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JP6514880B2 - Linear actuator - Google Patents
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JP6514880B2 - Linear actuator - Google Patents

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JP6514880B2 JP2014239172A JP2014239172A JP6514880B2 JP 6514880 B2 JP6514880 B2 JP 6514880B2 JP 2014239172 A JP2014239172 A JP 2014239172A JP 2014239172 A JP2014239172 A JP 2014239172A JP 6514880 B2 JP6514880 B2 JP 6514880B2
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Description

本発明は、磁気駆動機構を備えたリニアアクチュエータに関するものである。   The present invention relates to a linear actuator provided with a magnetic drive mechanism.

リニアアクチュエータとして、可動体を軸線方向に駆動するにあたって、コイルおよび永久磁石を備えた磁気駆動機構を設けるとともに、可動体と固定体との間に薄板状の弾性部材やコイルバネからなる弾性部材を配置した構成が提案されている(特許文献1参照)。   As a linear actuator, in order to drive the movable body in the axial direction, a magnetic drive mechanism provided with a coil and a permanent magnet is provided, and an elastic member consisting of a thin plate elastic member and a coil spring is disposed between the movable body and the fixed body. A configuration that has been proposed is proposed (see Patent Document 1).

特開2006−7161号公報JP, 2006-7161, A 特開2002−78310号公報JP 2002-78310 A

特許文献1に記載の構成のように、可動体の駆動に磁気駆動機構を用い、かつ、弾性部材を可動体と固定体との間に設けた場合、可動体を往復移動させる周波数によっては、共振が発生し、可動体の動作を制御できなくなるという問題点がある。   When a magnetic drive mechanism is used to drive the movable body and the elastic member is provided between the movable body and the fixed body as in the configuration described in Patent Document 1, depending on the frequency at which the movable body reciprocates, There is a problem that resonance occurs and the operation of the movable body can not be controlled.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体の駆動に磁気駆動機構を用い、かつ、バネ部材を可動体に接続した場合でも、可動体の共振を効果的に抑制することのできるリニアアクチュエータを提供することにある。   In view of the above problems, it is an object of the present invention to effectively suppress the resonance of the movable body even when the magnetic drive mechanism is used to drive the movable body and the spring member is connected to the movable body. To provide a linear actuator that can

上記課題を解決するために、本発明に係るリニアアクチュエータは、固定体と、可動体と、前記可動体と前記固定体とに接続され、前記固定体に対して前記可動体を軸線方向に移動可能に支持するバネ部材と、前記可動体を前記軸線方向に駆動する磁気駆動機構と、前記固定体と前記可動体との間に配置されたゲル状ダンパー部材と、を有し、前記可動体の重心位置と前記可動体に対する前記バネ部材の接続位置とが前記軸線方向において離間しており、前記ゲル状ダンパー部材は、前記可動体の中心軸線上の位置、および前記中心軸線を囲む位置の少なくとも一方に配置され、前記固定体は、前記中心軸線上で延在する支軸を備え、前記可動体は、前記中心軸線上で延在して前記支軸が内側に位置する軸穴を備え、前記ゲル状ダンパー部材は、前記支軸の外周面と前記軸穴の内周面との間に筒状に配置されていることを特徴とする。また、上記課題を解決するために、本発明に係るリニアアクチュエータは、固定体と、可動体と、前記可動体と前記固定体とに接続され、前記固定体に対して前記可動体を軸線方向に移動可能に支持するバネ部材と、前記可動体を前記軸線方向に駆動する磁気駆動機構と、前記固定体と前記可動体との間に配置されたゲル状ダンパー部材と、を有し、前記可動体の重心位置と前記可動体に対する前記バネ部材の接続位置とが前記軸線方向において離間しており、前記ゲル状ダンパー部材は、前記可動体および前記固定体の双方に固定されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a linear actuator according to the present invention is connected to a fixed body, a movable body, the movable body and the fixed body, and axially moves the movable body with respect to the fixed body. A movable member, a magnetic drive mechanism for driving the movable body in the axial direction, and a gel-like damper member disposed between the fixed body and the movable body; The center of gravity of the body and the connection position of the spring member with respect to the movable body are separated in the axial direction, and the gel-like damper member is positioned on the central axis of the movable body and a position surrounding the central axis The fixed body includes a pivot extending on the central axis, and the movable body includes an axial hole extending on the central axis and the pivot is positioned inside The gel-like damper member , Characterized in that it is arranged in a cylindrical shape between the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the shaft hole of the support shaft. Further, in order to solve the above problems, a linear actuator according to the present invention is connected to a fixed body, a movable body, the movable body, and the fixed body, and the movable body is axially moved relative to the fixed body. A spring member movably supporting the magnetic body, a magnetic drive mechanism for driving the movable body in the axial direction, and a gel-like damper member disposed between the fixed body and the movable body, The center of gravity of the movable body and the connecting position of the spring member with respect to the movable body are separated in the axial direction, and the gel-like damper member is fixed to both the movable body and the fixed body. It features.

本発明では、可動体の駆動に磁気駆動機構を用い、かつ、バネ部材を可動体および固定体との間に接続してあるため、磁気駆動機構による推進力とバネ部材の付勢力とを利用して、可動体を軸線方向に駆動することができる。このような構成でも、本発明では、固定体と可動体との間にゲル状ダンパー部材が設けられているため、可動体の共振を抑制することができる。また、可動体の重心位置と可動体に対するバネ部材の接続位置とが軸線方向において離間しているため、可動体に傾き振動が発生したときでも、バネ部材には径方向に変位する力が加わる。このため、可動体の傾き振動が小さく済むので、可動体の傾き振動に起因する可動体と固定体との衝突に起因する異音の発生や信頼性の低下を抑制することができる。また、ゲル状ダンパー部材は、可動体の中心軸線上の位置、および中心軸線を囲む位置の少なくとも一方に配置されているので、可動体の共振を効果的に抑制することができる。あるいは、ゲル状ダンパー部材は、可動体および固定体の双方に固定されているので、可動体の移動に伴ってゲル状ダンパー部材が移動することを防止することができる。また、ゲル状ダンパー部材が設けられている部分において、可動体が固定体から離間する方向に移動した場合でも、かかる移動に追従してゲル状ダンパー部材が変形し、可動体の共振を効果的に抑制することができる。 In the present invention, since the magnetic drive mechanism is used to drive the movable body and the spring member is connected between the movable body and the fixed body, the propulsive force of the magnetic drive mechanism and the biasing force of the spring member are used. Thus, the movable body can be driven in the axial direction. Even in such a configuration, in the present invention, since the gel damper member is provided between the fixed body and the movable body, the resonance of the movable body can be suppressed. In addition, since the center of gravity of the movable body and the connection position of the spring member with respect to the movable body are separated in the axial direction, even when tilt vibration occurs in the movable body, a radially displacing force is applied to the spring member. . For this reason, since the tilt vibration of the movable body can be reduced, it is possible to suppress the generation of abnormal noise and the decrease in reliability due to the collision between the movable body and the fixed body caused by the tilt vibration of the movable body. Further, since the gel-like damper member is disposed at least one of the position on the central axis of the movable body and the position surrounding the central axis, the resonance of the movable body can be effectively suppressed. Alternatively, since the gel-like damper member is fixed to both the movable body and the fixed body, the gel-like damper member can be prevented from moving with the movement of the movable body. In addition, in the portion where the gel-like damper member is provided, even when the movable body moves in the direction of separating from the fixed body, the gel-like damper member is deformed following the movement to effectively resonate the movable body. Can be suppressed.

本発明において、前記バネ部材は、前記軸線方向に沿う方向に板厚方向を向けた板状バネ部材であって、前記固定体に連結された固定体側連結部と、前記可動体に連結された可動体側連結部と、前記固定体側連結部と前記可動体側連結部とに接続されたアーム部と、を備えている構成を採用することができる。かかる構成によれば、バネ部材が軸線方向で占める部位が狭く済む。また、可動体に傾き振動が発生したとき、バネ部材のアーム部に
は、径方向に変位しようとする力が加わるが、アーム部の径方向への変位に対する共振周波数が高い。このため、可動体に傾き振動が発生したときでも、共振が発生しにくい。それ故、可動体の傾き振動が小さいので、可動体の傾き振動に起因する可動体と固定体との衝突に起因する異音の発生や信頼性の低下を抑制することができる。
In the present invention, the spring member is a plate-like spring member whose thickness direction is directed in the direction along the axial direction, and a fixed body side connecting portion connected to the fixed body and the movable body are connected. A configuration provided with a movable body side connection portion and an arm portion connected to the fixed body side connection portion and the movable body side connection portion can be adopted. According to this configuration, the portion occupied by the spring member in the axial direction can be narrowed. Further, when tilt vibration occurs in the movable body, a force to displace in the radial direction is applied to the arm portion of the spring member, but the resonance frequency with respect to the displacement in the radial direction of the arm portion is high. For this reason, even when tilt vibration occurs in the movable body, resonance does not easily occur. Therefore, since the tilt vibration of the movable body is small, it is possible to suppress the generation of abnormal noise and the decrease in reliability due to the collision between the movable body and the fixed body caused by the tilt vibration of the movable body.

本発明において、前記磁気駆動機構は、前記可動体に設けられた永久磁石と、前記固定体に設けられ、前記永久磁石に径方向で対向するコイルと、を備えている構成を採用することができる。   In the present invention, it is preferable that the magnetic drive mechanism includes a permanent magnet provided on the movable body, and a coil provided on the fixed body and radially opposed to the permanent magnet. it can.

本発明において、前記固定体は、前記可動体に対して前記軸線方向で対向する固定体側対向部を備え、前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸線方向において前記固定体側対向部と前記可動体との間に配置されていることが好ましい。   In the present invention, the fixed body includes a fixed body side facing portion that faces the movable body in the axial direction, and the gel-like damper member is configured to have the fixed body side facing portion and the movable body in the axial direction. It is preferable that it is arrange | positioned between.

本発明において、前記可動体は、前記中心軸線上で前記固定体側対向部に向かって突出した軸部を備え、前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸線方向において前記軸部の前記固定体側対向部側の端面と前記固定体側対向部との間に配置されている構成を採用することができる。   In the present invention, the movable body includes a shaft portion protruding toward the fixed body side facing portion on the central axis, and the gel-like damper member is configured to face the fixed body side facing portion of the shaft portion in the axial direction. The structure arrange | positioned between the end surface of the said, and the said fixed body side opposing part is employable.

本発明において、前記ゲル状ダンパー部材は、前記中心軸線を囲む3個所に配置されている構成を採用してもよい。   In the present invention, the gel-like damper members may be arranged at three positions surrounding the central axis.

本発明において、前記ゲル状ダンパー部材は、例えば、シリコーンゲルからなる。   In the present invention, the gel-like damper member is made of, for example, silicone gel.

本発明において、前記ゲル状ダンパー部材は、針入度が90度から110度であることが好ましい。かかる構成によれば、ゲル状ダンパー部材は、ダンパー機能を発揮するのに十分な弾性を有するとともに、ゲル状ダンパー部材が破断して飛散するような事態が発生しにくい。   In the present invention, preferably, the gel damper member has a penetration of 90 degrees to 110 degrees. According to this configuration, the gel-like damper member has elasticity sufficient to exhibit the damper function, and the gel-like damper member is less likely to break and scatter.

本発明では、可動体の駆動に磁気駆動機構を用い、かつ、バネ部材を可動体および固定体との間に接続してあるため、磁気駆動機構による推進力とバネ部材の付勢力とを利用して、可動体を軸線方向に駆動することができる。このような構成でも、本発明では、固定体と可動体との間にゲル状ダンパー部材が設けられているため、可動体の共振を抑制することができる。また、可動体の重心位置と可動体に対するバネ部材の接続位置とが軸線方向において離間しているため、可動体に傾き振動が発生したときでも、可動体の傾き振動が小さいので、可動体の傾き振動に起因する可動体と固定体との衝突に起因する異音の発生や信頼性の低下を抑制することができる。また、ゲル状ダンパー部材は、可動体の中心軸線上の位置、および中心軸線を囲む位置の少なくとも一方に配置されているので、可動体の共振を効果的に抑制することができる。あるいは、ゲル状ダンパー部材は、可動体および固定体の双方に固定されているので、可動体の移動に伴ってゲル状ダンパー部材が移動することを防止することができる。また、ゲル状ダンパー部材が設けられている部分において、可動体が固定体から離間する方向に移動した場合でも、かかる移動に追従してゲル状ダンパー部材が変形し、可動体の共振を効果的に抑制することができる。
In the present invention, since the magnetic drive mechanism is used to drive the movable body and the spring member is connected between the movable body and the fixed body, the propulsive force of the magnetic drive mechanism and the biasing force of the spring member are used. Thus, the movable body can be driven in the axial direction. Even in such a configuration, in the present invention, since the gel damper member is provided between the fixed body and the movable body, the resonance of the movable body can be suppressed. Further, since the center of gravity of the movable body and the connecting position of the spring member with respect to the movable body are separated in the axial direction, the inclination vibration of the movable body is small even when tilt vibration occurs in the movable body. It is possible to suppress the generation of abnormal noise and the decrease in reliability due to the collision between the movable body and the fixed body caused by the tilt vibration. Further, since the gel-like damper member is disposed at least one of the position on the central axis of the movable body and the position surrounding the central axis, the resonance of the movable body can be effectively suppressed. Alternatively, since the gel-like damper member is fixed to both the movable body and the fixed body, the gel-like damper member can be prevented from moving with the movement of the movable body. In addition, in the portion where the gel-like damper member is provided, even when the movable body moves in the direction of separating from the fixed body, the gel-like damper member is deformed following the movement to effectively resonate the movable body. Can be suppressed.

本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータの説明図である。It is explanatory drawing of the linear actuator which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータを細かく分解した分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which decomposed | disassembled the linear actuator concerning Embodiment 1 of this invention finely. 本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータの断面図である。1 is a cross-sectional view of a linear actuator according to Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータの説明図である。It is explanatory drawing of the linear actuator which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータを細かく分解した分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which decomposed | disassembled the linear actuator concerning Embodiment 2 of this invention finely. 本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the linear actuator concerning Embodiment 2 of this invention.

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、軸線Lとは可動体6の中心軸線であり、軸線Lは可動体6の重心Gを通っている。また、以下の説明では、軸線Lが延在する方向(軸線方向)において、可動体6が位置する側を一方側L1とし、固定体2のベース4が位置する側を他方側L2として説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the axis L is the central axis of the movable body 6, and the axis L passes through the center of gravity G of the movable body 6. In the following description, in the direction (axial direction) in which the axis L extends, the side on which the movable body 6 is positioned is referred to as one side L1, and the side on which the base 4 of the fixed body 2 is positioned is referred to as the other side L2. .

[実施の形態1]
(全体構成)
図1は、本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータの説明図であり、図1(a)、(b)は、リニアアクチュエータの斜視図、およびリニアアクチュエータの分解斜視図である。図2は、本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータを細かく分解した分解斜視図である。図3は、本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータの断面図である。
First Embodiment
(overall structure)
FIG. 1 is an explanatory view of a linear actuator according to Embodiment 1 of the present invention, and FIGS. 1A and 1B are a perspective view of the linear actuator and an exploded perspective view of the linear actuator. FIG. 2 is an exploded perspective view of the linear actuator according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view of the linear actuator according to Embodiment 1 of the present invention.

図1、図2および図3に示すように、本形態のリニアアクチュエータ1は、固定体2と、可動体6と、可動体6と固定体2とに接続されたバネ部材8とを有しており、バネ部材8は、固定体2に対して可動体6を軸線L方向に移動可能に支持している。また、リニアアクチュエータ1は、可動体6を軸線L方向に駆動する磁気駆動機構5を有している。かかるリニアアクチュエータ1は、例えば、携帯電話気等の分野において着信等を振動によって報知するデバイス等として用いられる。   As shown in FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 3, the linear actuator 1 of this embodiment has a fixed body 2, a movable body 6, and a spring member 8 connected to the movable body 6 and the fixed body 2. The spring member 8 supports the movable body 6 movably in the direction of the axis L with respect to the fixed body 2. The linear actuator 1 also has a magnetic drive mechanism 5 for driving the movable body 6 in the direction of the axis L. The linear actuator 1 is used, for example, as a device or the like that reports an incoming call or the like by vibration in a field such as a mobile phone.

(固定体2の構成)
固定体2は、磁気駆動機構5を構成するコイル51が巻回されたコイルボビン3と、軸線L方向の他方側L2(図では下側)でコイルボビン3を保持するベース4とを有している。コイルボビン3は、コイル51が巻回された円筒状の胴部31と、胴部31の両側で拡径するフランジ部32、33と、胴部31から連続してフランジ部33よりベース4が位置する側に向けて突出した突出部35とを備えており、コイルボビン3は、突出部35を介してベース4に連結されている。突出部35には、コイル51の端部が絡げられた端子部361、362が形成されており、端子部361、362において、コイル51の端部が配線基板29に接続されている。
(Configuration of fixed body 2)
The fixed body 2 has a coil bobbin 3 around which a coil 51 constituting the magnetic drive mechanism 5 is wound, and a base 4 for holding the coil bobbin 3 on the other side L2 in the direction of the axis L (the lower side in the figure). . The coil bobbin 3 has a cylindrical body 31 around which a coil 51 is wound, flanges 32 and 33 expanding in diameter on both sides of the body 31, and the base 4 continuously from the flange 31 from the body 31 The coil bobbin 3 is connected to the base 4 via the projecting portion 35. The protruding portions 35 are provided with terminal portions 361 and 362 in which the end portions of the coil 51 are tangled, and in the terminal portions 361 and 362, the end portions of the coil 51 are connected to the wiring substrate 29.

ベース4は、略円盤状であり、配線基板29が配置される切り欠き49が形成されている。ベース4の軸線L方向の一方側L1(図では上側)の面には、軸線L上に位置する中央に円形の第1凹部41が形成されているとともに、軸線Lを囲むように第2凹部42が形成されている。本形態において、第2凹部42は、軸線Lを囲むように周方向の3箇所に等角度間隔に形成されており、3つの第2凹部42は、軸線Lからの距離(第1凹部41からの距離)が等しい。   The base 4 has a substantially disk shape, and a notch 49 in which the wiring board 29 is disposed is formed. A circular first recess 41 is formed in the center located on the axis L on the surface on one side L1 (upper side in the figure) of the axis L direction of the base 4 and a second recess is formed to surround the axis L 42 are formed. In the present embodiment, the second recesses 42 are formed at equal angular intervals at three locations in the circumferential direction so as to surround the axis L, and the three second recesses 42 are separated from the axis L (from the first recess 41 Distance is equal.

かかる第1凹部41および第2凹部42は、後述するゲル状ダンパー部材9(第1ゲル状ダンパー部材91および第2ゲル状ダンパー部材92)を配置するための凹部である。   The first concave portion 41 and the second concave portion 42 are concave portions for arranging a gel damper member 9 (a first gel damper member 91 and a second gel damper member 92) which will be described later.

(可動体6の構成)
可動体6は、磁気駆動機構5を構成する永久磁石53の中央穴530に嵌ったシャフト63と、永久磁石53を覆うヨーク67とを有しており、シャフト63は、可動体6の中心軸線(軸線L)上で軸線L方向に延在している。ヨーク67は、軸線L方向の一方側L1で永久磁石53に当接する円板状の端板部671と、端板部671の外縁から軸線L方向の他方側L2に延在する円筒状の筒部672とを有しており、筒部672は、永久磁石53の外周面に所定の間隔をあけて永久磁石53を径方向外側で覆っている。本形態において、可動体6は、筒部672の内周面および端板部671の軸線L方向の他方側L2に接着等の方法で固定された円環状のスペーサ65を有している。
(Configuration of movable body 6)
The movable body 6 has a shaft 63 fitted in the central hole 530 of the permanent magnet 53 constituting the magnetic drive mechanism 5 and a yoke 67 covering the permanent magnet 53. The shaft 63 has a central axis of the movable body 6. It extends in the direction of the axis L on (axis L). The yoke 67 has a disk-shaped end plate portion 671 that contacts the permanent magnet 53 on one side L1 in the axis L direction, and a cylindrical tube extending from the outer edge of the end plate 671 to the other side L2 in the axis L direction. The cylindrical portion 672 covers the permanent magnet 53 radially outward at a predetermined interval on the outer peripheral surface of the permanent magnet 53. In the present embodiment, the movable body 6 has an annular spacer 65 fixed to the inner peripheral surface of the cylindrical portion 672 and the other side L2 in the direction of the axis L of the end plate portion 671 by a method such as adhesion.

ヨーク67の端板部671の中央には、軸線L方向の他方側L2に凹んだ円形の凹部674が形成され、かかる凹部674の中央には穴675が形成されている。   A circular recess 674 is formed in the center of the end plate portion 671 of the yoke 67 on the other side L2 in the direction of the axis L, and a hole 675 is formed in the center of the recess 674.

本形態では、シャフト63の軸線L方向の一方側L1の端部は、穴675に嵌った状態で周方向の複数個所S1で溶接され、かかる溶接によって、シャフト63とヨーク67とが連結されている。   In this embodiment, the end of one side L1 in the direction of the axis L of the shaft 63 is welded at a plurality of circumferential positions S1 in a state of being fitted in the hole 675, and the shaft 63 and the yoke 67 are connected by such welding. There is.

また、可動体6は、永久磁石53の軸線L方向の他方側L2で中央穴530の周りに当接するワッシャ66を有しており、シャフト63の軸線L方向の他方側L2の端部は、周方向の複数個所S2でワッシャ66の軸線L方向の他方側L2の面と溶接されている。その結果、永久磁石53は、ワッシャ66とヨーク67の端板部671との間に固定されている。   Further, the movable body 6 has a washer 66 that abuts around the central hole 530 on the other side L2 in the direction of the axis L of the permanent magnet 53, and the end of the other side L2 in the direction of the axis L of the shaft 63 is The washer 66 is welded to the surface of the other side L2 in the direction of the axis L at a plurality of circumferential positions S2. As a result, the permanent magnet 53 is fixed between the washer 66 and the end plate portion 671 of the yoke 67.

本形態において、永久磁石53は、軸線L方向において円板状のコア538を両側から挟む2つの磁石片531、532からなる。   In this embodiment, the permanent magnet 53 is composed of two magnet pieces 531 and 532 sandwiching the disc-shaped core 538 from both sides in the direction of the axis L.

可動体6は、軸線L方向の他方側L2の端部にカバー61を有している。カバー61は、円形の底板部611と、底板部611の外縁から軸線L方向の一方側L1に突出した側板部612とを有している。底板部611は、コイルボビン3のフランジ部33と、ベース4との間に位置する。このため、底板部611には、コイルボビン3の突出部35を軸線L方向の一方側L1に突出させる開口部613が形成されている。また、底板部611には、ベース4の第2凹部42と重なる3個所に凹部614が形成されている。   The movable body 6 has a cover 61 at an end of the other side L2 in the direction of the axis L. The cover 61 has a circular bottom plate portion 611, and a side plate portion 612 projecting from the outer edge of the bottom plate portion 611 to one side L1 in the direction of the axis L. The bottom plate portion 611 is located between the flange portion 33 of the coil bobbin 3 and the base 4. For this reason, the bottom plate portion 611 is formed with an opening 613 that allows the protrusion 35 of the coil bobbin 3 to protrude on one side L1 in the direction of the axis L. Further, in the bottom plate portion 611, concave portions 614 are formed at three locations overlapping with the second concave portions 42 of the base 4.

(バネ部材8の構成)
バネ部材8は、固定体2に連結された固定体側連結部81と、可動体6に連結された可動体側連結部82と、固定体側連結部81と可動体側連結部82とに接続された複数本のアーム部83とを備えた板状バネ部材であり、軸線Lに沿う方向に板厚方向を向けている。本形態において、可動体側連結部82は、円環状であり、固定体側連結部81およびアーム部83より径方向外側に位置する。固定体側連結部81は、周方向で3つに分割されており、3つの固定体側連結部81の各々からアーム部83が周方向に延在している。かかる3つの固定体側連結部81はいずれも、コイルボビン3のフランジ部33の軸線L方向の他方側L2の面に接着や溶接等の方法により連結されている。
(Configuration of spring member 8)
The spring member 8 is connected to the fixed body side connecting portion 81 connected to the fixed body 2, the movable body side connecting portion 82 connected to the movable body 6, and a plurality connected to the fixed body side connecting portion 81 and the movable body side connecting portion 82. It is a plate-like spring member provided with a book arm portion 83, and has a thickness direction oriented in a direction along the axis L. In the present embodiment, the movable body side connection portion 82 is annular, and is positioned radially outward of the fixed body side connection portion 81 and the arm portion 83. The fixed body side connecting portion 81 is divided into three in the circumferential direction, and an arm portion 83 extends in the circumferential direction from each of the three fixed body side connecting portions 81. All of these three fixed body side connection parts 81 are connected to the surface of the other side L 2 in the direction of the axis L of the flange part 33 of the coil bobbin 3 by a method such as adhesion or welding.

本形態において、可動体側連結部82は、カバー61の側板部612とヨーク67の筒部672の他方側L2の端部との間に挟まれており、周方向の複数個所S3での溶接により、カバー61およびヨーク67に連結されている。   In the present embodiment, the movable body side connection portion 82 is sandwiched between the side plate portion 612 of the cover 61 and the end of the other side L2 of the cylindrical portion 672 of the yoke 67, and welding at a plurality of locations S3 in the circumferential direction. , The cover 61 and the yoke 67.

カバー61の側板部612とヨーク67の筒部672とを溶接して結合した状態で、シャフト63の軸線L方向の他方側L2の端部は、可動体6(カバー61)から軸線L方向の他方側L2(ベース4の側)に突出する軸部631を構成し、軸部631の軸線L方向の他方側L2の端面630(ベース4側の端面630)は、ベース4の第1凹部41に対して軸線L方向の一方側L1で対向する。   In a state in which the side plate portion 612 of the cover 61 and the cylindrical portion 672 of the yoke 67 are welded and coupled, the end of the other side L2 of the shaft 63 in the axis L direction is from the movable body 6 (cover 61) in the axis L direction. The shaft portion 631 that protrudes on the other side L 2 (the side of the base 4) is configured, and the end surface 630 (the end surface 630 on the base 4 side) of the other side L 2 in the axis L direction of the shaft portion 631 Against one side L1 in the direction of the axis L.

このように構成したバネ部材8(板状バネ部材)のアーム部83では、可動体6の径方向への変位に対するバネ定数が、可動体6の軸線L方向への変位に対するバネ定数より大である。このため、バネ部材8のアーム部83では、可動体6の径方向への変位に対する共振周波数が、可動体6の軸線L方向への変位に対する共振周波数より高い。   In the arm portion 83 of the spring member 8 (plate-like spring member) configured in this manner, the spring constant for the displacement of the movable body 6 in the radial direction is larger than the spring constant for the displacement of the movable body 6 in the axis L direction. is there. Therefore, in the arm portion 83 of the spring member 8, the resonance frequency with respect to the displacement of the movable body 6 in the radial direction is higher than the resonance frequency with respect to the displacement of the movable body 6 in the axis L direction.

(可動体6の重心Gと可動体6に対するバネ部材8の接続位置Cとの位置関係)
本形態のリニアアクチュエータ1において、可動体6では、シャフト63が永久磁石53の中央穴530に嵌っているとともに、ヨーク67の端板部671が軸線L方向の一方側L1で永久磁石53に当接している。また、可動体6では、ヨーク67の筒部672にカバー61が接続されている。このため、可動体6の重心G(図3参照)は、軸線L上において、シャフト63の軸線L方向の中央より一方側L1に位置する。その結果、可動体6の重心Gは、磁気駆動機構5の軸線L方向の磁気的中心(永久磁石53の軸線L方向の中心位置、コア538の位置)より軸線L方向の一方側L1に位置する。ここで、バネ部材8の可動体側連結部82は、カバー61の側板部612とヨーク67の筒部672の他方側L2の端部との間に挟まれている。このため、バネ部材8の可動体6への接続位置C(図3参照)は、可動体6の重心Gに対して軸線L方向において他方側L2に位置しており、可動体6の重心Gの位置と可動体6に対するバネ部材8の接続位置Cとが軸線L方向において離間している。
(Positional relationship between the center of gravity G of the movable body 6 and the connection position C of the spring member 8 with respect to the movable body 6)
In the linear actuator 1 of this embodiment, in the movable body 6, the shaft 63 is fitted in the central hole 530 of the permanent magnet 53, and the end plate portion 671 of the yoke 67 is in contact with the permanent magnet 53 on one side L1 in the axis L direction. I am in touch. In the movable body 6, the cover 61 is connected to the cylindrical portion 672 of the yoke 67. Therefore, the center of gravity G (see FIG. 3) of the movable body 6 is located on the axis L on the one side L1 from the center in the direction of the axis L of the shaft 63. As a result, the center of gravity G of the movable body 6 is positioned on one side L1 in the direction of the axis L from the magnetic center in the direction of the axis L of the magnetic drive mechanism 5 (center position in the direction of the axis L of the permanent magnet 53, position of the core 538). Do. Here, the movable body side connection portion 82 of the spring member 8 is sandwiched between the side plate portion 612 of the cover 61 and the end of the other side L 2 of the cylindrical portion 672 of the yoke 67. Therefore, the connection position C (see FIG. 3) of the spring member 8 to the movable body 6 is located on the other side L2 in the direction of the axis L with respect to the gravity center G of the movable body 6 And the connection position C of the spring member 8 with respect to the movable body 6 are separated in the direction of the axis L.

(ゲル状ダンパー部材9の構成)
本形態のリニアアクチュエータ1において、固定体2と可動体6との間にはゲル状ダンパー部材9が配置されている。かかるゲル状ダンパー部材9は、軸線L上の位置、および軸線Lを囲む位置の少なくとも一方において固定体2と可動体6との間に配置されている。本形態においては、軸線L上の位置、および軸線Lを囲む位置の双方において固定体2と可動体6との間にはゲル状ダンパー部材9が配置されている。
(Configuration of gel-like damper member 9)
In the linear actuator 1 of the present embodiment, a gel-like damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6. The gel-like damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6 at least at one of the position on the axis L and the position surrounding the axis L. In the present embodiment, the gel-like damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6 both at the position on the axis L and at the position surrounding the axis L.

より具体的には、固定体2において、ベース4は、可動体6に対して軸線L方向の他方側L2で対向する固定体側対向部になっており、軸線L方向において、ベース4と可動体6との間にはゲル状ダンパー部材9が配置されている。   More specifically, in the fixed body 2, the base 4 is a fixed body side facing portion facing the movable body 6 on the other side L 2 in the axis L direction, and the base 4 and the movable body are in the axis L direction. A gel-like damper member 9 is disposed between the two.

本形態においては、まず、ベース4の第1凹部41には、ゲル状ダンパー部材9として、円柱状の第1ゲル状ダンパー部材91が配置されており、かかる第1ゲル状ダンパー部材91は、軸線L上で可動体6から突出するシャフト63の軸部631の端面630とベース4との間に位置する。このため、第1ゲル状ダンパー部材91は、軸線L方向においてバネ部材8の接続位置Cに対して重心Gとは反対側に配置されている。第1ゲル状ダンパー部材91は、軸線L方向の一方側L1の面がシャフト63の端面630に接着剤により固定され、他方側L2の面は、ベース4の第1凹部41の底部に接着剤により固定されている。   In the present embodiment, first, the columnar first gel-like damper member 91 is disposed as the gel-like damper member 9 in the first concave part 41 of the base 4, and the first gel-like damper member 91 is It is located between the end surface 630 of the shaft portion 631 of the shaft 63 protruding from the movable body 6 on the axis L and the base 4. For this reason, the first gel-like damper member 91 is disposed on the opposite side to the center of gravity G with respect to the connection position C of the spring member 8 in the direction of the axis L. In the first gel-like damper member 91, the surface on one side L1 in the direction of the axis L is fixed to the end surface 630 of the shaft 63 with an adhesive, and the surface on the other side L2 is an adhesive on the bottom of the first recess 41 of the base 4. It is fixed by.

また、ベース4の3つの第2凹部42には、ゲル状ダンパー部材9として、円柱状の第2ゲル状ダンパー部材92が各々、配置されており、第2ゲル状ダンパー部材92は、軸線L方向において、可動体6のカバー61とベース4との間に位置する。このため、第2ゲル状ダンパー部材92は、軸線L方向においてバネ部材8の接続位置Cに対して重心G
とは反対側に配置されている。
Further, in the three second recesses 42 of the base 4, cylindrical second gel-like damper members 92 are disposed as the gel-like damper members 9 respectively, and the second gel-like damper members 92 have the axis L In the direction, it is located between the cover 61 of the movable body 6 and the base 4. Therefore, the second gel-like damper member 92 has a center of gravity G with respect to the connection position C of the spring member 8 in the direction of the axis L.
And is located on the opposite side.

かかる第2ゲル状ダンパー部材92は、軸線Lを囲むように配置されている。より具体的には、ベース4の第2凹部42は、軸線L周りの3個所に等角度間隔に形成されており、第2ゲル状ダンパー部材92は、軸線L周りの3個所に等角度間隔に配置されている。第2ゲル状ダンパー部材92は、軸線L方向の一方側L1の面がカバー61において凹部614が形成されている箇所の裏面側に接着され、他方側L2の面は、ベース4の第2凹部42の底部に接着されている。   The second gel-like damper member 92 is disposed to surround the axis L. More specifically, the second recesses 42 of the base 4 are formed at equal angular intervals at three points around the axis L, and the second gel-like damper members 92 are equally spaced at three points around the axis L Is located in The second gel-like damper member 92 has a surface on one side L1 in the direction of the axis L bonded to the back side of the portion of the cover 61 where the recess 614 is formed, and the surface on the other side L2 is the second recess in the base 4 Bonded to the bottom of 42.

本形態において、ゲル状ダンパー部材9は、針入度が90度から110度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されているように、25℃で9.38gの総荷重をかけた1/4コーンの針が5秒間に入り込む深さを1/10mm単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。   In the present embodiment, the gel-like damper member 9 is made of silicone gel having a penetration of 90 degrees to 110 degrees. The penetration degree is a depth in which a 1/4 cone needle with a total load of 9.38 g at 25 ° C. enters in 5 seconds as defined in JIS-K-2207 or JIS-K-2220. Is a value expressed in 1/10 mm units, and the smaller the value is, the harder it is.

(動作)
本形態のリニアアクチュエータ1において、コイル51への通電を休止している期間、可動体6は、可動体6の質量とバネ部材8の保持力(付勢力)とが釣り合った原点位置にある。この状態で、コイル51に通電すると、可動体6は、磁気駆動機構5によって推進力を受け、バネ部材8の付勢力に抗して、軸線L方向の一方側L1に移動する。その際の移動量は、コイル51に供給される電流値と、バネ部材8の付勢力とによって規定される。そして、コイル51への通電を停止すると、バネ部材8の付勢力によって、原点位置に戻る。従って、コイル51への通電を断続的に行うと、可動体6は、軸線L方向で往復移動を繰り返す。
(Operation)
In the linear actuator 1 of the present embodiment, the movable body 6 is at the origin position where the mass of the movable body 6 and the holding force (biasing force) of the spring member 8 are balanced while the energization of the coil 51 is stopped. In this state, when the coil 51 is energized, the movable body 6 receives a propulsive force by the magnetic drive mechanism 5 and moves to one side L1 in the direction of the axis L against the biasing force of the spring member 8. The amount of movement at that time is defined by the value of the current supplied to the coil 51 and the biasing force of the spring member 8. Then, when the energization of the coil 51 is stopped, the biasing force of the spring member 8 returns to the home position. Therefore, when energization of the coil 51 is performed intermittently, the movable body 6 repeats reciprocating movement in the direction of the axis L.

また、コイル51に対して一定の電流を供給すると、可動体6は、コイル51に供給された電流値とバネ部材8の付勢力とによって規定された位置で停止する。   Also, when a constant current is supplied to the coil 51, the movable body 6 stops at a position defined by the current value supplied to the coil 51 and the biasing force of the spring member 8.

(本形態の主な効果)
本形態のリニアアクチュエータ1において、可動体6を往復移動させる際の周波数によっては、可動体6が、可動体6の質量とバネ部材8のバネ定数に対応する周波数で共振することがあるが、本形態では、固定体2のベース4(固定体側対向部)と可動体6のカバー61との間にゲル状ダンパー部材9(第1ゲル状ダンパー部材91および第2ゲル状ダンパー部材92)が設けられており、かかるゲル状ダンパー部材90は、可動体6の移動に追従して変形しながら可動体6の振動を吸収する。このため、可動体6の共振を抑制することができる。
(Main effects of this form)
In the linear actuator 1 of the present embodiment, the movable body 6 may resonate at a frequency corresponding to the mass of the movable body 6 and the spring constant of the spring member 8 depending on the frequency at which the movable body 6 reciprocates. In the present embodiment, the gel-like damper members 9 (first gel-like damper member 91 and second gel-like damper member 92) are disposed between the base 4 (fixed-body-side facing part) of the fixed body 2 and the cover 61 of the movable body 6. The gel-like damper member 90 is provided, and absorbs the vibration of the movable body 6 while being deformed following the movement of the movable body 6. For this reason, the resonance of the movable body 6 can be suppressed.

また、本形態のリニアアクチュエータ1においては、可動体6の重心Gの位置と可動体6に対するバネ部材8の接続位置Cとが軸線L方向において離間している。このため、可動体6を軸線L方向に振動させた際、可動体6に作用する推力と可動体6の重心Gとのずれに起因して、可動体6において図3に矢印R1で示す傾き振動が発生したときでも、バネ部材8のアーム部83には、径方向に変位しようとする力が加わり、軸線L方向に変位しようとする力が小さい。ここで、バネ部材8のアーム部83では、可動体6の径方向への変位に対する共振周波数が、可動体6の軸線L方向への変位に対する共振周波数より高いため、可動体6に傾き振動が発生したときでも、共振が発生しにくい。それ故、可動体6の傾き振動が小さいので、可動体6の傾き振動に起因する可動体6と固定体2との衝突に起因する異音の発生や信頼性の低下を抑制することができる。   Further, in the linear actuator 1 of the present embodiment, the position of the center of gravity G of the movable body 6 and the connection position C of the spring member 8 with respect to the movable body 6 are separated in the axial line L direction. Therefore, when the movable body 6 is vibrated in the direction of the axis L, the inclination shown by the arrow R1 in FIG. 3 in the movable body 6 due to the deviation between the thrust acting on the movable body 6 and the center of gravity G of the movable body 6 Even when vibration occurs, a force to displace in the radial direction is applied to the arm portion 83 of the spring member 8, and the force to displace in the direction of the axis L is small. Here, in the arm portion 83 of the spring member 8, the resonance frequency with respect to the displacement of the movable body 6 in the radial direction is higher than the resonance frequency with respect to the displacement of the movable body 6 in the axis L direction. Even when it occurs, it is difficult for resonance to occur. Therefore, since the tilt vibration of the movable body 6 is small, it is possible to suppress the generation of abnormal noise caused by the collision between the movable body 6 and the fixed body 2 caused by the tilt vibration of the movable body 6 and the reduction in reliability. .

また、ゲル状ダンパー部材9のうち、第1ゲル状ダンパー部材91は、可動体6の中心軸線(軸線L)上の位置に設けられ、第2ゲル状ダンパー部材92は、可動体6の中心軸線(軸線L)を囲む3個所に設けられている。このため、ゲル状ダンパー部材9は、可動
体6の共振を効果的に抑制することができる。
Further, among the gel-like damper members 9, the first gel-like damper member 91 is provided at a position on the central axis (axis line L) of the movable body 6, and the second gel-like damper member 92 is the center of the movable body 6. It is provided in three places surrounding the axis (axis L). For this reason, the gel-like damper member 9 can effectively suppress the resonance of the movable body 6.

また、ゲル状ダンパー部材9(第1ゲル状ダンパー部材91および第2ゲル状ダンパー部材92)は、可動体6および固定体2の双方に固定されている。このため、可動体6の移動に伴ってゲル状ダンパー部材9が移動することを防止することができる。また、ゲル状ダンパー部材9が設けられている部分において、可動体6が固定体2から離間する方向に移動した場合でも、かかる移動に追従してゲル状ダンパー部材9が変形し、可動体6の共振を効果的に抑制することができる。   Further, the gel damper member 9 (the first gel damper member 91 and the second gel damper member 92) is fixed to both the movable body 6 and the fixed body 2. For this reason, it is possible to prevent the gel damper member 9 from moving with the movement of the movable body 6. Further, even when the movable body 6 moves in the direction of separating from the fixed body 2 at the portion where the gel-like damper member 9 is provided, the gel-like damper member 9 deforms following such movement, and the movable body 6 Resonance can be effectively suppressed.

また、ゲル状ダンパー部材9は、針入度が90度から110度である。このため、ゲル状ダンパー部材9は、ダンパー機能を発揮するのに十分な弾性を有するとともに、ゲル状ダンパー部材9が破断して飛散するような事態が発生しにくい。   In addition, the gel damper member 9 has a penetration of 90 degrees to 110 degrees. Therefore, the gel-like damper member 9 has sufficient elasticity to exhibit the damper function, and the gel-like damper member 9 is less likely to break and scatter.

また、本形態において、バネ部材8は板状バネ部材であるため、バネ部材8が軸線L方向で占める部位が狭く済む。   Further, in the present embodiment, since the spring member 8 is a plate-like spring member, the portion occupied by the spring member 8 in the direction of the axis L can be narrowed.

[実施の形態1の変形例]
上記実施の形態1では、第1ゲル状ダンパー部材91および第2ゲル状ダンパー部材92の双方を設けたが、いずれか一方のみを設けてもよい。
[Modification of Embodiment 1]
In the first embodiment, both the first gel damper member 91 and the second gel damper member 92 are provided, but only one of them may be provided.

また、上記実施の形態1では、第2ゲル状ダンパー部材92を周方向の3個所に設けたが、4個所以上に設けてもよい。また、第2ゲル状ダンパー部材92を円環状に設けてもよい。   Moreover, in the said Embodiment 1, although the 2nd gel-like damper member 92 was provided in three places of the circumferential direction, you may provide in four or more places. In addition, the second gel-like damper member 92 may be provided in an annular shape.

[実施の形態2]
(全体構成)
図4は、本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータの説明図であり、図2(a)、(b)は、リニアアクチュエータの斜視図、およびリニアアクチュエータの分解斜視図である。図5は、本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータを細かく分解した分解斜視図である。図6は、本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータの断面図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してある。
Second Embodiment
(overall structure)
FIG. 4 is an explanatory view of a linear actuator according to a second embodiment of the present invention, and FIGS. 2 (a) and 2 (b) are a perspective view of the linear actuator and an exploded perspective view of the linear actuator. FIG. 5 is an exploded perspective view of the linear actuator according to the second embodiment of the present invention. FIG. 6 is a cross-sectional view of a linear actuator according to Embodiment 2 of the present invention. The basic configuration of this embodiment is the same as that of the first embodiment, and therefore the same reference numerals are given to the common parts.

図4、図5および図6に示すように、本形態のリニアアクチュエータ1は、固定体2と、可動体6と、可動体6と固定体2とに接続されたバネ部材8とを有しており、バネ部材8は、固定体2に対して可動体6を軸線L方向に移動可能に支持している。また、リニアアクチュエータ1は、可動体6を軸線L方向に駆動する磁気駆動機構5を有している。   As shown in FIG. 4, FIG. 5 and FIG. 6, the linear actuator 1 of this embodiment has a fixed body 2, a movable body 6, and a spring member 8 connected to the movable body 6 and the fixed body 2. The spring member 8 supports the movable body 6 movably in the direction of the axis L with respect to the fixed body 2. The linear actuator 1 also has a magnetic drive mechanism 5 for driving the movable body 6 in the direction of the axis L.

(固定体2の構成)
固定体2は、磁気駆動機構5を構成するコイル51が巻回されたコイルボビン3と、軸線L方向の他方側L2でコイルボビン3を保持するベース4とを有している。コイルボビン3は、コイル51が巻回された円筒状の胴部31と、胴部31の両側で拡径するフランジ部32、33と、胴部31から連続してフランジ部33よりベース4が位置する側に向けて突出した突出部35とを備えており、コイルボビン3は、突出部35を介してベース4に連結されている。突出部35には、コイル51の端部が絡げられた端子部361、362が形成されており、端子部361、362において、コイル51の端部が配線基板29に接続されている。
(Configuration of fixed body 2)
The fixed body 2 has a coil bobbin 3 around which a coil 51 constituting the magnetic drive mechanism 5 is wound, and a base 4 for holding the coil bobbin 3 on the other side L2 in the direction of the axis L. The coil bobbin 3 has a cylindrical body 31 around which a coil 51 is wound, flanges 32 and 33 expanding in diameter on both sides of the body 31, and the base 4 continuously from the flange 31 from the body 31 The coil bobbin 3 is connected to the base 4 via the projecting portion 35. The protruding portions 35 are provided with terminal portions 361 and 362 in which the end portions of the coil 51 are tangled, and in the terminal portions 361 and 362, the end portions of the coil 51 are connected to the wiring substrate 29.

ベース4は、略円盤状であり、配線基板29が配置される切り欠き49が形成されている。本形態において、固定体2は、ベース4から軸線L方向の一方側L1に突出して軸線
L上で延在する支軸45を備えている。支軸45は、軸線L方向の他方側L2に位置する固定部453と、固定部453の軸線L方向の一方側L1で拡径するフランジ部452と、フランジ部452から軸線L方向の一方側L1に突出した支持部451とを有しており、支持部451は、固定部453より太い。支持部451は、可動体6を支持する部分であり、固定部453は、ベース4に保持される部分である。具体的には、ベース4の中央部には凹部44が形成されており、凹部44の底部の中央には、固定部453が嵌め込み固定された穴46が形成されている。固定部453が穴46に嵌った状態で、フランジ部452は、ベース4の凹部44の底部に当接する。なお、ベース4には凹部44の周りに円環状のリブ状突部43が形成されている。
The base 4 has a substantially disk shape, and a notch 49 in which the wiring board 29 is disposed is formed. In the present embodiment, the fixed body 2 includes a support shaft 45 which protrudes from the base 4 to one side L1 in the direction of the axis L and extends on the axis L. The support shaft 45 has a fixing portion 453 located on the other side L2 in the axis L direction, a flange portion 452 whose diameter is enlarged on one side L1 in the axis L direction of the fixing portion 453, and one side in the axis L direction from the flange portion 452 The support portion 451 protrudes to L 1, and the support portion 451 is thicker than the fixing portion 453. The support portion 451 is a portion that supports the movable body 6, and the fixed portion 453 is a portion that is held by the base 4. Specifically, a recess 44 is formed in the central portion of the base 4, and a hole 46 in which the fixing portion 453 is fitted and fixed is formed in the center of the bottom of the recess 44. With the fixing portion 453 fitted in the hole 46, the flange portion 452 abuts on the bottom of the recess 44 of the base 4. An annular rib-like protrusion 43 is formed around the recess 44 in the base 4.

(可動体6の構成)
可動体6は、磁気駆動機構5を構成する永久磁石53の中央穴530に嵌った筒状スリーブ68と、永久磁石53を覆うヨーク67とを有している。筒状スリーブ68は、円筒状であり、軸線L方向に貫通する穴によって、可動体6には、支軸45が内側に位置する軸穴69が形成されている。筒状スリーブ68は、可動体6の中心軸線(軸線L)上で軸線L方向に延在している。ヨーク67は、軸線L方向の一方側L1で永久磁石53に当接する円板状の端板部671と、端板部671の外縁から軸線L方向の他方側L2に延在する円筒状の筒部672とを有しており、筒部672は、永久磁石53の外周面に所定の間隔をあけて永久磁石53を径方向外側で覆っている。本形態において、可動体6は、筒部672の内周面および端板部671の軸線L方向の他方側L2に接着等の方法で固定された円環状のスペーサ65を有している。
(Configuration of movable body 6)
The movable body 6 has a cylindrical sleeve 68 fitted in the central hole 530 of the permanent magnet 53 constituting the magnetic drive mechanism 5 and a yoke 67 covering the permanent magnet 53. The cylindrical sleeve 68 is cylindrical, and a hole penetrating in the direction of the axis L is formed in the movable body 6 so as to form an axial hole 69 in which the support shaft 45 is positioned inside. The cylindrical sleeve 68 extends in the direction of the axis L on the central axis (axis L) of the movable body 6. The yoke 67 has a disk-shaped end plate portion 671 that contacts the permanent magnet 53 on one side L1 in the axis L direction, and a cylindrical tube extending from the outer edge of the end plate 671 to the other side L2 in the axis L direction. The cylindrical portion 672 covers the permanent magnet 53 radially outward at a predetermined interval on the outer peripheral surface of the permanent magnet 53. In the present embodiment, the movable body 6 has an annular spacer 65 fixed to the inner peripheral surface of the cylindrical portion 672 and the other side L2 in the direction of the axis L of the end plate portion 671 by a method such as adhesion.

ヨーク67の端板部671の中央には穴675が形成されている。筒状スリーブ68の軸線L方向の一方側L1の端部は、穴675に嵌った状態で周方向の複数個所S1で溶接され、かかる溶接によって、筒状スリーブ68とヨーク67とが連結されている。   A hole 675 is formed at the center of the end plate portion 671 of the yoke 67. The end of one side L1 of the cylindrical sleeve 68 in the direction of the axis L is welded at a plurality of circumferential positions S1 in a state of being fitted in the hole 675, and the cylindrical sleeve 68 and the yoke 67 are connected by such welding. There is.

また、可動体6は、永久磁石53の軸線L方向の他方側L2で中央穴530の周りに当接するワッシャ66を有しており、筒状スリーブ68の軸線L方向の他方側L2の端部は、周方向の複数個所S12でワッシャ66の軸線L方向の他方側L2の面と溶接されている。その結果、永久磁石53は、ワッシャ66とヨーク67の端板部671との間に固定されている。   The movable body 6 also has a washer 66 that abuts around the central hole 530 on the other side L2 in the direction of the axis L of the permanent magnet 53, and the end of the other side L2 in the direction of the axis L of the cylindrical sleeve 68 Is welded to the surface of the other side L2 in the direction of the axis L of the washer 66 at a plurality of points S12 in the circumferential direction. As a result, the permanent magnet 53 is fixed between the washer 66 and the end plate portion 671 of the yoke 67.

本形態において、永久磁石53は、軸線L方向において円板状のコア538を両側から挟む2つの磁石片531、532からなる。   In this embodiment, the permanent magnet 53 is composed of two magnet pieces 531 and 532 sandwiching the disc-shaped core 538 from both sides in the direction of the axis L.

また、可動体6は、軸線L方向の他方側L2の端部にカバー61を有している。カバー61は、円形の底板部611と、底板部611の外縁から軸線L方向の一方側L1に突出した側板部612とを有している。ここで、底板部611は、コイルボビン3のフランジ部33と、ベース4との間に位置する。このため、底板部611には、コイルボビン3の突出部35を軸線L方向の一方側L1に突出させる開口部613が形成されている。また、底板部611には凹部614が2個所に形成されている。   The movable body 6 also has a cover 61 at an end of the other side L2 in the direction of the axis L. The cover 61 has a circular bottom plate portion 611, and a side plate portion 612 projecting from the outer edge of the bottom plate portion 611 to one side L1 in the direction of the axis L. Here, the bottom plate portion 611 is located between the flange portion 33 of the coil bobbin 3 and the base 4. For this reason, the bottom plate portion 611 is formed with an opening 613 that allows the protrusion 35 of the coil bobbin 3 to protrude on one side L1 in the direction of the axis L. Further, in the bottom plate portion 611, concave portions 614 are formed in two places.

(バネ部材8の構成)
バネ部材8は、実施の形態1と同様、固定体2に連結された固定体側連結部81と、可動体6に連結された可動体側連結部82と、固定体側連結部81と可動体側連結部82とに接続された複数本のアーム部83とを備えた板状バネ部材であり、軸線Lに沿う方向に板厚方向を向けている。本形態において、可動体側連結部82は、円環状であり、固定体側連結部81およびアーム部83より径方向外側に位置する。固定体側連結部81は、周方向で3つに分割されており、3つの固定体側連結部81の各々からアーム部83が周方向に延在している。かかる3つの固定体側連結部81はいずれも、コイルボビン3のフラ
ンジ部33の軸線L方向の他方側L2の面に接着や溶接等の方法により連結されている。
(Configuration of spring member 8)
Similar to the first embodiment, the spring member 8 includes the fixed body side connecting portion 81 connected to the fixed body 2, the movable body side connecting portion 82 connected to the movable body 6, the fixed body side connecting portion 81 and the movable body side connecting portion 82 is a plate-like spring member provided with a plurality of arm portions 83 connected to and 82, and the plate thickness direction is oriented in the direction along the axis L. In the present embodiment, the movable body side connection portion 82 is annular, and is positioned radially outward of the fixed body side connection portion 81 and the arm portion 83. The fixed body side connecting portion 81 is divided into three in the circumferential direction, and an arm portion 83 extends in the circumferential direction from each of the three fixed body side connecting portions 81. All of these three fixed body side connection parts 81 are connected to the surface of the other side L 2 in the direction of the axis L of the flange part 33 of the coil bobbin 3 by a method such as adhesion or welding.

本形態において、可動体側連結部82は、カバー61の側板部612とヨーク67の筒部672との間に挟まれており、周方向の複数個所S13での溶接により、カバー61およびヨーク67に連結されている。   In the present embodiment, the movable body side connection portion 82 is sandwiched between the side plate portion 612 of the cover 61 and the cylindrical portion 672 of the yoke 67 and is welded to the cover 61 and the yoke 67 by welding at multiple locations S13 in the circumferential direction. It is connected.

このように構成したバネ部材8(板状バネ部材)のアーム部83では、可動体6の径方向への変位に対するバネ定数が、可動体6の軸線L方向への変位に対するバネ定数より大である。このため、バネ部材8のアーム部83では、可動体6の径方向への変位に対する共振周波数が、可動体6の軸線L方向への変位に対する共振周波数より高い。   In the arm portion 83 of the spring member 8 (plate-like spring member) configured in this manner, the spring constant for the displacement of the movable body 6 in the radial direction is larger than the spring constant for the displacement of the movable body 6 in the axis L direction. is there. Therefore, in the arm portion 83 of the spring member 8, the resonance frequency with respect to the displacement of the movable body 6 in the radial direction is higher than the resonance frequency with respect to the displacement of the movable body 6 in the axis L direction.

(可動体6の重心Gと可動体6に対するバネ部材8の接続位置Cとの位置関係)
本形態のリニアアクチュエータ1において、可動体6では、筒状スリーブ68が永久磁石53の中央穴530に嵌っているとともに、ヨーク67の端板部671が軸線L方向の一方側L1で永久磁石53に当接している。また、可動体6では、ヨーク67の筒部672にカバー61が接続されている。このため、可動体6の重心G(図6参照)は、軸線L上において、筒状スリーブ68の軸線L方向の中央より一方側L1に位置する。その結果、可動体6の重心Gは、磁気駆動機構5の軸線L方向の磁気的中心(永久磁石53の軸線L方向の中心位置、コア538の位置)より軸線L方向の一方側L1に位置する。ここで、バネ部材8の可動体側連結部82は、カバー61の側板部612とヨーク67の筒部672の他方側L2の端部との間に挟まれている。このため、バネ部材8の可動体6への接続位置C(図6参照)は、可動体6の重心Gに対して軸線L方向において他方側L2に位置しており、可動体6の重心Gの位置と可動体6に対するバネ部材8の接続位置Cとが軸線L方向において離間している。
(Positional relationship between the center of gravity G of the movable body 6 and the connection position C of the spring member 8 with respect to the movable body 6)
In the linear actuator 1 of this embodiment, in the movable body 6, the cylindrical sleeve 68 is fitted in the central hole 530 of the permanent magnet 53, and the end plate portion 671 of the yoke 67 is permanent magnet 53 on one side L1 in the axis L direction. In contact with In the movable body 6, the cover 61 is connected to the cylindrical portion 672 of the yoke 67. Therefore, the center of gravity G (see FIG. 6) of the movable body 6 is located on the axis L on one side L1 from the center in the direction of the axis L of the cylindrical sleeve 68. As a result, the center of gravity G of the movable body 6 is positioned on one side L1 in the direction of the axis L from the magnetic center in the direction of the axis L of the magnetic drive mechanism 5 (center position in the direction of the axis L of the permanent magnet 53, position of the core 538). Do. Here, the movable body side connection portion 82 of the spring member 8 is sandwiched between the side plate portion 612 of the cover 61 and the end of the other side L 2 of the cylindrical portion 672 of the yoke 67. Therefore, the connection position C (see FIG. 6) of the spring member 8 to the movable body 6 is located on the other side L2 in the direction of the axis L with respect to the gravity center G of the movable body 6 And the connection position C of the spring member 8 with respect to the movable body 6 are separated in the direction of the axis L.

(ゲル状ダンパー部材9の構成)
本形態のリニアアクチュエータ1において、固定体2と可動体6との間にはゲル状ダンパー部材9が配置されている。かかるゲル状ダンパー部材9は、軸線L上の位置、および軸線Lを囲む位置の少なくとも一方において固定体2と可動体6との間に配置されている。本形態においては、軸線Lを囲む位置において固定体2と可動体6との間にゲル状ダンパー部材9が配置されている。
(Configuration of gel-like damper member 9)
In the linear actuator 1 of the present embodiment, a gel-like damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6. The gel-like damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6 at least at one of the position on the axis L and the position surrounding the axis L. In the present embodiment, the gel damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6 at a position surrounding the axis L.

より具体的には、可動体6の軸穴69の内径は、固定体2の支軸45より大であり、軸穴69の内周面と支軸45の外周面とは、隙間を介して配置されている。すなわち、可動体6の軸穴69に固定体2の支軸45を挿入した状態で、軸穴69の内周面と支軸45の外周面との間には円筒状の空間が形成されており、本形態では、かかる空間を埋めるように、ゲル状ダンパー部材9が配置されている。このため、ゲル状ダンパー部材9は、円筒状のゲル状ダンパー部材90からなり、軸線Lを囲むように配置されている。   More specifically, the inner diameter of the shaft hole 69 of the movable body 6 is larger than the support shaft 45 of the fixed body 2, and the inner peripheral surface of the shaft hole 69 and the outer peripheral surface of the support shaft 45 are separated by a gap. It is arranged. That is, in a state in which the support shaft 45 of the fixed body 2 is inserted into the shaft hole 69 of the movable body 6, a cylindrical space is formed between the inner peripheral surface of the shaft hole 69 and the outer peripheral surface of the support shaft 45 In the present embodiment, the gel-like damper member 9 is disposed so as to fill the space. For this reason, the gel-like damper member 9 is composed of a cylindrical gel-like damper member 90 and is disposed so as to surround the axis L.

本形態において、ゲル状ダンパー部材90は、外周面が軸穴69の内周面に接着剤により固定され、内周面が支軸45の支持部451の外周面に接着剤により固定されている。ここで、ゲル状ダンパー部材90は、軸線L方向の寸法が支軸45の支持部451より短い。このため、ゲル状ダンパー部材90に対して軸線L方向の一方側L1および他方側L2の双方が空き空間になっている。   In the present embodiment, the gel damper member 90 has an outer peripheral surface fixed to the inner peripheral surface of the shaft hole 69 by an adhesive and an inner peripheral surface fixed to the outer peripheral surface of the support portion 451 of the support shaft 45 by an adhesive. . Here, the dimension of the gel-like damper member 90 in the direction of the axis L is shorter than that of the support 451 of the support shaft 45. Therefore, both the one side L1 and the other side L2 in the direction of the axis L with respect to the gel-like damper member 90 are empty spaces.

本形態において、ゲル状ダンパー部材9(ゲル状ダンパー部材90)は、針入度が90度から110度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されているように、25℃で9.38gの総荷重をかけた1/4コーンの針が5秒間に入り込む深さを1/10mm単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。   In the present embodiment, the gel damper member 9 (gel damper member 90) is made of silicone gel having a penetration of 90 degrees to 110 degrees. The penetration degree is a depth in which a 1/4 cone needle with a total load of 9.38 g at 25 ° C. enters in 5 seconds as defined in JIS-K-2207 or JIS-K-2220. Is a value expressed in 1/10 mm units, and the smaller the value is, the harder it is.

(動作)
本形態のリニアアクチュエータ1においても、実施の形態1と同様、コイル51への通電を休止している期間、可動体6は、可動体6の質量とバネ部材8の保持力(付勢力)とが釣り合った原点位置にある。この状態で、コイル51に通電すると、可動体6は、磁気駆動機構5によって推進力を受け、バネ部材8の付勢力に抗して、軸線L方向の一方側L1に移動する。その際の移動量は、コイル51に供給される電流値と、バネ部材8の付勢力とによって規定される。そして、コイル51への通電を停止すると、バネ部材8の付勢力によって、原点位置に戻る。従って、コイル51への通電を断続的に行うと、可動体6は、軸線L方向で往復移動を繰り返す。
(Operation)
Also in the linear actuator 1 of the present embodiment, as in the first embodiment, the movable body 6 holds the mass of the movable body 6 and the holding force (biasing force) of the spring member 8 during a period in which the coil 51 is deenergized. Is at the balanced origin position. In this state, when the coil 51 is energized, the movable body 6 receives a propulsive force by the magnetic drive mechanism 5 and moves to one side L1 in the direction of the axis L against the biasing force of the spring member 8. The amount of movement at that time is defined by the value of the current supplied to the coil 51 and the biasing force of the spring member 8. Then, when the energization of the coil 51 is stopped, the biasing force of the spring member 8 returns to the home position. Therefore, when energization of the coil 51 is performed intermittently, the movable body 6 repeats reciprocating movement in the direction of the axis L.

また、コイル51に対して一定の電流を供給すると、可動体6は、コイル51に供給された電流値とバネ部材8の付勢力とによって規定された位置で停止する。   Also, when a constant current is supplied to the coil 51, the movable body 6 stops at a position defined by the current value supplied to the coil 51 and the biasing force of the spring member 8.

(本形態の主な効果)
本形態のリニアアクチュエータ1において、可動体6を往復移動させる際の周波数によっては、可動体6が、可動体6の質量とバネ部材8のバネ定数に対応する周波数で共振することがあるが、本形態では、固定体2の支軸45と可動体6の筒状スリーブ68との間にゲル状ダンパー部材9(ゲル状ダンパー部材90)が設けられており、かかるゲル状ダンパー部材90は、可動体6の移動に追従して変形しながら可動体6の振動を吸収する。このため、可動体6の共振を抑制することができる。
(Main effects of this form)
In the linear actuator 1 of the present embodiment, the movable body 6 may resonate at a frequency corresponding to the mass of the movable body 6 and the spring constant of the spring member 8 depending on the frequency at which the movable body 6 reciprocates. In the present embodiment, the gel-like damper member 9 (gel-like damper member 90) is provided between the support shaft 45 of the fixed body 2 and the cylindrical sleeve 68 of the movable body 6. The vibration of the movable body 6 is absorbed while being deformed following the movement of the movable body 6. For this reason, the resonance of the movable body 6 can be suppressed.

また、本形態のリニアアクチュエータ1においても、実施の形態1と同様、可動体6の重心Gの位置と可動体6に対するバネ部材8の接続位置Cとが軸線L方向において離間している。このため、可動体6に傾き振動が発生したときでも、共振が発生しにくい。それ故、可動体6の傾き振動が小さいので、可動体6の傾き振動に起因する可動体6と固定体2との衝突に起因する異音の発生や信頼性の低下を抑制することができる。   Further, also in the linear actuator 1 of the present embodiment, as in the first embodiment, the position of the center of gravity G of the movable body 6 and the connection position C of the spring member 8 with respect to the movable body 6 are separated in the axis L direction. For this reason, even when tilt vibration occurs in the movable body 6, resonance does not easily occur. Therefore, since the tilt vibration of the movable body 6 is small, it is possible to suppress the generation of abnormal noise caused by the collision between the movable body 6 and the fixed body 2 caused by the tilt vibration of the movable body 6 and the reduction in reliability. .

また、ゲル状ダンパー部材9(ゲル状ダンパー部材90)は、可動体6の中心軸線(軸線L)を囲む円筒状である。このため、ゲル状ダンパー部材9は、可動体6の振動を効果的に吸収し、共振を抑制することができる。   Further, the gel-like damper member 9 (gel-like damper member 90) has a cylindrical shape surrounding the central axis (axis L) of the movable body 6. For this reason, the gel-like damper member 9 can effectively absorb the vibration of the movable body 6 and suppress the resonance.

また、ゲル状ダンパー部材9(ゲル状ダンパー部材90)は、可動体6および固定体2の双方に固定されている。このため、可動体6の移動に伴ってゲル状ダンパー部材9が移動することを防止することができる。   Further, the gel-like damper member 9 (gel-like damper member 90) is fixed to both the movable body 6 and the fixed body 2. For this reason, it is possible to prevent the gel damper member 9 from moving with the movement of the movable body 6.

また、本形態において、バネ部材8は板状バネ部材であるため、バネ部材8が軸線L方向で占める部位が狭く済む。   Further, in the present embodiment, since the spring member 8 is a plate-like spring member, the portion occupied by the spring member 8 in the direction of the axis L can be narrowed.

[その他の実施の形態]
上記実施の形態では、ゲル状ダンパー部材9を接着剤により固定した構造を採用したが、ゲル状ダンパー部材9を形成するための前駆体を設けた後、前駆体をゲル化させ、ゲル状ダンパー部材9自身の接着力によって、ゲル状ダンパー部材9を固定してもよい。例えば、実施の形態2ではゲル状ダンパー部材9を形成するためのUV硬化性の前駆体を設けた後、前駆体にUVを照射してゲル化させ、ゲル状ダンパー部材9自身の接着力によって、ゲル状ダンパー部材9を固定してもよい。
[Other Embodiments]
In the above embodiment, a structure in which the gel-like damper member 9 is fixed by an adhesive is adopted, but after providing a precursor for forming the gel-like damper member 9, the precursor is gelled to obtain a gel-like damper The gel-like damper member 9 may be fixed by the adhesive force of the member 9 itself. For example, in the second embodiment, after providing a UV curable precursor for forming the gel-like damper member 9, the precursor is irradiated with UV to be gelled, and the adhesive force of the gel-like damper member 9 itself The gel-like damper member 9 may be fixed.

上記実施の形態では、ゲル状ダンパー部材9が軸線L方向において可動体6に対するバネ部材8の接続位置Cに対して重心Gとは反対側に配置されていたが、軸線L方向において可動体6に対するバネ部材8の接続位置Cに対して重心Gとは同一の側にゲル状ダンパ
ー部材9が配置されていてもよい。
In the above embodiment, the gel-like damper member 9 is disposed on the opposite side of the center of gravity G with respect to the connection position C of the spring member 8 with respect to the movable body 6 in the axis L direction. The gel damper member 9 may be disposed on the same side as the center of gravity G with respect to the connection position C of the spring member 8 with respect to the above.

上記実施の形態では、磁気駆動機構5において、可動体6に設けられた永久磁石53に、固定体2に設けられたコイル51が径方向外側で対向していたが、可動体6に設けられたコイル51に、固定体2に設けられた永久磁石53が径方向外側で対向しているリニアアクチュエータ1に本発明を適用してもよい。   In the above embodiment, in the magnetic drive mechanism 5, the coil 51 provided in the fixed body 2 is opposed to the permanent magnet 53 provided in the movable body 6 at the radially outer side, but the coil 51 is provided in the movable body 6 The present invention may be applied to the linear actuator 1 in which the permanent magnet 53 provided on the fixed body 2 is opposed to the coil 51 in the radial direction outer side.

上記実施の形態では、可動体6および固定体2に対してゲル状ダンパー部材9を接着により固定したが、可動体6および固定体2に対してゲル状ダンパー部材9を嵌め込み、溶着、焼き付け等、接着以外の方法により固定してもよい。   In the above embodiment, the gel-like damper member 9 is fixed to the movable body 6 and the fixed body 2 by adhesion, but the gel-like damper member 9 is fitted to the movable body 6 and the fixed body 2 It may be fixed by methods other than adhesion.

1・・リニアアクチュエータ、2・・固定体、3・・スリーブ(固定体)、4・・ベース(固定体、固定体側対向部)、5・・磁気駆動機構、6・・可動体、8・・バネ部材、9、90・・ゲル状ダンパー部材、45・・支軸(固定体)、61・・カバー(可動体)、63・・シャフト(可動体)、66・・ワッシャ(可動体)、67・・ヨーク(可動体)、68・・筒状スリーブ(可動体)、69・・軸穴、81・・固定体側連結部、82・・可動体側連結部、83・・アーム部、91・・第1ゲル状ダンパー部材、92・・第2ゲル状ダンパー部材、630・・シャフトの端面、631・・シャフトの軸部、671・・端板部、672・・筒部、C・・接続位置、G・・重心、L・・軸線 1 · · Linear actuator, 2 · · · Fixed body, · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · magnetic drive mechanism, 6 · · · movable body, 8 · · · · Spring member 9, 90 · · Gel-like damper member 45 · · Support shaft (fixed body) 61 · · Cover (movable body) 63 · · · Shaft (movable body) 66 · · · Washer (movable body) , · · · · · · · · · · · · · · · · · · · Yoke (movable body), 68 · · · cylindrical sleeve (movable body), 69 · · shaft hole, 81 · · · · · · · · · · · · · · · · 82 · · · · · · · · · · · · · · · First gel-like damper member, 92 · · second gel-like damper member, 630 · · · end face of shaft · 631 · · shaft portion of shaft · 671 · · · end plate portion 672 · · · · · · · · · · · · · · · · Connection position, G · · · Center of gravity, L · · Axis line

Claims (9)

固定体と、
可動体と、
前記可動体と前記固定体とに接続され、前記固定体に対して前記可動体を軸線方向に移動可能に支持するバネ部材と、
前記可動体を前記軸線方向に駆動する磁気駆動機構と、
前記固定体と前記可動体との間に配置されたゲル状ダンパー部材と、
を有し、
前記可動体の重心位置と前記可動体に対する前記バネ部材の接続位置とが前記軸線方向において離間しており、
前記ゲル状ダンパー部材は、前記可動体の中心軸線上の位置、および前記中心軸線を囲む位置の少なくとも一方に配置され、
前記固定体は、前記中心軸線上で延在する支軸を備え、
前記可動体は、前記中心軸線上で延在して前記支軸が内側に位置する軸穴を備え、
前記ゲル状ダンパー部材は、前記支軸の外周面と前記軸穴の内周面との間に筒状に配置されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
Fixed body,
Movable body,
A spring member connected to the movable body and the fixed body and supporting the movable body so as to be movable in the axial direction with respect to the fixed body;
A magnetic drive mechanism for driving the movable body in the axial direction;
A gel-like damper member disposed between the fixed body and the movable body;
Have
The center of gravity of the movable body and the connection position of the spring member with respect to the movable body are separated in the axial direction ,
The gel-like damper member is disposed at least one of a position on a central axis of the movable body and a position surrounding the central axis.
The fixed body includes a pivot extending on the central axis,
The movable body is provided with an axial hole which extends on the central axis and in which the support shaft is positioned inside;
The linear actuator characterized in that the gel-like damper member is cylindrically disposed between the outer peripheral surface of the support shaft and the inner peripheral surface of the shaft hole .
固定体と、
可動体と、
前記可動体と前記固定体とに接続され、前記固定体に対して前記可動体を軸線方向に移動可能に支持するバネ部材と、
前記可動体を前記軸線方向に駆動する磁気駆動機構と、
前記固定体と前記可動体との間に配置されたゲル状ダンパー部材と、
を有し、
前記可動体の重心位置と前記可動体に対する前記バネ部材の接続位置とが前記軸線方向において離間しており、
前記ゲル状ダンパー部材は、前記可動体および前記固定体の双方に固定されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
Fixed body,
Movable body,
A spring member connected to the movable body and the fixed body and supporting the movable body so as to be movable in the axial direction with respect to the fixed body;
A magnetic drive mechanism for driving the movable body in the axial direction;
A gel-like damper member disposed between the fixed body and the movable body;
Have
The center of gravity of the movable body and the connection position of the spring member with respect to the movable body are separated in the axial direction,
The gel-like damper member is characterized and to Brighter near actuator that is fixed to both the movable body and the fixed body.
前記バネ部材は、前記軸線方向に沿う方向に板厚方向を向けた板状バネ部材であって、前記固定体に連結された固定体側連結部と、前記可動体に連結された可動体側連結部と、
前記固定体側連結部と前記可動体側連結部とに接続されたアーム部と、を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のリニアアクチュエータ。
The spring member is a flat spring member whose thickness direction is directed in a direction along the axial direction, and a fixed body side connection portion connected to the fixed body and a movable body side connection portion connected to the movable body When,
Linear actuator according to claim 1 or 2, characterized in that it comprises a, an arm portion that is connected to the fixed body side connecting portion and the movable body side connection portion.
前記磁気駆動機構は、前記可動体に設けられた永久磁石と、前記固定体に設けられ、前記永久磁石に径方向で対向するコイルと、を備えていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。 The magnetic drive mechanism, a permanent magnet provided on said movable member, provided on the fixed body, according to claim 1 to 3, characterized in that it comprises a coil which faces radially to the permanent magnet The linear actuator according to any one of the above. 前記固定体は、前記可動体に対して前記軸線方向で対向する固定体側対向部を備え、
前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸線方向において前記固定体側対向部と前記可動体との間に配置されていることを特徴とする請求項4に記載のリニアアクチュエータ。
The fixed body includes a fixed body side facing portion facing the movable body in the axial direction,
The linear actuator according to claim 4, wherein the gel-like damper member is disposed between the fixed body side facing portion and the movable body in the axial direction.
前記可動体は、前記中心軸線上で前記固定体側対向部に向かって突出した軸部を備え、
前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸線方向において前記軸部の前記固定体側対向部側の端面と前記固定体側対向部との間に配置されていることを特徴とする請求項5に記載のリニアアクチュエータ。
The movable body includes a shaft portion protruding toward the fixed body side facing portion on the central axis line,
The linear actuator according to claim 5, wherein the gel-like damper member is disposed between the end face of the shaft portion facing the fixed body side and the fixed body side facing portion in the axial direction. .
前記ゲル状ダンパー部材は、前記中心軸線を囲む3個所に配置されていることを特徴とする請求項5に記載のリニアアクチュエータ。   The linear actuator according to claim 5, wherein the gel-like damper members are arranged at three positions surrounding the central axis. 前記ゲル状ダンパー部材は、シリコーンゲルからなることを特徴とする請求項1乃至の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。 The linear actuator according to any one of claims 1 to 7 , wherein the gel-like damper member is made of silicone gel. 前記ゲル状ダンパー部材は、針入度が90度から110度であることを特徴とする請求項1乃至の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。 The linear actuator according to any one of claims 1 to 8 , wherein the gel damper member has a penetration of 90 degrees to 110 degrees.
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