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JP6533189B2 - Method of manufacturing mold for pattern array sheet, and method of manufacturing microneedle array - Google Patents
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JP6533189B2 - Method of manufacturing mold for pattern array sheet, and method of manufacturing microneedle array - Google Patents

Method of manufacturing mold for pattern array sheet, and method of manufacturing microneedle array Download PDF

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Description

本発明はパターンアレイシート成形用型の製造方法、及びマイクロニードルアレイの製造方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing a pattern array sheet forming mold and a method of manufacturing a microneedle array.

近年、痛みを伴わずにインシュリン(Insulin)及びワクチン(Vaccines)及びhGH(human Growth Hormone)などの薬剤を皮膚内に投与可能な新規剤型として、マイクロニードルアレイ(Micro-Needle Array)が知られている。自己溶解型のマイクロニードルアレイは、薬剤を含み、生分解性のあるマイクロニードル(微細針、又は微小針ともいう)をアレイ状に配列したものである。このマイクロニードルアレイを皮膚に貼付することにより、各マイクロニードルが皮膚に突き刺さり、これらマイクロニードルが皮膚内で吸収され、各マイクロニードル中に含まれた薬剤を皮膚内に投与することができる。マイクロニードルアレイは経皮吸収シートとも呼ばれる。   In recent years, a microneedle array (Micro-Needle Array) has been known as a novel dosage form that can be administered without pain pain and drugs such as insulin and vaccines (Vaccines) and hGH (human Growth Hormone) into the skin. ing. The self-dissolving microneedle array is an array of biodegradable microneedles (also referred to as microneedles or microneedles) containing drugs. By applying the microneedle array to the skin, each microneedle is pierced into the skin, the microneedles are absorbed in the skin, and the drug contained in each microneedle can be administered into the skin. The microneedle array is also called a percutaneous absorption sheet.

上述のマイクロニードルアレイは、例えば、マイクロニードルアレイの形状の反転形状である凹状パターンを有する樹脂製モールドを準備し、マイクロニードルアレイの原料であるポリマー溶解液を供給し、ポリマー溶解液を乾燥して硬化し、樹脂製モールドから剥離することによりマイクロニードルアレイが製造される。   The above-described microneedle array prepares a resin mold having a concave pattern which is a reverse shape of the shape of the microneedle array, for example, supplies a polymer solution which is a raw material of the microneedle array, and dries the polymer solution. The microneedle array is manufactured by curing, curing and peeling from the resin mold.

上述の樹脂製モールドは、例えば、マイクロニードルアレイの形状と同形状の型を製造し、その型を樹脂製のシートに転写することで製造することができる。   The resin mold described above can be manufactured, for example, by manufacturing a mold having the same shape as the shape of the microneedle array and transferring the mold to a resin sheet.

特許文献1には、型を製造するために、基材を切削加工等の機械加工することが開示されている。   Patent Document 1 discloses that, in order to manufacture a mold, machining such as cutting of a substrate is performed.

国際公開第2008/013282号International Publication No. 2008/013282

マイクロニードルアレイを用いて薬剤を皮膚内に投与する場合、マイクロニードルアレイには薬剤量の制御性が求められる。マイクロニードルアレイの薬剤量はマイクロニードルの形状(総体積)の影響を受けるため、マイクロニードルを精度良く形成する必要がある。上述したように、マイクロニードルは樹脂製モールドの凹部の形状に依存し、樹脂製モールドの凹部は型の形状に依存するため、型を精度良く製造する必要がある。   When administering a drug into the skin using a microneedle array, the microneedle array is required to have controllability of the amount of the drug. Since the amount of drug in the microneedle array is affected by the shape (total volume) of the microneedles, it is necessary to form the microneedles with high accuracy. As described above, since the microneedle depends on the shape of the concave portion of the resin mold, and the concave portion of the resin mold depends on the shape of the mold, it is necessary to manufacture the mold with high accuracy.

特許文献1に記載の切削加工等の機械加工により型を製造する場合、研削装置等の精度、又は刃の磨耗の観点から、型を精度良く製造できない懸念がある。   When manufacturing a type | mold by machining, such as cutting of patent document 1, there exists a concern that a type | mold can not be manufactured with sufficient precision from a viewpoint of precision, such as a grinding device, or abrasion of a blade.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、薬剤量の制御性を改善できるパターンアレイ成形用型の製造方法、及びマイクロニードルアレイの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a pattern array molding mold and a method of manufacturing a microneedle array capable of improving the controllability of the amount of medicine.

本発明の一態様によると、パターンアレイシート成形用型の製造方法は、基材を機械加工することにより、アレイ状に配列され、100μm以上1500μm以下の高さを有し、かつ多段の形状を有する複数の針状突起を形成する工程と、非接触測定によって針状突起の体積を計測する工程と、針状突起の体積を調整するため、計測する工程における計測結果に基づいて、針状突起を追加工する工程と、を備える。 According to one aspect of the present invention, a method of manufacturing a pattern array sheet molding die is arranged in an array by machining a substrate, has a height of 100 μm to 1500 μm, and has a multistage shape. Forming a plurality of needle-like protrusions, measuring the volume of the needle-like protrusions by non-contact measurement, and adjusting the volume of the needle-like protrusions, based on the measurement results in the step of measuring And the step of

好ましくは、追加工する工程は、針状突起を機械加工することを含む。   Preferably, the step of adding comprises machining the needle projections.

好ましくは、追加工する工程は、針状突起を機械加工した後に、針状突起の上に無機膜を成膜することを含む。   Preferably, the step of adding includes forming an inorganic film on the needle-like protrusions after machining the needle-like protrusions.

好ましくは、針状突起の先端部の無機膜の厚さより、針状突起の裾部の無機膜の厚さを厚く成膜する。   Preferably, the thickness of the inorganic film at the bottom of the needle-like protrusion is larger than the thickness of the inorganic film at the tip of the needle-like protrusion.

好ましくは、無機膜の厚さが100nm以上である。   Preferably, the thickness of the inorganic film is 100 nm or more.

好ましくは、追加工する工程は、無機膜を成膜後に薄膜化することを含む。   Preferably, the additional processing step includes thinning the inorganic film after film formation.

好ましくは、針状突起の先端部に成膜された無機膜を薄膜化することにより針状突起の先端部の形状を調整することを含む。   Preferably, adjusting the shape of the tip of the needle-like protrusion by thinning the inorganic film formed on the tip of the needle-like protrusion is included.

好ましくは、追加工する工程の後に、針状突起に離型膜を形成する工程を含む。   Preferably, the step of forming a release film on the needle-like projections is included after the step of additional processing.

好ましくは、離型膜がフッ素系材料、及び炭化水素系材料の少なくとも一方により構成される。   Preferably, the release film is made of at least one of a fluorine-based material and a hydrocarbon-based material.

好ましくは、離型膜の厚さが、20nm以上50nm以下である。   Preferably, the thickness of the release film is 20 nm or more and 50 nm or less.

本発明の別の態様によると、マイクロニードルアレイの製造方法は、上述のパターンアレイシート成形用型の製造方法により製造されたパターンアレイシート成形用型を用いてパターンアレイシートを製造する工程と、パターンアレイシートを用いて複製型を製造する工程と、複製型を用いて凹状パターンを有する樹脂製モールドを作製する工程と、樹脂製モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する工程と、ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥する工程と、ポリマーシートを樹脂製モールドから離型する工程と、を含む。   According to another aspect of the present invention, a method of manufacturing a microneedle array includes the steps of: manufacturing a pattern array sheet using the pattern array sheet forming mold manufactured by the method of manufacturing a pattern array sheet forming mold described above; A process of producing a replica mold using a pattern array sheet, a process of producing a resin mold having a concave pattern using a replica mold, a process of supplying a polymer solution to a concave pattern of a resin mold, a polymer dissolution Drying the liquid to form a polymer sheet; and releasing the polymer sheet from the resin mold.

本発明のパターンアレイ成形用型の製造方法によれば、薬剤量の制御性を改善することが可能となる。マイクロニードルアレイの製造方法によれば、薬剤量の制御性を改善することが可能となる。   According to the method of manufacturing a pattern array molding die of the present invention, controllability of the amount of medicine can be improved. According to the method of manufacturing the microneedle array, it is possible to improve the controllability of the amount of drug.

パターンアレイシート成形用型の製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method of the type | mold for pattern array sheet formation. 針状突起を形成する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of forming a needle-like protrusion. 針状突起を形成する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of forming a needle-like protrusion. 針状突起を形成する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of forming a needle-like protrusion. 針状突起の断面図である。It is sectional drawing of a needle-like protrusion. パターンアレイシート成形用型の斜視図である。It is a perspective view of a mold for pattern array sheet formation. パターンアレイシート成形用型の斜視図である。It is a perspective view of a mold for pattern array sheet formation. 非接触測定機の概略構成図である。It is a schematic block diagram of a non-contact measuring instrument. 設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。It is a graph which makes a volume ratio to design value the vertical axis, and makes processing order of needlelike projections the horizontal axis. 追加工後の設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。It is a graph which makes a volume ratio to a design value after additional processing a vertical axis, and makes a processing order of needlelike projections a horizontal axis. 頻度を縦軸、針状突起の体積を横軸とするグラフである。It is a graph which makes frequency a vertical axis | shaft and the volume of a needlelike protrusion a horizontal axis. 成膜前と成膜後の設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。It is a graph which makes a volume ratio to a design value before film formation and after film formation a vertical axis, and makes processing order of needlelike projections a horizontal axis. 針状突起に無機膜を成膜した状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which formed the inorganic film into a film on needle-like protrusions. 積算体積比を縦軸、針状突起の全高に対する針状突起の高さの比を横軸とするグラフである。It is a graph which makes an integral volume ratio a vertical axis | shaft, and makes a horizontal axis the ratio of the height of the needlelike protrusion with respect to the total height of a needlelike protrusion. 積算体積比を縦軸、針状突起の全高に対する針状突起の高さの比を横軸とするグラフである。It is a graph which makes an integral volume ratio a vertical axis | shaft, and makes a horizontal axis the ratio of the height of the needlelike protrusion with respect to the total height of a needlelike protrusion. マイクロニードルアレイの製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method of microneedle array. パターンアレイシートを製造する工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of manufacturing a pattern array sheet. パターンアレイシートを製造する工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of manufacturing a pattern array sheet. パターンアレイシートを製造する工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of manufacturing a pattern array sheet. 電鋳金型を製造する工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of manufacturing an electroforming metal mold | die. 電鋳金型を製造する工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of manufacturing an electroforming metal mold | die. 樹脂製モールドの製造工程の手順を示す工程図である。It is process drawing which shows the procedure of the manufacturing process of resin-made molds. 樹脂製モールドの製造工程の手順を示す工程図である。It is process drawing which shows the procedure of the manufacturing process of resin-made molds. ポリマー溶解液を供給する工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of supplying a polymer solution. ポリマーシートとするためポリマー溶解液を乾燥する工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of drying a polymer solution in order to set it as a polymer sheet. ポリマーシートを樹脂製モールドから離型する工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of releasing a polymer sheet from resin-made molds. マイクロニードルアレイを切断する工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of cutting a microneedle array.

以下、添付図面にしたがって本発明の好ましい実施の形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施の形態により説明される。本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings. The invention is illustrated by the following preferred embodiments. Changes can be made in a number of ways without departing from the scope of the present invention, and other embodiments than the present embodiment can be used. Therefore, all the modifications within the scope of the present invention are included in the claims.

ここで、図中、同一の記号で示される部分は、同様の機能を有する同様の要素である。また、本明細書中で、数値範囲を“ 〜 ”を用いて表す場合は、“ 〜 ”で示される上限、下限の数値も数値範囲に含むものとする。   Here, in the drawings, portions indicated by the same symbols are similar elements having similar functions. Further, in the present specification, when a numerical range is expressed using “to”, numerical values of upper limit and lower limit indicated by “to” are also included in the numerical range.

(パターンアレイシート成形用型の製造方法)
パターンアレイシート成形用型の製造方法について、図面を参照して説明する。図1は、パターンアレイシート成形用型の製造方法のフローチャートである。図1に示されるように、パターンアレイシート成形用型の製造方法は、針状突起形成工程(ステップS1)、計測工程(ステップS2)、及び追加工工程(ステップS3)を、少なくとも備える。
(Method of manufacturing mold for pattern array sheet)
A method of manufacturing a pattern array sheet forming mold will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a flowchart of a method of manufacturing a pattern array sheet forming mold. As shown in FIG. 1, the method of manufacturing a pattern array sheet molding die includes at least a needle-like projection forming step (step S1), a measuring step (step S2), and an additional processing step (step S3).

針状突起形成工程(ステップS1)では、基材を機械加工することにより、アレイ状に配列され、100μm以上1500μm以下の高さを有し、かつ多段の形状を有する複数の針状突起を形成する。計測工程(ステップS2)では、非接触測定によって針状突起の体積を計測する。追加工工程(ステップS3)では、針状突起の体積を調整するため、計測する工程における計測結果に基づいて、針状突起を追加工する。以下、各工程について説明する。 In the needle-like protrusion forming step (step S1), the substrate is machined to form a plurality of needle-like protrusions arranged in an array , having a height of 100 μm or more and 1500 μm or less, and having a multistage shape. Do. In the measurement step (step S2), the volume of the needle-like projections is measured by non-contact measurement. In the additional processing step (step S3), in order to adjust the volume of the needle projections, the needle projections are added based on the measurement result in the measuring step. Each step will be described below.

<針状突起形成工程(ステップS1)>
針状突起形成工程について、図2から図6に基づいて説明する。図2から図4は針状突起を形成する工程を示す図である。
<Needle-like projection forming step (step S1)>
The needle-like protrusion forming step will be described based on FIG. 2 to FIG. 2 to 4 are views showing steps of forming needle projections.

図2に示されるように、パターンアレイシート成形用型10(図6参照)を作製するための基材20が準備される。基材20の素材としては、鉄、ステンレス合金、アルミニウム合金、Ni合金(めっきを含む)の金属を使用することができる。   As shown in FIG. 2, a substrate 20 for preparing a pattern array sheet forming mold 10 (see FIG. 6) is prepared. As a material of the base material 20, a metal of iron, stainless alloy, aluminum alloy, Ni alloy (including plating) can be used.

図3に示されるように、第一切削刃30を用いて基材20を機械加工(切削)することにより、パターンアレイシート成形用型10の針状突起12を構成する第一部分12Aが基材20に形成される。第一部分12Aを形成するための各種条件(第一切削刃30の種類、切削速度等)が適宜選択される。   As shown in FIG. 3, by machining (cutting) the base material 20 using the first cutting blade 30, the first portion 12A constituting the needle-like projections 12 of the pattern array sheet forming mold 10 is a base material Formed in twenty. Various conditions (type of first cutting edge 30, cutting speed, etc.) for forming the first portion 12A are appropriately selected.

機械加工とは、切削刃、砥石等の工具により対象物を加工する方法を意味する。   Machining means the method of processing an object with tools, such as a cutting blade and a grindstone.

図4に示されるように、第二切削刃32を用いて基材20を切削することにより、針状突起12を構成する第二部分12Bが基材20に形成される。第二切削刃32は第一切削刃30と同じであっても、異なっていてもよい。第二部分12Bを形成するための各種条件(第二切削刃32の種類、切削速度等)が適宜選択される。第二部分12Bを形成する際にパターンアレイシート成形用型10の第一面10Aが形成される。基材20に、第一部分12Aと第二部分12Bとを含む針状突起12を必要な数だけ作製し終えると、針状突起形成工程は終了となる。本実施形態では、第一切削刃30と第二切削刃32とを用いた機械加工示したが、これに限定されない。例えば、第一切削刃30及び第二切削刃32の何れか一方のみを用いる場合、さらに第三切削刃(不図示)を用いる場合でもよい。   As shown in FIG. 4, by cutting the base 20 using the second cutting blade 32, a second portion 12 </ b> B that constitutes the needle-like protrusion 12 is formed on the base 20. The second cutting edge 32 may be the same as or different from the first cutting edge 30. Various conditions (a type of the second cutting edge 32, a cutting speed, etc.) for forming the second portion 12B are appropriately selected. When forming the second portion 12B, the first surface 10A of the pattern array sheet forming mold 10 is formed. When the necessary number of needle projections 12 including the first portion 12A and the second portion 12B are produced on the base 20, the needle projection forming process is completed. Although machining using the first cutting edge 30 and the second cutting edge 32 is shown in the present embodiment, the present invention is not limited to this. For example, when only one of the first cutting edge 30 and the second cutting edge 32 is used, a third cutting edge (not shown) may be used.

図5は、針状突起形成工程後の針状突起の断面図である。   FIG. 5 is a cross-sectional view of the needle-like protrusion after the needle-like protrusion forming step.

図5に示されるように、針状突起12は、第一面10Aから離れる方向に先細りとなる錐体形状の構造を有している。本実施形態では、針状突起12が、第一面10Aの側から、第二部分12Bと、第一部分12Aとを有し、第二部分12Bの側面と第一面10Aとの成す角度θ2と、第一部分12Aの側面と第一面10Aとの成す角度θ1との大きさが異なる形状を有している。したがって、本実施形態では一つ第二部分12Bと一つの第一部分12Aとを有しているので、第一面10Aと成す角度の異なる2つの側面を有する一段の段差を有する形状となる。多段の形状は、少なくとも一段の段差を有する形状である。なお、針状突起12は切削加工等により作製されるため、先端は曲面状である。先端径は好ましくは50μm以下であり、より好ましくは30μm以下である。   As shown in FIG. 5, the needle-like protrusions 12 have a pyramidal structure that tapers in a direction away from the first surface 10A. In the present embodiment, the needle-like protrusion 12 has the second portion 12B and the first portion 12A from the side of the first surface 10A, and the angle θ2 formed by the side surface of the second portion 12B and the first surface 10A The size of the angle θ1 between the side surface of the first portion 12A and the first surface 10A is different. Therefore, in the present embodiment, since there is one second portion 12B and one first portion 12A, it has a step having one step with two side faces having different angles formed with the first surface 10A. The multistage shape is a shape having at least one level difference. In addition, since the needle-like protrusion 12 is manufactured by cutting etc., the front-end | tip is curved surface shape. The tip diameter is preferably 50 μm or less, more preferably 30 μm or less.

針状突起12の高さH1は、100μm以上1500μm以下であることが好ましく、500μm以上1200μm以下であることがさらに好ましい。針状突起12の高さH1は、第一面10Aから針状突起12の先端までの距離である。また、第一部分12Aの高さ(H1−H2)と、第二部分12Bの高さH2との比である(H1−H2)/H2については、1以上10以下の範囲であり、好ましくは1.5以上8以下の範囲である。   The height H1 of the needle-like protrusions 12 is preferably 100 μm or more and 1500 μm or less, and more preferably 500 μm or more and 1200 μm or less. The height H1 of the needle-like protrusion 12 is the distance from the first surface 10A to the tip of the needle-like protrusion 12. The ratio (H1-H2) / H2, which is the ratio of the height (H1-H2) of the first portion 12A to the height H2 of the second portion 12B, is in the range of 1 to 10, preferably 1 .5 or more and 8 or less.

針状突起12の間隔L(ピッチ)は、300μm以上2000μm以下であることが好ましく、500μm以上1500μm以下であることがより好ましく、700μm以上1250μm以下であることがさらに好ましい。針状突起12の間隔Lを上述の範囲とすることにより、切削等の機械加工が容易となる。隣り合う針状突起12の間隔Lとは、ある針状突起12に対して最も近い位置にある別の針状突起12までの距離であり、図5に示すように、2つの針状突起12の先端間の距離で測定される。   The distance L (pitch) of the needle-like projections 12 is preferably 300 μm to 2000 μm, more preferably 500 μm to 1500 μm, and still more preferably 700 μm to 1250 μm. By setting the distance L of the needle-like protrusions 12 to the above-mentioned range, machining such as cutting becomes easy. The distance L between the adjacent needle-like protrusions 12 is the distance to another needle-like protrusion 12 located closest to a certain needle-like protrusion 12, and as shown in FIG. 5, two needle-like protrusions 12. The distance between the tips of the

図6は、パターンアレイシート成形用型の斜視図である。図6に示されるように、パターンアレイシート成形用型10は、略直方体の形状を有し、その第一面10Aに複数の針状突起12がアレイ状に配列されている。アレイ状とは整列された状態を意味する。針状突起12が整列されていれば良く、数、配置、ピッチ等は適宜選択される。針状突起12は第一部分12Aと第二部分12Bとから構成される第一面10Aと対向する反対側の面である第二面10Bは、ほぼ平坦面で構成されている。 FIG. 6 is a perspective view of a pattern array sheet forming mold. As shown in FIG. 6, the pattern array sheet forming mold 10 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and a plurality of needle-like protrusions 12 are arranged in an array on the first surface 10A. An array means an aligned state. The needle projections 12 may be aligned, and the number, arrangement, pitch and the like may be appropriately selected. The second surface 10B, which is a surface opposite to the first surface 10A composed of the first portion 12A and the second portion 12B, is a substantially flat surface.

後述するように、パターンアレイシート成形用型10からパターンアレイシートが形成される。パターンアレイシートから電鋳金型が作製され、電鋳金型から凹状パターンを有する樹脂製モールドが作製される。樹脂製モールドから成形品であるマイクロニードルアレイが製造される。パターンアレイシート成形用型10の針状突起12が、マイクロニードルアレイに複製される。したがって、針状突起12の形状を管理することが重要となる。   As described later, the pattern array sheet is formed from the pattern array sheet forming mold 10. An electroforming mold is produced from the pattern array sheet, and a resin mold having a concave pattern is produced from the electroforming mold. The microneedle array which is a molded article is manufactured from a resin mold. The needle-like projections 12 of the pattern array sheet forming mold 10 are replicated on the microneedle array. Therefore, it is important to control the shape of the needle-like projections 12.

図7は、図6のパターンアレイシート成形用型10とは異なる針状突起12の形状を有している。図7の針状突起12は、先端部から裾部に向けて第一部分12Aと第二部分12Bと第三部分12Cと備える二段の段差を有する形状である。図7においては、第一部分12Aは円錐形状であり、第二部分12Bは円柱形状であり、第三部分12Cは円錐台形状を有している。但し、これらの形状には限定されない。   FIG. 7 has the shape of needle-like projections 12 different from the pattern array sheet forming mold 10 of FIG. The needle-like protrusion 12 of FIG. 7 is shaped to have a two-step difference including the first portion 12A, the second portion 12B, and the third portion 12C from the tip to the skirt. In FIG. 7, the first portion 12A has a conical shape, the second portion 12B has a cylindrical shape, and the third portion 12C has a frusto-conical shape. However, it is not limited to these shapes.

<計測工程(ステップS2)>
計測工程では、複数の針状突起12をアレイ状に形成したパターンアレイシート成形用型10が非接触測定によって測定され、針状突起12の体積が計測される。非接触の測定は、レーザー顕微鏡、又は白色干渉計を用いることにより、実現することができる。非接触測定とは、測定物に直接接触することなく測定する方法であって、例えば、光を利用して測定する方法を挙げることができる。
<Measurement Process (Step S2)>
In the measurement step, the pattern array sheet forming mold 10 in which a plurality of needle-like protrusions 12 are formed in an array is measured by non-contact measurement, and the volume of the needle-like protrusions 12 is measured. Non-contact measurement can be realized by using a laser microscope or a white light interferometer. Non-contact measurement is a method of measuring without directly contacting the object to be measured, and can be, for example, a method of measuring using light.

レーザー顕微鏡として、例えば、キーエンス社製のVK−X260、オリンパス社製のOLS4100等を使用することができる。白色干渉計として、例えば、Zygo社製の白色干渉計、Bruker社製のWyko等を使用することができる。   As the laser microscope, for example, VK-X260 manufactured by Keyence Corporation, OLS 4100 manufactured by Olympus Corporation, or the like can be used. As a white light interferometer, for example, a white light interferometer made by Zygo, Wyko made by Bruker, etc. can be used.

図8は、非接触測定機の概略構成図である。図8に示されるように、非接触測定機システム40は、例えば、非接触測定機42と、及び制御装置60と、を備えている。非接触測定機42と制御装置60とは電気的に接続されている。制御装置60は非接触測定機システム40の全体の動作を制御する。   FIG. 8 is a schematic block diagram of a noncontact measuring machine. As shown in FIG. 8, the non-contact measurement system 40 includes, for example, a non-contact measurement system 42 and a control device 60. The noncontact measuring device 42 and the control device 60 are electrically connected. The controller 60 controls the overall operation of the noncontact measuring system 40.

非接触測定機42は、撮像装置44と、測定機本体46と、光源48と、及び測定物であるパターンアレイシート成形用型10を載置するテーブル50と、を備える。非接触測定機42として、上述のレーザー顕微鏡、白色干渉計等が使用される。   The non-contact measuring device 42 includes an imaging device 44, a measuring device main body 46, a light source 48, and a table 50 on which the pattern array sheet forming mold 10 which is a measurement object is placed. As the noncontact measuring device 42, the above-mentioned laser microscope, a white light interferometer or the like is used.

制御装置60は、操作入力部であるキーボード62、及び表示部であるディスプレイ64と、制御部66とを備える。制御部66は、各種の処理を行う演算部、各種プログラム及びデータ等が格納された記憶部等を備える。   The control device 60 includes a keyboard 62 which is an operation input unit, a display 64 which is a display unit, and a control unit 66. The control unit 66 includes an operation unit that performs various processes, a storage unit in which various programs, data, and the like are stored.

複数の針状突起12を有するパターンアレイシート成形用型10がテーブル50に載置される。非接触測定機42によって、針状突起12の形状が計測される。非接触測定機42によって計測された結果が、制御装置60に入力される。制御装置60に入力された結果が、制御部66の演算部により処理され、針状突起12の体積が計測される。   A pattern array sheet forming mold 10 having a plurality of needle projections 12 is placed on a table 50. The non-contact measuring device 42 measures the shape of the needle-like protrusion 12. The result measured by the noncontact measuring device 42 is input to the control device 60. The result input to the control device 60 is processed by the calculation unit of the control unit 66, and the volume of the needle-like protrusion 12 is measured.

針状突起12の体積を求める方法として、いくつかの方法がある。一つの方法は、計測した1つの針状突起12に対し、針状突起12の底部の重心を算出し、重心位置の高さにおける断面から径を算出する。算出された径に基づいて、高さ方向で積分することにより体積を求めることができる。   There are several methods for determining the volume of needle projections 12. In one method, the center of gravity of the bottom of the needle-like protrusion 12 is calculated for one needle-like protrusion 12 measured, and the diameter is calculated from the cross section at the height of the position of the center of gravity. The volume can be determined by integrating in the height direction based on the calculated diameter.

別の方法として、理想形状の位置情報と、計測した針状突起12とに基づいて3Dフィッティングすることにより径を算出し、算出された径に基づいて、高さ方向で積分することにより体積を求めることができる。   As another method, the diameter is calculated by 3D fitting based on the position information of the ideal shape and the measured needle-like protrusion 12, and the volume is integrated by integrating in the height direction based on the calculated diameter. It can be asked.

上記の方法で求めた体積が、一つのパターンアレイシート成形用型10の複数の針状突起12の総体積となる。   The volume determined by the above method is the total volume of the plurality of needle projections 12 of one pattern array sheet molding die 10.

本実施形態では、全ての針状突起12を計測する場合について説明した。しかしながら、計測すべき針状突起12の数が多い場合、針状突起12の設計値に対する総体積の増加、又は減少の傾向を把握できる評価数を統計的に求め、全ての針状突起12を計測しない場合であっても良い。   In the present embodiment, the case of measuring all needle projections 12 has been described. However, when the number of needle-like projections 12 to be measured is large, an evaluation number capable of grasping the tendency of increase or decrease of the total volume to the design value of needle-like projections 12 is statistically determined and all needle-like projections 12 are calculated. The measurement may not be performed.

複数の針状突起12を有するパターンアレイシート成形用型10を計測した結果の一例について説明する。100本の針状突起12を有するパターンアレイシート成形用型10を準備する。パターンアレイシート成形用型10の針状突起12を非接触測定機システム40により計測する。図9は、設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。体積比は、計測値/設計値の式により求めることができる。   An example of the result of measuring the pattern array sheet forming mold 10 having a plurality of needle-like protrusions 12 will be described. A pattern array sheet forming mold 10 having 100 needle projections 12 is prepared. The needle-like projections 12 of the pattern array sheet forming mold 10 are measured by the non-contact measuring system 40. FIG. 9 is a graph in which the volume ratio to the design value is the vertical axis, and the processing order of the needle-like projections is the horizontal axis. The volume ratio can be determined by the equation of measured value / design value.

図9に示されるように、この例においては、加工順が遅くなるほど、体積比が大きくなることが読み取れる。針状突起12を形成するための切削刃が、加工が進むにつれて摩耗し、その結果、針状突起12の形状が設計値から外れたと考えられる。   As shown in FIG. 9, in this example, it can be read that as the processing order is later, the volume ratio is larger. It is considered that the cutting blade for forming the needle-like protrusions 12 wears as the processing progresses, and as a result, the shape of the needle-like protrusions 12 deviates from the design value.

各針状突起12の体積が等しくない場合、パターンアレイシート成形用型10から製造されるマイクロニードルアレイの形状が等しくなくなるため、薬剤量の制御性が問題になることが懸念される。   If the volumes of the needle-like protrusions 12 are not equal, the shape of the microneedle array manufactured from the pattern array sheet forming mold 10 is not equal, and there is a concern that the controllability of the amount of medicine will be a problem.

<追加工工程(ステップS3)>
本実施形態においては、追加工工程では、各針状突起12の体積を調整するため、計測工程における計測結果に基づいて、針状突起12が追加工される。
<Additional work process (step S3)>
In the present embodiment, in the additional processing step, in order to adjust the volume of each needle-like protrusion 12, the needle-like protrusion 12 is added based on the measurement result in the measurement step.

追加工する工程として、各針状突起12の体積の計測結果に基づいて、機械加工により各針状突起12の体積が調整されるよう切削等することができる。同じ切削刃により針状突起12を機械加工する場合、例えば、加工順を逆にし、加工順の遅い針状突起12から加工順の早い針状突起12の順で機械加工することができる。切削刃が摩耗する場合でも、精度の高い追加工を実現することができる。   As a process of additional processing, based on the measurement result of the volume of each needle-like protrusion 12, cutting etc. can be carried out so that the volume of each needle-like protrusion 12 may be adjusted by machining. When the needle projections 12 are machined with the same cutting blade, for example, the processing order can be reversed, and machining can be performed in the order from the needle projections 12 with the slow processing order to the needle projections 12 with the earliest processing order. Even when the cutting blade wears, highly accurate additional machining can be realized.

図10は、追加工後の設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。追加工後の各針状突起12を計測し、その計測結果を図10のグラフにプロットする。図10に示されるように、機械加工による追加工を針状突起12の行うことにより、各針状突起12の体積をほぼ等しくなるように調整することができる。体積がほぼ等しいとは、体積が同じであるか、又は体積のバラツキが一定の範囲に含まれていること意味する。一定の範囲は、製造されるマイクロニードルアレイに求められる精度から、定められる。   FIG. 10 is a graph in which the volume ratio to the design value after the additional processing is the vertical axis, and the processing order of the needle-like projections is the horizontal axis. Each needle-like protrusion 12 after additional processing is measured, and the measurement result is plotted on the graph of FIG. As shown in FIG. 10, the volume of each needle-like protrusion 12 can be adjusted to be substantially equal by performing additional machining by the needle-like protrusion 12. The fact that the volumes are substantially equal means that the volumes are the same or that the variation of the volumes is included in a certain range. The fixed range is determined from the precision required of the microneedle array to be manufactured.

次に、100本の針状突起12を有する、6つのパターンアレイシート成形用型10を準備し、6つのパターンアレイシート成形用型10に対して機械加工による追加工を実施する。図11は、頻度を縦軸、針状突起の体積を横軸とするグラフである。グラフA、B、C、D、E、Fは、6つのパターンアレイシート成形用型10の各針状突起12の体積と頻度をプロットしたグラフである。   Next, six pattern array sheet forming molds 10 having 100 needle projections 12 are prepared, and additional machining is performed on the six pattern array sheet forming molds 10. FIG. 11 is a graph in which frequency is taken along the vertical axis and volume of needle projections is taken along the horizontal axis. Graphs A, B, C, D, E, and F are graphs in which volumes and frequencies of the respective needle-like protrusions 12 of the six pattern array sheet forming molds 10 are plotted.

図11に示されるように、グラフA、B、C、D、E、及びFによれば、各パターンアレイシート成形用型10の針状突起12の体積は、ほぼ等しくなるように調整されている。グラフA、B、C、D、E、及びFによれば、各パターンアレイシート成形用型10の針状突起12の体積は、設計値に対して±3%に含まれている。パターンアレイシート成形用型10の針状突起12の体積が、上述の範囲内であれば、マイクロニードルアレイの薬剤量の制御性を向上させることができる。   As shown in FIG. 11, according to the graphs A, B, C, D, E and F, the volumes of the needle-like projections 12 of each pattern array sheet forming mold 10 are adjusted to be approximately equal. There is. According to the graphs A, B, C, D, E and F, the volume of the needle-like projections 12 of each pattern array sheet forming mold 10 is included within ± 3% of the design value. If the volume of the needle-like projections 12 of the pattern array sheet forming mold 10 is within the above range, the controllability of the amount of medicine of the microneedle array can be improved.

一方、成形品であるマイクロニードルアレイの形状に関して、設計値に対する許容値がより小さいこと、即ち、ばらつきがより小さいことが求められ場合がある。例えば、グラフA、B、C、D、E、及びFで示されるパターンアレイシート成形用型10の針状突起12の体積を、設計値に近づけることが必要となる。   On the other hand, with respect to the shape of the microneedle array which is a molded article, it may be required that the tolerance to the design value is smaller, that is, the variation is smaller. For example, it is necessary to bring the volumes of the needle-like projections 12 of the pattern array sheet forming mold 10 shown by the graphs A, B, C, D, E and F close to the design value.

グラフD、E、及びFで代表される、設計値より大きな針状突起12の体積を有するパターンアレイシート成形用型10に対して、追加の機械加工による追加工を行うことで、針状突起12の体積を設計値に近づけることができる。   Needle-like projections by performing additional machining by additional machining on a pattern array sheet forming mold 10 having a volume of needle-like projections 12 larger than a design value, represented by graphs D, E, and F. The 12 volumes can be brought close to the design value.

グラフA、B、及びCで代表される、設計値より小さな針状突起12の体積を有するパターンアレイシート成形用型10に対して、追加の機械加工による追加工によっては、針状突起12の体積を設計値に近づけることができない。   With respect to the pattern array sheet forming mold 10 having a volume of needle projections 12 smaller than the design value represented by graphs A, B, and C, depending on the additional machining by additional machining, The volume can not be close to the design value.

本実施形態では、機械加工により針状突起12の体積を調整した後、設計値より小さな針状突起12の上に無機膜を成膜することにより、針状突起12の体積を設計値に近づけることができる。図12は、成膜前と成膜後の設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。図12に示されるように、各針状突起12に無機膜を成膜することにより、各針状突起12の体積を成膜前の状態より大きくすることができる。   In the present embodiment, after adjusting the volume of the needle projections 12 by machining, an inorganic film is formed on the needle projections 12 smaller than the design value to make the volume of the needle projections 12 approach the design value. be able to. FIG. 12 is a graph in which the volume ratio to the design value before film formation and after film formation is on the vertical axis, and the processing order of needle projections is on the horizontal axis. As shown in FIG. 12, by forming the inorganic film on each needle-like protrusion 12, the volume of each needle-like protrusion 12 can be made larger than that in the state before film deposition.

無機膜の材料として、カーボン系ではDLC(Diamond−like Carbon)、TaC(Tetrahedral amorphous Carbon)、スパッタカーボン等を挙げることができる。また、無機膜の材料として、合金膜では、CrN、TiN、PtFe、Ni−W、TiO、SiO等をあることができる。無機膜の材料として、金属膜では、Au、Pt、Cu、Ni、Cr等を挙げることができる。針状突起12の上に無機膜を成膜する方法として、公知の真空成膜方法を用いることができる。 Examples of the material of the inorganic film include DLC (Diamond-like Carbon), TaC (Tetrahedral amorphous Carbon), sputtered carbon and the like in the case of carbon. In addition, as the material of the inorganic film, CrN, TiN, PtFe, Ni-W, TiO 2 , SiO 2 and the like can be included as the alloy film. As a material of the inorganic film, Au, Pt, Cu, Ni, Cr and the like can be mentioned as the metal film. As a method of forming an inorganic film on the needle-like protrusions 12, a known vacuum film forming method can be used.

成膜される無機膜の厚さは100nm以上であることが好ましい。無機膜の厚さを100nm以上にすることにより、効果的に針状突起12の体積を増加させることが可能となる。なお、無機膜の厚さが厚い程、より効果的に針状突起12の体積を増加させることが可能となる。無機膜の厚さは、増加したい体積の大きさ、形成された針状突起12の高さ、隣接する針状突起12の距離等に基づいて、適宜決定される。   The thickness of the inorganic film to be formed is preferably 100 nm or more. By setting the thickness of the inorganic film to 100 nm or more, the volume of the needle-like protrusions 12 can be effectively increased. The larger the thickness of the inorganic film, the more effectively the volume of the needle-like projections 12 can be increased. The thickness of the inorganic film is appropriately determined based on the size of the volume to be increased, the height of the formed needle-like projections 12, the distance between the adjacent needle-like projections 12, and the like.

図13は、針状突起に無機膜を成膜する状態を示す側面図である。図13に示されるように、パターンアレイシート成形用型10の複数の針状突起12の上に、無機膜34が成膜される。無機膜を成膜する場合、パターンアレイシート成形用型10の第一面10Aに対して垂直方向(90°)から無機物質を堆積することが好ましい。垂直方向から無機物質を堆積することにより、針状突起12の先端部の無機膜34の厚さより、針状突起12の裾部の無機膜34の厚さを厚く成膜することができる。   FIG. 13 is a side view showing a state in which an inorganic film is formed on needle-like protrusions. As shown in FIG. 13, the inorganic film 34 is formed on the plurality of needle-like protrusions 12 of the pattern array sheet forming mold 10. In the case of forming an inorganic film, it is preferable to deposit the inorganic material from a direction (90 °) perpendicular to the first surface 10A of the pattern array sheet forming mold 10. By depositing the inorganic substance in the vertical direction, the thickness of the inorganic film 34 at the bottom of the needle-like protrusion 12 can be made larger than the thickness of the inorganic film 34 at the tip of the needle-like protrusion 12.

無機膜34の厚さを、針状突起12の裾部より針状突起12の先端部において薄くすることができ、針状突起12の先端部が鈍ることを抑制することができる。針状突起12の先端部がマイクロニードルアレイの先端部に複製されるため、マイクロニードルアレイの穿刺性を確保ためには、針状突起12の先端部が鈍らないことが好ましい。   The thickness of the inorganic film 34 can be made thinner at the tip of the needle-like protrusion 12 than at the bottom of the needle-like protrusion 12, and blunting of the tip of the needle-like protrusion 12 can be suppressed. Since the tip of the needle-like protrusion 12 is replicated on the tip of the microneedle array, it is preferable that the tip of the needle-like protrusion 12 does not become blunt in order to ensure the puncturing property of the microneedle array.

針状突起12の先端部の無機膜34の厚さより、針状突起12の裾部の無機膜34の厚さを厚く成膜することにより、効率的に針状突起12を増加させることができる。   The needle-like protrusions 12 can be efficiently increased by forming the inorganic film 34 at the bottom of the needle-like protrusions 12 thicker than the thickness of the inorganic film 34 at the tip of the needle-like protrusions 12. .

また、パターンアレイシート成形用型10を回転させることにより、無機膜34を針状突起12の表面の全体に亘り、成膜することができる。   Further, by rotating the pattern array sheet forming mold 10, the inorganic film 34 can be formed over the entire surface of the needle-like protrusions 12.

本実施形態では、第一面10Aに対して垂直方向から無機材料を堆積する場合を説明したが、この態様に限定されない。したがって、パターンアレイシート成形用型10無機材料を堆積する方向を、第一面10Aに対して90°から傾けた状態で無機膜を成膜してもよい。なお、針状突起12の先端部の無機膜34の厚さが、針状突起12の裾部の無機膜34の厚さより厚く成膜できる傾きであることが好ましい。   Although the case where the inorganic material is deposited from the direction perpendicular to the first surface 10A has been described in the present embodiment, the present invention is not limited to this aspect. Therefore, the inorganic film may be formed in a state in which the direction in which the inorganic material for the pattern array sheet forming die 10 is deposited is inclined from 90 ° with respect to the first surface 10A. It is preferable that the thickness of the inorganic film 34 at the tip of the needle-like protrusion 12 be such that the film thickness can be larger than the thickness of the inorganic film 34 at the bottom of the needle-like protrusion 12.

図14は、積算体積比を縦軸、針状突起の全高に対する針状突起の高さの比(針状突起の高さ/針状突起の全高:以下高さ比とも言う)を横軸とするグラフである。横軸において、針状突起の高さは、針状突起の先端を起点(0)とし、針状突起の先端から針状突起のある位置までの距離である。また、針状突起の全高は、針状突起の先端から第一面までの距離である。   FIG. 14 shows the integrated volume ratio on the vertical axis, and the ratio of the height of the needle projections to the total height of the needle projections (height of the needle projections / total height of the needle projections: hereinafter also referred to as height ratio) on the horizontal axis. Is a graph. In the horizontal axis, the height of the needle-like protrusion is the distance from the tip of the needle-like protrusion to the position where the needle-like protrusion is located, with the tip of the needle-like protrusion as the starting point (0). Further, the total height of the needle projections is the distance from the tip of the needle projections to the first surface.

図14において、横軸の数値が大きくなるにしたがい、その数値に対応する針状突起の位置での断面積は大きくなる。このことから、針状突起の裾部側での体積増加率は、針状突起の裾部側での体積増加率より大きくなることが読み取れる。したがって、針状突起の体積を増加させる場合、針状突起の先端部側に無機膜を成膜するより、針状突起の裾部側に無機膜を成膜することが、好ましいことが理解できる。   In FIG. 14, as the numerical value of the horizontal axis increases, the cross-sectional area at the position of the needle-like protrusion corresponding to the numerical value increases. From this, it can be read that the volume increase rate on the foot side of the needle-like protrusion is larger than the volume increase rate on the foot side of the needle-like protrusion. Therefore, it can be understood that it is preferable to deposit the inorganic film on the foot side of the needle-like projections rather than forming the inorganic film on the tip side of the needle-like projections when increasing the volume of the needle-like projections. .

図15は、積算体積比を縦軸、針状突起の全高に対する針状突起の高さの比を横軸とするグラフである。横軸は、高さ比の値が0.8から1.0までの範囲を示している。縦軸は、針状突起の基準値に対して、均等な厚さの無機膜を成膜した際の体積の増加率を示している。   FIG. 15 is a graph in which the integrated volume ratio is on the vertical axis, and the ratio of the height of the needle projections to the total height of the needle projections is on the horizontal axis. The abscissa represents the height ratio in the range of 0.8 to 1.0. The vertical axis shows the increase rate of the volume when forming the inorganic film of uniform thickness with respect to the reference value of the needle-like projections.

グラフAは基準値を、グラフBは基準値の針状突起の上に1μmの厚さの無機膜を0.8から1.0の高さ比の範囲において成膜した場合を、グラフCは基準値の針状突起の上に2μmの厚さの無機膜を0.8から1.0の高さ比の範囲において成膜した場合を、グラフDは基準値の針状突起の上に3μmの厚さの無機膜を0.8から1.0の高さ比の範囲において成膜した場合を、示している。   Graph A shows the reference value, Graph B shows the case where an inorganic film with a thickness of 1 μm is formed on the needle-like projections of the reference value in the height ratio range of 0.8 to 1.0, Graph C shows When an inorganic film with a thickness of 2 μm is formed on a needle-like protrusion of a reference value in a height ratio range of 0.8 to 1.0, graph D is 3 μm on the needle-like protrusion of the reference value. In the case of forming an inorganic film having a thickness of 1 in a range of height ratio of 0.8 to 1.0 is shown.

図15のグラフによれば、基準値の針状突起の上に3μmの厚さの無機膜を0.8から1.0の高さ比の範囲において成膜した場合、針状突起の体積を4%程度増加させることができることが理解できる。針状突起の体積を4%程度増加させることができれば、針状突起の体積を設計値に近づけることが可能となる。   According to the graph of FIG. 15, when an inorganic film with a thickness of 3 μm is formed on a needle-like protrusion of a reference value in a height ratio range of 0.8 to 1.0, the volume of the needle-like protrusion is It can be understood that it can be increased by about 4%. If the volume of the needle projections can be increased by about 4%, the volume of the needle projections can be brought close to the design value.

針状突起の先端部は、0以上0.2以下の高さ比の範囲であり、針状突起の裾部とは0.8以上1.0以下の高さ比の範囲である。針状突起の先端部と針状突起の裾部の無機膜の厚さの差は、針状突起の先端部における平均膜厚と、針状突起の裾部における平均膜厚を比較することで求めることができる。   The tip of the needle-like protrusion is in the range of height ratio of 0 or more and 0.2 or less, and the bottom of the needle-like protrusion is in the range of height ratio of 0.8 or more and 1.0 or less. The difference in the thickness of the inorganic film between the tip of the needle-like protrusion and the foot of the needle-like protrusion is obtained by comparing the average film thickness at the tip of the needle-like protrusion with the average film thickness at the foot of the needle-like protrusion It can be asked.

針状突起に対して追加工の工程として、機械加工した後に、針状突起の上に無機膜を成膜する場合について説明した。この追加工の工程に、さらに、成膜された無機膜を薄膜化することを含めることが好ましい。無機膜の薄膜化とは、無機膜の厚さを薄くすることを意味する。   The case where an inorganic film is formed on the needle-like protrusions after machining is described as a process of additional processing for the needle-like protrusions. It is preferable that the process of the additional processing further includes thinning of the formed inorganic film. Thinning the inorganic film means reducing the thickness of the inorganic film.

針状突起の体積を調整するため、針状突起を機械加工した後に、針状突起の上に無機膜を成膜する場合、無機膜が、計測結果より予め求められた厚さより厚く成膜されることがある。厚い無機膜が成膜されると、針状突起の体積が、設計値から外れることが懸念される。   When an inorganic film is formed on the needle-like protrusions after machining the needle-like protrusions to adjust the volume of the needle-like protrusions, the inorganic film is formed thicker than the thickness previously obtained from the measurement result. There is a thing. When a thick inorganic film is formed, there is a concern that the volume of the needle-like projections may deviate from the design value.

そこで、本実施形態においては、厚く成膜された無機膜を薄膜化することが好ましい。無機膜を薄膜化することにより、針状突起の体積を設計値に近づけることができる。   Therefore, in the present embodiment, it is preferable to thin the thick inorganic film. By thinning the inorganic film, the volume of the needle-like projections can be brought close to the design value.

無機膜を薄膜化する方法として、ドライエッチングプロセスを挙げることができる。ドライエッチングプロセスとは、液体を使用せずに、対象物にイオン等を衝突させる物理的エッチング方式、反応性ガスにより化学反応を起こさせる化学的エッチング方式、又は両方を組み合わせたエッチング方式等を挙げることができる。無機膜を薄膜化することができれば、ドライエッチングプロセスに限定されない。   A dry etching process can be mentioned as a method of thinning the inorganic film. The dry etching process includes a physical etching method in which ions etc. collide with the object without using a liquid, a chemical etching method in which a chemical reaction is caused by a reactive gas, or an etching method in which both are combined. be able to. It is not limited to the dry etching process as long as the inorganic film can be thinned.

無機膜を薄膜化する場合、針状突起の先端部に成膜された無機膜を薄膜化することが好ましい。針状突起の先端部の無機膜が成膜された場合、先端部の形状が鈍る懸念がある。したがって、針状突起の先端部に成膜された無機膜を薄膜化することが好ましい。したがって、先端部の形状を設計値に近い形状にすること可能となる。   In the case of thinning the inorganic film, it is preferable to reduce the thickness of the inorganic film formed at the tip of the needle-like protrusion. When the inorganic film at the tip of the needle-like protrusion is formed, there is a concern that the shape of the tip may become dull. Therefore, it is preferable to reduce the thickness of the inorganic film formed at the tip of the needle-like protrusion. Therefore, the shape of the tip can be made close to the design value.

無機膜の種類によって、無機膜を薄膜化する方法を適宜変更することが好ましい。また、針状突起の先端部の角度に垂直になる角度、すなわち第一面に対して垂直方向から無機膜を薄膜化することが好ましい。垂直方向から無機膜を薄膜化することにより、針状突起の先端部の形状を調整することが可能となる。   It is preferable to appropriately change the method of thinning the inorganic film depending on the type of the inorganic film. In addition, it is preferable to thin the inorganic film from an angle perpendicular to the angle of the tip of the needle-like protrusion, that is, perpendicular to the first surface. By thinning the inorganic film in the vertical direction, it is possible to adjust the shape of the tip of the needle-like protrusion.

<離型膜形成工程)>
追加工する工程の後に、針状突起に離型膜を形成する工程を含んでいてもよい。針状突起に離型膜を形成することにより、パターンアレイシート成形用型からパターンアレイシートを容易に離型することが可能となる。
<Removal film formation process)>
After the step of additional processing, the step of forming a release film on the needle-like projections may be included. By forming the mold release film on the needle-like projections, it becomes possible to easily release the pattern array sheet from the pattern array sheet molding die.

離型膜は、フッ素系材料、及び炭化水素系材料の少なくとも一方により構成されることが好ましい。フッ素系材料として、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン:polytetrafluoroethylene)、PFA(テトラフルオロエチレン−ペルフルオロビニルエーテル共重合体:Tetrafluoroetylene−PerfluoroalkylvinyletherCopolymer)等を挙げることができる。フッ素系材料として、例えば、ダイキン工業株式会社製のオプツール(登録商標)HD2100等を用いることができる。   The release film is preferably made of at least one of a fluorine-based material and a hydrocarbon-based material. As a fluorine-based material, PTFE (polytetrafluoroethylene: polytetrafluoroethylene), PFA (tetrafluoroethylene-perfluorovinylether copolymer: Tetrafluoroethylene-PerfluoroalkylvinyletherCopolymer) and the like can be mentioned. As the fluorine-based material, for example, OPTOOL (registered trademark) HD 2100 manufactured by Daikin Industries, Ltd. can be used.

針状突起に形成される離型膜は、20nm以上50nm以下の厚さを有することが好ましい。離型膜を20nm以上50nm以下の範囲とすることにより、針状突起の体積を大きく変化させないことが可能となる。体積を調整された針状突起の大きさを設計値から外れないようにすることが好ましい。離型膜は、スプレー等で、針状突起に塗布することができる。但し、離型膜を形成する方法は特に限定されない。   The release film formed on the needle-like projections preferably has a thickness of 20 nm or more and 50 nm or less. By setting the release film in the range of 20 nm or more and 50 nm or less, it is possible to prevent the volume of the needle-like projections from being significantly changed. It is preferable to prevent the size of the volume-adjusted needle projections from deviating from the design value. The release film can be applied to the needle-like projections by spraying or the like. However, the method for forming the release film is not particularly limited.

(マイクロニードルアレイの製造方法)
マイクロニードルアレイの製造方法について、図面を参照して説明する。図16は、マイクロニードルアレイの製造方法フローチャートである。図16に示されるように、マイクロニードルアレイの製造方法は、パターンアレイシート製造工程(ステップS21)、複製型製造工程(ステップS22)、樹脂製モールド製造工程(ステップS23)、ポリマー溶解液供給工程(ステップS24)、乾燥工程(ステップS25)、及び離型工程(ステップS26)を少なくとも備える。
(Method of manufacturing microneedle array)
The method of manufacturing the microneedle array will be described with reference to the drawings. FIG. 16 is a flow chart of a method of manufacturing a microneedle array. As shown in FIG. 16, in the method of manufacturing a microneedle array, a pattern array sheet manufacturing process (step S21), a replication mold manufacturing process (step S22), a resin mold manufacturing process (step S23), a polymer solution supply process. (Step S24), a drying process (step S25), and a mold release process (step S26) are provided at least.

<パターンアレイシート製造工程(ステップS21)>
パターンアレイシート製造工程では、パターンアレイシート成形用型の製造方法により製造されたパターンアレイシート成形用型を用いてパターンアレイシートを製造する。図17から図19は、パターンアレイシートの製造工程の手順を示す工程図である。
<Pattern array sheet manufacturing process (step S21)>
In the pattern array sheet manufacturing process, the pattern array sheet is manufactured using the pattern array sheet molding die manufactured by the method of manufacturing the pattern array sheet molding die. FIG. 17 to FIG. 19 are process drawings showing the procedure of the manufacturing process of the pattern array sheet.

図17に示されるように、パターンアレイシート成形用型10と、パターンアレイシートの材料である熱可塑性樹脂シート80とを準備する。   As shown in FIG. 17, a pattern array sheet molding die 10 and a thermoplastic resin sheet 80 which is a material of the pattern array sheet are prepared.

熱可塑性樹脂シート80を構成する熱可塑性樹脂としては、特に限定されない。例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリエチレン、液晶ポリマー、ポリ乳酸等を好適に用いることができる。熱可塑性樹脂シート80とは、膜厚が薄く、常温において自己支持性を有する状態にある熱可塑性樹脂を意味する。「自己支持性」とは、他の部材による支持がなくても、単体でその形態を保ち得ることをいう。   It does not specifically limit as a thermoplastic resin which comprises the thermoplastic resin sheet 80. As shown in FIG. For example, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polystyrene, polyethylene, liquid crystal polymer, polylactic acid and the like can be suitably used. The thermoplastic resin sheet 80 means a thermoplastic resin having a thin film thickness and having a self-supporting property at normal temperature. "Self-supporting" refers to being able to maintain its form alone without support from other members.

パターンアレイシート成形用型10と熱可塑性樹脂シート80とを相対的に移動して、パターンアレイシート成形用型10を熱可塑性樹脂シート80に押圧する位置(例えば、領域A1)を決める。位置決めは、例えば、熱可塑性樹脂シート80を支持するテーブル(不図示)に、水平面内で互いに直交方向に移動するX軸駆動機構、Y軸駆動機構を設けることにより、実行される。   The pattern array sheet forming mold 10 and the thermoplastic resin sheet 80 are relatively moved to determine the position (for example, the area A1) at which the pattern array sheet forming mold 10 is pressed against the thermoplastic resin sheet 80. Positioning is performed, for example, by providing a table (not shown) supporting the thermoplastic resin sheet 80 with an X-axis drive mechanism and a Y-axis drive mechanism which move in a direction perpendicular to each other in a horizontal plane.

加熱されたパターンアレイシート成形用型10を熱可塑性樹脂シート80の表面80Aの側に押圧する。パターンアレイシート成形用型10の複数の針状突起12が熱可塑性樹脂シート80に押圧される。   The heated pattern array sheet forming mold 10 is pressed to the surface 80 A side of the thermoplastic resin sheet 80. The plurality of needle-like projections 12 of the pattern array sheet forming mold 10 are pressed against the thermoplastic resin sheet 80.

パターンアレイシート成形用型10は、熱可塑性樹脂シート80を構成する熱可塑性樹脂材料のビカット温度以上に加熱される。加熱は、ヒータ(不図示)により行われる。熱可塑性樹脂シート80を構成する熱可塑性樹脂の種類に応じて、パターンアレイシート成形用型10は適正な温度に加熱される。   The pattern array sheet molding die 10 is heated to a temperature equal to or higher than the Vicat temperature of the thermoplastic resin material constituting the thermoplastic resin sheet 80. Heating is performed by a heater (not shown). Depending on the type of thermoplastic resin constituting the thermoplastic resin sheet 80, the pattern array sheet molding die 10 is heated to an appropriate temperature.

パターンアレイシート成形用型10を熱可塑性樹脂シート80の表面80Aの側に押圧するために、例えば、熱可塑性樹脂シート80を支持するテーブル(不図示)に、鉛直方向に移動するZ軸駆動機構を設けることにより、実行される。テーブルにZ軸駆動機構を設けた場合、熱可塑性樹脂シート80がパターンアレイシート成形用型10に移動する。また、鉛直方向に移動するZ軸駆動機構によりパターンアレイシート成形用型10を取り付けることもできる。この場合、パターンアレイシート成形用型10が熱可塑性樹脂シート80に移動する。   In order to press the pattern array sheet forming mold 10 toward the surface 80A of the thermoplastic resin sheet 80, for example, a Z-axis drive mechanism which moves vertically to a table (not shown) supporting the thermoplastic resin sheet 80. Is implemented by providing When the Z-axis drive mechanism is provided on the table, the thermoplastic resin sheet 80 is moved to the pattern array sheet forming mold 10. The pattern array sheet forming mold 10 can also be attached by a Z-axis drive mechanism that moves in the vertical direction. In this case, the pattern array sheet molding die 10 is moved to the thermoplastic resin sheet 80.

加熱されたパターンアレイシート成形用型10を押圧しながら、熱可塑性樹脂シート80の表面80Aの側を一定時間加熱する。次いで、パターンアレイシート成形用型10を熱可塑性樹脂シート80に押圧した状態で、パターンアレイシート成形用型10を冷却することにより、熱可塑性樹脂シート80が軟化温度以下になるまで冷却される。   While pressing the heated pattern array sheet forming mold 10, the surface 80A side of the thermoplastic resin sheet 80 is heated for a certain time. Next, in a state where the pattern array sheet forming mold 10 is pressed against the thermoplastic resin sheet 80, the pattern array sheet forming mold 10 is cooled so that the thermoplastic resin sheet 80 is cooled to the softening temperature or lower.

図18に示されるように、パターンアレイシート成形用型10と熱可塑性樹脂シート80とを引き離して、熱可塑性樹脂シート80の表面80Aの側に、複数の針状突起12の反転形状の複数の凹部82を形成する。なお、パターンアレイシート成形用型10と熱可塑性樹脂シート80との引き離しは、上述したZ軸駆動機構により実行することができる。複数の凹部82は複数の針状突起12の反転形状を有しているので、複数の凹部82はアレイ状に配列される。複数の凹部82の窪みの大きさ、数、及び配置は、複数の針状突起12の基本的に同じとなる。凹部82は、熱可塑性樹脂シート80の表面80Aから他方面に向けて先端が先細りの形状を有している。   As shown in FIG. 18, the pattern array sheet molding die 10 and the thermoplastic resin sheet 80 are pulled apart, and a plurality of inverted shapes of the plurality of needle-like projections 12 are formed on the surface 80A side of the thermoplastic resin sheet 80. The recess 82 is formed. The separation between the pattern array sheet forming mold 10 and the thermoplastic resin sheet 80 can be performed by the above-described Z-axis drive mechanism. Since the plurality of recesses 82 have the inverted shape of the plurality of needle projections 12, the plurality of recesses 82 are arranged in an array. The size, number and arrangement of the recesses of the plurality of recesses 82 will be essentially the same of the plurality of needle-like protrusions 12. The recessed portion 82 has a shape in which the tip is tapered from the surface 80A of the thermoplastic resin sheet 80 to the other surface.

次に、図18に示されるように、領域A1において凹部82の形成を終えると、パターンアレイシート成形用型10と熱可塑性樹脂シート80との位置決め(ここでは領域A2)を行う。領域A2において、加熱されたパターンアレイシート成形用型10を熱可塑性樹脂シート80の表面80Aの側に押圧する。パターンアレイシート成形用型10の針状突起12が熱可塑性樹脂シート80の表面80Aの側に押圧される。   Next, as shown in FIG. 18, when the formation of the recess 82 is finished in the area A1, positioning of the pattern array sheet forming mold 10 and the thermoplastic resin sheet 80 (here, the area A2) is performed. In the region A2, the heated pattern array sheet molding die 10 is pressed to the surface 80A side of the thermoplastic resin sheet 80. The needle-like projections 12 of the pattern array sheet molding die 10 are pressed to the surface 80 A side of the thermoplastic resin sheet 80.

領域A2において、加熱されたパターンアレイシート成形用型10を押圧しながら、熱可塑性樹脂シート80の表面80Aの側を一定時間加熱する。パターンアレイシート成形用型10を熱可塑性樹脂シート80に押圧した状態で、パターンアレイシート成形用型10を冷却することにより、熱可塑性樹脂シート80が軟化温度以下になるまで冷却される。パターンアレイシート成形用型10と熱可塑性樹脂シート80とを引き離して、熱可塑性樹脂シート80の表面80Aに、複数の針状突起12の反転形状の凹部82を形成する。   In the region A2, while pressing the heated pattern array sheet forming mold 10, the surface 80A side of the thermoplastic resin sheet 80 is heated for a predetermined time. With the pattern array sheet forming mold 10 pressed against the thermoplastic resin sheet 80, the pattern array sheet forming mold 10 is cooled so that the thermoplastic resin sheet 80 is cooled to the softening temperature or lower. The pattern array sheet molding die 10 and the thermoplastic resin sheet 80 are pulled apart to form recessed portions 82 of inverted shapes of the plurality of needle-like protrusions 12 on the surface 80A of the thermoplastic resin sheet 80.

さらに、パターンアレイシート成形用型10と熱可塑性樹脂シート80とを位置決めし(ここでは領域A3)、加熱したパターンアレイシート成形用型10を熱可塑性樹脂シート80の表面80Aに押圧する。   Further, the pattern array sheet forming mold 10 and the thermoplastic resin sheet 80 are positioned (here, the region A3), and the heated pattern array sheet forming mold 10 is pressed against the surface 80A of the thermoplastic resin sheet 80.

図17及び図18で説明したパターンアレイシート成形用型10と熱可塑性樹脂シート80との位置決めと、パターンアレイシート成形用型10の針状突起12の反転形状の凹部82を熱可塑性樹脂シート80に形成することを繰り返す。   The positioning of the pattern array sheet forming mold 10 and the thermoplastic resin sheet 80 described with reference to FIGS. 17 and 18 and the concave portion 82 of the inverted shape of the needle-like protrusion 12 of the pattern array sheet forming mold 10 Repeat to form.

図19に示されるように、熱可塑性樹脂シート80の表面80Aの側に、予め決められた領域に複数の凹部82を形成し終えると、熱可塑性樹脂シート80からパターンアレイシート84が製造される。   As shown in FIG. 19, when a plurality of recesses 82 are formed in a predetermined area on the side of surface 80 A of thermoplastic resin sheet 80, pattern array sheet 84 is manufactured from thermoplastic resin sheet 80. .

<複製型製造工程(ステップS22)>
複製型製造工程では、パターンアレイシートを用いてパターンアレイシート成形用型の複製である複製型を製造する。複製型を製造する一例として、電鋳処理を例に説明する。図20、図21は、電鋳金型の製造工程の手順を示す工程図である。
<Replication Type Manufacturing Process (Step S22)>
In the replication mold manufacturing process, a pattern array sheet is used to manufacture a replication mold which is a replication of a mold for molding a pattern array sheet. An electroforming process will be described as an example of manufacturing a replica mold. FIG. 20 and FIG. 21 are process drawings showing the procedure of the manufacturing process of the electroforming mold.

図20に示されるように、表面80Aの複数の領域に、複数の凹部82がアレイ状に配列されたパターンアレイシート84を準備し、パターンアレイシート84に電鋳処理を行う。電鋳処理においては、まず、パターンアレイシート84に導電化処理を行う。パターンアレイシート84に金属(例えば、ニッケル)をスパッタリングし、パターンアレイシート84の表面80A、及び複数の凹部82に金属を付着する。導電化処理を経たパターンアレイシート84を陰極に保持する。金属ペレットを金属製のケースに保持し陽極とする。パターンアレイシート84を保持する陰極と金属ペレットを保持する陽極とを電鋳液中に浸漬し、通電する。電鋳処理により、パターンアレイシート84の複数の凹部82に金属が埋め込まれ、金属体90が形成される。電鋳処理とは、電気めっき法により型(パターンアレイシート84)の表面に金属を析出させる方法をいう。   As shown in FIG. 20, a pattern array sheet 84 in which a plurality of recesses 82 are arranged in an array is prepared in a plurality of regions of the surface 80A, and the pattern array sheet 84 is electroformed. In the electroforming process, first, the pattern array sheet 84 is subjected to a conductive process. A metal (for example, nickel) is sputtered onto the pattern array sheet 84, and the metal is attached to the surface 80A of the pattern array sheet 84 and the plurality of recesses 82. The pattern array sheet 84 subjected to the conductive processing is held on the cathode. The metal pellet is held in a metal case and used as an anode. The cathode holding the pattern array sheet 84 and the anode holding the metal pellet are immersed in the electroforming liquid and energized. By the electroforming process, the metal is embedded in the plurality of concave portions 82 of the pattern array sheet 84, and the metal body 90 is formed. The electroforming process refers to a method of depositing metal on the surface of the mold (pattern array sheet 84) by electroplating.

図21に示されるように、金属体90がパターンアレイシート84から離型されて、複数の針状突起94を有する電鋳金型92が製造される。複数の針状突起94は複数の凹部82の反転形状を有している。複数の針状突起94は、パターン状に配列される。電鋳金型92の針状突起94は、パターンアレイシート成形用型10の針状突起12と、ほぼ同一の形状となる。本実施形態では、電鋳金型92が複製型となる。   As shown in FIG. 21, the metal body 90 is released from the pattern array sheet 84 to produce an electroformed mold 92 having a plurality of needle-like protrusions 94. The plurality of needle projections 94 have an inverted shape of the plurality of recesses 82. The plurality of needle projections 94 are arranged in a pattern. The needle-like projections 94 of the electroforming mold 92 have substantially the same shape as the needle-like projections 12 of the pattern array sheet forming mold 10. In the present embodiment, the electroforming mold 92 is a replica mold.

本実施形態では、パターンアレイシート成形用型10を用いてパターンアレイシート84を製造し、パターンアレイシート84から電鋳金型92を製造する。したがって、パターンアレイシート成形用型10の針状突起12と電鋳金型92の針状突起94とはほぼ同一の形状であり、かつ、電鋳金型92はパターンアレイシート成形用型10と比較して大面積の有している。すなわち、小型のパターンアレイシート成形用型10から、その複製型である大型の電鋳金型92を得ることができるので、機械加工に伴うコストを削減できる。   In this embodiment, the pattern array sheet 84 is manufactured using the pattern array sheet forming mold 10, and the electroformed mold 92 is manufactured from the pattern array sheet 84. Therefore, the needle projections 12 of the pattern array sheet molding die 10 and the needle projections 94 of the electroforming die 92 have substantially the same shape, and the electroforming die 92 is compared with the pattern array sheet molding die 10. Have a large area. That is, since the large-sized electroformed mold 92 which is a duplicate of the small pattern array sheet forming mold 10 can be obtained, the cost associated with the machining can be reduced.

複製型は、電鋳処理に限定されず、パターンアレイシート84を用いて樹脂製の複製型を作製することもできる。   The replication type is not limited to the electroforming process, and a resin replication type can also be manufactured using the pattern array sheet 84.

<樹脂製モールド製造工程(ステップS23)>
樹脂製モールド製造工程では、複製型を用いて複数の凹部を有する樹脂製モールドを製造する。図22、図23は、樹脂製モールドの製造工程の手順を示す工程図である。なお、複製型として電鋳金型92を用いる例で説明する。複製型は電鋳金型92に限定されない。
<Resin mold manufacturing process (step S23)>
In the resin mold manufacturing process, a resin mold having a plurality of recesses is manufactured using a replication mold. 22 and 23 are process diagrams showing the procedure of the process of manufacturing a resin mold. In addition, the example using the electroforming metal mold | die 92 as a duplication type | mold is demonstrated. The replication type is not limited to the electroforming mold 92.

図22は、電鋳金型92を用いて樹脂製モールド100を製造する工程を示し、図23は電鋳金型92から樹脂製モールド100を離型する工程を示している。以下の第1から第3の方法により、アレイ状に配列された複数の凹部102を有する樹脂製モールド100を製造することができる。   FIG. 22 shows a process of manufacturing the resin mold 100 using the electroforming mold 92, and FIG. 23 shows a process of releasing the resin mold 100 from the electroforming mold 92. As shown in FIG. A resin mold 100 having a plurality of recesses 102 arranged in an array can be manufactured by the following first to third methods.

まず、第1の方法について説明する。紫外線を照射することにより硬化する紫外線硬化樹脂を準備する。電鋳金型92の複数の針状突起94を紫外線硬化樹脂に押圧する。紫外線硬化樹脂に電鋳金型92を押圧した状態で、紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させる。硬化させた紫外線硬化樹脂を電鋳金型92から離型する。電鋳金型92の複数の針状突起94の反転形状である複数の凹部102を有する樹脂製モールド100を製造することができる。   First, the first method will be described. A UV curable resin is prepared which cures upon irradiation with UV light. The plurality of needle-like projections 94 of the electroforming die 92 are pressed against the ultraviolet curing resin. While the electroforming die 92 is pressed against the ultraviolet curing resin, the ultraviolet curing resin is irradiated with ultraviolet rays to cure the ultraviolet curing resin. The cured UV curable resin is released from the electroforming die 92. It is possible to manufacture a resin mold 100 having a plurality of recesses 102 which is the inverted shape of the plurality of needle-like protrusions 94 of the electroforming die 92.

第2の方法について説明する。樹脂製モールド100の材料となる熱可塑性樹脂シートを準備する。複数の針状突起94を有する電鋳金型92を加熱する。加熱された電鋳金型92複数の針状突起94を熱可塑性樹脂シートの表面に押圧する。熱可塑性樹脂の表面は軟化されているので、複数の針状突起94の反転形状が熱可塑性樹脂シートに転写される。   The second method will be described. A thermoplastic resin sheet to be a material of the resin mold 100 is prepared. An electroformed mold 92 having a plurality of needle projections 94 is heated. The heated electroforming molds 92 are pressed against the surface of the thermoplastic resin sheet. Since the surface of the thermoplastic resin is softened, the inverted shapes of the plurality of needle-like protrusions 94 are transferred to the thermoplastic resin sheet.

熱可塑性樹脂シートに電鋳金型92を押圧した状態で、熱可塑性樹脂シートと電鋳金型92とを冷却する。電鋳金型92を冷却することにより熱可塑性樹脂シートを硬化させる。その後、熱可塑性樹脂シートを電鋳金型92から離型する。電鋳金型92の複数の針状突起94の反転形状である複数の凹部102を有する樹脂製モールド100を製造することができる。   While the electroforming die 92 is pressed against the thermoplastic resin sheet, the thermoplastic resin sheet and the electroforming die 92 are cooled. By cooling the electroforming mold 92, the thermoplastic resin sheet is cured. Thereafter, the thermoplastic resin sheet is released from the electroforming die 92. It is possible to manufacture a resin mold 100 having a plurality of recesses 102 which is the inverted shape of the plurality of needle-like protrusions 94 of the electroforming die 92.

次に、第3の方法について説明する。PDMS(polydimethylsiloxane:ポリジメチルシロキサン、例えば、ダウコーニング社製シルガード184)に硬化剤を添加したシリコーン樹脂を準備する。電鋳金型92の複数の針状突起94をシリコーン樹脂に押圧する。シリコーン樹脂に電鋳金型92を押圧した状態で、シリコーン樹脂を100℃で加熱処理し硬化させる。硬化させたシリコーン樹脂を電鋳金型92から離型する。電鋳金型92の複数の針状突起94の反転形状である複数の凹部102を有する樹脂製モールド100を製造することができる。   Next, the third method will be described. A silicone resin is prepared by adding a curing agent to PDMS (polydimethyl siloxane: polydimethylsiloxane, for example, Silgard 184 manufactured by Dow Corning). The plurality of needle projections 94 of the electroforming die 92 are pressed against the silicone resin. While the electroforming die 92 is pressed against the silicone resin, the silicone resin is heat treated at 100 ° C. to be cured. The cured silicone resin is released from the electroforming die 92. It is possible to manufacture a resin mold 100 having a plurality of recesses 102 which is the inverted shape of the plurality of needle-like protrusions 94 of the electroforming die 92.

複数の凹部102は複数の針状突起94の反転形状であるので、複数の凹部102の各凹部の大きさは、複数の針状突起94の大きさと、ほぼ同じとなる。但し、樹脂製モールド100を製造する方法、第1〜第3の方法に限定されない。   Since the plurality of recesses 102 have the inverted shape of the plurality of needle projections 94, the size of each recess of the plurality of recesses 102 is substantially the same as the size of the plurality of needle projections 94. However, the method for manufacturing the resin mold 100 and the first to third methods are not limited.

<ポリマー溶解液供給工程(ステップS24)>
ポリマー溶解液供給工程では、図24に示されるように、樹脂製モールド100の複数の凹部102にポリマー溶解液112が供給される。
<Polymer Solution Supply Step (Step S24)>
In the polymer solution supplying step, as shown in FIG. 24, the polymer solution 112 is supplied to the plurality of recesses 102 of the resin mold 100.

マイクロニードルアレイ110(図26参照)を形成するポリマー溶解液112の材料としては、水溶性材料を用いることが好ましい。マイクロニードルアレイ110の製造に用いられるポリマー溶解液112の樹脂ポリマーの素材としては、生体適合性のある樹脂を用いることが好ましい。このような樹脂としては、グルコース、マルトース、プルラン、コンドロイチン硫酸ナトリウム、ヒアルロン酸ナトリウム、ヒドロキシエチルデンプンなどの糖類、ゼラチンなどのタンパク質、ポリ乳酸、乳酸・グリコール酸共重合体などの生分解性ポリマーを使用することが好ましい。これらの中でもゼラチン系の素材は多くの基材と密着性をもち、ゲル化する材料としても強固なゲル強度を持つため、基材と密着させることができる。マイクロニードルアレイ110を樹脂製モールド100から離型する際、基材(不図示)を用いてマイクロニードルアレイ110を離型することができるので、好適に利用することができる。濃度は材料によっても異なるが、薬剤を含まないポリマー溶解液112の中に樹脂ポリマーが10〜50質量%含まれる濃度とすることが好ましい。また、ポリマー溶解液112に用いる溶媒は、温水以外であっても揮発性を有するものであればよく、エタノールなどのアルコールなどを用いることができる。そして、ポリマー溶解液112の中には、用途に応じて体内に供給するための薬剤を共に溶解させることが可能である。薬剤を含むポリマー溶解液112のポリマー濃度(薬剤自体がポリマーである場合は薬剤を除いたポリマーの濃度)としては、0〜30質量%含まれることが好ましい。   As a material of the polymer solution 112 forming the microneedle array 110 (see FIG. 26), a water-soluble material is preferably used. As a resin polymer material of the polymer solution 112 used for manufacturing the microneedle array 110, it is preferable to use a biocompatible resin. As such a resin, saccharides such as glucose, maltose, pullulan, sodium chondroitin sulfate, sodium hyaluronate, hydroxyethyl starch, proteins such as gelatin, biodegradable polymers such as polylactic acid, lactic acid / glycolic acid copolymer It is preferred to use. Among these, gelatin-based materials have adhesiveness with many substrates, and have strong gel strength as a material to be gelled, so that they can be in close contact with the substrates. When releasing the microneedle array 110 from the resin mold 100, since the microneedle array 110 can be released using a base material (not shown), it can be suitably used. Although the concentration varies depending on the material, it is preferable to set a concentration of 10 to 50% by mass of the resin polymer in the drug-free polymer solution 112. The solvent used for the polymer solution 112 may be any solvent other than warm water as long as it has volatility, and an alcohol such as ethanol can be used. Then, in the polymer solution 112, it is possible to dissolve together a drug for supply into the body depending on the use. The polymer concentration of the polymer solution 112 containing a drug (the concentration of the polymer excluding the drug when the drug itself is a polymer) is preferably 0 to 30% by mass.

ポリマー溶解液112の調製方法としては、水溶性の高分子(ゼラチンなど)を用いる場合は、水溶性粉体を水に溶解し、溶解後に薬剤を添加してもよいし、薬剤が溶解した液体に水溶性高分子の粉体を入れて溶かしてもよい。水に溶解しにくい場合、加温して溶解してもよい。温度は高分子材料の種類により、適宜選択可能であるが、必要に応じて、約20〜40℃の温度で加温することが好ましい。ポリマー溶解液112の粘度は、薬剤を含む溶解液では200mPa・s以下であることが好ましく、より好ましくは50mPa・s以下とすることが好ましい。薬剤を含まない溶解液では2000mPa・s以下であることが好ましく、より好ましくは500mPa・s以下とすることが好ましい。ポリマー溶解液112の粘度を適切に調整することにより、樹脂製モールド100の凹部102に容易にポリマー溶解液112を注入することができる。例えば、ポリマー溶解液112の粘度は、細管式粘度計、落球式粘度計、回転式粘度計、又は振動式粘度計で測定することができる。   As a method of preparing the polymer solution 112, in the case of using a water-soluble polymer (such as gelatin), a water-soluble powder may be dissolved in water and a drug may be added after dissolution, or a liquid in which the drug is dissolved The powder of the water-soluble polymer may be added to the When it is difficult to dissolve in water, it may be dissolved by heating. Although the temperature can be appropriately selected depending on the type of the polymer material, it is preferable to heat at a temperature of about 20 to 40 ° C., if necessary. The viscosity of the polymer solution 112 is preferably 200 mPa · s or less, and more preferably 50 mPa · s or less in the case of a drug-containing solution. In the case of a solution containing no drug, the viscosity is preferably 2000 mPa · s or less, more preferably 500 mPa · s or less. By appropriately adjusting the viscosity of the polymer solution 112, the polymer solution 112 can be easily injected into the recess 102 of the resin mold 100. For example, the viscosity of the polymer solution 112 can be measured with a capillary viscometer, a falling ball viscometer, a rotary viscometer, or a vibrating viscometer.

ポリマー溶解液112に含有させる薬剤は、薬剤としての機能を有するものであれば限定されない。特に、ペプチド、タンパク質、核酸、多糖類、ワクチン、水溶性低分子化合物に属する医薬化合物、又は化粧品成分から選択することが好ましい。   The drug to be contained in the polymer solution 112 is not limited as long as it has a function as a drug. In particular, it is preferable to select from peptides, proteins, nucleic acids, polysaccharides, vaccines, pharmaceutical compounds belonging to water-soluble low molecular weight compounds, or cosmetic ingredients.

ポリマー溶解液112を樹脂製モールド100に注入する方法としては、例えば、ノズル、スピンコーター、スキージ等を用いた塗布を挙げることができる。   Examples of the method for injecting the polymer solution 112 into the resin mold 100 include application using a nozzle, a spin coater, a squeegee, and the like.

樹脂製モールド100の凹部102の先端に、貫通孔を形成しても、形成しなくても良い。貫通孔を形成した場合、凹部102内のエアーを貫通孔から逃がすことができる。したがって、ポリマー溶解液112を樹脂製モールド100の凹部102に入りやすくすることができる。また、この工程は、減圧状態で行うことが好ましい。   The through hole may or may not be formed at the tip of the recess 102 of the resin mold 100. When the through hole is formed, the air in the recess 102 can be released from the through hole. Therefore, the polymer solution 112 can be easily introduced into the recess 102 of the resin mold 100. Moreover, it is preferable to carry out this process under reduced pressure.

<乾燥工程(ステップS25)>
乾燥工程では、図25に示されるように、ポリマーシート114とするため、ポリマー溶解液112が乾燥される。例えば、樹脂製モールド100に供給されたポリマー溶解液112に風を吹き付けることにより乾燥させることができる。ポリマーシート114とは、ポリマー溶解液112に所望の乾燥処理を施した後の状態を意味する。ポリマーシート114の水分量等は適宜設定される。なお、乾燥により、ポリマーの水分量が低くなりすぎると離型しにくくなるため、弾力性を維持している状態の水分量を残存させておくことが好ましい。
<Drying Step (Step S25)>
In the drying step, as shown in FIG. 25, the polymer solution 112 is dried to form a polymer sheet 114. For example, the polymer solution 112 supplied to the resin mold 100 can be dried by blowing air. The polymer sheet 114 means a state after the polymer solution 112 is subjected to a desired drying process. The water content and the like of the polymer sheet 114 are appropriately set. In addition, since it will become difficult to mold-release when the water content of a polymer becomes low too much by drying, it is preferable to leave the water content of the state which has maintained elasticity.

ポリマーシート114には複数の凹部102の反転形状である後述する針状突起116が形成される。   The polymer sheet 114 is formed with needle-like protrusions 116 which will be described later, which are inverted shapes of the plurality of recesses 102.

<離型工程(ステップS26)>
離型工程では、図26に示されるように、樹脂製モールド100からポリマーシート114が離型され、マイクロニードルアレイ110が製造される。マイクロニードルアレイ110には、樹脂製モールド100の凹部102の反転形状である複数の針状突起116が形成される。
<Release Process (Step S26)>
In the release step, as shown in FIG. 26, the polymer sheet 114 is released from the resin mold 100, and the microneedle array 110 is manufactured. The microneedle array 110 is formed with a plurality of needle-like protrusions 116 which are the inverted shape of the recess 102 of the resin mold 100.

例えば、ポリマーシート114の樹脂製モールド100の反対側の面に、粘着層が形成されているシート状の基材(不図示)を付着させ、その基材を引き上げることにより、ポリマーシート114を樹脂製モールド100から離型することができる。ポリマーシート114の両端部を把持し、両端部を徐々に引き上げることにより、ポリマーシート114を樹脂製モールド100から離型することもできる。   For example, a sheet-like substrate (not shown) on which an adhesive layer is formed is attached to the surface of the polymer sheet 114 on the opposite side of the resin mold 100, and the polymer sheet 114 is resin by pulling up the substrate. The mold can be released from the mold 100. The polymer sheet 114 can be released from the resin mold 100 by grasping the both ends of the polymer sheet 114 and gradually pulling up the both ends.

<切断工程>
切断工程では、製造されたマイクロニードルアレイ110が、個別のマイクロニードルアレイ110A、110B、110C、110Dに切断される。樹脂製モールド100から離型されたマイクロニードルアレイ110は、切断装置(不図示)にセットされ、マイクロニードルアレイ110を切断する位置が決定される。基本的には、アレイ状に配列された複数の針状突起116の集合体を有する領域116A、116B、116C、116Dごとに切断位置が決定される。図27に示されるように、マイクロニードルアレイ110が切断され、複数の個別のマイクロニードルアレイ110A、110B、110C、110Dが製造される。
<Cutting process>
In the cutting step, the manufactured microneedle array 110 is cut into individual microneedle arrays 110A, 110B, 110C, 110D. The microneedle array 110 released from the resin mold 100 is set in a cutting device (not shown), and the position to cut the microneedle array 110 is determined. Basically, the cutting position is determined for each of the areas 116A, 116B, 116C, and 116D having an assembly of a plurality of needle-like projections 116 arranged in an array. As shown in FIG. 27, the microneedle array 110 is cut to produce a plurality of individual microneedle arrays 110A, 110B, 110C, 110D.

なお、本実施形態では、ポリマー溶解液112を樹脂製モールド100の凹部102に充填し、乾燥することによりポリマーシート114を形成する場合を説明したが、これに限定されない。   In the present embodiment, the case where the polymer sheet 114 is formed by filling the polymer solution 112 in the concave portion 102 of the resin mold 100 and drying is described, but the present invention is not limited thereto.

例えば、薬剤を含むポリマー溶解液112を樹脂製モールド100の複数の凹部102に充填して乾燥し、その後、薬剤を含まないポリマー溶解液112を樹脂製モールド100の複数の凹部102に充填し、乾燥することにより二層構造のポリマーシート114(マイクロニードルアレイ110)を製造することができる。   For example, the polymer solution 112 containing a drug is filled in the plurality of recesses 102 of the resin mold 100 and dried, and then the drug solution 112 is filled in the plurality of recesses 102 of the resin mold 100. By drying, a two-layered polymer sheet 114 (microneedle array 110) can be manufactured.

製造されるマイクロニードルアレイ110の複数の針状突起116(領域116A,116B,116C、116D)とは、針状突起116とは、先端側に先細りの形状を意味し、錐体形状、及び多段の錐体形状を含む。多段の錐体形状は、底面から先端に向けて角度の異なる側面を有する錐体形状を意味する。   The plurality of needle-like projections 116 (areas 116A, 116B, 116C, 116D) of the microneedle array 110 to be manufactured mean the shape of the needle-like projections 116 tapered toward the tip end, and the pyramidal shape and multistage Including the pyramidal shape of The multistage pyramidal shape means a pyramidal shape having side surfaces with different angles from the bottom to the tip.

針状突起116の高さは、100μm以上1500μm以下であることが好ましく、500μm以上1000μm以下である。   The height of the needle-like projections 116 is preferably 100 μm or more and 1500 μm or less, and is 500 μm or more and 1000 μm or less.

製造されるマイクロニードルアレイ110の複数の針状突起116を有するは、パターンアレイシート成形用型10の複製となる。パターンアレイシート成形用型10の針状突起12の形状、及び配置を所望の形状とすることにより、製造されるマイクロニードルアレイ110の針状突起116を所望の形状とすることができる。特に、本実施形態では、パターンアレイシート成形用型の針状突起の形状が調整されているので、針状突起116の形状がほぼ等しくされ、薬剤量の制御を改善することが可能となる。   The plurality of needle-like projections 116 of the microneedle array 110 to be manufactured is a duplicate of the pattern array sheet forming mold 10. By making the shape and arrangement of the needle-like protrusions 12 of the pattern array sheet forming mold 10 into a desired shape, it is possible to make the needle-like protrusions 116 of the manufactured microneedle array 110 into a desired shape. In particular, in the present embodiment, since the shape of the needle-like projections of the pattern array sheet forming mold is adjusted, the shapes of the needle-like projections 116 are almost equalized, which makes it possible to improve the control of the amount of medicine.

10 パターンアレイシート成形用型
10A 第一面
10B 第二面
12 針状突起
12A 第一部分
12B 第二部分
12C 第三部分
20 基材
30 第一切削刃
32 第二切削刃
34 無機膜
40 非接触測定機システム
42 非接触測定機
44 撮像装置
46 測定機本体
48 光源
50 テーブル
60 制御装置
62 キーボード
64 ディスプレイ
66 制御部
80 熱可塑性樹脂シート
80A 表面
82 凹部
84 パターンアレイシート
90 金属体
92 電鋳金型
94 針状突起
100 樹脂製モールド
102 凹部
110、110A、110B、110C、110D マイクロニードルアレイ
112 ポリマー溶解液
114 ポリマーシート
116 針状突起
116A、116B、116C、116D 領域
A1、A2、A3 領域
L 間隔
S1、S2、S3、S21、S22、S23、S24、S25、S26 ステップ
θ1、θ2 角度
10 Pattern Array Sheet Forming Mold 10A First Surface 10B Second Surface 12 Needle-like Protrusions 12A First Part 12B Second Part 12C Third Part 20 Base Material 30 First Cutting Edge 32 Second Cutting Edge 34 Inorganic Film 40 Non-Contact Measurement Machine system 42 Non-contact measurement machine 44 Image pickup device 46 Measurement machine main body 48 Light source 50 Table 60 Control device 62 Keyboard 64 Display 66 Control part 80 Thermoplastic resin sheet 80A Surface 82 Recess 84 Pattern array sheet 90 Metal body 92 Electroforming mold 94 needle Protrusion 100 resin mold 102 recess 110, 110A, 110B, 110C, 110D microneedle array 112 polymer solution 114 polymer sheet 116 needle-like protrusion 116A, 116B, 116C, 116D area A1, A2, A3 area L interval S1, S2 , S3, S21, S2 2, S23, S24, S25, S26 Step θ1, θ2 Angle

Claims (11)

基材を機械加工することにより、アレイ状に配列され、100μm以上1500μm以下の高さを有し、かつ多段の形状を有する複数の針状突起を形成する工程と、
非接触測定によって前記針状突起の体積を計測する工程と、
前記針状突起の体積を調整するため、前記計測する工程における計測結果に基づいて、前記針状突起を追加工する工程と、
を備えるパターンアレイシート成形用型の製造方法。
Forming a plurality of needle-like projections arranged in an array , having a height of 100 μm to 1500 μm, and having a multistage shape by machining the base material;
Measuring the volume of the needle-like projections by non-contact measurement;
And adjusting the volume of the needle-like protrusion based on the measurement result in the measuring step.
A method of manufacturing a mold for forming a pattern array sheet, comprising:
前記追加工する工程は、前記針状突起を機械加工することを含む請求項1に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。   The method of manufacturing a pattern array sheet molding die according to claim 1, wherein the step of additionally processing includes machining the needle-like projections. 前記追加工する工程は、前記針状突起を機械加工した後に、前記針状突起の上に無機膜を成膜することを含む請求項2に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。   The method for manufacturing a pattern array sheet molding die according to claim 2, wherein the step of additionally processing includes forming an inorganic film on the needle-like protrusions after machining the needle-like protrusions. 前記針状突起の先端部の前記無機膜の厚さより、前記針状突起の裾部の前記無機膜の厚さを厚く成膜する請求項3に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。   The method for manufacturing a pattern array sheet molding die according to claim 3, wherein a thickness of the inorganic film at the bottom of the needle-like protrusion is thicker than a thickness of the inorganic film at the tip of the needle-like protrusion. 前記無機膜の厚さが100nm以上である請求項3又は4に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。   The method for manufacturing a pattern array sheet molding die according to claim 3 or 4, wherein the thickness of the inorganic film is 100 nm or more. 前記追加工する工程は、前記無機膜を成膜後に薄膜化することを含む請求項3から5の何れか一項に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。   The method for manufacturing a pattern array sheet molding die according to any one of claims 3 to 5, wherein the step of performing the additional processing includes thinning the inorganic film after film formation. 前記針状突起の先端部に成膜された前記無機膜を薄膜化することにより前記針状突起の先端部の形状を調整することを含む請求項6に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。   7. The mold for forming a pattern array sheet according to claim 6, wherein the shape of the tip of the needle-like protrusion is adjusted by thinning the inorganic film formed on the tip of the needle-like protrusion. Method. 前記追加工する工程の後に、前記針状突起に離型膜を形成する工程を含む請求項1から7の何れか一項に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。   The method for manufacturing a pattern array sheet molding die according to any one of claims 1 to 7, further comprising the step of forming a release film on the needle-like projections after the step of performing additional processing. 前記離型膜がフッ素系材料、及び炭化水素系材料の少なくとも一方により構成される請求項8に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。   The method for manufacturing a pattern array sheet molding die according to claim 8, wherein the release film is made of at least one of a fluorine-based material and a hydrocarbon-based material. 前記離型膜の厚さが、20nm以上50nm以下である請求項8又は9に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。   The method for manufacturing a pattern array sheet molding die according to claim 8 or 9, wherein a thickness of the release film is 20 nm or more and 50 nm or less. 請求項1から10の何れか一項に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法により製造されたパターンアレイシート成形用型を用いてパターンアレイシートを製造する工程と、
前記パターンアレイシートを用いて複製型を製造する工程と、
前記複製型を用いて凹状パターンを有する樹脂製モールドを作製する工程と、
前記樹脂製モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する工程と、
前記ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥する工程と、
前記ポリマーシートを前記樹脂製モールドから離型する工程と、
を含むマイクロニードルアレイの製造方法。
A process of manufacturing a pattern array sheet using the pattern array sheet molding die manufactured by the method of manufacturing a pattern array sheet molding die according to any one of claims 1 to 10;
Manufacturing a replica mold using the pattern array sheet;
Producing a resin mold having a concave pattern using the replica mold;
Supplying a polymer solution to the concave pattern of the resin mold;
Drying the polymer solution to form a polymer sheet;
Releasing the polymer sheet from the resin mold;
A method of manufacturing a microneedle array comprising:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US11460411B2 (en) * 2018-06-18 2022-10-04 Kindeva Drug Delivery L.P. Process and apparatus for inspecting microneedle arrays
JP2020003996A (en) * 2018-06-27 2020-01-09 国立大学法人神戸大学 Process design system, processing device, and process design method
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Family Cites Families (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016067681A (en) * 2014-09-30 2016-05-09 富士フイルム株式会社 Microneedle array

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12186515B2 (en) 2020-04-28 2025-01-07 Ticona Llc Microneedle assembly

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