また、その検出感度も、個体によるばらつきを抑制して均一化することが好ましい。 In the ultraviolet detector as described above, it is preferable to accurately detect light in a predetermined ultraviolet region even under visible light, and the detection sensitivity should be uniformed while suppressing variation among individuals. Is preferred.
本発明は、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる紫外線検出器を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide an ultraviolet detector that can accurately detect light in a predetermined ultraviolet region even under visible light and can achieve uniform detection sensitivity with a simple configuration. And
本発明の紫外線検出器は、光透過性を有し、放電ガスが封入された容器と、容器内に配置された陰極放電部、及び容器の封着部を貫通する陰極支持部を有する棒状の陰極と、容器内に配置された陽極放電部、及び封着部を貫通する陽極支持部を有する棒状の陽極と、を備え、陰極及び陽極のいずれか一方には、陰極放電部と陽極放電部とが第1間隔で互いに対向し且つ陰極支持部と陽極支持部とが第1間隔よりも大きい第2間隔で互いに対向するように、曲げ部が設けられており、陰極放電部の少なくとも表面を構成する第1材料は、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ陰極支持部の少なくとも表面を構成する第2材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い。 The ultraviolet detector of the present invention has a light-transmitting container having a discharge gas sealed therein, a cathode discharge part arranged in the container, and a rod-like support part penetrating the sealing part of the container A cathode and a rod-like anode having an anode support part disposed in the container and an anode support part penetrating the sealing part, and either the cathode or the anode includes a cathode discharge part and an anode discharge part And the cathode support portion and the anode support portion are opposed to each other at a second interval larger than the first interval, and at least a surface of the cathode discharge portion is provided. The first material to be configured has higher average sensitivity to light in a predetermined ultraviolet region than average sensitivity to light in the visible region, and average sensitivity to light in the visible region as compared with the second material constituting at least the surface of the cathode support portion. Is low.
この紫外線検出器では、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ陰極支持部の第2材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い第1材料が、陰極放電部に使用されており、陰極放電部と陽極放電部とが、陰極支持部と陽極支持部との第2間隔よりも小さい第1間隔で対向している。これにより、陰極と陽極の間において放電の発生しやすい領域は、所定の紫外域の光に対して感度の高い領域と重なるので、可視域の光に起因する光電子放出及び放電は抑制され、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができる。更に、陰極及び陽極のいずれか一方に曲げ部を設けることで第1間隔及び第2間隔を構成しているため、例えば陰極及び陽極の両方に曲げ部が設けられている場合と比較して、精度良く第1間隔及び第2間隔を構成することができる。これにより、簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。以上により、この紫外線検出器によれば、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。 In this ultraviolet detector, the first material has a higher average sensitivity to light in a predetermined ultraviolet region than an average sensitivity to light in the visible region, and a lower average sensitivity to light in the visible region than the second material of the cathode support. The cathode discharge part and the anode discharge part are opposed to each other at a first interval smaller than the second interval between the cathode support part and the anode support part. As a result, a region where discharge is likely to occur between the cathode and the anode overlaps with a region having high sensitivity to light in a predetermined ultraviolet region, so that photoelectron emission and discharge caused by light in the visible region are suppressed and visible. Even under light, it is possible to accurately detect light in a predetermined ultraviolet region. Furthermore, since the first interval and the second interval are configured by providing a bent portion on one of the cathode and the anode, for example, compared to a case where the bent portion is provided on both the cathode and the anode, The first interval and the second interval can be configured with high accuracy. As a result, the detection sensitivity can be made uniform with a simple configuration. As described above, according to the ultraviolet detector, light in a predetermined ultraviolet region can be accurately detected even under visible light, and detection sensitivity can be made uniform with a simple configuration.
本発明の紫外線検出器では、第2材料と容器の材料との熱膨張係数差は、第1材料と容器の材料との熱膨張係数差よりも小さくてもよい。これにより、封着部での不具合による第1間隔及び第2間隔の変化が生じるのを確実に抑制し、検出感度の均一化をより確実に図ることができる。 In the ultraviolet detector of the present invention, the difference in thermal expansion coefficient between the second material and the container material may be smaller than the difference in thermal expansion coefficient between the first material and the container material. As a result, it is possible to reliably suppress the occurrence of changes in the first interval and the second interval due to a defect in the sealing portion, and to achieve uniform detection sensitivity.
本発明の紫外線検出器では、曲げ部は、陽極に設けられていてもよい。これにより、光電子放出領域となる陰極放電部に対する曲げ部の影響を抑制し、検出感度の更なる均一化を図ることができる。 In the ultraviolet detector of the present invention, the bent portion may be provided on the anode. Thereby, the influence of the bending part with respect to the cathode discharge part used as a photoelectron emission area | region can be suppressed, and the detection sensitivity can be made further uniform.
本発明の紫外線検出器では、曲げ部の少なくとも一部は、陰極放電部と対向していてもよい。例えば、陽極に設けられた曲げ部が陰極支持部とのみ対向している位置に設けられた場合、陰極支持部が陽極放電部と第1間隔で対向する場合もあるために、陰極支持部と陽極放電部との間で、可視域の光に起因する光電子放出及び放電が生じるおそれがある。陽極に設けられた曲げ部の少なくとも一部を陰極放電部と対向させることで、陰極支持部は陽極に対して少なくとも第1間隔よりも大きく離間するため、そのような現象を抑制し、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。 In the ultraviolet detector of the present invention, at least a part of the bent portion may face the cathode discharge portion. For example, when the bent portion provided on the anode is provided at a position facing only the cathode support portion, the cathode support portion may face the anode discharge portion at the first interval. Photoelectron emission and discharge due to light in the visible range may occur between the anode discharge portion and the anode discharge portion. By causing at least a part of the bent portion provided on the anode to face the cathode discharge portion, the cathode support portion is spaced apart from the anode by at least the first interval. Ultraviolet light can be detected with higher accuracy.
本発明の紫外線検出器では、曲げ部は、陰極放電部に設けられていてもよい。これにより、曲げ部の途中で放電が発生しても、その放電は所定の紫外域の光に起因するため、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。 In the ultraviolet detector of the present invention, the bent part may be provided in the cathode discharge part. As a result, even if a discharge occurs in the middle of the bent portion, the discharge is caused by light in a predetermined ultraviolet region, so that light in the predetermined ultraviolet region can be detected with higher accuracy.
本発明の紫外線検出器では、陰極放電部は、第1材料からなる棒状部材であってもよい。陰極放電部を第1材料からなる棒状部材で構成することで、例えば、陰極放電部の表面が、所望の基材上に第1材料を膜状に形成することで構成される場合と比べて、放電によって第1材料が剥離する等の不具合が生じるおそれを抑制し、長寿命化を図ることができる。 In the ultraviolet detector of the present invention, the cathode discharge part may be a rod-shaped member made of the first material. By configuring the cathode discharge part with a rod-shaped member made of the first material, for example, compared to the case where the surface of the cathode discharge part is formed by forming the first material in a film form on a desired substrate. In addition, it is possible to suppress a possibility that the first material is peeled off due to discharge, and to extend the life.
本発明の紫外線検出器では、陰極放電部と陽極放電部とが対向する方向から見た場合、陰極放電部の幅は、陽極放電部の幅よりも大きくてもよい。これにより、所定の紫外域の光に対する検出感度をより高くすることができる。 In the ultraviolet detector of the present invention, the width of the cathode discharge part may be larger than the width of the anode discharge part when viewed from the direction in which the cathode discharge part and the anode discharge part face each other. Thereby, the detection sensitivity with respect to the light of a predetermined ultraviolet region can be made higher.
本発明によれば、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる紫外線検出器を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it is under visible light, the ultraviolet detector which can detect the light of a predetermined ultraviolet region accurately and can aim at equalization of detection sensitivity with a simple structure can be provided.
以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明は省略する。 Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following description, the same reference numerals are used for the same or corresponding elements, and duplicate descriptions are omitted.
図1及び図2に示されるように、紫外線検出器1は、容器10と、陰極20と、陽極30と、を備えている。紫外線検出器1は、光電子放出効果及び放電現象を利用して所定の紫外域の光を検出するセンサであって、例えば炎センサとして用いられる。なお、図2では、容器10が透過されており、容器10の外形が仮想線で示されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
容器10は、略円筒状の本体部11と、扁平状の封着部12と、を有している。容器10は、例えばコバールガラス等の光透過性(紫外線透過性)を有する材料からなる。容器10内には、例えばネオン、アルゴン等の放電ガスが封入されており、容器10内は、気密に維持されている。
The
陰極20は、容器10内に配置された陰極放電部21と、容器10の封着部12を貫通する陰極支持部22と、を有する棒状の電極である。陰極放電部21及び陰極支持部22のそれぞれは、直線状且つ断面円形状の棒状部材である。陰極放電部21の直径は、陰極支持部22の直径よりも大きい。陰極放電部21は、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ陰極支持部22の材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い材料(以下、「第1材料」という)からなる。このような第1材料としては、例えばニッケル、白金、又は金等の金属が挙げられる。陰極支持部22は、陰極放電部と異なる材料(以下、「第2材料」という)からなる。第2材料と容器10の材料との熱膨張係数差は、第1材料と容器10の材料との熱膨張係数差よりも小さい。このような第2材料としては、例えばコバール等の金属が挙げられる。陰極放電部21と陰極支持部22とは、長手方向から見た場合に互いの中心が一致するように(陰極20として同軸に延びるように)、長手方向の端面において、例えば溶接によって互いに接続されている。
The
陰極支持部22は、陰極放電部21と接続された陰極接続部分24と、容器10の封着部12に対して封着(気密封止)された陰極被封着部分25と、容器10外に延在する陰極リード部分26と、を含んでいる。陰極被封着部分25が容器10の封着部12に対して封着されていることによって、陰極20が容器10に固定されている。陰極20は、陰極放電部21及び陰極支持部22が容器10の中心線Cと平行となるように固定されている。陰極リード部分26は、外部回路との電気的な接続に供される。
The cathode support
陽極30は、容器10内に配置された陽極放電部31と、容器10の封着部12を貫通する陽極支持部32と、陽極放電部31と陽極支持部32との間に設けられた曲げ部33と、を有する棒状の電極である。陽極30は、直線状且つ断面円形状の棒状部材を、陽極放電部31と陽極支持部32とで延在方向の軸がずれるように曲げ部33でクランク状に屈曲させた部材である。陽極放電部31及び陽極支持部32は、直線状に形成されている。陽極30の直径は、陰極放電部21の直径よりも小さく、例えば陰極支持部22の直径と同一である。陽極30は、例えばコバール等の金属からなり、陰極支持部22と同じ第2材料としてもよい。
The
陽極支持部32は、曲げ部33と接続された陽極接続部分34と、容器10の封着部12に対して封着(気密封止)された陽極被封着部分35と、容器10外に延在する陽極リード部分36と、を含んでいる。陽極被封着部分35が容器10の封着部12に対して封着されていることによって、陽極30が容器10に固定されている。陽極30は、陽極放電部31及び陽極支持部32が容器10の中心線Cと平行となるように固定されている。陽極リード部分36は、外部回路との電気的な接続に供される。
The
陰極放電部21、陰極支持部22、陽極放電部31、陽極支持部32及び曲げ部33は、同一平面上に位置している。陰極放電部21、陰極支持部22、陽極放電部31及び陽極支持部32は、当該平面内の所定線(例えば、容器10の中心線C)と平行である。
The
図1に示されるように、陰極20と陽極30とは、容器10の中心線Cと直交する方向において互いに対向している。陰極放電部21と陽極放電部31とは、第1間隔D1で互いに平行となるように対向している。そして、曲げ部33によって離間した陰極支持部22と陽極支持部32とは、第1間隔D1よりも大きい第2間隔D2で互いに対向している。つまり、曲げ部33は、陰極放電部21と陽極放電部31とが第1間隔D1で互いに対向し且つ曲げ部33の陽極支持部32側の端部(曲げ部33の終端)から封着部12に到るまでの間において陰極支持部22と陽極支持部32とが第2間隔D2で対向するように、陽極30に設けられている。曲げ部33は、容器10の中心線Cと直交する方向において、陰極放電部21と対向している。より詳しくは、曲げ部33のうち、少なくとも陽極放電部31側の端部(曲げ部33の始端)は、陰極放電部21のうちの封着部12側の端部を含む領域と対向している。よって、陰極放電部21のうちの封着部12側の端部(陰極支持部22との境界部)においては、陽極30との間の距離が、第1間隔D1よりも大きく、第2間隔D2以下となる。陰極放電部21の先端21aと陽極放電部31の先端31aとは、容器10の中心線Cと直交する方向において互いに対向している。
As shown in FIG. 1, the
図2に示されるように、陰極放電部21と陽極放電部31とが対向する方向(陰極20と陽極30とが重なって見える方向)から見た場合、陰極放電部21の幅は、陽極放電部31の幅よりも大きい。このため、陰極放電部21と陽極放電部31とが対向する方向から見て、陰極放電部21が陽極放電部31からはみ出している。なお、陰極放電部21及び陽極放電部31の幅方向とは、陰極放電部21、陰極支持部22、陽極放電部31、陽極支持部32及び曲げ部33が位置する上記平面と直交する方向である。
As shown in FIG. 2, when viewed from the direction in which the
次に、第1材料及び第2材料の特性について説明する。陰極放電部21に使用される第1材料は、可視域(例えば、400nm以上700nm未満)の光に対する平均感度よりも所定の紫外域(例えば、185nm以上260nm以下)の光に対する平均感度が高い材料であり、且つ陰極支持部22に使用される第2材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い材料である。また、上記所定の紫外域の光に対する平均感度を可視域の光に対する平均感度で除した(割った)値に着目すると、陰極放電部21に使用される第1材料の当該値は、陰極支持部22に使用される第2材料の当該値よりも大きい。特に、この例では、第1材料は、260nm以上の波長域(可視域及び赤外域を含む)の光に対して実質的に感度を有していない。言い換えれば、光電子放出において、第1材料は、第2材料よりも、紫外域の光に対する選択性が高いとも言える。なお、所定の波長域の光に対する平均感度とは、当該波長域における感度の平均値であり、例えば相加平均値である。
Next, the characteristics of the first material and the second material will be described. The first material used for the
具体例を挙げて更に説明すると、図3に示されるように、陰極放電部21が第1材料の一例であるニッケルからなる場合、陰極放電部21は、約252nm以下の紫外域の光に対して感度を有し、約252nmよりも大きい波長域の光に対して感度を有していない。一方、陰極放電部21が第2材料の一例であるコバールからなる場合、陰極放電部21は、約252nmよりも大きい波長域の光に対して感度を有している。このように、ニッケルは、可視域の光に対する平均感度(すなわち、「0」)よりも所定の紫外域(約252nm以下)の光に対する平均感度が高い材料であり、且つコバールに比べて可視域の光に対する平均感度が低い材料である。
This will be further described with reference to a specific example. As shown in FIG. 3, when the
次に、紫外線検出器1の動作原理について説明する。使用状態においては、陰極20と陽極30との間に電圧が供給されている。陰極放電部21及び陽極放電部31は、第1間隔D1で互いに近接して対向しているため、陰極20と陽極30の間において放電の発生しやすい領域であり、放電領域として機能する。一方、陰極支持部22及び陽極支持部32は、第2間隔D2で互いに離間して対向しているため、放電領域として機能し難い。使用状態において、容器10を介して陰極放電部21に所定の紫外域の光が入射すると、陰極放電部21から光電子が放出される(光電子放出効果)。この光電子は、陽極放電部31に引き寄せられ、容器10内の放電ガス分子と衝突して放電ガス分子を電離させる。電離によって発生した電子及び正イオンのうち、電子は更に他の放電ガス分子と衝突及び電離を繰り返して陽極放電部31に至る。一方、正イオンは、陽極放電部31に向けて加速され、陽極放電部31に衝突して多くの二次電子を発生させる。以上の現象を繰り返すことにより、陰極20と陽極30との間に電流が流れ、放電状態となる。紫外線検出器1では、光電子放出効果及び放電現象を利用して、所定の紫外域の光を検出する。
Next, the operation principle of the
以上説明したように、紫外線検出器1では、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ陰極支持部22の第2材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い第1材料が、陰極放電部21に使用されており、陰極放電部21と陽極放電部31とが、封着部12における陰極支持部22と陽極支持部32との第2間隔D2よりも小さい第1間隔D1で対向している。これにより、陰極20と陽極30の間において放電の発生しやすい領域は、所定の紫外域の光に対して感度の高い領域と重なるので、可視域の光に起因する光電子放出及び放電は抑制され、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができる。更に、陽極30に曲げ部33が設けられているため、例えば陰極20及び陽極30の両方に曲げ部33が設けられている場合と比較して、精度良く第1間隔D1及び第2間隔D2を構成することができる。これにより、簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。以上により、この紫外線検出器1によれば、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。また、陰極放電部21と異なる材料が陰極支持部22に使用されていることから、陰極支持部22の材料として、封着部12での封着に適した材料を選択することで、封着部12からの放電ガスの抜け等を抑制し、長寿命化を図ることができる。
As described above, in the
例えば、ガスバーナの炎(都市ガス)の波長域は、約185nmよりも大きく、太陽光の波長域は、約280nmよりも大きい。また、タングステン電球から出力される光の波長域は、約300nmよりも大きい。したがって、紫外線検出器1によれば、太陽光又はタングステン電球から出力される光の存在下であっても、ガスバーナの炎に含まれる紫外域の光を精度良く検出することができる。
For example, the wavelength range of the gas burner flame (city gas) is greater than about 185 nm, and the wavelength range of sunlight is greater than about 280 nm. Further, the wavelength range of light output from the tungsten bulb is larger than about 300 nm. Therefore, according to the
また、紫外線検出器1では、陰極放電部21の第1材料は、可視域の光に対して実質的に感度を有していない。これにより、可視域の光に起因する光電子放出及び放電をより確実に抑制し、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。
In the
また、紫外線検出器1では、陰極支持部22に使用される第2材料と容器10の材料との熱膨張係数差が、陰極放電部21に使用される第1材料と容器10の材料との熱膨張係数差よりも小さい。これにより、封着部12での不具合による第1間隔D1及び第2間隔D2の変化が生じるのを確実に抑制し、検出感度の均一化をより確実に図ることができるとともに、封着部12からの放電ガスの抜け等を抑制し、長寿命化を図ることができる。
Further, in the
また、紫外線検出器1では、曲げ部33が陽極30に設けられている、これにより、光電子放出領域となる陰極放電部21に対する曲げ部33の影響、例えば曲げ作業による陰極支持部22との接続部に対する影響を抑制し、検出感度の更なる均一化を図ることができる。
Further, in the
また、紫外線検出器1では、曲げ部33が陰極放電部21と対向している。例えば、本実施形態において、陽極30に設けられた曲げ部33が陰極支持部22とのみ対向している位置に設けられた場合、陰極支持部22と陽極放電部31とが、放電の発生しやすい第1間隔D1で対向する。そのため、紫外域の光に対する選択性が低い陰極支持部22と陽極放電部31との間で、可視域の光に起因する光電子放出及び放電が生じるおそれがある。陽極30に設けられた曲げ部33の少なくとも一部を陰極放電部21と対向させることで、陰極支持部22は陽極30に対して少なくとも第1間隔D1よりも大きく離間するため、そのような現象を抑制し、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。
In the
また、紫外線検出器1では、陰極放電部21が第1材料からなる棒状部材であると共に、陰極支持部22が第2材料からなる棒状部材であり、陰極放電部21と陰極支持部22とが互いに接続されている。陰極放電部21を第1材料からなる棒状部材で構成することで、例えば、陰極支持部22の表面が、所望の基材上に第1材料を膜状に形成することで構成される場合と比べて、放電によって第1材料が剥離する等の不具合が生じるおそれを抑制し、長寿命化を図ることができる。
In the
また、紫外線検出器1では、陰極放電部21と陽極放電部31とが対向する方向から見た場合、陰極放電部21の幅は、陽極放電部31の幅よりも大きくなっている。これにより、所定の紫外域の光に対する検出感度をより高くすることができる。また、陰極放電部21の直径は、陰極支持部22の直径よりも大きいため、その接続部においては段差が生じる。この段差の分でも、陰極支持部22は陽極30と離間するため、陰極支持部22における放電は抑制され、所定の紫外域の光に対する検出感度をより高くすることができる。
In the
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲で変形し、又は他のものに適用してもよい。 The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and may be modified without departing from the gist of the present invention or applied to other embodiments. .
例えば、図4及び図5に示される第1変形例の紫外線検出器1Aのように、陰極放電部21Aが扁平な板状に形成されていてもよい。図5に示されるように、紫外線検出器1Aにおいても、上記実施形態と同様に、陰極放電部21Aと陽極放電部31とが対向する方向(陰極20と陽極30とが重なって見える方向)から見た場合、陰極放電部21Aの幅は、陽極放電部31の幅よりも大きい。このような紫外線検出器1Aによっても、上記実施形態と同様に、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。特に、本実施形態においては、陰極放電部21Aと陽極放電部31とが対向する方向から見た場合の陰極放電部21Aの幅を大きくすることがより容易となる。さらに、少ない材料で陰極放電部21Aの幅を大きくすることができるので、電極先端部を軽量化することができ、耐震性を向上することができる。なお、図5では、容器10が透過されており、容器10の外形が仮想線で示されている。
For example, like the
また、図6に示される第2変形例の紫外線検出器1Bのように、陰極放電部21Bが封着部12と接触していてもよい。紫外線検出器1Bでは、陰極放電部21Bのうちの封着部12側の先端は、封着部12に埋め込まれている。そのため、陰極支持部22Bは、陰極接続部分24を有していない。このような紫外線検出器1Bによっても、上記実施形態と同様に、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。また、容器10内に露出するのは紫外域の光に対する選択性が高い陰極放電部21Bのみであるため、可視域の光に起因する光電子放出及び放電が生じるのをより確実に抑制し、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。なお、このように陰極支持部22Bの先端が封着部12に埋め込まれる場合でも、封着部12で封着される部位の大半が陰極被封着部分25であるので、封着部12での陰極20の封着を問題なく行うことができる。
Moreover, the
また、図7に示される第3変形例の紫外線検出器1Cのように、陰極20に曲げ部23Cが設けられていてもよい。紫外線検出器1Cでは、陰極支持部22に曲げ部23Cが設けられている。また、陽極30には曲げ部33が設けられておらず、陽極30は、直線状に形成されている。曲げ部23Cは、陽極支持部32と対向している。このような紫外線検出器1Cによっても、上記実施形態と同様に、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。
Moreover, the bending
また、図8に示される第4変形例の紫外線検出器1Dのように、陰極放電部21に曲げ部23Dが設けられていてもよい。紫外線検出器1Dでは、曲げ部23Dは、陽極放電部31と対向している。このような紫外線検出器1Dによっても、上記実施形態と同様に、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。特に、曲げ部23Dの途中で放電が発生しても、その放電は所定の紫外域の光に起因するため、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。
Further, a
また、上記実施形態では、陰極放電部21が第1材料からなる棒状部材であると共に、陰極支持部22が第2材料からなる棒状部材であり、陰極放電部21と陰極支持部22とが互いに接続されていたが、所望の基材の表面の一部を覆うように第1材料を膜状に形成することで、陰極放電部21とされていてもよい。例えば、上記実施形態における陰極放電部21及び陰極支持部22を合わせた長さの第2材料からなる基材を用意し、当該基材のうちの所望の一端側を覆うように、例えば第1材料によるメッキ処理等をすることによって、膜状の陰極放電部21が形成されていてもよい。
Moreover, in the said embodiment, while the
また、上記実施形態では、曲げ部33が陰極放電部21のうちの封着部12側の端部を含む領域に対向していたが、曲げ部33によって、陰極放電部21のうちの封着部12側の端部(陰極支持部22との境界部)における陽極30との間の距離が、第1間隔D1以上となればよく、曲げ部33が陰極放電部21の中間部と対向していてもよい。また、曲げ部33は、より急峻に屈曲していても、より緩やかに屈曲していてもよい。また、陰極支持部22と陽極支持部32とは、第2間隔D2で一定に離間するのではなく、離間の間隔が変化してもよい。また、陰極放電部21と陽極放電部31とが対向する方向から見た場合、陰極放電部21の幅は、陽極放電部31の幅と同程度であってもよく、陽極放電部31の幅よりも小さくてもよい。また、陰極放電部21の直径は、陰極支持部22の直径と同一であってもよく、陰極支持部22の直径よりも小さくてもよい。
Moreover, in the said embodiment, although the bending
1,1A,1B,1C,1D…紫外線検出器、10…容器、12…封着部、20…陰極、21,21A,21B…陰極放電部、22,22B…陰極支持部、23C,23D…曲げ部、30…陽極、31…陽極放電部、32…陽極支持部、33…曲げ部、D1…第1間隔、D2…第2間隔。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記容器内に配置された陰極放電部、及び前記容器の封着部を貫通する陰極支持部を有する棒状の陰極と、
前記容器内に配置された陽極放電部、及び前記封着部を貫通する陽極支持部を有する棒状の陽極と、を備え、
前記陰極及び前記陽極のいずれか一方のみに、前記陰極放電部と前記陽極放電部とが第1間隔で互いに対向し且つ前記陰極支持部と前記陽極支持部とが前記第1間隔よりも大きい第2間隔で互いに対向するように、曲げ部が設けられており、
前記陰極放電部の少なくとも表面を構成する第1材料は、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ前記陰極支持部の少なくとも表面を構成する第2材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低く、
前記曲げ部は、前記陽極に設けられており、前記曲げ部の少なくとも一部は、前記陰極放電部と対向している、紫外線検出器。 A light-transmissive container filled with a discharge gas;
A rod-shaped cathode having a cathode discharge part disposed in the container, and a cathode support part penetrating the sealing part of the container;
An anode discharge part arranged in the container, and a rod-shaped anode having an anode support part penetrating the sealing part,
Only one of the cathode and the anode has the cathode discharge portion and the anode discharge portion facing each other at a first interval, and the cathode support portion and the anode support portion are larger than the first interval. Bending parts are provided so as to face each other at two intervals,
The first material constituting at least the surface of the cathode discharge part has a higher average sensitivity to light in a predetermined ultraviolet region than the average sensitivity to light in the visible region, and is a second material constituting at least the surface of the cathode support part. compared average sensitivity to light in the visible region and is rather low,
The bent portion is provided on the anode, and at least a part of the bent portion is opposed to the cathode discharge portion .
前記容器内に配置された陰極放電部、及び前記容器の封着部を貫通する陰極支持部を有する棒状の陰極と、
前記容器内に配置された陽極放電部、及び前記封着部を貫通する陽極支持部を有する棒状の陽極と、を備え、
前記陰極及び前記陽極のいずれか一方のみに、前記陰極放電部と前記陽極放電部とが第1間隔で互いに対向し且つ前記陰極支持部と前記陽極支持部とが前記第1間隔よりも大きい第2間隔で互いに対向するように、曲げ部が設けられており、
前記陰極放電部の少なくとも表面を構成する第1材料は、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ前記陰極支持部の少なくとも表面を構成する第2材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低く、
前記曲げ部は、前記陰極放電部に設けられている、紫外線検出器。 A light-transmissive container filled with a discharge gas;
A rod-shaped cathode having a cathode discharge part disposed in the container, and a cathode support part penetrating the sealing part of the container;
An anode discharge part arranged in the container, and a rod-shaped anode having an anode support part penetrating the sealing part,
Only one of the cathode and the anode has the cathode discharge portion and the anode discharge portion facing each other at a first interval, and the cathode support portion and the anode support portion are larger than the first interval. Bending parts are provided so as to face each other at two intervals,
The first material constituting at least the surface of the cathode discharge part has a higher average sensitivity to light in a predetermined ultraviolet region than the average sensitivity to light in the visible region, and is a second material constituting at least the surface of the cathode support part. compared average sensitivity to light in the visible region and is rather low,
The bent part is an ultraviolet detector provided in the cathode discharge part .
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