JP6531979B2 - Fe-based alloy composition, soft magnetic powder, composite magnetic body, and method of producing soft magnetic powder - Google Patents
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Description
本発明は、軟磁性粉体を配向分散させた複合磁性体に使用される該軟磁性粉体、このためのFe基合金組成物、該磁性シート、及びこの軟磁性粉体の製造方法に関する。 The present invention relates to a soft magnetic powder used for a composite magnetic material in which soft magnetic powder is oriented and dispersed, an Fe-based alloy composition therefor, the magnetic sheet, and a method of producing the soft magnetic powder.
電子部品を高い密度で実装させ電子機器を小型化させるためには、各電子部品から発生する電磁波による干渉が問題となる。このような電子機器内部での電波障害(EMI)を低減させる目的でシート状の複合磁性体が利用されている。かかる複合磁性体からなる磁性シートは扁平な軟磁性粉体を樹脂からなるマトリクス材料中に配向分散させた樹脂シートであり、所望の周波数帯域における虚数透磁率μ”を高くするようにして、この磁気損失を利用して不要な電磁波の輻射を熱に変換して吸収するのである。 In order to reduce the size of the electronic device by mounting the electronic components at a high density, interference by electromagnetic waves generated from each electronic component is a problem. A sheet-like composite magnetic body is used for the purpose of reducing radio interference (EMI) inside such electronic devices. A magnetic sheet composed of such a composite magnetic body is a resin sheet in which flat soft magnetic powder is oriented and dispersed in a matrix material composed of resin, and the imaginary magnetic permeability μ ′ ′ in a desired frequency band is increased. The magnetic loss is used to convert unnecessary electromagnetic radiation into heat and absorb it.
また、RFIDタグのような無線通信媒体と一体的に設けられ、電波を介しての通信距離を可及的に長くしようとする通信補助用途にも扁平な軟磁性粉体を樹脂中に分散させた同様の磁性シートが利用されている。かかる磁性シートでは、アンテナの受信した電磁波を周辺の金属部材などに到達する前にこれに誘導し、アンテナからの発信をできるだけ損失なく行い得るようにするのである。ここでは、実数透磁率μ’を高くする一方、虚数透磁率μ”を低くするように設計される。 In addition, flat soft magnetic powder is dispersed in resin for communication assistance applications that are integrated with a wireless communication medium such as an RFID tag and attempt to extend the communication distance via radio waves as much as possible. Similar magnetic sheets are used. In such a magnetic sheet, the electromagnetic waves received by the antenna are guided to the surrounding metal members and the like before reaching them, so that transmission from the antenna can be performed as much as possible without loss. Here, it is designed to lower the imaginary permeability μ ′ while increasing the real permeability μ ′.
ところで、実数透磁率μ’や虚数透磁率μ”からなる透磁率特性は、軟磁性粉体の合金組成やその粉体形状によって変化する。磁性シートの軟磁性粉体としては、例えば、磁気異方性の小さいセンダスト(Fe−9.5Si−5.5Al)などが用いられ得るが、かかる合金は硬く脆いため、扁平な粉体に成形加工することが難しい。 By the way, the permeability characteristic consisting of the real permeability μ ′ and the imaginary permeability μ ′ ′ changes depending on the alloy composition of the soft magnetic powder and the shape of the powder. As the soft magnetic powder of the magnetic sheet, for example, Although a small amount of sendust (Fe-9.5Si-5.5Al) or the like may be used, such an alloy is hard and brittle, so it is difficult to form and process it into a flat powder.
例えば、特許文献1では、比較的脆いFe−Si−Al合金において、Pを添加することで機械的粉砕時の粉砕性が向上することを述べている。詳細には、重量%で、Si:4〜12%、Al:3〜8%を含むFe基合金粉末において、Pを0.001〜0.5%添加するとしている。ただし、ここでは、粉体を所定の粒度までアトライターで微粉砕するのに要する時間で粉砕性を評価しており、Pの添加により扁平な粉体に加工し易くなるかまでは定かではない。
For example,
一般的に、Fe−Si−Al合金では数MHz付近から虚数透磁率μ”を増加させるが、Fe−Si−Cr合金では10MHz以上まで虚数透磁率μ”の増加はほとんどない。そのため、高い周波数帯域での用途に適する。 Generally, the Fe-Si-Al alloy increases the imaginary permeability μ "from around several MHz, but the Fe-Si-Cr alloy hardly increases the imaginary permeability μ" up to 10 MHz or more. Therefore, it is suitable for use in high frequency bands.
例えば、特許文献2では、13.56MHzで用いられるRFIDシステムのアンテナモジュールに用いられる磁性シートとして、Fe−Si−Cr合金にPを添加した合金からなる軟磁性粉体を使用することを開示している。かかる合金でもPを添加することで扁平化加工処理を容易に出来るようになるとしている。また、100mmの通信距離を得るために必要とされる保磁力の確保には、Pの添加量を適切に調節する必要のあることを述べ、Pを0.2〜0.5wt%添加すべきとしている。
For example,
ところで、扁平な軟磁性粉体の粒径を大きく且つ薄くしてアスペクト比を大きくすることで実数透磁率μ’を高くし得る。そこで、Fe−Si−Cr合金にPを添加するがこのとき結晶粒が微細化しやすく、扁平化加工処理において粒径が小さくなってしまい、結果として、実数透磁率μ’を高くできないことがあった。 By increasing the aspect ratio by increasing and decreasing the particle size of the flat soft magnetic powder, the real magnetic permeability μ 'can be increased. Therefore, P is added to the Fe-Si-Cr alloy, but at this time, the crystal grains are easily refined, and the grain size becomes smaller in the flattening process, and as a result, the real permeability μ 'can not be increased. The
本発明はかかる状況に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、配向分散させることで複合磁性体に低い虚数透磁率でありながら高い実数透磁率を与えるような軟磁性粉体、このためのFe基合金組成物、かかる軟磁性粉体を配向分散させた複合磁性体、及びこの軟磁性粉体の製造方法の提供にある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and the object of the present invention is to provide a soft magnetic powder having high imaginary permeability and low imaginary permeability to a composite magnetic body by orientation dispersion. An object of the present invention is to provide an Fe-based alloy composition for this purpose, a composite magnetic body in which such soft magnetic powder is oriented and dispersed, and a method of producing the soft magnetic powder.
本発明者は、Pを添加したFe−Si−Cr合金の扁平化加工処理において、結晶粒及び粒径の微細化を抑制するよう、合金組成を調整し且つ扁平化加工処理前に合金粉体の熱処理を行うことを考慮した。ここでは複合磁性体としての磁気特性を損なわない合金組成であること、及び、粉体を凝集させることなく熱処理できることが必要とされる。 The inventor of the present invention adjusts the composition of the alloy and suppresses the alloy powder prior to the flattening processing so as to suppress the refinement of the crystal grains and the grain size in the flattening processing of the Fe-Si-Cr alloy to which P is added. The heat treatment of was considered. Here, it is required that the alloy composition does not impair the magnetic properties of the composite magnetic body, and that it can be heat-treated without causing aggregation of the powder.
すなわち、本発明によるFe基合金組成物は、軟磁性を有するFe基合金組成物であって、質量%で、Si:1.5〜14%、Cr:2〜6%、Al:0.1〜4%、P:0.02〜1%、残部Fe及び不可避的不純物からなる合金組成を有することを特徴とする。 That is, the Fe-based alloy composition according to the present invention is an Fe-based alloy composition having soft magnetic properties, and is, by mass%, Si: 1.5 to 14%, Cr: 2 to 6%, Al: 0.1 It is characterized in that it has an alloy composition consisting of ̃4%, P: 0.02 to 1%, balance Fe and unavoidable impurities.
かかる発明によれば、合金粉体の扁平化加工処理によって所望の粒径及びアスペクト比を付与できて、低い虚数透磁率でありながら高い実数透磁率を有する複合磁性体を与え得るのである。 According to this invention, the desired particle size and aspect ratio can be imparted by flattening processing of the alloy powder, and a composite magnetic body having a high imaginary permeability and a high real permeability can be provided.
また、本発明による軟磁性粉体は、質量%で、Si:1.5〜14%、Cr:2〜6%、Al:0.1〜4%、P:0.02〜1%、残部Fe及び不可避的不純物からなる合金組成を有する扁平合金粉であり、厚さに対する粒径のアスペクト比の平均値を100以上としたことを特徴とする。 The soft magnetic powder according to the present invention is, by mass%, Si: 1.5 to 14%, Cr: 2 to 6%, Al: 0.1 to 4%, P: 0.02 to 1%, balance It is a flat alloy powder having an alloy composition comprising Fe and unavoidable impurities, and is characterized in that the average value of the aspect ratio of the particle diameter to the thickness is 100 or more.
かかる発明によれば、低い虚数透磁率でありながら高い実数透磁率を有する複合磁性体を与え得るのである。 According to this invention, it is possible to provide a composite magnetic body having high real permeability while having low imaginary permeability.
また、本発明による複合磁性体は、軟磁性を有する扁平合金粉の扁平化方向を揃えてマトリクス材料中に配向分散させた複合磁性体であって、前記扁平合金粉は、質量%で、Si:1.5〜14%、Cr:2〜6%、Al:0.1〜4%、P:0.02〜1%、残部Fe及び不可避的不純物からなる合金組成を有するとともに、厚さに対する粒径のアスペクト比の平均値を100以上としたことを特徴とする。 Further, the composite magnetic body according to the present invention is a composite magnetic body obtained by aligning and dispersing the soft magnetic flat alloy powder in the flattening direction of the flat alloy powder in a matrix material, and the flat alloy powder is Si in mass%. Cr: 2 to 6%, Cr: 2 to 6%, Al: 0.1 to 4%, P: 0.02 to 1%, balance Fe and an alloy composition consisting of unavoidable impurities and with respect to thickness It is characterized in that the average value of the aspect ratio of the particle diameter is 100 or more.
かかる発明によれば、低い虚数透磁率でありながら高い実数透磁率を得ることができ、電波を介しての通信距離を可及的に長くしようとする通信補助用途に適するのである。 According to this invention, a high real permeability can be obtained while having a low imaginary permeability, and the invention is suitable for a communication assistance application in which the communication distance via radio waves is made as long as possible.
また、本発明による軟磁性粉体の製造方法は、質量%で、Si:1.5〜14%、Cr:2〜6%、Al:0.1〜4%、P:0.02〜1%、残部Fe及び不可避的不純物からなる合金組成を有するFe基合金組成物からなる合金溶湯をアトマイズして合金粉体を得て、粒径調整熱処理を与えた後に扁平化加工処理を施す工程を含むことを特徴とする。 In the method of producing soft magnetic powder according to the present invention, Si: 1.5 to 14%, Cr: 2 to 6%, Al: 0.1 to 4%, P: 0.02 to 1 in mass%. A step of atomizing a molten alloy consisting of an Fe-based alloy composition having an alloy composition consisting of an iron and an unavoidable impurity, to obtain an alloy powder, giving a grain size adjusting heat treatment, and then performing flattening processing It is characterized by including.
かかる発明によれば、低い虚数透磁率でありながら高い実数透磁率を有する複合磁性体を与え得るのである。 According to this invention, it is possible to provide a composite magnetic body having high real permeability while having low imaginary permeability.
上記した発明において、前記粒径調整熱処理は前記合金粉体の結晶粒を成長させつつ粒内に対してその粒界でP濃度を少なくとも高くさせる温度に加熱保持する熱処理であることを特徴としてもよい。かかる発明によれば、扁平化加工処理を容易にし、高い精度で所望の粒径及びアスペクト比を付与できて、低い虚数透磁率でありながら高い実数透磁率を有する複合磁性体を与え得るのである。 In the above-described invention, the grain size adjusting heat treatment is a heat treatment in which the grain size of the alloy powder is grown and kept at a temperature at which the P concentration is increased at least at the grain boundaries. Good. According to this invention, flattening processing can be facilitated, desired particle size and aspect ratio can be imparted with high accuracy, and composite magnetic bodies having high real permeability while having low imaginary permeability can be provided. .
本発明による1つの実施例としての軟磁性粉体、及びこれを配向分散させた複合磁性体について図1を用いて説明する。 A soft magnetic powder as one embodiment according to the present invention, and a composite magnetic body in which the soft magnetic powder is oriented and dispersed will be described with reference to FIG.
図1に示すように、複合磁性体である磁性シート10は、塩素化ポリエチレンなどのゴム系樹脂2による薄膜状のゴムシートであって、扁平薄片状の軟磁性粉体1をその主面に沿う方向に配向分散させたシート状の複合磁性体である。すなわち、軟磁性粉体1はその扁平化方向を揃えてマトリクス材料であるゴム系樹脂2中に配向分散されている。磁性シート10は、例えばRFIDタグなどの無線通信媒体と一体的に設けられ、その通信補助に適する。すなわち、磁性シート10は、アンテナの受信した電磁波を周辺の金属部材などに到達する前に磁性シート10内に誘導するとともに、アンテナからの発信をできるだけ損失なく行い得るようにする。
As shown in FIG. 1, the
軟磁性粉体1は、Fe−Si−Cr合金にP及びAlを所定量だけ添加した合金からなり、質量%で、Siを1.5〜14%、Crを2〜6%、Alを0.1〜4%、Pを0.02〜1%含有し、残部Fe及び不可避的不純物からなる合金組成を有する。さらに、不可避的不純物としては、Cを0.04%以下、Mnを0.3%以下、Sを0.01%以下、Nを0.06%以下、Cuを0.05%以下、Moを0.05%以下、Niを0.1%以下に抑制することが好ましい。
The soft
特に、Pの添加により後述する扁平化加工処理を容易にできるようになるが、Pを添加したFe−Si−Cr合金では、扁平化加工処理前の合金粉体において結晶粒が微細化される傾向にあることがわかった。これにより、扁平化加工処理によって得られる軟磁性粉体の粒径が小さくなり、十分な圧延効果を得られずそのアスペクト比が小さくなると考えられる。本実施例では、上記したように、合金にさらにAlを添加するとともに、扁平化加工処理の前に結晶粒を適度に粗大化させる粒径調整熱処理を行っている。Alの添加によって熱処理温度を比較的高くしても合金粉体を凝集させず且つ結晶粒径を大きくできるとともに、他の磁気特性に悪影響を与えることもない。これにより、所定の粒径及びアスペクト比を有する軟磁性粉体1を得ることができ、複合磁性体としての磁性シート10に通信補助用の磁性シートとして必要とされる透磁率特性、すなわち低い虚数透磁率でありながら高い実数透磁率を与えることができるのである。
In particular, the addition of P facilitates the flattening processing described later, but in the Fe-Si-Cr alloy to which P is added, the crystal grains are refined in the alloy powder before the flattening processing. It turned out that it was in the tendency. As a result, it is considered that the particle diameter of the soft magnetic powder obtained by the flattening processing becomes small, and a sufficient rolling effect can not be obtained, and the aspect ratio becomes small. In the present embodiment, as described above, while adding Al to the alloy, the grain size adjusting heat treatment is performed to appropriately coarsen the crystal grains before flattening processing. Even if the heat treatment temperature is relatively raised by the addition of Al, the alloy powder can not be agglomerated and the crystal grain size can be increased, and the other magnetic properties are not adversely affected. As a result, the soft
次に、本発明による1つの実施例としての軟磁性粉体の製造方法、及び、かかる軟磁性粉体を用いた磁性シートの製造方法について、図2を用いて詳細を説明する。 Next, a method of manufacturing soft magnetic powder as one embodiment according to the present invention and a method of manufacturing a magnetic sheet using the soft magnetic powder will be described in detail with reference to FIG.
図2に示すように、まず、上記したP及びAlを添加した所定の合金組成のFe−Si−Cr合金の合金溶湯をアトマイズして、合金粉体を得る(粉体化;S1)。ここでは、溶湯をガス噴霧するガスアトマイズ法を用いた。すなわち、ガスアトマイズ装置にて合金溶湯を流下させつつ不活性ガスを吹きつけて、合金溶湯を分断して微細な多数の液滴にしつつ、落下させ、急冷し凝固させて、合金粉体を得る。特に、ここでは平均粒径D50を100μm以上とするようにガス圧力等を調整することで、後述する扁平化加工処理において得られる軟磁性粉体に所望の形状を比較的容易に付与できるのである。なお、水アトマイズ法などの他のアトマイズ法によって合金粉体を得ることもできる。 As shown in FIG. 2, first, a molten alloy of a Fe-Si-Cr alloy of a predetermined alloy composition to which P and Al described above are added is atomized to obtain an alloy powder (powdering; S1). Here, a gas atomizing method in which molten metal is gas-sprayed is used. That is, an inert gas is blown while causing the molten alloy to flow down with a gas atomizing apparatus, and the molten alloy is divided into a large number of fine droplets, dropped and rapidly cooled and solidified to obtain an alloy powder. In particular, by adjusting the gas pressure or the like so that the average particle diameter D50 is 100 μm or more, a desired shape can be relatively easily given to the soft magnetic powder obtained in the flattening processing described later. . In addition, alloy powder can also be obtained by other atomizing methods, such as a water atomizing method.
次に、得られた合金粉体に粒径調整熱処理を施す(S2)。粒径調整熱処理では、ArまたはN2による不活性ガス雰囲気中で900〜1000℃にて加熱、保持し、Pの添加で微細化した噴霧後の合金粉体の結晶粒を適度に粗大化させる。 Next, particle size adjustment heat treatment is performed on the obtained alloy powder (S2). In the grain size adjustment heat treatment, heating and holding at 900 to 1000 ° C. in an inert gas atmosphere of Ar or N 2, and appropriately coarsening crystal grains of the alloy powder after atomization refined by the addition of P .
さらに、合金粉体を扁平化加工処理する(S3)。すなわち、合金粉体を有機溶媒や粉砕助剤などと共にアトライター装置の容器内に投入し、さらに鋼球などの粉砕媒体を装填する。そして、周面に回転羽根を設けられた攪拌棒を回転させて、容器内を攪拌する。すると、粉砕媒体が合金粉体に衝突し衝撃を与えて、合金粉体を粉砕させながら平たく変形させ扁平化させる。所定の粒度となるまで扁平化させて軟磁性粉体1を得る。ここで得られる軟磁性粉体1の形状としては、後述する複合化において混練や塗工の妨げとならないよう、平均粒径D50を120μm未満とし、さらに磁性シート10に所望の透磁率特性を与えられるよう、アスペクト比の平均値を100より大きくすることが好ましい。また、粒度幅(D90−D10)を150μm以下とすることが好ましい。
Further, the alloy powder is flattened and processed (S3). That is, the alloy powder is introduced into the container of the attritor apparatus together with an organic solvent, a grinding aid and the like, and a grinding medium such as steel balls is further loaded. And the stirring rod provided with the rotary blade in the surrounding surface is rotated, and the inside of a container is stirred. Then, the grinding medium collides with the alloy powder and gives an impact, and the alloy powder is flatly deformed and flattened while being crushed. The soft
特に、上記したようにPの添加によって微細化された合金粉体の結晶粒を粒径調整熱処理によって適度に粗大化させたので、全体として結晶粒径のばらつきを均質化できる。さらに、合金粉体は結晶粒界で優先的に粉砕され、扁平化加工処理中に粉砕された合金粉体の粒径を比較的大きくするとともに均質化し得る。そして、得られる軟磁性粉体1の粒径を大きく、アスペクト比を大きくするとともに、粒度幅を比較的小さくし得るのである。但し、後述する複合化のために平均粒径を所定値以下とするが、これについては粒径調整熱処理の保持温度などで調整し得る。
In particular, as described above, since the crystal grains of the alloy powder refined by the addition of P are appropriately coarsened by the grain size adjustment heat treatment, it is possible to homogenize the variation of the grain size as a whole. Furthermore, the alloy powder may be ground preferentially at grain boundaries, and the grain size of the alloy powder ground during the flattening process may be made relatively large and homogenized. And while the particle size of the soft-
得られた軟磁性粉体1は、必要に応じて焼鈍熱処理される(S4)。例えば、焼鈍熱処理ではN2雰囲気下で300〜400℃に加熱し、保持する。
The obtained soft
さらに、かかる軟磁性粉体1を複合化する(S5)。複合化において、本例では、軟磁性粉体1をマトリクス材料となる塩素化ポリエチレンなどの熱可塑性樹脂やその他のゴム系樹脂、希釈溶剤及び架橋化材とともにペースト状になるまで混練し、ペースト体を得る。得られたペースト体をドクターブレード法により、所定の厚さとなるように基材上に塗工して分散された軟磁性粉体を配向させつつシート体を形成する。ここでは、ペーストにおける軟磁性粉体1の充填量を43体積%として、0.1mm厚さに塗工した。そして、シート体を乾燥させて、所定の温度で架橋プレスし、磁性シート10を得る。
Further, the soft
以上のようにして軟磁性粉体1を得て、かかる軟磁性粉体を用いた複合磁性体として磁性シート10を得ることができる。上記したように、軟磁性粉体1には所定の粒径及びアスペクト比を付与できるので、これを使用した磁性シート10は通信補助用の複合磁性体として必要とされる透磁率特性を得ることができる。軟磁性粉体1を同様に複合化させてシート状以外の形状の複合磁性体を得ることもできる。
The soft
[特性評価試験1]
上記した製造方法において、図3〜図6に示す各実施例及び比較例に示す合金組成からなる軟磁性粉体を得た上で、磁性シートを作製した。各実施例及び比較例の作製中における扁平化加工処理に要した加工時間を記録した。また、粉体化(S1)後において合金粉体の結晶粒径を測定し、粒径調整熱処理(S2)後において合金粉体の結晶粒径及び凝集の有無を測定及び評価し、扁平化加工処理(S3)後において軟磁性粉体の平均粒径D50、粒度幅(D90−D10)を測定してアスペクト比を算出し、複合化(S5)後において磁性シートの実数透磁率μ’、虚数透磁率μ”及び損失係数tanδ(=μ”/μ’)を測定し算出するとともに耐食性を評価した。
[Characteristics evaluation test 1]
In the above-described manufacturing method, after obtaining the soft magnetic powder having the alloy composition shown in each of the examples and the comparative examples shown in FIGS. 3 to 6, a magnetic sheet was produced. The processing time required for the flattening processing during the preparation of each example and comparative example was recorded. In addition, the grain size of the alloy powder is measured after powderization (S1), and the grain size of the alloy powder and the presence or absence of aggregation are measured and evaluated after the grain size adjustment heat treatment (S2), and flattening is performed. After treatment (S3), the average particle diameter D50 and particle size width (D90-D10) of the soft magnetic powder are measured to calculate the aspect ratio, and after complexing (S5), the real permeability μ 'and imaginary number of the magnetic sheet The permeability μ ′ ′ and the loss coefficient tan δ (= μ ′ ′ / μ ′) were measured and calculated, and the corrosion resistance was evaluated.
粒径調整熱処理(S2)の加熱・保持温度については、合金粉体の凝集を防止し得るとともに結晶粒を比較的成長させやすい典型的な温度である1000℃とした。また、例えば図6に示すように、扁平化加工処理(S3)の加工時間、すなわちアトライターの運転時間は、各実施例及び比較例において平均粒径(D50)が最大となるように調整した。 The heating and holding temperature of the grain size adjustment heat treatment (S2) was set to 1000 ° C., which is a typical temperature which can prevent aggregation of the alloy powder and relatively easily grow crystal grains. Further, for example, as shown in FIG. 6, the processing time of the flattening process (S3), that is, the operation time of the attritor, was adjusted so that the average particle diameter (D50) becomes maximum in each example and comparative example. .
粉体化(S1)後及び粒径調整熱処理(S2)後の合金粉体の結晶粒径については、得られた合金粉体を樹脂に埋め込み切り出した切断面を研磨して、金属顕微鏡にてこの研磨面を観察し線分法によって求めた。 With regard to the crystal grain size of the alloy powder after powderization (S1) and particle size adjustment heat treatment (S2), the cut surface obtained by embedding and cutting out the obtained alloy powder in a resin is polished and a metallographic microscope is used. The polished surface was observed and determined by the line segment method.
粒径調整熱処理(S2)後の合金粉体の凝集の有無は、ステンレスバットに1kgの合金粉体を静置し粒径調整熱処理に供して、冷却後の合金粉体を観察し、直径10mm以上の凝集体の有無によって評価した。 With or without aggregation of the alloy powder after particle size adjustment heat treatment (S2), 1 kg of the alloy powder is allowed to stand in a stainless steel vat and subjected to particle size adjustment heat treatment, and the alloy powder after cooling is observed. It evaluated by the presence or absence of the above aggregate.
扁平化加工処理(S3)後の軟磁性粉体の平均粒径D50及び粒度幅(D90−D10)はそれぞれレーザー回折式粒度分布測定装置を用いて測定した。なお平均粒径D50は、粒径分布を小径側から累積した体積を全体の50%とする粒径であり、粒度幅(D90−D10)は平均粒径D90及びD10(それぞれ小径側からの累積体積を90%及び10%とする粒径)の差である。ここで、平均粒径D50の目標値は、120μm未満とし、粒度幅の目標値は150μm未満とした。
The average particle diameter D50 and the particle size width (D90-D10) of the soft magnetic powder after the flattening processing (S3) were each measured using a laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus. The average particle diameter D50 is a particle diameter that makes the volume of the particle diameter distribution accumulated from the
また、アスペクト比の平均値は次のようにして算出した。すなわち、軟磁性粉体1を樹脂に埋め込んで研磨し、研磨面を光学顕微鏡で観察し、軟磁性粉体の任意の100個の粒子について最大厚みtmax及び最小厚みtminの平均をとって、粒子厚みtaとする。さらに、100個の粒子についての粒子厚みtaの平均値taveにより平均粒径D50を除してアスペクト比(の平均値)とした。つまり、アスペクト比は平均粒径D50/粒子厚みの平均値taveで算出される。ここで、アスペクト比の目標値は100よりも大きいこととする。
Moreover, the average value of the aspect ratio was calculated as follows. That is, soft
複合化(S5)後の磁性シートの実数透磁率μ’及び虚数透磁率μ”は、以下のようにして測定した。すなわち、作製した磁性シートを外径10mm×内径6mmのリング形状に打ち抜き、測定周波数を13.56MHzとしてインピーダンス特性を市販のネットワーク・アナライザーを用いて測定し、実数透磁率μ’及び虚数透磁率μ”を算出した。損失係数tanδはμ”/μ’にて算出した。ここで、実数透磁率μ’の目標値は60以上とする。また、実用上の観点から、損失係数tanδの目標値は、0.10以下とする。
The real magnetic permeability μ ′ and the imaginary magnetic permeability μ ′ ′ of the magnetic sheet after compounding (S5) were measured as follows: The manufactured magnetic sheet was punched into a ring shape of
磁性シートの耐食性は、高温高湿試験によって評価した。すなわち、85℃で相対湿度85%の雰囲気下に暴露し、250hr経過後に目視で観察して変色の有無にて評価した。 The corrosion resistance of the magnetic sheet was evaluated by a high temperature and high humidity test. That is, it was exposed to an atmosphere of 85 ° C. and a relative humidity of 85%, and after 250 hours, it was visually observed and evaluated for the presence or absence of discoloration.
図3に示すように、本特性評価試験においては、まず、Siの含有量による影響を評価した。すなわち、実施例1〜9、比較例1及び2において、Siの含有量を0〜16質量%の間で振り分けた。各実施例及び比較例において、Crを2質量%、Alを0.5質量%、Pを0.5質量%含有している。その結果、Siの含有量を0質量%とした比較例1では実数透磁率μ’が28と目標値を大きく下回った。また、Siの含有量を多くするにつれて扁平化加工処理後の軟磁性粉体の平均粒径D50及びアスペクト比はともに小さくなる傾向にあり、Siの含有量を16質量%とした比較例2ではアスペクト比が目標値を下回った。Siの含有量の増加に伴い、合金粉体は延性を低下させ、すなわち脆化するものと考えられる。Siの含有量を1.5〜14質量%とした実施例1〜9は全ての目標値を満たした。すなわちSiの含有量には最適な範囲があり、1.5〜14質量%の範囲内である。 As shown in FIG. 3, in this characterization test, first, the influence of the Si content was evaluated. That is, in Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 and 2, the content of Si was distributed between 0 and 16% by mass. In each example and comparative example, 2 mass% of Cr, 0.5 mass% of Al, and 0.5 mass% of P are contained. As a result, in Comparative Example 1 in which the content of Si was 0% by mass, the real magnetic permeability μ ′ was 28, which is much lower than the target value. Further, the average particle diameter D50 and the aspect ratio of the soft magnetic powder after flattening processing both tend to decrease as the content of Si increases, and in Comparative Example 2 in which the content of Si is 16 mass%. The aspect ratio is below the target value. It is considered that the alloy powder decreases in ductility, that is, becomes brittle as the content of Si increases. Examples 1 to 9 in which the content of Si was 1.5 to 14% by mass satisfied all target values. That is, the content of Si has an optimum range, which is in the range of 1.5 to 14% by mass.
図4に示すように、さらに、Crの含有量による影響を評価した。すなわち、実施例6、10及び11、比較例3及び4において、Crの含有量を0〜8質量%の間で振り分けた。各実施例及び比較例において、Siを8質量%、Alを0.5質量%、Pを0.5質量%含有している。Crの含有量を多くするにつれて扁平化加工処理後の軟磁性粉体の平均粒径D50及びアスペクト比はともに大きくなる傾向にあった。Crの添加により合金粉体の靭性を上昇させたものと考えられる。また、Crの含有量を0質量%とした比較例3、及び、同8質量%とした比較例4は共に実数透磁率μ’が目標値を下回るとともに損失係数tanδが目標値を超えてしまった。Crの含有量を2〜6質量%とした実施例6、10及び11は全ての目標値を満たした。すなわちCrの含有量には最適な範囲があり、2〜6質量%の範囲内である。 As shown in FIG. 4, the influence of the Cr content was further evaluated. That is, in Examples 6, 10 and 11 and Comparative Examples 3 and 4, the content of Cr was distributed between 0 and 8% by mass. In each example and comparative example, 8% by mass of Si, 0.5% by mass of Al, and 0.5% by mass of P are contained. Both the average particle diameter D50 and the aspect ratio of the soft magnetic powder after flattening processing tended to increase as the content of Cr is increased. It is considered that the toughness of the alloy powder is increased by the addition of Cr. In both of Comparative Example 3 in which the content of Cr is 0 mass% and Comparative Example 4 in which the content of Cr is 8 mass%, the real magnetic permeability μ ′ falls below the target value and the loss coefficient tan δ exceeds the target value. The Examples 6, 10 and 11 in which the content of Cr was 2 to 6% by mass satisfied all target values. That is, there is an optimal range in content of Cr, and it exists in the range of 2-6 mass%.
図5に示すように、さらに、Alの含有量による影響を評価した。すなわち、実施例6、12〜18、比較例5及び6において、Alの含有量を0〜5質量%の間で振り分けた。各実施例及び比較例において、Siを8質量%、Crを2質量%、Pを0.5質量%含有している。その結果、Alを添加しなかった比較例5において合金粉体は粒径調整熱処理後に凝集を生じた。他の実施例及び比較例においてAlの含有により凝集を抑制し得たのは、合金粉体の表面にAlの酸化皮膜を形成したためと考えられる。また、比較例5の耐食性の評価も不良(×)であり、Alを含有する他の実施例及び比較例においては良好(○)であったことから、Alの含有は磁性シートの耐食性の向上に寄与すると言える。他方、Alの含有量を5質量%とした比較例6においては、他の実施例と比べて軟磁性粉体の平均粒径D50及びアスペクト比が小さく、アスペクト比の目標値を下回った。Alの含有量が4質量%を越えると、合金粉体の延性を低下させてしまうと考えられる。Alの含有量を0.1〜4質量%とした実施例6、12〜18は全ての目標値を満たした。すなわち、Alの含有量には最適な範囲があり、0.1〜4質量%の範囲内である。 As shown in FIG. 5, the influence by the content of Al was further evaluated. That is, in Examples 6, 12 to 18 and Comparative Examples 5 and 6, the content of Al was distributed between 0 and 5% by mass. In each example and comparative example, 8% by mass of Si, 2% by mass of Cr, and 0.5% by mass of P are contained. As a result, in Comparative Example 5 in which Al was not added, the alloy powder caused aggregation after the particle size adjustment heat treatment. In the other examples and comparative examples, the fact that aggregation can be suppressed by containing Al is considered to be due to the formation of an oxide film of Al on the surface of the alloy powder. Further, the evaluation of the corrosion resistance of Comparative Example 5 is also not good (x), and since it was good (o) in other Examples and Comparative Examples containing Al, the Al content improves the corrosion resistance of the magnetic sheet. It can be said that it contributes to On the other hand, in Comparative Example 6 in which the content of Al was 5% by mass, the average particle diameter D50 and the aspect ratio of the soft magnetic powder were smaller than those of the other examples, and were below the target value of the aspect ratio. If the content of Al exceeds 4% by mass, the ductility of the alloy powder is considered to be reduced. Examples 6 and 12 to 18 in which the content of Al was 0.1 to 4% by mass satisfied all target values. That is, there is an optimal range in content of Al, and it exists in the range of 0.1-4 mass%.
図6に示すように、さらに、Pの含有量による影響を評価した。すなわち、実施例6、19〜26、比較例7〜9において、Pの含有量を0〜1.5質量%の間で振り分けた。各実施例及び比較例において、Siを8質量%、Crを2質量%、Alを0.5質量%含有している。その結果、Pの含有量を多くするにつれて粉体化後(噴霧後)及び粒径調整熱処理後(HT後)の合金粉体の結晶粒径が小さくなる傾向にあった。また、Pの含有量を多くするにつれて、すなわち粒径調整熱処理後の合金粉体の結晶粒径を小さくするにつれて、扁平化加工処理後の軟磁性粉体の平均粒径D50も小さくなる傾向にあった。なお、扁平化加工処理の加工時間については、軟磁性粉体の平均粒径(D50)を最大とするように調整したものである。Pを添加しなかった比較例7においては噴霧後の結晶粒径が比較的大きく軟磁性粉体の粒径及び粒度幅が共に目標値を越えてしまった。Pの含有量を0.01質量%とした比較例8においても、噴霧後の結晶粒径が比較的大きく軟磁性粉体の粒径が目標値を越えてしまった。比較例7及び8では、ともに塗工を行うことが困難であるため磁性シートを作製しなかった。また、Pの含有量を1.5質量%とした比較例9においては、実数透磁率μ’が目標値を下回った。Pの含有量を0.02〜1質量%とした実施例6、19〜26は全ての目標値を満たした。すなわち、Pの含有量には最適な範囲があり、0.02〜1質量%の範囲内である。 As shown in FIG. 6, the influence of the P content was further evaluated. That is, in Examples 6 to 19 and Comparative Examples 7 to 9, the content of P was distributed between 0 and 1.5% by mass. In each example and comparative example, 8% by mass of Si, 2% by mass of Cr and 0.5% by mass of Al are contained. As a result, as the content of P is increased, the crystal grain size of the alloy powder after powdering (after spraying) and after the particle size adjustment heat treatment (after HT) tends to be smaller. In addition, as the content of P is increased, that is, as the grain size of the alloy powder after the grain size adjustment heat treatment is decreased, the average grain size D50 of the soft magnetic powder after the flattening process also tends to decrease. there were. In addition, about the processing time of the flattening process, it adjusted so that the average particle diameter (D50) of soft-magnetic powder could be made the largest. In Comparative Example 7 where P was not added, the grain size after spraying was relatively large, and the grain size and grain size range of the soft magnetic powder both exceeded the target values. Also in Comparative Example 8 in which the content of P is 0.01% by mass, the crystal grain size after spraying is relatively large, and the grain size of the soft magnetic powder has exceeded the target value. In Comparative Examples 7 and 8, no magnetic sheet was produced because it was difficult to apply both. Moreover, in Comparative Example 9 in which the content of P was 1.5% by mass, the real magnetic permeability μ ′ fell below the target value. Examples 6 and 19 to 26 in which the content of P was 0.02 to 1% by mass satisfied all target values. That is, the content of P has an optimum range, which is in the range of 0.02 to 1% by mass.
上記したようにPの含有によって粉体化後の合金粉体はその結晶粒を小さくするが、粒径調整熱処理により結晶粒径を調整し得る。特に、所定量のAlを含有することで、上記した結晶粒を成長させやすい典型的な温度である1000℃においても合金粉体の凝集を防止して粒径調整熱処理を行うことができる。なお、粒径調整熱処理によってPは結晶粒界に濃化しており、合金粉体は扁平化加工処理において結晶粒界で破断されやすい。また、扁平化加工処理による軟磁性粉体の粒径は、熱履歴によって均質化し得る粒径調整熱処理後の結晶粒の大きさに依存する。そのため、軟磁性粉体の粒径も均質化し得て磁性シートの透磁率特性も均質化し得るのである。 As described above, the alloy powder after pulverization reduces its crystal grains by the inclusion of P, but the crystal grain size can be adjusted by the grain size adjustment heat treatment. In particular, by containing a predetermined amount of Al, aggregation of the alloy powder can be prevented and the grain size adjustment heat treatment can be performed even at 1000 ° C. which is a typical temperature at which the above-described crystal grains are easily grown. Incidentally, P is concentrated in the grain boundaries by the grain size adjustment heat treatment, and the alloy powder is easily broken at the grain boundaries in the flattening processing. In addition, the particle size of the soft magnetic powder by the flattening process depends on the size of the crystal grain after the particle size adjustment heat treatment which can be homogenized by the heat history. Therefore, the particle size of the soft magnetic powder can be homogenized, and the permeability of the magnetic sheet can be homogenized.
以上のように、軟磁性粉体を与えるためのFe基合金組成物として必要とされる合金組成が示された。なお、不可避的不純物については、上記した軟磁性粉体の磁気特性及び耐食性を損なわない範囲として、質量%で、Cを0.04%以下、Mnを0.3%以下、Sを0.01%以下、Nを0.06%以下、Cuを0.05%以下、Moを0.05%以下、Niを0.1%以下に抑制されることが好ましい。 As mentioned above, the alloy composition required as a Fe-based alloy composition for giving soft magnetic powder was shown. As for unavoidable impurities, C is 0.04% or less, Mn is 0.3% or less, and S is 0.01% or less by mass%, as a range that does not impair the magnetic properties and corrosion resistance of the soft magnetic powder described above. % Or less, N is 0.06% or less, Cu is 0.05% or less, Mo is 0.05% or less, and Ni is preferably 0.1% or less.
[特性評価試験2]
上記したような合金組成のFe基合金組成物から軟磁性粉体及び磁性シートを得るための製造方法のうち、特に、粒径調整熱処理(S2)の加熱・保持温度による影響を評価するため、図7に示す各温度についての特性評価試験を行った。
[Characteristics evaluation test 2]
In order to evaluate the influence of the heating and holding temperature of the particle size adjustment heat treatment (S2) among the manufacturing methods for obtaining the soft magnetic powder and the magnetic sheet from the Fe-based alloy composition of the above-mentioned alloy composition, The characteristic evaluation test about each temperature shown in FIG. 7 was done.
比較例10においてはFeを90質量%、Siを8質量%、Crを2質量%としてAl及びPを添加しない合金組成とし、他の実施例及び比較例においては上記した実施例6と同じ合金組成(図3〜6参照)として、軟磁性粉体を得た。上記した特性評価試験1と同様に、粉体化(S1)後において合金粉体の結晶粒径を測定し、粒径調整熱処理(S2)後において合金粉体の結晶粒径及び凝集の有無を測定及び評価し、扁平化加工処理(S3)後において軟磁性粉体の平均粒径D50を測定してアスペクト比を算出した。
In Comparative Example 10, 90% by mass of Fe, 8% by mass of Si, 2% by mass of Cr and Al and P are not added, and in the other examples and comparative examples, the same alloy as Example 6 described above Soft magnetic powder was obtained as a composition (see FIGS. 3 to 6). Similar to the above-mentioned
上記したように、粒径調整熱処理の保持温度による影響を評価した。すなわち、図7に示すように、実施例6、27及び28、比較例11〜16において、粒径調整熱処理(S2)の加熱・保持温度を0℃(粒径調整熱処理を行っていない。)〜1000℃の間で振り分けた。その結果、0〜850℃の比較例11〜16まで粉体化後(噴霧後)の結晶粒径に対する粒径調整熱処理後(HT後)の結晶粒径に有意な変化がなく、得られた軟磁性粉体のアスペクト比も目標値を下回った。実施例27、28、6の900℃、950℃、1000℃であれば、HT後の結晶粒径を比較的大きくでき、軟磁性粉体のアスペクト比も目標値を満たした。特に1000℃であれば実施例中、これらを最も大きくできることが判った。すなわち、粒径調整熱処理の保持温度の好ましい範囲は900〜1000℃である。 As described above, the influence of the holding temperature of the particle size adjustment heat treatment was evaluated. That is, as shown in FIG. 7, the heating and holding temperature of the particle size adjustment heat treatment (S2) is 0 ° C. in Example 6, 27 and 28 and Comparative Examples 11 to 16 (the particle size adjustment heat treatment is not performed). It distributed between 1000 ° C. As a result, there was no significant change in crystal grain size after grain size adjustment heat treatment (after HT) with respect to crystal grain size after powdering (after spraying) to Comparative Examples 11 to 16 at 0 to 850 ° C., and thus obtained. The aspect ratio of the soft magnetic powder also fell below the target value. The crystal grain sizes after HT can be made relatively large at 900 ° C., 950 ° C. and 1000 ° C. in Examples 27, 28, and 6, and the aspect ratio of the soft magnetic powder also satisfies the target value. In particular, at 1000 ° C., it was found that these can be maximized in the examples. That is, a preferable range of the holding temperature of the particle size adjustment heat treatment is 900 to 1000 ° C.
ここで比較例10では、合金組成にAl及びPを含んでおらず、噴霧後の結晶粒径が他の実施例及び比較例に比べて大きくなり、粒径調整熱処理の保持温度を1000℃とすると凝集が発生した。この結果は、特性評価試験1において説明したP又はAlを添加しなかった場合の結果(比較例7、比較例5)と合致する。
Here, in Comparative Example 10, the alloy composition does not contain Al and P, and the crystal grain size after spraying is larger than those of the other examples and comparative examples, and the holding temperature of the grain size adjusting heat treatment is 1000 ° C. Then, aggregation occurred. This result is consistent with the result (Comparative Example 7, Comparative Example 5) in the case where P or Al described in the
ここまで本発明による代表的実施例及びこれに基づく改変例について説明したが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではない。当業者であれば、本発明の主旨又は添付した特許請求の範囲を逸脱することなく、種々の代替実施例及び改変例を見出すことができるだろう。 Although the representative embodiments according to the present invention and the modifications based thereon are described above, the present invention is not necessarily limited thereto. Various alternatives and modifications can be found by one skilled in the art without departing from the spirit of the invention or the scope of the appended claims.
1 軟磁性粉体
10 磁性シート
1 Soft
Claims (4)
前記扁平合金粉は、質量%で、Si:1.5〜14%、Cr:2〜6%、Al:0.1〜4%、P:0.02〜1%、残部Fe及び不可避的不純物からなる合金組成を有するとともに、厚さに対する粒径のアスペクト比の平均値を100より大きくしたことを特徴とする複合磁性体。 A composite magnetic body obtained by aligning and dispersing in a matrix material the flatting direction of a flat alloy powder having soft magnetism,
The flat alloy powder is, by mass%, Si: 1.5 to 14%, Cr: 2 to 6%, Al: 0.1 to 4%, P: 0.02 to 1%, balance Fe and unavoidable impurities What is claimed is: 1. A composite magnetic body having an alloy composition comprising: and having an average aspect ratio of grain size to thickness greater than 100.
4. The grain size adjusting heat treatment according to claim 3, wherein the grain size of the alloy powder is grown and maintained at a temperature at which the P concentration is increased at least at the grain boundaries while growing crystal grains of the alloy powder. Method of producing soft magnetic powder.
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