JP6507757B2 - 異物解析装置 - Google Patents
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Description
そして、このような干渉光を試料の表面に照射し、試料の表面で反射した光の波長を赤外検出器で取得してライブラリで調べることにより、試料中の有機物を定量している(例えば、特許文献1参照)。
そこで、本発明は、試料に含まれる異物を正確かつ容易に解析することができる異物解析装置を提供することを目的とする。
ここで、前記外観情報は、色、形状及び/又は光沢であってもよい。
異物解析装置1は、FTIR10と、EDX20と、コンピュータ30とを備える。
赤外光源部11は、赤外光を出射する赤外光源11aと、インターフェログラムを作成する主干渉計主要部11bと、鏡11c等とを備える。そして、赤外光源11aから出射された赤外光は、主干渉計主要部11bのビームスプリッタに照射されるようになっている。
このような主干渉計主要部11bによれば、赤外光源11aから出射された赤外光は、ビームスプリッタに照射されて移動鏡と固定鏡との二方向に分割される。そして、移動鏡で反射された赤外光と固定鏡で反射された赤外光はビームスプリッタへ戻り、これらの赤外光はビームスプリッタで合成されて鏡11cへ送られる。このとき、移動鏡は入射光軸方向Mで前後に往復動しているため、分割された二光束の光路長の差は周期的に変化し、ビームスプリッタから鏡11cへ向かう光は、時間的に振幅が変動するインターフェログラムとなる。
CPU31が処理する機能をブロック化して説明すると、赤外検出器12aから赤外線スペクトル情報を取得する赤外線スペクトル取得部31aと、分光器20cから蛍光X線スペクトル情報を取得する蛍光X線スペクトル取得部31bと、入力装置34から外観情報を取得する外観情報取得部31cと、試料S中に有機元素が含まれるか否かを判定する判定部31dと、蛍光X線スペクトル情報に基づいて主成分情報を作成する作成部(半定量部)31eと、赤外線スペクトル情報と主成分情報と外観情報と専用ライブラリとに基づいてN種類の元素を検出する検出部31fと、蛍光X線スペクトル情報に基づいて試料S中に含まれる元素を定性及び定量する定量部31gと、赤外線スペクトル情報と主成分情報と一般ライブラリとに基づいて分析する補助定量部31hとを有する。
例えば、判定部31dで試料S中に有機元素が含まれていると判定した場合には、CH2Oバランスを用いて、含有量が0.1重量%以上となる元素を検出するが、種類が6種類以上になる場合は含有量が1番目〜5番目に高い元素を検出し、この5種類の元素を主成分情報とする。また、含有量が0.1重量%以上となる元素を検出できなかった場合には、含有量が1番目〜3番目に高い元素を検出し、この3種類の元素を主成分情報とする。
一方、判定部31dで試料S中に有機元素が含まれていないと判定した場合には、バランスを用いず、含有量が0.1重量%以上となる元素を検出するが、種類が6種類以上になる場合は含有量が1番目〜5番目に高い元素を検出し、この5種類の元素を主成分情報とする。また、含有量が0.1重量%以上となる元素を検出できなかった場合には、含有量が1番目〜3番目に高い元素を検出し、この3種類の元素を主成分情報とする。
例えば、主成分情報に基づいて元素ごとに検索波数範囲を限定し、外観情報と専用ライブラリとを用いて、含有量の高い10種類の元素を検出して表示装置33に表示し、さらにその中から含有量の高い3種類の元素を決定する。
例えば、分析者が、検出部31fで表示された10種類の元素を確認し、10種類の元素を試料Sの主成分とするか、或いは、3種類の元素を試料Sの主成分とするかを示す入力信号を入力装置34で入力する。これにより、定量部31gは、入力された入力信号に基づいて、3種類の元素を試料Sの主成分として試料Sに含まれる元素を定量したり、10種類の元素を試料Sの主成分として試料Sに含まれる元素を定量したりする。
例えば、分析者が、所望する検出元素の種類数Mを示す入力信号を入力装置34で入力すると、補助定量部31hは、入力された入力信号と赤外線スペクトル情報と主成分情報と一般ライブラリとに基づいてM種類の元素を検出し、さらにM種類の元素を用いて蛍光X線スペクトル情報や赤外線スペクトル情報から試料Sに含まれる元素を定量する。
まず、ステップs101の処理において、赤外線スペクトル取得部31aは、赤外検出器12aから赤外線スペクトル情報を取得するとともに、蛍光X線スペクトル取得部31bは、分光器20cから蛍光X線スペクトル情報を取得する。
次に、ステップs102の処理において、外観情報取得部31cは、外観情報(色、形状、光沢の有無)が入力される入力画面等を表示装置33に表示し、分析者等によって入力された外観情報を取得する。
次に、ステップs105の処理において、検出部31fは、赤外線スペクトル情報と主成分情報と専用ライブラリとに基づいて、含有量の高い10種類の元素を検出して表示装置33に表示し、さらにその中から含有量の高い3種類の元素を決定する。
次に、ステップs107の処理において、ステップs105の処理で得られた赤外線スペクトル解析結果及びステップs106の処理で得られた蛍光X線スペクトル解析結果を表示装置33に表示する。
次に、ステップs110の処理において、補助定量部31hは、蛍光X線スペクトル情報に基づいてM種類の元素を試料Sの主成分とし、含有量が0.1重量%以上となる元素を検出するが、種類が6種類以上になる場合は含有量が1番目〜5番目に高い元素を検出し、この5種類の元素を主成分情報とする。また、含有量が0.1重量%以上となる元素を検出できなかった場合には、含有量が1番目〜3番目に高い元素を検出し、この3種類の元素を主成分情報とする。
次に、ステップs112の処理において、ステップs110の処理で得られた蛍光X線スペクトル解析結果及びステップs111の処理で得られた赤外線スペクトル解析結果を表示装置33に表示する。
次に、ステップs114の処理において、検出部31fは、赤外線スペクトル情報と主成分情報と専用ライブラリとに基づいて、含有量の高い10種類の元素を検出して表示装置33に表示し、さらにその中から含有量の高い3種類の元素を決定する。
次に、ステップs116の処理において、ステップs114の処理で得られた赤外線スペクトル解析結果及びステップs115の処理で得られた蛍光X線スペクトル解析結果を表示装置33に表示する。
10 FTIR(赤外分光光度計)
20 EDX(蛍光X線分析装置)
31a 赤外線スペクトル取得部(赤外線スペクトル取得ステップ)
31b 蛍光X線スペクトル取得部(蛍光X線スペクトル取得ステップ)
31d 判定部(判定ステップ)
S 試料
Claims (6)
- 試料中に含まれる異物としての有機元素を検出する赤外分光光度計および蛍光X線分析装置に接続されるコンピュータ装置を備え、前記試料を解析する異物解析装置であって、
前記赤外分光光度計で測定された前記試料の赤外線スペクトル情報を取得する赤外線スペクトル取得部と、
前記蛍光X線分析装置で測定された前記試料の蛍光X線スペクトル情報を取得する蛍光X線スペクトル取得部と、
前記蛍光X線スペクトル情報中のコンプトン散乱線の強度とレーリー散乱線の強度との比率が1.0以上であるかで、前記試料中に特定の有機元素が含まれるか否かを判定する判定部と、
前記判定部で特定の有機元素が含まれると判定した場合には、前記蛍光X線スペクトル情報に基づいて、前記試料における含有量の高い少なくとも1種類の元素を示す主成分情報を作成する作成部と、
前記赤外線スペクトル情報、前記主成分情報に基づいて、含有量の高いN種類の元素を検出する検出部と、
を含むことを特徴とする異物解析装置。 - さらに、前記蛍光X線スペクトル情報に基づいて、前記検出部で検出されたN種類の元素を前記試料の主成分とし、前記試料中に含まれる元素を定量する定量部を含む請求項1に記載の異物解析装置。
- 前記判定部でC,H,Oを含む有機元素が含まれると判定した場合には、前記作成部は前記蛍光X線スペクトル情報に基づいて、CH 2 Oバランスを用いて含有量の高い少なくとも1種類の元素を示す主成分情報を作成し、
前記判定部でC,H,Oを含む有機元素が含まれていないと判定した場合には、前記作成部は前記蛍光X線スペクトル情報に基づいて、CH 2 Oバランスを用いずに含有量の高い少なくとも1種類の元素を示す主成分情報を作成することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の異物解析装置。 - 観察された前記試料の外観情報を取得する外観情報取得部と、
前記外観情報を関連付けた前記赤外線スペクトル情報と元素情報との関係を示す専用ライブラリを記憶させるメモリとが含まれ、
前記検出部は、取得した外観情報と専用ライブラリとに基づいて前記N種類の元素を検出することを特徴とする請求項3に記載の異物解析装置。 - 前記外観情報は、色、形状及び/又は光沢であることを特徴とする請求項4に記載の異物解析装置。
- 前記メモリには、前記赤外線スペクトル情報における元素情報を示す一般ライブラリが記憶され、
前記検出部は、前記専用ライブラリを用いるか或いは前記一般ライブラリを用いるかが選択されることを特徴とする請求項4または請求項5のいずれかに記載の異物解析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015057291A JP6507757B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | 異物解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015057291A JP6507757B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | 異物解析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016176817A JP2016176817A (ja) | 2016-10-06 |
| JP6507757B2 true JP6507757B2 (ja) | 2019-05-08 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015057291A Active JP6507757B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | 異物解析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6507757B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6638537B2 (ja) | 2016-04-21 | 2020-01-29 | 株式会社島津製作所 | 試料解析システム |
| JP6683111B2 (ja) * | 2016-11-28 | 2020-04-15 | 株式会社島津製作所 | 試料解析システム |
| JP2019032214A (ja) * | 2017-08-07 | 2019-02-28 | 株式会社島津製作所 | 分析装置およびプログラム |
| JP6772989B2 (ja) * | 2017-08-23 | 2020-10-21 | 株式会社島津製作所 | 試料ホルダ |
| CN115372390B (zh) * | 2021-09-18 | 2025-10-24 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种元素信息的确定方法、确定装置及确定系统 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06194319A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-15 | Hitachi Ltd | 試料分析装置および方法 |
| JP4092037B2 (ja) * | 1999-03-05 | 2008-05-28 | 株式会社堀場製作所 | 物質同定装置 |
| JP3965173B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2007-08-29 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光x線分析装置およびそれに用いるプログラム |
| WO2008040119A1 (en) * | 2006-10-02 | 2008-04-10 | Optosecurity Inc. | Tray for assessing the threat status of an article at a security check point |
| JP2010223908A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Shimadzu Corp | 蛍光x線分析方法 |
| JP5718749B2 (ja) * | 2011-07-13 | 2015-05-13 | 日立アロカメディカル株式会社 | 薬剤監査支援装置 |
-
2015
- 2015-03-20 JP JP2015057291A patent/JP6507757B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2016176817A (ja) | 2016-10-06 |
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