Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP6569822B2 - 変形移動機構 - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP6569822B2 - 変形移動機構 - Google Patents

変形移動機構 Download PDF

Info

Publication number
JP6569822B2
JP6569822B2 JP2018548149A JP2018548149A JP6569822B2 JP 6569822 B2 JP6569822 B2 JP 6569822B2 JP 2018548149 A JP2018548149 A JP 2018548149A JP 2018548149 A JP2018548149 A JP 2018548149A JP 6569822 B2 JP6569822 B2 JP 6569822B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ring member
center line
elastic ring
elastic
drive unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018548149A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019508644A (ja
Inventor
実 黒瀬
実 黒瀬
良彦 勝山
良彦 勝山
一男 濱田
一男 濱田
拓郎 小林
拓郎 小林
直人 谷道
直人 谷道
ツイ ハッピー
ツイ ハッピー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Publication of JP2019508644A publication Critical patent/JP2019508644A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6569822B2 publication Critical patent/JP6569822B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H37/00Combinations of mechanical gearings, not provided for in groups F16H1/00 - F16H35/00
    • F16H37/12Gearings comprising primarily toothed or friction gearing, links or levers, and cams, or members of at least two of these types
    • F16H37/122Gearings comprising primarily toothed or friction gearing, links or levers, and cams, or members of at least two of these types for interconverting rotary motion and oscillating motion
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H25/00Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J7/00Micromanipulators
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H19/00Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion
    • F16H19/001Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion for conveying reciprocating or limited rotary motion
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H25/00Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • F16H2025/2059Common movement by two screws or two nuts, e.g. two connected screws with opposite thread direction

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)

Description

本発明は所定の変形により所定の移動を生成する機構に関する。
精密技術に対する市場需要の増大に伴い、多自由度変位機構、マイクロマニピュレータ等の精密な変位を必要とする機械のための高精度の直線移動アクチュエータが重要となっている。ほとんどの場合、このような微小直線移動アクチュエータは減速ギア機構を使用するが、これには相異なるギア等の複数の部品を必要とするだけでなく、その組立中にギアのバックラッシュ調節等の位置合わせが必要となる。
バックラッシュ調節等の位置合わせを不要にするために、弾性板の組合せを用いて微小直線変位を可能とする簡易な変形移動機構が提案されている(特許文献1参照)。すなわち、2枚の弾性板が一端で固定ブロックに、他端で可動ブロックに固定される。平行に配置されたこれら2枚の弾性板は、略H字形の湾曲弾性板に接続される。可動ブロックは、H字形弾性板によって形成される平面に直交する弾性板によって支持される。湾曲弾性板は、その中心でマイクロメータの摺動子に接続される。こうして、摺動子の前進後退により、湾曲弾性板が拡がり方向または狭まり方向に平行弾性板を押し引きすることで、可動ブロックを後退方向または前進方向に直線移動させる。
特開2003―075572号公報
しかしながら、上述した減速ギア機構を用いた直線移動アクチュエータは複数の部品、複雑な組立工程および複雑な調節動作を必要とする。また、上記の弾性板の組合せによる弾性を利用した変形移動機構は、複数の弾性板が空間的に配置されるので、構造強度が弱くなり、精密変位を実現するのが困難となる。したがって、上記既存の技術では、軽量、微細で製造が容易な高精度の変形移動機構を実現することができない。
本発明の目的は、精密な移動と構造的堅牢性を有する新規な変形移動機構を提供することにある。
本発明によれば、変形移動機構は、中心線に関して対称形状を有し、一端が固定され他端が前記中心線に沿って移動可能である弾性リング部材と、弾性リング部材内に配置され、弾性リング部材の中心線に直交する操作線に沿った両端と係合した送りねじを回転させ、中心線に沿って弾性リング部材を押圧あるいは引張るように構成された駆動ユニットと、記駆動ユニットを弾性部材に少なくとも中心線の方向に接続する複数のフレキシブルアームと、を含む。
本発明によれば、変形移動方法は、中心線に関して対称形状を有し、一端が固定され他端が前記中心線に沿って移動可能である弾性リング部材を用意し、前記弾性リング部材内に、前記弾性リング部材の前記中心線に直交する操作線に沿った両端と係合した送りねじを回転させる駆動ユニットが配置され、前記駆動ユニットを前記弾性リング部材に少なくとも前記中心線の方向に複数のフレキシブルアームにより接続し、前記駆動ユニットにより、前記操作線に沿って前記弾性リング部材を押圧あるいは引張るように前記送りねじを回転させる。
上述したように、本発明によれば、駆動ユニットは弾性リング部材内に配置され、少なくとも中心線の方向でフレキシブルアームにより弾性リング部材とフレキシブルに接続される。したがって、駆動ユニットは弾性リング部材の伸長変形の有無によらず弾性リング部材の中央に位置する。さらに、フレキシブルアームは、中央線の方向ではフレキシブルであるが、操作線の方向では堅固である。従って、フレキシブルアームは駆動ユニットが送りねじを回転させるときに駆動ユニットの回転を阻止する。
図1は本発明の例示的実施形態による変形移動機構を例示する平面図である。 図2は図1のA−A線断面図である。 図3は図1に示す変形移動機構の典型的動作を示す図である。 図4は図1に示す変形移動機構の動作の分析例を示す図である。 図5は図1に示す変形移動機構の動作の他の分析例を示す図である。
1.実施形態の概要
本発明の例示的実施形態によれば、変形移動機構は押圧機構を有し、押圧機構が対称的に形成された弾性リング部材を中心線に沿って変形させるように構成され、これによって直線移動を生成する。より詳しくは、押圧機構は送りねじおよび駆動ユニットからなり、弾性リング部材内に設けられている。送りねじは、弾性リング部材の端部にそれぞれ設けられた一対のナットにねじ込まれている。送りねじは左ねじ部および右ねじ部を有し、それぞれが一対のナットに螺合することができる。駆動ユニットは送りねじを回転させるように構成され、ハードスプリング(硬質ばね)の弾性リングを短軸方向に押圧あるいは引張ることでハードスプリングの長軸方向の直線移動を生成する。
上記構成において、駆動ユニットは送りねじを回転させるので、駆動ユニット自身が回転しないように何か不動物に固定される必要がある。しかしながら、送りねじに連結された駆動ユニットは、ハードスプリングを短軸方向に押圧あるいは引張る時に長軸方向に移動するために、堅固に固定できない。たとえば、駆動ユニットがハードスプリングに堅固に固定されると、駆動ユニットはハードスプリングの変形を困難とし、結果的に直線移動の精度が低下する。駆動ユニットが変形移動機構の基板に堅固に固定されると、駆動ユニットは移動することができず、ハードスプリングに不測の変形を引き起こす可能性がある。
したがって、駆動ユニットをハードスプリングにフレキシブルに固定することが重要である。駆動ユニットは、変形の前後でハードスプリングの楕円リングの中心に位置するように、対称的に構成された可撓性アームによりハードスプリングに固定されることが望ましい。可撓性アームは、ハードスプリングの長軸方向にフレキシブルであるがハードスプリングの楕円リングを含む平面に直交する方向には堅固であることが更に望ましい。一例として、可撓性アームの各々は、弾性板あるいは板バネを用いて形成されることができる。以下、本発明の例示的実施形態を図面を参照しながら説明する。
2.例示的実施形態
2.1)構成
図1および図2を参照すると、変形移動機構10は、中心線L1と中心線L1に直交する操作線L2とに関して対称な楕円リング形状のハードスプリング101を含む。ハードスプリング101は、その長軸の両端に固定部102および可動部103が接続されている。ハードスプリング101は、一対のナット104および105と、送りねじ106と入力機構107とからなる押圧機構に連結されている。
送りねじ106は、ナット104および105にそれぞれ螺合する左ねじ部と右ねじ部を設けてもよい。ナット104および105は、ハードスプリング101がこれらナット104および105の間に挟まれるように、ハードスプリング101の短軸方向の両サイドにそれぞれ固定される。入力機構107は送りねじ106を回転させ、回転方向に依存してハードスプリングを押圧あるいは引張る。図1において、送りねじが方向108に回転すると、ハードスプリング101は操作方向109に押圧され、可動部103が直線移動方向110に移動する。
入力機構107は駆動ユニットであり、図2に示すように回転可能に駆動ユニットを貫通した送りねじ106を回転させる。入力機構107は、ハードスプリング101の楕円リング内に配置され、偶数個の弾性アーム(ここでは4個の弾性アームS1−S4)によりハードスプリング101にフレキシブルに連結されている。同じ弾性を有する弾性アームS1−S4は、中心点O、線(あるいは面)L1および/または線(あるいは面)L2に関して対称に配置され、変形の有無に関係なく入力機構107をハードスプリング101の楕円リングの中央に維持する。
望ましくは、弾性アームS1−S4は、ハードスプリング101の長軸と同じ方向の収縮あるいは伸長方向に沿って平行に配置される。この例では、弾性アームS1−S4は、弾性板あるいは板バネを用いて形成され、ハードスプリング101の長軸方向にフレキシブルな蛇腹形状を有する。しかしながら、図2に示すように、弾性アームS1−S4の各々は垂直に、すなわち面L1に直交する方向L3に設置されることで、弾性アームS1−S4を方向L3に曲がり難くしている。したがって、弾性アームS1−S4は、入力機構107が送りねじ106を回転させるときに、当該入力機構107が回転することを防止する。
2.2)動作
図3を参照して、入力機構107が方向108に送りねじを回転させるとき、ナット104および105は方向109にハードスプリング101を押圧して変形させる。より詳しくは、方向109の押圧により、ハードスプリング101の楕円リングが長軸方向に伸長し、これにより弾性アームS1−S4が伸長し、送りねじ106および入力機構107が変位201だけシフトすると共に、可動部103が変位201よりも長い変位202だけシフトする。
図4に示すように、弾性アームS1−S4はそれぞれポイントP1−P4で入力機構107に固定されており、ポイントP1−P4はハードスプリング101の楕円リングの中心点Oについて対称である。したがって、ハードスプリング101が伸長しても、入力機構107は、ハードスプリング101の伸長した楕円リングの中心位置に維持される。
同様に、図5に示すように、ハードスプリング101と入力機構107との間に接続された弾性アームS1−S4は、それぞれハードスプリング101の楕円リングの中心点Oに関して対称に位置する。したがって、ハードスプリング101が伸長しても、入力機構107は、ハードスプリング101の伸長した楕円リングの中心位置に維持される。
2.3)効果
本発明の例示的実施形態によれば、入力機構107は、ハードスプリング101の楕円リング内に配置され、送りねじ106を回転させてハードスプリング101を変形させる。入力機構107は、ハードスプリング101の楕円リングの長軸に沿って対称に配置された弾性アームS1−S4によりハードスプリングにフレキシブルに接続されている。したがって、入力機構107は、楕円リングの伸長変形の有無に関係なく、ハードスプリング101の楕円リングの中央に位置する。
さらに、弾性アームS1−S4は、ハードスプリングの長軸方向にはフレキシブルであり、且つ楕円リングを含む平面に直行する方向には堅固である。したがって、弾性アームS1−S4は、入力機構107が送りねじ106を回転させるときに当該入力機構107が回転することを防止するので、入力機構107の配置が安定化する。
3.他の例示的実施形態
本発明は図1および図2に示す上記実施形態に限定されるものではない。楕円リング内に入力機構あるいは駆動ユニットを支持する弾性アームの対称配置は、対称配置された弾性アームが入力機構あるいは駆動ユニットを楕円リングの変形の有無に関係なく楕円リングの中央に配置するならば、任意の対称配置を採用可能である。
本発明は、その技術思想や本質的特性から逸脱することなく他の具体的形態で実施されてもよい。したがって、上記の実施形態および具体例はすべての点において例示的であって限定的でないとみなすべきであり、本発明の技術的範囲は上記の明細書によってではなく添付の特許請求の範囲によって示される。したがって、特許請求の範囲の意味および均等の範囲内に入るすべての変更は、特許請求の範囲内に包含されるものとする。
10 変形移動機構
101 ハードスプリング
102 固定部
103 可動部
104、105 ナット
106 送りねじ
107 入力機構
108 回転方向
109 押圧方向
S1−S4 弾性アーム

Claims (8)

  1. 中心線に関して対称形状を有し、一端が固定され他端が前記中心線に沿って移動可能である弾性リング部材と、
    前記弾性リング部材内に配置され、前記弾性リング部材の前記中心線に直交する操作線に沿った両端と係合した送りねじを回転させ、前記中心線に沿って前記弾性リング部材を押圧あるいは引張るように構成された駆動ユニットと、
    前記駆動ユニットを前記弾性リング部材に少なくとも前記中心線の方向に接続する複数のフレキシブルアームと、
    を有する変形移動機構。
  2. 前記複数のフレキシブルアームは、前記中心線と前記操作線が交差する点に関して対称に配置されたことを特徴とする請求項1に記載の変形移動機構。
  3. 前記複数のフレキシブルアームの各々は、前記中心線の方向ではフレキシブルであり、前記弾性リング部材のリング平面に直交する方向では堅固であることを特徴とする請求項1に記載の変形移動機構。
  4. 前記複数のフレキシブルアームの各々は、所定幅の弾性板から形成され、前記フレキシブルアームは、前記弾性板の幅方向が前記弾性リング部材のリング平面に直交する方向と同じになるように設置されることを特徴とする請求項1に記載の変形移動機構。
  5. 中心線に関して対称形状を有し、一端が固定され他端が前記中心線に沿って移動可能である弾性リング部材を用意し、前記弾性リング部材内に、前記弾性リング部材の前記中心線に直交する操作線に沿った両端と係合した送りねじを回転させる駆動ユニットが配置され、
    前記駆動ユニットを前記弾性リング部材に少なくとも前記中心線の方向に複数のフレキシブルアームにより接続し、
    前記駆動ユニットにより、前記操作線に沿って前記弾性リング部材を押圧あるいは引張るように前記送りねじを回転させる、
    ことを特徴とする変形移動方法。
  6. 前記複数のフレキシブルアームは、前記中心線と前記操作線が交差する点に関して対称に配置されたことを特徴とする請求項5に記載の変形移動方法。
  7. 前記複数のフレキシブルアームの各々は、前記中心線の方向ではフレキシブルであり、前記弾性リング部材のリング平面に直交する方向では堅固であることを特徴とする請求項5に記載の変形移動方法。
  8. 前記複数のフレキシブルアームの各々は、所定幅の弾性板から形成され、前記フレキシブルアームは、前記弾性板の幅方向が前記弾性リング部材のリング平面に直交する方向と同じになるように設置されることを特徴とする請求項5に記載の変形移動方法。
JP2018548149A 2016-04-04 2017-04-04 変形移動機構 Active JP6569822B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/089,866 2016-04-04
US15/089,866 US10100907B2 (en) 2016-04-04 2016-04-04 Deformation motion mechanism
PCT/JP2017/014047 WO2017175746A1 (en) 2016-04-04 2017-04-04 Deformation motion mechanism

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019508644A JP2019508644A (ja) 2019-03-28
JP6569822B2 true JP6569822B2 (ja) 2019-09-04

Family

ID=59960359

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018548149A Active JP6569822B2 (ja) 2016-04-04 2017-04-04 変形移動機構

Country Status (3)

Country Link
US (2) US10100907B2 (ja)
JP (1) JP6569822B2 (ja)
WO (1) WO2017175746A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109129464B (zh) * 2018-07-06 2021-03-02 合肥工业大学 欠驱动柔性机械臂系统的约束力鲁棒伺服控制方法及装置
FR3140681B1 (fr) * 2021-08-25 2024-11-01 Univ Paris Saclay Dispositif et procédé de positionnement pour instrument optique à double vis de réglage
FR3126467B1 (fr) * 2021-08-25 2023-11-24 Univ Paris Saclay Dispositif et procédé de positionnement pour instrument optique

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3704846A (en) * 1969-12-08 1972-12-05 Bausch & Lomb Apparatus for micropositioning an operational member and a workpiece platform
JPS553679B2 (ja) * 1973-08-27 1980-01-26
JPS5835399Y2 (ja) * 1980-07-07 1983-08-09 日立精工株式会社 微量切込み装置
US4946329A (en) * 1988-04-01 1990-08-07 Albert Einstein College Of Medicine Of Yeshiva University Micromanipulator using hydraulic bellows
GB8808279D0 (en) * 1988-04-08 1988-05-11 Lk Tool Co Ltd Linear guiding apparatus
EP0511704B1 (en) * 1991-04-29 1995-07-05 Koninklijke Philips Electronics N.V. Translation device
JP4794087B2 (ja) 2001-09-07 2011-10-12 先生精機株式会社 変位量の微調整装置
WO2006098010A1 (ja) 2005-03-16 2006-09-21 Hirata Corporation 精密位置決め装置
JP6540058B2 (ja) * 2015-02-03 2019-07-10 株式会社ジェイテクト 送り装置及び工作機械
US10161561B2 (en) * 2015-07-30 2018-12-25 Nec Corporation Linkage rod including limited-displacement flexible mechanism
US9920874B2 (en) * 2015-07-30 2018-03-20 Nec Corporation Linkage rod including limited-displacement flexible mechanism

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019508644A (ja) 2019-03-28
US20180266528A1 (en) 2018-09-20
US10100907B2 (en) 2018-10-16
US20170284522A1 (en) 2017-10-05
WO2017175746A1 (en) 2017-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6569822B2 (ja) 変形移動機構
KR100586885B1 (ko) 초정밀 위치제어 시스템
KR101164378B1 (ko) 병렬형 머니퓰레이터
CN104158433B (zh) 箝位机构可动式压电直线电机
EP2759052B1 (de) Drehsteller
KR20160145126A (ko) 압전 구동기를 위한 일체형 예압 메커니즘
EP2590315A1 (de) Antriebsvorrichtung
JP6633958B2 (ja) ばね機構及び直動変位機構
US8957567B2 (en) Mechanical design of deformation compensated flexural pivots structured for linear nanopositioning stages
JP3434709B2 (ja) テーブル機構
KR100975137B1 (ko) 고강성 듀얼 서보 나노스테이지
US9787157B2 (en) Actuator device and method of converting rotational input to axial output with rotary flexure mechanism
JPH10193235A (ja) 角度位置決め装置
US6806595B2 (en) Low backlash linear actuator
JP6405341B2 (ja) フレキシブルメカニズムとそれを有するガントリー装置
CN105467546B (zh) 一种狭缝柔性结构的光学元件微动调整装置
Solepatil et al. Displacement analysis of compliant mechanism
JP2007147480A (ja) 回転角検出装置
KR101452887B1 (ko) 보이스 코일 구동기를 이용한 인압 제어 장치
CN110493588B (zh) 绳簧驱动的双目可调对焦距离的仿生眼执行机构
JP5256414B2 (ja) 変位拡大装置
JP2015082071A (ja) 反力発生装置
CN117655955B (zh) 一种基于空间约束的精密恒力夹持系统
JP2005278379A (ja) 送り装置
JP2007278427A (ja) 滑りねじ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180911

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190709

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190722

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6569822

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150