JP6549738B2 - Autoclave unit capable of degassing in multiple stages - Google Patents
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Description
本発明は、多段で脱泡が可能なオートクレーブ装置に関するものであり、より詳細には、基板製品の加熱および加圧時間の短縮と加圧時に内部に形成される圧力部爆発の危険性を最小限に抑えながら、生産性を倍化したオートクレーブ装置に関するものである。 The present invention relates to an autoclave apparatus capable of degassing in multiple stages, and more specifically, shortening the heating and pressurizing time of a substrate product and minimizing the risk of pressure section explosion internally formed at the time of pressurization. The present invention relates to an autoclave apparatus which doubles productivity while keeping the limit.
一般的に、フラットパネルディスプレイ（LCD：Liquid Crystal Display）には、特性上偏光フィルムが付着される。 In general, a polarizing film is attached to a flat panel display (LCD: Liquid Crystal Display).
通常、偏光フィルムを付着した後、偏光フィルムと基板との間に発生する気泡を除去する作業が行われるが、これらの操作はオートクレーブ（Autoclave）と呼ばれる措置で気泡を除去することになる。 Usually, after the polarizing film is attached, an operation to remove air bubbles generated between the polarizing film and the substrate is performed, but these operations are to remove the air bubbles by a procedure called an autoclave.
ここで、偏光フィルムが付着されたLCD基板を一度に大量に処理するために、支持板にLCD基板を積層させて密閉構造を有する圧力部に搬入させて、一定時間高温、高圧を維持することによってLCD基板と偏光フィルムとの間の気泡を削除する方法を主に用いている。 Here, in order to process a large amount of the LCD substrate to which the polarizing film is attached at a time, the LCD substrate is stacked on a support plate and carried into a pressure unit having a sealed structure to maintain high temperature and high pressure for a certain time. Mainly uses the method of removing air bubbles between the LCD substrate and the polarizing film.
既存のフラットパネルディスプレイが小型サイズのときは、偏光フィルムを付着した後、気泡が発生したもののみを選別してオフラインのオートクレーブ装置で気泡を除去する作業を行ってきた。最近のフラットパネルディスプレイは、大型化の傾向にあり、サイズがますます大きくなっている状況で、偏光フィルムを付着すると、気泡が頻繁に発生して気泡を除去するために、フラットパネルディスプレイのほぼ全量をオートクレーブと呼ばれる装置で気泡を除去する工程を経ることになる。しかし従来の方式を用いると、関連装置の大型化や積層させる支持板の管理および装備の大型化、不必要な積層工程などの追加が必要になり、それに応じて製作費用および設置スペース、管理要素の増加などさまざまな部分で非効率的な問題が発生することになった。 When the size of the existing flat panel display is small, after attaching the polarizing film, only the one where the air bubbles are generated is sorted out and the air bubble is removed by the off-line autoclave apparatus. Recent flat panel displays tend to be larger, and when the polarizing film is attached under the situation where the size is getting larger, the air bubbles are generated frequently to remove the air bubbles, so that almost the flat panel display The entire process goes through a process of removing air bubbles with an apparatus called an autoclave. However, the use of the conventional method requires upsizing of related devices, management of support plates to be stacked, and upsizing of equipments, addition of unnecessary laminating steps, etc., accordingly, manufacturing cost, installation space, and control elements Inefficiencies have arisen in various parts such as the increase of
従来から、特許文献１：「オートクレーブ装置」と、特許文献２「オートクレーブ装置」および特許文献３：「オートクレーブ装置」が開示されているが、前記した問題点に対する改善すべき事項が極めて顕著で、それで本出願人は、前記した問題点に対して特許文献４：「脱泡オートクレーブ装置及びその動作方法」として登録を受け、本出願人が使用する際において、前記登録特許での作業の安全性と生産性を最大化させて補完した技術である。 Conventionally, Patent Document 1: "Autoclave apparatus" and Patent Document 2 "Autoclave apparatus" and Patent Document 3: "Autoclave apparatus" have been disclosed. However, matters to be improved with respect to the above-mentioned problems are extremely remarkable, Therefore, the applicant has been registered as Patent Document 4: "Defoaming autoclave apparatus and its operating method" for the above-mentioned problems, and the safety of the work in the above-mentioned patent when used by the applicant. And technology that maximizes and complements productivity.
したがって、本発明は、前記した従来技術の問題点を解決するために案出したものであり、加熱、加圧時間および生産性を向上させるために基板を固定する製品固定部を多段に構成し、多段に構成することによる各製品固定部に対するヒーター、温度制御用センサーおよび電源供給装置の構造と動作を簡単でありながらも、効果を最大にした多段で脱泡が可能なオートクレーブ装置を提供することに主眼を置いて、その技術的課題に対して創案したものである。 Therefore, the present invention is devised to solve the problems of the prior art described above, and the product fixing portion for fixing the substrate is constructed in multiple stages in order to improve the heating and pressing time and the productivity. To provide an autoclave device capable of degassing in multiple stages with maximum effects while simplifying the structure and operation of the heater, temperature control sensor and power supply device for each product fixing part by configuring in multiple stages. With a particular focus on the subject, it has been devised for the technical issues.
前記した課題を達成するための本発明によると、上部本体と、下部本体と、前記上部本体と下部本体を固定する締結具と、基板製品を固定させて前記上部本体と下部本体の間に形成される中空部に移送レールに乗って搬入及び搬出される基板製品を固定する固定部には、貫通孔と前記固定部の外周にはパッキンを固定するパッキン固定溝とエア管路およびエア管路接続端子が設けられた製品固定部と、前記製品固定部を上部本体の下面に上昇させて接触させるシリンダーおよび、前記製品固定部の作動を制御する制御部からなるオートクレーブ装置において、前記製品固定部は、第１製品固定部と第２製品固定部にそれぞれ区別して多段に構成し、前記第１、第２製品固定部の内部には、ヒーターと温度制御用センサーをそれぞれ設け、前記下部本体と、第１製品固定部の間には、前記第１製品固定部のヒーターと温度制御用センサーに電源を供給する第１電源供給装置を設け、前記第２製品固定部の一側には前記第２製品固定部のヒーターと温度制御用センサーに電源を供給する第２電源供給装置を設けることを特徴とする多段で脱泡が可能なオートクレーブ装置を提供することにより、その課題を解決する。 According to the present invention for achieving the above object, an upper body, a lower body, a fastener for fixing the upper body and the lower body, and a substrate product are fixed and formed between the upper body and the lower body. In the fixing portion for fixing the substrate product carried in and out on the transfer rail in the hollow portion, the through hole and the packing fixing groove for fixing the packing on the outer periphery of the fixing portion, the air passage and the air passage An autoclave apparatus comprising: a product fixing portion provided with a connection terminal, a cylinder for bringing the product fixing portion into contact with the lower surface of the upper main body, and controlling the operation of the product fixing portion; The first product fixing portion and the second product fixing portion are respectively divided into multiple stages, and a heater and a temperature control sensor are provided in the first and second product fixing portions, respectively. A first power supply device for supplying power to the heater of the first product fixing portion and the sensor for temperature control is provided between the main unit body and the first product fixing portion, and one side of the second product fixing portion is provided. The present invention solves the problem by providing an autoclave device capable of degassing in multiple stages, characterized by providing a second power supply device for supplying power to the heater of the second product fixing portion and the sensor for temperature control. Do.
本発明に係る多段で脱泡が可能なオートクレーブ装置によると、基板製品を固定する製品固定部を多段に構成して多段に設けられた製品固定部に固定させた基板製品それぞれに同一な加熱と同一な加圧が行われるようにして、生産性を最大にし、前記多段の製品固定部に加熱、加圧に対する構造と構成要素を簡単にし、構造と構成要素を簡単にすることにより、製品のコストを削減する効果が発生し、使用者にとって購入のための負担を格段に減らすなど、多くの効果がある発明といえる。 According to the autoclave device capable of degassing in multiple stages according to the present invention, the product fixing portion for fixing the substrate product is configured in multiple stages, and the same heating and the same heating are respectively applied to the substrate fixing portions provided in multiple stages. The same pressurization is performed to maximize productivity, simplify the structure and components against heating and pressurization to the multi-stage product fixing part, simplify the structure and components, and so on. This is an invention that has many effects, such as cost reduction and a significant reduction in the burden for purchasing for the user.
本発明の多段で脱泡が可能なオートクレーブ装置について説明する。 The multistage degassing autoclave apparatus of the present invention will be described.
本発明のオートクレーブ装置１０は、上部本体１００と、下部本体２００と、前記上部本体と下部本体を固定する締結具３００と、基板製品を固定する製品固定部からなるオートクレーブ装置において、前記製品固定部は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０にそれぞれ区別して多段に構成し、前記第１製品固定部４１０に設けられているパッキン（p）が、第２固定部４２０の下部に接触し、前記第２製品固定部４２０に設けられているパッキン（p）が上部本体１００の下部に接触して、前記第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０の固定部４１１、４２１内部を密閉する。
An
本発明の他の実施例１を説明すると、上部本体１００と、下部本体２００と、前記上部本体と下部本体を固定する締結具３００と、基板製品を固定する製品固定部からなるオートクレーブ装置において、前記製品固定部は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０に、それぞれ区別して多段に構成し、第２製品固定部４２０の両側下部面と接触する第１製品固定部４１０の両側と、上部本体１００の下部面と接触する第２製品固定部４２０の両側には、それぞれスプリング４１２s、４２２s、またはシリンダー４１２c、４２２cを設けて、前記第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０を上昇させる。
Another embodiment 1 of the present invention will be described in an autoclave apparatus comprising an upper
上部本体１００と、下部本体２００と、前記上部本体と下部本体を固定する締結具３００と、基板製品を固定する製品固定部からなるオートクレーブ装置において、前記製品固定部は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０に、それぞれ区別されて多段に構成し、前記第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０の固定部４１１、４２１の内部には、ヒーター４１３、４２３と温度制御用センサーをそれぞれ設けて、前記下部本体２００と、第１製品固定部４１０との間には、前記第１製品固定部４１０のヒーター４１３と温度制御用センサーに電源を供給する第１電源供給装置４１７を設け、前記第２製品固定部４２０の一側には前記第２製品固定部４２０のヒーター４２３と温度制御用センサーに電源を供給する第２電源供給装置４２７を設ける。
In the autoclave apparatus including an
本発明の他の実施例２を説明すると、上部本体１００と、下部本体２００と、前記上部本体と下部本体を固定する締結具３００と、基板製品を固定する製品固定部からなるオートクレーブ装置において、前記製品固定部は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０に、それぞれ区別して多段に構成し、第２製品固定部４２０の固定部４２１の内部には、ヒーター４２３と温度制御用センサーを設けて、前記第２製品固定部４２０の一側に前記第２製品固定部４２０のヒーター４２３と温度制御用センサーに電源を供給する第２電源供給装置４２７を設ける。
Another embodiment 2 of the present invention will be described in an autoclave apparatus including an upper
本発明の他の実施例３を説明すると、上部本体１００と、下部本体２００と、前記上部本体と下部本体を固定する締結具３００と、基板製品を固定する製品固定部からなるオートクレーブ装置において、前記製品固定部は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０に、それぞれ区別して多段に構成し、前記下部本体２００と第１製品固定部４１０との間には、ヒーター２３０と温度制御用センサーを電源と接続させて設ける。
Another embodiment 3 of the present invention will be described in an autoclave apparatus comprising an
前記第１製品固定部４１０または第２製品固定部４２０のそれぞれの固定部４１１、４２１に設けるヒーター４１３、４２３に電源を供給する第１電源供給装置４１７または第２電源供給装置４２７は、接触式電源供給装置またはケーブルベア（登録商標）を用いることができる。
The first
前記下部本体２００と、第１製品固定部４１０との間には、前記第１製品固定部４１０のたるみを防止する一つ以上多数個の台座２１０を設ける。
Between the lower
前記下部本体２００と、第１製品固定部４１０との間には、前記第１製品固定部４１０のたるみを防止する一つ以上多数個のカム２２０を設ける。
Between the lower
前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０のそれぞれには、基板製品を支持する支持台を多数設ける。
A plurality of supports for supporting a substrate product are provided on each of the first
前記第２製品固定部４２０の上側に多数個の製品固定部を多段に構成することができる。
A plurality of product fixing parts may be configured in multiple stages above the second
前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０には、第１電源供給装置４１７を通じて前記第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０に電源を供給する電源延長部材４１9、４２９をそれぞれ設ける。
The first
前記下部本体２００と、第１製品固定部４１０との間には、前記第１製品固定部４１０を上側に上昇させるシリンダー（c）を設ける。
Between the lower
前記第１製品固定部４１０または第２製品固定部４２０の動作を制御する制御部が含まれる。
A control unit is included to control the operation of the first
前記第２製品固定部４２０のヒーター４２３、温度制御用センサー及び第２電源供給装置４２７は、使用によって、第１製品固定部４１０にヒーター４１３、温度制御用センサー及び第１電源供給装置４１７を適用して用いることができる。
The
前記第１製品固定部４１０または第２製品固定部４２０または第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０には、基板製品を固定する固定部に１つ以上の多数の貫通孔が形成されている。
In the first
前記オートクレーブ装置１０では、第１製品固定部４１０または第２製品固定部４２０に圧力を供給する圧力供給部が一つに構成され、または前記第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０それぞれが連結して構成される。
In the
前記した本発明の名称に対して、図１〜図8を参考に、より詳細に説明する。 The above-mentioned names of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS.
以下で説明しようとする本発明のオートクレーブ装置１０は、本出願人が出願して登録を受けた登録特許10-1207091号「脱泡用オートクレーブ装置及びその動作方法」において、製品固定部を多段に構成して基板製品に対する加熱、加圧作業時に、より簡単かつ効率的であり、加えて生産性を向上させることができるように補完したものである。
The
それで、本発明の重要な構成要素に対して説明し、一般的に使用される構成要素に対しては、簡単に説明する。 Thus, the important components of the present invention will be described, and commonly used components will be briefly described.
図１〜図7を参考に説明する。 Description will be made with reference to FIGS. 1 to 7.
[実施例]
まず、本発明のオートクレーブ装置１０は、上部本体１００、下部本体２００、締結具３００、製品固定部に大分して構成され、それぞれの連結および詳細な構造に対しては、本願出願人が出願した内容が基になっているので図の添付により詳細な説明は省略する。
[Example]
First, the
そこで、本発明の核心要素を説明すると、前記製品固定部は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０に、それぞれ区別して多段に構成する。
Thus, the core components of the present invention will be described. The product fixing portion is configured in a multi-step manner, separately for the first
ここで、前記第１製品固定部４１０に設けるパッキン（p）を第２固定部４２０の下部に接触させ、前記第２製品固定部４２０に設けるパッキン（p）を上部本体１００の下部に接触させ、前記第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０の固定部４１１、４２１の内部を密閉させた。
Here, the packing (p) provided in the first
前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０に対して加圧時に、順次に下部から上部に接触をなすようにして多数個構成される製品固定部に対しても、製品の加圧に対する問題点が発生しないように加圧することができるようにし、加えて、生産性の向上と作業空間の効率を最大にした。
When pressing the first
前記した本発明のオートクレーブ装置１０の他の実施例を説明する。
Another embodiment of the above-described
[他の実施例１]
上部本体１００と、下部本体２００と、前記上部本体と下部本体を固定する締結具３００と、基板製品を固定する製品固定部からなるオートクレーブ装置において、前記製品固定部は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０にそれぞれ区別して多段に構成する。
Another Embodiment 1
In the autoclave apparatus including an
前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０には、前記第２製品固定部４２０の両側下部面と接触する第１製品固定部４１０の両側と、上部本体１００の下部面と接触する第２製品固定部４２０の両側には、それぞれスプリング４１２s、４２２s、またはシリンダー４１２c、４２２cを設けて、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０に加圧時、前記第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０が加圧力に対する緩衝作用が可能なようにして、第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０の耐久性を向上させた。
The first
[他の実施例２]
本発明では、前記製品固定部を、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０にそれぞれ区分し、区分した第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０は、多段に構成するようにした。
Another Embodiment 2
In the present invention, the product fixing portion is divided into a first
前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０は、上部本体１００と下部本体２００との間に形成される中空部に、移送レールに乗って搬入及び搬出される。
The first
前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０の基板製品を固定する固定部４１１、４２１の内部には、ヒーター４１３、４２３と温度制御用センサーをそれぞれ設ける。
前記の各ヒーター４１３、４２３は、基板製品に対する加熱作業の構成要素であり、温度制御用センサーは、前記ヒーター４１３、４２３によって発生する熱の温度を制御するためのものである。
The
前記下部本体２００と、第１製品固定部４１０との間には、前記第１製品固定部４１０のヒーター４１３と温度制御用センサーに電源を供給する第１電源供給装置４１７を設ける。
Between the lower
前記第１電源供給装置４１７は、外部から第１製品固定部４１０のヒーター４１３と温度制御用センサーに電源を供給し、これには一般的に用いられる接触式電源供給装置を適用した。
The
前記接触式電源供給装置は、第１製品固定部４１０が加圧によって上昇、下降時に別途に上昇、下降する部材を用い上昇、下降して接触をするようにして電源を供給するようにした。
In the contact type power supply device, the first
また、使用によっては接触式電源供給装置の代わりに、ケーブルベア（登録商標）を適用して用いることもできる。 Also, depending on the use, a cable bear (registered trademark) can be applied and used instead of the contact type power supply device.
前記第２製品固定部４２０の一側には、前記第２製品固定部４２０のヒーター４２３と温度制御用センサーに電源を供給する第２電源供給装置４２７を設けて、前記第２電源供給装置４２７は、第２製品固定部４２０の一側に連結して設けられ、図示された実施形態では、図に示したように、前記第２製品固定部４２０の側面部に位置させたが、前記した第２電源供給装置４２７の位置は、図や説明によって限定されない。
A second
前記第２電源供給装置４２７は、第１電源供給装置４１７と同様に接触式電源供給装置またはケーブルベア（登録商標）を用いることができる。それに対する説明は、上で説明したので省略する。
Similar to the
[他の実施例３]
以下では、前記した実施例の構成要素の中で下部本体２００の内部に別途のヒーターと温度制御用センサーが設けられていて、第１製品固定部４１０には、別途のヒーター４１３と温度制御用センサーを設けない例に対して説明する。
Another Embodiment 3
In the following, among the components of the embodiment described above, a separate heater and a sensor for temperature control are provided inside the lower
ここで、オートクレーブ装置１０のほとんどの構成要素は、前記と同一である。
Here, most of the components of the
本発明の他の実施例では、前記の製品固定部を、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０にそれぞれ区分し、区分された第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０は、多段に構成するようにした。
In another embodiment of the present invention, the product fixing unit is divided into a first
前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０は、上部本体１００と下部本体２００との間に形成される中空部で、移送レールに乗って搬入および搬出される。
The first
前記第２製品固定部４２０の基板製品を固定する固定部４２１の内部には、ヒーター４２３と、温度制御用センサーが設けられている。
A
前記ヒーター４２３は、基板製品の加熱処理のための構成要素であり、温度制御用センサーは、前記ヒーター４２３によって発生する熱の温度を制御するためのものである。
The
前記第１製品固定部４１０には、別途のヒーターと温度制御用センサーを設けず、第２製品固定部４２０に設けられるヒーター４２３と、温度制御用センサーに対する詳細な説明は、前記した実施例の説明と同一である。
The first
[他の実施例４]
以下では、前記した他の実施例１の構成要素の中で下部本体２００と、第１製品固定部４１０との間に別途のヒーターと温度制御用センサーが設けられていて、第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０には、別途のヒーター４１３と温度制御用センサーが設けられていない例に対して説明する。
Another Embodiment 4
In the following, a separate heater and a temperature control sensor are provided between the lower
ここで、オートクレーブ装置１０のほとんどの構成要素は、前記と同一である。
Here, most of the components of the
前記製品固定部は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０に、それぞれ区別して多段に構成し、前記下部本体２００と第１製品固定部４１０との間には、ヒーター２３０と温度制御用センサーを電源に接続して設ける。
The product fixing unit is configured in a multi-stage to distinguish between the first
前記したヒーター２３０は、別途の電源に接続し電源の供給によって前記ヒーター２３０が動作し、熱を発散することになる。
The
前記ヒーター２３０から発散される熱は、第１製品固定部４１０を経て、第２製品固定部４２０まで発散することになる。
The heat dissipated from the
ここで、発散される熱気は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０の固定部４１１、４２１に形成された貫通孔を通じて伝達される。
Here, the emitted hot air is transmitted through the through holes formed in the fixing
以下は、前記した実施例と他の実施例に共通して適用され、前記下部本体２００と、第１製品固定部４１０との間には、前記第１製品固定部４１０のたるみを防止する一つ以上の多数個の台座２１０を設けるか、又は一つ以上のカム２２０を設ける。
The following is commonly applied to the above-described embodiment and the other embodiments, and prevents the slack of the first
前記した台座２１０またはカム２２０の構成は、基板製品に対する加圧処理をするにおいて、加圧力によって、シリンダー（c）が位置した部分を除いた部分に対しては、たるみ現象が発生するようになるが、これを支持するために、台座２１０は、一般的に用いられるものであり、カム２２０の場合には、別途のシリンダーを用いて、円筒形の部分が第１製品固定部４１０の下面を支持するようにしたものであり、前記カム２２０は、本出願人が出願して登録された特許から、本発明に適用したものである。
In the above-described configuration of the
前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０のそれぞれには、基板製品を支持する支持台を多数個設けて、前記支持台は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０の固定部４１１、４２１に固定する基板製品が下部に離脱することを防止するためのものであり、前記支持台は、前記固定部４１１、４２１から一定間隔離隔して位置するように設けることもできる。
A plurality of supports for supporting a substrate product are provided on each of the first
前記第２製品固定部４２０の上側に多数個の製品固定部を多段に構成することができるが、本発明では、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０の２段に構成したが、使用によっては、多数個を多段に構成した後、第２製品固定部４２０の構成要素を適用して使用できるようにした。
Although a large number of product fixing portions can be configured in multiple stages above the second
図7を参考に説明すると、前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０には、第１電源供給装置４１７を通じて前記第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０に電源を供給する電源延長部材４１９、４２９をそれぞれ設ける。これに対して説明すると、第１電源供給装置４１７を通じて電源を供給し、１次的に第１製品固定部４１０の電源延長部材４１９に電源を供給して、第１製品固定部４１０からヒーター４１３と温度制御用センサーに電源を供給し、前記第１製品固定部４１０の電源延長部材４１９は、第２製品固定部４２０の電源延長部材４２９と接触するようになり、第２製品固定部４２０のヒーター４２３と温度制御用センサーに電源を供給することになる。
Referring to FIG. 7, power is supplied to the first
前記下部本体２００と、第１製品固定部４１０との間には、前記第１製品固定部４１０を上側に上昇させるシリンダー（c）を設けて、前記シリンダー（c）は、基板製品に対する加圧作業を進めることができるよう、第１製品固定部４１０の固定部を密閉するために、前記第１製品固定部４１０を上昇させて上側の第２製品固定部４２０に接触させる。
A cylinder (c) for raising the first
さらに、前記第１製品固定部４１０の外周に形成されたパッキン固定溝にパッキンをはめることを円滑にすることもできる。
Further, the packing can be smoothly fitted in the packing fixing groove formed on the outer periphery of the first
前記第１製品固定部４１０または第２製品固定部４２０の動作を制御する制御部が含まれるが、前記制御部は、第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０の搬入及び搬出とともにオートオートクレーブ装置１０の全体的な制御をするためである。
Although a control unit for controlling the operation of the first
前記第２製品固定部４２０のヒーター４２３、温度制御用センサー及び第２電源供給装置４２７は、場合に応じて、第１製品固定部４１０にヒーター４１３、温度制御用センサー及び第１電源供給装置４１７を適用して使用することができ、これは第１製品固定部４１０または第２製品固定部４２０のうち、オートクレーブ装置１０の使用、および上部本体または下部本体にヒーター、温度制御用センサーおよび電源供給装置を設ける位置によって可変して適用させることができる。
The
前記第１製品固定部４１０または第２製品固定部４２０または第１製品固定部４１０と第２製品固定部４２０には、基板製品を固定する固定部に１つ以上の多数個の貫通孔が形成されているが、前記貫通孔は、ヒーター、温度制御用センサーおよび電源供給装置の構成位置によって可変し得るのでそれに応じて適用して使用することができる。
In the first
前記オートクレーブ装置１０には、第１製品固定部４１０または第２製品固定部４２０に圧力を供給する圧力供給部が一つで構成され、または前記第１製品固定部４１０、第２製品固定部４２０にそれぞれ接続して設けるように、多数個の製品固定部が設けられても、一つの圧力供給部を用いたり、または、それぞれの圧力供給部が連結して使用できるようにした。
In the
前記した本発明によると、基板製品を固定する製品固定部を多段に構成して多段に構成された製品固定部に固定した基板製品それぞれに同一な加熱と同一な加圧が行われるようにして、生産性を最大化し、前記多段の製品固定部への加熱、加圧の構造と構成要素を簡単にし、構造と構成要素を簡単にすることにより、製品のコストを削減する効果が発生し、使用者にとって購入のための負担を格段に減らした。 According to the present invention described above, the product fixing portion for fixing the substrate product is formed in multiple stages, and the same heating and the same pressurization are performed on each of the substrate products fixed to the product fixing portion configured in multiple stages. , By maximizing the productivity, simplifying the structure and components of heating and pressurizing to the multistage product fixing part, simplifying the structure and components, the effect of reducing the cost of the product occurs. The burden on the purchase has been dramatically reduced for the user.
１０：オートクレーブ装置
１００：上部本体
２００：下部本体
２１０：台座
２２０：カム
２３０：ヒーター
３００：締結具
４１０：第１製品固定部
４１１：固定部
４１３：ヒーター
４１７：第１電源供給装置
４１９：電源延長部材
４２０：第２製品固定部
４２１：固定部
４２３：ヒーター
４２７：第２電源供給装置
４２９：電源延長部材
ｃ：シリンダー
ｐ：パッキン
10: autoclave device 100: upper body 200: lower body 210: pedestal 220: cam 230: heater 300: fastener 410: first product fixing portion 411: fixing portion 413: heater 417: first power supply device 419: power supply extension Member 420: Second product fixing portion 421: Fixing portion 423: Heater 427: Second power supply device 429: Power extension member c: Cylinder p: Packing
Claims (2)
基板製品を固定させる固定部およびパッキンが固定するパッキン固定溝を含み、前記下部本体（２００）の上側に配置された第１製品固定部（４１０）；
基板製品を固定させる固定部およびパッキンが固定するパッキン固定溝を含み、前記上部本体（１００）の下側と前記第１製品固定部（４１０）の上側との間に配置された第２製品固定部（４２０）；
前記第２製品固定部（４２０）のパッキン固定溝に固定したパッキンが前記上部本体（１００）の下部に接触して前記第２製品固定部（４２０）の固定部が密閉され、前記第１製品固定部（４１０）のパッキン固定溝に固定したパッキンが前記第２製品固定部（４２０）の下部に接触して前記第１製品固定部（４１０）の固定部が密閉されるように、前記第１製品固定部（４１０）を上昇させるシリンダー（ｃ）；
前記下部本体（２００）と、前記第１製品固定部（４１０）の間に配置され、電源の供給によって熱を発散するヒーター（２３０）；および
前記ヒーター（２３０）が発散した熱気が前記第１製品固定部（４１０）の固定部および前記第２製品固定部（４２０）の固定部に伝達されるように、前記第１製品固定部（４１０）および前記第２製品固定部（４２０）の安着部（４１１，４２１）それぞれに形成され熱気を伝達する貫通孔を含む多段で脱泡が可能なオートクレーブ装置。 An autoclave device comprising an upper body (100), a lower body (200), and a fastener (300) for fixing the upper body (100) and the lower body (200),
A first product fixing portion (410) disposed on the upper side of the lower main body (200), including a fixing portion for fixing the substrate product and a packing fixing groove for fixing the packing;
A second product fixing device including a fixing portion for fixing the substrate product and a packing fixing groove for fixing the packing, and disposed between the lower side of the upper main body (100) and the upper side of the first product fixing portion (410). Department (420);
The packing fixed in the packing fixing groove of the second product fixing part (420) contacts the lower part of the upper main body (100) to seal the fixing part of the second product fixing part (420), the first product The packing fixed to the packing fixing groove of the fixing portion (4 1 0) contacts the lower part of the second product fixing portion (4 2 0) so that the fixing portion of the first product fixing portion (410) is sealed. A cylinder (c) for raising the first product fixing part (410);
A heater (230) disposed between the lower body (200) and the first product fixing portion (410) and emitting heat by the supply of power;
The first product fixing portion (410) may transmit the hot air released by the heater (230) to the fixing portion of the first product fixing portion (410) and the fixing portion of the second product fixing portion (420). And an autoclave capable of degassing in multiple stages including through holes formed in the seat portions (411, 421) of the second product fixing portion (420) to transmit hot air .
前記締結具（３００）と前記第２製品固定部（４２０）の間に配置されて電源を供給する第２電源供給装置（４２７）を含むことを特徴とする、請求項１に記載の多段で脱泡が可能なオートクレーブ装置。 A first power supply (417) disposed between the lower main body (200) and the first product fixing portion (410) to supply power; and the fastener (300) and the second product fixing portion The multi-stage degassing autoclave device according to claim 1, further comprising a second power supply (427) disposed between (420) to supply power.
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