JP6522476B2 - 搬送機構 - Google Patents

Description

本発明は、ウェーハ処理装置に対してウェーハを搬送する搬送機構に関する。

半導体ウェーハに切削工程又は研削工程等の一連の加工を施す際には、複数枚（例えば、２５枚）のウェーハがカセットに収容されて、カセット単位でウェーハが搬送されている（例えば、特許文献１参照）。研削装置では、表面に保護テープが貼着された複数枚のウェーハがカセットに収容されており、カセットから取り出されたウェーハが研削された後に別のカセットに収容される。一方で切削装置では、ダイシングテープを介して環状フレームに支持された状態で複数枚のウェーハがカセットに収容されており、カセットから取り出されたウェーハが切削された後に元のカセットに戻される。

特開平９−０２７５４３号公報

特許文献１に記載の搬送機構では、複数枚のウェーハが収容されたカセットから１枚ずつウェーハが取り出されて研削装置や切削装置で加工されている。このため、後段の工程で次のカセットが投入可能な待機状態になっていても、前段の工程でカセット内の全てのウェーハの加工が完了していない場合には、無駄な待機時間が発生して非効率であるという問題があった。この問題は、カセットの搬送を工程間で自動化しても避けることが難しい。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ウェーハ処理装置の無駄な待機時間を削減することができる搬送機構を提供することを目的とする。

本発明の搬送機構は、平行に向かい合った２つの平坦面及び該平坦面に対して直交する方向に向かい合った２つの平坦面の４つの平坦面を外周に有する環状フレームの開口部に粘着テープを介してウェーハを支持して構成されるウェーハユニットを、ウェーハ処理装置間において搬送するための搬送機構であって、上方に開口し該ウェーハユニットを収容する収容トレーと、該収容トレーを支持してウェーハ処理装置間を移送する移送手段と、から構成され、該収容トレーは、該環状フレームの外形と同サイズに上方に開口した挿入口及び該挿入口から挿入したウェーハユニットの該環状フレームを載置する載置部を有する収容トレー本体と、該収容トレー本体の該挿入口に対向して配設された第１の位置決めローラー及び該第１の位置決めローラーの対向方向に直交する方向に対向して配設された第２の位置決めローラーと、から構成され、ウェーハユニットがウェーハ処理装置の搬送アームにより上方から該挿入口へ挿入されると該環状フレームの４つの該平坦面が該第１及び第２の位置決めローラーにより位置決めされ、該環状フレームが該収容トレー本体の該載置部上に載置されて収容され、該移送手段によりウェーハ処理装置間をウェーハ１枚毎に搬送することを特徴とする。

この構成によれば、収容トレーの挿入口からウェーハユニットが挿入されると、ウェーハの周囲の環状フレームが載置部上に載置されると共に、環状フレームが第１及び第２の位置決めローラーによって前後左右に位置決めされる。そして、収容トレーによって位置決めされた状態で移送手段によってウェーハ処理装置間で１枚毎にウェーハが搬送される。このため、ウェーハ処理装置側でウェーハユニットの搬送時の高精度な位置決めが不要となって簡易な装置構成にすることができる。また、ウェーハ処理装置間でウェーハユニットが１枚毎に連続して搬送されるため、カセット単位でウェーハユニットを搬送する場合のように後段のウェーハ処理装置の待機時間が長くなることが無く、後段のウェーハ処理装置の待機時間を最小限にすることができる。よって、無駄な待機時間を削減して生産効率を向上することができる。

また上記搬送機構において、該ウェーハよりも小径の小径ウェーハを小径環状フレームの開口部に粘着テープを介して支持して構成される小径ウェーハユニットをウェーハ処理装置間において搬送するための搬送機構であって、該収容トレー本体は、該挿入口の内側に形成された該小径環状フレームを挿入するための該小径環状フレームの第２の挿入口及び該第２の挿入口から挿入した小径ウェーハユニットの小径環状フレームを載置する第２の載置部を有し、該収容トレーは、該第２の挿入口に対向して配設された第３の位置決めローラー及び第３の位置決めローラーの対向方向に直交する方向に対向して配設された第４の位置決めローラーを備え、該移送手段によりウェーハ処理装置間を小径ウェーハ１枚毎に搬送する。

本発明によれば、ウェーハユニットが位置決めされた状態で１枚毎に搬送されるため、ウェーハ処理装置の無駄な待機時間を削減して生産効率を向上することができる。また、ウェーハの搬送時の高精度な位置決めが不要になって装置構成を簡略化することができる。

第１の実施の形態のウェーハ処理システムの模式図である。 第１の実施の形態のウェーハ処理装置及び搬送機構の斜視図である。 第１の実施の形態の収容トレーの模式図である。 第１の実施の形態のウェーハユニットの抜け止め構造の説明図である。 第１の実施の形態の収容トレーへのウェーハユニットの収容動作の説明図である。 第２の実施の形態の収容トレーの模式図である。

以下、添付図面を参照して、第１の実施の形態について説明する。図１は、第１の実施の形態のウェーハ処理システムの模式図である。なお、以下に示すウェーハ処理システムは一例を示すものであり、この構成に限定されない。ウェーハ処理システムは、本実施の形態の搬送機構によってウェーハ処理装置間でウェーハを搬送可能であれば、適宜変更されてもよい。

図１に示すように、ウェーハ処理システム１は、複数のウェーハ処理装置２Ａ−２Ｄに搬送機構３によってウェーハＷ（ウェーハユニットＷＵ）が搬送され、各ウェーハ処理装置２Ａ−２ＤでウェーハＷを加工している。本実施の形態では、ウェーハ処理装置２Ａがハーフカット用の第１の切削装置、ウェーハ処理装置２Ｂがフルカット用の第２の切削装置、ウェーハ処理装置２ＣがＵＶ照射器、ウェーハ処理装置２Ｄがダイボンダでそれぞれ構成されている。なお、ウェーハ処理装置２は、上記した切削装置、ＵＶ照射器、ダイボンダに限定されず、ウェーハＷに加工を施す装置であればよい。

ウェーハＷの表面は格子状の分割予定ラインで区画され、区画された各領域に各種デバイスが形成されている。なお、ウェーハＷは、シリコン、ガリウム砒素等の半導体基板に半導体デバイスが形成された半導体ウェーハでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア系の無機材料基板に光デバイスが形成された光デバイスウェーハでもよい。また、ウェーハＷは半導体デバイス形成前の半導体基板や光デバイス形成前の無機材料基板でもよい。ウェーハＷは、粘着テープＴを介して環状フレームＦに支持されたウェーハユニットＷＵとして複数のウェーハ処理装置２Ａ−２Ｄ間で搬送される。

ところで、一般的なウェーハ処理システムでは、複数枚のウェーハユニットＷＵがカセットに収容されており、カセット単位で複数枚のウェーハユニットＷＵがウェーハ処理装置に搬送される。しかしながら、ウェーハ処理装置の種類毎にウェーハＷに対する加工に要する時間が異なっており、前後のウェーハ処理装置で同時にウェーハＷに対する加工が完了するわけではない。例えば、後段のウェーハ処理装置でカセット内の全てのウェーハＷの加工が完了していても、前段のウェーハ処理装置でカセット内の全てのウェーハＷの加工が完了していなければ、後段のウェーハ処理装置にカセットが搬送されない。

このため、後段のウェーハ処理装置には無駄な待機時間が発生する。オペレータが前段のウェーハ処理装置で完了したウェーハＷを後段のウェーハ処理装置に搬送して待機時間を短くすることもできるが、オペレータの負担が大きくなる。そこで、複数枚のウェーハユニットＷＵをカセットで一度に搬送する代わりに、本実施の形態の搬送機構３では収容トレー４０に１枚のウェーハユニットＷＵを収容して、加工が終わったウェーハユニットＷＵから移送手段５０で１枚ずつ搬送して後段のウェーハ処理装置の待機時間を削減している。このとき、収容トレー４０にはウェーハユニットＷＵが位置決め状態で収容され、ウェーハユニットＷＵの搬送時の高精度な位置決めを不要にして装置構成を簡略化している。

このように構成されたウェーハ処理システム１では、ウェーハ処理装置２Ａ−２Ｄを結ぶ移送手段５０で収容トレー４０の搬送路が形成されており、カセットＣから収容トレー４０に移載されたウェーハユニットＷＵが順次搬送されている。移送手段５０の上方には、コードリーダ等の複数の撮像手段４が設けられている。ウェーハユニットＷＵが移送手段５０で搬送されている間に、撮像手段４によって環状フレームＦ又はウェーハＷの表面に付された識別コードが撮像される。各ウェーハ処理装置２Ａ−２Ｄには識別コードから加工条件が設定されて、加工条件に応じてウェーハＷが加工される。

以下、図２から図４を参照して、搬送機構の詳細構成について説明する。図２は、第１の実施の形態のウェーハ処理装置及び搬送機構の斜視図である。図３は、第１の実施の形態の収容トレーの模式図である。図４は、第１の実施の形態のウェーハユニットの抜け止め構造の説明図である。なお、図２では、ウェーハ処理装置として第１の切削装置に搬送機構を備える構成を例示するが、他の加工装置に搬送機構を備える構成にしてもよい。

図２に示すように、ウェーハ処理装置２Ａは、搬送機構３の収容トレー４０からウェーハユニットＷＵを取り込んで、切削機構（不図示）によってウェーハＷを切削するように構成されている。基台１０上の略半部に筐体１１が設けられており、筐体１１内には切削機構が収容され、筐体１１外にはウェーハユニットＷＵの搬入出用の各種機構や洗浄機構２１が設けられている。ウェーハ処理装置２Ａは筐体１１外の搬送スペースが移送手段５０の搬送路に直交するように配置されており、この直交部分から移送手段５０の収容トレー４０に収容されたウェーハユニットＷＵがウェーハ処理装置２Ａに投入される。

基台１０の上面中央は、筐体１１内に向かって延在するように開口されており、この開口はチャックテーブル１４と共に移動する移動板１２と蛇腹状の防水カバー１３とによって覆われている。防水カバー１３の下方には、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させるボールねじ式の駆動機構（不図示）が設けられている。図１では、駆動機構によって筐体１１内から筐体１１外にチャックテーブル１４を移動させた状態を示している。チャックテーブル１４の上方には、Ｙ軸方向に延在する一対のセンタリングガイド１８が設けられている。一対のセンタリングガイド１８のＸ軸方向の離間接近によってチャックテーブル１４に対し、ウェーハユニットＷＵのＸ軸方向が位置決めされる。

筐体１１外の搬送スペースには、チャックテーブル１４と移送手段５０との間に、ウェーハユニットＷＵを洗浄する洗浄機構２１が設けられている。洗浄機構２１は、スピンナテーブル２２上のウェーハユニットＷＵを基台１０内に降下させ、洗浄水を噴射してウェーハユニットＷＵを洗浄した後、乾燥エアを吹き付けてウェーハユニットＷＵを乾燥させる。筐体１１の前面１５には、ウェーハ処理装置２Ａを操作するためのタッチパネル式のモニター１６が設けられている。モニター１６に映し出された操作画面によってウェーハ処理装置２Ａの加工条件等が設定される。

筐体１１の側面１７には、収容トレー４０とウェーハ処理装置２Ａとの間でウェーハユニットＷＵを搬送する第１の搬送アーム３１が設けられている。第１の搬送アーム３１のスライダ３３はＹ軸方向に延びており、収容トレー４０の上方に第１の搬送アーム３１を位置付け可能にしている。また、筐体１１の側面１７には、チャックテーブル１４からスピンナテーブル２２にウェーハユニットＷＵを搬送する第２の搬送アーム３６が設けられている。第１、第２の搬送アーム３１、３６は、それぞれ筐体１１の側面１７に設置されたボールねじ式の駆動機構３２、３７でＹ軸方向に駆動される。

なお、洗浄機構２１のチャックテーブル１４を挟んだ反対側に、カセットの載置台２５を設けて、ウェーハＷが不良である場合に載置台２５上のカセットにウェーハユニットＷＵを収容させてもよい。この場合、載置台２５は、昇降機構（不図示）によってウェーハユニットＷＵが収容されるカセットのスロットの高さが調整される。また、第１の搬送アーム３１に設けられたプッシュプル機構３４によって、一対のセンタリングガイド１８にウェーハユニットＷＵの環状フレームＦをガイドさせながら、ウェーハユニットＷＵをカセットのスロットに押し込むようにする。

搬送機構３は、ウェーハ処理装置２間でウェーハユニットＷＵを搬送するものであり、収容トレー４０にウェーハユニットＷＵを収容した状態で、収容トレー４０を支持してウェーハ処理装置２間を移送手段５０で搬送するように構成されている。収容トレー４０は、上面を開放した浅い箱状の容器であり、ウェーハユニットＷＵを位置決め状態で収容している。移送手段５０は、収容トレー４０を搬送するコンベア５１とコンベア５１に沿って収容トレー４０の搬送をガイドする一対の移送ガイド５２とによって搬送路を形成している。コンベア５１は、収容トレー４０を搬送可能であればよく、ベルトコンベア、ローラーコンベア等でもよい。

また、搬送機構３には、ウェーハ処理装置２Ａに対するウェーハユニットＷＵの搬入出時に、コンベア５１による収容トレー４０の搬送を規制する規制機構６（図１参照）が設けられている。規制機構６は、例えば、ウェーハ処理装置２Ａに対するウェーハＷの搬入出位置となる箇所で、収容トレー４０を片側の移送ガイド５２に押し付けて収容トレー４０の搬送を規制している。規制機構６による収容トレー４０の規制時にもコンベア５１は駆動されており、コンベア５１の設置面が収容トレー４０の裏面を滑ることで収容トレー４０が搬送されないようにしている。したがって、他の収容トレー４０の搬送が規制されることがない。

また、ウェーハ処理装置２Ａには、コンベア５１によってウェーハユニットＷＵが収容された収容トレー４０が順次送り出されている。すなわち、収容トレー４０に収容されたウェーハユニットＷＵが１枚ずつウェーハ処理装置２Ａに搬送されている。ウェーハ処理装置２ＡでウェーハユニットＷＵに対する加工が完了すると、搬送機構３によって間を置かずに後段のウェーハ処理装置２Ｂ（図１参照）に向けてウェーハユニットＷＵが搬送される。よって、ウェーハ処理装置２Ｂには連続的にウェーハユニットＷＵが搬送されるため、カセット単位でウェーハユニットＷＵが搬送される場合のように待機時間が長くなることがない。

ウェーハ処理装置２Ａに収容トレー４０が搬送されると、第１の搬送アーム３１で収容トレー４０からウェーハユニットＷＵが取り出されて一対のセンタリングガイド１８に搬送される。ウェーハユニットＷＵは一対のセンタリングガイド１８でＸ軸方向の位置決めされた後、再び第１の搬送アーム３１でチャックテーブル１４上に搬送される。切削済みのウェーハユニットＷＵは第２の搬送アーム３６でチャックテーブル１４から洗浄機構２１に搬送され、洗浄済みのウェーハユニットＷＵは第１の搬送アーム３１で洗浄機構２１から収容トレー４０に収容される。

図３Ａ及び図３Ｂに示すように、収容トレー４０に収容されるウェーハユニットＷＵの環状フレームＦの外周は、平行に向かい合った２つの平坦面５５及び平坦面５５に対して直交する方向で向かい合った２つの平坦面５６を有している。ウェーハユニットＷＵは、環状フレームＦの開口部に粘着テープＴを介してウェーハＷを支持して構成されている。収容トレー４０は、このウェーハユニットＷＵの環状フレームＦの外形と同サイズで上方に挿入口４１が開口された収容トレー本体４２を備えている。なお、環状フレームＦの外形サイズは、２つの平坦面５５間の縦寸法と、２つの平坦面５６間の横寸法とで示される。

また、挿入口４１のサイズは、環状フレームＦの外形と完全に同サイズである必要はなく、環状フレームＦの外形に対応したサイズであればよい。すなわち、挿入口４１は、環状フレームＦの外形と略同サイズであり、環状フレームＦが挿入可能な程度に環状フレームＦの外形よりも大きく形成されている。収容トレー本体４２には、挿入口４１から挿入したウェーハユニットＷＵの環状フレームＦを載置する複数の載置部４３が設けられている。各載置部４３は、収容トレー本体４２の底面４８から半球状に突出しており、環状フレームＦを支持して収容トレー本体４２の底面４８からウェーハユニットＷＵの裏面を離間させている。

また、収容トレー本体４２の挿入口４１、すなわち矩形状の開口縁部には、複数の第１の位置決めローラー４４が対向して配設され、第１の位置決めローラー４４の対向方向に直交する方向で複数の第２の位置決めローラー４５が対向して配設されている。第１の位置決めローラー４４は、環状フレームＦの平坦面５５に対応する位置に配設され、第２の位置決めローラー４５は、環状フレームＦの平坦面５６に対応する位置に配設されている。第１、第２の位置決めローラー４４、４５は、収容トレー本体４２の側壁が切り欠かれた箇所に支持され、環状フレームＦに転接可能なように収容トレー本体４２の側壁の上面４６及び内側面４７から僅かにローラー面が食み出している。

ウェーハユニットＷＵがウェーハ処理装置２Ａの第１の搬送アーム３１（図２参照）によって上方から挿入口４１へ挿入されると、環状フレームＦの平坦面５５、５６が第１、第２の位置決めローラー４４、４５によって位置決めされる。また、第１、第２の位置決めローラー４４、４５で環状フレームＦが位置決めされた状態で収容トレー本体４２の載置部４３に載置される。このように、収容トレー４０は、第１、第２の位置決めローラー４４、４５に環状フレームＦの平坦面５５、５６が転接することでウェーハユニットＷＵを前後左右に位置決めし、この状態で１枚のウェーハユニットＷＵを収容している。

図４に示すように、収容トレー４０には第１、第２の位置決めローラー４４、４５（第１の位置決めローラー４４は図３参照）によってウェーハユニットＷＵの抜け止め構造が形成されている。ウェーハユニットＷＵの抜け止め構造は、環状フレームＦの表面が第１、第２の位置決めローラー４４、４５の回転軸４９よりも下方になるように、載置部４３で環状フレームＦを支持することでウェーハユニットＷＵを抜け止めしている。第１、第２の位置決めローラー４４、４５のローラー面にウェーハユニットＷＵの環状フレームＦが引っ掛ることで、搬送中の収容トレー４０からウェーハユニットＷＵが外部に飛び出すことが防止される。

より詳細には、向かい合う第１、第２の位置決めローラー４４、４５の対向間隔は、それぞれ環状フレームＦの平坦面５５、５６（平坦面５５は図３参照）の対向間隔よりも僅かに大きいだけである。したがって、収容トレー４０からウェーハユニットＷＵが外れようとしても、第１、第２の位置決めローラー４４、４５のいずれかによって環状フレームＦが止められる。なお、収容トレー４０から第１の搬送アーム３１（図２参照）でウェーハユニットＷＵを取り出す際には、ウェーハユニットＷＵが真上に上げられるため、環状フレームＦが第１、第２の位置決めローラー４４、４５に抜け止めされることがない。

続いて、図５を参照して、収容トレーへのウェーハユニットの収容動作について説明する。図５は、第１の実施の形態の収容トレーへのウェーハユニットの収容動作の説明図である。なお、図５に示すウェーハユニットの収容動作は一例であり、適宜変更が可能である。図５では、収容トレーへのウェーハユニットの収容動作を説明するが、収容トレーからのウェーハユニットの取り出し動作は、収容トレーへのウェーハユニットの収容動作の逆の手順で実施される。

図５Ａに示すように、洗浄済のウェーハユニットＷＵは、第１の搬送アーム３１によって収容トレー４０の真上まで搬送される。このとき、第１の搬送アーム３１の複数の吸着パッド３５にウェーハユニットＷＵの環状フレームＦが吸着されており、ウェーハユニットＷＵが水平姿勢を保ったまま搬送されている。また、第１の搬送アーム３１の下方の収容トレー４０は、規制機構６（図１参照）によってコンベア５１（図２参照）上で停止されている。ウェーハユニットＷＵは、収容トレー４０の上方において、環状フレームＦの平坦面５５、５６が第１、第２の位置決めローラー４４、４５（平坦面５５及び第１の位置決めローラー４４は図３Ａ参照）に位置合わせされている。

図５Ｂに示すように、第１の搬送アーム３１が下方に移動されることで、挿入口４１からウェーハユニットＷＵが収容トレー４０の載置部４３に載置される。このとき、ウェーハユニットＷＵが挿入口４１から僅かに外れていても、環状フレームＦの下側のエッジが第１、第２の位置決めローラー４４、４５に転接されることで、環状フレームＦの平坦面５５、５６が第１、第２の位置決めローラー４４、４５によってガイドされている。このように、第１、第２の位置決めローラー４４、４５によってウェーハユニットＷＵが前後左右に位置決めされた状態で収容トレー４０に収容される。

以上のように、第１の実施の形態の搬送機構３は、収容トレー４０の挿入口４１からウェーハユニットＷＵが挿入されると、ウェーハＷの周囲の環状フレームＦが載置部４３上に載置されると共に、環状フレームＦが第１、第２の位置決めローラー４４、４５によって前後左右に位置決めされる。そして、収容トレー４０によって位置決めされた状態で移送手段５０によってウェーハ処理装置２間で１枚毎にウェーハＷが搬送される。このため、ウェーハ処理装置２側でウェーハＷの搬送時の高精度な位置決めが不要となって簡易な装置構成にすることができる。また、ウェーハ処理装置２間でウェーハユニットＷＵが１枚毎に連続して搬送されるため、カセット単位でウェーハユニットＷＵを搬送する場合のように後段のウェーハ処理装置２の待機時間が長くなることが無く、後段のウェーハ処理装置２の待機時間を最小限にすることができる。よって、無駄な待機時間を削減して生産効率を向上することができる。

上記した実施の形態において、収容トレーは、単一サイズのウェーハユニットを収容可能にする構成にしたが、収容トレーは複数のサイズのウェーハユニットに対応するように形成されていてもよい。以下、図６を参照して、第２の実施の形態に係る収容トレーについて説明する。第２の実施の形態に係る収容トレーは、上記したウェーハユニットの他に、ウェーハユニットよりも小径な小径ウェーハユニットを収容する点で第１の実施の形態と相違している。したがって、第１の実施の形態と相違する点についてのみ説明し、共通する構成については極力説明を省略する。

図６Ａ及び図６Ｂに示すように、収容トレー６０に収容される小径ウェーハユニットＷＵａは、小径環状フレームＦａの開口部に粘着テープＴａ介して小径ウェーハＷａを支持して構成されている。また、小径ウェーハユニットＷＵａの小径環状フレームＦａの外周には、ウェーハユニットＷＵ（図３参照）の環状フレームＦの外周と同様に４つの平坦面８１、８２が形成されている。収容トレー本体６３には、ウェーハユニットＷＵを挿入するための第１の挿入口６１（挿入口）の内側に、小径環状フレームＦａを挿入するための第２の挿入口６２が形成されている。すなわち、収容トレー本体６３の底面中央に上面視矩形状の窪み６４が形成されて、ウェーハユニットＷＵが収容される上段面６５と上段面６５の内側に小径ウェーハユニットＷＵが収容される下段面６６とが形成されている。

収容トレー本体６３の上段面６５には、第１の挿入口６１から挿入したウェーハユニットＷＵの環状フレームＦを載置する複数の第１の載置部７１（載置部）が設けられている。収容トレー本体６３の下段面６６には、第２の挿入口６２から挿入した小径ウェーハユニットＷＵａの小径環状フレームＦａを載置する複数の第２の載置部７２が設けられている。第１、第２の載置部７１、７２は、それぞれ収容トレー本体６３の上段面６５及び下段面６６から半球状に突出しており、小径環状フレームＦａ及び小径環状フレームＦａをそれぞれ支持している。

また、収容トレー本体６３の第１の挿入口６１の開口縁部には、複数の第１の位置決めローラー７４が対応して配設され、第１の位置決めローラー７４の対向方向に直交する方向で複数の第２の位置決めローラー７５が対向して配設されている。収容トレー本体６３の第２の挿入口６２の開口縁部には、複数の第３の位置決めローラー７６が対応して配設され、第３の位置決めローラー７６の対向方向に直交する方向で複数の第４の位置決めローラー７７が対向して配設されている。

第１、第２の位置決めローラー７４、７５は、環状フレームＦの平坦面５５、５６（図３参照）に対応する位置に配置され、第３、第４の位置決めローラー７６、７７は、小径環状フレームＦａの平坦面８１、８２に対応する位置に配置されている。第１、第２の位置決めローラー７４、７５は、環状フレームＦに転接可能なように収容トレー本体６３の側壁の上面６７及び内側面６８から僅かにローラー面が食み出している。第３、第４の位置決めローラー７６、７７は、小径環状フレームＦａに転接可能なように収容トレー本体６３の上段面６５及び窪み６４の内側面６９から僅かにローラー面が食み出している。

収容トレー６０には、第１、第２の位置決めローラー７４、７５に環状フレームＦの平坦面５５、５６が転接することでウェーハユニットＷＵが前後左右に位置決めされる。また、第３、第４の位置決めローラー７６、７７に小径環状フレームＦの平坦面８１、８２が転接することで小径ウェーハユニットＷＵａが前後左右に位置決めされる。このように、第２の実施の形態に係る収容トレー６０には、ウェーハユニットＷＵ用の収容トレーとして使用することができる他、小径ウェーハユニットＷＵａ用の収容トレーとして使用することができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、上記した第１の実施の形態において、載置部４３が半球状に形成されたが、他の形状に形成されてもよい。載置部４３は環状フレームＦが載置可能に形成されていればよく、載置部４３の形状、材質、個数は適宜変更が可能である。同様に、第２の実施の形態の第１、第２の載置部７１、７２の形状、材質、個数も適宜変更が可能である。

また、上記した第１の実施の形態において、収容トレー４０に第１、第２の位置決めローラー４４、４５がそれぞれ４つずつ設けられる構成にしたが、ローラーの個数は適宜変更が可能である。例えば、第１、第２の位置決めローラー４４、４５が、環状フレームＦの４つの平坦面５５、５６に対応して２つずつ設けられていてもよい。同様に、第２の実施の形態の第１−第４の位置決めローラー７４−７７のローラーの個数も適宜変更が可能である。

また、上記した第１、第２の実施の形態において、規制機構６が収容トレー４０を片側の移送ガイド５２に押し付けて収容トレー４０の搬送を規制する構成にしたが、他の規制構造で収容トレー４０の搬送を規制してもよい。

また、上記した第１、第２の実施の形態において、搬送アームとして第１の搬送アーム３１を例示したが、ウェーハ処理装置２においてウェーハユニットＷＵを収容トレー４０内に収容可能であれば、第１の搬送アームと異なる構造の搬送アームを使用してもよい。

また、上記した第２の実施の形態において、収容トレー６０が、異なるサイズの２種類のウェーハユニットＷＵ、ＷＵａに対応する構成にしたが、異なるサイズの３種類以上のウェーハユニットに対応してもよい。

以上説明したように、本発明は、ウェーハ処理装置の無駄な待機時間を削減することができるという効果を有し、特に、複数のウェーハ処理装置間でウェーハが搬送される搬送機構に有用である。

２ ウェーハ処理装置
３ 搬送機構
３１ 第１の搬送アーム（搬送アーム）
４０、６０ 収容トレー
４１ 挿入口
４２、６３ 収容トレー本体
４３ 載置部
４４、７４ 第１の位置決めローラー
４５、７５ 第２の位置決めローラー
５０ 移送手段
５５、５６ 環状フレームの平坦面
６１ 第１の挿入口（挿入口）
６２ 第２の挿入口
７１ 第１の載置部（載置部）
７２ 第２の載置部
７６ 第３の位置決めローラー
７７ 第４の位置決めローラー
８１、８２ 小径環状フレームの平坦面
Ｆ 環状フレーム
Ｆａ 小径環状フレーム
Ｗ ウェーハ
Ｗａ 小径ウェーハ
ＷＵ ウェーハユニット
ＷＵａ 小径ウェーハユニット

Claims (2)

1. 平行に向かい合った２つの平坦面及び該平坦面に対して直交する方向に向かい合った２つの平坦面の４つの平坦面を外周に有する環状フレームの開口部に粘着テープを介してウェーハを支持して構成されるウェーハユニットを、ウェーハ処理装置間において搬送するための搬送機構であって、
   上方に開口し該ウェーハユニットを収容する収容トレーと、
   該収容トレーを支持してウェーハ処理装置間を移送する移送手段と、から構成され、
   該収容トレーは、
   該環状フレームの外形と同サイズに上方に開口した挿入口及び該挿入口から挿入したウェーハユニットの該環状フレームを載置する載置部を有する収容トレー本体と、
   該収容トレー本体の該挿入口に対向して配設された第１の位置決めローラー及び該第１の位置決めローラーの対向方向に直交する方向に対向して配設された第２の位置決めローラーと、から構成され、
   ウェーハユニットがウェーハ処理装置の搬送アームにより上方から該挿入口へ挿入されると該環状フレームの４つの該平坦面が該第１及び第２の位置決めローラーにより位置決めされ、該環状フレームが該収容トレー本体の該載置部上に載置されて収容され、
   該移送手段によりウェーハ処理装置間をウェーハ１枚毎に搬送することを特徴とする搬送機構。
2. 該ウェーハよりも小径の小径ウェーハを小径環状フレームの開口部に粘着テープを介して支持して構成される小径ウェーハユニットをウェーハ処理装置間において搬送するための搬送機構であって、
   該収容トレー本体は、該挿入口の内側に形成された該小径環状フレームを挿入するための該小径環状フレームの第２の挿入口及び該第２の挿入口から挿入した小径ウェーハユニットの小径環状フレームを載置する第２の載置部を有し、
   該収容トレーは、該第２の挿入口に対向して配設された第３の位置決めローラー及び第３の位置決めローラーの対向方向に直交する方向に対向して配設された第４の位置決めローラーを備え、
   該移送手段によりウェーハ処理装置間を小径ウェーハ１枚毎に搬送することを特徴とする請求項１記載の搬送機構。

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