JP6528480B2 - 液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置に関する。

ノズルから液体を吐出する液体吐出装置として、特許文献１には、ノズルからインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドが記載されている。特許文献１に記載のインクジェット式記録ヘッドでは、列をなす複数の圧力発生室が設けられている。流路形成基板上には、これら複数の圧力発生室を覆うように弾性膜が配置されている。弾性膜上には、圧電素子が圧力発生室毎に配置されている。複数の圧電素子は、弾性膜上に配置された接合基板によって覆われている。各圧電素子の第２電極に接続されたリード電極は、圧電素子の配列方向と直交する方向に引き出されている。リード電極は、接合基板の外側に引き出された部分において、導電性ワイヤからなる接続配線を介して、接合基板の上面に配置された駆動ＩＣと接続されている。また、リード電極には、他の部分よりも幅が広くなった検査用領域が設けられている。

特開２００９−２５５５２４号公報

特許文献１に記載のインクジェット式記録装置では、接合基板で複数の圧電素子を覆った後でも、リード電極の検査用領域にプローブを当てて、圧電素子の検査を行うことなどが可能である。ここで、特許文献１では、検査用領域の面積を、プローブを当てることができる程度に大きくする必要がある。しかしながら、特許文献１のように、リード電極に面積の大きい検査用領域を設けると、リード電極の引き回しなどが複雑になる虞がある。そこで、リード電極以外の部分に検査用領域を設けることが考えられるが、この場合には、リード電極を配置するための領域とは別に、検査用領域を配置するための領域が必要となり、装置の大型化につながる。

本発明の目的は、圧電素子から引き出されて配線部材と接続される引出配線の配置領域とは異なる領域に、圧電素子と導通した端子を設けつつも、装置の大型化を抑えることが可能な液体吐出装置を提供することである。

第１の発明に係る液体吐出装置は、ノズルに連通し、所定の配列方向に配列された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室を覆う振動膜と、を有する流路形成部材と、前記複数の第１圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の第１圧電素子と、前記複数の第１圧電素子から、前記配列方向と直交する列直交方向の一方側に引き出され、前記振動膜に沿って延び、配線部材と接続される複数の第１引出配線と、前記流路形成部材の、前記複数の第１圧電素子よりも、前記列直交方向の他方側の部分に配置され、前記配列方向に配列された、導電性材料からなる複数の第１ランドと、前記流路形成部材の、前記第１圧電素子よりも前記列直交方向の前記他方側の部分と接合された第１接合部材と、を備え、前記第１接合部材の、前記複数の第１ランドと重なる部分に、前記複数の第１ランドを露出させる第１露出部が形成されているともに、前記複数の第１ランドのうち、少なくとも１つの前記第１圧電素子に対して設けられ、且つ、前記第１圧電素子と接続された一部の前記第１ランドが第１端子であり、前記第１端子である前記第１ランドと、前記第１圧電素子と接続されていない前記第１ランドとは、形状が異なっている。

本発明によると、流路形成部材の、第１圧電素子よりも列直交方向の他方側に、第１接合部材が接合され、第１端子が配置されている。また、第１接合部材の第１端子と重なる部分に第１露出部が形成され、第１端子が露出している。これにより、第１接合部材を流路形成部材に接合した後においても、第１端子にプローブを当てて第１圧電素子の検査等を行うことができる。また、第１端子を第１接合部材の第１露出部から露出させているため、流路形成部材の、第１圧電素子よりも列直交方向の他方側に第１端子を形成しても、液体吐出装置が列直交方向に大型化することがない。
流路形成部材には、第１接合部材との接合面の高さ調整の目的などから、第１圧電素子よりも列直交方向の他方側の部分に、配列方向に配列された複数のランドが配置されることがある。本発明では、ランドを導電性材料によって形成し、少なくとも一部のランドを第１圧電素子と接続することにより、ランドを第１端子としても用いることができる。
また、本発明によると、第１圧電素子と接続されたランドと、第１圧電素子に接続されていないランドとが第１露出部から露出している場合に、第１端子と、第１圧電素子に接続されていないランドとで形状を異ならせることにより、どのランドが第１端子であるのかを容易に把握することができる。

第２の発明に係る液体吐出装置は、第１の発明に係る液体吐出装置において、前記配列方向に隣接する２つの前記第１端子を備え、これら２つの前記第１端子は、前記列直交方向に互いにずれて配置され、前記第１引出配線の前記配列方向の両側にまたがって延びている。

本発明によると、隣接する２つの第１端子を、列直交方向にずらし、第１引出配線の配列方向の両側にまたがって延びるように設けることにより、これら２つの第１端子を列直交方向にずらさずに配置する場合よりも、第１端子の配列方向の長さを長くして、第１端子の面積を大きくすることができる。

第３の発明に係る液体吐出装置は、第１又は第２の発明に係る液体吐出装置において、前記複数の第１ランドは、前記第１引出配線と同じ材料からなるものである。

本発明によると、第１引出配線とランドとが同じ材料であるため、これらを一度に形成することができる。

第４の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第３のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記第１端子は、前記複数の第１圧電素子のうち、前記配列方向における所定数の前記第１圧電素子毎に設けられ、対応する前記第１圧電素子と接続されている。

本発明によると、複数の第１圧電素子のうち、一部の第１圧電素子の特性の測定等を行うことができる。さらに、この測定結果から、第１端子が設けられていない第１圧電素子の特性などを推定することができる。また、本発明では、複数の第１圧電素子のうち、均等に配置された一部の圧電素子に対して第１端子が設けられているため、第１端子が設けられていない圧電素子の特性などを正確に推定することができる。そして、この場合には、全ての第１圧電素子に対して第１端子が設けられている場合と比較して、第１端子の数が少ないため、プローブを第１端子に当てて測定を行う回数を少なくすることができる。

第５の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第４のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記流路形成部材は、ノズルに連通し、前記配列方向に配列され、前記列直交方向における前記複数の第１圧力室の前記一方側に、前記複数の第１圧力室と間隔をあけて配置され、前記振動膜に覆われた複数の第２圧力室をさらに有し、前記複数の第２圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の第２圧電素子と、前記複数の第２圧電素子から、前記列直交方向の前記他方側に引き出され、前記振動膜に沿って延び、前記配線部材と接続される複数の第２引出配線と、少なくとも１つの前記第２圧電素子に対して設けられ、前記第２圧電素子と接続され、前記流路形成部材の、前記第２圧電素子よりも前記列直交方向の前記一方側に配置された第２端子と、前記流路形成部材の、前記第２圧電素子よりも前記列直交方向の前記一方側の部分と接合された第２接合部材と、をさらに備え、前記第２接合部材の、前記第２端子と重なる部分に、前記第２端子を露出させる第２露出部が形成されている。

本発明によると、流路形成部材の、第２圧電素子よりも列直交方向の一方側には、第２接合部材が接合され、第２端子が配置されている。また、第２接合部材の第２端子と重なる部分に第２露出部を形成され、第２端子が露出している。これにより、第２接合部材を流路形成部材に接合した後においても、第２端子にプローブを当てて第２圧電素子の検査を行うことなどが可能となる。また、第２端子を第２接合部材の第２露出部から露出させるようにすれば、流路形成部材の、第２圧電素子よりも列直交方向の一方側に第２端子を形成しても、液体吐出装置が列直交方向に大型化することがない。また、流路形成部材の、列直交方向における複数の第１圧電素子と複数の第２圧電素子との間の領域には、複数の第１、第２引出配線が配置されるため、この領域に第１、第２端子を配置しようとすると、第１、第２端子の面積が小さくなってしまう虞がある。本発明では、流路形成部材の、第１圧電素子よりも列直交方向の他方側に第１端子を配置し、第２圧電素子よりも列直交方向の一方側に第２端子を配置する。そのため、上記の場合と比較して、第１、第２端子の面積を大きくすることができる。
第６の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第５のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記流路形成部材の、前記第２圧電素子よりも前記列直交方向の一方側の部分に配置され、前記配列方向に配列された、導電性材料からなる複数の第２ランド、を備え、
前記複数の第２ランドのうち、少なくとも１つの前記第２圧電素子に対して設けられ、かつ前記第２圧電素子と接続された一部の前記第２ランドが前記第２端子であり、前記第２端子である前記第２ランドと、前記第２圧電素子と接続されていない前記第２ランドとは、形状が異なっている。
第７の発明に係る液体吐出装置は、ノズルに連通し、配列方向に配列された複数の圧力室と、前記複数の圧力室を覆う振動膜と、を有する流路形成部材と、前記複数の圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子から、前記配列方向と直交する列直交方向の一方側に引き出され、前記振動膜に沿って延び、駆動信号を供給する配線部材と接続される複数の引出配線と、少なくとも１つの前記圧電素子に対して設けられ、前記引出配線と電気的に接続されているとともに、前記流路形成部材の、前記圧電素子に関して前記引出配線と前記列直交方向の反対側に配置された端子と、前記流路形成部材の、前記圧電素子よりも前記列直交方向の他方側の部分と接合された接合部材と、を備え、前記接合部材の、前記端子と重なる部分に、前記端子を露出させる露出部が形成されている。
第８の発明に係る液体吐出装置は、第７の発明に係る液体吐出装置において、前記圧電素子は、圧電層及び共通電極に加え、前記共通電極とともに前記圧電層を挟み、前記圧力室毎に設けられた個別電極を含み、前記列直交方向に関して、前記引出配線が、前記個別電極の一方側端部から引き出され、前記端子と接続する配線が、前記個別電極の他方側端部から引き出されている。
第９の発明に係る液体吐出装置は、第８の発明に係る液体吐出装置において、前記端子と接続する配線の配設ピッチは、前記配列方向に関して、前記圧力室の配設ピッチよりも大きい。
第１０の発明に係る液体吐出装置は、第７〜第９のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記流路形成部材の、前記圧電素子よりも前記列直交方向の他方側の部分に配置され、前記配列方向に配列された、導電性材料からなる複数のランド、を備え、前記複数のランドのうち、少なくとも１つの前記圧電素子に対して設けられ、且つ、前記圧電素子と接続された一部の前記ランドが前記端子であり、前記端子である前記ランドと、前記圧電素子と接続されていない前記ランドとは、形状が異なっている。

本発明によれば、第１接合部材を流路形成部材に接合した後に、第１端子にプローブを当てて第１圧電素子の検査を行うことなどが可能となる。また、流路形成部材の、第１圧電素子よりも列直交方向の他方側に第１端子を形成しても、液体吐出装置が列直交方向に大型化することがない。

本発明の実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２の部分拡大図である。 （ａ）が図３のＡ−Ａ線断面図であり、（ｂ）が図３のＢ−Ｂ線断面図である。 インクジェットヘッドの製造手順を示すフローチャートである。 （ａ）がシリコン基板上に、圧電アクチュエータ、保護膜、配線、端子などを形成した状態を示す図であり、（ｂ）が支持基板を接合した状態を示す図である。 シリコン基板の研磨及び圧力室の形成を行った状態を示す図である。 変形例１の図２相当の図である。 変形例２の図２相当の図である。 変形例３の図２相当の図である。 変形例４の図２相当の図である。 変形例５の図２相当の図である。 変形例６の図２相当の図である。 変形例７の図２相当の図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

（プリンタの全体構成）
図１に示すように、本実施の形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（本発明の「液体吐出装置」）、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿って走査方向（本発明の「列直交方向」）に往復移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、その下面には複数のノズル１５ａ、１５ｂが形成されている。用紙搬送ローラ４は、搬送方向（本発明の「配列方向」）におけるキャリッジ２の両側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。なお、搬送方向は、走査方向に直交する方向である。また、以下では、図１に示すように、走査方向の右側および左側を定義して説明する。

そして、プリンタ１では、印字指令を受けると、記録用紙Ｐの搬送と、これに同期したキャリッジ２の往復移動が始まる。これに対応してインクジェットヘッド３が駆動され、ノズルからインクが吐出され、記録用紙Ｐには画像データに基づく画像が形成される。

（インクジェットヘッド）
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３は、流路形成部材、圧電素子および接続部材の積層体である。本実施の形態では、流路形成部材として、振動膜３１、圧力室プレート２１、マニホールドプレート２２、ノズルプレート２３およびカバープレート２４が相当し、部材内部に液体流路を有する。圧電素子は、振動膜３１および圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂが相当し、ユニモルフ型の変形を起こす。また、接続部材として、支持部材３４が相当し、流路形成部材および圧電素子を補強する。なお、図３では、後述の支持基板３４について対向部６１ａ、６１ｂの走査方向の端の位置のみを二点鎖線で図示している。また、電極、配線、端子には、ハッチングを付している。

圧力室プレート２１は、シリコン（Ｓｉ）によって形成され、複数の貫通孔を有する。貫通孔は、開口の形状が長円形状であり、走査方向が長手方向である。各貫通孔は、振動膜３１およびマニホールドプレート２２で上下に封止されて、複数の圧力室１０ａ、１０ｂを構成する。複数の圧力室１０ａ、１０ｂは搬送方向に並び、２つの圧力室列９ａ、９ｂを形成している。圧力室列９ａは、複数の圧力室１０ａで構成され、圧力室列９ｂは、複数の圧力室１０ｂで構成されている。複数の圧力室１０ａ、１０ｂは、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並ぶ。つまり、左側の圧力室１０ａは、搬送方向に隣接する右側の圧力室１０ｂに対して、列内における圧力室同士の間隔の半分の長さだけ、搬送方向にずれている。

マニホールドプレート２２は、圧力室プレート２１の下面に接合され、圧力室プレート２１よりも走査方向両側に長い。マニホールドプレート２２は、シリコン(Ｓｉ)によって形成され、マニホールド流路１１ａ、１１ｂ、インク供給流路１４ａ、１４ｂ、複数の絞り流路１２ａ、１２ｂ及び複数のディセンダ流路１３ａ、１３ｂを有する。

マニホールド流路１１ａは、走査方向左側の下半分に形成され、下面において開口している。マニホールド流路１１ａは、搬送方向に、圧力室列９ａの全長にわたって延びている。また、マニホールド流路１１ａは、走査方向において、圧力室プレート２１の左端を挟んで両側に広がりを持つ。マニホールド流路１１ａは、その右側端部で上下に絞り流路１２ａと重なり、左側端部で上下にインク供給流路１４ａと重なっている。

マニホールド流路１１ｂは、その配置形態が、走査方向のプレート中央部に関して、マニホールド流路１１ａとほぼ対称の関係を有する。例えば、マニホールド流路１１ｂも、搬送方向には、圧力室列９ｂの全長に亘って延び、走査方向には、圧力室プレート２１の右端を挟んでその両側に広がる。マニホールド流路１１ｂは、その左側端部で絞り流路１２ｂと重なり、右側端部でインク供給流路１４ｂと重なっている。

インク供給流路１４ａは、走査方向左側の上半部に形成され、マニホールド流路１１ｂと搬送方向の長さが等しい。インク供給流路１４ａは、上下方向に延びて、上端が圧力室プレート２１から露出した上面に開口し、下端がマニホールド流路１１ａと接続している。インク供給流路１４ｂは、その配置形態が、走査方向のプレート中央部に関して、インク供給流路１４ａとほぼ対称の関係を有する。インク供給流路１４ｂも、上端は露出した上面に開口し、下端がマニホールド流路１１ｂと接続している。それぞれの開口は、図示しないチューブを介して、図示しないインクカートリッジからインクが供給される。

複数の絞り流路１２ａは、走査方向左側の上半部に形成されている。各絞り流路１２ａは、上下方向に延びて、上端が圧力室１０ａの左端部と接続し、下端がマニホールド流路１１ａと接続している。複数の絞り流路１２ｂは、走査方向右側の上半部に形成されている。各絞り流路１２ｂも、絞り流路１２ａと同様に、上端が圧力室１０ｂの右端部と接続し、下端がマニホールド流路１１ｂと接続している。各絞り流路は、圧力室毎に配置され、圧力室とマニホールド流路とを１対１の関係で連通する。つまり、複数の絞り流路１２ａ、１２ｂは、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並んでいる。

複数のディセンダ流路１３ａは、走査方向左側で、マニホールドプレート２２を貫通して形成されている。各ディセンダ流路１３ａは、上端が圧力室１０ａの右端部と接続し、下端がノズル１５ａと接続している。複数のディセンダ流路１３ｂは、走査方向右側でディセンダ流路１３ａと同様に、上端が圧力室１０ｂの左端部と接続し、下端がノズル１５ｂと接続している。各ディセンダ流路は、圧力室毎に配置され、圧力室とノズルとを１対１の関係で連通する。つまり、複数のディセンダ流路１３ａ、１３ｂも、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並んでいる。

ノズルプレート２３は、合成樹脂材料等からなり、マニホールドプレート２２の下面の中央部に接合され、複数のディセンダ流路１３ａ、１３ｂと重なる。ノズルプレート２３には、複数のノズル１５ａ、１５ｂが形成されている。複数のノズル１５ａは、複数のディセンダ流路１３ａと重なる部分に配置されている。各ノズル１５ａ、１５ｂは、出射側の開口に向けて先細りである。

以上の構成により、インクカートリッジのインクは、チューブを介して、インク供給流路に流れ込む。インクは、インク供給流路からマニホールド流路に流れ込む。インクは、マニホールド流路を満たすと、その出口から各個別インク流路（絞り流路、圧力室、ディセンダ流路およびノズルで構成される個別の流路）に分配される。個別インク流路の先端（ノズル）において、インクは、メニスカスを形成し止まる。圧電アクチュエータの駆動(圧力室容積の減少)により、インクは、液滴となってノズルから吐出される。

カバープレート２４は、金属材料などからなり、マニホールドプレート２２の下面の、ノズルプレート２３の周囲を取り囲む領域に接合されている。カバープレート２４は、マニホールド流路１１ａ、１１ｂの、マニホールドプレート２２の下面における開口を塞いでいる。例えば、カバープレート２４が、樹脂のような可撓性材料製であっても良く、マニホールド流路内の圧力変動をより効果的に抑制できる。

振動膜３１は、ジルコニア（ＺｒＯ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、酸化シリコン（ＳｉＯ₂）、窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）等の絶縁性材料からなり、圧力室プレート２１の上面に形成されている。振動膜３１は、全ての圧力室１０ａ、１０ｂの開口を塞ぎ、本実施の形態では、圧力室プレート２１の上面全体を覆っている。図４（ａ）、（ｂ）では、振動膜３１が単層であるが、多層であっても良い。ここで、振動膜３１は、流路形成部材として圧力室の側壁を構成するとともに、圧電素子用部材として圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂと共にユニモルフ変形を起こす。

圧電アクチュエータ３２ａは、その構成部材として、圧電層４１ａと、複数の個別電極４２ａと、共通電極４３ａと、保護膜４４ａ、４５ａとを備えている。複数の個別電極４２ａは、白金（Ｐｔ）などの導電性材料からなり、振動膜３１の上面に圧力室１０ａ毎に設けられている。個別電極４２ａは、主要部が圧力室１０ａの中央部と重なり、走査方向の両側が圧電層４１ａ（後述）から露出している。

圧電層４１ａは、圧電材料からなり、本実施例では、チタン酸ジルコン酸鉛が主成分である。圧電層４１ａは、一続きの帯状に形成され、振動膜３１上で個別電極４２ａを覆っている。圧電層４１ａは、全ての圧力室１０ａと重なり、搬送方向に延びる。

共通電極４３ａは、イリジウム（Ｉｒ）などの導電性材料からなり、圧電層４１ａの上面のほぼ全域を覆っている。圧電層４１ａのうち、各個別電極４２ａと共通電極４３ａとに挟まれた部分が、活性部であり、個別電極４２ａから共通電極４３ａに向かって分極されている。

保護膜４４ａは、二酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）などの絶縁性材料からなる。保護膜４４ａは、各個別電極４２ａの右端部を部分的に残して、圧電層４１ａの右端部を覆い、搬送方向に延びている。保護膜４５ａは、各個別電極４２ａの左端部を部分的に残して、圧電層４１ａの左端部を覆い、搬送方向に延びている。両保護膜４４ａ、４５ａは、同じ材料からなっている。

圧電アクチュエータ３２ｂは、その構成部材として、圧電層４１ｂと、複数の個別電極４２ｂと、共通電極４３ｂと、保護膜４４ｂ、４５ｂとを備えている。圧電アクチュエータ３２ｂは、圧電アクチュエータ３２ａに対して、構成部材の配置形態に違いがあるが、構成部材の材質および圧電層４１ｂの分極状態は同じである。

なお、本実施の形態では、圧電層４１ａ、共通電極４３ａ及び保護膜４４ａ、４５ａの各圧力室１０ａと重なる部分と、圧電層４１ａの各部分に設けられた個別電極４２ａとを合わせたものが、それぞれ、本発明の第１圧電素子に相当する。また、本実施の形態では、圧電層４１ｂ、共通電極４３ｂ及び保護膜４４ｂ、４５ｂの各圧力室１０ｂと重なる部分と、圧電層４１ｂの各部分に設けられた個別電極４２ｂとを合わせたものが、それぞれ、本発明の第２圧電素子に相当する。

圧電アクチュエータ３２ａと３２ｂとの配置形態の違いは、搬送方向での配置ズレに起因する。第１圧電素子及び第２圧電素子は、圧力室と１対１の関係で配設されるもので、全体的な配置形態は、圧力室の配置形態を反映している。圧力室の場合と同様に、圧電アクチュエータ３２ｂおよびこれに関連する部材は、圧電アクチュエータ３２ａおよびこれに関連する部材に対して、搬送方向にずれて配置されている。つまり、複数の第１圧電素子及び複数の第２圧電素子も、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並んでいる。なお、走査方向における構成部材の配置形態は、この搬送方向のずれを加味すれば、プレート中央部に関して対称と言える。

また、圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂが配置された振動膜３１の上面には、複数の内側個別配線５２ａ、５２ｂと、複数の外側個別配線５３ａ、５３ｂと、複数の個別端子５４ａ、５４ｂと、内側共通配線５５ａ、５５ｂと、外側共通配線５６ａ、５６ｂと、共通端子５７ａ、５７ｂと、が配置されている。

内側個別配線５２ａ（本発明の「第１引出配線」）は、個別電極４２ａに対して１対１で設けられている。内側個別配線５２ａは、金（Ａｕ）などの導電性材料からなり、主に振動膜３１に沿って走査方向に延びる。内側個別配線５２ａは、左端を保護膜４４ａ上に持ち、右端を右側（本発明の「列直交方向の一方側」）の圧電アクチュエータ３２ｂ近傍に持つ。このとき、内側個別配線５２ａは、保護膜４４ａから露出した個別電極４２ａの右端部と、配設の途中部で接続している。

搬送方向の配置ずれを加味すると、内側個別配線５２ｂ（本発明の「第２引出配線」）は、プレート中央部に関して、内側個別配線５２ａと走査方向に対称の配置形態を有する。内側個別配線５２ｂは、右端を保護膜４４ｂ上に持ち、左端を左側（本発明の「列直交方向の他方側」）の圧電アクチュエータ３２ａ近傍に持ち、途中部で個別電極４２ｂの左端部と接続している。

このとき、２つの圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂで挟まれた領域（特に、プレート中央部）では、内側個別配線５２ａと内側個別配線５２ｂとが、搬送方向に交互に等間隔で並んでいる。このプレート中央部は、ＣＯＦ７０との接合領域である。なお、内側個別配線５２ｂは、内側個別配線５２ａと同じ材料からなる。

外側個別配線５３ａは、個別電極４２ａに対して１対１で設けられている。外側個別配線５３ａは、内側個別配線５２ａ、５２ｂと同じ導電性材料からなり、主に振動膜３１に沿って走査方向に延びる。外側個別配線５３ａは、右端を保護膜４５ａ上に持ち、左端を振動膜３１の左側端部近傍に持つ。このとき、外側個別配線５３ａは、保護膜４５ａから露出した個別電極４２ａの左端部と、配設の途中部で接続している。また、複数の外側個別配線５３ａのうち、搬送方向の上流側から数えて奇数番目の外側個別配線５３ａは、偶数番目の外側個別配線５３ａよりも、先端部が左側に位置している。

個別端子５４ａは、各外側個別配線５３ａの先端部（本発明の「流路形成部材の、第１圧電素子よりも列直交方向の他方側に位置する部分」）に設けられている。個別端子５４ａは、外側個別配線５３ａと同じ導電性材料からなり、外側個別配線５３ａよりも幅が広い。すなわち、個別端子５４ａは、外側個別配線５３ａの搬送方向両側にまたがって延びている。また、外側個別配線５３ａの先端部の配置形態に対応して、搬送方向の上流側から奇数番目の個別端子５４ａは、偶数番目の個別端子５４ａよりも左側にずれて配置されている。すなわち、複数の個別端子５４ａは、圧力室プレート２１（振動膜３１）の走査方向左端部で、搬送方向に２列の千鳥状に配置されている。これにより、インクジェットヘッド３を大型化すること無く、個別端子５４ａのサイズを大きくできる。

搬送方向の配置ずれを加味すると、外側個別配線５３ｂは、プレート中央部に関して、外側個別配線５３ａと走査方向に対称の配置形態を有する。外側個別配線５３ｂは、外側個別配線５３ａと同じ材料である。外側個別配線５３ｂは、左端を保護膜４５ｂ上に持ち、右端を振動膜３１の右側端部近傍に持ち、途中部で個別電極４２ｂの右端部と接続している。また、複数の外側個別配線５３ｂのうち、搬送方向の上流側から数えて奇数番目の外側個別配線５３ｂは、偶数番目の外側個別配線５３ｂよりも、先端部が左側に位置している。

個別端子５４ｂは、各外側個別配線５３ｂの先端部に設けられている。個別端子５４ｂは、外側個別配線５３ｂと同じ導電性材料からなり、外側個別配線５３ｂよりも幅が広い。すなわち、個別端子５４ｂは、外側個別配線５３ｂの搬送方向両側にまたがって延びている。また、外側個別配線５３ｂの先端部の配置形態に対応して、搬送方向の上流側から奇数番目の個別端子５４ｂは、偶数番目の個別端子５４ｂよりも左側にずれて配置されている。すなわち、複数の個別端子５４ｂは、圧力室プレート２１（振動膜３１）の走査方向右端部で、搬送方向に２列の千鳥状に配置されている。

２つの内側共通配線５５ａ、５５ｂは、内側個別配線５２ａ、５２ｂと同じ導電性材料からなり、振動膜３１に沿って走査方向に延びている。内側共通配線５５ａは、プレート中央部において、内側個別配線５２ａ、５２ｂの並びに対して、搬送方向上流側で隣接している。内側共通配線５５ａは、走査方向に関して、左端が共通電極４３ａに接続し、右端が内側個別配線５２ａの右端と同じ位置にある。

内側共通配線５５ｂは、プレート中央部において、内側個別配線５２ａ、５２ｂの並びに対して、搬送方向下流側で隣接している。内側共通配線５５ｂは、走査方向に関して、右端が共通電極４３ｂに接続し、左端が内側個別配線５２ｂの左端と同じ位置にある。

ここで、圧電アクチュエータ３２ａと３２ｂとの間の中央部には、ＣＯＦ（Chip On Film）７０の一部が接続されている。ＣＯＦ７０の他端は、図示しない回路基板に接続され、回路基板から画像データが供給される。ＣＯＦ７０の途中部には、ドライバＩＣ７１が実装されている。ドライバＩＣ７１は、画像データに基づいて、駆動信号を出力する。駆動信号は、内側個別配線５２ａ、５２ｂを介して、個別電極４２ａ、４２ｂに供給される。なお、駆動信号は、一種のパルス信号であり、グランド電位と駆動電位（例えば、２０Ｖ）との間で切り替わる。これとは別に、グランド電位が、内側共通配線５５ａ、５５ｂを介して、共通電極４３ａ、４３ｂに供給される。

外側共通配線５６ａは、内側共通配線５５ａと同じ導電性材料からなる。外側共通配線５６ａは、共通電極４３ａから内側共通配線５５ａと反対側に延びて、走査方向に内側共通配線５５ａと並ぶ。外側共通配線５６ａは、右端が共通電極４３ａに接続し、左端が振動膜３１の左側端部近傍にある。この左端には、共通端子５７ａが接続している。共通端子５７ａは、外側共通配線５６ａよりも幅広で、個別端子５４ａよりもサイズが大きい。

搬送方向の配置ずれを加味すると、外側共通配線５６ｂおよび共通端子５７ｂは、プレート中央部に関して、外側共通配線５６ａおよび共通端子５７ａと走査方向に対称の配置形態を有する。なお、共通端子５７ａを含めて、外側共通配線５６ｂおよび共通端子５７ｂは、外側共通配線５６ａと同じ材料からなる。

次に、支持基板３４について説明する。支持基板３４は、シリコン（Ｓｉ）によって形成され、振動膜３１の上面に接合されている。支持基板３４は、２つの対向部６１ａ、６１ｂと、２つの連結部６２、６３とを有する。連結部６２は、搬送方向上流部で２つの対向部６１ａ、６１ｂを連結し、連結部６３が下流部で両者を連結している。支持基板３４は、概形が四角形状の枠体で、圧力室プレート２１と外側輪郭が重なる。中空の中央部３４ａからは、内側配線５２ａ、５２ｂ、５５ａ、５５ｂが、露出している。
対向部６１ａ（本発明の「第１接合部材」）は、圧力室プレート２１の走査方向左側で、圧力室列９ａと対向する。対向部６１ａの下面には、凹部６６ａが開口している。この開口は、平面視で圧力室列９ａと重なり、全ての圧力室１０ａを内包している。そのため、凹部６６ａおよび振動膜３１が作る空間には、圧電アクチュエータ３２ａの大部分が収容されている。圧電アクチュエータ３２ａは、支持基板３４により、外部から保護される。対向部６１ａは、走査方向左側端部に、切欠部６７ａ（本発明の「第１露出部」）を有している。切欠部６７ａは、対向部６１ａを上下に貫通し、外側配線５３ａ、５６ａの一部および端子５４ａ、５７ａを露出している。各端子５４ａ、５７ａは、プローブによる探針が可能である。
対向部６１ｂ（本発明の「第２接合部材」）は、中空の中央部３４ａを挟んで、対向部６１ａと走査方向に対称の配置形態を持つ。対向部６１ｂは、下面に凹部６６ｂを有し、走査方向右側端部に切欠部６７ｂ（本発明の「第２露出部」）を持っている。凹部６６ｂには、圧電アクチュエータ３２ｂの大部分が収容され、切欠部６７ｂからは、外側配線５３ｂ、５６ｂの一部と端子５４ｂ、５７ｂが露出している。圧電アクチュエータ３２ｂは保護され、端子５４ｂ、５７ｂは探針可能に解放されている。

連結部６２は、走査方向に延びて、対向部６１ａと６１ｂの搬送方向における上流側の端部同士を連結させる。連結部６３は、走査方向に延びて、対向部６１ａと６１ｂの搬送方向における下流側の端部同士を連結させる。また、図示は省略するが、連結部６２、６３の内部には、その下面において開口し、走査方向に延びて凹部６６ａ、６６ｂと接続された内部空間が形成されている。

（インクジェットヘッドの駆動方法）
次に、駆動素子（圧電アクチュエータと振動膜３１からなる圧電素子）を駆動してノズルからインクを吐出させる方法について説明する。インクジェットヘッド３では、駆動前の状態（スタンバイ状態）において、全ての個別電極がグランド電位に保持されている。

あるノズルからインクを吐出させる際には、そのノズルに対応する個別電極の電位をグランド電位から駆動電位に切り換える。個別電極の電位が共通電極より高くなると、圧電層に、個別電極から共通電極に向かう電界が生じる。圧電層は、個別電極から共通電極向かう方向に分極されているので、面方向に縮む。一方、振動膜３１は、電界による自発的な伸縮がない。これにより、圧電層と振動膜３１との間で歪み差が生じ、駆動素子は圧力室１０側に凸に変形する。このとき、圧力室内のインクが加圧され、その一部がノズルから吐出される。この後、個別電極の電位がグランド電位に戻れば、駆動素子の変形が解かれ、圧力室の容積も駆動電位の印加前の容積に戻る。このとき、マニホールド流路からインクが圧力室に補充され、次のインク吐出（駆動電位の印加）に対する準備が整う。

（インクジェットヘッドの製造方法）
次に、インクジェットヘッド３の製造方法について説明する。インクジェットヘッド３を製造するためには、まず、図５、図６（ａ）に示すように、圧力室プレート２１となるシリコン基板９１（本発明の「基材」）の上面に、振動膜３１を形成し（Ｓ１０１）、続いて、その上に、圧電層４１ａ、４１ｂ、個別電極４２ａ、４２ｂ、共通電極４３ａ、４３ｂ、保護膜４４ａ、４４ｂ、４５ａ、４５ｂ、配線５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ、５５ａ、５５ｂ、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂを適宜の順に形成する（Ｓ１０２、本発明の「素子形成工程」）。このとき、配線５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ、５５ａ、５５ｂと、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂとは同じ材料によって形成されるので、同時に形成する。共通電極４３ａ、４３ｂも配線及び端子と同時に形成する。ここで、シリコン基板９１は、この段階では、圧力室プレート２１よりも厚みが大きい。Ｓ１０１、Ｓ１０２でのシリコン基板９１のハンドリング性を高くするためである。次に、支持基板用のシリコン基板を別に用意し、これに凹部６６ａ、６６ｂとなる溝の加工と、続く貫通孔の形成を行う（Ｓ１０３、本発明の「露出部形成工程」）。貫通孔には、中空の中央部用の貫通孔と切り欠き部用の貫通孔が含まれる。

次に、図６（ｂ）に示すように、圧力室プレート用のシリコン基板９１の上面に、さらに、支持基板用のシリコン基板を接合する（Ｓ１０４、本発明の「接合工程」）。このとき、溝と圧電アクチュエータとが位置合わせされ、凹部用の溝が形成された面が接着される。圧電アクチュエータが、溝（凹部）に内包されて、外部から保護される。また、各中空の中央部用の貫通孔からは、内側配線が露出し、各切り欠き部用の貫通孔からは、外側配線および端子が露出することになる。

次に、図７に示すように、シリコン基板９１を研磨することで、圧力室プレート２１の厚みとし（Ｓ１０５）、続いて、エッチングなどにより、シリコン基板９１に複数の圧力室１０ａ、１０ｂを形成する（Ｓ１０６、本発明の「圧力室形成工程」）。ここで、シリコン基板９１の研磨及び圧力室１０ａ、１０ｂの形成の前に、シリコン基板９１に支持基板３４を接合しているのは、シリコン基板９１の研磨後におけるハンドリング性を高くするためである。

なお、Ｓ１０５からＳ１０６に至る手順は、逆であっても良い。シリコン基板９１に圧力室１０ａ、１０ｂを形成した後、シリコン基板９１の研磨を施す。圧力室の形成加工は、複雑な工程を含むが、ハンドリング性がより高い状態で微細加工を施せる。

この段階で、図７に示すように、２つのシリコン基板からなる接合体が得られる。両シリコン基板は、所定サイズのウェハ状基板であって、複数のヘッド用単位接合体が作り込まれている。ヘッド用単位接合体とは、１つの圧力室プレートと１つの支持基板との積層体に相当し、丁度１つのインクジェットヘッドを構成するためのサイズと形状を有した部分である。そこで、圧力室を形成した（Ｓ１０６）後、ダイサーなどを用いて、接合体を個々の単位接合体に分割する（Ｓ１０７）。

そして、この後、圧力室プレート２１と、別途作製したマニホールドプレート２２、ノズルプレート２３及びカバープレート２４とを互いに接合させ（Ｓ１０８）、内側配線が露出した中空の中央部に、ＣＯＦ７０を接合する（Ｓ１０９）。これにより、インクジェットヘッド３が完成する。

インクジェットヘッド３の完成後、続いて、切欠部６７ａ、６７ｂから露出した複数の個別端子５４ａ、５４ｂ及び共通端子５７ａ、５７ｂにプローブを当てて圧電素子の検査を行う（Ｓ１１０、本発明の「検査工程」）。

例えば、圧電素子の検査として、共振周波数の測定がある。この測定では、共通端子と個別端子間に交流電圧を印加する。電圧は、１Ｖ程度である。交流電圧の周波数をスイープして電流―周波数特性を求め、電流がピークを持つ周波数を共振周波数とする。圧電素子間で共振周波数を比較すれば、インクジェットヘッド内での吐出特性の均一性を推測できる。インクジェットヘッド間でこれを比較すれば、インクジェットヘッドを吐出特性でランク分けができる。

ここで、本実施の形態とは異なり、内側個別配線５２ａ、５２ｂに個別端子を設け、内側共通配線５５ａ、５５ｂに共通端子を設けることも考えられる。
しかしながら、各端子の配設領域は、中空の中央部３４ａから露出する限られた領域となり、端子サイズの拡大に自由度が低く、ＣＯＦ７０が邪魔をして探針用スペースを確保しにくい。各配線の引き回しが、複雑になる虞もある。
本実施の形態では、圧力室プレート２１の走査方向の両端部に、個別端子および共通端子が配置されている。そのため、端子サイズの拡大に自由度が高く、ＣＯＦ７０が邪魔することも無いので、探針用スペースを確保しやすい。各配線の引き回しに対し、制限を受けることも無い。

本実施の形態では、支持基板３４が、走査方向における両端部に切欠部６７ａ、６７ｂを有し、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂを露出させている。したがって、支持基板３４が切欠部６７ａ、６７ｂを持たずに、さらに外側に端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂを配置する場合と比較して、インクジェットヘッド３の大型化を抑制することができる。

また、本実施の形態では、圧力室プレート２１の走査方向の端部において、搬送方向に隣接する２つの個別端子が、搬送方向に沿って重なること無く、搬送方向に２列の千鳥状に配列されている。搬送方向に見たとき、各個別端子は、対応する個別配線の搬送方向両側に広がっている。つまり、各端子は、プローブで探針可能な面積を容易に確保できる。

以上の説明の中で、圧電アクチュエータの関連したヘッドの構成部材について、搬送方向の配置ずれを加味すれば、配置形態が走査方向に対称であるとしたが、厳格に対称配置されている必要は無い。例えば、走査方向に関して、ヘッドの右側と左側で構成部材間の間隔や構成部材自体の長さ等が異なっていても良い。具体的には、個別端子のサイズ、内側個別配線の端部位置と引出長さ、外側個別配線の端部位置と引出長さ、等が異なっていてもよい。各電極、各配線および各端子の材料が異なっていてもよい。

個別電極が個別配線と接続するとき、接続部としての個別電極の端部が、保護膜から露出した個別電極の上面であっても、あるいは、保護膜から露出した個別電極の側端面であってもよい。

また、本実施の形態では、支持基板３４の切欠部６７ａ、６７ｂが、支持基板３４を上下に貫通して形成されていたが、下面および側端面に開口した凹部であってもよい。この場合、凹部の作る側端面の開口から端子を探針することになる。なお、プローブで探針可能なサイズの開口が得られないならば、凹部内の端子に対してＣＯＦ等の配線部材を接続し、支持基板３４から離れたところで測定すればよい。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。

上述の実施の形態では、搬送方向に隣接する２つの個別端子５４ａ、及び、搬送方向に隣接する２つの個別端子５４ｂを、それぞれ走査方向にずらして配置したが、これには限らない。変形例１では、図８に示すように、圧力室プレート２１の走査方向両側端部において、複数の個別端子が、搬送方向に沿って１列に並んでいる。ここで、外側配線を走査方向に沿って引き出すと、個別端子の面積は、圧力室の配設ピッチに規制される。これについては、切欠部の搬送方向の開口長さによるが、外側配線を、走査方向の外側に向かって広がるように引き出せばよい。個別端子の配設ピッチを、圧力室の配設ピッチよりも大きくできる。

また、上述の実施の形態では、全ての個別電極に対して、個別端子が設けられていたが、これには限らない。一部の個別電極に対してのみ個別端子が設けられていてもよい。

例えば、変形例２では、図９に示すように、複数の個別電極のうち、搬送方向の上流側の端において隣接する２つの個別電極と、下流側の端において隣接する２つの個別電極と、中央において隣接する２つの個別電極に対してのみ、個別端子が設けられている。

また、変形例３では、図１０に示すように、複数の個別電極のうち、１つおきの個別電極に対して、外側個別配線及び個別端子１６４ａ、１６４ｂが設けられている。このとき、搬送方向に隣接する２つの個別端子は、それぞれ、走査方向にずれて配置されている。つまり、圧力室プレート２１の走査方向両側端部において、搬送方向に隣接する２つの個別端子が、搬送方向に沿って重なること無く、搬送方向に２列の千鳥状に配列されている。そのため、搬送方向について、個別端子の配設スペースに、余裕が生じる。変形例２、３の個別端子では、外側配線を走査方向に沿って引き出しても、本実施形態の個別端子に比べて、搬送方向に長くできる。

ここで、変形例３では、１つおきの個別電極に対して個別端子が設けられていたが、２以上の所定数毎の個別電極に対して、個別端子が設けられていてもよい。

また、変形例３では、搬送方向に隣接する２つの個別端子同士が、走査方向にずれて配置されていたが、複数の個別端子は、搬送方向に１列に配列されていてもよい。この場合でも、個別端子の面積を、少なくとも変形例１の個別端子よりも大きくすることはできる。また、上記所定数が大きいほど個別端子の面積を大きくすることができる。

また、変形例２、３では、２以上の個別電極に対して、個別端子が設けられていたが、１つの個別電極に対してのみ、個別端子が設けられていてもよい。

また、上述の実施の形態では、インクジェットヘッド３が２つの圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂを備え、内側個別配線５２ａ、５２ｂが、２つの圧電アクチュエータ３２ａと３２ｂとの間の領域に引き出されていたが、これには限られない。変形例４では、図１１に示すように、インクジェットヘッドが、圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂのうち、圧電アクチュエータ３２ａのみを備えている。

この場合でも、多数の配線（共通配線を含む）とＣＯＦ７０との接続位置が決まっているため、配線の引き回しには制限がある。そのため、配線に端子（共通端子を含む）を設けると、端子の面積が小さくなりすぎて、プローブを当てるのが困難になる虞がある。端子の面積を確保するために、配線の引き回しが複雑になる虞がある。あるいは、プローブを端子に当てる際に、ＣＯＦ７０が邪魔になることがある。そのため、端子は、走査方向において、圧電アクチュエータ３２ａに対して、配線と反対側に配置する意義はある。

また、個別端子や共通端子は、専用に設けられたものであることには限らない。インクジェットヘッド３を構成する別の部材を利用して個別端子や共通端子を形成してもよい。例えば、変形例５では、図１２に示すように、振動膜３１の走査方向における両端部の上面に、それぞれ、配線５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ、５５ａ、５５ｂ、５６ａ、５６ｂと同様の導電性材料からなり、搬送方向に沿って２列に千鳥状に配列された複数のランド２０１ａ、２０１ｂが配置されている。そして、これら複数のランド２０１ａのうち、一部のランド２０１ａ１が、外側個別配線５３ａと接続されている。各ランド２０１ａ１は、それぞれ、個別端子として働く。また、ランド２０１ａ１とは別に、１つのランド２０１ａ２が、外側共通配線５６ａと接続され、共通端子となっている。また、複数のランド２０１ｂのうち、一部のランド２０１ｂ１も、接続状態は、複数のランド２０１ａと同様である。

また、変形例５では、複数のランド２０１ａ、２０１ｂのうち、電極と接続されたランド２０１ａ１、２０１ｂ１、２０１ａ２、２０１ｂ２と、接続されていないランド２０１ａ３、２０１ｂ３の両方が、切欠部から露出している。また、ランド２０１ａ１、２０１ｂ１、２０１ａ２、２０１ｂ２と、ランド２０１ａ３、２０１ｂ３とは、形状が異なる。例えば、ランド２０１ａ１、２０１ｂ１、２０１ａ２、２０１ｂ２は、矩形の平面形状を有し、ランド２０１ａ３、２０１ｂ３は、略円形の平面形状を有する。また、ランド２０１ａ１、２０１ｂ１とランド２０１ａ２、２０１ｂ２とは、大きさが異なっている。

ここで、振動膜３１上の支持基板との接合領域は、配線などが配置されているので、接合面の高さにばらつきがある。変形例５では、この高さばらつきを低減するため、接合領域内にも複数のランドを配置している。このとき、各ランドの材料を、配線と同じにしており、作成が容易である。別途、専用の端子を形成する必要も無い。

また、変形例５では、ランド２０１ａ１、２０１ｂ１と、ランド２０１ａ２、２０１ｂ２とで、平面形状が異なる。したがって、どのランド２０１ａ、２０１ｂが、端子となるランド２０１ａ１、２０１ｂ１であるのかを容易に把握できるので、プローブによる検査が容易である。

また、変形例５では、ランド２０１ａ、２０１ｂを、配線５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ、５５ａ、５５ｂ、５６ａ、５６ｂと同じ材料によって構成されたものであるため、Ｓ１０２において、配線５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ、５５ａ、５５ｂ、５６ａ、５６ｂと、ランド２０１ａ、２０１ｂとを一度に形成することができる。

ここで、変形例５では、端子となるランド２０１ａ１、２０１ｂ１、２０１ａ２、２０１ｂ２と、それ以外のランド２０１ａ３、２０１ｂ３とで、形状を異ならせたが、これには限られない。全てのランド２０１ａ、２０１ｂを同一の形状としてもよい。

また、変形例５では、電極４２ａ、４２ｂ、４３ａ、４３ｂと接続されたランド２０１ａ１、２０１ｂ１と、接続されていないランド２０１ａ２、２０１ｂ２の両方が、切欠部６７ａ、６７ｂから露出していたが、これには限られない。可能な場合には、ランド２０１ａ１、２０１ｂ１のみを切欠部６７ａ、６７ｂから露出させてもよい。この場合には、ランド２０１ａ１、２０１ｂ１と、ランド２０１ａ２、２０１ｂ２とが同一形状であっても、どのランド２０１ａ、２０１ｂにプローブを当てるべきかを把握することが困難となることはない。

また、変形例５では、ランド２０１ａ、２０１ｂを、配線５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ、５５ａ、５５ｂ、５６ａ、５６ｂと同じ材料によって構成されていたが、これには限らない。ランド２０１ａ、２０１ｂは、配線５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ、５５ａ、５５ｂ、５６ａ、５６ｂとは異なる導電性材料によって構成されていてもよい。この場合には、Ｓ１０２において、配線５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ、５５ａ、５５ｂ、５６ａ、５６ｂと、ランド２０１ａ、２０１ｂとを別々に形成することになる。

また、上述の実施の形態では、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂが、対応する配線５３ａ、５３ｂ、５６ａ、５６ｂの搬送方向における両側にまたがって延びていたが、これには限られない。変形例６では、図１３に示すように、個別端子２５４ａ、２５４ｂ及び共通端子２５７ａ、２５７ｂが、対応する配線５３ａ、５３ｂ、５６ａ、５６ｂの搬送方向における下流側にのみ延びている。また、変形例６とは逆に、個別端子及び共通端子が、対応する配線５３ａ、５３ｂ、５６ａ、５６ｂの搬送方向における上流側にのみ延びていてもよい。

また、上述の実施の形態では、支持基板３４の走査方向における左端部に、左端及び上下端が開口した切欠部６７ａを形成し、支持基板３４の走査方向における右端部に、右端及び上下端が開口した切欠部６７ｂを形成することで、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂを露出させたが、これには限らない。

変形例７では、図１４に示すように、支持基板３０１の、走査方向における左端部に、上下方向に延びた貫通孔３０１ａ（本発明の「第１露出部」）が形成され、走査方向における右端部に、上下方向に延びた貫通孔３０１ｂ（本発明の「第２露出部」）が形成されている。また、変形例１と同様、複数の個別端子１５４ａ、及び、複数の個別端子１５４ｂが、搬送方向に１列に配列されている。そして、貫通孔３０１ａから、端子１５４ａ、５７ａが露出し、貫通孔３０１ｂから端子１５４ｂ、５７ｂが露出している。

また、上述の実施の形態では、Ｓ１０９において、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂを用いて、圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂにおける各圧電素子の共振周波数を測定する場合について説明したが、これには限られない。各個別端子５４ａと共通端子５７ａ、及び、各個別端子５４ｂと共通端子５７ｂとにそれぞれプローブを当てることによって、圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂにおける各圧電素子の静電容量を測定するなど、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂを用いて別の検査を行うことも可能である。あるいは、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂをインクジェットヘッド３の検査以外の目的で使用してもよい。

また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造に本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出する、インクジェットヘッド以外の液体吐出装置及び液体吐出装置の製造に本発明を適用することも可能である。

３ インクジェットヘッド
１０ａ、１０ｂ 圧力室
１５ａ、１５ｂ ノズル
２１ 圧力室プレート
２２ マニホールドプレート
２３ ノズルプレート
２４ カバープレート
３１ 振動膜
３４ 支持基板
５２ａ、５２ｂ 内側個別配線
５４ａ、５４ｂ 個別端子
６７ａ、６７ｂ 切欠部
１５４ａ、１５４ｂ、１６４ａ、１６４ｂ、２５４ａ、２５４ｂ 個別端子
２０１ ランド
３０１ 支持基板
３０１ａ、３０１ｂ 貫通孔

Claims (10)

1. ノズルに連通し、所定の配列方向に配列された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室を覆う振動膜と、を有する流路形成部材と、
   前記複数の第１圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の第１圧電素子と、
   前記複数の第１圧電素子から、前記配列方向と直交する列直交方向の一方側に引き出され、前記振動膜に沿って延び、配線部材と接続される複数の第１引出配線と、
   前記流路形成部材の、前記複数の第１圧電素子よりも、前記列直交方向の他方側の部分に配置され、前記配列方向に配列された、導電性材料からなる複数の第１ランドと、
   前記流路形成部材の、前記第１圧電素子よりも前記列直交方向の前記他方側の部分と接合された第１接合部材と、を備え、
   前記第１接合部材の、前記複数の第１ランドと重なる部分に、前記複数の第１ランドを露出させる第１露出部が形成されているともに、
   前記複数の第１ランドのうち、少なくとも１つの前記第１圧電素子に対して設けられ、且つ、前記第１圧電素子と接続された一部の前記第１ランドが第１端子であり、
   前記第１端子である前記第１ランドと、前記第１圧電素子と接続されていない前記第１ランドとは、形状が異なっていることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記配列方向に隣接する２つの前記第１端子を備え、
   これら２つの前記第１端子は、前記列直交方向に互いにずれて配置され、前記第１引出配線の前記配列方向の両側にまたがって延びていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記複数の第１ランドは、前記第１引出配線と同じ材料からなるものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
4. 前記第１端子は、前記複数の第１圧電素子のうち、前記配列方向における所定数の前記第１圧電素子毎に設けられ、対応する前記第１圧電素子と接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出装置。
5. 前記流路形成部材は、ノズルに連通し、前記配列方向に配列され、前記列直交方向における前記複数の第１圧力室の前記一方側に、前記複数の第１圧力室と間隔をあけて配置され、前記振動膜に覆われた複数の第２圧力室をさらに有し、
   前記複数の第２圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の第２圧電素子と、
   前記複数の第２圧電素子から、前記列直交方向の前記他方側に引き出され、前記振動膜に沿って延び、前記配線部材と接続される複数の第２引出配線と、
   少なくとも１つの前記第２圧電素子に対して設けられ、前記第２圧電素子と接続され、前記流路形成部材の、前記第２圧電素子よりも前記列直交方向の前記一方側に配置された第２端子と、
   前記流路形成部材の、前記第２圧電素子よりも前記列直交方向の前記一方側の部分と接合された第２接合部材と、をさらに備え、
   前記第２接合部材の、前記第２端子と重なる部分に、前記第２端子を露出させる第２露出部が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出装置。
6. 前記流路形成部材の、前記第２圧電素子よりも前記列直交方向の一方側の部分に配置され、前記配列方向に配列された、導電性材料からなる複数の第２ランド、を備え、
   前記複数の第２ランドのうち、少なくとも１つの前記第２圧電素子に対して設けられ、かつ前記第２圧電素子と接続された一部の前記第２ランドが前記第２端子であり、前記第２端子である前記第２ランドと、前記第２圧電素子と接続されていない前記第２ランドとは、形状が異なっていることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出装置。
7. ノズルに連通し、配列方向に配列された複数の圧力室と、前記複数の圧力室を覆う振動膜と、を有する流路形成部材と、
   前記複数の圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の圧電素子と、
   前記複数の圧電素子から、前記配列方向と直交する列直交方向の一方側に引き出され、前記振動膜に沿って延び、駆動信号を供給する配線部材と接続される複数の引出配線と、
   少なくとも１つの前記圧電素子に対して設けられ、前記引出配線と電気的に接続されているとともに、前記流路形成部材の、前記圧電素子に関して前記引出配線と前記列直交方向の反対側に配置された端子と、
   前記流路形成部材の、前記圧電素子よりも前記列直交方向の他方側の部分と接合された接合部材と、を備え、
   前記接合部材の、前記端子と重なる部分に、前記端子を露出させる露出部が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
8. 前記圧電素子は、
   圧電層及び共通電極に加え、前記共通電極とともに前記圧電層を挟み、前記圧力室毎に設けられた個別電極を含み、
   前記列直交方向に関して、前記引出配線が、前記個別電極の一方側端部から引き出され、
   前記端子と接続する配線が、前記個別電極の他方側端部から引き出されていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
9. 前記端子と接続する配線の配設ピッチは、前記配列方向に関して、前記圧力室の配設ピッチよりも大きいことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置。
10. 前記流路形成部材の、前記圧電素子よりも前記列直交方向の他方側の部分に配置され、前記配列方向に配列された、導電性材料からなる複数のランド、を備え、
    前記複数のランドのうち、少なくとも１つの前記圧電素子に対して設けられ、且つ、前記圧電素子と接続された一部の前記ランドが前記端子であり、
    前記端子である前記ランドと、前記圧電素子と接続されていない前記ランドとは、形状が異なっていることを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の液体吐出装置。

Images