JP6524811B2 - 放射線画像検出器 - Google Patents
放射線画像検出器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6524811B2 JP6524811B2 JP2015120956A JP2015120956A JP6524811B2 JP 6524811 B2 JP6524811 B2 JP 6524811B2 JP 2015120956 A JP2015120956 A JP 2015120956A JP 2015120956 A JP2015120956 A JP 2015120956A JP 6524811 B2 JP6524811 B2 JP 6524811B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- image detector
- phosphor
- resin
- radiation image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 67
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 129
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 52
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 52
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 44
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- -1 polyethylene, ethylene-vinyl acetate Polymers 0.000 claims description 20
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 claims description 17
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 16
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 16
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 9
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 9
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 claims description 8
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 claims description 7
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 claims description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 claims description 5
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 166
- 239000010408 film Substances 0.000 description 36
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 14
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 11
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 10
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 9
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 8
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 7
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 7
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 6
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 6
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 6
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 6
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 6
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XQPRBTXUXXVTKB-UHFFFAOYSA-M caesium iodide Chemical compound [I-].[Cs+] XQPRBTXUXXVTKB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 4
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 4
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 4
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 4
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 4
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 3
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 3
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 3
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- XZSDLFHCPIUHJB-UHFFFAOYSA-N formamide;urea Chemical compound NC=O.NC(N)=O XZSDLFHCPIUHJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 125000005616 oxoacid group Chemical group 0.000 description 3
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 3
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 3
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 3
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 3
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 2
- 239000002121 nanofiber Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- PZWQOGNTADJZGH-SNAWJCMRSA-N (2e)-2-methylpenta-2,4-dienoic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C/C=C PZWQOGNTADJZGH-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- 229920003067 (meth)acrylic acid ester copolymer Polymers 0.000 description 1
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N Borate Chemical compound [O-]B([O-])[O-] BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- JOWAFYYERDHSJX-UHFFFAOYSA-N O[Si](O)(O)O.OS(O)(=O)=O Chemical compound O[Si](O)(O)O.OS(O)(=O)=O JOWAFYYERDHSJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 229920002433 Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer Polymers 0.000 description 1
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 150000004645 aluminates Chemical class 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- IRERQBUNZFJFGC-UHFFFAOYSA-L azure blue Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[S-]S[S-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] IRERQBUNZFJFGC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- HUTDDBSSHVOYJR-UHFFFAOYSA-H bis[(2-oxo-1,3,2$l^{5},4$l^{2}-dioxaphosphaplumbetan-2-yl)oxy]lead Chemical compound [Pb+2].[Pb+2].[Pb+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O HUTDDBSSHVOYJR-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 125000001246 bromo group Chemical group Br* 0.000 description 1
- NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;prop-2-enenitrile Chemical compound C=CC=C.C=CC#N NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 125000005626 carbonium group Chemical group 0.000 description 1
- 239000004106 carminic acid Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000005345 chemically strengthened glass Substances 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N dysprosium atom Chemical compound [Dy] KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920006242 ethylene acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005648 ethylene methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006226 ethylene-acrylic acid Polymers 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 230000005865 ionizing radiation Effects 0.000 description 1
- DCYOBGZUOMKFPA-UHFFFAOYSA-N iron(2+);iron(3+);octadecacyanide Chemical compound [Fe+2].[Fe+2].[Fe+2].[Fe+3].[Fe+3].[Fe+3].[Fe+3].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-] DCYOBGZUOMKFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Inorganic materials [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000391 magnesium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052919 magnesium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019792 magnesium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011236 particulate material Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001083 polybutene Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920006290 polyethylene naphthalate film Polymers 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 229960003351 prussian blue Drugs 0.000 description 1
- 239000013225 prussian blue Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000002285 radioactive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002601 radiography Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N thallium Chemical compound [Tl] BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N triacetic acid Chemical compound CC(=O)CC(=O)CC(O)=O ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBYZMCDFOULPGH-UHFFFAOYSA-N tungstate Chemical compound [O-][W]([O-])(=O)=O PBYZMCDFOULPGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000013799 ultramarine blue Nutrition 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 1
- 239000003039 volatile agent Substances 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006540 α-FeOOH Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/60—Arrangements for cooling, heating, ventilating or compensating for temperature fluctuations
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20188—Auxiliary details, e.g. casings or cooling
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
- H10F39/18—Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
- H10F39/189—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
- H10F39/18—Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
- H10F39/189—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
- H10F39/1898—Indirect radiation image sensors, e.g. using luminescent members
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
- H10F39/191—Photoconductor image sensors
- H10F39/195—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Radiography Using Non-Light Waves (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Description
特許文献1では、シンチレータで発生した光を検出する半導体光検出素子(本特許におけるTFTに相当)の出力を、周囲の温度によらず安定化させるため、熱伝導率の高い筐体を設け、筐体とシンチレータ・半導体光検出素子の間に空隙を設けている。
[1]シンチレータなどの蛍光体層と、熱遮蔽層と、TFT等の光電変換素子とを、この順で含む放射線画像検出器において、
熱遮蔽層の厚みをT[μm]、熱伝導率をC[W/m・K]としたときに、
C/Tが、0.004以上、5以下
であることを特徴とする、放射線画像検出器。
[2]前記放射線画像検出器において、
C/Tが、0.004以上、0.7以下
であることを特徴とする、[1]に記載の放射線画像検出器。
[3]前記放射線画像検出器において、
C/Tが、0.004以上、0.14以下
であることを特徴とする、[1]に記載の放射線画像検出器。
[4]前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、5[W/m・K]以下であることを特徴とする、[1]〜[3]のいずれかに記載の放射線画像検出器。
[5]前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、0.7[W/m・K]以下であることを特徴とする、[4]に記載の放射線画像検出器。
[6]前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、0.14[W/m・K]以下であることを特徴とする、[4]に記載の放射線画像検出器。
[7]前記放射線画像検出器において、
前記蛍光体層の、放射線入射方向に垂直な面の断面積をAP、
前記熱遮蔽層と蛍光体層との接触面積をATPとした時に、
ATP/APが、1.5以上75以下であることを特徴とする、[1]〜[6]のいずれかに記載の放射線画像検出器。
[8]前記熱遮蔽層が、ホットメルト樹脂を主成分とすることを特徴とする、[1]〜[7]のいずれかに記載の放射線画像検出器。
[9]前記ホットメルト樹脂が、ポリオレフィン樹脂、エチレン―酢酸ビニル共重合体、およびアクリル樹脂のなかから選ばれる少なくとも1種類を含むことを特徴とする、[8]に記載の放射線画像検出器。
[10]前記放射線画像検出器において、
1枚/秒以上の速度で画像が検出されることを特徴とする、[1]〜[9]のいずれかに記載の放射線画像検出器。
本発明に係る放射線画像検出器の基本構成を図1に示す。
支持体11
本発明に係る放射線画像検出器10において、支持体11は、蛍光体層12を形成する蛍光体120の土台として用いられるとともに、蛍光体層層12の構造を保持する役割を有する。なお、支持体は必ずしも必要でない場合がある。
具体的には、石英、ホウ珪酸ガラス、化学的強化ガラス等の板ガラス;サファイア、窒化珪素、炭化珪素等のセラミック;シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素、ガリウム燐、ガリウム窒素等の半導体;セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム、炭素繊維強化樹脂シート等の高分子フィルム(プラスチックフィルム);
アルミニウムシート、鉄シート、銅シート等の金属シート又はこれらの金属の酸化物の被覆層を有する金属シート;バイオナノファイバーフィルム等を用いることができる。これらは一種単独で用いても積層して用いてもよい。
ここで、「可撓性を有する」とは、120℃での弾性率(E120)が、0.1〜300GPaであることをいう。「弾性率」とは、引張試験機を用い、JIS−C2318に準拠したサンプルの標線が示すひずみと、それに対応する応力が直線的な関係を示す領域において、ひずみ量に対する応力の傾きを求めた値である。これがヤング率と呼ばれる値であり、本明細書においては、かかるヤング率を弾性率と定義する。
なお、遮光層や顔料層は、別途のフィルムに設けられたものであってもよい。
蛍光体層は、外部から入射された放射線であるX線のエネルギーを、可視光に変換する役割を有する。
まず、基本組成式(I):
MIX・aMIIX'2・bMIIIX''3:zA
で表わされる金属ハロゲン化物系蛍光体が挙げられる。
Aは、Y,Ce、Pr,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu,Na,Mg,Cu,Ag(銀),TlおよびBi(ビスマス)からなる群より選択される少なくとも1種の元素を表す。
また、基本組成式(II):
MIIFX:zLn
で表わされる希土類付活金属フッ化ハロゲン化物系蛍光体も挙げられる。
Ln2O2S:zA
で表される希土類酸硫化物系蛍光体も挙げられる。
MIIS:zA
で表される金属硫化物系蛍光体も挙げられる。
Ma(AG)b:zA
で表される金属オキソ酸塩系蛍光体も挙げられる。
また、基本組成式(VI):
MaOb:zA
で表わされる金属酸化物系蛍光体が挙げられる。
またaおよびbは、金属及びオキソ酸基の価数に応じて取り得る値全てを表す。zは、0<z<1である。
LnOX:zA
で表わされる金属酸ハロゲン化物系蛍光体が挙げられる。
支持体と蛍光体層との間に、密着層が形成されている。密着層としては、樹脂、金属酸化物、金属の1種類以上の組み合わせからなるものが使用される。
密着層を構成する金属材料としては、アルミニウム、銀、白金、パラジウム、金、銅、鉄、ニッケル、クロム、コバルト、ステンレス等の金属材料を含有していることが好ましい。中でも反射率、耐食性の観点からアルミニウムもしくは銀を主成分としていることが特に好ましい。また、このような金属材料を2種以上使用しても良い。
光吸収性の顔料を含む層を密着層とすることもでき、例えば、顔料及びバインダー樹脂を含む層が用いられる。
これの密着層には、蛍光体層で発した蛍光を反射する機能を有する。
また、金属酸化物および金属からなる密着層の厚さは、輝度向上、光の取り出し効率の観点から0.005〜0.3μmが好ましく、より好ましくは0.01〜0.2μmである。
蛍光体層12の構成成分による密着層13の腐食等を防止するため、密着層13と蛍光体層12との間に保護層を形成してもよい。
本発明では、光電変換素子からの熱が蛍光体層に伝わらないようにするために、熱遮蔽層14が設けられる。
本発明では、熱遮蔽層の厚みをT[μm]、熱伝導率をC[W/m・K]としたときに、C/Tが、0.004以上、5以下、好ましくは、0.004以上、0.7以下、さらに好ましくは0.004以上、0.14以下となるように、熱遮蔽層の材質と厚みが選択される。
前記熱遮蔽層の熱伝導率Cは、5[W/m・K]以下であることが好ましい。より好ましくは、0.7[W/m・K]以下であり、さらに好ましくは、0.14[W/m・K]以下である。
たとえば、光電変換素子表面にあらかじめ積層するか、蛍光体層と光電変換素子を積層する際に、介在させればよい。
ホットメルトシートの場合、蛍光体層と光電変換素子の間にホットメルトシートを挿入し、減圧下で、加熱することによって、熱遮蔽層を形成できる。
ATP/AP = (LTP/LP)2
とする。
上記C/TおよびATP/APは、熱遮蔽層の厚みと構成、ないしは蛍光体層の作製条件を適宜調節することで、調整できる。
本発明に放射線画像検出器10は、外周を覆うように耐湿保護膜をさらに有していることが好ましい。耐湿保護膜は、放射線画像変換パネル全体を防湿し、蛍光体層12の劣化を抑制する役割を有する。
耐湿保護膜には、透湿度の低いフィルム保護フィルム、ポリパラキシリレンのような耐湿膜等が挙げられる。
金属酸化物には、二酸化ケイ素(SiO2)、酸化アルミニウム(Al2O3)、ITO等が挙げられる。
光電変換素子は、蛍光体層で発生した発光光を吸収して、電荷の形に変換することで電気信号に変換して、放射線画像検出器の外部に出力する役割を有しており、従来公知のものを用いることができる。
このうち、光電変換素子は、蛍光体層で発生した光を吸収して、電荷の形に変換する機能を有している。ここで、光電変換素子は、そのような機能を有する限り、どのような具体的な構造を有していてもよい。例えば、本発明で用いられる光電変換素子は、透明電極と、入光した光により励起されて電荷を発生する電荷発生層と、対電極とからなるものとすることができる。これら透明電極、電荷発生層および対電極は、いずれも、従来公知のものを用いることができる。また、本発明で用いられる光電変換素子は、適当なフォトセンサーから構成されていても良く、例えば、複数のフォトダイオードを2次元的に配置してなるものであってもよく、あるいは、CCD(Charge Coupled Devices)、CMOS(Complementary metal-oxide-semiconductor)センサーなどの2次元的なフォトセンサーからなるものであっても良い。
このように、本発明で用いうる光電変換素子15として種々の構成のものを用いることができる。例えば、後述する本願実施例で用いられているように、ガラス基板上に複数のフォトダイオードと複数のTFT素子を形成してなる光電変換素子を、光電変換素子15として用いることができる。
このような放熱機構は、熱伝導性部材から構成され、例えばシリコーン樹脂、SUSやアルミニウムなどの熱伝導率が2mm2/sの放熱手段が挙げられる。
本発明の放射線画像検出器によれば、蛍光体層への回路基板からの熱が遮蔽されているため、動画技術と組み合わせることが可能である。
本発明に係る放射線画像検出器10は、例えば、例えば、支持体11に対して、必要に応じて、従来公知の方法に従って、必要に応じて密着層13及び保護層の形成を行い、その後、蛍光体層12の形成を行い、熱遮蔽層を介在させて、光電変換素子と積層したのち、さらに、必要に応じて、従来公知の方法に従って、耐湿保護膜の形成を行うことにより、放射線画像検出器10を得ることができる。
蛍光体層は、真空容器内に蒸発源及び基板回転機構を有する蒸着装置を用いて、支持体を前記支持体回転機構に設置して、当該支持体を回転しながら蛍光体材料を蒸着する工程を含む気相堆積法により、蛍光体層を形成する態様の製造方法が好ましい。
蛍光体層と光電変換素子とを熱遮蔽層を介して積層する。たとえば熱遮蔽層形成用シートを、蛍光体層と光電変換素子との間に挟み、加圧状態で加熱することにより蛍光体層表面の所定の厚みおよび柱状結晶の接触面積を有す熱遮蔽層を形成できる。
本発明の放射線画像検出器は、種々の態様のX線画像撮影システムに応用することができる。静止画はもとより、連続撮影も可能であるため、動画撮影用の放射線検出器として用いることもできる。
[製造例]
支持体として、厚さ125μmのポリイミドフィルム(宇部興産(株)製UPILEX−125S)を用いた。密着層として蛍光体を形成する面に結晶性ポリエステルであるバイロン樹脂(東洋紡社製)を3μmとなるようにコートした後に断裁して蒸着用の支持体とした。前記支持体に対して真空下で特開2015-021886号公報に記載の条件でCsI蛍光体を蒸着した。CsIの膜厚は200μmとなったところで蒸着を終了した。
表に揚げる熱遮蔽層を形成する各材料について、以下のようにして熱遮蔽層を形成した。
・透明アルミナ膜
所望の厚みを有する市販の透明アルミナ薄膜を、PaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に載置したのち、前記蛍光体表面に押し付けて密着させた。なお、応力印加による密着を行っているため、アルミナ以外の物質を含む接着剤等は用いていない。
市販のITO分散液を、バインダー樹脂と共に混合し、仮支持体に塗布乾燥してITO含有透明フィルムを成膜した。これを単独ないしは積層させてPaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に載置したのち、前記蛍光体表面に押し付けて密着させた。なお、応力印加による密着を行っているため、ITO以外の物質を含む接着剤等は用いていない。
エポキシ樹脂としては、市販の熱伝導性エポキシ接着剤を使用し、PaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に塗布乾燥して、表1の厚みを有するエポキシ樹脂層を形成したのち、前記蛍光体表面に貼り合わせた。
市販の低密度ポリエチレン膜を使用し、一方の面をPaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に貼着させ、他方の面を前記蛍光体表面に押し付けて密着させた。なお、応力印加による密着を行っているため、ポリエチレン以外の物質を含む接着剤等は用いていない。
市販のアクリル系感圧接着シートを使用した。接着シートの一方の表面の剥離シートをはがして、PaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子表面と接着させたのち、他方の剥離シートをはがして蛍光体表面と接着して貼り合わせた。
所定の厚さのポリオレフィンフィルムを使用し、一方の面をPaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に貼着させたのち、他方の面を前記蛍光体表面に貼り合わせた。
蛍光体層が形成された支持体をCVD装置の蒸着室に入れ、ジパラキシリレンが昇華した蒸気中に露出させておくことにより、全表面が所定の厚さのポリパラキシリレン膜で被覆したのち、PaxScan(バリアン(株)製フラットパネルディスプレイFPD:2520)表面の光電変換素子と貼り合わせた。
評価項目:
各実施例・比較例で作製した放射線画像検出器について、ATP/AP、輝度、輝度ムラ、画像鮮鋭性は、以下に示す指標で評価した。
光電変換層に密着または貼り合せる前のパネルを断裁し、X線の入射・出射面に垂直な任意の面を露出させ、その断面を走査型電子顕微鏡写真を、画像処理ソフトを使用して蛍光体箇所及び非蛍光体箇所を区別できるように調整する。この時の、露出した面における蛍光体箇所と非蛍光体箇所の接する線の長さをLTP、露出した面の幅(X線の入射・出射面に平行な線の長さ)をLpとした時に、
ATP/AP = (LTP/LP)2
として求めた。
評価基準は、このATP/APが、1.5以上75以下の範囲に入るものを「○」、入らないものと「×」と評価した。
FPDに管電圧80kVpのX線を照射し、得られた画像データの平均シグナル値を発光量とした。
蛍光体層厚に依存して、特性が大きく変わるため、蛍光体層厚が同じもの同士の相対評価とした。
評価基準は、実施例15の発光量を輝度1.0とし、その0.8倍以上1.2倍未満のものを「○」、1.2倍以上のものを「◎」、0.6倍以上0.8倍未満のものを「△」、0.6倍未満のものを「×」と評価した。
表1中の輝度ムラは、輝度撮影時に得られた画像(フラット補正前)において、パネル全体の平均シグナル値に対して、シグナル値の最も大きい箇所と最も小さい箇所のシグナル差が20%以上を「×」、10%以上20%未満を「△」、5%以上10%未満を「○」、5%未満を「◎」と評価した。
管電圧を80Kvpに設定したX線照射装置を用いて、X線を、鉛製のMTFチャートを通して上記蛍光体の裏面(蛍光体層が形成されていない面)から照射し、フラットパネルで検出された画像データをハードディスクに記録した。その後、ハードディスク上の画像データの記録をコンピュータで分析して、当該ハードディスクに記録されたX線画像の変調伝達関数MTF(空間周波数1サイクル/mmにおけるMTF値)を鮮鋭性の指標とした。
結果を表1に合わせて示す。
上記アクリル樹脂を用いて、10μmの熱遮蔽層を形成した。このとき、ATP/APが表2になるように意図的に調整した。ATP/APの調整は、熱遮蔽層接着時の温度・貼り合せ時に印加する力及び印加時間・厚み及び重ねあわせ枚数(シート状のものの場合)・重ね塗り回数(流動性のある場合)などを適宜調節して行った。
結果を合わせて表2に示す。輝度ムラの大きい比較例6および7は鮮鋭性は評価できなかった。
11 ・・・支持体
12 ・・・蛍光体層
121 ・・・蛍光体層
122 ・・・下地層
13 ・・・密着層
14 ・・・熱遮蔽層
15 ・・・光電変換素子
Claims (8)
- 蛍光体層と、熱遮蔽層と、光電変換素子とを、この順で含む放射線画像検出器において、
熱遮蔽層の厚みをT[μm]、熱伝導率をC[W/m・K]としたときに、
C/Tが、0.004以上、5以下
であり、
前記蛍光体層の、放射線入射方向に垂直な面積をA P 、
前記熱遮蔽層と蛍光体層との接触面積をA TP とした時に、
A TP /A P が、1.5以上75以下であり、
前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、5[W/m・K]以下であり、
熱遮蔽層を構成する材料が、透明アルミナ、ITO、エポキシ樹脂、ポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アクリル樹脂、ポリオレフィン、ポリパラキシリレンから選ばれる少なくとも1種であり、蛍光体がCsIであることを特徴とする、放射線画像検出器。 - 前記放射線画像検出器において、
C/Tが、0.004以上、0.7以下
であることを特徴とする、請求項1に記載の放射線画像検出器。 - 前記放射線画像検出器において、
C/Tが、0.004以上、0.14以下
であることを特徴とする、請求項1に記載の放射線画像検出器。 - 前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、0.7[W/m・K]以下であることを特徴とする、請求項3に記載の放射線画像検出器。
- 前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、0.14[W/m・K]以下であることを特徴とする、請求項3に記載の放射線画像検出器。
- 前記熱遮蔽層が、ホットメルト樹脂を主成分とすることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の放射線画像検出器。
- 前記ホットメルト樹脂が、ポリオレフィン樹脂、エチレン―酢酸ビニル共重合体、およびアクリル樹脂のなかから選ばれる少なくとも1種類を含むことを特徴とする、請求項6に記載の放射線画像検出器。
- 前記放射線画像検出器において、
1枚/秒以上の速度で画像が検出されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の放射線画像検出器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015120956A JP6524811B2 (ja) | 2015-06-16 | 2015-06-16 | 放射線画像検出器 |
| US15/177,916 US9627560B2 (en) | 2015-06-16 | 2016-06-09 | Radiographic image detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015120956A JP6524811B2 (ja) | 2015-06-16 | 2015-06-16 | 放射線画像検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017003543A JP2017003543A (ja) | 2017-01-05 |
| JP6524811B2 true JP6524811B2 (ja) | 2019-06-05 |
Family
ID=57588424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015120956A Active JP6524811B2 (ja) | 2015-06-16 | 2015-06-16 | 放射線画像検出器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9627560B2 (ja) |
| JP (1) | JP6524811B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6575105B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2019-09-18 | コニカミノルタ株式会社 | シンチレータパネルおよびその製造方法 |
| JP6926726B2 (ja) * | 2017-06-28 | 2021-08-25 | コニカミノルタ株式会社 | 放射線画像検出パネルおよび放射線検出装置 |
| JP2019047037A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | 株式会社東芝 | 光検出器 |
| JP6991330B2 (ja) * | 2018-06-26 | 2022-02-03 | 三菱電機株式会社 | 電磁波検出器および電磁波検出器アレイ |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11128214A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-18 | Shimadzu Corp | X線診断装置 |
| JP4587432B2 (ja) * | 2001-08-30 | 2010-11-24 | キヤノン株式会社 | シンチレータパネル、放射線検出装置及びシステム |
| US7800065B2 (en) * | 2008-07-02 | 2010-09-21 | General Electric Company | Methods and apparatus for conducting heat from an electronic assembly while providing shock protection |
| JP5369979B2 (ja) * | 2009-08-05 | 2013-12-18 | コニカミノルタ株式会社 | 放射線画像検出装置 |
| JP5791281B2 (ja) * | 2010-02-18 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線検出システム |
| JP5792958B2 (ja) * | 2011-01-13 | 2015-10-14 | キヤノン株式会社 | 放射線撮像装置、放射線撮像システム及び放射線撮像装置の製造方法 |
| JP2012154811A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Canon Inc | シンチレータパネルおよびその製造方法ならびに放射線検出装置 |
| JP2012177624A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出装置及び放射線画像検出装置の製造方法 |
| JP5728250B2 (ja) * | 2011-03-01 | 2015-06-03 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、シンチレータパネル、それらの製造方法、および放射線検出システム |
| JP5702220B2 (ja) | 2011-04-28 | 2015-04-15 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮影装置 |
| US9035263B2 (en) * | 2011-10-25 | 2015-05-19 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Radiation imaging apparatus having an anti-static function |
| JP5785201B2 (ja) * | 2012-03-13 | 2015-09-24 | 富士フイルム株式会社 | 放射線画像検出装置 |
| JP6034141B2 (ja) | 2012-11-02 | 2016-11-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器 |
-
2015
- 2015-06-16 JP JP2015120956A patent/JP6524811B2/ja active Active
-
2016
- 2016-06-09 US US15/177,916 patent/US9627560B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20160372611A1 (en) | 2016-12-22 |
| JP2017003543A (ja) | 2017-01-05 |
| US9627560B2 (en) | 2017-04-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6492422B2 (ja) | 放射線画像変換パネル | |
| CN105572714B (zh) | 闪烁体面板及放射线检测器 | |
| US10302773B2 (en) | Radiation detector | |
| CN105319573B (zh) | 放射线图像检测装置及其制造方法 | |
| CN107797135B (zh) | 放射线检测器 | |
| JP6524811B2 (ja) | 放射線画像検出器 | |
| JP6507564B2 (ja) | シンチレータパネルおよび放射線検出器 | |
| US20150369928A1 (en) | Photo sensor for use as a radiation detector and power supply and method for making and using the device | |
| CN103946723A (zh) | 具有热敏粘合剂的x射线成像面板 | |
| JP2019023579A (ja) | シンチレータ | |
| JP6519195B2 (ja) | シンチレータパネル及び放射線検出器 | |
| JP6221352B2 (ja) | 放射線画像変換パネル、および放射線画像検出器 | |
| US10120083B2 (en) | Radiation sensing thermoplastic composite panels | |
| JP6926726B2 (ja) | 放射線画像検出パネルおよび放射線検出装置 | |
| JP4204344B2 (ja) | 放射線画像形成材料および放射線画像形成方法 | |
| US20120104266A1 (en) | Radiation detecting element, method of producing same, radiation detecting module, and radiation image diagnostic apparatus | |
| EP2920612A1 (en) | Digital radiography detector | |
| JP2017018527A (ja) | 放射線検出器、および、放射線撮像システム | |
| JP6262419B2 (ja) | 放射線画像検出器及び放射線画像検出器の製造方法 | |
| JP2011232197A (ja) | シンチレータパネル及び放射線画像検出装置 | |
| CN104040372A (zh) | 具有热敏粘合剂的x射线成像面板 | |
| JP2017161407A (ja) | シンチレータおよび放射線検出器 | |
| JP6756170B2 (ja) | 放射線画像変換パネル | |
| JP2016085194A (ja) | 放射線検出器及びその製造方法 | |
| US20180011207A1 (en) | Scintillator panel |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171225 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181025 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181113 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190109 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190409 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190422 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6524811 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |