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JP6559944B2 - Case and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description

本発明は、ケース及びその製造方法に関し、特に表面に透明膜が形成されているケース及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a case and a manufacturing method thereof, and more particularly to a case having a transparent film formed on a surface and a manufacturing method thereof.

現在、技術の発展に伴って、ノートパソコン、携帯電話機及びマルチメディア装置などの電子装置の機能が益々多様化していると共に、これらの電子装置の外観に対する要求も高くなっている。従って、高輝度で、平滑なケースを備える電子製品及び金属質感を有する電子製品が、消費者に人気である。   Currently, with the development of technology, functions of electronic devices such as notebook personal computers, mobile phones, and multimedia devices are increasingly diversified, and demands on the appearance of these electronic devices are also increasing. Therefore, electronic products having a high brightness and smooth case and electronic products having a metallic texture are popular with consumers.

電子製品の外観の輝度及び平滑度を高めるために、通常、塗装などの方法によって電子製品の表面に透明膜を形成する。しかし、従来の製造プロセスは複雑であり、且つ製造して得た透明膜の平滑度はより低い。また、耐摩耗性も悪く、使用寿命も比較的短い。   In order to increase the brightness and smoothness of the appearance of the electronic product, a transparent film is usually formed on the surface of the electronic product by a method such as painting. However, the conventional manufacturing process is complicated, and the smoothness of the transparent film obtained by manufacturing is lower. In addition, the wear resistance is poor and the service life is relatively short.

本発明は、上記の問題点を考慮してなされたものであり、表面に高輝度及び高平滑度の透明膜が形成されているケースを提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above problems, and an object thereof is to provide a case in which a transparent film having high luminance and high smoothness is formed on the surface.

上記の課題を解決するために、本発明に係るケースは、基材及び該基材の表面を被覆する透明膜を備え、透明膜は、基材の上面に順次形成された下地層、移行層、及び透明層を含み、下地層は、金属クロム層であり且つ基材の表面上に形成され、移行層は、炭化クロム層であり且つ下地層の表面上に形成され、透明層は、シリコン層であり且つ移行層の表面上に形成される。   In order to solve the above-described problems, a case according to the present invention includes a base material and a transparent film covering the surface of the base material, and the transparent film is an underlayer and a transition layer sequentially formed on the upper surface of the base material. And the transparent layer is a metallic chromium layer and formed on the surface of the substrate, the transition layer is a chromium carbide layer and formed on the surface of the underlying layer, and the transparent layer is made of silicon. Formed on the surface of the transition layer.

また、上記の課題を解決するために、本発明に係るケースの製造方法は、基材を提供する工程と、クロムターゲットを用いて、マグネトロンスパッタ法によって、基材の表面上にクロムからなる下地層を形成する工程と、クロムターゲットを用いて、アセチレンを反応気体として注入し、マグネトロンスパッタ法によって、下地層の表面上に炭化クロムからなる移行層を形成する工程と、シリコンターゲットを用いて、マグネトロンスパッタ法によって、移行層の表面上にシリコンからなる透明層を形成する工程と、を備える。   In addition, in order to solve the above-described problems, a manufacturing method of a case according to the present invention includes a step of providing a base material and a chromium target on the surface of the base material by a magnetron sputtering method using a chromium target. Using a chromium target, a step of forming a formation layer, injecting acetylene as a reactive gas, forming a transition layer made of chromium carbide on the surface of the underlayer by magnetron sputtering, and using a silicon target, Forming a transparent layer made of silicon on the surface of the transition layer by magnetron sputtering.

従来の技術と異なり、本発明は、特殊なターゲットの組み合せを用いた、新しいPVDコーティング技術によって、表面に透明膜を備えるケースを製造する。前記透明膜は、高い透明度、輝度、及び平滑度を有する。よって、ケースの外観も高輝度及び高平滑度を有する。また、本発明は、マグネトロンスパッタ法によって、基材の表面に順次下地層、移行層、及び透明層を形成する。各層は互いに緊密に接合され、また、各層の内部には明らかな応力が発生しないので、透明膜は、外力を受けても破壊され難く、良好な硬度及び耐摩耗性を有し、使用寿命が長い。   Unlike the prior art, the present invention produces a case with a transparent film on the surface by a new PVD coating technique using a special target combination. The transparent film has high transparency, brightness, and smoothness. Therefore, the appearance of the case also has high brightness and high smoothness. In the present invention, an underlayer, a transition layer, and a transparent layer are sequentially formed on the surface of the substrate by magnetron sputtering. Each layer is closely bonded to each other, and no obvious stress is generated inside each layer. Therefore, the transparent film is not easily broken even when subjected to external force, has good hardness and wear resistance, and has a long service life. long.

本発明の実施形態に係るケースの断面図である。It is sectional drawing of the case which concerns on embodiment of this invention. 本発明に係るケースの製造方法に使用する真空蒸着装置の平面図である。It is a top view of the vacuum evaporation system used for the manufacturing method of the case concerning the present invention.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1に示すように、本発明のケース100は、3C電子製品又は自動車用電子製品に用いられる。具体的には、ケース100は、基材20及び基材20の表面上に形成される透明膜10を含む。透明膜10は無色透明であり、基材20の上面に下方から順次形成されている下地層13、移行層15、及び透明層17を含む。   As shown in FIG. 1, the case 100 of the present invention is used for 3C electronic products or automotive electronic products. Specifically, the case 100 includes a base material 20 and a transparent film 10 formed on the surface of the base material 20. The transparent film 10 is colorless and transparent, and includes a base layer 13, a transition layer 15, and a transparent layer 17 that are sequentially formed on the upper surface of the substrate 20 from below.

基材20の材料は、金属、プラスチック又はセラミックである。   The material of the substrate 20 is metal, plastic, or ceramic.

下地層13は、基材20の表面を被覆している金属クロム層であり、その厚さは0.1μm〜0.3μmである。下地層13は、基材20と移行層15との間の接合力を高める役割を果たす。   The underlayer 13 is a metal chrome layer that covers the surface of the substrate 20, and has a thickness of 0.1 μm to 0.3 μm. The underlayer 13 plays a role of increasing the bonding force between the base material 20 and the transition layer 15.

移行層15は、下地層13の表面を被覆している炭化クロム(CrC)層であり、その厚さは0.2μm〜0.4μmである。移行層15は、透明層17の付着力を増強する。   The transition layer 15 is a chromium carbide (CrC) layer covering the surface of the underlayer 13 and has a thickness of 0.2 μm to 0.4 μm. The transition layer 15 enhances the adhesion of the transparent layer 17.

透明層17は、移行層15の表面を被覆しているシリコン層であり、その厚さは0.1μm〜0.3μmである。透明層17には、シリコン原子しか含有されておらず、透明度が高い。   The transparent layer 17 is a silicon layer covering the surface of the transition layer 15 and has a thickness of 0.1 μm to 0.3 μm. The transparent layer 17 contains only silicon atoms and has high transparency.

上記のケース100において、下地層13は、基材20の表面上に金属クロムをスパッタリングすることによって形成され、移行層15は、下地層13の表面上に炭化クロムをスパッタリングすることによって形成され、透明層17は、移行層15の表面上にシリコンをスパッタリングすることによって形成される。各層は互いに緊密に接合され、またこの際、各層の内部には明らかな応力が発生しないので、透明膜10は外力を受けても破壊され難く、良好な硬度及び耐摩耗性を有し、使用寿命が長い。   In the case 100, the base layer 13 is formed by sputtering metal chromium on the surface of the base material 20, and the transition layer 15 is formed by sputtering chromium carbide on the surface of the base layer 13, The transparent layer 17 is formed by sputtering silicon on the surface of the transition layer 15. Each layer is tightly bonded to each other, and since no obvious stress is generated inside each layer, the transparent film 10 is not easily broken even when subjected to an external force, and has good hardness and wear resistance. Long life.

また、本発明のケース100において、下地層13は、金属クロム層であるので、透明性を有する。移行層15の厚さは比較的薄いので、透明膜10全体の透明度に影響を与えない。透明層17には、シリコン原子のみしか含有されていないため、より高い透明度を有する。その上、透明層17の表面は平滑である。これによって、透明膜10は、全体としてより高い透明度を有するため、ケース100の外観は高輝度及び高平滑度を有する。   Moreover, in the case 100 of this invention, since the base layer 13 is a metal chromium layer, it has transparency. Since the thickness of the transition layer 15 is relatively thin, the transparency of the entire transparent film 10 is not affected. Since the transparent layer 17 contains only silicon atoms, it has higher transparency. In addition, the surface of the transparent layer 17 is smooth. Thereby, since the transparent film 10 has higher transparency as a whole, the appearance of the case 100 has high luminance and high smoothness.

本発明の実施形態に係るケース100の製造方法は、以下の工程を備える。   The method for manufacturing the case 100 according to the embodiment of the present invention includes the following steps.

第一工程において、真空蒸着装置200を提供する。図2に示すように、真空蒸着装置200は、真空チャンバ21及び真空チャンバ21に連接されている真空ポンプ300を含む。真空ポンプ300は、真空チャンバ21を真空環境にするために用いられる。真空チャンバ21の内部には、回転棚(図示せず)、クロムターゲット23及びシリコンターゲット24がさらに設けられている。回転棚は、基材20を動かして円形のトラック25に沿って公転させる。この際基材20は、トラック25に沿って公転しながら自転する。   In the first step, a vacuum deposition apparatus 200 is provided. As shown in FIG. 2, the vacuum deposition apparatus 200 includes a vacuum chamber 21 and a vacuum pump 300 connected to the vacuum chamber 21. The vacuum pump 300 is used to bring the vacuum chamber 21 into a vacuum environment. Inside the vacuum chamber 21, a rotating shelf (not shown), a chromium target 23, and a silicon target 24 are further provided. The rotating shelf moves the substrate 20 and revolves along the circular track 25. At this time, the base material 20 rotates while revolving along the track 25.

第二工程において、金属、プラスチック及びセラミックの中の何れか1種からなる基材20を提供する。   In the second step, a substrate 20 made of any one of metal, plastic and ceramic is provided.

第三工程において、基材20の表面に対して前処理を行う。具体的には、無水エタノールを用いて基材20の超音波洗浄を行い、基材20の表面の油又は汚れを除去する。超音波洗浄の時間は、25分間〜35分間である。次いで、基材20の表面を研磨して鏡面仕上げを行う。その後、前処理された基材20を乾燥した後に、基材20を真空チャンバ21内の回転棚に固定する。   In the third step, a pretreatment is performed on the surface of the substrate 20. Specifically, ultrasonic cleaning of the base material 20 is performed using absolute ethanol, and oil or dirt on the surface of the base material 20 is removed. The ultrasonic cleaning time is 25 minutes to 35 minutes. Next, the surface of the substrate 20 is polished to perform mirror finish. Then, after drying the pretreated base material 20, the base material 20 is fixed to a rotating shelf in the vacuum chamber 21.

第四工程において、真空ポンプ300を起動して、真空ポンプ300によって真空チャンバ21を5×10−2Paまで真空にする。 In the fourth step, the vacuum pump 300 is activated and the vacuum chamber 300 is evacuated to 5 × 10 −2 Pa by the vacuum pump 300.

第五工程において、ターゲットを洗浄する。具体的には、流量が100ml/分(sccm)のアルゴンを注入して、5kの定常出力の条件下で、ターゲットを15分間洗浄する。 In the fifth step, the target is washed. Specifically, the flow rate is injected argon 100ml / min (sccm), under steady output of 5k W, to clean the target 15 minutes.

第六工程において、真空チャンバ21をさらに真空にし且つ加熱する。真空チャンバ21の温度を200℃にする。次いで、真空ポンプ300によって真空チャンバ21を5×10−3Paまで真空にする。 In the sixth step, the vacuum chamber 21 is further evacuated and heated. The temperature of the vacuum chamber 21 is set to 200 ° C. Next, the vacuum chamber 21 is evacuated to 5 × 10 −3 Pa by the vacuum pump 300.

第七工程において、高電圧アルゴンイオングロー洗浄を行う。具体的には、真空チャンバ21の温度を120℃にし、バイアス電圧を1300Vに設定し、真空チャンバ21内にアルゴンを注入して、基材20の表面を洗浄する。   In the seventh step, high voltage argon ion glow cleaning is performed. Specifically, the temperature of the vacuum chamber 21 is set to 120 ° C., the bias voltage is set to 1300 V, and argon is injected into the vacuum chamber 21 to clean the surface of the substrate 20.

第八工程において、マグネトロンスパッタ法によって、洗浄された基材20の上面に下地層13を形成する。具体的には、クロムターゲットに対応するRF電源を起動し、且つ前記RF電源のパワーを8W〜15Wに設定し、真空チャンバ21の中に流量が100sccm〜150sccmのアルゴンを持続的に注入し、真空チャンバ21内の温度を120℃〜180℃にし、基材20に対して100V〜250Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを5分間〜10分間行う。 In the eighth step, the underlayer 13 is formed on the upper surface of the cleaned substrate 20 by magnetron sputtering. Specifically, to start the RF power corresponding to the chromium target, and sets the power of the RF power source 8 k W~15 k W, sustained argon flow rate is 100sccm~150sccm into a vacuum chamber 21 The temperature in the vacuum chamber 21 is set to 120 ° C. to 180 ° C., a bias voltage of 100 V to 250 V is applied to the substrate 20, and coating is performed for 5 minutes to 10 minutes.

第九工程において、クロムターゲット23を用いて、マグネトロンスパッタ法によって、下地層13の表面上に移行層15を形成する。スパッタリングする時に、RF電源を起動し且つパワーを6W〜12Wに設定し、真空チャンバ21の中に流量が80sccm〜140sccmのアルゴンを不活性気体として注入すると共に、流量が50sccm〜75sccmのアセチレンを反応気体として注入し、真空チャンバ21内の温度を100℃〜10℃にし、基材20に対して200V〜300Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを40分間〜50分間行う。アセチレンの注入量は比較的少ないため、透明膜10の透明度に影響を及ぼさない。 In the ninth step, the transition layer 15 is formed on the surface of the base layer 13 by the magnetron sputtering method using the chromium target 23. When sputtering, with a and power to start the RF power was set at 6 k W~12 k W, flow rate into the vacuum chamber 21 to inject argon 80sccm~140sccm as an inert gas, the flow rate is 50sccm~75sccm performing acetylene was injected as a reaction gas, the temperature inside the vacuum chamber 21 to 100 ° C. to 1 7 0 ° C., after applying a bias voltage of 200V~300V to the substrate 20, the coating 40 minutes to 50 minutes . Since the amount of acetylene injected is relatively small, the transparency of the transparent film 10 is not affected.

第十工程において、シリコンターゲット24を用いて、マグネトロンスパッタ法によって、移行層15の表面上に透明層17を形成する。スパッタリングする時に、RF電源を起動し且つパワーを4k〜8kに設定し、真空チャンバ21の中に流量が50sccm〜135sccmのアルゴンを注入し、真空チャンバ21内の温度を90℃〜120℃にし、基材20に対して200V〜400Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを20分間〜40分間行う。 In the tenth step, the transparent layer 17 is formed on the surface of the transition layer 15 by the magnetron sputtering method using the silicon target 24. When sputtering, and power to start the RF power is set to 4k W ~8k W, flow rate injected argon 50sccm~135sccm into a vacuum chamber 21, the temperature inside the vacuum chamber 21 90 ° C. to 120 ° C. Then, after applying a bias voltage of 200V to 400V to the substrate 20, coating is performed for 20 minutes to 40 minutes.

以下、具体的な実施例を挙げて、本発明について説明する。   Hereinafter, the present invention will be described with reference to specific examples.

[実施例1]
(a)ステンレス316からなる基材20を提供する。
[Example 1]
(A) A base material 20 made of stainless steel 316 is provided.

(b)マグネトロンスパッタ法によって、基材20の上面に下地層13を形成する。具体的には、クロムターゲット23に対応するRF電源を起動して、電源のパワーを8kにし、真空チャンバ21の中に流量が100sccmのアルゴンを持続的に注入し、真空チャンバ21内の温度を170℃にし、基材20に対して100Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを5分間行う。 (B) The underlayer 13 is formed on the upper surface of the substrate 20 by magnetron sputtering. Specifically, to start the RF power corresponding to the chromium target 23, the power supply to 8k W, flow rate into the vacuum chamber 21 is continuously injected 100sccm of argon, the temperature in the vacuum chamber 21 Is set to 170 ° C., a bias voltage of 100 V is applied to the substrate 20, and coating is performed for 5 minutes.

(c)マグネトロンスパッタ法によって、下地層13の上面に移行層15を形成する。具体的には、クロムターゲット23に対応するRF電源のパワーを6kにし、真空チャンバ21内に流量が110sccmのアルゴン及び流量が55sccmのアセチレンを持続的に注入し、真空チャンバ21内の温度を160℃にし、基材20に対して200Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを40分間行う。 (C) The transition layer 15 is formed on the upper surface of the underlayer 13 by magnetron sputtering. Specifically, the power of the RF power corresponding to the chromium target 23 to 6k W, flow rate argon and the flow rate of 110sccm and continuously injected acetylene of 55sccm into the vacuum chamber 21, the temperature in the vacuum chamber 21 After applying a bias voltage of 200 V to the substrate 20 at 160 ° C., coating is performed for 40 minutes.

(d)マグネトロンスパッタ法によって、移行層15の上面に透明層17を形成する。具体的には、シリコンターゲット24に対応するRF電源のパワーを6kにし、真空チャンバ21の中に流量が125sccmのアルゴンを持続的に注入し、真空チャンバ21内の温度を130℃にし、基材20に対して300Vのバイアス電圧を印加し、コーティングを20分間行う。 (D) A transparent layer 17 is formed on the upper surface of the transition layer 15 by magnetron sputtering. Specifically, the power of the RF power corresponding to the silicon target 24 to 6k W, the flow rate is continuously injected argon 125sccm into the vacuum chamber 21, the temperature in the vacuum chamber 21 to 130 ° C., group A bias voltage of 300 V is applied to the material 20 and coating is performed for 20 minutes.

[実施例2]
(a)ステンレス304からなる基材20を提供する。
[Example 2]
(A) The base material 20 made of stainless steel 304 is provided.

(b)マグネトロンスパッタ法によって、基材20の上面に下地層13を形成する。具体的には、クロムターゲット23に対応するRF電源のパワーを10kにし、真空チャンバ21の中に流量が110sccmのアルゴンを持続的に注入し、真空チャンバ21内の温度を175℃にし、基材20に対して150Vのバイアス電圧を印加し、コーティングを8分間行う。 (B) The underlayer 13 is formed on the upper surface of the substrate 20 by magnetron sputtering. Specifically, the power of the RF power corresponding to the chromium target 23 to 10k W, the flow rate is continuously injected argon 110sccm into the vacuum chamber 21, the temperature in the vacuum chamber 21 to 175 ° C., group A bias voltage of 150 V is applied to the material 20 and coating is performed for 8 minutes.

(c)マグネトロンスパッタ法によって、下地層13の上面に移行層15を形成する。具体的には、クロムターゲット23に対応するRF電源のパワーを7kにし、真空チャンバ21の中に流量が120sccmのアルゴン及び流量が60sccmのアセチレンを注入し、真空チャンバ21の内部温度を165℃にし、基材20に対して250Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを45分間行う。 (C) The transition layer 15 is formed on the upper surface of the underlayer 13 by magnetron sputtering. Specifically, the power of the RF power corresponding to the chromium target 23 to 7k W, flow rate argon and the flow rate of 120sccm by injecting acetylene 60sccm into a vacuum chamber 21, 165 ° C. The internal temperature of the vacuum chamber 21 Then, after applying a bias voltage of 250 V to the substrate 20, coating is performed for 45 minutes.

(d)マグネトロンスパッタ法によって、移行層15の上面に透明層17を形成する。具体的には、シリコンターゲット24に対応するRF電源のパワーを5.5kにし、真空チャンバ21の中に流量が120sccmのアルゴンを注入し、真空チャンバ21の内部温度を125℃にし、基材20に対して350Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを25分間行う。 (D) A transparent layer 17 is formed on the upper surface of the transition layer 15 by magnetron sputtering. Specifically, the power of the RF power corresponding to the silicon target 24 to 5.5K W, flow rate injected argon 120sccm into the vacuum chamber 21, and the internal temperature of the vacuum chamber 21 to 125 ° C., the substrate After applying a bias voltage of 350V to 20, coating is performed for 25 minutes.

[実施例3]
(a)ステンレス314からなる基材20を提供する。
[Example 3]
(A) A base material 20 made of stainless steel 314 is provided.

(b)マグネトロンスパッタ法によって、基材20の上面に下地層13を形成する。具体的には、クロムターゲット23に対応するRF電源のパワーを12kにし、真空チャンバ21の中に流量が135sccmのアルゴンを持続的に注入し、真空チャンバ21内の温度を180℃にし、基材20に対して220Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを12分間行う。 (B) The underlayer 13 is formed on the upper surface of the substrate 20 by magnetron sputtering. Specifically, the power of the RF power corresponding to the chromium target 23 to 12k W, the flow rate is continuously injected argon 135sccm into the vacuum chamber 21, the temperature in the vacuum chamber 21 to 180 ° C., group After applying a bias voltage of 220 V to the material 20, coating is performed for 12 minutes.

(c)マグネトロンスパッタ法によって、下地層13の上面に移行層15を形成する。具体的には、クロムターゲット23に対応するRF電源のパワーを9kにし、真空チャンバ21の中に流量が135sccmのアルゴン及び流量が65sccmのアセチレンを注入し、真空チャンバ21の内部温度を170℃にし、基材20に対して300Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを50分間行う。 (C) The transition layer 15 is formed on the upper surface of the underlayer 13 by magnetron sputtering. Specifically, the power of the RF power corresponding to the chromium target 23 to 9k W, argon and the flow rate flow rate of 135sccm into the vacuum chamber 21 is injected acetylene 65 sccm, 170 ° C. The internal temperature of the vacuum chamber 21 Then, after applying a bias voltage of 300 V to the substrate 20, coating is performed for 50 minutes.

(d)マグネトロンスパッタ法によって、移行層15の上面に透明層17を形成する。具体的には、シリコンターゲット24に対応するRF電源のパワーを7kにし、真空チャンバ21の中に流量が135sccmのアルゴンを注入し、真空チャンバ21の内部温度を115℃にし、基材20に対して400Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを35分間行う。





(D) A transparent layer 17 is formed on the upper surface of the transition layer 15 by magnetron sputtering. Specifically, the power of the RF power corresponding to the silicon target 24 to 7k W, flow rate injected argon 135sccm into the vacuum chamber 21, the internal temperature of the vacuum chamber 21 to 115 ° C., the substrate 20 On the other hand, after applying a bias voltage of 400 V, coating is performed for 35 minutes.





10 透明膜
13 下地層
15 移行層
17 透明層
20 基材
21 真空チャンバ
23 クロムターゲット
24 シリコンターゲット
25 トラック
100 ケース
200 真空蒸着装置
300 真空ポンプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Transparent film 13 Underlayer 15 Transition layer 17 Transparent layer 20 Base material 21 Vacuum chamber 23 Chrome target 24 Silicon target 25 Track 100 Case 200 Vacuum vapor deposition apparatus 300 Vacuum pump

Claims (8)

基材及び前記基材の表面を被覆する透明膜を備えるケースであって、
前記透明膜は、前記基材の上面に順次形成された下地層、移行層、及び透明層を含み、前記下地層は、金属クロム層であり且つ前記基材の表面上に形成され、前記移行層は、炭化クロム層であり且つ前記下地層の表面上に形成され、前記透明層は、シリコン層であり且つ前記移行層の表面に形成されることを特徴とするケース。
A case comprising a substrate and a transparent film covering the surface of the substrate;
The transparent film includes a base layer, a transition layer, and a transparent layer sequentially formed on the upper surface of the base material, and the base layer is a metal chromium layer and formed on the surface of the base material, and the transition The case is characterized in that the layer is a chromium carbide layer and formed on the surface of the underlayer, and the transparent layer is a silicon layer and formed on the surface of the transition layer.
前記透明層は、シリコン原子により構成され、前記透明層の厚さは、0.1μm〜0.3μmであることを特徴とする請求項1に記載のケース。   The case according to claim 1, wherein the transparent layer is composed of silicon atoms, and the thickness of the transparent layer is 0.1 μm to 0.3 μm. 前記下地層の厚さは、0.1μm〜0.3μmであり、前記移行層の厚さは、0.2μm〜0.4μmであることを特徴とする請求項1に記載のケース。   The case according to claim 1, wherein the base layer has a thickness of 0.1 μm to 0.3 μm, and the transition layer has a thickness of 0.2 μm to 0.4 μm. 前記基材の材料は、金属、プラスチック又はセラミックであることを特徴とする請求項1に記載のケース。   The case according to claim 1, wherein the material of the base material is metal, plastic, or ceramic. 基材を提供する工程と、
クロムターゲットを用いて、マグネトロンスパッタ法によって、前記基材の表面上にクロムからなる下地層を形成する工程と、
前記クロムターゲットを用いて、アセチレンを反応気体として注入し、前記マグネトロンスパッタ法によって、前記下地層の表面上に炭化クロムからなる移行層を形成する工程と、
シリコンターゲットを用いて、前記マグネトロンスパッタ法によって、前記移行層の表面上にシリコンからなる透明層を形成する工程と、
を備えることを特徴とするケースの製造方法。
Providing a substrate;
Forming a base layer made of chromium on the surface of the substrate by magnetron sputtering using a chromium target;
Injecting acetylene as a reaction gas using the chromium target, and forming a transition layer made of chromium carbide on the surface of the underlayer by the magnetron sputtering method;
Forming a transparent layer made of silicon on the surface of the transition layer by a magnetron sputtering method using a silicon target;
A method for manufacturing a case, comprising:
前記下地層を形成する場合、前記クロムターゲットに対応するRF電源のパワーを8k〜15kにし、真空チャンバの中に流量が100sccm〜150sccmのアルゴンを注入し、前記真空チャンバの内部温度を120℃〜180℃にし、前記基材に対して100V〜250Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを5分間〜10分間行うことを特徴とする請求項5に記載のケースの製造方法。 When forming the undercoat layer, and the power of the RF power corresponding to the chromium target to 8k W ~15k W, flow rate into the vacuum chamber by injecting argon 100Sccm~150sccm, 120 the internal temperature of the vacuum chamber The method for producing a case according to claim 5, wherein the coating is performed for 5 minutes to 10 minutes after the bias voltage of 100 V to 250 V is applied to the base material at a temperature of from about 180 to 180 ° C. 6. 前記移行層を形成する場合、前記クロムターゲットに対応するRF電源のパワーを6k〜12kにし、真空チャンバの中に流量が80sccm〜140sccmのアルゴン及び流量が50sccm〜75sccmのアセチレンを注入し、前記真空チャンバの内部温度を100℃〜10℃にし、前記基材に対して200V〜300Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを40分間〜50分間行うことを特徴とする請求項5に記載のケースの製造方法。 When forming the transition layer, the power of the RF power corresponding to the chromium target to 6k W ~12k W, argon and the flow rate of the flow rate 80sccm~140sccm in a vacuum chamber by injecting acetylene 50Sccm~75sccm, the internal temperature of the vacuum chamber 100 ℃ ~1 7 0 ℃, after applying a bias voltage of 200V~300V to the substrate, to claim 5, characterized in that the coating for 40 minutes to 50 minutes A manufacturing method of the case described. 前記透明層を形成する場合、前記シリコンターゲットに対応するRF電源のパワーを4k〜8kにし、真空チャンバの中に流量が50sccm〜135sccmのアルゴンを注入し、前記真空チャンバの内部温度を90℃〜120℃にし、前記基材に対して200V〜400Vのバイアス電圧を印加した後、コーティングを20分間〜40分間行うことを特徴とする請求項5に記載のケースの製造方法。 When forming the transparent layer, the power of the RF power corresponding to the silicon target to 4k W ~8k W, flow rate into the vacuum chamber by injecting argon 50Sccm~135sccm, the internal temperature of the vacuum chamber 90 The method for producing a case according to claim 5, wherein the coating is performed for 20 minutes to 40 minutes after the bias voltage of 200 V to 400 V is applied to the base material at a temperature of 120 ° C. to 120 ° C. 6.
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