Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP6545503B2 - Power supply device and current-voltage characteristic measuring apparatus - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP6545503B2 - Power supply device and current-voltage characteristic measuring apparatus - Google Patents

Power supply device and current-voltage characteristic measuring apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP6545503B2
JP6545503B2 JP2015070313A JP2015070313A JP6545503B2 JP 6545503 B2 JP6545503 B2 JP 6545503B2 JP 2015070313 A JP2015070313 A JP 2015070313A JP 2015070313 A JP2015070313 A JP 2015070313A JP 6545503 B2 JP6545503 B2 JP 6545503B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
time
series
pulse
value
current
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015070313A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2016191560A (en
Inventor
亮 萩原
亮 萩原
暁大 藤井
暁大 藤井
烈 宮崎
烈 宮崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyoto Institute of Technology NUC
Original Assignee
Kyoto Institute of Technology NUC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyoto Institute of Technology NUC filed Critical Kyoto Institute of Technology NUC
Priority to JP2015070313A priority Critical patent/JP6545503B2/en
Publication of JP2016191560A publication Critical patent/JP2016191560A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6545503B2 publication Critical patent/JP6545503B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

本発明は、電源装置及び電源装置を含む電流−電圧特性測定装置に関する。   The present invention relates to a power supply device and a current-voltage characteristic measurement device including the power supply device.

物質、素子、測定装置、あるいは電力用機器等の測定対象物の電流−電圧特性(以下、I−V特性と呼ぶ)は、測定対象物の温度に依存する。そのため、正確にI−V特性を測定するには測定対象物それ自体の温度をできるだけ一定に保った状態で測定を行う必要がある。このような要請に応えることは、超伝導材料の臨界温度近傍での電気抵抗の非線形特性の計測、一般の抵抗測定器における精密な抵抗測定、金属の相変態、時効現象、再結晶反応等が関与する場合の物性評価、大電流用の電力用遮断器等の部品において重要である。   The current-voltage characteristics (hereinafter referred to as IV characteristics) of the measurement object such as a substance, an element, a measuring device, or a power device depend on the temperature of the measurement object. Therefore, in order to accurately measure the I-V characteristics, it is necessary to perform the measurement while keeping the temperature of the measurement object itself as constant as possible. To meet such requirements, it is necessary to measure the non-linear characteristics of the electrical resistance near the critical temperature of the superconducting material, to measure the precise resistance in a general resistance measuring instrument, to perform phase transformations of metals, aging phenomena, recrystallization reactions, etc. It is important in the evaluation of physical properties when involved, and in parts such as power circuit breakers for large currents.

所定の温度におけるI−V特性を測定するために、基本的には、測定対象物を格納する測定環境の温度が制御される。この状態で、測定対象物に複数の異なる値の電流を順次通電して、それぞれの電流に対応する測定対象物における電圧降下を測定するか、又は測定対象物に複数の異なる値の電圧を順次印加し、それぞれに対応して測定対象物に流れる電流を測定する。このとき、測定対象物およびそれに電流を通じるための電極、リード線等に電力が投入され、それにより発生するジュール熱が測定対象物自体の温度を上昇させる効果をもつ。その結果、I−V特性を測定する過程における測定対象物の温度は、通電電流又は印加電圧に応じて変化することになる。このジュール発熱の効果まで含めて、測定対象物の温度が所定の温度に保たれるような能動的制御を実現することが理想である。しかし、ジュール発熱の効果は測定対象物自体に直接に及ぶのに対して、温度制御のための温度センサーは測定対象物の外部に設置されている。そのため、温度センサーによる測定で得られる温度を所定値に合わせるように温度制御しても、測定対象物の温度が電圧又は電流に依存して変化することは避けられず、I−V特性の測定に必要な温度範囲の各設定温度において、測定対象物の温度が略一定の状態でI−V特性を測定することができない。   In order to measure the I-V characteristics at a predetermined temperature, basically, the temperature of the measurement environment in which the measurement object is stored is controlled. In this state, a plurality of different values of current are sequentially supplied to the object to be measured, and voltage drops in the object to be measured corresponding to the respective currents are measured or voltages of different values are sequentially applied to the object to be measured Apply and measure the current flowing to the object corresponding to each. At this time, power is supplied to the object to be measured and electrodes, lead wires and the like for passing current therethrough, and Joule heat generated thereby has an effect of raising the temperature of the object itself. As a result, the temperature of the object to be measured in the process of measuring the I-V characteristics changes in accordance with the supplied current or the applied voltage. It is ideal to realize active control such that the temperature of the measurement object is maintained at a predetermined temperature, including the effect of Joule heating. However, the effect of Joule heating directly affects the object to be measured, whereas the temperature sensor for temperature control is provided outside the object to be measured. Therefore, even if the temperature is controlled to match the temperature obtained by the measurement with the temperature sensor to a predetermined value, it is inevitable that the temperature of the object to be measured changes depending on the voltage or current, and the IV characteristic is measured The IV characteristic can not be measured in a state where the temperature of the object to be measured is substantially constant at each set temperature in the temperature range required for the measurement.

特許文献1に開示されている電流−電圧特性測定装置は、電源装置として電圧供給装置を使用して、測定対象物にある一定電圧を印加し続けた状態で、この一定電圧よりも低く、その電圧値が時系列的に変化するパルス電圧を時系列信号として印加し、電流測定装置で、この時系列信号の印加と同期して電流測定を行うものであり、温度によって状態が変化する物質のI−V特性を、物質の温度を一定に保った状態で測定することを目的としている。   The current-voltage characteristic measuring device disclosed in Patent Document 1 uses a voltage supply device as a power supply device, and continues to apply a certain voltage to an object to be measured, which is lower than the certain voltage, A pulse voltage whose voltage value changes in time series is applied as a time series signal, and current measurement is performed by the current measuring device in synchronization with the application of this time series signal. The purpose is to measure the IV characteristics with the temperature of the substance kept constant.

特開平6−102310号公報JP-A-6-102310

しかし、特許文献1に開示されている電源装置では、I−V特性を測定する過程で、測定対象物に印加する電圧パルスの波高値が変化するため、電圧を印加するためのリード線や電極等を含めた測定対象物で発生する時間当たりのジュール熱は、I−V特性を測定する過程で変動する。このような時間当たりの発熱の変動による測定対象物の温度変動は、正確なI−V特性の測定が求められるときには問題となる。   However, in the power supply device disclosed in Patent Document 1, the peak value of the voltage pulse applied to the object to be measured changes in the process of measuring the IV characteristics, and therefore, the lead wire or electrode for applying a voltage The Joule heat per time generated in the measurement object including the H level fluctuates in the process of measuring the IV characteristics. Such temperature fluctuation of the measurement object due to fluctuation of heat generation per hour becomes a problem when accurate measurement of IV characteristics is required.

この問題を無視できる程度に軽減するためには、温度変動をもたらす印加電圧や電圧印加時間幅、即ち電圧パルスの波高値やパルス幅をさらに小さくすることにより、時間当たりのジュール発熱をさらに小さくすればよい。しかし、電圧パルスの波高値はI−V特性の測定電圧範囲をカバーできる値でなければならないため、所定の値以上に小さくすることはできない。また、パルス幅も、電流測定装置の時定数の存在により決定される応答時間の経過後に、必要な測定時間を確保しなければならないという理由により、ある一定の時間幅以上の値でなければならない。そのため、時間当たりのジュール発熱の値を下げる考え方には限界がある。つまり、特許文献1に開示されている電源装置で測定対象物のI−V特性を測定するときには、本質的に測定対象物で発生する時間当たりのジュール熱が測定過程で変動するので、測定対象物の温度変動が避けられず、正確なI−V特性を測定することは難しい。   In order to alleviate this problem to a negligible extent, Joule heating per hour can be further reduced by further reducing the applied voltage and voltage application time width causing temperature fluctuation, ie, the peak value and pulse width of the voltage pulse. Just do it. However, since the peak value of the voltage pulse must be a value that can cover the measured voltage range of the IV characteristic, it can not be made smaller than a predetermined value. Also, the pulse width must also have a value greater than or equal to a certain time width, because after the response time determined by the presence of the time constant of the current measurement device, the required measurement time must be ensured. . Therefore, there is a limit to the idea of lowering the value of Joule heating per hour. That is, when the I-V characteristic of the measurement object is measured by the power supply device disclosed in Patent Document 1, the Joule heat per time generated in the measurement object essentially fluctuates in the measurement process. It is difficult to measure the accurate I-V characteristics because the temperature fluctuation of the object is inevitable.

電源装置を電流供給装置とし、測定対象物に電流を通電して、電圧測定装置により、応答電圧を測定することにより、I−V特性を測定する場合においても、電圧測定装置の測定時の応答性の制約があるため、上記と同様の課題が発生する。   Even when the IV characteristic is measured by using the power supply device as a current supply device, supplying a current to the object to be measured, and measuring the response voltage by the voltage measurement device, the response at the time of measurement of the voltage measurement device The same problems as described above occur because of the restriction of sex.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、隣り合うパルス信号によりそれぞれ発生する時間当たりのジュール熱を平均した値が、略一定となる時系列パルス信号を出力する電源装置、及び該電源装置を備えた電流−電圧特性測定装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and provides a power supply apparatus that outputs a time-series pulse signal in which a value obtained by averaging Joule heat per time generated by adjacent pulse signals is substantially constant. It is an object of the present invention to provide a current-voltage characteristic measuring device provided with the power supply device.

本発明に係る電源装置は、電流又は電圧の2系列の時系列パルス信号を出力する電源装置であって、時間tに対して、F(t)とG(t)とは、それぞれの2乗の和が一定値になる条件を満たす関数であり、tを、0を含む予め定められた範囲の連続する自然数をi、測定開始時間をt 、予め設定された時間幅をΔtとした場合の2i =t +Δt×2i及びt2i+1 =t +Δt×(2i+1)としたとき、前記2系列の時系列パルス信号のうち、第1系列の時系列パルス信号のパルス波高値の絶対値はF(t2i)の絶対値と等しい値であり、前記第1系列の時系列パルス信号の各パルスと隣り合う第2系列の時系列パルス信号のパルスの波高値の絶対値はG(t2i+1)の絶対値と等しい値であり、前記Δtは、F(t2i)の2乗とG(t2i+1)の2乗との和と、前記一定値との差が、前記iの値に依らず、予め設定された許容誤差以下になるように予め設定された値である、ことを特徴とする。 The power supply apparatus according to the present invention is a power supply apparatus that outputs two series of time-series pulse signals of current or voltage, and F (t) and G (t) represent respective squares of time t. Where t is a continuous natural number in a predetermined range including 0, i is a measurement start time t 0 , and a preset time width is Δt. Of the first series of time-series pulse signals among the two series of time-series pulse signals, where t 2i = t 0 + Δt × 2i and t 2i + 1 = t 0 + Δt × (2i + 1) Is a value equal to the absolute value of F (t 2i ), and the absolute value of the peak value of the pulse of the second series of time series pulse signals adjacent to each pulse of the first series of time series pulse signals is G (t 2i + 1) is the absolute value equal to the value of the Δt is, F (t the sum of the square and the square of G (t 2i + 1) of the i), the difference between the constant value, regardless of the value of the i, preset to be equal to or less than the preset allowable error It is characterized in that it is a value.

本発明に係る電流−電圧特性測定装置は、前記電源装置と、前記時系列パルス信号を測定対象物のI−V特性の測定対象箇所に入力したときの該測定対象箇所での電圧降下又は電流を、時系列応答パルス信号として、前記時系列パルス信号に同期して測定し、前記時系列応答パルス信号の各パルスの正味の波高値を出力する応答信号測定部と、を備えることを特徴とする。   In the current-voltage characteristic measuring device according to the present invention, voltage drop or current at the measurement target point when the time series pulse signal is input to the measurement target point of the I-V characteristic of the measurement object. And a response signal measurement unit that measures in synchronization with the time-series pulse signal as a time-series response pulse signal, and outputs a net peak value of each pulse of the time-series response pulse signal. Do.

本発明に係る電源装置によれば、電源装置から出力される時系列パルス信号を測定対象物に入力したときに、隣り合うパルス信号により、測定対象物でそれぞれ発生する時間当たりのジュール熱を平均した値が、略一定となる。そのため、時系列パルス信号を入力した測定対象物の温度変動は、従来の電源装置から出力された信号を測定対象物に入力したときよりも、抑えられる。また、そのような電源装置を備えた電流−電圧特性の測定装置は、測定対象物の温度を略一定に保つ制御を容易にし、結果として、従来の方式よりも正確な電流−電圧特性を測定することができる。   According to the power supply device of the present invention, when the time-series pulse signal output from the power supply device is input to the object to be measured, the adjacent pulse signals average the Joule heat generated per time of the object to be measured. Is approximately constant. Therefore, the temperature fluctuation of the measurement object to which the time-series pulse signal is input can be suppressed as compared with the case where the signal output from the conventional power supply device is input to the measurement object. Moreover, the measuring apparatus of the current-voltage characteristic provided with such a power supply device makes control which keeps the temperature of a measuring object substantially constant easy, and as a result, measures the current-voltage characteristic more correctly than the conventional system. can do.

本発明の実施の形態に係る電源装置を備える電流−電圧特性測定装置の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the current-voltage characteristic measuring apparatus provided with the power supply device which concerns on embodiment of this invention. 実施の形態に係る電源装置から測定対象物に入力される時系列信号の基礎となる2関数時系列パルスパターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the 2 function time-sequential pulse pattern used as the basis of the time-sequential signal input into a measurement object from the power supply device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る電源装置を備える電流−電圧特性測定装置の設定・解析部のハードウェア構成例を示す図である。It is a figure which shows the example of a hardware constitutions of the setting * analysis part of the current-voltage characteristic measuring apparatus provided with the power supply device which concerns on embodiment. 電流−電圧特性の説明図で、(A)は測定対象物の電流−電圧特性曲線、(B)は測定対象物に入力する電流が正弦波形の場合の例、(C)は(A)に示す電流−電圧特性曲線で示される電流−電圧特性をもつ測定対象物に(B)に示す正弦波形の電流を入力したときの応答電圧の波形例、をそれぞれ示す図である。(A) shows the current-voltage characteristic curve of the object to be measured, (B) shows an example of the case where the current input to the object to be measured is a sine waveform, and (C) shows to (A). It is a figure which shows the example of a waveform of the response voltage when the electric current of the sine waveform shown to (B) is input to the measurement object which has the current-voltage characteristic shown by the current-voltage characteristic curve shown. 実施の形態に係る電源装置から測定対象物に入力される時系列電流パルス信号と、時系列応答電圧パルス信号の例を示す図で、(A)は図2の時間軸領域Kに対応する時系列電流パルス信号を時間軸方向に拡大した図、(B)は(A)に対応する時系列応答電圧パルス信号の拡大図である。The figure which shows the example of the time-sequential current pulse signal input into a measurement object from the power supply device which concerns on embodiment, and a time-sequential response voltage pulse signal, (A) corresponds to the time-axis area | region K of FIG. The figure which expanded the series electric current pulse signal to the time-axis direction, (B) is an enlarged view of the time-series response voltage pulse signal corresponding to (A). 実施の形態に係る電源装置を備える電流−電圧特性測定装置による電流−電圧特性の測定結果の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the measurement result of the current-voltage characteristic by the current-voltage characteristic measuring apparatus provided with the power supply device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る電源装置から測定対象物に入力される電流パルスの時系列パターンの第1の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 1st modification of the time-sequential pattern of the current pulse input into a measurement object from the power supply device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る電源装置から測定対象物に入力される電流パルスの時系列パターンの第2の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd modification of the time-sequential pattern of the current pulse input into a measurement object from the power supply device which concerns on embodiment. 実施の形態に係る電源装置を備える電流−電圧特性測定装置の構成の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of a structure of the current-voltage characteristic measuring apparatus provided with the power supply device which concerns on embodiment.

(実施の形態)
図1に本発明の実施の形態に係る電源装置を備える電流−電圧特性測定装置の構成例を示す。この電流−電圧特性測定装置2は、測定対象物1に電流信号を入力したときの測定対象物1での電圧降下の値を測定して測定対象物1のI−V特性を測定する場合の構成例である。
Embodiment
FIG. 1 shows a configuration example of a current-voltage characteristic measuring device provided with a power supply device according to an embodiment of the present invention. The current-voltage characteristic measuring device 2 measures the value of voltage drop in the measurement object 1 when the current signal is input to the measurement object 1 and measures the IV characteristic of the measurement object 1 It is an example of composition.

電流−電圧特性測定装置2を説明する前に、測定対象物1についてもう少し詳しく説明する。図1では測定対象物1を3つの電気抵抗K〜Kで表している。電気抵抗KはI−V特性を測定する対象となる部位(以下では測定部位Kと呼ぶ。)を示す。電気抵抗Kは試料Kに電流を通電するために測定部位Kに設置された一方の電極の抵抗とその電極に接続されたリード線の抵抗とを合わせたものである。電気抵抗Kは試料Kに電流を通電するために測定部位Kに設置された他方の電極の抵抗とその電極に接続されたリード線の抵抗とを合わせたものである。以下では、測定対象物1での電圧降下の値とは、特にことわらない限り、測定部位Kでの電圧降下の値、即ち測定部位K(電気抵抗K)の両端間の電圧を意味することとする。また、測定対象物1のI−V特性とは測定部位KのI−V特性を意味することとする。 Before describing the current-voltage characteristic measurement device 2, the measurement object 1 will be described in more detail. In FIG. 1, the measurement object 1 is represented by three electrical resistances K 1 to K 3 . Electrical resistance K 1 indicates a site of interest to measure the I-V characteristic (hereinafter referred to as the measurement site K 1 in.). Electrical resistance K 2 is a combination of the resistance of the resistor and lead wires connected to the electrodes of the installed one of the electrodes to the measurement site K 1 to energizing current to sample K 1. Electrical resistance K 3 is a combination of the resistance of the resistor and lead wires connected to the electrodes of the installed other electrode measurement site K 1 to energizing current to sample K 1. In the following, the value of the voltage drop at the measuring object 1, unless otherwise stated, the voltage drop value at measurement site K 1, i.e. the voltage across the measurement site K 1 (electrical resistance K 1) I shall mean. Moreover, the IV characteristic of the measurement object 1 means the IV characteristic of the measurement site K 1 .

リード線及び電極、即ち電気抵抗K、Kは必ずしも測定対象物1を構成するものとは言えないが、測定部位Kが超伝導体のような電気抵抗の低い物質のときは、測定部位K近傍のリード線や電極で発生するジュール熱が測定部位Kの温度変動の主因になるため、図1では、これらを表示する電気抵抗KとKとを測定対象物1に含めて示した。なお、測定部位Kが半導体材料や絶縁材料などの高抵抗の物質であれば、測定対象物1に通電したとき発生するジュール熱は測定部位Kによるものが主であるため、測定部位Kの温度は、設置環境の温度と、測定部位Kで発生するジュール熱とで決定され、リード線や電極で発生するジュール熱の影響は無視して良い。従って、このときは、測定対象物1の温度という観点からは、図1の電気抵抗K及びKを無視することができる。 Although the lead wires and electrodes, that is, the electrical resistances K 2 and K 3 do not necessarily constitute the measurement object 1, the measurement is performed when the measurement site K 1 is a substance with a low electrical resistance such as a superconductor. since the Joule heat generated at the site K 1 near the lead wire or electrode is the main cause of the temperature variation of the measurement site K 1, 1, and an electrical resistance K 2 and K 3 to display these on the measurement object 1 It included and showed. Note that if the measurement site K 1 is a high-resistance material such as a semiconductor material or insulating material, since Joule heat generated when current in the measurement object 1 is given by the measuring site K 1 is the main, the measurement site K The temperature 1 is determined by the temperature of the installation environment and the Joule heat generated at the measurement site K 1 , and the influence of the Joule heat generated at the lead wire and the electrode may be ignored. Therefore, at this time, the electrical resistances K 2 and K 3 in FIG. 1 can be ignored from the viewpoint of the temperature of the measurement object 1.

電流−電圧特性測定装置2は、測定対象物1に入力するための時系列電流パルス信号を出力する電源装置20と、時系列電流パルス信号が入力されたときの測定対象物1での電圧降下値を測定する電圧測定部21と、時系列電流パルス信号の基礎となるデータを設定し電源装置20に出力すると共に、時系列電流パルス信号の波高値の情報と、電圧測定部21の測定結果とに基づき解析することにより、測定対象物1のI−V特性に関する情報を取得する設定・解析部22と、設定・解析部22の解析結果を表示する表示部23とを備える。   The current-voltage characteristic measuring apparatus 2 includes a power supply device 20 that outputs a time-series current pulse signal to be input to the measurement object 1, and a voltage drop in the measurement object 1 when the time-series current pulse signal is input. The voltage measurement unit 21 which measures the value, data which is the basis of the time-series current pulse signal is set and output to the power supply device 20, and the peak value information of the time-series current pulse signal and the measurement result of the voltage measurement unit 21 And a setting / analyzing unit 22 for acquiring information on the IV characteristic of the measurement object 1, and a display unit 23 for displaying the analysis result of the setting / analysis unit 22.

図1に示す電源装置20は、電流信号を時系列電流パルス信号の形で出力する電流供給源である。電源装置20は、時系列電流パルス信号を、測定対象物1に供給(入力)するとともに、時系列電流パルス信号の出力の際に、電圧測定部21に対して同期用のトリガ信号を出力する。また、設定・解析部22に対して、解析用データとして、出力する時系列電流パルス信号の各パルスの波高値に対応する電流値を出力する。   The power supply device 20 shown in FIG. 1 is a current supply source that outputs a current signal in the form of a time series current pulse signal. The power supply device 20 supplies (inputs) a time-series current pulse signal to the measurement object 1, and outputs a trigger signal for synchronization to the voltage measurement unit 21 when outputting the time-series current pulse signal. . Further, a current value corresponding to the peak value of each pulse of the time-series current pulse signal to be output is output to the setting / analysis unit 22 as analysis data.

電源装置20は、2関数に基づいて形成された2関数時系列パルスパターンを記憶・格納する2関数時系列パルスパターン記憶部200と、出力する電気信号の最大振幅値を入力する最大振幅設定部201と、2関数時系列パルスパターンと最大振幅値とに基づき時系列パルス信号、図1の例では時系列電流パルス信号、を生成し出力する時系列パルス信号生成・出力部202とを備える。   The power supply device 20 has a two-function time-series pulse pattern storage unit 200 that stores and stores two-function time-series pulse patterns formed based on two functions, and a maximum amplitude setting unit that inputs the maximum amplitude value of the output electric signal. A time-series pulse signal generation / output unit 202 that generates and outputs a time-series pulse signal based on the two-function time-series pulse pattern and the maximum amplitude value, in the example of FIG. 1, a time-series current pulse signal.

2関数時系列パルスパターン記憶部200は、通常のメモリで構成され、設定・解析部22から入力された2関数時系列パルスパターンを記憶・格納する。2関数時系列パルスパターンは、時系列電流パルス信号生成用の基礎データとして、時系列信号生成・出力部202で使用される。2関数時系列パルスパターンとは、時間を示す変数をtとしたとき、関数f(t)と関数g(t)の2つの関数に基づいて形成されたパルスの時系列パターンのことである。この関数f(t)と関数g(t)とは、時間tにおけるそれぞれの関数の2乗の和が、一定値になるような関数の対である。   The two-function time-series pulse pattern storage unit 200 is configured by a normal memory, and stores and stores the two-function time-series pulse pattern input from the setting / analysis unit 22. The two-function time-series pulse pattern is used by the time-series signal generation / output unit 202 as basic data for time-series current pulse signal generation. The two-function time-series pulse pattern is a time-series pattern of pulses formed based on two functions f (t) and g (t), where t is a variable indicating time. The function f (t) and the function g (t) are a pair of functions such that the sum of squares of the respective functions at time t has a constant value.

図2は、具体例として、f(t)を余弦関数、g(t)を正弦関数としたときの、2関数時系列パルスパターンの概念を示す図である。f(t)とg(t)とは、同一振幅1、同一周期T及び同一位相を有する。このとき、f(t)とg(t)のそれぞれを2乗して加えると、tの値に依らず一定の値1になる。図2に示すように、2関数時系列パルスパターンは、時間軸tを複数のセクションに分割し、各セクション毎に、そのセクションを代表するtの値に対するf(t)とg(t)の値を交互に取得して一定のパルス幅と一定の相互間隔を有する時系列のパルスパターンとしたものである。即ち2関数時系列パルスパターンは、その包絡線が関数f(t)となる第1の時系列パルスパターンとその包絡線が関数g(t)となる第2の時系列パルスパターンとで構成される。第1の時系列パルスパターンの各パルスと第2の時系列パルスパターンの各パルスとは互いに交互に配置されている。通常、パルス幅は5−100ms(より好ましくは5−50ms)、相互間隔はパルス幅と同程度以上である。この2関数時系列パルスパターンの詳細については後述する。   As a specific example, FIG. 2 is a diagram showing the concept of a bifunctional time-series pulse pattern when f (t) is a cosine function and g (t) is a sine function. f (t) and g (t) have the same amplitude 1, the same period T, and the same phase. At this time, when each of f (t) and g (t) is squared and added, it becomes a constant value 1 regardless of the value of t. As shown in FIG. 2, the bifunctional time series pulse pattern divides the time axis t into a plurality of sections, and for each section, f (t) and g (t) for the value of t representative of the section Values are alternately acquired to form a time-series pulse pattern having a constant pulse width and a constant mutual interval. That is, the two-function time-series pulse pattern is composed of a first time-series pulse pattern whose envelope is a function f (t) and a second time-series pulse pattern whose envelope is a function g (t) Ru. The pulses of the first time-series pulse pattern and the pulses of the second time-series pulse pattern are alternately arranged. Usually, the pulse width is 5 to 100 ms (more preferably 5 to 50 ms), and the mutual interval is at least as large as the pulse width. Details of this two-function time-series pulse pattern will be described later.

なお、ここでは、2関数時系列パルスパターン記憶部200は、f(t)として余弦関数、g(t)として正弦関数を使用し生成された2関数時系列パルスパターンを記憶・格納している例について説明したが、2乗の和が一定となる2関数であれば、他の2関数に基づいて生成された2関数時系列パルスパターンを記憶・格納してもよい。   Here, the two-function time-series pulse pattern storage unit 200 stores and stores a two-function time-series pulse pattern generated using a cosine function as f (t) and a sine function as g (t). Although an example has been described, as long as the sum of squares is a fixed two function, a two-function time-series pulse pattern generated based on the other two functions may be stored and stored.

最大振幅設定部201は、電源装置20の入力部(図示省略)を介して、時系列電流パルス信号の最大振幅値Iが入力され、入力された最大振幅値Iを時系列パルス信号生成・出力部202に出力する。このときの最大振幅値Iの値は測定対象物1での電圧降下値を測定する電圧測定部の測定限界、測定対象物1の、生じうる温度上昇、特性変化及び測定対象物1の通電電流値に関する破壊限界などを考慮して予め決定されたものである。電源装置20の入力部の入力方式はダイヤル、キーボード等のいずれの方式でもよい。 The maximum amplitude setting unit 201 receives the maximum amplitude value I 0 of the time-series current pulse signal via the input unit (not shown) of the power supply device 20 and generates the maximum amplitude value I 0 as a time-series pulse signal Output to the output unit 202. Measurement limit of the voltage measurement unit that measures a voltage drop value of the maximum amplitude value value measured object 1 I 0 In this case, the measuring object 1, occurs may increase in temperature, change in characteristics and energization of the measuring object 1 It is determined in advance in consideration of the destruction limit of the current value. The input method of the input unit of the power supply device 20 may be any method such as a dial or a keyboard.

時系列信号生成・出力部202は、2関数時系列パルスパターン記憶部200から読み出した2関数時系列パルスパターンと最大振幅値Iとに基づき(通常は、2関数時系列パルスパターンに最大振幅値Iを乗じて)時系列電流パルス信号を生成し、測定対象物1に出力するとともに、この出力時に同期用のトリガ信号を電圧測定部21に出力する。また、出力する時系列電流パルス信号の各電流パルスの波高値、即ち電流値を時系列データとして設定・解析部22に出力する。なお、F(t)=I×f(t)、G(t)=I×g(t)とすると、時系列電流パルス信号は、時間軸tを複数のセクションに分割し、各セクション毎に、そのセクションを代表するtの値に対するF(t)とG(t)の値を交互に取得してそれぞれを波高値とし、一定のパルス幅を有するパルスが一定の相互間隔で時系列に配置されて形成された時系列信号と言える。 The time-series signal generation / output unit 202 is based on the two-function time-series pulse pattern read from the two-function time-series pulse pattern storage unit 200 and the maximum amplitude value I 0 (usually, the maximum amplitude of the two-function time-series pulse pattern A time-series current pulse signal is generated by multiplying the value I 0, and is output to the measurement object 1, and at the same time, a trigger signal for synchronization is output to the voltage measurement unit 21. Further, the peak value of each current pulse of the time-series current pulse signal to be output, that is, the current value is output to the setting / analysis unit 22 as time-series data. Note that if F (t) = I 0 × f (t) and G (t) = I 0 × g (t), the time-series current pulse signal divides the time axis t into a plurality of sections, and each section Every time, the values of F (t) and G (t) for the value of t representative of the section are alternately acquired and each is taken as a peak value, and pulses having a constant pulse width are time-series at constant intervals. It can be said that it is a time-series signal which is arranged and formed.

電圧測定部21は、測定対象物1の電圧降下値を測定する装置であり、具体的には、時系列信号生成・出力部202から出力されるトリガ信号により、時系列電流パルス信号に同期して、測定部位Kの両端間の電圧を測定する。この電圧は、測定対象物1に入力される時系列電流パルス信号に対応して時系列応答電圧パルス信号として測定され、電圧測定部21は、その信号から信号のドリフト成分をオフセットとして除き、正味のパルス波高値を求めて、これを出力する。具体的な正味のパルス波高値の導出については後述する。 The voltage measurement unit 21 is a device that measures the voltage drop value of the measurement object 1. Specifically, the trigger signal output from the time-series signal generation / output unit 202 synchronizes with the time-series current pulse signal. Te, measuring the voltage across the measurement site K 1. This voltage is measured as a time-series response voltage pulse signal corresponding to the time-series current pulse signal input to the measurement target 1, and the voltage measuring unit 21 removes the drift component of the signal from the signal as an offset and The pulse peak value of is calculated and output. Derivation of a specific net pulse peak value will be described later.

設定・解析部22は、ハードウェアとしては図3に示すようにCPU300、内部メモリ310、外部メモリ320、入力部330、出力部340、及びこれらを結ぶバスライン350で構成されており、機能的には、図1に示すように2関数時系列パルスパターン設定部220と解析部221とを備える。外部メモリ320にはプログラムが記憶されており、これを読み出してCPU300で実行することにより2関数時系列パルスパターン設定部220及び解析部221の機能が実現される。   The setting / analysis unit 22 is composed of a CPU 300, an internal memory 310, an external memory 320, an input unit 330, an output unit 340, and a bus line 350 connecting these as hardware as shown in FIG. In the second embodiment, as shown in FIG. 1, a 2-function time-series pulse pattern setting unit 220 and an analysis unit 221 are provided. The external memory 320 stores a program, which is read and executed by the CPU 300 to realize the functions of the two-function time-series pulse pattern setting unit 220 and the analysis unit 221.

2関数時系列パルスパターン設定部220は、時系列電流パルス信号生成用の基本データである2関数時系列パルスパターンを設定し、出力部340を介して電源装置20に出力する。2関数時系列パルスパターン設定部220は、入力部330を介して入力されたそれぞれの2乗の和が一定値になる関数f(t)、g(t)から、CPU300及び内部メモリ310を介して2関数時系列パルスパターンを生成する。   The two-function time-series pulse pattern setting unit 220 sets a two-function time-series pulse pattern, which is basic data for generating time-series current pulse signals, and outputs the two-function time series pulse pattern to the power supply device 20 through the output unit 340. The two-function time-series pulse pattern setting unit 220 receives the functions f (t) and g (t) that the sum of the respective squares inputted through the input unit 330 becomes a constant value, via the CPU 300 and the internal memory 310. To generate a two-function time-series pulse pattern.

次に解析部221について説明する。解析部221は、時系列パルス信号生成・出力部202から入力部330を介して受信した時系列電流パルス信号の各電流パルスの波高値である電流値、及び電圧測定部21から入力部330を介して受信した時系列応答電圧パルス信号の各電圧パルスの正味のパルス波高値である電圧値に基づき、CPU300と内部メモリ310を介して、解析等によりI−V特性の情報を生成する。I−V特性の情報とは測定対象物1に通電した電流Iとその電流による測定対象物1での電圧降下値、即ち測定箇所K(電気抵抗K)の両端間の電圧Vとの関係を示す情報のことである。また、解析部221は、生成したI−V特性の情報を、出力部340を介して表示部23に出力する。 Next, the analysis unit 221 will be described. The analysis unit 221 receives the current value which is the peak value of each current pulse of the time-series current pulse signal received from the time-series pulse signal generation / output unit 202 via the input unit 330, and the input unit 330 from the voltage measurement unit 21. Based on the voltage value which is the net pulse wave height value of each voltage pulse of the time-series response voltage pulse signal received via the CPU 300 and the internal memory 310, the information of the IV characteristic is generated by analysis or the like. The information on the IV characteristics is the current I supplied to the object 1 and the voltage drop value at the object 1 due to the current, that is, the voltage V across the measurement point K 1 (electrical resistance K 1 ) Information that indicates a relationship. Further, the analysis unit 221 outputs the generated information of the I-V characteristic to the display unit 23 through the output unit 340.

I−V特性を図4に模式的に示す。図4(A)はI−V特性をI−V特性曲線の形で示したものである。図4(B)は測定対象物1に入力する電流Iの時間変化を示す。図4(B)の例は電流Iが正弦波に従って時間変化する例である。時系列電流パルス信号について言えば、正弦関数で表されるG(t)に基づいて生成した波高値のみの包絡線に対応する。図4(C)は図4(B)に示す電流Iを測定対象物1に入力したときの測定対象物1での電圧降下値である電圧Vの時間変化を示す。時系列応答電圧パルス信号について言えば、G(t)に対応した時系列電流パルス信号の波高値に対応した時系列応答電圧パルス信号の各電圧パルスの正味のパルス波高値の包絡線のみを示したものである。   The IV characteristics are schematically shown in FIG. FIG. 4A shows the IV characteristic in the form of an IV characteristic curve. FIG. 4B shows the time change of the current I input to the measurement object 1. The example of FIG. 4B is an example in which the current I changes with time in accordance with a sine wave. The time-series current pulse signal corresponds to the envelope of only the peak value generated based on G (t) represented by a sine function. FIG. 4C shows a temporal change of the voltage V which is a voltage drop value of the object to be measured 1 when the current I shown in FIG. 4B is inputted to the object to be measured 1. As for the time-series response voltage pulse signal, only the envelope of the net pulse peak value of each voltage pulse of the time-series response voltage pulse signal corresponding to the peak value of the time-series current pulse signal corresponding to G (t) is shown It is

I−V特性曲線は、電圧Vを電流Iの関数としたとき、VをIでテイラー展開したときの各項の係数によって特性が表現される。Vは、通常、Iの奇数項のみで表され、簡単な例として、Iの1次と3次の項だけでVを表すと、式(1)のようになる。
V(I)=R×I+R×I (1)
;線型抵抗
;非線形抵抗
When the voltage V is a function of the current I, the IV characteristic curve is characterized by the coefficient of each term when Taylor is expanded by I. V is usually represented only by the odd term of I, and as a simple example, when V is represented by only the first and third terms of I, it becomes as shown in Formula (1).
V (I) = R 0 × I + R 2 × I 3 (1)
R 0 ; Linear resistance
R 2 ; nonlinear resistance

解析部221は、時系列電流パルス信号のG(t)に対応したパルス波高値とこれに対応した時系列応答電圧パルス信号のパルス波高値から、式(1)のRとRとを求める。式(1)とRとRの値はI−V特性の情報に含まれ得る。RとRとを求める方法にはフーリエ解析手法など各種の既知の方法があり、どのような方法でRとRを求めても良い。なお、RとRとを求めることは、通常の手法では、数値微分演算あるいは差分演算を行うことに相当する。測定データには必ずノイズ成分が重畳しているため、数値微分演算あるいは差分演算を行うとノイズの影響が大きくなり有意な解析結果が得られないことが多い。しかし、入力データを波形としてとらえてこれにフーリエ解析を適用すると、ノイズの影響の小さい状態でRとRとを求めることができる。このフーリエ解析は、基本的には積分操作であるため、ノイズの影響が低減されるからである。フーリエ解析を適用する場合は、使用する電流、電圧の測定データは1周期分のデータを使用する。また、f(t)、g(t)はそれぞれ余弦関数、正弦関数であることが好ましい。 The analysis unit 221 determines R 0 and R 2 in equation (1) from the pulse wave height value corresponding to G (t) of the time series current pulse signal and the pulse wave height value of the time series response voltage pulse signal corresponding thereto. Ask. Equation (1) and the values of R 0 and R 2 may be included in the information of the IV characteristics. The method of obtaining the R 0 and R 2 have various known methods, such as Fourier analysis techniques, R 0 and R 2 may be determined in any way. Note that obtaining R 0 and R 2 corresponds to performing numerical differentiation or difference calculation in a normal method. Since noise components are always superimposed on the measurement data, the effects of noise increase when numerical differentiation or difference calculation is performed, and often significant analysis results can not be obtained. However, if input data is taken as a waveform and Fourier analysis is applied to this, R 0 and R 2 can be obtained in a state where the influence of noise is small. This Fourier analysis is basically an integral operation, so the influence of noise is reduced. When applying Fourier analysis, measurement data of current and voltage to be used uses data of one cycle. Further, f (t) and g (t) are preferably cosine function and sine function, respectively.

なお、解析部221は、多項式フィッティングの手法により、式(1)の形でI−V特性を求めてもよい。また、I−V特性を必ずしも式(1)の形で求めなくてもよく、単に電流値とこれに対応する応答電圧値を表形式又はグラフで表示したものとして生成してもよい。いずれの場合にも、測定対象物1に入力する時系列電流パルス信号の全てのパルス波高値と対応する正味の応答パルス波高値をI−V特性の把握に活用することができ、測定対象物1に入力する信号に無駄がないという利点がある。   The analysis unit 221 may obtain the I-V characteristic in the form of equation (1) by a method of polynomial fitting. Also, the IV characteristics need not necessarily be determined in the form of equation (1), and may be generated simply as a current value and a corresponding response voltage value displayed in a tabular form or a graph. In any case, the net response pulse peak value corresponding to all pulse peak values of the time-series current pulse signal input to the measurement target 1 can be utilized for grasping the IV characteristics, and the measurement target object There is an advantage that the signal input to 1 is not wasted.

フーリエ解析を実行する場合にも、工夫することにより、測定対象物1に入力する時系列電流パルス信号の全てのパルス波高値と対応する正味の応答パルス波高値をI−V特性の把握に活用することができる。その方法は、包絡線がf(t)になる第1の時系列パルスパターンに対応した時系列電流パルス信号、即ちF(t)に対応した時系列電流パルス信号のパルス波高値の位相を、包絡線がg(t)になる第2の時系列パルスパターンに対応した時系列電流パルス信号、即ちG(t)に対応した時系列電流パルス信号のパルス波高値の位相に対して90度遅らせる、即ち時間軸上でT/4だけシフトする。この位相シフトにより、第1の時系列パルスパターンに対応した時系列電流パルス信号の包絡線は正弦波となる。その結果、時系列電流パルス信号はその包絡線がG(t)であったと見なすことができる。時系列応答電圧パルス信号に対応して求めた正味の応答パルス波高値についても同様の位相シフト処理を行う。この処理により得られた電流値及び応答電圧値の時系列データを波形情報と見なしてフーリエ解析を行う。これにより、フーリエ解析よりI−V特性を求める場合においても、測定対象物1に入力する時系列電流パルス信号の全てのパルス波高値と対応する正味の応答パルス波高値とを活用することができる。   Even when Fourier analysis is performed, by devising the whole response pulse peak value of the time-series current pulse signal input to the measurement object 1 and the corresponding net response pulse peak value to grasp the IV characteristics can do. The method uses the time-series current pulse signal corresponding to the first time-series pulse pattern whose envelope is f (t), that is, the phase of the pulse peak value of the time-series current pulse signal corresponding to F (t), The time-series current pulse signal corresponding to the second time-series pulse pattern whose envelope is g (t), that is, delayed by 90 degrees with respect to the phase of the pulse peak value of the time-series current pulse signal corresponding to G (t) Ie shift by T / 4 on the time axis. Due to this phase shift, the envelope of the time-series current pulse signal corresponding to the first time-series pulse pattern becomes a sine wave. As a result, the time-series current pulse signal can be regarded as having its envelope G (t). The same phase shift processing is performed on the net response pulse peak value obtained corresponding to the time-series response voltage pulse signal. The Fourier analysis is performed by regarding time series data of the current value and the response voltage value obtained by this processing as waveform information. Thereby, even when obtaining an IV characteristic from Fourier analysis, it is possible to utilize all pulse peak values of the time-series current pulse signal input to the measurement object 1 and the corresponding net response pulse peak values. .

表示部23は、プリンタ、ディスプレイ装置等の出力装置で構成され、設定解析部22で得られる測定対象物1のI−V特性の情報を出力することにより表示する。   The display unit 23 is configured by an output device such as a printer or a display device, and displays the information by outputting the IV characteristic information of the measurement object 1 obtained by the setting analysis unit 22.

本実施の形態に係る電源装置20を備えた電流−電圧特性測定装置2の動作について説明する。   The operation of the current-voltage characteristic measuring device 2 provided with the power supply device 20 according to the present embodiment will be described.

電源装置20の時系列パルス信号生成・出力部202は、2関数時系列パルスパターン記憶部200に記憶されている2関数時系列パルスパターンを読み出す。この2関数時系列パルスパターンのデータは設定・解析部22の2関数時系列パルスパターン設定部220で既に説明した方法で生成されて出力され、電源装置20に入力され記憶されたものである。また、最大振幅設定部201は、外部から入力された値を最大振幅値として設定する。時系列パルス信号生成・出力部202は、2関数時系列パルスパターンと最大振幅値Iとに基づき最大振幅値Iの時系列電流パルス信号を生成し、測定対象物1に出力するとともに、出力の際に同期用の信号としてトリガ信号を電圧測定部21に出力する。また、時系列電流パルス信号の各パルスの波高値を時系列情報として設定・解析部22の解析部221に出力する。 The time-series pulse signal generation / output unit 202 of the power supply device 20 reads the two-function time-series pulse pattern stored in the two-function time-series pulse pattern storage unit 200. The data of the two-function time-series pulse pattern is generated and output by the method already described in the two-function time-series pulse pattern setting unit 220 of the setting and analysis unit 22 and is input and stored in the power supply device 20. Further, the maximum amplitude setting unit 201 sets a value input from the outside as the maximum amplitude value. The time-series pulse signal generation / output unit 202 generates a time-series current pulse signal of the maximum amplitude value I 0 based on the two-function time-series pulse pattern and the maximum amplitude value I 0 and outputs it to the measurement object 1 At the time of output, a trigger signal is output to the voltage measurement unit 21 as a signal for synchronization. Also, the peak value of each pulse of the time-series current pulse signal is output to the analysis unit 221 of the setting / analysis unit 22 as time-series information.

電源装置20から測定対象物1に時系列電流パルス信号が出力され、トリガ信号が電圧測定部21に入力されると、電圧測定部21は、測定対象物1での電圧降下を、時系列応答電圧パルス信号の各応答電圧パルスの正味のパルス波高値という形で測定し、解析部221に出力する。   When a time-series current pulse signal is output from the power supply device 20 to the measurement object 1 and a trigger signal is input to the voltage measurement unit 21, the voltage measurement unit 21 performs a time-series response of voltage drop at the measurement object 1. The measurement is performed in the form of the net pulse peak value of each response voltage pulse of the voltage pulse signal, and is output to the analysis unit 221.

解析部221は、電源装置20から入力した時系列電流パルス信号の各パルスの波高値及びこれに対応して電圧測定部21から入力した時系列応答電圧パルス信号の各応答電圧パルスの正味のパルス波高値に基づきI−V特性の情報を求め、その結果を表示部23に出力する。表示部23は解析部221から入力した解析結果を表示する。   The analysis unit 221 is a peak value of each pulse of the time-series current pulse signal input from the power supply device 20 and a net pulse of each response voltage pulse of the time-series response voltage pulse signal input from the voltage measurement unit 21 corresponding thereto. Information of the I-V characteristic is determined based on the peak value, and the result is output to the display unit 23. The display unit 23 displays the analysis result input from the analysis unit 221.

設定・解析部22の2関数時系列パルスパターン設定部220は、外部から入力された2関数f(t)とg(t)に基づき2関数時系列パルスパターンのデータを生成し、電源装置20に出力する。電源装置20はこのデータを2関数時系列パルスパターン記憶部200に格納する。   The two-function time-series pulse pattern setting unit 220 of the setting / analysis unit 22 generates data of the two-function time-series pulse pattern based on the two functions f (t) and g (t) input from the outside. Output to The power supply device 20 stores this data in the two-function time-series pulse pattern storage unit 200.

2関数時系列パルスパターンを、それぞれの2乗の和が一定値になる2つの関数f(t)とg(t)にそれぞれ基づいて生成される2系列の関数時系列パルスパターン、すなわち関数f(t)に基づき生成された第1の時系列パルスパターンと、関数g(t)に基づき生成された第2の時系列パルスパターンとで構成するのは次の理由による。2関数時系列パルスパターンにIを乗じて生成する時系列電流パルス信号は、f(t)、g(t)にそれぞれIを乗じたF(t)とG(t)とに基づいて生成されたと見なすことができる。従って、2つの関数f(t)、g(t)の2乗の和がtによらず一定値になれば、F(t)とG(t)も、それぞれの2乗の和がtによらず一定値となる。時系列電流パルス信号の各電流パルスの波高値をF(t)とG(t)から交互に選択して設定すると、隣り合う電流パルスの時間間隔が小さくなるに従って、それぞれの波高値の2乗、即ち電流値の2乗の和が時間に依らず略一定になる。ジュール熱は電流の2乗に比例するので、上記のように設定された時系列電流パルス信号を測定対象物1に入力した場合、隣り合う電流パルスにより測定対象物1で発生するジュール熱を平均した値は、時間tに依らず、即ち、I−V特性の測定のために電流を変化させる過程において略一定になる。そのため、測定対象物1の温度が電流に相関して系統的に変動することを原理的に防止することができる。 Two series of function time series pulse patterns generated based on two functions f (t) and g (t) with which each sum of squares becomes a constant value, that is, function f The first time-series pulse pattern generated based on (t) and the second time-series pulse pattern generated based on the function g (t) are composed for the following reasons. The time-series current pulse signal generated by multiplying the 2-function time-series pulse pattern by I 0 is based on F (t) and G (t) obtained by multiplying f (t) and g (t) by I 0 respectively. It can be regarded as generated. Therefore, if the sum of the squares of two functions f (t) and g (t) becomes a constant value regardless of t, F (t) and G (t) also have their sum of squares t It becomes a constant value regardless of it. If the peak value of each current pulse of the time-series current pulse signal is alternately selected and set from F (t) and G (t), the time interval of adjacent current pulses becomes smaller, the square of each peak value That is, the sum of squares of current values is substantially constant regardless of time. Since Joule heat is proportional to the square of the current, when the time-series current pulse signal set as described above is input to the measurement object 1, the Joule heat generated in the measurement object 1 by the adjacent current pulses is averaged. The value does not depend on the time t, that is, it becomes substantially constant in the process of changing the current for measurement of the IV characteristic. Therefore, it is possible in principle to prevent the temperature of the measurement object 1 from being systematically correlated with the current.

2関数時系列パルスパターンは、その波高値以外は、時系列電流パルス信号のパターンと同じである。従って、以下では、図5に基づき、時系列応答電圧パルス信号と対比させつつ、時系列電流パルス信号の詳細について説明する。   The 2-function time-series pulse pattern is the same as the pattern of the time-series current pulse signal except for its peak value. Therefore, the details of the time-series current pulse signal will be described below in comparison with the time-series response voltage pulse signal based on FIG. 5.

図5(A)は、図2の時間軸の領域Kに含まれる2系列の関数時系列パルスパターンに対応した時系列電流パルス信号の拡大図を示す。時系列電流パルス信号と関数f(t)及び関数g(t)との関係を明示するために、関数f(t)及び関数g(t)にそれぞれIを乗じた関数F(t)及び関数G(t)を破線で示した。図5(B)は図5(A)と時間軸を揃えて、図5(A)に示す時系列電流パルス信号に対応した測定部位Kの時系列応答電圧パルス信号の測定例を示したものである。 FIG. 5A shows an enlarged view of a time series current pulse signal corresponding to two series of function time series pulse patterns included in the region K of the time axis of FIG. In order to clarify the relationship between the time-series current pulse signal and the function f (t) and the function g (t), the function f (t) and the function g (t) multiplied by I 0 respectively The function G (t) is shown by a broken line. FIG. 5 (B) shows a measurement example of the time-series response voltage pulse signal of the measurement site K 1 corresponding to the time-series current pulse signal shown in FIG. 5 (A), aligning the time axis with FIG. 5 (A). It is a thing.

時系列電流パルス信号は、Δtの時間間隔で並ぶパルス信号の列である。各パルスは、時間幅(パルス幅)Δtと、F(t)又はG(t)に基づいて設定された波高値とを有し、隣り合うパルスの間には時間幅Wの波高値0の区間が存在する。Δt=Δt+Wである。 The time-series current pulse signal is a train of pulse signals aligned at time intervals of Δt. Each pulse has a time width (pulse width) Δt p and a wave height value set based on F (t) or G (t), and between adjacent pulses, a wave height value of time width W 0 There is a section of Δt = Δt p + W.

各パルスの波高値は、次のようにF(t)とG(t)とを交互に選択して設定されている。tは測定開始時点、iは0を含む連続する自然数で上限i、時間tに対して、t2i=t+Δt×2i、及びt2i+1=t+Δt×(2i+1)と定義したとき、図5(A)にA点、B点で示すように、時系列電流パルス信号の隣り合うパルスの波高値は、各iに対して、それぞれF(t2i)とG(t2i+1)に等しく設定されている。2i及び2i+1はパルス間の時間間隔Δt、換言すれば区間幅Δtで時間軸を分割したときの、それぞれ偶数番目と奇数番目の区間を示し、それぞれの区間を代表する時間がt2i及びt2i+1である。即ち、偶数番目の区間の波高値はF(t)に従って設定され、奇数番目の区間の波高値はG(t)に従って設定されている。図5(A)の偶数番目の区間に対応するパルスの波高値を示すA点及びC点は、それぞれF(t2i)及びF(t2(i+1))の値であり、奇数番目の区間に対応するパルスの波高値を示すB点は、G(t2i+1)の値である。即ち、時系列電流パルス信号は、波高値の包絡線がF(t)で表わされる第1の時系列電流パルス信号と、波高値の包絡線がG(t)で表わされる第2の時系列電流パルス信号とを有する、2つの系列の信号で構成されていると言うことができる。もちろんF(t)とG(t)の波高値選定の順序が逆であっても良い。 The peak value of each pulse is set by alternately selecting F (t) and G (t) as follows. t 0 is the start of measurement, i is the upper limit i n a natural number of consecutive containing 0, with respect to time t, t 2i = t 0 + Δt × 2i, and t 2i + 1 = t 0 + Δt × (2i + 1) and when defining As shown by points A and B in FIG. 5A, the crest values of adjacent pulses of the time-series current pulse signal are F (t 2i ) and G (t 2i + 1 ) for each i, respectively. It is set equally. 2i and 2i + 1 denote even-numbered and odd-numbered sections when the time axis is divided by the time interval Δt between pulses, in other words, the section width Δt, and the time to represent each section is t 2i and t 2i + 1 It is. That is, the peak values of the even-numbered sections are set according to F (t), and the peak values of the odd-numbered sections are set according to G (t). Points A and C indicating the peak values of the pulses corresponding to the even-numbered sections in FIG. 5A are the values of F (t 2i ) and F (t 2 (i + 1) ), respectively, and the odd-numbered sections The point B indicating the peak value of the pulse corresponding to the is the value of G (t 2i + 1 ). That is, the time-series current pulse signal has a first time-series current pulse signal whose envelope of peak value is represented by F (t) and a second time-series whose envelope of peak value is represented by G (t) It can be said that it is composed of two series of signals having a current pulse signal. Of course, the order of peak value selection for F (t) and G (t) may be reversed.

なお、図5(A)では、F(t)とG(t)の値を取得するA、B、C点等のポイントは、各パルス幅の中点に位置しているが、これに限定されない。A、B、C点等がそれぞれに対応するパルスのパルス幅Δtの範囲内に位置していればよい。 In FIG. 5A, points such as points A, B and C for obtaining values of F (t) and G (t) are located at the middle points of the respective pulse widths, but are limited thereto I will not. The points A, B, C, etc. may be located within the range of the pulse width Δt p of the corresponding pulse.

パルス幅Δtとパルス間の時間幅Wを決めるためには、時系列応答電圧パルス信号のパルス波形を考慮する必要がある。時系列応答電圧パルス信号のパルス幅は、図5(B)に示すように、時系列電流パルス信号のパルス幅Δtと同じである。また、図5(B)に示すパルス波形がその立ち上がり、立ち下がり部において、図5(A)に示すパルスの立ち上がり部及び立ち下がり部のように急峻な直線形状ではなく、なまった形状を示すのは、電圧測定部21が、時定数による応答時間Δtを有しているためである。なお、時系列電流パルス信号に対して時系列応答電圧パルス信号は時間遅れが発生する場合があるが、この時間遅れは予め把握でき、時間軸上の平行移動にしかならないため、図5ではこれを無視して表示した。 In order to determine the pulse width Δt p and the time width W between pulses, it is necessary to consider the pulse waveform of the time-series response voltage pulse signal. The pulse width of the time series response voltage pulse signal, as shown in FIG. 5 (B), the same as the pulse width Delta] t p of the time series current pulse signal. In addition, the pulse waveform shown in FIG. 5B shows not a sharp linear shape but a rounded shape like the rising and falling portions of the pulse shown in FIG. 5A at the rising and falling portions thereof. the is because the voltage measuring unit 21, has a response time Delta] t r by time constant. Although a time delay may occur in the time-series response voltage pulse signal with respect to the time-series current pulse signal, this time delay can be grasped in advance, and it is only parallel movement on the time axis. Ignored and displayed.

時系列電流パルス信号のパルス幅とこれに対応する時系列電圧パルス信号のパルス幅は同じ値であることから、Δt及びWの値は、電圧測定部21による測定が、次の条件下で実行できるように設定されている。電圧測定部21による測定時間Δtを要するパルス領域での測定は、パルス信号の立ち上がりのときから応答時間Δtを経過した後に、且つ電圧パルス信号の立ち下がり開始のとき、即ちパルス信号の立ち上がり開始のときからΔtの時間内で実行されなければならない。また、隣り合うパルスの間の部位、すなわちオフセット領域での電圧測定部21による測定時間Δtを要する測定は、パルス信号の立ち下がり開始のときから応答時間Δtを経過した後に、且つ電圧パルスの立ち上がり開始のときまでに、即ちパルス信号の立ち下がり開始のときからWの時間内で実行されなければならない。これらの条件を満たすΔt及びWは、次式(2)(3)で表すことができる。Δt、Δtは、電圧測定部21が決まれば、既知の値として設定することができるので、Δt及びWの値は、それぞれ、式(2)及び(3)に従って設定される。
Δt≧Δt+Δt (2)
W≧Δt+Δt (3)
Δt及びWは、式(2)(3)の右辺にそれぞれ所定の時間マージンを加えた時間幅に設定されていてもよい。また、Δt=Δt+Wなので、Δt及びWは、Δtをどのように設定するかについても考慮して設定される。
Since the pulse width of the time-series current pulse signal and the pulse width of the corresponding time-series voltage pulse signal have the same value, the values of Δt p and W are measured by the voltage measuring unit 21 under the following conditions: It is set to run. The measurement in the pulse region requiring the measurement time Δt m by the voltage measurement unit 21 is after the response time Δt r has elapsed from the rise of the pulse signal and when the fall of the voltage pulse signal starts, ie, the rise of the pulse signal It must be performed within the time of Δt p from the start time. In addition, the measurement that requires measurement time Δt m by the voltage measurement unit 21 in the region between adjacent pulses, that is, in the offset region, the voltage pulse after the response time Δt r has passed from the start of the fall of the pulse signal It must be carried out within the time of W from the start of the rise of the pulse signal, that is, from the start of the fall of the pulse signal. The Δt p and W that satisfy these conditions can be expressed by the following equations (2) and (3). Since Δt r and Δt m can be set as known values once the voltage measurement unit 21 is determined, the values of Δt p and W are set according to the equations (2) and (3), respectively.
Δt p ΔΔt r + Δt m (2)
W Δ Δt r + Δt m (3)
The Δt p and W may be set to a time width obtained by adding a predetermined time margin to the right sides of the equations (2) and (3). Further, since Δt = Δt p + W, Δt p and W are set in consideration of how Δt is set.

2関数時系列パルスパターンについてはF(t)、G(t)をそれぞれf(t)、g(t)に置き換えれば上記説明がそのまま成り立つ。   The above description holds true if F (t) and G (t) are replaced with f (t) and g (t) for the bifunctional time-series pulse pattern, respectively.

2関数時系列パルスパターンの各パルスの間隔Δtの設定について説明する。本発明では、2関数として、それぞれの二乗の和が時間tに依存せず一定値Hになるようなf(t)とg(t)を選定する。図2及び図5(A)に示す例では一定値Hは「1」である。既に説明したように、2乗和が一定値Hとなるためには、tは、厳密には2関数において同じ値でなければならない。   The setting of the interval Δt of each pulse of the 2-function time-series pulse pattern will be described. In the present invention, f (t) and g (t) are selected as two functions such that the sum of the respective squares does not depend on the time t and becomes a constant value H. In the example shown in FIG. 2 and FIG. 5A, the constant value H is “1”. As described above, in order for the sum of squares to be a constant value H, t must be exactly the same value in two functions.

しかし、図5(A)に示すF(t)、G(t)(f(t)、g(t)に比例)からわかるように、f(t)とg(t)とは互いにtの値がΔtだけことなる位置での値、即ちf(t2i)とg(t2i+1)(t2i+1−t2i=Δt、i;0を含む連続する自然数で、予め設定された上限値までの値)とでパルス波高値が設定されている。f(t2iとg(t2i+1とを加えた値J(i)は、通常、Δtとiとに依存して変化し、iの値に依らず一定値になるということはない。 However, as can be seen from F (t), G (t) (proportional to f (t), g (t)) shown in FIG. 5 (A), f (t) and g (t) are mutually t Values at positions different by Δt, ie, f (t 2i ) and g (t 2i + 1 ) (t 2i + 1 −t 2i = Δt, i; continuous natural numbers including 0; up to a preset upper limit value Pulse peak value is set. The value J (i) obtained by adding f (t 2i ) 2 and g (t 2i + 1 ) 2 usually changes depending on Δt and i, and becomes a constant value regardless of the value of i. Absent.

しかし、f(t)とg(t)とが互いの2乗の和が一定となるように選定されていれば、Δtが小さくなるにつれてJ(i)のiに依存する変化の程度、即ち時間に依存する変化の程度は小さくなり、略一定値と見なすことができるようになる。略一定値と見なすことができるかどうかの判断基準は、測定対象物1の許容される温度変化に対応したジュール発熱の許容時間変化で決められる。ジュール発熱は電流の2乗に比例するため、ジュール発熱の許容時間変化からJ(i)の許容される変動値が算定でき、算定された値が略一定に関する判断基準となる。J(i)の変動値は、J(i)の値の一定値(図2に示す例では「1」)に対する誤差εに依存して大きくなる。J(i)の許容される変動値の一定値に対する誤差εthを閾値誤差又は許容誤差とすると、Δtは、J(i)の値と一定値との差異εが許容誤差εth以下になるように設定される。すなわち、ε=εthのときのΔtをΔtmaxとすると、2乗和が略一定と見なせるΔtはΔtmax以下の値に設定されればよい。Δtは式(1)、(2)から得られるΔtとWの和よりも大きい値であり、且つΔtmax以下の値という条件を満たすものであればどのような値であってもよい。以上の条件を考慮した結果、Δt及びWは、通常、測定時間、測定対象物の温度などを考慮して、それぞれ5−100ms程度(より好ましくは5−50ms程度)に設定される。 However, if f (t) and g (t) are selected such that the sum of their squares is constant, the degree of change depending on i of J (i) as Δt becomes smaller, ie, The degree of time-dependent change is smaller and can be regarded as a substantially constant value. The determination criterion as to whether it can be regarded as a substantially constant value is determined by the permissible time change of Joule heating corresponding to the permissible temperature change of the measurement object 1. Since Joule heat is proportional to the square of the current, an allowable variation value of J (i) can be calculated from the change of allowable time of Joule heat, and the calculated value is a judgment standard regarding substantially constant. The fluctuation value of J (i) becomes large depending on the error ε with respect to the constant value (“1” in the example shown in FIG. 2) of the value of J (i). Assuming that the error ε th with respect to the fixed value of the allowable fluctuation value of J (i) is a threshold error or an allowable error, the difference ε between the value of J (i) and the fixed value becomes smaller than the allowable error ε th Is set as That is, if the Delta] t in the case of epsilon = epsilon th and Delta] t max, Delta] t the square sum can be regarded as substantially constant may be set to the following values Delta] t max. Δt is a value larger than the sum of Δt p and W obtained from the expressions (1) and (2), and may be any value as long as it satisfies the condition of a value of Δt max or less. As a result of considering the above conditions, Δt p and W are usually set to about 5 to 100 ms (more preferably about 5 to 50 ms) in consideration of the measurement time, the temperature of the object to be measured, and the like.

2関数時系列パルスパターンの時間範囲Tについて説明する。この時間範囲Tは、s最大振幅値I設定後の時系列電流パルス信号の振幅値が、測定対象物1のI−V特性の情報を取得するために必要な電流値がカバーできる時間範囲に設定される。時系列電流パルス信号の設定で説明したiの値は、このように設定された時間範囲に対応してその最大値が設定される。図2に示す時間範囲Tは、f(t)=COS(2πt/T)、g(t)=SIN(2πt/T)のとき時間t=0から1周期Tまでの時間範囲を示している。設定・解析部22でフーリエ解析を行う場合は、使用されるデータは周期関数に対応していて、少なくともその一周期分が必要なのでf(t)、g(t)を周期T’の関数とすると、T=n×T’(n=自然数)とする。 The time range T of the 2-function time-series pulse pattern will be described. This time range T is a time range in which the amplitude value of the time-series current pulse signal after setting s maximum amplitude value I 0 can cover the current value necessary for acquiring the information of the I-V characteristic of the measuring object 1 Set to The value of i described in the setting of the time-series current pulse signal has its maximum value set corresponding to the time range set in this way. The time range T shown in FIG. 2 indicates the time range from time t = 0 to one period T when f (t) = COS (2πt / T) and g (t) = SIN (2πt / T) . When Fourier analysis is performed by the setting / analysis unit 22, the data to be used corresponds to a periodic function, and at least one period is necessary, so f (t) and g (t) are functions of the period T '. Then, T = n x T '(n = natural number).

電圧測定部21による正味の電圧パルス波高値の算定方法について、図5(B)を利用して説明する。時系列応答電圧パルス信号の各パルスの波高値は、それぞれ測定時間Δtで測定されるが、測定結果は、この測定時間を代表する点における波高値であるとする。図5(B)では代表点は、例えば、各パルスにおける測定時間の中点であるΔt/2の時点(a、b、c点等で表示)とする。時系列応答電圧パルス信号のドリフト成分はオフセット領域での波高値で示されているので、ドリフト成分の測定は、図5(B)に示すように、a、b、c点等の両側に、それぞれ時間Δt離れた時間位置を中心に測定時間Δtで実行される。図5(B)ではb点の両側の時間位置はd点とe点とで示されている。なお、オフセット領域の波高値の測定時間はパルス波高値の測定時間Δtと異なる値であってもよい。 The calculation method of the net voltage pulse wave peak value by the voltage measurement unit 21 will be described using FIG. 5 (B). Although the peak value of each pulse of the time-series response voltage pulse signal is measured at the measurement time Δt m , the measurement result is the peak value at a point representing this measurement time. In FIG. 5B, the representative point is, for example, a time point (displayed at a, b, c, etc.) of Δt m / 2, which is a middle point of measurement time in each pulse. Since the drift component of the time-series response voltage pulse signal is indicated by the peak value in the offset region, the measurement of the drift component can be performed on both sides of points a, b, c, etc., as shown in FIG. It carries out by measurement time (DELTA) t m centering | focusing on the time position each distant by time (DELTA) t s . In FIG. 5B, the time positions on both sides of the point b are shown by the point d and the point e. Note that the measurement time of the peak value in the offset region may be a value different from the measurement time Δt m of the pulse peak value.

b点を例に、対応する正味のパルス波高値Vの算定方法を説明する。電圧測定部21は、パルス波高値測定の代表点b、オフセット領域の波高値測定の代表点d、e点のそれぞれの測定値V、V、Vを測定により取得する。電圧測定部21は、b点でのドリフト成分Vを(V+V)/2に略等しいとして算定し、b点に対応する正味のパルス波高値Vを、VからVを除去することにより得る。この方法は3点法と呼ばれ、市販の電圧測定装置で利用される方法である。 Taking the point b as an example, a method of calculating the corresponding net pulse wave peak value V x will be described. The voltage measurement unit 21 obtains measurement values V b , V d , and Ve of the representative point b of the pulse peak value measurement, the representative point d of the peak value measurement of the offset region, and the point e by measurement. The voltage measuring unit 21 calculates the drift component V y at the point b as approximately equal to (V d + V e ) / 2, and calculates the net pulse wave height value V x corresponding to the point b from V b to V y . Obtained by removing. This method is called a three-point method and is a method used in a commercially available voltage measurement device.

図6に、高温超伝導体YBaCuの焼結体を、測定対象物1を構成する試料、即ち測定部位Kとして、上記の電流−電圧特性測定装置2で測定対象物1のI−V特性を測定した例を示す。この例は式(1)を求めてはおらず、測定対象物1の設置環境の温度をパラメータとして、測定対象物1に入力した電流値と測定部位Kの両端間の電圧を応答電圧値とをプロットしたものである。このような表示から、各温度毎のI−V特性のデータのばらつきの程度がわかる。ばらつきの程度が大きいほど測定対象物1の温度変動が大きいことになる。設置環境の温度は23.50K、27.40K、29.50K、及び31.40Kである。相互の温度差は約2Kから3Kという小さなものであるが、各温度での測定部位KのI−V特性データのばらつきは小さく、相互のデータは良く識別できることがわかる。この結果から、本実施の形態に係る電源装置20を備える電流−電圧特性測定装置2によれば、測定対象物1の測定部位KのI−V特性をより高精度に求めることが可能となることが実証できた。従って、本実施の形態に係る電源装置20を使用すれば、測定対象物1の温度変化は、図6に示す程度に高精度にI−V特性を測定できるほど小さくなることがわかる。 In FIG. 6, a sintered body of the high-temperature superconductor YBa 2 Cu 4 O 8 is used as a sample constituting the object to be measured 1, that is, a measurement site K 1 by the current-voltage characteristic measuring device 2 described above. The example which measured the I-V characteristic of is shown. In this example, equation (1) is not obtained, and the temperature of the installation environment of the measurement object 1 is used as a parameter, and the current value input to the measurement object 1 and the voltage between both ends of the measurement site K 1 are Is a plot of From such a display, the degree of variation of the data of the I-V characteristic for each temperature can be known. The greater the degree of variation, the greater the temperature fluctuation of the object 1 to be measured. The temperature of the installation environment is 23.50K, 27.40K, 29.50K and 31.40K. Although the mutual temperature difference is as small as about 2 K to 3 K, it can be seen that the variation in the IV characteristic data of the measurement site K 1 at each temperature is small, and the mutual data can be distinguished well. From this result, the power supply 20 current comprises according to this embodiment - According to the voltage characteristic measuring device 2, can be obtained the I-V characteristic of the measurement site K 1 of the measuring object 1 with high precision and It could be demonstrated that Therefore, it is understood that when the power supply device 20 according to the present embodiment is used, the temperature change of the measurement object 1 becomes so small that the IV characteristic can be measured with high accuracy to the extent shown in FIG.

このように、本実施の形態に係る電源装置20は、それぞれの2乗の和が一定値になるような関数F(t)とG(t)に基づき、時系列電流パルス信号を生成し、出力するので、電源装置20によれば、その出力信号を測定対象物1に入力したとき、隣り合う電流パルスにより測定対象物1で発生するジュール熱を平均した値を略一定に抑えることができる。更に、この電源装置20を備えた電流−電圧特性測定装置2によれば、測定中の測定対象物1の温度変化を従来よりも小さくすることができるため、測定対象物1の測定部位KのI−V特性をより高精度に求めることが可能となる。 Thus, power supply device 20 according to the present embodiment generates a time-series current pulse signal based on functions F (t) and G (t) such that the sum of the respective squares becomes a constant value, Since the output is performed, according to the power supply device 20, when the output signal is input to the measurement object 1, it is possible to suppress the value obtained by averaging the Joule heat generated in the measurement object 1 by the adjacent current pulses substantially constant. . Furthermore, the current including the power supply 20 - According to the voltage characteristic measuring apparatus 2, since the temperature change of the measured object 1 in the measurement can be made smaller than conventional measurement site K 1 of the measuring object 1 It is possible to obtain the I-V characteristic of V with higher accuracy.

これまでの説明では、f(t)を余弦関数、g(t)を正弦関数として生成した2関数時系列パルスパターンについて説明したが、f(t)、g(t)は図7に示す関数であってもよい。図7に示す例は、2関数時系列パルスパターンの第1の変形例である。このときの2関数は、時間範囲、又は周期をTとしたとき、f(t)=2t/T−1、g(t)=SQR(1−(2t/T−1))である。即ちt=0−Tの時間範囲で、f(t)はT/2で負から正にゼロクロスする直線関数、g(t)は、その中心が時間軸上のT/2の位置にあり、時間軸方向の軸長がT、g(t)方向の軸長が2の楕円を表す式の正の部分を表す関数である。このような関数f(t)、g(t)の場合もそれぞれの2乗の和はtによらず一定値になる。 In the above explanation, a two-function time-series pulse pattern generated by using f (t) as a cosine function and g (t) as a sine function has been described, but f (t) and g (t) are functions shown in FIG. It may be The example shown in FIG. 7 is a first modification of the two-function time-series pulse pattern. The two functions at this time are f (t) = 2t / T−1 and g (t) = SQR (1- (2t / T−1) 2 ), where T is a time range or period. That is, in the time range of t = 0-T, f (t) is a linear function that zero-crosses from negative to positive at T / 2, g (t) has its center at the position of T / 2 on the time axis, It is a function that represents the positive part of the equation that represents an ellipse in which the axis length in the time axis direction is T and the axis length in the g (t) direction is 2. Also in the case of such functions f (t) and g (t), the sum of the respective squares becomes a constant value regardless of t.

このときは、解析部221でフーリエ解析に使用されるデータは直線関数に対応した電流パルス波高値とそれに対応した正味の電圧パルス波高値のデータである。その理由は、I−V特性は正負の両値に対して必要とされるためである。この場合も、関数形が異なる以外は、これまでの説明内容はそのまま成立し、電源装置20、及びこれを備えた電流−電圧特性測定装置2は、これまで説明した効果と同じ効果を奏する。   At this time, data used for Fourier analysis in the analysis unit 221 is data of current pulse peak values corresponding to the linear function and net voltage pulse peak values corresponding thereto. The reason is that the I-V characteristic is required for both positive and negative values. Also in this case, except for the difference in the function form, the contents of the description so far hold true, and the power supply device 20 and the current-voltage characteristic measuring device 2 including the same exhibit the same effects as the effects described above.

解析部221は、多項式フィッティングの手法により、式(1)の形でI−V特性を求めてもよい。また、I−V特性を必ずしも式(1)の形で求めなくてもよく、単に電流値とこれに対応する応答電圧値を表形式又はグラフで表示したものとして生成してもよい。このときは、測定対象物1に入力する時系列電流パルス信号の全てのパルス波高値と、これに対応する正味の応答電圧パルス波高値をI−V特性の把握に活用することができ、無駄がないという利点がある。   The analysis unit 221 may obtain the I-V characteristic in the form of Equation (1) by a polynomial fitting method. Also, the IV characteristics need not necessarily be determined in the form of equation (1), and may be generated simply as a current value and a corresponding response voltage value displayed in a tabular form or a graph. In this case, all pulse peak values of the time-series current pulse signal input to the measurement target 1 and the net response voltage pulse peak value corresponding thereto can be utilized for grasping the IV characteristic, which is a waste. There is an advantage that there is no

図7の縦軸の絶対値の最大値は1であるが、これに限定されない。任意の値Iに設定してもよい。ただし、このときは、時系列電流パルス信号の最大値が最大振幅設定部201で設定したIに等しくなるように、時系列電流パルス信号を生成するときに2関数時系列パルスパターンに乗じる値はIではなく、I/Iとする。 Although the maximum value of the absolute value on the vertical axis in FIG. 7 is 1, it is not limited thereto. It may be set to an arbitrary value I a . However, in this case, when generating the time-series current pulse signal so that the maximum value of the time-series current pulse signal is equal to I 0 set by the maximum amplitude setting unit 201, a value by which the two-function time series pulse pattern is multiplied Is not I 0 but I 0 / I a .

2関数時系列パルスパターンの第2の変形例を図8に示す。このときのf(t)は余弦関数であるという点はこれまで説明したf(t)が余弦関数の場合と同じである。しかし、2関数時系列パルスパターンの生成に使用するf(t)の時間範囲が周期Tの1/2である点が異なる。更に、g(t)については、f(t)と同一周期Tで振幅と位相が同じ正弦関数であって、2関数時系列パルスパターンの生成に使用するg(t)の時間範囲が周期Tの1/2であり、tがT/4からT/2までの範囲で符号を反転させた関数とする。図8に示す2関数時系列パルスパターンは、このようなf(t)とg(t)に基づき、これまでと同様に生成されたものである。この場合もf(t)の2乗とg(t)の2乗の和は一定になる。   A second modification of the two-function time-series pulse pattern is shown in FIG. The point that f (t) at this time is a cosine function is the same as the case where f (t) described above is a cosine function. However, the difference is that the time range of f (t) used to generate a bifunctional time-series pulse pattern is 1/2 of the period T. Furthermore, for g (t), a sine function having the same period T as f (t) and the same amplitude and phase as g (t), the time range of g (t) used to generate the bifunctional time-series pulse pattern has a period T And t is a function obtained by inverting the sign in the range from T / 4 to T / 2. The two-function time-series pulse pattern shown in FIG. 8 is generated as described above based on such f (t) and g (t). Also in this case, the sum of the square of f (t) and the square of g (t) is constant.

解析部221は、I−V特性を式(1)の形で求める場合は、不連続関数であるg(t)に対応したデータの位相を変換してf(t)に対応したデータと合成する。これにより合成したデータを連続した1関数の1周期分のデータとする。即ち、g(t)に対応した時系列電流パルス信号の電流パルス波高値と、これに対応した時系列応答電圧パルス信号の正味の電圧パルス波高値のそれぞれのt=0からT/4迄のデータの位相を−90度に相当する−T/4だけ時間軸上でずらし、また、t=T/4からT/2までの対応するデータの位相を+90度に相当する+T/4だけ時間軸上でずらして、f(t)に対応した時系列電流パルス信号の電流パルス波高値と、これに対応した時系列応答電圧パルス信号の正味の電圧パルス波高値にそれぞれつないで合成する。これにより、一周期分の一つの正弦関数に対応した時系列電流パルス信号の電流パルス波高値と、これに対応した時系列応答電圧パルス信号の正味の電圧パルス波高値とが測定データとして得られることになる。   When obtaining the IV characteristic in the form of equation (1), the analysis unit 221 converts the phase of data corresponding to the discontinuous function g (t) and combines it with the data corresponding to f (t). Do. The synthesized data is used as data of one cycle of one continuous function. That is, the current pulse peak value of the time-series current pulse signal corresponding to g (t) and the net voltage pulse peak value of the corresponding time-series response voltage pulse signal at t = 0 to T / 4 迄The phase of the data is shifted on the time axis by -T / 4 corresponding to -90 degrees, and the phase of the corresponding data from t = T / 4 to T / 2 is only + T / 4 corresponding to +90 degrees The current pulse peak value of the time-series current pulse signal corresponding to f (t) and the net voltage pulse peak value of the time-series response voltage pulse signal corresponding to this are connected on the axis, and synthesized. As a result, the current pulse peak value of the time series current pulse signal corresponding to one sine function of one period and the net voltage pulse peak value of the time series response voltage pulse signal corresponding thereto can be obtained as measurement data. It will be.

解析部221は、この合成して生成した1周期分のデータに対してフーリエ解析を適用し、式(1)によるI−V特性の情報を得ることができる。この手法に依れば時系列電流パルス信号を全て活用することができるため無駄がないという効果がある。更に、データの測定時間がT/2で済むため測定の効率化を図ることができる。   The analysis unit 221 can apply Fourier analysis to the data of one period generated by combining to obtain information of the IV characteristic according to Equation (1). According to this method, all time-series current pulse signals can be utilized, so that there is an effect that there is no waste. Furthermore, since the measurement time of the data can be T / 2, the efficiency of the measurement can be improved.

解析部221で、I−V特性を、式(1)の形ではなく、電流値とこれに対応する応答電圧値とを表形式又はグラフで表示したものとして生成する場合も、時系列電流パルス信号を全て活用することができるため無駄がなく、データの測定時間がT/2で済むため測定の短時間化を図ることができる。また、図8からわかるように短時間で測定対象物1に入力される電流の符号が正負バランス良く得られるので、その意味でI−V特性を短時間で精度良く取得できる。   The time-series current pulse is also generated when the analysis unit 221 generates the IV characteristic not in the form of equation (1) but as a current value and a corresponding response voltage value displayed in a table format or a graph. Since all the signals can be used, there is no waste, and the measurement time of data can be T / 2, so that the measurement can be shortened. Further, as can be seen from FIG. 8, since the sign of the current input to the measurement object 1 can be obtained in a short time with good balance between positive and negative, in that sense, the IV characteristics can be accurately obtained in a short time.

f(t)とg(t)とから、一方の他方に対する位相をシフトして、一つの周期関数を合成するという方法は、上記の具体例以外にいろいろな方法が考えられるが、いずれの方法でも同様な効果を得ることができる。   There are various methods for combining one periodic function by shifting the phase of f (t) and g (t) with respect to one of the other. But you can get the same effect.

2関数時系列パルスパターンはそれぞれの2乗の和が一定になる関数f(t)とg(t)とに基づき形生成されたものとしたが、関数g(t)の位相をΔtだけシフトした関数g’(t)をg’(t)=g(t−Δt)として定義し、2関数時系列パルスパターンは関数f(t)とg’(t)とに基づきこれまでと同様な方法で生成されたものとしても良い。なお、時系列電流パルス信号については、f(t)、g’(t)にそれぞれIを乗じて得られるF(t)、G’(t)tとに基づいて時系列電流パルス信号が生成されたと見なしても良い。 The two-function time-series pulse pattern is generated based on the functions f (t) and g (t) in which the sum of the squares becomes constant, but the phase of the function g (t) is shifted by Δt Define the function g '(t) as g' (t) = g (t-.DELTA.t), and the bifunction time series pulse pattern is the same as before based on the functions f (t) and g '(t) It may be generated by a method. As for the time-series current pulse signal, the time-series current pulse signal is obtained based on F (t) and G ′ (t) t obtained by multiplying f (t) and g ′ (t) by I 0 respectively. It may be regarded as generated.

時系列電流パルス信号がF(t)とG(t)に基づいて生成されたときは、隣り合うパルスの代表時間tがΔtずれることにより2乗和の対象となるパルスの同時性が失われること、及び同時性のずれの分、当該パルスの波高値の同時性がなくなる、即ち値が異なってしまうことにより、2乗和が、時間に依らない一定値からの誤差を含むものになるということは既に説明した通りである。時系列電流パルス信号がF(t)とG’(t)に基づいて生成されたときは、隣り合うパルスの代表時間tがΔtずれることにより2乗和の対象となる値自体は同時性が担保されることになる。従ってその分の誤差は低減するので、このような時系列電流パルス信号を出力する電源装置20によれば、出力先の測定対象物1において、出力される時系列電流パルス信号の隣合う2パルスにより発生するジュール熱を平均した値の一定性はこれまで説明したケースに比べて更に改善される。このような電源装置20を備えた電流−電圧特性測定装置によれば、測定対象物1のI−V特性の測定の高精度化も更に改善される。   When time-series current pulse signals are generated based on F (t) and G (t), the representative times t of adjacent pulses are shifted by Δt, and the simultaneity of pulses targeted for sum of squares is lost And that the pulse height value of the pulse is not synchronized at the same time due to the deviation of the synchronization, that is, the values are different, so that the sum of squares becomes an error from a constant value not depending on time. The thing is as already explained. When the time-series current pulse signal is generated based on F (t) and G '(t), the representative time t of adjacent pulses is shifted by Δt, and the value itself to be subjected to the square sum is simultaneity It will be secured. Therefore, since the error of that amount is reduced, according to the power supply device 20 which outputs such a time-series current pulse signal, in the measurement target 1 at the output destination, two adjacent pulses of the time-series current pulse signal to be output The uniformity of the averaged value of Joule heat is further improved compared to the cases described so far. According to the current-voltage characteristic measuring apparatus provided with such a power supply device 20, the improvement in the accuracy of the measurement of the IV characteristic of the measurement object 1 is further improved.

2関数時系列パルスパターンの第4の変形例(図示せず)は、2関数時系列パルスパターンの隣り合う各パルスの波高値の絶対値は、f(t)の絶対値とg(t)の絶対値に基づき交互に設定され、その符号は正負のどちらでも自由に設定されたものとする。これは2関数時系列パルスパターンの生成においては依拠する2関数の2乗の和が問題となるだけであり、2乗するとその符号は無関係となるためである。ただし、I−V特性の測定には正負の電流を測定対象物1に入力する必要があるため、その点を考慮した2関数時系列パルスパターンとする必要がある。上記、第2の変形例は、この第3の変形例の特殊なケースとみてもよい。このような2関数時系列パルスパターンのときは、第2の変形例のように周期関数を合成する場合以外は、通常は、解析部221はフーリエ解析以外の方法でI−V特性の情報を取得する。このときもこれまでと同様に、測定対象物1での温度の時間変動は無視できるようになり、I−V特性の測定精度が向上する。   In a fourth modification (not shown) of the bifunctional time-series pulse pattern, the absolute value of the peak value of each adjacent pulse of the bifunctional time-series pulse pattern is the absolute value of f (t) and g (t) It is assumed that they are set alternately based on the absolute value of, and the sign thereof is freely set to either positive or negative. This is because the generation of a bifunctional time-series pulse pattern only involves the sum of the squares of the relied on bifunctions, and the square becomes irrelevant to the sign when it is squared. However, since it is necessary to input positive and negative currents to the measurement object 1 in the measurement of the I-V characteristic, it is necessary to set a two-function time-series pulse pattern in consideration of that point. The above-mentioned second modification may be regarded as a special case of this third modification. In the case of such a two-function time-series pulse pattern, normally, the analysis unit 221 uses the method other than the Fourier analysis to analyze the information of the IV characteristics except when combining the periodic function as in the second modification. get. At this time as well, the time variation of the temperature of the measurement object 1 can be neglected, and the measurement accuracy of the IV characteristic is improved.

これまでは、測定対象物1に電流を流したときの測定対象物1の測定対象箇所での電圧降下を測定してI−V特性を得るというケースについて説明した。しかし、これとは逆に、測定対象物1の測定対象箇所に電圧を印加し、そのとき測定対象物1に流れる電流を測定することによりI−V特性を得てもよい。このようなときの電流−電圧特性測定装置2の構成例を図9に示す。   Heretofore, the case has been described in which the voltage drop at the measurement target location of the measurement target 1 when the current is supplied to the measurement target 1 is measured to obtain the IV characteristic. However, contrary to this, an IV characteristic may be obtained by applying a voltage to the measurement target portion of the measurement target 1 and measuring the current flowing to the measurement target 1 at that time. A configuration example of the current-voltage characteristic measuring device 2 at such a time is shown in FIG.

図9において、図1と異なる点は、電源装置20が電圧供給源であり、時系列電圧パルス信号を測定対象部1に出力すること、図1の電圧測定部21を電流測定部21とし、時系列電圧パルス信号を印加した測定対象物1に流れる電流を時系列応答電流パルス信号として測定すること、電流測定部21と測定対象物1との間の結線は測定対象物1の測定部位Kに流れる電流を計測できるように結線されていることである。なお、電流測定部21と図1に示す電圧測定部21とを同じ符号としたのは、それぞれは、上位概念である応答信号測定部21としてまとめることができるからである。 9, the difference from FIG. 1 is that the power supply device 20 is a voltage supply source, and outputs a time-series voltage pulse signal to the measurement target unit 1, and the voltage measurement unit 21 of FIG. Measuring the current flowing to the measurement object 1 to which the time-series voltage pulse signal is applied as a time-series response current pulse signal, the connection between the current measurement unit 21 and the measurement object 1 is the measurement site K of the measurement object 1 It is wired so that the current flowing to 1 can be measured. The current measurement unit 21 and the voltage measurement unit 21 illustrated in FIG. 1 have the same reference numerals because they can be combined as a response signal measurement unit 21 that is the upper concept.

測定対象物1に電圧を印加してI−V特性を測定するのは、通常は、電気抵抗K、Kの抵抗が測定部位Kの抵抗に比べて無視できる場合である。そのような場合には、測定対象物1に印加した電圧は、そのまま測定部位Kの電圧降下に等しくなる。そのため、測定部位Kの電圧降下値を測定しなくても、電源装置20の出力した時系列電圧パルス信号の各パルス波高値を設定・解析部22に電圧値として送信することができる。電流測定部21から設定解析出力されるデータは正味の電流パルス波高値である。 The voltage is applied to the object to be measured 1 to measure the I-V characteristic, in general, when the resistances of the electrical resistances K 2 and K 3 can be neglected as compared with the resistance of the measurement site K 1 . In such a case, the voltage applied to the measuring object 1 is equal to it a voltage drop across the measurement site K 1. Therefore, even without measuring the voltage drop value of the measurement site K 1, it can be transmitted as a voltage value to the setting and analysis unit 22 each pulse height of the time-series voltage pulse signal output by the power supply 20. The data set analysis output from the current measurement unit 21 is a net current pulse peak value.

図9に示す構成の装置に対しては、以上を前提として、図1に関する説明を、電流と電圧を入れ替えて読めば、図1に関する説明がそのまま成り立つ。変形例を含む効果についてもこれまでの説明と同様に成立する。従って、図9に示す電源装置20は、隣り合うパルスにより測定対象物1に発生するジュール熱を平均すると時間に依らず略一定になるような時系列電圧パルス信号を出力できる。このような電源装置20を備えた電流−電圧特性測定装置によれば、I−V特性の測定過程での測定対象物1での温度変動は無視できるようになるため、高精度でのI−V特性の測定が可能となる。   With respect to the apparatus having the configuration shown in FIG. 9, on the premise of the above, if the description regarding FIG. 1 is read by replacing the current and the voltage, the description regarding FIG. The same applies to the effects described above including the modified example. Therefore, the power supply device 20 shown in FIG. 9 can output a time-series voltage pulse signal that becomes substantially constant regardless of time when Joule heat generated in the measurement object 1 by adjacent pulses is averaged. According to the current-voltage characteristic measuring apparatus provided with such a power supply device 20, since the temperature fluctuation in the measuring object 1 in the process of measuring the IV characteristic can be ignored, I-- with high accuracy. It becomes possible to measure V characteristics.

なお、I−V特性の測定において電圧を入力して電流を測定するという場合でも、図9に示す応答信号測定部21又は別途備える電圧測定部により測定部位Kの両端間の電圧を測定できる場合は、その電圧測定結果を解析部221に入力することにより、測定部位Kの抵抗値に依らず、測定対象物1のI−V特性を高精度に測定することができる。 Even in the case of measuring a current by inputting a voltage in the measurement of IV characteristics, the voltage across the measurement site K 1 can be measured by the response signal measuring unit 21 shown in FIG. 9 or a voltage measuring unit separately provided. If, by inputting the voltage measurements in the analysis unit 221, regardless of the resistance value of the measurement site K 1, the the I-V characteristic of the measuring object 1 can be measured with high accuracy.

電源装置20の出力は、図1では時系列電流パルス信号であり、図9では時系列電圧パルス信号である。これらを総称して、図1、図9に示すように、時系列パルス信号と言うことができる。また、図1の電圧測定部21及び図9の電流測定部21は総称して応答信号測定部21ということができるということは既に説明したが、電圧測定部21の時系列応答電圧パルス信号、及び電流測定部21の時系列応答電流パルス信号は総称して時系列応答パルス信号と言うことができる。   The output of the power supply device 20 is a time-series current pulse signal in FIG. 1 and a time-series voltage pulse signal in FIG. These can be generically referred to as time-series pulse signals as shown in FIG. 1 and FIG. Further, although it has already been described that the voltage measurement unit 21 of FIG. 1 and the current measurement unit 21 of FIG. 9 can be collectively referred to as the response signal measurement unit 21, time series response voltage pulse signals of the voltage measurement unit 21, The time-series response current pulse signals of the current measurement unit 21 can be collectively referred to as time-series response pulse signals.

1 測定対象物
2 電流−電圧特性測定装置
20 電源装置
21 応答信号測定部(電圧測定部、電流測定部)
22 設定・解析部
23 表示部
200 2関数時系列パルスパターン記憶部
201 最大振幅設定部
202 時系列信号生成・出力部
220 2関数時系列パルスパターン設定部
221 解析部
300 中央演算装置(CPU)
310 内部メモリ
320 外部メモリ
330 入力部
340 出力部
350 バスライン
測定部位(電気抵抗)
、K 電気抵抗
1 measurement object 2 current-voltage characteristic measuring device 20 power supply device 21 response signal measuring unit (voltage measuring unit, current measuring unit)
22 setting / analysis unit 23 display unit 200 2 function time series pulse pattern storage unit 201 maximum amplitude setting unit 202 time series signal generation / output unit 220 2 function time series pulse pattern setting unit 221 analysis unit 300 central processing unit (CPU)
310 internal memory 320 external memory 330 input section 340 output section 350 bus line K 1 measurement site (electrical resistance)
K 2, K 3 electrical resistance

Claims (7)

電流又は電圧の2系列の時系列パルス信号を出力する電源装置であって、
時間tに対して、F(t)とG(t)とは、それぞれの2乗の和が一定値になる条件を満たす関数であり、
tを、0を含む予め定められた範囲の連続する自然数をi、測定開始時間をt 、予め設定された時間幅をΔtとした場合の2i =t +Δt×2i及びt2i+1 =t +Δt×(2i+1)としたとき、
前記2系列の時系列パルス信号のうち、第1系列の時系列パルス信号のパルス波高値の絶対値はF(t2i)の絶対値と等しい値であり、前記第1系列の時系列パルス信号の各パルスと隣り合う第2系列の時系列パルス信号のパルスの波高値の絶対値はG(t2i+1)の絶対値と等しい値であり、
前記Δtは、F(t2i)の2乗とG(t2i+1)の2乗との和と、前記一定値との差が、前記iの値に依らず、予め設定された許容誤差以下になるように予め設定された値である、
ことを特徴とする電源装置。
What is claimed is: 1. A power supply device for outputting two series of time-series pulse signals of current or voltage, comprising:
For time t, F (t) and G (t) are functions satisfying the condition that the sum of the respective squares becomes a constant value,
Let t be a continuous natural number in a predetermined range including 0, i be a measurement start time to be t 0 , and a predetermined time width be Δt. t 2i = t 0 + Δt × 2i and t 2i + 1 = t When 0 + Δt × (2i + 1) ,
Of the two series of time series pulse signals, the absolute value of the pulse peak value of the first series of time series pulse signals is equal to the absolute value of F (t 2i ), and the first series of time series pulse signals The absolute value of the pulse height value of the pulse of the second series of time-series pulse signals adjacent to each of the pulses in the above is equal to the absolute value of G (t 2i + 1 ),
The difference between the sum of the square of F ( t2i ) and the square of G ( t2i + 1 ) and the constant value does not depend on the value of i, and? The value is preset to be
A power supply device characterized by
F(t)は余弦関数であり、G(t)はF(t)と同一周期、同一振幅及び同一位相の正弦関数である、
ことを特徴とする請求項1に記載の電源装置。
F (t) is a cosine function, and G (t) is a sine function having the same period, the same amplitude, and the same phase as F (t),
The power supply device according to claim 1, characterized in that:
F(t)は、周期Tを有し、時間T/2で0となる直線状の関数で、G(t)は、T/2に中心を有し、時間tを示す方向の軸長がTで、G(t)の値を示す方向の軸長がF(0)と等しい値である楕円を表す式の正又は負の一方を表す関数である、
ことを特徴とする請求項1に記載の電源装置。
F (t) is a linear function that has a period T and becomes 0 at time T / 2, and G (t) has a center at T / 2 and an axial length in the direction indicating time t T is a function representing either positive or negative of an equation representing an ellipse whose axis length in the direction indicating the value of G (t) is equal to F (0),
The power supply device according to claim 1, characterized in that:
G’(t)=G(t−Δt)として、
前記第2系列の時系列パルス信号のパルス波高値の絶対値はG’(t2i+1)の絶対値と等しい値である、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電源装置。
As G ′ (t) = G (t−Δt),
The absolute value of the pulse peak value of the second series of time-series pulse signals is a value equal to the absolute value of G ′ (t 2i + 1 ),
The power supply device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that.
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電源装置と、
前記時系列パルス信号を測定対象物のI−V特性の測定対象箇所に入力したときの該測定対象箇所での電圧降下又は電流を、時系列応答パルス信号として、前記時系列パルス信号に同期して測定し、前記時系列応答パルス信号の各パルスの正味の波高値を出力する応答信号測定部と、
を備えることを特徴とする電流−電圧特性測定装置。
The power supply device according to any one of claims 1 to 4.
The voltage drop or current at the measurement target point when the time-series pulse signal is input to the measurement target point of the IV characteristic of the measurement object is synchronized with the time-series pulse signal as a time-series response pulse signal A response signal measurement unit that measures and outputs the net peak value of each pulse of the time-series response pulse signal;
A current-voltage characteristic measuring apparatus comprising:
前記電源装置は請求項2に記載の電源装置であり、
予め設定された期間の、前記第1系列の時系列パルス信号の各パルスの波高値である第1の情報と、前記第2系列の時系列パルス信号の各パルスの波高値である第2の情報とを入力し、該入力した前記第1の情報及び前記第2の情報に基づき、フーリエ解析を行うことにより、前記測定対象箇所の電流−電圧特性に関する情報を取得する解析部、
を備えることを特徴とする請求項5に記載の電流−電圧特性測定装置。
The power supply device is the power supply device according to claim 2;
The preset period, the first information the a peak value of each pulse of the time series pulse signal of the first series, second is the peak value of each pulse of the time-based Retsupa pulse signal of the second series inputs the second information, based on the first information and the second information to the input, by performing a Fourier analysis, the position to be measured of the current - analysis unit to obtain information about voltage characteristics,
The current-voltage characteristic measurement device according to claim 5, comprising:
前記電源装置は請求項2に記載の電源装置であり、  The power supply device is the power supply device according to claim 2;
予め設定された期間の、前記第1系列の時系列パルス信号の各パルスの波高値である第1の情報と、前記第2系列の時系列パルス信号の各パルスの波高値である第2の情報とを入力し、該入力した前記第1の情報及び前記第2の情報に対応して測定される前記時系列応答パルス信号に基づき、フーリエ解析を行うことにより、前記測定対象箇所の電流−電圧特性に関する情報を取得する解析部、  A first information which is a peak value of each pulse of the first series of time-series pulse signals in a preset period, and a second value which is a peak value of each pulse of the second series of time-series pulse signal Information is input, and Fourier analysis is performed on the basis of the input first information and the time-series response pulse signal measured corresponding to the second information, thereby current of the measurement target point Analysis unit to obtain information on voltage characteristics,
を備えることを特徴とする請求項5に記載の電流−電圧特性測定装置。  The current-voltage characteristic measurement device according to claim 5, comprising:
JP2015070313A 2015-03-30 2015-03-30 Power supply device and current-voltage characteristic measuring apparatus Active JP6545503B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015070313A JP6545503B2 (en) 2015-03-30 2015-03-30 Power supply device and current-voltage characteristic measuring apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015070313A JP6545503B2 (en) 2015-03-30 2015-03-30 Power supply device and current-voltage characteristic measuring apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016191560A JP2016191560A (en) 2016-11-10
JP6545503B2 true JP6545503B2 (en) 2019-07-17

Family

ID=57246519

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015070313A Active JP6545503B2 (en) 2015-03-30 2015-03-30 Power supply device and current-voltage characteristic measuring apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6545503B2 (en)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54154279A (en) * 1978-05-26 1979-12-05 Toshiba Corp Test equipment for semiconductor element
JPH06102310A (en) * 1992-09-17 1994-04-15 Canon Inc Method and device for measuring current-voltage characteristics
JP2000251662A (en) * 1999-02-25 2000-09-14 Canon Inc Method for manufacturing electron-emitting device, method for manufacturing electron source having said device, and activation device therefor
JP2005294449A (en) * 2004-03-31 2005-10-20 Sharp Corp Semiconductor device inspection method and inspection apparatus
JP6131601B2 (en) * 2013-01-09 2017-05-24 株式会社デンソー Magnetic sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016191560A (en) 2016-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2620542T3 (en) Measurement resistance and corresponding measurement procedure
CN101490573B (en) High accuracy in-situ resistance measurements methods
CN105987774B (en) Thermocouple wire tests circuit
Shu et al. Method of thermocouples self verification on operation place
EP2656034B1 (en) Core temperature sensor
JP6202580B2 (en) Thermophysical property measuring method and thermophysical property measuring device
EP3475671B1 (en) Load cell having compensation of temperature differences
JPH02136754A (en) Method and apparatus for measuring fine electrical signal
JP6545503B2 (en) Power supply device and current-voltage characteristic measuring apparatus
DE102013002598A1 (en) Deviation compensation for flow sensor elements
CN102809443A (en) Method and circuit for measuring temperature
JP6767731B2 (en) Overheat detection system Systems and methods for event sites
EP3594669A1 (en) Thermal analysis of semiconductor devices
JP2009079990A (en) Resistance measuring device and resistance measuring method
RU2269750C2 (en) Method of thermoresistant temperature measurement
JPWO2017169462A1 (en) Thermophysical property measuring method and thermophysical property measuring device
JP7033292B2 (en) Thermoelectric property measuring device and thermoelectric property measuring method
Paseltiner et al. Design, construction, and calibration of a temperature monitoring system for resistance standards
JP2019120531A (en) Thermophysical property measuring apparatus and thermophysical property measuring method
KR101717661B1 (en) Temperature rising test apparatus of deverged circuit
Ali Comparison between two different designs in the AC voltage measurement
JP2014215048A (en) Power supply device and test device using the same
UA115931U (en) THERMOELECTRICAL CONVERTER WITH THE POSITION OF ERROR IMITATION
KR102809017B1 (en) Method for Calibrating Temperature Measuring Data in the Long Distant Fire Test Fields
Ebert Verification of temperature uniformity in a thermal calibration bath

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180328

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20180328

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190115

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190129

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190329

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190521

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190619

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6545503

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250