JP6570977B2 - 表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、物品の表面の傷や凹凸あるいは異物付着等の欠陥の有無を検査する装置および方法に関し、特に物品の表面を直接目視するのではなく、物品の表面の画像を見ながら目視にて検査するようにした表面検査装置および表面検査方法に関する。

この種の物品の表面検査技術として例えば特許文献１に記載されたものが提案されている。

この特許文献１に記載された検査技術では、特に光沢のあるフレキシブルパウチのような検査対象物の撮像による検査に際して、光源の映り込みを防止して検査結果の向上を図るために、検査対象物の表面に対して略平行となる方向から例えば光拡散板を備えた線光源や点光源等の照明手段にて拡散光を照射し、その拡散光の照射状態で検査対象物の真上から撮像手段にて撮像するようにしているものである。

特開２０１４−４４０５９号公報

しかしながら、検査対象物の表面と略平行となる方向から拡散光を照射することは、検査対象物の表面の微細な凹凸等を見落としなく検出する上で有効ではあるものの、例えば検査対象物の表面に光沢度が高い部分と光沢度が低い部分とが混在しているような場合には、光沢度が高い部分では正反射光が増えて相対的に散乱光が弱くなり、その散乱光を上部の撮像手段が捉えることができずに撮像後の画像が暗くなり、結果として暗くなった部分の検査ができないという問題がああった。

本発明は、このような従来技術の有する課題に着目してなされたものであり、とりわけ検査対象物の表面に光沢度が高い部分と光沢度が低い部分とが混在しているような場合であっても、光沢度の高低にかかわらず、どの部分でも目視検査が可能なように撮像することができるように考慮された表面検査装置および表面検査方法を提供するものである。

本発明は、検査対象物の表面の光沢度が全体的に均一ではなく、相対的に光沢度が低い低光沢度領域と相対的に光沢度が高い高光沢度領域とがあることを前提に、検査対象物を照射する照明機器として平行光照明器と拡散光照明器を併用するものとし、検査対象物の表面のうち低光沢度領域では平行光を照射した状態で撮像装置により撮像する一方、高光沢度領域では拡散光を照射した状態で撮像するものとした。

そして、低光沢度領域の撮像画像と高光沢度領域の撮像画像とを画像処理装置にて合成して検査対象物の表面の全体画像を生成し、この合成された全体画像を表示装置に表示するものとした。

本発明によれば、検査対象物の表面での光沢度の違いに応じて平行光照明と拡散光照明とを使い分け、低光沢度領域と高光沢度領域とで照明条件を変えて個別に撮像した上で、双方の撮像画像を合成するようにしたので、表示装置に表示された画像を一目するだけで、低光沢度領域であるか高光沢度領域であるかにかかわらず、瞬時に該当部位の検査を行うことができる。これにより、検査精度の向上と検査結果の信頼性の向上が図れるようになる。

本発明に係る表面検査装置を実施するためのより具体的な第１の形態を示す図であって、表面検査装置の構成要素相互のレイアウトを概略的に示す説明図。 図１に示した表面検査装置の機能的なブロック図。 図２に示した画像処理装置の詳細を示すブロック図。 図１をＡ方向から見た平行光照明時の説明図。 図１をＡ方向から見た拡散光照明時の説明図。 本発明に係る表面検査方法の手順を示すフローチャート。 本発明に係る表面検査方法の手順を示すフローチャート。 検査対象物である薄型二次電池の全体合成画像が生成されるまでの概念を示す説明図。

図１〜８は本発明に係る表面検査装置を実施するためのより具体的な形態を示し、特に図１は表面検査装置の構成要素相互のレイアウトを概略的に示していて、図２は上記表面検査装置の機能的なブロック図を示している。

ここでの表面検査装置は、検査対象物の表面の傷や凹凸あるいは異物付着等の欠陥の有無を検査するものであるが、検査対象物の表面を直接目視するのではなく、検査対象物の表面の画像を見ながら目視にてその表面の傷や凹凸あるいは異物付着等の欠陥を発見しようとするものである。例えば特定の製品がクリーンルーム内等の特殊環境下にて製造される場合に、その製造工程の末期に行われる製品の表面検査を、クリーンルーム外の検査員が検査対象物である製品表面の画像を見ながら目視にて検査を行う場合がこれに該当する。

図１に示す表面検査装置では、検査対象物の置き台として機能する図示を省略したトレイの上に検査対象物となる略矩形状の薄型二次電池（以下、単に「電池」と称する。）１が水平状態で位置決め載置される。

ここでは、検査対象物である電池１の一例として、いわゆる平置き状態で積層した複数組の正極や負極あるいはセパレータのほか、電解液までも含めた電池要素をラミネートフィルム製の矩形状の外装体（外装袋）２内に収容した上でその外装体２の四周の周縁部を例えば熱溶着により所定幅にて接合・封止して、外装体２の一辺部から正極と負極の一部が一対の電極タブ３ａ，３ｂとして外部に突出している薄型のリチウムイオン二次電池の場合を示している。なお、外装体２の四周の周縁部における接合層を符号２ａで示す。このようなリチウムイオン二次電池は、例えば電気自動車やハイブリッド自動車に搭載されている電池パックの単位要素あるいは単電池（バッテリセル）として公知の構造のものである。

そして、外装体２を形成しているラミネートフィルムは、金属箔の表裏両面を防錆，防傷のために複数の樹脂層でコーティングしたラミネート構造のものであり、この樹脂層の存在のために表面の光沢度が低く、これに対して、電極タブ３ａ，３ｂは薄い金属板に表面処理を施したものであるために、外装体２に比べて表面の光沢度が高いという特性がある。上記のような電池１を検査対象物としている本実施の形態では、その電池１のうち相対的に光沢度が低い外装体２が低光沢度領域に相当し、外装体２に比べて相対的に光沢度が高い電極タブ３ａ，３ｂが高光沢度領域に相当している。

電池１の周囲には、照明機器として電池２の四周の短辺部および長辺部ごとにそれぞれに独立した合計四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４が電池を取り囲むように配置されているとともに、一対の電極タブ３ａ，３ｂが突出している一辺部（短辺部）に対応する位置には照明機器として単一の拡散光照明器Ｌｗが配置されている。さらに、電池１の真上には撮像装置４が配置されている。

各平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４は、電池１のうち主として外装体２に対してそれぞれ異なる方向から平行光（疑似平行光を含む。）を照射するためのものであり、当該平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４から照射される平行光が外装体２の表面と略平行となるようにするために、すなわち後述ずる図４に示すように、外装体２の表面と平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４からの平行光の照射方向とのなす角度θが極力小さくなるようにするために、電池１の輪郭からわずかに外側に外れた斜め上方位置にそれぞれの平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４が配置される。

なお、これら四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４は複数のものが同時に点灯することはなく、後述するように、四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４のいずれかが一灯ずつ順番に点灯してそれぞれの方向から外装体２の表面を平行光にて照射することになる。

また、単一の拡散光照明器Ｌｗは、電池１のうち主として外装体２の短辺部側の電極タブ３ａ，３ｂに対して拡散光（散乱光）を照射するためのものであり、後述する図５に示すように、電極タブ３ａ，３ｂの先端部側の斜め上方位置であって且つ対応する平行光照明器Ｌ１よりも高い位置に配置される。

なお、この単一の拡散光照明器Ｌｗは四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４のいずれかと同時に点灯することはなく、後述するように、拡散光照明器Ｌｗ単独で点灯して電池１のうち主として一対の電極タブ３ａ，３ｂを拡散光にて照射することになる。また、四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４および単一の拡散光照明器Ｌｗの光源としては、例えばハロゲンランプやキセノンランプのほかＬＥＤ（発光ダイオード）が使用される。

図１に示したように、撮像装置４は検査対象となる電池１の中央部の真上に下向きに配置される。この撮像装置としては、例えばＣＣＤやＣ−ＭＯＳ等の固体撮像素子とレンズ群光学系とを組み合わせたものが使用される。そして、後述するように、四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４と単一の拡散光照明器Ｌｗの合計五台の照明器を一灯ずつ順番に点灯させて電池１の特定部位に平行光または拡散光の照明光を照射し、その都度、電池１を撮像装置４にて撮像することになる。

図１に示す表面検査装置では、その構成要素である平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４、拡散光照明器Ｌｗおよび撮像装置４以外に、図２に示すように、設備管理装置５と画像処理装置６および表示装置として機能するモニタ７等の付帯機器を備える。

設備管理装置５は、表面検査装置全体の統括制御のほか、当該表面検査装置に関連する外部機器の制御を司っていて、実質的に上位の生産管理装置として機能するもので、例えばＰＬＣ（プログラマブル・ロジック・コントローラ）にて構成されている。

画像処理装置６は撮像装置４にて撮像された画像が入力されて、その入力画像に対して必要な処理や加工を施すものである。この画像処理装置６は例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を主要素とするパーソナルコンピュータをもって構成されていて、上記の画像処理や加工に必要な画像処理ソフトウェアが予めインストールされている。そして、図３は図２の画像処理装置６の詳細を示していて、この画像処理装置６は、機能的には、濃淡画像生成部１０と、反転画像生成部１１と、画像合成部１２と、表示制御部１３と、を有している。なお、濃淡画像生成部１０、反転画像生成部１１および画像合成部１２のそれぞれの機能の詳細は後述するものとし、表示制御部１３は、特定の画像をモニタ７に表示するための制御を司っている。

さらに、図２に示すように、画像処理装置６には、画像やその他の情報を記録するために例えば半導体メモリや磁気ディスク等の記憶装置８と、例えば液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等からなる先に述べた表示装置としてのモニタ７と、例えばキーボードやマウスあるいはタッチパネル等からなる入力装置９と、がそれぞれ付帯している。モニタ７は、後述するように、画像処理装置６から出力される画像を可視表示する機能を有している。

図１に示す表面検査装置では、図示しないトレイの上に検査対象となる電池１をいわゆる平置き状態で位置決め載置した上で、合計四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４を一灯ずつ順番に点灯させて、その都度、平行光照射部位である外装体２を含む電池１の表面を撮像装置４で撮像して、その撮像画像を画像処理装置６に取り込む。さらに、四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４に代わって、単一の拡散光照明器Ｌｗを点灯させて、拡散光照射部位である電極タブ３ａ，３ｂを含む電池１の表面を撮像装置４で撮像して、その撮像画像を画像処理装置６に取り込む。これにより、画像処理装置６では、照明光の種類とその照射方向がそれぞれに異なる合計五枚の撮像画像が取得できたことになる。

ここで、電池１の外装体２の表面にはその表面とほぼ平行となるような平行光を照射して撮像するようにしているのは、相対的に光沢度が低い外装体２の表面では、平行光を照射することでその表面に例えば微細な凹凸がある場合に影ができやすく、凹凸等の発見が一段と容易になるためである。その一方、電池１の電極タブ３ａ，３ｂでは、相対的に光沢度が高い故に、上方から拡散光を照射することで鏡と同じ作用がはたらき、表面に傷等があるとその部分が暗くなって、傷等の発見が一段と容易になるためである。

図４は図１の四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４のうち一台の平行光照明器Ｌ１のみを点灯させて検査対象物である電池１の外装体２を中心に平行光を当てた状態を模式的に示している。また、図５は図１の単一の拡散光照明器Ｌｗのみを点灯させて、検査対象物である電池１の電極タブ３ａ，３ｂを中心に拡散光を当てた状態を模式的に示している。なお、図４，５では、外装体２の表面に表面欠陥として凸部Ｑが存在する場合を想定していて、その凸部Ｑを誇張して描いている。

図４では、平行光照明器Ｌ１からの照明光を電池１のうち相対的に光沢度が低い外装体２をターゲットとして照射してはいても、その照明光の一部は相対的に光沢度が高い電極タブ３ａ，３ｂにも当たることになり、電極タブ３ａ，３ｂからの反射光は正反射光が増して拡散光が少なくなるので、電極タブ３ａ，３ｂで反射した拡散光を撮像装置４で捉えることが困難となる。そこで、平行光照明器Ｌ１からの照明光照射時には、相対的に光沢度が低い外装体２で反射した拡散光（散乱光）を撮像装置４で捉え、電池１のうちその外装体２を中心として撮像するものとする。このような照明・撮像形態は、他の三台の平行光照明器Ｌ２〜Ｌ４からの照明光照射時においても同様である。

なお、図４の下部に併記した数字は該当部位での明るさの度合いを表していて、数字が大きくなるほど明るいことを示している。図４では、先に説明したように、平行光照明器Ｌ１からの照明光を電池１の外装体２をターゲットとして照射しているため、平行光照明器Ｌ１からの照明光があまり当たらない電極タブ３ａ，３ｂでは光沢度が高い故に極端に暗くなっていて、それ以外の光沢度が低い外装体２では照明光の恩恵で明るくなっていることが理解できる。

その一方、図５では、拡散光照明器Ｌｗからの照明光を電池１のうち相対的に光沢度が高い電極タブ３ａ，３ｂをターゲットとして照射していて、電極タブ３ａ，３ｂからの正反射光を撮像装置４が十分に捉えることができるように拡散光照明器Ｌｗの照射向きを調整してある。これにより、拡散光照明器Ｌｗからの照明光照射時には、電池１のうち相対的に光沢度が高い電極タブ３ａ，３ｂを中心として撮像するものとする。

なお、図４と同様に、図５の下部に併記した数字は該当部位での明るさの度合いを表していて、数字が大きくなるほど明るいことを示している。図５では、先に説明したように、拡散光照明器Ｌｗからの照明光を電池１の電極タブ３ａ，３ｂをターゲットとして照射しているため、光沢度が高い電極タブ３ａ，３ｂでは照明光の恩恵で十分に明るくなっていることが理解できる。

図６，７は、先に説明した撮像画像取得のためのプロセスのほか、画像処理装置６での処理手順等を含む表面検査装置での一連の手順を示している。

図６のステップＳ１では、先に説明したように、四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４を一台ずつ順番に点灯させて、その都度、低光沢度領域である外装体２を中心として図示しないトレイ上の電池１を撮像装置４にて撮像する。これにより、先にも述べたように、外装体２に対する平行光照明下で照射方向が異なる四枚の電池２の撮像画像が得られることになり、これらの画像は逐次、図２の記憶装置８に記憶される。

ステップＳ２では、単一の拡散光照明器Ｌｗを点灯させて、拡散光照明下で高光沢度領域である電極タブ３ａ，３ｂを中心として図示しないトレイ上の電池１を撮像装置４にて撮像する。これにより、電極タブ３ａ，３ｂに対する拡散光照明下での一枚の電池１の撮像画像が得られることになり、この画像も逐次、記憶装置８に記憶される。

以上により、画像処理装置６での以降の画像処理に必要な撮像画像として、外装体２に対する平行光照明下での四枚の電池１の撮像画像と、電極３ａ，３ｂに対する拡散光照明下での一枚の電池１の撮像画像、すなわち照明光の種類とその照射方向がそれぞれに異なる合計五枚の電池１の撮像画像が取得できたことになる。

次のステップＳ３以降の処理は、画像処理装置６の各部での画像処理ソフトウェアに基づく処理となる。

ステップＳ３では、外装体２に対する平行光照明下で得られた電池１の四枚の撮像画像から外装体２の部分のみを抽出した上でそれらを合成処理して、その外装体２の長辺方向（長手方向＝図１のＸ方向）での凹凸をモノクロの濃淡（明暗）で表した二次元の合成画像を生成する。ここでは、この生成された合成画像を外装体合成画像１と称する。

同様にして、ステップＳ４では、外装体２に対する平行光照明下で得られた電池１の四枚の撮像画像から外装体２の部分のみを抽出した上でそれらを合成処理して、その外装体２の短辺方向（長手方向と直交する方向＝図１のＹ方向）での凹凸をモノクロの濃淡（明暗）で表した二次元の合成画像を生成する。ここでは、この生成された合成画像を外装体合成画像２と称する。これらの外装体合成画像１，２は逐次、記憶装置８に記憶される。また、これらのステップＳ３およびＳ４での処理は、図３に示した画像処理装置６の濃淡画像生成部１０での処理となる。

これらの外装体合成画像１，２の生成方法は、より詳細には、それぞれに照射方向が異なる平行光照明下で得られた外装体２相当部の四枚の撮像画像を照度差ステレオ法（フォトメトリックステレオ法）により合成して、外装体合成画像１については、外装体２の長辺方向における凹凸の勾配情報を濃淡で強調した二次元の合成画像として、外装体合成画像２については、外装体２の短辺方向における凹凸の勾配情報を濃淡で強調した二次元の合成画像としてそれぞれ生成する。

ここで、上記外装体合成画像１については、低光沢度領域である外装体２のＸ−Ｙ二次元平面におけるＸ方向（外装体２の長辺方向）での凹凸形状を濃淡で表したＸ方向濃淡合成画像とみなすことができ、同様に、上記外装体合成画像２については、低光沢度領域である外装体２のＸ−Ｙ二次元平面におけるＹ方向（外装体２の短辺方向）での凹凸形状を濃淡で表したＹ方向濃淡合成画像とみなすことができる。

また、上記凹凸の勾配情報とは、外装体２の表面に例えば表面欠陥として凸部Ｑ（図４，５参照）が存在する場合に、その凸部Ｑの頂部を通り且つ外装体２の平坦な表面に対して所定角度（鋭角）βをなす仮想平面の勾配を表すものである。これは、外装体２の表面に例えば表面欠陥として凸部Ｑがある場合に、平行光照明を受けて凸部Ｑの影になる部分が暗部として認識されるという原理に基づいており、外装体合成画像１，２では、例えば８ビットのグレースケールで表す場合には、２５６階調の濃淡で表されることになる。

ステップＳ５では、先に生成した外装体合成画像１について、その画像の濃淡を反転した濃淡反転画像を生成する。ここでは、その生成された画像を外装体合成画像３と称する。同様にして、ステップＳ６では、先に生成した外装体合成画像２について、その画像の濃淡を反転した濃淡反転画像を生成する。ここでは、その生成された画像を外装体合成画像４と称する。これらの外装体合成画像３，４も逐次、記憶装置８に記憶される。また、これらのステップＳ５およびＳ６での処理は、図３に示した画像処理装置６の反転画像生成部１１での処理となる。

ステップＳ７では、外装体２に対する平行光照明下で得られた電池１の四枚の撮像画像から外装体２の部分のみを抽出した上でそれらを上記照度差ステレオ法により合成処理して、外装体２の表面の凹凸の勾配情報を含み且つその表面の三次元形状を濃淡の三次元イメージで表現した二次元の濃淡合成画像を生成する。この二次元の濃淡合成画像は、先の外装体合成画像１と外装体合成画像２とをさらに合成したものと理解することもでき、二次元の画像ではあってもその濃淡での表現をもって表面の凹凸の勾配情報までも含まれている三次元形状をイメージした合成画像となっている。ここでは、生成された二次元の濃淡合成画像を外装体合成画像５と称する。この外装体合成画像５は、逐次、記憶装置８に記憶される。また、このステップＳ７での処理は、図３に示した画像処理装置６の画像合成部１２での処理となる。

ステップＳ８では、ステップＳ２の電極タブ３ａ，３ｂに対する拡散光照明下で得られた電池１の撮像画像にトリミングを施し、電極タブ３ａ，３ｂのみを抽出して切り取った画像を生成する。ここでは、切り取った電極タブ３ａ，３ｂの画像を電極タブ切り取り画像６と称する。このステップＳ８での処理は、上記と同様に図３に示した画像処理装置６の画像合成部１２での処理となる。

さらに、ステップＳ９では、ステップＳ７で生成された外装体合成画像５（二次元濃淡合成画像）に先のステップＳ８での電極タブ切り取り画像６を貼り付けるようにして合成し、電池１の全体合成画像を生成する。ここでは、この電池１の全体合成画像を電池全体合成画像７と称する。この電池全体合成画像７は、逐次、記憶装置８に記憶される。また、このステップＳ９での処理は、上記と同様に図３に示した画像処理装置６の画像合成部１２での処理となる。

図８は、ステップＳ９での電池１の全体合成画像（電池全体合成画像７）が生成されるまでの画像合成のイメージを示していて、同図（Ａ）では、点線での囲み部分ａが外装体合成画像５であるところの外装体２の表面の三次元形状をイメージした二次元の濃淡合成画像を示している。また、同図（Ｂ）の点線での囲み部分ｂが、ステップＳ２の拡散光照明下で得られた電池１の撮像画像から合成エリア定義データに基づいて電極タブ３ａ，３ｂに相当する部分のみを抽出して切り取ったステップＳ８の電極タブ切り取り画像６を示している。そして、同図（Ｂ）の電極タブ切り取り画像６を同図（Ａ）の外装体合成画像５に貼り付けるようにして合成することで、同図（Ｃ）の電池全体合成画像７が生成されることになる。

この電池全体合成画像７は、相対的に光沢度が低い外装体２に対する平行光照明下での四枚の撮像画像を合成した画像と、相対的に光沢度が高い電極タブ３ａ，３ｂに対する拡散光照明下での撮像画像そのものとを合成した画像にほかならず、結果として低光沢度領域である外装体２および高光沢度領域である電極タブ３ａ，３ｂ共に、適度な明るさでの画像をもって目視による表面検査に供されることになる。

図６のステップＳ９での付帯処理として、図８の（Ｄ）に示すように、同図（Ｃ）で得られた電池全体合成画像７について、外装体２の四周の熱溶着による接合部２ａのうち電極タブ３ａ，３ｂが突出している短辺部での接合幅Ｗに相当する部分に、設計データ（図面値）に基づいた二本の寸法検査ガイド線Ｃ１，Ｃ２を例えば点線をもって重ねるようにして描画する。これにより、後述するように、描画した二本の寸法検査ガイド線Ｃ１，Ｃ２が電極タブ３ａ，３ｂに最も近い接合部２ａでの接合幅Ｗに相当する部分に正しく重なっていることを目視確認することで、熱溶着による外装体２の接合幅Ｗの寸法検査も同時に行うことができることになる。

なお、外装体２の四周のうち電極タブ３ａ，３ｂが突出している短辺部での接合品質が重要になるのは、次のような理由による。すなわち、電池１の製造過程では、外装体２の四周のうち電極タブ３ａ，３ｂが突出することになる短辺部を除いた他の三辺部を先に熱溶着により接合して外装体２をいわゆる袋状のものとしておき、残された短辺部から電解液を含む電池要素を外装体２内に収容した上で、最後に、電極タブ３ａ，３ｂが突出することになる短辺部を熱溶着により接合・封止するようにしているためである。そして、電極タブ３ａ，３ｂが突出することになる短辺部では、他の三辺部と異なり、外装体２を形成している表裏両面のラミネートフィルム同士の間に異材質の電極タブ３ａ，３ｂが挟み込まれることになり、いわゆる液漏れ防止等の観点から当該部分での接合幅Ｗの管理が重要になるためである。

以上のように、図６のステップＳ１からステップＳ９までの処理が図２，３に示した画像処理装置６での処理となり、図７のステップＳ１０以降での処理は検査員の目視検査に頼ることになる。

先に述べたように、画像処理装置６での画像処理または加工によりいくつかの合成画像が生成されると、図３に示した画像処理装置６の表示制御部１３からの指示により、図７のステップＳ１０では先に生成した外装体合成画像１〜４のほか、図８の（Ｄ）に示した電池全体合成画像７が、所定の順番で且つ所定の時間間隔で周期的に図２に示したモニタ７に可視表示される。より具体的には、図７のステップＳ１０１〜Ｓ１０５において、外装体合成画像１、外装体合成画像２、外装体合成画像３、外装体合成画像４および電池全体合成画像７、の順番でモニタ７に表示することにより、特に電池１の外装体２や電極タブ３ａ，３ｂの表面に凹凸等の欠陥が存在する場合に、それらの欠陥を画像の濃淡で強調して表示する。

特に、外装体合成画像１は、外装体２の表面の凹凸形状を長辺方向（長手方向）での濃淡に強調した画像であり、同様に外装体合成画像２は、外装体２の表面の凹凸形状を短辺方向での濃淡に強調した画像である。また、外装体合成画像３は、外装体合成画像１の濃淡を反転した画像であり、同様に外装体合成画像４は、外装体合成画像２の濃淡を反転した画像である。さらに、電池全体合成画像７は、外装体２に対する平行光照明下の四枚の撮像画像を合成して、外装体２の表面の三次元形状を濃淡でイメージした二次元濃淡合成画像（外装体合成画像５）と、電極タブ３ａ，３ｂに対する拡散光照明下の当該電極タブ３ａ，３ｂの撮像画像とを、さらに合成した全体画像である。

これにより、外装体２の表面の凹凸形状を長辺方向での濃淡に強調した外装体合成画像１と、外装体２の表面の凹凸形状を短辺方向での濃淡に強調した外装体合成画像２、およびそれらの外装体合成画像１，２の濃淡を反転した外装体合成画像３，４とが、交互に且つ周期的にモニタ７に表示されることで、モニタを目視している検査員は、外装体２の表面にある凹凸等の欠陥の位置を特定・認識してこれを容易に発見することができる。その上、上記外装体合成画像１〜４の交互で且つ周期的な可視表示に加えて、電池全体合成画像７の一部として外装体２の表面の三次元形状を濃淡でイメージした外装体２の二次元濃淡合成画像（外装体合成画像５）も周期的に可視表示されることで、外装体２の表面にある凹凸等の欠陥を一段と容易に発見することができるようになる。なお、上記モニタ７における外装体合成画像１〜４および電池全体合成画像７の表示時間および表示の順番は、任意に設定可能である。

また、電池全体合成画像７が表示される際に、電極タブ３ａ，３ｂに相当する部分を注視することで、電極タブ３ａ，３ｂの表面の凹凸や傷等の欠陥も容易に発見することができることになる。

さらに、先に述べたように、電池１の外装体２に相当する部分のうち電極タブ３ａ，３ｂが突出している短辺部には、その接合部２ａでの接合幅Ｗに相当する部分に図８の（Ｄ）に示したように二本の寸法検査ガイド線Ｃ１，Ｃ２が描画されているので、描画されている二本の寸法検査ガイド線Ｃ１，Ｃ２が電極タブ３ａ，３ｂに最も近い接合部２ａでの接合幅Ｗに相当する部分に正しく重なっているかどうか目視確認することで、熱溶着による外装体２の接合幅Ｗの寸法検査、すなわち接合幅Ｗの適否判定までも同時に行うことができることになる。なお、モニタ７はカラーモニタとし、モノクロの濃淡で表示された画像に白黒以外の色の二本の寸法検査ガイド線Ｃ１，Ｃ２を重ねて描画するようにすると、検査員が一段と視認しやすいものとなる。

図７のステップＳ１０６において、検査員が検査完了の合図として例えば図２の入力装置９から特定に指示を与えないかぎりステップＳ１０１〜Ｓ１０５の画像表示が繰り返される。そして、検査結果の入力とともに、検査完了の合図として検査員が入力装置９を操作して検査完了の指示を与えると、その時点で一つの電池１についての検査が終了し、次のステップＳ１１として次なる別の電池１の検査に移行することになる。なお、入力された検査結果は、例えば製造された電池を良品と不良品とに選別する際のマーキング情報として利用される。

このように本実施の形態によれば、検査対象物である電池１の表面検査に際して、低光沢度領域である外装体２と高光沢度領域である電極タブ３ａ，３ｂとで照明光をそれぞれ使い分けるものとし、低光沢度領域である外装体２については周囲四方向のうち一方向から順に平行光照明を当てた状態でその都度撮像した上で、それら四枚の撮像画像を合成して二次元濃淡合成画像を生成する一方、高光沢度領域である電極タブ３ａ，３ｂについては拡散光照明を当てた状態で撮像し、上記外装体２の二次元濃淡合成画像と電極タブ３ａ，３ｂの拡散光照明画像とをさらに合成して電池１の全体画像を生成し、この全体画像をモニタ７に表示して検査員の目視による表面検査に供するようにしたものである。

そのため、検査対象物である電池１の表面に低光沢度領域である外装体２と高光沢度領域である電極タブ３ａ，３ｂとが混在していても、低光沢度領域および高光沢度領域ごとに適度な明るさのものとで撮像した画像に基づいて表面検査を行うことができ、モニタ７に表示された画像を一目するだけで、低光沢度領域であるか高光沢度領域であるかにかかわらず、瞬時に該当部位表面の検査、すなわち該当部位表面の凹凸等の欠陥の有無を判別することができ、表面検査精度の向上と検査結果の信頼性の向上が図れるようになる。

また、上記電池１の全体合成画像には、外装体２の周縁部のうち特定部位の接合部２ａに二本の寸法検査ガイド線Ｃ１，Ｃ２が描画されることにより、その接合部２ａにおける接合幅Ｗの適否検査も瞬時に且つ同時に行うことができ、電池１の表面検査を効率的に行うことができるようになる。

ここで、上記の実施の形態においては、電池１の表面検査を例にとって説明したが、本発明は、電池１以外の同種の製品の表面検査にも適用することができることは言うまでもない。

また、図１，２では、電池１の周囲に配置された四台の平行光照明器Ｌ１〜Ｌ４を一台ずつ順番に点灯させて、その都度撮像することにより平行光照明の照射方向が異なる四枚の画像を取得するようにしているが、これに代えて、電池１の周囲に配置される平行光照明器を三台とし、これら三台の平行光照明器を一台ずつ順番に点灯させて、その都度撮像することにより平行光照明の照射方向が異なる三枚の画像を取得するようにしても良い。さらに、平行光照明器は一台のみとし、その都度平行光照明器の位置を変えて必要な方向から平行光照明を照射するようにしても良い。

さらに、図８の（Ｄ）に示した二本の寸法検査ガイド線Ｃ１，Ｃ２の描画位置は一例にすぎず、任意の位置に設定可能であることは言うまでもない。

１…薄型二次電池（検査対象物）
２…外装体（低光沢度領域）
３ａ，３ｂ…電極タブ（高光沢度領域）
４…撮像装置
６…画像処理装置
７…モニタ（表示装置）
１０…濃淡画像生成部
１１…反転画像生成部
１２…画像合成部
Ｃ１，Ｃ２…寸法検査ガイド線
Ｌ１〜Ｌ４…平行光照明器
Ｌｗ…拡散光照明器

Claims (8)

1. 検査対象物の表面のうち相対的に光沢度が低い低光沢度領域に平行光を照射する平行光照明器と、
   上記平行光照明器に代わって検査対象物の表面のうち相対的に光沢度が高い高光沢度領域に拡散光を照射する拡散光照明器と、
   上記検査対象物の表面のうち平行光が照射された低光沢度領域を撮像するとともに、これとは別に拡散光が照射された高光沢度領域を撮像する撮像装置と、
   上記撮像装置による撮像画像がそれぞれ入力され、低光沢度領域の撮像画像と高光沢度領域の撮像画像とを合成して検査対象物の表面の全体画像を生成する画像処理装置と、
   上記画像処理装置で生成された全体画像を表示する表示装置と、
   を備えていることを特徴とする表面検査装置。
2. 上記画像処理装置にて高光沢度領域の撮像画像と合成されることになる低光沢度領域の撮像画像は、当該低光沢度領域に対し平行光の照射方向を変えてその都度撮像した複数の撮像画像を合成して、その低光沢度領域の凹凸形状を含む三次元形状を濃淡で表した二次元濃淡合成画像であることを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
3. 上記画像処理装置は、
   上記低光沢度領域に対し平行光の照射方向を変えてその都度撮像した複数の撮像画像を合成して、その低光沢度領域の凹凸形状を含む三次元形状を濃淡で表した二次元濃淡合成画像を生成する濃淡画像生成部と、
   上記濃淡画像生成部で生成された低光沢度領域の二次元濃淡合成画像と高光沢度領域の撮像画像とを合成した画像を生成する画像合成部と、
   を有していることを特徴とする請求項２に記載の表面検査装置。
4. 上記画像処理装置の濃淡画像生成部は、
   上記低光沢度領域の凹凸形状を含む三次元形状を濃淡で表した二次元濃淡合成画像を生成するのとは別に、
   上記低光沢度領域に対し平行光の照射方向を変えてその都度撮像した複数の撮像画像を合成して、低光沢度領域のＸ−Ｙ二次元平面におけるＸ方向での凹凸形状を濃淡で表したＸ方向濃淡合成画像と、Ｙ方向での凹凸形状を濃淡で表したＹ方向濃淡合成画像と、
   上記Ｘ方向濃淡合成画像とＹ方向濃淡合成画像のそれぞれについて、それらの画像の濃淡を反転した濃淡反転画像と、
   を生成する機能を有していることを特徴とする請求項３に記載の表面検査装置。
5. 上記表示装置では、二次元濃淡合成画像とともに、Ｘ方向濃淡合成画像とＹ方向濃淡合成画像およびそれらの濃淡反転画像とを、予め定めた順番で交互に表示するようになっていることを特徴とする請求項４に記載の表面検査装置。
6. 上記検査対象物は、電池要素が収容されているラミネートフィルム製の外装体の周縁部が接合・封止されているとともに、外装体の一部から電極が外部に突出している薄型二次電池であって、
   上記低光沢度領域が外装体であり、高光沢度領域が電極であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の表面検査装置。
7. 上記表示装置に全体画像を表示する際に、外装体の接合部に相当する部分にガイド線を重ねて表示するようにしたことを特徴とする請求項６に記載の表面検査装置。
8. 検査対象物の表面のうち相対的に光沢度が低い低光沢度領域に平行光を照射した状態で、その低光沢度領域を撮像装置で撮像する工程と、
   上記検査対象物の表面のうち相対的に光沢度が高い高光沢度領域に拡散光を照射した状態で、その高光沢度領域を撮像装置で撮像する工程と、
   上記低光沢度領域の撮像画像と高光沢度領域の撮像画像とを合成して検査対象物の表面の全体画像を生成する工程と、
   上記生成された全体画像を表示装置に表示する工程と、
   を含むことを特徴とする表面検査方法。

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